(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-09-09
(45)【発行日】2024-09-18
(54)【発明の名称】圧力センサ用筐体およびこれを備える圧力センサ
(51)【国際特許分類】
G01L 19/14 20060101AFI20240910BHJP
【ＦＩ】
G01L19/14
【請求項の数】
8
(21)【出願番号】P 2020065784
(22)【出願日】2020-04-01
(65)【公開番号】P2021162502
(43)【公開日】2021-10-11
【審査請求日】2023-03-24
(73)【特許権者】
【識別番号】000006666
【氏名又は名称】アズビル株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100098394
【弁理士】
【氏名又は名称】山川 茂樹
(74)【代理人】
【識別番号】100064621
【弁理士】
【氏名又は名称】山川 政樹
(72)【発明者】
【氏名】川津 孝圭
(72)【発明者】
【氏名】森 雷太
【審査官】大森 努
(56)【参考文献】
【文献】特開２００９－１３３８３８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２００８－５４１０４９（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２００６／００７０４４７（ＵＳ，Ａ１）
【文献】米国特許第０４２３８９６４（ＵＳ，Ａ）
【文献】特開２０１８－２０５２３３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０２－２５６１７４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開昭６２－２６７６３５（ＪＰ，Ａ）
【文献】実開昭６０－０２１９４５（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開２０１５－０６８７３８（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｌ ７／００－２３／３２，２７／００－２７／０２
Ｇ０１Ｄ １／００－２１／０２
Ｈ０５Ｂ ３／４０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ヒータブロックと、
所定の軸心に沿って延在する筒状の側面とこの側面に連接する上面および下面とから形
成された中空部材からなり、
前記中空部材は、内側に流体の圧力を検出する圧力センサ素子を収容した状態で前記ヒータブロックの内周側壁面によって画成される円筒状の空間に配置され、
前記中空部材が前記空間に配置されたときに前記ヒータブロックの内周側壁面と対向する前記側面は、前記中空部材が前記空間の軸心と前記所定の軸心とが一致する第１の姿勢にあるとき全周が空気層に囲まれ、前記中空部材が前記空間の軸心に対して前記所定の軸心が偏心した姿勢のうちの少なくとも１つである第２の姿勢にあるとき前記ヒータブロックの内周側壁面と複数の箇所で同時に接触するように形成されている圧力センサ用筐体と、
を少なくとも含む圧力センサアセンブリ。
【請求項2】
請求項１に記載の圧力センサアセンブリにおいて、前記圧力センサ用筐体における前記側面の少なくとも一部分は、自身と前記所定の軸心に垂直な平面との交線によって形作られる形状が多角形となるように形成されている圧力センサアセンブリ。
【請求項3】
請求項２に記載の圧力センサアセンブリにおいて、前記圧力センサ用筐体における前記側面は、前記所定の軸心に平行な３以上の平面が連接することで形成されている圧力センサアセンブリ。
【請求項4】
請求項２または３に記載の圧力センサアセンブリにおいて、前記多角形が八角形である前記圧力センサ用筐体を含む圧力センサアセンブリ。
【請求項5】
請求項１に記載の圧力センサアセンブリにおいて、前記圧力センサ用筐体における前記側面の少なくとも１部は、自身と前記所定の軸心に垂直な平面との交線によって形作られる形状が３以上の異なる曲線が連接する形状として形成され、
前記異なる曲線は、曲率および曲率中心の少なくとも１つが互いに異なる曲線である圧力センサアセンブリ。
【請求項6】
請求項５に記載の圧力センサアセンブリにおいて、前記圧力センサ用筐体における前記側面は、前記所定の軸心に平行に延在しかつ前記所定の軸心に向けて窪んだ円筒面の一部として形成されている圧力センサアセンブリ。
【請求項7】
請求項１から６のいずれか１項に記載の圧力センサアセンブリにおいて、前記側面に凸状部が設けられている前記圧力センサ用筐体を含む圧力センサアセンブリ。
【請求項8】
請求項１から７のいずれか１項に記載の圧力センサアセンブリにおいて、
前記圧力センサ用筐体を備える圧力センサを含む圧力センサアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、流体等の圧力を検出する圧力センサに用いられる筐体およびこの筐体を備える圧力センサに関するものである。
【背景技術】
【0002】
流体の圧力を測定するためのセンサとして、ダイアフラムを備えた圧力センサが広く用いられている。当該圧力センサにおいては、測定対象となっている流体（以下、「被測定流体」と称する。）の圧力変化を、ダイアフラムを通じて機械的変位の形で捉え、さらにこの機械的変位を電気信号として検出することで被測定流体の圧力を測定するように構成されている。例えば、静電容量式の圧力センサ素子およびこれを用いた圧力センサにおいては、ダイアフラムの変形を一対の電極間の静電容量の変化として検出し、この静電容量の変化に基づいて、被測定流体の圧力を測定するように構成されている。ここで、上記ダイアフラムは、互いに非連通の状態で隔離され２つの空間に面するように配設されており、これら２つの空間の一方に被測定流体が流出入することで生じる圧力差によって、上記変位がもたらされる構造となっている。
【0003】
上記構成の圧力センサ素子およびこれを用いた圧力センサにおいては、被測定流体の圧力を受けるダイアフラムの受圧面と被測定流体とが接触することになる。このため、上記圧力センサ素子およびこれを用いた圧力センサが、例えば、半導体デバイス等を製造する装置の成膜・エッチングプロセスにおける真空計として使用される場合、被測定流体に含まれる成膜物質がダイアフラムの受圧面に付着することが想定される。この成膜物質は、連続的な化学反応をともないながら膜を形成するとともに、比較的強い力でダイアフラムの受圧面に凝着する。このような化学反応をともなう成膜過程においては、分子間または結晶格子間で作用する力、いわゆる膜の内部応力が発生する。この内部応力は、強い力で凝着したダイアフラムに作用することでダイアフラムを変形させ、センサ出力のゼロ点をシフトさせることで測定精度を低下させる要因となる。このため、成膜物質がダイアフラムに堆積するのを防止するために、筐体の外周面を取り囲むようにヒータを設けて筐体内を加熱し、これによって、ダイアフラムの周辺の温度を成膜物質が析出することのない高温度に保持するように構成されている（例えば、特許文献１参照） 。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２０１８－２０５２５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
上記特許文献１に記載の圧力センサをはじめとする従来の圧力センサにおいては、円筒状の内部空間を有するヒータブロックに、圧力センサを挿入するように構成されている。このとき、ヒータブロックの内周側壁面と圧力センサとの間、より具体的には、ヒータブロックの内周側壁面と圧力センサの筐体の側壁面との間には空気層が形成され（すなわち、筐体の周りを取り囲むように空気層が形成され）、当該空気層内の空気をヒータによって加熱することで、筐体内が均一の温度で加熱されるように構成されている。しかしながら、ヒータブロックの設計、製造または施工が適切でなない場合、例えば、ヒータブロックの内部空間が内側に配置される圧力センサの大きさに適合しないものとして寸法等が設計された場合、または、ヒータブロックの加工精度が適切でないことで歪んだ内部空間が形成された場合、もしくは、ヒータブロックの設置が適切でないことで内側に配置される圧力センサが内部空間の中央に配置されていない場合にあっては、ヒータブロックの内周面と圧力センサの筐体とが一部接触するといった事態が起こり得る。
【0006】
このような事態においては、筐体の一部分に空気層を介さずに熱が伝えられ（固体間の熱伝導によりに圧力センサへ熱が伝えられ）、さらに、局所的に空気層が薄くなることで熱流束に乱れ（ムラ）が生じる。当該事象は、圧力センサの内部、すなわち、筐体内部およびこれに収容されている圧力センサ素子に温度分布（各所における温度のバラツキ）を生じさせる。特に、図１２に示す円筒状の筐体をもつ従来の圧力センサ１０００においては、図１３に示すように、ヒータブロックの内周側壁との接触部近傍において空気層が薄くなる領域（図１３中の接触位置Ｐ１０００近傍のＳ１０００で示された領域）が広範囲にわたって形成されることになるため、熱流束の乱れ（ムラ）が顕著に表れて上記温度分布が生じ易い構造となっている。
ここで、真空計として用いられる圧力センサにおいては、規定の測定精度を保証するために、製品全体を均熱化した状態でキャリブレーションをとった後に出荷される。このため、上記温度分布は、当該キャリブレーションに基づいた入力値（すなわち、被測定流体の圧力値）と出力値（圧力センサ素子から出力される電気信号の値）との相関関係にズレを生じさせ（例えばゼロ点シフトを生じさせ）、測定誤差をもたらす。
ここで、真空計として用いられる圧力センサにおいては、規定の測定精度を保証するために、製品全体を均熱化した状態でキャリブレーションをとった後に出荷される。このため、上記温度分布は、当該キャリブレーションに基づいた入力値（すなわち、被測定流体の圧力値）と出力値（圧力センサ素子から出力される電気信号の値）との相関関係にズレを生じさせ（例えばゼロ点シフトを生じさせ）、測定誤差をもたらす。
【0007】
本発明は、上記問題に鑑み創作された発明であって、その目的とするところは、圧力センサをヒータブロックの内側に配置して使用する際に、圧力センサ内部に温度分布が生じ難い筐体を提供し、また、当該筐体を備えることで、測定誤差が抑制された圧力センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記課題を解決するための本発明に係る圧力センサ用筐体（１００）は、 所定の軸心（ＣＬ１）に沿って延在する筒状の側面（１００ＳＷ）とこの側面（１００ＳＷ）に連接する上面（１０２）および下面（１０１）とから形成された中空部材からなり、前記中空部材の内側には流体の圧力を検出する圧力センサ素子（１１）が収容され、前記中空部材は、円筒状の空間（５００Ｖ）に自身が配置されたとき、前記空間の軸心（ＣＬ５００）と前記所定の軸心とが一致する第１の姿勢においては前記側面の全周が空気層（Ａ）によって覆われ、前記空間の軸心に対して前記所定の軸心が偏心した姿勢のうちの少なくとも１つである第２の姿勢においては前記側面と前記空間を画成する壁面（５００Ｗ）とが複数の箇所（Ｐ１、Ｐ２）で同時に接触するように形成されていることを特徴とする。
【0009】
また、前記圧力センサ用筐体において、前記側面の少なくとも一部分を、自身と前記所定の軸心に垂直な平面との交線によって形作られる形状が多角形となるように形成してもよい。
【0010】
さらに、前記圧力センサ用筐体において、前記側面が、前記所定の軸心に平行な３以上の平面が連接することで形成されてもよい。
【0011】
また、前記圧力センサ用筐体において、前記多角形が八角形であってもよい。
【0012】
さらに、前記圧力センサ用筐体において、前記側面の少なくとも１部が、自身と前記所定の軸心に垂直な平面との交線によって形作られる形状が３以上の異なる曲線が連接する形状として形成され、前記異なる曲線は、曲率および曲率中心の少なくとも１つが互いに異なる曲線であるさように構成してもよい。
【0013】
また、前記圧力センサ用筐体において、前記側面が、前記所定の軸心に平行に延在しかつ前記所定の軸心に向けて窪んだ円筒面の一部として形成されてもよい。
【0014】
さらに、前記圧力センサ用筐体において、前記側面に凸状部が設けられていてもよい。
【0015】
また、上記課題を解決するための本発明に係る圧力センサは、上記圧力センサ用筐体を備えることを特徴とする。
【0016】
なお、上記説明では、一例として、発明の構成要素に対応する図面上の参照符号を、括弧を付して記している。
【発明の効果】
【0017】
圧力センサに係る本発明によれば、 圧力センサをヒータブロックの内側に配置して使用する際に、圧力センサ内部に温度分布が生じ難い筐体を提供することができ、また、当該筐体を備えることで、測定誤差が抑制された圧力センサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【図1】図１（ａ）は、本発明の実施の形態に係る筐体を備える圧力センサを斜め上方から視認したときの斜視図であり、図１（ｂ）は、本発明の実施の形態に係る筐体を備える圧力センサを斜め下方から視認したときの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0019】
以下、本発明の好ましい実施の形態である筐体１００およびこれを備えた圧力センサ１を、図１ないし図１１に基づいて説明する。ここで、圧力センサ１は、静電容量式の圧力センサ素子を備えた真空計として用いられ、また、圧力センサ素子からの電気信号を増幅するアンプが自身の外部に配設された、いわゆる分離型の圧力センサ（分離型の真空計）として構成されている。
なお、説明文中の前後、左右および上下は、各図に示された座標軸の±Ｘ（＋Ｘ方向が後方向、－Ｘ方向が前方向）、±Ｙ（＋Ｙ方向が左方向、－Ｙ方向が右方向）および±Ｚ（＋Ｚ方向が上方向、－Ｚ方向が下方向）としてそれぞれ定義する。また、各図は概念図であって、それぞれに示された内容は、実際の筐体およびこれを備える圧力センサと必ずしも一致するものではない。
なお、説明文中の前後、左右および上下は、各図に示された座標軸の±Ｘ（＋Ｘ方向が後方向、－Ｘ方向が前方向）、±Ｙ（＋Ｙ方向が左方向、－Ｙ方向が右方向）および±Ｚ（＋Ｚ方向が上方向、－Ｚ方向が下方向）としてそれぞれ定義する。また、各図は概念図であって、それぞれに示された内容は、実際の筐体およびこれを備える圧力センサと必ずしも一致するものではない。
【0020】
圧力センサ１は、図１（ａ）、（ｂ）の斜視図、および図２（ａ）、（ｂ）の分解斜視図に示すように、センサユニット１０と、このセンサユニット１０を内部に収容する筐体１００と、被測定流体が流出入する配管と接続する機械要素である継手２００と、センサユニット１０から出力される電気信号を外部に送信するケーブル３００とから主に構成されている。
【0021】
〔センサユニット１０〕
センサユニット１０は、図３に示すように、圧力センサ素子１１と、ケーシング２０と、ケーシング２０内に収容された台座プレート３０と、この台座プレート３０に接合しかつケーシング２０に橋架された支持ダイアフラム４０と、ケーシング２０内外を導通接続する電極リード部５０とから主に構成されている。
センサユニット１０は、図３に示すように、圧力センサ素子１１と、ケーシング２０と、ケーシング２０内に収容された台座プレート３０と、この台座プレート３０に接合しかつケーシング２０に橋架された支持ダイアフラム４０と、ケーシング２０内外を導通接続する電極リード部５０とから主に構成されている。
【0022】
[圧力センサ素子１１]
圧力センサ素子１１は、被測定流体の圧力変化を機械的変位の形で捉え、さらにこの機械的変位を電気信号（例えば、電圧信号）として検出する要素であって、上述したように、例えば、静電容量式の圧力センサ素子として構成されている。この圧力センサ素子１１は、例えば、平面視において１ｃｍ角の略正方形を呈した薄板形状を有し、薄板状のダイアフラム１２と、このダイアフラム１２と連接して容量室Ｃ１を形成する円板状の台座１３と、容量室Ｃ１の内部に収容された一対のセンサ電極部１４、１４と、後述する電極リードピン５１との間で電気的に接続するコンタクトパッド１５とを備える。
圧力センサ素子１１は、被測定流体の圧力変化を機械的変位の形で捉え、さらにこの機械的変位を電気信号（例えば、電圧信号）として検出する要素であって、上述したように、例えば、静電容量式の圧力センサ素子として構成されている。この圧力センサ素子１１は、例えば、平面視において１ｃｍ角の略正方形を呈した薄板形状を有し、薄板状のダイアフラム１２と、このダイアフラム１２と連接して容量室Ｃ１を形成する円板状の台座１３と、容量室Ｃ１の内部に収容された一対のセンサ電極部１４、１４と、後述する電極リードピン５１との間で電気的に接続するコンタクトパッド１５とを備える。
【0023】
ダイアフラム１２は、その一表面（受圧面）に導入部２０Ｖに流入した被測定流体が接触することで、例えば図３の上方（＋Ｚ方向）に向けて中央部が凸となるように変形する。このダイアフラム１２の変形は、容量室Ｃ１内に配設された一対のセンサ電極部１４、１４の距離を変化させ、結果としてこれら電極間の静電容量を上記変形量に応じて変化させる。このようにして、圧力センサ素子１１は、被測定流体の圧力の変化を静電容量の変化として検出する。
【0024】
[ケーシング２０]
ケーシング２０は、センサユニット１０の外枠を構成するとともに、後述する台座プレート３０および支持ダイアフラム４０を介して圧力センサ素子１１を支持し、また、被測定流体が流出入する導入部２０Ｖを画成し、さらに、継手２００と連結する部位を形成する。ケーシング２０は、ロアハウジング２１、アッパーハウジング２２およびカバー２３から構成され、これらケーシング要素は、例えば、耐食性の金属であるインコネルからそれぞれ形成されている。ロアハウジング２１、アッパーハウジング２２およびカバー２３は、例えば後述する継手２００の軸心ＣＬ（被測定流体が流出入する配管の軸心）に沿って当該順序で下から上に積み上げられるようにして構成されており、それぞれの合わせ面は、例えば、後述する継手２００の軸心ＣＬ（被測定流体が流出入する配管の軸心と同一であってＺ軸に相当する）に垂直な平面（ＸＹ平面）上に形成され、対向する部位同士が、例えば溶接により接合されている。
ケーシング２０は、センサユニット１０の外枠を構成するとともに、後述する台座プレート３０および支持ダイアフラム４０を介して圧力センサ素子１１を支持し、また、被測定流体が流出入する導入部２０Ｖを画成し、さらに、継手２００と連結する部位を形成する。ケーシング２０は、ロアハウジング２１、アッパーハウジング２２およびカバー２３から構成され、これらケーシング要素は、例えば、耐食性の金属であるインコネルからそれぞれ形成されている。ロアハウジング２１、アッパーハウジング２２およびカバー２３は、例えば後述する継手２００の軸心ＣＬ（被測定流体が流出入する配管の軸心）に沿って当該順序で下から上に積み上げられるようにして構成されており、それぞれの合わせ面は、例えば、後述する継手２００の軸心ＣＬ（被測定流体が流出入する配管の軸心と同一であってＺ軸に相当する）に垂直な平面（ＸＹ平面）上に形成され、対向する部位同士が、例えば溶接により接合されている。
【0025】
ロアハウジング２１は、径の大きな大径円筒部２１ａと径の小さな小径円筒部２１ｂとから形成され、かつこれら２つの部分が同軸となるように連結する円筒状の部位である。大径円筒部２１ａの上部開口端には、支持ダイアフラム４０を介してアッパーハウジング２２の下部開口端が接続している。また、小径円筒部２１ｂの内周壁は、被測定流体が流入する導入部２０Ｖを画成している。小径円筒部２１ｂは、後述する継手２００の継手接合部２２０と例えば溶接によって接合される部位を形成する。
【0026】
アッパーハウジング２２ は、ロアハウジング２１とカバー２３との間に介在する略円筒体形状を呈した部位であり、その下部開口端は、上述したように、支持ダイアフラム４０を介してロアハウジング２１の上部開口端と接続し、その上部開口端は、カバー２３と接続している。アッパーハウジング２２の径（内径および外径）および軸心は、ロアハウジング２１の大径円筒部２１ａの径（内径および外径）および軸心と略同値および同一である。また、アッパーハウジング２２は、カバー２３、支持ダイアフラム４０、台座プレート３０及び圧力センサ素子１１とともにケーシング２０内に独立した真空の基準真空室２０Ｗを画成している。なお、基準真空室２０Ｗには、所望の真空度を維持するために、いわゆるゲッター（ 図示せず） と呼ばれる気体吸着物質が充填されている。また、下部開口端近傍における内周側壁面の適所には、ストッパ２２ａが突設されている。ストッパ２２ａが設けられていることで、被測定流体の急激な圧力上昇により台座プレート３０ が過度に変移することが規制されている。
【0027】
カバー２３は、略円盤状のプレートからなり、所定の位置に電極リード挿通孔２３ａが形成されている。この電極リード挿通孔２３ａに、ハーメチックシール６０を介して電極リード部５０が埋め込まれることで、所定の電気的シール性が確保されている。
【0028】
このように、ケーシング２０は、軸心ＣＬに沿ってロアハウジング２１、アッパーハウジング２２およびカバー２３が積層され、当該軸心ＣＬをもつ直径の異なる２つの円柱が連接した外形を呈している。
【0029】
[台座プレート３０]
台座プレート３０は、圧力センサ素子１１を支持する構成要素であって、第１の台座プレート３１と第２の台座プレート３２とから構成されている。台座プレート３０は、後述する支持ダイアフラム４０を通じてケーシング２０ に橋架されるように支持されている。
台座プレート３０は、圧力センサ素子１１を支持する構成要素であって、第１の台座プレート３１と第２の台座プレート３２とから構成されている。台座プレート３０は、後述する支持ダイアフラム４０を通じてケーシング２０ に橋架されるように支持されている。
【0030】
第１の台座プレート３１および第２の台座プレート３２は、例えば、酸化アルミニウムの単結晶体であるサファイアからなる。第１の台座プレート３１および第２の台座プレート３２は、いずれもケーシング２０の内面から離間した位置にあって、前者は支持ダイアフラム４０の上面に接合され、後者は支持ダイアフラム４０の下面に接合されている。ここで、第１および第２の台座プレート３１、３２は、支持ダイアフラム４０の厚さに対して十分に厚くなっており、これにより、台座プレート３０の熱膨張率と支持ダイアフラム４０の熱膨張率との相違に起因した熱応力によって、台座プレート３０が反るのを防止している。
【0031】
第１の台座プレート３１および第２の台座プレート３２は、その略中央に、圧力センサ素子１１が備えるダイアフラム１２の受圧面が対向する空間Ｃ２と被測定流体Ｌが流入する導入部２０Ｖとを連通させるための導入孔３１ａおよび導入孔３２ａが開口している。また、第２の台座プレート３２の下面には、導入孔３２ａと空間Ｃ２とが連通するように、酸化アルミニウムベースの接合材を介して圧力センサ素子１１が接合されている。なお、第２の台座プレート３２と圧力センサ素子１１との接合は、周知の方法によって行われる。
【0032】
[支持ダイアフラム４０]
支持ダイアフラム４０は、上述したように、ケーシング２０を通じて台座プレート３０を橋架するために設けられた構成要素であって、インコネルの薄板からなり、その形状は、ケーシング２０の外周縁形状、具体的には、アッパーハウジング２２の下部開口端およびロアハウジング２１の上部開口端の外周縁形状と整合した形状を有する。支持ダイアフラム４０は、上面に第１の台座プレート３１が接合され下面に第２の台座プレート３２が接合された状態で、その外周部（周囲縁部）がアッパーハウジング２２の下部開口端およびロアハウジング２１の上部開口端に挟まれながら溶接等により接合されている。なお、支持ダイアフラム４０の厚さは、例えば本実施形態の場合数十ミクロンであって、第１および第２の台座プレート３１、３２より十分に薄い厚さとなっている。また、支持ダイアフラム４０の中央部には、導入孔３１ａおよび導入孔３２ａとともに、ダイアフラム１２の受圧面が対向する空間Ｃ２と被測定流体Ｌが流入する導入部２０Ｖとを連通させるための導入孔４０ａが開口している。
支持ダイアフラム４０は、上述したように、ケーシング２０を通じて台座プレート３０を橋架するために設けられた構成要素であって、インコネルの薄板からなり、その形状は、ケーシング２０の外周縁形状、具体的には、アッパーハウジング２２の下部開口端およびロアハウジング２１の上部開口端の外周縁形状と整合した形状を有する。支持ダイアフラム４０は、上面に第１の台座プレート３１が接合され下面に第２の台座プレート３２が接合された状態で、その外周部（周囲縁部）がアッパーハウジング２２の下部開口端およびロアハウジング２１の上部開口端に挟まれながら溶接等により接合されている。なお、支持ダイアフラム４０の厚さは、例えば本実施形態の場合数十ミクロンであって、第１および第２の台座プレート３１、３２より十分に薄い厚さとなっている。また、支持ダイアフラム４０の中央部には、導入孔３１ａおよび導入孔３２ａとともに、ダイアフラム１２の受圧面が対向する空間Ｃ２と被測定流体Ｌが流入する導入部２０Ｖとを連通させるための導入孔４０ａが開口している。
【0033】
[電極リード部５０]
電極リード部５０は、電極リードピン５１と金属製のシールド５２とを備え、電極リードピン５１は金属製のシールド５２にガラスなどの絶縁性材料からなるハーメチックシール５３によってその中央部分が埋設され、電極リードピン５１の両端部間で気密状態を保っている。電極リードピン５１およびシールド５２の一端は、カバー２３の上面から軸心ＣＬに沿って外部へ突出し、後述するケーブル３００が備えるコネクタ部３２０と接続するように構成され、これにより、圧力センサ１の出力を、外部に配設された増幅器（アンプ）および信号処理部に伝達するように構成されている。なお、シールド５２とカバー２３との間にも上述の通りハーメチックシール５３が介在している。また、電極リードピン５１の他方の端部には導電性を有するコンタクトバネ５５、５６が接続されている。
電極リード部５０は、電極リードピン５１と金属製のシールド５２とを備え、電極リードピン５１は金属製のシールド５２にガラスなどの絶縁性材料からなるハーメチックシール５３によってその中央部分が埋設され、電極リードピン５１の両端部間で気密状態を保っている。電極リードピン５１およびシールド５２の一端は、カバー２３の上面から軸心ＣＬに沿って外部へ突出し、後述するケーブル３００が備えるコネクタ部３２０と接続するように構成され、これにより、圧力センサ１の出力を、外部に配設された増幅器（アンプ）および信号処理部に伝達するように構成されている。なお、シールド５２とカバー２３との間にも上述の通りハーメチックシール５３が介在している。また、電極リードピン５１の他方の端部には導電性を有するコンタクトバネ５５、５６が接続されている。
【0034】
コンタクトバネ５５、５６は、導入部２０Ｖ から被測定流体Ｌが急に流れ込むことで生じる急激な圧力上昇に起因して圧力センサ素子１１が変移した場合（より具体的には、上記圧力上昇により支持ダイアフラム４０を通じてケーシング２０に橋架されている台座プレート３０が変移し、これに支持された圧力センサ素子１１が変移した場合）、この変移を吸収して圧力センサ素子１１の測定精度に影響が及ばないように設けられた弾性要素である。
【0035】
〔筐体１００〕
筐体１００は、センサユニット１０を収容する空間が内側に形成されたケーシング要素であって、例えば、ステンレス製の薄板材を折り曲げまたは接合等することで、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、その外形が八角柱体を呈するように形成されている。具体的には、長方形の薄板からなる８つの側面部（これら８つの側面部が連接することで筐体１００の側面１００ＳＷが形成される）と、略正八角形の薄板からなる略同一形態の下面部１０１（特許請求の範囲に記載の「下面」に相当。）および上面部１０２（特許請求の範囲に記載の「上面」に相当。）とから構成された１０面体として形成されている。筐体１００の軸心ＣＬ１は、例えば、小径円筒部２１ｂの軸心または継手２００の軸心ＣＬ（被測定流体が流出入する配管の軸心）に一致するように構成されており、これにより、上記８つの側面部は、軸心ＣＬ１に対して平行な側面をもつ部位として形成され、上面部１０２および下面部１０１は、軸心ＣＬ１に対して垂直な面（ＸＹ平面に平行な面）をもつ部位として形成されている。
筐体１００は、センサユニット１０を収容する空間が内側に形成されたケーシング要素であって、例えば、ステンレス製の薄板材を折り曲げまたは接合等することで、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、その外形が八角柱体を呈するように形成されている。具体的には、長方形の薄板からなる８つの側面部（これら８つの側面部が連接することで筐体１００の側面１００ＳＷが形成される）と、略正八角形の薄板からなる略同一形態の下面部１０１（特許請求の範囲に記載の「下面」に相当。）および上面部１０２（特許請求の範囲に記載の「上面」に相当。）とから構成された１０面体として形成されている。筐体１００の軸心ＣＬ１は、例えば、小径円筒部２１ｂの軸心または継手２００の軸心ＣＬ（被測定流体が流出入する配管の軸心）に一致するように構成されており、これにより、上記８つの側面部は、軸心ＣＬ１に対して平行な側面をもつ部位として形成され、上面部１０２および下面部１０１は、軸心ＣＬ１に対して垂直な面（ＸＹ平面に平行な面）をもつ部位として形成されている。
【0036】
筐体１００の下面部１０１および上面部１０２には、それぞれ貫通孔が形成されている。例えば、下面部１０１には、図１(ｂ)に示すように、センサユニット１０と継手２００との接合部ＣＰ（小径円筒部２１ｂと後述する継手接合部２２０とが接合してなる部分）が貫通する第１の貫通孔１０３が形成されており、また、上面部１０２には、図１(ａ)に示すように、ケーブル３００が貫通する第２の貫通孔１０４が形成されている。これら２つの貫通孔は、いずれも軸心ＣＬ１を内側に含む位置（軸心ＣＬ１が貫通する位置）に形成されている。
【0037】
筐体１００は、センサユニット１０の全方位（上下方向、左右方向および前後方向）を覆うべく、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、２つの分割筐体から構成されている。この２つの分割筐体は、例えば、軸心ＣＬ１に平行な面（例えばＸＺ平面に平行な面）に沿って筐体１００を分割するようにして形成された第１の分割筐体１１０および第２の分割筐体１２０からなる。当該第１の分割筐体１１０および第２の分割筐体１２０においては、互いの合わせ面が軸心ＣＬ１に沿って形成され、当該合わせ面（後述する端面１１０ａ、１２０ａ）によって囲まれた開口が、軸心ＣＬ１に平行な面内に形成されている。
【0038】
[第１の分割筐体１１０]
第１の分割筐体１１０は、筐体１００が備える８つの側面部のうちの５つの側面部と、同下面部１０１の一部をなす第１の分割下面部１１１と、同上面部１０２の一部をなす第１の分割上面部１１２とを含むように形成されている（図１（ａ）、（ｂ）および図２（ａ）、（ｂ）を参照）。
第１の分割筐体１１０は、筐体１００が備える８つの側面部のうちの５つの側面部と、同下面部１０１の一部をなす第１の分割下面部１１１と、同上面部１０２の一部をなす第１の分割上面部１１２とを含むように形成されている（図１（ａ）、（ｂ）および図２（ａ）、（ｂ）を参照）。
【0039】
上記５つの側面部は、いずれも側面視が長方形の薄板部材からなり、隣接する部位同士が互いに連結し、端部に位置する側面部が備える端面１１０ａによって第２の分割筐体１２０との合わせ面の一部が形成されている。当該合わせ面は、軸心ＣＬ１に平行な面（ＸＺ平面に平行な面）として形成され、これにより、第１の分割筐体１１０の開口部が、軸心ＣＬ１に平行な面（ＸＺ平面に平行な面）内に大きな口を開けるようにして形成されることになる。
【0040】
第１の分割下面部１１１は、図２（ｂ）に示すように、底面視が略正八角形の薄板にＵ字状の切欠き凹部（以下、この切欠き凹部を「第１の分割下面切欠部１１３」と称する。）が設けられた部位として形成されている。この第１の分割下面切欠部１１３は、その開口端が八辺のうちの一辺、具体的には、後述する第２の分割筐体１２０を構成する第２の分割下面部１２１と対向する一辺を含む位置にあって、当該一辺から第１の分割下面部１１１の中心に向けて延在する（例えば＋Ｙ方向へ延在する）空間として形成されている。また、この第１の分割下面切欠部１１３は、接合部ＣＰが貫通する第１の貫通孔１０３の一部を形成している。すなわち、第１の分割下面切欠部１１３を画成する周縁側壁面１１３ａは、第１の貫通孔１０３の壁面１０３ａの一部を形成している（図１（ｂ）を参照）。このため、第１の分割下面切欠部１１３の開口端の幅は、接合部ＣＰの最大幅（最大径）よりも大きくなるように設定されている。
【0041】
第１の分割上面部１１２は、図２（ａ）に示すように、その平面視が正八角形を画成する８辺のうちの５辺と２端点を結んだ対角線とによって囲まれた６角状の薄板部材からなり、さらに、Ｕ字状の切欠き凹部（以下、この切欠き凹部を「第１の分割上面切欠部１１４」と称する。）が設けられている。この第１の分割上面切欠部１１４は、上記対角線の略中央に開口端をもち、当該開口端から中心部に向かって延在する（例えば＋Ｙ方向へ延在する）空間として形成されている。第１の分割上面切欠部１１４は、ケーブル３００が貫通する第２の貫通孔１０４の一部を形成している。すなわち、第１の分割上面切欠部１１４を画成する周縁側壁面１１４ａは、第２の貫通孔１０４の壁面１０４ａの一部を形成している（図１（ａ）を参照）。第１の分割上面切欠部１１４の開口端の幅は、例えば、ケーブル３００（より具体的には、後述するケーブル本体部３１０）の最大幅（最大径）よりも大きくなるように設定されている。
【0042】
[第２の分割筐体１２０]
第２の分割筐体１２０は、筐体１００が備える８つの側面部のうちの３つの側面部と、同下面部１０１の一部をなす第２の分割下面部１２１と、同上面部１０２の一部をなす第２の分割上面部１２２とを含むように形成されている（図１（ａ）、（ｂ）および図２（ａ）、（ｂ）を参照）。
第２の分割筐体１２０は、筐体１００が備える８つの側面部のうちの３つの側面部と、同下面部１０１の一部をなす第２の分割下面部１２１と、同上面部１０２の一部をなす第２の分割上面部１２２とを含むように形成されている（図１（ａ）、（ｂ）および図２（ａ）、（ｂ）を参照）。
【0043】
上記３つの側面部は、いずれも側面視が長方形の薄板部材からなり、隣接する部位同士が互いに連結し、端部に位置する側面部が備える端面１２０ａによって第１の分割筐体１１０との合わせ面の一部が形成されている。当該合わせ面は、軸心ＣＬ１に平行な面（例えばＸＺ平面）に沿って形成され、これにより、第２の分割筐体１２０の開口部が、軸心ＣＬ１に平行な面（ＸＺ平面に平行な面）内に大きな口を開けるようにして形成されることになる。
【0044】
第２の分割下面部１２１は、図２（ｂ）に示すように、底面視が正八角形の一辺と略同じ長さの４辺によって形成された略矩形状の薄板からなる。より具体的には、上記３つの側面部のうちの中央に位置する側面部の下端から筐体１００の中心部に向けて延在する（例えば＋Ｙ方向へ延在する）底面視略矩形状の凸状部（以下、この凸状部を「第２の分割下面凸部１２３」と称することがある。本実施の形態では、この第２の分割下面凸部１２３と第２の分割下面部１２１とが実質的に同一部位を表すことになる）として形成されている。第２の分割下面凸部１２３（第２の分割下面部１２１）の周縁を画成する周縁側壁面のうち、第１の分割下面部１１１に形成された第１の分割下面切欠部１１３と対向する周縁側壁面１２３ａは、接合部ＣＰが貫通する第１の貫通孔１０３の壁面１０３ａの一部を形成している（図１（ｂ）を参照）。このため、周縁側壁面１２３ａの幅（Ｘ軸に沿った方向の長さ）は、接合部ＣＰの最大幅（最大径）よりも大きくなるように設定されている。
【0045】
第２の分割上面部１２２は、図２（ａ）に示すように、平面視略正八角形状の薄板部材から４等分した部分（具体的には、正八角形状を形成する８辺のうちの互いが直交する２組の辺にそれぞれ平行な２つの分割線によって４等分した部分）を取除いた形態にＵ字状の切欠き凹部（以下、「第２の分割上面切欠部１２４」と称する。）が形成された薄板部材からなる。第２の分割上面切欠部１２４は、上記２つの分割線が交差する位置に設けられた空間であって、ケーブル３００が貫通する第２の貫通孔１０４の一部を形成する（図１（ａ）を参照）。すなわち、第２の分割上面切欠部１２４を画成する周縁側壁面１２４ａは、第２の貫通孔１０４の壁面１０４ａの一部を形成する。このため、第２の分割上面切欠部１２４の開口端の幅は、ケーブル３００（より具体的には、後述するケーブル本体部３１０）の最大幅（最大径）よりも大きくなるように設定されている。
【0046】
〔継手２００〕
継手２００は、被測定流体が流出入する配管と圧力センサ１とが連接するための接続要素であって、例えば、互いが一体となって連結する継手本体部２１０と継手接合部２２０とから構成されている。
継手本体部２１０は、上記配管と同一の軸心をもつステンレス製の六角筒状部材から構成され、上記配管と螺合するためのネジ山（雌ネジ）が内側壁面に形成されている。また、平面視形状（横断面形状）が略正六角形を呈している継手本体部２１０の外周側壁には、例えばスパナが係合するように構成されている。
継手接合部２２０は、センサユニット１０が備える小径円筒部２１ｂと、例えば溶接により接合される部位であって、内側に導入部２０Ｖと連通する通路が内側に形成された管状部材から構成されている。小径円筒部２１ｂと接合された当該継手接合部２２０は、上述したように、接合部ＣＰを形成している。
継手２００は、被測定流体が流出入する配管と圧力センサ１とが連接するための接続要素であって、例えば、互いが一体となって連結する継手本体部２１０と継手接合部２２０とから構成されている。
継手本体部２１０は、上記配管と同一の軸心をもつステンレス製の六角筒状部材から構成され、上記配管と螺合するためのネジ山（雌ネジ）が内側壁面に形成されている。また、平面視形状（横断面形状）が略正六角形を呈している継手本体部２１０の外周側壁には、例えばスパナが係合するように構成されている。
継手接合部２２０は、センサユニット１０が備える小径円筒部２１ｂと、例えば溶接により接合される部位であって、内側に導入部２０Ｖと連通する通路が内側に形成された管状部材から構成されている。小径円筒部２１ｂと接合された当該継手接合部２２０は、上述したように、接合部ＣＰを形成している。
【0047】
〔ケーブル３００〕
ケーブル３００は、例えば、センサユニット１０から出力される電気信号（例えば電圧値を含む電気信号）を増幅するために圧力センサ１の外部に配置されたアンプと電気的に接続するための部位あって、ケーブル本体部３１０とコネクタ部３２０とから構成されている。
ケーブル本体部３１０は、導電性材料からなる複数の導線３１０ａと、これら複数の導線３１０ａを覆う導電材料からなるシールド部材３１０ｂおよび非導電性材料からなる被覆材３１０ｃとから構成されている。また、ケーブル本体部３１０の先端部には、アンプと接続するコネクタが取付けられている。
コネクタ部３２０は、センサユニット１０に設けられた電極リード部５０と接続する部位であって、電極リード部５０（より具体的には、電極リードピン５１）と着脱自在に係合する端子が設けられている。これによりケーブル３００は、軸心ＣＬ１に沿った方向へ伸長する形でセンサユニット１０に取付けられる。
ケーブル３００は、例えば、センサユニット１０から出力される電気信号（例えば電圧値を含む電気信号）を増幅するために圧力センサ１の外部に配置されたアンプと電気的に接続するための部位あって、ケーブル本体部３１０とコネクタ部３２０とから構成されている。
ケーブル本体部３１０は、導電性材料からなる複数の導線３１０ａと、これら複数の導線３１０ａを覆う導電材料からなるシールド部材３１０ｂおよび非導電性材料からなる被覆材３１０ｃとから構成されている。また、ケーブル本体部３１０の先端部には、アンプと接続するコネクタが取付けられている。
コネクタ部３２０は、センサユニット１０に設けられた電極リード部５０と接続する部位であって、電極リード部５０（より具体的には、電極リードピン５１）と着脱自在に係合する端子が設けられている。これによりケーブル３００は、軸心ＣＬ１に沿った方向へ伸長する形でセンサユニット１０に取付けられる。
【0048】
＜ヒータブロック５００およびその設置＞
つづいて、筐体１００を備える圧力センサ１を加熱するために設置されるヒータブロック５００について説明する。このヒータブロック５００は、例えば、熱伝導率の大きな材料（アルミニウム合金等）からなり、電熱線を通じて所定の温度に加熱されるように構成されている。ヒータブロック５００の内側には、圧力センサ１を収容するための空間５００Ｖが開口している。この空間５００Ｖは、圧力センサ１を覆う筐体１００の側面１００ＳＷの全周に空気層Ａが形成されるのに十分な容積を有し、その開口径および高さは、筐体１００の平面視における最大外形寸法および高さよりも大きく設定されている。
つづいて、筐体１００を備える圧力センサ１を加熱するために設置されるヒータブロック５００について説明する。このヒータブロック５００は、例えば、熱伝導率の大きな材料（アルミニウム合金等）からなり、電熱線を通じて所定の温度に加熱されるように構成されている。ヒータブロック５００の内側には、圧力センサ１を収容するための空間５００Ｖが開口している。この空間５００Ｖは、圧力センサ１を覆う筐体１００の側面１００ＳＷの全周に空気層Ａが形成されるのに十分な容積を有し、その開口径および高さは、筐体１００の平面視における最大外形寸法および高さよりも大きく設定されている。
【0049】
ヒータブロック５００は、図４および図５（ａ）に示すように、圧力センサ１（筐体１００）の軸心ＣＬ１と自身の軸心ＣＬ５００とが一致するように、圧力センサ１（筐体１００）の周囲に配置される。ここで、図４は、ヒータブロック５００のみをＸＺ平面で切断したときの斜視図であり、図５（ａ）は、平面図である。
【0050】
図５（ａ）に示すように、圧力センサ１が、自身の軸心ＣＬ１とヒータブロック５００の軸心ＣＬ５００とが一致する位置に正しく配置されたとき（特許請求の範囲に記載の「第１の姿勢」に相当。）には、空気層Ａが、圧力センサ１とヒータブロック５００との間、より具体的には、圧力センサ１における筐体１００の側面１００ＳＷとヒータブロック５００における内周側壁面５００Ｗとの間に略均等に介在することになる。このため、当該状態においては、圧力センサ１（筐体１００）の内部が略均一に加熱されることになる。
【0051】
これに対し、圧力センサ１が、例えば、ヒータブロックの設計、製造および施工が適切でないことが原因で、自身の軸心ＣＬ１とヒータブロック５００の軸心ＣＬ５００とが一致しない位置（軸心ＣＬ１が軸心ＣＬ５００に対して偏心した位置）に配置されたとき（特許請求の範囲に記載の「第２の姿勢」に相当。）は、図５（ｂ）に示すように、圧力センサ１とヒータブロック５００とが２箇所で線接触することが起こり得る。より具体的には、圧力センサ１における筐体１００の側面１００ＳＷとヒータブロック５００における内周側壁面５００Ｗとが接触位置Ｐ１および接触位置Ｐ２の２箇所で線接触することが起こり得る（以下、このような状態を「接触状態」と称する。）。このような接触状態にある圧力センサおいては、空気層Ａが薄くなる領域、例えば、本実施の形態においては、第１接触部Ｐ１と第２接触部Ｐ２との間に空気層Ａが薄くなる領域Ｓ１が形成され、図１２および図１３に示す円筒状の筐体を備える従来型圧力センサ１０００においては、接触部Ｐ１０００の近傍に空気層Ａが薄くなる領域Ｓ１０００が形成される。
【0052】
ここで、本実施の形態に係る圧力センサ１における領域Ｓ１は、後述するように、従来型圧力センサ１０００における領域Ｓ１０００と比較して広く形成されることになり、結果として当該領域の空気層Ａの体積が大きくなる（図５（ｂ）と図１３（ｂ）とを参照）。
すなわち、円筒面からなる内周側壁面（ヒータブロック５００の内周側壁面５００Ｗ）と複数の位置（第１接触位置Ｐ１および第２接触位置Ｐ２）で接触することになる圧力センサ１においては、平面視において、隣接する第１接触位置Ｐ１と第２接触位置Ｐ２を結んだ線分と第１接触位置Ｐ１または第２接触位置Ｐ２と軸心ＣＬ１とを結んだ線分がなす角度θは、幾何学的に必ず９０度未満となる（図５（ｂ）参照）。これに対し、曲率半径の大きな円筒面からなる内周側壁面５００Ｗに曲率半径の小さな円筒面からなる筐体の側面が内接する従来型圧力センサ１０００においては、接触位置は１個所のみ（接触位置Ｐ１０００のみ）となり、かつ平面視において、接触位置Ｐ１０００と軸心ＣＬ１０００とを結んだ線分と接触位置Ｐ１０００における接線とがなす角度は９０度となる（図１３（ｂ）参照）。このため、接触位置（接触部）近傍では、第１接触位置Ｐ１と第２接触位置Ｐ２とを結ぶ線分に沿って形成された筐体１００の側面１００ＳＷの外周縁は、内周側壁面５００Ｗに内接する円筒面、すなわち、従来型圧力センサ１０００が備える筐体の側面の外周縁よりも必ず内側（軸心側）に位置することになる。このため、圧力センサ１の領域Ｓ１は、従来型圧力センサ１０００の領域Ｓ１０００よりも広く形成されることになる。（図５（ｂ）と図１３（ｂ）とを参照）。
すなわち、円筒面からなる内周側壁面（ヒータブロック５００の内周側壁面５００Ｗ）と複数の位置（第１接触位置Ｐ１および第２接触位置Ｐ２）で接触することになる圧力センサ１においては、平面視において、隣接する第１接触位置Ｐ１と第２接触位置Ｐ２を結んだ線分と第１接触位置Ｐ１または第２接触位置Ｐ２と軸心ＣＬ１とを結んだ線分がなす角度θは、幾何学的に必ず９０度未満となる（図５（ｂ）参照）。これに対し、曲率半径の大きな円筒面からなる内周側壁面５００Ｗに曲率半径の小さな円筒面からなる筐体の側面が内接する従来型圧力センサ１０００においては、接触位置は１個所のみ（接触位置Ｐ１０００のみ）となり、かつ平面視において、接触位置Ｐ１０００と軸心ＣＬ１０００とを結んだ線分と接触位置Ｐ１０００における接線とがなす角度は９０度となる（図１３（ｂ）参照）。このため、接触位置（接触部）近傍では、第１接触位置Ｐ１と第２接触位置Ｐ２とを結ぶ線分に沿って形成された筐体１００の側面１００ＳＷの外周縁は、内周側壁面５００Ｗに内接する円筒面、すなわち、従来型圧力センサ１０００が備える筐体の側面の外周縁よりも必ず内側（軸心側）に位置することになる。このため、圧力センサ１の領域Ｓ１は、従来型圧力センサ１０００の領域Ｓ１０００よりも広く形成されることになる。（図５（ｂ）と図１３（ｂ）とを参照）。
【0053】
＜効果＞
上記構成の筐体１００および筐体１００を備える圧力センサ１によれば、以下の効果がもたらされる。
[効果１] 上述したように、接触状態にある本実施の形態に係る圧力センサ１は、同状態にある従来型圧力センサ１０００と比較して、接触部分近傍の空気層Ａが形成される空間、すなわち、筐体１００の側面１００ＳＷとヒータブロック５００の内周側壁面５００Ｗとの間に形成される空間を広く確保することができる。これにより、熱流束の乱れ（ムラ）、およびこれに起因した圧力センサ１の内部空間の温度分布、すなわち、筐体１００の内部およびこれに収容されている圧力センサ素子１１（センサユニット１０）の温度分布を小さく抑えることができ、結果として測定誤差を小さくすることができる。
[効果２] 筐体１００を八角柱としたことで、圧力センサ素子１１（センサユニット１０）を収容する内部空間が適切に確保されるとともに、接触状態にあるときの接触部分近傍の空気層Ａを適度に確保することができる。これにより、スペースユーティリティと上記効果（効果１）とを高い次元で両立することができる。
[効果３] 円筒状の筐体を備える圧力センサの場合、転がり易いことから取付作業中に誤って床等に落とすことが往々にして起こり得る。これに対し、本実施の形態に係る圧力センサ１によれば、八角柱の筐体１００を備えることで転がりによる落下を防止することができる。これにより、取付作業等を容易かつ安全・確実に行うことが出来るようになるなど、扱いやすく実用性の高い圧力センサを提供することができる。
上記構成の筐体１００および筐体１００を備える圧力センサ１によれば、以下の効果がもたらされる。
[効果１] 上述したように、接触状態にある本実施の形態に係る圧力センサ１は、同状態にある従来型圧力センサ１０００と比較して、接触部分近傍の空気層Ａが形成される空間、すなわち、筐体１００の側面１００ＳＷとヒータブロック５００の内周側壁面５００Ｗとの間に形成される空間を広く確保することができる。これにより、熱流束の乱れ（ムラ）、およびこれに起因した圧力センサ１の内部空間の温度分布、すなわち、筐体１００の内部およびこれに収容されている圧力センサ素子１１（センサユニット１０）の温度分布を小さく抑えることができ、結果として測定誤差を小さくすることができる。
[効果２] 筐体１００を八角柱としたことで、圧力センサ素子１１（センサユニット１０）を収容する内部空間が適切に確保されるとともに、接触状態にあるときの接触部分近傍の空気層Ａを適度に確保することができる。これにより、スペースユーティリティと上記効果（効果１）とを高い次元で両立することができる。
[効果３] 円筒状の筐体を備える圧力センサの場合、転がり易いことから取付作業中に誤って床等に落とすことが往々にして起こり得る。これに対し、本実施の形態に係る圧力センサ１によれば、八角柱の筐体１００を備えることで転がりによる落下を防止することができる。これにより、取付作業等を容易かつ安全・確実に行うことが出来るようになるなど、扱いやすく実用性の高い圧力センサを提供することができる。
【0054】
また、筐体１００が、複数の筐体に分割されている場合には、以下に示すような効果がもたらされる。
[効果４] 筐体１００を軸心ＣＬ１に沿って合わせ面が形成されるように分割することで、筐体１００の側面１００ＳＷ（側面部）の形態を部分的に異ならせる等、筐体１００の側面形状のバリエーションを容易に増やすことができる。これにより、上記効果１をもたらす上で好適な筐体形状を設計する上での自由度が広がる。
[効果４] 筐体１００を軸心ＣＬ１に沿って合わせ面が形成されるように分割することで、筐体１００の側面１００ＳＷ（側面部）の形態を部分的に異ならせる等、筐体１００の側面形状のバリエーションを容易に増やすことができる。これにより、上記効果１をもたらす上で好適な筐体形状を設計する上での自由度が広がる。
【0055】
さらに、筐体１００が、上記形態で分割されたたことで、温度分布の抑止効果に加え、以下のような付随的効果がもたらされる。
[効果５] センサユニット１０（圧力センサ素子１１）に種々のサイズの配管に対応すべく異なるサイズ（呼び径）の継手２００が接合された複数の仕様のサブアセンブリ４００に対し、共通の筐体（形態が同一の筐体）を組み付けることができる。すなわち、異なる仕様のサブアセンブリ４００ごとに異なる形態（サイズ）の筐体を用意する必要がなくなるため生産コストを抑えることができる。
[効果６] 筐体の形態（サイズ）が継手のサイズ（呼び径）に左右されないことから、必要最小限の大きさ、例えば、センサユニット１０が収容できる必要最小限の大きさに抑えることができるため、小型の圧力センサを提供することができる。
[効果７] 上記サブアセンブリ４００を中間工程で予め作り溜めしておき、これを部品在庫として仕様別に保管・管理することで、製品製造の最終工程を筐体の組立とケーブルの取付けのみからなる工程（溶接等の機械加工を伴わない工程）によって構成することができる。これになり、製品製造のリードタイムを短縮することができる。
[効果８] 筐体１００を構成する第１の分割筐体１１０および第２の分割筐体１２０においては、上述したように、互いの合わせ面が、軸心ＣＬ１（軸心ＣＬ）に沿って形成されることで、当該軸心ＣＬ１に平行な面（ＸＺ平面に平行な面）内に大きな口を開けるようにして開口部が形成されることになる。このため、軸心ＣＬ１（軸心ＣＬ）に沿って伸長するケーブル３００の取回し作業（取付け作業）が容易になり、組立性が向上する。また、ケーブル３００の取回し作業が容易になることで、異なる数種の組立工順、例えば、サブアセンブリ４００にケーブル３００を取付けた後に分割筐体（第１の分割筐体１１０および第２の分割筐体））を組み付ける工順の他に、サブアセンブリ４００に分割筐体の一部（例えば第１の分割筐体１１０）を組み付けた後にケーブル３００を取付けるといった工順をとることが可能になる。後者によれば、例えばケーブル３００の重量が大きい場合に、第２の貫通孔１０４の壁面を形成する第１の分割上面切欠部１１４の周縁側壁面１１４ａを支持面として活用して取付けることができるため、センサユニット１０側の接続端子に過度な負荷がかかることを防止できる。このように、本実施の形態によれば、組立工順の自由度が広がり、状況に応じて効率的な組立工順を適宜とることができるようになる。さらに、ケーブル３００の先端部に配設された増幅器（アンプ）と接続するためのコネクタが、例えばその外形寸法が第２の貫通孔１０４の開口寸法より大きく、かつケーブル本体部３１０と一体となって接合している場合であっても、筐体の形態を変更し、および／または工順を変更することなく容易に取付けることができるようになる。
[効果５] センサユニット１０（圧力センサ素子１１）に種々のサイズの配管に対応すべく異なるサイズ（呼び径）の継手２００が接合された複数の仕様のサブアセンブリ４００に対し、共通の筐体（形態が同一の筐体）を組み付けることができる。すなわち、異なる仕様のサブアセンブリ４００ごとに異なる形態（サイズ）の筐体を用意する必要がなくなるため生産コストを抑えることができる。
[効果６] 筐体の形態（サイズ）が継手のサイズ（呼び径）に左右されないことから、必要最小限の大きさ、例えば、センサユニット１０が収容できる必要最小限の大きさに抑えることができるため、小型の圧力センサを提供することができる。
[効果７] 上記サブアセンブリ４００を中間工程で予め作り溜めしておき、これを部品在庫として仕様別に保管・管理することで、製品製造の最終工程を筐体の組立とケーブルの取付けのみからなる工程（溶接等の機械加工を伴わない工程）によって構成することができる。これになり、製品製造のリードタイムを短縮することができる。
[効果８] 筐体１００を構成する第１の分割筐体１１０および第２の分割筐体１２０においては、上述したように、互いの合わせ面が、軸心ＣＬ１（軸心ＣＬ）に沿って形成されることで、当該軸心ＣＬ１に平行な面（ＸＺ平面に平行な面）内に大きな口を開けるようにして開口部が形成されることになる。このため、軸心ＣＬ１（軸心ＣＬ）に沿って伸長するケーブル３００の取回し作業（取付け作業）が容易になり、組立性が向上する。また、ケーブル３００の取回し作業が容易になることで、異なる数種の組立工順、例えば、サブアセンブリ４００にケーブル３００を取付けた後に分割筐体（第１の分割筐体１１０および第２の分割筐体））を組み付ける工順の他に、サブアセンブリ４００に分割筐体の一部（例えば第１の分割筐体１１０）を組み付けた後にケーブル３００を取付けるといった工順をとることが可能になる。後者によれば、例えばケーブル３００の重量が大きい場合に、第２の貫通孔１０４の壁面を形成する第１の分割上面切欠部１１４の周縁側壁面１１４ａを支持面として活用して取付けることができるため、センサユニット１０側の接続端子に過度な負荷がかかることを防止できる。このように、本実施の形態によれば、組立工順の自由度が広がり、状況に応じて効率的な組立工順を適宜とることができるようになる。さらに、ケーブル３００の先端部に配設された増幅器（アンプ）と接続するためのコネクタが、例えばその外形寸法が第２の貫通孔１０４の開口寸法より大きく、かつケーブル本体部３１０と一体となって接合している場合であっても、筐体の形態を変更し、および／または工順を変更することなく容易に取付けることができるようになる。
【0056】
＜変形例＞
上記実施の形態の変形例として、筐体１００の側面１００ＳＷを、平面ではなく曲面で形成してもよい。例えば、上記実施の形態では、８つの平面が平面視正八角形をなすように連接することで側面１００ＳＷが形成されているが、これを８つの曲面によって側面が形成されるように構成してもよい。具体的には、図６に示すように、８つの曲面が、それぞれ軸心ＣＬ１に平行かつ当該軸心ＣＬ１に向けて窪んだ円筒面の一部（曲率中心が筐体１００の外側にある円筒面の一部）として形成され、これらが連接して筐体１００－２の側面１００ＳＷ－２をなすように構成してもよい。この筐体１００－２は、例えば、対称形を呈する一対の分割筐体（第１の分割筐体１１０－２および第２の分割筐体１２０－２）から構成されている。
上記実施の形態の変形例として、筐体１００の側面１００ＳＷを、平面ではなく曲面で形成してもよい。例えば、上記実施の形態では、８つの平面が平面視正八角形をなすように連接することで側面１００ＳＷが形成されているが、これを８つの曲面によって側面が形成されるように構成してもよい。具体的には、図６に示すように、８つの曲面が、それぞれ軸心ＣＬ１に平行かつ当該軸心ＣＬ１に向けて窪んだ円筒面の一部（曲率中心が筐体１００の外側にある円筒面の一部）として形成され、これらが連接して筐体１００－２の側面１００ＳＷ－２をなすように構成してもよい。この筐体１００－２は、例えば、対称形を呈する一対の分割筐体（第１の分割筐体１１０－２および第２の分割筐体１２０－２）から構成されている。
【0057】
図７は、筐体１００－２およびこれを備える圧力センサ１－２の周囲にヒータブロック５００が配置されたときの状態を示した平面図である。図７（ａ）は、圧力センサ１－２が、自身の軸心ＣＬ１－２とヒータブロック５００の軸心ＣＬ５００とが一致する位置に正しく配置されたときの平面図であり、図７（ｂ）は、圧力センサ１－２が接触状態にあるときの平面図である。
【0058】
この変形例１に係る筐体１００－２およびこれを備える圧力センサ１－２によれば、接触状態における空気層Ａが形成される領域Ｓ１－２（第１接触位置Ｐ１－２と第２接触位置Ｐ２－２との間の領域）を、上記実施の形態に係る筐体１００およびこれを備える圧力センサ１の領域Ｓ１と比較してより広く確保することができる（図５（ｂ）および図７（ｂ）参照）。このため、温度分布の発生を抑止する効果（効果１）が、より顕著にもたらされる。
【0059】
また、別の変形例（変形例２）として、例えば図８および図９に示すように、円筒形状を基本形態とする筐体１００－３の側面１００ＳＷ－３に複数の凸状部１５０を設けるように構成してもよい。この変形例２では、円筒状の側面１００ＳＷ－３に平面視略９０度間隔で４つの凸状部１５０が突設されている。凸状部１５０が設けられる位置や具体的形態は、特定のものに限定されず、また、各所で異なる形態としてもよい。さらに、凸状部１５０の成形方法も、特定のもの限定されない。例えば、筐体１００－３の側面１００ＳＷ－３に、所定の形状を呈した突片を溶接や接着剤で接合してもよいし、筐体１００－３（側面１００ＳＷ－３）を形成する部材に対してプレス等の機械加工を施すことで凸状部１５０を一体成形してもよい。筐体１００－３が複数の分割筐体（第１の分割筐体１１０－３および第２の分割筐体１２０－３）からなる場合、各分割筐体の端縁に沿って凸状部１５０を形成してもよい。さらに凸状部１５０を熱伝導率の小さな材料から形成してもよいし、ヒータブロック５００の内周側壁面５００Ｗと接する凸状部１５０の表面部分にのみ熱伝導率の小さな材料を貼設等により設けてもよい。
【0060】
図９は、筐体１００－３およびこれを備える圧力センサ１－３の周囲にヒータブロック５００が配置されたときの状態を示した平面図である。図９（ａ）は、圧力センサ１－３が、自身の軸心ＣＬ１－３とヒータブロック５００の軸心ＣＬ５００とが一致する位置に正しく配置されたときの平面図であり、図９（ｂ）は、圧力センサ１－３が接触状態にあるときの平面図である。
【0061】
この変形例２に係る筐体１００－３およびこれを備える圧力センサ１－３によれば、接触状態における空気層Ａが形成される領域Ｓ１－３を、上記実施の形態に係る筐体１００およびこれを備える圧力センサ１の領域Ｓ１と比較してより広く確保することができる（図５（ｂ）および図９（ｂ）参照）。このため、温度分布の発生を抑止する効果（効果１）が、より顕著にもたらされる。
【0062】
また、凸状部１５０を熱伝導率の小さな材料から形成し、またその表面に熱伝導率の小さな材料を貼設等した仕様においては、ヒータブロック５００の内周側壁面５００Ｗとの第１接触位置Ｐ１－３および第２接触位置Ｐ２－３を通じて局所的に熱が伝わることを抑制することができる。当該観点からも温度分布の発生を抑止する効果（効果１）がもたらされる。
【0063】
さらに、別の変形例（変形例３）として、例えば図１０および図１１に示すように、円筒状の筐体１００－４にリング状部材１６０を被せるようにして、筐体１００－４の側面１００ＳＷ－４に凸状部を形成するように構成してもよい。この変形例３では、円筒状の側面１００ＳＷ－４に平面視形状が八角形の薄板状の凸状部１６０ａが形成されることになる。リング状部材１６０が設けられる位置や具体的形態は、特定のものに限定されず、また、複数のリング状部材１６０を配設してもよい。さらにリング状部材１６０の材料を熱伝導率の小さな材料から形成してもよいし、ヒータブロック５００の内周側壁面５００Ｗと接する表面部分にのみ熱伝導率の小さな材料を貼設等してもよい。また、筐体１００－３が複数の分割筐体（第１の分割筐体１１０－４および第２の分割筐体１２０－４）からなる場合、リング状部材１６０をこれら２つの分割筐体を連結する機能部材として構成してもよい。
【0064】
図１１は、筐体１００－４およびこれを備える圧力センサ１－４の周囲にヒータブロック５００が配置されたときの状態を示した平面図である。図１１（ａ）は、圧力センサ１－４が、自身の軸心ＣＬ１－４とヒータブロック５００の軸心ＣＬ５００とが一致する位置に正しく配置されたときの平面図であり、図１１（ｂ）は、圧力センサ１－３が接触状態にあるときの平面図である。
【0065】
この変形例３に係る筐体１００－３およびこれを備える圧力センサ１－３によれば、接触状態における空気層Ａが形成される空間を、上記実施の形態に係る筐体１００およびこれを備える圧力センサ１の領域Ｓ１と比較してより広く確保することができる。すなわち、リング状部材１６０は、筐体１００－４の軸心ＣＬ－４に沿った上下方向（Ｚ軸方向）の一部に配設されているに過ぎないため、リング状部材１６０が配設されていない箇所の平面視における外形寸法（ＸＹ平面に投影した外形の寸法）は、リング状部材１６０のそれに比べて小さい。このため、接触状態にあるときの空気層Ａが形成される空間を広く確保することができる。これにより、温度分布の発生を抑止する効果（効果１）が、より顕著にもたらされる。
【0066】
また、リング状部材１６０を熱伝導率の小さな材料から形成し、またその表面に熱伝導率の小さな材料を貼設等した仕様においては、ヒータブロック５００の内周側壁面５００Ｗとの第１接触位置Ｐ１－４および第２接触位置Ｐ２－４を通じて局所的に熱が伝わることを抑制することができる。当該観点からも温度分布の発生を抑止する効果（効果１）がもたらされる。
【0067】
以上、本発明の好ましい実施の形態に関して説明したが、本発明はこの実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。また、明細書および図面に直接記載のない構成であっても、本発明の作用・効果を奏する以上、本発明の技術的思想の範囲内である。さらに、上記記載および各図に示した実施の形態は、その目的および構成等に矛盾がない限り、互いの記載内容を組み合わせることも可能である。
【0068】
例えば、上記実施の形態に係る圧力センサ１（およびその変形例１ないし３）においては、筐体１００（１００－２、１００－３、１００－４）が、側面は軸心ＣＬ１（ＣＬ１－２、ＣＬ１－３、ＣＬ１－４）に沿って延在する柱体を基本形態としているが、基本形態が角錐台等であってもよい。
【0069】
また、上記実施の形態では、筐体１００を備える圧力センサ１は、静電容量式の圧力センサ素子１１（センサユニット１０）として説明したが、本発明は、当該仕様に限定されるわけではない。例えば、抵抗ゲージを貼り付け又はスパッタ等により成膜した歪ゲージ式や半導体ピエゾ抵抗式等、ダイアフラムの変形を電気信号として検出するセンシング方式を備えた全ての圧力センサ素子及びこれを備える圧力センサに対して適用され得る。
【符号の説明】
【0070】
１、１－２、１－３、１－４…圧力センサ、１０…センサユニット、１１…圧力センサ素子、２１ｂ…小径円筒部、５０…電極リード部、１００、１００－２、１００－３、１００－４…筐体、１００ＳＷ、１００ＳＷ－２、１００ＳＷ－３、１００ＳＷ－４…側面、１０１…下面部、１０２…上面部、１０３…第１の貫通孔、１０３ａ…壁面、１０４…第２の貫通孔、１０４ａ…壁面、１１０…第１の分割筐体、１１０ａ…端面、１２０ａ…端面、１１１…第１の分割下面部、１１２…第１の分割上面部、１１３…第１の分割下面切欠部、１１３ａ…周縁側壁面、１１４…第１の分割上面切欠部、１１４ａ…周縁側壁面、１２０…第２の分割筐体、１２１…第２の分割下面部、１２２…第２の分割上面部、１２３…第２の分割下面凸部、１２３ａ…周縁側壁面、１２４…第２の分割上面切欠部、１２４ａ…周縁側壁面、１５０…凸状部、１６０…リング状部材、２００…継手、２１０…継手本体部、２２０…継手接合部、３００…ケーブル、３１０…ケーブル本体部、３２０…コネクタ部、４００…サブアセンブリ、５００…ヒータブロック、ＣＰ…接合部、Ａ…空気層、ＣＬ、ＣＬ１、ＣＬ１－２、ＣＬ１－３、ＣＬ１－４…軸心、Ｓ１、Ｓ１－２、Ｓ１－３、Ｓ１－４…領域、Ｐ１、Ｐ１－２、Ｐ１－３、Ｐ１－４…第１接触位置、Ｐ２、Ｐ２－２、Ｐ２－３、Ｐ２－４…第２接触位置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】