特許7553556プラズマ耐性酸化イットリウムアルミニウム体

発明の名称　プラズマ耐性酸化イットリウムアルミニウム体

出願人　ヘレーウス コナミック ノース アメリカ エルエルシー　（識別番号 521442051）

　　　　特許公開件数ランキング 2796 位（6件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2725 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7553556

公報発行日　2024年9月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7553556

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