特許 7558510 局所消磁装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-20

(45)【発行日】2024-10-01

(54)【発明の名称】局所消磁装置

(51)【国際特許分類】

   H01F 13/00 20060101AFI20240924BHJP

【ＦＩ】

H01F13/00 600

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2020146655

(22)【出願日】2020-09-01

(65)【公開番号】P2022041450

(43)【公開日】2022-03-11

【審査請求日】2023-06-26

(73)【特許権者】

【識別番号】000003067

【氏名又は名称】ＴＤＫ株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】593165487

【氏名又は名称】学校法人金沢工業大学

(74)【代理人】

【識別番号】100115738

【弁理士】

【氏名又は名称】鷲頭 光宏

(74)【代理人】

【識別番号】100121681

【弁理士】

【氏名又は名称】緒方 和文

(72)【発明者】

【氏名】水原 悠貴

(72)【発明者】

【氏名】足立 善昭

【審査官】井上 健一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１２－１９５６６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５５－０５５２７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６１－００５５０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６１－００５５０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５８－０９５９６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０２０－５０４４５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭５４－１４６９００（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２００２－２６０９２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５６－１６７３０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－１７２８３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２００９－５３４６４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０２－３０４３４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭５５－１５９５１８（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開昭５８－０２６３８８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｆ １３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

消磁対象物を挿入するためのスペースを介して対向する一対の基板と、
前記一対の基板のそれぞれに設けられた第１、第２及び第３のコイルパターンと、
前記基板に対して垂直な方向の磁界が前記スペース内において強め合うよう、前記第１、第２及び第３のコイルパターンに電流を供給する電源回路と、を備え、
前記第１、第２及び第３のコイルパターンは、いずれも、電流が一方向に流れる第１の直線パターンと、前記第１の直線パターンに隣接して設けられ、電流が逆方向に流れる第２の直線パターンとを含む折り返し形状を有しており、
前記第１のコイルパターンは、前記第２のコイルパターンと前記第３のコイルパターンの間に配置され、
前記第２及び第３のコイルパターンに流れる電流は互いに等しく、且つ、前記第１のコイルパターンに流れる電流よりも少ないことを特徴とする局所消磁装置。

【請求項2】

前記第２のコイルパターンと前記第３のコイルパターンが直列に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の局所消磁装置。

【請求項3】

前記一対の基板の一方に設けられた前記第２及び第３のコイルパターンと前記一対の基板の他方に設けられた前記第２及び第３のコイルパターンが直列に接続されていることを特徴とする請求項２に記載の局所消磁装置。

【請求項4】

前記一対の基板のそれぞれに設けられ、いずれも前記折り返し形状を有する第４及び第５のコイルパターンをさらに備え、
前記第１乃至第３のコイルパターンは、前記第４のコイルパターンと前記第５のコイルパターンの間に配置され、
前記電源回路は、前記基板に対して垂直な方向の磁界が前記スペース内において強め合うよう、前記第４及び第５のコイルパターンに電流を供給し、
前記第４及び第５のコイルパターンに流れる電流は互いに等しく、且つ、前記第２及び第３のコイルパターンに流れる電流よりも少ないことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の局所消磁装置。

【請求項5】

消磁対象物を挿入するためのスペースを介して対向する一対の基板と、
前記一対の基板のそれぞれに設けられた第１のコイルパターンと、
前記基板に対して垂直な方向の磁界が前記スペース内において強め合うよう、前記第１のコイルパターンに電流を供給する電源回路と、を備え、
前記一対の基板は、前記スペース側に位置する第１の表面と、前記第１の表面の反対側に位置する第２の表面を有し、
前記第１のコイルパターンは前記第１の表面に形成され、
前記第２の表面の少なくとも一部は磁性体で覆われていることを特徴とする局所消磁装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は局所消磁装置に関し、特に、小型で携帯性に優れた局所消磁装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、被検体の微小領域を消磁することが可能な局所消磁装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００８－２１６１６３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載された局所消磁装置は大型であり携帯性を持たないことから、例えば、アレイ状に配列された複数の磁気センサの一部を消磁するような用途には不向きであった。

【0005】

したがって、本発明は、小型で携帯性に優れた局所消磁装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明による局所消磁装置は、消磁対象物を挿入するためのスペースを介して対向する一対の基板と、一対の基板のそれぞれに設けられた第１のコイルパターンと、基板に対して垂直な方向の磁界がスペース内において強め合うよう、第１のコイルパターンに電流を供給する電源回路とを備えることを特徴とする。

【0007】

本発明によれば、一対の基板によって形成されるスペースに消磁対象物を挿入することによって消磁を行うことができる。そして、消磁対象物のサイズ等に応じて基板やスペースのサイズを設計することにより、小型で携帯性に優れた局所消磁装置を提供することが可能となる。

【0008】

本発明において、第１のコイルパターンは、電流が一方向に流れる第１の直線パターンと、第１の直線パターンに隣接して設けられ、電流が逆方向に流れる第２の直線パターンとを含む折り返し形状を有していても構わない。これによれば、第１の直線パターンと第２の直線パターンの間に局所的な磁界を発生させることが可能となる。

【0009】

本発明による局所消磁装置は、一対の基板のそれぞれに設けられ、いずれも折り返し形状を有する第２及び第３のコイルパターンをさらに備え、第１のコイルパターンは第２のコイルパターンと第３のコイルパターンの間に配置され、電源回路は、基板に対して垂直な方向の磁界がスペース内において強め合うよう、第２及び第３のコイルパターンに電流を供給し、第２及び第３のコイルパターンに流れる電流は互いに等しく、且つ、第１のコイルパターンに流れる電流よりも少なくても構わない。これによれば、第１のコイルパターンによって生じる不要な磁界成分を第２及び第３のコイルパターンによってキャンセルすることが可能となる。

【0010】

本発明において、第２のコイルパターンと第３のコイルパターンは直列に接続されていても構わない。これによれば、第２のコイルパターンに流れる電流と第３のコイルパターンに流れる電流を一致させることが可能となる。この場合、一対の基板の一方に設けられた第２及び第３のコイルパターンと一対の基板の他方に設けられた第２及び第３のコイルパターンが直列に接続されていても構わない。これによれば、一方の基板に設けられた第２及び第３のコイルパターンに流れる電流と他方の基板に設けられた第２及び第３のコイルパターンに流れる電流を一致させることが可能となる。

【0011】

本発明による局所消磁装置は、一対の基板のそれぞれに設けられ、いずれも折り返し形状を有する第４及び第５のコイルパターンをさらに備え、第１乃至第３のコイルパターンは第４のコイルパターンと第５のコイルパターンの間に配置され、電源回路は、基板に対して垂直な方向の磁界がスペース内において強め合うよう、第４及び第５のコイルパターンに電流を供給し、第４及び第５のコイルパターンに流れる電流は互いに等しく、且つ、第２及び第３のコイルパターンに流れる電流よりも少なくても構わない。これによれば、第２及び第３のコイルパターンによって生じる不要な磁界成分を第４及び第５のコイルパターンによってキャンセルすることが可能となる。

【0012】

本発明において、一対の基板は、スペース側に位置する第１の表面と、第１の表面の反対側に位置する第２の表面を有し、第１のコイルパターンは第１の表面に形成され、第２の表面の少なくとも一部は磁性体で覆われていても構わない。これによれば、スペースの外側に漏洩する磁界を低減することが可能となる。

【発明の効果】

【0013】

このように、本発明によれば小型で携帯性に優れた局所消磁装置を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、本発明の第１の実施形態による局所消磁装置１００の外観を示す略斜視図である。

【図2】図２は、コイルパターン１Ａの形状を説明するための模式的な平面図である。

【図3】図３は、本実施形態による局所消磁装置１００に消磁対象物である磁気センサＭを挿入した状態を示す略斜視図である。

【図4】図４は、図３に示す状態の模式的なｙｚ断面図である。

【図5】図５は、磁気センサＭ１～Ｍ９がアレイ状に配列されている場合において、特定の磁気センサＭ５の消磁を行う例を示す模式図である。

【図6】図６は、本発明の第２の実施形態による局所消磁装置に用いる基板２０Ａの模式的な平面図である。

【図7】図７は、図６に示すＣ－Ｃ'線に沿った磁界強度をコイルパターンごとに示す模式的なグラフである。

【図8】図８は、図６に示すＣ－Ｃ'線に沿った合成された磁界強度を示す模式的なグラフである。

【図9】図９は、第１の変形例による電源回路５２の回路図である。

【図10】図１０は、第２の変形例による電源回路５３の回路図である。

【図11】図１１は、第３の変形例による電源回路５４の回路図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、添付図面を参照しながら、本発明の好ましい実施形態について詳細に説明する。

【0016】

図１は、本発明の第１の実施形態による局所消磁装置１００の外観を示す略斜視図である。

【0017】

図１に示すように、第１の実施形態による局所消磁装置１００は、一対の基板２０Ａ，２０Ｂと、基板２０Ａ，２０Ｂの間隔を一定に保つスペーサ２３と、基板２０Ａの表面２１Ａに形成されたコイルパターン１Ａと、基板２０Ｂの表面２１Ｂに形成されたコイルパターン１Ｂとを備えている。基板２０Ａ，２０Ｂは樹脂などの非磁性絶縁材料からなり、ｘｙ面を構成する表面２１Ａ，２１Ｂが互いに向かい合うようスペーサ２３を介して連結されている。これにより、基板２０Ａの表面２１Ａと基板２０Ｂの表面２１Ｂの間には、ｚ方向における幅がスペーサ２３の高さによって規定されるスペースＳが形成される。スペーサ２３についても樹脂などの非磁性材料を用いることが好ましい。

【0018】

図２は、コイルパターン１Ａの形状を説明するための模式的な平面図である。

【0019】

図２に示すように、コイルパターン１Ａは、互いにｙ方向に隣接しいずれもｘ方向に延在する直線パターン３１Ａ，３２Ａと、直線パターン３１Ａ，３２Ａのｘ方向における端部を互いに接続する接続パターン３３Ａを含む折り返し形状を有している。コイルパターン１Ａの一端は端子電極４１を構成し、コイルパターン１Ａの他端は端子電極４２を構成する。本実施形態による局所消磁装置１００は、端子電極４１と端子電極４２の間に直列に接続された電圧源Ｖ１及び抵抗Ｒ１からなる電源回路５０をさらに備えている。かかる構成により、直線パターン３１Ａには電流Ｉが＋ｘ方向に流れ、直線パターン３２Ａには電流Ｉが－ｘ方向に流れる。コイルパターン１Ａに流れる電流Ｉの電流量は、電圧源Ｖ１の電圧及び抵抗Ｒ１の抵抗値によって決まる。

【0020】

これにより、コイルパターン１Ａに電流Ｉを流すと、符号６０で示すように、直線パターン３１Ａ，３２Ａに挟まれた領域においては－ｚ方向の磁界が生じ、直線パターン３１Ａ，３２Ａのｙ方向における外側領域においては＋ｚ方向の磁界が生じる。基板２０Ｂに設けられたコイルパターン１Ｂについても同様であり、コイルパターン１Ｂに電流Ｉを流すと、コイルパターン１Ａによって発生する磁界と同方向の磁界が発生する。

【0021】

図３は、本実施形態による局所消磁装置１００に消磁対象物である磁気センサＭを挿入した状態を示す略斜視図である。また、図４は、図３に示す状態の模式的なｙｚ断面図である。

【0022】

図３及び図４に示すように、本実施形態による局所消磁装置１００を使用する際には、消磁対象物をスペースＳに挿入する。したがって、基板２０Ａ，２０Ｂの平面サイズやスペースＳの大きさは、消磁対象物に応じて設計すればよい。本例では、消磁対象物が磁気センサＭであるが、本発明において消磁対象物がこれに限定されるものではない。

【0023】

磁気センサＭをスペースＳに挿入した状態でコイルパターン１Ａ，１Ｂに電流Ｉを流すと、磁気センサＭには－ｚ方向の磁界φが印加される。コイルパターン１Ａとコイルパターン１Ｂに流れる電流Ｉの方向は同じであるため、コイルパターン１Ａから生じる磁界φのｚ方向成分と、コイルパターン１Ｂから生じる磁界φのｚ方向成分は、互いに強め合う。これに対し、コイルパターン１Ａから生じる磁界φのｙ方向成分と、コイルパターン１Ｂから生じる磁界φのｙ方向成分は、互いに弱め合う。

【0024】

磁界φの強度は、磁気センサＭに含まれる磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）が磁気飽和するのに十分な強度に設定する。これにより、着磁によって検出誤差が生じている磁気センサＭが消磁され、初期化することが可能となる。尚、コイルパターン１Ａに流れる電流とコイルパターン１Ｂに流れる電流の電流量は同じであることが好ましい。これを容易に実現するためには、コイルパターン１Ａ，１Ｂを直列に接続すれば良い。

【0025】

このように、本実施形態による局所消磁装置１００を用いれば、スペースＳに消磁対象物を挿入することによって消磁を行うことができる。そして、消磁対象物のサイズ等に応じて基板２０Ａ，２０Ｂのサイズやスペーサ２３の高さを設計することにより、小型で携帯性に優れた局所消磁装置を提供することが可能となる。例えば、図５に示すように、複数の磁気センサＭ１～Ｍ９がアレイ状に配列されている場合において、特定の磁気センサＭ５の消磁を行いたい場合には、磁気センサＭ５を局所消磁装置１００のスペースＳに挿入すればよい。これにより、他の磁気センサＭ１～Ｍ４，Ｍ６～Ｍ９に磁気的な影響をほとんど与えることなく、磁気センサＭ５の消磁を行うことができる。さらに、基板２０Ａの裏面２２Ａや基板２０Ｂの裏面２２Ｂをフェライトやパーマロイなどの磁性体で覆えば、スペースＳの外側に漏洩する磁界を低減することも可能である。

【0026】

図６は、本発明の第２の実施形態による局所消磁装置に用いる基板２０Ａの模式的な平面図である。

【0027】

図６に示すように、第２の実施形態による局所消磁装置に用いる基板２０Ａは、コイルパターン２Ａ～１３Ａが追加されている点において、図２に示した基板２０Ａと相違している。本実施形態において使用する電源回路５１は、電圧源Ｖ１～Ｖ１３及び抵抗Ｒ１～Ｒ１３を有する。電圧源Ｖ１～Ｖ１３及び抵抗Ｒ１～Ｒ１３は、それぞれコイルパターン１Ａ～１３Ａに割り当てられる。コイルパターン２Ａ～１３Ａのパターン形状はコイルパターン１Ａと同じであり、いずれも折り返し形状を有している。

【0028】

このうち、コイルパターン２Ａ，３Ａは、コイルパターン１Ａをｙ方向における両側から挟むように配置された一対のコイルパターンである。コイルパターン４Ａ，５Ａは、コイルパターン１Ａ～３Ａをｙ方向における両側から挟むように配置された一対のコイルパターンである。コイルパターン６Ａ，７Ａは、コイルパターン１Ａ～５Ａをｙ方向における両側から挟むように配置された一対のコイルパターンである。コイルパターン８Ａ，９Ａは、コイルパターン１Ａ～７Ａをｙ方向における両側から挟むように配置された一対のコイルパターンである。コイルパターン１０Ａ，１１Ａは、コイルパターン１Ａ～９Ａをｙ方向における両側から挟むように配置された一対のコイルパターンである。コイルパターン１２Ａ，１３Ａは、コイルパターン１Ａ～１１Ａをｙ方向における両側から挟むように配置された一対のコイルパターンである。

【0029】

図示しないが、第２の実施形態による局所消磁装置に用いる基板２０Ｂも、図６に示す基板２０Ａと同じ構成を有している。

【0030】

図７は、図６に示すＣ－Ｃ'線に沿った磁界強度をコイルパターンごとに示す模式的なグラフである。

【0031】

図７に示す磁界φ１～φ７は、それぞれコイルパターン１Ａ～７Ａによって生じる磁界を示している。コイルパターン１Ａによって生じる磁界φ１の強度は、直線パターン３１Ａと直線パターン３２Ａの中間位置においてピークとなるが、直線パターン３１Ａ，３２Ａの外側位置においては逆方向の磁界が生じる。この磁界成分は、消磁動作に不要な磁界成分であるとともに、隣接する他の磁気センサなど、意図しない部材を着磁させてしまうおそれがある。そこで、コイルパターン１Ａによって生じる逆方向の磁界が打ち消されるよう、ｙ方向における両側に配置されたコイルパターン２Ａ，３Ａによって生じる磁界φ２，φ３のピークを逆方向の磁界φ１に重ねる。これにより、コイルパターン１Ａによって生じる逆方向の磁界の大部分が打ち消され、よりフラットな特性が得られる。

【0032】

コイルパターン２Ａ，３Ａによって生じる磁界φ２，φ３の強度は、一対の直線パターンの中間位置においてピークとなるが、一対の直線パターンの外側位置においては、やはり逆方向の磁界が生じる。そこで、コイルパターン２Ａ，３Ａによって生じる逆方向の磁界が打ち消されるよう、ｙ方向における両側に配置されたコイルパターン４Ａ，５Ａによって生じる磁界φ４，φ５のピークをそれぞれ逆方向の磁界φ２，φ３に重ねる。これにより、コイルパターン２Ａ，３Ａによって生じる逆方向の磁界の大部分が打ち消され、よりフラットな特性が得られる。

【0033】

以下同様にして、コイルパターン４Ａ，５Ａによって生じる逆方向の磁界をコイルパターン６Ａ，７Ａによって打ち消し、コイルパターン６Ａ，７Ａによって生じる逆方向の磁界をコイルパターン８Ａ，９Ａによって打ち消し、コイルパターン８Ａ，９Ａによって生じる逆方向の磁界をコイルパターン１０Ａ，１１Ａによって打ち消し、コイルパターン１０Ａ，１１Ａによって生じる逆方向の磁界をコイルパターン１２Ａ，１３Ａによって打ち消す。これにより、図８に示すように、合成された磁界はコイルパターン１Ａの中心をピークとし、その両側が比較的フラットである特性が得られる。

【0034】

このような特性を得るためには、コイルパターン２Ａ，３Ａに流れる電流をコイルパターン１Ａに流れる電流よりも少なくし、コイルパターン４Ａ，５Ａに流れる電流をコイルパターン２Ａ，３Ａに流れる電流よりも少なくし、コイルパターン６Ａ，７Ａに流れる電流をコイルパターン４Ａ，５Ａに流れる電流よりも少なくし、コイルパターン８Ａ，９Ａに流れる電流をコイルパターン６Ａ，７Ａに流れる電流よりも少なくし、コイルパターン１０Ａ，１１Ａに流れる電流をコイルパターン８Ａ，９Ａに流れる電流よりも少なくし、コイルパターン１２Ａ，１３Ａに流れる電流をコイルパターン１０Ａ，１１Ａに流れる電流よりも少なくすれば良い。

【0035】

このように、第２の実施形態による局所消磁装置によれば、コイルパターン１Ａの中心をピークとした磁界を発生させることができるとともに、コイルパターン１Ａの外側領域においては磁界強度が小さく、比較的フラットな特性が得られることから、隣接する他の磁気センサなど、意図しない部材の着磁を防止することができる。

【0036】

図９は、第１の変形例による電源回路５２の回路図である。

【0037】

図９に示す電源回路５２は、電圧源Ｖ３，Ｖ５，Ｖ７，Ｖ９，Ｖ１１，Ｖ１３及び抵抗Ｒ３，Ｒ５，Ｒ７，Ｒ９，Ｒ１１，Ｒ１３が省略され、その代わりに、コイルパターン２Ａ，３Ａが直列に接続され、コイルパターン４Ａ，５Ａが直列に接続され、コイルパターン６Ａ，７Ａが直列に接続され、コイルパターン８Ａ，９Ａが直列に接続され、コイルパターン１０Ａ，１１Ａが直列に接続され、コイルパターン１２Ａ，１３Ａが直列に接続されている。これにより、対を成す２つのコイルパターン（例えばコイルパターン２Ａ，３Ａ）に流れる電流の電流量を一致させることが可能となるとともに、使用する電圧源及び抵抗の数を削減することが可能となる。

【0038】

図１０は、第２の変形例による電源回路５３の回路図である。

【0039】

図１０に示す電源回路５３は、コイルパターン１Ａ～１３Ａに対して共通の電圧源Ｖ０が用いられている点において、図９に示した電源回路５２と相違している。このように、コイルパターン１Ａ～１３Ａに対して共通の電圧源Ｖ０を用いた場合であっても、抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ４，Ｒ６，Ｒ８，Ｒ１０，Ｒ１２の抵抗値を
Ｒ１＜Ｒ２＜Ｒ４＜Ｒ６＜Ｒ８＜Ｒ１０＜Ｒ１２
に設定することにより、各コイルパターン１Ａ～１３Ａに流れる電流の電流量を最適化することができる。

【0040】

図１１は、第３の変形例による電源回路５４の回路図である。

【0041】

図１１に示す電源回路５４は、基板２０Ａに設けられたコイルパターン１Ａ～１３Ａと基板２０Ｂに設けられたコイルパターン１Ｂ～１３Ｂに対して共通に割り当てられているとともに、コイルパターン２Ａ，３Ａ，２Ｂ，３Ｂが直列に接続され、コイルパターン４Ａ，５Ａ，４Ｂ，５Ｂが直列に接続され、コイルパターン６Ａ，７Ａ，６Ｂ，７Ｂが直列に接続され、コイルパターン８Ａ，９Ａ，８Ｂ，９Ｂが直列に接続され、コイルパターン１０Ａ，１１Ａ，１０Ｂ，１１Ｂが直列に接続され、コイルパターン１２Ａ，１３Ａ，１２Ｂ，１３Ｂが直列に接続されている点において、図１０に示した電源回路５３と相違している。これにより、基板２０Ａ上において対を成す２つのコイルパターン（例えばコイルパターン２Ａ，３Ａ）と、基板２０Ｂ上において対を成す２つのコイルパターン（例えばコイルパターン２Ｂ，３Ｂ）に流れる電流の電流量を一致させることが可能となるとともに、使用する電圧源及び抵抗の数を削減することが可能となる。

【0042】

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。

【符号の説明】

【0043】

１Ａ～１３Ａ，１Ｂ～１３Ｂ コイルパターン
２０Ａ，２０Ｂ 基板
２１Ａ，２１Ｂ 基板の表面
２２Ａ，２２Ｂ 基板の裏面
２３ スペーサ
３１Ａ，３２Ａ 直線パターン
３３Ａ 接続パターン
４１，４２ 端子電極
５０～５４ 電源回路
６０ 磁界の向き
１００ 局所消磁装置
Ｉ 電流
Ｍ，Ｍ１～Ｍ９ 磁気センサ
Ｒ１～Ｒ１３ 抵抗
Ｓ スペース
Ｖ０～Ｖ１３ 電圧源

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】