特許 7551311 駆動装置及び駆動装置を備える撮像装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-06

(45)【発行日】2024-09-17

(54)【発明の名称】駆動装置及び駆動装置を備える撮像装置

(51)【国際特許分類】

   G03B 5/00 20210101AFI20240909BHJP

   H02K 33/18 20060101ALI20240909BHJP

   H04N 23/68 20230101ALI20240909BHJP

   H04N 23/50 20230101ALI20240909BHJP

【ＦＩ】

G03B5/00 J

H02K33/18 B

H04N23/68

H04N23/50

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2020043326

(22)【出願日】2020-03-12

(65)【公開番号】P2021144164

(43)【公開日】2021-09-24

【審査請求日】2023-03-02

(73)【特許権者】

【識別番号】000001007

【氏名又は名称】キヤノン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125254

【弁理士】

【氏名又は名称】別役 重尚

(72)【発明者】

【氏名】大利 達也

(72)【発明者】

【氏名】三好 香織

【審査官】岡田 弘

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－０９５５４０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０３Ｂ ５／００－５／０８

Ｈ０２Ｋ ５／００－５／２６

Ｈ０２Ｋ ３３／００－３３／１８

Ｈ０４Ｎ ５／２２２－５／２５７

Ｈ０４Ｎ ２３／００

Ｈ０４Ｎ ２３／４０－２３／７６

Ｈ０４Ｎ ２３／９０－２３／９５９

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

固定枠と、
前記固定枠に対して第１の方向に垂直な平面に移動可能に保持される可動枠と、
前記固定枠及び前記可動枠の一方にコイルが他方に磁気回路が対面するように配置され、前記コイルに電流を流すことで前記可動枠を移動させる駆動部と、
を備える駆動装置において、
前記磁気回路は前記第１の方向と直交する第２の方向に並ぶ複数の磁石を有し、
前記複数の磁石は、
前記第１の方向と平行方向に磁化方向を持つ第１の磁石と、
前記第１の方向と平行方向で前記第１の磁石と反対方向に磁化方向を持つ第２の磁石と、
前記第１の磁石と前記第２の磁石の間に設けられ、前記コイルの側から見たときに前記第１及び第２の磁石の極と同じ極を持つ方向に磁化方向をもつ第３の磁石とを備え、
前記第３の磁石の保磁力が前記第１の磁石の保磁力と前記第２の磁石の保磁力の少なくとも一方よりも高いことを特徴とする駆動装置。

【請求項2】

前記第１の磁石の残留磁束密度と前記第２の磁石の残留磁束密度の少なくとも一方が前記第３の磁石の残留磁束密度よりも高いことを特徴とする請求項１記載の駆動装置。

【請求項3】

前記可動枠が熱源を保持し、前記第１の磁石が前記第３の磁石より前記熱源に近い側に配置され、前記第１の磁石の保磁力が前記第３の磁石の保磁力より高いことを特徴とする請求項１又は２記載の駆動装置。

【請求項4】

前記熱源は撮像素子であることを特徴とする請求項３記載の駆動装置。

【請求項5】

固定枠と、
前記固定枠に対して第１の方向に垂直な平面に移動可能に保持される可動枠と、
前記固定枠及び前記可動枠の一方にコイルが他方に磁気回路が対面するように配置され、前記コイルに電流を流すことで前記可動枠を移動させる駆動部と
を備える駆動装置において、
前記磁気回路は前記第１の方向と直交する第２の方向に並ぶ複数の磁石を有し、
前記複数の磁石は、
前記第１の方向と平行方向に磁化方向を持つ第１の磁石と、
前記第１の方向と平行方向で前記第１の磁石と反対方向に磁化方向を持つ第２の磁石と、
前記第１の磁石と前記第２の磁石の間に設けられ、前記コイルの側から見たときに前記第１及び第２の磁石の極と同じ極を持つ方向に磁化方向をもつ第３の磁石とを備え、
前記第１の方向において、前記第３の磁石の長さが、前記第１及び第２の磁石の少なくとも一方の長さよりも短いことを特徴とする駆動装置。

【請求項6】

固定枠と、
前記固定枠に対して第１の方向に垂直な平面に移動可能に保持される可動枠と、
前記固定枠及び前記可動枠の一方にコイルが他方に磁気回路が対面するように配置され、前記コイルに電流を流すことで前記可動枠を移動させる駆動部と、
前記可動枠の位置を検知可能な、前記磁気回路と対面する磁界検出部と
を備える駆動装置において、
前記磁気回路は前記第１の方向と直交する第２の方向に並ぶ複数の磁石を有し、
前記複数の磁石は、
前記第１の方向と平行方向に磁化方向を持つ第１の磁石と、
前記第１の方向と平行方向で前記第１の磁石と反対方向に磁化方向を持つ第２の磁石と、
前記第１の磁石と前記第２の磁石の間に設けられ、前記コイルの側から見たときに前記第１及び第２の磁石の極と同じ極を持つ方向に磁化方向をもつ第３の磁石とを備え、
前記第３の磁石は、前記第１及び第２の方向の夫々と直交する第３の方向に隣接するように配置される１対の磁石により構成され、
前記磁界検出部は、前記１対の磁石の境界上ではない位置に対向して配されることを特徴とする駆動装置。

【請求項7】

固定枠と、
前記固定枠に対して第１の方向に垂直な平面に移動可能に保持される可動枠と、
前記固定枠及び前記可動枠の一方にコイルが他方に磁気回路が対面するように配置され、前記コイルに電流を流すことで前記可動枠を移動させる駆動部と、
前記可動枠の位置を検知可能な前記磁気回路と対面する磁界検出部とを備える駆動装置において、
前記磁気回路は前記第１の方向と直交する第２の方向に並ぶ複数の磁石を有し、
前記複数の磁石は、
前記第１の方向と平行方向に磁化方向を持つ第１の磁石と、
前記第１の方向と平行方向で前記第１の磁石と反対方向に磁化方向を持つ第２の磁石と、
前記第１の磁石と前記第２の磁石の間に設けられ、前記コイルの側から見たときに前記第１及び第２の磁石の極と同じ極を持つ方向に磁化方向をもつ第３の磁石とを備え、
前記第１及び第２の方向の夫々と直交する第３の方向において、前記第３の磁石の長さが、前記第１及び第２の磁石の少なくとも一方の長さよりも短く、
前記磁界検出部を含む前記第３の方向と直交する断面には、前記第３の磁石を含まないことを特徴とする駆動装置。

【請求項8】

前記第３の磁石は、前記第３の方向に並べて配置される１対の磁石により構成され、前記１対の磁石の間には空隙部が設けられ、
前記磁界検出部は、前記空隙部に対向して配置されることを特徴とする請求項７記載の駆動装置。

【請求項9】

固定枠と、
前記固定枠に対して第１の方向に垂直な平面に移動可能に保持される可動枠と、
前記固定枠及び前記可動枠の一方にコイルが他方に磁気回路が対面するように配置され、前記コイルに電流を流すことで前記可動枠を移動させる駆動部と、
前記可動枠の位置を検知可能な前記磁気回路と対面する磁界検出部とを備える駆動装置において、
前記磁気回路は前記第１の方向と直交する第２の方向に並ぶ複数の磁石を有し、
前記複数の磁石は、
前記第１の方向と平行方向に磁化方向を持つ第１の磁石と、
前記第１の方向と平行方向で前記第１の磁石と反対方向に磁化方向を持つ第２の磁石と、
前記第１の磁石と前記第２の磁石の間に設けられ、前記コイルの側から見たときに前記第１及び第２の磁石の極と同じ極を持つ方向に磁化方向をもつ第３の磁石とを備え、
前記第１及び第２の方向の夫々と直交する第３の方向において、前記第３の磁石の長さが、前記第１及び第２の磁石の少なくとも一方の長さよりも短く、
前記磁界検出部を含まない前記第３の方向と直交する断面には、前記第３の磁石を含まず、
前記第１の磁石は、前記第１の方向からみてコの字形状を有し、
前記第２の磁石は、前記第１の方向からみて逆コの字形状を有し、
前記第３の磁石は、前記第１及び第２の磁石によって囲まれる中央部のくぼみに入り込むように配置され、
前記磁界検出部は、前記第３の磁石に対向して配置されることを特徴とする駆動装置。

【請求項10】

ブレ検出部と、
撮像素子と、
請求項１乃至９のいずれか１項に記載の駆動装置とを備え、
前記駆動装置が備える可動枠に前記撮像素子を保持した状態で、前記ブレ検出部によるブレ検出結果に応じて前記可動枠を移動させて防振を行うことを特徴とする撮像装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、駆動装置及び駆動装置を備える撮像装置に関し、特に、ボイスコイルモータを用いて平面内で可動部を固定部に対して移動させる駆動装置及び駆動装置を備える撮像装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、平面内で可動部を固定部に対して移動させる駆動装置が広く用いられている。この駆動装置における駆動力発生部の構成として、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）方式と呼ばれる構成がある。この構成では、固定部と可動部の一方に磁石、他方にコイルを備え、磁石が形成する磁気回路中でコイルに通電することで可動部を駆動する駆動力を発生させる。

【0003】

このような駆動装置の一例として、撮像装置に搭載されるブレ補正機構が挙げられる。ブレ補正機構では可動部に撮像素子やブレ補正用レンズが搭載され、ブレ検出部で検出されたブレの検出量をもとに、そのブレを打ち消すように可動部が駆動される。

【0004】

ＶＣＭ方式の駆動装置は、従来より省電力化、小型化などが課題となっており、かかる課題の解決のため、その駆動力発生における高効率化が求められている。

【0005】

例えば、特許文献１では、固定部に磁石を備え、可動部にコイルを備えるＶＣＭ方式の駆動装置において、その磁石として、磁化方向の異なる第１～第３の磁石から構成される磁気回路を用いる構成が示されている。ここで、第１の磁石は、光軸と平行方向に磁化方向を持ち、第２の磁石は、第１の磁石と反対方向に磁化方向を持つ。また、第３の磁石は、第１及び第２の磁石の間に設けられ、コイル側から見たときに第１及び第２の磁石の極と同じ方向に極を持つ方向に磁化方向をもつ。このような構成をとることにより、コイル側に磁界を集中させ、駆動力発生における高効率化を実現している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特開２０１９－１５２７８５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、特許文献１の磁気回路では、第３の磁石は、第１及び第２の磁石から反発力を受け続ける結果、不可逆減磁してしまうおそれがある。このように第３の磁石が不可逆減磁すると、駆動装置の駆動力の低下等が発生し、信頼性の低下が懸念される。

【0008】

そこで、本発明は、駆動力発生における高効率化と高い信頼性の確保を可能にした駆動装置及び駆動装置を備える撮像装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の請求項１に係る駆動装置は、固定枠と、前記固定枠に対して第１の方向に垂直な平面に移動可能に保持される可動枠と、前記固定枠及び前記可動枠の一方にコイルが他方に磁気回路が対面するように配置され、前記コイルに電流を流すことで前記可動枠を移動させる駆動部とを備える駆動装置において、前記磁気回路は前記第１の方向と直交する第２の方向に並ぶ複数の磁石を有し、前記複数の磁石は、前記第１の方向と平行方向に磁化方向を持つ第１の磁石と、前記第１の方向と平行方向で前記第１の磁石と反対方向に磁化方向を持つ第２の磁石と、前記第１の磁石と前記第２の磁石の間に設けられ、前記コイルの側から見たときに前記第１及び第２の磁石の極と同じ極を持つ方向に磁化方向をもつ第３の磁石とを備え、前記第３の磁石の保磁力が前記第１の磁石の保磁力と前記第２の磁石の保磁力の少なくとも一方よりも高いことを特徴とする。

【0010】

本発明の請求項５に係る駆動装置は、固定枠と、前記固定枠に対して第１の方向に垂直な平面に移動可能に保持される可動枠と、前記固定枠及び前記可動枠の一方にコイルが他方に磁気回路が対面するように配置され、前記コイルに電流を流すことで前記可動枠を移動させる駆動部とを備える駆動装置において、前記磁気回路は前記第１の方向と直交する第２の方向に並ぶ複数の磁石を有し、前記複数の磁石は、前記第１の方向と平行方向に磁化方向を持つ第１の磁石と、前記第１の方向と平行方向で前記第１の磁石と反対方向に磁化方向を持つ第２の磁石と、前記第１の磁石と前記第２の磁石の間に設けられ、前記コイルの側から見たときに前記第１及び第２の磁石の極と同じ極を持つ方向に磁化方向をもつ第３の磁石とを備え、前記第１の方向において、前記第３の磁石の長さが、前記第１及び第２の磁石の少なくとも一方の長さよりも短いことを特徴とする。

【0011】

本発明の請求項６に係る駆動装置は、固定枠と、前記固定枠に対して第１の方向に垂直な平面に移動可能に保持される可動枠と、前記固定枠及び前記可動枠の一方にコイルが他方に磁気回路が対面するように配置され、前記コイルに電流を流すことで前記可動枠を移動させる駆動部と、前記可動枠の位置を検知可能な、前記磁気回路と対面する磁界検出部とを備える駆動装置において、前記磁気回路は前記第１の方向と直交する第２の方向に並ぶ複数の磁石を有し、前記複数の磁石は、前記第１の方向と平行方向に磁化方向を持つ第１の磁石と、前記第１の方向と平行方向で前記第１の磁石と反対方向に磁化方向を持つ第２の磁石と、前記第１の磁石と前記第２の磁石の間に設けられ、前記コイルの側から見たときに前記第１及び第２の磁石の極と同じ極を持つ方向に磁化方向をもつ第３の磁石とを備え、前記第３の磁石は、前記第１及び第２の方向の夫々と直交する第３の方向に隣接するように配置される１対の磁石により構成され、前記磁界検出部は、前記１対の磁石の境界上ではない位置に対向して配されることを特徴とする。

【0012】

本発明の請求項７に係る駆動装置は、固定枠と、前記固定枠に対して第１の方向に垂直な平面に移動可能に保持される可動枠と、前記固定枠及び前記可動枠の一方にコイルが他方に磁気回路が対面するように配置され、前記コイルに電流を流すことで前記可動枠を移動させる駆動部と、前記可動枠の位置を検知可能な前記磁気回路と対面する磁界検出部とを備える駆動装置において、前記磁気回路は前記第１の方向と直交する第２の方向に並ぶ複数の磁石を有し、前記複数の磁石は、前記第１の方向と平行方向に磁化方向を持つ第１の磁石と、前記第１の方向と平行方向で前記第１の磁石と反対方向に磁化方向を持つ第２の磁石と、前記第１の磁石と前記第２の磁石の間に設けられ、前記コイルの側から見たときに前記第１及び第２の磁石の極と同じ極を持つ方向に磁化方向をもつ第３の磁石とを備え、前記第１及び第２の方向の夫々と直交する第３の方向において、前記第３の磁石の長さが、前記第１及び第２の磁石の少なくとも一方の長さよりも短く、前記磁界検出部を含む前記第３の方向と直交する断面には、前記第３の磁石を含まないことを特徴とする。
本発明の請求項９に係る駆動装置は、固定枠と、前記固定枠に対して第１の方向に垂直な平面に移動可能に保持される可動枠と、前記固定枠及び前記可動枠の一方にコイルが他方に磁気回路が対面するように配置され、前記コイルに電流を流すことで前記可動枠を移動させる駆動部と、前記可動枠の位置を検知可能な前記磁気回路と対面する磁界検出部とを備える駆動装置において、前記磁気回路は前記第１の方向と直交する第２の方向に並ぶ複数の磁石を有し、前記複数の磁石は、前記第１の方向と平行方向に磁化方向を持つ第１の磁石と、前記第１の方向と平行方向で前記第１の磁石と反対方向に磁化方向を持つ第２の磁石と、前記第１の磁石と前記第２の磁石の間に設けられ、前記コイルの側から見たときに前記第１及び第２の磁石の極と同じ極を持つ方向に磁化方向をもつ第３の磁石とを備え、前記第１及び第２の方向の夫々と直交する第３の方向において、前記第３の磁石の長さが、前記第１及び第２の磁石の少なくとも一方の長さよりも短く、前記磁界検出部を含まない前記第３の方向と直交する断面には、前記第３の磁石を含まず、前記第１の磁石は、前記第１の方向からみてコの字形状を有し、前記第２の磁石は、前記第１の方向からみて逆コの字形状を有し、前記第３の磁石は、前記第１及び第２の磁石によって囲まれる中央部のくぼみに入り込むように配置され、前記磁界検出部は、前記第３の磁石に対向して配置されることを特徴とする。

【0013】

本発明の請求項１０に係る撮像装置は、ブレ検出部と、撮像素子と、前記駆動装置とを備え、前記駆動装置が備える可動枠に前記撮像素子を保持した状態で、前記ブレ検出部によるブレ検出結果に応じて前記可動枠を移動させて防振を行うことを特徴とする。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、駆動力発生における高効率化と高い信頼性の確保を可能にした駆動装置及び駆動装置を備える撮像装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】実施例１に係る撮像装置の構成を示すブロック図である。

【図2】図１におけるブレ補正機構の分解斜視図である。

【図3】ブレ補正機構の正面図及び側面分解図である。

【図4】ブレ補正機構における駆動力発生部の構成を示す図である。

【図5】図４における磁気回路部を構成する実施例１に係る第１～第３の磁石の保磁力と残留磁束密度の関係を示す図である。

【図6】実施例１に係る第１～第３の磁石の夫々の、初期温度及び使用時温度での減磁曲線を示す図である。

【図7】磁気回路部を構成する実施例２に係る第１～第３の磁石の形状を示す斜視図である。

【図8】実施例２に係る第３の磁石の、初期温度及び使用時温度での減磁曲線を示す図である。

【図9】実施例２における第３の磁石のパーミアンス係数を説明するために用いられる直方体形状の磁石の寸法を示す斜視図である。

【図10】図９の磁石の寸法比とパーミアンス係数の関係を示す図である。

【図11】実施例２における第３の磁石の寸法を示す斜視図である。

【図12】実施例３におけるブレ補正機構の磁気回路部及び磁界検出素子を駆動平面直交方向からみた上面模式図である。

【図13】実施例４におけるブレ補正機構の磁気回路部及び磁界検出素子を駆動平面直交方向からみた上面模式図である。

【図14】図１３のＢ－Ｂ’断面図及びＣ－Ｃ’断面図である。

【図15】実施例５におけるブレ補正機構の磁気回路部及び磁界検出素子を駆動平面直交方向からみた上面模式図である。

【図16】図１５のＤ－Ｄ’断面図及びＥ－Ｅ’断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下に、本発明の好ましい実施の形態を、添付の図面に基づいて詳細に説明する。

【0017】

（実施例１）
まず、図１～図４を参照して、本発明の実施例１に係る駆動装置としての第１及び第２のブレ補正機構２０，４０を備える撮像装置１０について説明する。

【0018】

図１は、撮像装置１０のブロック図である。

【0019】

図１において、撮像装置１０は、カメラボディ（以降、単にボディと呼ぶ）１０ａ、及び交換レンズ（以降、単にレンズと呼ぶ）１０ｂを備える。

【0020】

ボディ１０ａは、被写体側に撮像面１１ａを有する撮像素子１１と、フレーム部材１３ｃと、カメラ制御手段１４と、画像処理手段１７とを備える。

【0021】

レンズ１０ｂは、ブレ補正用レンズ１２ｂを有する撮像光学系１２を備える。また、撮像光学系１２の光軸を光軸１２ａと表し、光軸１２ａに直交する（垂直な）平面を光軸直交平面１２ｃと表す。

【0022】

また、撮像装置１０は、そのフレーム部材として、マウント部材１３ａ及びフレーム部材１３ｃをボディ１０ａ側に備え、マウント部材１３ｂをレンズ１０ｂ側に備える。

【0023】

更に、撮像装置１０は、ブレ補正制御手段１５ａ、ブレ検出手段１６ａ（ブレ検出部）、及び第１のブレ補正機構２０をボディ１０ａ側に備え、ブレ補正制御手段１５ｂ、ブレ検出手段１６ｂ、及び第２のブレ補正機構４０をレンズ１０ｂ側に備える。

【0024】

撮像素子１１は、ＣＭＯＳイメージセンサやＣＣＤイメージセンサなどにより構成され、ボディ１０ａ内で撮像面１１ａを不図示の被写体側に向けて光軸１２ａに直交するように配置される。撮像素子１１は撮像光学系１２が結像させる不図示の被写体光束を撮像面１１ａ上で光電変換することにより画像信号を生成する役割を果たす。撮像素子１１が生成した画像信号は画像処理手段１７で各種の処理がなされることにより画像データ化され、不図示のメモリ手段に保存される。

【0025】

撮像光学系１２は、レンズ１０ｂ内の不図示のレンズ群により構成されており、被写体光束を撮像素子１１の撮像面１１ａ上に結像させる役割を果たす。撮像光学系１２は後述するブレ補正用レンズ１２ｂを含んでいる。

【0026】

レンズ１０ｂ内の撮像光学系１２により光軸１２ａが形成されるため、撮像装置１０においては、光軸１２ａに対して撮像素子１１を正確に配置するために、レンズ１０ｂと撮像素子１１が共にボディ１０ａ内のフレーム部材１３ｃに対して接続される。この際、撮像素子１１は第１のブレ補正機構２０を介してフレーム部材１３ｃに対して接続される。また、レンズ１０ｂはレンズ１０ｂ側のマウント部材１３ｂとボディ１０ａ側のマウント部材１３ａを介してフレーム部材１３ｃに対して接続される。

【0027】

カメラ制御手段１４は不図示のメインＩＣ内の演算手段であり、撮像装置１０における各種の撮影に関わる動作やユーザの入力操作、表示操作等を制御する役割を果たす。以降の本実施例では、特別な断りが無い限り、他の各種の制御手段による制御動作や、検出手段による検出動作等はカメラ制御手段１４が制御する。

【0028】

撮像素子１１及びブレ補正用レンズ１２ｂは、光軸直交平面１２ｃで並進又は回転移動することによりブレ補正を行うブレ補正手段である。より具体的に説明すると、撮像装置１０が撮影中に不図示の被写体に対して姿勢変化がある、すなわち、ブレが発生すると、撮像素子１１の撮像面１１ａ上における被写体光束の結像位置が変化することで画像にボヤケ等のブレによる影響が発生する。かかる姿勢変化が十分に小さい場合、上記結像位置の変化は撮像面１１ａ内で一様であり、光軸直交平面１２ｃにおける結像位置の並進又は回転移動とみなすことができる（像面ブレ）。よって、この像面ブレを打ち消すように、撮像素子１１の光軸直交平面１２ｃ内での並進駆動又は光軸直交平面１２ｃからの回転駆動の制御を第１のブレ補正機構２０により行うことで本実施例ではブレ補正（防振）が行われる。また、ブレ補正用レンズ１２ｂは光軸直交平面１２ｃで並進移動することで光軸１２ａを屈折させることができる。よって、上記の像面ブレを打ち消すように、ブレ補正用レンズ１２ｂの光軸直交平面１２ｃ内での並進駆動の制御を第２のブレ補正機構４０により行うことで本実施例ではブレ補正が行われる。より詳細なブレ補正の原理及び制御については公知であり本発明の要部ではないため、説明を省略する。

【0029】

ブレ補正手段である撮像素子１１とブレ補正用レンズ１２ｂは夫々、第１及び第２のブレ補正機構２０，４０により、光軸１２ａ上で光軸直交平面１２ｃの一定範囲内で移動可能に保持され、移動制御される。なお、一般にこれらの移動可能範囲が広い程、補正可能な上記の像面ブレ量が大きくなるため、より多くの撮影シーンでブレ補正をしやすくなるが、同時にボディ１０ａやレンズ１０ｂが大型化する。よって、これらの移動可能範囲は、その必要量や、ボディ１０ａやレンズ１０ｂとしての適切なサイズに応じて設定される。

【0030】

第１のブレ補正機構２０は、詳細な構造は後程図示及び説明するが、図１では不図示の固定部と可動部、及び複数の駆動力発生部を有する。この固定部は可動部を三自由度で支持することで、固定部に対して可動部を相対的に、その駆動平面内で並進させ且つその駆動平面から回転させる。そして、固定部がフレーム部材１３ｃに対して固定され、可動部が撮像素子１１を保持することで、撮像素子１１の光軸直交平面１２ｃ内での並進及び光軸直交平面１２ｃからの回転を可能とする。すなわち、第１のブレ補正機構２０は三軸駆動制御可能な駆動装置いわゆるＸＹθステージを構成する。

【0031】

第２のブレ補正機構４０は、第１のブレ補正機構２０と同様に、図１では不図示の固定部と可動部、及び複数の駆動力発生部を有する。この固定部は可動部を二自由度で支持することで、固定部に対して可動部を相対的に、その駆動平面内で並進させる。そして、固定部がレンズ１０ｂの筐体及びマウント部材１３ｂ，１３ａを介してフレーム部材１３ｃに対して固定され、可動部がブレ補正用レンズ１２ｂを保持することで、ブレ補正用レンズ１２ｂの光軸直交平面１２ｃ内での並進を可能とする。すなわち、第２のブレ補正機構４０は二軸駆動制御可能な駆動装置、いわゆるＸＹステージを構成する。

【0032】

すなわち、ボディ１０ａ側では、ブレ補正制御手段１５ａが第１のブレ補正機構２０を駆動制御することで撮像素子１１を移動制御してブレ補正を行う。一方、レンズ１０ｂ側では、ブレ補正制御手段１５ｂが第２のブレ補正機構４０を駆動制御することでブレ補正用レンズ１２ｂを移動制御してブレ補正を行う。この際、撮像素子１１及びブレ補正用レンズ１２ｂの移動目標値は、共に撮像装置１０のブレ情報を元に算出するが、このブレ情報はボディ１０ａ側のブレ検出手段１６ａ及びレンズ１０ｂ側のブレ検出手段１６ｂによるブレ検出結果から生成される。

【0033】

ブレ検出手段１６ａ，１６ｂは、撮像装置１０の各方向の角度変化量や移動量に関する情報、すなわち、撮像装置１０の光軸直交平面１２ｃに対する角度変化量や、撮像装置１０の光軸直交平面１２ｃ内での移動量に関する情報を検出する。例えば、ブレ検出手段１６ａ，１６ｂは、共にジャイロセンサや加速度センサ等により構成され、撮像装置１０の各方向の角速度や加速度を、上記撮像装置１０の各方向の角度変化量や移動量に関する情報として検出する。よって、ボディ１０ａ側のブレ補正制御手段１５ａ及び交換レンズ１０ｂ側のブレ補正制御手段１５ｂはこの角速度や加速度を積分することで、ブレ情報としての上記撮像装置１０の各方向の角度変化量や移動量を算出することができる。ブレ補正制御手段１５ａ，１５ｂは、夫々この算出したブレ情報に基づき撮像素子１１及びブレ補正用レンズ１２ｂの移動目標値を算出し、第１のブレ補正機構２０及び第２のブレ補正機構４０の駆動制御を行う。

【0034】

なお、撮像装置１０は第１及び第２のブレ補正機構２０，４０のどちらか一方のみ備える構成でもよい。この場合、ボディ１０ａ及び交換レンズ１０ｂのうちブレ補正機構を有さない側のブレ補正手段（すなわち、撮像素子１１又はブレ補正用レンズ１２ｂ）は光軸１２ａに対して固定的に配置する。

【0035】

以上、第１及び第２のブレ補正機構２０，４０を備える撮像装置１０の構成について説明した。続いて、本発明の要部であるＸＹθステージであるボディ１０ａ側の第１のブレ補正機構（以降、単にブレ補正機構と呼ぶ）２０の構成について詳細に説明する。なお、ＸＹステージであるレンズ１０ｂ側の第２のブレ補正機構４０については、構成の説明は前者に包括されるため、本発明では詳細な図示及び説明を省略する。

【0036】

図２は、ブレ補正機構２０の分解斜投影図である。また、図３は、ブレ補正機構２０の正面図及び側面分解図である。図３（ａ）は正面図を示し、図３（ｂ）は側面分解図を示す。なお、図３（ａ）の正面図は図２で示した一部の部品を非表示としている。

【0037】

図２、図３において、ブレ補正機構２０は、固定部２０ａ及び可動部２０ｂを備える。

【0038】

また、固定部２０ａ及び可動部２０ｂの夫々の一部が第１～第３の駆動力発生部２０ｃ１～２０ｃ３を構成する。以下、これらを総称する場合、駆動力発生部２０ｃという。具体的には、第１～第３の駆動力発生部２０ｃ１～２０ｃ３は、固定部２０ａ側の部分として磁気回路部２０ｄ１～２０ｄ３を夫々有し、可動部２０ｂ側の部分としてコイル部２０ｅ１～２０ｅ３を夫々有する。以下、これらを総称する場合、磁気回路部２０ｄ及びコイル部２０ｅと夫々いう。

【0039】

磁気回路部２０ｄ１～２０ｄ３は夫々、第１～第３の磁石２４＿１１～２４＿３３を有する。以下、これらを総称して磁石２４と定義する。例えば、磁気回路部２０ｄ２は第３の磁石２４＿２３を有する。また、コイル部２０ｅ１～２０ｅ３は夫々、第１～第３のコイル２５＿１～２５＿３を有する。以下、これらを総称してコイル２５と定義する。

【0040】

固定部２０ａは、さらに、第１の固定枠２１と、単数または複数の部材から構成される第２の固定枠２２と、第３の固定枠３１とを備える。可動部２０ｂは、さらに、可動枠２３と、磁界検出素子２９と、被吸引部材としての薄鋼板３２とを備える。また、可動部２０ｂと固定部２０ａの間にはボール３０が配置される。

【0041】

図２、図３の各々には、固定部２０ａが可動部２０ｂを並進及び回転移動させる駆動平面２０ｆ、及び駆動平面２０ｆと直交する駆動平面直交方向２０ｇが夫々示されている。上述のブレ補正を行うため、撮像装置１０におけるブレ補正機構２０は、その初期状態（基準位置）において、駆動平面２０ｆを光軸直交平面１２ｃと平行とし、且つ駆動平面直交方向２０ｇを光軸１２ａの方向と平行とする。

【0042】

ブレ補正機構２０の各部材は、駆動平面直交方向２０ｇにおいて、被写体側から第３の固定枠３１、薄鋼板３２、ＦＰＣ３３、可動枠２３、コイル２５、ボール３０、第１の固定枠２１、磁石ホルダ２６、磁石２４、第２の固定枠２２の順に並ぶ。また、磁界検出素子２９は、空芯コイルであるコイル２５の軸心部に配置される。

【0043】

薄鋼板３２、ＦＰＣ３３、コイル２５、及び磁界検出素子２９は夫々、可動枠２３に対して固定されて可動部２０ｂの一部を構成する。第３の固定枠３１、磁石２４、磁石ホルダ２６、第２の固定枠２２は第１の固定枠２１に対して固定されて固定部２０ａの一部を構成する。

【0044】

撮像素子１１は、その初期状態において、撮像面１１ａが駆動平面２０ｆと平行になるような姿勢で可動枠２３に対して固定される。

【0045】

可動枠２３は、第１の固定枠２１上のボール３０により支持される。また、可動枠２３がボール３０により支持される方向で、可動枠２３に固定される薄鋼板３２（被吸引部材）は、第１の固定枠２１に固定される磁石２４により吸引されることで、可動枠２３を駆動平面２０ｆ上に付勢する。これにより、ブレ補正機構２０は、その駆動中の固定部２０ａに対する可動部２０ｂの浮き上がり等を抑えた状態で、可動部２０ｂの駆動平面２０ｆ内での並進及び駆動平面２０ｆからの回転移動が可能となる。更に、上述したように駆動平面２０ｆ及び駆動平面直交方向２０ｇは夫々、光軸直交平面１２ｃ及び光軸１２ａの方向と平行である。このため、ブレ補正機構２０は、撮像素子１１の撮像面１１ａを、光軸直交平面１２ｃ内で並進させたり、光軸直交平面１２ｃから回転移動させたりすることで、撮像装置１０のブレ補正を行うことができる。

【0046】

以下、ブレ補正機構２０が、駆動力発生部２０ｃにより、可動部２０ｂの駆動平面２０ｆ内での並進及び駆動平面２０ｆからの回転移動を制御する方法について説明する。

【0047】

ここで、まず、撮像装置１０における方向の定義を行う。撮像装置１０の光軸１２ａの方向を直交ＸＹＺ座標系におけるＺ軸方向（不図示の被写体の方向が正）と定義する。更に、撮像装置１０の正立姿勢における水平方向と鉛直方向を、夫々Ｘ軸方向（図２向かって右側から左手側へ向かう方向が正）とＹ軸方向（図２向かって下から上へ向かう方向が正）と定義する。

【0048】

駆動力発生部２０ｃは、第１～第３の駆動力発生部２０ｃ１～２０ｃ３から構成される。第１の駆動力発生部２０ｃ１では後述する方法でＸ軸方向に駆動力を発生させる。また、第２及び第３の駆動力発生部２０ｃ２，２０ｃ３は、光軸直交平面１２ｃ内で略平行であって、且つ第１の駆動力発生部２０ｃ１に対して略直交方向となるように回転させて配置することで、Ｙ軸方向に駆動力を発生させる。これにより、第２及び第３の駆動力発生部２０ｃ２，２０ｃ３の組の駆動力の発生方向を略平行とする一方、第１及び第２の駆動力発生部２０ｃ１，２０ｃ２の組及び第１及び第３の駆動力発生部２０ｃ１，２０ｃ３の組の駆動力の発生方向を略直交とする。以上により、駆動力の発生方向が略直交となる組で並進２軸（Ｘ，Ｙ軸方向）の駆動制御が可能になり、駆動力の発生方向が略平行となる組で回転１軸（θ方向）の駆動制御が可能になり、３軸の駆動制御を行うことができる。

【0049】

次に、駆動力発生部２０ｃにおける駆動力の発生方法について図４を用いて説明する。

【0050】

図４は、第１の駆動力発生部２０ｃ１の構成を示す図である。図４（ａ）はＺ軸正方向正面図を示し、図４（ｂ）は図４（ａ）のＡ－Ａ’断面図を示す。なお、本実施例では、第１の駆動力発生部２０ｃ１について説明するが、第２の駆動力発生部２０ｃ２、第３の駆動力発生部２０ｃ３も同様の構成である。

【0051】

駆動力発生部２０ｃ（駆動部）はボイスコイルモータ（ＶＣＭ）方式と呼ばれる構成を備えている。この構成では、固定部２０ａと可動部２０ｂの一方に磁気回路部２０ｄ１を、他方にコイル部２０ｅを対面するように配置し、磁気回路部２０ｄが形成する磁気回路中でコイル部２０ｅに電流を流すことで駆動力を発生する。更に、本実施例では特に固定部２０ａ側に磁気回路部２０ｄを、可動部２０ｂ側にコイル部２０ｅを配置したムービングコイル方式を取っている。一般に、ボイスコイルモータ方式で使用する磁石（の組み合わせ）とコイルにおいては、コイルの方が総重量を軽量にすることができるため、ムービングコイル方式をとることで、より高効率化や高応答化しやすいという特徴がある。ただし、本発明の構成は磁気回路部２０ｄとコイル部２０ｅの配置を逆にしたムービングマグネット方式に対しても適用しても構わない。

【0052】

駆動力発生部２０ｃでは高効率化のため、第１のコイル２５＿１（以下単にコイル２５という）は駆動平面直交方向２０ｇ（Ｚ軸方向）でなるべく磁石２４に近づけて配置される。更に、第３の固定枠３１及び第２の固定枠２２は例えば電磁鋼板や鉄板等の第１の固定枠２１（図２）よりも透磁率が高い板金材料により構成され、ヨークとして磁石２４による磁束の周囲への漏れを防ぐ役割を果たす。また、磁気エネルギーを高めるために、磁石２４はネオジム磁石を使用することが望ましい。

【0053】

本実施例では、磁気回路部２０ｄは、ハルバッハ配列の概念を利用した磁気回路（以降、便宜的にハルバッハ磁気回路と呼ぶ）を形成する。続いて、ハルバッハ磁気回路の特徴について説明する。本実施例の磁気回路部２０ｄは、第１の磁石２４＿１１と第２の磁石２４＿１２の間に１対の磁石により構成される第３の磁石２４＿１３を配置するハルバッハ磁気回路を形成する。第１の磁石２４＿１１の磁化方向は駆動平面直交方向２０ｇとし、第２の磁石２４＿１２の磁化方向は第１の磁石２４＿１１の磁化方向と反対方向とする。第３の磁石２４＿１３の磁化方向は、駆動平面直交方向２０ｇにおいてコイル２５側から見たとき、第１の磁石２４＿１１と第２の磁石２４＿１２の極と同じ極を持つ方向に配置する。

【0054】

駆動平面直交方向２０ｇにおいて、コイル２５の上及び第１～第３の磁石２４＿１１～２４＿１３の下に各々、磁束の漏れを防ぐヨークである第３の固定枠３１と第２の固定枠２２を配置する。これにより、第１の磁石２４＿１１からコイル２５に向かう方向に出た磁束は第３の固定枠３１を経由して第２の磁石２４＿１２に入る。一方、第１の磁石２４＿１１からコイル２５と反対方向に出た磁束は第２の固定枠２２を経由して第１の磁石２４＿１１に戻る。この状態でコイル２５に通電すると、コイル２５はＸ軸方向に可動部２０ｂを駆動する駆動力を発生する。

【0055】

また、コイル２５の空隙部に、磁界検出素子２９（磁界検出部）を配置することで、上記通電により発生した駆動力に基づくコイル２５のＸ軸方向の位置変化が高感度に検知可能となる。

【0056】

ハルバッハ磁気回路を形成する磁気回路部２０ｄでは、第３の磁石２４＿１３により、第１の磁石２４＿１１と第２の磁石２４＿１２の間での駆動平面直交方向２０ｇにおけるコイル２５側とその反対側（第２の固定枠２２側）への磁束漏れが低減される。このため、コイル２５側の磁束密度が向上し、また、その磁束密度のうち、磁界検出素子２９により検出されるＺ軸方向の成分の磁束密度の直線性が向上する。以上の構成により、ハルバッハ磁気回路を形成する磁気回路部２０ｄでは、駆動力の発生効率、位置検出精度を共に高めることができる。

【0057】

ところが、ハルバッハ磁気回路を形成する磁気回路部２０ｄでは、第３の磁石２４＿１３と第１の磁石２４＿１１、また、第３の磁石２４＿１３と第２の磁石２４＿１２が夫々上側（コイル２５側）において互いに反発しあう不安定な配置となっている。このように互いに反発力を受ける環境においては、第１～第３の磁石２４＿１１～２４＿１３は、その磁力が低下し、元の磁力に戻ることが出来ない不可逆減磁が発生するおそれがある。

【0058】

第１～第３の磁石２４＿１１～２４＿１３は何れも隣接する磁石から反発力を受けるが、特に、第３の磁石２４＿１３は、隣接する両側の磁石から反発力を受け続ける。すなわち、第３の磁石２４＿１３の位置は、第１及び第２の磁石２４＿１１，２４＿１２の位置に比べて不可逆減磁が発生しやすい位置である。

【0059】

磁石２４のいずれかに不可逆減磁が発生すると、磁気回路部２０ｄの磁気エネルギーが低下することで、駆動力の低下や磁界検出素子２９の検出値のズレによる位置精度の低下などが発生し、駆動力発生部２０ｃの信頼性の低下が懸念される。

【0060】

以下、駆動力発生における高効率化と高い信頼性を確保することを可能にした、本実施例に係る駆動装置としてのブレ補正機構２０、特にこれに含まれる駆動力発生部２０ｃの磁気回路部２０ｄについて説明する。

【0061】

本実施例によるハルバッハ磁気回路を形成する磁気回路部２０ｄについて、図５、図６を参照して説明する。図５は、磁気回路部２０ｄを構成する第１～第３の磁石２４＿１１～２４＿１３の保磁力Ｈｃｊと残留磁束密度Ｂｒの関係を示す図である。図６は、横軸を磁界の強さ－Ｈ、縦軸を磁束密度Ｂとする、第１～第３の磁石２４＿１１～２４＿１３の夫々の減磁曲線を示す図である。具体的には、図６（ａ）は、第１の磁石２４＿１１の減磁曲線を示し、図６（ｂ）は、第２の磁石２４＿１２の減磁曲線を示し、図６（ｃ）は、第３の磁石２４＿１３の減磁曲線を示す。

【0062】

図５、図６において、第１～第３の磁石２４＿１１～２４＿１３の夫々の、保磁力Ｈｃｊｎ、残留磁束密度Ｂｒｎ、及びパーミアンス係数Ｐｃｎを示す。尚、夫々の末尾の数字ｎは、第１～第３の磁石２４＿１１～２４＿１３の夫々付番の末尾の数字に対応する。例えば、第１の磁石２４＿１１の残留磁束密度の符号はＢｒ１と表し、第３の磁石２４＿１３の保磁力の符号はＨｃｊ３と表す。また同様に、図５において、残留磁束密度Ｂｒｎと保磁力Ｈｃｊｎを結ぶ点をＢＨｎで表す。例えば、第３の磁石２４＿１３の残留磁束密度Ｂｒ３と保磁力Ｈｃｊ３を結ぶ点をＢＨ３と表す。

【0063】

また、図６に示すＴ０は、第１～第３の磁石２４＿１１～２４＿１３の夫々の初期温度を示す。さらに、図６に示すＴ１、Ｔ２、Ｔ３は夫々、撮像装置１０の使用時の第１～第３の磁石２４＿１１～２４＿１３の温度（以下、使用時温度という）であって、その末尾の番号は各磁石の番号の末尾の数字を表す。例えば、第２の磁石２４＿１２の使用時温度をＴ２と表す。

【0064】

磁石は一般に保磁力Ｈｃｊが高いほど不可逆減磁が発生しにくく、残留磁束密度Ｂｒが高いほど、高い磁力を発生させることが出来るという性質を持つ。ところが、図５に示すように、保磁力Ｈｃｊと残留磁束密度Ｂｒは一般的に反比例関係にある。すなわち、不可逆減磁を発生させないように保磁力Ｈｃｊを高めると、残留磁束密度Ｂｒが低くなる。このように残留磁束密度Ｂｒが低くなると、磁力が低くなり、駆動力の低下が懸念される。

【0065】

そこで、本実施例では、第３の磁石２４＿１３の保磁力Ｈｃｊ３を、第１の磁石２４＿１１の保磁力Ｈｃｊ１と第２の磁石２４＿１２の保磁力Ｈｃｊ２よりも高くしている。上述したように、第３の磁石２４＿１３の位置は、第１及び第２の磁石２４＿１１，２４＿１２の位置に比べて不可逆減磁が発生しやすい位置であるためである。これにより、第３の磁石２４＿１３における不可逆減磁の発生を抑える。

【0066】

一方、第１の磁石２４＿１１の残留磁束密度Ｂｒ１と第２の磁石２４＿１２の残留磁束密度Ｂｒ２を第３の磁石２４＿１３の残留磁束密度Ｂｒ３よりも大きくすることで、ハルバッハ磁気回路を形成する磁気回路部２０ｄの磁力を高く保つ。

【0067】

例えば、第１～第３の磁石２４＿１１～２４＿１３がすべてネオジム磁石である場合、上記関係が満たされるような残留磁束密度及び保磁力を有するグレードのネオジム磁石を夫々選択するようにすればよい。

【0068】

また、上述したように磁石２４はネオジム磁石を採用することが望ましいが、ネオジム磁石は高温になるほど、不可逆減磁が発生しやすいという性質を持つ。一般に、撮像装置の主要な発熱源の一つとして撮像素子が挙げられるが、近年、撮像装置の動画性能の向上などにより、撮像素子の発熱量が増加している。本実施例においても、撮像素子１１から発生した熱は撮像素子１１に近い部品から伝わっていくため、磁石２４に着目すると、第２の磁石２４＿１２、第３の磁石２４＿１３、第１の磁石２４＿１１の順に熱が伝わっていく。そのため、第２の磁石２４＿１２の使用時温度Ｔ２、第３の磁石２４＿１３の使用時温度Ｔ３、第１の磁石２４＿１１の使用時温度Ｔ１の順に温度が高くなりやすいという傾向がある。そこで、図６に示すように第２の磁石２４＿１２の保磁力Ｈｃｊ２を第１の磁石２４＿１１の保磁力Ｈｃｊ１より高くすることで、撮像素子１１の発熱による不可逆減磁の発生を抑える磁気回路部２０ｄを実現している。

【0069】

なお、本実施例では、撮像装置１０の使用時の温度上昇による影響よりも、磁気回路部２０ｄの中央に位置する第３の磁石２４＿１３がその両側にある第１及び第２の磁石２４＿１１， ２４＿１２から受ける反発力の影響の大きい場合を想定している。このため、第３の磁石２４＿１３の保磁力Ｈｃｊ３を第２の磁石２４＿１２の保磁力Ｈｃｊ２よりも高くする構成としたが、本発明はかかる構成に限定されない。

【0070】

例えば、撮像装置１０の使用時の温度上昇による影響が、磁気回路部２０ｄの中央に位置する第３の磁石２４＿１３がその両側にある第１及び第２の磁石２４＿１１， ２４＿１２から受ける反発力の影響よりも大きい場合も想定される。かかる場合は、第２の磁石２４＿１２の保磁力Ｈｃｊ２を第３の磁石２４＿１３の保磁力Ｈｃｊ３よりも高くすることが望ましい。尚、その場合でも、第３の磁石２４＿１３の保磁力Ｈｃｊ３は第１の磁石２４＿１１の保磁力Ｈｃｊ１よりも高くすることが望ましい。一方、第１の磁石２４＿１１の残留磁束密度Ｂｒ１を第２の磁石２４＿１２の残留磁束密度Ｂｒ２と第３の磁石２４＿１３の残留磁束密度Ｂｒ３よりも大きくすることで、ハルバッハ磁気回路を形成する磁気回路部２０ｄの磁力を高く保つことが望ましい。

【0071】

以上のように、本実施例では、第３の磁石２４＿１３の保磁力Ｈｃｊ３を第１の磁石２４＿１１の保磁力Ｈｃｊ１と第２の磁石２４＿１２の保磁力Ｈｃｊ２の少なくとも一方よりも高くする。また、第１の磁石２４＿１１の残留磁束密度Ｂｒ１と第２の磁石２４＿１２の残留磁束密度Ｂｒ２の少なくとも一方を第３の磁石２４＿１３の残留磁束密度Ｂｒ３よりも高くする。

【0072】

以上の構成により、駆動力発生における高効率化と高い信頼性を確保することを可能にした駆動装置としてのブレ補正機構２０を実現する。

【0073】

（実施例２）
本発明の実施例２に係る磁気回路部２０ｄ１～２０ｄ３について図７～図９を用いて説明する。ここで、実施例１との差は、磁気回路部２０ｄ１～２０ｄ３の磁石２４の構成のみであるので、以下に磁石２４の構成を詳細に説明し、それ以外の部材の説明は割愛する。

【0074】

図７は、本実施例における磁気回路部２０ｄ１～２０ｄ３の磁石２４の形状を示す斜視図である。尚、本実施例の磁気回路部２０ｄ１～２０ｄ３はすべて同様の構成でよいため、磁気回路部２０ｄ１の１つのみを説明し、他は割愛する。また、本実施例では、磁気回路部２０ｄ１を構成する全ての磁石２４は同じ材質により構成される。

【0075】

図７に示すように、本実施例の磁気回路部２０ｄ１は、第１の磁石２４＿１１と第２の磁石２４＿１２とその間に挟まれた第３の磁石１２４＿１３から構成される。

【0076】

図２に示すように、実施例１の第３の磁石２４＿１３のＹ軸方向の長さ、すなわち磁路長さ（第３の方向）とＺ軸方向の長さ（駆動平面直交方向２０ｇ：第１の方向）とは、夫々第１の磁石２４＿１１と第２の磁石２４＿１２と同じ長さに構成されている。これに対し、本実施例の第３の磁石１２４＿１３の磁路長さ及びＺ軸方向の長さは、第１の磁石２４＿１１と第２の磁石２４＿１２よりも短く構成されている。この理由について次に詳細に説明する。

【0077】

図８は、横軸を磁界の強さ－Ｈ、縦軸を磁束密度Ｂとする、第３の磁石１２４＿１３の、初期温度Ｔ０及び使用時温度Ｔ４での減磁曲線８００，８０１を示す。

【0078】

図８では、第３の磁石１２４＿１３の、保磁力Ｈｃｊ４、残留磁束密度Ｂｒ４、及びパーミアンス係数Ｐｃ４－ｂの場合の減磁曲線８００，８０１上の動作点Ｏ_Ｔ０，Ｏ_Ｔ４で表す。また、本実施例の比較例として、パーミアンス係数Ｐｃ４－ｂより小さい、パーミアンス係数Ｐｃ４－ａの場合の減磁曲線８００，８０１上の動作点Ｏ’_Ｔ０，Ｏ’_Ｔ４を示す。尚、ここでの比較例は、第３の磁石１２４＿１３と同じ材質の直方体形状を有し、後述する図９に示す寸法比がＬｘ：Ｌｙ：Ｌｚ＝１：２：１０である磁石である。

【0079】

ここで、動作点の夫々の下付きの数字は、その動作点を含む減磁曲線が測定されたときの第３の磁石１２４＿１３及び比較例の磁石の温度を表す。例えば、パーミアンス係数Ｐｃ４－ｂの場合の初期温度Ｔ０における減磁曲線８００上の動作点の符号はＯ_Ｔ０と表す。

【0080】

図８に示すように、パーミアンス係数が変わると動作点が変化することがわかる。例えば、使用時温度Ｔ４の減磁曲線８０１上には、パーミアンス係数Ｐｃ４－ｂ（第３の磁石１２４＿１３）の動作点Ｏ_Ｔ４とパーミアンス係数Ｐｃ４－ａ（比較例）の動作点Ｏ’_Ｔ４が存在する。これを比較すると、動作点Ｏ_Ｔ４上の磁界の強さ－Ｈの絶対値、すなわち反磁場の大きさは、動作点Ｏ’_Ｔ４上の反磁場の大きさより小さい。すなわち、不可逆減磁が発生しにくくなる。

【0081】

図９は、第３の磁石１２４＿１３のパーミアンス係数Ｐｃ４－ｂを説明するために用いられる直方体形状の磁石の寸法を示す斜視図であり、図１０は、図９の磁石における寸法比とパーミアンス係数の関係を示す図である。また図１１は、第３の磁石１２４＿１３の寸法を示す斜視図である。

【0082】

図９に示すように、直方体形状をした磁石の着磁方向の長さ（第２の方向）をＬｘ、磁路断面におけるＬｘと直交する方向の長さをＬｙ、磁路長さをＬｚとする。このときのＬｘ／Ｌｙを横軸に、パーミアンス係数を縦軸にし、Ｌｚ／Ｌｙの値を曲線で示したものが図１０である。例えば、図８の比較例の磁石は、Ｌｙ／Ｌｘの値が２であって、Ｌｚ／Ｌｘの値が１０であるため、バーミアンス係数は０．５程度であることがわかる。

【0083】

前述のとおり、第３の磁石１２４＿１３において不可逆減磁をおきにくくするにはそのパーミアンス係数は大きい必要がある。より厳密には、撮像装置１０の使用時における第３の磁石１２４＿１３の温度Ｔ４における減磁曲線８０１（図８）の屈曲点よりその動作点が上側になるようなパーミアンス係数である必要がある。なぜなら動作点が減磁曲線の屈曲点より下側となると、温度が撮像装置１０の使用時の温度Ｔ４から初期温度Ｔ０に戻っても残留磁束密度が戻りきらず減磁してしまうためである。

【0084】

例えば、比較例のようにパーミアンス係数Ｐｃ４－ａである場合、撮像装置１０の使用時においてはその動作点Ｏ’_Ｔ４は、減磁曲線８０１の下側となるため望ましくない。これに対して、本実施例の第３の磁石１２４＿１３のようにパーミアンス係数Ｐｃ４－ｂである場合、撮像装置１０の使用時においてはその動作点Ｏ_Ｔ４は、減磁曲線８０１の上側となるため望ましい。

【0085】

また、パーミアンス係数を大きくするためには、図１０から明らかなように、Ｌｙ／Ｌｘの値を小さくする、もしくはＬｚ／Ｌｘの値を小さくするとよい。磁気回路部２０ｄ１の効率がよくなるように、これを構成する磁石２４の夫々の、第３の磁石１２４＿１３の着磁方向（第２の方向）における長さを決定しようとすると、第３の磁石１２４＿１３の着磁方向長さ１２４＿１３Ｌｘの最適値は自ずと決まる。一方、Ｌｘをその最適値に固定した状態で、Ｌｙ／ＬｘもしくはＬｚ／Ｌｘを小さくするには、ＬｙかＬｚもしくはその両者を小さく（短く）する必要がある。

【0086】

そこで本実施例においては、第３の磁石１２４＿１３の磁路長さ１２４＿１３Ｌｚを第１の磁石２４＿１１及び第２の磁石２４＿１２の磁路長さよりも短くした。さらに、第３の磁石１２４＿１３の磁路断面における着磁方向と直交する方向（駆動平面直交方向２０ｇ）においても、第３の磁石１２４＿１３の長さ１２４＿１３Ｌｙを、第１の磁石２４＿１１及び第２の磁石２４＿１２のその方向における長さよりも短くした。

【0087】

これによって本実施例の第３の磁石１２４＿１３のパーミアンス係数Ｐｃ４－ｂが、その比較例のパーミアンス係数Ｐｃ４－ａより大きくなり、さらには動作点Ｏ_Ｔ４が温度Ｔ４時における減磁曲線８０１の屈曲点を超える。このため、不可逆減磁がより起きにくい構成とすることができる。

【0088】

以上本実施例では、磁路長さの方向及び駆動平面直交方向２０ｇにおいて、第１及び第２の磁石２４＿１１，２４＿１２の寸法に比べて、第３の磁石１２４＿１３の寸法を短くしたがこれに限定されない。例えば、磁路長さの方向及び駆動平面直交方向２０ｇのどちらか片方の方向の寸法のみ短くしてもよい。

【0089】

（実施例３）
上述の実施例２では、第３の磁石１２４＿１３の寸法を、第１及び第２の磁石２４＿１１，２４＿１２より小さくしたことで、同一寸法の場合に比べて、駆動装置としてのブレ補正機構２０の若干の駆動力（推力）の低下が見込まれる。これに対し、本実施例では、実施例１の第３の磁石２４＿１３に対応する磁石のパーミアンス係数を第３の磁石２４＿１３のパーミアンス係数より大きくし、且つ実施例２よりブレ補正機構２０の駆動力を向上させる。ここで、実施例１との差は、磁気回路部２０ｄ１～２０ｄ３の磁石２４の構成、及び磁界検出素子２９の配置のみであるので、それ以外の部材の説明は割愛する。

【0090】

本実施例に係る磁気回路部２０ｄ１～ｄ３及びこれらに対向する磁界検出素子２９について図１２を用いて説明する。尚、本実施例の磁気回路部２０ｄ１～２０ｄ３はすべて同様の構成でよいため、磁気回路部２０ｄ１の１つのみを説明し、他は割愛する。また、本実施例も実施例２と同様、磁気回路部２０ｄ１を構成する全ての磁石２４は同じ材質（図８に示す保磁力Ｈｃｊ４、残留磁束密度Ｂｒ４を有する磁石）により構成される。

【0091】

図１２は、本実施例における磁気回路部２０ｄ１及び磁界検出素子２９を駆動平面直交方向２０ｇ（第１の方向）からみた上面模式図である。

【0092】

図１２に示すように、本実施例の磁気回路部２０ｄ１は、第１及び第２の磁石２４＿１１，２４＿１２の間に、第３の磁石２４＿１３と同様に着磁された第３の磁石２２４＿１３ａ，２２４＿１３ｂが磁路長さの方向（第３の方向）に隣接するように配置される。また磁界検出素子２９は、この２つの第３の磁石２２４＿１３ａ，２２４＿１３ｂの境界上ではない位置に対向して配される。これは磁界検出素子２９による磁界検出を精度よく行い、ひいては精度のよい位置検出が可能とするためである。

【0093】

駆動平面直交方向２０ｇ（第１の方向）において、第３の磁石２２４＿１３ａ，２２４＿１３ｂの夫々は、同一の寸法（長さ２２４＿１３Ｌｙ）であり、第１の磁石２４＿１１及び第２の磁石２４＿１２の略半分の寸法である。すなわち、駆動平面直交方向２０ｇ（第１の方向）において、第３の磁石２２４＿１３ａ，２２４＿１３ｂの夫々の寸法は、実施例１の第３の磁石２４＿１３の略半分の寸法である。これにより、第３の磁石２２４＿１３ａ，２２４＿１３ｂを第３の磁石２４＿１３より大きいパーミアンス係数とし、不可逆減磁が起こりにくくさせることが可能となる。本実施例ではさらに、パーミアンス係数を高めながら、駆動装置としてのブレ補正機構２０の駆動力を向上させるため、磁路長さの方向（第３の方向）に第３の磁石２２４＿１３ａ，２２４＿１３ｂを並べた形態としている。本実施例では、第３の磁石２２４＿１３ａ，２２４＿１３ｂを夫々の磁路長さを、実施例１の第３の磁石２４＿１３の略半分にしてパーミアンス係数を大きくしている。

【0094】

尚、駆動平面直交方向２０ｇ（第１の方向）において、第３の磁石２２４＿１３ａ，２２４＿１３ｂの夫々の寸法（長さ２２４＿１３Ｌｙ）は、第１の磁石２４＿１１や第２の磁石２４＿１２の寸法の略半分としたが、この限りではない。例えば、第３の磁石２２４＿１３ａ，２２４＿１３ｂを全体として、実施例１の第３の磁石２４＿１３と同一寸法とすべく、夫々の長さ２２４＿１３Ｌｙをその倍の寸法に変更してもよい。

【0095】

（実施例４）
実施例３と同様、本実施例では、実施例１の第３の磁石２４＿１３に対応する磁石のパーミアンス係数を第３の磁石２４＿１３のパーミアンス係数より大きくし、且つ実施例２よりブレ補正機構２０の駆動力を向上させる。ここで、実施例１との差は、磁気回路部２０ｄ１～２０ｄ３の磁石２４の構成、及び磁界検出素子２９の配置のみであるので、それ以外の部材の説明は割愛する。

【0096】

本実施例に係る磁気回路部２０ｄ１～ｄ３及びこれらに対向する磁界検出素子２９について図１３、図１４を用いて説明する。尚、本実施例の磁気回路部２０ｄ１～２０ｄ３はすべて同様の構成でよいため、磁気回路部２０ｄ１の１つのみを説明し、他は割愛する。また、本実施例も実施例２，３と同様、磁気回路部２０ｄ１を構成する全ての磁石２４は同じ材質（図８に示す保磁力Ｈｃｊ４、残留磁束密度Ｂｒ４を有する磁石）により構成される。

【0097】

図１３は、本実施例における磁気回路部２０ｄ１及び磁界検出素子２９を駆動平面直交方向２０ｇ（第１の方向）から見た上面模式図である。また図１４は、図１３のＢ－Ｂ’断面図及びＣ－Ｃ’断面図である。

【0098】

図１３に示す第１の磁石３２４＿１１は、第１の磁石２４＿１１と同方向に着磁されており、駆動平面直交方向２０ｇ（第１の方向）から見てコの字形状を有する。同様に、第２の磁石３２４＿１２は、第２の磁石２４＿１２と同方向に着磁されており、駆動平面直交方向２０ｇ（第１の方向）から見て逆コの字形状を有する。さらに第３の磁石３２４＿１３は、第３の磁石２４＿１３と同方向に着磁されており、第１の磁石３２４＿１１及び第２の磁石３２４＿１２によって囲まれる中央部のくぼみに入り込むように配置される。また磁界検出素子２９は、第３の磁石３２４＿１３と対向して配される。この磁界検出素子２９の配置については図１４を用いて後述する。

【0099】

また、磁路長さの方向（第３の方向）において、第３の磁石３２４＿１３の寸法（長さ３２４＿１３Ｌｚ）を、第１及び第２の磁石３２４＿１１，３２４＿１２の寸法（長さ３２４＿１２Ｌｚ）より短くする。すなわち、磁路長さの方向（第３の方向）において、第３の磁石３２４＿１３の寸法（長さ３２４＿１３Ｌｚ）を、実施例１の第３の磁石２４＿１３より短くする。これにより、第３の磁石３２４＿１３を第３の磁石２４＿１３より大きいパーミアンス係数とし、不可逆減磁が起こりにくくさせることが可能となる。さらに、本実施例では、実施例２とは異なり、第１及び第２の磁石３２４＿１１，３２４＿１２の形状を、磁路長さの方向（第３の方向）における第３の磁石３２４＿１３との長さの差にあたる部分を埋めるような形状としている。これにより、駆動装置としてのブレ補正機構２０の駆動力を確保している。

【0100】

図１４から明らかなように、磁界検出素子２９を通るＣ－Ｃ’断面においては第３の磁石３２４＿１３が存在するが、それ以外の断面、例えばＢ－Ｂ’断面においては第３の磁石３２４＿１３が存在しないような構成となっている。

【0101】

このように、磁界検出素子２９は、磁気回路部２０ｄ１のうちハルバッハ磁気回路を形成している部分に対向して配される。これにより、磁界検出素子２９は、磁界検出を精度よく行うことが可能となり、ひいては精度のよい位置検出が可能となる。

【0102】

（実施例５）
実施例３，４と同様、本実施例では、実施例１の第３の磁石２４＿１３に対応する磁石のパーミアンス係数を第３の磁石２４＿１３のパーミアンス係数より大きくし、且つ実施例２よりブレ補正機構２０の駆動力を向上させる。ここで、実施例１との差は、磁気回路部２０ｄ１～２０ｄ３の磁石２４の構成、及び磁界検出素子２９の配置のみであるので、それ以外の部材の説明は割愛する。

【0103】

本実施例に係る磁気回路部２０ｄ１～ｄ３及びこれらに対向する磁界検出素子２９について図１５、図１６を用いて説明する。尚、本実施例の磁気回路部２０ｄ１～２０ｄ３はすべて同様の構成でよいため、磁気回路部２０ｄ１の１つのみを説明し、他は割愛する。また、本実施例も実施例２～４と同様、磁気回路部２０ｄ１を構成する全ての磁石２４は同じ材質（図８に示す保磁力Ｈｃｊ４、残留磁束密度Ｂｒ４を有する磁石）により構成される。

【0104】

図１５は、本実施例における磁気回路部２０ｄ１及び磁界検出素子２９を駆動平面直交方向２０ｇ（第１の方向）から見た上面模式図である。また図１６は、図１５のＤ－Ｄ’断面図及びＥ－Ｅ’断面図である。

【0105】

図１５に示すように、本実施例の磁気回路部２０ｄ１は、第１の磁石２４＿１１と第２の磁石２４＿１２の間に、第３の磁石２４＿１３と同様に着磁された第３の磁石４２４＿１３ａ，４２４＿１３ｂが夫々の磁路長さの方向（第３の方向）に並べて配置される。また、第３の磁石４２４＿１３ａ，４２４＿１３ｂの間には斜線で示す空隙部４２４＿１３ｃが設けられる。磁界検出素子２９は、この空隙部４２４＿１３ｃに対向して配される。

【0106】

すなわち、図１６から明らかなように、磁界検出素子２９を通るＥ－Ｅ’断面において第１の磁石２４＿１１と第２の磁石２４＿１２の間には第３の磁石４２４＿１３ａ，４２４＿１３ｂはいずれも存在しない。一方、それ以外の断面、例えばＤ－Ｄ’断面においては第１の磁石２４＿１１と第２の磁石２４＿１２の間には第３の磁石４２４＿１３ａが存在するような構成となっている。かかる構成とした場合、Ｅ－Ｅ’断面での磁束ピーク位置は、Ｄ－Ｄ’断面での磁束ピーク位置より外側に移動し、その分、磁界検出素子２９による位置検出ストロークを伸ばすことができる。

【0107】

さらには、磁気回路部２０ｄ１のうち、磁界検出素子２９と対向しない部分においては、第１及び第２の磁石２４＿１１，２４＿１２の間に第３の磁石４２４＿１３ａ，４２４＿１３ｂを配してハルバッハ磁気回路を形成する。これにより、磁気回路部２０ｄ１の効率を向上させ、駆動装置としてのブレ補正機構２０の駆動力を確保している。

【0108】

また、第３の磁石４２４＿１３ａ，４２４＿１３ｂの夫々の磁路長さを、実施例１の第３の磁石２４＿１３の磁路長さより短くする。これによって、第３の磁石４２４＿１３ａ，４２４＿１３ｂを実施例１の第３の磁石２４＿１３より大きいパーミアンス係数とし、不可逆減磁を起きにくくさせることが可能となる。

【0109】

尚、実施例２～５では、磁気回路部２０ｄ１を構成する磁石２４を全て同じ材質により構成したが、これに限定されない。例えば、実施例１と同様の関係が満たされるような残留磁束密度及び保磁力を有するグレードのネオジム磁石を、磁気回路部２０ｄ１を構成する磁石２４の夫々として選択するようにしてもよい。

【0110】

また、実施例１～５では、第１の駆動力発生部２０ｃ１の構成のみを説明したが、第２の駆動力発生部２０ｃ２や第３の駆動力発生部２０ｃ３も同様の構成をとる。さらには、第１の駆動力発生部２０ｃ１と第２の駆動力発生部２０ｃ２と第３の駆動力発生部２０ｃ３夫々の複数の磁石の構成が同じようになっている必要はない。例えば、第１の駆動力発生部２０ｃ１が実施例１の構成、第２の駆動力発生部２０ｃ２が実施例２の構成、第３の駆動力発生部２０ｃ３が実施例３の構成など、さまざまな組み合わせを用いてもよい。

【0111】

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。

【符号の説明】

【0112】

２０ ブレ補正機構
２０ａ 固定部
２０ｂ 可動部
２０ｃ 駆動力発生部
２０ｄ 磁気回路部
２０ｅ コイル部
２１ 第１の固定枠
２３ 可動枠
２４ 磁石
２５ コイル
２９ 磁界検出素子

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】