特許 7551575 スクリーン印刷機

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-06

(45)【発行日】2024-09-17

(54)【発明の名称】スクリーン印刷機

(51)【国際特許分類】

   B41F 15/12 20060101AFI20240909BHJP

   B41F 15/08 20060101ALI20240909BHJP

   B41F 35/00 20060101ALI20240909BHJP

   H05K 3/34 20060101ALI20240909BHJP

【ＦＩ】

B41F15/12 A

B41F15/08 303E

B41F35/00 C

H05K3/34 505D

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2021117022

(22)【出願日】2021-07-15

(65)【公開番号】P2023013091

(43)【公開日】2023-01-26

【審査請求日】2023-12-06

(73)【特許権者】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001036

【氏名又は名称】弁理士法人暁合同特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】玉木 英一

【審査官】岩本 太一

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１９／１７１４１９（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１８／１０５０１８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１５－０８０８７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－０６６９２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００５／０１８３６００（ＵＳ，Ａ１）

【文献】韓国登録特許第１０－２２６２５３３（ＫＲ，Ｂ１）

【文献】独国特許出願公開第０３９２８５２５（ＤＥ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ４１Ｆ １５／００－１５／４６

３１／００－３５／０６

Ｈ０５Ｋ ３／３２－ ３／３４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

スクリーン印刷機であって、
マスクを用いて基板に回路パターンを印刷する印刷部と、
印刷に関わる作業を行う前記印刷部以外の作業部と、
交換可能に取り付けられているクリーニング媒体を用いて前記マスクの下面をクリーニングするクリーニング部と、
前記クリーニング媒体の媒体切れを検知する検知部と、
制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記検知部によって媒体切れが検知された場合に、次回前記クリーニング部が動作する前のタイミングであって、前記印刷部が停止しており、且つ、前記作業部が動作しているタイミングを予測する予測処理と、
前記予測処理で予測したタイミングを、前記クリーニング媒体を交換可能なタイミングとしてオペレータに案内する案内処理と、
を実行する、スクリーン印刷機。

【請求項2】

請求項１に記載のスクリーン印刷機であって、
前記制御部は、前記案内処理において、前記予測処理で予測したタイミングの所定時間前に、当該所定時間後に前記クリーニング媒体を交換するようオペレータに案内する、スクリーン印刷機。

【請求項3】

請求項１又は請求項２に記載のスクリーン印刷機であって、
前記制御部は、前記案内処理において、前記予測処理で予測したタイミングに達したときに、前記クリーニング媒体を交換するようオペレータに案内する、スクリーン印刷機。

【請求項4】

請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のスクリーン印刷機であって、
前記作業部は、前記基板を搬送する搬送部、前記基板に印刷された回路パターンを検査する検査部、前記基板を下から支持するバックアップピンの配置を変更する変更部の少なくとも一つである、スクリーン印刷機。

【請求項5】

請求項４に記載のスクリーン印刷機であって、
前記制御部は、前記予測処理において、回路パターンが印刷された前記基板が搬出された後、前記搬送部によって次の前記基板が搬入されてくるまでの時間帯、前記検査部によって前記回路パターンを検査する時間帯、及び、前記変更部によって前記バックアップピンの配置を変更する時間帯をそれぞれ予測し、予測した時間帯のうち最も長い時間帯に含まれる時刻を、前記印刷部が停止しており、且つ、前記作業部が動作しているタイミングとする、スクリーン印刷機。

【請求項6】

請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のスクリーン印刷機であって、
前記マスクを移動させるマスク移動部を備え、
前記制御部は、前記印刷部が停止しており、且つ、前記作業部が動作しているときは前記マスクを前記クリーニング部の近傍に移動させる、スクリーン印刷機。

【請求項7】

請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のスクリーン印刷機であって、
前記制御部は、前記印刷部が停止しており、且つ、前記作業部が動作しているときは前記印刷部への電力供給を遮断する、スクリーン印刷機。

【請求項8】

請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のスクリーン印刷機であって、
前記制御部は、オペレータが前記クリーニング媒体を交換する作業が終了するまでは前記印刷部の動作を開始しない、スクリーン印刷機。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書で開示する技術は、スクリーン印刷機に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、基板に回路パターンを印刷するスクリーン印刷機が知られている。スクリーン印刷機は回路パターンを表す開口が形成されているマスクの上で半田ペースト（クリーム半田とも称される）を均すことにより、マスクの下に配されている基板に回路パターンを印刷する。
一般にスクリーン印刷機は回路パターンを印刷した後にマスクの下面を紙や布などのクリーニング媒体でクリーニングしている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のスクリーン印刷機はクリーニング媒体が無端形状であり、クリーニング媒体を清掃して再使用する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１０－２０１７９７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載のスクリーン印刷機はクリーニング媒体を再使用するものであるが、一度使用したクリーニング媒体を再使用せずに新しいクリーニング媒体に交換するスクリーン印刷機もある。しかしながら、従来は、一度使用したクリーニング媒体を再使用せずに新しいクリーニング媒体に交換する場合の課題について十分に検討されていなかった。
本明細書では、クリーニング媒体の交換によってタクトタイムが長くなることを抑制する技術を開示する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

スクリーン印刷機であって、マスクを用いて基板に回路パターンを印刷する印刷部と、印刷に関わる作業を行う前記印刷部以外の作業部と、交換可能に取り付けられているクリーニング媒体を用いて前記マスクの下面をクリーニングするクリーニング部と、前記クリーニング媒体の媒体切れを検知する検知部と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記検知部によって媒体切れが検知された場合に、次回前記クリーニング部が動作する前のタイミングであって、前記印刷部が停止しており、且つ、前記作業部が動作しているタイミングを予測する予測処理と、前記予測処理で予測したタイミングを、前記クリーニング媒体を交換可能なタイミングとしてオペレータに案内する案内処理と、を実行する。

【発明の効果】

【0006】

クリーニング媒体の交換によってタクトタイムが長くなることを抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】実施形態１に係るスクリーン印刷機の斜視図

【図2】スクリーン印刷機の正面図

【図3】スクリーン印刷機を右側から見た側面図

【図4】スクリーン印刷機の上面図

【図5】マスクの斜視図

【図6A】マスクを交換する動作を説明するための模式図（交換前）

【図6B】マスクを交換する動作を説明するための模式図（交換後）

【図7】検査部及びクリーニング部の上面図

【図8】スクリーン印刷機の電気的構成を示すブロック図

【図9】クリーニングシートを交換するときのマスクとクリーニング部との位置関係を示す模式図

【図10】印刷処理のフローチャート

【図11】自動クリーニング処理のフローチャート

【図12】クリーニングシートの無停止交換タイミングの予測処理のフローチャート

【図13】実施形態２に係るスクリーン印刷機を右側から見た側面図

【発明を実施するための形態】

【0008】

（本実施形態の概要）
（１）本開示に係るスクリーン印刷機は、マスクを用いて基板に回路パターンを印刷する印刷部と、印刷に関わる作業を行う前記印刷部以外の作業部と、交換可能に取り付けられているクリーニング媒体を用いて前記マスクの下面をクリーニングするクリーニング部と、前記クリーニング媒体の媒体切れを検知する検知部と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記検知部によって媒体切れが検知された場合に、次回前記クリーニング部が動作する前のタイミングであって、前記印刷部が停止しており、且つ、前記作業部が動作しているタイミングを予測する予測処理と、前記予測処理で予測したタイミングを、前記クリーニング媒体を交換可能なタイミングとしてオペレータに案内する案内処理と、を実行する。

【0009】

一度使用したクリーニング媒体を再使用せずに新しいクリーニング媒体に交換する場合、クリーニング媒体の交換のためにスクリーン印刷機を停止させるとタクトタイム（基板１枚当たりの印刷時間）が長くなる。
上記のスクリーン印刷機によると、クリーニング媒体の媒体切れを検知した場合に、次回クリーニング部が動作する前のタイミングであって、印刷部が停止しており、且つ、作業部が動作しているタイミングを、クリーニング媒体を交換可能なタイミングとしてオペレータに案内するので、スクリーン印刷機の動作を完全に停止させることなくクリーニング媒体を交換できる可能性が高くなる。このため上記のスクリーン印刷機によると、一度使用したクリーニング媒体を再使用せずに新しいクリーニング媒体に交換するスクリーン印刷機において、クリーニング媒体の交換によってタクトタイムが長くなることを抑制できる。

【0010】

（２）前記制御部は、前記案内処理において、前記予測処理で予測したタイミングの所定時間前に、当該所定時間後に前記クリーニング媒体を交換するようオペレータに案内してもよい。

【0011】

上記のスクリーン印刷機によると、予測処理で予測したタイミングの所定時間前にオペレータに案内するので、予測処理で予測したタイミングでオペレータがクリーニング媒体を交換する可能性が高くなる。

【0012】

（３）前記制御部は、前記案内処理において、前記予測処理で予測したタイミングに達したときに、前記クリーニング媒体を交換するようオペレータに案内してもよい。

【0013】

上記のスクリーン印刷機によると、予測処理で予測したタイミングに達したときに、クリーニング媒体を交換するようオペレータに案内するので、予測処理で予測したタイミングでオペレータがクリーニング媒体を交換する可能性が高くなる。

【0014】

（４）前記作業部は、前記基板を搬送する搬送部、前記基板に印刷された回路パターンを検査する検査部、前記基板を下から支持するバックアップピンの配置を変更する変更部の少なくとも一つであってもよい。

【0015】

上記のスクリーン印刷機によると、クリーニング媒体を交換するときに搬送部、検査部及び変更部の少なくとも一つが動作中であるので、スクリーン印刷機の動作を停止させずにクリーニング媒体を交換できる。

【0016】

（５）前記制御部は、前記予測処理において、回路パターンが印刷された前記基板が搬出された後、前記搬送部によって次の前記基板が搬入されてくるまでの時間帯、前記検査部によって前記回路パターンを検査する時間帯、及び、前記変更部によって前記バックアップピンの配置を変更する時間帯をそれぞれ予測し、予測した時間帯のうち最も長い時間帯に含まれる時刻を、前記印刷部が停止しており、且つ、前記作業部が動作しているタイミングとしてもよい。

【0017】

クリーニング媒体の交換にはある程度の時間を要するので、印刷部が停止しており、且つ、作業部が動作している時間帯が短いとその間に交換が終了しない可能性がある。
上記のスクリーン印刷機によると、予測した時間帯のうち最も長い時間帯に含まれる時刻を、印刷部が停止しており、且つ、作業部が動作しているタイミングとするので、印刷部が停止しており、且つ、作業部が動作している間にクリーニング媒体の交換が終了する可能性が高くなる。このため、クリーニングが間に合わずに印刷部が待ち状態になる可能性を低減できる。

【0018】

（６）前記マスクを移動させるマスク移動部を備え、前記制御部は、前記印刷部が停止しており、且つ、前記作業部が動作しているときは前記マスクを前記クリーニング部の近傍に移動させてもよい。

【0019】

上記のスクリーン印刷機によると、印刷部が停止しており、且つ、作業部が動作しているときはマスクをクリーニング部の近傍に移動させるので、動作中の作業部にオペレータが触れることを抑制できる。

【0020】

（７）前記制御部は、前記印刷部が停止しており、且つ、前記作業部が動作しているときは前記印刷部への電力供給を遮断してもよい。

【0021】

上記のスクリーン印刷機によると、印刷部が停止しており、且つ、作業部が動作しているときは印刷部への電力供給を遮断するので、クリーニング媒体を交換するときのオペレータの安全性が向上する。

【0022】

（８）前記制御部は、オペレータが前記クリーニング媒体を交換する作業が終了するまでは前記印刷部の動作を開始しないようにしてもよい。

【0023】

上記のスクリーン印刷機によると、オペレータがクリーニング媒体を交換する作業が終了するまでは印刷部の動作を開始しないので、オペレータの安全性が向上する。

【0024】

（９）本開示に係るスクリーン印刷機は、筐体と、前記筐体に収容されており、マスクを用いて基板に回路パターンを印刷する印刷部と、前記筐体に収容されており、印刷に関わる作業を行う前記印刷部以外の作業部と、前記筐体に収容されているクリーニング部であって、クリーニング媒体が交換可能に取り付けられており、前記クリーニング媒体によって前記マスクの下面をクリーニングするクリーニング部と、前記筐体に形成されている開口であって前記クリーニング媒体を交換するための開口を開閉する開閉カバーと、前記開閉カバーが開いているときにオペレータが前記印刷部及び前記作業部に触れることを規制する規制部と、を備える

【0025】

上記のスクリーン印刷機によると、印刷部や作業部が動作中のときにオペレータが開閉カバーを開けても、規制部があることにより、オペレータが印刷部や作業部に触れることを規制できる。このため、印刷部や作業部が動作中であってもオペレータが安全にクリーニング媒体を交換できる。このため、クリーニング媒体を交換するためにスクリーン印刷機を停止させなくてよい。このため上記のスクリーン印刷機によると、クリーニング媒体の交換によってタクトタイムが長くなることを、オペレータの安全性を確保しつつ抑制できる。

【0026】

［本開示の実施形態の詳細］
以下に、本開示の実施形態について説明する。本開示はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
本開示の実施形態は、装置、方法、これらの装置または方法の機能を実現するためのコンピュータプログラム、そのコンピュータプログラムを記録した記録媒体等の種々の態様で実現できる。

【0027】

＜実施形態１＞
実施形態１を図１ないし図１２に基づいて説明する。以降の説明では図１に示す左右方向をＸ方向、前後方向をＹ方向、上下方向をＺ方向という。また、以降の説明では図１に示す右側を上流側、左側を下流側という。また、以降の説明では同一の構成要素には一部を除いて図面の符号を省略している場合がある。

【0028】

（１）スクリーン印刷機の構成
図１を参照して、スクリーン印刷機１の構成について説明する。スクリーン印刷機１は箱状の筐体１０を備えている。筐体１０は上壁１０Ａと前壁１０Ｂとの角部に開閉可能な前側カバー１０Ｃが設けられている。筐体１０の右壁１０Ｄには基板Ｐが搬入される開口が形成されており、左壁には基板Ｐが搬出される開口が形成されている。基板Ｐは右壁の開口から筐体１０の内部に搬入され、回路パターンが印刷された後に左側の開口から搬出される。

【0029】

スクリーン印刷機１は、図２に示す金属製のベース１１、マスク１２、マスクホルダ１３、基板搬送部１４（搬送部及び作業部の一例）、印刷テーブル１５（作業部の一例）、印刷部１６（印刷部及びマスク移動部の一例）、検査部１７（検査部、変更部及び作業部の一例）、図３に示すマスクスライダ１８（マスク移動部及び作業部の一例）、マスク交換ユニット１９（作業部の一例）、クリーニング部２０などを備えている。なお、図２ではクリーニング部２０を省略している。
図２及び図３に示すように、印刷部１６、マスクスライダ１８及びマスク交換ユニット１９はマスク１２より上にあり、基板搬送部１４、印刷テーブル１５及び検査部１７はマスク１８の下にある。

【0030】

図５に示すように、マスク１２は枠状のマスクフレーム１２Ａと、マスクフレーム１２Ａの内側に弾性部材１２Ｂを介して支持されている板状のマスク本体１２Ｃとを備えている。マスク本体１２Ｃはアルミニウムや鉄などで形成されており、印刷する回路パターンに対応する開口（図示せず）が形成されている。弾性部材１２Ｂは板状の樹脂やゴムなどである。

【0031】

図２に示すように、マスクホルダ１３は印刷部１６と検査部１７との間に設けられている。マスクホルダ１３はＸ方向に離間してＹ方向に延びる２つのレール部１３Ａで構成されている。Ｘ方向左側のレール部１３Ａは左側の縁部に沿って側壁部が立ち上がっており、Ｘ方向右側のレール部１３Ａは右側の縁部に沿って側壁部が立ち上がっている。マスク１２は２つのレール部１３ＡによってＸ方向の両側が支持される。

【0032】

図２及び図４に示すように、基板搬送部１４はＸ方向に並ぶ３つのコンベア（上流側コンベア１４Ａ、メインコンベア１４Ｂ、下流側コンベア１４Ｃ）を備えている。上流側コンベア１４Ａ及び下流側コンベア１４Ｃはベース１１に設けられており、メインコンベア１４Ｂは印刷テーブル１５に設けられている。各コンベアはＹ方向に離間して配されてＸ方向に循環駆動する一対のコンベアベルト、それらのコンベアベルトを駆動するモータ（例えばサーボモータ）などを備えている。

【0033】

図２及び図３に示すように、印刷テーブル１５はベース１１の底面に設けられている。印刷テーブル１５は平板状のテーブル３０、鉛直方向に延びるボールねじ３１、ボールねじ３１を回転させるモータ、基板Ｐを固定する基板固定ユニット３２、基板固定ユニット３２に固定されている基板Ｐを下から支持するバックアップユニット３３などを備えている。テーブル３０はボールねじ３１が回転することによって昇降する。

【0034】

図３に示すように、基板固定ユニット３２はバックアップユニット３３の上方の印刷位置に搬送された基板ＰをＹ方向の両側から挟んで固定する一対のクランプ部３２Ａ、クランプ部３２Ａを駆動するモータなどで構成されている。クランプ部３２Ａには上下方向に貫通する貫通穴が形成されている。貫通穴の下側はエアホースを介して空気供給装置に接続されている。基板固定ユニット３２が基板Ｐを固定している状態でテーブル３０が上昇するとクランプ部３２Ａの上面がマスク本体１２Ｃの下面に密着し、その状態で貫通穴に負圧が供給されることによってマスク本体１２Ｃがクランプ部３２Ａに吸着される。

【0035】

図２及び図３に示すように、バックアップユニット３３は板状の下部プレート３３Ａ、下部プレート３３Ａの上方に配されている板状の上部プレート３３Ｂ、基板Ｐを下から支持する複数のバックアップピン３３Ｃ、鉛直方向に延びるボールねじ３３Ｄ、ボールねじ３３Ｄを回転させるモータなどを備えている。バックアップユニット３３はボールねじ３３Ｄが回転することによって昇降する。

【0036】

図４に示すように、上部プレート３３ＢにはＹ方向に一列に並ぶ複数の穴３３ＥがＸ方向に離間して複数列形成されている。これらの穴３３Ｅにはバックアップピン３３Ｃが差し込まれる。バックアップピン３３Ｃが差し込まれる穴３３Ｅの位置は基板Ｐの品種によって異なる。生産する基板Ｐの品種が切り替わるとき、切り替わり後の基板Ｐの品種に応じてバックアップピン３３Ｃの配置が変更される。

【0037】

印刷部１６は、図２に示すスキージユニット１６Ａ、スキージユニット１６ＡをＹ方向に往復移動可能に支持している一対のガイドレール１６Ｂ、図４に示すボールねじ１６Ｃ、ボールねじ１６Ｃを回転させるモータなどを備えている。ボールねじ１６Ｃはスキージユニット１６ＡのＸ方向左側においてＹ方向に延びている。ボールねじ１６Ｃが回転することによってスキージユニット１６ＡがＹ方向に移動する。

【0038】

図６Ａに示すように、スキージユニット１６Ａはマスク本体１２Ｃの上に半田ペーストを供給する半田供給部１６Ｄ、供給された半田ペーストを均すスキージ１６Ｅ、スキージ１６Ｅを昇降させるモータ、Ｘ方向（図６Ａにおいて紙面垂直方向）に延びる回転軸周りにスキージ１６Ｅを回動させるモータなどを備えている。

【0039】

図６Ａ及び図６Ｂに示すように、マスクスライダ１８はスキージユニット１６ＡのＹ方向後ろ側に固定されている。マスクスライダ１８は上下方向に移動可能な係止ピン１８Ａ、係止ピン１８Ａを上に向けて付勢しているコイルばね、係止ピン１８Ａを下降させるシリンダなどを備えている。係止ピン１８Ａはモータによって昇降されてもよい。

【0040】

図２及び図３に示すように、検査部１７はマスクホルダ１３と印刷テーブル１５との間に設けられている。検査部１７はマスク１２の下面及び基板Ｐの上面を撮像してマスク１２の下面の状態や基板Ｐに印刷された回路パターンを検査するためのものである。検査部１７は、図２に示すカメラユニット１７Ａ、カメラユニット１７ＡをＸ方向に往復移動可能に支持しているビーム１７Ｂ、ビーム１７Ｂに固定されてＹ方向に延びるボールねじ１７Ｃ、ビーム１７ＢのＸ方向両側に配されてＹ方向に延びる一対のガイドレール１７Ｄ、図３に示すボールねじ１７Ｅ、ボールねじ１７Ｅを回転させるモータなどを備えている。ボールねじ１７Ｅはベース１１に固定されてＹ方向に延びている。

【0041】

図３に示すように、カメラユニット１７Ａにはマスク１２の下面を撮像するマスク撮像カメラ１７Ｆ、及び、基板Ｐの上面を撮像する基板撮像カメラ１７Ｇが固定されている。カメラユニット１７Ａはボールねじ１７Ｃ及びボールねじ１７Ｅが回転することによって所定の可動範囲内でＸＹ方向に移動する。検査部１７はリニアモータによってカメラユニット１７Ａを移動させる構成であってもよい。
検査部１７による検査は基板１枚毎に行われてもよいし、複数枚毎に行われてもよい。あるいは、検査は一定の時間間隔で行われてもよいし、指定された時刻に達したときに行われてもよい。

【0042】

検査部１７は生産する基板Ｐの品種が切り替わるときにバックアップピン３３Ｃの配置を自動で変更する変更部としても機能する。具体的には、カメラユニット１７Ａにはバックアップピン３３Ｃを保持及び解放するピン保持部１７Ｋ（図８参照）が昇降可能に設けられている。ピン保持部１７Ｋはバックアップピン３３Ｃを負圧で吸着して保持するものであってもよいし、磁力で吸着して保持するものであってもよいし、バックアップピン３３Ｃを挟んで保持するものであってもよい。ピン保持部１７Ｋがバックアップピン３３Ｃを保持する構成は適宜に選択可能である。

【0043】

スクリーン印刷機１は、バックアップピン３３Ｃの配置を変更するとき、カメラユニット１７Ａを移動させてバックアップピン３３Ｃの上方にピン保持部１７Ｋを移動させた後、ピン保持部１７Ｋを下降させてバックアップピン３３Ｃを保持し、その状態でピン保持部１７Ｋを上昇させることにより、バックアップピン３３Ｃを持ち上げる。スクリーン印刷機１はその状態でカメラユニット１７Ａを移動させて次に生産する基板Ｐの品種に応じた穴３３Ｅの上方にピン保持部１７Ｋを移動させ、ピン保持部１７Ｋを下降させてバックアップピン３３Ｃをその穴３３Ｅに挿入する。これによりバックアップピン３３Ｃの配置が自動で変更される。

【0044】

検査部１７はクリーニング部２０によってマスク１２の下面をクリーニングするときにクリーニング部２０をＹ方向に移動させる機能も有している。具体的には、図７に示すように、カメラユニット１７ＡのＹ方向前側にはＸ方向に延びる係止突起１７Ｈが設けられている。詳しくは後述するが、クリーニング部２０によってマスク１２の下面をクリーニングするとき、係止突起１７Ｈがクリーニング部２０に係止され、検査部１７によってクリーニング部２０がＹ方向に移動する。

【0045】

図３に示すように、マスク交換ユニット１９はマスクホルダ１３のＹ方向後ろ側に設けられている。マスク交換ユニット１９はマスク１２を自動交換するための機構である。図６Ａ及び図６Ｂに示すように、マスク交換ユニット１９はマスク１２を上下２段に収容可能なマガジン１９Ａと、マガジン１９Ａを昇降させるモータとを有している。マガジン１９Ａには交換用のマスク１２が上段又は下段のいずれか一方に収容される。

【0046】

例えば図６Ａに示すようにマスクホルダ１３に保持されているマスク１２をマガジン１９Ａの下段に戻す場合は、マスクホルダ１３に保持されているマスク１２のＹ方向前側で係止ピン１８Ａが下降する。その状態でスキージユニット１６ＡがＹ方向後ろ側に移動するとマスク１２が係止ピン１８Ａに押されてマガジン１９Ａに戻される。図６Ｂに示すように、マスク交換ユニット１９に収容されている交換用のマスク１２をマスクホルダ１３に移動させる場合はマガジン１９Ａが下降する。そして、マスクフレーム１２Ａの内側で係止ピン１８Ａが下降する。その状態でスキージユニット１６ＡがＹ方向前側に移動するとマスク１２が係止ピン１８Ａに押されてマスクホルダ１３に移動される。これによりマスク１２が自動で交換される。

【0047】

図３に示すように、クリーニング部２０は本体部２０Ａ、紙や布などのクリーニングシート２０Ｂ（クリーニング媒体の一例）が巻き回されているシートロール２０Ｃ、使用されたクリーニングシート２０Ｂを巻き取る巻き取りロール２０Ｄ、シートロール２０Ｃに挿入されるシートロール軸２０Ｅ、巻き取りロール２０Ｄに挿入される巻き取り軸２０Ｆ、巻き取り軸２０Ｆを回転させるモータ、シートロール軸２０Ｅと巻き取り軸２０Ｆとの間に配されているクリーニングヘッド２０Ｇ、クリーニングヘッド２０Ｇを昇降させるシリンダ、シリンダに正圧及び負圧を供給する空気供給装置、シートロール軸２０Ｅの回転を検知する検知部２０Ｈ（図８参照）などを備えている。クリーニングヘッド２０Ｇはモータによって昇降されてもよい。

【0048】

本体部２０ＡはＸ方向に長い長方形状の底壁部と、底壁部のＸ方向左側、右側及びＹ方向後ろ側の３辺から立ち上がっている側壁部とを備えている。本体部２０ＡはＸ方向の両側が検査部１７のガイドレール１７Ｄに支持されており、ガイドレール１７Ｄに案内されてＹ方向に移動可能である。本体部２０ＡのＸ方向両側の側壁部にはそれぞれシートロール軸２０Ｅの軸方向の端部が挿入される穴（あるいは凹部）、及び、巻き取り軸２０Ｆの軸方向の端部が挿入される穴（あるいは凹部）が形成されている。

【0049】

クリーニングシート２０Ｂは先端部が巻き取りロール２０Ｄに係止され、巻き取りロール２０Ｄが回転することによって巻き取られる。全てのクリーニングシート２０Ｂが巻き取られてシート切れになると巻き取り軸２０Ｆが回転してもシートロール軸２０Ｅが回転しなくなる。
シートロール軸２０Ｅは軸方向に伸縮可能である。シートロール２０Ｃの軸部に挿入されたシートロール軸２０Ｅの両端部が本体部２０ＡのＸ方向両側の側壁部４０Ｂの穴に挿入されることにより、シートロール軸２０Ｅ及びシートロール２０Ｃが本体部２０Ａに取り付けられる。オペレータはシートロール軸２０Ｅを軸方向に圧縮することにより、シートロール軸２０Ｅ及びシートロール２０Ｃを取り外すことができる。巻き取り軸２０Ｆ及び巻き取りロール２０Ｄも同様である。シートロール２０Ｃや巻き取りロール２０Ｄを着脱可能に取り付けるための構成は上述した構成に限定されず、適宜の方法で取り付けることができる。

【0050】

検知部２０Ｈは例えばエンコーダである。エンコーダはシートロール軸２０Ｅの軸方向の端面に設けられているマークと、マークを光学的に検知する光学センサとを備えている。
図７に示すように、本体部２０ＡのＹ方向後ろ側には前述した検査部１７の係止突起１７Ｈが係止される係止穴４９を有する係止部４８が設けられている。

【0051】

（２）スクリーン印刷機の電気的構成
図８を参照して、スクリーン印刷機１の電気的構成について説明する。スクリーン印刷機１は制御部６０、表示部６１及び入力部６２を備えている。
制御部６０はＣＰＵ６０Ａ、ＲＡＭ６０Ｂ及び記憶部６０Ｃを備えている。記憶部６０Ｃはハードディスクなどの不揮発性の記憶媒体を有する記憶装置である。記憶部６０ＣにはＣＰＵ６０Ａによって実行される各種のプログラムやデータが記憶されている。図８に示すように、制御部６０には表示部６１、入力部６２、基板搬送部１４、印刷テーブル１５、印刷部１６、検査部１７、マスクスライダ１８、マスク交換ユニット１９、クリーニング部２０などが接続されている。
表示部６１は液晶ディスプレイなどの表示装置である。入力部６２はタッチパネル、マウス、キーボードなどの入力装置である。

【0052】

（３）マスクのクリーニング
図７に示すように、クリーニング部２０によってマスク１２の下面をクリーンニングするときはカメラユニット１７Ａの係止突起１７Ｈがクリーニング部２０の係止穴４９に挿入される。そして、クリーニング部２０のシリンダに正圧が供給されてクリーニングヘッド２０Ｇが上昇する。その状態でカメラユニット１７ＡがＹ方向に移動することによってクリーニング部２０がＹ方向に移動し、マスク１２の下面がクリーニングされる。
マスク１２のクリーニングは基板１枚毎に行われてもよいし、複数枚毎に行われてもよい。あるいは、クリーニングは一定の時間間隔で行われてもよいし、指定された時刻に達したときに行われてもよい。

【0053】

クリーニングシート２０Ｂがシート切れになるとオペレータによってクリーニングシート２０Ｂが交換される。詳しくは後述するが、制御部６０はオペレータの安全性を向上させつつタクトタイムの低下を抑制するために、印刷部１６が停止しており、且つ、印刷部１６以外のいずれかの作業部が動作しているときにクリーニングシート２０Ｂを交換するようオペレータに案内する。言い換えると、制御部６０は無停止（印刷部１６以外のいずれかの作業部が動作している状態）でクリーニングシート２０Ｂを交換できるタイミングをオペレータに案内する。以降の説明では無停止でクリーニングシート２０Ｂを交換できるタイミングのことを無停止交換タイミングという。

【0054】

図９を参照して、クリーニングシート２０Ｂを交換するときのマスク１２とクリーニング部２０との位置関係について説明する。前述したように制御部６０は無停止でクリーニングシート２０Ｂを交換するようオペレータに案内することから、オペレータは印刷部１６以外の作業部が動作しているときに前側カバー１０Ｃを開けてクリーニングシート２０Ｂを交換することになる。

【0055】

前述したように基板搬送部１４、印刷テーブル１５、検査部１７などの作業部はマスク１８の下にある。このため、図９に示すように、制御部６０は、無停止交換タイミングが到来すると、マスク１２とクリーニング部２０との間からオペレータの手がスクリーン印刷機１の内部に入り込んで基板搬送部１４、印刷テーブル１５、検査部１７などに触れることを防止するために、マスク１２のＹ方向前端がクリーニング部２０の本体部２０ＡのＹ方向後端の近傍となる位置にマスク１２を移動させる。言い換えると、制御部６０は、印刷部１６が停止しており、且つ、作業部が動作しているときはマスク１２をクリーニング部２０の近傍に移動させる。どの程度を近傍とするかは適宜に決定可能であるが、マスク１２とクリーニング部２０との間からオペレータの手がスクリーン印刷機１の内部に入り込まない距離であることが好ましい。

【0056】

ここで、基板搬送部１４、印刷テーブル１５、検査部１７などの作業部はマスク１８の下にあるが、印刷部１６はマスク１２より上にあるので、マスク１２をクリーニング部２０の近傍に移動させてもオペレータが印刷部１６に触れる可能性がある。このため、制御部６０は安全性を向上させるために、無停止交換タイミングが到来するとスクリーン印刷機１の電気的な構成要素のうちマスク１２より上側の構成要素（具体的には印刷部１６）への電力供給を遮断する。言い換えると、制御部６０は、印刷部１６が停止しており、且つ、作業部が動作しているときは印刷部１６への電力供給を遮断する。

【0057】

より具体的には、スクリーン印刷機１は各作業部に電力供給する電力ラインにリレーやＦＥＴ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｆｆｅｃｔ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）などのスイッチが設けられている。制御部６０は無停止交換タイミングが到来すると印刷部１６に電力供給する電力ラインに設けられているスイッチをオフ（遮断状態、開状態）にする。以降の説明では電力ラインに設けられているスイッチをオフにすることをサーボオフという。
実施形態１ではマスク１２より上側の電気的な構成要素として印刷部１６を例示したが、印刷部１６以外にもマスク１２より上側に電気的な構成要素（例えばマスクスライダ１８やマスク交換ユニット１９）がある場合はその構成要素についてもサーボオフすることが好ましい。

【0058】

オペレータはクリーニングシート２０Ｂの交換が終了すると前側カバー１０Ｃを閉じる。制御部６０は前側カバー１０Ｃが閉じられると印刷部１６への電力供給を再開する。言い換えると、制御部６０はクリーニングシート２０Ｂを交換する作業が終了して前側カバー１０Ｃが閉じられるまでは印刷部１６の動作を再開しない。

【0059】

（４）印刷処理
図１０を参照して、基板Ｐに回路パターンを印刷する印刷処理の流れについて説明する。
Ｓ１０１では、制御部６０は基板搬送部１４によって印刷位置に基板Ｐを搬入する。
Ｓ１０２では、制御部６０はクリーニング部２０によってマスク１２の下面を自動でクリーニングする自動クリーニング処理を実行する。

【0060】

Ｓ１０３では、制御部６０は印刷部１６によって基板Ｐに回路パターンを印刷する。
Ｓ１０４では、制御部６０は基板Ｐに印刷された回路パターンを検査部１７によって検査する。
Ｓ１０５では、制御部６０は基板搬送部１４によって基板Ｐを搬出する。

【0061】

Ｓ１０６では、制御部６０は印刷した基板Ｐが現在生産している品種の最後の基板であるか否かを判断する。制御部６０は、最後の基板ではない場合はＳ１０１に戻って処理を繰り返し、最後の基板Ｐである場合はＳ１０７に進む。
Ｓ１０７では、制御部６０は検査部１７によってバックアップピン３３Ｃの配置を変更する。

【0062】

図１１を参照して、Ｓ１０２で実行される自動クリーニング処理について説明する。
Ｓ２０１では、制御部６０は検査部１７によってクリーニング部２０を移動させることによってマスク１２の下面を自動クリーニングする。

【0063】

Ｓ２０２では、制御部６０はクリーニングシート２０Ｂがシート切れか否かを判断する。具体的には、制御部６０はＳ２０１でマスク１２をクリーニングした後、巻き取りロール２０Ｄを回転させてクリーニングシート２０Ｂを一定量巻き取る。このときシート切れになるとシートロール軸２０Ｅが回転しなくなるため、シートロール軸２０Ｅの回転が検知部２０Ｈによって検知されなくなる。制御部６０はシートロール軸２０Ｅの回転が検知されなくなるとシート切れと判断する。制御部６０は、シート切れの場合はＳ２０３に進み、シート切れでない場合は本処理を終了する。

【0064】

Ｓ２０３では、制御部６０はクリーニングシート２０Ｂの無停止交換タイミングの予測処理を実行する。予測処理は、次回のクリーニングまでの間に、印刷部１６が停止しており、且つ、印刷部１６以外の作業部が動作しているタイミング（すなわち無停止交換タイミング）があるか否かを判断し、ある場合はその時刻を予測する処理である。

【0065】

Ｓ２０４では、制御部６０は次回のクリーニングまでの間に無停止交換タイミングがある場合はＳ２０５に進み、ない場合はＳ２０６に進む。
Ｓ２０５では、制御部６０は、無停止交換タイミングが到来したときにオペレータをクリーニングシート２０Ｂの交換に割り当て可能か否かを判断する。制御部６０は、オペレータを割り当てできない場合はＳ２０６に進み、割り当て可能な場合はＳ２０８に進む。

【0066】

Ｓ２０６では、制御部６０はスクリーン印刷機１の運転を停止する。
Ｓ２０７では、制御部６０は直ちにクリーニングシート２０Ｂを交換するようオペレータに案内する。具体的には例えば、制御部６０はクリーニングシート２０Ｂの交換要求を出力する。交換要求は「クリーニングシートが切れました。直ちにクリーニングシートを交換して下さい。」などである。交換要求の出力は適宜の方法で行うことができる。例えばスクリーン印刷機１の表示部６１に表示することによって行ってもよいし、オペレータが携帯している携帯端末に送信することによって行ってもよいし、音声によって出力してもよい。

【0067】

Ｓ２０８では、制御部６０はＳ２０３で予測した無停止交換タイミングの所定時間前に、当該所定時間後にクリーニングシート２０Ｂを交換するようオペレータに案内する（案内処理の一例）。具体的には例えば、制御部６０はクリーニングシート２０Ｂの無停止交換予告を出力する。無停止交換予告は「クリーニングシートが切れました。ｘｘ分後に無停止交換準備が整います。クリーニングシートの準備をしてください。」などである。「ｘｘ分」は現在時刻から無停止交換タイミングまでの時間である。「ｘｘ分」は所定時間の一例である。無停止交換予告の出力も適宜の方法で行うことができる。
Ｓ２０９では、制御部６０は無停止交換タイミングが到来するまで待機する。

【0068】

Ｓ２１０では、制御部６０はマスク１２のＹ方向前端がクリーニング部２０の本体部２０ＡのＹ方向後端の近傍となる位置にマスク１２を移動させるとともに、印刷部１６をサーボオフする。
Ｓ２１１では、制御部６０はクリーニングシート２０Ｂを無停止で交換するようオペレータに案内する（案内処理の一例）。具体的には例えば、制御部６０はクリーニングシート２０Ｂの無停止交換要求を出力する。無停止交換要求は「無停止でクリーニングシートを交換する準備が整いました。前側カバーを開きクリーニングシートを交換して下さい。」などである。無停止交換要求の出力も適宜の方法で行うことができる。

【0069】

図１２を参照して、Ｓ２０３で実行されるクリーニングシートの無停止交換タイミングの予測処理について説明する。理解を容易にするため、以下の説明では作業部として基板搬送部１４及び検査部１７を例に説明する。ここで、基板搬入待ちのときは基板搬送部１４のモータが停止しているが、基板搬送部１４は上流側から基板Ｐが送り出されたときにいつでもモータを回転可能に待機している。このため、本実施形態では基板搬入待ちのときも基板搬送部１４は動作中であるとする。あるいは、基板搬送部１４は、基板搬入待ちのとき、コンベアを回転させ続けた状態で待機してもよい。

【0070】

Ｓ３０１では、制御部６０は印刷位置に基板Ｐが搬入されているか否かを判断し、搬入されていない場合はＳ３０２に進み、搬入されている場合はＳ３０３に進む。
Ｓ３０２では、制御部６０は基板搬送部１４によって次の基板Ｐが搬入されてくるまでの時間Ｔ１を予測する。本来、この時点では既にＳ１０１で基板Ｐが搬入されているはずであるが、この時点で基板Ｐが搬入されていないということは何らかの理由で基板搬入待ちになっている。このため、基板Ｐが搬入されるまでの待ち時間にクリーニングシート２０Ｂを無停止で交換できる可能性がある。次の基板Ｐが搬入されてくるまでの時間は基板搬入待ちとなっている理由などから予測できる。例えば何らかのトラブルで基板Ｐが搬入されてこない場合は、トラブルの解消に要する標準的な時間を、次の基板Ｐが搬入されてくるまでの時間Ｔ１として予測してもよい。
現時点から次の基板Ｐが搬入されてくるまでの時間は、回路パターンが印刷された基板が搬出された後、搬送部によって次の基板が搬入されてくるまでの時間帯の一例である。

【0071】

Ｓ３０３では、制御部６０は次回のクリーニングまでの間に検査部１７による検査が行われるか否かを判断する。検査が行われている間はクリーニングシート２０Ｂを無停止で交換できる。制御部６０は、検査が行われる場合はＳ３０４に進み、行われない場合はＳ３０５に進む。
Ｓ３０４では、制御部６０は次回検査部１７によって検査が行われる時間帯を予測する。時間帯はその時間帯の開始時刻とその時間帯の長さとで表される。以降の説明では予測した時間帯（次回の検査が行われる時間帯）の長さのことを時間Ｔ２という。

【0072】

Ｓ３０５では、制御部６０は基板Ｐの生産計画などの情報から次回のクリーニングまでの間に品種切り替えが行われるか否かを判断する。品種切り替えが行われる場合は検査部１７によってバックアップピン３３Ｃの配置が変更されるので、その間にクリーニングシート２０Ｂを無停止で交換できる。制御部６０は、品種切り替えが行われる場合はＳ３０６に進み、行われない場合はＳ３０７に進む。
Ｓ３０６では、制御部６０は基板Ｐの生産計画などから次回の品種切り替えが行われる時間帯を予測する。以降の説明では予測した時間帯（次回の品種切り替えが行われる時間帯）の長さのことを時間Ｔ３という。次回の品種切り替えが行われる時間帯は、変更部によってバックアップピンの配置を変更する時間帯の一例である。

【0073】

Ｓ３０７では、制御部６０はＴ１＋Ｔ２＋Ｔ３＝０であるか否かを判断する。制御部６０は、０でない場合は次回のクリーニングまでの間に無停止交換タイミングがあると判断してＳ３０８に進み、０である場合は無停止交換タイミングがないと判断して処理を終了する。
Ｓ３０８では、制御部６０は時間Ｔ１、Ｔ２及びＴ３のうち最長の時間の開始時刻を無停止交換タイミングとして決定する。基板搬入待ちの場合は現在時刻が開始時刻となる。時間Ｔ１、Ｔ２及びＴ３のうち最長の時間の開始時刻は、予測した時間帯のうち最も長い時間帯に含まれる時刻の一例である。無停止交換タイミングは必ずしも最も長い時間帯の開始時刻でなくてもよく、最も長い時間帯に含まれる時刻であれば開始時刻から遅れた時刻であってもよい。

【0074】

（５）実施形態の効果
実施形態１に係るスクリーン印刷機１によると、クリーニングシート２０Ｂのシート切れを検知した場合に、次回クリーニング部２０が動作する前のタイミングであって、印刷部１６が停止しており、且つ、作業部が動作しているタイミングを無停止交換タイミングとしてオペレータに案内するので、スクリーン印刷機１の動作を完全に停止させることなくクリーニングシート２０Ｂを交換できる可能性が高くなる。このためスクリーン印刷機１によると、一度使用したクリーニングシート２０Ｂを再使用せずに新しいクリーニングシート２０Ｂに交換するスクリーン印刷機１において、クリーニングシート２０Ｂの交換によってタクトタイムが長くなることを抑制できる。

【0075】

スクリーン印刷機１によると、予測処理で予測した無停止交換タイミングを、無停止交換タイミングの所定時間前にオペレータに案内するので、無停止交換タイミングでオペレータがクリーニングシート２０Ｂを交換する可能性が高くなる。

【0076】

スクリーン印刷機１によると、無停止交換タイミングに達したときに、クリーニングシート２０Ｂを交換するようオペレータに案内するので、無停止交換タイミングでオペレータがクリーニングシート２０Ｂを交換する可能性が高くなる。

【0077】

スクリーン印刷機１によると、クリーニングシート２０Ｂを交換するときに基板搬送部１４及び検査部１７（検査部及び変更部）の少なくとも一つが動作中であるので、スクリーン印刷機１の動作を停止させずにクリーニングシート２０Ｂを交換できる。

【0078】

スクリーン印刷機１によると、予測した時間帯のうち最も長い時間帯の開始時刻（予測した時間帯のうち最も長い時間帯に含まれる時刻の一例）を、印刷部１６が停止しており、且つ、作業部が動作しているタイミングとするので、印刷部１６が停止しており、且つ、作業部が動作している間にクリーニングシート２０Ｂの交換が終了する可能性が高くなる。このため、クリーニングが間に合わずに印刷部１６が待ち状態になる可能性を低減できる。

【0079】

スクリーン印刷機１によると、印刷部１６が停止しており、且つ、作業部が動作しているときはマスク１２をクリーニング部２０の近傍に移動させるので、動作中の作業部にオペレータが触れることを抑制できる。

【0080】

スクリーン印刷機１によると、印刷部１６が停止しており、且つ、作業部が動作しているときは印刷部１６への電力供給を遮断するので、クリーニングシート２０Ｂを交換するときのオペレータの安全性が向上する。

【0081】

スクリーン印刷機１によると、オペレータがクリーニングシート２０Ｂを交換する作業が終了するまでは印刷部１６の動作を再開しないので、オペレータの安全性が向上する。

【0082】

＜実施形態２＞
実施形態２を図１３に基づいて説明する。
図１３に示すように、実施形態２に係るスクリーン印刷機２０１は筐体２１０の前側にクリーニングシート２０Ｂを交換するための開口２１０Ａが形成されている。筐体２１０には開口２１０Ａを開閉する前側カバー２１０Ｂ（開閉カバーの一例）が連結されている。前側カバー２１０Ｂは下側がヒンジによって筐体２１０に連結されている。

【0083】

筐体２１０において開口２１０Ａの上側にはオペレータが印刷部１６及び作業部に触れることを規制する壁部２１１（規制部の一例）が設けられている。壁部２１１は開口２１０Ａの上側から後ろ側に向かって板状に延びる上壁部２１２と、上壁部２１２の後ろ側の縁部から下に延びる側壁部２１３とを有している。印刷部１６や作業部が動作中のときにオペレータが前側カバー２１０Ｂを開けても、壁部２１１があることにより、オペレータが印刷部１６や作業部に触れることが規制される。

【0084】

実施形態２に係るスクリーン印刷機２０１によると、壁部２１１を備えているので、印刷部１６や作業部が動作中であってもオペレータが安全にクリーニングシート２０Ｂを交換できる。このため、クリーニングシート２０Ｂを交換するためにスクリーン印刷機２０１を停止させなくてよい。このためスクリーン印刷機２０１によると、クリーニングシート２０Ｂの交換によってタクトタイムが長くなることを、オペレータの安全性を確保しつつ抑制できる。

【0085】

＜他の実施形態＞
本明細書によって開示される技術は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本明細書によって開示される技術的範囲に含まれる。

【0086】

（１）上記実施形態１では検知部２０Ｈとしてエンコーダを例に説明したが、検知部２０Ｈはエンコーダに限定されるものではなく、クリーニングシート２０Ｂのシート切れを検知可能な任意の構成を採用できる。

【0087】

（２）上記実施形態１では作業部として基板搬送部１４及び検査部１７を例に説明したが、作業部はこれらに限定されるものではなく、他の作業部であってもよい。

【0088】

（３）上記実施形態では、印刷部１６が停止しており、且つ、作業部が動作しているときは印刷部１６への電力供給を遮断する場合を例に説明したが、印刷部１６に電力を供給したままであってもよい。

【0089】

（４）上記実施形態１では、印刷部１６が停止しており、且つ、作業部が動作しているときはマスク１２をクリーニング部２０の近傍に移動させる場合を例に説明したが、必ずしもマスク１２をクリーニング部２０の近傍に移動させなくてもよい。

【0090】

（５）上記実施形態１では検査部１７が変更部の機能も備えている場合を例に説明したが、検査部１７とは別に変更部を備えていてもよい。

【0091】

（６）上記実施形態１では検査部１７によってクリーニング部２０を移動させる場合を例に説明したが、クリーニング部２０を移動させる構成を検査部１７とは別に備えていてもよい。

【0092】

（７）上記実施形態ではマスク移動部として印刷部１６及びマスクスライダ１８を例に説明したが、マスク移動部を印刷部１６やマスクスライダ１８とは別に備えていてもよい。

【0093】

（８）上記実施形態ではクリーニング媒体としてクリーニングシート２０Ｂを例に説明したが、クリーニング媒体はシート状のものに限定されない。

【符号の説明】

【0094】

１： スクリーン印刷機
１２： マスク
１４： 基板搬送部（搬送部及び作業部の一例）
１５： 印刷テーブル（作業部の一例）
１６： 印刷部（印刷部及びマスク移動部の一例）
１７： 検査部（検査部、変更部及び作業部の一例）
１８： マスクスライダ（マスク移動部及び作業部の一例）
１９： マスク交換ユニット（作業部の一例）
２０： クリーニング部
２０Ｂ： クリーニングシート（クリーニング媒体の一例）
２０Ｈ： 検知部
３３Ｃ： バックアップピン
６０： 制御部
２０１： スクリーン印刷機
２１０： 筐体
２１０Ａ： 開口
２１０Ｂ： 前側カバー（開閉カバーの一例）
２１１： 壁部（規制部の一例）
Ｐ： 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6A】

【図6B】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】