特許 7556600 キャピラリ供給モジュール、キャピラリ提供機構及びワイヤボンディング装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-17

(45)【発行日】2024-09-26

(54)【発明の名称】キャピラリ供給モジュール、キャピラリ提供機構及びワイヤボンディング装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/60 20060101AFI20240918BHJP

【ＦＩ】

H01L21/60 301G

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2023194223

(22)【出願日】2023-11-15

【審査請求日】2024-02-26

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】519294332

【氏名又は名称】株式会社新川

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100170818

【弁理士】

【氏名又は名称】小松 秀輝

(72)【発明者】

【氏名】内田 洋平

(72)【発明者】

【氏名】国吉 勝俊

【審査官】小池 英敏

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－１１２２６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－１４１０２５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／４４７－Ｈ０１Ｌ ２１／４４９

Ｈ０１Ｌ ２１／６０ －Ｈ０１Ｌ ２１／６０７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数のキャピラリが載置されるベース載置面と、前記複数のキャピラリのうち取り出しの対象となった前記キャピラリが接するベース取出面と、を含むベースと、
前記ベースに取り付けられると共に、前記ベース載置面に対面するカバー覆い面と前記ベース取出面に対面するカバー取出面と、を含むカバーと、を備え、
前記ベース及び前記カバーは、
前記ベース載置面と前記カバー覆い面との間に形成された領域であるキャピラリ収容部と、
前記ベース取出面と前記カバー取出面との間に形成された領域であるキャピラリ供給口と、を構成し、
前記キャピラリ供給口は、前記キャピラリの基端から先端に向かう方向に沿って並ぶ第１供給口部及び第２供給口部と、を含み、
前記第１供給口部の開口幅は、前記キャピラリにおいて円筒形状であるキャピラリ本体部の直径であるよりも小さく、
前記第２供給口部の開口幅は、前記キャピラリにおいて円筒形状であるキャピラリ本体部の直径よりも大きい、キャピラリ供給モジュール。

【請求項2】

前記第１供給口部を構成する前記ベース取出面及び前記カバー取出面の少なくとも一方には、前記ベース取出面及び前記カバー取出面の他方に向かって突出する突起が設けられている、請求項１に記載のキャピラリ供給モジュール。

【請求項3】

前記キャピラリの軸線に沿った前記第１供給口部の長さは、前記第２供給口部の長さより、長い、請求項１に記載のキャピラリ供給モジュール。

【請求項4】

前記ベース載置面と前記ベース取出面とは互いに共通の仮想平面上に存在せず、
前記ベース載置面から前記ベース取出面までの角度は、１８０度より大きい、請求項１に記載のキャピラリ供給モジュール。

【請求項5】

複数の前記キャピラリのそれぞれが配置される複数の保持溝を有し、前記ベースに配置されるキャピラリ保持部材と、
前記キャピラリ保持部材を前記カバーに向けて押圧する保持力を発生する保持力発生部材と、
前記キャピラリ保持部材を前記ベースに向けて引っ張る解除力を発生する解除力発生部材と、をさらに備える、請求項１に記載のキャピラリ供給モジュール。

【請求項6】

複数のキャピラリを、前記キャピラリの軸線と直交する供給方向に並べて収容するキャピラリ収容部と、前記キャピラリにおいて円筒形状であるキャピラリ本体部の直径より小さい開口幅である第１供給口部及び前記キャピラリにおいて円筒形状であるキャピラリ本体部の直径より大きい開口幅である第２供給口部を含むキャピラリ供給口と、を有し、前記供給方向に沿って前記キャピラリ収容部から前記キャピラリ供給口に前記キャピラリを移動させるキャピラリ供給モジュールと、
前記キャピラリ供給口に位置する前記キャピラリを前記軸線に沿って、前記第１供給口部から前記第２供給口部へ移動させることによって、前記キャピラリを取り出す動作を実行するキャピラリ取替モジュールと、を備える、キャピラリ提供機構。

【請求項7】

前記キャピラリ供給モジュールは、
ベースと、カバーと、複数の前記キャピラリのそれぞれが配置される複数の保持溝を有するキャピラリ保持部材と、前記キャピラリ保持部材を前記カバーに向けて押圧する保持力を発生する保持力発生部材と、前記キャピラリ保持部材を前記ベースに向けて引っ張る解除力を発生する解除力発生部材と、を有し、
前記キャピラリ供給モジュールが前記キャピラリ取替モジュールに配置されていないときにおける複数の前記キャピラリは、前記キャピラリ収容部から前記キャピラリ供給口に向かって移動しないように、前記キャピラリ保持部材と前記保持力発生部材によって拘束された状態であり、
前記キャピラリ供給モジュールが前記キャピラリ取替モジュールに配置されているときにおける複数の前記キャピラリは、前記キャピラリ収容部から前記キャピラリ供給口に向かって移動可能であるように、前記キャピラリ保持部材と前記保持力発生部材による拘束が、前記解除力発生部材によって解除された状態である、請求項６に記載のキャピラリ提供機構。

【請求項8】

ホーンに取り付けられると共にワイヤが挿入される使用済みキャピラリと、
前記使用済みキャピラリを交換用キャピラリに交換する交換ユニットと、を備え、
前記交換ユニットは、
ホーンから引き抜かれた前記使用済みキャピラリを所定の直線方向に沿って、交換位置から取替位置まで搬送すると共に、前記使用済みキャピラリに代えて前記ホーンに取り付けるための前記交換用キャピラリを前記所定の直線方向とは逆方向に取替位置から交換位置まで送り機構によって搬送するキャピラリ搬送モジュールと、
複数の前記交換用キャピラリを、前記交換用キャピラリの軸線と直交する供給方向に並べて収容するキャピラリ収容部と、前記交換用キャピラリにおいて円筒形状であるキャピラリ本体部の直径より小さい開口幅である第１供給口部及び前記交換用キャピラリにおいて円筒形状であるキャピラリ本体部の直径より大きい開口幅である第２供給口部を含むキャピラリ供給口と、を有し、前記供給方向に沿って前記キャピラリ収容部から前記キャピラリ供給口に前記交換用キャピラリを移動させるキャピラリ供給モジュールと、
前記キャピラリ供給口に位置する前記交換用キャピラリを前記軸線に沿って、前記第１供給口部から前記第２供給口部へ移動させることによって、前記交換用キャピラリを取り出す動作を実行するキャピラリ取替モジュールと、を有するワイヤボンディング装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、キャピラリ供給モジュール、キャピラリ提供機構及びワイヤボンディング装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ワイヤボンディング装置は、ワイヤを用いて半導体チップの電極とリードフレームを電気的に接続する。ワイヤは、キャピラリと称される部品から、半導体チップの電極等に押圧される共に必要に応じて熱又は超音波などが与えられる。その結果、ワイヤは、半導体チップの電極等に接合される。このような接合動作を、ボンディングと称する。

【0003】

ボンディングが繰り返されると、キャピラリの先端が摩耗するなどの理由から所望のボンディングの結果が得られにくくなる。そこで、キャピラリは、ボンディングの回数などに基づいて設定される交換条件を満たすごとに交換される。

【0004】

特許文献１～３は、ワイヤボンディングに関する技術をそれぞれ開示する。特許文献１は、ボンディングツールであるキャピラリを交換しながら、連続してボンディングを行うことができる装置及び方法を開示する。特許文献２は、キャピラリの位置を正確に検出する装置及び方法を開示する。特許文献３は、ワイヤ抜け及びワイヤ曲がりをより効果的に抑制する方法を開示する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特許第４７００５９５号

【文献】特開２００１－２４９００７号公報

【文献】特許第４４６７６３１号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

このキャピラリを交換する作業は、使用済みのキャピラリを新しいキャピラリへ単に交換する動作だけではなく、新しいキャピラリに挿通されるワイヤをボンディングが再開可能な状態とする動作まで含む。つまり、キャピラリを交換するためにボンディングを停止してから、新しいキャピラリによるボンディングを再開するまでには、複数の工程を要する。キャピラリを交換する作業を行うためには、ボンディングを中断する必要があるので、当該技術分野にあっては、これらのような複数の工程を含んだキャピラリを交換する作業に要する時間を短縮することが望まれている。

【0007】

本発明は、キャピラリを交換する作業に要する時間を短縮するキャピラリ供給モジュール、当該キャピラリ供給モジュールを備えたキャピラリ提供機構及びワイヤボンディング装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の一形態であるキャピラリ供給モジュールは、複数のキャピラリが載置されるベース載置面と、複数のキャピラリのうち取り出しの対象となったキャピラリが接するベース取出面と、を含むベースと、ベースに取り付けられると共に、ベース載置面に対面するカバー覆い面とベース取出面に対面するカバー取出面と、を含むカバーと、を備え、ベース及びカバーは、ベース載置面とカバー覆い面との間に形成された領域であるキャピラリ収容部と、ベース取出面とカバー取出面との間に形成された領域であるキャピラリ供給口と、を構成し、キャピラリ供給口は、キャピラリの基端から先端に向かう方向に沿って並ぶ第１供給口部及び第２供給口部と、を含み、第１供給口部の開口幅は、キャピラリの直径よりも小さく、第２供給口部の開口幅は、キャピラリの直径よりも大きい。

【0009】

このキャピラリ供給モジュールによれば、複数のキャピラリを収容したキャピラリ収容部からキャピラリ供給口を介して、交換用である新たなキャピラリを供給することができる。つまり、キャピラリ供給モジュールを取り替えることによって、複数の新たな交換用のキャピラリを供給することが可能になる。従って、交換用のキャピラリを１本ずつ交換する態様と比較して、キャピラリを交換する作業に要する時間を短縮することができる。

【0010】

上記のキャピラリ供給モジュールにおいて、第１供給口部を構成するベース取出面及びカバー取出面の少なくとも一方には、ベース取出面及びカバー取出面の他方に向かって突出する突起が設けられていてもよい。この構成によると、外部からの操作に応じて、キャピラリ供給口からキャピラリを取り出すことができる。

【0011】

上記のキャピラリ供給モジュールのキャピラリの軸線に沿った第１供給口部の長さは、第２供給口部の長さより、長くてもよい。この構成によれば、キャピラリ供給口に保持されたキャピラリの姿勢を安定して維持することができる。

【0012】

上記のキャピラリ供給モジュールにおいて、ベース載置面とベース取出面とは互いに共通の仮想平面上に存在せず、ベース載置面からベース取出面までの角度は、１８０度より大きくてもよい。この構成によれば、ベース載置面を斜面とする配置が可能である。その結果、キャピラリが斜面を転がることにより、キャピラリは、キャピラリ収容部からキャピラリ供給口へ円滑に移動できる。

【0013】

上記のキャピラリ供給モジュールは、複数のキャピラリのそれぞれが配置される複数の保持溝を有し、ベースに配置されるキャピラリ保持部材と、キャピラリ保持部材をカバーに向けて押圧する保持力を発生する保持力発生部材と、キャピラリ保持部材をベースに向けて引っ張る解除力を発生する解除力発生部材と、をさらに備えてもよい。この構成によれば、意図しないタイミングでキャピラリ供給モジュールからキャピラリが落ちてしまうことを抑制できる。

【0014】

本発明の別の形態であるキャピラリ提供機構は、複数のキャピラリを、キャピラリの軸線と直交する供給方向に並べて収容するキャピラリ収容部と、キャピラリの直径より小さい開口幅である第１供給口部及びキャピラリの直径より大きい開口幅である第２供給口部を含むキャピラリ供給口と、を有し、供給方向に沿ってキャピラリ収容部からキャピラリ供給口にキャピラリを移動させるキャピラリ供給モジュールと、キャピラリ供給口に位置するキャピラリを軸線に沿って、第１供給口部から第２供給口部へ移動させることによって、キャピラリを取り出す動作を実行するキャピラリ取替モジュールと、を備える。

【0015】

このキャピラリ提供機構は、上記のキャピラリ供給モジュールを備えている。従って、キャピラリ取替モジュールに装着されるキャピラリ供給モジュールを差し替えることによって、複数の新たな交換用のキャピラリをキャピラリ取替モジュールに供給することが可能になる。従って、交換用のキャピラリを１本ずつ交換する態様と比較して、キャピラリを交換する作業に要する時間を短縮することができる。

【0016】

上記のキャピラリ提供機構において、キャピラリ供給モジュールは、ベースと、カバーと、複数のキャピラリのそれぞれが配置される複数の保持溝を有するキャピラリ保持部材と、キャピラリ保持部材をカバーに向けて押圧する保持力を発生する保持力発生部材と、キャピラリ保持部材をベースに向けて引っ張る解除力を発生する解除力発生部材と、を有し、キャピラリ供給モジュールがキャピラリ取替モジュールに配置されていないときにおける複数のキャピラリは、キャピラリ収容部からキャピラリ供給口に向かって移動しないように、キャピラリ保持部材と保持力発生部によって拘束された状態であり、キャピラリ供給モジュールがキャピラリ取替モジュールに配置されているときにおける複数のキャピラリは、キャピラリ収容部からキャピラリ供給口に向かって移動可能であるように、キャピラリ保持部材と保持力発生部による拘束が、解除力発生部によって解除された状態であってもよい。

【0017】

この構成によれば、キャピラリ供給モジュールがキャピラリ取替モジュールに装着されていないときに、キャピラリ供給モジュールからキャピラリが落ちてしまうことを抑制できる。さらに、キャピラリ供給モジュールがキャピラリ取替モジュールに装着されているときに、キャピラリ供給モジュールからキャピラリを取り出すことができる。つまり、キャピラリ供給モジュールをキャピラリ取替モジュールに装着するだけで、キャピラリの落下を抑制する状態からキャピラリを供給可能な状態へ切り替えることができる。

【0018】

本発明のさらに別の形態であるワイヤボンディング装置は、ホーンに取り付けられると共にワイヤが挿入される使用済みキャピラリと、使用済みキャピラリを交換用キャピラリに交換する交換ユニットと、を備え、交換ユニットは、ホーンから引き抜かれた使用済みキャピラリを所定の直線方向に沿って、交換位置から取替位置まで搬送すると共に、使用済みキャピラリに代えてホーンに取り付けるための交換用キャピラリを所定の直線方向とは逆方向に取替位置から交換位置まで送り機構によって搬送するキャピラリ搬送モジュールと、複数の交換用キャピラリを、交換用キャピラリの軸線と直交する供給方向に並べて収容するキャピラリ収容部と、交換用キャピラリの直径より小さい開口幅である第１供給口部及び交換用キャピラリの直径より大きい開口幅である第２供給口部を含むキャピラリ供給口と、を有し、供給方向に沿ってキャピラリ収容部からキャピラリ供給口に交換用キャピラリを移動させるキャピラリ供給モジュールと、キャピラリ供給口に位置する交換用キャピラリを軸線に沿って、第１供給口部から第２供給口部へ移動させることによって、交換用キャピラリを取り出す動作を実行するキャピラリ取替モジュールと、を有する。

【0019】

このワイヤボンディング装置は、上記のキャピラリ供給モジュールを備えている。従って、キャピラリ取替モジュールに装着されるキャピラリ供給モジュールを差し替えることによって、複数の新たな交換用のキャピラリをキャピラリ取替モジュールに供給することが可能になる。従って、交換用のキャピラリを１本ずつ交換する態様と比較して、キャピラリを交換する作業に要する時間を短縮することができる。

【発明の効果】

【0020】

本発明によれば、キャピラリを交換する作業に要する時間を短縮するキャピラリ交換機構及びワイヤボンディング装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】図１は、実施形態のワイヤボンディング装置の構成を示す斜視図である。

【図2】図２は、上クランパ及び下クランパを示す正面図である。

【図3】図３は、キャピラリ交換ユニットの構成を模式的に示す図である。

【図4】図４は、キャピラリ交換ユニットの具体的な構成に示す斜視図である。

【図5】図５は、搬送モジュールの具体的な構成の一例を示す斜視図である。

【図6】図６（ａ）、図６（ｂ）、図６（ｃ）及び図６（ｄ）は、キャピラリ交換ユニットが行う第１搬送動作を説明するための図である。

【図7】図７（ａ）、図７（ｂ）、図７（ｃ）及び図７（ｄ）は、キャピラリ交換ユニットが行う第２搬送動作を説明するための図である。

【図8】図８は、取替モジュールの具体的な構成の一例を示す斜視図である。

【図9】図９（ａ）及び図９（ｂ）は、キャピラリ交換ユニットが行う引き抜き動作を説明するための図である。

【図10】図１０（ａ）、図１０（ｂ）、図１０（ｃ）及び図１０（ｄ）は、キャピラリ交換ユニットが行う取替動作を説明するための図である。

【図11】図１１は、マガジンカバーを分離してキャピラリ供給モジュールの内部を示す斜視図である。

【図12】図１２は、キャピラリ供給モジュールをキャピラリ取替モジュールに取り付けた様子を示す側面図である。

【図13】図１３は、マガジンカバーを裏面から見た斜視図である。

【図14】図１４は、マガジンベース、キャピラリ保持機構及びキャピラリ送り機構を分解して示す斜視図である。

【図15】図１５は、キャピラリ供給口を拡大して示す側面図である。

【図16】図１６は、キャピラリ供給口を拡大して示す平面図である。

【図17】図１７（ａ）、図１７（ｂ）及び図１７（ｃ）は、交換用キャピラリを取り出す動作を示す図である。

【図18】図１８（ａ）、図１８（ｂ）、図１８（ｃ）及び図１８（ｄ）は、取替テーブルを初期位置に戻す動作を示す図である。

【図19】図１９は、交換用キャピラリを保持した様子を示す断面図である。

【図20】図２０は、交換用キャピラリの保持を解除した様子を示す断面図である。

【図21】図２１は、実施形態のワイヤボンディング装置が備えるコントローラの機能ブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、添付図面を参照しながら本発明を実施するための形態を詳細に説明する。図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

【0023】

図１は、本発明の実施形態であるワイヤボンディング装置を示す斜視図である。ワイヤボンディング装置１は、ワイヤボンディングユニット２と、ボンディングステージ３と、カメラユニット４と、キャピラリ交換ユニット５と、コントローラ６と、を有する。

【0024】

ワイヤボンディングユニット２は、半導体チップ１１に対してボンディングワイヤ１２を接合する。ボンディングステージ３は、ワイヤボンディングの対象である複数の半導体チップ１１をワイヤボンディングユニット２の作業領域に順次移動させる。カメラユニット４は、ワイヤボンディングユニット２の動作を制御するための撮像画像を得る。キャピラリ交換ユニット５は、複数回のワイヤボンディングによって交換する必要が生じた使用済みキャピラリを新たな交換用キャピラリに交換する。コントローラ６は、ワイヤボンディング装置１の各部の動作の制御及び各種の処理を行う各種の制御部を備えている。

【0025】

ワイヤボンディングユニット２は、メインベース２１と、ツール用ＸＹステージ２２と、サブベース２３と、を有する。さらに、ワイヤボンディングユニット２は、ボンディングモジュール２４と、Ｚ軸駆動部２５と、モジュールベース２６と、下ワイヤクランパ２７と、上ワイヤクランパ２８と、を有する。

【0026】

ツール用ＸＹステージ２２は、メインベース２１に取り付けられている。サブベース２３は、ツール用ＸＹステージ２２の可動ステージに取り付けられている。ツール用ＸＹステージ２２は、サブベース２３をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる。サブベース２３には、ボンディングモジュール２４、下ワイヤクランパ２７、上ワイヤクランパ２８及びカメラユニット４が取り付けられている。例えば、サブベース２３がツール用ＸＹステージ２２によってＸ軸方向に移動すると、ボンディングモジュール２４、下ワイヤクランパ２７、上ワイヤクランパ２８及びカメラユニット４も一体となってＸ軸方向に移動する。

【0027】

より詳細には、サブベース２３は、サブベース主面２３ａと、サブベース壁面２３ｂと、を含む。サブベース主面２３ａには、Ｚ軸駆動部２５が取り付けられており、Ｚ軸駆動部２５にはモジュールベース２６が取り付けられている。そして、モジュールベース２６には、ボンディングモジュール２４及び下ワイヤクランパ２７が取り付けられている。一方、サブベース壁面２３ｂには、Ｚ軸駆動部２５及びモジュールベース２６といった中間部材を介することなく上ワイヤクランパ２８及びカメラユニット４が取り付けられている。この構成によると、ボンディングモジュール２４及び下ワイヤクランパ２７は、Ｚ軸駆動部２５によってＺ軸方向に往復移動する。より詳細には、ボンディングモジュール２４の先端及び下ワイヤクランパ２７の先端は、Ｚ軸駆動部２５を中心とした往復円弧運動が可能である。この往復円弧運動の際には、ボンディングモジュール２４に対する下ワイヤクランパ２７の相対的な位置は維持される。一方、上ワイヤクランパ２８及びカメラユニット４は、Ｚ軸駆動部２５によってＺ軸方向に往復移動しない。

【0028】

要するに、ボンディングモジュール２４及び下ワイヤクランパ２７は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のそれぞれに移動する。これに対して、上ワイヤクランパ２８及びカメラユニット４は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動する。本実施形態の例示では、上ワイヤクランパ２８及びカメラユニット４は、Ｚ軸方向には移動しない。しかし、上ワイヤクランパ２８及びカメラユニット４が、Ｚ軸方向に移動可能な構成を採用することも可能である。

【0029】

＜ボンディングモジュール２４＞
ボンディングモジュール２４は、ホーンホルダ２４１と、超音波ホーン２４２と、キャピラリ２４３と、を有する。ホーンホルダ２４１の基端側は、Ｚ軸駆動部２５に取り付けられている。ホーンホルダ２４１の先端側には、超音波ホーン２４２が取り付けられている。超音波ホーン２４２の先端側の部分には、キャピラリ２４３が着脱可能取り付けられている。

【0030】

ボンディングツールであるキャピラリ２４３は、ボンディングワイヤ１２を半導体チップ１１に接合する。キャピラリ２４３は、キャピラリ本体部２４３ａと、キャピラリテーパ部２４３ｂと、を有する。キャピラリ本体部２４３ａは、円筒形状であり、超音波ホーン２４２の先端部分に把持される。キャピラリテーパ部２４３ｂは、先端に向かって先細る円錐形状であり、キャピラリテーパ部２４３ｂの先端が半導体チップ１１のパッド等に押し付けられる。キャピラリ２４３には、キャピラリ本体部２４３ａの基端面からキャピラリテーパ部２４３ｂの先端面に至るキャピラリ貫通孔２４３ｈが形成されている。キャピラリ貫通孔２４３ｈには、ボンディングワイヤ１２が挿通される。

【0031】

＜下ワイヤクランパ２７及び上ワイヤクランパ２８＞
図２に示すように、下ワイヤクランパ２７及び上ワイヤクランパ２８は、ボンディングワイヤ１２を把持する状態と、ボンディングワイヤ１２を把持しない状態と、を相互に切り替えることができる。上述したように、下ワイヤクランパ２７は、Ｚ軸方向に沿って移動可能である。従って、Ｚ軸方向に沿う位置が固定された上ワイヤクランパ２８に対して、下ワイヤクランパ２７の位置は、上ワイヤクランパ２８に近づいた位置と、上ワイヤクランパ２８から離れた位置と、相互に切り替えることができる。この把持状態及び開放状態の切り替えと、位置の切り替えとによって、下ワイヤクランパ２７及び上ワイヤクランパ２８は、ボンディングワイヤ１２をキャピラリ貫通孔２４３ｈから引き込む動作と、ボンディングワイヤ１２をキャピラリ貫通孔２４３ｈに送り出す動作と、を行うことができる。

【0032】

＜カメラユニット＞
カメラユニット４は、半導体チップ１１を撮像する。半導体チップ１１の撮像画像は、半導体チップ１１にワイヤボンディングを行う場合において、キャピラリ２４３の位置決めのために用いられる。このように、カメラユニット４は、ワイヤボンディングを行うために用いられるワイヤボンディング用カメラユニットとして機能する。

【0033】

また、カメラユニット４は、キャピラリ交換ユニット５によるキャピラリ２４３の自動交換にも用いられる。例えば、カメラユニット４は、超音波ホーン２４２のロック状態をリリース状態に切り替える動作の際に、後述する解除ピン部５１１の位置決め動作に用いられる。カメラユニット４は、キャピラリ２４３の先端から突出するボンディングワイヤ１２の状態がボンディングを再開可能な状態であるか否かを判定する動作に用いられる。

【0034】

カメラユニット４は、撮像素子を有するカメラ４１と、カメラ４１を支持するカメラアーム４２と、ツール用ＸＹステージ２２と、カメラ制御部６６と、を有する。カメラアーム４２の基端部は、ツール用ＸＹステージ２２に取り付けられている。カメラアーム４２の先端部には、カメラ４１が取り付けられている。カメラアーム４２は、ボンディングステージ３の上方の位置において、カメラ４１を支持する。

【0035】

カメラ４１及びカメラアーム４２は、サブベース２３を介してツール用ＸＹステージ２２に取り付けられている。つまり、カメラ４１及びカメラアーム４２は、ツール用ＸＹステージ２２によって駆動されることにより、キャピラリ２４３等と共に、ＸＹ平面に沿う平行移動が可能である。このように、ツール用ＸＹステージ２２は、ワイヤボンディングユニット２の構成要素の一部として機能すると共に、カメラユニット４の構成要素の一部としても機能する。カメラ制御部６６は、カメラユニット４の各種の動作の制御及び各種の処理を実行する。カメラ制御部６６が行う制御の詳細については、後述する。

【0036】

＜キャピラリ交換ユニット＞
キャピラリ交換ユニット５は、超音波ホーン２４２に取り付けられた使用済みキャピラリ２４３Ｅを回収するとともに、超音波ホーン２４２に対して新規な交換用キャピラリ２４３Ｔを装着する。つまり、キャピラリ２４３の交換作業とは、キャピラリ２４３を回収する作業と、キャピラリ２４３を装着する作業と、を含む。このキャピラリ２４３の交換作業は、予め設定された条件を満たした場合に、自動的に実施される。例えば、当該条件は、ボンディング作業の回数としてもよい。すなわち、所定回数のボンディング作業を実施するごとに、キャピラリ２４３を交換する作業を行うものとしてよい。

【0037】

図３は、キャピラリ交換ユニット５を構成する部材を示す概念図である。図４は、キャピラリ交換ユニット５の具体的な構成例を示す斜視図である。キャピラリ交換ユニット５は、解除モジュール５１と、搬送モジュール５２（キャピラリ搬送モジュール）と、取替モジュール５３と、供給モジュール５４（キャピラリ供給モジュール）と、を有する。解除モジュール５１、搬送モジュール５２及び取替モジュール５３は、一体の装置であるように交換ユニット本体５０に収められている。交換ユニット本体５０は、供給モジュール５４が挿入されるモジュールスロット５０ａを有する。

【0038】

＜解除モジュール＞
解除モジュール５１は、解除ピン部５１１と、解除シャフト５１２と、解除駆動部５１３と、を有する。

【0039】

解除モジュール５１は、キャピラリ２４３が超音波ホーン２４２に拘束された状態から、キャピラリ２４３が超音波ホーン２４２から解放された状態に、切り替える（リリース動作）。さらに、解除モジュール５１は、キャピラリ２４３が超音波ホーン２４２から解除された状態から、キャピラリ２４３が超音波ホーン２４２に拘束された状態に、切り替える。

【0040】

＜搬送モジュール＞
搬送モジュール５２は、搬送キャリッジ５２１と、搬送直動シャフト５２２と、搬送駆動部５２３と、を有する。搬送モジュール５２は、さらに、搬送回転ラック５２４と、搬送回転ピニオン５２５と、を有する。

【0041】

搬送モジュール５２は、交換位置５２Ｓにおいて超音波ホーン２４２から使用済みキャピラリ２４３Ｅを引き抜く。さらに、搬送モジュール５２は、引き抜いた使用済みキャピラリ２４３Ｅを交換位置５２Ｓから取替位置５２Ｅまで搬送する。

【0042】

搬送モジュール５２は、取替位置５２Ｅにおいて取替モジュール５３から交換用キャピラリ２４３Ｔを受け取る。搬送モジュール５２は、交換用キャピラリ２４３Ｔを取替位置５２Ｅから交換位置５２Ｓまで搬送する。搬送モジュール５２は、交換位置５２Ｓにおいて超音波ホーン２４２に交換用キャピラリ２４３Ｔを挿入する。

【0043】

このように、搬送キャリッジ５２１の移動は、交換位置５２Ｓと取替位置５２Ｅとの間での直線移動と、使用済みキャピラリ２４３Ｅの姿勢を変更する回転移動と、を含む。そして、本実施形態では、回転移動のすべての期間は、直線移動の一部の期間に重複する。換言すると、直線移動の期間は、直線移動のみの期間と、直線移動と回転移動とが並行する期間と、含む。

【0044】

続いて、図５を参照しながら、搬送モジュール５２のさらに具体的な構成の一例を説明する。搬送モジュール５２は、上述した搬送キャリッジ５２１等に加えて、さらに、搬送ベース５２６を備える。搬送ベース５２６は、搬送ベース底面部５２Ａと、搬送ベース立面部５２Ｂと、を有する。搬送ベース底面部５２Ａから搬送ベース立面部５２Ｂが起立しており、搬送ベース５２６をＹ方向から見ると、Ｌ字状を呈する。

【0045】

搬送ベース底面部５２Ａの裏面には、搬送駆動部５２３であるモータが取り付けられている。搬送駆動部５２３の出力軸は、Ｚ方向に向く。搬送ベース底面部５２Ａの主面には搬送直動シャフト５２２が起立している。搬送直動シャフト５２２の下端側は、搬送駆動部５２３の出力軸に連結されている。搬送直動シャフト５２２の上端側は、搬送ベース立面部５２Ｂの主面から起立するシャフト支持部５２８に連結されている。シャフト支持部５２８は搬送直動シャフト５２２の上端を回転可能に支持する。円柱状の搬送直動シャフト５２２の外周面には、らせん状のねじ溝が形成されている。つまり、搬送直動シャフト５２２は、送りねじ（リードスクリュー）である。搬送直動シャフト５２２は、搬送駆動部５２３の出力軸の回転に応じて、回転する。搬送直動シャフト５２２が回転すると、搬送直動シャフト５２２の送りねじとかみ合うねじ部を有する搬送キャリッジ５２１の直線移動が生じる。つまり、搬送直動シャフト５２２は、搬送駆動部５２３の回転運動を搬送キャリッジ５２１の直線運動に変換する部材の一部である。

【0046】

搬送モジュール５２は、さらに、搬送案内シャフト５２７を備える。搬送案内シャフト５２７は、搬送直動シャフト５２２の回転に起因する搬送キャリッジ５２１の移動を、Ｚ軸に沿う直線移動に規制する。搬送案内シャフト５２７は、円柱状の部材である。搬送案内シャフト５２７は、搬送キャリッジ５２１の移動方向を規制するものであるから、搬送直動シャフト５２２とは異なり、搬送案内シャフト５２７の外周面にはねじ溝は形成されていないし、回転可能な構成ともされていない。つまり、搬送案内シャフト５２７の下端側は、搬送ベース底面部５２Ａに固定されている。そして、搬送案内シャフト５２７の上端側は、搬送ベース立面部５２Ｂから起立するシャフト固定部に固定されている。

【0047】

搬送キャリッジ５２１は、キャリッジベース５２Ｃと、キャリッジシャフト５２Ｄと、キャピラリキャッチャ５２Ｆと、を有する。キャリッジベース５２Ｃは、搬送直動シャフト５２２から駆動力を受け、Ｚ軸に沿って上下方向に移動する。具体的には、搬送キャリッジ５２１は、交換位置５２Ｓから取替位置５２Ｅへ移動することができる。その逆に、搬送キャリッジ５２１は、取替位置５２Ｅから交換位置５２Ｓへ移動することができる。なお、搬送キャリッジ５２１は、交換位置Ｓと取替位置５２Ｅとの間における任意の位置に留まることもできる。

【0048】

キャリッジベース５２Ｃは、キャリッジ本体５２Ｃ１と、キャリッジフランジ５２Ｃ２、５２Ｃ３とを含む。キャリッジ本体５２Ｃ１には、キャリッジシャフト５２Ｄが挿通する貫通穴が設けられている。キャリッジ本体５２Ｃ１の第１側面の下側には、キャリッジフランジ５２Ｃ２が設けられている。キャリッジフランジ５２Ｃ２には、搬送直動シャフト５２２のねじ溝とかみ合うねじ部が設けられている。このねじ部と搬送直動シャフト５２２によって送りねじ機構が構成される。キャリッジ本体５２Ｃ１の第２側面の略中央にはキャリッジフランジ５２Ｃ３が設けられている。キャリッジフランジ５２Ｃ３には、搬送案内シャフト５２７が挿通される貫通穴５２Ｈが設けられている。例えば、貫通穴５２Ｈの形状は、長孔である。

【0049】

キャリッジシャフト５２Ｄは、キャリッジ本体５２Ｃ１の貫通穴に通されている。キャリッジシャフト５２Ｄは、キャリッジ本体５２Ｃ１に対して回転可能である。キャリッジシャフト５２Ｄの先端には、キャピラリキャッチャ５２Ｆが固定されている。

【0050】

キャピラリキャッチャ５２Ｆは、キャリッジシャフト５２Ｄの回転に応じて、回転する。キャピラリキャッチャ５２Ｆは、キャリッジシャフト５２Ｄの軸線と直交する方向に延びる。キャピラリキャッチャ５２Ｆは、円柱状の部材である。キャピラリキャッチャ５２Ｆの基端は、キャリッジシャフト５２Ｄの先端に固定されている。キャピラリキャッチャ５２Ｆの先端には、キャッチャ開口５２Ｇが形成されている。このキャッチャ開口５２Ｇには、キャピラリテーパ部２４３ｂが挿入される。キャピラリキャッチャ５２Ｆは、キャピラリ２４３を保持可能な構成を有する。ここでいう保持とは、キャピラリ２４３の軸線が鉛直方向に対して傾いた場合でも、キャピラリキャッチャ５２Ｆからキャピラリ２４３が抜け落ちることがないことをいう。例えば、キャピラリ２４３の軸線が鉛直方向に直交となるようにした場合であっても、キャピラリ２４３はキャピラリキャッチャ５２Ｆから脱落することはない。

【0051】

キャリッジシャフト５２Ｄの基端には、搬送回転ピニオン５２５が取り付けられている。すでに述べたように、キャピラリキャッチャ５２Ｆは、キャリッジシャフト５２Ｄの回転に応じて、回転する。このキャリッジシャフト５２Ｄの回転は、搬送回転ピニオン５２５と搬送回転ラック５２４によってなされる。搬送回転ピニオン５２５、キャリッジシャフト５２Ｄ及びキャピラリキャッチャ５２Ｆは、一体となって回転可能である。搬送回転ピニオン５２５にかみ合う搬送回転ラック５２４は、搬送ベース立面部５２Ｂに取り付けられている。より詳細には、搬送回転ラック５２４は、搬送ベース立面部５２Ｂの下方、すなわち取替位置５２Ｅの近傍に取り付けられている。搬送回転ラック５２４及び搬送回転ピニオン５２５は、搬送キャリッジ５２１の直線運動をキャピラリキャッチャ５２Ｆの回転運動に変換するラックアンドピニオン機構を構成する。

【0052】

［第１搬送動作］
ここで、使用済みキャピラリ２４３Ｅを交換位置５２Ｓから取替位置５２Ｅに搬送する場合を第１搬送動作と称する。第１搬送動作では、まず、下方向に向かう直線移動が開始され、搬送キャリッジ５２１が搬送回転ラック５２４に至るまで直線移動のみが実行される。

【0053】

直線移動は、搬送直動シャフト５２２と搬送駆動部５２３によって実行される。搬送キャリッジ５２１と搬送直動シャフト５２２とは、いわゆる送りねじ機構を構成する。搬送駆動部５２３が搬送直動シャフト５２２を回転させると、ねじ軸である搬送直動シャフト５２２に設置された搬送キャリッジ５２１が直動する。搬送キャリッジ５２１の移動方向は、搬送直動シャフト５２２の回転方向によって決まる。

【0054】

そして、搬送キャリッジ５２１が搬送回転ラック５２４に至った後は、直線移動と時計方向への回転移動とが並行して実行される。

【0055】

より詳細には、搬送直動シャフト５２２の下端側には、搬送回転ラック５２４が設けられている。図６（ａ）に示すように、交換位置５２Ｓにある搬送キャリッジ５２１が搬送直動シャフト５２２の下端側に近づくと図６（ｂ）に示すように搬送キャリッジ５２１に設けられた搬送回転ピニオン５２５が搬送回転ラック５２４にかみ合う。その結果、搬送キャリッジ５２１の移動に伴って、搬送キャリッジ５２１が所定の方向に回転する（図６（ｃ）参照）。例えば、図６（ｄ）に示すように、搬送キャリッジ５２１は、時計方向に９０度回転する。その結果、取替位置５２Ｅに移動した使用済みキャピラリ２４３Ｅの姿勢は、交換位置５２Ｓにおける使用済みキャピラリ２４３Ｅの姿勢と異なっている。ここで言う使用済みキャピラリ２４３Ｅの姿勢とは、Ｚ軸方向を基準とした使用済みキャピラリ２４３Ｅの軸線Ａの角度と定義してよい。例えば、交換位置５２Ｓにおける使用済みキャピラリ２４３Ｅの姿勢は、Ｚ軸方向に対する角度が０度である。例えば、取替位置５２Ｅにおける使用済みキャピラリ２４３Ｅの姿勢は、Ｚ軸方向に対する角度が９０度である。

【0056】

なお、使用済みキャピラリ２４３Ｅの軸線Ａに方向の定義を加えると、使用済みキャピラリ２４３Ｅの姿勢をさらに詳細に定義できる。例えば、使用済みキャピラリ２４３Ｅの基端から先端に向かう方向を正とする。この場合にも、交換位置５２Ｓにおける使用済みキャピラリ２４３Ｅの姿勢は、Ｚ軸方向に対する角度が０度である。例えば、搬送キャリッジ５２１の回転によって、使用済みキャピラリ２４３Ｅの先端が上側であり基端が下側となった場合には、交換位置５２Ｓにおける使用済みキャピラリ２４３Ｅの姿勢は、Ｚ軸方向に対する角度が１８０度であると言える。

【0057】

［第２搬送動作］
次に、交換用キャピラリ２４３Ｔを取替位置５２Ｅから交換位置５２Ｓに搬送する場合を第２搬送動作と称する。図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように第２搬送動作では、上方向に向かう直線移動が開始されると同時に半時計方向への回転移動が並行して実行される。搬送キャリッジ５２１が搬送回転ラック５２４とかみ合っている期間は、直線移動と回転移動とが並行する。そして、図７（ｃ）及び図７（ｄ）に示すように、搬送キャリッジ５２１が搬送回転ラック５２４とかみ合わなくなった後は、上方向に向かう直線移動のみが実行される。

【0058】

＜取替モジュール＞
図８は、取替モジュール５３の具体的な構成の一例を示す斜視図である。取替モジュール５３は、取替テーブル５３１と、取替駆動部５３２と、取替直動シャフト５３３と、取替ばねシャフト５３４と、取替稼働片５３５と、取替固定片５３６と、取替案内シャフト５３７と、マガジンスロット５３８と、取替ベース５３９と、を有する。

【0059】

取替テーブル５３１、取替稼働片５３５及び取替ばねシャフト５３４は、一体となって取替テーブルユニット５３Ｓを構成する。取替テーブルユニット５３Ｓは、取替ベース５３９に対して往復移動が可能である。取替テーブルユニット５３Ｓは、取替駆動部５３２及び取替直動シャフト５３３によって往復移動のための駆動力を受ける。また、取替テーブルユニット５３Ｓは、取替案内シャフト５３７によって往復移動の方向が規制されている。取替案内シャフト５３７は、取替テーブル５３１の貫通穴に挿通されている。取替案内シャフト５３７の一方の端部は取替ベース５３９において取替駆動部５３２の側に固定されており、取替案内シャフト５３７の他方の端部は取替ベース５３９において取替固定片５３６の側に固定されている。

【0060】

モータである取替駆動部５３２は、取替ベース５３９に対して固定されている。この取替駆動部５３２には、取替直動シャフト５３３が連結されている。つまり、取替直動シャフト５３３の一方の端部は取替駆動部５３２につながっている。そして、取替直動シャフト５３３の他方の端部は、取替ベース５３９に設けられたベアリングによって回転可能に支持されている。

【0061】

取替稼働片５３５は、取替テーブル５３１に近づく動作と、取替テーブル５３１から離れる動作と、が可能である。換言すると、取替稼働片５３５から取替テーブル５３１までの距離は、可変である。取替ばねシャフト５３４は、シャフト本体５３４ａとシャフト本体５３４ａが挿入される圧縮バネ５３４ｂと、を有する。取替稼働片５３５には、シャフト本体５３４ａの一方の端部が配置されている。取替稼働片５３５は、シャフト本体５３４ａに対して固定されていてもよい。取替テーブル５３１にはシャフト本体５３４ａの他方の端部が配置されている。取替テーブル５３１は、シャフト本体５３４ａに対して相対的に移動可能である。圧縮バネ５３４ｂは、取替稼働片５３５と取替テーブル５３１との間に配置されている。圧縮バネ５３４ｂは、取替稼働片５３５から取替テーブル５３１までの距離を広げる力を発揮する。この力によって、取替稼働片５３５から取替テーブル５３１までの距離は、所定の当初距離に保たれている。

【0062】

取替テーブル５３１は、取替直動シャフト５３３の回転に応じて移動する。つまり、取替直動シャフト５３３と取替テーブル５３１とは、いわゆる送りねじ機構を構成する。取替テーブル５３１が取替直動シャフト５３３から駆動力を受けることによって、取替テーブル５３１を含む取替テーブルユニット５３Ｓが往復移動する。

【0063】

ここで、取替稼働片５３５が取替固定片５３６に当接した状態で、さらに取替テーブル５３１が取替固定片５３６に向かう方向の駆動力を受けることがある。この場合には、取替稼働片５３５は取替固定片５３６に当接しているので移動することはない。一方、取替テーブル５３１は、取替稼働片５３５に向かってさらに移動することができる。つまり、取替稼働片５３５に取替テーブル５３１が次第に近づく。取替稼働片５３５に取替テーブル５３１が近付くと、圧縮バネ５３４ｂが圧縮されるので、取替テーブル５３１は、圧縮バネ５３４ｂから受ける反力に抗して、取替稼働片５３５に近づいていく。

【0064】

一方、取替稼働片５３５に取替テーブル５３１が近付いた状態であるとき、取替テーブル５３１が取替固定片５３６から離れる方向の駆動力を受けることがある。このとき、取替テーブル５３１は、次第に取替固定片５３６から離れ、所定の当初距離に復帰する。

【0065】

取替テーブル５３１の取替テーブル主面５３１Ｓには、交換用キャピラリ２４３Ｔを受ける受け溝５３１ｂが設けられている。受け溝５３１ｂにおいて取替稼働片５３５側の端部は、開放されている。一方、受け溝５３１ｂにおいて取替駆動部５３２側の端部は、閉鎖されている。取替テーブル主面５３１Ｓにおいて、取替駆動部５３２側の端部には、取替テーブル主面５３１Ｓから起立するテーブル起立部５３１ａが設けられている。テーブル起立部５３１ａは、供給モジュール５４のキャピラリ供給口５４ｂに待機している交換用キャピラリ２４３Ｔを取替固定片５３６側に押圧する。この押圧によって、交換用キャピラリ２４３Ｔが取替固定片５３６側に移動するので、交換用キャピラリ２４３Ｔをキャピラリ供給口５４ｂから受け溝５３１ｂに取り出すことができる。

【0066】

［引き抜き動作］
取替モジュール５３は、取替位置５２Ｅに搬送された使用済みキャピラリ２４３Ｅを搬送キャリッジ５２１から引き抜く。より詳細には、取替駆動部５３２及び取替直動シャフト５３３の動作によって、取替テーブル５３１及び取替稼働片５３５が一体となって取替固定片５３６から離れる（図９（ｂ）参照）。取替稼働片５３５は、キャピラリ２４３のキャピラリテーパ部２４３ｂに引っかかっているので、取替稼働片５３５が取替固定片５３６から離れる方向に移動すると、取替稼働片５３５の移動に伴ってキャピラリ２４３も取替固定片５３６から離れる方向に移動する。その結果、キャピラリ２４３は、搬送キャリッジ５２１から引き抜かれる。

【0067】

［取替動作］
さらに、取替モジュール５３は、使用済みキャピラリ２４３Ｅが引き抜かれた搬送キャリッジ５２１に交換用キャピラリ２４３Ｔを差し込む。より詳細には、取替駆動部５３２及び取替直動シャフト５３３の動作によって、取替テーブル５３１及び取替稼働片５３５が一体となって取替固定片５３６に近づく。この取替テーブル５３１及び取替稼働片５３５が取替固定片５３６に近づく動作は、以下に説明するいくつかの段階を含む。

【0068】

第１の段階（図１０（ａ）参照）として、取替テーブル５３１の移動に伴い、取替テーブル起立部５３１ａは、キャピラリ供給口５４ｂに位置する交換用キャピラリ２４３Ｔの基端面を押圧しながら取替固定片５３６に近づく。その結果、交換用キャピラリ２４３Ｔは、キャピラリ供給口５４ｂから取替テーブル５３１上に落下する（図１０（ｂ）参照）。第２の段階として、取替テーブル５３１の移動に伴い、取替稼働片５３５が取替固定片５３６に接触する（図１０（ｃ）参照）。第３の段階として、取替テーブル５３１の移動に伴い、取替テーブル５３１が取替固定片５３６にさらに近づく。この第３の段階では、取替稼働片５３５は取替固定片５３６に当接しているから、取替稼働片５３５は移動しない。従って、第３の段階では、交換用キャピラリ２４３Ｔを乗せた取替テーブル５３１が、取替固定片５３６に当接する取替稼働片５３５に近づく。換言すると、第３の段階では、交換用キャピラリ２４３Ｔを乗せた取替テーブル５３１から取替固定片５３６に当接する取替稼働片５３５までの距離が次第に短くなる。第４の段階（図１０（ｄ）参照）として、取替テーブル５３１の移動に伴い、取替テーブル５３１に乗った交換用キャピラリ２４３Ｔのキャピラリテーパ部２４３ｂが取替稼働片５３５及び取替固定片５３６を通過して、搬送キャリッジ５２１に差し込まれる。

【0069】

＜供給モジュール＞
供給モジュール５４は、キャピラリ収容部５４ａと、キャピラリ供給口５４ｂと、を有する。

【0070】

供給モジュール５４は、上述したように交換ユニット本体５０のモジュールスロット５０ａに差し込まれる。供給モジュール５４は、必要に応じて、モジュールスロット５０ａから取り外すことが可能である（図４参照）。供給モジュール５４は、キャピラリ収容部５４ａに複数の交換用キャピラリ２４３Ｔを収容している。供給モジュール５４は、取替モジュール５３の動作に応じて、キャピラリ供給口５４ｂから取替モジュール５３に交換用キャピラリ２４３Ｔをひとつずつ供給する。

【0071】

以下、図１１～図２０を参照しながら供給モジュール５４の構造について詳細に説明する。図１１に示すように、供給モジュール５４は、マガジンカバー５４１と、マガジンベース５４２と、を有する。マガジンベース５４２には、キャピラリ収容部５４ａのための凹部が設けられている。マガジンカバー５４１は、マガジンベース５４２に着脱可能に取り付けられている。

【0072】

図１２に示すように、マガジンベース５４２にマガジンカバー５４１が取り付けられることにより、キャピラリ収容部５４ａとキャピラリ供給口５４ｂとが形成される。キャピラリ収容部５４ａは、ベース載置面５４２ｂと、カバー覆い面５４１ａとの間に形成された領域である（図１２参照）。キャピラリ供給口５４ｂは、ベース取出面５４２ｄと、カバー取出面５４１ｂとの間に形成された領域である（同図１２参照）。

【0073】

図１３に示すように、マガジンカバー５４１は、カバー覆い面５４１ａと、カバー取出面５４１ｂと、を有する。カバー覆い面５４１ａには、３つのカバーマグネット５４１Ｍが埋め込まれている。

【0074】

図１４に示すように、マガジンベース５４２は、ベース連結面５４２ａと、ベース載置面５４２ｂと、ベース溝面５４２ｃ（ベース溝部）と、ベース取出面５４２ｄと、ベース裏面５４２ｅと、を含む。ベース連結面５４２ａには、マガジンカバー５４１が接する。ベース連結面５４２ａには、複数の段部を有する溝が設けられている。第１の段部の底面は、ベース載置面５４２ｂである。ベース載置面５４２ｂには、交換用キャピラリ２４３Ｔが載置される。第２の段部の底面は、ベース溝面５４２ｃである。ベース溝面５４２ｃには、後述するキャピラリ保持テーブル５４Ｓ１が配置される。

【0075】

ベース取出面５４２ｄは、ベース載置面５４２ｂにつながっている。つまり、ベース取出面５４２ｄにも、交換用キャピラリ２４３Ｔが接触可能である。ベース取出面５４２ｄは、ベース載置面５４２ｂにつながっているものの、互いに同一の仮想平面上には存在しない。ベース取出面５４２ｄとベース載置面５４２ｂとの間には、稜線５４２ｋが存在する。ベース取出面５４２ｄとベース載置面５４２ｂとの間の角度５４２Ａは、例えば１８０度より大きい。

【0076】

供給モジュール５４が取替モジュール５３に配置された状態であるときのベース載置面５４２ｂ及びベース取出面５４２ｄを側面視する（図１２参照）。ベース載置面５４２ｂは、Ｚ方向に対して傾いている。つまり、供給モジュール５４が取替モジュール５３に配置された状態であるとき、ベース載置面５４２ｂは斜面であるとも言える。これに対して、ベース取出面５４２ｄは、Ｚ方向に対して並行である。つまり、供給モジュール５４が取替モジュール５３に配置された状態であるとき、ベース取出面５４２ｄによって形成されるキャピラリ供給口５４ｂは、鉛直下向きに延びているとも言える。

【0077】

つまり、供給モジュール５４は、取替モジュール５３に対して斜め方向に差し込まれている。この状態において、ベース裏面５４２ｅは、スロット主面５３８ｂに接する。さらに、ベース掛止面５４２ｆは、スロット上面５３８ａに接する。ベース掛止面５４２ｆとスロット上面５３８ａとの接触により、取替モジュール５３に対する供給モジュール５４の差し込み深さが決まる。

【0078】

＜キャピラリ供給口＞
図１５は、キャピラリ供給口５４ｂを交換用キャピラリ２４３Ｔの軸線ＡＴの方向（Ｙ方向）から見た図である。上述したように、キャピラリ供給口５４ｂは、カバー取出面５４１ｂとベース取出面５４２ｄとによって形成される。カバー取出面５４１ｂからベース取出面５４２ｄまでの開口幅Ｇ５４ｂは、交換用キャピラリ２４３Ｔの直径Ｄ２４３よりわずかに大きい。従って、交換用キャピラリ２４３Ｔは、キャピラリ収容部５４ａから転がり落ちてキャピラリ供給口５４ｂに位置することができる。

【0079】

そして、ベース取出面５４２ｄには、突起５４Ｔが設けられている。この突起５４Ｔは、交換用キャピラリ２４３Ｔをキャピラリ供給口５４ｂに一時的に留めるためのものである。突起５４Ｔは、ベース取出面５４２ｄからカバー取出面５４１ｂに向かって突出する。従って、突起５４Ｔの突起先端面５４Ｔａからカバー取出面５４１ｂまでの開口幅Ｇ５４ａは、交換用キャピラリ２４３Ｔの直径よりも小さい。従って、交換用キャピラリ２４３Ｔは、突起５４Ｔにひっかかるのでキャピラリ供給口５４ｂから落下しない。

【0080】

図１６は、キャピラリ供給口５４ｂを鉛直上向き（＋Ｚ方向）に見た図である。キャピラリ供給口５４ｂの長さは、供給口長さＬ５４ｂである。図１６の例示では、供給口長さＬ５４ｂは、交換用キャピラリ２４３Ｔのキャピラリ長さＬ２４３よりも長い。そして、突起５４Ｔは、ベース取出面５４２ｄの幅方向における一部分に設けられている。つまり、キャピラリ供給口５４ｂを構成するベース取出面５４２ｄは、突起５４Ｔが設けられている部分と、突起が設けられていない部分と、を含む。突起５４Ｔが設けられている部分は、キャピラリ供給口５４ｂにおける第１供給口部５４ｂ１に対応する。突起５４Ｔが設けられていない部分は、キャピラリ供給口５４ｂにおける第２供給口部５４ｂ２に対応する。交換用キャピラリ２４３Ｔは、突起５４Ｔが設けられている部分に引っかかる。従って、交換用キャピラリ２４３Ｔが突起５４Ｔに引っかかっている限り、交換用キャピラリ２４３Ｔはキャピラリ供給口５４ｂから落下しない。一方、突起５４Ｔが設けられていない部分における長さＷ１は、交換用キャピラリ２４３Ｔのキャピラリ直径２４３Ｄよりも大きいので、交換用キャピラリ２４３Ｔはキャピラリ供給口５４ｂから落下する。

【0081】

突起５４Ｔは、交換用キャピラリ２４３Ｔのキャピラリ本体部２４３ａに接する位置に設けられている。キャピラリ本体部２４３ａは、キャピラリテーパ部２４３ｂより長い。従って、突起５４Ｔが設けられている部分の長さＷ１は、突起５４Ｔが設けられていない部分の長さＷ２より長い。例えば、突起５４Ｔの長さＷ１は、キャピラリ本体部２４３ａに対応し、突起５４Ｔが設けられていない部分の長さＷ２は、キャピラリテーパ部２４３ｂに対応するとしてもよい。

【0082】

キャピラリ収容部５４ａからキャピラリ供給口５４ｂに落下した交換用キャピラリ２４３Ｔは、突起５４Ｔに引っかかる。そして、取替モジュール５３の取替テーブル５３１によって、交換用キャピラリ２４３Ｔが紙面左側に押されると、交換用キャピラリ２４３Ｔは、次第に突起５４Ｔが設けられていない部分に移動する。そして、キャピラリ本体部２４３ａの基端が次第に突起５４Ｔが設けられていない部分に至ると、交換用キャピラリ２４３Ｔは、キャピラリ供給口５４ｂから取替テーブル５３１に落下する。

【0083】

上述したように、交換用キャピラリ２４３Ｔは、取替テーブル５３１のテーブル起立部５３１ａによってキャピラリ基端面２４３ｅが押圧される。従って、図１５に示すように、軸線ＡＴの方向から見たとき、テーブル起立部５３１ａは、交換用キャピラリ２４３Ｔの一部に重複している。例えば、テーブル起立部５３１ａは、交換用キャピラリ２４３Ｔの軸線ＡＴには重複しない。換言すると、テーブル起立部５３１ａの上端面５３１ｃは、交換用キャピラリ２４３Ｔの軸線ＡＴよりも下に位置する。

【0084】

このような位置関係によると、交換用キャピラリ２４３Ｔとテーブル起立部５３１ａとの関係は、２つの態様を取り得る。第１の態様は、テーブル起立部５３１ａが紙面右側から左側に移動するものである。第１の態様では、テーブル起立部５３１ａがキャピラリ基端面２４３ｅを押圧しながら移動することによって、交換用キャピラリ２４３Ｔを紙面左側に移動させる（図１７（ａ）、（ｂ）参照）。第１の態様では、テーブル起立部５３１ａの移動に伴って交換用キャピラリ２４３Ｔもテーブル起立部５３１ａと同じ方向に移動する。そして、交換用キャピラリ２４３Ｔが第１供給口部５４ｂ１から第２供給口部５４ｂ２に移動することによって、交換用キャピラリ２４３Ｔは、取替テーブル５３１上に取り出される（図１７（ｃ）参照）。

【0085】

第２の態様は、第１の態様とは逆に、テーブル起立部５３１ａが紙面左側から右側に移動するものである。図１８（ａ）に示すように、まず、テーブル起立部５３１ａは、交換用キャピラリ２４３Ｔの左側に位置している。このとき、テーブル起立部５３１ａは、交換用キャピラリ２４３Ｔに接しない。そして、テーブル起立部５３１ａが紙面右側に移動すると、テーブル起立部５３１ａは、キャピラリテーパ部２４３ｂに接する（図１８（ｂ）参照）。キャピラリテーパ部２４３ｂは、斜面であるから、テーブル起立部５３１ａがキャピラリテーパ部２４３ｂに引っかかることはない。テーブル起立部５３１ａは、キャピラリテーパ部２４３ｂを押し上げながら、紙面右側に移動する。このとき、交換用キャピラリ２４３Ｔは、テーブル起立部５３１ａの高さに応じて上方に押し上げられる。しかし、交換用キャピラリ２４３Ｔは、テーブル起立部５３１ａの紙面右側への移動に応じて、テーブル起立部５３１ａと共に紙面右側に移動しない。

【0086】

そして、テーブル起立部５３１ａは、キャピラリ本体部２４３ａの外周面に接しながら、さらに紙面右側に移動する（図１８（ｃ）参照）。このときも、交換用キャピラリ２４３Ｔは、上方にわずかに押し上げられるだけであり、紙面右側に向かって移動しない。そして、テーブル起立部５３１ａがキャピラリ基端面２４３ｅより右側に達したときに、交換用キャピラリ２４３Ｔは元の位置に復帰する（図１８（ｄ）参照）。

【0087】

このように、テーブル起立部５３１ａがキャピラリ供給口５４ｂに位置する交換用キャピラリ２４３Ｔの軸線ＡＴに重複しないという構成によって、テーブル起立部５３１ａと共に交換用キャピラリ２４３Ｔが移動する態様と、テーブル起立部５３１ａと共に交換用キャピラリ２４３Ｔが移動しない態様と、を実現することができる。

【0088】

さらに、図１４に示すように、マガジンベース５４２は、保持機構配置穴５４Ｈ１と、送り機構配置穴５４Ｈ２と、を含む。保持機構配置穴５４Ｈ１は、ベース溝面５４２ｃに開口を有する穴である。保持機構配置穴５４Ｈ１は、ベース溝面５４２ｃからベース裏面５４２ｅに至る貫通穴である。送り機構配置穴５４Ｈ２は、ベース載置面５４２ｂに開口を有する穴である。送り機構配置穴５４Ｈ２は、ベース載置面５４２ｂからベース裏面５４２ｅに至る貫通穴である。

【0089】

マガジンベース５４２には、いくつかの部品が取り付けられている。マガジンベース５４２には、ベースマグネット５４２Ｍとベースピン５４Ｐとが取り付けられている。これらのベースマグネット５４２Ｍとベースピン５４Ｐは、マガジンベース５４２にマガジンカバー５４１を取り付けるためのものである。ベースマグネット５４２Ｍは、カバーマグネット５４１Ｍと吸着することによって、マガジンベース５４２にマガジンカバー５４１を固定される。また、ベースマグネット５４２Ｍの固定によれば、マガジンベース５４２からマガジンカバー５４１を容易に取り外すこともできる。従って、空となった供給モジュール５４に対して、新たな交換用キャピラリ２４３Ｔを充填するために、マガジンカバー５４１を容易に取り外すことができる。

【0090】

マガジンベース５４２には、キャピラリ保持機構５４Ｓが取り付けられている。
キャピラリ保持機構５４Ｓは、交換用キャピラリ２４３Ｔを取り出せない状態と、交換用キャピラリ２４３Ｔを取り出せる状態とを切り替えるものである。供給モジュール５４を取替モジュール５３に装着する前や装着する作業中は、交換用キャピラリ２４３Ｔを取り出す必要がない。そこで、意図せず交換用キャピラリ２４３Ｔが排出されることを防止するために、キャピラリ保持機構５４Ｓは、収容している交換用キャピラリ２４３Ｔの位置を積極的に保持する。

【0091】

より詳細には、キャピラリ保持機構５４Ｓは、キャピラリ保持テーブル５４Ｓ１（キャピラリ保持部材）と、ガイドピン５４Ｓ２と、保持バネ５４Ｓ３（保持力発生部材、図１９参照）と、保持マグネット５４Ｓ４（解除力発生部材、図１９参照）と、を有する。キャピラリ保持テーブル５４Ｓ１は、交換用キャピラリ２４３Ｔを拘束する状態と、交換用キャピラリ２４３Ｔの拘束を解除する状態と、を切り替える。キャピラリ保持テーブル５４Ｓ１は、テーブル板部５４Ｓ５と、テーブル本体部５４Ｓ６と、を含む。

【0092】

テーブル板部５４Ｓ５は、ベース溝面５４２ｃ上に配置される。テーブル板部５４Ｓ５の主面には、複数の保持溝５４Ｓ７が設けられている。一つの保持溝５４Ｓ７には、１本の交換用キャピラリ２４３Ｔが配置可能である。例えば図１４のテーブル板部５４Ｓ５には、１０個の保持溝５４Ｓ７が設けられている。従って、供給モジュール５４は、１０本の交換用キャピラリ２４３Ｔを収容することができる。

【0093】

テーブル本体部５４Ｓ６は、テーブル板部５４Ｓ５の裏面から突出する部位である。テーブル本体部５４Ｓ６は、保持機構配置穴５４Ｈ１に挿入される。テーブル本体部５４Ｓ６には、２か所のガイド穴５４Ｓ８が設けられている。ガイド穴５４Ｓ８のそれぞれには、ガイドピン５４Ｓ２が挿入されている。ガイドピン５４Ｓ２は、保持機構配置穴５４Ｈ１の側壁に形成された穴５４Ｈ３に差し込まれている。ガイド穴５４Ｓ８は、マガジンベース５４２の厚み方向を長手方向とする長孔である。この長孔にガイドピン５４Ｓ２が差し込まれているので、キャピラリ保持テーブル５４Ｓ１は、全体としてマガジンベース５４２の厚み方向に往復移動が可能である。換言すると、キャピラリ保持テーブル５４Ｓ１は、マガジンカバー５４１に近づく移動と、マガジンカバー５４１から離れる移動と、が可能である。

【0094】

図１９に示すように、キャピラリ保持テーブル５４Ｓ１がマガジンカバー５４１に近づく移動は、マガジンベース５４２とテーブル板部５４Ｓ５との間に配置される保持バネ５４Ｓ３による。保持バネ５４Ｓ３は、キャピラリ保持テーブル５４Ｓ１をマガジンカバー５４１に向けて押圧する力を発揮する。

【0095】

図２０に示すように、キャピラリ保持テーブル５４Ｓ１がマガジンカバー５４１から離れる移動は、保持マグネット５４Ｓ４による。保持マグネット５４Ｓ４は、取替モジュール５３のマガジンスロット５３８に設けられたスロットマグネット５３Ｍと引き合うことにより、キャピラリ保持テーブル５４Ｓ１をマガジンカバー５４１から離す向きの力を発揮する。

【0096】

さらに、マガジンベース５４２には、キャピラリ送り機構５４Ｋ（図１４参照）が取り付けられている。キャピラリ送り機構５４Ｋは、キャピラリ収容部５４ａからキャピラリ供給口５４ｂに向けて、交換用キャピラリ２４３Ｔを積極的に送り込むためのものである。

【0097】

より詳細には、キャピラリ送り機構５４Ｋは、送りシャフト５４Ｋ１と、送りバネ５４Ｋ２と、送り部材５４Ｋ３と、を有する。送りバネ５４Ｋ２には送りシャフト５４Ｋ１が差し込まれており、当該送りシャフト５４Ｋ１は、送りバネ５４Ｋ２と共に送り機構配置穴５４Ｈ２に配置されている。送りシャフト５４Ｋ１の上端側には、送り部材５４Ｋ３が配置されている。送り部材５４Ｋ３は、送りバネ５４Ｋ２から受けた力を交換用キャピラリ２４３Ｔに伝える。送り部材５４Ｋ３は、送りシャフト５４Ｋ１が差し込まれる貫通穴が設けられた腕部５４Ｋ４と、交換用キャピラリ２４３Ｔに接するキャピラリ押圧部５４Ｋ５と、を含む。

【0098】

＜コントローラ＞
図２１に示すように、コントローラ６は、ワイヤボンディングユニット２及びキャピラリ交換ユニット５の動作を制御する。コントローラ６は、各種プログラムを実行するプロセッサと、プログラム及び所望のデータベースを記憶するメモリと、を有するコンピュータである。コントローラ６は、ワイヤボンディング装置１に設けられた各種センサから提供される情報を受け入れる。そして、コントローラ６は、受け入れた情報を用いて、ワイヤボンディングユニット２及びキャピラリ交換ユニット５の動作を制御するための制御信号を出力する。

【0099】

コントローラ６は、キャピラリ交換プログラムを実行することによって、図１２に示すいくつかの機能構成要素の機能を発揮する。具体的には、コントローラ６は、ボンディング制御部６１と、クランパ制御部６２と、解除制御部６３と、搬送制御部６４と、取替制御部６５と、を有する。ボンディング制御部６１は、Ｚ軸駆動部２５に制御信号Ｇ６１ａを出力し、ツール用ＸＹステージ２２に制御信号Ｇ６１ｂを出力する。クランパ制御部６２は、下ワイヤクランパ２７に制御信号Ｇ６２ａを出力し、上ワイヤクランパ２８に制御信号Ｇ６２ｂを出力する。解除制御部６３は、キャピラリ交換ユニット５の解除駆動部５１３に制御信号Ｇ６３を出力する。搬送制御部６４は、キャピラリ交換ユニット５の搬送駆動部５２３に制御信号Ｇ６４を出力する。取替制御部６５は、キャピラリ交換ユニット５の取替駆動部５３２に制御信号Ｇ６５を出力する。

【0100】

コントローラ６は、機能的な構成要素として、カメラ制御部６６と、検知センサ制御部６７と、を有する。カメラ制御部６６は、カメラ４１によって取得された平面画像、立面画像を画像処理する。その結果、各部のＸＹＺ方向の位置が検出される。

【0101】

検知センサ制御部６７は、キャピラリ交換ユニット５に設けられた複数の検知センサ５０Ｓから検知データを受ける。例えば、検知センサ５０Ｓは、キャピラリ交換ユニット５の内部において順次搬送される使用済みキャピラリ２４３Ｅ及び交換用キャピラリ２４３Ｔが所定の位置に存在することを確認する。コントローラ６は、使用済みキャピラリ２４３Ｅ及び交換用キャピラリ２４３Ｔが所定の位置に存在することが確認された後に、次の動作に移行する。

【0102】

＜作用効果＞
供給モジュール５４は、複数の交換用キャピラリ２４３Ｔが載置されるベース載置面５４２ｂと、複数の交換用キャピラリ２４３Ｔのうち取り出しの対象となった交換用キャピラリ２４３Ｔが接するベース取出面５４２ｄと、を含むマガジンベース５４２と、マガジンベース５４２に取り付けられると共に、ベース載置面５４２ｂに対面するカバー覆い面５４１ａとベース取出面５４２ｄに対面するカバー取出面５４１ｂと、を含むマガジンカバー５４１と、を備える。マガジンベース５４２及びマガジンカバー５４１は、ベース載置面５４２ｂとカバー覆い面５４１ａとの間に形成された領域であるキャピラリ収容部５４ａと、ベース取出面５４２ｄとカバー取出面５４１ｂとの間に形成された領域であるキャピラリ供給口５４ｂと、を構成し、キャピラリ供給口５４ｂは、交換用キャピラリ２４３Ｔの基端から先端に向かう方向に沿って並ぶ第１供給口部５４ｂ１及び第２供給口部５４ｂ２と、を含み、第１供給口部５４ｂ１の開口幅Ｇ５４ａは、交換用キャピラリ２４３Ｔの直径Ｄ２４３よりも小さく、第２供給口部５４ｂ２の開口幅Ｇ５４ｂは、交換用キャピラリ２４３Ｔの直径Ｄ２４３よりも大きい。

【0103】

この供給モジュール５４によれば、複数の交換用キャピラリ２４３Ｔを収容したキャピラリ収容部５４ａからキャピラリ供給口５４ｂを介して、交換用キャピラリ２４３Ｔを供給することができる。つまり、供給モジュール５４を差し替えることによって、複数の交換用キャピラリ２４３Ｔを供給することが可能になる。従って、交換用キャピラリ２４３Ｔを１本ずつ交換する態様と比較して、交換用キャピラリ２４３Ｔを交換する作業に要する時間を短縮することができる。

【0104】

第１供給口部５４ｂ１を構成するベース取出面５４２ｄには、カバー取出面５４１ｂに向かって突出する突起５４Ｔが設けられる。この構成によると、外部からの操作に応じて、キャピラリ供給口５４ｂから交換用キャピラリ２４３Ｔを取り出すことができる。

【0105】

交換用キャピラリ２４３Ｔの軸線に沿った第１供給口部５４ｂ１の長さは、第２供給口部５４ｂ２の長さより、長い。この構成によれば、キャピラリ供給口５４ｂに保持された交換用キャピラリ２４３Ｔの姿勢を安定して維持することができる。

【0106】

ベース載置面５４２ｂとベース取出面５４２ｄとは互いに共通の仮想平面上に存在しない。ベース載置面５４２ｂからベース取出面５４２ｄまでの角度は、１８０度より大きい。この構成によれば、ベース載置面５４２ｂを斜面とする配置が可能である。その結果、交換用キャピラリ２４３Ｔが斜面であるベース載置面５４２ｂを転がることにより、キャピラリ収容部５４ａからキャピラリ供給口５４ｂへ円滑に移動することが可能である。

【0107】

供給モジュール５４は、複数の交換用キャピラリ２４３Ｔのそれぞれが配置される複数の保持溝５４Ｓ７を有する。マガジンベース５４２に配置されるキャピラリ保持テーブル５４Ｓ１と、キャピラリ保持テーブル５４Ｓ１をマガジンカバー５４１に向けて押圧する保持力を発生する保持バネ５４Ｓ３と、キャピラリ保持テーブル５４Ｓ１をマガジンベース５４２に向けて引っ張る解除力を発生する保持マグネット５４Ｓ４と、をさらに備える。この構成によれば、意図しないタイミングで供給モジュール５４から交換用キャピラリ２４３Ｔが落ちてしまうことを抑制できる。

【0108】

キャピラリ提供機構５５は、複数の交換用キャピラリ２４３Ｔを、交換用キャピラリ２４３Ｔの軸線と直交する供給方向に並べて収容するキャピラリ収容部５４ａと、交換用キャピラリ２４３Ｔの直径より小さい開口幅Ｇ５４ａである第１供給口部５４ｂ１及び交換用キャピラリ２４３Ｔの直径より大きい開口幅Ｇ５４ｂである第２供給口部５４ｂ２を含むキャピラリ供給口５４ｂと、を有し、供給方向に沿ってキャピラリ収容部５４ａからキャピラリ供給口５４ｂに交換用キャピラリ２４３Ｔを移動させる供給モジュール５４と、キャピラリ供給口５４ｂに位置する交換用キャピラリ２４３Ｔを軸線に沿って、第１供給口部５４ｂ１から第２供給口部５４ｂ２へ移動させることによって、交換用キャピラリ２４３Ｔを取り出す動作を実行する取替モジュール５３と、を備える。

【0109】

このキャピラリ提供機構５５は、上記の供給モジュール５４を備えている。従って、取替モジュール５３に装着される供給モジュール５４を差し替えることによって、複数の交換用キャピラリ２４３Ｔを取替モジュール５３に供給することが可能になる。従って、交換用キャピラリ２４３Ｔを１本ずつ交換する態様と比較して、交換用キャピラリ２４３Ｔを交換する作業に要する時間を短縮することができる。

【0110】

供給モジュール５４は、マガジンベース５４２と、マガジンカバー５４１と、複数の交換用キャピラリ２４３Ｔのそれぞれが配置される複数の保持溝５４Ｓ７を有するキャピラリ保持テーブル５４Ｓ１と、キャピラリ保持テーブル５４Ｓ１をマガジンカバー５４１に向けて押圧する保持力を発生する保持バネ５４Ｓ３と、キャピラリ保持テーブル５４Ｓ１をマガジンベース５４２に向けて引っ張る解除力を発生する保持マグネット５４Ｓ４と、を有し、供給モジュール５４が取替モジュール５３に配置されていないときにおける複数の交換用キャピラリ２４３Ｔは、キャピラリ収容部５４ａからキャピラリ供給口５４ｂに向かって移動しないように、キャピラリ保持テーブル５４Ｓ１と保持バネ５４Ｓ３によって拘束された状態であり、供給モジュール５４が取替モジュール５３に配置されているときにおける複数の交換用キャピラリ２４３Ｔは、キャピラリ収容部５４ａからキャピラリ供給口５４ｂに向かって移動可能であるように、キャピラリ保持テーブル５４Ｓ１と保持バネ５４Ｓ３による拘束が、保持マグネット５４Ｓ４によって解除された状態である。

【0111】

この構成によれば、供給モジュール５４が取替モジュール５３に装着されていないときに、供給モジュール５４から交換用キャピラリ２４３Ｔが落ちてしまうことを抑制できる。さらに、供給モジュール５４が取替モジュール５３に装着されているときに、供給モジュール５４から交換用キャピラリ２４３Ｔを取り出すことができる。つまり、供給モジュール５４を取替モジュール５３に装着するだけで、交換用キャピラリ２４３Ｔの落下を抑制する状態から交換用キャピラリ２４３Ｔを供給可能な状態へ切り替えることができる。

【0112】

ワイヤボンディング装置１は、超音波ホーン２４２に取り付けられると共にボンディングワイヤ１２が挿入される使用済みのキャピラリ２４３と、使用済みのキャピラリ２４３を交換用キャピラリ２４３Ｔに交換するキャピラリ交換ユニット５と、を備える。キャピラリ交換ユニット５は、超音波ホーン２４２から引き抜かれた使用済みキャピラリ２４３Ｅを所定の直線方向に沿って、交換位置から取替位置まで搬送すると共に、使用済みキャピラリ２４３Ｅに代えて超音波ホーン２４２に取り付けるための交換用キャピラリ２４３Ｔを所定の直線方向とは逆方向に取替位置から交換位置まで送りねじ機構によって搬送する搬送モジュール５２と、複数の交換用キャピラリ２４３Ｔを、交換用キャピラリ２４３Ｔの軸線と直交する供給方向に並べて収容するキャピラリ収容部５４ａと、交換用キャピラリ２４３Ｔの直径より小さい開口幅Ｇ５４ａである第１供給口部５４ｂ１及び交換用キャピラリ２４３Ｔの直径より大きい開口幅Ｇ５４ｂである第２供給口部５４ｂ２を含むキャピラリ供給口５４ｂと、を有し、供給方向に沿ってキャピラリ収容部５４ａからキャピラリ供給口５４ｂに交換用キャピラリ２４３Ｔを移動させる供給モジュール５４と、キャピラリ供給口５４ｂに位置する交換用キャピラリ２４３Ｔを軸線に沿って、第１供給口部５４ｂ１から第２供給口部５４ｂ２へ移動させることによって、交換用キャピラリ２４３Ｔを取り出す動作を実行する取替モジュール５３と、を有する。

【0113】

このワイヤボンディング装置１は、上記の供給モジュール５４を備えている。従って、取替モジュール５３に装着される供給モジュール５４を差し替えることによって、複数の新たな交換用キャピラリ２４３Ｔを取替モジュール５３に供給することが可能になる。従って、交換用キャピラリ２４３Ｔを１本ずつ交換する態様と比較して、交換用キャピラリ２４３Ｔを交換する作業に要する時間を短縮することができる。

【0114】

＜変形例＞
以上、本発明であるキャピラリを交換する方法及びワイヤボンディング装置の例示について説明したが、キャピラリを交換する方法及びワイヤボンディング装置は、上記実施形態に限定されるものではない。

【符号の説明】

【0115】

１…ワイヤボンディング装置、４１…カメラ、５２…搬送モジュール（キャピラリ搬送モジュール）、５２Ｅ…取替位置、５４…供給モジュール（キャピラリ供給モジュール）、２４３…キャピラリ、２４３Ｅ…使用済みキャピラリ、２４３ｈ…キャピラリ貫通孔、２４３Ｔ…交換用キャピラリ、Ａ…軸線。

【要約】

【課題】キャピラリを交換する作業に要する時間を短縮する。
【解決手段】供給モジュール５４は、複数の交換用キャピラリ２４３Ｔが載置されるベース載置面５４２ｂと、交換用キャピラリ２４３Ｔが接するベース取出面５４２ｄと、を含むマガジンベース５４２と、マガジンベース５４２に取り付けられると共に、ベース載置面５４２ｂに対面するカバー覆い面５４１ａとベース取出面５４２ｄに対面するカバー取出面５４１ｂと、を含むマガジンカバー５４１と、を備える。キャピラリ供給口５４ｂは、交換用キャピラリ２４３Ｔの基端から先端に向かう方向に沿って並ぶ第１供給口部５４ｂ１及び第２供給口部５４ｂ２と、を含み、第１供給口部５４ｂ１の開口幅Ｇ５４ａは、交換用キャピラリ２４３Ｔの直径よりも小さく、第２供給口部５４ｂ２の開口幅Ｇ５４ｂは、交換用キャピラリ２４３Ｔの直径Ｄ２４３よりも大きい。
【選択図】図１６

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】