特許 7550857 基板収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-05

(45)【発行日】2024-09-13

(54)【発明の名称】基板収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20240906BHJP

   B65D 85/30 20060101ALI20240906BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

B65D85/30 500

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2022534879

(86)(22)【出願日】2020-07-10

(86)【国際出願番号】 JP2020027104

(87)【国際公開番号】W WO2022009430

(87)【国際公開日】2022-01-13

【審査請求日】2023-06-26

(73)【特許権者】

【識別番号】000140890

【氏名又は名称】ミライアル株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106002

【弁理士】

【氏名又は名称】正林 真之

(74)【代理人】

【識別番号】100120891

【弁理士】

【氏名又は名称】林 一好

(74)【代理人】

【識別番号】100126000

【弁理士】

【氏名又は名称】岩池 満

(72)【発明者】

【氏名】松鳥 千明

【審査官】杢 哲次

(56)【参考文献】

【文献】特開２００５－１５３９６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－６４２７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１７２６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１６／０４７１６３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開平１１－７９２７４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｄ ８５／３０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記容器本体又は前記蓋体に取り付けられる部品と、を備え、
前記部品と前記容器本体又は前記蓋体又は他の前記部品との接続部分は、
前記容器本体又は前記蓋体又は他の前記部品への前記部品の圧入による位置決めがなされて互いに固定されて構成された圧入固定部と、
インパルス溶着により形成され、前記圧入固定部における位置決め及び固定を維持するインパルス溶着部と、を備え、
前記圧入固定部は、前記インパルス溶着部の外側の領域に位置している基板収納容器。

【請求項2】

前記圧入固定部は、凸状部材と、前記凸状部材が挿入される被挿入部とにより構成され、
前記凸状部材の基部が前記被挿入部の先端側部に圧入され位置決めされて固定されて、前記凸状部材の基部と前記被挿入部の先端側部とは前記圧入固定部を構成し、前記凸状部材の先端側部が前記被挿入部の基部にインパルス溶着されて、前記凸状部材の先端側部と前記被挿入部の基部とは前記インパルス溶着部を構成する請求項１に記載の基板収納容器。

【請求項3】

前記圧入固定部は、凸状部材と、前記凸状部材が挿入される被挿入部とにより構成され、
前記凸状部材が前記被挿入部に圧入され位置決めされて固定されて、前記凸状部材と前記被挿入部とは前記圧入固定部を構成し、
前記凸状部材の先端側部は、前記インパルス溶着部を構成しておらず、前記凸状部材とは異なる他の部分が前記インパルス溶着部を構成する請求項１に記載の基板収納容器。

【請求項4】

前記容器本体は、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有する壁部を有し、前記奥壁によって前記壁部の他端部が閉塞され、前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成され、
前記部品は、前記下壁に固定されて前記下壁と共に前記容器本体の底部を構成するボトムプレートである請求項１～請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。

【請求項5】

前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、
前記通気路に流入した気体を前記基板収納空間に供給する複数の開口部を有する気体噴出ノズル部と、を備え、
前記気体噴出ノズル部は、互いに接続される複数の前記部品により構成され、複数の前記部品の接続部分は、前記圧入固定部と、前記インパルス溶着部とを有する請求項１～請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウェーハからなる基板を収納して搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている（特許文献１～２参照）。

【0003】

容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。

【0004】

蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特表２００５－５３０３３１号公報

【文献】特開２０１８－１１３２９８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

基板収納容器においては、複数の熱可塑性樹脂部品が容器本体等に固定されて使用されることが多く、その固定の方法としては、スナップ方式、嵌め合わせ（圧入）、ネジ留め等の締結が行われてきた。しかし、基板収納容器に対する振動、外力、洗浄による急激な温度変化（膨張・収縮）等により、当該固定における“緩み・外れ”が生ずるおそれがある。

【0007】

これに対しては、熱可塑性樹脂の特性を生かし、溶着して固定する方法がある。その方法としては、超音波溶着を用いることが可能である。即ち、容器本体に対する熱可塑性樹脂部品の接合部に超音波振動と圧力を加えることにより、接合が行われる。

【0008】

しかし、超音波溶着の最大の問題点は、溶着により接合した部位からパーティクルが発生することである。具体的には、超音波の振動による摩擦により、溶融する前段階において細かな樹脂粉が発生する。樹脂粉は、溶融部の表面又は周囲に付着している状態になる。その状態では、樹脂粉は容易に脱落してパーティクルとなる。また、溶融後、溶融部の周囲においては、表面が粗い状態となり、この粗い表面の部分が脱落してパーティクルとなる。このようにパーティクルが発生することは、今後も微細化が進む半導体チップを生産する上では、致命的問題となる。

【0009】

基板収納容器の外側に超音波溶着をした場合であっても、基板収納容器を洗浄し乾燥する際に、基板収納容器の内側にパーティクルが回り込む可能性が非常に高く、また、洗浄装置の汚染にも繋がる。このため、基板収納容器の内側、外側のいずれに超音波溶着する場合を問わず、パーティクルによる悪影響のおそれがある。

【0010】

また、超音波溶着を行うために超音波振動を与える必要があるが、例えば圧入により、溶着させる部品同士の位置決めをした状態では、超音波振動は発生しない。このため、溶着させる部品同士の位置決めを緩くしておく必要がある。その結果、位置決め精度が低下する。また、超音波振動を与える際には、溶着させる部品同士に荷重を加えるため、部品が変形するおそれがある。

【0011】

本発明は、超音波溶着が行われずに製造され、パーティクルの発生が抑えられ、部品の位置決め精度が低下することが抑えられた基板収納容器を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明は、一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記容器本体又は前記蓋体に取り付けられる部品と、を備え、前記部品と前記容器本体又は前記蓋体又は他の前記部品との接続部分は、圧入による位置決めがなされて互いに固定されて構成された圧入固定部と、インパルス溶着により形成され、前記圧入固定部における位置決め及び固定を維持するインパルス溶着部と、を備える基板収納容器に関する。

【0013】

また、前記圧入固定部は、凸状部材と、前記凸状部材が挿入される被挿入部とにより構成され、前記凸状部材の基部が前記被挿入部の先端側部に圧入され位置決めされて固定されて、前記凸状部材の基部と前記被挿入部の先端側部とは前記圧入固定部を構成し、前記凸状部材の先端側部が前記被挿入部の基部にインパルス溶着されて、前記凸状部材の先端側部と前記被挿入部の基部とは前記インパルス溶着部を構成することが好ましい。

【0014】

また、前記圧入固定部は、凸状部材と、前記凸状部材が挿入される被挿入部とにより構成され、前記凸状部材が前記被挿入部に圧入され位置決めされて固定されて、前記凸状部材と前記被挿入部とは前記圧入固定部を構成し、前記凸状部材の先端側部は、前記インパルス溶着部を構成しておらず、前記凸状部材とは異なる他の部分が前記インパルス溶着部を構成することが好ましい。

【0015】

また、前記容器本体は、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有する壁部を有し、前記奥壁によって前記壁部の他端部が閉塞され、前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成され、前記部品は、前記下壁に固定されて前記下壁と共に前記容器本体の底部を構成するボトムプレートであることが好ましい。

【0016】

また、前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、前記通気路に流入した気体を前記基板収納空間に供給する複数の開口部を有する気体噴出ノズル部と、を備え、前記気体噴出ノズル部は、互いに接続される複数の前記部品により構成され、複数の前記部品の接続部分は、前記圧入固定部と、前記インパルス溶着部とを有することが好ましい。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、超音波溶着が行われずに製造され、パーティクルの発生が抑えられ、部品の位置決め精度が低下することが抑えられた基板収納容器を提供することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。

【図2】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す上方斜視図である。

【図3】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。

【図4】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す側方断面図である。

【図5】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の突出部８を示す斜視図である。

【図6】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の突出部８を示す分解斜視図である。

【図7】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の突出部８の突出部流路蓋部８２を示す分解斜視図である。

【図8】図５のＡ－Ａ線に沿った断面図である。

【図9】本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａの容器本体２Ａを示す底面図である。

【図10】本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａの容器本体２Ａを示す分解斜視図である。

【図11】本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａの容器本体２Ａの下壁２４Ａとボトムプレート２４４Ａとの接続部分を示す拡大斜視図である。

【図12】本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａの容器本体２Ａの下壁２４Ａとボトムプレート２４４Ａとの接続部分を示す拡大断面図である。

【図13】本発明の第３実施形態に係る基板収納容器の容器本体の下壁２４Ａとボトムプレート２４４Ａとの接続部分を示す拡大断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、第１実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。
図１は、基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、基板収納容器１の容器本体２を示す上方斜視図である。図３は、基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。図４は、基板収納容器１の容器本体２を示す側方断面図である。図５は、基板収納容器１の突出部８を示す斜視図である。図６は、基板収納容器１の突出部８を示す分解斜視図である。図７は、基板収納容器１の突出部８の突出部流路蓋部８２を示す分解斜視図である。図８は、図５のＡ－Ａ線に沿った断面図である。

【0020】

ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。主要な図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。

【0021】

また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。

【0022】

図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器として用いられたり、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板を輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成される。容器本体２は、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６（図２等参照）とを備えており、蓋体３は、蓋体側基板支持部としての図示しないフロントリテーナを備えている。

【0023】

容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。

【0024】

基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６が基板支持板状部５と一体成形されて設けられている。

【0025】

奥側基板支持部６（図２等参照）は、基板収納空間２７内において後述する図示しないフロントリテーナと対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。

【0026】

蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。図示しないフロントリテーナは、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。図示しないフロントリテーナは、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。

【0027】

図示しないフロントリテーナは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。図示しないフロントリテーナは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で保持する。

【0028】

基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。

【0029】

以下、各部について、詳細に説明する。
図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。

【0030】

第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。

【0031】

開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。

【0032】

図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。

【0033】

図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５は、容器本体２の剛性を高める。また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。

【0034】

図３に示すように、下壁２４の四隅には、通気路２１０（図５等参照）として、２種類の貫通孔である給気孔２４２と排気孔２４３が形成されている。本実施形態においては、下壁２４の前部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部の気体を排出するための排気孔２４３であり、後部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部に気体を給気するための給気孔２４２である。給気孔２４２としての貫通孔には、給気用フィルタ部９０が配置されており、排気孔２４３としての貫通孔には、排気用フィルタ部９１が配置されている。従って、給気用フィルタ部９０及び排気用フィルタ部９１の内部の気体の流路は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路２１０の一部を構成する。また、給気用フィルタ部９０と排気用フィルタ部９１とは、壁部２０に配置されており、給気用フィルタ部９０と排気用フィルタ部９１とにおいては、容器本体２の外部の空間と基板収納空間２７との間で気体が通過可能である。

【0035】

基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ一体成形されて設けられており、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に設けられている。具体的には、図４等に示すように、基板支持板状部５は、板部５１を有している。

【0036】

板部５１は、板状の略弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６それぞれに、上下方向Ｄ２に２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ～１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方には、もう一枚板部５１と平行に板状の部材５９が配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、当該挿入の際のガイドの役割をする部材である。

【0037】

また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と平行な板状のガイドの役割をする部材５９は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。図２等に示すように、板部５１の上面には、凸部５１１、５１２が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１、５１２の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。

【0038】

このような構成の基板支持板状部５は、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。

【0039】

図４に示すように、奥側基板支持部６は、奥側端縁支持部６０を有している。奥側端縁支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に、容器本体２と一体成形されて構成されている。

【0040】

奥側端縁支持部６０は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に配置された奥側端縁支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナと対をなすような位置関係を有している。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、奥側端縁支持部６０は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。

【0041】

図２等に示すように、奥壁２２は、気体噴出ノズル部としての突出部８を有している。突出部８は、図５、図６に示す突出部本体部８１と、図６に示す突出部本体部の全面を覆い、突出部本体部に固定される突出部流路蓋部８２及び突出部ノズル蓋部８３と、を有しており、容器本体２に取り付けられる部品を構成している。このような突出部８は、図２に示すように２つで対をなしており、リブ状に容器本体開口部２１へ向って突出し、平行に奥壁２２の上端部から下端部に至るまで延びている。即ち、突出部８は中空の柱状を有している。突出部８は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路２１０に流入した気体を、基板収納空間２７に供給する複数の開口部８０２と、複数の開口部８０２から均一化された流量で気体を流出可能とする気体流量均一化部と、を有する。

【0042】

気体流量均一化部は、具体的には、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路２１０と、開口部８０２との間に形成された分岐路であって、当該通気路２１０からの気体の流れを分岐させる分岐路８０１を有している。

【0043】

通気路２１０の上方向Ｄ２１へ延びる垂直方向延出部２１３の上端部と開口部８０２との間には、通気路２１０からのパージガスの流れを分岐させ気体流量均一化部を構成する分岐路８０１１が形成されている。具体的には、図６に示すように、突出部本体部８１は、１つの流入口８１１を有している。突出部本体部８１の前方向Ｄ１１には、分岐壁部８１２が設けられている。

【0044】

分岐壁部８１２によって分岐されたそれぞれの流れのパージガスの下流側には、吐出口８１４（図６参照）が形成されている。

【0045】

同様に、開口部８０２に至るまで、吐出口８１４及び吐出口８１４に対向する分岐壁部８１２がパージガスの流路を形成しており、このパージガスの流路は、あたかも、勝ち残り式トーナメント戦の対戦表のような形状を有する。本実施形態では、パージガスは、流入口８１１から開口部８０２までの間に３回分岐されて、開口部８０２から容器本体開口部２１へ向って流出される。なお、最下流に位置している吐出口８１４に対向する突出部本体部８１の部分は、分岐壁部８１２を有していない。

【0046】

また、突出部８は、洗浄液流入阻害部を有している。洗浄液流入阻害部は、図５に示すように、開口部８０２の近傍、より具体的には、開口部８０２の上側及び下側に、それぞれ前方向Ｄ１１へ進むにつれて下方向Ｄ２２に傾斜する傾斜庇８１５により構成されている。傾斜庇８１５は、互いに平行に延びている。傾斜庇８１５は、容器本体２を洗浄する際に、開口部８０２の近傍において開口部８０２から通気路２１０側への洗浄液の流入を阻む。

【0047】

突出部本体部８１と、突出部流路蓋部８２及び突出部ノズル蓋部８３との接続部分は、圧入による位置決めがなされて互いに固定されて構成された圧入固定部と、インパルス溶着により形成され、圧入固定部における位置決め及び固定を維持するインパルス溶着部と、を備えている。

【0048】

具体的には、図８に示す突出部本体部８１の、分岐路８０１が形成された部分である気体流量均一化部を構成する部分の上端部の開口を塞ぐように、突出部流路蓋部８２が突出部本体部８１の上端部の開口に圧入されて、突出部本体部８１に対する突出部流路蓋部８２の位置決めがなされて、突出部本体部８１と突出部流路蓋部８２とが互いに固定されている。

【0049】

即ち、突出部流路蓋部８２の開口の形状を有する部分の先端側部（下側端部８２０１）には、突出部本体部８１に設けられたピンのように図８の上方向へ突出するピン状部材８１０２を有する凸状部材の基部８１０１の部分が圧入により嵌合している。このように、圧入による嵌合により、位置決めがなされて互いに固定されている部分は、圧入固定部を構成する。また、突出部流路蓋部８２の開口の形状を有する部分の基部（上側部８２０２）には、ピン状部材８１０２が挿入され、上側部８２０２とピン状部材８１０２とは、インパルス溶着されておりインパルス溶着部を構成する。

【0050】

また、図８に示す突出部本体部８１の、開口部８０２が形成され傾斜庇８１５が設けられた部分の上端部の開口を塞ぐように、突出部ノズル蓋部８３が設けられている。突出部本体部８１と突出部ノズル蓋部８３とは、突出部本体部８１と突出部流路蓋部８２との固定と同様に、圧入固定部とインパルス溶着部とによって固定されている。

【0051】

図１に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、開口周縁部２８によって取り囲まれる位置関係で、容器本体開口部２１を閉塞可能である。

【0052】

蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、蓋体３の外周縁部を一周するように、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、蓋体３を一周するように配置されている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等である。

【0053】

蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、容器本体２のシール面２８１（図１参照）と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形する。即ち、蓋体３と容器本体２との間にシール部材４が介在することにより、蓋体３と開口周縁部２８とが互いに当接せずに離間した状態で、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。

【0054】

蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｂ、３２Ｂと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３２Ｂ、３２Ｂは、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。

【0055】

蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂ、３２Ｂを蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａ、３２Ａが蓋体３の上辺から上方向へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部３２Ｂ、３２Ｂが蓋体３の下辺から下方向へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部３１に固定される。

【0056】

蓋体３の内側（図１における蓋体３の後方向Ｄ１２の側）においては、収納空間２７の外方（前方向Ｄ１１）へ窪んだ凹部（図示せず）が形成されている。凹部（図示せず）及び凹部の外側の蓋体３の部分には、フロントリテーナ（図示せず）が固定されて設けられている。

【0057】

フロントリテーナ（図示せず）は、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）を有している。フロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、左右方向に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部は、上下方向に２５対並列した状態で設けられている。収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。

【0058】

上記構成の本実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
前述のように、突出部本体部８１と、他の部品である突出部流路蓋部８２、突出部ノズル蓋部８３との接続部分は、圧入による位置決めがなされて互いに固定されて構成された圧入固定部と、インパルス溶着により形成され、圧入固定部における位置決め及び固定を維持するインパルス溶着部と、を備える。

【0059】

上記構成により、位置決め精度を決める圧入を行った後に、外れ防止の溶融固定をインパルス溶着により行うため、安定的に生産される位置精度が高い基板収納容器１とすることが出来る。更に、インパルス溶着により物理的に加熱してカシメを行い、冷却するため、発塵を防止することが可能となる。また、部品同士や、容器本体に荷重をかける必要が無いため、部品に変形が発生することを防止することが可能となる。このため、クリーンで且つ寸法精度が高い基板収納容器１とすることが可能となる。

【0060】

また、ピン状部材８１０２を有する凸状部材の基部８１０１が、被挿入部の先端側部としての下側端部８２０１に圧入され位置決めされて固定されて、基部８１０１と下側端部８２０１とは圧入固定部を構成し、先端側部であるピン状部材８１０２が被挿入部の基部である上側部８２０２にインパルス溶着されて、ピン状部材８１０２と上側部８２０２とはインパルス溶着部を構成する。

【0061】

上記構成により、ピン状部材８１０２とその基部８１０１とで、インパルス溶着部と圧入固定部とを構成することができ、また、下側端部８２０１とその基部である上側部８２０２とで、圧入固定部とインパルス溶着部とを構成することができるため、圧入固定部とインパルス溶着部とを少ないスペースでコンパクトに構成することが可能となる。

【0062】

また、気体噴出ノズル部としての突出部８は、互いに接続される複数の部品である突出部本体部８１と、他の部品である突出部流路蓋部８２と、突出部ノズル蓋部８３とにより構成され、突出部本体部８１と、突出部流路蓋部８２、突出部ノズル蓋部８３との接続部分は、圧入固定部と、インパルス溶着部とを有する。これにより、突出部８を、クリーンで且つ寸法精度が高い気体噴出ノズル部とすることが可能となる。

【0063】

次に、本発明の第２実施形態について、図面を参照しながら説明する。図９は、基板収納容器１Ａの容器本体２Ａを示す底面図である。図１０は、基板収納容器１Ａの容器本体２Ａを示す分解斜視図である。図１１は、基板収納容器１Ａの容器本体２Ａの下壁２４Ａとボトムプレート２４４Ａとの接続部分を示す拡大斜視図である。図１２は、基板収納容器１Ａの容器本体２Ａの下壁２４Ａとボトムプレート２４４Ａとの接続部分を示す拡大断面図であり、図９のＣ－Ｃ線に沿った断面図である。

【0064】

第２実施形態では、圧入固定部とインパルス溶着部とにより構成される接続部分により容器本体２Ａに接続される部品が異なる。これ以外の構成については第１実施形態と同様であるため、同一の部材については、同一の符号を付して、説明を省略する。

【0065】

下壁２４Ａには、図９に示すように、ボトムプレート２４４Ａが固定されている。ボトムプレート２４４Ａは、下壁２４Ａの外面を構成する下面の中央部から、下壁２４Ａの左右の前端部、及び、下壁２４Ａの後端部の左右方向における中央部に向かってそれぞれ延び、且つ、当該下壁２４Ａの後端部の左右方向における中央に向かって延びている部分の途中の部分が、左右方向に向かってそれぞれ延びる形状を有する板状の部材により構成されている。下壁２４Ａとボトムプレート２４４Ａとの接続部分は、圧入による位置決めがなされて互いに固定されて構成された圧入固定部と、インパルス溶着により形成され、圧入固定部における位置決め及び固定を維持するインパルス溶着部と、を備えている。

【0066】

具体的には、ボトムプレート２４４Ａの周縁部であって、上述のようにそれぞれ延びている部分の端部は、上方向Ｄ２１（図１０～図１２における下方向）に突出する円筒形状の上方突出部２４５Ａを有している。上方突出部２４５Ａの先端側部（上側端部２４５１Ａ）には、下壁２４Ａから下方向に突出して一体成形されて設けられた固定用下方突出部２４６Ａのピンのように図１２の上方向へ突出するピン状部材２４６２Ａを有する凸状部材の基部２４６１Ａの部分が圧入により嵌合している。このように、圧入による嵌合により、位置決めがなされて互いに固定されている部分は、圧入固定部を構成する。

【0067】

また、図１２に示すように、上方突出部２４５Ａの基部（下側部２４５２Ａ）の内部には、貫通孔が形成されている。当該貫通孔には、ピン状部材２４６２Ａが挿入され、下側部２４５２Ａとピン状部材２４６２Ａとは、インパルス溶着されておりインパルス溶着部を構成する。インパルス溶着後のピン状部材２４６２Ａは、図１２において二点鎖線で示す形状を有している。

【0068】

上記構成の本実施形態に係る基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
前述のように、圧入固定部とインパルス溶着部により接続部分が構成される、容器本体２Ａに固定される部品は、下壁２４Ａに固定されて下壁と共に容器本体２Ａの底部を構成するボトムプレート２４４Ａである。この構成により、ボトムプレート２４４Ａが固定された容器本体２Ａを、クリーンで且つ寸法精度が高い容器本体とすることが可能となる。

【0069】

次に、本発明の第３実施形態について、図面を参照しながら説明する。図１３は、基板収納容器の容器本体の下壁２４Ａとボトムプレート２４４Ａとの接続部分を示す拡大断面図であり、図９のＢ－Ｂ線に沿った断面図である。

【0070】

第３実施形態では、圧入固定部とインパルス溶着部とにより構成される接続部分により容器本体に接続される部品が異なる。これ以外の構成については第２実施形態と同様であるため、同一の部材については、同一の符号を付して、説明を省略する。

【0071】

下壁２４Ａには、図１３に示すように、ボトムプレート２４４Ａが固定されている。下壁２４Ａとボトムプレート２４４Ａとの接続部分は、圧入による位置決めがなされて互いに固定されて構成された圧入固定部と、インパルス溶着により形成され、圧入固定部における位置決め及び固定を維持するインパルス溶着部と、を備えている。

【0072】

具体的には、ボトムプレート２４４Ａは、上方向Ｄ２１（図１３における下方向）に突出する円筒形状の上方突出部２４５Ｂを有している。上方突出部２４５Ｂの先端側部（上側端部２４５１Ｂ）には、下壁２４Ａから下方向に突出して一体成形されて設けられた固定用下方突出部２４６Ｂの図１３の上方向へ突出する円柱状部材２４６１Ｂが圧入により嵌合している。このように、圧入による嵌合により、位置決めがなされて互いに固定されている部分は、圧入固定部を構成する。

【0073】

また、上方突出部２４５Ｂを有しているボトムプレート２４４Ａの部分とは異なる他の部分２４５２Ｂには、貫通孔が形成されている。当該貫通孔には、固定用下方突出部２４６Ｂが設けられている下壁２４Ａの部分とは異なる他の部分に設けられたピン状部材２４６２Ｂが挿入され、他の部分２４５２Ｂとピン状部材２４６２Ｂとは、インパルス溶着されておりインパルス溶着部を構成する。インパルス溶着後のピン状部材２４６２Ｂは、図１３において二点鎖線で示す形状を有している。

【0074】

上記構成の本実施形態に係る基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
前述のように、円柱状部材２４６１Ｂの先端側部は、インパルス溶着部を構成しておらず、円柱状部材２４６１Ｂとは異なる他の部分であるピン状部材２４６２Ｂがインパルス溶着部を構成する。この構成により、圧入固定部とインパルス溶着部とを異なる部分において構成するため、設計の自由度が高められた基板収納容器とすることが可能となる。

【0075】

本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。

【0076】

例えば、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板の枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法に限定されない。また、本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハであったが、この値に限定されない。

【0077】

また、例えば、本実施形態においては、容器本体と、容器本体に取り付けられる部品であるボトムプレート２４４Ａとの接続部分は、圧入固定部とインパルス溶着部とを備えていた。また、容器本体に取り付けられる部品である突出部本体部８１と、他の部品である突出部流路蓋部８２、突出部ノズル蓋部８３との接続部分は、圧入固定部とインパルス溶着部とを備えていたが、これらの構成に限定されない。部品が蓋体に取り付けられる部品であってもよく、この場合には、当該部品と蓋体との接続部分は、圧入固定部とインパルス溶着部とを備えていてもよい。

【0078】

また、奥側基板支持部は、本実施形態では基板支持板状部５の板部５１の後端部に、容器本体２と一体成形されて構成された奥側端縁支持部６０を有していたが、この構成に限定されない。例えば、奥側基板支持部は、容器本体と一体成形されて構成されておらず、別体として構成されてもよい。

【0079】

また、本実施形態では、下壁２４の前部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部の気体を排出するための排気孔２４３であり、後部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部に気体を給気するための給気孔２４２であったが、この構成に限定されない。例えば、下壁の前部の２箇所の貫通孔の少なくとも１つについても、容器本体の内部に気体を給気するための給気孔としてもよい。

【符号の説明】

【0080】

１ 基板収納容器
２ 容器本体
３ 蓋体
８ 突出部（部品、気体噴出ノズル部）
２０ 壁部
２１ 容器本体開口部
２２ 奥壁
２３ 上壁
２４ 下壁
２５ 第１側壁
２６ 第２側壁
２７ 基板収納空間
２８ 開口周縁部
２１０ 通気路
２４４Ａ ボトムプレート（部品）
８０２ 開口部
２４５１Ａ 上側端部（圧入固定部、被挿入部）
２４５１Ｂ 上側端部（圧入固定部、被挿入部）
２４５２Ａ 下側部（インパルス溶着部、被挿入部）
２４５２Ｂ 他の部分（インパルス溶着部、被挿入部）
２４６１Ａ 基部（圧入固定部、凸状部材）
２４６１Ｂ 円柱状部材（圧入固定部、凸状部材）
２４６２Ａ ピン状部材（インパルス溶着部、凸状部材）
２４６２Ｂ ピン状部材（インパルス溶着部、凸状部材）
８１０１ 基部（圧入固定部、凸状部材）
８１０２ ピン状部材（インパルス溶着部、凸状部材）
８２０１ 下側端部（圧入固定部、被挿入部）
８２０２ 上側部（インパルス溶着部、被挿入部）
Ｗ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】