特許 7557975 産業用ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-19

(45)【発行日】2024-09-30

(54)【発明の名称】産業用ロボット

(51)【国際特許分類】

   B25J 9/06 20060101AFI20240920BHJP

   B25J 19/00 20060101ALI20240920BHJP

【ＦＩ】

B25J9/06 D

B25J19/00 M

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2020109362

(22)【出願日】2020-06-25

(65)【公開番号】P2021008027

(43)【公開日】2021-01-28

【審査請求日】2023-05-18

(31)【優先権主張番号】201920993407.7

(32)【優先日】2019-06-28

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】518092207

【氏名又は名称】尼得科儀器（浙江）有限公司

(74)【上記1名の代理人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(72)【発明者】

【氏名】矢澤 隆之

(72)【発明者】

【氏名】荒川 洋

(72)【発明者】

【氏名】王 卿

【審査官】臼井 卓巳

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１８－１８７７１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０１０６８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－３３８０４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－０１８４９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－１６８６１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０２７９１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－０６６６６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－００７０３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－３３７６８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭５９－０９０５９５（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２００２－２９９８９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１９８２６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－０８８２３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１９６０７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０６－２０６１８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０７－００１３８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－０８９７６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１７／１３０９２５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】欧州特許出願公開第０１８２５９７０（ＥＰ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２５Ｊ ９／０６－１９／００

Ｇ０１Ｄ ５／１２－５／２４５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基本部材である台座と、前記台座に立設される柱体と、前記柱体に前記柱体に対して移動可能に連結されるハンド部と、を備え、前記基本部材にモータが設けられる産業用ロボットであって、
前記柱体は、第１柱部と、前記第１柱部に上下方向に移動可能に設けられた第２柱部と、を備え、
前記モータは、前記第１柱部内の上端部に配置され、
前記第１柱部には、外面に配置された導風カバーと、前記モータと前記導風カバーとの間に配置された導風管と、前記導風管を介して前記モータを流れる気流を形成するためのファンと、が前記第１柱部内の上端部に近い位置に設けられ、且つ、前記モータの周囲にラジエーターが設けられ、
前記ファンは、当該ファンの吹き出し口が下を向くように前記導風カバー内に配置されていることを特徴とする産業用ロボット。

【請求項2】

前記モータが前記基本部材の内部に設けられ、
前記ファンが前記基本部材の外部に設けられ、且つ前記基本部材内の空気を外部へ吸引することを特徴とする請求項１に記載の産業用ロボット。

【請求項3】

前記ファンの吹き出し口に濾過網が設けられることを特徴とする請求項２に記載の産業用ロボット。

【請求項4】

前記モータに該モータの回転数を検出するエンコーダーが設けられ、
前記エンコーダーが金属カバーで覆われていることを特徴とする請求項１に記載の産業用ロボット。

【請求項5】

前記モータ及び／又は前記エンコーダーの近傍に温度センサが設けられ、
前記温度センサがＩ／Ｏ信号によって前記モータへの給電を制御することを特徴とする請求項４に記載の産業用ロボット。

【請求項6】

前記柱体は少なくとも１つの柱部を備え、
前記柱部は上下方向に延びる角筒状を呈しており、
前記柱部内に前記モータが設けられ、
前記柱部の外面に前記ファンが設けられることを特徴とする請求項１に記載の産業用ロボット。

【請求項7】

前記柱体は少なくとも１つの柱部を備え、
前記柱部の柱本体は上下方向に延びる角筒状を呈しており、
前記柱本体の４つの側壁のうちの少なくとも１つに、上下方向に配列される貫通孔が複数形成され、前記貫通孔は前記柱本体の内部と外部を連通させ、
前記柱本体に柱カバーが着脱可能に設けられ、該柱カバーが前記貫通孔を覆っており、
前記柱部内の前記柱部の頂部付近の位置に前記モータが設けられ、
前記モータに該モータの回転数を検出するエンコーダーが設けられ、前記エンコーダーが金属カバーで覆われており、
前記モータの外周面に、前記ラジエーターを構成するフィン付きのアルミ板が固定され、
前記柱部の外面の前記柱部の頂部付近の位置に前記ファンが設けられ、
前記金属カバーは前記モータ及び前記エンコーダーを流れる空気を前記ファンへ案内し、
前記ファンの吹き出し口は下方を向いており、且つ濾過網が設けられ、
前記柱部の底部近傍に、前記柱部内の空気を外部へ吸引する排気ファンが設けられることを特徴とする請求項１に記載の産業用ロボット。

【請求項8】

前記台座は、
水平方向に延びるガイドレールと、
前記ガイドレールに前記ガイドレールに沿って移動可能に設けられる基台と、
前記基台に上下方向に延びる軸線回りに旋回可能に支持される旋回台と、を備え、
前記柱体は、
前記旋回台に固定される第１柱部と、
前記第１柱部に上下方向に移動可能に設けられる第２柱部と、を備え、
前記ハンド部は、
基端が前記第２柱部に上下方向に延びる軸線回りに旋回可能に連結されるアームと、
前記アームの先端に上下方向に延びる軸線回りに旋回可能に連結されるフォークと、を備えることを特徴とする請求項１に記載の産業用ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、産業用ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

生産効率の向上、人件費の削減、作業の安全性の向上等を図るために、現在、多くの産業ではロボットが使用されている。

【0003】

たとえば、液晶パネルの生産ラインでは、液晶パネルの搬送等の作業にロボットがよく使用されている。

【0004】

通常、液晶パネルの生産ラインで使用されるロボットは、台座と、前記台座に立設される中空状を呈する柱体と、前記柱体に前記柱体に対して移動可能に連結されるハンド部と、を備える。

【0005】

また、液晶パネルの生産ラインで使用されるロボットでは、異なる作業要件に対応するようにハンド部を台座に対して移動させるために、通常、台座、柱体及びハンド部のうちの少なくとも一方に駆動源であるモータがさらに設けられる。

【0006】

しかしながら、近年、液晶パネルのサイズがますます大きくなり、液晶パネルの重量が増えており、液晶パネルの搬送等の作業をスムーズに行うために、液晶パネルの生産ラインで使用されるロボットは大型化の傾向があり、ロボットに使用されるモータも大型化する傾向があり、一方、モータの大型化に伴い、その発熱量も大きくなり、したがって、如何にモータの温度上昇を効果的に抑制するかは解決すべき課題となっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【文献】特開平１０－３３７６８５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

本発明は上記課題を解決するためになされるものであり、モータの冷却効率を向上させるとともに、大型化及びコストアップを容易に回避することが可能である産業用ロボットを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記目的を達成するために、本発明は産業用ロボットを提供し、基本部材である台座と、前記台座に立設される柱体と、前記柱体に前記柱体に対して移動可能に連結されるハンド部と、を備え、前記基本部材にモータが設けられ、前記基本部材の前記モータに近い位置に、前記モータを流れる気流を形成するためのファンが設けられ、且つ、前記モータの周囲にラジエーターが設けられる。

【0010】

本発明の産業用ロボットによれば、基本部材のモータに近い位置に、モータを流れる気流を形成するためのファンが設けられるため、ファンによって形成される気流でモータを効率的に冷却することができる。また、モータの周囲にラジエーターが設けられるため、単に大型ファンを使用する場合と比較して、大型化を容易に回避することができるとともに、大型ファンの電力消費量の増加等によるコストアップを回避することができ、且つ、モータの冷却効率を向上させることで、動作量が同じ場合に発熱量が大型モータよりも大きい小型モータを使用することができ、この点でも大型化及びコストアップを回避することができる。

【0011】

また、本発明の産業用ロボットでは、前記モータが前記基本部材の内部に設けられ、前記ファンが前記基本部材の外部に設けられ、且つ前記基本部材内の空気を外部へ吸引することが好ましい。

【0012】

本発明の産業用ロボットによれば、モータが基本部材の内部に設けられるため、モータと外部物体との衝突による破損を容易に回避することができ、且つ、ファンが基本部材の外部に設けられ、且つ基本部材内の空気を外部へ吸引するため、基本部材の内部で発生した塵埃等が基本部材の内部にたまって基本部材内の駆動機構等の機能部材の動作に悪影響を与えることを容易に回避することができる（たとえば、基本部材の内部で発生した塵埃等がモータに付着してモータの温度異常上昇等の故障を招くことを回避する）。

【0013】

また、本発明の産業用ロボットでは、前記ファンの吹き出し口に濾過網が設けられることが好ましい。

【0014】

本発明の産業用ロボットによれば、ファンの吹き出し口に濾過網が設けられることで、基本部材の内部で発生した塵埃等が外部に排出されてロボットの設置環境（たとえば、無塵室）に悪影響を与えることを回避することができる。

【0015】

また、本発明の産業用ロボットでは、前記ファンの吹き出し口は下方を向いていることが好ましい。

【0016】

本発明の産業用ロボットによれば、ファンの吹き出し口は下方を向いていることで、異物がファンの吹き出し口に落ちてファンの故障を招くことを回避することができる。

【0017】

また、本発明の産業用ロボットでは、前記基本部材に導風管が設けられ、前記導風管が前記モータから前記ファンに向かって延びることが好ましい。

【0018】

本発明の産業用ロボットによれば、基本部材に、モータからファンに向かって延びる導風管が設けられることで、モータを流れる空気をファンへスムーズに流し、通風抵抗を低減させることができ、したがって、モータの冷却効率をさらに向上させることができる。

【0019】

また、本発明の産業用ロボットでは、前記モータに該モータの回転数を検出するエンコーダーが設けられ、前記エンコーダーが金属カバーで覆われていることが好ましい。

【0020】

本発明の産業用ロボットによれば、金属カバーでエンコーダーが覆われていることで、エンコーダーへの外部の電磁干渉の影響を遮蔽することができ、エンコーダーを用いてモータの回転数を正確に検出することが容易になる。

【0021】

また、本発明の産業用ロボットでは、前記モータ及び／又は前記エンコーダーの近傍に温度センサが設けられ、前記温度センサがＩ／Ｏ信号によって前記モータへの給電を制御することが好ましい。

【0022】

本発明の産業用ロボットによれば、モータ及び／又はエンコーダーの近傍にモータへの給電を制御する温度センサが設けられることで、モータ及び／又はエンコーダーの温度異常上昇が発生すると、温度センサは対応するＩ／Ｏ信号を送信し、産業用ロボットの制御側は対応する信号を認識した後、モータへの給電を遮断し、それによってモータ及び／又はエンコーダーの温度異常上昇による火災等を回避することができる。

【0023】

また、本発明の産業用ロボットでは、前記柱体は少なくとも１つの柱部を備え、前記柱部は上下方向に延びる角筒状を呈しており、前記柱部内に前記モータが設けられ、前記柱部の外面に前記ファンが設けられることが好ましい。

【0024】

また、本発明の産業用ロボットでは、前記柱体は少なくとも１つの柱部を備え、前記柱部の柱本体は上下方向に延びる角筒状を呈しており、前記柱本体の４つの側壁のうちの少なくとも１つに、上下方向に配列される複数の貫通孔が形成され、前記貫通孔によって前記柱本体の内部と外部を連通させ、前記柱本体に柱体カバーが着脱可能に設けられ、該柱体カバーが前記貫通孔を覆っており、前記柱部内の前記柱部の頂部付近の位置に前記モータが設けられ、前記モータに該モータの回転数を検出するエンコーダーが設けられ、前記エンコーダーが金属カバーで覆われており、前記モータの外周面に、前記ラジエーターを構成するフィン付きのアルミ板が固定され、前記柱部の外面の前記柱部の頂部付近の位置に前記ファンが設けられ、前記金属カバーは前記モータ及び前記エンコーダーを流れる空気を前記ファンへ案内し、前記ファンの吹き出し口は下方を向いており、且つ濾過網が設けられ、前記柱部の底部近傍に、前記柱部内の空気を外部へ吸引する排気ファンが設けられることが好ましい。

【0025】

本発明の産業用ロボットによれば、柱本体にその内部と外部を連通させる貫通孔が設けられることで、貫通孔を介して、柱本体内に設けられる機能部材を容易にメンテナンスすることができ、且つ、金属カバーでエンコーダーが覆われていることで、エンコーダーへの外部の電磁干渉の影響を遮蔽することができ、エンコーダーを用いてモータの回転数を正確に検出することが容易になり、且つ、金属カバーを用いて、モータ及びエンコーダーを流れる空気をファンへ案内することで、モータ及びエンコーダーを流れる空気をファンへスムーズに流し、通風抵抗を低減させることができ、したがって、モータの冷却効率をさらに向上させることができ、且つ、ファンの吹き出し口は下方を向いていることで、異物がファンの吹き出し口に落ちてファンの故障を招くことを回避することができ、且つ、ファンの吹き出し口に濾過網が設けられることで、柱体部内で発生した塵埃等が外部に排出されてロボットの設置環境（たとえば、無塵室）に悪影響を与えることを回避することができ、且つ、柱部の底部近傍に、柱部内の空気を外部へ排出する排気ファンが設けられることで、柱部の内部を効率的に冷却することができる。

【0026】

また、本発明の産業用ロボットでは、前記台座は、水平方向に延びるガイドレールと、前記ガイドレールに前記ガイドレールに沿って移動可能に設けられる基台と、前記基台に上下方向に延びる軸線回りに旋回可能に支持される旋回台と、を備え、前記柱体は、前記回転台に固定される第１柱部と、前記第１柱部に上下方向に移動可能に設けられる第２柱部と、を備え、前記ハンド部は、基端が前記第２柱部に上下方向に延びる軸線回りに旋回可能に連結されるアームと、前記アームの先端に上下方向に延びる軸線回りに旋回可能に連結されるフォークと、を備えることが好ましい。

【発明の効果】

【0027】

本発明によれば、基本部材のモータに近い位置に、モータを流れる気流を形成するためのファンが設けられることで、ファンによって形成される気流でモータを効率的に冷却することができ、且つ、モータの周囲にラジエーターが設けられるため、単に大型ファンを使用する場合と比較して、大型化を容易に回避することができるとともに、大型ファンの電力消費量アップ等によるコストアップを回避することができ、且つ、モータの冷却効率を向上させることで、動作量が同じ場合に発熱量が大型モータよりも大きい小型モータを使用することができ、この点でも大型化及びコストアップを回避することができる。

【図面の簡単な説明】

【0028】

【図1】本発明の実施形態にかかる産業用ロボットの全体構成を模式的に示す正面図である。

【図2】本発明の実施形態にかかる産業用ロボットの全体構成を模式的に示す側面図である。

【図3】本発明の実施形態にかかる産業用ロボットの全体構成を模式的に示す平面図である。

【図4】側方から見た本発明の実施形態にかかる産業用ロボットの部分構成を模式的に示す拡大図であり、産業用ロボットの内部部材の一部を示す。

【図5】上方から見た本発明の実施形態にかかる産業用ロボットの部分構成を模式的に示す拡大図であり、産業用ロボットの内部部材の一部を示す。

【発明を実施するための形態】

【0029】

以下、図１～図４を参照しながら本発明の実施形態にかかる産業用ロボットを説明し、図１は本発明の実施形態にかかる産業用ロボットの全体構成を模式的に示す正面図、図２は本発明の実施形態にかかる産業用ロボットの全体構成を模式的に示す側面図、図３は本発明の実施形態にかかる産業用ロボットの全体構成を模式的に示す平面図であり、図４は側方から見た本発明の実施形態にかかる産業用ロボットの部分構成を模式的に示す拡大図であり、産業用ロボットの内部部材の一部を示し、図５は上方から見た本発明の実施形態にかかる産業用ロボットの部分構成を模式的に示す拡大図であり、産業用ロボットの内部部材の一部を示す。

【0030】

ここでは、説明の便宜上、相互に直交する３つの方向をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向とし、Ｚ方向は上下方向に対応し、Ｚ方向に垂直な方向は水平方向に対応する。且つ、ここでは、Ｘ方向の一方側をＸ１、Ｘ方向の他方側をＸ２、Ｙ方向の一方側をＹ１、Ｙ方向の他方側をＹ２、Ｚ方向の一方側をＺ１（上方側に対応する）、Ｚ方向の他方側をＺ２（下方側に対応する）とする。

【0031】

（産業用ロボットの全体構成）

【0032】

本実施形態の産業用ロボット１は、搬送対象物である液晶ディスプレイのガラス基板Ｗを搬送するための水平多関節型ロボットであり、たとえば、ガラス基板の生産ラインに組み立てて使用される。

【0033】

図１～図３に示すように、産業用ロボット１は、台座１０と、台座１０に立設される柱体２０と、柱体２０に柱体２０に対して移動可能に連結されるハンド部３０と、を備える。

【0034】

ここでは、台座１０は、水平方向に延びるガイドレール１１と、ガイドレール１１にガイドレール１１に沿って移動可能に設けられる基台１２と、基台１２にＺ方向に延びる軸線回りに旋回可能に支持される旋回台１３と、を備える。且つ、柱体２０は、中空状を呈しており、Ｚ方向に延びており、且つ旋回台１３に固定される第１柱部２１と、中空状を呈しており、Ｚ方向に延びており、且つ第１柱部２１にＺ方向に移動可能に設けられる第２柱部２２と、を備える。且つ、ハンド部３０はＺ方向に積層するように一対設けられ、ハンド部３０は図１中の実線で示される第１位置Ｐ１と図１中の破線で示される第２位置Ｐ２との間をＺ方向に移動可能であり、且つハンド部３０はＺ方向に垂直な水平方向に伸縮可能である（図示される例では、各ハンド部３０は水平方向に独立して伸縮可能である）。且つ、各ハンド部３０は、基端が第２柱部２２にＺ方向に延びる軸線回りに旋回可能に連結されるアーム３１と、アーム３１の先端にＺ方向に延びる軸線回りに旋回可能に連結されるフォーク３２と、を備える。具体的には、ハンド部３０は第２柱部２２にＺ方向に移動可能に設けられる支持部材３３を介して第２柱部２２に連結され、第１柱部２１、第２柱部２２及び支持部材３３はＹ方向に配列され、且つ、アーム３１は第１アーム３１１及び第２アーム３１２を備え、第１アーム３１１の基端が支持部材３３にＺ方向に延びる軸線回りに旋回可能に連結され、第２アーム３１２の基端が第１アーム３１１の先端にＺ方向に延びる軸線回りに旋回可能に連結され、フォーク３２が第２アーム３１２の先端にＺ方向に延びる軸線回りに旋回可能に連結される。

【0035】

また、図４に示すように、基本部材に駆動機構が設けられ、該駆動機構はモータ４０を備える。

【0036】

ここでは、第１柱部２１に、モータ４０、及び該モータ４０の回転数を検出するエンコーダー５０が設けられ、モータ４０は、たとえば減速機構を介して第２柱部２２を第１柱部２１に対してＺ方向に移動させ、減速機構がモータ４０の出力側（図中のＺ１方向側）の端部に設けられ、エンコーダー５０がモータ４０の出力反対側（図中のＺ２方向側）の端部に設けられる。

【0037】

また、図示していないが、たとえば、基台１２及び／又は旋回台１３内にモータが設けられるようにしてもよい。

【0038】

（第１柱部の構成）

【0039】

図４及び図５に示すように、第１柱部２１は、Ｚ方向に延びる角筒状（Ｚ方向から見たときに、略矩形）を呈している柱本体２１１を備え、且つ、柱本体２１の４つの側壁のうちの少なくとも１つに、Ｚ方向に配列される複数の貫通孔２１１１（図示される例では、貫通孔２１１１は円形であるが、これに限定されず、その形状は必要に応じて適宜変更することが可能である）が形成され、これらの貫通孔２１１１によって第１柱部２１の柱本体２１１の内部と外部を連通させる。

【0040】

また、図示していないが、第１柱部２１は、柱本体２１１に着脱可能に設けられ、且つ貫通孔２１１１を覆っている柱体カバーをさらに備える。

【0041】

また、図４に示すように、第１柱部２１内にモータ４０が設けられ、第１柱部２１のモータ４０に近い位置に、モータ４０を通過する気流を形成するためのファン６０が設けられ、且つ、モータ４０の周囲にラジエーター７０が設けられる。具体的には、第１柱部２１（の柱本体２１１）内の第１柱部２１の上端部（Ｚ１方向側の端部）に近い位置に、モータ４０、及び該モータ４０の回転数を検出するエンコーダー５０が設けられ、モータ４０の外周面に、ラジエーター７０を構成するフィン付きのアルミ板（図示される例では、モータ４０のＹ方向の２つの側面に当接するアルミ板）が固定され、且つ、第１柱部２１の外面の第１柱部２１の上端部（Ｚ１方向側の端部）に近い位置にファン６０が設けられ、該ファン６０は第１柱部２１内の空気を外部へ吸引し、且つ吹き出し口が下方を向いており、且つ濾過網（図示せず）が設けられる。

【0042】

また、図４及び図５に示すように、第１柱部２１内に導風管８０が設けられ、該導風管８０がモータ４０からファン６０へ延びており、モータ４０を通過した空気をファン６０へ案内する。具体的には、モータ４０に該モータ４０の回転数を検出するエンコーダー５０が設けられ、該エンコーダー５０が金属カバー９０（たとえば、アルミ製）で覆われており、第１柱部２１の外面のファン６０よりもＺ１方向側の位置に、正面視で略台形の導風カバー１００が設けられ、モータ４０及びエンコーダー５０を通過した空気が金属カバー９０によって導風管８０へ案内され、さらに導風カバー１００によってファン６０へ案内される。

【0043】

また、図示していないが、モータ４０及び／又はエンコーダー５０の近傍に、温度センサが設けられてもよく、温度センサを用いて、Ｉ／Ｏ信号によってモータ４０への給電を制御する（たとえば、モータ４０及び／又はエンコーダー５０の近傍の温度が高すぎると、温度センサは対応するＩ／Ｏ信号を送信し、産業用ロボットの制御側は対応する信号を認識した後、モータ４０への給電を遮断できる）。

【0044】

（第２柱部の構成）

【0045】

図１～図３に示すように、第２柱部２２は全体としてＺ方向に延びる角筒状（Ｚ方向から見たときに、略長方形）を呈している柱本体２２１を備え、該柱本体２２１は第１柱部２１の柱本体２１１と類似し、４つの側壁を有する。

【0046】

また、図示していないが、柱本体２２１の４つの側壁のうちの少なくとも１つの側壁に複数の貫通孔が設けられ、これらの貫通孔はＺ方向に間隔をあけて配列され、且つ側壁の厚さ方向に側壁を貫通して柱本体２２１の内部と外部を連通させる。

【0047】

また、第２柱部２２は、柱本体２２１に着脱可能に設けられ、且つ貫通孔を覆っている柱体カバーをさらに備える。

【0048】

また、第２柱部２２の内部に駆動機構等の機能部材が設けられる。

【0049】

（本実施形態の主な効果）

【0050】

本実施形態の産業用ロボット１によれば、第１柱部２１のモータ４０に近い位置に、モータ４０を通過する気流を形成するためのファン６０が設けられるため、ファン６０によって形成される気流でモータ４０を効率的に冷却することができ、且つ、モータ４０の周囲にラジエーター７０が設けられるため、単に大型ファンを使用する場合と比較して、大型化を容易に回避することができるとともに、大型ファンの電力消費量の増加等によるコストアップを回避することができ、且つ、モータ４０の冷却効率を向上させることで、動作量が同じ場合に発熱量が大型モータよりも大きい小型モータを使用することができ、この点でも大型化及びコストアップを回避することができる。

【0051】

また、本実施形態の産業用ロボット１によれば、金属カバー９０でエンコーダー５０が覆われていることで、エンコーダー５０への外部の電磁干渉の影響を遮蔽することができ、エンコーダー５０を用いてモータ４０の回転数を正確に検出することが容易になる。

【0052】

また、本実施形態の産業用ロボット１によれば、金属カバー９０を用いて、モータ４０及びエンコーダー５０を通過した空気をファン６０へ案内することで、モータ４０及びエンコーダー５０を通過した空気をファン６０へスムーズに流し、通風抵抗を低減させることができ、したがって、モータ４０及びエンコーダー５０の冷却効率をさらに向上させることができる。

【0053】

また、本実施形態の産業用ロボット１によれば、ファン６０の吹き出し口は下方を向いていることで、異物がファン６０の吹き出し口に落ちてファン６０の故障を招くことを回避することができる。

【0054】

また、本実施形態の産業用ロボット１によれば、ファン６０の吹き出し口に濾過網が設けられることで、基本部材の内部で発生した塵埃等が外部に排出されてロボットの設置環境（たとえば、無塵室）に悪影響を与えることを回避することができる。

【0055】

以上、図面を参照しながら本発明を例示的に説明したが、明らかなように、本発明の具体的な実施は上記実施形態に限定されるものではない。

【0056】

たとえば、上記実施形態では、産業用ロボット１がガラス基板を搬送するための水平多関節型ロボットである場合について説明したが、これに限定されず、産業用ロボット１は他の用途に使用されてもよい。

【0057】

また、上記実施形態では、モータ４０及びファン６０が第１柱部２１に設けられる場合について説明したが、これに限定されず、モータ及びファンの設置位置は必要に応じて適宜変更することが可能であり、たとえば、モータ及びファンが第２柱部に設けられてもよく、且つ、モータ及びファンが基本部材（ベース、柱部、ハンド部）の内部に設けられてもよく、基本部材の外部に設けられてもよい。

【0058】

また、上記実施形態では、ファン６０は第１柱部２１内の空気を外部へ吹き出すが、これに限定されず、ファン６０はモータ４０へ空気を吹き出すように配置されてもよい。

【0059】

また、上記実施形態では、第１柱部２１の底部近傍に、第１柱部２１内の空気を外部へ排出する排気ファンが設けられてもよい。

【0060】

また、上記実施形態では、モータ４０の外周面に、ラジエーター７０を構成するフィン付きのアルミ板が固定されるが、ラジエーター７０の具体的な構成、材料はこれに限定されず、必要に応じて適宜変更することが可能である。

【0061】

また、上記実施形態では、第１柱部２１の柱本体２１１及び第２柱部２２の柱本体２２１の４つの側壁のうちの少なくとも１つに、Ｚ方向に配列される複数の貫通孔が形成され、これらの貫通孔によって、第１柱部２１、第２柱部２２１の内部と外部を連通させるが、これに限定されず、場合によっては、貫通孔を設けなくてもよい。

【0062】

また、上記実施形態では、第１柱部２１内に導風管８０及び金属カバー９０が設けられ、第１柱部２１の外面に導風カバー１００が設けられるが、これに限定されず、場合によっては、導風管８０、金属カバー９０及び導風カバー１００のうちの１つ又は複数を省略してもよい。

【0063】

また、上記実施形態では、台座１０は、水平方向に延びるガイドレール１１と、ガイドレール１１にガイドレール１１に沿って移動可能に設けられる基台１２と、基台１２にＺ方向に延びる軸線回りに旋回可能に支持される旋回台１３と、を備えるが、これに限定されず、台座１０の具体的な構成は必要に応じて適
宜変更することが可能であり、たとえば、ガイドレール１１及び旋回台１２を省略してもよい。

【0064】

また、上記実施形態では、柱体２０は、旋回台１３に固定される第１柱部２１と、第１柱部２１にＺ方向に移動可能に設けられる第２柱部２２と、を備えるが、これに限定されず、柱体２０の具体的な構成は必要に応じて適宜変更することが可能であり、たとえば、柱体２０は１つの柱部のみを備えてもよく、３つ以上の柱部を備えてもよい。

【0065】

また、上記実施形態では、第１柱部２１はＺ方向に延びる角筒状を呈しているが、これに限定されず、第１柱部２１の形状は必要に応じて適宜変更することが可能であり、同様に、第２柱部２２はＺ方向に延びる角筒状としてもよく、他の形状としてもよい。

【0066】

また、上記実施形態では、ハンド部３０は、基端が第２柱部２２にＺ方向に延びる軸線回りに旋回可能に連結されるアーム３１と、アーム３１の先端にＺ方向に延びる軸線回りに旋回可能に連結されるフォーク３２と、を備えるが、これに限定されず、ハンド部３０の具体的な構成は必要に応じて適宜変更することが可能であり、たとえば、ハンド部３０はアームを備えなくてもよい。

【0067】

また、上記実施形態では、ハンド部３０はＺ方向に積層するように一対設けられるが、これに限定されず、ハンド部３０は１つのみ設けられてもよい。

【0068】

なお、本発明は、その範囲において、各実施形態を自由に組み合わせ、又は各実施形態を適宜変形させたり、省略したりすることが可能である。

【符号の説明】

【0069】

１ 産業用ロボット １０ 台座 １１ ガイドレール １２ 基台 １３ 旋回台 ２０ 柱体 ２１ 第１柱部 ２１１ 柱本体 ２１１１ 貫通孔 ２２ 第２柱部 ２２１ 柱本体 ３０ ハンド部 ３１ アーム ３１１ 第１アーム ３１２ 第２アーム ３２ フォーク ３３ 支持部材 ４０ モータ ５０ エンコーダー ６０ ファン ７０ ラジエーター ８０ 導風管 ９０ 金属カバー １００ 導風カバー Ｗ ガラス基板 Ｐ１ 第１位置 Ｐ２ 第２位置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】