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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-09-06
(45)【発行日】2024-09-17
(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法
(51)【国際特許分類】
B41J 2/14 20060101AFI20240909BHJP
B41J 2/16 20060101ALI20240909BHJP
【ＦＩ】
B41J2/14 613
B41J2/14 501
B41J2/14 607
B41J2/16 401
B41J2/16 201
B41J2/16 509
【請求項の数】
12
(21)【出願番号】P 2020003024
(22)【出願日】2020-01-10
(65)【公開番号】P2021109385
(43)【公開日】2021-08-02
【審査請求日】2023-01-06
(73)【特許権者】
【識別番号】000001007
【氏名又は名称】キヤノン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002860
【氏名又は名称】弁理士法人秀和特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】筒井 暁
(72)【発明者】
【氏名】石塚 一成
(72)【発明者】
【氏名】堀内 勇
(72)【発明者】
【氏名】浜出 陽平
(72)【発明者】
【氏名】石井 美穂
【審査官】長田 守夫
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１８－１１４７４９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平９－１３１８６７（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２００７／００７６０５８（ＵＳ，Ａ１）
【文献】特開２０１１－１２６１０２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００５－８６５２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－１５８１８９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－２８０２２９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平６ー９９５７８（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第９７／３７８５１（ＷＯ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ４１Ｊ ２／０１－２／２１５
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板と、前記基板の基板面上に設けられ液体の流路を形成する流路形成部材と、前記流路形成部材上に設けられ液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、を備えた液体吐出ヘッドであって、前記吐出口形成部材と前記流路形成部材とは異なる材料で形成され、
前記基板面に対して垂直な方向において、前記吐出口形成部材の厚さよりも前記流路形成部材の厚さが大きく、
前記吐出口形成部材が、感光性樹脂組成物の硬化物であり、
前記流路形成部材が、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂からなる群より選ばれる少なくとも一つの樹脂を含有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項2】
前記ポリエーテルイミド樹脂及び前記ポリエーテルアミドイミド樹脂が、熱可塑性樹脂である、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項3】
前記ポリエーテルイミド樹脂及び前記ポリエーテルアミドイミド樹脂の重量平均分子量が、５０００～１０００００である、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項4】
前記感光性樹脂組成物が、カチオン重合型のエポキシ樹脂を含む、請求項１～３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項5】
前記感光性樹脂組成物が、１分子中に二つ以上のエポキシ基を有するカチオン重合型エポキシ樹脂を含む、請求項１～４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項6】
前記感光性樹脂組成物が、ネガ型組成物である、請求項１～５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項7】
前記感光性樹脂組成物が、光酸発生剤を含有する、請求項１～６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項8】
前記ポリエーテルイミド樹脂及び前記ポリエーテルアミドイミド樹脂の吸水率が、前記感光性樹脂組成物の硬化物の吸水率よりも小さい、請求項１～７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項9】
前記吐出口形成部材上に撥液層が形成されている、請求項１～８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項10】
基板と、前記基板の基板面上に設けられ液体の流路を形成する流路形成部材と、前記流路形成部材上に設けられ液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記基板の上に、液体の流路を形成する流路形成部材を形成する工程と、
前記流路形成部材の上に、液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材を形成する工程と、を含み、
前記吐出口形成部材と前記流路形成部材とは異なる材料で形成され、
前記基板面に対して垂直な方向において、前記吐出口形成部材の厚さよりも前記流路形成部材の厚さが大きく、
前記吐出口形成部材が、感光性樹脂組成物の硬化物であり、
前記流路形成部材が、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂からなる群より選ばれる少なくとも一つの樹脂を含有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項11】
前記流路形成部材が、ポリエーテルアミドイミド樹脂を含有する、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項12】
前記流路形成部材が、ポリエーテルアミドイミド樹脂を含有する、請求項１０に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
液体吐出ヘッドはインクジェット記録装置などの液体吐出装置に用いられ、流路形成部材と基板とを有する。流路形成部材は基板上に設けられており、液体の流路を形成している。基板には液体供給口が形成されており、また表面側にエネルギー発生素子を有する。
液体は液体供給口から流路に供給され、エネルギー発生素子でエネルギーを与えられ、流路形成部材上に設けられた吐出口形成部材の液体吐出口から吐出されて紙などの記録媒体に着弾する。
また、基板上には、エネルギー発生素子を覆う絶縁層や保護層、又はその他の様々な目的で、多くの場合、無機材料層が設けられている。一方、基板上の流路形成部材やその他の構造物を有機材料層で形成することが知られている。特に、有機材料層を感光性樹脂で形成すると、フォトリソグラフィーによって高精度な形成を行うことができる。
液体は液体供給口から流路に供給され、エネルギー発生素子でエネルギーを与えられ、流路形成部材上に設けられた吐出口形成部材の液体吐出口から吐出されて紙などの記録媒体に着弾する。
また、基板上には、エネルギー発生素子を覆う絶縁層や保護層、又はその他の様々な目的で、多くの場合、無機材料層が設けられている。一方、基板上の流路形成部材やその他の構造物を有機材料層で形成することが知られている。特に、有機材料層を感光性樹脂で形成すると、フォトリソグラフィーによって高精度な形成を行うことができる。
【0003】
例えば、特許文献１に記載された液体吐出ヘッドの製造方法では、液体流路となる感光性樹脂層のドライフィルムをラミネート法により、無機材料層を有する基板上に成膜し、流路の形状に露光する。次に、吐出口と流路を連結するノズル部及び吐出口となる感光性樹脂層のドライフィルムを流路となる感光性樹脂層上に積層し、吐出口形状に露光した後、各感光性樹脂層の未硬化部を現像により一括で除去し、流路、ノズル部、吐出口を形成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２０１３－０１８２７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、例えば、インクジェット画像記録に対する要望が高度化するに伴って、インクに要望される性能もまた高度化しており、記録物への定着性の観点から高沸点の溶剤を、インク中に添加する機会が増えている。
このようにして得られるインク種は、エポキシ樹脂などからなる感光性樹脂層に浸透して流路形成部材を変形させてしまうことがある。
従って、このインク種を用いた場合、特許文献１の構成では、流路形成部材の変形が、従来用いられるインク種以上のペースで進行することが考えられ、長期的信頼性の観点において改善の余地がある。
例えば、インクジェットヘッドの長期間に亘る使用によって、流路形成部材が基板から剥がれる可能性や、所望のインク吐出性能が得られない可能性がある。
本開示では、浸透性が高い液体を用いても、流路形成部材への液体の浸透を防ぐことによって流路形成部材の基板からの剥離を抑制することができ、高い信頼性が確保できる液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
このようにして得られるインク種は、エポキシ樹脂などからなる感光性樹脂層に浸透して流路形成部材を変形させてしまうことがある。
従って、このインク種を用いた場合、特許文献１の構成では、流路形成部材の変形が、従来用いられるインク種以上のペースで進行することが考えられ、長期的信頼性の観点において改善の余地がある。
例えば、インクジェットヘッドの長期間に亘る使用によって、流路形成部材が基板から剥がれる可能性や、所望のインク吐出性能が得られない可能性がある。
本開示では、浸透性が高い液体を用いても、流路形成部材への液体の浸透を防ぐことによって流路形成部材の基板からの剥離を抑制することができ、高い信頼性が確保できる液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示は、
基板と、前記基板上に設けられ液体の流路を形成する流路形成部材と、前記流路形成部材上に設けられ液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、を備えた液体吐出ヘッドであって、
前記吐出口形成部材と前記流路形成部材とは異なる材料で形成され、
前記基板面に対して垂直な方向において、前記吐出口形成部材の厚さよりも前記流路形成部材の厚さが大きく、
前記吐出口形成部材が、感光性樹脂組成物の硬化物であり、
前記流路形成部材が、ポリエーテルアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂からなる群より選ばれる少なくとも一つの樹脂を含有することを特徴とする液体吐出ヘッドに関する。
基板と、前記基板上に設けられ液体の流路を形成する流路形成部材と、前記流路形成部材上に設けられ液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、を備えた液体吐出ヘッドであって、
前記吐出口形成部材と前記流路形成部材とは異なる材料で形成され、
前記基板面に対して垂直な方向において、前記吐出口形成部材の厚さよりも前記流路形成部材の厚さが大きく、
前記吐出口形成部材が、感光性樹脂組成物の硬化物であり、
前記流路形成部材が、ポリエーテルアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂からなる群より選ばれる少なくとも一つの樹脂を含有することを特徴とする液体吐出ヘッドに関する。
【0007】
また、本開示は、
基板と、前記基板上に設けられ液体の流路を形成する流路形成部材と、前記流路形成部材上に設けられ液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記基板の上に、液体の流路を形成する流路形成部材を形成する工程と、
前記流路形成部材の上に、液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材を形成する工程と、を含み、
前記吐出口形成部材と前記流路形成部材とは異なる材料で形成され、
前記基板面に対して垂直な方向において、前記吐出口形成部材の厚さよりも前記流路形成部材の厚さが大きく、
前記吐出口形成部材が、感光性樹脂組成物の硬化物であり、
前記流路形成部材が、ポリエーテルアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂からなる群より選ばれる少なくとも一つの樹脂を含有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
基板と、前記基板上に設けられ液体の流路を形成する流路形成部材と、前記流路形成部材上に設けられ液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記基板の上に、液体の流路を形成する流路形成部材を形成する工程と、
前記流路形成部材の上に、液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材を形成する工程と、を含み、
前記吐出口形成部材と前記流路形成部材とは異なる材料で形成され、
前記基板面に対して垂直な方向において、前記吐出口形成部材の厚さよりも前記流路形成部材の厚さが大きく、
前記吐出口形成部材が、感光性樹脂組成物の硬化物であり、
前記流路形成部材が、ポリエーテルアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂からなる群より選ばれる少なくとも一つの樹脂を含有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
【発明の効果】
【0008】
本開示によれば、浸透性が高い液体を用いても、流路形成部材への液体の浸透を防ぐことによって流路形成部材の基板からの剥離を抑制することができ、高い信頼性が確保できる液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図2】樹脂構造物の製造方法の一例を示す模式断面図
【図3】液体吐出ヘッドの製造方法の例を示す模式断面図
【図4】液体吐出ヘッドの製造方法の例を示す模式断面図
【図5】液体吐出ヘッドの製造方法の例を示す模式断面図
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、図面を参照して、この開示を実施するための形態を、具体的に例示する。ただし、この形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状それらの相対配置などは、開示が適用される部材の構成や各種条件により適宜変更されるべきものである。すなわち、この開示の範囲を以下の形態に限定する趣旨のものではない。
また、本開示において、数値範囲を表す「ＸＸ以上ＹＹ以下」や「ＸＸ～ＹＹ」の記載は、特に断りのない限り、端点である下限及び上限を含む数値範囲を意味する。
また、数値範囲が段階的に記載されている場合、各数値範囲の上限及び下限は任意に組み合わせることができる。
また、以下の説明では、同一の機能を有する構成には図面中に同一の番号を付し、その説明を省略する場合がある。
また、本開示において、数値範囲を表す「ＸＸ以上ＹＹ以下」や「ＸＸ～ＹＹ」の記載は、特に断りのない限り、端点である下限及び上限を含む数値範囲を意味する。
また、数値範囲が段階的に記載されている場合、各数値範囲の上限及び下限は任意に組み合わせることができる。
また、以下の説明では、同一の機能を有する構成には図面中に同一の番号を付し、その説明を省略する場合がある。
【0011】
図１（Ａ）は、液体吐出ヘッドの構成の一例を示す模式斜図である。また、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）におけるＡ－Ａ’を通る、基板に垂直な面で見た、液体吐出ヘッドの模式
断面図の一実施形態である。
図１に示す液体吐出ヘッドは、液体を吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子２が所定のピッチで形成された基板１を有する。基板１は、例えばシリコンで形成されている。
エネルギー発生素子２としては、電気熱変換素子や圧電素子が挙げられる。エネルギー発生素子２は、基板１の表面に接するように設けられていても、基板１の表面に対して一部中空状に設けられていてもよい。エネルギー発生素子２には、そのエネルギー発生素子２を動作させるための制御信号入力電極（不図示）が接続されている。また、基板１にはインクなどの液体を供給する供給口３が開口されている。
断面図の一実施形態である。
図１に示す液体吐出ヘッドは、液体を吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子２が所定のピッチで形成された基板１を有する。基板１は、例えばシリコンで形成されている。
エネルギー発生素子２としては、電気熱変換素子や圧電素子が挙げられる。エネルギー発生素子２は、基板１の表面に接するように設けられていても、基板１の表面に対して一部中空状に設けられていてもよい。エネルギー発生素子２には、そのエネルギー発生素子２を動作させるための制御信号入力電極（不図示）が接続されている。また、基板１にはインクなどの液体を供給する供給口３が開口されている。
【0012】
基板１の表面側には、無機材料層４と保護層５が形成されている。基板１としては、シリコンで形成されたシリコン基板が挙げられる。シリコン基板はシリコンの単結晶で、表面の結晶方位が（１００）であることが好ましい。無機材料層４としては、酸化シリコン（ＳｉＯ２）、窒化シリコン（ＳｉＮ）、炭化シリコン（ＳｉＣ）及び炭窒化シリコン（ＳｉＣＮ）、炭酸化シリコン（ＳｉＯＣ）などが挙げられる。
図１においては、無機材料層４は、蓄熱層や絶縁層として用いられている。保護層５は、エネルギー発生素子を保護するものであり、例えば、ＴａやＩｒで形成されている。無機材料層４は、エネルギー発生素子を覆っていてもよい。
図１においては、無機材料層４は、蓄熱層や絶縁層として用いられている。保護層５は、エネルギー発生素子を保護するものであり、例えば、ＴａやＩｒで形成されている。無機材料層４は、エネルギー発生素子を覆っていてもよい。
【0013】
図１においては、無機材料層４は、基板１の表面（基板面２０）のほぼ全面に形成されている。無機材料層４上には、基板１の基板面２０上に設けられ、液体の流路を形成する流路形成部材６によって流路７が形成されている。さらに、流路形成部材６上に設けられ液体を吐出する吐出口８を有する吐出口形成部材１０が形成されている。吐出口形成部材１０は、吐出口８に連通する液体の流路（ノズル部９）を有する。また、必要に応じて吐出口形成部材１０上に撥液層１１が形成されている。
この液体吐出ヘッドは、供給口３から流路７を通って供給されるインクなどの液体を、エネルギー発生素子２によって発生する圧力を加えることによって、ノズル部９を介して吐出口８から液滴として吐出させる。
この液体吐出ヘッドは、供給口３から流路７を通って供給されるインクなどの液体を、エネルギー発生素子２によって発生する圧力を加えることによって、ノズル部９を介して吐出口８から液滴として吐出させる。
【0014】
次に、図２、図３を用いて、液体吐出ヘッドの製造方法について具体的に例示する。
図２に、流路形成部材を形成する、ポリエーテルアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂からなる群より選ばれる少なくとも一つの樹脂を含む樹脂構造物の製造方法の一例を示す。
図３は、液体吐出ヘッドの製造方法の一例を示す模式断面図である。ここでは、インクジェットヘッドの製造方法の一例を示す。図３は、完成した状態で図１（Ｂ）と同じく、基板に垂直な面で見た、断面構造を示す。
図２に、流路形成部材を形成する、ポリエーテルアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂からなる群より選ばれる少なくとも一つの樹脂を含む樹脂構造物の製造方法の一例を示す。
図３は、液体吐出ヘッドの製造方法の一例を示す模式断面図である。ここでは、インクジェットヘッドの製造方法の一例を示す。図３は、完成した状態で図１（Ｂ）と同じく、基板に垂直な面で見た、断面構造を示す。
【0015】
まず、図２（ａ）に示すようにポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリイミドなどからなるフィルム１２を用意する。次に、図２（ｂ）に示すように、ポリエーテルアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂からなる群より選ばれる少なくとも一つの樹脂（流路形成部材用樹脂１３）をフィルム１２に塗布する。
塗布方法としては、スピンコート法やスリットコート法などを用いるとよい。流路形成部材用樹脂１３を塗布後、プリベークを行うことで、流路形成部材用樹脂１３を有する樹脂構造物を作製する。
塗布方法としては、スピンコート法やスリットコート法などを用いるとよい。流路形成部材用樹脂１３を塗布後、プリベークを行うことで、流路形成部材用樹脂１３を有する樹脂構造物を作製する。
【0016】
ポリエーテルアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂からなる群より選ばれる少なくとも一つの樹脂（流路形成部材用樹脂１３）は、高耐熱及び高密着の観点から、熱可塑性樹脂であることが望ましい。
また、ポリエーテルアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、５０００～１０００００であることが好ましく、２
００００～５００００であることがより好ましい。
ポリエーテルアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、解像性及び溶剤に対する溶解性の観点から、１０００００以下であることが好ましい。一方、塗布性及び皮膜性の観点から５０００以上であることが好ましい。
ポリエーテルアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂は、加工性が良好であり、かつ液体などに対する吸水性も低いことから、液体吐出ヘッドの流路形成部材として使用するのに適している。
ポリエーテルアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂の吸水率は、感光性樹脂組成物の硬化物の吸水率よりも小さいことが好ましい。
また、ポリエーテルアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、５０００～１０００００であることが好ましく、２
００００～５００００であることがより好ましい。
ポリエーテルアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、解像性及び溶剤に対する溶解性の観点から、１０００００以下であることが好ましい。一方、塗布性及び皮膜性の観点から５０００以上であることが好ましい。
ポリエーテルアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂は、加工性が良好であり、かつ液体などに対する吸水性も低いことから、液体吐出ヘッドの流路形成部材として使用するのに適している。
ポリエーテルアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂の吸水率は、感光性樹脂組成物の硬化物の吸水率よりも小さいことが好ましい。
【0017】
ここで、基板面２０に対して垂直な方向において、吐出口形成部材の厚さよりも流路形成部材の厚さは大きくなるように設計する。これにより、吐出時に主滴以外の液滴を軽減できるなど良好な吐出特性が得られる。
基板面２０に対して垂直な方向において、流路形成部材用樹脂１３の厚さは流路の高さに相当する。流路形成部材用樹脂１３の厚さは吐出口形成部材の厚さよりも大きくなるよう、液体吐出ヘッドの吐出設計により適宜決定するとよいが、例えば、３．０μｍ～２５．０μｍとすることが好ましい。また、流路形成部材の厚さは、５．０μｍ～２４．０μｍとすることがより好ましい。
基板面２０に対して垂直な方向において、流路形成部材用樹脂１３の厚さは流路の高さに相当する。流路形成部材用樹脂１３の厚さは吐出口形成部材の厚さよりも大きくなるよう、液体吐出ヘッドの吐出設計により適宜決定するとよいが、例えば、３．０μｍ～２５．０μｍとすることが好ましい。また、流路形成部材の厚さは、５．０μｍ～２４．０μｍとすることがより好ましい。
【0018】
以下、具体的な、製造方法を説明するがこれらに限定されるわけではない。
図３（ａ）に示すように、エネルギー発生素子２を表面側（基板面２０側）に有する基板１を用意する。
次に、図３（ｂ）に示すように、エネルギー発生素子２を被覆するように、基板１の表面側（基板面上）に無機材料層４を形成する。また、エネルギー発生素子２の上方に保護層５を形成する。無機材料層４及び保護層５は、必要に応じてパターニングを行う。
次に、図３（ｃ）に示すように、基板を貫通し、インクを供給する供給口３を形成する。供給口３は、ＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド）などのアルカリ系のエッチング液によるウェットエッチングや、反応性イオンエッチングなどのドライエッチングを用いて、所望の位置に形成する。
次に、図３（ｄ）に示すように、図２で説明した、流路形成部材用樹脂１３を有する樹脂構造物をエネルギー発生素子２と供給口３を配置した基板１の無機材料層４上に、ラミネート法を用いて転写して成膜する。その後、流路形成部材用樹脂１３を有する樹脂構造物からフィルム１２を剥離テープなどにより剥離する。
なお、供給口３が配置されていない基板の場合、該樹脂構造物を用いずに、流路形成部材用樹脂１３をスピンコート法やスリットコート法などで塗布して、成膜してもよい。
図３（ａ）に示すように、エネルギー発生素子２を表面側（基板面２０側）に有する基板１を用意する。
次に、図３（ｂ）に示すように、エネルギー発生素子２を被覆するように、基板１の表面側（基板面上）に無機材料層４を形成する。また、エネルギー発生素子２の上方に保護層５を形成する。無機材料層４及び保護層５は、必要に応じてパターニングを行う。
次に、図３（ｃ）に示すように、基板を貫通し、インクを供給する供給口３を形成する。供給口３は、ＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド）などのアルカリ系のエッチング液によるウェットエッチングや、反応性イオンエッチングなどのドライエッチングを用いて、所望の位置に形成する。
次に、図３（ｄ）に示すように、図２で説明した、流路形成部材用樹脂１３を有する樹脂構造物をエネルギー発生素子２と供給口３を配置した基板１の無機材料層４上に、ラミネート法を用いて転写して成膜する。その後、流路形成部材用樹脂１３を有する樹脂構造物からフィルム１２を剥離テープなどにより剥離する。
なお、供給口３が配置されていない基板の場合、該樹脂構造物を用いずに、流路形成部材用樹脂１３をスピンコート法やスリットコート法などで塗布して、成膜してもよい。
【0019】
次に、図３（ｅ）に示すように、流路形成部材用樹脂１３の上に、マスクレジスト１４を塗布し、流路パターンを有する流路形成マスク１５を介して、パターン露光し、現像することで、エッチングマスクを形成する。
次に、図３（ｆ）に示すように、酸素プラズマなどでパターニングを行うことで、液体吐出ヘッドの流路形成部材６及び流路７を形成する。不要になったエッチングマスクは剥離液などにより、除去する。
次に、図３（ｆ）に示すように、酸素プラズマなどでパターニングを行うことで、液体吐出ヘッドの流路形成部材６及び流路７を形成する。不要になったエッチングマスクは剥離液などにより、除去する。
【0020】
次に、図３（ｇ）に示すように、感光性樹脂組成物１６をＰＥＴやポリイミドなどからなるフィルムに塗布した後、流路形成部材６上にラミネート法を用いて転写して成膜する。
吐出口形成部材１０となる感光性樹脂組成物１６は、流路形成部材６との密着性、機械的強度、解像性などを考慮すると、カチオン重合型のエポキシ樹脂を含むことが好ましい。
吐出口形成部材１０となる感光性樹脂組成物１６は、流路形成部材６との密着性、機械的強度、解像性などを考慮すると、カチオン重合型のエポキシ樹脂を含むことが好ましい。
【0021】
吐出口形成部材も流路形成部材と同一の、ポリエーテルアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルアミドイミド樹脂からなる群より選ばれる少なくとも一つの樹脂を用いる場合も考えられる。しかしながら、これらのうち非感光性の樹脂を用いた場合、マスクレジストを介したドライエッチングによる処理となるため、解像性が劣る可能性がある。そのため、吐出口形成部材には、カチオン重合型のエポキシ樹脂を含む感光性樹脂組成物を用いることが好ましい。
感光性樹脂組成物は、その硬化物の密着性能、機械的強度、フォトリソグラフィー材料としての反応性、解像性などから、カチオン重合型のエポキシ樹脂を含むことが好ましい。
ここで、該エポキシ樹脂は末端に反応性のエポキシ基を持つ熱硬化型の樹脂であることが好ましい。
また、感光性樹脂組成物は、１分子中に二つ以上のエポキシ基を有するカチオン重合型エポキシ樹脂を含むことがより好ましい。
さらに、カチオン重合型のエポキシ樹脂は、光カチオン重合型のエポキシ樹脂であることが好ましい。その場合、感光性樹脂組成物は、光酸発生剤を含有することが好ましい。
光カチオン重合型のエポキシ樹脂の具体例として、ビスフェノールＡ型及びＦ型のエポキシ樹脂；フェノールノボラック型のエポキシ樹脂；クレゾールノボラック型のエポキシ樹脂；ノルボルネン骨格、テルペン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、又はオキシシクロヘキサン骨格などを有する多官能エポキシ樹脂；などを含む樹脂組成物が挙げられる。
該感光性樹脂組成物は、露光されると現像液に対して溶解性が低下し、現像後に露光部分が残る、ネガ型組成物であることが好ましい。
感光性樹脂組成物は、その硬化物の密着性能、機械的強度、フォトリソグラフィー材料としての反応性、解像性などから、カチオン重合型のエポキシ樹脂を含むことが好ましい。
ここで、該エポキシ樹脂は末端に反応性のエポキシ基を持つ熱硬化型の樹脂であることが好ましい。
また、感光性樹脂組成物は、１分子中に二つ以上のエポキシ基を有するカチオン重合型エポキシ樹脂を含むことがより好ましい。
さらに、カチオン重合型のエポキシ樹脂は、光カチオン重合型のエポキシ樹脂であることが好ましい。その場合、感光性樹脂組成物は、光酸発生剤を含有することが好ましい。
光カチオン重合型のエポキシ樹脂の具体例として、ビスフェノールＡ型及びＦ型のエポキシ樹脂；フェノールノボラック型のエポキシ樹脂；クレゾールノボラック型のエポキシ樹脂；ノルボルネン骨格、テルペン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、又はオキシシクロヘキサン骨格などを有する多官能エポキシ樹脂；などを含む樹脂組成物が挙げられる。
該感光性樹脂組成物は、露光されると現像液に対して溶解性が低下し、現像後に露光部分が残る、ネガ型組成物であることが好ましい。
【0022】
感光性樹脂組成物が、１分子中に二つ以上のエポキシ基を有するカチオン重合型エポキシ樹脂を含むことで、その硬化物が３次元架橋し、所望の特性を得るのに適している。
光酸発生剤又は光重合開始剤としては、スルホン酸化合物、ジアゾメタン化合物、スルホニウム塩化合物、ヨードニウム塩化合物、ジスルホン系化合物などが挙げられる。
光酸発生剤又は光重合開始剤としては、スルホン酸化合物、ジアゾメタン化合物、スルホニウム塩化合物、ヨードニウム塩化合物、ジスルホン系化合物などが挙げられる。
【0023】
光酸発生剤又は光重合開始剤は２種類以上を混合して使用することもできる。さらに密着性能の向上を目的に、感光性樹脂組成物は、シランカップリング剤を含有することもできる。また、パターン解像性の向上や感度（硬化に必要な露光量）の調整に、アントラセン化合物などの増感剤、アミン類などの塩基性物質や弱酸性（ｐＫａ＝－１．５～３．０）のトルエンスルホン酸を発生させる酸発生剤などを含有することもできる。
【0024】
なお、基板面２０に対して垂直な方向において、吐出口形成部材の厚さは、液体吐出ヘッドの吐出設計により適宜決定するとよいが、機械的強度などの観点から、例えば、３．０μｍ～２５．０μｍとすることが好ましい。また、吐出口形成部材の厚さは、４．５μｍ～２０．０μｍとすることがより好ましい。
【0025】
次に、図３（ｈ）に示すように、撥液層１１を感光性樹脂組成物１６上に成膜する。
撥液層１１を吐出口形成部材上に形成することにより、吐出口形成部材の吸水性を低減させることが可能となる。撥液層１１は、インクなどの液体に対する撥液性が求められ、カチオン重合性を有するパーフルオロアルキル組成物やパーフルオロポリエーテル組成物を用いることが好ましい。本開示において、該撥液層の厚さは、上記吐出口形成部材の厚さには加えない。
一般に、パーフルオロアルキル組成物やパーフルオロポリエーテル組成物は、塗布後のベーク処理によってフッ化アルキル鎖が、組成物と空気の界面に偏析することが知られており、組成物の表面の撥液性を高めることが可能である。
撥液層１１を吐出口形成部材上に形成することにより、吐出口形成部材の吸水性を低減させることが可能となる。撥液層１１は、インクなどの液体に対する撥液性が求められ、カチオン重合性を有するパーフルオロアルキル組成物やパーフルオロポリエーテル組成物を用いることが好ましい。本開示において、該撥液層の厚さは、上記吐出口形成部材の厚さには加えない。
一般に、パーフルオロアルキル組成物やパーフルオロポリエーテル組成物は、塗布後のベーク処理によってフッ化アルキル鎖が、組成物と空気の界面に偏析することが知られており、組成物の表面の撥液性を高めることが可能である。
【0026】
次に、図３（ｉ）に示すように、吐出口パターンを有する吐出口形成マスク１７を介し
て、感光性樹脂組成物１６と撥液層１１をパターン露光する。さらに熱処理（ＰｏｓｔＥｘｐｏｓｕｒｅＢａｋｅ）することで露光部を硬化させ、吐出口形成部材１０を形成する。
吐出口形成マスク１７は、露光波長の光を透過するガラスや石英などの材質からなる基板に、吐出口のパターンに合わせてクロム膜などの遮光膜が形成されたものである。露光装置としては、ｉ線露光ステッパー、ＫｒＦステッパーなどの単一波長の光源や、マスクアライナーＭＰＡ－６００Ｓｕｐｅｒ（商品名、キヤノン製）などの水銀ランプのブロード波長を光源に持つ投影露光装置を用いることができる。
て、感光性樹脂組成物１６と撥液層１１をパターン露光する。さらに熱処理（ＰｏｓｔＥｘｐｏｓｕｒｅＢａｋｅ）することで露光部を硬化させ、吐出口形成部材１０を形成する。
吐出口形成マスク１７は、露光波長の光を透過するガラスや石英などの材質からなる基板に、吐出口のパターンに合わせてクロム膜などの遮光膜が形成されたものである。露光装置としては、ｉ線露光ステッパー、ＫｒＦステッパーなどの単一波長の光源や、マスクアライナーＭＰＡ－６００Ｓｕｐｅｒ（商品名、キヤノン製）などの水銀ランプのブロード波長を光源に持つ投影露光装置を用いることができる。
【0027】
次に、図３（ｊ）に示すように、感光性樹脂組成物１６、撥液層１１の未硬化部を現像液で現像することにより、一括除去し、吐出口８、ノズル部９を形成し、必要に応じて熱処理をして液体吐出ヘッドを完成させる。現像液としては、ＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）、ＭＩＢＫ（メチルイソブチルケトン）やキシレンなどが挙げられる。また、必要に応じて、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）などによるリンス処理を行ってもよい。
【実施例】
【0028】
以下、実施例及び比較例により本開示を詳細に説明するが、本開示はこれらの実施例に具現化された構成に限定されるものではない。また、実施例及び比較例中で使用する「部」は特に断りのない限り「質量部」を意味する。
【0029】
＜実施例１＞
まず、図４（ａ）に示すように、厚さ１００μｍのＰＥＴフィルム１２を用意した。
次に、図４（ｂ）に示すように、ポリエーテルアミド樹脂である日立化成製のＨＩＭＡＬ ＨＬ－１２００ＣＨ（商品名）（図４（ｂ）の１３）をＰＥＴフィルム１２上にスピンコート法により塗布し、１２０℃で２０分間ベークして溶剤を揮発させ、５．０μｍの膜を成膜した。
次に、図４（ｃ）に示すように、ＴａＳｉＮからなるエネルギー発生素子２を表面側（基板面２０側）に有するシリコンで形成された基板１を用意した。
次に、図４（ｄ）に示すように、エネルギー発生素子２を被覆するように、基板１の表面側に、無機材料層４としてＳｉＣＮをプラズマＣＶＤ法によって厚さ０．３μｍで成膜した。続いて、スパッタリング法によって、保護層５としてＴａを厚さ０．２５μｍで形成した。さらにフォトリソグラフィー工程及び反応性イオンエッチングによって、無機材料層４及び保護層５をパターニングした。
まず、図４（ａ）に示すように、厚さ１００μｍのＰＥＴフィルム１２を用意した。
次に、図４（ｂ）に示すように、ポリエーテルアミド樹脂である日立化成製のＨＩＭＡＬ ＨＬ－１２００ＣＨ（商品名）（図４（ｂ）の１３）をＰＥＴフィルム１２上にスピンコート法により塗布し、１２０℃で２０分間ベークして溶剤を揮発させ、５．０μｍの膜を成膜した。
次に、図４（ｃ）に示すように、ＴａＳｉＮからなるエネルギー発生素子２を表面側（基板面２０側）に有するシリコンで形成された基板１を用意した。
次に、図４（ｄ）に示すように、エネルギー発生素子２を被覆するように、基板１の表面側に、無機材料層４としてＳｉＣＮをプラズマＣＶＤ法によって厚さ０．３μｍで成膜した。続いて、スパッタリング法によって、保護層５としてＴａを厚さ０．２５μｍで形成した。さらにフォトリソグラフィー工程及び反応性イオンエッチングによって、無機材料層４及び保護層５をパターニングした。
【0030】
次に、図４（ｅ）に示すように供給口３を形成した。供給口３は、ＴＨＭＰ－ｉＰ５７００ＨＰ（東京応化工業社製）からなるポジ型感光性樹脂を用い、開口を有するエッチングマスクを形成し、エッチングマスクの開口を通して、反応性イオンエッチングを行うことで形成した。反応性イオンエッチングは、ＩＣＰエッチング装置（アルカテル社製、型式番号：８Ｅ）を用い、ボッシュプロセスで行った。供給口３の形成後に、剥離液を用いて、エッチングマスクを除去した。
【0031】
次に、図４（ｆ）に示すように、ポリエーテルアミド樹脂層（図４（ｆ）の１３）を形成した。具体的には、エネルギー発生素子２、供給口３を配置した基板１に、図４（ｂ）で作製したポリエーテルアミド樹脂を有するＰＥＴフィルムを、ラミネート法を用いて７０℃の熱を加え、加圧しながら転写した。その後、ポリエーテルアミド樹脂からＰＥＴフィルム１２を剥離テープにより剥離した（不図示）。
次に、図４（ｇ）に示すように、ポリエーテルアミド樹脂からなる流路形成部材用樹脂１３の上から、ＴＨＭＰ－ｉＰ５７００ＨＰ（東京応化工業社製）をマスクレジスト１４として塗布し、流路パターンを有する流路形成マスク１５を介して、パターン露光し、現
像することで、エッチングマスクを形成した。
次に、図４（ｇ）に示すように、ポリエーテルアミド樹脂からなる流路形成部材用樹脂１３の上から、ＴＨＭＰ－ｉＰ５７００ＨＰ（東京応化工業社製）をマスクレジスト１４として塗布し、流路パターンを有する流路形成マスク１５を介して、パターン露光し、現
像することで、エッチングマスクを形成した。
【0032】
次に、図４（ｈ）に示すように、ＩＣＰエッチング装置（アルカテル社製、型式番号：８Ｅ）を用い、エッチングマスクの開口を通して、反応性イオンエッチングを行うことで、液体吐出ヘッドの流路形成部材６及び流路７を形成した。流路７の形成後に、剥離液を用いて、エッチングマスクを除去した。
次に、図４（ｉ）に示すように、感光性樹脂組成物１６を形成した。
まず、下記表１に記載の組成材料からなる感光性樹脂組成物１６を、厚さ１００μｍのＰＥＴフィルム上に塗布し、９０℃、２０分ベークして溶媒を揮発させ、４．５μｍの膜を成膜した。
次に、感光性樹脂組成物１６をポリエーテルアミド樹脂１３からなる流路形成部材６上に、ラミネート法を用いて５０℃の熱を加えながら転写して積層した。
次に、図４（ｉ）に示すように、感光性樹脂組成物１６を形成した。
まず、下記表１に記載の組成材料からなる感光性樹脂組成物１６を、厚さ１００μｍのＰＥＴフィルム上に塗布し、９０℃、２０分ベークして溶媒を揮発させ、４．５μｍの膜を成膜した。
次に、感光性樹脂組成物１６をポリエーテルアミド樹脂１３からなる流路形成部材６上に、ラミネート法を用いて５０℃の熱を加えながら転写して積層した。
【0033】
【表1】
表中、
・ｊＥＲ１５７Ｓ７０：三菱ケミカル社製
・ＣＰＩ－４１０Ｓ：サンアプロ社製
・Ａ－１８７：モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製
・ＰＧＭＥＡ：酢酸２－メトキシ－１－メチルエチル
【0034】
次に、図４（ｊ）に示すように撥液層１１を形成した。撥液層を形成するフッ素含有化合物として、下式（１）で表される化合物とグリシジルプロピルトリエトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、とからなる組成物の縮合物を２－ブタノール及びエタノールで希釈したものを用いた。前記フッ素含有化合物を感光性樹脂組成物１６上にスリットコート法により塗布し、７０℃で３分間熱処理を行うことで、前記希釈溶剤を揮発させ、感光性樹脂組成物１６上の厚さが０．５μｍとなる撥液層１１を形成した。
【0035】
【化1】
（式（１）中、ｔは３～１０の整数である。）
【0036】
次に、図４（ｋ）に示すように、吐出口パターンを有する吐出口形成マスク１７を介して、感光性樹脂組成物１６及び撥液層１１を、ｉ線露光ステッパー（キヤノン製、商品名：ｉ５）を用いて、１１００Ｊ／ｍ２の露光量でパターン露光した。さらに９０℃、５分の熱処理を行うことで露光部を硬化させて吐出口形成部材１０を形成した。
次に、図４（ｌ）に示すように、感光性樹脂組成物１６及び撥液層１１の未硬化部をプ
レピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）で１０分間現像することにより除去した。これにより、吐出口８、ノズル部９を形成し、２００℃の熱で硬化させて液体吐出ヘッドを得た。
次に、図４（ｌ）に示すように、感光性樹脂組成物１６及び撥液層１１の未硬化部をプ
レピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）で１０分間現像することにより除去した。これにより、吐出口８、ノズル部９を形成し、２００℃の熱で硬化させて液体吐出ヘッドを得た。
【0037】
＜実施例２＞
流路形成部材に、ポリエーテルアミドイミド樹脂である日立化成製のＨＩＭＡＬ ＨＬ－１２１０ＣＨ（商品名）を用いた以外は実施例１と同様に液体吐出ヘッドを作製した。
流路形成部材に、ポリエーテルアミドイミド樹脂である日立化成製のＨＩＭＡＬ ＨＬ－１２１０ＣＨ（商品名）を用いた以外は実施例１と同様に液体吐出ヘッドを作製した。
【0038】
＜比較例１＞
下記表２に記載の組成材料からなる感光性樹脂組成物を用いて、流路形成部材を形成した以外は実施例と同様に液体吐出ヘッドを作製した。
下記表２に記載の組成材料からなる感光性樹脂組成物を用いて、流路形成部材を形成した以外は実施例と同様に液体吐出ヘッドを作製した。
【0039】
まず、図５（ａ）に示すように、厚さ１００μｍのＰＥＴフィルム１２を用意した。
次に、図５（ｂ）に示すように、下記表２に記載の組成材料からなる感光性樹脂組成物１８を１００μｍ厚のＰＥＴフィルム１２上に塗布し、９０℃、２０分ベークして溶媒を揮発させ、５．０μｍの膜を成膜した。
次に、実施例１と同様の方法で、図５（ｃ）から（ｅ）に示すように、供給口３を有する基板を作製した。
次に、図５（ｂ）に示すように、下記表２に記載の組成材料からなる感光性樹脂組成物１８を１００μｍ厚のＰＥＴフィルム１２上に塗布し、９０℃、２０分ベークして溶媒を揮発させ、５．０μｍの膜を成膜した。
次に、実施例１と同様の方法で、図５（ｃ）から（ｅ）に示すように、供給口３を有する基板を作製した。
【0040】
次に、図５（ｆ）に示すように、エネルギー発生素子２、供給口３を配置した基板１に、図５（ｂ）で作製した感光性樹脂組成物１８を有するＰＥＴフィルムを、ラミネート法を用いて７０℃の熱を加え、加圧しながら転写した。その後、感光性樹脂組成物１８からＰＥＴフィルム１２を剥離テープにより剥離した（不図示）。
次に、図５（ｇ）に示すように、流路パターンを有する流路形成マスク１９を介して、感光性樹脂組成物１８を、ｉ線露光ステッパー（キヤノン製、商品名：ｉ５）を用いて、４０００Ｊ／ｍ２の露光量でパターン露光した。さらに９０℃、５分の熱処理を行うことで露光部を硬化させて流路形成部材６となる側壁を形成した。
次に、図５（ｈ）に示すように、感光性樹脂組成物１８の未硬化部を酢酸２－メトキシ－１－メチルエチル（ＰＧＭＥＡ）で１０分間現像することにより除去し、流路形成部材６及び流路７を形成した。
次に、図５（ｉ）に示すように、感光性樹脂組成物１６を形成した。
まず、上記表１に記載の組成材料からなる感光性樹脂組成物１６を、厚さ１００μｍのＰＥＴフィルム上に塗布し、９０℃、２０分ベークして溶媒を揮発させ、４．５μｍの膜を成膜した。
次に、感光性樹脂組成物１６を、感光性樹脂組成物１８からなる流路形成部材６上に、ラミネート法を用いて５０℃の熱を加えながら転写して積層した。
以下、図５（ｊ）から（ｌ）は実施例と同様である。
次に、図５（ｇ）に示すように、流路パターンを有する流路形成マスク１９を介して、感光性樹脂組成物１８を、ｉ線露光ステッパー（キヤノン製、商品名：ｉ５）を用いて、４０００Ｊ／ｍ２の露光量でパターン露光した。さらに９０℃、５分の熱処理を行うことで露光部を硬化させて流路形成部材６となる側壁を形成した。
次に、図５（ｈ）に示すように、感光性樹脂組成物１８の未硬化部を酢酸２－メトキシ－１－メチルエチル（ＰＧＭＥＡ）で１０分間現像することにより除去し、流路形成部材６及び流路７を形成した。
次に、図５（ｉ）に示すように、感光性樹脂組成物１６を形成した。
まず、上記表１に記載の組成材料からなる感光性樹脂組成物１６を、厚さ１００μｍのＰＥＴフィルム上に塗布し、９０℃、２０分ベークして溶媒を揮発させ、４．５μｍの膜を成膜した。
次に、感光性樹脂組成物１６を、感光性樹脂組成物１８からなる流路形成部材６上に、ラミネート法を用いて５０℃の熱を加えながら転写して積層した。
以下、図５（ｊ）から（ｌ）は実施例と同様である。
【0041】
【表2】
表中、
・ＴＥＣＨＭＯＲＥ ＶＧ３１０１：プリンテック社製
・ＳＰ－１７２：アデカオプトマーＳＰ－１７２ ＡＤＥＫＡ社製
・Ａ－１８７：モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製
・ＰＧＭＥＡ：酢酸２－メトキシ－１－メチルエチル
【0042】
［評価］
＜吸水率＞
実施例１、２及び比較例１に記載の樹脂及び感光性樹脂組成物の硬化物の吸水率を、以下の方法により評価した。
まず、実施例１及び２で使用した、日立化成製のＨＩＭＡＬ ＨＬ－１２００ＣＨ（商品名：ポリエーテルアミド樹脂）及び日立化成製のＨＩＭＡＬ ＨＬ－１２１０ＣＨ（商品名：ポリエーテルアミドイミド樹脂）をシリコン基板上に塗布した。塗布後、１２０℃、２０分ベークして溶剤を揮発させ、５μｍの膜を成膜した。
次に、比較例１で使用した感光性樹脂組成物の硬化物については、比較例１の流路形成部材の形成方法と同様の条件で露光、加熱処理を行い、感光性樹脂組成物１８の硬化物を作製した。
その後、各樹脂の硬化物が形成された基板を、７０℃の純水に１日浸漬し、純水浸漬前後の各樹脂の硬化物の質量変化を質量分析装置（Ｍｅｔｒｙｘ製、商品名：Ｍｅｎｔｏｒ
ＯＣ２３）を用いて測定した。吸水率の測定結果を表３に示す。実施例１及び２で作製し硬化物の方が比較例に比べて、吸水率が著しく低かった。
＜吸水率＞
実施例１、２及び比較例１に記載の樹脂及び感光性樹脂組成物の硬化物の吸水率を、以下の方法により評価した。
まず、実施例１及び２で使用した、日立化成製のＨＩＭＡＬ ＨＬ－１２００ＣＨ（商品名：ポリエーテルアミド樹脂）及び日立化成製のＨＩＭＡＬ ＨＬ－１２１０ＣＨ（商品名：ポリエーテルアミドイミド樹脂）をシリコン基板上に塗布した。塗布後、１２０℃、２０分ベークして溶剤を揮発させ、５μｍの膜を成膜した。
次に、比較例１で使用した感光性樹脂組成物の硬化物については、比較例１の流路形成部材の形成方法と同様の条件で露光、加熱処理を行い、感光性樹脂組成物１８の硬化物を作製した。
その後、各樹脂の硬化物が形成された基板を、７０℃の純水に１日浸漬し、純水浸漬前後の各樹脂の硬化物の質量変化を質量分析装置（Ｍｅｔｒｙｘ製、商品名：Ｍｅｎｔｏｒ
ＯＣ２３）を用いて測定した。吸水率の測定結果を表３に示す。実施例１及び２で作製し硬化物の方が比較例に比べて、吸水率が著しく低かった。
【0043】
【表3】
【0044】
＜耐インク性＞
実施例１及び２、並びに比較例１で作製した、それぞれの液体吐出ヘッドの流路に、以下の表４に示すインクを充填し、７０℃のオーブン中で９０日間放置した。
実施例１及び２、並びに比較例１で作製した、それぞれの液体吐出ヘッドの流路に、以下の表４に示すインクを充填し、７０℃のオーブン中で９０日間放置した。
【0045】
【表4】
【0046】
放置後の無機材料層４と流路形成部材６の接合状態を金属顕微鏡にて観察し、以下の基準で評価を行った。耐インク性の評価結果を表５に示す。
実施例１及び２で作製した液体吐出ヘッドでは、無機材料層と流路形成部材間で剥離が
見られず、耐インク性が良好であったのに対して、比較例では、無機材料層と流路形成部材間で一部剥離が見られた。
（評価基準）
Ａ：７０℃、９０日間保存後でも、無機材料層４と流路形成部材６間で剥離は発生していない。
Ｂ：７０℃、９０日間保存後に、無機材料層４と流路形成部材６間で、液体吐出ヘッド完成時には見られなかった剥離が発生している。
実施例１及び２で作製した液体吐出ヘッドでは、無機材料層と流路形成部材間で剥離が
見られず、耐インク性が良好であったのに対して、比較例では、無機材料層と流路形成部材間で一部剥離が見られた。
（評価基準）
Ａ：７０℃、９０日間保存後でも、無機材料層４と流路形成部材６間で剥離は発生していない。
Ｂ：７０℃、９０日間保存後に、無機材料層４と流路形成部材６間で、液体吐出ヘッド完成時には見られなかった剥離が発生している。
【0047】
【表5】
【0048】
＜印字評価＞
実施例及び比較例で作製したそれぞれの液体吐出ヘッドに、耐インク性評価と同様のインクを充填し、７０℃、９０日間保存した後の印字評価を行った。印字評価の評価結果を表６に示す。
実施例１及び２で作製した液体吐出ヘッドでは、印字評価が良好であったのに対して、比較例では、無機材料層と流路形成部材間で一部剥離が発生し、印字品位の低下が見られた。
実施例及び比較例で作製したそれぞれの液体吐出ヘッドに、耐インク性評価と同様のインクを充填し、７０℃、９０日間保存した後の印字評価を行った。印字評価の評価結果を表６に示す。
実施例１及び２で作製した液体吐出ヘッドでは、印字評価が良好であったのに対して、比較例では、無機材料層と流路形成部材間で一部剥離が発生し、印字品位の低下が見られた。
【0049】
【表6】
【0050】
以上のように、本開示によれば、浸透性が高いインクを用いても、流路形成部材へのインク浸透を防ぐことによって流路形成部材の基板からの剥離を抑制することができ、高い信頼性が確保できる液体吐出ヘッドを提供することができた。
【符号の説明】
【0051】
１：基板、２：エネルギー発生素子、３：供給口、４：無機材料層、５：保護層、６：流路形成部材、７：流路、８：吐出口、９：ノズル部、１０：吐出口形成部材、１１：撥液層、１２：フィルム、１３：流路形成部材用樹脂、１４：マスクレジスト、１５：流路形成マスク、１６：感光性樹脂組成物、１７：吐出口形成マスク、１８：感光性樹脂組成物、１９：流路形成マスク、２０：基板面
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】