(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-09-10
(45)【発行日】2024-09-19
(54)【発明の名称】液晶表示装置
(51)【国際特許分類】
G02F 1/1343 20060101AFI20240911BHJP
G02F 1/1368 20060101ALI20240911BHJP
G02F 1/1335 20060101ALI20240911BHJP
【FI】
G02F1/1343
G02F1/1368
G02F1/1335 520
(21)【出願番号】P 2024100621
(22)【出願日】2024-06-21
(62)【分割の表示】P 2024072966の分割
【原出願日】2006-11-30
【審査請求日】2024-07-18
(31)【優先権主張番号】P 2005350147
(32)【優先日】2005-12-05
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】000153878
【氏名又は名称】株式会社半導体エネルギー研究所
(72)【発明者】
【氏名】木村 肇
(72)【発明者】
【氏名】魚地 秀貴
【審査官】右田 昌士
(56)【参考文献】
【文献】特開2001-222030(JP,A)
【文献】特開2003-207803(JP,A)
【文献】特開2003-107509(JP,A)
【文献】特開2000-056324(JP,A)
【文献】特開2005-159326(JP,A)
【文献】特開2001-284342(JP,A)
【文献】特開2004-271971(JP,A)
【文献】特開2002-323704(JP,A)
【文献】特開2001-235765(JP,A)
【文献】特開平10-260400(JP,A)
【文献】特開2005-164746(JP,A)
【文献】特開2003-195330(JP,A)
【文献】特開2001-021920(JP,A)
【文献】特開2005-207797(JP,A)
【文献】特開2003-140188(JP,A)
【文献】特開2000-047255(JP,A)
【文献】特開2002-258262(JP,A)
【文献】米国特許出願公開第2005/0151913(US,A1)
【文献】米国特許出願公開第2005/0094079(US,A1)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
G02F 1/13 - 1/141
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
画素電極の上方及び共通電極の上方に液晶層が設けられた液晶表示装置であって、
前記画素電極と電気的に接続され、且つトランジスタのチャネル形成領域を有する半導体層と、
前記半導体層の上方に位置する領域を有するゲート線と、
前記ゲート線の上方に位置する領域を有する第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層の上方に位置する領域を有し、且つ前記半導体層と電気的接続されたソース線と、
前記第1の絶縁層の上方に位置する領域を有し、且つ前記半導体層及び前記画素電極と電気的に接続された第1の導電層と、
前記第1の絶縁層の上方に位置する領域を有し、且つ前記共通電極と電気的に接続されたコモン配線と、を有し、
前記第1の導電層は、前記ソース線と同じ材料を有し、
前記半導体層は、シリコンを有し、
前記画素電極及び前記共通電極の各々は、インジウム錫酸化物を有し、
前記共通電極は、前記コモン配線の上面に接する領域を有し、
平面視において、前記コモン配線は、前記コモン配線が延伸する方向と交差する方向において隣接する他の画素側に配置され、且つ前記第1の導電層と重ならないように配置され、
平面視において、前記トランジスタは、前記チャネル形成領域が前記共通電極と重ならないように配置され、
平面視において、前記画素電極は櫛歯状の形状を有し、
平面視において、前記共通電極は、開口部を有し、
前記共通電極の開口部は、前記画素電極と重なる第1の領域と、前記画素電極と重ならない第2の領域と、を有し、
前記コモン配線は、前記第2の領域と重なる領域を有する、液晶表示装置。
【請求項2】
画素電極の上方及び共通電極の上方に液晶層が設けられた液晶表示装置であって、
前記画素電極と電気的に接続され、且つトランジスタのチャネル形成領域を有する半導体層と、
前記半導体層の上方に位置する領域を有するゲート線と、
前記ゲート線の上方に位置する領域を有する第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層の上方に位置する領域を有し、且つ前記半導体層と電気的接続されたソース線と、
前記第1の絶縁層の上方に位置する領域を有し、且つ前記半導体層及び前記画素電極と電気的に接続された第1の導電層と、
前記第1の絶縁層の上方に位置する領域を有し、且つ前記共通電極と電気的に接続されたコモン配線と、を有し、
前記第1の導電層は、前記ソース線と同じ材料を有し、
前記半導体層は、シリコンを有し、
前記画素電極及び前記共通電極の各々は、インジウム錫酸化物を有し、
前記共通電極は、前記コモン配線の上面に接する領域を有し、
平面視において、前記コモン配線は、前記コモン配線が延伸する方向と交差する方向において隣接する他の画素側に配置され、且つ前記第1の導電層と重ならないように配置され、
平面視において、前記トランジスタは、前記チャネル形成領域が前記共通電極と重ならないように配置され、
平面視において、前記画素電極は櫛歯状の形状を有し、
平面視において、前記共通電極は、開口部を有し、
前記共通電極の開口部は、前記画素電極と重なる第1の領域と、前記画素電極と重ならない第2の領域と、を有し、
前記コモン配線は、前記第2の領域と重なる領域を有し、
前記コモン配線は、第1の配線幅を有する第3の領域と、前記第1の配線幅よりも大きい第2の配線幅を有する第4の領域と、を有し、
前記第1の配線幅は、前記ソース線の前記ゲート線と交差する領域における配線幅よりも小さい、液晶表示装置。
【請求項3】
画素電極の上方及び共通電極の上方に液晶層が設けられた液晶表示装置であって、
前記画素電極と電気的に接続され、且つトランジスタのチャネル形成領域を有する半導体層と、
前記半導体層の上方に位置する領域を有するゲート線と、
前記ゲート線の上方に位置する領域を有する第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層の上方に位置する領域を有し、且つ前記半導体層と電気的接続されたソース線と、
前記第1の絶縁層の上方に位置する領域を有し、且つ前記半導体層及び前記画素電極と電気的に接続された第1の導電層と、
前記第1の絶縁層の上方に位置する領域を有し、且つ前記共通電極と電気的に接続されたコモン配線と、を有し、
前記第1の導電層は、前記ソース線と同じ材料を有し、
前記半導体層は、シリコンを有し、
前記画素電極及び前記共通電極の各々は、インジウム錫酸化物を有し、
前記共通電極は、前記コモン配線の上面に接する領域を有し、
平面視において、前記コモン配線は、画素の中央部分に配置されておらず、
平面視において、前記トランジスタは、前記チャネル形成領域が前記共通電極と重ならないように配置され、
平面視において、前記画素電極は櫛歯状の形状を有し、
平面視において、前記共通電極は、開口部を有し、
前記共通電極の開口部は、前記画素電極と重なる第1の領域と、前記画素電極と重ならない第2の領域と、を有し、
前記コモン配線は、前記第2の領域と重なる領域を有する、液晶表示装置。
【請求項4】
画素電極の上方及び共通電極の上方に液晶層が設けられた液晶表示装置であって、
前記画素電極と電気的に接続され、且つトランジスタのチャネル形成領域を有する半導体層と、
前記半導体層の上方に位置する領域を有するゲート線と、
前記ゲート線の上方に位置する領域を有する第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層の上方に位置する領域を有し、且つ前記半導体層と電気的接続されたソース線と、
前記第1の絶縁層の上方に位置する領域を有し、且つ前記半導体層及び前記画素電極と電気的に接続された第1の導電層と、
前記第1の絶縁層の上方に位置する領域を有し、且つ前記共通電極と電気的に接続されたコモン配線と、を有し、
前記第1の導電層は、前記ソース線と同じ材料を有し、
前記半導体層は、シリコンを有し、
前記画素電極及び前記共通電極の各々は、インジウム錫酸化物を有し、
前記共通電極は、前記コモン配線の上面に接する領域を有し、
平面視において、前記コモン配線は、画素の中央部分に配置されておらず、
平面視において、前記トランジスタは、前記チャネル形成領域が前記共通電極と重ならないように配置され、
平面視において、前記画素電極は櫛歯状の形状を有し、
平面視において、前記共通電極は、開口部を有し、
前記共通電極の開口部は、前記画素電極と重なる第1の領域と、前記画素電極と重ならない第2の領域と、を有し、
前記コモン配線は、前記第2の領域と重なる領域を有し、
前記コモン配線は、第1の配線幅を有する第3の領域と、前記第1の配線幅よりも大きい第2の配線幅を有する第4の領域と、を有し、
前記第1の配線幅は、前記ソース線の前記ゲート線と交差する領域における配線幅よりも小さい、液晶表示装置。
【請求項5】
請求項1乃至
4のいずれか一において、
前記画素電極は、前記第1の導電層の上方に位置する領域を有する、液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は液晶表示装置に関する。特に、視野角の広い液晶表示装置に関する。
【背景技術】
【0002】
表示装置には、自発光の表示装置と非発光の表示装置とがあり、液晶表示装置は、非発光
の表示装置の最も代表的なものである。そして、液晶表示装置には、液晶の駆動方法に関
して、基板に対して垂直に電圧を印加する縦電界方式と、基板に対して概ね平行に電圧を
印加する横電界方式がある。縦電界方式と、横電界方式は、互いに利点、及び欠点を有す
る。例えば、TN方式に代表される縦電界方式に比べて、横電界方式は、広視野角、高コ
ントラスト、高中間調表示といった特性を有し、モニターやテレビ用途として使用されて
いる。このような各液晶表示装置は、液晶分野において共存しており、製品開発が行われ
ている。また横電界方式用の液晶材料、縦電界方式用の液晶材料はそれぞれ開発が行われ
、電圧の印加方向によって異なる材料特性を有する。
【0003】
さらに横電界方式の液晶表示装置には、IPS(In-Plane Switchin
g)方式と、FFS(Fringe Field Switching)方式がある。I
PS方式は、櫛歯状やスリットの入った画素電極と、櫛歯状やスリットの入った共通電極
とが互い違いに配置されており、画素電極と共通電極との間で、基板に概ね平行な方向の
電界を発生させて駆動する方式である(特許文献1参照)。一方、FFS方式は、画素部
一面に形成された平面状の共通電極の上に、櫛歯状やスリットの入った画素電極が配置さ
れている。そして、画素電極と共通電極との間で、基板に概ね平行な方向の電界を発生さ
せて駆動する方式である。
【0004】
FFS方式の液晶表示装置は、高透過率、広視野角、低消費電力、クロストークのない
ことが示されている(非特許文献1参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【非特許文献】
【0006】
【文献】Ultra-FFS TFT-LCD with Super Image Quality and Fast Response Time, 2001 The Society For Information Display, pp.484-487
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
従来の横電界方式を代表とする横電界方式の液晶表示装置では、液晶材料にかかる電界
が十分でなかった。これは、共通電極や画素電極直上にある液晶材料に電界が上手くかか
らなかったことによる。
【0008】
また、IPS方式やFFS方式のような横電界方式を用いた広視野角技術は、主にテレ
ビ向けに使用されていた。そのため、透過型に限定されていた。しかし、より消費電力を
下げる場合や、屋外でも使用したい場合には、反射型や半透過型にする必要があった。し
かし、反射型や半透過型は、TN方式に代表される縦電界方式を用いて実現されていた。
【0009】
そこで本発明は、横電界方式の液晶表示装置において、液晶材料にかかる電界を十分な
ものとする構成を提供することを目的とする。
【0010】
また、広視野角であり、また表示画面を見る角度に依存した色味の変化が少なく、さら
に室内でも屋外でも良好に視認される画像表示をすることのできる液晶表示装置を提供す
ることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0011】
上記課題を鑑み本発明は、横電界方式において、1組の電極ではなく、複数組の電極を
用いて、液晶材料に電界をかけることを特徴とする。1組の電極は、櫛歯状に設けられた
共通電極と、櫛歯状に設けられた画素電極との組である。その他の組の電極は、画素部に
設けられた共通電極と、櫛歯状に設けられた画素電極との組がある。画素部に設けられた
共通電極は、薄膜トランジスタ以外の領域に渡って設けることができる。さらに、画素部
に設けられた共通電極の形状を櫛歯状としても構わない。このような液晶表示装置では、
1組の電極に加えて、その他の組の電極を用いて液晶材料にかかる電界を制御することが
できる。
【0012】
また、本発明の液晶表示装置は、光の透過によって表示を行う第1の部分と、光の反射
によって表示を行う第2の部分とを有することを特徴としている。さらに、液晶層には、
液晶層よりも下方に設けられた二つの液晶素子の電極の間に電位差が生じたときに電極面
と平行な方向、つまり基板と平行な面内において、回転する液晶分子を含んでいることを
特徴としている。
【0013】
なお、本発明において「電極面と平行な方向に回転」とは、人間の目で視認できない程
度のずれを有していても良い程度に平行な回転も含む。言い換えると、面方向のベクトル
成分を主とするが面方向のベクトル成分以外に法線方向のベクトル成分を僅かに有する回
転も「電極面と平行な方向に回転」に含まれる。
【0014】
液晶層801に含まれた液晶分子802は、液晶層の下方に設けられた電極803と電
極804との間に電位差が生じたときに、横方向の電界の影響により、
図77(A)のよ
うな状態から
図77(B)のような状態へ、または、
図77(B)のような状態から
図7
7(A)のような状態へと回転する。
図77(A)、
図77(B)は、断面図を示してい
る。この回転を平面上からみると
図77(C)の矢印で表される。
【0015】
同様に、液晶層9801に含まれた液晶分子9802は、液晶層の下方に設けられた電
極9803と電極9805との間、および、電極9804と電極9805との間に電位差
が生じたときに、横方向の電界の影響により、
図112(A)のような状態から
図112
(B)のような状態へ、または、
図112(B)のような状態から
図112(A)のよう
な状態へと回転する。
図112(A)、
図112(B)は、断面図を示している。この回
転を平面上からみると
図112(C)の矢印で表される。
【0016】
なお、電極803と電極804の位置関係などは、
図77に限定されない。
【0017】
同様に、電極9803と電極9804と電極9805の位置関係などは、
図112に限
定されない。
【0018】
上記した第1の部分では、液晶層の下方にそれぞれ異なる層に設けられた一対の電極を
有する。第1の部分において、液晶層の下方には液晶素子の電極が2つ設けられており、
これらの電極は、それぞれ、異なる層に設けられている。そして、これらの電極のうちい
ずれか一方を反射体として機能させることによって、またはこれらの電極と重なるように
反射体を設けることによって、光を反射させる。また、第2の部分において、液晶層の下
方には液晶素子の電極が2つ設けられており、これらの電極は、いずれも透光性を有し、
同じ層上に、若しくは絶縁層を介して異なる層上に設けられている。
【0019】
以下に本発明の具体的な構成を示す。
【0020】
本発明の一形態は、第1の共通電極と、第1の共通電極上に設けられた絶縁層と、絶縁
層上に設けられた画素電極及び第2の共通電極と、画素電極及び第2の共通電極上に設け
られた液晶材料と、を有し、画素電極と第1の共通電極との間の電界、及び画素電極と第
2の共通電極との間の電界によって、液晶材料の傾きが制御されることを特徴とする液晶
表示装置である。
【0021】
本発明の別形態は、絶縁基板上に形成された薄膜トランジスタと、薄膜トランジスタが
有する半導体層と同一層に設けられた第1の共通電極と、第1の共通電極を覆うように設
けられた絶縁層と、絶縁層上に設けられた画素電極及び第2の共通電極と、画素電極及び
第2の共通電極上に設けられた液晶材料と、を有し、画素電極は、薄膜トランジスタによ
り制御され、第1の共通電極と、第2の共通電極とは電気的に接続され、画素電極と第1
の共通電極との間の電界、及び画素電極と第2の共通電極との間の電界によって、液晶材
料の傾きが制御されることを特徴とする液晶表示装置である。
【0022】
本発明の別形態は、絶縁基板上に形成された薄膜トランジスタと、薄膜トランジスタが
有するソース電極及びドレイン電極と同一層に設けられた第1の共通電極と、第1の共通
電極に接続された導電層と、第1の共通電極及び導電層上に設けられた絶縁層と、絶縁層
上に設けられた画素電極及び第2の共通電極と、画素電極及び第2の共通電極上に設けら
れた液晶材料と、を有し、画素電極と第1の共通電極との間の電界、及び画素電極と第2
の共通電極との間の電界によって、液晶材料の傾きが制御されることを特徴とする液晶表
示装置である。
【0023】
本発明の別形態は、絶縁基板上に形成された薄膜トランジスタと、薄膜トランジスタが
有する半導体層と同一層に設けられた第1の共通電極と、第1の共通電極に接続された導
電層と、第1の共通電極及び導電層上に設けられた絶縁層と、絶縁層上に設けられた画素
電極及び第2の共通電極と、画素電極及び第2の共通電極上に設けられた液晶材料と、を
有し、画素電極と第1の共通電極との間の電界、及び画素電極と第2の共通電極との間の
電界によって、液晶材料の傾きが制御されることを特徴とする液晶表示装置である。
【0024】
本発明の構成において、薄膜トランジスタは結晶性の半導体層を有することができる。
【0025】
本発明の構成において、第1の共通電極上及び薄膜トランジスタ上に設けられたパッシ
ベーション層と、パッシベーション層を介して第1の共通電極上に設けられたカラーフィ
ルターと、パッシベーション層を介して薄膜トランジスタ上に設けられたブラックマトリ
クスと、を有することができる。
【0026】
本発明の構成において、第1の共通電極上及び薄膜トランジスタ上に設けられたパッシ
ベーション層と、パッシベーション層を介して第1の共通電極上及び薄膜トランジスタ上
に設けられたカラーフィルターと、絶縁基板に対向して設けられた対向基板と、対向基板
に設けられたブラックマトリクスと、を有することができる。
【0027】
本発明の構成において、薄膜トランジスタ上に設けられたパッシベーション層と、パッ
シベーション層を介して設けられたカラーフィルターと、カラーフィルターを介して設け
られた第1の共通電極と、パッシベーション層を介して薄膜トランジスタ上に設けられた
ブラックマトリクスと、を有することができる。
【0028】
本発明の別形態は、絶縁基板上に形成されたゲート電極、ゲート電極と同一層に形成さ
れた第1の共通電極と、ゲート電極及び第1の共通電極を覆って設けられた絶縁層と、絶
縁層を介して、ゲート電極上に設けられた半導体層と、半導体層に設けられたソース電極
及びドレイン電極と、ソース電極及びドレイン電極と同一層に形成され、第1の共通電極
に接して設けられた導電層と、ソース電極又はドレイン電極に接続された画素電極と、導
電層を介して、第1の共通電極と接続された第2の共通電極と、画素電極及び第2の共通
電極上に設けられた液晶材料と、を有し、画素電極と第1の共通電極との間の電界、及び
画素電極と第2の共通電極との間の電界によって、液晶材料の傾きが制御されることを特
徴とする液晶表示装置である。
【0029】
本発明の別形態は、絶縁基板上に形成されたゲート電極、及びゲート電極と同一層に形
成された導電層と、導電層に接して設けられた第1の共通電極と、ゲート電極及び第1の
共通電極を覆って設けられた絶縁層と、絶縁層を介して、ゲート電極上に設けられた半導
体層と、半導体層に設けられたソース電極及びドレイン電極と、ソース電極又はドレイン
電極に接続された画素電極と、導電層を介して、第1の共通電極と接続された第2の共通
電極と、画素電極及び第2の共通電極上に設けられた液晶材料と、を有し、画素電極と第
1の共通電極との間の電界、及び画素電極と第2の共通電極との間の電界によって、液晶
材料の傾きが制御されることを特徴とする液晶表示装置である。
【0030】
本発明の構成において、半導体層は非晶質半導体層を有することができる。
【0031】
本発明の構成において、第1の共通電極上に設けられたパッシベーション層と、パッシ
ベーション層を介して第1の共通電極上に設けられたカラーフィルターと、ソース電極及
びドレイン電極上に設けられたブラックマトリクスと、を有することができる。
【0032】
本発明の構成において、第1の共通電極上及びゲート電極上に設けられたパッシベーシ
ョン層と、ソース電極及びドレイン電極上、及びパッシベーション層を介して第1の共通
電極上に設けられたカラーフィルターと、絶縁基板に対向して設けられた対向基板と、対
向基板に設けられたブラックマトリクスと、を有することができる。
【0033】
本発明の構成において画素電極は櫛歯形状を有することができる。
【0034】
本発明の構成において、第1の共通電極は、櫛歯形状を有することができる。
【0035】
本発明の構成において、第2の共通電極は、櫛歯形状を有することができる。
【0036】
本発明の構成において、画素電極は、透光性を有する材料であってもよい。
【0037】
本発明の構成において、第1の共通電極は、透光性を有する材料であってもよい。
【0038】
本発明の構成において、第2の共通電極は、透光性を有する材料であってもよい。
【発明の効果】
【0039】
このような本発明により、2組以上の電極を用いて液晶材料に十分な電界をかけること
ができる。そして2組の電極間に生じる電界によって、液晶材料の傾きを制御し、階調表
示を行うことができる。
【0040】
また、本発明により、広視野角であり、また表示画面を見る角度に依存した色味の変化
が少なく、さらに太陽光が照らされた外界においても暗い室内(若しくは夜の屋外)にお
いても良好に視認される画像を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0041】
【
図1】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図2】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図3】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図4】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図5】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図6】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図7】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図8】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図9】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図10】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図11】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図12】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図13】本発明の液晶表示装置を示した上面図である。
【
図14】本発明の液晶表示装置を示した上面図である。
【
図15】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図16】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図17】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図18】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図19】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図20】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図21】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図22】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図23】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図24】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図25】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図26】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図27】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図28】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図29】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図30】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図31】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図32】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図33】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図34】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図35】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図36】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図37】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図38】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図39】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図40】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図41】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図42】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図43】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図44】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図45】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図46】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図47】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図48】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図49】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図50】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図51】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図52】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図53】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図54】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図55】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図56】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図57】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図58】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図59】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図60】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図61】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図62】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図63】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図64】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図65】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図66】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図67】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図68】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図69】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図70】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図71】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図72】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図73】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図74】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図75】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図76】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図78】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図79】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図80】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図81】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図82】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図83】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図84】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図85】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図86】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図87】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図88】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図89】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図90】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図91】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図92】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図93】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図94】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図95】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図96】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図97】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図98】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図99】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図100】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図101】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図102】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図103】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図104】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図105】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図106】本発明の液晶表示装置を示した図である。
【
図107】本発明の液晶表示装置を示した図である。
【
図108】本発明の液晶表示装置を示した図である。
【
図109】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【
図110】本発明の液晶表示装置を示した図である。
【
図111】本発明を適用した電子機器の一態様について説明する図である。
【
図112】本発明の液晶表示装置を示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0042】
以下に、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。但し、本発明は多くの異なる
態様で実施することが可能であり、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその
形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本実
施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、実施の形態を説明するた
めの全図において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を付し、その繰
り返しの説明は省略する。
【0043】
なお、本発明において、適用可能なトランジスタの種類に限定はなく、非晶質シリコン
や多結晶シリコンに代表される非単結晶半導体膜を用いた薄膜トランジスタ(TFT)、
半導体基板やSOI基板を用いて形成されるトランジスタ、MOS型トランジスタ、接合
型トランジスタ、バイポーラトランジスタ、有機半導体やカーボンナノチューブを用いた
トランジスタ、その他のトランジスタを適用することができる。また、トランジスタが配
置されている基板の種類に限定はなく、単結晶基板、SOI基板、ガラス基板などに配置
することが出来る。
【0044】
なお、本発明において、接続されているとは、電気的に接続されていることと同義であ
る。したがって、本発明が開示する構成において、所定の接続関係に加え、その間に電気
的な接続を可能とする他の素子(例えば、別の素子やスイッチやトランジスタや容量素子
や抵抗素子やダイオードなど)が配置されていてもよい。
【0045】
なお、本発明において示すスイッチは、電気的スイッチであっても機械的なスイッチで
あっても良い。電流の流れを制御できるものであれば良い。トランジスタでもよいし、ダ
イオードでもよいし、それらを組み合わせた論理回路でもよい。よって、スイッチとして
トランジスタを用いる場合、そのトランジスタは、単なるスイッチとして動作するため、
トランジスタの極性(導電型)は特に限定されない。ただし、オフ電流が少ない方が望ま
しい場合、オフ電流が少ない方の極性のトランジスタを用いることが望ましい。オフ電流
が少ないトランジスタとしては、LDD領域を設けているものや、マルチゲート構造にし
たもの等がある。また、スイッチとして動作させるトランジスタのソース端子の電位が、
低電位側電源(Vss、Vgnd、0Vなど)に近い状態で動作する場合はnチャネル型
を、反対に、ソース端子の電位が、高電位側電源(Vddなど)に近い状態で動作する場
合はpチャネル型を用いることが望ましい。なぜなら、ゲートとソース間の電圧の絶対値
を大きくできるため、スイッチとして、機能しやすくなるからである。なお、nチャネル
型とpチャネル型の両方を用いて、CMOS型のスイッチにしてもよい。
【0046】
なお、すでに述べたように、本発明におけるトランジスタは、どのようなタイプのトラ
ンジスタでもよいし、どのような基板上に形成されていてもよい。したがって、画素を駆
動する回路が、全てガラス基板上に形成されていてもよいし、プラスチック基板に形成さ
れていてもよいし、単結晶基板に形成されていてもよいし、SOI基板上に形成されてい
てもよいし、どのような基板上に形成されていてもよい。あるいは、画素を駆動する回路
の一部が、ある基板に形成されており、画素を駆動する回路の別の一部が、別の基板に形
成されていてもよい。つまり、画素を駆動する回路の全てが同じ基板上に形成されていな
くてもよい。例えば、画素部とゲート線駆動回路とは、ガラス基板上にTFTを用いて形
成し、信号線駆動回路(もしくはその一部)は、単結晶基板上に形成し、そのICチップ
をCOG(Chip On Glass)で接続してガラス基板上に配置してもよい。あ
るいは、そのICチップをTAB(Tape Auto Bonding)やプリント基
板を用いてガラス基板と接続してもよい。
【0047】
なお、画素に配置するのは、特定の素子に限定されない。画素に配置する表示素子の例
としては、EL素子(エレクトロルミネッセンス(Electro Luminesce
nce:EL);有機発光ダイオード(OLED(Organic Light Emi
tting Diode)、有機EL素子、無機ELなどとも言う)やフィールドエミッ
ションディスプレイ(FED)で用いる素子、FEDの一種であるSED(Surfac
e-conduction Electron-emitter Display)、液
晶ディスプレイ(LCD)、GLV(グレーティングライトバルブ)プラズマディスプレ
イ(PDP)、電子ペーパーディスプレイ、デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)
、圧電セラミックディスプレイなど、どのような表示素子でもよい。
【0048】
なお、半導体装置とは、トランジスタやダイオードなどの半導体素子を有する装置のこ
とをいう。なお、表示装置とは、液晶素子やEL素子などの表示素子を有する装置のこと
を言う。なお、液晶表示装置とは、液晶素子を有する表示装置のことをいう。発光装置と
は、EL素子やFEDで用いる素子などの発光素子を有する装置のことをいう。
【0049】
(実施の形態1)
本発明の液晶表示装置の一態様について
図78を参照して説明する。液晶表示装置には
マトリクス状に配列された複数の画素が設けられおり、
図78には、一画素の断面構造の
一態様が示されている。
【0050】
図78に示すように、光を反射させて表示を行う部分(反射部)1001と光を透過さ
せて表示を行う部分(透過部)1002とを有する。各々の領域において、画素電極とし
て機能する電極と、共通電極として機能する電極とを有する。
【0051】
画素電極として機能する電極は、櫛歯状やスリット状などになっている。一方、共通電
極として機能する電極は、平面状などになっている部分と、櫛歯状やスリット状などにな
っている部分とがある。ただし、これらの組み合わせに限定されない。
【0052】
そして、画素電極として機能する電極と、共通電極として機能する電極に電圧が供給さ
れ、それによって電界が生じる。その電界は、基板に平行な成分を多く含んでいる。そし
て、液晶分子は、その電界に応じて、基板と平行方向な面内で回転する。それにより、光
の透過率や反射率を制御することができ、階調を表示することが出来る。
【0053】
共通電極として機能する電極が複数ある場合は、絶縁層に開口部(コンタクトホール)
を開けたり、電極を重ねたりすることにより、互いに電気的に接続させることが望ましい
。
【0054】
また、画素電極として機能する電極と共通電極として機能する電極とが、絶縁層を介し
て配置されている場合、その部分は、容量として機能することができる。容量は、画像信
号を保持するための保持容量として機能させることが出来る。
【0055】
光を反射させて表示を行う部分(反射部)1001においては、反射電極を有しており
、反射電極で光を反射させて、表示が行われる。反射電極は、共通電極を兼ねる場合があ
り、この場合、反射電極は共通電極と接続されて、電圧が供給されている場合がある。勿
論、反射電極と、共通電極とを別々の電極とする場合もある。このように反射電極と共通
電極とが別々に存在する場合には、反射電極には電圧が供給されていなかったり、別の電
圧が供給されている場合もある。
【0056】
光を透過させて表示を行う部分(透過部)1002においては、透明電極を有している
場合があり、そこで光を透過させたり、電極の隙間から光を透過させて、表示が行われる
。透明電極は、共通電極を兼ねる場合もあり、この場合、透明電極は共通電極と接続され
て、電圧が供給されている場合がある。勿論、透明電極と、共通電極とを別々の電極とす
る場合もある。このように透明電極が共通電極とは別々に存在する場合には、透明電極に
は電圧が供給されていなかったり、別の電圧が供給されている場合もある。また、透明電
極は、画素電極を兼ねる場合もある。
【0057】
次に、
図78の構成について述べる。反射部1001においては、液晶素子の電極91
03と、液晶素子の電極9305とは間に絶縁層9204、9304を挟んで重なってい
る。また、透過部1002においては、液晶素子の電極9103と液晶素子の電極910
4とは間に絶縁層9304を挟んで重なっている。
【0058】
また、反射部1001、透過部1002において、液晶素子の電極9103と液晶素子
の電極9105とは、互い違いとなるように交互に配置されている。
【0059】
液晶素子の電極9103、9105は、櫛歯状に形成されており、液晶素子の電極93
05、液晶素子の電極9104は、平面状に形成されている。ただし、これに限定されな
い。液晶素子の電極9305、液晶素子の電極9104に、スリットのような隙間があっ
たり、穴があいていたり、櫛歯状になっていてもよい。
【0060】
液晶素子の電極9103が、画素電極として機能し、液晶素子の電極9305、液晶素
子の電極9104、液晶素子の電極9105は、共通電極として機能する。ただし、これ
に限定されない。液晶素子の電極9103が、共通電極として機能し、液晶素子の電極9
305、液晶素子の電極9104、液晶素子の電極9105が画素電極として機能しても
よい。
【0061】
共通電極として機能する電極は、絶縁層にコンタクトホールを開けたり、電極を重ねた
りすることにより、各々の電極を電気的に接続されることが望ましい。
【0062】
液晶素子の電極9305は、導電性を有すると共に光を反射する材料で形成されている
。よって、反射電極として機能している。また、液晶素子の電極9104は、透光性を有
すると共に光を透過する材料で形成されている。よって、透明電極として機能している。
【0063】
液晶素子の電極9103、9105は、導電性を有すると共に光を透過する材料で形成
されていることが望ましい。なぜなら、光を透過できるため、画像を表示する部分に寄与
できるためである。ただし、液晶素子の電極9103、9105は、光を反射する材料で
形成されていてもよい。その場合は、例え、透過部1002であっても、光を反射するた
め、反射部として機能させることが出来る。
【0064】
なお、液晶素子の電極9103、9105は、同時に形成されていることが望ましい。
同時に形成することにより、プロセス工程を簡略化でき、マスク(レチクル)数を低減す
ることができ、コストを下げることが出来るためである。ただし、これに限定されず、別
々に形成してもよい。その場合、液晶素子の電極9103、9105のいずれか一方が透
過性を有し、他方が反射性を有していても良い。
【0065】
また、画素電極として機能する電極(液晶素子の電極9103)と共通電極として機能
する電極(液晶素子の電極9305、液晶素子の電極9104、液晶素子の電極9105
)とが、絶縁層を介して配置されている場合、その部分は、容量として機能する。よって
、画像信号を保持するための保持容量として機能させることも出来る。
【0066】
図78や
図79に示すように、液晶素子の電極9103と液晶素子の電極9305、液
晶素子の電極9105の間に電位差が生じたとき、液晶層9303に含まれている液晶分
子(9303a,9303b)は、液晶素子の電極9103、9305、9104の電極
面と平行な方向(つまり基板と平行な面内において)に回転し、光が、液晶層9303を
通る量を制御できるようになる。すなわち、光の偏光状態を制御できるようになり、基板
の外部に設けられている偏光板を通過できる光の量を制御することが出来るようになる。
図79は、
図77(A)や
図112(A)に相当し、
図79に示した液晶分子(9303
a,9303b)も
図77(A)及び(B)、
図112(A)及び(B)と同様に回転す
る。外界から液晶表示装置内に入射した光は液晶層9303を通った後、液晶素子の電極
9103や絶縁層9204、9304を透過して、液晶素子の電極9305において反射
した後、再び、絶縁層9204、9304や液晶素子の電極9103や液晶層9303を
通って液晶表示装置内から射出する。
【0067】
なお、
図79における電極9004は、
図78における液晶素子の電極9305や液晶
素子の電極9104に相当し、
図79における絶縁層9005は、
図78における絶縁層
9204や絶縁層9304に相当する。
【0068】
図79に示したように、画素電極として機能する電極の下方や横方向や斜め方向(斜め
上方向や斜め下方向も含む)に、共通電極として機能する電極が存在することにより、領
域9002や領域9003において、基板に平行な電界成分が、より多く生じるようにな
る。その結果、視野角特性がさらに向上する。
【0069】
なお、絶縁層9204、9304は、屈折率異方性をほとんど有しないため、そこを光
が通っても、偏光状態は変化しない。
【0070】
なお、光を反射させて表示を行う部分(反射部)1001や光を透過させて表示を行う
部分(透過部)1002において、光が通る光路上にはカラーフィルターが設けられてお
り、所望の色の光に変換される。このようにして各画素から射出された光が合成されるこ
とによって画像が映し出される。
【0071】
よって、液晶層9303の上に配置される対向基板上にカラーフィルターが設けられて
いてもよいし、液晶素子の電極9103の上方に設けられていてもよいし、絶縁層930
4の中やその一部に設けられていても良い。
【0072】
なお、カラーフィルターと同様に、ブラックマトリクスが設けられていても良い。
【0073】
なお、光を反射させて表示を行う部分(反射部)1001においては、液晶層9303
の中を光が2回通る。つまり、外光が対向基板側から液晶層9303に入り、液晶素子の
電極9305で反射されて、再度、液晶層9303に入って、対向基板側の外に出て行く
ので、液晶層9303を2回通ることになる。
【0074】
一方、光を透過させて表示を行う部分(透過部)1002においては、光は、液晶素子
の電極9104を通って液晶層9303に入り、対向基板から出て行く。つまり、液晶層
9303の中を光が1回通る。
【0075】
ここで、液晶層9303は、屈折率異方性を有しているため、液晶層9303を通る距
離によって、光の偏光状態が変わってくる。そのため、画像を表示する場合に、正しく表
示できなくなってしまう。そこで、光の偏光状態を調整する必要がある。そのための方法
として、光を反射させて表示を行う部分(反射部)1001の液晶層9303の厚さ(い
わゆるセルギャップ)を薄くすることにより、2回通っても、距離が長くなりすぎないよ
うにすればよい。
【0076】
なお、絶縁層9204、9304は、屈折率異方性をほとんど有しないため、そこを光
が通っても、偏光状態は変化しない。よって、絶縁層9204、9304の有無や厚さな
どは、大きな影響は与えない。
【0077】
そこで、液晶層9303の厚さ(いわゆるセルギャップ)を薄くするために、厚さを調
整する膜を配置すればよい。
図78においては、絶縁層9204がそれに相当する。つま
り、光を反射させて表示を行う部分(反射部)1001において、絶縁層9204は液晶
層の厚さを調整する為に設けられている層である。絶縁層9204を設けることによって
反射部1001における液晶層の厚さを、透過部1002における液晶層の厚さよりも薄
くすることが出来る。
【0078】
なお、反射部1001での液晶層9303の厚さは、透過部1002における液晶層9
303の厚さの2分の1となることが望ましい。ここで、2分の1とは、人間の目で視認
できない程度のずれを有していても良い程度のずれ量も含む。
【0079】
ただし、光は基板と垂直な方向、つまり法線方向のみから入射するわけではない。斜め
から入射する場合も多い。よって、それらの場合を総合して、反射部1001と透過部1
002とで、光の通る距離が概ね同じ程度になればよい。したがって、反射部1001で
の液晶層9303の厚さは、透過部1002における液晶層9303の厚さの概ね3分の
1以上、3分の2以下となることが望ましい。
【0080】
このように、液晶素子の電極9103が設けられている基板側に、厚さを調整する膜を
配置することにより、膜の形成が容易になる。つまり、液晶素子の電極9103が設けら
れている基板側では、様々な配線や電極や膜を形成している。従って、それらの配線や電
極や膜を用いて厚さを調整する膜を形成できるので、膜の形成する上で、困難が少なくて
すむ。また、他の機能を有する膜を同一工程により形成することも可能となるため、プロ
セス工程を簡略化でき、コストを低減することが出来る。
【0081】
以上のような構成を有する本発明の液晶表示装置は、広視野角であり、また表示画面を
見る角度に依存した色味の変化が少なく、さらに太陽光が照らされた外界においても暗い
室内(若しくは夜の屋外)においても良好に視認される画像を提供することができる。
【0082】
なお、
図78において、液晶素子の電極9305と液晶素子の電極9104とは、同一
平面の上に配置されているが、これに限定されない。異なる平面の上に形成されていても
よい。
【0083】
なお、
図78において、液晶素子の電極9305と液晶素子の電極9104とは、離れ
て配置されているが、これに限定されない。接触させて配置されていてもよいし、同じ電
極で形成されていてもよい。また、液晶素子の電極9305と液晶素子の電極9104と
は、電気的に接続されていてもよい。また、液晶素子の電極9305と液晶素子の電極9
105とは、電気的に接続されていてもよい。また、液晶素子の電極9105と液晶素子
の電極9104とは、電気的に接続されていてもよい。
【0084】
なお、
図78において、液晶層9303の厚さを調整するための膜として、絶縁層92
04が配置されているが、これに限定されない。対向基板側に液晶層9303の厚さを調
整するための膜が配置されていてもよい。
【0085】
なお、液晶層9303の厚さを薄くするために、膜が配置されているが、逆に、液晶層9
303の厚さを厚くするために、所定の領域において、膜を除去するようにしてもよい。
【0086】
なお、反射電極は、その表面が平坦であってもよいが、凹凸を有していることが望まし
い。凹凸を有することによって、光を拡散して反射させることが出来る。その結果、光を
散らすことができるため、輝度を向上させることが出来る。
【0087】
なお、
図80に示すように、透過部1002において、液晶素子の電極9104は、な
くても良い。
【0088】
その場合は、
図81に示すように、液晶素子の電極9105、液晶素子の電極9103
の間に電圧を加えて、液晶分子(9303a,9303b)を制御する。
【0089】
このように、透過部1002において、液晶素子の電極9104を配置しないため、そ
の分だけ、プロセス工程を簡略化でき、マスク(レチクル)数を低減することができ、コ
ストを下げることが出来る。
【0090】
(実施の形態2)
実施の形態1と構成の異なる本発明の液晶表示装置の態様について説明する。なお、実
施の形態1と同じ機能を有するものについては同じ符号を用いて表す。
【0091】
図82には、液晶素子の電極9305と液晶素子の電極9104が積層しているという
点で、
図78の液晶表示装置と異なる液晶表示装置の態様が示されている。液晶素子の電
極9305と液晶素子の電極9104を共に同じ電位としたい場合、このように積層させ
電気的に接続させてもよい。
【0092】
なお、液晶素子の電極9305の下に液晶素子の電極9104が配置されているが、こ
れに限定されない。液晶素子の電極9305の上に液晶素子の電極9104が配置されて
いてもよい。
【0093】
なお、液晶素子の電極9305の下の全域にわたって、液晶素子の電極9104が配置
されているが、これに限定されない。液晶素子の電極9104が、液晶素子の電極930
5の下や上に、一部のみ配置されていてもよい。
【0094】
なお、液晶素子の電極9305の下の全域にわたって、液晶素子の電極9104が配置
されている場合、液晶素子の電極9305と液晶素子の電極9104とを1枚のマスクで
形成することが可能である。通常、液晶素子の電極9305と液晶素子の電極9104と
は、別々のマスクで形成されるが、この場合は、ハーフトーン、グレートーン等というマ
スクを作って、レジストの厚さを領域によって変えることにより、1枚のマスクで形成す
ることが可能である。その結果、プロセス工程を簡略化でき、工程数を減らすことができ
、マスク数(レチクル数)を減らすことが出来る。そのため、コストを低減することが可
能となる。
【0095】
図83では、液晶素子の電極9305及び液晶素子の電極9104のそれぞれの一部を
積層させて、両電極を電気的に接続させている液晶表示装置の態様が示されている。この
ような構成によって、両電極を電気的に接続させてもよい。
【0096】
なお、液晶素子の電極9305の上に、液晶素子の電極9104を配置して接触させて
いるが、これに限定されない。液晶素子の電極9104の上に、液晶素子の電極9305
を配置して接触させてもよい。
【0097】
このように、液晶素子の電極9305の上の多くの領域において、液晶素子の電極91
04を上に配置しないことにより、そこでの光の損失を低減することが出来る。
【0098】
図84では、液晶素子の電極9305及び液晶素子の電極9104は、絶縁層9306
を挟んで異なる層に設けられている。このように、液晶素子の電極9305、9104は
それぞれ異なる層に設けられていてもよい。
【0099】
このように、液晶素子の電極9305と液晶素子の電極9104とを異なる層に配置す
ることにより、反射部1001における液晶素子の電極9305と液晶素子の電極910
3との距離と、透過部1002における液晶素子の電極9104と液晶素子の電極910
3との距離とを、概ね同程度にすることが出来る。そのため、反射部1001と透過部1
002とにおいて、電極の間隔を同程度にすることが出来る。電界のかかり方や強度は、
電極間の距離によって変化するため、電極の間隔を同程度とすることにより、反射部10
01と透過部1002とにおいて、液晶層9303に加わる電界も同程度にすることが出
来るため、液晶分子の制御を正確に行うことが出来る。また、反射部1001と透過部1
002とで、液晶分子の回転度合いが概ね等しくなるので、透過型として表示・閲覧する
場合と、反射型として表示・閲覧する場合とで、概ね等しい階調として画像を閲覧するこ
とが出来る。
【0100】
なお、液晶素子の電極9104は、液晶素子の電極9305の下方の領域全体に配置され
ているが、これに限定されない。液晶素子の電極9104は、少なくとも、透過部100
2に配置されていればよい。
【0101】
なお、絶縁層9306にコンタクトホールを形成し、液晶素子の電極9104と液晶素
子の電極9305とを接続させてもよい。
【0102】
図85には、液晶素子の電極9305の方が液晶素子の電極9104よりも下層(液晶
層9303よりも遠い方)に設けられている点で
図84の液晶表示装置と異なる液晶表示
装置の態様が示されている。
【0103】
なお、液晶素子の電極9104は、反射部1001にも形成されているが、これに限定
されない。少なくとも、透過部1002に配置されていればよい。
【0104】
なお、液晶素子の電極9104が反射部1001にも形成されている場合、反射部10
01においても、液晶素子の電極9104と液晶素子の電極9103の間の電圧によって
、液晶層9303を制御することになる。その場合は、液晶素子の電極9305は、反射
電極としてのみ機能することとなり、反射部1001における共通電極は液晶素子の電極
9104が役割を担うこととなる。
【0105】
したがって、その場合、液晶素子の電極9305に供給される電圧は任意となる。液晶
素子の電極9104と同じ電圧を供給してもよいし、液晶素子の電極9103と同じ電圧
を供給してもよい。その場合、液晶素子の電極9305と液晶素子の電極9104との間
で容量素子が形成されたこととなり、画像信号を保持するための保持容量として機能させ
ることも出来る。
【0106】
なお、絶縁層9306にコンタクトホールを形成し、液晶素子の電極9104と液晶素
子の電極9305とを接続させてもよい。
【0107】
図86には、絶縁層9304上に、反射部1001の液晶素子の電極9305と透過部
1002の液晶素子の電極9103、9105が形成されている。そして、絶縁層920
4が、液晶素子の電極9305の上に形成され、その上に、反射部の液晶素子の電極91
03、9105が形成されている。液晶素子の電極9104は、絶縁層9304の下に形
成されている。
【0108】
なお、液晶素子の電極9104は、反射部1001にも形成されているが、これに限定
されない。少なくとも、透過部1002に配置されていればよい。
【0109】
なお、絶縁層9304にコンタクトホールを形成し、液晶素子の電極9104と液晶素
子の電極9305とを接続させてもよい。
【0110】
なお、
図93に示すように、透過部1002において、液晶素子の電極9104は、なく
ても良い。
【0111】
その場合は、
図81に示すように、液晶素子の電極9105、液晶素子の電極9103の
間に電圧を加えて、液晶分子(9303a,9303b)を制御する。
【0112】
このように、透過部1002において、液晶素子の電極9104を配置しないため、その
分だけ、プロセス工程を簡略化でき、マスク(レチクル)数を低減することができ、コス
トを下げることが出来る。
【0113】
なお、
図78から
図86、
図93において、電極の表面には、凹凸は記載していなかった
が、液晶素子の電極9103、液晶素子の電極9305、液晶素子の電極9104、液晶
素子の電極9105に関して、その表面が平坦であることに限定されない。表面に凹凸を
有していても良い。
【0114】
また、
図78から
図86、
図93において、絶縁層9204,9304、9306の表面
には、凹凸は記載していなかったが、絶縁層9204,9304、9306に関して、そ
の表面が平坦であることに限定されない。表面に凹凸を有していても良い。
【0115】
なお、反射電極の表面に、大きな凹凸を多く設けることにより、光を拡散させることが
できる。その結果、表示装置の輝度を向上させることが出来る。そこで、
図78から
図8
6、
図93に示した反射電極や透明電極(液晶素子の電極9305、液晶素子の電極91
04)は、表面に凹凸があってもよい。
【0116】
なお、反射電極の表面の凹凸の形状は、出来るだけ光が拡散されやすくなっていればよ
い。
【0117】
透過部1002においては、電界のかかり方が乱れないようにするため、透明電極に凹
凸がない方が望ましい。ただし、凹凸があっても、表示に影響がなければ問題ない。
【0118】
図78において反射電極の表面に凹凸がある場合の図を
図87に示し、
図82において
反射電極の表面に凹凸がある場合の図を
図88、
図89に示し、
図83において反射電極
の表面に凹凸がある場合の図を
図90に示し、
図84において反射電極の表面に凹凸があ
る場合の図を
図91に示し、
図85において反射電極の表面に凹凸がある場合の図を
図9
2に示す。
【0119】
【0120】
図87には、液晶素子の電極9305の下方にconvex形の散乱体9307が設け
られているという点で
図78の液晶表示装置と異なる液晶表示装置の態様が示されている
。このようにconvex形の散乱体を設け、液晶素子の電極9305の表面に凹凸を設
けることによって、光を散乱させることができ、光の反射に起因したコントラストの低下
や、映り込みを防ぐことができ、輝度を向上させることが出来る。
【0121】
なお、散乱体9307の形状は、出来るだけ光が拡散されやすくなっていることが望ま
しい。ただし、その上に電極や配線を配置する場合があるため、電極や配線が断線してし
まわないような、滑らかな形状が望ましい。
【0122】
図89には、液晶素子の電極9305と液晶素子の電極9104が積層しているという
点で、
図88の液晶表示装置と異なる液晶表示装置の態様が示されている。
【0123】
液晶素子の電極9104と液晶素子の電極9305とを密着させる面積が多いため、接
触抵抗を低くすることが出来る。
【0124】
図90には、散乱体9203が液晶素子の電極9305と液晶素子の電極9104との
間に設けられているという点で、
図89の液晶表示装置と異なる液晶表示装置の態様が示
されている。
【0125】
液晶素子の電極9104を形成した後に、散乱体9203を形成するため、反射部10
01において、液晶素子の電極9104を平坦にすることが出来る。
【0126】
図90には、液晶素子の電極9305の下方にconvex形の散乱体9203が設け
られているという点で
図83の液晶表示装置と異なる液晶表示装置の態様が示されている
。
【0127】
図91には、絶縁層9306の表面の一部に凹凸を有するという点で
図84の液晶表示
装置と異なる液晶表示装置の態様が示されている。このような絶縁層9306の形状を反
映して液晶素子の電極9305の表面に凹凸が設けられる。
【0128】
図92には、液晶素子の電極9305の下に、表面の一部に凹凸を有する絶縁層930
8を設けることによって液晶素子の電極9305の表面に凹凸が設けられているという点
で、
図85の液晶表示装置と異なる液晶表示装置の態様が示されている。
【0129】
これまで、
図78から
図93において、液晶層9303の厚さを調整する膜は、液晶素
子の電極9103の下に形成されていたが、これに限定されない。
図94に示すように、
液晶素子の電極9103、9105の上に、液晶層9303の厚さを調整する絶縁層92
04が配置されていてもよい。
【0130】
なお、このとき、
図95に示すように、透過部1002において、液晶素子の電極91
04は、なくても良い。
【0131】
その場合は、
図81に示すように、液晶素子の電極9105、液晶素子の電極9103
の間に電圧を加えて、液晶分子(9303a,9303b)を制御する。
【0132】
このように、透過部1002において、液晶素子の電極9104を配置しないため、そ
の分だけ、プロセス工程を簡略化でき、マスク(レチクル)数を低減することができ、コ
ストを下げることが出来る。
【0133】
ここで、
図94は、
図78に対応するものである。
図82から
図92の場合においても
、
図94と同様、液晶素子の電極9103の上に、液晶層9303の厚さを調整する絶縁
層9204を配置することが出来る。
【0134】
これまで、
図78から
図94の中の多くの図において、液晶層9303の厚さを調整す
る膜は、液晶素子の電極9103が形成されている基板側に配置されていたが、これに限
定されない。対向基板側に配置されていてもよい。
【0135】
対向基板側に、液晶層9303の厚さを調整する膜を配置することにより、液晶素子の
電極9103を、反射部1001と透過部1002において、同一平面上に配置すること
が可能となる。そのため、画素電極と共通電極との距離が、反射部1001と透過部10
02とで、概ね等しくすることが可能となる。電界のかかり方や強度は、電極間の距離に
よって変化するため、電極の間隔を同程度とすることにより、反射部1001と透過部1
002とにおいて、液晶層9303に加わる電界も同程度にすることが出来るため、液晶
分子の制御が正確に行うことが出来る。また、反射部1001と透過部1002とで、液
晶分子の回転度合いが概ね等しくなるので、透過型として表示・閲覧する場合と、反射型
として表示・閲覧する場合とで、概ね等しい階調として画像を閲覧することが出来る。
【0136】
また、液晶層9303の厚さを調整する膜があると、その近傍において、液晶分子の配
向状態が乱れてしまう可能性があり、ディスクリネーションなどの不良を生んでしまう可
能性がある。しかし、対向基板上に液晶層9303の厚さを調整する膜を配置することに
より、対向基板9202を液晶素子の電極9103から離すことができるので、液晶層に
かかる電界が弱くなるために液晶分子の配向状態が乱れ、見にくくなってしまうことを防
ぐことが出来る。
【0137】
また、対向基板は、カラーフィルターやブラックマトリクスなどを形成するだけなので
、工程数が少ない。よって、対向基板9202に液晶層9303の厚さを調整する膜を形
成しても、歩留まりを低下させにくくなる。仮に、不良が出ても、工程数が少なく、コス
トも安いので、製造コストが無駄になる量を少なくすることが出来る。
【0138】
なお、対向基板9202に液晶層9303の厚さを調整する膜を形成する場合、厚さ調
整膜の中に、光を拡散させて輝度を向上させることができるように散乱材として機能する
粒子を含ませてもよい。粒子は、ギャップ調整膜を構成している基材(例えばアクリル樹
脂など)と屈折率が異なると共に、透光性を有する樹脂材料から成る。このように粒子を
含ませることによって、光を散乱させることができ、表示画像のコントラスト、輝度も向
上する。
【0139】
そこで、
図78において対向基板に厚さ調整膜がある場合の図を
図96に示し、
図82
において対向基板に厚さ調整膜がある場合の図を
図97に示し、
図83において対向基板
に厚さ調整膜がある場合の図を
図98に示し、
図84において対向基板に厚さ調整膜があ
る場合の図を
図99に示し、
図85において対向基板に厚さ調整膜がある場合の図を
図1
00に示し、
図80において対向基板に厚さ調整膜がある場合の図を
図101に示す。
【0140】
【0141】
図96には、液晶層9303の厚さを調整する為の絶縁層9201が液晶層9303を
挟んで、液晶素子の電極9103と反対側に設けられており、さらに、液晶素子の電極9
103が絶縁層9304上に設けられているという点で
図78の液晶表示装置と異なる液
晶表示装置の態様が示されている。
【0142】
図97には、液晶層9303の厚さを調整する為の絶縁層9201が液晶層9303を
挟んで、液晶素子の電極9103と反対側に設けられており、さらに、液晶素子の電極9
103が絶縁層9304上に設けられているという点で
図82の液晶表示装置と異なる液
晶表示装置の態様が示されている。
【0143】
図98には、液晶層9303の厚さを調整する為の絶縁層9201が液晶層9303を
挟んで、液晶素子の電極9103と反対側に設けられており、さらに、液晶素子の電極9
103が絶縁層9304上に設けられているという点で
図83の液晶表示装置と異なる液
晶表示装置の態様が示されている。
【0144】
図99には、液晶層9303の厚さを調整する為の絶縁層9201が液晶層9303を
挟んで、液晶素子の電極9103と反対側に設けられており、さらに、液晶素子の電極9
103が絶縁層9304上に設けられているという点で
図84の液晶表示装置と異なる液
晶表示装置の態様が示されている。
【0145】
図100には、液晶層9303の厚さを調整する為の絶縁層9201が液晶層9303
を挟んで、液晶素子の電極9103と反対側に設けられており、さらに、液晶素子の電極
9103が絶縁層9304上に設けられているという点で
図87の液晶表示装置と異なる
液晶表示装置の態様が示されている。
【0146】
図101には、液晶層9303の厚さを調整する為の絶縁層9201が液晶層9303
を挟んで、液晶素子の電極9103と反対側に設けられており、さらに、液晶素子の電極
9103が絶縁層9304上に設けられているという点で
図80の液晶表示装置と異なる
液晶表示装置の態様が示されている。
【0147】
なお、
図96から
図101までにおいて、電極の表面には、凹凸は記載していなかった
が、液晶素子の電極9103、液晶素子の電極9305、液晶素子の電極9104、液晶
素子の電極9105に関して、その表面が平坦であることに限定されない。表面に凹凸を
有していても良い。
【0148】
また、
図96から
図101までにおいて、絶縁層9201、絶縁層9304、絶縁層9
306の表面には、凹凸は記載していなかったが、絶縁層9201、絶縁層9304、絶
縁層9306などに関して、その表面が平坦であることに限定されない。表面に凹凸を有
していても良い。
【0149】
なお、反射電極の表面に、大きな凹凸を多く設けることにより、光を拡散させることが
できる。その結果、表示装置の輝度を向上させることが出来る。そこで、
図96から
図1
01に示した反射電極や透明電極(液晶素子の電極9305、液晶素子の電極9104)
は、表面に凹凸があってもよい。
【0150】
なお、反射電極の表面の凹凸の形状は、出来るだけ光が拡散されやすくなっていればよ
い。
【0151】
透過部1002においては、液晶層における電界のかかり方が乱れないようにするため
、透明電極に凹凸がない方が望ましい。ただし、凹凸があっても、表示に影響がなければ
問題ない。
【0152】
【0153】
なお、
図96において、反射電極の表面に凹凸がない場合に述べた内容は、
図102の
場合にも適用できる。
【0154】
図102には、液晶層9303の厚さを調整する為の絶縁層9201が液晶層9303
を挟んで、液晶素子の電極9103と反対側に設けられており、さらに、液晶素子の電極
9103が絶縁層9304上に設けられているという点で
図96の液晶表示装置と異なる
液晶表示装置の態様が示されている。
【0155】
これまで、
図78から
図102において、液晶層9303の厚さを調整する膜は、液晶
素子の電極9103が形成されている基板側や対向基板側に配置されていた場合があるが
、これに限定されない。液晶層9303の厚さを調整する膜自体が配置されていなくても
よい。その場合を
図103に示す。
図103は、
図78、
図96に対応するものである。
図78、
図96以外の場合の
図79から
図95、
図97から
図102の場合においても、
図103と同様、液晶層9303の厚さを調整する膜自体が配置されていなくてもよい。
【0156】
液晶層9303の厚さを調整する膜自体が配置されていない場合は、反射部と透過部と
で、光が液晶層を通る距離が異なってくる。したがって、光の偏光状態を変化させるもの
、例えば、位相差板(λ/4板など)や屈折率異方性を有する材料(液晶など)を光が通
る経路に配置することが望ましい。例えば、対向基板の液晶層と接しない側で、偏光板と
対向基板との間に、位相差板を配置することにより、反射部と透過部とで、同様な光の透
過状態を作ることが出来る。
【0157】
なお、
図78から
図103までや、これまでの説明において、透過部1002において
、液晶素子の電極9103は、同じ平面の上に形成されていた場合があるが、これに限定
されない。液晶素子の電極9103が、各々異なる平面の上に形成されていてもよい。
【0158】
なお、
図78から
図103までや、これまでの説明において、透過部1002において
、液晶素子の電極9105は、同じ平面の上に形成されていた場合があるが、これに限定
されない。液晶素子の電極9103が、各々異なる平面の上に形成されていてもよい。
【0159】
同様に、
図78から
図103までや、これまでの説明において、反射部1001におい
て、液晶素子の電極9103は、同じ平面の上に形成されていた場合があるが、これに限
定されない。液晶素子の電極9103が、各々異なる平面の上に形成されていてもよい。
【0160】
同様に、
図78から
図103までや、これまでの説明において、反射部1001におい
て、液晶素子の電極9105は、同じ平面の上に形成されていた場合があるが、これに限
定されない。液晶素子の電極9103が、各々異なる平面の上に形成されていてもよい。
【0161】
なお、
図78から
図103までや、これまでの説明において、反射部1001において
、液晶素子の電極9305や液晶素子の電極9104は、平面状で配置されていた場合が
あるが、これに限定されない。櫛歯状や、スリットや隙間があるような形状でもよい。
【0162】
なお、
図78から
図103までや、これまでの説明において、透過部1002において
、液晶素子の電極9104は、平面状で配置されていた場合があるが、これに限定されな
い。櫛歯状や、スリットや隙間があるような形状でもよい。
【0163】
なお、
図78から
図103までや、これまでの説明において、反射部1001において
、液晶素子の電極9305や液晶素子の電極9104は、液晶素子の電極9103の下側
に配置されていた場合があるが、これに限定されない。櫛歯状や、スリットや隙間がある
ような形状であれば、液晶素子の電極9103と同じ平面上であったり、液晶素子の電極
9103よりも上方に配置されていてもよい。
【0164】
なお、
図78から
図103までや、これまでの説明において、反射部1001において
、液晶素子の電極9305や液晶素子の電極9104は、液晶素子の電極9105の下側
に配置されていた場合があるが、これに限定されない。櫛歯状や、スリットや隙間がある
ような形状であれば、液晶素子の電極9105と同じ平面上であったり、液晶素子の電極
9105よりも上方に配置されていてもよい。
【0165】
なお、
図78から
図103までや、これまでの説明において、透過部1002において
、液晶素子の電極9305や液晶素子の電極9104は、液晶素子の電極9103の下側
に配置されていた場合があるが、これに限定されない。櫛歯状や、スリットや隙間がある
ような形状であれば、液晶素子の電極9103と同じ平面上であったり、液晶素子の電極
9103よりも上方に配置されていてもよい。
【0166】
なお、
図78から
図103までや、これまでの説明において、透過部1002において
、液晶素子の電極9305や液晶素子の電極9104は、液晶素子の電極9105の下側
に配置されていた場合があるが、これに限定されない。櫛歯状や、スリットや隙間がある
ような形状であれば、液晶素子の電極9105と同じ平面上であったり、液晶素子の電極
9105よりも上方に配置されていてもよい。
【0167】
なお、
図78から
図103までや、それらの図の組み合わせなど、これまでに述べてき
た構成において、液晶層9303の上に配置される対向基板上にカラーフィルターが設け
られていてもよいし、液晶素子の電極9103の設けられた基板に設けられていてもよい
。
【0168】
例えば、絶縁層9304、9204,9306、9308などに関して、その中やその
一部にカラーフィルターが設けられていても良い。
【0169】
なお、カラーフィルターと同様に、ブラックマトリクスが設けられていても良い。もち
ろん、カラーフィルターとブラックマトリクスの両方が設けられていてもよい。
【0170】
このように、絶縁層をカラーフィルターやブラックマトリクスとすることにより、材料
費を節約することが出来る。
【0171】
また、液晶素子の電極9103の設けられた基板にカラーフィルターやブラックマトリ
クスなどを配置することにより、対向基板との位置合わせのマージンが向上する。
【0172】
なお、液晶素子の電極の位置や種類や形状、絶縁層の位置や形状などは、様々な形態を
とることが出来る。つまり、ある図の液晶素子の電極の位置と、別の図の絶縁層の位置と
を組み合わせることにより、さまざまな形態をとることが出来る。例えば、
図79におけ
る液晶素子の電極9305の形状を凹凸状にしたものを
図88に示し、
図79における液
晶素子の電極9104の位置と形状を変更したものを
図87に示す。これまで述べた図に
おいて、各々の部分に関して、各々を組み合わせることにより、非常に多くの図を構成さ
せることが出来る。
【0173】
(実施の形態3)
実施の形態1から2においては、反射部と透過部とを有する場合、つまり、半透過型の
場合について述べた。ただし、これに限定されない。
【0174】
液晶素子の電極9305、液晶素子の電極9104のいずれか一方を除去し、他方を全
面に配置することにより、反射型や透過型にすることが出来る。
【0175】
液晶素子の電極9305を除去し、液晶素子の電極9104を全面に配置した場合は透
過型となる。屋内で使用する場合は、透過型を用いることにより、開口率が高くなるため
、明るい、綺麗な表示を行うことが出来る。
【0176】
液晶素子の電極9104を除去し、液晶素子の電極9305を全面に配置した場合は反
射型となる。屋外で使用する場合は、反射率が高いため、見やすい表示を行うことができ
、消費電力が少ない表示装置を実現することが出来る。屋内で使用する場合は、フロント
ライトを表示部の上側に配置することにより、表示させることができる。
【0177】
なお、反射型、透過型として用いる場合は、1画素内において、液晶層の中で、光の通
る距離が大きく異なる場所がない。よって、液晶層の厚さ(セルギャップ)を調整するた
めの絶縁層9204は、必要ない。
【0178】
【0179】
図104,
図105に示すように、絶縁層9304にコンタクトホールを開けることに
より、液晶素子の電極9305や液晶素子の電極9104と、液晶素子の電極9105と
を接続してもよい。これらは、共通電極として動作するため、電気的に接続されているこ
とが望ましい。
【0180】
【0181】
したがって、実施の形態1から実施の形態2で述べた内容は、本実施の形態にも適用させ
たり、組み合わせたりすることが出来る。
【0182】
(実施の形態4)
アクティブマトリクス型の本発明の液晶表示装置の一態様について説明する。
【0183】
本実施の形態では、実施の形態1から3において述べた構成や、そこで示した図の各々
のパーツから組み合わせにより実現できる構成について、トランジスタも一緒に形成した
場合の実現例について示す。
【0184】
なお、本発明において、トランジスタは必須ではないため、トランジスタが配置されて
いない、いわゆるパッシブマトリクス型の表示装置にも適用可能である。
【0185】
本実施の形態では、透過型として動作し、トップゲート型トランジスタを用いて制御し
た場合について述べる。
【0186】
ただし、これに限定されない。ボトムゲート型トランジスタを用いてもよい。
【0187】
図1には、絶縁表面を有する基板(以下、絶縁基板と記す)100上に、薄膜トランジ
スタ102と、薄膜トランジスタに接続された第1電極103、第2電極104、第3電
極105を有する液晶表示装置を示す。第1電極103は、画素電極として機能する。第
2電極104は、共通電極として機能する。第3電極105は、共通電極として機能する
。
【0188】
なお、ゲート電極は、ゲート線の一部である。ゲート線のなかで、特に薄膜トランジス
タ102をスイッチングさせる為の電極として機能する部分がゲート電極である。
【0189】
コモン配線(共通配線)は、液晶表示装置に設けられた複数の画素に含まれている液晶
素子の電極が同じ電位となるように引き回されている配線であり、液晶素子の電極と電気
的に接続している。このようにコモン配線と電気的に接続した液晶素子の電極は、一般的
に共通電極とも呼ばれる。これに対し、ソース線からの伝わる電位によって電位が随時変
化する液晶素子の電極は、一般的に画素電極とも呼ばれる。
【0190】
薄膜トランジスタ102は、絶縁基板100上に、下地層101を介して形成するとよ
い。下地層101を設けることにより、絶縁基板100から、薄膜トランジスタ102、
特に半導体層への不純物元素の侵入を防止することができる。このような下地層101に
は、酸化珪素又は窒化珪素、もしくはそれらの積層を用いることができ、窒化珪素は不純
物侵入を防止する効果が高く好ましい。酸化珪素は、半導体層と直接接しても、電荷のト
ラップや電気特性のヒステリシスを起こさないため、好ましい。
【0191】
なお、薄膜トランジスタ102は、トップゲート型であるが、これに限定されない。ボ
トムゲート型でもよい。
【0192】
薄膜トランジスタ102は、所定の形状に加工された半導体層111、半導体層を覆う
、又は半導体層上に設けられたゲート絶縁層112、ゲート絶縁層を介して半導体層上に
設けられたゲート電極113、ソース電極及びドレイン電極116を有する。
【0193】
半導体層を覆うように設けられたゲート絶縁層によって、プロセス工程途中、半導体層
が大気にふれる場合があっても、半導体層への不純物の付着又は侵入を防止することがで
きる。また半導体層上に設けられたゲート絶縁層は、ゲート電極をマスクとして加工する
ことができ、マスク枚数を減らすことができる。このようにゲート絶縁層112の形状は
、プロセス工程等に応じて決定することができ、ゲート絶縁層112をゲート電極の下に
のみ配置してもよいし、全面に配置してもよいし、ゲート電極の下や近傍では厚くなって
いて、それ以外では薄くなっていてもよい。
【0194】
半導体層には、不純物領域114が設けられており、不純物領域の極性によりN型又は
P型の薄膜トランジスタとなる。不純物領域は、ゲート電極113をマスクとして、不純
物元素を自己整合的に添加する方法により、形成することができる。ただし、別途マスク
を用意して、形成してもよい。
【0195】
不純物領域は、濃度を異ならせることができ、例えば低濃度不純物領域と、高濃度不純
物領域とを設けることができる。低濃度不純物領域は、ゲート電極113の端にテーパー
形状を設け、このようなゲート電極を用いた自己整合的な不純物元素添加によって形成す
ることができる。また、ゲート絶縁層112の厚さを変えて、テーパー形状にして、低濃
度不純物領域を形成してもよい。その他、ゲート電極113の側面に設けられたサイドウ
ォール構造により、不純物領域の濃度を異ならせることができる。低濃度不純物領域と、
高濃度不純物領域を有する構造をLDD(Lightly Doped Drain)構
造と呼び、低濃度不純物領域とゲート電極とが重なっている構造をGOLD(Gate-
drain Overlapped LDD)構造と呼ぶ。このような低濃度不純物領域
を有する薄膜トランジスタは、ゲート長が短くなるにつれて生じる短チャネル現象を防止
することができる。また、オフ電流を低減させたり、ドレイン領域での電界の集中を抑制
できるため、トランジスタの信頼性を向上させることが出来る。
【0196】
半導体層111及びゲート電極113を覆うように絶縁層106が設けられる。絶縁層
106は単層構造又は積層構造とすることができる。絶縁層106には無機材料又は有機
材料を用いることができる。無機材料には、酸化珪素又は窒化珪素を用いることができる
。有機材料には、ポリイミド、アクリル、ポリアミド、ポリイミドアミド、レジスト又は
ベンゾシクロブテン、シロキサン、ポリシラザンを用いることができる。シロキサンは、
シリコン(Si)と酸素(O)との結合で骨格構造が構成される。置換基として、少なく
とも水素を含む有機基(例えばアルキル基、芳香族炭化水素)が用いられる。置換基とし
て、フルオロ基を用いてもよい。または置換基として、少なくとも水素を含む有機基と、
フルオロ基とを用いてもよい。ポリシラザンは、珪素(Si)と窒素(N)の結合を有す
るポリマー材料を出発原料として形成される材料である。絶縁層106に有機材料を用い
ると、その表面の平坦性を高めることができ、好ましい。絶縁層106に無機材料を用い
ると、半導体層やゲート電極の表面形状に沿うような表面を有し、この場合であっても、
厚膜化することにより平坦性を有しうる。
【0197】
このような絶縁層106に開口部を形成し、不純物領域を露出させ、開口部に導電層を
形成することにより、ソース電極及びドレイン電極116を形成する。ソース電極又はド
レイン電極に適用される導電層は、タンタル(Ta)、タングステン(W)、チタン(T
i)、モリブデン(Mo)、アルミニウム(Al)、クロム(Cr)、銀(Ag)、銅(
Cu)、ネオジウム(Nd)等から選ばれた元素、または当元素を主成分とする合金材料
、及び窒化チタン、窒化タンタル、窒化モリブデン等の金属窒化物等の導電性を有する材
料を用いて形成される。導電層は、これら材料の単層構造又は積層構造とすることができ
る。積層構造とすることにより、低抵抗化を図ることができる。ソース電極又はドレイン
電極と同一導電層から、その他の電極117等も形成される。
【0198】
ソース電極及びドレイン電極116を覆って、絶縁層107を形成する。絶縁層107
は、絶縁層106と同様に形成することができる。すなわち、有機材料を用いて絶縁層1
07を形成すると平坦性を高めることができる。絶縁層107上には、第1電極103や
第3電極105を形成するため、絶縁層107の平坦性は高いことが望まれる。第1電極
103や第3電極105は、液晶材料に電圧を印加するための電極であり、これら電極に
平坦性が必要とされるため絶縁層107の平坦性は高いことが望まれる。
【0199】
第1電極103や第3電極105は、櫛歯状やスリットが入った状態などに加工されて
いる。そして、第1電極103と、第3電極105は交互になるように配置される。つま
り、互い違いに配置されることが可能なように、第1電極103や第3電極105が加工
されていればよい。第1電極103と、第3電極105との間隔は、2μmから8μm、
より望ましくは、3μmから4μmとするとよい。このような第1電極103と、第3電
極105とに電圧を印加すると、これら電極間に電界が生じ、液晶材料の向きを制御する
ことができる。このときに生じる電界は、基板と平行方向の成分を多く含む。よって、概
ね基板と平行な面内において、液晶分子が回転する。これにより、光の透過を制御するこ
とが出来る。
【0200】
絶縁層107上に形成された第1電極103、第3電極105は、導電性材料を用いて
形成される。例えば、タンタル(Ta)、タングステン(W)、チタン(Ti)、モリブ
デン(Mo)、アルミニウム(Al)、クロム(Cr)、銀(Ag)等から選ばれた元素
、または当元素を主成分とする合金材料を用いて形成される。また第1電極103や第3
電極105に透光性が必要な場合、インジウム錫酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化
物(IZO)、酸化珪素を添加したインジウム錫酸化物(ITSO)、酸化亜鉛(ZnO
)、リンやボロンが含まれるシリコン(Si)等の導電性材料であって、透光性を有する
材料を用いることができる。
【0201】
次に、第2電極104について説明する。第2電極104は、下地層101、あるいは
、ゲート絶縁層112上に設けられ、一画素領域、具体的には一画素領域であって薄膜ト
ランジスタ形成領域以外に形成される。すなわち第2電極104は、櫛歯状の第3電極1
05とは異なり、一画素領域に渡って、つまり、櫛歯状の第3電極105や第1電極10
3が設けられる領域下方に渡って、設けられている。つまり、平面状に設けられている。
なお第2電極104は、一画素領域に渡って形成されることを特徴とし、その形状には限
定されない。例えば、一画素領域に渡って全面に第2電極104を形成しても、一画素領
域に渡って櫛歯形状やスリットや穴を有する第2電極104を形成してもよい。
【0202】
第2電極104は、導電性材料を用いて形成され、導電性材料として、タンタル(Ta
)、タングステン(W)、チタン(Ti)、モリブデン(Mo)、アルミニウム(Al)
、クロム(Cr)、銀(Ag)、インジウム錫酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物
(IZO)、酸化珪素を添加したインジウム錫酸化物(ITSO)、酸化亜鉛(ZnO)
、リンやボロンが含まれるシリコン(Si)が挙げられる。第2電極104は、半導体層
111と同一層に形成されてもよいため、半導体層を用いてもよい。但し、導電性を有す
る必要があるため、結晶化された半導体層、又は不純物元素が添加された半導体層、また
は、結晶化されて不純物元素が添付された半導体層を用いる。
【0203】
その場合、薄膜トランジスタ102の有する半導体層と、半導体層で形成された第2電
極104とは、同時に形成されることが望ましい。その結果、製造プロセスを簡略化でき
、コストを低減することが出来る。
【0204】
このような第2電極104は、電極117を介して第3電極105と電気的に接続され
ている。
【0205】
透過型の液晶表示装置を形成する場合、第2電極104、第3電極105はインジウム
錫酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、酸化珪素を添加したインジウム
錫酸化物(ITSO)、酸化亜鉛(ZnO)、リンやボロンが含まれるシリコン(Si)
等の導電性材料であって、かつ透光性を有する材料から形成する。このような透光性も有
する材料は、Al等の他の導電性材料と比較すると抵抗が高くなる。そのため、タンタル
(Ta)、タングステン(W)、チタン(Ti)、モリブデン(Mo)、アルミニウム(
Al)、クロム(Cr)、銀(Ag)等の抵抗の低い導電性材料から形成される電極11
7や、ゲート電極113と同時に形成できる配線などを用いて、第2電極104及び第3
電極105を接続することにより、第2電極104、第3電極105の補助電極や補助配
線として機能させることができる。その結果、第2電極104、第3電極105へ均一な
電圧を印加することができる。すなわち第2電極104、第3電極105において、電極
の抵抗により生じうる電圧降下を防止することができる。
【0206】
このとき、補助配線は、ゲート電極113と同時に形成される導電層を用いることが望
ましい。その場合、ゲート配線と概ね平行に配置することが望ましい。それにより、効率
的にレイアウトすることが出来る。
【0207】
このような第2電極104と、櫛歯状の第1電極103とに電圧を印加すると、これら
電極の間にも電界が生じる。すなわち、第2電極104と第1電極103、及び櫛歯状の
第3電極105と第1電極103とに電界が生じる。このような2組の電極間に生じる電
界によって、液晶材料の傾きや回転角度を制御し、階調表示を行うことができる。その結
果、櫛歯状の第3電極105と、櫛歯状の第1電極103の1組の電極によって生じる電
界では、上手く傾きが制御されなかった液晶材料に対しても、2組の電極による電界によ
って、液晶材料の傾きを上手く制御することができる。具体的には、櫛歯状の第3電極1
05直上や、櫛歯状の第1電極103の直上に配置する液晶材料に対して上手く傾きを制
御することはできなかったが、第2電極104を設けたことにより、上記のような液晶材
料に対しても上手く傾きを制御することができる。これは櫛歯状の第3電極105と、櫛
歯状の第1電極103との間に生じる電界の方向に加えて、第2電極104と、櫛歯状の
第1電極103との間に電界が生じるからである。このように複数の組の電極を設け、こ
れら電極間に生じる電界の方向を複数とすることにより、液晶材料の傾きの制御は十分な
ものとなる。
【0208】
なお、絶縁基板100と対向するように設けられた基板には、トランジスタと重畳する
ように、遮光層が設けられていてもよい。遮光層は、例えばタングステン、クロム、およ
びモリブデン等の導電物、タングテンシリサイド等のシリサイド、または黒色の顔料若し
くはカーボンブラックを含む樹脂材料を用いて形成されている。また、櫛歯状の第1電極
103、第3電極105と重畳するようにカラーフィルターが設けられている。カラーフ
ィルターの上には、さらに配向膜が設けられている。
【0209】
絶縁基板100と対向基板との間には液晶層が設けられている。また、絶縁基板100
と対向基板の上には、それぞれ偏光板が設けられている。偏光板は、それぞれ、絶縁基板
100と対向基板を中心として液晶層が設けられている側とは逆側に設けられている。
【0210】
なお、本実施の形態は、実施の形態1から実施の形態3で述べた内容を、トランジスタ
と共に具現化した場合の一例を示している。したがって、実施の形態1から実施の形態3
で述べた内容は、本実施の形態にも適用させたり、組み合わせたりすることが出来る。
【0211】
(実施の形態5)
本実施の形態では、上記実施の形態とは異なり、共通電極を薄膜トランジスタのソース
電極又はドレイン電極と同一層に設けた液晶表示装置の構造について説明する。
【0212】
なお、ボトムゲート型トランジスタを用いてもよい。
【0213】
図2に示すように、絶縁層106上に配線121に接して共通電極122が設けられて
いる。共通電極122は、上記実施の形態4で示した第2電極104と同様に作製するこ
とができる。
【0214】
図1と同様に、絶縁層107上に櫛歯状の第3電極105及び櫛歯状の第1電極103
が設けられており、第3電極105は絶縁層107に設けられた開口部を介して、共通電
極122に接続されている。
【0215】
共通電極122は、配線121に接して設けられ、第3電極105も電気的に配線12
1に接続される。そのため、共通電極122、第3電極105にインジウム錫酸化物(I
TO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、酸化珪素を添加したインジウム錫酸化物(I
TSO)、酸化亜鉛(ZnO)、リンやボロンが含まれるシリコン(Si)等の、Al等
と比較して抵抗の高い導電性材料を用いる場合、Al等を用いて形成された配線121や
、ゲート電極113と同時に形成できる配線などを用いて、補助配線として機能させるこ
とができる。その結果、上述したように、共通電極122、第3電極105の配線抵抗に
よる電圧降下を防止することができる。
【0216】
このとき、補助配線は、ゲート電極113と同時に形成される導電層を用いることが望
ましい。その場合、ゲート配線と概ね平行に配置することが望ましい。それにより、効率
的にレイアウトすることが出来る。
【0217】
その他の構成は、
図1と同様であるため説明を省略する。
【0218】
このような共通電極122と、櫛歯状の第1電極103とに電圧を印加すると、これら
電極の間にも電界が生じる。すなわち、共通電極122と第1電極103、及び櫛歯状の
第3電極105と第1電極103とに電界が生じる。このような2組の電極間に生じる電
界によって、液晶材料の傾きを制御し、階調表示を行うことができる。その結果、櫛歯状
の第3電極105と、櫛歯状の第1電極103の1組の電極によって生じる電界では、上
手く傾きが制御されなかった液晶材料に対しても、2組の電極による電界によって、液晶
材料の傾きを上手く制御することができる。具体的には、櫛歯状の第3電極105直上や
、櫛歯状の第1電極103の直上に配置する液晶材料に対して上手く傾きを制御すること
はできなかったが、共通電極122を設けたことにより、上記のような液晶材料に対して
も上手く傾きを制御することができる。
【0219】
このように複数の組の電極を設け、これら電極間に生じる電界の方向を複数とすること
により、液晶材料の傾きの制御は十分なものとなる。さらに本実施の形態では、共通電極
122は絶縁層106上に形成されるため、第1電極103との距離が近くなり、印加す
る電圧を低くおさえることが可能となる。
【0220】
なお、本実施の形態は、実施の形態1から実施の形態3で述べた内容を、トランジスタ
と共に具現化した場合の一例を示しており、実施の形態4を変形したものを示している。
したがって、実施の形態1から実施の形態4で述べた内容は、本実施の形態にも適用させ
たり、組み合わせたりすることが出来る。
【0221】
(実施の形態6)
本実施の形態では、上記実施の形態と異なり、共通電極を下地層101上に設けた液晶
表示装置の構造について説明する。
【0222】
図3に示すように、絶縁基板100上に下地層101が設けられ、下地層101上に共
通電極132が設けられている。共通電極132は、上記実施の形態で示した第2電極1
04と同様に作製することができる。共通電極132上には、絶縁層106が設けられ、
絶縁層106に設けられた開口部を介して第3電極105と接続されている。そのため、
共通電極132、第3電極105にインジウム錫酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化
物(IZO)、酸化珪素を添加したインジウム錫酸化物(ITSO))、酸化亜鉛(Zn
O)、リンやボロンが含まれるシリコン(Si)等の、Al等と比較して抵抗の高い導電
性材料を用いる場合、Al等を用いて形成された配線131を補助配線として機能させる
ことができる。その結果、上述したように、共通電極132、第3電極105の配線抵抗
による電圧降下を防止することができる。配線131は、薄膜トランジスタ102のゲー
ト電極113と同一導電層から形成することができる。その場合、ゲート配線と概ね平行
に配置することが望ましい。それにより、効率的にレイアウトすることが出来る。
【0223】
なお本実施の形態において、ボトムゲート型トランジスタを用いてもよい。
【0224】
その他の構成は、
図1と同様であるため説明を省略する。
【0225】
このような共通電極132と、櫛歯状の第1電極103とに電圧を印加すると、これら
電極の間にも電界が生じる。すなわち、共通電極132と第1電極103、及び櫛歯状の
第3電極105と第1電極103とに電界が生じる。このような2組の電極間に生じる電
界によって、液晶材料の傾きを制御し、階調表示を行うことができる。その結果、櫛歯状
の第3電極105と、櫛歯状の第1電極103の1組の電極によって生じる電界では、上
手く傾きが制御されなかった液晶材料に対しても、2組の電極による電界によって、液晶
材料の傾きを上手く制御することができる。具体的には、櫛歯状の第3電極105直上や
、櫛歯状の第1電極103の直上に配置する液晶材料に対して上手く傾きを制御すること
はできなかったが、共通電極132を設けたことにより、上記のような液晶材料に対して
も上手く傾きを制御することができる。
【0226】
このように複数の組の電極を設け、これら電極間に生じる電界の方向を複数とすること
により、液晶材料の傾きの制御は十分なものとなる。さらに本実施の形態では、共通電極
132は下地層101上に形成されるため、絶縁層106を単層構造として適用すること
ができる。その結果、共通電極132と、第1電極103との距離が近くなり、印加する
電圧を低くおさえることが可能となる。
【0227】
なお、本実施の形態は、実施の形態1から実施の形態3で述べた内容を、トランジスタ
と共に具現化した場合の一例を示しており、実施の形態4や実施の形態5を変形したもの
を示している。したがって、実施の形態1から実施の形態5で述べた内容は、本実施の形
態にも適用させたり、組み合わせたりすることが出来る。
【0228】
(実施の形態7)
本実施の形態では、上記実施の形態と異なり、薄膜トランジスタの半導体層に非晶質半
導体層を用いる場合について説明する。
【0229】
図4に示すように、下地層101上に非晶質半導体層を有する薄膜トランジスタ160
を形成する。薄膜トランジスタ160は、半導体層よりゲート電極が下方に設けられた、
所謂ボトムゲート型である。
【0230】
下地層101上に、ゲート電極113を形成し、ゲート電極113を覆うようにゲート
絶縁層112を形成する。ゲート絶縁層112を介して、ゲート電極上に非晶質半導体層
411を形成する。珪素を有する材料を用いて形成することができる。
【0231】
非晶質半導体層411の両端を覆うように、ソース電極及びドレイン電極116を形成
する。配線抵抗を低くするため、非晶質半導体層のソース電極及びドレイン電極に接する
領域にN型不純物領域を形成するとよい。N型不純物領域は、非晶質半導体層411の表
面に不純物を添加することにより形成することができる。
【0232】
その後、ソース電極及びドレイン電極を用いて、非晶質半導体層411を所定の形状と
なるように加工する。このとき、薄膜トランジスタ160において、半導体層のチャネル
形成領域の上側がエッチング除去され、このような形状を有する薄膜トランジスタをチャ
ネルエッチ型と呼ぶ。
【0233】
このように形成された薄膜トランジスタ160を覆って、絶縁層106を形成する。絶
縁層106に有機材料を用いることで、その表面の平坦性を高めることができる。勿論、
絶縁層106に無機材料を用いることもでき、無機材料と有機材料の積層構造を用いても
よい。このような絶縁層106に開口部を形成し、ソース電極及びドレイン電極116を
露出させ、絶縁層106に形成される第1電極103と、ソース電極及びドレイン電極1
16とを電気的に接続する。第1電極103は、上記実施の形態と同様に、絶縁層106
上に櫛歯状に形成されている。
【0234】
次いで、共通電極401の構造について説明する。下地層101上に共通電極401を
形成する。共通電極401は、上記実施の形態で示した第2電極104と同様に作製する
ことができる。共通電極401は、画素領域に渡って形成されるように、その形状を加工
する。加工された共通電極401の一部に、導電層402を形成する。導電層402は、
薄膜トランジスタ160のゲート電極113と同一導電層を加工することにより得ること
ができる。共通電極401と、導電層402とは、ゲート絶縁層112によって覆われる
。
【0235】
絶縁層106及びゲート絶縁層112に開口部を設けて、導電層402を露出させる。
そして、絶縁層106上に櫛歯状に形成された第3電極105と、導電層402とを電気
的に接続し、結果として第3電極105と、共通電極401とが接続される。このとき、
導電層402が共通電極401、第3電極105に接続しているため、導電層402を補
助配線として機能させることができる。そして、上述したように、共通電極401、第3
電極105の配線抵抗による電圧降下を防止することができる。
【0236】
本実施の形態は、非晶質半導体層を用いたボトムゲート型の薄膜トランジスタを用いて
おり、上記実施の形態で示したトップゲート型の薄膜トランジスタと比較して、全体の膜
厚を薄くすることができる。特に、絶縁層106、107を積層した構成と比較すると、
本実施の形態は絶縁層106のみの構成であるため、全体の膜厚が薄くなる。その結果、
液晶表示装置の薄型化、軽量化を図ることができる。
【0237】
なお本実施の形態では、チャネルエッチ型を用いて説明したが、チャネル保護型を適用
することもできる。チャネル保護型とは、半導体層上に保護層があり、保護層の両端にソ
ース電極及びドレイン電極が設けられる。ソース電極及びドレイン電極を用いて半導体層
を加工するとき、半導体層の表面が除去されない構成をする薄膜トランジスタを指す。
【0238】
なお本実施の形態において、ボトムゲート型でもよい。
【0239】
なお、本実施の形態は、実施の形態1から実施の形態3で述べた内容を、トランジスタ
と共に具現化した場合の一例を示しており、実施の形態4から6を変形したものを示して
いる。したがって、実施の形態1から実施の形態6で述べた内容は、本実施の形態にも適
用させたり、組み合わせたりすることが出来る。
【0240】
(実施の形態8)
本実施の形態では、上記実施の形態と異なり、補助配線として機能する導電層を、共通
電極の下方に設けた液晶表示装置の構造について説明する。
【0241】
図5に示すように、下地層101上に、先に導電層502を形成する。その後、導電層
502と接するように、共通電極501を形成する。共通電極501は、上記実施の形態
で示した第2電極104と同様に作製することができる。導電層502は、薄膜トランジ
スタ160のゲート電極113、又はソース電極及びドレイン電極116と同一導電層を
加工することにより得ることができる。導電層502及び共通電極501は、絶縁層10
6により覆われる。
【0242】
絶縁層106及びゲート絶縁層112に開口部を設けて、共通電極501を露出させる
。そして、絶縁層106上に櫛歯状に形成された第3電極105と、共通電極501とを
電気的に接続する。このとき、導電層502が共通電極401、第3電極105に接続し
ているため、導電層502を補助配線として機能させることができる。そして、上述した
ように、共通電極501、第3電極105の配線抵抗による電圧降下を防止することがで
きる。
【0243】
その他の構成は、
図4と同様であるため説明を省略する。
【0244】
本実施の形態においても、絶縁層106のみの構成であるため、絶縁層106、107
を積層した構成と比較すると、全体の膜厚が薄くなる。その結果、液晶表示装置の薄型化
、軽量化を図ることができる。
【0245】
また本実施の形態ではチャネルエッチ型の薄膜トランジスタを用いて説明したが、上記
実施の形態で示したように、チャネル保護型の薄膜トランジスタを用いてもよい。
【0246】
なお、本実施の形態は、実施の形態1から実施の形態3で述べた内容を、トランジスタ
と共に具現化した場合の一例を示しており、実施の形態4から7を変形したものを示して
いる。したがって、実施の形態1から実施の形態7で述べた内容は、本実施の形態にも適
用させたり、組み合わせたりすることが出来る。
【0247】
(実施の形態9)
本実施の形態では、上記実施の形態1で示した構造において、カラーフィルター及びブ
ラックマトリクスを設けた液晶表示装置の構造について説明する。
【0248】
図6(A)に示すように、実施の形態1(
図1)に示した液晶表示装置の構造において
、絶縁層107の代わりに、カラーフィルター150及びブラックマトリクス151を設
ける。カラーフィルター150と、ブラックマトリクス151とは、それらの一部が重な
るように設けられる。
【0249】
カラーフィルター150は、所定の色を呈するような材料を用いて形成する。所定の色
とは、赤、緑、青が一般的であり、これらを組み合わせることでフルカラー表示が可能と
なる。一方、モノカラー表示を行う場合、赤、緑、青のいずれか、又はオレンジや黄色と
いった色を呈する材料を用いて形成することができる。モノカラー表示は、単純な文字や
図形を表示するのに適し、車載オーディオや携帯型オーディオの表示画面として使用する
ことがある。
【0250】
ブラックマトリクス151は、薄膜トランジスタ102に光が照射されることを防止さ
せたり、薄膜トランジスタ102が有する電極の反射を抑えたり、液晶分子が画像信号に
よって制御されない部分において、光が漏れてしまうのを防いだり、一画素を区分けする
ために設けられる。ブラックマトリクス151は、黒色を呈すればよく、例えばクロムを
有する導電層、顔料やブラックカーボンを有する有機材料から形成することができる。そ
の他、アクリルやポリイミド等の有機材料を染色した材料を用いて形成することができる
。
【0251】
ただし、電界のかかり方に影響を及ぼさないようにするため、ブラックマトリクス15
1は、非導電材料で形成されることが望ましい。
【0252】
カラーフィルター150及びブラックマトリクス151を設ける場合、絶縁層106を
積層構造とし、その上層には無機材料や有機材料を用いて絶縁層を形成することが望まれ
る。
カラーフィルター150及びブラックマトリクス151は、有機材料から形成されること
が多く、これらの材料には薄膜トランジスタの電気特性にとって好ましくない不純物元素
が含まれる。不純物元素が、薄膜トランジスタの半導体層111に侵入することを防止す
るため、絶縁層を形成することが望まれる。
【0253】
そのため、絶縁層を作製する無機材料として、窒化珪素を用いるとよい。このような絶
縁層をパッシベーション層とも呼ぶ。パッシベーション層は、積層構造を有する絶縁層1
06の上層として設けることに限定されず、半導体層111と、カラーフィルター150
及びブラックマトリクス151との間に設けられればよい。例えば、積層構造を有する絶
縁層106の下層として、パッシベーション層を設けてもよい。
【0254】
ただし、カラーフィルター150及びブラックマトリクス151を形成する前に、窒化
珪素などの無機材料を形成しておいてもよい。
【0255】
その後、カラーフィルター150及びブラックマトリクス151を覆うように絶縁層1
52を形成する。絶縁層152により、表面が平坦化される。特に、カラーフィルター1
50と、ブラックマトリクス151とが重なった領域は、ブラックマトリクス151の膜
厚によって段差が生じる。この段差を絶縁層152によって、平坦化することができる。
【0256】
その他の構成は、
図1と同様であるため説明を省略する。
【0257】
図6(B)には、
図6(A)と異なり、カラーフィルター150と、ブラックマトリク
ス151とが重ならないように設ける。カラーフィルター150は光が透過する領域に積
極的に設け、ブラックマトリクス151は薄膜トランジスタ102を覆う領域に積極的に
設ける。その結果、薄膜トランジスタ102と、第2電極104との境界領域を境にして
、第2電極104が形成される領域にカラーフィルター150が形成され、薄膜トランジ
スタ102が形成される領域にブラックマトリクス151が形成される。そして、カラー
フィルター150及びブラックマトリクス151を覆うように絶縁層152を形成する。
【0258】
このようにカラーフィルター150と、ブラックマトリクス151とが重ならないよう
に設けることにより、重なった領域で全体の膜厚が厚くなることがなく、好ましい。
【0259】
その他の構成は、
図6(A)と同様であるため説明を省略する。
【0260】
図6(C)には、
図6(A)(B)と異なり、ブラックマトリクス151を対向基板1
55側に設けた構造を示す。ブラックマトリクス151を設ける領域は、少なくとも薄膜
トランジスタ102上方であればよい。
【0261】
なお、この場合、隣り合う画素の、異なる色のカラーフィルターを重ねて配置してもよ
い。これにより、カラーフィルターが重なった領域は、光の透過率が低減するので、ブラ
ックマトリクスとして機能させることも出来る。
【0262】
ブラックマトリクス151を対向基板155に設けたことにより、カラーフィルター1
50を薄膜トランジスタ102及び第2電極104に渡って形成することができる。上述
したようにカラーフィルター150は有機材料を用いて形成するため、平坦化膜としての
機能も有する。すなわち、絶縁層107の代わりに、カラーフィルター150を設け、そ
の表面も平坦化することが可能となる。
【0263】
なおブラックマトリクス151は、絶縁基板100の裏面側に設けてもよい。
【0264】
なお、絶縁基板100側にブラックマトリクスを設けて、対向基板側にカラーフィルタ
ーを配置してもよい。絶縁基板100側にブラックマトリクスを設けることにより、基板
の合わせマージンを向上させることが出来る。
【0265】
その他の構成は、
図6(A)と同様であるため説明を省略する。
【0266】
本実施の形態であっても、実施の形態1と同様に、第2電極104と、櫛歯状の第1電
極103とに電圧を印加すると、これら電極の間にも電界が生じるため、液晶材料の傾き
を制御し、階調表示を行うことができる。
その結果、櫛歯状の第3電極105と、櫛歯状の第1電極103の1組の電極によって生
じる電界では、上手く傾きが制御されなかった液晶材料に対しても、2組の電極による電
界によって、液晶材料の傾きを上手く制御することができる。
【0267】
なお、本実施の形態は、実施の形態1から実施の形態3で述べた内容を、トランジスタ
と共に具現化した場合の一例を示しており、実施の形態4から8を変形したものを示して
いる。したがって、実施の形態1から実施の形態8で述べた内容は、本実施の形態にも適
用させたり、組み合わせたりすることが出来る。
【0268】
(実施の形態10)
本実施の形態では、上記実施の形態1で示した構造において、絶縁層106の代わりに
、カラーフィルター150及びブラックマトリクス151を設けた液晶表示装置の構造に
ついて説明する。
【0269】
図7(A)に示すように、実施の形態1(
図1)に示した液晶表示装置の構造において
、絶縁層106の代わりに、カラーフィルター150及びブラックマトリクス151を設
ける。カラーフィルター150と、ブラックマトリクス151とは、それらの一部が重な
るように設けられる。カラーフィルター150やブラックマトリクス151は、上記実施
の形態と同様に作製することができる。カラーフィルター150及びブラックマトリクス
151を覆うように、絶縁層152を形成する。絶縁層152により、表面を平坦化する
ことができる。
【0270】
カラーフィルター150及びブラックマトリクス151を設ける場合、カラーフィルタ
ー150及びブラックマトリクス151と薄膜トランジスタ102が有する半導体層11
1との間に、パッシベーション層を設けることが望ましい。本実施の形態では、ゲート電
極113及び第2電極104を覆うように、パッシベーション層154を形成する。
【0271】
このように、絶縁層106の代わりにカラーフィルター150及びブラックマトリクス
151を設けた構成は、薄膜トランジスタ102に近接してブラックマトリクス151が
形成される。そのため、薄膜トランジスタ102に照射される光の遮光効果が高く好まし
い。
【0272】
その他の構成は、
図6(A)と同様であるため説明を省略する。
【0273】
図7(B)には、
図7(A)と異なり、カラーフィルター150と、ブラックマトリク
ス151とが重ならないように設ける。
【0274】
その他の構成は、
図6(B)と同様であるため説明を省略する。
【0275】
図7(C)には、
図7(A)、(B)と異なり、ブラックマトリクス151を対向基板
155側に設けた構造を示す。
【0276】
その他の構成は、
図7(B)と同様であるため説明を省略する。
【0277】
本実施の形態であっても、実施の形態1と同様に、第2電極104と、櫛歯状の第1電
極103とに電圧を印加すると、これら電極の間にも電界が生じるため、液晶材料の傾き
を制御し、階調表示を行うことができる。
その結果、櫛歯状の第3電極105と、櫛歯状の第1電極103の1組の電極によって生
じる電界では、上手く傾きが制御されなかった液晶材料に対しても、2組の電極による電
界によって、液晶材料の傾きを上手く制御することができる。
【0278】
なお、本実施の形態は、実施の形態1から実施の形態3で述べた内容を、トランジスタ
と共に具現化した場合の一例を示しており、実施の形態4から9を変形したものを示して
いる。したがって、実施の形態1から実施の形態9で述べた内容は、本実施の形態にも適
用させたり、組み合わせたりすることが出来る。
【0279】
(実施の形態11)
本実施の形態では、上記実施の形態2で示した構造において、カラーフィルター及びブ
ラックマトリクスを設けた液晶表示装置の構造について説明する。
【0280】
図8(A)に示すように、実施の形態2(
図2)に示した液晶表示装置の構造において
、絶縁層107の代わりに、カラーフィルター150及びブラックマトリクス151を設
ける。カラーフィルター150と、ブラックマトリクス151とは、それらの一部が重な
るように設けられる。カラーフィルター150やブラックマトリクス151は、上記実施
の形態と同様に作製することができる。カラーフィルター150及びブラックマトリクス
151を覆うように、絶縁層152を形成する。絶縁層152により、表面を平坦化する
ことができる。
【0281】
カラーフィルター150及びブラックマトリクス151を設ける場合、カラーフィルタ
ー150及びブラックマトリクス151と薄膜トランジスタ102が有する半導体層11
1との間に、パッシベーション層を設けることが望ましい。本実施の形態では、絶縁層1
06を積層構造とし、その上層には無機材料を用いてパッシベーション層153を形成す
る。パッシベーション層は、積層構造を有する絶縁層106の上層として設けることに限
定されず、半導体層111と、カラーフィルター150及びブラックマトリクス151と
の間に設けられればよい。例えば、積層構造を有する絶縁層106の下層として、パッシ
ベーション層を設けてもよい。
【0282】
このようなカラーフィルター150、ブラックマトリクス151、絶縁層152、パッ
シベーション層153の構造は、
図6(A)と同様である。その他の構成は、
図2と同様
であるため説明を省略する。
【0283】
図8(B)には、
図8(A)と異なり、カラーフィルター150と、ブラックマトリク
ス151とが重ならないように設ける。重ならないカラーフィルター150と、ブラック
マトリクス151の構成は
図6(B)と同様である。
【0284】
その他の構成は、
図8(A)と同様であるため説明を省略する。
【0285】
図8(C)には、
図8(A)(B)と異なり、ブラックマトリクス151を対向基板1
55側に設けた構造を示す。ブラックマトリクス151を設ける領域は、少なくとも薄膜
トランジスタ102上方であればよい。
【0286】
ブラックマトリクス151を対向基板155に設けたことにより、カラーフィルター1
50を薄膜トランジスタ102及び第2電極104に渡って形成することができる。上述
したようにカラーフィルター150は有機材料を用いて形成するため、平坦化膜としての
機能も有する。すなわち、絶縁層107の代わりに、カラーフィルター150を設け、そ
の表面も平坦化することが可能となる。このようなブラックマトリクス151を対向基板
155側に設ける構造は、
図6(C)と同様である。
【0287】
なおブラックマトリクス151は、絶縁基板100の裏面側に設けてもよい。
【0288】
その他の構成は、
図8(A)と同様であるため説明を省略する。
【0289】
本実施の形態であっても、実施の形態2と同様に、共通電極122と、櫛歯状の第1電
極103とに電圧を印加すると、これら電極の間にも電界が生じるため、液晶材料の傾き
を制御し、階調表示を行うことができる。その結果、櫛歯状の第3電極105と、櫛歯状
の第1電極103の1組の電極によって生じる電界では、上手く傾きが制御されなかった
液晶材料に対しても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制御する
ことができる。
【0290】
なお、本実施の形態は、実施の形態1から実施の形態3で述べた内容を、トランジスタ
と共に具現化した場合の一例を示しており、実施の形態4から10を変形したものを示し
ている。したがって、実施の形態1から実施の形態10で述べた内容は、本実施の形態に
も適用させたり、組み合わせたりすることが出来る。
【0291】
(実施の形態12)
本実施の形態では、上記実施の形態2で示した構造において、絶縁層106の代わりに
、カラーフィルター及びブラックマトリクスを設けた液晶表示装置の構造について説明す
る。
【0292】
図9(A)に示すように、実施の形態2(
図2)に示した液晶表示装置の構造において
、絶縁層106の代わりに、カラーフィルター150及びブラックマトリクス151を設
ける。カラーフィルター150と、ブラックマトリクス151とは、それらの一部が重な
るように設けられる。カラーフィルター150やブラックマトリクス151は、上記実施
の形態と同様に作製することができる。カラーフィルター150及びブラックマトリクス
151を覆うように、絶縁層152を形成する。絶縁層152により、表面を平坦化する
ことができる。
【0293】
カラーフィルター150及びブラックマトリクス151を設ける場合、カラーフィルタ
ー150及びブラックマトリクス151と薄膜トランジスタ102が有する半導体層11
1との間に、パッシベーション層を設けることが望ましい。本実施の形態では、ゲート電
極113及び第2電極104を覆うように、パッシベーション層154を形成する。
【0294】
このようなカラーフィルター150及びブラックマトリクス151を設ける構造は、図
7(A)と同様である。その他の構成は、
図2と同様であるため説明を省略する。
【0295】
図9(B)には、
図9(A)と異なり、カラーフィルター150と、ブラックマトリク
ス151とが重ならないように設ける。重ならないカラーフィルター150と、ブラック
マトリクス151の構成は
図7(B)と同様である。
【0296】
その他の構成は、
図9(A)と同様であるため説明を省略する。
【0297】
図9(C)には、
図9(A)(B)と異なり、ブラックマトリクス151を対向基板1
55側に設けた構造を示す。ブラックマトリクス151を設ける領域は、少なくとも薄膜
トランジスタ102上方であればよい。
【0298】
ブラックマトリクス151を対向基板155に設けたことにより、カラーフィルター1
50を薄膜トランジスタ102及び第2電極104に渡って形成することができる。上述
したようにカラーフィルター150は有機材料を用いて形成するため、平坦化膜としての
機能も有する。すなわち、絶縁層106の代わりに、カラーフィルター150を設け、そ
の表面も平坦化することが可能となる。このようなブラックマトリクス151を対向基板
155側に設ける構造は、
図7(C)と同様である。
【0299】
なおブラックマトリクス151は、絶縁基板100の裏面側に設けてもよい。
【0300】
その他の構成は、
図9(A)と同様であるため説明を省略する。
【0301】
本実施の形態であっても、実施の形態2と同様に、共通電極122と、櫛歯状の第1電極
103とに電圧を印加すると、これら電極の間にも電界が生じるため、液晶材料の傾きを
制御し、階調表示を行うことができる。その結果、櫛歯状の第3電極105と、櫛歯状の
第1電極103の1組の電極によって生じる電界では、上手く傾きが制御されなかった液
晶材料に対しても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制御するこ
とができる。
【0302】
なお、本実施の形態は、実施の形態1から実施の形態3で述べた内容を、トランジスタと
共に具現化した場合の一例を示しており、実施の形態4から11を変形したものを示して
いる。したがって、実施の形態1から実施の形態11で述べた内容は、本実施の形態にも
適用させたり、組み合わせたりすることが出来る。
【0303】
(実施の形態13)
本実施の形態では、上記実施の形態3で示した構造において、絶縁層106の代わりに、
カラーフィルター及びブラックマトリクスを設けた液晶表示装置の構造について説明する
。
【0304】
図10(A)に示すように、実施の形態3(
図3)に示した液晶表示装置の構造におい
て、絶縁層106の代わりに、カラーフィルター150及びブラックマトリクス151を
設ける。カラーフィルター150と、ブラックマトリクス151とは、それらの一部が重
なるように設けられる。カラーフィルター150やブラックマトリクス151は、上記実
施の形態と同様に作製することができる。カラーフィルター150及びブラックマトリク
ス151を覆うように、絶縁層152を形成する。絶縁層152により、表面を平坦化す
ることができる。
【0305】
カラーフィルター150及びブラックマトリクス151を設ける場合、カラーフィルタ
ー150及びブラックマトリクス151と薄膜トランジスタ102が有する半導体層11
1との間に、パッシベーション層を設けることが望ましい。本実施の形態では、ゲート電
極113及び第2電極104を覆うように、パッシベーション層154を形成する。
【0306】
このようなカラーフィルター150及びブラックマトリクス151を設ける構造は、図
7(A)と同様である。その他の構成は、
図3と同様であるため説明を省略する。
【0307】
図10(B)には、
図10(A)と異なり、カラーフィルター150と、ブラックマト
リクス151とが重ならないように設ける。重ならないカラーフィルター150と、ブラ
ックマトリクス151の構成は
図7(B)と同様である。
【0308】
その他の構成は、
図10(A)と同様であるため説明を省略する。
【0309】
図10(C)には、
図10(A)(B)と異なり、ブラックマトリクス151を対向基
板155側に設けた構造を示す。ブラックマトリクス151を設ける領域は、少なくとも
薄膜トランジスタ102上方であればよい。
【0310】
ブラックマトリクス151を対向基板155に設けたことにより、カラーフィルター1
50を薄膜トランジスタ102及び第2電極104に渡って形成することができる。上述
したようにカラーフィルター150は有機材料を用いて形成するため、平坦化膜としての
機能も有する。すなわち、絶縁層106の代わりに、カラーフィルター150を設け、そ
の表面も平坦化することが可能となる。このようなブラックマトリクス151を対向基板
155側に設ける構造は、
図7(C)と同様である。
【0311】
なおブラックマトリクス151は、絶縁基板100の裏面側に設けてもよい。
【0312】
その他の構成は、
図10(A)と同様であるため説明を省略する。
【0313】
本実施の形態であっても、実施の形態3と同様に、共通電極122と、櫛歯状の第1電
極103とに電圧を印加すると、これら電極の間にも電界が生じるため、液晶材料の傾き
を制御し、階調表示を行うことができる。その結果、櫛歯状の第3電極105と、櫛歯状
の第1電極103の1組の電極によって生じる電界では、上手く傾きが制御されなかった
液晶材料に対しても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制御する
ことができる。
【0314】
なお、本実施の形態は、実施の形態1から実施の形態3で述べた内容を、トランジスタ
と共に具現化した場合の一例を示しており、実施の形態4から12を変形したものを示し
ている。したがって、実施の形態1から実施の形態12で述べた内容は、本実施の形態に
も適用させたり、組み合わせたりすることが出来る。
【0315】
(実施の形態14)
本実施の形態では、上記実施の形態4で示した構造において、絶縁層106の代わりに
カラーフィルター及びブラックマトリクスを設けた液晶表示装置の構造について説明する
。
【0316】
図11(A)に示すように、実施の形態4(
図4)に示した液晶表示装置の構造におい
て、絶縁層106の代わりに、カラーフィルター150及びブラックマトリクス151を
設ける。カラーフィルター150と、ブラックマトリクス151とは、それらの一部が重
なるように設けられる。カラーフィルター150やブラックマトリクス151は、上記実
施の形態と同様に作製することができる。カラーフィルター150及びブラックマトリク
ス151を覆うように、絶縁層152を形成する。絶縁層152により、表面を平坦化す
ることができる。
【0317】
本実施の形態において、薄膜トランジスタ160は、非晶質半導体層411上に絶縁層
403を有するチャネル保護型であるとよい。チャネル保護のための絶縁層403の両端
を覆うように、ソース電極及びドレイン電極116が設けられる。絶縁層403によって
、非晶質半導体層411が露出されない。そのため、薄膜トランジスタ160を覆ってブ
ラックマトリクス151が設けられる場合、ブラックマトリクスからの不純物元素が非晶
質半導体層411に侵入することを防止できる。勿論、実施の形態4で示したチャネルエ
ッチ型の薄膜トランジスタ160を用いてもよいが、非晶質半導体層411とブラックマ
トリクス151とが接しないように、絶縁層403を設けることが望ましい。
【0318】
カラーフィルター150及びブラックマトリクス151を設ける場合、カラーフィルタ
ー150及びブラックマトリクス151と薄膜トランジスタ160が有する非晶質半導体
層411との間に、パッシベーション層を設けることが望ましい。本実施の形態では、ゲ
ート電極113、共通電極401、及び導電層402を覆うように、パッシベーション層
154を形成する。
【0319】
このようなカラーフィルター150及びブラックマトリクス151を設ける構造は、図
7(A)と同様である。その他の構成は、
図4と同様であるため説明を省略する。
【0320】
図11(B)には、
図11(A)と異なり、カラーフィルター150と、ブラックマト
リクス151とが重ならないように設ける。重ならないカラーフィルター150と、ブラ
ックマトリクス151の構成は
図7(B)と同様である。
【0321】
その他の構成は、
図11(A)と同様であるため説明を省略する。
【0322】
図11(C)には、
図11(A)(B)と異なり、ブラックマトリクス151を対向基
板155側に設けた構造を示す。ブラックマトリクス151を設ける領域は、少なくとも
薄膜トランジスタ160上方であればよい。
【0323】
ブラックマトリクス151を対向基板155に設けたことにより、カラーフィルター1
50を薄膜トランジスタ160、共通電極401、及び導電層402に渡って形成するこ
とができる。
【0324】
本実施の形態において、薄膜トランジスタ160は、非晶質半導体層411上に絶縁層
403を有するチャネル保護型であるとよい。チャネル保護のための絶縁層403の両端
を覆うように、ソース電極及びドレイン電極116が設けられる。絶縁層403によって
、非晶質半導体層411が露出されない。そのため、薄膜トランジスタ160を覆ってカ
ラーフィルター150が設けられる場合、カラーフィルターからの不純物元素が非晶質半
導体層411に侵入することを防止できる。勿論、実施の形態4で示したチャネルエッチ
型の薄膜トランジスタ160を用いてもよいが、非晶質半導体層411とカラーフィルタ
ー150とが接しないように、絶縁層403を設けることが望ましい。
【0325】
上述したようにカラーフィルター150は有機材料を用いて形成するため、平坦化膜と
しての機能も有する。すなわち、絶縁層106の代わりに、カラーフィルター150を設
け、その表面も平坦化することが可能となる。このようなブラックマトリクス151を対
向基板155側に設ける構造は、
図7(C)と同様である。
【0326】
なおブラックマトリクス151は、絶縁基板100の裏面側に設けてもよい。
【0327】
その他の構成は、
図11(A)と同様であるため説明を省略する。
【0328】
本実施の形態であっても、実施の形態4と同様に、共通電極401と、櫛歯状の第1電
極103とに電圧を印加すると、これら電極の間にも電界が生じるため、液晶材料の傾き
を制御し、階調表示を行うことができる。その結果、櫛歯状の第3電極105と、櫛歯状
の第1電極103の1組の電極によって生じる電界では、上手く傾きが制御されなかった
液晶材料に対しても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制御する
ことができる。
【0329】
なお、本実施の形態は、実施の形態1から実施の形態3で述べた内容を、トランジスタ
と共に具現化した場合の一例を示しており、実施の形態4から13を変形したものを示し
ている。したがって、実施の形態1から実施の形態13で述べた内容は、本実施の形態に
も適用させたり、組み合わせたりすることが出来る。
【0330】
(実施の形態15)
本実施の形態では、上記実施の形態5で示した構造において、絶縁層106の代わりに
、カラーフィルター及びブラックマトリクスを設けた液晶表示装置の構造について説明す
る。
【0331】
図12(A)に示すように、実施の形態5(
図5)に示した液晶表示装置の構造におい
て、絶縁層106の代わりに、カラーフィルター150及びブラックマトリクス151を
設ける。カラーフィルター150と、ブラックマトリクス151とは、それらの一部が重
なるように設けられる。カラーフィルター150やブラックマトリクス151は、上記実
施の形態と同様に作製することができる。カラーフィルター150及びブラックマトリク
ス151を覆うように、絶縁層152を形成する。絶縁層152により、表面を平坦化す
ることができる。
【0332】
本実施の形態において、薄膜トランジスタ160は、非晶質半導体層411上に絶縁層
403を有するチャネル保護型であるとよい。チャネル保護のための絶縁層403の両端
を覆うように、ソース電極及びドレイン電極116が設けられる。絶縁層403によって
、非晶質半導体層411が露出されない。そのため、薄膜トランジスタ160を覆ってブ
ラックマトリクス151が設けられる場合、ブラックマトリクスからの不純物元素が非晶
質半導体層411に侵入することを防止できる。勿論、実施の形態4で示したチャネルエ
ッチ型の薄膜トランジスタ160を用いてもよいが、非晶質半導体層411とブラックマ
トリクス151とが接しないように、絶縁層403を設けることが望ましい。
【0333】
カラーフィルター150及びブラックマトリクス151を設ける場合、カラーフィルタ
ー150及びブラックマトリクス151と薄膜トランジスタ160が有する非晶質半導体
層411との間に、パッシベーション層を設けることが望ましい。本実施の形態では、ゲ
ート電極113、共通電極401、及び導電層402を覆うように、パッシベーション層
154を形成する。
【0334】
このようなカラーフィルター150及びブラックマトリクス151を設ける構造は、図
7(A)と同様である。その他の構成は、
図5と同様であるため説明を省略する。
【0335】
図12(B)には、
図12(A)と異なり、カラーフィルター150と、ブラックマト
リクス151とが重ならないように設ける。重ならないカラーフィルター150と、ブラ
ックマトリクス151の構成は
図7(B)と同様である。
【0336】
その他の構成は、
図12(A)と同様であるため説明を省略する。
【0337】
図12(C)には、
図12(A)(B)と異なり、ブラックマトリクス151を対向基
板155側に設けた構造を示す。ブラックマトリクス151を設ける領域は、少なくとも
薄膜トランジスタ160上方であればよい。
【0338】
ブラックマトリクス151を対向基板155に設けたことにより、カラーフィルター1
50を薄膜トランジスタ160、共通電極401、及び導電層402に渡って形成するこ
とができる。
【0339】
本実施の形態において、薄膜トランジスタ160は、非晶質半導体層411上に絶縁層
403を有するチャネル保護型であるとよい。チャネル保護のための絶縁層403の両端
を覆うように、ソース電極及びドレイン電極116が設けられる。絶縁層403によって
、非晶質半導体層411が露出されない。そのため、薄膜トランジスタ160を覆ってカ
ラーフィルター150が設けられる場合、カラーフィルターからの不純物元素が非晶質半
導体層411に侵入することを防止できる。勿論、実施の形態4で示したチャネルエッチ
型の薄膜トランジスタ160を用いてもよいが、非晶質半導体層411とカラーフィルタ
ー150とが接しないように、絶縁層403を設けることが望ましい。
【0340】
上述したようにカラーフィルター150は有機材料を用いて形成するため、平坦化膜と
しての機能も有する。すなわち、絶縁層106の代わりに、カラーフィルター150を設
け、その表面も平坦化することが可能となる。このようなブラックマトリクス151を対
向基板155側に設ける構造は、
図7(C)と同様である。
【0341】
なおブラックマトリクス151は、絶縁基板100の裏面側に設けてもよい。
【0342】
その他の構成は、
図12(A)と同様であるため説明を省略する。
【0343】
本実施の形態であっても、実施の形態5と同様に、共通電極401と、櫛歯状の第1電
極103とに電圧を印加すると、これら電極の間にも電界が生じるため、液晶材料の傾き
を制御し、階調表示を行うことができる。その結果、櫛歯状の第3電極105と、櫛歯状
の第1電極103の1組の電極によって生じる電界では、上手く傾きが制御されなかった
液晶材料に対しても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制御する
ことができる。
【0344】
なお、本実施の形態は、実施の形態1から実施の形態3で述べた内容を、トランジスタ
と共に具現化した場合の一例を示しており、実施の形態4から14を変形したものを示し
ている。したがって、実施の形態1から実施の形態14で述べた内容は、本実施の形態に
も適用させたり、組み合わせたりすることが出来る。
【0345】
(実施の形態16)
本実施の形態では、液晶表示装置の画素部の上面図について説明する。
【0346】
図13には、上記実施の形態4(
図4)に示す断面構造に相当する上面図を示す。薄膜
トランジスタ(TFTとも記す)160は、非晶質半導体層411を有し、ゲート電極1
13が下方に設けられたボトムゲート型構造をとる。ゲート電極113と同一層で、走査
線413を形成することができる。
【0347】
ゲート電極113を覆って、非晶質半導体層411を形成する。また、非晶質半導体層
411を用いて、共通電極401を形成することができる。但し、共通電極401は導電
性が高い材料から形成されることが望まれるため、半導体層に不純物元素を添加するとよ
い。また非晶質半導体層411を用いることなく、導電性材料を用いて共通電極401を
形成してもよい。
【0348】
非晶質半導体層411の両端を覆うようにソース電極及びドレイン電極116を形成す
る。ソース電極及びドレイン電極116と同一層で、信号線416を形成することができ
る。
【0349】
第1電極103と、第3電極105とを同一層から形成する。第1電極103及び第3
電極105は、櫛歯状に加工されており、交互になるように配置される。第1電極103
は、開口部を介してソース電極及びドレイン電極116のいずれか一方に接続される。第
3電極105は、開口部を介して共通電極401に接続される。
【0350】
また第3電極105と同一層(
図13中Aで示す領域)で、一画素中に設けられた共通
電極401同士を、電気的に接続する。
【0351】
なお、本実施の形態は、実施の形態1から実施の形態3で述べた内容を、トランジスタ
と共に具現化した場合の一例を示しており、実施の形態4から15を変形したものを示し
ている。したがって、実施の形態1から実施の形態15で述べた内容は、本実施の形態に
も適用させたり、組み合わせたりすることが出来る。
【0352】
よって、本実施の形態の画素部の構造は、上記実施の形態と自由に組み合わせることが
できる。
【0353】
(実施の形態17)
本実施の形態では、上記実施の形態と異なる画素部の上面図について説明する。
【0354】
図14には、
図13と異なり、櫛歯状の第1電極103及び櫛歯状の第3電極105が
長辺の中心部で曲がったくの字型を有する。曲げられる箇所は中心部でなくともよい。ま
た複数箇所で曲げられてもよい。このようにくの字型に曲げられた第1電極103及び第
3電極105により、視野角を広くすることができ好ましい。くの字型の第1電極103
及び第3電極105の第1の方向に沿う液晶分子と、第2の方向に沿う液晶分子が存在す
るからである。
【0355】
また、同様の効果を得るために、画素の中心線から2つの領域にわけ、第1の領域では
直線状の第1電極103及び第3電極105が一定の角度をもって配置されており、第2
の領域では中心線を基準に線対称とするように直線状の第1電極103及び第3電極10
5が配置される形態であってもよい。
【0356】
なお、本実施の形態は、実施の形態1から実施の形態3で述べた内容を、トランジスタ
と共に具現化した場合の一例を示しており、実施の形態4から16を変形したものを示し
ている。したがって、実施の形態1から実施の形態16で述べた内容は、本実施の形態に
も適用させたり、組み合わせたりすることが出来る。
【0357】
(実施の形態18)
本実施の形態では、
図1に示した構成において、反射領域Aと透過領域Bとを有する液
晶表示装置の構造について説明する。
【0358】
図15に示すように、反射領域には反射電極652が設けられている。透過領域には反
射電極652と接続された透光性電極654が設けられている。透光性電極654は共通
電極としても機能する。また液晶材料653を介して対向基板155が設けられている。
【0359】
また液晶材料653を介して設けられた対向基板155の外側に位相差板650を配置
する。つまり、対向基板155と偏光板の間に、位相差板650を配置する。位相差板に
は、λ/4板やλ/2板がある。位相差板を設けることにより、反射領域と、透過領域と
で、光の透過量を適切に制御することができる。そのため、透過型として表示させるとき
と、反射型として表示させるときとで、概ね同様な画像を表示させることができる。
【0360】
その他の構成は
図1と同様であるため説明を省略する。
【0361】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0362】
なお、実施の形態1から実施の形態17で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0363】
(実施の形態19)
本実施の形態では上記実施の形態と異なり、位相差板を対向基板の内側に設ける構造を
説明する。
【0364】
図16に示すように、対向基板155の内側、つまり液晶材料653側に位相差板65
0を配置する。このような構成により、反射領域と、透過領域とで、光の透過量を適切に
制御することができる。そのため、透過型として表示させるときと、反射型として表示さ
せるときとで、概ね同様な画像を表示させることができる。
【0365】
その他の構成は
図15と同様であるため説明を省略する。
【0366】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0367】
なお、実施の形態1から実施の形態18で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0368】
(実施の形態20)
本実施の形態では、反射領域と透過領域とにおけるセルギャップを制御する構成につい
て説明する。
【0369】
図17に示すように、対向基板155側に、セルギャップを調整するための膜657を
設ける。膜657の上(液晶に近い側)に、配向膜を形成する。このような膜657はア
クリルなどの有機材料によって作製される。セルギャップは、反射領域の方が、透過領域
より小さくなるようにする。このような構成により、反射領域と、透過領域とで、光の透
過量を適切に制御することができる。そのため、透過型として表示させるときと、反射型
として表示させるときとで、概ね同様な画像を表示させることができる。
【0370】
その他の構成は
図15と同様であるため説明を省略する。
【0371】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0372】
なお、実施の形態1から実施の形態19で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0373】
(実施の形態21)
本実施の形態では、上記実施の形態と異なり、セルギャップを調整するための膜に、光
散乱用粒子を混在させた構成について説明する。
【0374】
図18に示すように、セルギャップを調整するための膜657に、光散乱用粒子658
を混在させる。光散乱用粒子658とは、セルギャップ調整膜とは異なる屈折率を有する
材質で出来ている。このような光散乱用粒子を、セルギャップを調整するための膜に混在
させて作製すればよい。
【0375】
このような構成により、光を拡散させることが出来るため、輝度を向上させることが出
来る。
【0376】
その他の構成は
図15と同様であるため説明を省略する。
【0377】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0378】
なお、実施の形態1から実施の形態20で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0379】
(実施の形態22)
本実施の形態では、
図1に示した構成において、反射領域を設けた構成について説明す
る。
【0380】
図19に示すように、本実施の形態は、ゲート電極113と同時に形成した電極を反射
電極652としている反射型である。この反射電極652を、ゲート配線と概ね平行に配
置することにより、レイアウトが効率的にできるようになる。また、ゲート配線と同時に
形成できるため、プロセス工程を低減し、コストを低減することが出来る。
【0381】
なお、実施の形態1から実施の形態21で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0382】
(実施の形態23)
本実施の形態では、上記実施の形態22と、反射領域と、透過領域を設けた点が異なる
構成について説明する。
【0383】
図20に示すように、本実施の形態の構成は、ゲート電極113と同時に形成した電極
を反射電極652としている半透過型である。この反射電極652を、コモン配線として
使用できる。また、ゲート配線と概ね平行に配置することにより、レイアウトが効率的に
できるようになる。また、ゲート配線と同時に形成できるため、プロセス工程を低減し、
コストを低減することが出来る。
【0384】
なお、実施の形態1から実施の形態22で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0385】
(実施の形態24)
本実施の形態では、上記実施の形態23と、反射電極と、透光性電極との作製順序が異
なる構成について説明する。
【0386】
図21に示すように、先に透光性電極654を形成し、透光性電極654上の一部に反
射電極652を形成する。そして反射電極652には、電極117が接続される。
【0387】
このような構成により、反射電極652をゲート電極113と同時に形成できる。この
反射電極652を、コモン配線として使用できる。また、ゲート配線と概ね平行に配置す
ることにより、レイアウトが効率的にできるようになる。ゲート配線と同時に形成できる
ため、プロセス工程を低減し、コストを低減することが出来る。
【0388】
その他の構成は
図20と同様であるため説明を省略する。
【0389】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0390】
なお、実施の形態1から実施の形態23で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0391】
(実施の形態25)
本実施の形態では、上記実施の形態24と、透光性電極を設けない点が異なる構成につ
いて説明する。
【0392】
図22に示すように、反射領域には反射電極652を形成するが、透過領域には電極を
形成しない。そして反射電極652には、電極117が接続される。
【0393】
このような構成により、反射電極652をゲート電極113と同時に形成できる。この
反射電極652を、コモン配線として使用できる。また、ゲート配線と概ね平行に配置す
ることにより、レイアウトが効率的にできるようになる。ゲート配線と同時に形成できる
ため、プロセス工程を低減し、コストを低減することが出来る。
【0394】
その他の構成は
図21と同様であるため説明を省略する。
【0395】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0396】
なお、実施の形態1から実施の形態24で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0397】
(実施の形態26)
本実施の形態では、上記実施の形態22と、コモン配線として機能する導電層659を
設けた点が異なる構成について説明する。
【0398】
図23に示すように、反射領域において、下地層101上に導電層659を形成する。
導電層659はゲート電極と同時に作製することができる。そして、導電層659に接続
した反射電極として機能する電極117を有する。
【0399】
このような構成により、この導電層659を、コモン配線として使用できる。また、ゲ
ート配線と概ね平行に配置することにより、レイアウトが効率的にできるようになる。ゲ
ート配線と同時に形成できるため、プロセス工程を低減し、コストを低減することが出来
る。
【0400】
その他の構成は
図19と同様であるため説明を省略する。
【0401】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0402】
なお、実施の形態1から実施の形態25で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0403】
(実施の形態27)
本実施の形態では、上記実施の形態26と、コモン配線として機能する導電層659を
反射領域に有し、さらに透過領域を設けた点が異なる構成について説明する。
【0404】
図24に示すように、反射領域において、下地層101上に導電層659を形成し、導
電層659に接続された反射電極として機能させる電極117を形成する。さらに透過領
域には、電極117に接続された透光性電極654を形成する。
【0405】
このような構成により、この導電層659を、コモン配線として使用できる。また、ゲ
ート配線と概ね平行に配置することにより、レイアウトが効率的にできるようになる。ゲ
ート配線と同時に形成できるため、プロセス工程を低減し、コストを低減することが出来
る。
【0406】
その他の構成は
図23と同様であるため説明を省略する。
【0407】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0408】
なお、実施の形態1から実施の形態26で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0409】
(実施の形態28)
本実施の形態では、上記実施の形態27と、反射電極と、透光性電極との作製順序が異
なる構成について説明する。
【0410】
図25に示すように、先に透光性電極654を形成し、透光性電極654上の一部に反
射電極として機能させる電極117を形成する。
【0411】
このような構成により、導電層659を、コモン配線として使用できる。また、ゲート
配線と概ね平行に配置することにより、レイアウトが効率的にできるようになる。ゲート
配線と同時に形成できるため、プロセス工程を低減し、コストを低減することが出来る。
【0412】
その他の構成は
図24と同様であるため説明を省略する。
【0413】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0414】
なお、実施の形態1から実施の形態27で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0415】
(実施の形態29)
本実施の形態では、上記実施の形態28と、コモン配線として機能する導電層659を
反射領域に形成し、透光性電極を設けない点が異なる構成について説明する。
【0416】
図26に示すように、反射領域には導電層659を形成するが、透過領域には電極を形
成しない。そして導電層659には、反射電極として機能する電極117が接続される。
【0417】
このような構成により、導電層659を、コモン配線として使用できる。また、ゲート
配線と概ね平行に配置することにより、レイアウトが効率的にできるようになる。ゲート
配線と同時に形成できるため、プロセス工程を低減し、コストを低減することが出来る。
【0418】
その他の構成は
図25と同様であるため説明を省略する。
【0419】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0420】
なお、実施の形態1から実施の形態28で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0421】
(実施の形態30)
本実施の形態では、上記実施の形態29と、透過領域に透光性電極を形成する点が異な
る構成について説明する。
【0422】
図27に示すように、反射領域に形成された導電層659を有し、透過領域には、導電
層659に接続された透光性電極654を形成する。そして導電層659には、電極11
7が接続される。導電層659は、反射電極としても機能し、コモン配線としても機能す
る。
【0423】
このような構成により、導電層659を、コモン配線として使用できる。また、ゲート
配線と概ね平行に配置することにより、レイアウトが効率的にできるようになる。ゲート
配線と同時に形成できるため、プロセス工程を低減し、コストを低減することが出来る。
【0424】
その他の構成は
図25と同様であるため説明を省略する。
【0425】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0426】
なお、実施の形態1から実施の形態29で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0427】
(実施の形態31)
本実施の形態では、上記実施の形態30と、反射領域において、絶縁層に凹凸形状部を
形成した点が異なる構成について説明する。
【0428】
図28に示すように、反射領域において、絶縁層106に凹凸部を形成する。
【0429】
絶縁層106の凹凸部に沿うように、導電層660を形成する。導電層660は、反射
性の高い材料を使用する。導電層660は、電極117と同一材料から形成してもよい。
絶縁層106の凹凸部に沿うように形成された導電層660により、反射率を高めること
ができる。
【0430】
また、凹凸部は、絶縁層106にコンタクトホールを開けるのと同時に形成することが
出来る。よって、プロセス工程の増加が必要なく、反射領域に凹凸を形成することができ
る。
【0431】
また透過領域において、導電層659に接続された透光性電極654を形成する。透光
性電極654は、導電層660とも接続される。導電層659は、反射電極として機能す
る。
【0432】
その他の構成は
図27と同様であるため説明を省略する。
【0433】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0434】
なお、実施の形態1から実施の形態30で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0435】
(実施の形態32)
本実施の形態では、上記実施の形態31と、反射電極と、透光性電極との作製順序が異
なる構成について説明する。
【0436】
図29に示すように、先に、透光性電極654を形成する。そして、反射領域のみに、
透光性電極654に接続される導電層659を形成する。導電層659は、反射電極とし
て機能する。その後、絶縁層106に凹凸部を設け、この凹凸部に沿うように、導電層6
60を形成する。導電層660は、導電層659に接続される。
【0437】
また、凹凸部は、絶縁層106にコンタクトホールを開けるのと同時に行うことが出来
る。よって、プロセス工程の増加が必要なく、反射領域に凹凸を形成することができる。
【0438】
その他の構成は
図28と同様であるため説明を省略する。
【0439】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0440】
なお、実施の形態1から実施の形態31で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0441】
(実施の形態33)
本実施の形態では、上記実施の形態32と、透光性電極を形成しない点が異なる構成に
ついて説明する。
【0442】
図30に示すように、反射領域に導電層659を形成する。導電層659は反射電極と
して機能する。そして、透過領域には、透光性電極を形成しない。その後絶縁層106に
凹凸部を設け、この凹凸部に沿うように導電層660は設けられ、導電層659と接続さ
れる。このとき、導電層660の下面、つまり凹部に設けられた導電層660の底面は、
すべて導電層659に接する構成とする。
【0443】
また、凹凸部は、絶縁層106にコンタクトホールを開けるのと同時に行うことが出来
る。よって、プロセス工程の増加が必要なく、反射領域に凹凸を形成することができる。
【0444】
その他の構成は
図29と同様であるため説明を省略する。
【0445】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0446】
なお、実施の形態1から実施の形態32で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0447】
(実施の形態34)
本実施の形態では、上記実施の形態33と、凹部に設けられた導電層660の底面の一
部のみが、導電層659に接する点が異なる構成について説明する。
【0448】
図31に示すように、導電層660の下面、つまり凹部に設けられた導電層660の底
面の一部のみ、導電層659に接し、導電層の底面の他部は、下地層101に接する。
【0449】
また、この凹凸部は、絶縁層106にコンタクトホールを開けるのと同時に行うことが
出来る。よって、プロセス工程の増加が必要なく、反射領域に凹凸部を形成することがで
きる。
【0450】
その他の構成は
図31と同様であるため説明を省略する。
【0451】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0452】
なお、実施の形態1から実施の形態33で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0453】
(実施の形態35)
本実施の形態では、上記実施の形態25と、絶縁層107に開口部を設けた点が異なる
構成について説明する。
【0454】
図32に示すように、絶縁層107に開口部を形成する。開口部を形成する領域は、透
過領域とする。
【0455】
このような構成により、透過領域でのセルギャップを厚くすることが出来る。
【0456】
また反射領域に設けられた導電層659は、反射電極として機能し、電極117を介し
て第3電極105に接続される。
【0457】
その他の構成は
図22と同様であるため説明を省略する。
【0458】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0459】
なお、実施の形態1から実施の形態34で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0460】
(実施の形態36)
本実施の形態では、上記実施の形態35と、透過領域に透光性電極を形成した点が異な
る構成について説明する。
【0461】
図33に示すように、透過領域に透光性電極654を形成する。透光性電極654は、
反射領域に設けられた導電層659と接続される。
【0462】
このような構成により、透過領域でのセルギャップを厚くすることが出来る。
【0463】
その他の構成は
図32と同様であるため説明を省略する。
【0464】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制御
することができる。
【0465】
なお、実施の形態1から実施の形態35で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0466】
(実施の形態37)
本実施の形態では、上記実施の形態36と、反射電極と、透光性電極との作製順序が異
なる構成について説明する。
【0467】
図34に示すように、下地層101上に、透光性電極654を形成する。その後、反射
領域のみに、導電層659を形成する。導電層659は、反射電極として機能する。
【0468】
このような構成により、透過領域でのセルギャップを厚くすることが出来る。
【0469】
その他の構成は
図33と同様であるため説明を省略する。
【0470】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0471】
なお、実施の形態1から実施の形態36で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0472】
(実施の形態38)
本実施の形態では、上記実施の形態37と、反射電極を絶縁層106上に形成した点が異
なる構成について説明する。
【0473】
図35に示すように、絶縁層106に開口部を形成し、導電層659と接続された電極
117を形成する。電極117を反射電極として機能させるため、反射領域にのみ形成さ
れる。その後、電極117を覆うように、絶縁層107を形成し、透過領域において、絶
縁層107に開口部を形成する。
【0474】
このような構成により、透過領域でのセルギャップを厚くすることが出来る。
【0475】
その他の構成は
図34と同様であるため説明を省略する。
【0476】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0477】
なお、実施の形態1から実施の形態37で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0478】
(実施の形態39)
本実施の形態では、上記実施の形態38と、絶縁層106に凹凸部を設けた点が異なる
構成について説明する。
【0479】
図36に示すように、下地層101上に設けられた導電層659と、導電層659を覆
う絶縁層106を有する。絶縁層106は、導電層659上方にて、凹凸部が形成される
。この凹凸部を沿うように導電層660が形成される。導電層660は、導電層659と
接続される。導電層660は、電極117と同一材料から形成してもよい。このとき、導
電層660の下面、つまり凹部に設けられた導電層660の底面全体が、導電層659に
接する。
【0480】
このような構成により、透過領域でのセルギャップを厚くすることが出来る。
【0481】
その他の構成は
図35と同様であるため説明を省略する。
【0482】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0483】
なお、実施の形態1から実施の形態38で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0484】
(実施の形態40)
本実施の形態では、上記実施の形態39と、凹部に設けられた導電層660の底面の一
部のみ、導電層659に接した点が異なる構成について説明する。
【0485】
図37に示すように、絶縁層106は、導電層659上方にて、凹凸部が形成される。
この凹凸部に沿うように形成された導電層660を有する。導電層660は、その下面、
つまり凹部に設けられた導電層660の底面の一部のみ、導電層659に接する。また導
電層659に接して透光性電極654が設けられており、導電層の底面の他部は、透光性
電極654に接する。
【0486】
このような構成により、透過領域でのセルギャップを厚くすることが出来る。
【0487】
その他の構成は
図36と同様であるため説明を省略する。
【0488】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0489】
なお、実施の形態1から実施の形態39で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0490】
(実施の形態41)
本実施の形態では、上記実施の形態30と、導電層660が、同一絶縁層上に形成され
た導電層659と、透光性電極654とに接続した点が異なる構成について説明する。
【0491】
図38に示すように、下地層101上に形成された導電層659、及び透光性電極65
4を覆って、絶縁層106は形成される。絶縁層106には、導電層659、及び透光性
電極654が露出されるような開口部が形成される。開口部に導電層660を形成するこ
とにより、導電層659と、透光性電極654とに接続する。
【0492】
このような構成により、導電層659をコモン配線として用いることが出来る。
【0493】
その他の構成は
図27と同様であるため説明を省略する。
【0494】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0495】
なお、実施の形態1から実施の形態40で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0496】
(実施の形態42)
本実施の形態では、上記実施の形態41と、絶縁層107に開口部を設けた点が異なる
構成について説明する。
【0497】
図39に示すように、透過領域において、絶縁層107に開口部が設けられ、一部の第
1電極103、第3電極105は、絶縁層106上に形成される。
【0498】
このような構成により、導電層659をコモン配線として用いることが出来る。
【0499】
その他の構成は
図38と同様であるため説明を省略する。
【0500】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制御
することができる。
【0501】
なお、実施の形態1から実施の形態41で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0502】
(実施の形態43)
本実施の形態では、上記実施の形態42と、絶縁層106に凹凸形状の開口部を形成す
る点が異なる構成について説明する。
【0503】
図40に示すように、反射領域において、絶縁層106に凹凸部を形成する。この凹凸
部を沿うように、導電層660を形成する。そして導電層660の一部に第3電極105
が接続され、導電層660の他部に導電層659と、透光性電極654とが接続される。
【0504】
このような構成により、導電層659をコモン配線として用いることが出来る。
【0505】
その他の構成は
図39と同様であるため説明を省略する。
【0506】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0507】
なお、実施の形態1から実施の形態42で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0508】
(実施の形態44)
本実施の形態では、
図2の構成において、反射領域と透過領域を設け、反射領域のみに
反射電極652を有する構成について説明する。
【0509】
図41に示すように、反射領域において、反射電極652を絶縁層106上に形成する
。そして、反射電極652と、第3電極105とが接続される。
【0510】
その他の構成は
図2と同様であるため説明を省略する。
【0511】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0512】
なお、実施の形態1から実施の形態43で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0513】
(実施の形態45)
本実施の形態では、上記実施の形態44と、凹凸部を有する絶縁層106に反射電極を
形成する点が異なる構成について説明する。
【0514】
図42に示すように、反射領域において、絶縁層106に凹凸部を形成する。この凹凸
部を沿うように、反射電極652を形成する。そして反射電極652と、第3電極105
とが接続される。
【0515】
また、この凹凸部は、絶縁層106にコンタクトホールを開けるのと同時に形成するこ
とが出来る。よって、プロセス工程の増加が必要なく、凹凸形状の反射電極を形成するこ
とができる。
【0516】
その他の構成は
図41と同様であるため説明を省略する。
【0517】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0518】
なお、実施の形態1から実施の形態44で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0519】
(実施の形態46)
本実施の形態では、上記実施の形態44と、絶縁層107に開口部を形成した点が異な
る構成について説明する。
【0520】
図43に示すように、透過領域において、絶縁層107に開口部を形成する。また反射
電極652は、絶縁層106上に形成される。
【0521】
その他の構成は
図41と同様であるため説明を省略する。
【0522】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0523】
なお、実施の形態1から実施の形態45で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0524】
(実施の形態47)
本実施の形態では、
図2に示した構成において、反射領域のみを設けた構成について説
明する。
【0525】
図44に示すように、
図2に示した配線121を形成せず、反射領域において、絶縁層
106上に反射電極652を形成する。
【0526】
その他の構成は
図2と同様であるため説明を省略する。
【0527】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0528】
なお、実施の形態1から実施の形態46で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0529】
(実施の形態48)
本実施の形態では、上記実施の形態47と、絶縁層106に凹凸形状の開口部を設け、
凹凸形状に沿うように反射電極を形成した点が異なる構成について説明する。
【0530】
図45に示すように、反射領域において、絶縁層106の表面に凹凸部を設け、この凹
凸部に沿うように反射電極652を形成する。絶縁層106に形成する凹凸形状は、開口
部でなくても構わない。また薄膜トランジスタのソース電極、及びドレイン電極用の開口
部と同時に形成することもできる。なお、凹凸形状により反射率を高めることを目的とし
ており、その範囲を逸脱しない形状であれば、どのような形状であってもよい。
【0531】
また、この凹凸部は、絶縁層106にコンタクトホールを開けるのと同時に形成するこ
とが出来る。よって、プロセス工程の増加が必要なく、反射電極に凹凸を形成することが
できる。
【0532】
その他の構成は
図44と同様であるため説明を省略する。
【0533】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0534】
なお、実施の形態1から実施の形態47で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0535】
(実施の形態49)
本実施の形態では、上記実施の形態47と、絶縁層106上に突起物を形成した点が異
なる構成について説明する。
【0536】
図46に示すように、反射領域において、絶縁層106上に導電層602を形成する。
導電層602は、ソース電極及びドレイン電極116と同一層で形成することができる。
【0537】
導電層602上に凹凸形状を形成するため、突起物603を形成する。突起物603は
、有機層をパターニングすることにより形成する。突起物603を覆うように、導電層6
04を形成する。導電層602と、導電層604とは、突起物603の間で、接続される
。導電層604は、反射電極として機能する。
【0538】
導電層604は、絶縁層107に設けられた開口部を介して、第3電極105と接続さ
れる。
【0539】
その他の構成は
図44と同様であるため説明を省略する。
【0540】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0541】
なお、実施の形態1から実施の形態48で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0542】
(実施の形態50)
本実施の形態では、上記実施の形態49と、導電層602を形成しない点が異なる構成
について説明する。
【0543】
図47に示すように、絶縁層106上に、突起物603を形成し、突起物603を覆う
ように、導電層604を形成する。導電層604は、反射電極として機能する。
【0544】
その他の構成は
図46と同様であるため説明を省略する。
【0545】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0546】
なお、実施の形態1から実施の形態49で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0547】
(実施の形態51)
本実施の形態では、上記実施の形態47と、反射領域と、透過領域とを設けた点が異な
る構成について説明する。
【0548】
図48に示すように、反射領域において、絶縁層106上に反射電極652を形成する
。反射電極652に接続された透光性電極654を、透過領域において形成する。
【0549】
その他の構成は
図44と同様であるため説明を省略する。
【0550】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0551】
なお、実施の形態1から実施の形態50で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0552】
(実施の形態52)
本実施の形態では、上記実施の形態51と、反射電極と、透光性電極との作製順序が異
なる構成について説明する。
【0553】
図49に示すように、反射領域及び透過領域に渡って、透光性電極654を形成する。
その後反射領域に、透光性電極654に接続された反射電極652を形成する。
【0554】
その他の構成は
図48と同様であるため説明を省略する。
【0555】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0556】
なお、実施の形態1から実施の形態51で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0557】
(実施の形態53)
本実施の形態では、上記実施の形態51と、透過領域において、絶縁層106、107
に開口部を設けた点が異なる構成について説明する。
【0558】
図50に示すように、透過領域の絶縁層106に開口部を形成する。反射領域では、絶
縁層106上に反射電極652を形成する。反射電極652に接続された透光性電極65
4を、絶縁層106の開口部に形成する。
【0559】
その後、透過領域において、絶縁層107にも開口部を形成する。開口部を形成するこ
とにより、透光性電極654が露出する。露出された透光性電極654に、一部の第1電
極103、第3電極105を形成する。
【0560】
その他の構成は
図48と同様であるため説明を省略する。
【0561】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0562】
なお、実施の形態1から実施の形態52で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0563】
(実施の形態54)
本実施の形態では、上記実施の形態51と、反射領域において、絶縁層106に凹凸形
状を設けた点が異なる構成について説明する。
【0564】
図51に示すように、反射領域において、絶縁層106に凹凸部を設け、この凹凸部に
沿うように、反射電極652を形成する。凹凸形状により、反射電極652の反射率を高
めることができる。
【0565】
また、この凹凸形状は、絶縁層106にコンタクトホールを開けるのと同時に形成する
ことが出来る。よって、プロセス工程の増加が必要なく、反射電極に凹凸を形成すること
ができる。
【0566】
そして、反射領域、及び透過領域に渡って、透光性電極654を形成する。透光性電極
654は、反射領域に設けられた反射電極652に接続される。また透光性電極654は
、第3電極105と接続される。
【0567】
その他の構成は
図48と同様であるため説明を省略する。
【0568】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0569】
なお、実施の形態1から実施の形態53で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0570】
(実施の形態55)
本実施の形態では、上記実施の形態51と、反射領域において、突起物を形成した点が
異なる構成について説明する。
【0571】
図52に示すように、反射領域において、絶縁層106上に突起物603を形成する。
突起物603を覆うように、導電層604を形成する。導電層604は、反射電極として
機能する。
【0572】
透過領域において、透光性電極654を形成する。透光性電極654は、反射領域に形
成された導電層604と接続される。
【0573】
その他の構成は
図48と同様であるため説明を省略する。
【0574】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0575】
なお、実施の形態1から実施の形態54で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0576】
(実施の形態56)
本実施の形態では、上記実施の形態55と、反射電極652と、透光性電極654との
作製順序が異なる構成について説明する。
【0577】
図53に示すように、反射領域、及び透過領域に渡って、透光性電極654を形成する
。反射領域において、透光性電極654と接続するように、反射電極652を形成する。
本実施の形態では、透光性電極654の一部と重なるように反射電極652を形成する。
【0578】
反射領域において、反射電極652上に、突起物603を形成する。突起物603を覆
うように、導電層604を形成する。導電層604と、反射電極652は、突起物の間で
接続される。
【0579】
その他の構成は
図52と同様であるため説明を省略する。
【0580】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0581】
なお、実施の形態1から実施の形態55で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0582】
(実施の形態57)
本実施の形態では、上記実施の形態56と、反射電極652を形成しない点が異なる構
成について説明する。
【0583】
図54に示すように、反射領域、及び透過領域に渡って、透光性電極654を形成する
。反射領域において、突起物603を形成する。一部の突起物603は、透光性電極65
4上にも形成される。
【0584】
これら突起物603を覆うように、導電層604を形成する。導電層604は、反射電
極として機能する。
【0585】
その他の構成は
図53と同様であるため説明を省略する。
【0586】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0587】
なお、実施の形態1から実施の形態56で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0588】
(実施の形態58)
本実施の形態では、上記実施の形態51と、反射領域において絶縁層106上に突起物
603を形成した点が異なる構成について説明する。
【0589】
図55に示すように、反射領域において、絶縁層106上に反射電極652を形成する
。反射電極652上には、突起物603を形成する。突起物603を覆うように、導電層
604を形成する。
【0590】
その他の構成は
図48と同様であるため説明を省略する。
【0591】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0592】
なお、実施の形態1から実施の形態57で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0593】
(実施の形態59)
本実施の形態では、上記実施の形態58と異なり、反射電極652を形成しない構成に
ついて説明する。
【0594】
図56に示すように、反射領域において、突起物603を形成する。これら突起物60
3を覆うように、導電層604を形成する。導電層604は、反射電極として機能する。
【0595】
その他の構成は
図55と同様であるため説明を省略する。
【0596】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0597】
なお、実施の形態1から実施の形態58で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0598】
(実施の形態60)
本実施の形態では、上記実施の形態59と反射領域のみを有する点が異なる構成につい
て説明する。
【0599】
図57に示すように、反射領域のみを有し、反射領域に突起物603を形成する。突起
物603を覆って、導電層604が形成される。導電層604は、ソース電極及びドレイ
ン電極116と同一層から形成することができる。
【0600】
その他の構成は
図56と同様であるため説明を省略する。
【0601】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0602】
なお、実施の形態1から実施の形態59で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0603】
(実施の形態61)
本実施の形態では、上記実施の形態59と反射領域に形成する突起物及び導電層を形成
した後、透過領域に導電層を形成した点が異なる構成について説明する。
【0604】
図58に示すように、反射領域において、突起物603を形成する。突起物603を覆
うように、導電層604を形成する。導電層604は、反射電極として機能する。
【0605】
反射領域、及び透過領域に渡って、透光性電極654を形成する。透光性電極654は
、導電層604と接続される。
【0606】
その他の構成は
図56と同様であるため説明を省略する。
【0607】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0608】
なお、実施の形態1から実施の形態60で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0609】
(実施の形態62)
本実施の形態では、上記実施の形態61とは、導電層604と、透光性電極654との
作製順序が異なる構成について説明する。
【0610】
図59に示すように、反射領域に突起物603を形成する。一部の突起物603を覆い
つつ、透過領域に透光性電極654を形成する。その後、反射領域に、透光性電極654
に接続された導電層604を形成する。導電層604は、反射電極として機能する。
【0611】
その他の構成は
図58と同様であるため説明を省略する。
【0612】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0613】
なお、実施の形態1から実施の形態61で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0614】
(実施の形態63)
本実施の形態では、上記実施の形態59と反射領域に突起物603を形成し、突起物6
03を覆う導電層に、ソース電極及びドレイン電極と同一層を用いた点が異なる構成につ
いて説明する。
【0615】
図60に示すように、反射領域に突起物603を形成する。突起物603を覆うように
導電層604を形成する。導電層604は、ソース電極及びドレイン電極と同一層を用い
ることができ、反射電極として機能する。
【0616】
その他の構成は
図56と同様であるため説明を省略する。
【0617】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0618】
なお、実施の形態1から実施の形態62で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0619】
(実施の形態64)
本実施の形態では、
図3に示した構成において、反射領域を設けた構成について説明す
る。
【0620】
図61に示すように、
図3で示した配線131を形成せず、下地層101上に反射電極
652を形成する。
【0621】
その他の構成は
図3と同様であるため説明を省略する。
【0622】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0623】
なお、実施の形態1から実施の形態63で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0624】
(実施の形態65)
本実施の形態では、上記実施の形態64と、反射領域と透過領域を設けた点が異なる構
成について説明する。
【0625】
図62に示すように、反射領域において反射電極652を形成した後、反射領域、及び
透過領域に渡って、透光性電極654を形成する。
【0626】
その他の構成は
図61と同様であるため説明を省略する。
【0627】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0628】
なお、実施の形態1から実施の形態64で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0629】
(実施の形態66)
本実施の形態では、上記実施の形態65とは、反射電極と、透光性電極との作製順序が
異なる構成について説明する。
【0630】
図63に示すように、反射領域、及び透過領域に渡って透光性電極654を形成する。
その後、反射領域にのみ、反射電極652を形成する。
【0631】
その他の構成は
図62と同様であるため説明を省略する。
【0632】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0633】
なお、実施の形態1から実施の形態65で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0634】
(実施の形態67)
本実施の形態では、上記実施の形態65と反射電極を反射領域のみに選択的に形成した
点が異なる構成について説明する。
【0635】
図64に示すように、反射領域にのみ、反射電極652を形成する。
【0636】
その他の構成は
図61と同様であるため説明を省略する。
【0637】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0638】
なお、実施の形態1から実施の形態66で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0639】
(実施の形態68)
本実施の形態では、
図4に示した構成において、反射領域を設けた構成について説明す
る。
【0640】
図65に示すように、
図4で示した導電層402を形成せず、反射領域において、反射
電極652を形成する。その後、反射電極652は、薄膜トランジスタ160のゲート絶
縁層412に覆われる。ゲート絶縁層412、絶縁層106に開口部を設け、開口部を介
して、反射電極652と、第3電極105とが接続される。
【0641】
このような構成により、反射電極652をコモン配線として用いることが出来る。
【0642】
その他の構成は
図4と同様であるため説明を省略する。
【0643】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0644】
なお、実施の形態1から実施の形態67で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0645】
(実施の形態69)
本実施の形態では、上記実施の形態68と、反射領域及び透過領域を設けた点が異なる
構成について説明する。
【0646】
図66に示すように、反射領域、及び透過領域に渡って、透光性電極654を形成する
。そして、反射領域にのみ、透光性電極654と接続される反射電極652を形成する。
透光性電極654及び反射電極652は、ゲート絶縁層412によって覆われる。ゲート
絶縁層412、絶縁層106に開口部を設け、開口部を介して、反射電極652と、第3
電極105とが接続される。
【0647】
このような構成により、反射電極652をコモン配線として用いることが出来る。
【0648】
その他の構成は
図65と同様であるため説明を省略する。
【0649】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0650】
なお、実施の形態1から実施の形態68で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0651】
(実施の形態70)
本実施の形態では、上記実施の形態68と、反射領域にのみ選択的に反射電極を形成し
た点が異なる構成について説明する。
【0652】
図67に示すように、反射領域にのみ選択的に反射電極652を形成する。反射電極6
52は、ゲート絶縁層412によって覆われる。ゲート絶縁層412、絶縁層106に開
口部を設け、開口部を介して、反射電極652と、第3電極105とが接続される。
【0653】
このような構成により、反射電極652をコモン配線として用いることが出来る。
【0654】
その他の構成は
図65と同様であるため説明を省略する。
【0655】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0656】
なお、実施の形態1から実施の形態69で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0657】
(実施の形態71)
本実施の形態では、上記実施の形態69と、透過領域において、絶縁層106に開口部
を形成した点が異なる構成について説明する。
【0658】
図68に示すように、透過領域、及び反射領域に渡って、透光性電極654を形成する
。そして反射領域にのみ選択的に反射電極652を形成する。透光性電極654、及び反
射電極652は、ゲート絶縁層412によって覆われる。
【0659】
透過領域において、絶縁層106に開口部を形成する。開口部において、ゲート絶縁層
412上に、一部の第1電極103、第3電極105を形成する。
【0660】
このような構成により、反射電極652をコモン配線として用いることが出来る。
【0661】
その他の構成は
図66と同様であるため説明を省略する。
【0662】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0663】
なお、実施の形態1から実施の形態70で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0664】
(実施の形態72)
本実施の形態では、上記実施の形態69と異なり、透過領域において、絶縁層106に
開口部を形成し、透光性電極を形成しない構成について説明する。
【0665】
図69に示すように、反射領域にのみ反射電極652を形成する。反射電極652は、
ゲート絶縁層412によって覆われる。
【0666】
透過領域において、絶縁層106に開口部を形成する。開口部において、ゲート絶縁層
412上に、一部の第1電極103、第3電極105を形成する。本実施の形態において
、透過領域には、透光性電極は形成しない。
【0667】
このような構成により、反射電極652をコモン配線として用いることが出来る。
【0668】
その他の構成は
図66と同様であるため説明を省略する。
【0669】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0670】
なお、実施の形態1から実施の形態71で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0671】
(実施の形態73)
本実施の形態では、
図5に示した構成において、反射領域を設けた構成について説明す
る。
【0672】
図70に示すように、
図5で示した導電層502を形成せず、反射領域に、反射電極65
2を形成する。反射電極652は、薄膜トランジスタ160のゲート絶縁層412上に設
けられる。絶縁層106に開口部を設け、開口部を介して、反射電極652と、第3電極
105とが接続される。
【0673】
またコモン配線として導電層601を形成する。導電層601は、ゲート絶縁層412
、絶縁層106の開口部を介して、第3電極105が接続される。
【0674】
その他の構成は
図5と同様であるため説明を省略する。
【0675】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0676】
なお、実施の形態1から実施の形態72で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0677】
(実施の形態74)
本実施の形態では、上記実施の形態73と反射領域に突起物を設けた点が異なる構成に
ついて説明する。
【0678】
図71に示すように、反射領域において、導電層661を形成する。導電層661は、ソ
ース電極及びドレイン電極116と同一層から形成することができる。
【0679】
導電層661上に突起物603を形成する。突起物603を覆うように導電層604を
形成する。導電層604は、反射電極として機能する。導電層604と、導電層661は
、突起物603の間で接続される。
【0680】
導電層604を覆って設けられた絶縁層106に開口部を形成する。開口部を介して導
電層604と、第3電極105とは接続する。
【0681】
その他の構成は
図70と同様であるため説明を省略する。
【0682】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0683】
なお、実施の形態1から実施の形態73で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0684】
(実施の形態75)
本実施の形態では、上記実施の形態74と、導電層661を形成しない点が異なる構成
について説明する。
【0685】
図72に示すように、反射領域において、ゲート絶縁層412上に突起物603を形成す
る。突起物603を覆うように、導電層604を形成する。導電層604を覆って設けら
れた絶縁層106に開口部を形成する。開口部を介して導電層604と、第3電極105
とは接続する。
【0686】
その他の構成は
図71と同様であるため説明を省略する。
【0687】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0688】
なお、実施の形態1から実施の形態74で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0689】
(実施の形態76)
本実施の形態では、上記実施の形態73と、透過領域及び反射領域を有し、反射領域に
のみ反射電極を形成する点が異なる構成について説明する。
【0690】
図73に示すように、反射領域において、ゲート絶縁層412上に、選択的に反射電極
652を形成する。そして、反射領域、及び透過領域に渡って、透光性電極654を形成
する。
【0691】
このような構成により、ゲート電極113と同時に形成する導電層601をコモン配線
として用いることが出来る。
【0692】
その他の構成は
図70と同様であるため説明を省略する。
【0693】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0694】
なお、実施の形態1から実施の形態75で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0695】
(実施の形態77)
本実施の形態では、上記実施の形態76と、反射領域にのみ反射電極を形成し、透光性
電極を形成しない点が異なる構成について説明する。
【0696】
図74に示すように、反射領域において、ゲート絶縁層412上に、選択的に反射電極
652を形成する。透過領域には、透光性電極654は形成しない。
【0697】
このような構成により、ゲート電極113と同時に形成する導電層601をコモン配線
として用いることが出来る。
【0698】
その他の構成は
図73と同様であるため説明を省略する。
【0699】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0700】
なお、実施の形態1から実施の形態76で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0701】
(実施の形態78)
本実施の形態では、上記実施の形態77と、反射領域にのみ反射電極を形成し、反射電
極上に突起物を形成する点が異なる構成について説明する。
【0702】
図75に示すように、反射領域において、ゲート絶縁層412上に、選択的に反射電極
652を形成する。反射電極652上に、突起物603を形成する。突起物603を覆う
ように、導電層604を形成する。導電層604は、第3電極105と接続される。
【0703】
このような構成により、ゲート電極113と同時に形成する導電層601をコモン配線と
して用いることが出来る。
【0704】
その他の構成は
図74と同様であるため説明を省略する。
【0705】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0706】
なお、実施の形態1から実施の形態77で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0707】
(実施の形態79)
本実施の形態では、上記実施の形態78と、反射電極652を形成しない点が異なる構
成について説明する。
【0708】
図76に示すように、反射領域において、ゲート絶縁層412上に、突起物603を形
成する。突起物603を覆うように、導電層604を形成する。導電層604は、反射電
極として機能する。
【0709】
このような構成により、ゲート電極113と同時に形成する導電層601をコモン配線
として用いることが出来る。
【0710】
その他の構成は
図75と同様であるため説明を省略する。
【0711】
本実施の形態であっても、2組の電極による電界によって、液晶材料の傾きを上手く制
御することができる。
【0712】
なお、実施の形態1から実施の形態78で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0713】
(実施の形態80)
図13、
図14の上面図では、ソース線からの電位を伝えられる液晶素子の電極(第1
電極103)と、コモン配線からの電位を伝えられる液晶素子の電極(第3電極105)
との少なくとも一方が櫛歯形である態様が表されているが、第1電極及び第3電極の形状
は、
図13,
図14で表されるものに限定されるわけではなく、例えばジグザグ形であっ
てもよいし、波のようにくねくねと曲がっていても良い。本形態では、
図13,
図14に
示した態様とは異なる電極形状を有する液晶表示装置の態様について
図106、107を
用いて説明する。
【0714】
図106には、ソース線からの電位を伝えられる液晶素子の電極204と、コモン配線
からの電位を伝えられる液晶素子の電極203とがいずれもジグザグ形である液晶表示装
置の態様について表されている。なお、
図106の液晶表示装置の液晶素子の電極形状は
、
図13,
図14の液晶表示装置と異なるが、その他の構成については同様である。
【0715】
また、
図107(A)のように第1電極103と第3電極をそれぞれ櫛歯形にさせたり
、
図107(B)のように、第1電極と第3電極のどちらか一方を櫛歯型にし、隣り合う
櫛歯の一端がつながっていたり、
図107(C)のように第1電極と第3電極のどちらか
一方を櫛歯型にし、隣り合う櫛歯の一端がつながっており、他端が次の櫛歯の一端とつな
がっている形状にさせたり、
図107(C)の形状の最初の櫛歯の一端と最後の櫛歯の一
端をつなげた
図107(D)の形状にすることも可能である。
【0716】
このような配置にすることにより、液晶分子の回転する方向などを、1画素内で異なる
領域が存在できるようになる。つまり、マルチドメイン構造にすることが出来る。マルチ
ドメイン構造にすることにより、ある特定の角度から見たときに、表示を正しく行えない
ということを低減することが出来る。
【0717】
なお、実施の形態1から実施の形態79で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0718】
(実施の形態81)
本発明の液晶表示装置に含まれる画素の構成について
図13,14の上面図を用いて説
明したが、画素部に設けられた配線の引き回し方については、
図108で表される回路を
含む構成であり、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することない範囲では、異なる態様
も許容される。本発明の液晶表示装置の画素回路について
図108を用いて説明する。
【0719】
図108において、ゲート線7001は、ソース線7002と交差している。また、コ
モン配線7003a及びコモン配線7003bは縦横に引き回されている。ゲート線70
01は、トランジスタ7004のゲート電極に接続している。また、ソース線7002は
、トランジスタ7004のソース電極又はドレイン電極に接続している。なお、液晶表示
装置を交流駆動させる場合は、トランジスタ7004のソース電極及びドレイン電極は、
ソース線7002から伝えられる電位によって入れ替わる為、本形態では、ソース電極又
はドレイン電極という表記をしている。液晶素子C
LCは、トランジスタ7004のソー
ス電極又はドレイン電極とコモン配線7003aとの間に設けられている。トランジスタ
7004がオン状態のときソース線7002からの電位は液晶素子C
LCへ伝えられ、ト
ランジスタ7004がオフ状態のときソース線7002からの電位は液晶素子C
LCへは
伝えられない。このようにトランジスタ7004がオフ状態でありソース線7002から
の電位が液晶素子C
LCへ伝えられないときにも液晶層を光が通るような状態にしたい場
合は、液晶素子C
LCと並列に容量素子C
sを設けておくことが好ましい。容量素子に電
圧を保持させることによって、トランジスタ7004がオフ状態でも液晶層を光が通るよ
うな状態にすることができる。
【0720】
本実施の形態で示す表示装置の上面図を
図109(A)に示し、
図109(A)におい
て線K-Lに対応する断面図を
図109(B)に示す。
図109(A)(B)における表
示装置は、外部端子接続領域852、封止領域853、信号線駆動回路を有する走査線駆
動回路854を有している。
【0721】
本実施の形態における
図109(A)(B)に示す表示装置は、基板851、薄膜トラ
ンジスタ827、薄膜トランジスタ829、薄膜トランジスタ825、シール材834、
対向基板830、配向膜831、対向電極832、スペーサー833、偏光板835a、
偏光板835b、第1の端子電極層838a、第2の端子電極層838b、異方性導電層
836、FPC837によって構成されている。表示装置は、外部端子接続領域852、
封止領域853、走査線駆動回路854、画素領域856、信号線駆動回路857を有し
ている。
【0722】
基板851上に設けられた画素領域856と、走査線駆動回路854とを囲むようにし
てシール材834が設けられる。よって画素領域856と走査線駆動回路854の上に対
向基板830が設けられる。よって画素領域856と走査線駆動回路854とは、基板8
51とシール材834と対向基板830とによって、液晶材料と共に封止される。
【0723】
基板851上に設けられた画素領域856と、走査線駆動回路854は、薄膜トランジ
スタを複数有し、
図109(B)では、画素領域856に含まれる薄膜トランジスタ82
5を例示している。
【0724】
なお、実施の形態1から実施の形態80で述べた内容は、本実施の形態にも適用させた
り、組み合わせたりすることが出来る。
【0725】
(実施の形態82)
図110に表されているのは、実施の形態1から81で説明したような本発明の液晶表
示装置を含むモジュールの態様について表す図である。基板900上には画素部930及
びゲートドライバー920及びソースドライバー940が設けられている。ゲートドライ
バー920及びソースドライバー940には、フレキシブルプリントサーキット960を
介して集積回路950から信号が入力され、入力された信号に従って画素部930にて画
像が表示される。
【0726】
(実施の形態83)
本発明の液晶表示装置を表示部に含む本発明の電子機器について
図111を用いて説明
する。
【0727】
図111(A)はディスプレイであり、筐体2001、支持台2002、表示部200
3、スピーカー部2004、ビデオ入力端子2005等を有し、表示部2003に実施の
形態1から82を用いて説明した本発明の液晶表示装置を含む。
【0728】
図111(B)はカメラであり、本体2101、表示部2102、受像部2103、操
作キー2104、外部接続ポート2105、シャッター2106等を有し、表示部210
2に実施の形態1から82を用いて説明した本発明の液晶表示装置を含む。
【0729】
図111(C)はコンピュータであり、本体2201、筐体2202、表示部2203
、キーボード2204、外部接続ポート2205、ポインティングマウス2206等を有
し、表示部2203に実施の形態1から82を用いて説明した本発明の液晶表示装置を含
む。
【0730】
図111(D)はモバイルコンピュータであり、本体2301、表示部2302、スイ
ッチ2303、操作キー2304、赤外線ポート2305等を有し、表示部2302に実
施の形態1から82を用いて説明した本発明の液晶表示装置を含む。
【0731】
図111(E)は記録媒体を備えた携帯型の画像再生装置(具体的にはDVD再生装置
)であり、本体2401、筐体2402、表示部A2403、表示部B2404、記録媒
体(DVD等)読み込み部2405、操作キー2406、スピーカー部2407等を有し
、表示部A2403に実施の形態1から82を用いて説明した本発明の液晶表示装置を含
む。
【0732】
図111(F)は電子書籍であり、本体2501、表示部2502、操作キー2503
を有し、表示部2502に実施の形態1から82を用いて説明した本発明の液晶表示装置
を含む。
【0733】
図111(G)はビデオカメラであり、本体2601、表示部2602、筐体2603
、外部接続ポート2604、リモコン受信部2605、受像部2606、バッテリー26
07、音声入力部2608、操作キー2609等を有し、表示部2602に実施の形態1
から84を用いて説明した本発明の液晶表示装置を含む。
【0734】
図111(H)は携帯電話機であり、本体2701、筐体2702、表示部2703、
音声入力部2704、音声出力部2705、操作キー2706、外部接続ポート2707
、アンテナ2708等を有し、表示部2703に実施の形態1から82を用いて説明した
本発明の液晶表示装置を含む。
【0735】
以上のように本発明の液晶表示装置を表示部に組み込むことで本発明の電子機器が完成
する。このような本発明の電子機器は、屋内でも屋外でも良好な画像を提供することがで
きる。特にカメラや撮像装置等、屋外でも屋内でも使用頻度が高い電子機器においては、
屋内及び屋外の両方において広視野角であり、画面を見る角度に依存した色味の変化が少
ないという有利な効果を存分に発揮することができる。
【符号の説明】
【0736】
100 絶縁基板
101 下地層
102 薄膜トランジスタ
103 第1電極
104 第2電極
105 第3電極
106 絶縁層
107 絶縁層
111 半導体層
112 ゲート絶縁層
113 ゲート電極
114 不純物領域
116 ソース電極及びドレイン電極
117 電極
121 配線
122 共通電極
131 配線
132 共通電極
150 カラーフィルター
151 ブラックマトリクス
152 絶縁層
153 パッシベーション層
154 パッシベーション層
155 対向基板
160 薄膜トランジスタ
203 電極
204 電極
401 共通電極
402 導電層
403 絶縁層
411 非晶質半導体層
412 ゲート絶縁層
413 走査線
416 信号線
501 共通電極
502 導電層
601 導電層
602 導電層
603 突起物
604 導電層
650 位相差板
652 反射電極
653 液晶材料
654 透光性電極
657 膜
658 光散乱用粒子
659 導電層
660 導電層
661 導電層
801 液晶層
802 液晶分子
803 電極
804 電極
825 薄膜トランジスタ
827 薄膜トランジスタ
829 薄膜トランジスタ
830 対向基板
831 配向膜
832 対向電極
833 スペーサー
834 シール材
835a 偏光板
835b 偏光板
836 異方性導電層
837 FPC
838a 第1の端子電極層
838b 第2の端子電極層
851 基板
852 外部端子接続領域
853 封止領域
854 走査線駆動回路
856 画素領域
857 信号線駆動回路
900 基板
920 ゲートドライバー
930 画素部
940 ソースドライバー
950 集積回路
960 フレキシブルプリントサーキット
1001 反射部
1002 透過部
2001 筐体
2002 支持台
2003 表示部
2004 スピーカー部
2005 ビデオ入力端子
2101 本体
2102 表示部
2103 受像部
2104 操作キー
2105 外部接続ポート
2106 シャッター
2201 本体
2202 筐体
2203 表示部
2204 キーボード
2205 外部接続ポート
2206 ポインティングマウス
2301 本体
2302 表示部
2303 スイッチ
2304 操作キー
2305 赤外線ポート
2401 本体
2402 筐体
2403 表示部A
2404 表示部B
2405 部
2406 操作キー
2407 スピーカー部
2501 本体
2502 表示部
2503 操作キー
2601 本体
2602 表示部
2603 筐体
2604 外部接続ポート
2605 リモコン受信部
2606 受像部
2607 バッテリー
2608 音声入力部
2609 操作キー
2701 本体
2702 筐体
2703 表示部
2704 音声入力部
2705 音声出力部
2706 操作キー
2707 外部接続ポート
2708 アンテナ
7001 ゲート線
7002 ソース線
7004 トランジスタ
9002 領域
9003 領域
9004 電極
9005 絶縁層
9103 電極
9104 電極
9105 電極
9201 絶縁層
9202 対向基板
9203 散乱体
9204 絶縁層
9303 液晶層
9304 絶縁層
9305 電極
9306 絶縁層
9307 散乱体
9308 絶縁層
9801 液晶層
9802 液晶分子
9803 電極
9804 電極
9805 電極
7001 ゲート線
7002 ソース線
7003a コモン配線
7003b コモン配線
7004 トランジスタ