特許 7554601 オゾン発生装置およびエキシマランプの点灯制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-11

(45)【発行日】2024-09-20

(54)【発明の名称】オゾン発生装置およびエキシマランプの点灯制御方法

(51)【国際特許分類】

   C01B 13/11 20060101AFI20240912BHJP

   A61L 9/015 20060101ALI20240912BHJP

【ＦＩ】

C01B13/11 K

A61L9/015

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2020140851

(22)【出願日】2020-08-24

(65)【公開番号】P2022036571

(43)【公開日】2022-03-08

【審査請求日】2023-06-02

(73)【特許権者】

【識別番号】000128496

【氏名又は名称】株式会社オーク製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100156199

【弁理士】

【氏名又は名称】神崎 真

(74)【代理人】

【識別番号】100090169

【弁理士】

【氏名又は名称】松浦 孝

(74)【代理人】

【識別番号】100124497

【弁理士】

【氏名又は名称】小倉 洋樹

(72)【発明者】

【氏名】吉田 悠太

【審査官】宮脇 直也

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－０１５３６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０４３７８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１７５４５７８（ＣＮ，Ａ）

【文献】特開平０３－２７９２０１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ０１Ｂ １３／１０ － １３／１１

Ａ６１Ｌ ９／００ － ９／２２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

エキシマランプと、
前記エキシマランプの周囲を流れる酸素を含むガスである流体の流路に沿って配置される送風機と、
前記エキシマランプの点灯と前記送風機の運転とを制御する制御部とを備え、
前記制御部が、前記エキシマランプの点灯開始後の前記流路の流出口または流出口付近におけるオゾン濃度の最大値が、所定濃度を越えない範囲で収まるように、前記エキシマランプの点灯開始を、オゾン発生動作ＯＮ状態になったことに伴う前記送風機の運転開始から遅らせるとともに、前記送風機の運転開始後の前記流路の流量が略一定となるまでの間に、前記エキシマランプを点灯開始させることを特徴とするオゾン発生装置。

【請求項2】

前記エキシマランプが配置され、前記流体の流路を形成する流路管をさらに備え、
前記エキシマランプの両端部が前記流路管の流入口および流出口と対向するように、前記エキシマランプが前記流路管内に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のオゾン発生装置。

【請求項3】

前記エキシマランプは、前記送風機の開口部に対向する位置に配置され、
前記制御部が、前記送風機の運転開始から風量略一定となるまでの動作遷移期間の途中で、前記エキシマランプを点灯開始させることを特徴とする請求項１に記載のオゾン発生装置。

【請求項4】

前記制御部が、前記動作遷移期間内におけるオゾン濃度の最大値が、所定濃度を越えない範囲で収まるように、前記エキシマランプの点灯開始を、前記送風機の運転開始から遅らせることを特徴とする請求項３に記載のオゾン発生装置。

【請求項5】

前記エキシマランプの軸に沿った前記エキシマランプの一方の端部と前記流出口との距離が、前記エキシマランプの軸に沿った前記エキシマランプの他方の端部と前記流入口との距離よりも短いことを特徴とする請求項２に記載のオゾン発生装置。

【請求項6】

オゾン発生時間を設定するために操作されるタイマーダイヤルと、
装置電源ＯＮ／ＯＦＦ設定するために操作される電源スイッチボタンとをさらに備え、
前記タイマーダイヤル操作の後に前記電源スイッチボタンが操作されると、オゾン発生動作ＯＮ状態となることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のオゾン発生装置。

【請求項7】

オゾン発生時間を設定するために操作されるタイマーダイヤルと、
装置電源ＯＮ／ＯＦＦ設定するために操作される電源スイッチボタンとをさらに備え、
前記電源スイッチボタン操作の後に前記タイマーダイヤルが操作されると、オゾン発生動作ＯＮ状態となることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のオゾン発生装置。

【請求項8】

前記流路において、前記エキシマランプから放射される紫外線よりも長波長の光を透過する窓が、前記エキシマランプの放電発生領域を作業者が操作する側から視認可能な位置に形成されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のオゾン生成装置。

【請求項9】

送風機の送風方向に沿って酸素を含むガスである流体の流れる流路に配置されたエキシマランプを備えたオゾン発生装置において、
作業者によるオゾンを発生させる操作に従い、前記エキシマランプ点灯開始してからの前記流路の流出口または流出口付近におけるオゾン濃度の最大値が、所定濃度を越えない範囲で収まるように、前記エキシマランプの点灯開始を、前記操作に伴う前記送風機の運転開始から遅らせるとともに、前記送風機の運転開始後の前記流路の流量が略一定となるまでの間に、前記エキシマランプを点灯開始させることを特徴とするエキシマランプの点灯制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、エキシマランプを用いたオゾン発生装置に関する。

【背景技術】

【0002】

エキシマランプを備えたオゾン発生装置では、エキシマランプによる紫外線照射によってオゾンを発生させ、送風ファンなどによってオゾンを外部へ放出させる。オゾン発生装置には、ユーザによって操作される電源ボタン、タイマーボタンなどが設けられ、ユーザの電源ボタン、タイマー設定操作に応じて、送風ファンが動作し、エキシマランプが点灯する（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

高濃度オゾンのガスが放出される場合、人体に影響の恐れがあるため、オゾン発生装置の動作中に作業者が装置傍に所在することは好ましくない。そのため、送風ファンを先に作動させ、作業者の室外への退出を考慮した時間経過後にランプを点灯開始させるオゾン発生装置が知られている（特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１９－４３７８６号公報

【文献】特開２０１４－１５３６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

オゾン発生装置は、病院の病床、娯楽施設の共有スペース、ホテルの客室などその使用環境は様々であり、その設置箇所、動作環境も様々である。例えば、持ち運び可能なコンパクトタイプのオゾン発生装置の場合、オゾン発生ＯＮにして運転開始したとき、作業者が装置の異常によりランプが不点灯でないか確認する必要もあり、ランプの遅延点灯が作業に支障をきたす場合もある。

【0006】

しかしながら、エキシマランプを使用する紫外線照射方式のオゾン発生装置の場合、放電方式のオゾン発生装置とは違い、ランプ点灯と同時に高濃度のオゾンを含むガスが発生する。そのため、装置動作ＯＮ直後に高濃度のオゾンを含むガスが放出される恐れがある。

【0007】

したがって、エキシマランプを使用するオゾン発生装置において、高濃度のオゾンを含むガスの放出を抑えたランプ点灯制御が求められる。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明のオゾン発生装置は、エキシマランプと、エキシマランプの周囲を流れる酸素を含む流体の流路に沿って配置される送風機と、エキシマランプの点灯と送風機の運転とを制御する制御部とを備える。例えば、エキシマランプは、送風機の開口部に対向する位置に配置可能であり、また、流路管内において、送風機とは反対側の流出側開口部付近に配置することが可能である。

【0009】

本発明では、制御部が、エキシマランプの点灯開始後の流路の流出口におけるオゾン濃度の最大値が、所定濃度を越えない範囲で収まるように、エキシマランプの点灯開始を、送風機の運転開始から遅らせる。ここで、「所定濃度」は、オゾン濃度の最大値の上限値を表し、規格などに準じて定めることが可能である。

【0010】

例えば、流路の流れが十分でなく、エキシマランプ冷却が不十分な状態では、点灯開始の瞬間（直後）に最もオゾン濃度が高くなる。したがって、行政や規格団体などにおいて定められた、送風機の定格出力（風量一定）時の長時間作業における人体影響等を考慮した上限あるいは基準となる濃度値よりも高い濃度値を、点灯開始の瞬間（直後）における短時間での人体影響等を考慮した「所定濃度」として設定することができる。オゾン濃度が検出される「流路の流出口」は、例えばオゾン発生装置のオゾン放出口、流路管の流出口などを含み、流出口付近のオゾン濃度でもよい。

【0011】

ランプ点灯開始の遅延時間は、エキシマランプのオゾン生成量、送風機の動作特性、エキシマランプの流路内における配置などに従って定めることができる。例えば、制御部は、エキシマランプのオゾン生成量と、送風機の動作特性とに基づいて定められる遅延時間に従い、エキシマランプの点灯開始を、送風機の運転開始から遅らせることができる。さらに、遅延時間を、エキシマランプと流路の流出口との距離間隔に基づいて定めてもよい。

【0012】

オゾン発生動作開始に合わせて速やかにエキシマランプを点灯開始させることを考慮すれば、制御部は、送風機の運転開始後の流路の流量が略一定となるまでの間に、エキシマランプを点灯開始させればよい。例えば、エキシマランプが、送風機の開口部に対向する位置に配置される場合、制御部は、送風機の運転開始から風量略一定となるまでの動作遷移期間の途中で、エキシマランプを点灯開始させればよい。紫外線照度が最大となるタイミングが、送風機の初動から定格出力になるまでの動作遷移期間に生じることを考慮すれば、動作遷移期間内において、オゾン濃度の最大値が所定濃度を超えない範囲に収まるように、エキシマランプの点灯開始遅延を行えばよい。

【0013】

オゾン発生時間を設定するために操作されるタイマーダイヤルと、装置電源ＯＮ／ＯＦＦ設定するために操作される電源スイッチボタンとを設けることが可能である。この場合、タイマーダイヤル操作の後に電源スイッチボタンが操作されると、オゾン発生動作ＯＮ状態となるように構成すればよい。また、電源スイッチボタン操作の後にタイマーダイヤルが操作されると、オゾン発生動作ＯＮ状態となるように構成することも可能である。

【0014】

流路において、エキシマランプから放射される紫外線よりも長波長の光を透過する窓を、エキシマランプの放電発生領域を作業者が操作する側から視認可能な位置に形成してもよい。

【0015】

本発明の他の態様であるエキシマランプの点灯制御方法は、送風機の送風方向に沿って流体の流れる流路に配置されたエキシマランプを備えたオゾン発生装置において、作業者によるオゾンを発生させる操作に従い、エキシマランプ点灯開始してからの流路の流出口におけるオゾン濃度の最大値が、所定濃度を越えない範囲で収まるように、エキシマランプの点灯開始を、送風機の運転開始から遅らせることを特徴とする。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、エキシマランプを使用するオゾン発生装置において、高濃度のオゾンを含むガスの放出を抑えたランプ点灯制御を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本実施形態であるオゾン発生装置の概略的内部構成図である。

【図2】オゾン発生動作のフローを示した図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下では、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。

【0019】

図１は、本実施形態であるオゾン発生装置の概略的内部構成図である。

【0020】

オゾン発生装置１０は、流路管２０、エキシマランプ３０、送風機４０、ランプ電源５０、制御部６０とを備え、放出されたオゾンによる殺菌、脱臭などの用途に使用可能である。ここでは、ホテルの客室、娯楽施設の共有スペース、病院の病床など様々な場所へ持ち運んで使用できように把持部（図示せず）を設け、縦置き（直上設置）、横置き両方可能なコンパクト型オゾン発生装置として構成されている。

【0021】

オゾン発生装置１０を直上に設置した場合、流路管２０は上下方向に沿って配置され、エキシマランプ３０から放射される紫外線よりも長波長の光を透過する窓２０Ｗが、エキシマランプ３０の放電が発生する領域を作業者が操作する側から視認可能な位置に設けられている。エキシマランプ３０は、流路管２０の流路ＦＰに同軸的に配置され、また、送風機４０も、流路管２０の底面側開口部（以下、流入口という）２０Ａ傍で同軸配置されている。

【0022】

オゾン発生装置１０の筐体（図示せず）前面側には、装置電源をＯＮ／ＯＦＦ設定するために操作される電源スイッチボタン２２と、オゾン発生時間（期間）の設定などのために操作されるタイマーダイヤル２４が設けられている。タイマーダイヤル２４は、モータ駆動可変抵抗器２３の回転軸に差し込まれている。

【0023】

作業者は、所定時間（例えば１２時間）を最大時間としてオゾン発生動作ＯＮ時間を設定可能であり、モータ駆動によってタイマーダイヤル２４が動作ＯＦＦ設定位置まで回転するとオゾン発生動作ＯＦＦとなる。また、作業者は、タイマーダイヤル２４を回転限度位置（動作ＯＦＦ設定位置）まで手で回すことで強制的にオゾン発生動作ＯＦＦにすることもできる。

【0024】

ランプ電源５０は、商用周波数電圧から高周波電圧に変換するスイッチング電源と、高周波電圧を昇圧してエキシマランプ３０に電源供給する昇圧トランスを備える。制御部６０は、オゾン発生装置１０の動作を制御し、エキシマランプ３０の点灯制御、送風機４０を含むオゾン発生動作の制御を行う。

【0025】

作業者が電源スイッチボタン２２、タイマーダイヤル２４を操作することによって、オゾン発生動作ＯＮになると、送風機４０が動作し、エキシマランプ３０が点灯する。エキシマランプ３０は、送風機４０によって流路管２０に流入する酸素を含むガス（流体）に対して紫外線を照射し、これによってオゾンが発生する。作業者は、操作する側に設けた窓部２０Ｗを介してエキシマランプ３０から放射される紫外線よりも長波長の光（可視光）を視認することで、エキシマランプ３０が点灯してオゾン発生が開始したと認識する。発生したオゾンを含むガスが流路管２０の上面側開口部（以下、流出口という）２０Ｂから流出し、装置開口部１０Ａを通じて外部へ放出される。

【0026】

オゾン発生装置１０は、紫外線照射式のオゾン発生装置であり、放電方式と比べ、ランプ点灯の瞬間に高濃度のオゾンが発生しやすい。一般的に、エキシマランプ３０から放射される紫外線照度は、エキシマランプ３０の表面温度が上昇すると低下する（特に、１７２ｎｍ）傾向にある。

【0027】

したがって、エキシマランプ点灯開始時に流路管２０内におけるガスの流れが生じていない、あるいは低流量である場合、ランプ点灯開始時におけるエキシマランプの冷却が不十分であって過熱状態であると、エキシマランプ３０の点灯開始直後が紫外線照度最大となってオゾン発生量が最大となり、その後、紫外線照度が低下する。

【0028】

一方、送風機４０は、その慣性によって、回転開始から一定回転速度になるまでの期間（以下、ここでは動作遷移期間という）が存在し、送風機４０の初動瞬間において、その定格出力に基づく風量でガスを送風できるわけではない。したがって、流路管２０におけるガスの流れがほとんど生じていない、あるいは不十分な動作遷移期間内に、紫外線照度最大タイミングがあり、そのときにオゾン濃度が最大となる。

【0029】

流路管２０内における流入口２０Ａから流出口２０Ｂへ流れるガスの流量（風量）は、送風機４０の動作に依存するため、送風機４０の動作遷移期間を経た後、送風機４０の定格出力に基づく風量によるガスの流れ、すなわち定格運転における所望するオゾン濃度のガスの流れが生じる。したがって、送風機４０の運転開始と同時にエキシマランプ３０を点灯開始させた場合、高濃度のオゾンを含むガスが運転開始直後に放出されてしまう。

【0030】

特に、ここではオゾン発生装置１０がコンパクトタイプの装置として構成されているため、流路管２０の流出口２０Ｂは装置開口部１０Ａの傍に位置し、また、エキシマランプ３０が流入口２０Ａ（送風機４０の開口部）と流出口２０Ｂの近くに対向して配置される。すなわち、流入口２０Ａと流出口２０Ｂは、エキシマランプ３０との間での絶縁破壊を防止できる状態で収納するための最小限の距離間隔で向かい合って配置されている。ここでは、エキシマランプ３０の一端と流出口２０Ｂとの流路管２０の軸Ｅに沿った距離間隔Ｌ２は、流入口２０Ａからその一端までの距離間隔Ｌ１より短い。そのため、エキシマランプ３０の点灯開始時に高濃度のオゾンを含むガスが装置外部へ放出されやすい。

【0031】

本実施形態では、作業者によってオゾン発生動作ＯＮに設定されると、流路管２０内のガスの流量を考慮したエキシマランプ３０の遅延点灯を行う。ただし、ここでの遅延点灯は、作業者を部屋等から退出させる猶予期間を与えるようなものではなく、オゾン発生動作ＯＮ設定に合わせてオゾン発生動作を実行する一方で、運転開始と同時に高濃度のオゾンを含むガスがオゾン発生装置１０から放出されるのを抑えることを目的とした遅延時間を設定する。

【0032】

具体的には、流路管２０内におけるガスの流量が略一定となる定格運転までの過程において、装置開口部１０Ａにおけるオゾン濃度の最大値が、所定濃度を超えない範囲で収まるように、エキシマランプ３０の点灯開始タイミングを送風機４０の運転開始タイミングから遅らせる。

【0033】

所定濃度は、例えば短時間でも人体に影響を与えるオゾン濃度などを考慮し、規格団体などで推奨される数値、あるいはその数値に準じた値に設定することが可能である。ここでは、送風機４０が動作遷移期間を超え、風量一定となっている流れの状態（定格運転）で定められる上限濃度値、あるいは基準となるオゾン濃度値よりも高い値に定められる。紫外線照射照度が最大となるときは動作遷移期間内であることから、動作遷移期間におけるオゾン濃度値の最大値が所定濃度を超えないように、エキシマランプ３０の出力、流路管２０の径の大きさ、流路長さ、送風機４０の風量などが定められている。

【0034】

送風機４０は、停止状態から一定回転速度に至るまで加速しながら回転する。回転速度が上昇している動作遷移期間では、流路管２０内でのガスの流量はまだ略一定とならず、流量が上昇し続ける。この状態でエキシマランプ３０を点灯開始させると、流路管２０内にガスの流れが生じている状態でのオゾン発生のため、流路管２０から流出するガスのオゾン濃度は急激に増加せず、オゾン濃度の最大値を所定濃度以下に抑えることができる。

【0035】

その後、送風機４０の回転速度の上昇に伴って、風量が大きくなってオゾン濃度は低下し、エキシマランプ３０によるオゾン発生量と送風機４０の風量とのバランスが図られるようになり、定格運転状態でオゾン濃度一定となる。

【0036】

上述したように、送風機４０の回転開始と同時に（回転開始より前に）エキシマランプ３０を点灯開始させると、流路管２０内にガスの流れがほとんど生じていない状態で、エキシマランプ３０から放射される紫外線照射が最大となることで、オゾンが大量に発生し、高濃度のオゾンを含むガスが装置外へ放出されて、動作遷移期間のオゾン濃度の最大値が所定濃度を超えてしまう。

【0037】

しかしながら、流路管２０内のガスの流量が一定となるまでの遷移期間にエキシマランプ３０を点灯開始させることで、そのような高濃度のオゾンを含むガスが装置外へ放出されるのを抑えることができる。そして、装置外へ放出されるガスのオゾン濃度は、エキシマランプ３０点灯開始から一貫して、作業者退出期間を考慮したような十分な時間経過後にエキシマランプ３０の点灯開始と同様、所定濃度を超えないガスの流れとなる。送風機４０の運転開始から比較的短時間だけエキシマランプ３０の点灯開始をタイムシフトさせることによって、適切なオゾン発生動作を可能にする。

【0038】

ここでのオゾン発生装置１０は、流路管２０の流出口２０Ｂは装置開口部１０Ａと隣接している。したがって、送風機４０の回転速度が一定、すなわち風量が略一定となった時点で、流路管２０には流量が略一定に近い状態にあるとみなせる。よって、送風機４０の風量が略一定となったタイミングでエキシマランプ３０を点灯させることが可能である。

【0039】

また、エキシマランプ３０の点灯遅延時間は、オゾン濃度上昇特性によって定めればよい。オゾン濃度上昇特性は、エキシマランプ３０のオゾン生成量、送風機４０の風量などによって定められ、実験的に得ることができる。例えば、オゾン生成量が３（ｍｇ／ｈ）、送風機４０の流量が１（ｍ^３／ｍｉｎ）以上の場合、遅延時間を０．５秒と定めることが可能である。また、送風機４０の風量が略一定となるまでの動作遷移期間であれば、０．５秒より長い遅延時間を設定してもよい。

【0040】

一方、エキシマランプ３０の一端と流出口２０Ｂとの距離間隔Ｌ２が短いほど、高濃度のオゾンを含むガスが装置外部へ放出される可能性が高いことから、距離間隔Ｌ２もさらに考慮して遅延時間を定めることができる。

【0041】

なお、高周波高電圧によって瞬間的にエキシマランプ３０を点灯開始させるときの短絡電流と、送風機４０の運転開始時の突入電流とが同時に流れると、装置によっては誤動作を発生させるおそれがある。このような電気特性は、エキシマランプ３０のオゾン生成量と、送風機４０の風量の大きさと相関関係がある。そのため、電気特性を含めた遅延時間の設定も可能である。

【0042】

図２は、オゾン発生動作のフローを示した図である。作業者による電源スイッチボタン２２の操作によって装置電源がＯＮ状態になると、運転が開始される。

【0043】

制御部６０は、作業者がタイマーダイヤル２４を操作しているか否かを判断する（Ｓ１０１）。タイマーダイヤル２４が操作されて抵抗値が所定閾値を超えるなどによって、所定の回転位置を超えたと判断されると、オゾン発生動作ＯＮ状態に設定される（Ｓ１０２）。タイマーダイヤル２４の操作については、タイマーダイヤル２４が操作されて所定の回転位置で停止され、所定時間（例えば数秒）一定の抵抗値となることで、制御部６０がタイマーダイヤル２４の位置が定められたと判断し、オゾン発生動作ＯＮ状態に設定してもよい。

【0044】

制御部６０は、送風機４０へ運転開始を指令する制御信号を出力し（Ｓ１０３）、送風機４０を運転開始させる。そして、定められた遅延時間に従ってランプ電源５０へ制御信号を出力し、エキシマランプ３０を点灯開始させる（Ｓ１０４）。タイマーダイヤル２４がオゾン発生動作ＯＦＦ設定位置へ回転移動するまでの間、オゾン発生動作が継続する。

【0045】

モータ駆動によってタイマーダイヤル２４がオゾン発生動作ＯＦＦ設定位置まで回転すると（Ｓ１０５）、制御部６０は、オゾン発生動作ＯＦＦに設定し、制御信号を出力してエキシマランプ３０を消灯させ、送風機４０を停止させる（Ｓ１０６）。制御部６０は、抵抗値が所定値を超えるなどによって、タイマーダイヤル２４がオゾン発生動作ＯＦＦ設定位置までモータ駆動により回転したと判断することができる。

【0046】

なお、作業者がタイマーダイヤル２４をオゾン発生動作ＯＦＦ設定位置まで回転させた場合、あるいは、電源スイッチボタン２２がＯＦＦに切り替えられた場合も、オゾン発生動作ＯＦＦに設定されたと判断し、オゾン発生動作を終了させればよい。この場合、作業者の手で操作によるオゾン発生動作ＯＦＦ設定位置と、モータ駆動によるオゾン発生動作ＯＦＦ設定位置を異なるようにしてもよい。

【0047】

図２では、電源スイッチボタン２２の操作後にタイマーダイヤル２４が操作される場合のオゾン発生動作を説明したが、逆に、作業者がタイマーダイヤル２４を操作した後、電源スイッチボタン２２をＯＮに切り替えた操作を行い、これに伴ってオゾン発生動作ＯＮに設定し、オゾン発生動作を行ってもよい。

【0048】

このように本実施形態によれば、作業者の電源スイッチボタン２２、タイマーダイヤル２４の操作によってオゾン発生動作ＯＮとなった場合、送風機４０が始動してから流路管２０におけるガスの流れが流量一定となるまでの過程において、所定の遅延時間分だけタイムシフトさせてエキシマランプ３０の点灯開始を行う。電源スイッチボタン２２とタイマーダイヤル２４の操作だけで、適切なオゾン発生による除菌、脱臭効果などを発揮でき、多様な動作条件の運転を可能にする。

【0049】

そして、送風機４０とエキシマランプ３０の始動開始に時間のずれを設けることにより、オゾン発生、オゾン放出を速やかに開始させることができる一方で、高濃度のオゾンを含むガスがオゾン発生動作開始直後に放出されず、人体あるいは除菌、殺菌対象などへの影響を防ぐことができる。また、オゾン発生動作ＯＮの後、何らかの機器故障によってオゾンが発生せず異常が生じている場合、作業者はその故障を気付くことができる。作業者は流路に形成した窓を介してエキシマランプの点灯を視認した後に、退室すればよい。

【0050】

オゾン発生装置１０の設置場所のスペース大きさは様々であり、人が室外へ退避するのに必要とする時間もスペースの大きさや退避経路などの事情によって異なり、あらかじめ適切な時間を設定することが困難である。本実施形態のオゾン発生装置１０では、設置場所のスペースのサイズに関係なく、オゾン発生動作ＯＮ状態になったときに合わせてオゾン発生動作を開始させることができる。

【0051】

タイマーダイヤル２４については、回転位置によって運転条件を変えるようにしてもよい。また、オゾン発生動作ＯＮに切り替わる回転位置を設定し、その位置までモータ駆動によってタイマーダイヤル２４が回転するのを検出してオゾン発生動作ＯＮ状態に設定してもよい。このとき、一定時間モータ駆動によりタイマーダイヤル２４を停止させ、それに合わせてオゾン発生動作ＯＮ状態に設定してもよい。また、タイマーダイヤル２４の回転位置に応じて運転条件を変更（送風機の風量調整など）も可能であり、遠隔操作なども可能である。

【0052】

本実施形態では、オゾン発生装置１０がコンパクト型装置として構成されているが、常設されるオゾン発生装置に対しても適用可能である。この場合、流路管の長さ、流路管内におけるエキシマランプの流出口からの距離間隔、流路管の流出口と装置開口部（流出口）との距離間隔、送風機とエキシマランプとの距離間などの違いによって、送風機の始動から流路管内の流量が略一定となるまでの時間は相違する。これらの影響を踏まえてエキシマランプ３０を遅延点灯させればよい。

【符号の説明】

【0053】

１０ オゾン発生装置
２０ 流路管
２０Ｗ 窓
２２ 電源スイッチボタン
２４ タイマーダイヤル
３０ エキシマランプ
４０ 送風機
５０ ランプ電源
６０ 制御部

【図1】

【図2】