特許 7553537 フィルム剥取機、及びそのスクレーパー機構

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-09

(45)【発行日】2024-09-18

(54)【発明の名称】フィルム剥取機、及びそのスクレーパー機構

(51)【国際特許分類】

   B65H 41/00 20060101AFI20240910BHJP

【ＦＩ】

B65H41/00 Z

【請求項の数】 11

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2022199836

(22)【出願日】2022-12-14

(65)【公開番号】P2023105793

(43)【公開日】2023-07-31

【審査請求日】2023-02-08

(31)【優先権主張番号】111102099

(32)【優先日】2022-01-19

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(73)【特許権者】

【識別番号】512280909

【氏名又は名称】志聖工業股▲ふん▼有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】100125265

【弁理士】

【氏名又は名称】貝塚 亮平

(72)【発明者】

【氏名】林英菘

(72)【発明者】

【氏名】楊佳裕

(72)【発明者】

【氏名】劉宜中

【審査官】松林 芳輝

(56)【参考文献】

【文献】特許第４２２３８２６（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】特開２００２－１６０８５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６３－０３７３５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第２００２－００２１９８４（ＫＲ，Ａ）

【文献】米国特許第０４７７０７３７（ＵＳ，Ａ）

【文献】実開平０６－０６３６２０（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ６５Ｈ １／００－３／６８

Ｂ６５Ｈ ５／００

Ｂ６５Ｈ ４１／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

担持台と、
前記担持台に枢着するスクレーパーと、
前記担持台と前記スクレーパーとを接続する弾性部と、
前記担持台に設けられる経路長調整部と、を含み、
前記弾性部は前記担持台に対する前記スクレーパーの移動によって変形を生じることが可能であり、
前記経路長調整部は、前記スクレーパーが前記担持台に対して移動する経路長の制限に用いられ、前記スクレーパーに近づいたり遠ざかったりするように前記担持台に対して移動でき、前記スクレーパーと干渉して前記スクレーパーが移動する経路長を制限する、
スクレーパー機構。

【請求項2】

前記スクレーパーが、コネクタと、前記コネクタに固定される刀身とを含み、前記コネクタが前記担持台に枢着され、前記弾性部が前記担持台と前記コネクタを接続する、請求項１に記載のスクレーパー機構。

【請求項3】

前記弾性部が、前記スクレーパーと前記担持台の間に設けられる、請求項１に記載のスクレーパー機構。

【請求項4】

前記担持台に固定され、前記スクレーパーの位置を制限する位置制限部をさらに含み、前記スクレーパーが前記担持台と前記位置制限部の間に設けられる、請求項１に記載のスクレーパー機構。

【請求項5】

前記スクレーパーの刀身の延伸方向が前記位置制限部の延伸方向と平行である、請求項４に記載のスクレーパー機構。

【請求項6】

前記経路長調整部と前記スクレーパーは、それぞれに互いが一致する斜面を有する、請求項１に記載のスクレーパー機構。

【請求項7】

前記スクレーパーが、コネクタと、前記コネクタに固定される刀身と、前記コネクタに設けられた柱状部とを含み、前記コネクタが前記担持台に枢着され、前記弾性部が前記担持台と前記コネクタを接続し、前記柱状部が前記コネクタの穿孔溝内に位置し、前記経路長調整部と前記柱状部とは、それぞれに互いが一致する斜面を有する、請求項６に記載のスクレーパー機構。

【請求項8】

担持台と、
前記担持台に枢着されるスクレーパーと、
前記担持台に設けられる経路長調整部と、を含み、
前記経路長調整部は、前記スクレーパーが前記担持台に対して移動する経路長の制限に用いられ、前記経路長調整部が前記スクレーパーに近づいたり遠ざかったりするように前記担持台に対して移動でき、前記スクレーパーと干渉して前記スクレーパーが移動する経路長を制限する、
スクレーパー機構。

【請求項9】

前記経路長調整部が第一の斜面を有し、前記スクレーパーが前記第一の斜面に対応する第二の斜面を有し、前記経路長調整部は、前記第一の斜面が前記第二の斜面と接触するように、前記担持台に対して移動できる、請求項８に記載のスクレーパー機構。

【請求項10】

前記スクレーパーが、コネクタと、前記コネクタに固定される刀身と、前記コネクタに設けられる柱状部とを含み、前記コネクタが前記担持台に枢着され、前記柱状部が前記コネクタの穿孔溝内に位置し、前記柱状部が前記第二の斜面を有する、請求項９に記載のスクレーパー機構。

【請求項11】

第１のフィルムの端部と第２のフィルムとの分離に用いられる、請求項１～１０のいずれか１項に記載のスクレーパー機構と、
前記第１のフィルムと前記第２のフィルムとの完全分離に用いられる、フィルム剥取装置とを、含む、
フィルム剥取機。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、スクレーパー機構に関し、特に、フィルム剥取機のスクレーパー機構に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体または電子部品の産業において、一部のプロセスにおいて基板上に複数層のフィルムを貼り付ける必要があり、中でも、最外層の離形フィルムは、ほこりの付着を防ぎ、静電防護または空気との接触阻止を達成するために用いられる。フィルムを貼り付ける作業手順は、フィルムを貼り付ける工程と最外層の離形フィルムを剥取する工程とを含む。フィルムを貼り付ける工程では、複数層のフィルムの主フィルムが基板上に貼り付けられ、主フィルムの上方にはその後剥取される離形フィルムがある。剥取工程では、主フィルムを露出するように離形フィルムが剥取される。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

現在、業界において、自動化機械を用いて基板上のフィルムを剥取するのが一般的であるが、主フィルムがはみ出す問題は機械による剥取工程に影響を与えるおそれがある。具体的には、フィルムを貼り付ける工程において主フィルムが加熱されてから基板上に貼り付けられ、このとき、主フィルムの流動性が高ければ、離形フィルムの端部からはみ出して離形フィルムの周縁領域を覆い、その後の剥取工程で離形フィルムと主フィルムとを分離し難い原因となり得る。上記の問題を解決するため、フィルムを貼り付ける工程の終了後に、はみ出した主フィルムをレーザーで焼き尽くす方策があるが、レーザーエネルギーが基板上の回路パターンを損なう可能性があるので、はみ出したフィルムをレーザーで焼き尽くす方法に加えて、他の解決方策を開発する必要がある。

【課題を解決するための手段】

【0004】

以上の問題に鑑みて、本発明は、先行技術の制限と欠陥による一又は複数の問題を実質的に解決するスクレーパー機構を開示する。本発明は、このスクレーパー機構を含むフィルム剥取機をさらに開示する。

【0005】

本発明に開示されたスクレーパー機構は、担持台と、スクレーパーと、弾性部とを含む。スクレーパーは担持台に枢着される。弾性部は担持台とスクレーパーを接続し、弾性部は担持台に対するスクレーパーの移動により変形できる。

【0006】

本発明に開示された別のスクレーパー機構は、担持台と、スクレーパーと、経路長調整部とを含む。スクレーパーは、担持台に枢着される。経路長調整部は、担持台に設けられ、経路長調整部は、スクレーパーが担持台に対して移動する経路長の制限に用いられる。

【0007】

本発明に開示されたフィルム剥取機は、前記スクレーパー機構と、フィルム剥取装置とを含む。スクレーパー機構は、フィルムの端部と別のフィルムとの分離に用いられ、フィルム剥取装置は、前記フィルムと前記別のフィルムとの完全分離に用いられる。

【0008】

本発明に開示されたスクレーパー機構、及びフィルム剥取機によれば、スクレーパーは弾性部と担持台により接続するため、弾性部は、スクレーパーにある程度の可動性を与えることができる。主フィルムが離形フィルムの端部からはみ出している場合には、可動性を有するスクレーパーの刀身が主フィルムに接触すると、刀身が主フィルムの内部に差し込まれないように主フィルムの表面に沿ったまま移動可能である。続いて、スクレーパーの刀身が離形フィルムに接触すると、スクレーパーは、弾性部と自重とによって降下することにより、刀身が離形フィルムの下方に差し込まれ、離形フィルムと主フィルムとを分離できる。本発明のスクレーパー機構を用いて剥取を行うことにより、はみ出したフィルムを事前にレーザーで焼き尽くすステップを回避することができる。

【0009】

以上の本開示内容に係る説明および以下の実施形態の説明は、本発明の精神と原理を実証および解釈するために用いられ、本発明の特許出願の範囲のさらなる解釈を提供する。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の一実施形態にかかるスクレーパー機構を模式的に示す斜視図である。

【図2】図１のスクレーパー機構を模式的に示す断面図である。

【図3】図１のスクレーパー機構を含むフィルム剥取機を用いて基板上からフィルムを剥取する模式図である。

【図4】図１のスクレーパー機構を含むフィルム剥取機を用いて基板上からフィルムを剥取する模式図である。

【図5】図１のスクレーパー機構を含むフィルム剥取機を用いて基板上からフィルムを剥取する模式図である。

【図6】図１のスクレーパー機構を含むフィルム剥取機を用いて基板上からフィルムを剥取する模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、実施形態で本発明の詳細な特徴および利点について詳細に説明する。その内容はあらゆる当業者が発明の技術内容を理解し、これに基づいて実施するに足るものであり、本明細書で開示する内容、特許請求の範囲、図面によれば、あらゆる当業者は本発明に係る目的及び利点を容易に理解できる。以下の実施例は、本発明の観点についてさらに詳細に説明するが、いかなる観点によっても本発明の範囲を限定するものではない。

【0012】

図１と図２を参照すると、図１は本発明の一実施形態にかかるスクレーパー機構を模式的に示す斜視図であり、図２は図１のスクレーパー機構を模式的に示す断面図である。本実施形態において、スクレーパー機構１は、担持台１０と、スクレーパー２０と、弾性部３０と、経路長調整部４０とを含む。スクレーパー２０が担持台１０に枢着され、弾性部３０が担持台１０とスクレーパー２０とを接続し、経路長調整部４０が担持台１０に設けられることができる。担持台１０は、モーター（図示せず）または手動で駆動することにより、スクレーパー２０と、弾性部３０及び経路長調整部４０とを連動して移動させることができる。

【0013】

スクレーパー２０は、コネクタ２１０と、コネクタ２１０に固定される刀身２２０とを含むことができる。コネクタ２１０が担持台１０に枢着され、弾性部３０が担持台１０とコネクタ２１０とを接続し、コネクタ２１０を担持台１０に対して回転させることができる。刀身２２０は、末端に第一の斜面２２１が形成される。第一の斜面２２１において、刀身２２０の厚みが末端へ向けて徐々に低減している。

【0014】

弾性部３０はスクレーパー２０と担持台１０の間に設けられる。弾性部３０は、特に限定されないが、例えば皿ばねであって、一方の端が担持台１０に固定され、他方の端がスクレーパー２０のコネクタ２１０に固定される。

【0015】

経路長調整部４０は、スクレーパー２０が担持台１０に対して移動する経路長の制限に用いられる。詳細には、経路長調整部４０は、スクレーパー２０に近づいたり遠ざかったりするように担持台１０に対して移動でき、経路長調整部４０は、スクレーパー２０と干渉してスクレーパー２０が移動する経路長を制限する。本実施形態では、経路長調整部４０は、斜面を有する干渉端部４１０を含むことができ、スクレーパー２０は、柱状部２３０を更に含むことができる。柱状部２３０は、コネクタ２１０の穿孔溝２１１内に位置し、干渉端部４１０の斜面と一致する別の斜面を有する。経路長調整部４０は、担持台１０に対して移動し、スクレーパー２０中に差し込まれて、雄雌型整合機構２３１を形成するように柱状部２３０と接触でき、干渉端部４１０が穿孔溝２１１に差し込まれる度合いによりスクレーパー２０の可動程度を調整できる。本実施形態では、スクレーパー２０が移動する経路長は、経路長調整部４０とスクレーパー２０上それぞれに形成された２つの斜面の間の接触によって影響を受けるが、本発明はこれに限定されるものではない。一部の実施形態では、経路長調整部とスクレーパー上それぞれに形成された凹面と凸面が一致することにより経路長を調整できる。

【0016】

なお、本実施形態において、スクレーパー機構１は、担持台１０に固定される位置制限部５０を更に含むことができる。スクレーパー２０は、担持台１０と位置制限部５０の間に設けられ、位置制限部５０は、スクレーパー２０が担持台１０に対して回転する経路上に位置する。より具体的には、位置制限部５０は板部品であって、例えば、金属板部品であり、弾性部３０に対して傾斜するように設けられる。スクレーパー２０のコネクタ２１０は、担持台１０と位置制限部５０の間に位置する。スクレーパー２０の刀身２２０の延伸方向と位置制限部５０の延伸方向とは実質的に平行であってよい。

【0017】

図３乃至図６は、図１のスクレーパー機構を含むフィルム剥取機を用いて基板上からフィルムを剥取する模式図である。フィルム剥取機２は、スクレーパー機構１（図３乃至図６を参照）と、フィルム剥取装置３（図６を参照）とを含む。スクレーパー機構１は、フィルムＡの端部とフィルムＢとの分離に用いられる。フィルム剥取装置３は、フィルムＡとフィルムＢとの完全分離に用いられる。フィルムＡは、特に限定されないが、例えば、マイラー（Ｍｙｌａｒ）膜であり、フィルムＢは、特に限定されないが、例えば、基板Ｓの表面上に貼り付けられるＡＢＦ膜である。フィルムＢは、フィルムＡの端部からはみ出してフィルムＡの周縁領域を包んだり、ひいてはフィルムＡの周縁領域を覆ったりする。

【0018】

図２と図３に示すように、スクレーパー機構１の担持台１０は、モーターまたは他の動力源（図示せず）で駆動することにより、スクレーパー２０と、弾性部３０と、経路長調整部４０とをともに連動して移動させ、フィルムＡとフィルムＢに接近させることができる。担持台１０の移動により、スクレーパー２０が基板Ｓの表面に沿ってフィルムＢの端部に近づき、スクレーパー２０の刀身２２０を基板ＳとフィルムＢが粘着されている境目に接触させることができる。

【0019】

図２と図４に示すように、担持台１０を連続的に駆動して移動させ続ければ、スクレーパー２０の刀身２２０が基板ＳとフィルムＢの境目からフィルムＢの表面上に移動する。刀身２２０がフィルムＢの表面に移動する過程において、スクレーパー２０の刀身２２０がフィルムＢの表面から脱離する可能性があり、このとき、弾性部３０に変形が生じ、スクレーパー２０のコネクタ２１０と位置制限部５０との間に割れ目が発生する。弾性部３０が変形した直後に弾性位置エネルギーを放出して回復し、放出した弾性位置エネルギーはスクレーパー２０を駆動して担持台１０に対して小幅に回転させ、刀身２２０をフィルムＢの表面の位置に戻す。フィルムＢが高い表面硬度を有する場合には、スクレーパー２０はバネによりある程度の可動性を有するため、フィルムＢの内部に差し込まれることなく、フィルムＢの表面に沿って移動し続けることが可能である。

【0020】

なお、経路長調整部４０により、スクレーパー２０が担持台１０に対して回転する経路長（すなわち、上下揺れの程度）を調節できる。例えば、図２を参照して、フィルムＢの表面硬度がより高く、またはその厚みがより厚い場合には、操作者は、干渉端部４１０が穿孔溝２１１内の柱状部２３０から離れるように経路長調整部４０を引くことができ、このとき、干渉端部４１０の斜面と柱状部２３０の斜面との接触面積が小さいため、スクレーパー２０は担持台１０に対してより長い回転可能な経路を有し、より高度な可動性を有することで、刀身２２０の第一の斜面２２１は、さらに高く持ち上げられることができる。

【0021】

図２と図５に示すように、担持台１０を駆動して連続的に移動させ続ければ、スクレーパー２０の刀身２２０がフィルムＢの表面に沿って移動して、フィルムＡとＢの境目に到達する。フィルムＡとＢの境目では、フィルムＡはフィルムＢに覆われていなかったり、フィルムＡ上を覆うフィルムＢの厚みが極めて薄かったりする。フィルムＡがより柔らかい場合には、スクレーパー２０の可動性によって、スクレーパー２０は、弾性部３０の重量及び自重によって下降することにより、刀身２２０がフィルムＡとＢの境目からフィルムＡの下方に差し込まれる。刀身２２０の差し込みにより、フィルムＡの端部とフィルムＢとを分離し、すなわち、フィルムＡの他の部分がフィルムＢの表面上に貼り付いているまま、フィルムＡの端部の一部が剥取される。

【0022】

図２と図６に示すように、フィルム剥取装置３（例えば、吸盤やテープローラー）は、フィルムＢと分離した一部のフィルムＡを粘着する。また、フィルム剥取装置３は移動し、フィルムＡを連動してフィルム剥取装置３の移動方向に沿ってフィルムＢ上から連続的に分離する。

【0023】

上記をまとめると、本発明に開示されたスクレーパー機構、及びフィルム剥取機によれば、スクレーパーは弾性部と担持台により接続するため、弾性部は、スクレーパーにある程度の可動性を与える。主フィルムが離形フィルムの端部からはみ出している場合には、可動性を有するスクレーパーの刀身が主フィルムに接触すると、刀身が主フィルムの内部に差し込まれないように主フィルムの表面に沿ったまま移動可能である。続いて、スクレーパーの刀身が離形フィルムに接触すると、スクレーパーは、弾性部の重量と自重とによって降下することにより、刀身が離形フィルムの下方に差し込まれ、離形フィルムと主フィルムとを分離できる。本発明のスクレーパー機構を用いて剥取を行うことにより、はみ出したフィルムを事前にレーザーで焼き尽くすステップを回避することができる。

【0024】

当業者は、本発明の範囲を逸脱せずに、本発明にあらゆる変更、及び修正を加えることができることが明らかであろう。従って、本発明は、本発明によって提供される変更、及び修正を含み、これらの変更、及び修正は、本発明の特許保護の範囲に属する。

【符号の説明】

【0025】

１：スクレーパー機構
２：フィルム剥取機
３：フィルム剥取装置
１０：担持台
２０：スクレーパー
２１０：コネクタ
２１１：穿孔溝
２２０：刀身
２２１：第一の斜面
２３０：柱状部
２３１：雄雌型整合機構
３０：弾性部
４０：経路長調整部
４１０：干渉端部
５０：位置制限部
Ａ、Ｂ：フィルム
Ｓ：基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】