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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-09-19
(45)【発行日】2024-09-30
(54)【発明の名称】光制御システム及び光学反射素子
(51)【国際特許分類】
G02B 26/10 20060101AFI20240920BHJP
G02B 26/08 20060101ALI20240920BHJP
B81B 7/02 20060101ALI20240920BHJP
B81B 3/00 20060101ALI20240920BHJP
【ＦＩ】
G02B26/10 104Z
G02B26/08 E
B81B7/02
B81B3/00
【請求項の数】
9
(21)【出願番号】P 2021561242
(86)(22)【出願日】2020-10-29
(86)【国際出願番号】 JP2020040603
(87)【国際公開番号】W WO2021106488
(87)【国際公開日】2021-06-03
【審査請求日】2023-05-10
(31)【優先権主張番号】P 2019214458
(32)【優先日】2019-11-27
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】314012076
【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100109210
【弁理士】
【氏名又は名称】新居 広守
(74)【代理人】
【識別番号】100137235
【弁理士】
【氏名又は名称】寺谷 英作
(74)【代理人】
【識別番号】100131417
【弁理士】
【氏名又は名称】道坂 伸一
(72)【発明者】
【氏名】石田 貴巳
(72)【発明者】
【氏名】小牧 一樹
(72)【発明者】
【氏名】高山 了一
【審査官】小濱 健太
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１９－０８２６２５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００７－３１０１９６（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０２Ｂ ２６／００－２６／１２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
光を反射して往復動させる光学反射素子と、前記光学反射素子を制御する制御装置とを備えた光制御システムにおいて、前記光学反射素子は、
基体と、
前記光を反射する反射体と、
それぞれ第一軸に沿って前記反射体を挟む位置に配置され、前記反射体を揺動させるための第一揺動部及び第二揺動部を備え、
前記第一揺動部及び前記第二揺動部の各々は、
前記第一軸に沿って配置され、前記反射体と先端部が連結される第一接続体と、
前記第一軸と交差する方向に延在し、前記第一接続体の基端部に連結される第一振動体と、
前記第一軸に対し前記第一振動体の逆側において前記第一軸と交差する方向に延在し、前記第一接続体の基端部に連結される第二振動体と、
前記第一軸に沿って延在し、基端部が前記第一振動体の先端部に連結され、前記第一振動体を介して前記第一接続体を動作させる第一駆動体と、
前記第一軸に沿って延在し、基端部が前記第二振動体の先端部に連結され、前記第二振動体を介して前記第一接続体を動作させる第二駆動体と、
前記基体に対し前記第一振動体及び前記第二振動体を振動自在に接続する第二接続体とを備え、
前記制御装置は、前記第一揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体を同位相で振動させる場合に、前記第二揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体を同位相であって、前記第一揺動部とは逆位相で振動させ、
前記制御装置は、前記第一揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体が前記第一揺動部の前記第一接続体とは逆位相となるように、前記第一揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体を同位相で振動させる場合に、前記第二揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体が前記第二揺動部の前記第一接続体とは逆位相となるように、前記第二揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体を同位相で振動させる
光制御システム。
【請求項2】
前記光学反射素子は、前記第一軸に交差する第二軸にそれぞれ沿って前記反射体を挟む位置に配置され、前記反射体を揺動させるための第三揺動部及び第四揺動部と、を備え、
前記第三揺動部及び前記第四揺動部の各々は、
前記第二軸に沿って配置され、前記反射体と先端部が連結される第三接続体と、
前記第二軸と交差する方向に延在し、前記第三接続体の基端部に連結される第三振動体と、
前記第二軸に対し前記第三振動体の逆側において前記第二軸と交差する方向に延在し、前記第三接続体の基端部に連結される第四振動体と、
前記第二軸に沿って延在し、基端部が前記第三振動体の先端部に連結され、前記第三振動体を介して前記第三接続体を動作させる第三駆動体と、
前記第二軸に沿って延在し、基端部が前記第四振動体の先端部に連結され、前記第四振動体を介して前記第三接続体を動作させる第四駆動体と、
前記基体に対し前記第三振動体及び前記第四振動体を振動自在に接続する第四接続体とを備える
請求項１に記載の光制御システム。
【請求項3】
前記制御装置は、前記第一揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体を同位相で振動させるとともに、前記第二揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体を同位相であって、前記第一揺動部とは逆位相で振動させる際に、前記反射体の揺動が増幅されるように、前記第三揺動部の前記第三駆動体及び前記第四駆動体を逆位相で振動させるとともに、前記第四揺動部の前記第三駆動体及び前記第四駆動体を逆位相で振動させる請求項２に記載の光制御システム。
【請求項4】
前記制御装置は、前記第三揺動部の前記第三駆動体及び前記第四駆動体を同位相で振動させるとともに、前記第四揺動部の前記第三駆動体及び前記第四駆動体を同位相であって、前記第三揺動部とは逆位相で振動させる際に、前記反射体の揺動が増幅されるように、前記第一揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体を逆位相で振動させるとともに、前記第二揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体を逆位相で振動させる請求項３に記載の光制御システム。
【請求項5】
前記制御装置は、前記第一揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体を同位相で振動させるとともに、前記第二揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体を同位相であって、前記第一揺動部とは逆位相で振動させる際には、前記第三揺動部の前記第三駆動体及び前記第四駆動体と、前記第四揺動部の前記第三駆動体及び前記第四駆動体とに対する電圧供給を停止し、前記第三揺動部の前記第三駆動体及び前記第四駆動体を同位相で振動させるとともに、前記第四揺動部の前記第三駆動体及び前記第四駆動体を同位相であって、前記第三揺動部とは逆位相で振動させる際には、前記第一揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体と、前記第二揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体とに対する電圧供給を停止する
請求項２に記載の光制御システム。
【請求項6】
前記制御装置は、前記第一揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体を同位相で振動させるとともに、前記第二揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体を同位相であって、前記第一揺動部とは逆位相で振動させる際には、
前記第三揺動部の前記第三駆動体及び前記第四駆動体を第一揺動部と同位相で振動させるとともに、前記第四揺動部の前記第三駆動体及び前記第四駆動体を、前記第二揺動部と同位相で振動させる場合と、
前記第三揺動部の前記第三駆動体及び前記第四駆動体を第二揺動部と同位相で振動させるとともに、前記第四揺動部の前記第三駆動体及び前記第四駆動体を、前記第一揺動部と同位相で振動させる場合とを切り替える
請求項２に記載の光制御システム。
【請求項7】
前記制御装置は、前記第一揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体を同位相で振動させ、かつ前記第二揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体を同位相であって前記第一揺動部とは逆位相で振動させる場合には、
前記第一揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体が前記第一揺動部の前記第一接続体とは逆位相となるように、前記第一揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体を同位相で振動させるとともに、前記第二揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体が前記第二揺動部の前記第一接続体とは逆位相となるように、前記第二揺動部の前記第一駆動体及び前記第二駆動体を同位相で振動させて、
前記第三揺動部の前記第三駆動体及び前記第四駆動体を同位相で振動させ、かつ前記第四揺動部の前記第三駆動体及び前記第四駆動体を同位相であって前記第三揺動部とは逆相で振動させる場合には、
前記第三揺動部の前記第三駆動体及び前記第四駆動体が前記第三揺動部の前記第三接続体とは逆位相となるように、前記第三揺動部の前記第三駆動体及び前記第四駆動体を同位相で振動させるとともに、前記第四揺動部の前記第三駆動体及び前記第四駆動体が前記第四揺動部の前記第三接続体とは逆位相となるように、前記第四揺動部の前記第三駆動体及び前記第四駆動体を同位相で振動させる
請求項３～６のいずれか一項に記載の光制御システム。
【請求項8】
前記反射体は、反射体本体と、前記反射体本体の周縁から周方向に所定の間隔をあけて突出した複数の柱部と、前記複数の柱部に連結された枠体とを備え、前記枠体には、前記第一接続体の先端部が連結されている
請求項１～７のいずれか一項に記載の光制御システム。
【請求項9】
基体と、光を反射する反射体と、
それぞれ第一軸に沿って前記反射体を挟む位置に配置され、前記反射体を揺動させるための第一揺動部及び第二揺動部と、
前記第一軸に交差する第二軸にそれぞれ沿って前記反射体を挟む位置に配置され、前記反射体を揺動させるための第三揺動部及び第四揺動部と、を備え、
前記第一揺動部及び前記第二揺動部の各々は、
前記第一軸に沿って配置され、前記反射体と先端部が連結される第一接続体と、
前記第一軸と交差する方向に延在し、前記第一接続体の基端部に連結される第一振動体と、
前記第一軸に対し前記第一振動体の逆側において前記第一軸と交差する方向に延在し、前記第一接続体の基端部に連結される第二振動体と、
前記第一軸に沿って延在し、基端部が前記第一振動体の先端部に連結され、前記第一振動体を介して前記第一接続体を動作させる第一駆動体と、
前記第一軸に沿って延在し、基端部が前記第二振動体の先端部に連結され、前記第二振動体を介して前記第一接続体を動作させる第二駆動体と、
前記基体に対し前記第一振動体及び前記第二振動体を振動自在に接続する第二接続体とを備え、
前記第三揺動部及び前記第四揺動部のそれぞれは、
前記第二軸に沿って配置され、前記反射体と先端部が連結される第三接続体と、
前記第二軸と交差する方向に延在し、前記第三接続体の基端部に連結される第三振動体と、
前記第二軸に対し前記第三振動体の逆側において前記第二軸と交差する方向に延在し、前記第三接続体の基端部に連結される第四振動体と、
前記第二軸に沿って延在し、基端部が前記第三振動体の先端部に連結され、前記第三振動体を介して前記第三接続体を動作させる第三駆動体と、
前記第二軸に沿って延在し、基端部が前記第四振動体の先端部に連結され、前記第四振動体を介して前記第三接続体を動作させる第四駆動体と、
前記基体に対し前記第三振動体及び前記第四振動体を振動自在に接続する第四接続体とを備える光学反射素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、光制御システム及び光学反射素子に関する。
【背景技術】
【0002】
従来のレーザ光を掃引させる光学反射素子は、例えば特許文献１に示されるように、反射体と、接続体と、振動体と、駆動体とを備えている。反射体は、レーザ光などを反射する。接続体は、反射体に接続されて自らがねじれることにより反射体を回転揺動させる。振動体は二本あり、それぞれアーム形状を有し、接続体に往復のねじれを発生させるために反射体の回転軸と交差する方向に延在する。駆動体は、二本の振動体をそれぞれ振動させる圧電素子などを備えている。このような光学反射素子は、接続体のねじれ方向にのみ反射体が回転するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２００９－２４４６０２号公報
【発明の概要】
【0004】
本開示は、光学反射素子の性能を高めることを目的とする。
【0005】
本開示の一態様に係る光制御システムは、光学反射素子と、制御装置とを備えている。光学反射素子は、光を反射して往復動させる。制御装置は、光学反射素子を制御する。光学反射素子は、第一軸と、基体と、反射体と、第一揺動部と、第二揺動部とを備える。反射体は、光を反射する。第一揺動部及び第二揺動部は、それぞれ第一軸に沿った位置に配置される。また、第一揺動部と第二揺動部とは、互いに反射体を挟む位置に配置される。また、第一揺動部及び第二揺動部は、ともに反射体を揺動させる。第一揺動部及び第二揺動部の各々は、第一接続体と、第一振動体と、第二振動体と、第一駆動体と、第二駆動体と、第二接続体とを備える。第一接続体は、第一軸に沿って配置される。また、第一接続体の先端部は、反射体と連結される。第一振動体は、第一軸と交差する方向に延在する。また、第一振動体は、第一接続体の基端部に連結される。第二振動体は、第一軸に対し第一振動体の逆側において第一軸と交差する方向に延在する。また、第二振動体は、第一接続体の基端部に連結される。第一駆動体は、第一軸に沿って延在する。第一駆動体の基端部は、第一振動体の先端部に連結される。また、第一駆動体は、第一振動体を介して第一接続体を動作させる。第二駆動体は、第一軸に沿って延在する。第二駆動体の基端部は、第二振動体の先端部に連結される。また、第二駆動体は、第二振動体を介して第一接続体を動作させる。第二接続体は、基体に対し第一振動体及び第二振動体を振動自在に接続する。制御装置は、第一揺動部の第一駆動体及び第二駆動体を同位相で振動させる。制御装置は、第二揺動部の第一駆動体及び第二駆動体を同位相で振動させる。また、制御装置は、第二揺動部と第一揺動部とを、互いに逆位相で振動させる。
【0006】
また、本開示の別の一態様に係る光学反射素子は、第一軸と、第二軸と、基体と、反射体と、第一揺動部と、第二揺動部と、第三揺動部と、第四揺動部とを有する。第二軸は、第一軸と交差する。反射体は、光を反射する。第一揺動部及び第二揺動部は、それぞれ第一軸に沿った位置に配置される。また、第一揺動部及び第二揺動部は、互いに反射体を挟む位置に配置される。第一揺動部及び第二揺動部は、ともに反射体を揺動させる。第三揺動部及び第四揺動部はそれぞれ、第二軸に沿った位置に配置される。また、第三揺動部及び第四揺動部は、反射体を挟む位置に配置される。第三揺動部及び第四揺動部は、ともに反射体を揺動させる。第一揺動部及び第二揺動部の各々は、第一接続体と、第一振動体と、第二振動体と、第一駆動体と、第二駆動体と、第二接続体とを備える。第一接続体は、第一軸に沿って配置される。また、第一接続体の先端部は、反射体と連結される。第一接続体は、第一軸と交差する方向に延在する。また、第一振動体は、第一接続体の基端部に連結される。第二振動体は、第一軸に対し第一振動体の逆側において第一軸と交差する方向に延在する。また、第二振動体は、第一接続体の基端部に連結される。第一駆動体は、第一軸に沿って延在する。第一駆動体の基端部は、第一振動体の先端部に連結される。また、第一駆動体は、第一振動体を介して第一接続体を動作させる。第二駆動体は、第一軸に沿って延在する。第二駆動体の基端部は、第二振動体の先端部に連結される。また、第二駆動体は、第二振動体を介して第一接続体を動作させる。第二接続体は、基体に対し第一振動体及び第二振動体を振動自在に接続する。第三揺動部及び第四揺動部の各々は、第三接続体と、第三振動体と、第四振動体と、第三駆動体と、第四駆動体と、第四接続体とを備える。第三接続体は、第二軸に沿って配置される。また、第三接続体の先端部は、反射体と連結される。第三振動体は、第二軸と交差する方向に延在する。また、第三振動体は、第三接続体の基端部に連結される。第四振動体は、第二軸に対し第三振動体の逆側において第二軸と交差する方向に延在する。また、第四振動体は、第三接続体の基端部に連結される。第三駆動体は、第二軸に沿って延在する。また、第三駆動体の基端部は、第三振動体の先端部に連結される。第三駆動体は、第三振動体を介して第三接続体を動作させる。第四駆動体は、第二軸に沿って延在する。第四駆動体の基端部は、第四振動体の先端部に連結される。また、第四駆動体は、第四振動体を介して第三接続体を動作させる。第四接続体は、基体に対し第三振動体及び第四振動体を振動自在に接続する。
【0007】
本開示の技術により、光学反射素子の性能を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1A】実施の形態１に係る光学反射素子を示す平面図である。
【図2】実施の形態１に係る光制御システムの制御構成を示すブロック図である。
【図3】実施の形態１に係る光学反射素子を動作させるための駆動信号の一例を示す説明図である。
【図4】実施の形態１に係る光学反射素子において第二モードでの各部の動作を示す模式図である。
【図5】実施の形態２に係る光学反射素子において第二モードでの各部の動作を示す模式図である。
【図6】実施の形態３に係る光学反射素子を示す平面図である。
【図7】実施の形態５に係る光学反射素子の回転軸を示す平面図である。
【図8】実施の形態６に係る反射体を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
次に、本開示に係る光制御システム及び光学反射素子の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本開示にかかる技術を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
【0010】
また、図面は、本開示にかかる技術を示すために適宜強調や省略、比率の調整を行った模式的な図となっており、実際の形状や位置関係、比率とは異なる場合がある。
【0011】
また、以下の説明及び図面中において、光学反射素子の厚み方向をＺ軸方向と定義する。光学反射素子の第一軸と平行な方向をＹ軸方向と定義する。光学反射素子の第二軸と平行な方向をＸ軸方向と定義する。これらＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向は、互いに交差（以下実施の形態では、直交）する方向である。さらに、平行及び直交などの、相対的な方向または姿勢を示す表現は、厳密には、その方向または姿勢ではない場合も含む。例えば、２つの方向が直交している、とは、当該２つの方向が完全に直交していることを意味するだけでなく、実質的に直交していること、すなわち、例えば数％程度の差異を含むことも意味する。
【0012】
［実施の形態１］
（光学反射素子）
まず、本開示に係る光学反射素子１００について説明する。図１Ａは、実施の形態１に係る光学反射素子１００を示す平面図である。図１Ｂは、図１Ａに示す光学反射素子１００の１Ｂ－１Ｂ断面を示す断面図である。図１Ｃは、図１Ａに示す光学反射素子１００の１Ｃ－１Ｃ断面を示す断面図である。
（光学反射素子）
まず、本開示に係る光学反射素子１００について説明する。図１Ａは、実施の形態１に係る光学反射素子１００を示す平面図である。図１Ｂは、図１Ａに示す光学反射素子１００の１Ｂ－１Ｂ断面を示す断面図である。図１Ｃは、図１Ａに示す光学反射素子１００の１Ｃ－１Ｃ断面を示す断面図である。
【0013】
光学反射素子１００は、レーザ光などの光の反射角度を周期的に変更して光の照射位置を周期的に掃引する装置である。図１Ａに示すように、光学反射素子１００は、矩形枠状の基体１０５と、反射体１１０と、第一揺動部２１０及び第二揺動部２２０とを備えている。第一揺動部２１０及び第二揺動部２２０は、基体１０５の内部にあり、ともに反射体１１０を揺動させるために設けられている。本実施の形態では、反射体１１０の一部と、第一揺動部２１０の一部と、第二揺動部２２０の一部と、基体１０５とは、１つの基板から不要部分を除去することにより一体的に成形される。具体的に例えば、半導体製造過程で用いられるエッチング技術を用いてシリコン基板の不要部分を除去することで、反射体１１０の一部と、第一揺動部２１０の一部と、第二揺動部２２０の一部と、基体１０５とが一体的に形成されている。光学反射素子１００は、いわゆるＭＥＭＳ（メムス：Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）である。
【0014】
ここで、基板を構成する材料は、特に限定されるものではないが、金属、結晶体、ガラス、樹脂など機械的強度及び高いヤング率を有する材料が好ましい。具体的には、シリコン、チタン、ステンレス、エリンバー、黄銅合金などの金属や合金などが例示される。これら金属、合金などを用いれば、振動特性、加工性に優れた光学反射素子１００を実現できる。
【0015】
反射体１１０は、揺動することで光を反射する部分である。反射体１１０の形状は、特に限定されるものではないが、本実施の形態の場合、反射体１１０は円形の板状であり、反射対象の光を高い反射率で反射することができる反射部１１１を表面に備えている。反射部１１１の材質は、任意に選定することができ、例えば、金、銀、銅、アルミニウムなどの金属や金属化合物などが挙げられる。また、反射部１１１は複数層で構成されたものでもよい。さらに、反射部１１１は、反射体１１０の表面を平滑に磨くことにより形成されてもかまわない。反射部１１１は、平面ばかりでなく曲面であってもよい。第一軸１１及び第二軸１２は、互いに直交し、反射体１１０の中心を通過する中心軸である。
【0016】
第一揺動部２１０及び第二揺動部２２０は、それぞれ第一軸に沿って反射体１１０を挟む位置に配置されている。具体的には、第一揺動部２１０は、反射体１１０よりもＹ軸マイナス方向に配置されており、第二揺動部２２０は、反射体１１０よりもＹ軸プラス方向に配置されている。
【0017】
第一揺動部２１０と第二揺動部２２０とは、基本的な構成は同様であり、光学反射素子１００の中心点を基準とした点対称となるように配置されている。このため、第一揺動部２１０の具体的構成について詳細に説明し、第二揺動部２２０の具体的構造については簡単に説明する。
【0018】
第一揺動部２１０は、第一接続体２１１と、第一振動体２１２と、第二振動体２１３と、第一駆動体２１４と、第二駆動体２１５と、第二接続体２１６とを備えている。
【0019】
第一接続体２１１は、第一軸１１に沿って延設された長尺棒状の部位である。第一接続体２１１の先端部には、反射体１１０が連結されている。第一接続体２１１の基端部には、第一振動体２１２の基端部及び第二振動体２１３の基端部が連結されている。第一接続体２１１は、先端部で保持した反射体１１０に対して、動力を伝達するための部位である。具体的には、第一接続体２１１が第一軸１１を中心にねじれた場合には、反射体１１０に対して第一軸１１を中心とした回転揺動を伝達する。一方、第一接続体２１１がＺ軸プラス方向－マイナス方向で振動した場合には、図４の（ａ）、（ｂ）に示すように第一接続体２１１がＺ軸マイナス方向－プラス方向で振動する。その結果、反射体１１０に対して第二軸１２を中心とした回転揺動を伝達する。
【0020】
第一接続体２１１の形状は、特に限定されるものではないが、自身がねじれることにより反射体１１０を回転揺動させる部材であるため、反射体１１０よりも幅（図中Ｘ軸方向の長さ）の狭い細い棒状となっている。
【0021】
「第一軸１１に沿う」とは、本実施の形態のように、第一接続体２１１が真っ直ぐに沿う場合に限られない。第一接続体２１１が蛇行状に湾曲したり、ジグザグに屈曲したりしていても、仮想的に真っ直ぐな第一軸１１に全体として沿う場合は、「第一軸１１に沿う」に含まれるものとしている。
【0022】
また、本明細書、及び請求の範囲において「交差」とは、二本の線が接触する交差ばかりでなく二本の線が接触しない立体交差も含むものとして用いている。
【0023】
第一振動体２１２及び第二振動体２１３を含む振動体は、Ｘ軸方向に延在する部位であり、振動することにより反射体１１０を動作させるためのアーム状の部位である。具体的には、第一振動体２１２及び第二振動体２１３は、第一軸１１を中心とする周方向に振動することにより、第一軸１１を中心に反射体１１０を回転揺動させるためのトルクを発生させる。また、第一振動体２１２及び第二振動体２１３は、Ｚ軸方向に振動することにより、第二軸１２を中心に反射体１１０を回転揺動させるためのトルクを発生させる。
【0024】
第一振動体２１２は、第一軸１１と交差する方向に配置され、第一接続体２１１の基端部に連結されている。第二振動体２１３は、第一軸１１に対し第一振動体２１２の逆側において第一軸１１と交差する方向に配置され、第一接続体２１１の基端部に連結されている。
【0025】
本実施の形態の場合、第一振動体２１２は、Ｘ軸方向に延在する矩形棒状の部材であり、第二振動体２１３は、Ｘ軸方向において第一振動体２１２の逆方向に延在する矩形棒状の部材である。
【0026】
また、第一振動体２１２の基端部と第二振動体２１３の基端部とは連結体２１７により一体に連結されている。これにより、第一振動体２１２と第二振動体２１３とは、第一軸１１を中心にして、第一軸１１に対し直交する方向に延在する真っ直ぐな棒状となっている。
【0027】
第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を含む駆動体は、振動体を振動させるための駆動力を発生させる部材である。第一駆動体２１４は、第一振動体２１２の先端部に連結される。また、第一駆動体２１４は、第一振動体２１２を振動させる部材である。第二駆動体２１５は、第二振動体２１３の先端部に連結される。また、第二駆動体２１５は、第二振動体２１３を振動させる部材である。
【0028】
第一駆動体２１４は、第一駆動本体部２１４１と、第一圧電素子２１４２とを備えている。第一駆動本体部２１４１は、基端部が第一振動体２１２の先端部に一体に連結される。また、第一駆動本体部２１４１は、第一軸１１に沿って反射体１１０に向かって延在した棒状体である。第一駆動本体部２１４１の表面には、第一圧電素子２１４２が設けられている。
【0029】
第一圧電素子２１４２は、第一駆動本体部２１４１の表面に第一軸１１に沿って配置された細長い板形状の圧電素子である。この第一圧電素子２１４２に周期的に変動する電圧を印加することにより第一圧電素子２１４２が伸縮を繰り返す。この第一圧電素子２１４２の動きに対応して第一駆動本体部２１４１が湾曲と復帰とを繰り返す。第一駆動本体部２１４１は、第一振動体２１２に連結している基端部よりも突出している先端部が大きく振動し、第一駆動体２１４全体の振動エネルギーが第一振動体２１２の先端に伝達する。
【0030】
第二駆動体２１５も第一駆動体２１４と同様に、第二駆動本体部２１５１と第二圧電素子２１５２とを備える。第二駆動体２１５は、第一軸１１を含み反射体１１０の表面に直交する仮想的な面に対し第一駆動体２１４と対称の位置に配置されている。第二駆動体２１５は、基端部が第二振動体２１３の先端に接続されている。また、第二駆動体２１５の動作も第一駆動体２１４の動作と同様である。
【0031】
本実施の形態の場合、圧電素子は、例えば、薄膜積層型圧電アクチュエータである。薄膜積層型圧電アクチュエータは、駆動体本体部の表面に形成された、電極と圧電体とを厚さ方向に積層した積層体構造からなる。これによって、駆動体をより薄型にすることができる。
【0032】
なお、駆動体は、圧電素子の歪により振動するものばかりでなくともよい。その他の駆動体としては、例えば、磁場、電場との相互作用により力が発生する部材または装置などを備えてもよい。当該部材または装置として、外部装置により発生させた磁場及び電場の少なくとも一方を変化させ、また自身が発生させる磁場及び電場の少なくとも一方を変化させることにより振動する部材または装置でもかまわない。また、圧電体を構成する材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの高い圧電定数を有する圧電体材料を例示することができる。
【0033】
基体１０５は、光学反射素子１００を外部の構造部材などに取り付けるための部材であり、Ｙ軸方向に長尺な矩形枠状を有している。具体的には、基体１０５は、それぞれＸ軸方向に延在し、かつＹ軸方向で対向する第一辺部５１及び第二辺部５２を有している。また、基体１０５は、それぞれＹ軸方向に延在し、かつＸ軸方向で対向する第三辺部５３及び第四辺部５４を有している。
【0034】
第一辺部５１の内方中央部には、第一振動体２１２及び第二振動体２１３を振動自在に接続する第二接続体２１６が連結されている。第二接続体２１６は、第一軸１１に沿って配置されている。第二接続体２１６の基端部は、第一辺部５１に連結される。第二接続体２１６の先端部は、連結体２１７を介して第一振動体２１２の基端部及び第二振動体２１３の基端部に連結されている。
【0035】
第二接続体２１６の形状は、特に限定されるものではないが、第一振動体２１２及び第二振動体２１３の振動により自身がねじれることにより、第一辺部５１に対して第一接続体２１１のねじれを許容する部材である。そのため、第二接続体２１６の形状は棒状であり、第二接続体２１６のねじり剛性の値は、第一接続体２１１のねじり剛性の値よりも大きくしている。
【0036】
なお、第二接続体２１６も第一接続体２１１と同様、第一軸１１に真っ直ぐに沿う場合ばかりでなく、蛇行状に湾曲したり、ジグザグに屈曲したりしていてもかまわない。このような場合も、第一接続体２１１における第一軸１１周りのねじり剛性の値を、第二接続体２１６における第一軸１１周りのねじり剛性の値よりも小さくしている。なお、ここで「ねじり剛性」とは、例えば棒をねじったときのねじりに対する抵抗を示す。ねじり剛性の値が大きいほど、棒をねじるときにねじりにくいことを示す。例えば、上の例では、第二接続体２１６のほうが第一接続体２１１よりもねじりにくいことを示す。
【0037】
次に、第二揺動部２２０の具体的構造について説明する。上述したように、第二揺動部２２０は、第一揺動部２１０と基本的な構成は同様である。第二揺動部２２０は、第一揺動部２１０に対して、光学反射素子１００の中心点を基準とした点対称となるように配置されている。このため、第二揺動部２２０の各部と、第一揺動部２１０の各部との対応関係を中心に説明する。
【0038】
第二揺動部２２０は、第一接続体２２１と、第一振動体２２２と、第二振動体２２３と、第一駆動体２２４と、第二駆動体２２５と、第二接続体２２６とを備えている。
【0039】
第一接続体２２１は、第一揺動部２１０の第一接続体２１１に対応する部位である。第一振動体２２２は、第一揺動部２１０の第一振動体２１２に対応する部位である。第二振動体２２３は、第一揺動部２１０の第二振動体２１３に対応する部位である。第一振動体２２２及び第二振動体２２３は、第一揺動部２１０の第一振動体２１２及び第二振動体２１３に対してＸ軸方向における位置関係が逆となっている。第一振動体２２２の基端部と第二振動体２２３の基端部とは連結体２２７により一体に連結されている。
【0040】
第一駆動体２２４は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４に対応する部位である。第二駆動体２２５は、第一揺動部２１０の第二駆動体２１５に対応する部位である。第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２２５に対してＸ軸方向における位置関係が逆となっている。第一駆動体２２４は、第一駆動本体部２２４１と第一圧電素子２２４２とを有しており、これらが第一駆動体２１４の第一駆動本体部２１４１と第一圧電素子２１４２に対応している。第二駆動体２２５は、第二駆動本体部２２５１と第二圧電素子２２５２とを有しており、これらが第二駆動体２１５の第二駆動本体部２１５１と第二圧電素子２１５２に対応している。
【0041】
第二接続体２２６は、第一揺動部２１０の第二接続体２１６に対応する部位である。第二接続体２２６は、第一軸１１に沿って配置されている、基端部が第二辺部５２に連結され、先端部が連結体２２７を介して第一振動体２２２の基端部及び第二振動体２２３の基端部に連結されている。
【0042】
（光制御システム）
次に、上記の光学反射素子１００を備えた光制御システム１０について説明する。図２は、実施の形態１に係る光制御システム１０の制御構成を示すブロック図である。
次に、上記の光学反射素子１００を備えた光制御システム１０について説明する。図２は、実施の形態１に係る光制御システム１０の制御構成を示すブロック図である。
【0043】
図２に示すように、光制御システム１０は、光学反射素子１００と、光学反射素子１００を制御する制御装置２０とを備えている。光学反射素子１００には、複数のモニタ素子が適切な位置に取り付けられている。モニタ素子は、各振動体の湾曲状態を歪みとして検出する素子である。モニタ素子からの出力を測定することにより反射体１１０の揺動の状態を正確にモニタリングすることができる。具体的には、第一揺動部２１０には、第一振動体２１２の歪みを検出する第一モニタ素子２１８と、第二振動体２１３の歪みを検出する第二モニタ素子２１９とが設けられている。第二揺動部２２０には、第一振動体２２２の歪みを検出する第一モニタ素子２２８と、第二振動体２２３の歪みを検出する第二モニタ素子２２９とが設けられている。
【0044】
制御装置２０は、角度検出回路２１と、駆動回路２２と、制御回路２３とを備えている。角度検出回路２１は、各モニタ素子（第一モニタ素子２１８、２２８、第二モニタ素子２１９、２２９）からの検出信号を受信し、当該検出信号に基づいて、反射体１１０の角度情報を検出し、当該角度情報を制御回路２３に出力する回路である。
【0045】
駆動回路２２は、制御回路２３からの駆動信号に基づいて、各圧電素子（第一圧電素子２１４２、２２４２、第二圧電素子２１５２、２２５２）に周期的な電圧を出力する回路である。
【0046】
制御回路２３は、角度検出回路２１から入力された反射体１１０の角度情報に基づき、反射体１１０が任意の角度となるように、駆動回路２２に出力する駆動信号を調整する回路である。
【0047】
なお、ここでは、角度検出回路２１と、駆動回路２２と、制御回路２３とが専用の回路である場合を例示した。しかしながら、制御装置２０は、半導体装置、半導体集積回路（ＩＣ）、又はＬＳＩ（large scale integration）を含む一つ又は二つ以上の電子回路によって実行されてもよい。ＬＳＩ又はＩＣは、一つのチップに集積されてもよいし、複数のチップを組み合わせて構成されてもよい。
【0048】
（動作）
次に、光学反射素子１００の動作について説明する。光学反射素子１００は、制御装置２０の制御に基づき動作する。制御装置２０は、反射体１１０を第一軸１１周りに回転揺動させる第一モードと、反射体１１０を第二軸１２周りに回転揺動させる第二モードとを実行することができる。
次に、光学反射素子１００の動作について説明する。光学反射素子１００は、制御装置２０の制御に基づき動作する。制御装置２０は、反射体１１０を第一軸１１周りに回転揺動させる第一モードと、反射体１１０を第二軸１２周りに回転揺動させる第二モードとを実行することができる。
【0049】
図３は、実施の形態１に係る光学反射素子１００を動作させるための駆動信号の一例を示す説明図である。駆動信号は、各圧電素子を周期的に変動させるＡＣ電圧を印加するための信号である。駆動信号の周波数は、各駆動体を振動可能な共振周波数となっている。図３では、駆動信号の一例として、第一駆動信号Ｗ１の波形と、第二駆動信号Ｗ２の波形とを一周期だけ図示している。第二駆動信号Ｗ２は、第一駆動信号Ｗ１に対して逆位相の波形となっている。制御装置２０は、各圧電素子に対する第一駆動信号Ｗ１と第二駆動信号Ｗ２とを組み合わせることで、第一モードと第二モードとを実行している。
【0050】
（第一モード）
第一モードでの動作について説明する。第一モードでは、例えば、制御装置２０は、反射体１１０よりもＸ軸プラス方向に配置された一対の圧電素子に対して第一駆動信号Ｗ１を印加し、反射体１１０よりもＸ軸マイナス方向に配置された一対の圧電素子に対して第二駆動信号Ｗ２を印加する。具体的には、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一圧電素子２１４２と、第二揺動部２２０の第二圧電素子２２５２とに対して第一駆動信号Ｗ１を印加し、第一揺動部２１０の第二圧電素子２１５２と、第二揺動部２２０の第一圧電素子２２４２とに対して第二駆動信号Ｗ２を印加する。これにより、第一揺動部２１０では、第一駆動体２１４及び第一振動体２１２と、第二駆動体２１５及び第二振動体２１３とが第一軸１１を中心にした周方向で、同一方向に回転揺動する。一方、第二揺動部２２０においても、第一揺動部２１０と同様に、第一駆動体２２４及び第一振動体２２２と、第二駆動体２２５及び第二振動体２２３とが第一軸１１を中心にした周方向で、同一方向に回転揺動する。これにより、第一接続体２１１、２２１には、第一軸１１を中心としたねじれが生じるので、反射体１１０も第一軸１１を中心にして回転揺動することなる（図１Ａにおける矢印Ｙ１参照）。
第一モードでの動作について説明する。第一モードでは、例えば、制御装置２０は、反射体１１０よりもＸ軸プラス方向に配置された一対の圧電素子に対して第一駆動信号Ｗ１を印加し、反射体１１０よりもＸ軸マイナス方向に配置された一対の圧電素子に対して第二駆動信号Ｗ２を印加する。具体的には、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一圧電素子２１４２と、第二揺動部２２０の第二圧電素子２２５２とに対して第一駆動信号Ｗ１を印加し、第一揺動部２１０の第二圧電素子２１５２と、第二揺動部２２０の第一圧電素子２２４２とに対して第二駆動信号Ｗ２を印加する。これにより、第一揺動部２１０では、第一駆動体２１４及び第一振動体２１２と、第二駆動体２１５及び第二振動体２１３とが第一軸１１を中心にした周方向で、同一方向に回転揺動する。一方、第二揺動部２２０においても、第一揺動部２１０と同様に、第一駆動体２２４及び第一振動体２２２と、第二駆動体２２５及び第二振動体２２３とが第一軸１１を中心にした周方向で、同一方向に回転揺動する。これにより、第一接続体２１１、２２１には、第一軸１１を中心としたねじれが生じるので、反射体１１０も第一軸１１を中心にして回転揺動することなる（図１Ａにおける矢印Ｙ１参照）。
【0051】
（第二モード）
次に、第二モードの動作について説明する。第二モードでは、例えば、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一圧電素子２１４２及び第二圧電素子２１５２に対して第一駆動信号Ｗ１を印加し、第二揺動部２２０の第一圧電素子２２４２及び第二圧電素子２２５２に対して第二駆動信号Ｗ２を印加する。
次に、第二モードの動作について説明する。第二モードでは、例えば、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一圧電素子２１４２及び第二圧電素子２１５２に対して第一駆動信号Ｗ１を印加し、第二揺動部２２０の第一圧電素子２２４２及び第二圧電素子２２５２に対して第二駆動信号Ｗ２を印加する。
【0052】
図４は、実施の形態１に係る光学反射素子１００において第二モードでの各部の動作を示す模式図である。図４では、第一接続体２１１、２２１は破線で示している。また、図４では、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５と、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５と、反射体１１０とを実線で示している。また、図４では、光学反射素子１００のＺ軸方向での中心線を一点鎖線で示している。
【0053】
図４の（ａ）では、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５の先端がＺ軸プラス方向で変位量が最も大きい地点にあり、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５の先端がＺ軸マイナス方向で変位量が最も大きい地点にある場合を示している。第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５の先端がＺ軸プラス方向にある場合には、第一接続体２１１はＺ軸プラス方向に向けて凸状に湾曲している。一方、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５の先端がＺ軸マイナス方向にある場合には、第一接続体２２１はＺ軸マイナス方向に向けて凸状に湾曲している。
【0054】
図４の（ｂ）では、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５の先端がＺ軸マイナス方向で変位量が最も大きい地点にあり、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５の先端がＺ軸プラス方向で変位量が最も大きい地点にある場合を示している。第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５の先端がＺ軸マイナス方向にある場合には、第一接続体２１１はＺ軸マイナス方向に向けて凸状に湾曲している。一方、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５の先端がＺ軸プラス方向にある場合には、第一接続体２２１はＺ軸プラス方向に向けて凸状に湾曲している。
【0055】
第二モードの実行時には、図４の（ａ）の状態と、図４の（ｂ）の状態とが繰り返し遷移される。この際、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５は、第一揺動部２１０の第一接続体２１１と同位相で振動している。一方、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５は、第二揺動部２２０の第一接続体２２１と同位相で振動している。第一接続体２１１、２２１は波打つように振動するので、反射体１１０が第二軸１２を中心にして回転揺動をすることになる（図１Ａにおける矢印Ｙ２参照）。
【0056】
（効果など）
以上のように、本実施の形態に係る光制御システム１０によれば、光を反射して往復動させる光学反射素子１００と、光学反射素子１００を制御する制御装置２０とを備えている。光学反射素子１００は、第一軸１１と、光を反射する反射体１１０と、基体１０５と、第一揺動部２１０と、第二揺動部２２０とを備えている。第一揺動部２１０及び第二揺動部２２０は、互いに第一軸１１に沿って反射体１１０を挟む位置に配置される。また、第一揺動部２１０及び第二揺動部２２０は、それぞれ反射体１１０を揺動させる。
以上のように、本実施の形態に係る光制御システム１０によれば、光を反射して往復動させる光学反射素子１００と、光学反射素子１００を制御する制御装置２０とを備えている。光学反射素子１００は、第一軸１１と、光を反射する反射体１１０と、基体１０５と、第一揺動部２１０と、第二揺動部２２０とを備えている。第一揺動部２１０及び第二揺動部２２０は、互いに第一軸１１に沿って反射体１１０を挟む位置に配置される。また、第一揺動部２１０及び第二揺動部２２０は、それぞれ反射体１１０を揺動させる。
【0057】
第一揺動部２１０は、第一接続体２１１、第一振動体２１２、第二振動体２１３、第一駆動体２１４、第二駆動体２１５および第二接続体２１６を備えている。
【0058】
第一接続体２１１は、第一軸１１に沿って配置される。また、第一接続体の先端部は、反射体１１０と連結される。
【0059】
第一振動体２１２は、第一軸１１と交差する方向に延在する。また、第一振動体２１２は、第一接続体２１１の基端部に連結される。
【0060】
第二振動体２１３は、第一軸１１に対し第一振動体２１２の逆側において第一軸１１と交差する方向に延在する。また、第二振動体２１３は、第一接続体２１１の基端部に連結される。
【0061】
第一駆動体２１４は、第一軸１１に沿って延在する。第一駆動体２１４の基端部は、第一振動体２１２の先端部に連結される。また、第一駆動体２１４は、第一振動体２１２を介して第一接続体２１１を動作させる。
【0062】
第二駆動体２１５は、第一軸１１に沿って延在する。第二駆動体２１５の基端部は、第二振動体２１３の先端部に連結される。また、第二駆動体２１５は、第二振動体２１３を介して第一接続体２１１を動作させる。
【0063】
第二接続体２１６は、基体１０５に対し第一振動体２１２及び第二振動体２１３を、ともに振動自在に接続する。
【0064】
第二揺動部２２０は、第一接続体２２１、第一振動体２２２、第二振動体２２３、第一駆動体２２４、第二駆動体２２５および第二接続体２２６を備えている。
【0065】
第一接続体２２１は、第一軸１１に沿って配置される。また、第一接続体２２１の先端部は、反射体１１０と連結される。
【0066】
第一振動体２２２は、第一軸１１と交差する方向に延在する。また、第一振動体２２２は、第一接続体２２１の基端部に連結される。
【0067】
第二振動体２２３は、第一軸１１に対し第一振動体２２２の逆側において第一軸１１と交差する方向に延在する。また、第二振動体２２３は、第一接続体２２１の基端部に連結される。
【0068】
第一駆動体２２４は、第一軸１１に沿って延在する。第一駆動体２２４の基端部は、第一振動体２２２の先端部に連結される。また、第一駆動体２２４は、第一振動体２２２を介して第一接続体２２１を動作させる。
【0069】
第二駆動体２２５は、第一軸１１に沿って延在する。第二駆動体２２５の基端部は、第二振動体２２３の先端部に連結される。第二駆動体２２５は、第二振動体２２３を介して第一接続体２２１を動作させる。
【0070】
第二接続体２２６は、基体１０５に対し第一振動体２２２及び第二振動体２２３を、ともに振動自在に接続する。
【0071】
制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を同位相で振動させるとともに、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を同位相であって、第一揺動部２１０とは逆位相で振動させる。
【0072】
これによれば、制御装置２０が、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を同位相で振動させながら、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を同位相であって、第一揺動部２１０とは逆位相で振動させている。これにより、第二軸１２を中心にして反射体１１０を回転揺動させることができる。従来では、第一接続体２１１、２２１をねじることで、第一軸１１を中心に反射体１１０を回転揺動させることしかできなかった。一方、本実施の形態に係る光制御システム１０であれば、圧電素子を増やさなくとも、第二軸１２を中心に反射体１１０を回転揺動させることが可能である。したがって、反射体１１０の揺動範囲を広げることができ、光学反射素子１００の性能を高めることが可能である。
【0073】
［実施の形態２］
次に、実施の形態２について説明する。なお、以降の説明において、上記実施の形態１と同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。
次に、実施の形態２について説明する。なお、以降の説明において、上記実施の形態１と同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。
【0074】
実施の形態２では、第二モードでの制御装置２０の制御方法が実施の形態１とは異なる。具体的には、第二モードにおいて、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５が第一揺動部２１０の第一接続体２１１とは逆位相となるように、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を同位相で振動させる。この際、制御装置２０は、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５が第二揺動部２２０の第一接続体２２１とは逆位相となるように、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を同位相で振動させる。
【0075】
実施の形態２における第二モードでは、例えば、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一圧電素子２１４２及び第二圧電素子２１５２に対して第一駆動信号を印加し、第二揺動部２２０の第一圧電素子２２４２及び第二圧電素子２２５２に対して第二駆動信号を印加する。このとき、第一駆動信号と第二駆動信号とは、逆位相である。また、第一駆動信号及び第二駆動信号は、ともに実施の形態１における第一駆動信号Ｗ１及び第二駆動信号Ｗ２よりも高い周波数を有する駆動信号となっている。第一駆動信号と第二駆動信号とは、光学反射素子１００の素材、形状、大きさなどに依存して決定されるため、各種実験、シミュレーションなどを行うことにより求めることができる。
【0076】
図５は、実施の形態２に係る光学反射素子１００において第二モードでの各部の動作を示す模式図である。図５では、第一接続体２１１、２２１は破線で示している。また、図５では、光学反射素子１００のＺ軸方向での中心線を一点鎖線で示している。
【0077】
図５の（ａ）では、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５の先端がＺ軸プラス方向で変位量が最も大きい地点にあり、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５の先端がＺ軸マイナス方向で変位量が最も大きい地点にある場合を示している。第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５の先端がＺ軸プラス方向にある場合には、第一接続体２１１はＺ軸マイナス方向に向けて凸状に湾曲している。一方、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５の先端がＺ軸マイナス方向にある場合には、第一接続体２２１はＺ軸プラス方向に向けて凸状に湾曲している。
【0078】
図５の（ｂ）では、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５の先端がＺ軸マイナス方向で変位量が最も大きい地点にあり、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５の先端がＺ軸プラス方向で変位量が最も大きい地点にある場合を示している。第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５の先端がＺ軸マイナス方向にある場合には、第一接続体２１１はＺ軸プラス方向に向けて凸状に湾曲している。一方、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５の先端がＺ軸プラス方向にある場合には、第一接続体２２１はＺ軸マイナス方向に向けて凸状に湾曲している。
【0079】
第二モードの実行時には、図５の（ａ）の状態と、図５の（ｂ）の状態とが繰り返し遷移される。この際、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５は、第一揺動部２１０の第一接続体２１１とは逆位相で振動している。一方、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５は、第二揺動部２２０の第一接続体２２１とは逆位相で振動している。このように、第一駆動体２１４、２２４及び第二駆動体２１５、２２５と、第一接続体２１１、２２１との変位方向が相反することとなるので、第一揺動部２１０及び第二揺動部２２０内で振動の閉じ込め効果が発生する。したがって、反射体１１０を回転させるための共振モード、つまり光学反射素子１００が有する共振モード（駆動モード）の共振尖鋭度（Ｑ値）が高くなる。共振尖鋭度（Ｑ値）が高くなれば、反射体１１０の振れ角特性を高くすることができる。つまり、実施の形態２では、第二モードにおいて実施の形態１の反射体１１０よりも大きな範囲で反射体１１０を回転揺動させることが可能である。ここで、振動の閉じ込め効果とは、第一揺動部２１０および第二揺動部２２０を駆動（振動）させた際、その構造体の内部で、振動が完結し（振動が第二接続体等の固定端側に伝わらない）、揺動部を固定するための第二接続体や基体に振動が伝わらないことをいう。その結果、振動子として理想的な共振モードでの駆動が可能になる。すなわち、高いQ値で第一揺動部２１０および第二揺動部２２０を振動させることが可能になる。
【0080】
（効果など）
以上のように、本実施の形態によれば、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５が第一揺動部２１０の第一接続体２１１とは逆位相となるように、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を同位相で振動させる。それとともに、制御装置２０は、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５が第二揺動部２２０の第一接続体２２１とは逆位相となるように、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を同位相で振動させる。
以上のように、本実施の形態によれば、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５が第一揺動部２１０の第一接続体２１１とは逆位相となるように、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を同位相で振動させる。それとともに、制御装置２０は、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５が第二揺動部２２０の第一接続体２２１とは逆位相となるように、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を同位相で振動させる。
【0081】
このように、第一駆動体２１４、２２４及び第二駆動体２１５、２２５の各々の変位方向と、対応する第一接続体２１１または２２１の変位方向が相反することとなるので、第一揺動部２１０及び第二揺動部２２０内で振動の閉じ込め効果を発生させることができる。したがって、反射体１１０の振れ角特性を高くすることができ、結果的に光学反射素子１００の性能が高められる。
【0082】
［実施の形態３］
次に、実施の形態３について説明する。なお、以降の説明において、上記実施の形態１と同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。
次に、実施の形態３について説明する。なお、以降の説明において、上記実施の形態１と同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。
【0083】
実施の形態３では、第一揺動部２１０と第二揺動部２２０とに加えて、第三揺動部２３０と第四揺動部２４０とを備えた光学反射素子１００Ａについて説明する。
【0084】
図６は、実施の形態３に係る光学反射素子１００Ａを示す平面図である。具体的には、図６は図１Ａに対応する図である。図６に示すように、光学反射素子１００Ａは、略正方形状の基体１０５ａを有しており、その内方に第一揺動部２１０、第二揺動部２２０、第三揺動部２３０及び第四揺動部２４０が設けられている。
【0085】
第三揺動部２３０及び第四揺動部２４０は、第一揺動部２１０及び第二揺動部２２０とともに反射体１１０を揺動させるための部位である。第三揺動部２３０及び第四揺動部２４０は、第二軸１２にそれぞれ沿って反射体１１０を挟む位置に配置されている。
【0086】
第三揺動部２３０及び第四揺動部２４０は、第一揺動部２１０と基本的な構成は同様である。例えば、第三揺動部２３０は、光学反射素子１００Ａの中心点を基準として、第一揺動部２１０を反時計回りに９０度回転させた位置に配置されている。一方、第四揺動部２４０は、光学反射素子１００Ａの中心点を基準として、第一揺動部２１０を時計回りに９０度回転させた位置に配置されている。
【0087】
次に、第三揺動部２３０の具体的構造について説明する。上述したように、第三揺動部２３０は、第一揺動部２１０と基本的な構成は同様である。このため、第三揺動部２３０の各部と、第一揺動部２１０の各部との対応関係を中心に説明する。
【0088】
第三揺動部２３０は、第三接続体２３１と、第三振動体２３２と、第四振動体２３３と、第三駆動体２３４と、第四駆動体２３５と、第四接続体２３６とを備えている。
【0089】
第三接続体２３１は、第三接続体の一例であり、第一揺動部２１０の第一接続体２１１に対応する部位である。第三接続体２３１は、第二軸１２に沿って配置されている。
【0090】
第三振動体２３２は、第三振動体の一例であり、第一揺動部２１０の第一振動体２１２に対応する部位である。第四振動体２３３は、第四振動体の一例であり、第一揺動部２１０の第二振動体２１３に対応する部位である。第三振動体２３２及び第四振動体２３３は、Ｙ軸方向に延在している。第三振動体２３２は、第二軸１２よりもＹ軸プラス方向に配置されており、第四振動体２３３は、第二軸１２よりもＹ軸マイナス方向に配置されている。第三振動体２３２の基端部と第四振動体２３３の基端部とは連結体２３７により一体に連結されている。
【0091】
第三駆動体２３４は、第三駆動体の一例であり、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４に対応する部位である。第四駆動体２３５は、第四駆動体の一例であり、第一揺動部２１０の第二駆動体２１５に対応する部位である。第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５は、第二軸１２に沿って延在している。第三駆動体２３４は、第二軸１２よりもＹ軸プラス方向に配置されており、第四駆動体２３５は、第二軸１２よりもＹ軸マイナス方向に配置されている。
【0092】
第三駆動体２３４は、第三駆動本体部２３４１と第三圧電素子２３４２とを有しており、これらが第一駆動体２１４の第一駆動本体部２１４１と第一圧電素子２１４２に対応している。第四駆動体２３５は、第四駆動本体部２３５１と第四圧電素子２３５２とを有しており、これらが第二駆動体２１５の第二駆動本体部２１５１と第二圧電素子２１５２に対応している。図示は省略するが、第三圧電素子２３４２と第四圧電素子２３５２は、制御装置２０の駆動回路２２に電気的に接続されている。
【0093】
第四接続体２３６は、第四接続体の一例であり、第一揺動部２１０の第二接続体２１６に対応する部位である。第四接続体２３６は、第二軸１２に沿って配置されており、基端部が第三辺部５３に連結され、先端部が連結体２３７を介して第三振動体２３２の基端部及び第四振動体２３３の基端部に連結されている。
【0094】
図示は省略するが、第三揺動部２３０には、第三振動体２３２の歪みを検出する第一モニタ素子と、第四振動体２３３の歪みを検出する第二モニタ素子とが設けられている。第三揺動部２３０の第一モニタ素子及び第二モニタ素子は、制御装置２０の角度検出回路２１に電気的に接続されている。
【0095】
次に、第四揺動部２４０の具体的構造について説明する。上述したように、第四揺動部２４０は、第一揺動部２１０と基本的な構成は同様である。このため、第四揺動部２４０の各部と、第一揺動部２１０の各部との対応関係を中心に説明する。
【0096】
第四揺動部２４０は、第三接続体２４１と、第三振動体２４２と、第四振動体２４３と、第三駆動体２４４と、第四駆動体２４５と、第四接続体２４６とを備えている。
【0097】
第三接続体２４１は、第一揺動部２１０の第一接続体２１１に対応する部位である。第三接続体２４１は、第二軸１２に沿って配置されている。
【0098】
第三振動体２４２は、第一揺動部２１０の第一振動体２１２に対応する部位である。第四振動体２４３は、第一揺動部２１０の第二振動体２１３に対応する部位である。第三振動体２４２及び第四振動体２４３は、Ｙ軸方向に延在している。第三振動体２４２は、第二軸１２よりもＹ軸マイナス方向に配置されている。第四振動体２４３は、第二軸１２よりもＹ軸プラス方向に配置されている。第三振動体２４２の基端部と第四振動体２４３の基端部とは連結体２４７により一体に連結されている。
【0099】
第三駆動体２４４は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４に対応する部位である。第四駆動体２４５は、第一揺動部２１０の第二駆動体２１５に対応する部位である。第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５は、第二軸１２に沿って延在している。第三駆動体２４４は、第二軸１２よりもＹ軸マイナス方向に配置されており、第四駆動体２４５は、第二軸１２よりもＹ軸プラス方向に配置されている。
【0100】
第三駆動体２４４は、第三駆動本体部２４４１と第三圧電素子２４４２とを有しており、これらが第一駆動体２１４の第一駆動本体部２１４１と第一圧電素子２１４２に対応している。第四駆動体２４５は、第四駆動本体部２４５１と第四圧電素子２４５２とを有しており、これらが第二駆動体２１５の第二駆動本体部２１５１と第二圧電素子２１５２に対応している。図示は省略するが、第三圧電素子２４４２と第四圧電素子２４５２は、制御装置２０の駆動回路２２に電気的に接続されている。
【0101】
第四接続体２４６は、第一揺動部２１０の第二接続体２１６に対応する部位である。第四接続体２４６は、第二軸１２に沿って配置されており、基端部が第四辺部５４に連結され、先端部が連結体２３７を介して第三振動体２４２の基端部及び第四振動体２４３の基端部に連結されている。
【0102】
図示は省略するが、第四揺動部２４０には、第三振動体２４２の歪みを検出する第一モニタ素子と、第四振動体２４３の歪みを検出する第二モニタ素子とが設けられている。第四揺動部２４０の第一モニタ素子及び第二モニタ素子は、制御装置２０の角度検出回路２１に電気的に接続されている。
【0103】
（動作）
次に、光学反射素子１００Ａの動作について説明する。光学反射素子１００Ａは、制御装置２０の制御に基づき動作する。制御装置２０は、反射体１１０を第一軸１１周りに回転揺動させる第一モードと、反射体１１０を第二軸１２周りに回転揺動させる第二モードとを実行することができる。
次に、光学反射素子１００Ａの動作について説明する。光学反射素子１００Ａは、制御装置２０の制御に基づき動作する。制御装置２０は、反射体１１０を第一軸１１周りに回転揺動させる第一モードと、反射体１１０を第二軸１２周りに回転揺動させる第二モードとを実行することができる。
【0104】
（第一モード）
第一モードでの動作について説明する。第一モードでは、制御装置２０は、第三揺動部２３０の第三圧電素子２３４２及び第四圧電素子２３５２に対して第一駆動信号Ｗ１を印加し、第四揺動部２４０の第三圧電素子２４４２及び第四圧電素子２４５２に対して第二駆動信号Ｗ２を印加する。これにより、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５は、第三揺動部２３０の第三接続体２３１と同位相で振動する。一方、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５は、第四揺動部２４０の第三接続体２４１と同位相で振動する。これにより、第三接続体２３１、２４１は波打つように振動するので、反射体１１０が第一軸１１を中心にして回転揺動をすることになる（図６における矢印Ｙ１参照）。
第一モードでの動作について説明する。第一モードでは、制御装置２０は、第三揺動部２３０の第三圧電素子２３４２及び第四圧電素子２３５２に対して第一駆動信号Ｗ１を印加し、第四揺動部２４０の第三圧電素子２４４２及び第四圧電素子２４５２に対して第二駆動信号Ｗ２を印加する。これにより、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５は、第三揺動部２３０の第三接続体２３１と同位相で振動する。一方、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５は、第四揺動部２４０の第三接続体２４１と同位相で振動する。これにより、第三接続体２３１、２４１は波打つように振動するので、反射体１１０が第一軸１１を中心にして回転揺動をすることになる（図６における矢印Ｙ１参照）。
【0105】
このとき、制御装置２０は、反射体１１０の揺動が増幅されるように、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を逆位相で振動させるとともに、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を逆位相で振動させている。具体的には、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一圧電素子２１４２と、第二揺動部２２０の第二圧電素子２２５２とに対して第一駆動信号Ｗ１を印加し、第一揺動部２１０の第二圧電素子２１５２と、第二揺動部２２０の第一圧電素子２２４２とに対して第二駆動信号Ｗ２を印加する。これにより、第一接続体２１１、２２１には、第一軸１１を中心としたねじれが生じるので、第一軸１１を中心にした反射体１１０の回転揺動が増幅されることになる。
【0106】
（第二モード）
第二モードでの動作について説明する。第二モードでは、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一圧電素子２１４２及び第二圧電素子２１５２に対して第一駆動信号Ｗ１を印加し、第二揺動部２２０の第一圧電素子２２４２及び第二圧電素子２２５２に対して第二駆動信号Ｗ２を印加する。これにより、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５は、第一揺動部２１０の第一接続体２１１と同位相で振動する。一方、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５は、第二揺動部２２０の第一接続体２２１と同位相で振動する。これにより、第一接続体２１１、２２１は波打つように振動するので、反射体１１０が第二軸１２を中心にして回転揺動をすることになる（図６における矢印Ｙ２参照）。
第二モードでの動作について説明する。第二モードでは、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一圧電素子２１４２及び第二圧電素子２１５２に対して第一駆動信号Ｗ１を印加し、第二揺動部２２０の第一圧電素子２２４２及び第二圧電素子２２５２に対して第二駆動信号Ｗ２を印加する。これにより、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５は、第一揺動部２１０の第一接続体２１１と同位相で振動する。一方、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５は、第二揺動部２２０の第一接続体２２１と同位相で振動する。これにより、第一接続体２１１、２２１は波打つように振動するので、反射体１１０が第二軸１２を中心にして回転揺動をすることになる（図６における矢印Ｙ２参照）。
【0107】
このとき、制御装置２０は、反射体１１０の揺動が増幅されるように、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５を逆位相で振動させるとともに、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５を逆位相で振動させている。具体的には、制御装置２０は、第三揺動部２３０の第三圧電素子２３４２と、第四揺動部２４０の第四圧電素子２４５２とに対して第一駆動信号Ｗ１を印加し、第三揺動部２３０の第四圧電素子２３５２と、第四揺動部２４０の第三圧電素子２４４２とに対して第二駆動信号Ｗ２を印加する。これにより、第三接続体２３１、２４１には、第二軸１２を中心としたねじれが生じるので、第二軸１２を中心にした反射体１１０の回転揺動が増幅されることになる。
【0108】
（効果など）
以上のように、本実施の形態によれば、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を同位相で振動させるとともに、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を同位相であって第一揺動部２１０とは逆位相で振動させる。その際、制御装置２０は、反射体１１０の揺動が増幅するように、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５を逆位相で振動させるとともに、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５を逆位相で振動させる。
以上のように、本実施の形態によれば、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を同位相で振動させるとともに、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を同位相であって第一揺動部２１０とは逆位相で振動させる。その際、制御装置２０は、反射体１１０の揺動が増幅するように、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５を逆位相で振動させるとともに、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５を逆位相で振動させる。
【0109】
これによれば、第二モードでの反射体１１０の回転揺動を増幅させることができる。したがって、第二モード時の反射体１１０の振れ角特性を高くすることができ、結果的に光学反射素子１００の性能が高められる。
【0110】
また、本実施の形態によれば、制御装置２０は、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５を同位相で振動させるとともに、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５を同位相であって、第三揺動部２３０とは逆位相で振動させる。その際、制御装置２０は、反射体１１０の揺動が増幅するように、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を逆位相で振動させるとともに、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を逆位相で振動させる。
【0111】
これによれば、第一モードでの反射体１１０の回転揺動を増幅させることができる。したがって、第一モード時の反射体１１０の振れ角特性を高くすることができ、結果的に光学反射素子１００の性能が高められる。
【0112】
［実施の形態４］
次に、実施の形態４について説明する。なお、以降の説明において、上記実施の形態３と同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。
次に、実施の形態４について説明する。なお、以降の説明において、上記実施の形態３と同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。
【0113】
（第一モード）
第一モードでの動作について説明する。第一モードでは、制御装置２０は、第三揺動部２３０の第三圧電素子２３４２及び第四圧電素子２３５２に対して第一駆動信号Ｗ１を印加し、第四揺動部２４０の第三圧電素子２４４２及び第四圧電素子２４５２に対して第二駆動信号Ｗ２を印加する。これにより、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５は、第三揺動部２３０の第三接続体２３１と同位相で振動する。一方、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５は、第四揺動部２４０の第三接続体２４１と同位相で振動する。これにより、第三接続体２３１、２４１は波打つように振動するので、反射体１１０が第一軸１１を中心にして回転揺動をすることになる（図６における矢印Ｙ１参照）。
第一モードでの動作について説明する。第一モードでは、制御装置２０は、第三揺動部２３０の第三圧電素子２３４２及び第四圧電素子２３５２に対して第一駆動信号Ｗ１を印加し、第四揺動部２４０の第三圧電素子２４４２及び第四圧電素子２４５２に対して第二駆動信号Ｗ２を印加する。これにより、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５は、第三揺動部２３０の第三接続体２３１と同位相で振動する。一方、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５は、第四揺動部２４０の第三接続体２４１と同位相で振動する。これにより、第三接続体２３１、２４１は波打つように振動するので、反射体１１０が第一軸１１を中心にして回転揺動をすることになる（図６における矢印Ｙ１参照）。
【0114】
このとき、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５と、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５とに対する電圧供給を停止している。
【0115】
（第二モード）
第二モードでの動作について説明する。第二モードでは、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一圧電素子２１４２及び第二圧電素子２１５２に対して第一駆動信号Ｗ１を印加し、第二揺動部２２０の第一圧電素子２２４２及び第二圧電素子２２５２に対して第二駆動信号Ｗ２を印加する。これにより、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５は、第一揺動部２１０の第一接続体２１１と同位相で振動する。一方、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５は、第二揺動部２２０の第一接続体２２１と同位相で振動する。これにより、第一接続体２１１、２２１は波打つように振動するので、反射体１１０が第二軸１２を中心にして回転揺動をすることになる（図６における矢印Ｙ２参照）。
第二モードでの動作について説明する。第二モードでは、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一圧電素子２１４２及び第二圧電素子２１５２に対して第一駆動信号Ｗ１を印加し、第二揺動部２２０の第一圧電素子２２４２及び第二圧電素子２２５２に対して第二駆動信号Ｗ２を印加する。これにより、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５は、第一揺動部２１０の第一接続体２１１と同位相で振動する。一方、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５は、第二揺動部２２０の第一接続体２２１と同位相で振動する。これにより、第一接続体２１１、２２１は波打つように振動するので、反射体１１０が第二軸１２を中心にして回転揺動をすることになる（図６における矢印Ｙ２参照）。
【0116】
このとき、制御装置２０は、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５と、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５とに対する電圧供給を停止している。
【0117】
（効果など）
以上のように、本実施の形態によれば、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を同位相で振動させるとともに、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を同位相であって、第一揺動部２１０とは逆位相で振動させることができる。その際には、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５と、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５とに対する電圧供給を停止する。
以上のように、本実施の形態によれば、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を同位相で振動させるとともに、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を同位相であって、第一揺動部２１０とは逆位相で振動させることができる。その際には、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５と、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５とに対する電圧供給を停止する。
【0118】
また、制御装置２０は、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５を同位相で振動させるとともに、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５を同位相であって、第三揺動部２３０とは逆位相で振動させることができる。その際には、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５と、第二揺動部２２０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５とに対する電圧供給を停止する。
【0119】
これによれば、第一モード時には、第一揺動部２１０及び第二揺動部２２０のそれぞれの駆動体に対する電圧供給がなく、第二モード時には、第三揺動部２３０及び第四揺動部２４０のそれぞれの駆動体に対する電圧供給がない。このため、第一モード及び第二モードの切り替えをスムーズに行うことが可能である。
【0120】
［実施の形態５］
次に、実施の形態５について説明する。なお、以降の説明において、上記実施の形態３と同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。
次に、実施の形態５について説明する。なお、以降の説明において、上記実施の形態３と同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。
【0121】
上記実施の形態３では、反射体１１０を第一軸１１周りに回転揺動させる第一モードと、反射体１１０を第二軸１２周りに回転揺動させる第二モードとが実行される場合について説明した。この実施の形態５では、第一軸１１及び第二軸１２とは異なる軸回りに反射体１１０を回転揺動させる場合について説明する。
【0122】
図７は、実施の形態５に係る光学反射素子１００Ａの回転軸を示す平面図である。第三軸１３は、光学反射素子１００Ａの中心点を基準として、第一軸１１に対して時計回りに４５度傾いた軸線である。また、第四軸１４は、光学反射素子１００Ａの中心点を基準として、第一軸１１に対して時計回りに４５度傾いた軸線である。制御装置２０は、反射体１１０を第三軸１３周りに回転揺動させる第三モードと、反射体１１０を第四軸１４周りに回転揺動させる第四モードとを実行することができる。
【0123】
（第三モード）
第三モードでの動作について説明する。第三モードでは、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を同位相で振動させるとともに、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を同位相であって、第一揺動部２１０とは逆位相で振動させる。このとき、制御装置２０は、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５を第一揺動部２１０と同位相で振動させるとともに、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５を、第二揺動部２２０と同位相で振動させる。
第三モードでの動作について説明する。第三モードでは、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を同位相で振動させるとともに、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を同位相であって、第一揺動部２１０とは逆位相で振動させる。このとき、制御装置２０は、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５を第一揺動部２１０と同位相で振動させるとともに、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５を、第二揺動部２２０と同位相で振動させる。
【0124】
具体的には、制御装置２０は、第一揺動部２１０及び第三揺動部２３０の各圧電素子に対して第一駆動信号Ｗ１を印加し、第二揺動部２２０及び第四揺動部２４０の各圧電素子に対して第二駆動信号Ｗ２を印加する。これにより、第一揺動部２１０及び第三揺動部２３０の各駆動体が同位相で振動する。つまり、第一揺動部２１０の第一接続体２１１と、第三揺動部２３０の第三接続体２３１とは、同じタイミングでＺ軸プラス方向に向かって突出したり、Ｚ軸マイナス方向に向かって突出したりを繰り返す。
【0125】
一方、第二揺動部２２０及び第四揺動部２４０の各駆動体は、同位相であって、第一揺動部２１０及び第三揺動部２３０の各駆動体とは逆位相で振動する。つまり、第二揺動部２２０の第一接続体２２１と、第四揺動部２４０の第三接続体２４１とは、同じタイミングでＺ軸プラス方向に向かって突出したり、Ｚ軸マイナス方向に向かって突出したりを繰り返す。この繰り返し動作は、第一揺動部２１０の第一接続体２１１と、第三揺動部２３０の第三接続体２３１との繰り返し動作とは逆の位相となる。これらの繰り返し動作によって、反射体１１０が第三軸１３を中心にして回転揺動をすることになる（図７における矢印Ｙ３参照）。
【0126】
（第四モード）
第四モードでの動作について説明する。第四モードでは、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を同位相で振動させるとともに、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を同位相であって、第一揺動部２１０とは逆位相で振動させる。このとき、制御装置２０は、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５を第二揺動部２２０と同位相で振動させるとともに、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５を、第一揺動部２１０と同位相で振動させる。
第四モードでの動作について説明する。第四モードでは、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を同位相で振動させるとともに、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を同位相であって、第一揺動部２１０とは逆位相で振動させる。このとき、制御装置２０は、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５を第二揺動部２２０と同位相で振動させるとともに、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５を、第一揺動部２１０と同位相で振動させる。
【0127】
具体的には、制御装置２０は、第一揺動部２１０及び第四揺動部２４０の各圧電素子に対して第一駆動信号Ｗ１を印加し、第二揺動部２２０及び第三揺動部２３０の各圧電素子に対して第二駆動信号Ｗ２を印加する。これにより、第一揺動部２１０及び第四揺動部２４０の各駆動体が同位相で振動する。つまり、第一揺動部２１０の第一接続体２１１と、第四揺動部２４０の第三接続体２４１とは、同じタイミングでＺ軸プラス方向に向かって突出したり、Ｚ軸マイナス方向に向かって突出したりを繰り返す。
【0128】
一方、第二揺動部２２０及び第三揺動部２３０の各駆動体は、同位相であって、第一揺動部２１０及び第四揺動部２４０の各駆動体とは逆位相で振動する。つまり、第二揺動部２２０の第一接続体２２１と、第三揺動部２３０の第三接続体２３１とは、同じタイミングでＺ軸プラス方向に向かって突出したり、Ｚ軸マイナス方向に向かって突出したりを繰り返す。この繰り返し動作は、第一揺動部２１０の第一接続体２１１と、第四揺動部２４０の第三接続体２４１との繰り返し動作とは逆の位相となる。これらの繰り返し動作によって、反射体１１０が第四軸１４を中心にして回転揺動をすることになる（図７における矢印Ｙ４参照）。
【0129】
（効果など）
以上のように、本実施の形態によれば、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を同位相で振動させるとともに、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を同位相であって、第一揺動部２１０とは逆位相で振動させる。その際には、第三モードと、第四モードとを切り替える。第三モードは、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５を第一揺動部２１０と同位相で振動させるとともに、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５を第二揺動部２２０と同位相で振動させる場合である。第四モードは、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５を第二揺動部２２０と同位相で振動させるとともに、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５を第一揺動部２１０と同位相で振動させる場合である。
以上のように、本実施の形態によれば、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を同位相で振動させるとともに、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を同位相であって、第一揺動部２１０とは逆位相で振動させる。その際には、第三モードと、第四モードとを切り替える。第三モードは、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５を第一揺動部２１０と同位相で振動させるとともに、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５を第二揺動部２２０と同位相で振動させる場合である。第四モードは、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５を第二揺動部２２０と同位相で振動させるとともに、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５を第一揺動部２１０と同位相で振動させる場合である。
【0130】
これによれば、第三軸１３を中心にした反射体１１０の回転揺動と、第四軸１４を中心にした反射体１１０の回転揺動とが可能となる。したがって、反射体１１０の揺動範囲を広げることができ、光学反射素子１００の性能を高めることが可能である。
【0131】
また、実施の形態３～５で示した光学反射素子１００Ａは、第一軸１１と、第二軸１２と、反射体１１０と、基体１０５ａと、第一揺動部２１０と、第二揺動部２２０と、第三揺動部２３０と、第四揺動部２４０と、を備えている。
【0132】
第二軸１２は、第一軸１１と交差する。
【0133】
反射体１１０は、光を反射する。
【0134】
第一揺動部２１０及び第二揺動部２２０は、それぞれ第一軸１１に沿って反射体１１０を挟む位置に配置される。また、第一揺動部２１０及び第二揺動部２２０は、それぞれ反射体１１０を揺動させる。
【0135】
第三揺動部２３０及び第四揺動部２４０は、それぞれ第二軸１２に沿って反射体１１０を挟む位置に配置される。また、第三揺動部２３０及び第四揺動部２４０は、それぞれ反射体１１０を揺動させる。
【0136】
第一揺動部２１０及び第二揺動部２２０は、第一軸１１に沿って配置される。
【0137】
第一揺動部２１０は、第一接続体２１１、第一振動体２１２、第二振動体２１３、第一駆動体２１４、第二駆動体２１５および第二接続体２１６を備えている。
【0138】
第一接続体２１１の先端部は、反射体１１０と連結される。
【0139】
第一振動体２１２は、第一軸１１と交差する方向に延在する。また、第一振動体２１２は、第一接続体２１１の基端部に連結される。
【0140】
第二振動体２１３は、第一軸１１に対し第一振動体２１２の逆側において第一軸１１と交差する方向に延在する。また、第二振動体２１３は、第一接続体２１１の基端部に連結される。
【0141】
第一駆動体２１４は、第一軸１１に沿って延在する。第一駆動体２１４の基端部は、第一振動体２１２の先端部に連結される。また、第一駆動体２１４は、第一振動体２１２を介して第一接続体２１１を動作させる。
【0142】
第二駆動体２１５は、第一軸１１に沿って延在する。第二駆動体２１５の基端部は、第二振動体２１３の先端部に連結される。また、第二駆動体２１５は、第二振動体２１３を介して第一接続体２１１を動作させる。
【0143】
第二接続体２１６は、基体１０５ａに対し第一振動体２１２及び第二振動体２１３を振動自在に接続する。
【0144】
第二揺動部２２０は、第一接続体２２１、第一振動体２２２、第二振動体２２３、第一駆動体２２４、第二駆動体２２５および第二接続体２２６を備えている。
【0145】
第一接続体２２１の先端部は、反射体１１０と連結される。
【0146】
第一振動体２２２は、第一軸１１と交差する方向に延在する。また、第一振動体２２２は、第一接続体２２１の基端部に連結される。
【0147】
第二振動体２２３は、第一軸１１に対し第一振動体２２２の逆側において第一軸１１と交差する方向に延在する。また、第二振動体２２３は、第一接続体２２１の基端部に連結される。
【0148】
第一駆動体２２４は、第一軸１１に沿って延在する。第一駆動体２２４は、基端部が第一振動体２２２の先端部に連結される。また、第一駆動体２２４は、第一振動体２２２を介して第一接続体２２１を動作させる。
【0149】
第二駆動体２２５は、第一軸１１に沿って延在する。第二駆動体２２５の基端部は、第二振動体２２３の先端部に連結される。また、第二駆動体２２５は、第二振動体２２３を介して第一接続体２２１を動作させる。
【0150】
第二接続体２２６は、基体１０５ａに対し第一振動体２２２及び第二振動体２２３を振動自在に接続する。
【0151】
第三揺動部２３０及び第四揺動部２４０のそれぞれは、第二軸１２に沿って配置される。
【0152】
第三揺動部２３０は、第三接続体２３１と、第三振動体２３２と、第四振動体２３３と、第三駆動体２３４と、第四駆動体２３５と、第四接続体２３６とを備えている。
【0153】
第三接続体２３１の先端部は、反射体１１０と連結される。
【0154】
第三振動体２３２は、第二軸１２と交差する方向に延在する。また、第三振動体２３２は、第三接続体２３１の基端部に連結される。
【0155】
第四振動体２３３は、第二軸１２に対し第三振動体２３２の逆側において第二軸１２と交差する方向に延在する。また、第四振動体２３３は、第三接続体２３１の基端部に連結される。
【0156】
第三駆動体２３４は、第二軸１２に沿って延在する。第三駆動体２３４の基端部は、第三振動体２３２の先端部に連結される。また、第三駆動体２３４は、第三振動体２３２を介して第三接続体２３１を動作させる。
【0157】
第四駆動体２３５は、第二軸１２に沿って延在する。第四駆動体２３５の基端部は、第四振動体２３３の先端部に連結される。第四駆動体２３５は、第四振動体２３３を介して第三接続体２３１を動作させる。
【0158】
第四接続体２３６は、基体１０５ａに対し第三振動体２３２及び第四振動体２３３を振動自在に接続する。
【0159】
第四揺動部２４０は、第三接続体２４１と、第三振動体２４２と、第四振動体２４３と、第三駆動体２４４と、第四駆動体２４５と、第四接続体２４６とを備えている。
【0160】
第三接続体２４１は、反射体１１０と先端部が連結される。
【0161】
第三振動体２４２は、第二軸１２と交差する方向に延在する。また、第三振動体２４２は、第三接続体２４１の基端部に連結される。
【0162】
第四振動体２４３は、第二軸１２に対し第三振動体２４２の逆側において第二軸１２と交差する方向に延在する。また、第四振動体２４３は、第三接続体２４１の基端部に連結される。
【0163】
第三駆動体２４４は、第二軸１２に沿って延在する。第三駆動体２４４の基端部は、第三振動体２４２の先端部に連結される。また、第三駆動体２４４は、第三振動体２４２を介して第三接続体２４１を動作させる。
【0164】
第四駆動体２４５は、第二軸１２に沿って延在する。第四駆動体２４５の基端部は、第四振動体２４３の先端部に連結される。また、第四駆動体２４５は、第四振動体２４３を介して第三接続体２４１を動作させる。
【0165】
第四接続体２４６は、基体１０５ａに対し第三振動体２４２及び第四振動体２４３を振動自在に接続する。
【0166】
このような光学反射素子１００Ａであるために、例えば実施の形態３～５に示した複数の制御方法を実行可能である。このように反射体１１０を揺動制御する自由度が高められているので、光学反射素子１００Ａの性能を高めることが可能である。
【0167】
また、実施の形態３～５においては、制御装置２０は、実施の形態２に対応した制御を実行してもよい。具体的には、制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を同位相で振動させ、かつ第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を同位相であって第一揺動部２１０とは逆位相で振動させる場合には、以下の制御を行う。制御装置２０は、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５が第一揺動部２１０の第一接続体２１１とは逆位相となるように、第一揺動部２１０の第一駆動体２１４及び第二駆動体２１５を同位相で振動させる。それとともに、制御装置２０は、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５が第二揺動部２２０の第一接続体２２１とは逆位相となるように、第二揺動部２２０の第一駆動体２２４及び第二駆動体２２５を同位相で振動させる。
【0168】
この場合においては、第一駆動体２１４、２２４及び第二駆動体２１５、２２５の各々の変位方向と、対応する第一接続体２１１または２２１の変位方向が相反することとなるので、第一揺動部２１０及び第二揺動部２２０内で振動の閉じ込め効果を発生させることができる。したがって、反射体１１０の振れ角特性を高くすることができ、結果的に光学反射素子１００の性能が高められる。
【0169】
また、制御装置２０は、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５を同位相で振動させ、かつ第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５を同位相であって第三揺動部２３０とは逆相で振動させる場合には、以下の制御を行う。制御装置２０は、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５が第三揺動部２３０の第三接続体２３１とは逆位相となるように、第三揺動部２３０の第三駆動体２３４及び第四駆動体２３５を同位相で振動させる。それととともに、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５が第四揺動部２４０の第三接続体２４１とは逆位相となるように、第四揺動部２４０の第三駆動体２４４及び第四駆動体２４５を同位相で振動させる。
【0170】
この場合においては、第三駆動体２３４、２４４及び第四駆動体２３５、２４５の各々の変位方向と、対応する第三接続体２３１または２４１の変位方向が相反することとなるので、第三揺動部２３０及び第四揺動部２４０内で振動の閉じ込め効果を発生させることができる。したがって、反射体１１０の振れ角特性を高くすることができ、結果的に光学反射素子１００の性能が高められる。
【0171】
［実施の形態６］
次に、実施の形態６について説明する。なお、以降の説明において、上記実施の形態１と同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。
次に、実施の形態６について説明する。なお、以降の説明において、上記実施の形態１と同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。
【0172】
上記実施の形態１では、円板状の反射体１１０を例示したが、この実施の形態６では、円板状の反射体１１０よりも応力緩和効果の高い反射体１１０ｂについて説明する。
【0173】
【0174】
反射体本体１１４は、円板状であり、その表面に反射部１１１が設けられている。複数の柱部１１５は、反射体本体１１４の周縁から周方向に所定の間隔をあけて配置されている。各々の柱部１１５は、反射体本体１１４の外周面から外方に向けて突出している。枠体１１６は、円環状であり、反射体本体１１４と同心円上となるように配置されている。枠体１１６は、複数の柱部１１５の先端部に連結されている。枠体１１６の外周面には、第一揺動部２１０の第一接続体２１１の先端部と、第二揺動部２２０の第一接続体２２１の先端部とが接続されている。このため、第一接続体２１１、２２１からのねじれや振動は、枠体１１６及び複数の柱部１１５を介して、反射体本体１１４に伝達される。つまり、反射体本体１１４には、第一接続体２１１、２２１からのねじれや振動が直接的に伝達されないために、反射体本体１１４に付与される応力が緩和される。
【0175】
（効果など）
以上のように、本実施の形態によれば、反射体１１０ｂは、反射体本体１１４と、反射体本体１１４の周縁から周方向に所定の間隔をあけて突出した複数の柱部１１５と、複数の柱部１１５に連結された枠体１１６とを備える。枠体１１６には、第一接続体２１１、２２１の先端部が連結されている。
以上のように、本実施の形態によれば、反射体１１０ｂは、反射体本体１１４と、反射体本体１１４の周縁から周方向に所定の間隔をあけて突出した複数の柱部１１５と、複数の柱部１１５に連結された枠体１１６とを備える。枠体１１６には、第一接続体２１１、２２１の先端部が連結されている。
【0176】
これによれば、反射体本体１１４に付与される応力が緩和され、反射体本体１１４の反り量、つまり、反射部１１１の反り量が低減される。
【0177】
なお、実施の形態３で例示した光学反射素子１００Ａに、本実施の形態６に係る反射体１１０ｂを適用することも可能である。この場合、反射体１１０ｂの枠体１１６に対して、各揺動部の第一接続体の先端部を接続すればよい。
【0178】
［その他］
なお、本開示は、上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、本明細書において記載した構成要素を任意に組み合わせて、また、構成要素のいくつかを除外して実現される別の実施の形態を本開示の実施の形態としてもよい。また、上記実施の形態に対して本開示の主旨、すなわち、請求の範囲に記載される文言が示す意味を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例も本開示に含まれる。
なお、本開示は、上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、本明細書において記載した構成要素を任意に組み合わせて、また、構成要素のいくつかを除外して実現される別の実施の形態を本開示の実施の形態としてもよい。また、上記実施の形態に対して本開示の主旨、すなわち、請求の範囲に記載される文言が示す意味を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例も本開示に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【0179】
本開示は、例えば小型のディスプレイ装置、小型のプロジェクタ、車載用のヘッドアップディスプレイ装置、電子写真方式の複写機、レーザープリンタ、光学スキャナ、光学レーダーなどの光学装置に利用することができる。
【符号の説明】
【0180】
１０ 光制御システム
１１ 第一軸
１２ 第二軸
１３ 第三軸
１４ 第四軸
２０ 制御装置
２１ 角度検出回路
２２ 駆動回路
２３ 制御回路
５１ 第一辺部
５２ 第二辺部
５３ 第三辺部
５４ 第四辺部
１００、１００Ａ 光学反射素子
１０５、１０５ａ 基体
１１０、１１０ｂ 反射体
１１１ 反射部
１１４ 反射体本体
１１５ 柱部
１１６ 枠体
２１０ 第一揺動部
２１１ 第一接続体
２１２ 第一振動体
２１３ 第二振動体
２１４ 第一駆動体
２１５ 第二駆動体
２１６ 第二接続体
２１７ 連結体
２１８ 第一モニタ素子
２１９ 第二モニタ素子
２２０ 第二揺動部
２２１ 第一接続体
２２２ 第一振動体
２２３ 第二振動体
２２４ 第一駆動体
２２５ 第二駆動体
２２６ 第二接続体
２２７ 連結体
２２８ 第一モニタ素子
２２９ 第二モニタ素子
２３０ 第三揺動部
２３１ 第三接続体
２３２ 第三振動体
２３３ 第四振動体
２３４ 第三駆動体
２３５ 第四駆動体
２３６ 第四接続体
２３７ 連結体
２４０ 第四揺動部
２４１ 第三接続体
２４２ 第三振動体
２４３ 第四振動体
２４４ 第三駆動体
２４５ 第四駆動体
２４６ 第四接続体
２４７ 連結体
２１４１ 第一駆動本体部
２１４２ 第一圧電素子
２１５１ 第二駆動本体部
２１５２ 第二圧電素子
２２４１ 第一駆動本体部
２２４２ 第一圧電素子
２２５１ 第二駆動本体部
２２５２ 第二圧電素子
２３４１ 第三駆動本体部
２３４２ 第三圧電素子
２３５１ 第四駆動本体部
２３５２ 第四圧電素子
２４４１ 第三駆動本体部
２４４２ 第三圧電素子
２４５１ 第四駆動本体部
２４５２ 第四圧電素子
１１ 第一軸
１２ 第二軸
１３ 第三軸
１４ 第四軸
２０ 制御装置
２１ 角度検出回路
２２ 駆動回路
２３ 制御回路
５１ 第一辺部
５２ 第二辺部
５３ 第三辺部
５４ 第四辺部
１００、１００Ａ 光学反射素子
１０５、１０５ａ 基体
１１０、１１０ｂ 反射体
１１１ 反射部
１１４ 反射体本体
１１５ 柱部
１１６ 枠体
２１０ 第一揺動部
２１１ 第一接続体
２１２ 第一振動体
２１３ 第二振動体
２１４ 第一駆動体
２１５ 第二駆動体
２１６ 第二接続体
２１７ 連結体
２１８ 第一モニタ素子
２１９ 第二モニタ素子
２２０ 第二揺動部
２２１ 第一接続体
２２２ 第一振動体
２２３ 第二振動体
２２４ 第一駆動体
２２５ 第二駆動体
２２６ 第二接続体
２２７ 連結体
２２８ 第一モニタ素子
２２９ 第二モニタ素子
２３０ 第三揺動部
２３１ 第三接続体
２３２ 第三振動体
２３３ 第四振動体
２３４ 第三駆動体
２３５ 第四駆動体
２３６ 第四接続体
２３７ 連結体
２４０ 第四揺動部
２４１ 第三接続体
２４２ 第三振動体
２４３ 第四振動体
２４４ 第三駆動体
２４５ 第四駆動体
２４６ 第四接続体
２４７ 連結体
２１４１ 第一駆動本体部
２１４２ 第一圧電素子
２１５１ 第二駆動本体部
２１５２ 第二圧電素子
２２４１ 第一駆動本体部
２２４２ 第一圧電素子
２２５１ 第二駆動本体部
２２５２ 第二圧電素子
２３４１ 第三駆動本体部
２３４２ 第三圧電素子
２３５１ 第四駆動本体部
２３５２ 第四圧電素子
２４４１ 第三駆動本体部
２４４２ 第三圧電素子
２４５１ 第四駆動本体部
２４５２ 第四圧電素子
【図1A】
【図1B】
【図1C】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】