特許 7550828 変形装置、露光装置、および物品の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-05

(45)【発行日】2024-09-13

(54)【発明の名称】変形装置、露光装置、および物品の製造方法

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/20 20060101AFI20240906BHJP

【ＦＩ】

G03F7/20 521

【請求項の数】 23

(21)【出願番号】P 2022165717

(22)【出願日】2022-10-14

(65)【公開番号】P2024058387

(43)【公開日】2024-04-25

【審査請求日】2024-04-03

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000001007

【氏名又は名称】キヤノン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110003281

【氏名又は名称】弁理士法人大塚国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】春見 和之

【審査官】植木 隆和

(56)【参考文献】

【文献】特開２００６－０５８７８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１１９５５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－２３６０２６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／０２７

Ｇ０３Ｆ ７／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

物体を変形させる変形装置であって、
前記物体における複数の箇所をそれぞれ保持する複数の可動部と、
前記物体の表面に対して垂直な方向に前記複数の可動部を移動させる複数の駆動部と、
前記複数の可動部のうち互いに隣り合う可動部の一方に設けられた第１制限部材と、他方に設けられた第２制限部材と、を含む制限機構と、
前記複数の駆動部を制御する制御部と、
を備え、
前記制限機構は、前記第１制限部材と前記第２制限部材とが互いに当接することで、前記互いに隣り合う可動部の移動を制限する、ことを特徴とする変形装置。

【請求項2】

前記制限機構は、前記複数の箇所のうち互いに隣り合う箇所の変位差が許容範囲内になるように、前記互いに隣り合う可動部の移動を制限する、ことを特徴とする請求項１に記載の変形装置。

【請求項3】

前記許容範囲は、前記物体の破損を回避することができる前記変位差の範囲に設定されている、ことを特徴とする請求項２に記載の変形装置。

【請求項4】

前記第１制限部材は、前記他方に向かって前記一方から突出するように構成され、
前記第２制限部材は、前記一方に向かって前記他方から突出するように構成されている、ことを特徴とする請求項１に記載の変形装置。

【請求項5】

前記制限機構は、前記第２制限部材を挟み込むように前記一方に設けられた２つの第１制限部材を有し、前記第２制限部材の移動を２つの前記第１制限部材の間に制限するように構成されている、ことを特徴とする請求項３に記載の変形装置。

【請求項6】

前記第１制限部材と前記第２制限部材とが互いに当接することを検知する第１検知部を更に備え、
前記制御部は、前記第１検知部により前記第１制限部材と前記第２制限部材とが互いに当接したことが検知された場合に前記物体の変形が大きくならないように制御する、ことを特徴とする請求項１に記載の変形装置。

【請求項7】

前記第１検知部は、前記第１制限部材と前記第２制限部材との接触によって電気的に接続される信号線を含み、前記信号線を流れる信号に基づいて前記接触を検知する、ことを特徴とする請求項６に記載の変形装置。

【請求項8】

前記制御部は、前記第１検知部により前記第１制限部材と前記第２制限部材とが互いに当接したことが検知された場合に、前記物体の制御を停止する、ことを特徴とする請求項６に記載の変形装置。

【請求項9】

前記複数の可動部の各々は、各駆動部により前記物体の前記表面に平行な方向に駆動される第１構造体と、前記物体を保持し前記物体の前記表面に対して垂直な前記方向に移動可能な第２構造体と、前記第１構造体の移動を前記第２構造体の移動に変換するくさび機構とを含み、
前記制限機構は、前記第１構造体に対して設けられている、ことを特徴とする請求項１に記載の変形装置。

【請求項10】

前記複数の可動部の各々は、各駆動部により前記物体の前記表面に平行な方向に駆動される第１構造体と、前記物体を保持し前記物体の前記表面に対して垂直な前記方向に移動可能な第２構造体と、前記第１構造体の移動を前記第２構造体の移動に変換するくさび機構とを含み、
前記制限機構は、前記第２構造体に対して設けられている、ことを特徴とする請求項１に記載の変形装置。

【請求項11】

前記互いに隣り合う可動部の一方に設けられるスイッチを更に備え、
前記制御部は、前記スイッチが押下されることで、前記第１制限部材と前記第２制限部材とが互いに当接していることを検知する、ことを特徴とする請求項１に記載の変形装置。

【請求項12】

前記スイッチは、前記互いに隣り合う箇所の変位差が許容範囲の限界に達したときに、前記互いに隣り合う可動部の他方が前記スイッチを押下するように配置される、ことを特徴とする請求項１１に記載の変形装置。

【請求項13】

前記制御部は、前記スイッチが押下された場合に前記物体の制御を停止する、ことを特徴とする請求項１１に記載の変形装置。

【請求項14】

前記物体は、板状または線状の部材である、ことを特徴とする請求項１に記載の変形装置。

【請求項15】

前記物体は、ガラスプレートである、ことを特徴とする請求項１に記載の変形装置。

【請求項16】

物体を変形させる変形装置であって、
前記物体における複数の箇所をそれぞれ保持する複数の可動部と、
前記物体の表面に対して垂直な方向に前記複数の可動部を移動させる複数の駆動部と、
前記複数の駆動部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記複数の箇所のうち互いに隣り合う第１箇所と第２箇所との変位差が許容範囲内になるように、前記複数の可動部のうち互いに隣り合う可動部の移動をソフトウェア制御により制限する、ことを特徴とする変形装置。

【請求項17】

前記複数の可動部の位置を検出する検出部を更に備え、
前記制御部は、前記検出部で取得した結果に基づいて、前記隣り合う可動部の移動を制限する、ことを特徴とする請求項１６に記載の変形装置。

【請求項18】

前記許容範囲は、前記物体の破損を回避することができる前記変位差の範囲に設定されている、ことを特徴とする請求項１６に記載の変形装置。

【請求項19】

前記複数の可動部の各々は、各駆動部により前記物体の前記表面に平行な方向に駆動される第１構造体と、前記物体を保持し前記物体の前記表面に対して垂直な前記方向に移動可能な第２構造体と、前記第１構造体の移動を前記第２構造体の移動に変換するくさび機構とを含む、ことを特徴とする請求項１６に記載の変形装置。

【請求項20】

前記物体は、板状または線状の部材である、ことを特徴とする請求項１６に記載の変形装置。

【請求項21】

前記物体は、ガラスプレートである、ことを特徴とする請求項１６に記載の変形装置。

【請求項22】

基板を露光する露光装置であって、
原版のパターン像を前記基板に投影する投影光学系と、
物体を変形させる請求項１乃至２１のいずれか１項に記載の変形装置と、
を備え、
前記変形装置によって変形される前記物体は、前記投影光学系に含まれる光学素子である、ことを特徴とする露光装置。

【請求項23】

請求項２２に記載された露光装置を用いて基板を露光する露光工程と、
前記露光工程で露光された前記基板を加工する加工工程と、
前記加工工程で加工された前記基板から物品を製造する製造工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、物体を変形させる変形装置、それを用いた露光装置、および物品の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

物体における複数の箇所の各々を駆動して変位させることで当該物体を所望の形状に変形させる変形装置が知られている。変形装置の１つの例としては、天文分野で用いられる大型望遠鏡等に搭載される可変鏡装置が挙げられる。可変鏡装置は、光の反射面を有するミラーを多点で支え、アクチュエータにより各点を駆動して変位させることによりミラーを所望の形状に変形させるものであり、天文観測時における大気の揺らぎ等の影響を補正する補正光学系の構成要素として用いられる。特許文献１には、複数のアクチュエータを用いてミラーを変形させる可変形鏡が開示されている。

【0003】

また、変形装置の他の例として、半導体デバイス等を製造するための露光装置に搭載される光学補正装置が挙げられる。光学補正装置は、例えば、露光装置に設けられた光学素子を変形させることによって露光装置の光学特性を補正するものである。特許文献２には、複数のアクチュエータを用いて平行平面板ガラスを変形させることによって、投影光学系の収差や、基板に形成されているパターンの歪みなどによって生じうるオーバーレイ誤差を補正することが開示されている。特許文献３には、複数のアクチュエータを用いて、スリット状の照明光を規定するための可変ブレードを変形することが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１２－１８２９０号公報

【文献】特開２０１３－２３６０２６号公報

【文献】特許第４５８１６３９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

一般に、可変鏡装置で変形されるミラーや光学補正装置で変形される光学素子などの物体（以下では、単に「物体」と表記することがある）は、脆性材料で構成され、大きな応力を与えると破損するという性質がある。つまり、アクチュエータを用いて物体を変形させる際、当該物体に生じる応力が破壊応力を超えてしまうと当該物体が破損しうる。通常、物体に生じる応力が破壊応力未満になるようにアクチュエータが制御されるが、この際にアクチュエータの制御エラーなどが生じると、意図せずに大きな変位が当該物体に加わり当該物体が破損することがある。そのため、制御エラーなどが生じた場合であっても物体の破損を防止するためのフェールセーフが設けられるとよい。

【0006】

特許文献１には、各アクチュエータについて可動端の移動可能な範囲（即ち、駆動ストローク）を個別に制限する機構が開示されている。しかしながら、各アクチュエータの駆動ストロークを個別に制限するだけでは、物体における複数の箇所のうち互いに隣り合う箇所同士の変位差によっては当該物体に過度が負荷が掛かり、当該物体が破損することがある。

【0007】

そこで、本発明は、物体を変形させる際の当該物体の破損を低減するために有利な技術を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の１つの側面は、物体を変形させる変形装置に係り、前記変形装置は、前記物体における複数の箇所をそれぞれ保持する複数の可動部と、前記物体の表面に対して垂直な方向に前記複数の可動部を移動させる複数の駆動部と、前記複数の可動部のうち互いに隣り合う可動部の一方に設けられた第１制限部材と、他方に設けられた第２制限部材と、を含む制限機構と、前記複数の駆動部を制御する制御部と、を備え、前記制限機構は、前記第１制限部材と前記第２制限部材とが互いに当接することで、前記互いに隣り合う可動部の移動を制限する。

【0009】

本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、例えば、物体を変形させる際の当該物体の破損を低減するために有利な技術を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】第１実施形態の変形装置の構成例を示す概略図

【図2】第１実施形態の変位部の構成例を模式的に示す図

【図3】第１実施形態の制限機構の構成例を説明するための図

【図4】第１実施形態の制限機構を設けた効果を説明するための図

【図5】第１実施形態の制限機構を設けた効果を説明するための図

【図6】第２実施形態の変形装置の構成例を示す概略図

【図7】第２実施形態の制限機構の構成例を説明するための図

【図8】第２実施形態の制限機構の変形例を説明するための図

【図9】第３実施形態の変位部の構成例を模式的に示す図

【図10】第３実施形態の制限機構の構成例を説明するための図

【図11】第３実施形態の制限機構の構成例を説明するための図

【図12】第４実施形態の変形装置の構成例を示す概略図

【図13】第４実施形態の変位部の構成例を模式的に示す図

【図14】第４実施形態の変位部の構成例を模式的に示す図

【図15】第５実施形態の変位部の構成例を模式的に示す図

【図16】露光装置の構成例を模式的に示す図

【図17】変形装置の課題を説明するための図

【図18】変形装置の課題を説明するための図

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。

【0013】

はじめに、物体を変形させる変形装置の課題について図１７～図１８を参照しながら説明する。図１７は、物体としての平行平面板ガラスＧを変形させる構成例を模式的に示す斜視図である。図中の矢印は、平行平面板ガラスＧにおける複数の箇所の各々を駆動して変位させるアクチュエータＡＣＴを示している。つまり、図１７は、各アクチュエータＡＣＴによって平行平面板ガラスＧの各箇所を駆動して変位させる構成例を示している。この構成例は、例えば露光装置の投影光学系の光路中に配置され、光学系のディストーション補正などに用いられるものである。

【0014】

図１８の上図は、平行平面板ガラスＧを変形させる構成例（図１７の構成例）を模式的に示す側面図（Ｙ軸方向から見た図）である。図１８の上図では、平行平面板ガラスＧの一辺に配列された複数のアクチュエータＡＣＴ１～ＡＣＴ６が示されている。また、図１８の下図は、複数のアクチュエータＡＣＴ１～ＡＣＴ６によって生成されうる平行平面板ガラスＧの形状を示すグラフである。当該グラフは、各アクチュエータによって平行平面板ガラスＧの各箇所を変位させたときの平行平面板ガラスＧの面形状を示している。当該グラフでは、形状１（実線）および形状２（破線）の２種類の形状が示されている。

【0015】

平行平面板ガラスＧは、脆性材料であり、平行平面板Ｇに生じる応力が破壊応力を超えると破損しうる。例えば、平行平面板ガラスＧは、アクチュエータＡＣＴ１～ＡＣＴ６でそれぞれ変位が与えられる複数の箇所のうち互いに隣り合う箇所同士（以下では、単に「隣り合う箇所同士」と表記することがある）の変位差が許容範囲Ｒを超えてしまうと破損しうる。なお、隣り合う箇所同士の変位差の許容範囲Ｒは、グラフの下に点線矢印で示されている。

【0016】

隣り合う箇所同士の変位差を許容範囲Ｒ内に収める１つの方法としては、各アクチュエータの駆動ストローク自体を許容範囲Ｒ以下にするための機械的な制限を各アクチュエータに個別に設けることが挙げられる。しかしながら、この方法では、平行平面板ガラスＧの変形可能範囲が狭まりうる。例えば、図１８の下図に示されるように、必要な形状として形状１および形状２がある場合、これらの形状を実現するためには、アクチュエータの駆動ストローク（図中の「必要ストローク」）を許容範囲Ｒよりも大きくしなければならない箇所が生じうる。つまり、各アクチュエータの駆動ストローク自体を機械的に制限する場合、必要な形状である形状１および形状２を生成することが困難になりうる。そのため、平行平面板ガラスＧの変形可能範囲を広げて形状１および形状２を実現するためには、各アクチュエータの駆動ストロークを許容範囲Ｒよりも大きくする必要がある。

【0017】

また、隣り合う箇所同士の変位差を許容範囲Ｒ内に収める他の方法としては、隣り合う箇所同士の変位差が許容範囲Ｒ内に収まるように各アクチュエータに制御的な制限を設けることが挙げられる。しかしながら、この方法では、各アクチュエータの制御エラー（例えば、駆動指令系のエラーや、制御系のエラー）が生じた場合、意図せずに大きな変位（負荷）が平行平面板ガラスＧの各箇所に加わり、平行平面板ガラスＧが破損することがある。

【0018】

そこで、本発明に係る変形装置では、物体における互いに隣り合う箇所同士の変位差を許容範囲内にするための制限機構が設けられる。許容範囲Ｒは、物体の破損を回避することができる変位差の範囲、換言すると、物体に生じる応力が当該物体の破壊応力以下となる変位差の範囲に設定されうる。なお、制限機構は、物体における互いに隣り合う箇所同士の変位差を規定値未満にする機構として理解されてもよい。この場合、規定値は、物体の破損を回避することができる変位差の限界値以下、換言すると、物体に生じる応力が当該物体の破壊応力以下となる変位差の限界値以下に設定されうる。

【0019】

以下に、本発明に係る実施形態について説明する。以下の実施形態では、本発明に係る変形装置が変形する対象の物体として平行平面板ガラスを例示する。但し、当該物体は、平行平面板ガラスに限られず、任意の部材であってもよい。当該物体は、板状または線状に構成されたものでありうる。一例として、当該物体は、望遠鏡やリソグラフィ装置（露光装置を含む）等の特性を補正するための部材（ミラーやガラスプレート、可変ブレードなど）であってもよい。

【0020】

＜第１実施形態＞
本発明に係る第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態の変形装置１００の構成例を示す概略図である。本実施形態の変形装置１００は、平行平面板ガラス１２０における複数の箇所をそれぞれ変位させることで平行平面板ガラス１２０を変形させる装置である。変形装置１００は、例えば、半導体デバイスの製造に用いられるリソグラフィ装置や、天文分野で用いられる望遠鏡などの光学特性を補正するための光学補正装置として適用されうる。なお、本明細書および図面では、平行平面板ガラス１２０の面（上面）に垂直な方向をＺ方向とするＸＹＺ座標系で方向を示す。また、平行平面板ガラス１２０は、Ｘ方向に伸びる辺とＹ方向に伸びる辺とを有する矩形形状であるものとし、以下では単に「板ガラス１２０」と表記することがある。

【0021】

変形装置１００は、板ガラス１２０における複数の変位対象箇所（作用点）をそれぞれＺ方向に変位させる複数の変位部Ａ１０１～Ａ１１２を備える。本実施形態の場合、複数の変位部Ａ１０１～Ａ１１２は、図１に示すように、板ガラス１２０のうちＸ方向に伸び且つ互いに対して反対側の２つの辺に対して６個ずつ設けられる。具体的には、６個の変位部Ａ１０１～Ａ１０６が－Ｙ方向側の辺に対してＸ方向に間隔をあけて配置されており、６個の変位部Ａ１０７～Ａ１１２が＋Ｙ方向側の辺に対してＸ方向に間隔をあけて配置されている。なお、本実施形態では、１２個の変位部Ａ１０１～Ａ１１２が変形装置１００に設けられているが、変位部の数は任意でありうる。

【0022】

また、変形装置１００は、複数の変位部Ａ１０１～Ａ１１２を制御することにより板ガラス１２０の変形を制御する制御部ＣＮＴを備える。制御部ＣＮＴは、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）などのプロセッサとメモリなどの記憶部とを含むコンピュータによって構成されうる。制御部ＣＮＴは、複数の変位部Ａ１０１～Ａ１１２の各々を個別に制御することにより、板ガラス１２０における複数の変位対象箇所の各々を個別にＺ方向に変位させ、板ガラス１２０を所望の形状に変形させることができる。

【0023】

［変位部の構成例］
次に、複数の変位部Ａ１０１～Ａ１１２の各々の構成例について、図２を参照しながら説明する。複数の変位部Ａ１０１～Ａ１１２は同じ構成を有しており、図２には、１個の変位部１３０の構成例が模式的に示されている。図２は、１個の変位部１３０を＋Ｘ方向側から見た図である。変位部１３０は、例えば、板ガラス１２０を保持する保持部ＨＤと、保持部ＨＤを駆動する駆動部ＤＲとを備えうる。なお、図２では、板ガラス１２０の端部のみが示されている。

【0024】

保持部ＨＤは、板ガラス１２０の変位対象箇所を保持する機構あり、例えば、Ｚスライド部１３１とクランプ部１３２とを含みうる。クランプ部１３２は、板ガラス１２０をクランプ（保持、把持）するための部材であり、Ｚスライド部１３１によって支持される。クランプ部１３２は、板ガラス１２０の変位対象箇所を上下方向（±Ｚ方向）から挟み込むように配置され、板ガラス１２０の変位対象箇所に力を与えて変位させる作用点となる。Ｚスライド部１３１は、駆動部ＤＲによってＺ方向に駆動される可動部であり、板ガラス１２０の変位対象箇所にクランプ部１３２を介して接続される。Ｚスライド部１３１は、例えばベアリング、レールおよびスライダによって構成された直動ガイド機構を用いたＺ直動ガイド１３６に搭載され、Ｚ直動ガイド１３６によってガイドされてＺ方向のみに移動することが可能となっている。

【0025】

駆動部ＤＲは、保持部ＨＤ（Ｚスライド部１３１）をＺ方向に駆動する機構（アクチュエータ）である。本実施形態では、駆動部ＤＲは、ボールナット１３３と、ボールねじ１３４と、モータ１３５とによって構成されうる。ボールナット１３３は、Ｚスライド部１３１の内部に配置（挿入）されており、ボールネジ１３４は、モータ１３５によって回転駆動される。モータ１３５によってボールネジ１３４が回転駆動されることで、ボールネジ１３４に沿ってボールナット１３３をＺ方向に移動させ、それに伴って、ボールナット１３３が内部に配置されたＺスライド部１３１をＺ方向に駆動することができる。モータ１３５およびＺ直動ガイド１３６は、例えば変形装置１００のフレームを構成する本体部１３７によって支持されている。ここで、本実施形態では、駆動部ＤＲとして、ボールナット１３３とボールねじ１３４とモータ１３５とを含むアクチュエータを用いたが、それに限られず、例えばリニアモータやエアシリンダなどの他のアクチュエータが用いられてもよい。

【0026】

このように、複数の変位部Ａ１０１～Ａ１１２の各々は、保持部ＨＤと駆動部ＤＲとを含むように構成される。つまり、変形装置１００は、板ガラス１２０における複数の変位対象箇所をそれぞれ保持する複数の保持部ＨＤ（即ち、複数のＺスライド部１３１（可動部））と、複数の保持部ＨＤをそれぞれ駆動して変位させる複数の駆動部ＤＲとを備える。これにより、制御部ＣＮＴは、複数の駆動部ＤＲの各々を個別に制御することにより、板ガラス１２０を所望の形状に変形することができる。

【0027】

ところで、板ガラス１２０に強制変位を与えて変形させる変形装置１００では、前述したように、板ガラス１２０の隣り合う変位対象箇所の変位差によっては、局所的に板ガラス１２０が大きく変形しうる。この場合において、板ガラス１２０の破壊応力以上の応力が板ガラス１２０に生じると、板ガラス１２０が破損しうる。そこで、本実施形態の変形装置１００は、制限機構ＬＭを備える。制限機構ＬＭは、板ガラス１２０の隣り合う変位対象箇所同士のＺ方向の変位差が許容範囲Ｒ内になるように、互いに隣り合うＺスライド部１３１同士（可動部同士）のＺ方向の相対的な位置ずれを機械的に制限する機構である。制限機構ＬＭは、互いに隣り合うＺスライド部１３１同士がＺ方向に所定の距離以上離れないように、当該互いに隣り合うＺスライド部１３１同士のＺ方向の相対位置を制限する機構として理解されてもよい。

【0028】

ここで、許容範囲Ｒは、前述したように、板ガラス１２０の破損を回避することができる変位差の範囲、換言すると、板ガラス１２０に生じる応力が当該板ガラス１２０の破壊応力以下となる変位差の範囲のことである。許容範囲Ｒは、例えば、実験やシミュレーション（例えば強度計算）などを用いて板ガラス１２０の破壊応力を事前に算出することによって事前に設定されうる。また、板ガラス１２０の隣り合う変位対象箇所とは、板ガラス１２０における複数の変位対象箇所のうち互いに隣り合う２つの変位対象箇所のことを示しており、以下では単に「隣り合う変位対象箇所」と表記することがある。

【0029】

［制限機構の構成例］
次に、制限機構ＬＭの構成例について、図３を参照しながら説明する。図３は、本実施形態の変形装置１００を－Ｙ方向側から見た図であり、複数の変位部Ａ１０１～Ａ１１２のうち板ガラス１２０の－Ｙ方向側の辺に対して設けられた６個の変位部Ａ１０１～Ａ１０６を示している。なお、図３では、図を分かり易くするため、各変位部Ａ１０１～Ａ１０６におけるＺスライド部１３１およびＺ直動ガイド１３６のみを抜き出して示しており、駆動部ＨＤなどの他の部品の図示を省略している。また、図３で示される制限機構ＬＭは、図１～図２では図示が省略されていただけである。

【0030】

制限機構ＬＭは、互いに隣り合うＺスライド部１３１（可動部）のうち一方に設けられた第１制限部材１３８（突き当り部）と、他方に設けられた第２制限部材１３９（突き当て部）とを有する。第１制限部材１３８は、当該他方に向かって当該一方から突出するように構成され、第２制限部材１３９は、当該一方に向かって当該他方から突出するように構成されうる。そして、第１制限部材１３８および第２制限部材１３９は、隣り合う変位対象箇所同士の変位差が許容範囲Ｒの限界に達したときに互いに突き当たることによって、互いに隣り合うＺスライド部１３１同士のＺ方向の相対的な位置ずれを制限するように配置される。

【0031】

例えば、変位部Ａ１０１～Ａ１０２に着目すると、変位部Ａ１０１～Ａ１０２のＺスライド部１３１同士の相対的な位置ずれを制限するための制限機構ＬＭが、変位部Ａ１０１のＺスライド部１３１と変位部Ａ１０２のＺスライド部１３１との間に設けられる。当該制限機構ＬＭでは、第１制限部材１３８が、変位部Ａ１０１のＺスライド部１３１における変位部Ａ１０２側の側面に取り付けられ、第２制限部材１３９が、変位部Ａ１０２のＺスライド部１３１における変位部Ａ１０１側の側面に取り付けられる。また、第１制限部材１３８は、第２制限部材１３９を上下方向（±Ｚ方向）に挟むように２つ配置され、２つの第１制限部材１３８によって凹型の形状が形成される。そして、第２制限部材１３９は、凹型の形状に配置された２つの第１制限部材１３８の間に挿入されるとともに、第２制限部材１３９のＺ方向の移動が２つの第１制限部材１３８の間に制限される。このような制限機構ＬＭの構成により、変位部Ａ１０１～Ａ１０２によって変位される隣り合う変位対象箇所同士の変位差が許容範囲Ｒ内になるように、変位部Ａ１０１～Ａ１０２のＺスライド部１３１同士のＺ方向の相対的な位置ずれを制限することができる。なお、変位部Ａ１０２～Ａ１０６の間、および、変位部Ａ１０７～Ａ１１２の間に設けられた制限機構ＬＭについても、変位部Ａ１０１～Ａ１０２の間と同様の構成を有する。

【0032】

ここで、第１制限部材１３８および第２制限部材１３９は、各Ｚスライド部１３１の一部として理解されてもよい。この場合、複数のＺスライド部１３１は、隣り合う変位対象箇所同士の変位差が許容範囲Ｒの限界値に達したときに、互いに隣り合うＺスライド部１３１同士が部分的に突き当たる（接触する）と解釈することができる。

【0033】

上述したように、本実施形態の変形装置１００では、第１制限部材１３８と第２制限部材１３９とで構成された制限機構ＬＭが設けられる。この制限機構ＬＭにより、隣り合う変位対象箇所同士のＺ方向の変位差が許容範囲Ｒ内に制限されるように、互いに隣り合うＺスライド部１３１同士のＺ方向の相対的な位置ずれが機械的に制限される。つまり、制限機構ＬＭは、隣り合うＺスライド部１３１同士の相対位置を制限するメカストッパとして機能する。このように制限機構ＬＭによって隣り合うＺスライド部１３１同士の相対位置が制限されるため、各駆動部ＤＲの制御エラーが生じた場合や、故障などによって各駆動部ＤＲが暴走した場合であっても、板ガラス１２０の破損を回避することができる。なお、制限機構ＬＭの第１制限部材１３８および第２制限部材１３９は、駆動部ＤＲ（モータ１３５）が出力可能な最大の推力によって互いに衝突した場合であっても変形（破損）しない程度の十分な機械的強度および剛性を有しているとよい。

【0034】

［制限機構の効果］
次に、制限機構ＬＭを設けることで得られる効果について、図４～図５を参照しながら説明する。図４は、図３と同様に、本実施形態の変形装置１００を－Ｙ方向側から見た図であり、複数の変位部Ａ１０１～Ａ１１２のうち板ガラス１２０の－Ｙ方向側の辺に対して設けられた６個の変位部Ａ１０１～Ａ１０６を示している。図４は、図３に示す状態に対し、隣り合うＺスライド部１３１同士をＺ方向にずらした状態を示している。具体的には、図４は、板ガラス１２０の中心位置の変位が変わらないように、変位部Ａ１０１～Ａ１０３のＺスライド部１３１を下方向（－Ｚ方向）に駆動し、変位部Ａ１０４～Ａ１０６のＺスライド部１３１を上方向（＋Ｚ方向）に駆動した状態を示している。図４の例では、板ガラス１２０の隣り合う変位対象箇所同士が許容範囲Ｒの限界に達した状態である。一方、図５は、図４に示す状態から、変位部Ａ１０１～Ａ１０６におけるＺスライド部１３１の位置関係を変えることなく全体的に下方向（－Ｚ方向）に駆動した状態を示している。

【0035】

ここで注目すべきことは、各変位部Ａ１０１～Ａ１０６において、許容範囲Ｒより大きい駆動ストロークで駆動部ＤＲによりＺスライド部１３１をＺ方向に駆動可能であることである。各変位部の駆動部ＤＲの駆動ストローク（駆動可能範囲）を個別に制限することで板ガラス１２０の破損を回避する従来の方法では、図４～図５に示されるように、板ガラス１２０の面形状の大きな変化を実現することは困難である。つまり、本実施形態の変形装置１００は、各変位部の駆動部ＤＲの駆動ストロークを十分大きくしつつも、隣り合う変位対象箇所同士の変位差に起因する板ガラス１２０の破損を回避（低減）することができる。

【0036】

＜第２実施形態＞
本発明に係る第２実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態を基本的に引き継ぐものであり、以下で言及する事項以外は第１実施形態に従いうる。

【0037】

図６は、本実施形態の変形装置１００を＋Ｚ方向から見た図である。本実施形態の変形装置１００は、制限機構ＬＭの第１制限部材１３８と第２制限部材１３９との接触を検知する検知部１４０を更に備える。検知部１４０は、信号線１４２（衝突信号ケーブル）によって第１制限部材１３８および第２制限部材１３９と電気的に接続されており、信号線１４２を流れる信号に基づいて第１制限部材１３８と第２制限部材１３９との接触を検知するように構成されうる。ここで、第１制限部材１３８および第２制限部材１３９が各Ｚスライド部１３１の一部として構成されている場合、検知部１４０は、複数のＺスライド部１３１の部分的な接触を検知するものとして理解されてもよい。

【0038】

また、制御部ＣＮＴは、信号線１４３（駆動ケーブル）によって各変位部Ａ１０１～Ａ１１２の駆動部ＤＲと電気的に接続されており、各変位部Ａ１０１～Ａ１１２の駆動部ＤＲを制御する。制御部ＣＮＴは、信号線１４４（検知信号ケーブル）によって検知部１４０とも電気的に接続されており、検知部１４０での検知結果を取得する。本実施形態の場合、制御部ＣＮＴは、第１制限部材１３８と第２制限部材１３９との接触が検知部１４０で検知された場合、各変位部Ａ１０１～Ａ１１２（各駆動部ＤＲ）による板ガラス１２０の変形を停止（中止）する。

【0039】

図７は、本実施形態の変形装置１００を－Ｙ方向側から見た図であり、板ガラス１２０の－Ｙ方向側の辺に対して設けられた６個の変位部Ａ１０１～Ａ１０６を示している。なお、図７では、図を分かり易くするため、本実施形態の説明で必要な構成要素のみを抜き出して示している。図７では、第１実施形態と同様の機能を有する構成要素に対して同じ符号が付与されており、当該構成要素についての詳細な説明については省略する。

【0040】

本実施形態の変形装置１００では、第１制限部材１３８および第２制限部材１３９はそれぞれ電極を有する。第１制限部材１３８の電極は、信号線１４２－１を介して検知部１４０に電気的に接続されている。第２制限部材１３９の電極は、信号線１４２－２を介して検知部１４０に電気的に接続されている。そして、第１制限部材１３８と第２制限部材１３９とが接触した場合に、電極同士も接触し、信号線１４２－１と信号線１４２－２とが電気的に接続される。検知部１４０は、信号線１４２－１と信号線１４２－２との電気的に接続により該信号線を流れる信号（例えば電流）に基づいて、第１制限部材１３８と第２制限部材１３９との接触を検知することができる。

【0041】

図７の例では、各変位部Ａ１０１～Ａ１０５に設けられた第１制限部材１３８の電極は、信号線１４２－１によって並列に検知部１４０に電気的に接続されている。各変位部Ａ１０２～Ａ１０６に設けられた第２制限部材１３９の電極は、信号線１４２－２によって並列に検知部１４０に電気的に接続されている。この場合、第１制限部材１３８と第２制限部材１３９とから成る組が複数構成され、当該複数の組のうちいずれかの組での第１制限部材１３８と第２制限部材１３９との接触を検知することができる。

【0042】

検知部１４０で第１制限部材１３８と第２制限部材１３９との接触を検知した場合、検知信号が信号線１４４を介して制御部ＣＮＴに送信される。この場合、制御部ＣＮＴは、検知信号の受信に応じて、各変位部Ａ１０１～Ａ１１２（各駆動部ＤＲ）を直ちに停止させる。このような構成により、隣り合う変位対象箇所同士の変位差が許容範囲Ｒの限界値に達した場合に板ガラス１２０の変形を直ちに停止（中止）し、板ガラス１２０に局所的に大きな応力が掛かること、即ち、板ガラス１２０の破損を回避することができる。

【0043】

ここで、本実施形態では、複数の第１制限部材１３８の各々と複数の第２制限部材１３９の各々に信号線（ケーブル）を接続し、当該信号線を検知部１４０まで実装をする必要がある。但し、第１制限部材１３８と第２制限部材１３９との接触の検知に応じて直ちに板ガラス１２０の変形が停止されるため、第１制限部材１３８および第２制限部材１３９の機械的強度は必要とされない。つまり、第１制限部材１３８および第２制限部材１３９は、第１実施形態と比べて小さくすることが可能となる。本実施形態の構成は、複数の変位部の配置が密な場合や、変形装置１００の小型化が求められる場合に特に有効である。

【0044】

［変形例］
以下、第２実施形態の変形例について説明する。図８は、図７と同様に、本実施形態の変形装置１００を－Ｙ方向側から見た図であり、板ガラス１２０の－Ｙ方向側の辺に対して設けられた６個の変位部Ａ１０１～Ａ１０６を示している。なお、図８では、図を分かり易くするため、本実施形態の説明で必要な構成要素のみを抜き出して示している。

【0045】

図８の例は、図７の例と比べて、信号線（ケーブル）の実装が異なる。図８の例では、各変位部Ａ１０１～Ａ１０５に設けられた第１制限部材１３８の電極は、信号線１４５によって直列に電気的に接続されている。各変位部Ａ１０２～Ａ１０６に設けられた第２制限部材１３９の電極は、信号線１４６によって直列に電気的に接続されている。このような構成では、２本の信号線１４５～１４６だけで第１制限部材１３８と第２制限部材１３９との接触を検知することができるため、構成（実装）がシンプルになるというメリットがある。

【0046】

＜第３実施形態＞
本発明に係る第３実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態を基本的に引き継ぐものであり、以下で言及する事項以外は第１実施形態に従いうる。また、本実施形態は、第２実施形態を引き継いでもよい。

【0047】

本実施形態の変形装置１００では、第１実施形態と比べて各変位部の構成が異なる。図９は、本実施形態における１個の変位部１３０’の構成例を模式的に示しており、１個の変位部１３０’を＋Ｘ方向側から見た図である。なお、図９では、第１～第２実施形態と同様の機能を有する構成要素に対して同じ符号が付与されており、当該構成要素についての詳細な説明については省略する。

【0048】

本実施形態の変位部１３０’では、例えば、クランプ部１３２と、Ｙスライド部１４９ａと、Ｚスライド部１４９ｂと、くさび直動ガイド１４７とが保持部ＨＤに含まれうる。Ｙスライド部１４９ａは、例えばベアリング、レールおよびスライダによって構成された直動ガイド機構を用いたＹ直動ガイド１４８に搭載され、Ｙ直動ガイド１４８によってガイドされてＹ方向のみに移動することが可能となっている。Ｚスライド部１４９ｂは、例えばベアリング、レールおよびスライダによって構成された直動ガイド機構を用いたＺ直動ガイド１３６に搭載され、Ｚ直動ガイド１３６によってガイドされてＺ方向のみに移動することが可能となっている。変位部１３０’は、Ｙスライド部１４９ａをＹ方向に駆動すると、くさび構造によってＺ方向に駆動方向が変換され、Ｚスライド部１４９ｂが上下方向（Ｚ方向）に駆動するように構成される。これにより、クランプ部１３２を介してＺスライド部１４９ｂによって保持された板ガラス１２０の変位対象箇所をＺ方向に駆動して変位させることができる。

【0049】

クランプ部１３２は、板ガラス１２０をクランプするための部材であり、Ｚスライド部１４９ｂによって支持される。Ｙスライド部１４９ａは、Ｙ直動ガイド１４８によってガイドされてＹ方向（第１方向）に移動可能な構造体（第１構造体）であり、駆動部ＤＲによって駆動される。Ｚスライド部１４９ｂは、Ｚ直動ガイド１３６によってガイドされてＺ方向（第２方向）に移動可能な構造体（第２構造体）である。Ｙスライド部１４９ａの上面およびＺスライド部１４９ｂの下面は、＋Ｙ方向に進むにつれて－Ｚ方向に向かって傾斜した傾斜面（くさびの傾斜面）として形成されている。

【0050】

Ｙスライド部１４９ａの上面とＺスライド部１４９ｂの下面との間には、くさび直動ガイド１４７が配置されている。くさび直動ガイド１４７の下側はＹスライド部１４９ａの上面に接続され、くさび直動ガイド１４７の上側はＺスライド部１４９ｂの下面に接続されている。くさび直動ガイド１４７は、傾斜面であるＹスライド部１４９ａの上面に沿って平行にＺスライド部１４９ｂを直線的にガイドして摺動させる。Ｙスライド部１４９ａがＹ方向に移動するとＹスライド部１４９ａとＺスライド部１４９ｂとの間の傾斜面の重なり量が変化する。結果として、Ｙスライド部１４９ａが駆動部ＤＲによってＹ方向に駆動されると、それに伴って、Ｚスライド部１４９ｂがＺ方向に駆動されることになる。つまり、Ｙスライド部１４９ａおよびＺスライド部１４９ｂに形成された傾斜面とくさび直動ガイド１４７により、Ｙ方向へのＹスライド部１４９ａの移動をＺ方向へのＺスライド部１４９ｂの移動に変換する変換機構（くさび機構）が構成される。

【0051】

このような変換機構は、Ｙ方向へのＹスライド部１４９ａの移動量（移動速度）に対してＺ方向へのＺスライド部１４９ｂの移動量（移動速度）が小さい場合に「減速機構」と呼ばれることがある。例えば、傾斜面の角度が１５°程度であれば、Ｙ方向の移動量に対してＺ方向の移動量が１／４程度に縮小される。この場合、板ガラス１２０の変位対象箇所を駆動して変位させる際の分解能を向上させることができるとともに、駆動に必要な力も小さくすることができる。

【0052】

Ｙスライド部１４９ａを駆動する駆動部ＤＲは、第１実施形態と同様に、ボールナット１３３と、ボールねじ１３４と、モータ１３５とで構成されうる。ボールナット１３３は、Ｙスライド部１４９ａの内部に配置（挿入）されており、ボールネジ１３４は、モータ１３５によって回転駆動される。モータ１３５によってボールネジ１３４が回転駆動されることで、ボールネジ１３４に沿ってボールナット１３３をＹ方向に移動させ、それに伴って、ボールナット１３３が内部に配置されたＹスライド部１４９ａをＹ方向に駆動することができる。また、本実施形態の駆動部ＤＲには、ボールネジ１３４を回転自在にガイド（支持）する回転ガイドＲＧが設けられる。回転ガイドＲＧは、例えばボールベアリング等で構成されうる。ここで、本実施形態では、駆動部ＤＲとして、ボールナット１３３とボールねじ１３４とモータ１３５とを含むアクチュエータを用いたが、それに限られず、例えばリニアモータやエアシリンダなどの他のアクチュエータが用いられてもよい。

【0053】

次に、制限機構ＬＭの構成例について、図１０を参照しながら説明する。図１０は、本実施形態の変形装置１００を＋Ｚ方向から見た図であり、複数の変位部Ａ１０１～Ａ１１２のうち板ガラス１２０の－Ｙ方向側の辺に対して設けられた３個の変位部Ａ１０１～Ａ１０３を抜き出して示している。なお、図１０では、本実施形態の説明で必要な構成要素のみを抜き出して示している。

【0054】

前述した第１実施形態では、Ｚ方向に移動可能なＺスライド部１３１に対して制限機構ＬＭ（第１制限部材１３８、第２制限部材１３９）が取り付けられたが、本実施形態では、Ｙ方向に移動可能なＹスライド部１４９ａに対して制限機構ＬＭが取り付けられる。制限機構ＬＭの構成は、基本的には第１実施形態で説明したとおりであるが、本実施形態の制限機構ＬＭは、Ｙ方向におけるＹスライド部１４９ａ同士の相対的な位置ずれを制限するように取り付けられる。具体的には、第１制限部材１３８は、第２制限部材１３９を左右方向（±Ｙ方向）に挟むように２つ配置され、２つの第１制限部材１３８によって凹型の形状が形成される。そして、第２制限部材１３９は、凹型の形状に配置された２つの第１制限部材１３８の間に挿入されるとともに、第２制限部材１３９のＹ方向の移動が２つの第１制限部材１３８の間に制限される。このような制限機構ＬＭの構成により、隣り合う変位対象箇所同士の変位差が許容範囲Ｒ内になるように、Ｙスライド部１４９ａ同士のＹ方向の相対的な位置ずれを制限することができる。

【0055】

図１１は、図１０と同様に、本実施形態の変形装置１００を＋Ｚ方向から見た図であり、３個の変位部Ａ１０１～Ａ１０３を抜き出して示している。図１１は、図１０に示す状態に対し、変位部Ａ１０３のＹスライド部１４９ａを－Ｙ方向に限界まで駆動した状態を示している。このとき、変位部Ａ１０３に設けられた第２制限部材１３９が変位部Ａ１０２に設けられた第１制限部材１３８に突き当たることで、変位部Ａ１０２～Ａ１０３のＹスライド部１４９ａ同士の相対的な位置ずれが制限される。

【0056】

ここで、第１実施形態では、Ｚ方向の駆動を制限する構成であったが、本実施形態では、Ｙ方向の駆動を制限する構成である。本実施形態の構成によれば、駆動制限範囲が広くなり、制限範囲の設定精度が緩和されるというメリットがある。例えば、Ｚ方向における位置ずれの制限を２０μｍに設定する場合、第１実施形態では、制限機構ＬＭにおける第１制限部材１３８と第２制限部材１３９との隙間を±１０μｍに設定し、更に、それらの位置関係も高精度（１μｍ程度）に設定しなくてはいけない。それに対し、本実施形態では、変換機構ににおけるＹ方向の移動量に対するＺ方向の移動量への縮小率が１／４であるとすると、制限機構ＬＭにおける第１制限部材１３８と第２制限部材１３９との隙間を、第１実施形態の４倍である±４０μｍで設定すればよい。つまり、本実施形態の構成では、変位部１３０’の組立調整が容易になるというメリットがある。また、変換機構によってＹ方向の駆動力が拡大されてＺ方向に伝わるため、Ｙスライド部１４９ａを駆動するためのＹ方向の駆動力を小さくすることができる。結果として、制限機構ＬＭにおいて第１制限部材１３８と第２制限部材１３９とが突き当たるときの力も小さくなるため、第１制限部材１３８および第２制限部材１３９の機械的強度および剛性を下げることができ、小型化が可能となるメリットもある。

【0057】

本実施形態では、Ｙスライド部１４９ａに対してのみ制限機構ＬＭを設ける構成を説明した。但し、それに限られず、Ｙスライド部１４９ａに加えて、または代わりに、Ｚスライド部１４９ｂに対して制限機構ＬＭを設けてもよい。

【0058】

＜第４実施形態＞
本発明に係る第４実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態を基本的に引き継ぐものであり、以下で言及する事項以外は第１実施形態に従いうる。また、本実施形態は、第２～第３実施形態を引き継いでもよい。

【0059】

図１２は、本実施形態の変形装置１００を－Ｙ方向側から見た図であり、板ガラス１２０の－Ｙ方向側の辺に対して設けられた３個の変位部Ａ１０１～Ａ１０３を抜き出して示している。なお、図１２では、図を分かり易くするため、本実施形態の説明で必要な構成要素のみを抜き出して示している。図１２では、第１実施形態と同様の機能を有する構成要素に対して同じ符号が付与されており、当該構成要素についての詳細な説明については省略する。

【0060】

本実施形態の変形装置１００は、図１２に示されるように、スイッチ１５０ａ～１５０ｂ（センサ）と検知部１５０（第２検知部）とを更に備える。各スイッチ１５０ａ～１５０ｂは、互いに隣り合うＺスライド部１３１の一方に設けられ、隣り合う変位対象箇所同士の変位差が許容範囲Ｒの限界に達したときに当該互いに隣り合うＺスライド部１３１の他方に接触するように配置される。そして、検知部１５０は、各スイッチ１５０ａ～１５０ｂからの信号に基づいて、各スイッチ１５０ａ～１５０ｂへの当該他方の接触を検知する。

【0061】

変位部Ａ１０１～Ａ１０２に着目すると、スイッチ１５０ａは、変位部Ａ１０１のＺスライド部１３１における変位部Ａ１０２側の側面から突出した第１支持部材１５１に設けられている。第１支持部材１５１は、スイッチ１５０ａを支持（保持）するための部材であり、前述した制限機構ＬＭの第２制限部材１３９と同様の構成を有しうる。第１支持部材１５１は、変位部Ａ１０１のＺスライド部１３１の一部として理解されてもよい。スイッチ１５０ａは、隣り合う変位対象箇所同士の変位差が許容範囲Ｒの限界に達したときに、変位部Ａ１０２のＺスライド部１３１に設けられた第１制限部材１３８に接触するように第１支持部材１５１に配置される。そして、スイッチ１５０ａは、内部に電気接点を有しており、第１制限部材１３８が接触してスイッチ１５０ａが押されると電気の導通状態が変わることで、第１制限部材１３８が接触したことを示す信号を出力する。なお、第１制限部材１３８は、変位部Ａ１０２のＺスライド部１３１における変位部Ａ１０１側の側面に取り付けられた部材であり、変位部Ａ１０２のＺスライド部１３１の一部として理解されてもよい。

【0062】

一方、スイッチ１５０ｂは、変位部Ａ１０２のＺスライド部１３１における変位部Ａ１０１側の側面から突出した第２支持部材１５２に設けられている。第２支持部材１５２は、スイッチ１５０ｂを支持（保持）するための部材であり、前述した制限機構ＬＭの第１制限部材１３８と同様の構成を有しうる。第２支持部材１５２は、変位部Ａ１０２のＺスライド部１３１の一部として理解されてもよい。スイッチ１５０ｂは、隣り合う変位対象箇所同士の変位差が許容範囲Ｒの限界に達したときに、変位部Ａ１０１のＺスライド部１３１の第１支持部材１５１に接触するように第２支持部材１５２に配置される。そしてスイッチ１５０ｂは、内部に電気接点を有しており、第１支持部材１５１が接触してスイッチ１５０ｂが押されると電気の導通状態が変わることで、第１支持部材１５１が接触したことを示す信号を出力する。

【0063】

検知部１５０は、スイッチ１５０ａ～１５０ｂからの信号に基づいて、スイッチ１５０ａへの第１制限部材１３８の接触、または、スイッチ１５０ｂへの第１支持部材１５１の接触を検知する。検知部１５０により各スイッチ１５０ａ～１５０ｂへの接触を検知した場合、検知信号が検知部１５０から制御部ＣＮＴに送信される。制御部ＣＮＴは、検知信号の受信に応じて、各変位部Ａ１０１～Ａ１１２（各駆動部ＤＲ）による板ガラス１２０の変形を直ちに停止（中止）させる。このような構成により、隣り合う変位対象箇所同士の変位差が許容範囲Ｒの限界値に達した場合に板ガラス１２０の変形を直ちに停止（中止）し、板ガラス１２０に局所的に大きな応力が掛かること、即ち、板ガラス１２０の破損を回避することができる。

【0064】

また、複数の変位部Ａ１０１～Ａ１１２において互いに隣り合うＺスライド部１３１ごとにスイッチ１５０ａ～１５０ｂが設けられている。そのため、検知部１５０は、どこの隣り合うＺスライド部１３１でスイッチ１５０ａ～１５０ｂへの接触が検知されたのかを判別（判断）することが可能となる。したがって、駆動を停止すべき変位部を選別し、その変位部の駆動部ＤＲのみを停止させることも可能となる。また、接触を検知したのちに復帰をする場合に、どの変位部の駆動部ＤＲをどの方向に駆動させればよいかの判断が容易となるメリットもある。

【0065】

本実施形態では、各スイッチ１５０ａ～１５０ｂとして、内部に電気接点を持ったスイッチを使用する例を説明したが、例えばフォトインタラプタなどの他の種類のスイッチを使用しても同様の効果を得ることができる。高精度な位置決めを要する精密光学装置などにおいては、フォトインタラプタなどの発熱をするスイッチを用いると熱歪による位置ずれがエラーの原因となるため、発熱しない電気接点を持った用いる方がよい場合もある。

【0066】

各スイッチ１５０ａ～１５０ｂとしては、一般にノーマリークローズのスイッチを採用するとよい。ノーマリーオープンのスイッチを採用した場合、何らかの影響で信号線が断線してしまったときに接触の検知ができないため、板ガラス１２０を破損してしまう可能性がある。一方、ノーマリークローズのスイッチを採用した場合、信号線が断線してしまったときに、接触を検知した状態と同じ状態に遷移する。そのため、駆動部ＤＲを停止して板ガラス１２０の破損を低減することができる。

【0067】

ここで、本実施形態では、スイッチ１５０ａ～１５０ｂを使用する例を説明したが、Ｚスライド部１３１のＺ方向の位置を検出するセンサ（検出部）を設けて、当該センサにより当該位置を常時モニター（検出）する構成であってもよい。この場合、制御部ＣＮＴは、センサの検出結果に基づいて、互いに隣り合うＺスライド部１３１同士の相対的な位置ずれを常時計算し、当該位置ずれが所定値に達した場合に、駆動部ＤＲによる板ガラス１２０の変形を停止しうる。この方式は、一般的に計算処理などがあるため、ソフトウェアで実現することになるが、バグがあった場合には機能しないため、安全性としては前述した実施形態の方式の方がよい。但し、組立調整が不要となるため、容易に実現できるといったメリットがある。なお、所定値は、例えば、隣り合う変位対象箇所同士の変位差が許容範囲Ｒの限界に達するときの当該位置ずれのことであり、実験やシミュレーションなどを用いて事前に設定されうる。

【0068】

図１３は、ロータリエンコーダ１５３をセンサ（検出部）としてモータ１３５のモータ軸に設けた構成例を示している。この構成例では、制御部ＣＮＴは、ロータリエンコーダ１５３によるモータ１３５の回転角の検出結果を信号線１５４を介して取得し、当該検出結果に基づいて、Ｚスライド部１３１のＺ方向の位置を取得（決定、算出）することができる。また、図１４は、リニアエンコーダＬＥをセンサ（検出部）として設けた構成例を示している。リニアエンコーダＬＥは、スケール１５５とヘッド１５６とを含む。スケール１５５は、Ｚスライド部１３１に取り付けられる。ヘッド１５６は、本体部１３７に取り付けられる。この構成例では、制御部ＣＮＴは、リニアエンコーダＬＭによるＺスライド部１３１のＺ方向の位置の検出結果を信号線１５４を介して取得することができる。なお、Ｚスライド部１３１のＺ方向の位置を検出する方法として、静電容量スイッチや光を用いた測距スイッチを用いても同様の効果を得ることができる。

【0069】

＜第５実施形態＞
本発明に係る第５実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態を基本的に引き継ぐものであり、以下で言及する事項以外は第１実施形態に従いうる。また、本実施形態は、第２～第４実施形態を引き継いでもよい。

【0070】

本実施形態の変形装置１００では、制限機構ＬＭとして、隣り合う変位対象箇所同士の変位差が許容範囲Ｒに収まるようにモータ１３５の回転量を制限する回転制限機構１６０が設けられうる。図１５（ａ）は、１個の変位部に設けられる駆動部ＤＲ（ボールナット１３３、ボールネジ１３４、モータ１３５）の構成例を示している。本実施形態の駆動部ＤＲに設けられる回転制限機構１６０は、一部に切欠部１６１ａを有する円盤部材１６１と、ストッパ１６２とを含みうる。円盤部材１６１は、モータ１３５の回転軸に取り付けらる。ストッパ１６２は、円盤部材１６１の切欠部１６１ａに配置（挿入）され、円盤部材１６１の回転量を制限する。この構成によっても、互いに隣り合うＺスライド部１３１同士のＺ方向の相対的な位置ずれを機械的に制限し、板ガラス１２０の破損を回避することができる。

【0071】

＜露光装置の実施形態＞
上記実施形態の変形装置１００が搭載される装置の構成例について説明する。上記実施形態の変形装置１００は、例えば、半導体デバイスの製造に用いられるリソグラフィ装置や天文分野で用いられる望遠鏡などの光学特性を補正するための光学補正装置として適用されうる。以下では、リソグラフィ装置の一種である露光装置に変形装置１００を適用する例を説明する。

【0072】

図１６は、露光装置２００の構成例を示す模式図である。露光装置２００は、半導体素子や液晶表示装置の製造工程であるリソグラフィ工程に採用され、基板Ｐ上にパターンを形成するリソグラフィ装置である。露光装置２００は、マスクＭ（原版）を通過した光で基板Ｐを露光することで、マスクＭのパターンを基板Ｐ上に転写することができる。本実施形態の露光装置２００は、ステップ・アンド・スキャン方式の露光装置（所謂、走査型露光装置）であるが、ステップ・アンド・リピート方式やその他の露光方式の露光装置であってもよい。

【0073】

露光装置２００は、照明光学系２０１と、マスクステージ２０２と、投影光学系２０３と、基板ステージ２０４とを有する。照明光学系２０１は、光源（不図示）からの光をマスクＭに照明する光学系であり、不図示のレンズ群やハエの目レンズ等から構成される。マスクＭには、基板Ｐに形成すべきパターンが形成されている。マスクＭは、マスクステージ２０２によって保持されており、基板Ｐは、基板ステージ２０４によって保持されている。マスクＭと基板Ｐとは、投影光学系２０３を介して、光学的にほぼ共役な位置に配置されている。

【0074】

投影光学系２０３は、物体面に配置されたマスクＭのパターン像を、像面に配置された基板Ｐ上に投影する光学系である。投影光学系２０３としては、反射系、屈折系、反射屈折系の光学系を適用することができる。本実施形態では、投影光学系２０３は、所定の投影倍率を有し、スリット光によりマスクＭに形成されたパターンを基板Ｐ上に投影する。そして、マスクステージ２０２および基板ステージ２０４を投影光学系２０３の物体面と平行な方向に、投影光学系２０３の投影倍率に応じた速度比で走査する。これにより、マスクＭのパターン像を基板Ｐ上に転写することができる。

【0075】

投影光学系２０３内の露光光路中には、上記実施形態の変形装置１００が配置されている。変形装置１００は、平行平面板ガラスを変形させるもので、基板Ｐ上に転写されるパターン像を補正するためのものである。例えば、変形装置１００は、平行平面板ガラスを変形することにより、投影光学系２０３の収差などの結像特性を補正することができる。これにより、基板上にデバイスを形成する際に必要なパターンの重ね合わせ精度を向上させることが可能となる。また、下地となる基板Ｐに形成されたパターンが歪んでしまっている場合にも、その歪みの形状に合わせて転写パターン像を補正することも可能である。その結果、性能の良い電子デバイスや表示装置を実現することが可能となる。

【0076】

＜物品の製造方法の実施形態＞
本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程（基板を露光する工程）と、潜像パターンが形成された基板を加工（現像）する工程と、加工された基板から物品を製造する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程（酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等）を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも１つにおいて有利である。

【0077】

＜実施形態のまとめ＞
本明細書の開示は、少なくとも以下の変形装置、露光装置、および物品の製造方法を含む。

【0078】

（項目１）
物体を変形させる変形装置であって、
前記物体における複数の箇所にそれぞれ接続された複数の可動部と、
前記複数の可動部をそれぞれ駆動して変位させる複数の駆動部と、
前記複数の駆動部の各々を制御することにより前記物体の変形を制御する制御部と、
前記複数の箇所のうち互いに隣り合う箇所同士の変位差が許容範囲内になるように、前記複数の可動部のうち互いに隣り合う可動部同士の相対的な位置ずれを機械的に制限する制限機構と、
を備えることを特徴とする変形装置。

【0079】

（項目２）
前記許容範囲は、前記物体の破損を回避することができる前記変位差の範囲に設定されている、ことを特徴とする項目１に記載の変形装置。

【0080】

（項目３）
前記制限機構は、前記互いに隣り合う可動部のうち一方に設けられた第１制限部材と、他方に設けられた第２制限部材とを有し、
前記第１制限部材および前記第２制限部材は、前記変位差が前記許容範囲の限界に達したときに互いに突き当たることによって前記位置ずれを機械的に制限するように配置されている、ことを特徴とする項目１又は２に記載の変形装置。

【0081】

（項目４）
前記第１制限部材は、前記他方に向かって前記一方から突出するように構成され、
前記第２制限部材は、前記一方に向かって前記他方から突出するように構成されている、ことを特徴とする項目３に記載の変形装置。

【0082】

（項目５）
前記制限機構は、前記第２制限部材を挟み込むように前記一方に設けられた２つの第１制限部材を有し、前記第２制限部材の移動を２つの前記第１制限部材の間に制限するように構成されている、ことを特徴とする項目３又は４に記載の変形装置。

【0083】

（項目６）
前記第１制限部材と前記第２制限部材との接触を検知する第１検知部を更に備え、
前記制御部は、前記第１検知部により前記接触が検知された場合に前記物体の変形の制御を停止する、ことを特徴とする項目３乃至５のいずれか１項目に記載の変形装置。

【0084】

（項目７）
前記第１検知部は、前記第１制限部材と前記第２制限部材との接触によって電気的に接続される信号線を含み、前記信号線を流れる信号に基づいて前記接触を検知する、ことを特徴とする項目６に記載の変形装置。

【0085】

（項目８）
前記複数の可動部の各々は、各駆動部により駆動されて第１方向に移動可能な第１構造体と、前記物体に接続され且つ前記第１方向とは異なる第２方向に移動可能な第２構造体と、前記第１方向への前記第１構造体の移動を前記第２方向への前記第２構造体の移動に変換する変換機構とを含み、
前記制限機構は、前記第１構造体に対して設けられている、ことを特徴とする項目１乃至７のいずれか１項目に記載の変形装置。

【0086】

（項目９）
前記複数の可動部の各々は、各駆動部により駆動されて第１方向に移動可能な第１構造体と、前記物体に接続され且つ前記第１方向とは異なる第２方向に移動可能な第２構造体と、前記第１方向への前記第１構造体の移動を前記第２方向への前記第２構造体の移動に変換する変換機構とを含み、
前記制限機構は、前記第２構造体に対して設けられている、ことを特徴とする項目１乃至８のいずれか１項目に記載の変形装置。

【0087】

（項目１０）
物体を変形させる変形装置であって、
前記物体における複数の箇所にそれぞれ接続された複数の可動部と、
前記複数の可動部をそれぞれ駆動して変位させる複数の駆動部と、
前記複数の駆動部の各々を制御することにより前記物体の変形を制御する制御部と、
前記複数の可動部のうち互いに隣り合う可動部の一方に設けられるとともに、前記複数の箇所のうち互いに隣り合う箇所同士の変位差が許容範囲の限界に達したときに前記互いに隣り合う可動部の他方が接触するように配置されたスイッチと、
前記スイッチへの前記他方の接触を検知する第２検知部と、
を備え、
前記制御部は、前記第２検知部で前記接触が検知された場合に前記物体の変形の制御を停止する、ことを特徴とする変形装置。

【0088】

（項目１１）
前記物体は、板状または線状の部材である、ことを特徴とする項目１乃至１０のいずれか１項目に記載の変形装置。

【0089】

（項目１２）
前記物体は、ガラスプレートである、ことを特徴とする項目１乃至１１のいずれか１項目に記載の変形装置。

【0090】

（項目１３）
基板を露光する露光装置であって、
原版のパターン像を前記基板に投影する投影光学系と、
物体を変形させる項目１乃至１２のいずれか１項目に記載の変形装置と、
を備え、
前記変形装置によって変形される前記物体は、前記投影光学系に含まれる光学素子である、ことを特徴とする露光装置。

【0091】

（項目１４）
項目１３に記載された露光装置を用いて基板を露光する露光工程と、
前記露光工程で露光された前記基板を加工する加工工程と、
前記加工工程で加工された前記基板から物品を製造する製造工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。

【0092】

発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。

【符号の説明】

【0093】

１００：変形装置、１２０：平行平面板ガラス、１３０：変位部、１３１：Ｚスライド部（可動部）、１３２：クランプ部、ＨＤ：保持部、ＤＲ：駆動部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】