特許 7555989 センサモジュール、センサモジュール設置器具及びセンサモジュールの取付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-13

(45)【発行日】2024-09-25

(54)【発明の名称】センサモジュール、センサモジュール設置器具及びセンサモジュールの取付方法

(51)【国際特許分類】

   G01D 11/30 20060101AFI20240917BHJP

   G01N 29/24 20060101ALI20240917BHJP

【ＦＩ】

G01D11/30 S

G01N29/24

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2022044949

(22)【出願日】2022-03-22

(65)【公開番号】P2023139425

(43)【公開日】2023-10-04

【審査請求日】2024-02-21

(73)【特許権者】

【識別番号】000003078

【氏名又は名称】株式会社東芝

(74)【代理人】

【識別番号】110001634

【氏名又は名称】弁理士法人志賀国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】高峯 英文

(72)【発明者】

【氏名】廣川 潤子

(72)【発明者】

【氏名】渡部 一雄

(72)【発明者】

【氏名】釘宮 哲也

(72)【発明者】

【氏名】上野 佳祐

(72)【発明者】

【氏名】碓井 隆

(72)【発明者】

【氏名】李 永芳

(72)【発明者】

【氏名】上田 祐樹

【審査官】藤澤 和浩

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１６－２２４０３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－２５１５６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１９０８９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１０５８４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平５－２６８８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｄ １１／００－１３／２８

Ｇ０１Ｎ ２９／００－２９／５２

Ｇ０１Ｍ １３／００－１３／０４５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

センサと、
前記センサを保持して、前記センサを計測対象物側に押し付けて押圧力を与える押圧力付与部を有するセンサホルダと、
粘着力で前記センサホルダを計測対象物に粘着する粘着部と、
前記押圧力と前記粘着力との間の相対的な大小関係を変化させる変化機構と、
を備える
センサモジュール。

【請求項2】

前記粘着部は、電気剥離シートであり、
前記電気剥離シートはシート部と、電極と、を有し、
前記変化機構は、前記電極に電圧を付与して前記シート部に電流を流して前記粘着力を低下させる電圧付与部である
請求項１に記載のセンサモジュール。

【請求項3】

請求項１または請求項２に記載のセンサモジュールと、
前記センサモジュールを把持するセンサモジュール把持部と、
を備える
センサモジュール設置器具。

【請求項4】

センサモジュール把持部は、前記センサを前記計測対象物側に押し付けて前記押圧力をさらに与える棒状部材をさらに備える
請求項３に記載のセンサモジュール設置器具。

【請求項5】

センサと、前記センサを保持して、前記センサを計測対象物側に押し付けて押圧力を与える押圧力付与部を有するセンサホルダと、粘着力で前記センサホルダを計測対象物に粘着する粘着部と、を有するセンサモジュールと、
前記センサモジュールを把持し、前記押圧力と前記粘着力との間の相対的な大小関係を変化させる変化機構を有するセンサモジュール把持部と、
を備える
センサモジュール設置器具。

【請求項6】

前記粘着部は、電気剥離シートであり、
前記電気剥離シートはシート部と、電極と、を有し、
前記変化機構は、前記電極に電圧を付与して前記シート部に電流を流して前記粘着力を低下させる電圧付与部である
請求項５に記載のセンサモジュール設置器具。

【請求項7】

前記押圧力付与部は、プランジャであり、
前記変化機構は、前記プランジャに接続して、所定のトルクを付与して前記押圧力を上昇させるプランジャ把持部である
請求項５に記載のセンサモジュール設置器具。

【請求項8】

前記押圧力付与部は、気体を内包した弾性体を有し、
前記変化機構は、前記気体を加熱して前記押圧力を上昇させるヒータである
請求項５に記載のセンサモジュール設置器具。

【請求項9】

前記変化機構は、前記粘着部に回転して挿入し前記粘着力を低下させるブレードをさらに有する
請求項３から請求項８のいずれか一項に記載のセンサモジュール設置器具。

【請求項10】

前記変化機構を操作する操作部を備える
請求項３から請求項９のいずれか一項に記載のセンサモジュール設置器具。

【請求項11】

前記センサモジュール把持部は、前記押圧力を上昇させる棒状部材をさらに備える
請求項３から請求項１０のいずれか一項に記載のセンサモジュール設置器具。

【請求項12】

センサを保持したセンサホルダを計測対象物に取り付けるセンサモジュールの取付方法であって、
前記センサを前記計測対象物側に押し付けて押圧力を与えるステップと、
粘着力で前記センサホルダを前記計測対象物に粘着するステップと、
前記押圧力と前記粘着力との間の相対的な大小関係を変化させるステップと、
を備える
センサモジュールの取付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、センサモジュール、センサモジュール設置器具及びセンサモジュールの取付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、計測対象物の表面に設置して計測を行い、インフラの検査や診断などに活用するセンサが広く使用されている。特にＡＥ（Acoustic Emission）センサを用いた計測は、計測中にセンサ面と計測対象物の表面との接触状態を保つ必要がり、接触状態の管理及び確認が困難であった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１９－１９０８９４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明が解決しようとする課題は、センサ設置作業の負荷を低減することができるセンサモジュール、センサモジュール設置器具及びセンサモジュールの取付方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0005】

実施形態のセンサモジュールは、センサと、センサホルダと、粘着部と、変化機構とを持つ。前記センサホルダは、前記センサを保持して、押圧力付与部を有する。前記押圧力付与部は、前記センサを計測対象物側に押し付けて押圧力を与える。前記粘着部は、粘着力で前記センサホルダを計測対象物に粘着する。前記変化機構は、前記押圧力と前記粘着力との間の相対的な大小関係を変化させる。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】第１の実施形態に係るセンサモジュールの斜視図。

【図2】図１のセンサモジュールの電極に電圧が印加（付与）される前の断面図。

【図3】図１のセンサモジュールの電極に電圧が印加（付与）された後の断面図。

【図4】第２の実施形態に係るセンサモジュール設置器具の側面図。

【図5】図４のセンサモジュール設置器具のセンサモジュールを拡大した図。

【図6】第３の実施形態に係るセンサモジュール設置器具のセンサモジュールを拡大した断面図。

【図7】図６のセンサモジュール設置器具のＡ－Ａ断面を上側からみた状態を示す図。

【図8】図６のセンサモジュール設置器具のブレードを粘着部に挿入した状態を示す図。

【図9】第４の実施形態に係るセンサモジュール設置器具のセンサモジュールを拡大した断面図。

【図10】図９のセンサモジュール設置器具のセンサモジュールを計測対象物から取り外した状態を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0007】

以下、実施形態のセンサモジュール、センサモジュール設置器具及びセンサモジュールの取付方法を、図面を参照して説明する。以下の説明では、同一または類似の機能を有する構成に同一の符号を付す。そして、それら構成の重複する説明は省略する場合がある。

【0008】

（第１の実施形態）
図１は、本実施形態に係るセンサモジュール１の斜視図である。
以下の説明において、鉛直方向をＺ方向とし、センサモジュール１が計測対象物４に接触する接触面側を上側Ｚ１とし、上側Ｚ１と反対方向を下側Ｚ２とする。また、Ｚ方向に対して垂直な水平面上において、センサモジュール１の長手方向をＸ方向（左右方向）とし、一方を左側Ｘ１とし、他方を右側Ｘ２とする。さらに、Ｘ方向に直交するセンサモジュール１の短手方向をＹ方向として、一方を前側Ｙ１とし、他方を後側Ｙ２とする。

【0009】

以下、センサモジュール１の構成について説明する。
センサモジュール１は、計測対象物４にセンサ５を接着させて、センサ５の計測中に計測対象物４とセンサ５との接着を保持するための器具である。センサモジュール１は、図１に示すように、センサ５と、センサホルダ２と、粘着部３と、電圧印加部（変化機構）３３とを備える。

【0010】

計測対象物４は、例えば、橋梁や建造物等の社会インフラ構造物である。計測対象物４は、下側Ｚ２にセンサ５が接触して計測可能な計測面４ａを備える。ここで、本実施形態では、計測面４ａは、例えばＺ方向においてセンサ５から見て上側Ｚ１に備えられる。計測面４ａは、Ｘ方向とＹ方向とに沿う水平面上に備えられた建造物等の天井面である。ただし、計測面４ａは、特に限定されず、Ｚ方向においてセンサ５から見て下側Ｚ２に備えられた床面であってもよいし、Ｘ方向またはＹ方向に備えられた側壁面であってもよい。計測面４ａは、どの方向に備えられていてもよい。

【0011】

以下、センサ５の構成について説明する。
センサ５は、本実施形態では、計測対象物４に接触させて、計測対象物４の亀裂や振動等を計測するＡＥセンサ（超音波トランスジューサ）等のセンサである。センサ５は、計測対象物と対向する面にセンサ面５ａを備える。センサ面５ａは、上側Ｚ１に備えられる。センサ５は、センサ面５ａにカプラント等の接触触媒等を介して接触する。センサ面５ａは、計測中に計測対象物４の計測面４ａと接触した状態に保たれるように設置される。また、センサ５は、センサ面５ａと反対側の下側Ｚ２に下面５ｂを備える。センサ５は、特にＡＥセンサに限定されず、従来公知のセンサを用いることができる。

【0012】

センサ５は、センサホルダ２によって保持され、計測対象物４の計測面４ａと接触しない状態で、センサホルダ２よりもＺ方向の上側Ｚ１に任意の突出量だけ突出する。

【0013】

以下、センサホルダ２の構成について説明する。
図２は、図１のセンサモジュール１の電極３２に電圧が印加（付与）される前の断面図である。図３は、図１のセンサモジュール１の電極３２に電圧が印加（付与）された後の断面図である。
センサホルダ２は、図１または図２に示すように、センサホルダ本体６と押圧力付与部７とを備える。

【0014】

センサホルダ本体６は、センサ５を保持する。センサホルダ本体６は、センサ保持部６１と、取付部６２と、を備える。

【0015】

センサ保持部６１は、図２に示すように、Ｙ方向の前側Ｙ１から見て上側Ｚに開口を有する略Ｕ字状に形成されている。センサ保持部６１は、底部６１１と、左保持側壁６１２と、右保持側壁６１３と、を備える。

【0016】

底部６１１は、センサ保持部６１の底である。底部６１１は、センサ５の下側Ｚ２に備えられる。底部６１１は、Ｘ方向とＹ方向とに沿う水平面上に略板状に形成される。底部６１１は、Ｚ方向に貫通する貫通孔６１１ｈを備える。貫通孔６１１ｈは、底部６１１の中心に備えられる。

【0017】

左保持側壁６１２は、センサ保持部６１の左側Ｘ１の側壁である。左保持側壁６１２は、センサ５の左側Ｘ１に備えられる。左保持側壁６１２は、Ｚ方向とＹ方向とに沿う水平面上に略板状に形成される。左保持側壁６１２は、底部６１１の左側Ｘ１の端部からＺ方向の上側Ｚ１に立設する。

【0018】

右保持側壁６１３は、センサ保持部６１の右側Ｘ２の側壁である。右保持側壁６１３は、センサ５の右側Ｘ２に備えられる。右保持側壁６１３は、Ｚ方向とＹ方向とに沿う水平面上に略板状に形成される。右保持側壁６１３は、底部６１１の右側Ｘ１の端部からＺ方向の上側Ｚ１に立設する。

【0019】

取付部６２は、センサホルダ２と計測対象物４とが粘着部３を介して接触する部分である。取付部６２は、Ｚ方向においてセンサホルダ２の最上端となる。取付部６２は、左取付部６２１と右取付部６２２とを備える。

【0020】

左取付部６２１は、Ｘ方向とＹ方向とに沿う水平面上に略板状に形成される。左取付部６２１は、右側Ｘ２の右端を左保持側壁６１２の上端６１２ａに接続され、左側Ｘ１に向かって延在している。左取付部６２１は、上側Ｚ１に粘着面６２１ａを備える。左取付部６２１の大きさや形状は、特に限定されず、後述の電気剥離シート部３１及び電極３２が取付け可能な大きさであればよい。

【0021】

右取付部６２２は、Ｘ方向とＹ方向とに沿う水平面上に略板状に形成される。右取付部６２２は、左側Ｘ２の左端を右保持側壁６１３の上端６１３ａに接続され、右側Ｘ２に向かって延在している。右取付部６２２は、上側Ｚ１に粘着面６２２ａを備える。右取付部６２２の大きさや形状は、左取付部６２１と同様に、特に限定されず、後述の電気剥離シート部３１及び電極３２が取付け可能な大きさであればよい。

【0022】

左取付部６２１と右取付部６２２とは、後述の粘着部３を介して、計測対象物４の計測面４ａに接触する。本実施形態では、取付部６２は、左取付部６２１と右取付部６２２とを両方備えているが、どちらか一方を備えていればよい。また、左取付部６２１と右取付部６２２との大きさ及び形状は、同じであってもよいし、異なっていてもよい。

【0023】

押圧力付与部７は、センサ５を計測対象物４側である上側Ｚ１に押し付けて押圧力Ｐを与える。押圧力付与部７は、例えば、任意のバネ定数をもつ弾性のバネである。押圧力付与部７は、Ｚ方向の上側Ｚ１に上端部７ａを備え、下側Ｚ２に下端部７ｂを備える。上端部７ａには、上設置板７１が備えられる。上設置板７１は、センサホルダ２によってセンサ５が保持された状態で、センサ５の下面５ｂに当接する。押圧力付与部７の下端部７ｂには、下設置板７２が備えられる。下設置板７２は、センサホルダ本体６の底部６１１の貫通孔６１１ｈを除く部分において底部６１１に固定されている。なお、上設置板７１と下設置板７２とは、必須の構成ではない。押圧力付与部７は、複数備えられていてもよい。

【0024】

押圧力付与部７は、センサ５が計測対象物４に接着しない状態においてセンサ５に押圧力（復元力）Ｐを備えない。押圧力付与部７は、下側Ｚ２に力を与えられると、上側Ｚ１に反発する押圧力Ｐを発生する。

【0025】

押圧力付与部７は、図２に示すように、センサホルダ２によってセンサ５が保持され、センサ５と計測対象物４とが接触するとセンサ５が突出量分だけ下側Ｚ２に移動する。このとき、押圧力付与部７は、Ｚ方向においてセンサ５が上側Ｚ１に突出していた突出量と同じ量だけ縮む。押圧力付与部７は、復元力として上側Ｚ１に押圧力Ｐを与える。押圧力Ｐは、押圧力付与部７の復元力によってセンサ５に与えられる。なお、センサホルダ２は、押圧力Ｐの分だけ下側Ｚ２に反発する力が与えられる。押圧力Ｐは、公知の計算式により、突出量とバネ係数に比例して大きくなったり小さくなったりする。なお、突出量とバネ係数とは、任意の実数を設定することができる。

【0026】

以下、粘着部３の構成について説明する。
粘着部３は、図１から図３に示すように、Ｚ方向において粘着力Ｑでセンサホルダ２を計測対象物４に粘着する。粘着部３は、従来公知の電気剥離シートを用いる。粘着部３は、電気剥離シート部（シート部）３１と、電極３２とを有する。

【0027】

電気剥離シート部（シート部）３１は、Ｚ方向とＹ方向とに沿う水平面上に沿って形成されたシート状である。電気剥離シート部３１は、電極３２の第一電極３２１と第二電極３２２との間に備えられる。電気剥離シート部３１は、図示しない粘着剤等で第一電極３２１に接着され、センサホルダ２と一体化する。接着剤は、例えば電気剥離シート部３１が第一電極３２１から剥がれ落ちない程度の強固な粘着力があるのが好ましい。

【0028】

電極３２は、図２または図３に示すように、Ｚ方向とＹ方向とに沿う水平面上に沿って形成された導電性を有する被粘着体のシートである。導電性を有する被粘着体としては、例えば、アルミニウム、スズドープ酸化インジウム、銅、鉄、銀、白金、金等の金属やそれら金属の合金等が挙げられる。電極３２は、第一電極３２１と第二電極３２２とを備える。なお、電極３２は、少なくとも電気剥離シート部３１と接触する部分、及び電圧印加部３３の各端子を接触させる部分において導電性があり、これらの部分が導通していればよい。また、電極３２は複数備えられていてもよい。

【0029】

第一電極３２１は、センサホルダ本体６の左取付部６２１の粘着面６２１ａと右取付部６２２の粘着面６２２ａとに備えられる。第一電極３２１は、図示しない粘着剤等で左取付部６２１と右取付部６２２と接着され、センサホルダ２と一体化する。第一電極３２１は、左取付部６２１と右取付部６２２とのいずれか一方に備えられていてもよい。

【0030】

第二電極３２２は、図示しない粘着剤等で計測対象物４の計測面４ａに接着される。第二電極３２２は、第一電極３２１の上側Ｚ１に配置される。第一電極３２１と電気剥離シート部３１と第二電極は３２２とはＺ方向において下側Ｚ２から上側Ｘ１に向かってこの順に重なるように並ぶ。

【0031】

粘着部３は、第一電極３２１及び第二電極は３２２に電圧が印加（付与）されると、電気剥離シート部３１に電流が流れる。電気剥離シート部３１は、電極３２から剥離する。ここで、粘着部３の電気剥離シート部３１と第一電極３２１とは、センサホルダ２に一体化されている。そのため、粘着部３は電気剥離シート部３１と第二電極３２２との間から剥離する。

【0032】

以下、電圧印加部（変化機構）３３の構成について説明する。
電圧印加部（変化機構）３３は、押圧力Ｐと粘着力Ｑとの間の相対的な大小関係を変化させる。電圧印加部３３は、電極３２に電位差を生じるように電圧を印加（付与）する。すると、電圧印加部３３は、粘着部３の粘着力Ｑを低下させて弱くする。

【0033】

電圧印加部３３は、陽極端子３３ｐと陰極端子３３ｑとを備える。電圧印加部３３は、図２及び図３に示すように、センサホルダ２を計測対象物４に接触させて取り付けた状態で、各端子を電極３２に接続させる。本実施形態では、陽極端子部３３ｐは、第一電極３２１に電気的に接続される。陰極端子３３ｑは、第二電極３２２に電気的に接続される。陽極端子３３ｐ及び陰極端子３３ｑは反対であってもよい。

【0034】

例えば、電圧印加部３３には、電圧の印加（付与）を操作するスイッチ３３０が備えられていてもよい。スイッチ３３０は、電圧印加部３３を入状態と切状態に操作する。スイッチ３３０は、入状態のとき電圧印加部３３と電極３２とを電気的に接続する。スイッチ３３０は、切状態のとき電圧印加部３３と電極３２とを電気的に接続しない。

【0035】

本実施形態のセンサモジュール１は、押圧力Ｐ及び重力などを含む外力が一定である場合、粘着部３の粘着力Ｑの強弱を押圧力Ｐに対して相対的に変更して、センサ５及びセンサホルダ２を計測対象物４から着脱可能にする。粘着部３は、電圧印加部３３により押圧力Ｐに対して粘着力Ｑの強弱を相対的に変更可能である。

【0036】

電圧印加部３３は、図２に示すように、計測対象物４にセンサホルダ２に取付ける前及び計測対象物４にセンサホルダ２に取付けて計測する状態において、電極３２に電圧を印加（付与）しない。このときの粘着力Ｑを第一粘着力Ｑ１とする。第一粘着力Ｑ１は、センサホルダ２が計測対象物４から外れないように維持できる粘着力である。具体的には、第一粘着力Ｑ１は、押圧力付与部７が計測対象物４に与える押圧力Ｐによりセンサホルダ２に働く反発力、図示しないセンサ５及びセンサホルダ２等の重力及び計測中に発生する風や振動等の下側Ｚ２に働く外力を含んだセンサホルダ２を計測対象物４から剥離する力（以下、剥離力とする）よりも相対的に強くなるように設定される。

【0037】

また、粘着部３は、図３に示すように、センサ５による計測が完了した際に、電圧印加部３３のスイッチ３３０よって電圧を印加（付与）すると、電極３２が通電する。粘着部３は、下側Ｚ２の第一電極３２１と上側Ｚ１の第二電極３２２との間に電圧が加わり電気剥離シート部３１に電流が流れる。電気剥離シート部３１は、電極３２から剥離する。ここで、粘着部３の電気剥離シート部３１と第一電極３２１とは、センサホルダ２に一体化されている。そのため、粘着部３は電気剥離シート部３１と第二電極３２２との間から剥離する。そのため粘着部３の粘着力Ｑは低下する。このときの粘着力Ｑを第二粘着力Ｑ２とする。第二粘着力Ｑ２は、第一粘着力Ｑ１よりも弱い。また、第二粘着力Ｑ２は、剥離力よりも弱い。そのため、センサ５及びセンサホルダ２は、剥離力によって計測対象物４から取り外される。

【0038】

以下、センサモジュール１の作用について説明する。
センサモジュール１は、図２に示すように、計測対象物４に設置する。センサモジュール１の押圧力付与部７は、センサ５がセンサホルダ２によって保持されセンサ５と計測対象物４とが接触する状態において、Ｚ方向の上側Ｚ１に押圧力Ｐを備える。このとき、例えば、粘着部３がない場合には、センサ５及びセンサモジュール１は、重力などによって落下してしまう。本実施形態では、粘着部３を備えることで、センサモジュール１を計測対象物４に粘着させて、センサ５及びセンサモジュール２の保持状態を維持する。粘着部３は、第一粘着力Ｑ１をもつ。第一粘着力Ｑ１は、上述の剥離力も強い。第一粘着力Ｑ１は、センサホルダ２が計測対象物４から外れないように維持できる粘着力である。なお、この状態において粘着部３の電圧印加部３３のスイッチ３３０は、切状態であり、電極３２に電圧を印加（付与）しない。センサ５は、以上の構成において亀裂や振動等の計測を行う。

【0039】

センサモジュール１は、図３に示すように、センサ５の計測が完了し、取り外す際に、粘着部３の電圧印加部３３のスイッチ３３０を入状態にする。すると粘着部３の電圧印加部３３は、電極３２に電圧を印加（付与）する。第一電極３２１と、第二電極３２２との間には電圧がかかり、Ｚ方向において間に挟まれた電気剥離シート部３１には電流が流れる。電気剥離シート部３１は、電極３２から剥離する。ここで、粘着部３の電気剥離シート部３１と第一電極３２１とは、センサホルダ２に一体化されている。そのため、粘着部３は電気剥離シート部３１と第二電極３２２との間から剥離する。粘着部３の粘着力Ｑは低下し、第二粘着力Ｑ２となる。第二粘着力Ｑ２は、上述の剥離力よりも相対的に弱い。そのため、センサ５及びセンサホルダ２は、剥離力によって計測対象物４から取り外される。

【0040】

本実施形態によれば、センサ保持部６１の底部６１１が、Ｚ方向に貫通する貫通孔６１１ｈを備えるため、貫通孔６１１ｈから手や棒状部材等でセンサ５を上側Ｚ１に押し込み、センサ５のセンサ面５ａと計測対象物４の計測面４ａとを確実に接着し、密着性を高めることができる。また、押圧力付与部７及び下設置板７２が、底部６１１と同様に、Ｚ方向において貫通孔６１１ｈと重なる位置に、Ｚ方向に貫通する孔を有している場合は、図示しないセンサ５の電源ケーブル等を貫通孔６１１ｈに挿通させることができる。

【0041】

また、本実施形態によれば、センサホルダ２のセンサホルダ本体６が、取付部６２を備えているため、センサ５に直接接着剤や接着テープ等を取り付けなくても、重力によって落下することなく天井面である計測面４ａにセンサ５を取り付けることができる。

【0042】

また、本実施形態によれば、センサホルダ２が押圧力付与部７を備えることで、センサ５を計測対象物４に押圧力Ｐを与えて押し付けることができる。そのため、センサ５は、計測対象物４が振動してもセンサ面５ａを計測面４ａに接触させた状態を維持して計測することができる。

【0043】

また、本実施形態によれば、センサモジュール１は、押圧力付与部７によってセンサ５を計測対象物４に押圧力Ｐを与えて押し付けつつ、粘着部３によってセンサ５及びセンサホルダ２を粘着させて、計測対象物４から外れないように維持できる。

【0044】

また、本実施形態によれば、電圧印加部３３により剥離力に対して、粘着部３の粘着力Ｑを第一粘着力Ｑ１から第二粘着力Ｑ２にする。つまり電圧印加部３３は、粘着部３の粘着力Ｑの強弱を変更可能である。そのため、センサ５及びセンサホルダ２を計測対象物４から着脱可能に構成することができる。さらにセンサモジュール１は、押圧力Ｐと粘着力Ｑとの関係を簡便に管理することができる。

【0045】

また、本実施形態によれば、粘着部３に電気剥離シートを用いることで電圧を印加（付与）することにより短時間でセンサ５及びセンサホルダ２を対象計測物４から取り外すことができる。

【0046】

また、本実施形態によれば、センサ設置作業の負荷を軽減して、容易にセンサ５を計測対象物４から取り外すことができる。また、センサモジュール１は電気剥離シートを張り替えるのみで繰り返し使用できるため、低コストで安定したセンサ設置作業を行うことができる。

【0047】

（第２の実施形態）
以下、第２の実施形態についてセンサモジュールを備えたセンサモジュール設置器具を図４及び図５を参照して説明する。
これらの図において、図１から図３に示す第１の実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。

【0048】

図４は、第２の実施形態に係るセンサモジュール設置器具１０Ａの側面図である。図５は、図４のセンサモジュール設置器具１０Ａのセンサモジュール１Ａを拡大した図である。
センサモジュール設置器具１０Ａは、センサモジュール把持部８Ａとセンサモジュール１Ａとを有する。

【0049】

以下、センサモジュール把持部８Ａの構成について説明する。
センサモジュール把持部８Ａは、図４に示すように、センサモジュール１Ａを把持して取り外しをすることができる。ここで、センサモジュール把持部８Ａは、Ｚ方向に沿う中心軸線Ｊを備える。センサモジュール把持部８Ａは、支持部８１と、カップ部８２と、電圧印加部（変化機構）３３Ａと、棒状部材８３と、を有する。

【0050】

支持部８１は、上側Ｚ１に備えられたカップ部８２を支持する。支持部８１は、中心軸線Ｊに沿って延在し、略棒筒状に形成される。支持部８１は、後述の棒状部材や、配線ケーブル等が挿通可能な空洞部８１ｈを内部に有する。支持部８１は、支持部８１は、側面に操作部８４を備える。

【0051】

操作部８４は、電圧印加部３３Ａのスイッチ３３０を操作可能である。操作部８４は、支持部８１の下側Ｚ２に取り付けられる。操作部８４は、無線によって遠隔で電圧印加部３３Ａのスイッチ３３０を操作してもよいし、有線ケーブルを用いて電圧印加部３３Ａに対して電気的に接続してもよい。

【0052】

カップ部８２は、センサモジュール１Ａを把持する。カップ部８２は、第一カップ部８２１と、第一カップ部８２２と、を備える。

【0053】

第一カップ部８２１は、支持部８１の上側Ｚ１に備えられる。第一カップ部８２１は、Ｚ方向の上側Ｚ１が開口された凹部８２１ａを有する。第一カップ部８２１は、中心軸線Ｊに沿う周方向に略カップ状に形成される。凹部８２１ａは、第二カップ部８２２とセンサモジュール１Ａとを把持できる程度の大きさに形成される。第一カップ部８２１は、下側Ｚ２に貫通孔８２１ｈを備える。貫通孔８２１ｈの径は、後述の棒状部材８３の外径よりも大きい。

【0054】

支持部８１は、第一カップ部８２１の下面８２１ｂに対して上端部８１ａを基点として下面８２１ｂと支持部８１とがなす角度を自由に変更することができる。そのため、本実施形態によれば、センサモジュール把持部８Ａは、カップ部８２に設置されたセンサモジュール１Ａを柔軟な角度で計測対象物４に添わせることができる。

【0055】

第二カップ部８２２は、第一カップ部８２１よりも上側Ｚ１に備えられる。第二カップ部８２２は、下側Ｚ２を第一カップ部８２１に固定される。第二カップ部８２２は、第一カップ部８２１と同様にＺ方向の上側Ｚ１が開口された凹部８２２ａを有する。第二カップ部８２２は、中心軸線Ｊに沿う周方向に略カップ状に形成される。凹部８２２ａは、センサモジュール１Ａを把持できる程度の大きさに形成される。第二カップ部８２２は、下側Ｚ２に貫通孔８２２ｈを備える。貫通孔８２２ｈは、貫通孔８２１ｈと同じ大きさであってもよいし、後述の棒状部材８３が貫通できる程度の孔であってもよい。第二カップ部８２２は、貼付部８２３を備える。なお、第一カップ部８２１と、第一カップ部８２２とは一体化されていてもよい。

【0056】

電圧印加部（変化機構）３３Ａは、押圧力Ｐと粘着力Ｑとの間の相対的な大小関係を変化させる。電圧印加部３３Ａは、第１の実施形態のセンサモジュール１に備える電圧印加部３３と同様の構成である。上述の電圧印加部３３Ａは、例えば第二カップ部８２２の側面に備えられる。電圧印加部３３Ａは、図５に示すように、センサモジュール１Ａを計測対象物４に取り付けた状態で、センサモジュール把持部８Ａをセンサモジュール１Ａと計測対象物４とに近づける。このとき電圧印加部３３Ａは、各端子を電極３２に接触させる。電圧印加部３３Ａの入切のスイッチ３３０は、操作部８４によって操作される。

【0057】

貼付部８２３は、第二カップ部８２２の上側Ｚ１の上面に備えられる。第一粘着力Ｑ１よりも小さく、第二粘着力Ｑ２よりも大きい粘着力を有する粘着テープである。貼付部８２３は、第二カップ部８２２の上面の一部に貼りつけてもよいし、全体に貼りつけてもよい。

【0058】

棒状部材８３は、支持部８１の空洞部８１ｈに挿通される。棒状部材８３は、Ｚ方向に進退可能に設置されている。棒状部材８３の上端部８３ａは、センサモジュール１Ａの貫通孔６１１ｈから挿通し、下設置板７２を介してセンサ５を計測対象物４側である上側Ｚ１に押し込む。作業者は、支持部８１を持った状態で棒状部材８３を上下に進退させることで、例えば、センサ５に更に押圧力Ｐを加えることができる。そのため、棒状部材８３は、押圧力Ｐを加えることによりセンサ５と計測対象物４とを確実に接着し、計測対象物４を正確に計測することができる。

【0059】

センサモジュール１Ａの構成については、センサモジュール１Ａが第１の実施形態のセンサモジュール１に備える電圧印加部３３を備えていないことを除き、第１の実施形態と同様の構成である。なお、センサモジュール１Ａの中心軸は、センサモジュール把持部８Ａの中心軸線Ｊと略一致する。

【0060】

以下、センサモジュール設置器具１０Ａの作用について説明する。なお、センサモジュール１Ａの作用については、第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。

【0061】

センサモジュール把持部８Ａは、カップ部８２によってセンサモジュール１Ａを把持した状態で、センサモジュール１Ａを計測対象物４の計測面４ａまで移動する。センサモジュール１Ａは、計測対象物４の計測面４ａにおいて、粘着部３により粘着されて計測対象物４に取り付けられる。このとき、作業者により棒状部材８３をＺ方向に進退させてセンサ５を押し付けることにより、より確実にセンサモジュール１Ａを設置することができる。

【0062】

センサモジュール１Ａを計測対象物４の計測面４ａに設置した後は、センサモジュール把持部８Ａのみ取り除かれる。

【0063】

センサモジュール１Ａは、センサ５の計測が完了し、取り外す際に、センサモジュール把持部８Ａによって把持される。このとき電圧印加部３３Ａの各端子を電極３２に接触させて電気的に接続する。操作部８４により粘着部３の電圧印加部３３Ａのスイッチ３３０を入状態にすると、粘着部３は、第１の実施形態と同様に上下２つの電極３２間に電圧をかけることができる。電極３２間に電圧をかけることにより、電気剥離シート部３１に電圧を加えて粘着力Ｑを第二粘着力Ｑ２に低下させ、センサモジュール１Ａを取り外すことができる。

【0064】

本実施形態によれば、作業を行う作業者が支持部８１を持つことで、上側Ｚ１に備えるカップ部８２にセンサモジュール１Ａを設置し、容易に高所の天井にセンサモジュール１Ａを取り付けることができる。

【0065】

また、本実施形態によれば、作業者が、再度センサモジュール把持部８Ａを用いて、手の届かない天井面などの高い位置からセンサモジュール１Ａを容易に取り外すことができる。

【0066】

また、本実施形態によれば、センサホルダ２が押圧力付与部７を備えることで、センサ５を計測対象物４に押圧力Ｐを与えて押し付けることができる。そのため、センサ５は、計測対象物４が振動してもセンサ面５ａを計測面４ａに接触させた状態を維持して計測することができる。

【0067】

また、本実施形態によれば、センサモジュール１Ａは、押圧力付与部７によってセンサ５を計測対象物４に押圧力Ｐを与えて押し付けつつ、粘着部３によってセンサ５及びセンサホルダ２を粘着させて、計測対象物４から外れないように維持できる。

【0068】

また、本実施形態によれば、電圧印加部３３により剥離力に対して、粘着部３の粘着力Ｑを第一粘着力Ｑ１から第二粘着力Ｑ２にする。つまり電圧印加部３３は、粘着部３の粘着力Ｑの強弱を変更可能である。そのため、センサ５及びセンサホルダ２を計測対象物４から着脱可能に構成することができる。さらにセンサモジュール１Ａは、押圧力Ｐと粘着力Ｑとの関係を簡便に管理することができる。

【0069】

また、本実施形態によれば、操作部８４が支持部８１に取り付けられるため、支持部８１を持つ作業者が容易に上側Ｚ１に備えるセンサモジュール１Ａの電圧印加部３３Ａのスイッチ３３０を操作することができる。そのため、Ｚ方向に高い天井など、作業者の手の届かない範囲へセンサモジュール１Ａの設置をしても容易に電圧印加部３３Ａを操作することができる。また、センサモジュール１Ａは、短時間でセンサ５及びセンサホルダ２を対象計測物４から取り外すことができる。

【0070】

本実施形態によれば、カップ部８２は、貼付部８２３を備えるため、センサモジュール１Ａを取り付ける際にカップ部８２からセンサモジュール１Ａが外れてしまうのを抑制することができる。また、貼付部８２３の粘着力は、第一粘着力Ｑ１よりも小さい。そのため、センサモジュール１Ａを計測対象物４の計測面４ａに押し付け、センサモジュール１Ａと計測対象物４との間で十分強い第一粘着力Ｑ１が形成された場合には、センサモジュール把持部８Ａのみを取り外し、センサモジュール１Ａを計測対象物４に設置することができる。

【0071】

また、本実施形態によれば、センサモジュール１Ａと計測対象物４の計測面４ａとの間の粘着力が第二粘着力Ｑ２となる場合、センサモジュール１Ａを容易に計測対象物４から取り外すことができる。

【0072】

（変形例）
電圧印加部は、センサモジュール把持部ではなくセンサモジュールに備えていてもよい。

【0073】

（第３の実施形態）
以下、第３の実施形態についてセンサモジュールを備えたセンサモジュール設置器具を図６から図８を参照して説明する。
これらの図において、図１から図５に示す第１の実施形態及び第２の実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。

【0074】

図６は、第３の実施形態に係るセンサモジュール設置器具１０Ｂのセンサモジュール１Ｂを拡大した断面図である。図７は、図６のセンサモジュール設置器具１０ＢのＡ－Ａ断面を上側Ｚ１からみた状態を示す図である。図８は、図６のセンサモジュール設置器具１０Ｂのブレード９２を粘着部３Ｂに挿入した状態を示す図である。
センサモジュール設置器具１０Ｂは、センサモジュール把持部８Ｂとセンサモジュール１Ｂとを有する。センサモジュール把持部８Ｂは、支持部８１と、カップ部８２と、変化機構９と、棒状部材８３と、を有する。また、支持部８１は、操作部８４Ｂを備える。操作部８４Ｂは、後述のプランジャ把持部９１の回転の入切のスイッチを操作可能な操作部８４１Ｂと、ブレード９２の回転の入切のスイッチを操作可能な操作部８４２Ｂとを備える。

【0075】

以下、変化機構９の構成について説明する。
変化機構９は、押圧力Ｐと粘着力Ｑとの間の相対的な大小関係を変化させる。変化機構９は、プランジャ把持部９１とブレード９２とを備える。

【0076】

プランジャ把持部９１は、後述のプランジャ７Ｂに所定のトルクを付与する。プランジャ把持部９１は、第二カップ部８２２の凹部８２２ａの底部に備えられる。プランジャ把持部９１は、操作部８４１Ｂによって回転され、プランジャ７Ｂに所定のトルクを付与する。プランジャ把持部９１の大きさや形状については、特に限定されず、プランジャ７Ｂを把持してトルクを付与できればよい。また、プランジャ把持部９１は、手動で回転させてもよい。

【0077】

ブレード９２は、図７及び図８に示すように、粘着部３Ｂに対して挿入可能に備えられている。ブレード９２は、図７に示すように、中心軸線Ｊに沿う周方向の一方側に刃先９２０を備え、刃先９２０を一辺として略三角形状に形成されている。ブレード９２は、例えば二つ備えられており、中心軸線Ｊを挟んで左側Ｘ１と右側Ｘ２との両側に形成される。ブレード９２の基端部９２ａは、第二カップ部８２２の凹部８２２ａの上縁部に接続される。ブレード９２は、図７に示すように、基端部９２ａから先端部９２ｂにかけて中心軸線Ｊの周方向における幅が小さくなるように形成される。また、ブレード９２は、図８に示すように、基端部９２ａから先端が中心軸線Ｊを向くように延在する。ブレード９２は、センサモジュール把持部８Ｂの操作部８４２Ｂによって中心軸線Ｊに沿う周方向の一方側に回転すると、周方向の一方側から粘着部３Ｂに刃先９２０を挿入する。すると、ブレード９２は、粘着部３Ｂに挿入して粘着部３Ｂを削り、粘着力Ｑを低下させて弱くする。なお、ブレード９２の個数は、特に限定されない。また、ブレード９２の大きさや形状は、特に限定されない。ブレード９２は、例えば中心軸線Ｊに沿う周方向に沿って全体に形成された略ドーナツ状であってもよい。また、刃先９２０は必須の構成ではない。

【0078】

以下、センサモジュール１Ｂの構成について説明する。
センサモジュール１Ｂは、図６に示すように、センサ５と、センサホルダ２Ｂと、粘着部３Ｂと、を備える。センサ５は、第１～第２の実施形態と同様の構成である。

【0079】

以下、センサホルダ２Ｂの構成について説明する。
センサホルダ２Ｂは、図６に示すように、センサホルダ本体６とプランジャ（押圧力付与部）７Ｂとを備える。センサホルダ本体６は、第１の実施形態と同様の構成である。ここで、センサ保持部６１の底部６１１の備える貫通孔６１１ｈは、後述のプランジャ７Ｂと螺合する雌ネジ部６１１ｆを内側面に備えたねじ孔である。

【0080】

プランジャ（押圧力付与部）７Ｂは、貫通孔６１１ｈに備えられる。プランジャ７Ｂは、貫通孔６１１ｈの雌ネジ部６１１ｆと螺合する雄ネジ部７Ｂｆを備える。プランジャ７Ｂは、貫通孔６１１ｈに螺合してＺ方向に進退可能である。プランジャ７Ｂは、Ｚ方向に進退してセンサ５に押圧力Ｐを与える。

【0081】

プランジャ７Ｂは、本実施形態では、Ｚ方向において中間に貫通孔６１１ｈがくるようにセンサホルダ本体６に備えられる。また、プランジャ７Ｂは、上側Ｚ１にはセンサ５が載置される。このとき、センサ５とセンサホルダ２Ｂとの上面が略同じ高さになる。センサモジュール１Ｂは、この状態で計測対象物４に取り付けられる。なお、上記に限定されず、センサホルダ２Ｂとの上面よりもセンサ５が下側Ｚ２に載置されていればよい。

【0082】

プランジャ７Ｂは、Ｚ方向の上側Ｚ１に前進すると、プランジャ７Ｂの上側Ｚ１に備えた先端部７Ｂａによってセンサ５を押し込むことができる。このときプランジャ７Ｂは、センサ５を計測対象物４に押し付けて押圧力Ｐを与える。この時の押圧力Ｐを第一押圧力ＰＢ１とする。また、プランジャ７Ｂは、センサ５を計測対象物４に押し付けて第一押圧力ＰＢ１よりも強い第二押圧力ＰＢ２を与える。第二押圧力ＰＢ２は、後述の第一粘着力ＱＢ１よりも強い。また、プランジャ７Ｂは、Ｚ方向の下側Ｚ２に後退すると、与えていた各押圧力Ｐを弱めることができる。ここで、プランジャ７ＢのＺ方向の長さは、特に限定されないが、上側Ｚ１に前進してセンサ５を押し込んだ状態で、プランジャ７Ｂの下側Ｚ２が十分に貫通孔６１１ｈから十分に突出して後述のプランジャ把持部９１によってトルクを付与できる程度の長さを備えているのが好ましい。

【0083】

プランジャ把持部９１は、中心軸線Ｊに沿う周方向においてプランジャ７Ｂを一方側Ｗ１に回すとプランジャ７ＢをＺ方向の上側Ｚ１に前進させる。プランジャ７Ｂは、センサ５を押し込み、押圧力Ｐを与えることができる。また、プランジャ把持部９１は、中心軸線Ｊに沿う周方向において一方側と反対方向の他方側Ｗ２にプランジャ７Ｂを回すとプランジャ７Ｂを後退させる。すると、プランジャ７Ｂは、押圧力Ｐを低下させて弱くすることができる。ただし、回転の方向は特に限定されず、一方側Ｗ１と他方側Ｗ２とが反対に構成されていてもよい。

【0084】

以下、粘着部３Ｂの構成について説明する。
粘着部３Ｂは、例えば従来公知の粘着剤または粘着テープを用いる。粘着部３Ｂは、センサホルダ２Ｂと計測対象物４の計測面４ａとの間に備えられる。粘着部３Ｂは、あらかじめセンサホルダ２Ｂまたは計測対象物４の計測面４ａに塗布または貼り付けられ、センサ５及びセンサホルダ２Ｂを取り付けた時に、第一押圧力ＰＢ１を含む剥離力よりも強い第一粘着力ＱＢ１でセンサホルダ２Ｂを計測対象物４に粘着する。なお、粘着部３ＢはＺ方向においてブレード９２が挿入できる程度の高さを有するのが好ましい。粘着部３Ｂは、ブレード９２によって削られると、粘着力Ｑが第一押圧力ＰＢ１よりも弱い第一粘着力ＱＢ２となる。

【0085】

本実施形態のセンサモジュール１Ｂは、上述の実施形態と同様に、計測対象物４に対して押圧力Ｐと粘着力Ｃとの間の相対的な大小関係を変化させて、センサ５及びセンサホルダ２を計測対象物４から着脱することができる。

【0086】

本実施形態では、プランジャ７Ｂは、粘着部３Ｂの粘着力Ｑが一定である場合に、押圧力Ｐの大小関係を変化させてセンサ５及びセンサホルダ２Ｂを計測対象物４から着脱可能に構成することができる。プランジャ７Ｂは、センサ５を計測対象物４に押し付けて第一押圧力ＰＢ１を与えることができる。第一押圧力ＰＢ１は、第一粘着力ＱＢ１よりも弱い。また、プランジャ７Ｂはさらにセンサ５を計測対象物４に押し付けて第二押圧力ＰＢ２を与えることができる。第一押圧力ＰＢ１よりも強く、第一粘着力ＱＢ１よりも強い。そのため、センサ５及びセンサホルダ２Ｂは、剥離力によって計測対象物４から取り外すことができる。

【0087】

また、本実施形態では、粘着部３Ｂは、プランジャ７Ｂの押圧力Ｐが一定である場合に、粘着力Ｑの大小関係を変化させてセンサ５及びセンサホルダ２Ｂを計測対象物４から着脱可能に構成することができる。粘着部３Ｂは、変化機構９のブレード９２が回転して挿入することにより、粘着部３Ｂの粘着力Ｑを低下して弱くすることができる。粘着部３Ｂは、上述の第一押圧力ＰＢ１よりも強い第一粘着力ＱＢ１を有する。具体的には、計測対象物４にセンサホルダ２Ｂに取付ける前及び計測対象物４にセンサホルダ２Ｂに取付けたのち、プランジャ７Ｂは第一押圧力ＰＢ１を与える。粘着部Ｂ３は、第一押圧力ＰＢ１を含む剥離力よりも強い第一粘着力ＱＢ１を有する。第一粘着力ＱＢ１は、センサホルダ２が計測対象物４から外れないように維持できる粘着力である。

【0088】

また、ブレード９２は、センサ５による計測が完了した際に、周方向の一方側から粘着部３Ｂに刃先９２０を挿入する。ブレード９２は、粘着部３Ｂに対して挿入したのち回転され、粘着部３Ｂをはがし粘着力Ｑを低下させて弱くする。このとき粘着部３Ｂの第二粘着力ＱＢ２となる。第二粘着力ＱＢ２は、第一粘着力ＱＢ１よりも弱い。また、第二粘着力ＱＢ２は、剥離力よりも弱い。そのため、センサ５及びセンサホルダ２Ｂは、剥離力によって計測対象物４から取り外すことができる。以上のように、粘着部３Ｂは、ブレード９２により押圧力Ｐに対して粘着力Ｑの強弱を変更可能にすることができる。

【0089】

本実施形態によれば、プランジャ７Ｂが、Ｚ方向の上側Ｚ１に前進してセンサ５に押圧力Ｐを与えることができる。そのため、センサ５は、計測対象物４が振動してもセンサ面５ａを計測面４ａに接触させた状態を維持して計測することができる。

【0090】

また、本実施形態によれば、プランジャ７Ｂが、Ｚ方向の下側Ｚ２に後退してセンサ５に与えた押圧力Ｐを低下して弱めることができる。そのため、センサ５に押圧力Ｐを与えすぎた場合にプランジャ把持部９１を調節して、センサ５に適度な押圧力Ｐを与えることができる。

【0091】

また、本実施形態によれば、センサモジュール設置器具１０Ｂは、プランジャ７Ｂによってセンサ５を計測対象物４に第一押圧力ＰＢ１を与えて押し付けつつ、粘着部３Ｂによってセンサ５及びセンサホルダ２Ｂを粘着させて、計測対象物４から外れないように維持できる。

【0092】

また、本実施形態によれば、センサモジュール設置器具１０Ｂは、プランジャ７Ｂによってさらにセンサ５を計測対象物４に第一粘着力ＱＢ１よりも強い第二押圧力ＰＢ２を与えてセンサ５及びセンサホルダ２Ｂを、計測対象物４から外すことができる。

【0093】

また、本実施形態によれば、ブレード９２が、回転可能であり、粘着部３Ｂに対して挿入可能に備えられている。そのため、ブレード９２が、粘着部３Ｂに対して挿入したのち回転して、粘着部３Ｂの粘着力を低下させて弱くし、容易にセンサモジュール１Ｂを取り外すことができる。

【0094】

本実施形態によれば、押圧力付与部７Ｃまたは粘着部３Ｂは、力の強弱を相対的に変更可能である。そのため、センサモジュール設置器具１０Ｂは、センサ５及びセンサホルダ２を計測対象物４から着脱可能に構成することができる。さらにセンサモジュール設置器具１０Ｂは、押圧力Ｐと粘着力Ｑとの関係を簡便に管理することができる。

【0095】

（第４の実施形態）
以下、第４の実施形態についてセンサモジュールを備えたセンサモジュール設置器具を図９及び図１０を参照して説明する。
これらの図において、図１から図８に示す第１～第３の実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。

【0096】

図９は、第４の実施形態に係るセンサモジュール設置器具１０Ｃのセンサモジュール１Ｃを拡大した断面図である。図１０は、図９のセンサモジュール設置器具１０Ｃのセンサモジュール１Ｃを計測対象物４から取り外した状態を示す図である。
センサモジュール設置器具１０Ｃは、センサモジュール把持部８Ｃとセンサモジュール１Ｃとを有する。センサモジュール把持部８Ｃは、支持部８１と、カップ部８２と、ヒータ部（変化機構）９Ｃと、棒状部材８３と、を有する。また、支持部８１は、操作部８４Ｃを備える。操作部８４Ｃは、ヒータ部９Ｃの加熱の入切のスイッチを操作可能である。

【0097】

ヒータ部９Ｃは、第二カップ部８２２に内蔵される。ヒータ部９Ｃは、操作部８４Ｃによって操作される。すると、ヒータ部９Ｃは、公知の技術により第二カップ部８２２の凹部８２２ａを加熱して、外部よりも高い温度に保つ。

【0098】

以下、センサモジュール１Ｃの構成について説明する。
センサモジュール１Ｃは、図６に示すように、センサ５と、センサホルダ２Ｃと、粘着部３Ｂと、を備える。粘着部３Ｂは、第３の実施形態と同様の構成であり、センサホルダ２Ｃが計測対象物４から外れないように維持できる第一粘着力ＱＢ１を備える。センサ５は、第１～第３の実施形態と同様の構成である。

【0099】

以下、センサホルダ２Ｃの構成について説明する。
センサホルダ２Ｃは、図９または図１０に示すように、センサホルダ本体６と押圧力付与部７Ｃとを備える。センサホルダ本体６は、第１～第３の実施形態と同様の構成である。

【0100】

押圧力付与部７Ｃは、気体を内包した弾性体である。押圧力付与部７Ｃは、センサ保持部６１の底部６１１に載置される。内包された気体は、特に限定されないが、本実施形態では、空気が内包されている。押圧力付与部７Ｃは、例えば球体状に形成される。なお、押圧力付与部７Ｃの形状は特に限定されない。また押圧力付与部７Ｃの大きさは特に限定されないが、弾性変形してＺ方向に縮み、Ｘ方向またはＹ方向に延びた時に余裕があるように、Ｘ方向またはＹ方向において底部６１１よりも幅が小さく形成するのが好ましい。

【0101】

押圧力付与部７Ｃは、図１０に示すように、センサ５が上側Ｚ１に載置された状態で、Ｚ方向においてセンサ５がセンサホルダ２Ｃよりも上側Ｚ１に任意の突出量だけ突出する。センサモジュール１Ｃは、図９に示すように、この状態で計測対象物４に取り付けられるとセンサ５が突出量だけ下側Ｚ２に移動し、弾性体の押圧力付与部７Ｃは、突出量だけＺ方向に弾性変形する。このとき、押圧力付与部７Ｃは、復元力によりセンサ５を計測対象物４に押し付けて第一押圧力ＰＣ１を与える。

【0102】

センサモジュール１Ｃを取り外す際は、センサモジュール１Ｃのセンサ保持部６１がセンサモジュール把持部８Ｃの第二カップ部８２２の凹部８２２ａに収容される。このとき押圧力付与部７Ｃも第二カップ部８２２の凹部８２２ａに収容される。第二カップ部８２２に内蔵されたヒータ部９Ｃによって第二カップ部８２２の凹部８２２ａが加熱されると、押圧力付与部７Ｃに内包した気体が熱膨張する。押圧力付与部７Ｃは、気体が熱膨張する分だけ弾性変形して、センサ５に対して第一押圧力ＰＣ１よりも強い第二押圧力ＰＣ２を与える。本実施形態では、第二押圧力ＰＣ２は、第一粘着力ＱＢ１よりも強い。

【0103】

以下、センサモジュール１Ｃの作用について説明する。
センサモジュール１Ｃは、計測対象物４に設置する。センサモジュール１Ｃは、センサホルダ２Ｃによってセンサ５を保持する。この状態において押圧力付与部７Ｃは、図９に示すように、センサ５に第一押圧力ＰＣ１を与えることができる。このとき、センサホルダ２Ｃは、粘着部３Ｂによって計測対象物４に粘着され、保持状態を維持される。このとき、粘着部３Ｂは、第一粘着力ＱＢ１をもつ。第一粘着力ＱＢ１は、上述の剥離力よりも強い。第一粘着力ＱＢ１は、センサホルダ２Ｃが計測対象物４から外れないように維持できる粘着力である。センサ５は、以上の構成において亀裂や振動等の計測を行う。

【0104】

センサモジュール１Ｃは、センサ５の計測が完了し、取り外す際に、ヒータ部９Ｃによって第二カップ部８２２の凹部８２２ａを加熱する。すると、押圧力付与部７Ｃに内包した気体が熱膨張する。押圧力付与部７Ｃは、気体が熱膨張する分だけ弾性変形して、センサ５に対して第一押圧力ＰＣ１よりも強い第二押圧力ＰＣ２を与える。第二押圧力ＰＣ２は、第一粘着力ＱＢ１よりも強い。そのため、センサ５及びセンサホルダ２Ｂは、計測対象物４から取り外すことができる。

【0105】

本実施形態によれば、押圧力付与部７Ｃは、弾性体であるため、弾性変形して上側Ｚ１に突出したセンサを計測対象物４に押し付けるとともに、復元力により押圧力Ｐを与えることができる。そのため、センサ５は、計測対象物４が振動してもセンサ面５ａを計測面４ａに接触させた状態を維持して計測することができる。

【0106】

また、本実施形態によれば、押圧力付与部７Ｃによってセンサ５を計測対象物４に第一押圧力ＰＣ１を与えて押し付けつつ、粘着部３Ｂによってセンサ５及びセンサホルダ２Ｃを粘着させて、計測対象物４から外れないように維持できる。

【0107】

また、本実施形態によれば、ヒータ部９Ｃによって押圧力付与部７Ｃに内包した気体が熱膨張する。押圧力付与部７Ｃは、気体が熱膨張する分だけ弾性変形して、センサ５に対して第一粘着力ＱＢ１よりも強い第二押圧力ＰＣ２を与えることができる。そのため、容易にセンサモジュール１Ｃを取り外すことができる。

【0108】

（変形例）
上述の実施形態のセンサホルダ本体は、底部にセンサの重心が来るようなカップ状で形成されていてもよい。この構成により、センサが、落下してしまう恐れを削減することができる。また、センサモジュールは常にセンサがセンサモジュールから脱落しないように設計されるのが望ましい。

【0109】

また、上述の第１の実施形態及び第２の実施形態の粘着部は、加熱やＵＶ照射により粘着力が低下することで、剥離可能な粘着シートであってもよい。

【0110】

また、上述の第４の実施形態の変化機構はヒータ部であったが、ヒータ部でなく、押圧力付与部７Ｃにさらに気体を内部に送り込む送込部を変化機構としてもよい。送込部は、例えば押圧力付与部７Ｃにチューブ等を接続し、チューブを通して気体を送り込む。送込部は、例えばエアーコンプレッサーや、自転車の空気入れ等である。この場合においても、押圧力付与部７Ｃは、気体が増幅する分だけ膨張して、センサ５に対して第一粘着力ＱＢ１よりも強い第二押圧力ＰＣ２を与えることができる。そのため、容易にセンサモジュール１Ｃを取り外すことができる。

【0111】

上述の実施形態では、本発明の構成を採用するセンサモジュールまたはセンサモジュール設置器具として、ＡＥセンサを用いた例を例示した。しかしながら、本発明の構成はその他のセンサに採用されていてもよい。

【0112】

以上説明した少なくともひとつの実施形態によれば、前記押圧力と前記粘着力との間の相対的な大小関係を変化させる変化機構を持つことにより、センサ設置作業の負荷を低減することができる。

【0113】

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

【符号の説明】

【0114】

１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ…センサモジュール設置器具、１、１Ｂ、１Ｃ…センサモジュール、２、２Ｂ、２Ｃ…センサホルダ、３、３Ｂ…粘着部、３１…電気剥離シート部（シート部）、３２…電極、３３、３３Ａ…電圧印加部（変化機構）、４…計測対象物、５…センサ、６…センサホルダ本体、６１…センサ保持部、６２…取付部、７、７Ｃ…押圧力付与部、７Ｂ…プランジャ（押圧力付与部）、８Ａ、８Ｂ、８Ｃ…センサモジュール把持部、８１…支持部、８２…カップ部、８３…棒状部材、８４、８４Ｂ、８４Ｃ…棒状部材、９…変化機構、９Ｃ…ヒータ部（変化機構）、９１…プランジャ把持部、９２…ブレード、３３０…スイッチ、Ｐ…押圧力、Ｑ…粘着力

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】