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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-09-11
(45)【発行日】2024-09-20
(54)【発明の名称】接着シート
(51)【国際特許分類】
C09J 7/35 20180101AFI20240912BHJP
C09J 133/00 20060101ALI20240912BHJP
C09J 133/14 20060101ALI20240912BHJP
H01L 21/52 20060101ALI20240912BHJP
【ＦＩ】
C09J7/35
C09J133/00
C09J133/14
H01L21/52 E
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2020103206
(22)【出願日】2020-06-15
(65)【公開番号】P2021195458
(43)【公開日】2021-12-27
【審査請求日】2023-04-18
(73)【特許権者】
【識別番号】000003964
【氏名又は名称】日東電工株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002734
【氏名又は名称】弁理士法人藤本パートナーズ
(72)【発明者】
【氏名】大西 謙司
(72)【発明者】
【氏名】木村 雄大
(72)【発明者】
【氏名】宍戸 雄一郎
(72)【発明者】
【氏名】高本 尚英
【審査官】澤村 茂実
(56)【参考文献】
【文献】特開２００８－０６３５５１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１１－１２７０７３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－１３４８４１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－１３７４５３（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｃ０９Ｊ １／００－２０１／１０
Ｈ０１Ｌ ２１／５２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
樹脂組成物を備える接着シートであって、前記樹脂組成物が、熱硬化性樹脂と無機フィラーとを有し、
前記熱硬化性樹脂が、エポキシ基を有するアクリル樹脂を含み、
前記無機フィラーの含有量が、１５～５０質量％であり、
前記無機フィラーのＤ５０が、５～３０ｎｍであり、
熱硬化後の前記樹脂組成物の厚み２０μｍのシートの平行線透過率が、波長３５０ｎｍの光において８０％以上であり、
熱硬化前における２５℃の引張貯蔵弾性率が１０ＭＰａ～３，０００ＭＰａである、接着シート。
【請求項2】
熱硬化前における１００℃のせん断貯蔵弾性率が５ｋＰａ～８００ｋＰａである、請求項１に記載の接着シート。
【請求項3】
熱硬化後の前記樹脂組成物は、１２０℃でのＳｉウエハへの接着力が０．５ＭＰａ以上である、請求項１又は２に記載の接着シート。
【請求項4】
熱硬化後における１２０℃の引張損失弾性率が０．１ＭＰａ～５ＭＰａである、請求項１～３の何れか１項に記載の接着シート。
【請求項5】
熱硬化後における２５０℃の引張貯蔵弾性率が０．５ＭＰａ～１５０ＭＰａである、請求項１～４の何れか１項に記載の接着シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、接着シートに関する。
【背景技術】
【0002】
ガラス部材同士の接着などに、エポキシ樹脂とアクリル樹脂とを含む接着シートが用いられている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１５－１４０４０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、紫外線センサーにおけるガラス部材を他の部材に接着させる際に、接着シートを用い得るが、接着シートを用いる箇所によっては、接着シートが紫外線センサーの感度に影響し得る。
従って、紫外線の透過性に優れた接着シートが求められ得る。
従って、紫外線の透過性に優れた接着シートが求められ得る。
【0005】
そこで、本発明は、熱硬化後において紫外線の透過性に優れた接着シートを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明に係る接着シートは、樹脂組成物を備える接着シートであって、
前記樹脂組成物が、熱硬化性樹脂を有し、
熱硬化後の前記樹脂組成物の厚み２０μｍのシートの平行線透過率が、波長３５０ｎｍの光において８０％以上である。
前記樹脂組成物が、熱硬化性樹脂を有し、
熱硬化後の前記樹脂組成物の厚み２０μｍのシートの平行線透過率が、波長３５０ｎｍの光において８０％以上である。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、熱硬化後において紫外線の透過性に優れた接着シートを提供し得る。
【発明を実施するための形態】
【0008】
以下、本発明に係る接着シートの一実施形態について説明する。
【0009】
本実施形態に係る接着シートは、樹脂組成物で構成されている。
前記樹脂組成物は、熱硬化性樹脂を含む有機成分を備える。
また、本実施形態に係る接着シートは、無機フィラーを含む無機成分を備えてもよい。
本実施形態に係る接着シートは、樹脂組成物で構成された単層構造となっている。
前記樹脂組成物は、熱硬化性樹脂を含む有機成分を備える。
また、本実施形態に係る接着シートは、無機フィラーを含む無機成分を備えてもよい。
本実施形態に係る接着シートは、樹脂組成物で構成された単層構造となっている。
【0010】
前記有機成分は、熱硬化性樹脂を有する。
また、前記有機成分は、酸化防止剤を含有してもよい。
さらに、前記有機成分は、シランカップリング剤を含有してもよい。
また、前記有機成分は、酸化防止剤を含有してもよい。
さらに、前記有機成分は、シランカップリング剤を含有してもよい。
【0011】
本実施形態に係る接着シートは、熱硬化後の前記樹脂組成物の厚み２０μｍのシートの平行線透過率が、波長３５０ｎｍの光において、８０％以上であることが重要であり、９１％以上であることが好ましく、９２％以上であることがより好ましい。
前記平行線透過率は、全光線透過率と拡散透過率とを測定して以下の式にて算出することができる。
平行線透過率（％） ＝ 全光線透過率（％）－拡散透過率（％）
なお、全光線透過率及び拡散透過率は、ＪＩＳ Ｋ７１０５（旧；現在廃止）（ＩＳＯ １３４６８－２：１９９９）に基づいて、硬化後の前記樹脂組成物の厚み２０μｍのシートたる試料に対して測定した値であり、次のようにして測定することができる。
即ち、積分球に光を通過する入口開口と出口開口を設け、入口開口部に試料を設置し、出口開口部に反射板を取り付けることにより、試料に試料の厚み方向で光を入射して、試料から出射された光をすべて積分球で検知することを可能とした装置を用意する。
次に、出口開口部の反射板を取り除いて、試料に試料の厚み方向で光を入射して、試料から出射された全光線のうち光の進行方向以外の光を検知する。そして、試料に入射する光の強度（入射光強度）に対する、この検知された光強度の比（検知された光強度／入射光強度）を求める。この比（検知された光強度／入射光強度）を拡散透過率とする。
また、出口開口部の反射板を取り除くことなく、試料に試料の厚み方向で光を入射して、試料から出射された全光線を検知する。そして、試料に入射する光の強度（入射光強度）に対する、この検知された光強度の比（検知された光強度／入射光強度）を求める。この比（検知された光強度／入射光強度）を全光線透過率とする。
例えば、全光線透過率と拡散透過率とは、Ｖ－６７０ＤＳ（ＪＡＳＣＯ社製）によって測定することができる。
前記平行線透過率は、全光線透過率と拡散透過率とを測定して以下の式にて算出することができる。
平行線透過率（％） ＝ 全光線透過率（％）－拡散透過率（％）
なお、全光線透過率及び拡散透過率は、ＪＩＳ Ｋ７１０５（旧；現在廃止）（ＩＳＯ １３４６８－２：１９９９）に基づいて、硬化後の前記樹脂組成物の厚み２０μｍのシートたる試料に対して測定した値であり、次のようにして測定することができる。
即ち、積分球に光を通過する入口開口と出口開口を設け、入口開口部に試料を設置し、出口開口部に反射板を取り付けることにより、試料に試料の厚み方向で光を入射して、試料から出射された光をすべて積分球で検知することを可能とした装置を用意する。
次に、出口開口部の反射板を取り除いて、試料に試料の厚み方向で光を入射して、試料から出射された全光線のうち光の進行方向以外の光を検知する。そして、試料に入射する光の強度（入射光強度）に対する、この検知された光強度の比（検知された光強度／入射光強度）を求める。この比（検知された光強度／入射光強度）を拡散透過率とする。
また、出口開口部の反射板を取り除くことなく、試料に試料の厚み方向で光を入射して、試料から出射された全光線を検知する。そして、試料に入射する光の強度（入射光強度）に対する、この検知された光強度の比（検知された光強度／入射光強度）を求める。この比（検知された光強度／入射光強度）を全光線透過率とする。
例えば、全光線透過率と拡散透過率とは、Ｖ－６７０ＤＳ（ＪＡＳＣＯ社製）によって測定することができる。
【0012】
前記熱硬化性樹脂は、エポキシ基を有するアクリル樹脂を含むことが好ましい。
前記有機成分は、前記アクリル樹脂を、９０～１００質量％含むことが好ましく、９５～１００質量％含むことがより好ましい。
本実施形態に係る接着シートは、前記有機成分が前記アクリル樹脂を９０質量％以上含むことにより、熱硬化後において紫外線の透過性に優れたものとなる。
また、本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂がエポキシ基を有することから、該アクリル樹脂どうしが加熱によりエポキシ基で硬化反応することができ、その結果、接着シートとして機能することができる。
前記有機成分は、前記アクリル樹脂を、９０～１００質量％含むことが好ましく、９５～１００質量％含むことがより好ましい。
本実施形態に係る接着シートは、前記有機成分が前記アクリル樹脂を９０質量％以上含むことにより、熱硬化後において紫外線の透過性に優れたものとなる。
また、本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂がエポキシ基を有することから、該アクリル樹脂どうしが加熱によりエポキシ基で硬化反応することができ、その結果、接着シートとして機能することができる。
【0013】
また、本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂がエポキシ基を有することで、芳香環を有する硬化剤（例えば、フェノール樹脂、芳香環を有するエポキシ樹脂など）を実質的に備えなくても、接着シートとして機能することができる。
芳香環は、紫外線の透過性を低下させるものである。よって、このことからも、本実施形態に係る接着シートは、熱硬化後において紫外線の透過性に優れたものとなる。
本実施形態に係る接着シートは、芳香環を有する硬化剤を実質的に備えないことが好ましい。
芳香環は、紫外線の透過性を低下させるものである。よって、このことからも、本実施形態に係る接着シートは、熱硬化後において紫外線の透過性に優れたものとなる。
本実施形態に係る接着シートは、芳香環を有する硬化剤を実質的に備えないことが好ましい。
【0014】
前記アクリル樹脂は、構成単位として、エポキシ基を有するモノマーを有することが好ましい。
エポキシ基を有するモノマーとしては、エポキシ基を有する（メタ）アクリル酸エステル等が挙げられる。
エポキシ基を有する（メタ）アクリル酸エステルとしては、グリシジル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
エポキシ基を有するモノマーとしては、エポキシ基を有する（メタ）アクリル酸エステル等が挙げられる。
エポキシ基を有する（メタ）アクリル酸エステルとしては、グリシジル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【0015】
前記アクリル樹脂におけるエポキシ当量は、好ましくは３００～１５００、より好ましくは３００～１１００である。
本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂におけるエポキシ当量が１５００以下であることにより、接着力を高め得る。
また、本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂におけるエポキシ当量が３００以上であることにより、硬化前での保存性が良好となる。具体的には、本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂におけるエポキシ当量が３００以上であることにより、硬化前にエポキシ基が反応して特性が変化することを抑制し得る。
ここで、樹脂組成物は硬化により固くなりすぎると、高温高湿下で接着シートに局所的に応力がかかってしまって、接着シートが被着体から剥離されてしまうおそれがある。
しかし、本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂におけるエポキシ当量が３００以上であることにより、樹脂組成物が硬化により固くなりすぎるのが抑制され、その結果、被着体から剥離されるのを抑制し得る。
本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂におけるエポキシ当量が１５００以下であることにより、接着力を高め得る。
また、本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂におけるエポキシ当量が３００以上であることにより、硬化前での保存性が良好となる。具体的には、本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂におけるエポキシ当量が３００以上であることにより、硬化前にエポキシ基が反応して特性が変化することを抑制し得る。
ここで、樹脂組成物は硬化により固くなりすぎると、高温高湿下で接着シートに局所的に応力がかかってしまって、接着シートが被着体から剥離されてしまうおそれがある。
しかし、本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂におけるエポキシ当量が３００以上であることにより、樹脂組成物が硬化により固くなりすぎるのが抑制され、その結果、被着体から剥離されるのを抑制し得る。
【0016】
前記アクリル樹脂におけるエポキシ当量は、「１当量のエポキシ基を含むアクリル樹脂の質量」を意味する。
前記アクリル樹脂におけるエポキシ当量は、前記アクリル樹脂に含まれる、エポキシ基を有するモノマーごとの含有割合から求めることができる。
例えば、アクリル樹脂を構成するモノマーのうち、エポキシ基を有するモノマーが、グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）（分子量：１４２、１分子中のエポキシ基の数：１）のみであり、アクリル樹脂におけるグリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）の含有割合が４２質量％である場合は、前記アクリル樹脂におけるエポキシ当量以下のようにして求めることができる。
１４２／１／（４２質量％÷１００質量％） ＝ ３３８
前記アクリル樹脂におけるエポキシ当量は、前記アクリル樹脂に含まれる、エポキシ基を有するモノマーごとの含有割合から求めることができる。
例えば、アクリル樹脂を構成するモノマーのうち、エポキシ基を有するモノマーが、グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）（分子量：１４２、１分子中のエポキシ基の数：１）のみであり、アクリル樹脂におけるグリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）の含有割合が４２質量％である場合は、前記アクリル樹脂におけるエポキシ当量以下のようにして求めることができる。
１４２／１／（４２質量％÷１００質量％） ＝ ３３８
【0017】
前記アクリル樹脂は、エポキシ基を有するモノマーを、好ましくは１０～５０質量％、より好ましくは１６～４０質量％含有する。
本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂が、エポキシ基を有するモノマーを１０質量％以上含有することにより、接着力を高め得る。
また、本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂が、エポキシ基を有するモノマーを５０質量％以下含有することにより、硬化前での保存性が良好となる。具体的には、本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂が、エポキシ基を有するモノマーを５０質量％以下含有することにより、硬化前にエポキシ基が反応して特性が変化することを抑制し得る。
ここで、樹脂組成物は硬化により固くなりすぎると、高温高湿下で接着シートに局所的に応力がかかってしまって、接着シートが被着体から剥離されてしまうおそれがある。
しかし、本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂が、エポキシ基を有するモノマーを５０質量％以下含有することにより、樹脂組成物が硬化により固くなりすぎるのが抑制され、その結果、被着体から剥離されるのを抑制し得る。
本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂が、エポキシ基を有するモノマーを１０質量％以上含有することにより、接着力を高め得る。
また、本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂が、エポキシ基を有するモノマーを５０質量％以下含有することにより、硬化前での保存性が良好となる。具体的には、本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂が、エポキシ基を有するモノマーを５０質量％以下含有することにより、硬化前にエポキシ基が反応して特性が変化することを抑制し得る。
ここで、樹脂組成物は硬化により固くなりすぎると、高温高湿下で接着シートに局所的に応力がかかってしまって、接着シートが被着体から剥離されてしまうおそれがある。
しかし、本実施形態に係る接着シートは、前記アクリル樹脂が、エポキシ基を有するモノマーを５０質量％以下含有することにより、樹脂組成物が硬化により固くなりすぎるのが抑制され、その結果、被着体から剥離されるのを抑制し得る。
【0018】
前記アクリル樹脂に含まれる、エポキシ基を有するモノマー以外の構成単位としては、炭化水素基含有（メタ）アクリル酸エステル、カルボキシ基含有モノマー、酸無水物モノマー、ヒドロキシ基含有モノマー、スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマー等が挙げられる。また、その他にも、アクリルアミド、アクリロニトリル等も挙げられる。
【0019】
上記炭化水素基含有（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステル、（メタ）アクリル酸アリールエステル等が挙げられる。
上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルにおける「アルキル」としては、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、ｓ－ブチル、ｔ－ブチル、ペンチル、イソペンチル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、２－エチルヘキシル、イソオクチル、ノニル、デシル、イソデシル、ウンデシル、ドデシル（ラウリル）、トリデシル、テトラデシル、ヘキサデシル、オクタデシル、エイコシル等が挙げられる。
上記（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステルにおける「シクロアルキル」としては、例えば、シクロペンチル、シクロヘキシル等が挙げられる。
上記（メタ）アクリル酸アリールエステルにおける「アリール」としては、例えば、フェニル、ベンジルが挙げられる。
上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルにおける「アルキル」としては、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、ｓ－ブチル、ｔ－ブチル、ペンチル、イソペンチル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、２－エチルヘキシル、イソオクチル、ノニル、デシル、イソデシル、ウンデシル、ドデシル（ラウリル）、トリデシル、テトラデシル、ヘキサデシル、オクタデシル、エイコシル等が挙げられる。
上記（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステルにおける「シクロアルキル」としては、例えば、シクロペンチル、シクロヘキシル等が挙げられる。
上記（メタ）アクリル酸アリールエステルにおける「アリール」としては、例えば、フェニル、ベンジルが挙げられる。
【0020】
上記カルボキシ基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸等が挙げられる。
【0021】
上記酸無水物モノマーとしては、例えば、無水マレイン酸、無水イタコン酸等が挙げられる。
【0022】
上記ヒドロキシ基含有モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４－ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６－ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８－ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０－ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２－ヒドロキシラウリル、（４－ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【0023】
上記スルホン酸基含有モノマーとしては、例えば、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２－（メタ）アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸等が挙げられる。
【0024】
上記リン酸基含有モノマーとしては、例えば、２－ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート等が挙げられる。
【0025】
前記アクリル樹脂に含まれる、上記エポキシ基を有するモノマー以外の構成単位は、一種のみであってもよいし、二種以上であってもよい。
【0026】
前記アクリル樹脂に含まれる、エポキシ基を有するモノマー以外の構成単位としては、接着シートのタック性を調整しやすいという観点、及び、熱硬化後において接着シートが紫外線の透過性に優れるという観点から、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレートが好ましい。
【0027】
前記アクリル樹脂は、脂肪族系樹脂であることが好ましい。
【0028】
なお、本明細書において、「（メタ）アクリル酸」は、アクリル酸及びメタクリル酸を含む概念である。
また、「（メタ）アクリレート」は、アクリレート及びメタクリレートを含む概念である。
また、「（メタ）アクリレート」は、アクリレート及びメタクリレートを含む概念である。
【0029】
前記アクリル樹脂の質量平均分子量は、好ましくは２．０×１０３～２．９×１０５、より好ましくは１．０×１０４～２．０×１０５である。
本実施形態に係る接着シートは、前記質量平均分子量が２．０×１０３～２．９×１０５であることにより、濡れ性、及び、接着性に優れるという利点を有する。
また、本実施形態に係る接着シートは、前記質量平均分子量が２．０×１０３～２．９×１０５であることにより、被着体に埋め込むようにして接着させる場合（例えば、表面に凹部を有する被着体の凹部に埋め込むようにして接着させる場合等）に、被着体に十分に埋め込むことができる（以下、「埋め込み性に優れる」ともいう。）という利点を有する。
なお、質量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定し、ポリスチレン換算したものを意味する。
例えば、質量平均分子量は、装置として東ソー社製のＧＰＣ「ＨＬＣ－８３２０ＧＰＣ」を用い、カラムとして東ソー社製のカラム「ＴＳＫ ｇｕａｒｄｃｏｌｕｍｎ ＨＨＲ（Ｓ）」と、東ソー社製のカラム「ＴＳＫ ＧＭＨＨＲ－Ｈ（Ｓ）」と、東ソー社製のカラム「ＴＳＫ ＧＭＨＨＲ－Ｈ（Ｓ）」との合計３本のカラムを直列に繋いだものを用い、リファレンスカラムとして「ＴＳＫ ｇｅｌ ＳｕｐｅｒＨ－ＲＣ」を用い、溶離液としてテトラヒドロフランを用い、カラム温度４０℃、流量０．５ｍｌ／分にてＧＰＣ測定を行なった結果から計算して、ポリスチレン換算の値として求めることができる。
本実施形態に係る接着シートは、前記質量平均分子量が２．０×１０３～２．９×１０５であることにより、濡れ性、及び、接着性に優れるという利点を有する。
また、本実施形態に係る接着シートは、前記質量平均分子量が２．０×１０３～２．９×１０５であることにより、被着体に埋め込むようにして接着させる場合（例えば、表面に凹部を有する被着体の凹部に埋め込むようにして接着させる場合等）に、被着体に十分に埋め込むことができる（以下、「埋め込み性に優れる」ともいう。）という利点を有する。
なお、質量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定し、ポリスチレン換算したものを意味する。
例えば、質量平均分子量は、装置として東ソー社製のＧＰＣ「ＨＬＣ－８３２０ＧＰＣ」を用い、カラムとして東ソー社製のカラム「ＴＳＫ ｇｕａｒｄｃｏｌｕｍｎ ＨＨＲ（Ｓ）」と、東ソー社製のカラム「ＴＳＫ ＧＭＨＨＲ－Ｈ（Ｓ）」と、東ソー社製のカラム「ＴＳＫ ＧＭＨＨＲ－Ｈ（Ｓ）」との合計３本のカラムを直列に繋いだものを用い、リファレンスカラムとして「ＴＳＫ ｇｅｌ ＳｕｐｅｒＨ－ＲＣ」を用い、溶離液としてテトラヒドロフランを用い、カラム温度４０℃、流量０．５ｍｌ／分にてＧＰＣ測定を行なった結果から計算して、ポリスチレン換算の値として求めることができる。
【0030】
前記熱硬化性樹脂は、保存性の観点や、熱硬化後の紫外線の透過性の観点から、質量平均分子量が２×１０３以下のものを実質的に含有しないことが好ましい。
前記熱硬化性樹脂は、質量平均分子量が２×１０３以下のものを実質的に含有しないか否かは、質量平均分子量の測定方法と同じ測定方法で確認することができる。
前記熱硬化性樹脂は、質量平均分子量が２×１０３以下のものを実質的に含有しないか否かは、質量平均分子量の測定方法と同じ測定方法で確認することができる。
【0031】
前記樹脂組成物は、無機フィラーを含有する場合、無機フィラーの濡れ性が高まり、その結果、接着性が高まるという観点から、シランカップリング剤を含有することが好ましい。
【0032】
前記シランカップリング剤としては、例えば、エポキシ基を有するシランカップリング剤などが挙げられる。
前記シランカップリング剤としては、エポキシ基を有するアクリル樹脂との親和性に優れるという観点から、エポキシ基を有するシランカップリング剤が好ましい。
前記エポキシ基を有するシランカップリング剤としては、例えば、２－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン（例えば、信越シリコーン社製の「ＫＢＭ－３０３」）、３－グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン（例えば、信越シリコーン社製の「ＫＢＭ－４０２」）、３－グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（例えば、信越シリコーン社製の「ＫＢＭ－４０３」）、３－グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン（例えば、信越シリコーン社製の「ＫＢＥ－４０２」）、３－グリシドキシプロピルトリエトキシシラン（例えば、信越シリコーン社製の「ＫＢＥ－４０３」）などが挙げられる。
前記シランカップリング剤としては、エポキシ基を有するアクリル樹脂との親和性に優れるという観点から、エポキシ基を有するシランカップリング剤が好ましい。
前記エポキシ基を有するシランカップリング剤としては、例えば、２－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン（例えば、信越シリコーン社製の「ＫＢＭ－３０３」）、３－グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン（例えば、信越シリコーン社製の「ＫＢＭ－４０２」）、３－グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（例えば、信越シリコーン社製の「ＫＢＭ－４０３」）、３－グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン（例えば、信越シリコーン社製の「ＫＢＥ－４０２」）、３－グリシドキシプロピルトリエトキシシラン（例えば、信越シリコーン社製の「ＫＢＥ－４０３」）などが挙げられる。
【0033】
前記樹脂組成物は、無機フィラーを含有する場合、シランカップリング剤を、好ましくは０．１～５．０質量％、より好ましくは０．２～４．０質量％含有する。
前記樹脂組成物は、シランカップリング剤を、０．１質量％以上含有することにより、無機フィラーの濡れ性が高まり、その結果、接着性が高まる。
また、前記樹脂組成物は、シランカップリング剤を、５．０質量％以下含有することにより、アクリル樹脂を多く含むことができ、その結果、熱硬化後における紫外線の透過性がより一層優れたものとなる。
前記樹脂組成物は、シランカップリング剤を、０．１質量％以上含有することにより、無機フィラーの濡れ性が高まり、その結果、接着性が高まる。
また、前記樹脂組成物は、シランカップリング剤を、５．０質量％以下含有することにより、アクリル樹脂を多く含むことができ、その結果、熱硬化後における紫外線の透過性がより一層優れたものとなる。
【0034】
前記アクリル樹脂が酸化することで本実施形態に係る接着シートの熱硬化後における紫外線の透過性が低下するのを抑制するという観点から、本実施形態に係る接着シートは、酸化防止剤を含有することが好ましい。
【0035】
前記酸化防止剤としては、例えば、ヒンダードフェノール系酸化防止剤、リン系酸化防止剤などが挙げられる。
【0036】
前記樹脂組成物は、酸化防止剤を、好ましくは０．１～５質量％、より好ましくは０．１～２質量％含有する。
前記樹脂組成物は、酸化防止剤を０．１質量％以上含有することにより、アクリル樹脂の酸化でアクリル樹脂に炭素－炭素二重結合が生じるのを抑制することができ、その結果、紫外線の透過性が低下するのを抑制することができる。
また、前記樹脂組成物は、酸化防止剤を５質量％以下含有することにより、アクリル樹脂を多く含むことができ、その結果、熱硬化後における紫外線の透過性がより一層優れたものとなり、また、酸化防止剤自体による紫外線の透過性の低下を抑制することができる。
前記樹脂組成物は、酸化防止剤を０．１質量％以上含有することにより、アクリル樹脂の酸化でアクリル樹脂に炭素－炭素二重結合が生じるのを抑制することができ、その結果、紫外線の透過性が低下するのを抑制することができる。
また、前記樹脂組成物は、酸化防止剤を５質量％以下含有することにより、アクリル樹脂を多く含むことができ、その結果、熱硬化後における紫外線の透過性がより一層優れたものとなり、また、酸化防止剤自体による紫外線の透過性の低下を抑制することができる。
【0037】
本実施形態に係る接着シートは、無機フィラーが有する官能基によって、アクリル樹脂のエポキシ基の反応性を高めることができるという観点から、無機フィラーを含有することが好ましい。
【0038】
前記無機フィラーとしては、シリカ粒子、窒化ホウ素粒子、アルミナ粒子等が挙げられる。
【0039】
前記樹脂組成物は、作業性、接着性、及び、信頼性の観点から、無機フィラーを、好ましくは１５～６０質量％、より好ましくは２０～５０質量％含有する。
【0040】
前記樹脂組成物では、作業性、接着性、及び、信頼性の観点から、前記無機フィラーのＤ５０が、好ましくは５～３０ｎｍ、より好ましくは５～２０ｎｍである。
無機フィラーのＤ５０は、横軸を粒子径、縦軸を気泡の体積として描いた体積基準の粒子径の累積頻度分布曲線にて気泡の体積の累積値が５０％となる粒子径（Ｄ５０）を意味する。
なお、無機フィラーのＤ５０は、レーザー回折式粒度分布測定装置で測定することができる。
無機フィラーのＤ５０は、横軸を粒子径、縦軸を気泡の体積として描いた体積基準の粒子径の累積頻度分布曲線にて気泡の体積の累積値が５０％となる粒子径（Ｄ５０）を意味する。
なお、無機フィラーのＤ５０は、レーザー回折式粒度分布測定装置で測定することができる。
【0041】
本実施形態に係る接着シートは、厚みが、好ましくは５～２００μｍ、より好ましくは５～１８０μｍである。
【0042】
本実施形態に係る接着シートは、粘着性を抑制して、被着体に当接しやすくするという観点（作業性の観点）から、熱硬化前における２５℃の引張貯蔵弾性率が、好ましくは１０ＭＰａ～３，０００ＭＰａ、より好ましくは２０ＭＰａ～２，０００ＭＰａ、さらに好ましくは３０ＭＰａ～１，５００ＭＰａである。
【0043】
本実施形態に係る接着シートは、熱硬化後の接着性を高めるという観点から、熱硬化後における１２０℃の引張損失弾性率が、好ましくは０．１ＭＰａ～５ＭＰａ、より好ましくは０．２ＭＰａ～４ＭＰａ、さらに好ましくは０．３ＭＰａ～３ＭＰａである。
【0044】
本実施形態に係る接着シートは、熱硬化後の接着性を高めるという観点から、熱硬化後における２５０℃の引張貯蔵弾性率が好ましくは０．５ＭＰａ～１５０ＭＰａ、より好ましくは１ＭＰａ～１００ＭＰａ、さらに好ましくは１０ＭＰａ～９０ＭＰａである。
【0045】
引張貯蔵弾性率、及び、引張損失弾性率は、以下のようにして求めることができる。
すなわち、接着シートを熱硬化させ、熱硬化後の接着シートから試験片（長さ：４０ｍｍ、幅：１０ｍｍ）を切り出す。
そして、動的粘弾性測定装置（商品名「ＲＳＡ-III、ＴＡ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ製）を使用して、測定対象物に対して引張試験を行い、引張貯蔵弾性率、及び、引張損失弾性率を測定する。
この引張試験の条件は、以下の通りである。
測定モード：引張モード
初期チャック間距離：２２．５ｍｍ
測定温度範囲：０℃から１５０℃
昇温速度：１０℃／分
動的ひずみ：±０．５μｍ
周波数：１０Ｈｚ
また、本実施形態における「熱硬化後」とは、「接着シートが十分に硬化するまで加熱した後」を意味する。加熱温度としては、例えば１７５℃である。
すなわち、接着シートを熱硬化させ、熱硬化後の接着シートから試験片（長さ：４０ｍｍ、幅：１０ｍｍ）を切り出す。
そして、動的粘弾性測定装置（商品名「ＲＳＡ-III、ＴＡ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ製）を使用して、測定対象物に対して引張試験を行い、引張貯蔵弾性率、及び、引張損失弾性率を測定する。
この引張試験の条件は、以下の通りである。
測定モード：引張モード
初期チャック間距離：２２．５ｍｍ
測定温度範囲：０℃から１５０℃
昇温速度：１０℃／分
動的ひずみ：±０．５μｍ
周波数：１０Ｈｚ
また、本実施形態における「熱硬化後」とは、「接着シートが十分に硬化するまで加熱した後」を意味する。加熱温度としては、例えば１７５℃である。
【0046】
本実施形態に係る接着シートは、熱硬化前における１００℃のせん断貯蔵弾性率が、好ましくは５ｋＰａ～８００ｋＰａ、より好ましくは６ｋＰａ～６００ｋＰａ、さらに好ましくは７ｋＰａ～４００ｋＰａである。
本実施形態に係る接着シートは、熱硬化前における１００℃のせん断貯蔵弾性率が上記範囲にあることで、濡れ性及び埋め込み性に優れるという利点を有する。
本実施形態に係る接着シートは、熱硬化前における１００℃のせん断貯蔵弾性率が上記範囲にあることで、濡れ性及び埋め込み性に優れるという利点を有する。
【0047】
せん断貯蔵弾性率は、以下のようにして求めることができる。
すなわち、接着シートを打ち抜いて、円柱状の試料（Φ７．５ｍｍ×１ｍｍ）を作製する。
そして、前記試料の一方の円形の面に、温度１２０℃において、周波数１Ｈｚのせん断振動を与えて、他方の円形の面に伝わるせん断振動を測定し、解析することにより、せん断貯蔵弾性率を求める。
せん断振動の測定及び測定値の解析は、例えば、粘弾性測定装置（ＨＡＡＫＥ社製、型式：Ｍａｒｓシリーズ）を用いることができる。
すなわち、接着シートを打ち抜いて、円柱状の試料（Φ７．５ｍｍ×１ｍｍ）を作製する。
そして、前記試料の一方の円形の面に、温度１２０℃において、周波数１Ｈｚのせん断振動を与えて、他方の円形の面に伝わるせん断振動を測定し、解析することにより、せん断貯蔵弾性率を求める。
せん断振動の測定及び測定値の解析は、例えば、粘弾性測定装置（ＨＡＡＫＥ社製、型式：Ｍａｒｓシリーズ）を用いることができる。
【0048】
本実施形態に係る接着シートは、熱硬化後の接着性を高めるという観点から、熱硬化後における１２０℃のＳｉウエハへの接着力が、好ましくは０．５ＭＰａ以上、より好ましくは０．８ＭＰａ以上である。
【0049】
前記接着力は以下のようにして求めることができる。
まず、粘着層と基材層とが積層したダイシングテープを粘着層が上になるように載置する。
次に、ダイシングテープの粘着層の上に接着シートを積層させ、さらに、該接着シートの上にＳｉウエハ（該Ｓｉウエハとしては、例えば、ベアウエハを用いることができる。）（厚み：５００μｍ）の載置し、接着シート及びＳｉウエハを６０℃で加熱することでラミネート加工して、接着シート付のＳｉウエハを得る。
そして、ダイシング装置を用いて、接着シート付のＳｉウエハから、５ｍｍ×５ｍｍの接着シート付のＳｉチップを得る。
次に、接着シート付のＳｉチップを接着シート側でＳｉウエハ（該Ｓｉウエハとしては、例えば、ベアウエハを用いることができる。）（厚み：５００μｍ）に１５０℃の温度で、接着シート５００ｇ当たり２秒の時間（例えば、接着シートが１０００ｇであれば４秒）でボンディングし、加熱（１５０℃、１時間）により接着シートを十分に硬化させて、測定試料を得る。
そして、１２０℃でのせん断による接合強度試験により、接着力を測定する。接合強度試験では、例えばＤｅｇａ４０００を用いることができる。
まず、粘着層と基材層とが積層したダイシングテープを粘着層が上になるように載置する。
次に、ダイシングテープの粘着層の上に接着シートを積層させ、さらに、該接着シートの上にＳｉウエハ（該Ｓｉウエハとしては、例えば、ベアウエハを用いることができる。）（厚み：５００μｍ）の載置し、接着シート及びＳｉウエハを６０℃で加熱することでラミネート加工して、接着シート付のＳｉウエハを得る。
そして、ダイシング装置を用いて、接着シート付のＳｉウエハから、５ｍｍ×５ｍｍの接着シート付のＳｉチップを得る。
次に、接着シート付のＳｉチップを接着シート側でＳｉウエハ（該Ｓｉウエハとしては、例えば、ベアウエハを用いることができる。）（厚み：５００μｍ）に１５０℃の温度で、接着シート５００ｇ当たり２秒の時間（例えば、接着シートが１０００ｇであれば４秒）でボンディングし、加熱（１５０℃、１時間）により接着シートを十分に硬化させて、測定試料を得る。
そして、１２０℃でのせん断による接合強度試験により、接着力を測定する。接合強度試験では、例えばＤｅｇａ４０００を用いることができる。
【0050】
前記樹脂組成物は、フーリエ変換赤外線吸収分析法（ＦＴ－ＩＲ）による測定でのカルボニル基に起因する吸光度ＡｂＣＯに対する芳香環に起因する吸光度ＡｂＣ６Ｈ６の比（ＡｂＣ６Ｈ６／ＡｂＣＯ）は、好ましくは０．０５以下、より好ましくは０．０４以下、さらに好ましくは０．０３以下である。
芳香環は、紫外線の透過性を低下させるものである。本実施形態に係る接着シートは、前記樹脂組成物がＡｂＣ６Ｈ６／ＡｂＣＯが０．０５以下であることにより、熱硬化後において紫外線の透過性に優れたものとなる。
また、ＡｂＣ６Ｈ６／ＡｂＣＯは、通常は、０．０１以上である。
芳香環は、紫外線の透過性を低下させるものである。本実施形態に係る接着シートは、前記樹脂組成物がＡｂＣ６Ｈ６／ＡｂＣＯが０．０５以下であることにより、熱硬化後において紫外線の透過性に優れたものとなる。
また、ＡｂＣ６Ｈ６／ＡｂＣＯは、通常は、０．０１以上である。
【0051】
前記ＡｂＣ６Ｈ６／ＡｂＣＯは以下のようにして求めることができる。
まず、フーリエ変換赤外線吸収分析法（ＦＴ－ＩＲ）により前記樹脂組成物の赤外吸収スペクトルを測定する。
測定条件としては以下の通りである。
反射法（ＡＴＲ法）
波数：５００～４０００ｃｍ－１
積算回数：３２回
測定装置としては、サーモフィッシャーサイエンティフィック社製の「ＮＩＣＯＬＥＴ３８０ ＦＴ－Ｒ」を用いることができる。
そして、得られた赤外吸収スペクトルから、１５０６ｃｍ－１における測定点と、１５２２ｃｍ－１における測定点とを結んだ直線をベースラインとした際の、１５０６～１５２２ｃｍ－１の波数範囲のピークの最高点における吸光度を読み取り、この吸光度をＡｂＣ６Ｈ６とする。
また、得られた赤外吸収スペクトルから、１６５０ｃｍ－１における測定点と、１８００ｃｍ－１における測定点とを結んだ直線をベースラインとした際の、１６５０～１８００ｃｍ－１の波数範囲のピークの最高点における吸光度を読み取り、この吸光度をＡｂＣＯとする。
まず、フーリエ変換赤外線吸収分析法（ＦＴ－ＩＲ）により前記樹脂組成物の赤外吸収スペクトルを測定する。
測定条件としては以下の通りである。
反射法（ＡＴＲ法）
波数：５００～４０００ｃｍ－１
積算回数：３２回
測定装置としては、サーモフィッシャーサイエンティフィック社製の「ＮＩＣＯＬＥＴ３８０ ＦＴ－Ｒ」を用いることができる。
そして、得られた赤外吸収スペクトルから、１５０６ｃｍ－１における測定点と、１５２２ｃｍ－１における測定点とを結んだ直線をベースラインとした際の、１５０６～１５２２ｃｍ－１の波数範囲のピークの最高点における吸光度を読み取り、この吸光度をＡｂＣ６Ｈ６とする。
また、得られた赤外吸収スペクトルから、１６５０ｃｍ－１における測定点と、１８００ｃｍ－１における測定点とを結んだ直線をベースラインとした際の、１６５０～１８００ｃｍ－１の波数範囲のピークの最高点における吸光度を読み取り、この吸光度をＡｂＣＯとする。
【0052】
本実施形態に係る接着シートは、被着体の材質がガラスやＳｉである場合に特に好適に用いられる。
【0053】
本実施形態の接着シートは、紫外線センサーの構成部材として用いられ得る。
本実施形態の接着シートが用いられ得る紫外線センサーの一例を挙げると次のようなものが挙げられる。
本実施形態の紫外線センサーは、紫外線（ＵＶ）を受光する受光面を備えた受光部と、該受光部を直接的又は間接的に覆うカバーシートとを備える。
該カバーシートは、ガラス板などで構成されたカバーシート本体と、本実施形態の接着シートで構成された接着層との少なくとも２層の積層構造を備える。
本実施形態の紫外線センサーは、前記接着層を通じて前記受光部に紫外線を到達させて紫外線を検知し得るように構成されている。
前記接着層は、前記受光面に前記カバーシート本体を接着したり、前記受光部よりも外側の領域に接着したりして前記カバーシートが前記受光部を直接覆うように用いられても、前記カバーシートを前記受光面から離れた状態で支持する支持部材に接着して前記カバーシートが間に空間を設けて間接的に前記受光部を覆うように用いられてもよい。
本実施形態の接着シートが用いられ得る紫外線センサーの一例を挙げると次のようなものが挙げられる。
本実施形態の紫外線センサーは、紫外線（ＵＶ）を受光する受光面を備えた受光部と、該受光部を直接的又は間接的に覆うカバーシートとを備える。
該カバーシートは、ガラス板などで構成されたカバーシート本体と、本実施形態の接着シートで構成された接着層との少なくとも２層の積層構造を備える。
本実施形態の紫外線センサーは、前記接着層を通じて前記受光部に紫外線を到達させて紫外線を検知し得るように構成されている。
前記接着層は、前記受光面に前記カバーシート本体を接着したり、前記受光部よりも外側の領域に接着したりして前記カバーシートが前記受光部を直接覆うように用いられても、前記カバーシートを前記受光面から離れた状態で支持する支持部材に接着して前記カバーシートが間に空間を設けて間接的に前記受光部を覆うように用いられてもよい。
【0054】
本明細書によって開示される事項は、以下のものを含む。
【0055】
（１）
樹脂組成物を備える接着シートであって、
前記樹脂組成物が、熱硬化性樹脂を有し、
熱硬化後の前記樹脂組成物の厚み２０μｍのシートの平行線透過率が、波長３５０ｎｍの光において８０％以上である、接着シート。
樹脂組成物を備える接着シートであって、
前記樹脂組成物が、熱硬化性樹脂を有し、
熱硬化後の前記樹脂組成物の厚み２０μｍのシートの平行線透過率が、波長３５０ｎｍの光において８０％以上である、接着シート。
【0056】
（２）
熱硬化前における２５℃の引張貯蔵弾性率が１０ＭＰａ～３，０００ＭＰａである、上記（１）に記載の接着シート。
熱硬化前における２５℃の引張貯蔵弾性率が１０ＭＰａ～３，０００ＭＰａである、上記（１）に記載の接着シート。
【0057】
（３）
熱硬化前における１００℃のせん断貯蔵弾性率が５ｋＰａ～８００ｋＰａである、上記（１）又は（２）に記載の接着シート。
熱硬化前における１００℃のせん断貯蔵弾性率が５ｋＰａ～８００ｋＰａである、上記（１）又は（２）に記載の接着シート。
【0058】
（４）
熱硬化後の前記樹脂組成物は、１２０℃でのＳｉウエハへの接着力が０．５ＭＰａ以上である、上記（１）～（３）の何れかに記載の接着シート。
熱硬化後の前記樹脂組成物は、１２０℃でのＳｉウエハへの接着力が０．５ＭＰａ以上である、上記（１）～（３）の何れかに記載の接着シート。
【0059】
（５）
熱硬化後における１２０℃の引張損失弾性率が０．１ＭＰａ～５ＭＰａである、上記（１）～（４）の何れかに記載の接着シート。
熱硬化後における１２０℃の引張損失弾性率が０．１ＭＰａ～５ＭＰａである、上記（１）～（４）の何れかに記載の接着シート。
【0060】
（６）
熱硬化後における２５０℃の引張貯蔵弾性率が０．５ＭＰａ～１５０ＭＰａである、上記（１）～（５）の何れかに記載の接着シート。
熱硬化後における２５０℃の引張貯蔵弾性率が０．５ＭＰａ～１５０ＭＰａである、上記（１）～（５）の何れかに記載の接着シート。
【0061】
なお、本発明に係る接着シートは、上記実施形態に限定されるものではない。また、本発明に係る接着シートは、上記した作用効果によって限定されるものでもない。さらに、本発明に係る接着シートは、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【0062】
例えば、本実施形態に係る接着シートは、樹脂組成物で構成された単層構造となっているが、本発明に係る接着シートは、前記樹脂組成物で構成された層と、他の層との積層体となっていてもよい。
【実施例】
【0063】
次に、実施例および比較例を挙げて本発明についてさらに具体的に説明する。
以下の実施例は、本発明をさらに詳しく説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。
以下の実施例は、本発明をさらに詳しく説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。
【0064】
（実施例１）
アクリル樹脂、無機フィラー、シランカップリング剤、及び、酸化防止剤を下記表１の配合割合で溶媒に溶解して、接着組成物溶液Ａ（固形分濃度：２０質量％）を調製した。
なお、アクリル樹脂、無機フィラー、シランカップリング剤、及び、酸化防止剤としては、以下のものを用いた。
アクリル樹脂：構成単位として、グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）を４２質量％、エチルアクリレート（ＥＡ）を５０質量％、ブチルメタクリレート（ＢＭＡ）を８質量％含むアクリル樹脂（質量平均分子量：２４万）
無機フィラー：シリカ粒子（ＭＥＫ－ＳＴ－４０、日産化学社製）
シランカップリング剤：２－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン（ＫＢＭ３０３、信越シリコーン社製）
酸化防止剤：ヒンダードフェノール系酸化防止剤（Ｉｒｇａｎｏｘ１０１０、ＢＡＳＦジャパン社製）
溶媒：メチルエチルケトン
また、シリコーンで離型処理されたポリエチレンテレフタレートフィルム（厚み：５０μｍ）をセパレータとして用意した。
そして、前記セパレータの表面（離型処理された側の面）に、前記接着組成物溶液Ａを塗布し、１３０℃で２分間加熱して乾燥させることにより、セパレータ上に接着シート（厚み：２０μｍ）を作製した。
アクリル樹脂、無機フィラー、シランカップリング剤、及び、酸化防止剤を下記表１の配合割合で溶媒に溶解して、接着組成物溶液Ａ（固形分濃度：２０質量％）を調製した。
なお、アクリル樹脂、無機フィラー、シランカップリング剤、及び、酸化防止剤としては、以下のものを用いた。
アクリル樹脂：構成単位として、グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）を４２質量％、エチルアクリレート（ＥＡ）を５０質量％、ブチルメタクリレート（ＢＭＡ）を８質量％含むアクリル樹脂（質量平均分子量：２４万）
無機フィラー：シリカ粒子（ＭＥＫ－ＳＴ－４０、日産化学社製）
シランカップリング剤：２－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン（ＫＢＭ３０３、信越シリコーン社製）
酸化防止剤：ヒンダードフェノール系酸化防止剤（Ｉｒｇａｎｏｘ１０１０、ＢＡＳＦジャパン社製）
溶媒：メチルエチルケトン
また、シリコーンで離型処理されたポリエチレンテレフタレートフィルム（厚み：５０μｍ）をセパレータとして用意した。
そして、前記セパレータの表面（離型処理された側の面）に、前記接着組成物溶液Ａを塗布し、１３０℃で２分間加熱して乾燥させることにより、セパレータ上に接着シート（厚み：２０μｍ）を作製した。
【0065】
（実施例２）
アクリル樹脂、無機フィラー、シランカップリング剤、及び、酸化防止剤を下記表１の配合割合で溶媒に溶解して、接着組成物溶液Ｂ（固形分濃度：２０質量％）を調製した。
なお、下記の材料以外は、実施例１と同じものを用いた。
アクリル樹脂：構成単位として、グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）を１４質量％、エチルアクリレート（ＥＡ）を５０質量％、ブチルメタクリレート（ＢＭＡ）を３６質量％含むアクリル樹脂（質量平均分子量：２万）
無機フィラー：シリカ粒子（ＭＥＫ－ＥＣ－２１３０Ｙ、日産化学社製）
そして、接着組成物溶液Ａの代わりに接着組成物溶液Ｂを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、セパレータ上に接着シート（厚み：２０μｍ）を作製した。
アクリル樹脂、無機フィラー、シランカップリング剤、及び、酸化防止剤を下記表１の配合割合で溶媒に溶解して、接着組成物溶液Ｂ（固形分濃度：２０質量％）を調製した。
なお、下記の材料以外は、実施例１と同じものを用いた。
アクリル樹脂：構成単位として、グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）を１４質量％、エチルアクリレート（ＥＡ）を５０質量％、ブチルメタクリレート（ＢＭＡ）を３６質量％含むアクリル樹脂（質量平均分子量：２万）
無機フィラー：シリカ粒子（ＭＥＫ－ＥＣ－２１３０Ｙ、日産化学社製）
そして、接着組成物溶液Ａの代わりに接着組成物溶液Ｂを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、セパレータ上に接着シート（厚み：２０μｍ）を作製した。
【0066】
（実施例３）
アクリル樹脂、無機フィラー、シランカップリング剤、及び、酸化防止剤を下記表１の配合割合で溶媒に溶解して、接着組成物溶液Ｃ（固形分濃度：２０質量％）を調製した。
なお、下記の材料以外は、実施例１と同じものを用いた。
アクリル樹脂：構成単位として、グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）を３０質量％、エチルアクリレート（ＥＡ）を４２質量％、ブチルメタクリレート（ＢＭＡ）を２８質量％含むアクリル樹脂（質量平均分子量：１０万）
無機フィラー：シリカ粒子（ＣＨＯ－ＳＴ－Ｍ、日産化学社製）
そして、接着組成物溶液Ａの代わりに接着組成物溶液Ｃを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、セパレータ上に接着シート（厚み：２０μｍ）を作製した。
アクリル樹脂、無機フィラー、シランカップリング剤、及び、酸化防止剤を下記表１の配合割合で溶媒に溶解して、接着組成物溶液Ｃ（固形分濃度：２０質量％）を調製した。
なお、下記の材料以外は、実施例１と同じものを用いた。
アクリル樹脂：構成単位として、グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）を３０質量％、エチルアクリレート（ＥＡ）を４２質量％、ブチルメタクリレート（ＢＭＡ）を２８質量％含むアクリル樹脂（質量平均分子量：１０万）
無機フィラー：シリカ粒子（ＣＨＯ－ＳＴ－Ｍ、日産化学社製）
そして、接着組成物溶液Ａの代わりに接着組成物溶液Ｃを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、セパレータ上に接着シート（厚み：２０μｍ）を作製した。
【0067】
（比較例１）
アクリル樹脂、硬化剤たるフェノール樹脂、無機フィラー、シランカップリング剤、及び、酸化防止剤を下記表１の配合割合で溶媒に溶解して、接着組成物溶液Ｄ（固形分濃度：２０質量％）を調製した。
なお、下記の材料以外は、実施例１と同じものを用いた。
アクリル樹脂：：構成単位として、グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）を１２質量％、エチルアクリレート（ＥＡ）を５２質量％、ブチルメタクリレート（ＢＭＡ）を３６質量％含むアクリル樹脂（質量平均分子量：３０万）
フェノール樹脂：ＭＥＨＣ－７８００Ｈ、明和化成社製
無機フィラー：シリカ粒子（ＳＣ２５Ｒ、アドマテックス社製）
そして、接着組成物溶液Ａの代わりに接着組成物溶液Ｄを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、セパレータ上に接着シート（厚み：２０μｍ）を作製した。
アクリル樹脂、硬化剤たるフェノール樹脂、無機フィラー、シランカップリング剤、及び、酸化防止剤を下記表１の配合割合で溶媒に溶解して、接着組成物溶液Ｄ（固形分濃度：２０質量％）を調製した。
なお、下記の材料以外は、実施例１と同じものを用いた。
アクリル樹脂：：構成単位として、グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）を１２質量％、エチルアクリレート（ＥＡ）を５２質量％、ブチルメタクリレート（ＢＭＡ）を３６質量％含むアクリル樹脂（質量平均分子量：３０万）
フェノール樹脂：ＭＥＨＣ－７８００Ｈ、明和化成社製
無機フィラー：シリカ粒子（ＳＣ２５Ｒ、アドマテックス社製）
そして、接着組成物溶液Ａの代わりに接着組成物溶液Ｄを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、セパレータ上に接着シート（厚み：２０μｍ）を作製した。
【0068】
（比較例２）
アクリル樹脂、硬化剤たるフェノール樹脂、硬化剤たるエポキシ樹脂、及び、無機フィラーを下記表１の配合割合で溶媒に溶解して、接着組成物溶液Ｅ（固形分濃度：２０質量％）を調製した。
なお、下記の材料以外は、実施例１と同じものを用いた。
アクリル樹脂：：構成単位として、グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）を１２質量％、エチルアクリレート（ＥＡ）を５２質量％、ブチルメタクリレート（ＢＭＡ）を３６質量％含むアクリル樹脂（質量平均分子量：３０万）
フェノール樹脂：ＭＥＨＣ－７８００Ｈ、明和化成社製
エポキシ樹脂：ＨＰ－７２００、ＤＩＣ社製
無機フィラー：シリカ粒子（ＭＥＫ－ＳＴ－ＺＬ、日産化学社製）
そして、接着組成物溶液Ａの代わりに接着組成物溶液Ｅを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、セパレータ上に接着シート（厚み：２０μｍ）を作製した。
アクリル樹脂、硬化剤たるフェノール樹脂、硬化剤たるエポキシ樹脂、及び、無機フィラーを下記表１の配合割合で溶媒に溶解して、接着組成物溶液Ｅ（固形分濃度：２０質量％）を調製した。
なお、下記の材料以外は、実施例１と同じものを用いた。
アクリル樹脂：：構成単位として、グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）を１２質量％、エチルアクリレート（ＥＡ）を５２質量％、ブチルメタクリレート（ＢＭＡ）を３６質量％含むアクリル樹脂（質量平均分子量：３０万）
フェノール樹脂：ＭＥＨＣ－７８００Ｈ、明和化成社製
エポキシ樹脂：ＨＰ－７２００、ＤＩＣ社製
無機フィラー：シリカ粒子（ＭＥＫ－ＳＴ－ＺＬ、日産化学社製）
そして、接着組成物溶液Ａの代わりに接着組成物溶液Ｅを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、セパレータ上に接着シート（厚み：２０μｍ）を作製した。
【0069】
アクリル樹脂の質量平均分子量は、上述した方法で求めた。
【0070】
「無機フィラーの平均粒子径」、「熱硬化後における平行線透過率（３５０ｎｍ）」、「熱硬化前における２５℃の引張貯蔵弾性率」、「熱硬化前における１００℃のせん断貯蔵弾性率」、「熱硬化後における１２０℃のＳｉウエハへの接着力」、「熱硬化後における１２０℃の引張損失弾性率」、「熱硬化後における２５０℃の引張貯蔵弾性率」、「ＡｂＣＯ」、「ＡｂＣ６Ｈ６」、及び、「ＡｂＣ６Ｈ６／ＡｂＣＯ」は、上述した方法で求めた。
これらの値を下記表１に示す。
これらの値を下記表１に示す。
【0071】
＜熱硬化前における埋め込み性の試験＞
接着シートをガラス板の片面に張り付けた。
次に、表面に凹部及び凸部を有する基板に、接着シート付きのガラス板をボンディングさせた。
そして、基板の凹部への接着シートの埋め込み性を確認すべく、ガラス板側から接着シートを顕微鏡で撮影し（１０ｍｍ角の範囲）、画像を得た。
次に、解析ソフトでこの画像を二値化処理して、凹部の全面積に対する、凹部に接着シートが埋め込まれている部分の全面積の比率（（凹部に接着シートが埋め込まれている部分の全面積／凹部の全面積）×１００）（％）を求め、以下の基準で評価を行った。
〇：８０％以上
×：８０％未満
結果を下記表１に示す。
接着シートをガラス板の片面に張り付けた。
次に、表面に凹部及び凸部を有する基板に、接着シート付きのガラス板をボンディングさせた。
そして、基板の凹部への接着シートの埋め込み性を確認すべく、ガラス板側から接着シートを顕微鏡で撮影し（１０ｍｍ角の範囲）、画像を得た。
次に、解析ソフトでこの画像を二値化処理して、凹部の全面積に対する、凹部に接着シートが埋め込まれている部分の全面積の比率（（凹部に接着シートが埋め込まれている部分の全面積／凹部の全面積）×１００）（％）を求め、以下の基準で評価を行った。
〇：８０％以上
×：８０％未満
結果を下記表１に示す。
【0072】
＜熱硬化後におけるＴＣＴによる剥離試験＞
接着シートをミラーチップ（９．５ｍｍ角）に６０℃下で貼り付けた。
次に、温度１２０℃、圧力０．１ＭＰａ、時間２秒の条件下で、ミラーチップ付きの接着シートを接着シート側でガラス板にボンディングして、試料を得た。
そして、加圧オーブンで試料を１５０℃、０．７ＭＰａ下で１時間加熱処理した。
その後、ＴＣＴ装置（温度サイクル試験装置）により、加熱処理した試料を、－４０℃～１２５℃の間で加熱及び冷却を１０００回繰り返した（１サイクル：３０分）。
次に、接着シートがミラーチップから剥離しているか否か目視で確認した。
そして、以下の基準で評価を行った。
〇：剥離なし
×：剥離あり
結果を下記表１に示す。
接着シートをミラーチップ（９．５ｍｍ角）に６０℃下で貼り付けた。
次に、温度１２０℃、圧力０．１ＭＰａ、時間２秒の条件下で、ミラーチップ付きの接着シートを接着シート側でガラス板にボンディングして、試料を得た。
そして、加圧オーブンで試料を１５０℃、０．７ＭＰａ下で１時間加熱処理した。
その後、ＴＣＴ装置（温度サイクル試験装置）により、加熱処理した試料を、－４０℃～１２５℃の間で加熱及び冷却を１０００回繰り返した（１サイクル：３０分）。
次に、接着シートがミラーチップから剥離しているか否か目視で確認した。
そして、以下の基準で評価を行った。
〇：剥離なし
×：剥離あり
結果を下記表１に示す。
【0073】
＜熱硬化後におけるリフロー時の剥離試験＞
接着シートをミラーチップ（９．５ｍｍ角）に６０℃下で貼り付けた。
次に、温度１２０℃、圧力０．１ＭＰａ、時間２秒の条件下で、ミラーチップ付きの接着シートを接着シート側でガラス板にボンディングして、試料を得た。
そして、加圧オーブンで試料を１５０℃、０．７ＭＰａ下で１時間加熱処理した。
その後、加熱処理した試料を、温度３０℃、湿度６０％ＲＨ下に７２時間置いて、該試料を吸湿させた。
次に、２６０℃以上の温度を１０秒間保持できるように設定されたＩＲリフロー炉に、前記吸湿した試料を通した。
その後、実施例及び比較例それぞれにおいて、９個の試料に対して上記試験を実施し、各試料において、接着シートがミラーチップから剥離しているか否か目視で確認し、剥離が生じたものの個数を数えた。
結果を下記表１に示す。
接着シートをミラーチップ（９．５ｍｍ角）に６０℃下で貼り付けた。
次に、温度１２０℃、圧力０．１ＭＰａ、時間２秒の条件下で、ミラーチップ付きの接着シートを接着シート側でガラス板にボンディングして、試料を得た。
そして、加圧オーブンで試料を１５０℃、０．７ＭＰａ下で１時間加熱処理した。
その後、加熱処理した試料を、温度３０℃、湿度６０％ＲＨ下に７２時間置いて、該試料を吸湿させた。
次に、２６０℃以上の温度を１０秒間保持できるように設定されたＩＲリフロー炉に、前記吸湿した試料を通した。
その後、実施例及び比較例それぞれにおいて、９個の試料に対して上記試験を実施し、各試料において、接着シートがミラーチップから剥離しているか否か目視で確認し、剥離が生じたものの個数を数えた。
結果を下記表１に示す。
【0074】
【表1】
