特許 7558740 エアシャワー装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-20

(45)【発行日】2024-10-01

(54)【発明の名称】エアシャワー装置

(51)【国際特許分類】

   F24F 7/06 20060101AFI20240924BHJP

   B08B 5/00 20060101ALI20240924BHJP

【ＦＩ】

F24F7/06 C

B08B5/00 A

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2020166140

(22)【出願日】2020-09-30

(65)【公開番号】P2022057740

(43)【公開日】2022-04-11

【審査請求日】2023-08-28

(73)【特許権者】

【識別番号】000232760

【氏名又は名称】日本無機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000165

【氏名又は名称】弁理士法人グローバル・アイピー東京

(72)【発明者】

【氏名】加藤 宏樹

(72)【発明者】

【氏名】畠山 尚大

【審査官】広瀬 雅治

(56)【参考文献】

【文献】中国実用新案第２０７５８４９３９（ＣＮ，Ｕ）

【文献】特開２０１６－０４４８７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－２２９４４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１０５５７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－２２６４７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－１７６５９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／００８０４６５（ＵＳ，Ａ１）

【文献】韓国公開特許第１０－２００９－００４０６３０（ＫＲ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１１５８２７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ２４Ｆ ７／０６

Ｂ０８Ｂ ５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

エアシャワー室内の被処理体に空気を吹き付けるエアシャワー装置であって、
前記エアシャワー装置の外枠をなし、前記エアシャワー室を囲むよう互いに接続する複数の壁部材であって、前記壁部材のうち少なくとも第１壁部材が、前記外枠をなす外壁と、前記外壁との間に除塵室を形成しつつ前記除塵室と前記エアシャワー室とを間仕切りするよう前記外壁と間隔をあけて配置された内壁と、を有する、複数の壁部材と、
前記除塵室内に配置され、空気中の微粒子を捕集するエアフィルタと、
前記除塵室内に配置され、前記内壁に設けられた吸気口から前記エアシャワー室内の空気を取り込んで前記エアフィルタを通過させ、前記内壁に設けられた吹出口から前記エアシャワー室内に送り込むファンと、
前記除塵室に面する前記外壁の壁面に取り付けられるフィルタ固定部材であって、前記壁面との間に空気を導入するための導入空間を形成する導入壁部を有する空気導入部と、前記導入空間内の空気を前記エアフィルタに誘導し、空気が流れる方向の下流側において開口した誘導空間を形成する誘導壁部を有し、前記開口に前記エアフィルタが取り付けられる空気誘導部と、を有するフィルタ固定部材と、を備え、
前記フィルタ固定部材は、前記空気導入部及び前記空気誘導部が一体に形成された部材であり、
前記フィルタ固定部材は発泡樹脂成形体である、ことを特徴とするエアシャワー装置。

【請求項2】

前記誘導壁部の前記下流側の開口端部と前記エアフィルタとの間に挟まれるよう、前記開口端部の端面を被覆する周状の補強部材をさらに備える、請求項１に記載のエアシャワー装置。

【請求項3】

前記導入壁部は、空気が前記導入空間内を前記外壁の前記壁面に沿って流れるよう形成され、
前記誘導壁部は、空気が前記誘導空間内を前記外壁の前記壁面の法線方向に流れるよう形成されている、請求項１又は２に記載のエアシャワー装置。

【請求項4】

前記ファンは、前記導入空間に向けて空気を吹き込むよう配置され、
前記導入壁部は、前記導入空間内を空気が流れる方向に進むにつれ前記壁面に接近するよう前記壁面に対して傾斜して延びる傾斜壁部を有している、請求項３に記載のエアシャワー装置。

【請求項5】

前記フィルタ固定部材は、前記エアフィルタが前記吹出口と対向して配置されるよう、前記外壁の前記壁面に取り付けられ、
当該壁面の法線方向の長さに関して、当該壁面の側の前記フィルタ固定部材の端と前記エアフィルタとの距離は、前記ファンが配置された側の前記導入壁部の端部の長さ以下である、請求項４に記載のエアシャワー装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、エアシャワー室内の被処理体に空気を吹き付けるエアシャワー装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体製造、医療、食品製造加工等を行う施設で、塵埃等の粒子や微生物の侵入又は漏出の防止が要求されるクリーンルームでは、着衣に付着した微粒子を除去するため、出入口にエアシャワー装置が設けられている。

【0003】

従来、エアシャワー室を挟む側壁部の内部の室内に、ファンから送り出された空気を取り込んでエアフィルタに導くプレナムボックスを配置したエアシャワー装置が知られている（特許文献１）。プレナムボックスは、複数の構成部材として、側壁部、天井板、底板、フィルタ設置壁部、及びファン支持体を有し、これらが互いにリベット又はビス等により連結され、組み立てられる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００１－７０９０２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

プレナムボックスの構成部材の互いに連結される部分には、リベットやビスを打つための折り曲げられた端部を形成する必要がある。そして、ボックス内を流れる空気が漏れないよう、端部の間の隙間等をシール材で封止する必要がある。しかし、このようなシール材を設ける作業によって、エアシャワー装置の組み立てに要する工数が多くなる。また、シール材による封止が不十分（シール不良）だった箇所において、使用中に空気が漏れるという問題がある。特に、構成部材の形状が複雑で、多数あると、より多くの作業工数が必要となり、空気が漏れる問題も顕著となる。

【0006】

そこで、本発明は、エアシャワー室を囲む壁部材の内部にエアフィルタを配置したエアシャワー装置において、エアフィルタを壁部材に固定するための作業工数を低減できるエアシャワー装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一態様は、エアシャワー室内の被処理体に空気を吹き付けるエアシャワー装置であって、
前記エアシャワー装置の外枠をなし、前記エアシャワー室を囲むよう互いに接続する複数の壁部材であって、前記壁部材のうち少なくとも第１壁部材が、前記外枠をなす外壁と、前記外壁との間に除塵室を形成しつつ前記除塵室と前記エアシャワー室とを間仕切りするよう前記外壁と間隔をあけて配置された内壁と、を有する、複数の壁部材と、
前記除塵室内に配置され、空気中の微粒子を捕集するエアフィルタと、
前記除塵室内に配置され、前記内壁に設けられた吸気口から前記エアシャワー室内の空気を取り込んで前記エアフィルタを通過させ、前記内壁に設けられた吹出口から前記エアシャワー室内に送り込むファンと、
前記除塵室に面する前記壁の壁面に取り付けられるフィルタ固定部材であって、前記壁面との間に空気を導入するための導入空間を形成する導入壁部を有する空気導入部と、前記導入空間内の空気を前記エアフィルタに誘導し、空気が流れる方向の下流側において開口した誘導空間を形成する誘導壁部を有し、前記開口に前記エアフィルタが取り付けられる空気誘導部と、を有するフィルタ固定部材と、を備え、
前記フィルタ固定部材は、前記空気導入部及び前記空気誘導部が一体に形成された部材である、ことを特徴とする。

【0008】

前記フィルタ固定部材は発泡樹脂成形体であることが好ましい。

【0009】

前記誘導壁部の前記下流側の開口端部と前記エアフィルタとの間に挟まれるよう、前記開口端部の端面を被覆する周状の補強部材をさらに備えることが好ましい。

【0010】

前記導入壁部は、空気が前記導入空間内を前記壁面に沿って流れるよう形成され、
前記誘導壁部は、空気が前記誘導空間内を前記壁面の法線方向に流れるよう形成されている場合に好適である。

【0011】

前記ファンは、前記導入空間に向けて空気を吹き込むよう配置され、
前記導入壁部は、前記導入空間内を空気が流れる方向に進むにつれ前記壁面に接近するよう前記壁面に対して傾斜して延びる傾斜壁部を有していることが好ましい。

【0012】

前記フィルタ固定部材は、前記エアフィルタが前記吹出口と対向して配置されるよう、前記外壁の前記壁面に取り付けられ、
当該壁面の法線方向の長さに関して、当該壁面と前記エアフィルタと距離は、前記ファンが配置された側の前記導入壁部の端部の長さの半分以下である場合に好適である。

【0013】

本発明の別の一態様は、エアシャワー室内の被処理体に空気を吹き付けるエアシャワー装置の製造方法であって、
エアシャワー装置本体を組み立てるステップと、
前記フィルタ固定部材を、前記エアシャワー装置本体の前記第１壁部材の前記壁の前記壁面に取り付けるステップと、
前記エアフィルタを前記フィルタ固定部材に取り付けるステップと、を有していることを特徴とする。
エアシャワー装置本体は、前記一態様の、前記複数の壁部材と、前記ファンと、好ましくは前記補強部材と、を備え、前記一態様の、前記エアフィルタと、前記フィルタ固定部材と、を備えない。

【発明の効果】

【0014】

上述のエアシャワー装置によれば、エアフィルタを壁部材に固定するための作業工数を低減できる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】エアシャワー装置の分解斜視図である。

【図2】エアシャワー装置の構成を説明する図である。

【図3】フィルタ固定部材を、気流方向の下流側から見て示す正面図である。

【図4】フィルタ固定部材を、気流方向の上流側から見て示す背面図である。

【図5】図３のＡ－Ａ線断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明のエアシャワー装置について詳細に説明する。
図１は、本実施形態のエアシャワー装置の分解斜視図である。図２は、本実施形態のエアシャワー装置の構成を説明する図である。
本実施形態のエアシャワー装置１０は、エアシャワー室２４内に入った被処理体である利用者に空気を吹き付けて、利用者の衣服や頭髪に付着した粒子やそれよりも小さな微粒子を除去する装置である。エアシャワー装置１は、例えば、半導体製造、医療、食品製造加工等を行う施設のクリーンルームの出入口に設けられる。エアシャワー装置１０は、設置面に立設される。

【0017】

エアシャワー装置１０は、３つの壁部材と、エアフィルタ３０と、循環ファン２３と、フィルタ固定部材２８と、扉部２０，２１と、を備える。

【0018】

３つの壁部材は、エアシャワー装置１０の外枠をなし、エアシャワー室２４を側方及び上方から囲むよう互いに接続する部材であり、第１側壁部１１（第１壁部材）と、第２側壁部１６と、天井壁部１８と、を有している。エアシャワー室２４は、第１側壁部１１（第１壁部材）、第２側壁部１６、天井壁部１８、設置面、及び扉部２０，２１に囲まれている。

【0019】

第１側壁部１１は、エアシャワー装置１０の外枠をなす外壁１１ａと、外壁１１ａとの間に除塵室１１ｃを形成しつつ除塵室１１ｃとエアシャワー室２４とを間仕切りするよう外壁１１ａと間隔をあけて配置された内壁１１ｂと、外壁１１ａと内壁１１ｂとを接続する一対の側壁１１ｄ，１１ｅと、を有する、内部が空洞の部材である。外壁１１ａと内壁１１ｂとの間には、除塵室１１ｃのほか、上部空間１１ｈが形成され、除塵室１１ｃと上部空間１１ｈ間を間仕切りする仕切板１１ｆが配置されている。また、外壁１１ａと内壁１１ｂとの間には、除塵室１１ｃを上流側除塵室１１ｃ１及び下流側除塵室１１ｃ２の上下２つに間仕切りする仕切板１１ｇが配置されている。
扉部２０は、第１側壁部１４、第２側壁部１６、及び天井壁部１８により形成される２つの開口の一方（図１の手前側）に配置され、扉部２１は、２つの開口の他方（図１の奥側）に配置されている。

【0020】

第１側壁部１１の内壁１１ｂには、吹出口を構成するパンカールーバ３４を通してエアシャワー室２４内に噴射した空気を吸気する吸気口２６が設けられ、上流側除塵室１１ｃ１には、吸気口２６から吸気した空気中の微粒子の一部を除去するプレフィルタ２７が配置されている。

【0021】

第１側壁部１４の下流側除塵室１１ｃ２には、さらに、フィルタ固定部材２８と、循環ファン２３と、循環ファン２３を用いてフィルタ固定部材２８と外壁１１ａとの間に導入された空気を清浄するエアフィルタ３０と、が配置されている。

【0022】

循環ファン２３は、上流側除塵室１１ｃ１内に、フィルタ固定部材２８との間にガスケット又はゴムフランジを挟んでフィルタ固定部材２８と接続される。すなわち、仕切板１１ｇの高さ位置は、フィルタ固定部材２８と循環ファン２３の間に位置している。循環ファン２３は、吸気口２６からエアシャワー室２４内の空気を取り込んでエアフィルタ３０を通過させ、吹出口からエアシャワー室２４内に送り込む。第１側壁部１４の内壁１１ｂには、複数の吹出口を構成するパンカールーバ３４が設けられている。循環ファン２３は、上流側除塵室１１ｃ１内の空気を引き込んでフィルタ固定部材２８に空気を導入する。吹出口の断面は絞られているので、第１側壁部１４の下流側除塵室１１ｃ２内の圧力は高くなっている。したがって、パンカールーバ３４から空気が勢い良く噴出される。

【0023】

エアフィルタ３０は、ＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter）等の高性能エアフィルタが用いられる。高性能エアフィルタは、粒径１μｍ以下の対象粒子において、計数法（ＪＩＳ Ｂ ９９２７， ＪＩＳ Ｚ ８９０１ １３種 ０．３μｍＤＯＰ）で９５％～９９．９９％の捕集効率を有し、かつ、粒径２．５μｍの対象粒径において下記計測法で９９％以上の捕集効率を有するものである。すなわち、２．５μｍの粒径の大気塵粒子をエアフィルタ３０に流し、透過した粒子の個数を計測し、その個数に大気塵粒子の密度３ｇ／ｃｍ³を乗算して透過粒子の質量を求める。さらに、透過前の粒子濃度からエアフィルタ３０に流した粒子の質量を求める。この２つの質量の比率から捕集効率（％）を計算する。エアフィルタ３０としては、例えば、微細ガラス繊維で抄紙したガラス繊維紙、微細合成繊維にエレクトロレル加工して構成された帯電不織布、あるいはＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）樹脂膜を延伸加工したＰＴＦＥ膜を濾材として用い、これらの濾材を、セパレータ、リボン（ホットメルト樹脂）あるいはエンボス加工を用いてプリーツ化して、樹脂あるいは金属製のフィルタ枠にウレタン樹脂等のシール剤で固定したものである。

【0024】

第２側壁部１６は、エアシャワー室２４を挟んで第１側壁部１４に対向するように設けられている。
天井壁部１８は、第１側壁部１４及び第２側壁部１６の上端部同士を接続する。
天井壁部１８は、エアシャワー室２４の天井面を形成する。天井壁部１８のエアシャワー室２４の天井面には照明灯１９が設けられている。
第２側壁部１６及び天井壁部１８は、第１側壁部１１と同様に内部が空洞の部材である。
第１側壁部１１、第２側壁部１６、及び天井壁部１８は、例えば、ボンデ鋼板からなる部材である。第１側壁部１４、第２側壁部１６、天井壁部１８、及び、扉部２０，２１には組み立て可能に連結部が設けられている。
扉部２０，２１は、利用者が出入りすることができる部分で、開閉式となっている。

【0025】

このようなエアシャワー装置１０では、扉部２０を開けてエアシャワー室２４内に入った利用者が扉部２０を閉めると。図示されないスイッチが作動し、循環ファン２３が作動する。これにより、パンカールーバ３４から空気が噴射する。利用者の衣服や頭髪から離脱し落下した微粒子は、吸気口２６から空気とともに吸引される。空気中に含まれる微粒子の一部は、プレフィルタ２７によって除去され、循環ファン２３を介してフィルタ固定部材２８と外壁１１ａとの間の空間に導入される。導入された空気中の微粒子は、エアフィルタ３０により濾過され、清浄な空気がパンカールーバ３４から噴射される。利用者は、空気の噴射中、必要に応じてエアシャワー室２４内で向きを変えながら、噴射した空気を浴びる。こうして、利用者の衣服あるいは頭髪に付着した微粒子を除去する。空気の噴射は１回当たり、風速２５ｍ／秒以上で、数１０秒、例えば２０秒間継続する。エアシャワー装置１０の動作については、公知のエアシャワー装置と同様に行われる。例えば、利用者は、扉部２０をあけて入室後、扉部２０，２１は施錠され、エアシャワーを浴びなければ、扉部２１をあけて退室することができない。

【0026】

（フィルタ固定部材）
次に、フィルタ固定部材２８について説明する。
図３は、フィルタ固定部材２８を、気流方向Ｙ（図５参照）の下流側から見て示す正面図である。図４は、フィルタ固定部材２８を、気流方向Ｙの上流側から見て示す背面図である。図５は、図３のＡ－Ａ線断面図である。

【0027】

フィルタ固定部材２８は、下流側除塵室１１ｃ２に面する外壁１１ａの壁面に取り付けられる。フィルタ固定部材２８は、空気導入部５１と、空気誘導部５５と、を有している。

【0028】

空気導入部５１は、外壁１１ａとの間に空気を導入するための導入空間５２（図４及び図５参照）を形成する導入壁部５３を有する。図示される例において、導入空間５２は、図５の奥行き方向を高さ方向とする略三角柱形状の空間であり、導入壁部５３は、三角柱の上面、底面、及び１つの側面と接する形状を有している。

【0029】

空気誘導部５５は、導入空間５２内の空気をエアフィルタ３０に誘導し、空気が流れる方向の下流側において開口した誘導空間５６を形成する誘導壁部５７を有している。図示される例において、誘導空間５６は、図５のＹ方向を高さ方向とする略四角柱形状の空間であり、誘導壁部５７は、Ｙ方向の上流側において、四角柱の４つの側面のうちの３つの側面と接し、Ｙ方向と直交する断面がコの字形状を有し、Ｙ方向の下流側において、四角柱の４つの側面と接する矩形状を有している。開口した誘導壁部５７の開口端部５８には、エアフィルタ３０が取り付けられる。開口端部５８は、開口を囲むＹ方向に見て矩形状の部分である。開口端部５８は、矩形状の開口端部５８の四辺のうちの一辺に位置する端部において、導入壁部５３の傾斜壁部５４（後述）と接続している。

【0030】

開口端部５８と気流方向Ｙの反対側の誘導壁部５７の端部６０（図４及び図５参照）は、誘導空間５６が導入空間５２と連通するよう、導入空間５２の側に開いた上述のコの字形状を有し、フィルタ固定部材２８がコの字の両端が延長された形状をなすよう、導入壁部５３の側面部５４ａ，５４ｂ（後述）と接続してなる接続壁部７０を形成している。すなわち、フィルタ固定部材２８は、外壁１１ａの壁面の側において、誘導空間５６及び導入空間５２を囲むよう誘導壁部５７と導入壁部５３が接続してなるコの字形状の接続壁部７０を有している。この接続壁部７０の外壁１１ａ側の端には、外壁１１ａにボルト及びナットで留められる複数の金具６１が取り付けられる。金具６１が外壁１１ａにボルト及びナットで留められることで、フィルタ固定部材２８は外壁１１ａに取り付けられる。

【0031】

フィルタ固定部材２８は、空気導入部５１及び空気誘導部５５が一体に形成された部材である。このため、上記プレナムボックスのように、互いに連結される構成部材の部分に、リベットやビスを打つための折り曲げられた端部を形成する必要がなく、また、リベットやビスを打つ作業が省ける。そして、フィルタ固定部材２８によれば、上記プレナムボックスの如く、構成部品同士の間に隙間があくこともないため、シール材で封止する必要がなく、シール材を設ける作業が省ける。このため、エアフィルタ３０を外壁１１ａに固定するための作業工数を大幅に減らせる。さらに、フィルタ固定部材２８には、シール材で封止される隙間がないため、上記プレナムボックスの如く、シール不良に起因して使用中に空気が漏れることがない。

【0032】

フィルタ固定部材２８は、樹脂成形体であることが好ましく、発泡樹脂成形体であることが特に好ましい。このようなフィルタ固定部材２８は軽量であるため、エアシャワー装置１０を組み立てる際に、フィルタ固定部材２８を、壁部材１１の空洞内に搬入し、さらに、ずれ落ちないように支えつつ外壁１１ａに取り付ける作業が容易になる。また、フィルタ固定部材２８を一体成型品として容易に製造でき、コストを低減できる。好ましい発泡樹脂としては、ポリスチレン、ポリウレタン、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン、が挙げられる。

【0033】

エアシャワー装置１０は、補強部材６３（図３及び図５参照）をさらに備えることが好ましい。補強部材６３は、開口端部５８とエアフィルタ３０との間に挟まれるよう、開口端部３８の端面（図５においてＹ方向下流側を向く面）を被覆する矩形状の部材である。補強部材６３は、図５に示されるようにＹ方向と直交する平面に沿って延びる平坦な形状の部材であることが好ましいが、例えば、矩形状の補強部材６３の四辺のうち傾斜壁部５４の側の一辺を除いた三辺に位置する部分において、当該平坦な形状の外周側の端から誘導壁部５７に沿ってＹ方向の上流側にさらに延びることで補強部材６３の周方向と直交する断面がＬ字形状を有する部材であることも好ましい。このような補強部材６３がエアフィルタ３０とフィルタ固定部材２８との間に介在することで、エアフィルタ３０をフィルタ固定部材２８に取り付ける際にエアフィルタ３０の押付力をフィルタ固定部材２８の当該端面の全体で受けることができ、特に発泡樹脂成形体である場合のフィルタ固定部材２８の強度を確保できる。このため、フィルタ固定部材２８の開口端部５８には、エアフィルタ３０をフィルタ固定部材２８に押し付けるために、エアフィルタ３０の下流側に配置した押さえ部材を、エアフィルタ３０が上流側に移動するようボルト及びナット（図示略）を用いて締め付けた際に、誘導壁部５７にＹ方向に延びるように設けたボルトが固定されるボルト固定孔５８ａ（図３参照）を起点とした誘導壁部５７における亀裂の発生等、フィルタ固定部材２８の損傷を抑えられる。この点から、補強部材６３は、例えばステンレス等の金属製部材であることが好ましい。なお、押さえ部材８１は、互いに平行に配置される断面Ｌ字形状で直線状に延びる２本の部材であり、それぞれ、両端部にボルトが貫通する貫通孔８１ａ（図３参照）を有している。エアフィルタ３０は、ボルト固定孔５８ａに固定されたボルトに対するナットの締め付け量を調節することで、エアフィルタ３０に対する押付力が調整される。ナットは、ボルトが貫通する押さえ部材８１の部分に対しＹ方向の下流側に配置される。なお、図５に示した押さえ部材８１の上下方向位置は、ボルト固定孔５８ａの上下方向位置に対してずれている。

【0034】

導入壁部５３は、空気が導入空間５２内を外壁１１ａの壁面に沿って（図５のＸ方向）流れるよう形成され、誘導壁部５７は、空気が誘導空間５６内を外壁１１ａの壁面の法線方向（図５のＹ方向）に流れるよう形成されている場合に、好適に用いられる。このような空気の流れが形成されるよう、導入壁部５３及び誘導壁部５７は複雑な形状を有しているが、上述のように、空気導入部５１及び空気誘導部５５が一体に形成されているので、壁部５３，５７の間等に隙間はなく、シール材を設ける必要がない。

【0035】

循環ファン２３は、上述したように、導入空間５２に向けて空気を吹き込むよう配置されている。そして、導入壁部５３は、導入空間５２内を空気が流れる方向に進むにつれ外壁１１ａの壁面に接近するよう外壁１１ａの壁面に対して傾斜して延びる傾斜壁部５４を有している。このように空気の流路が滑らかに絞られていることにより、循環ファン２３から送り込まれる空気の抵抗が少なく、パンカールーバ３４，３５から吹き出す空気の流速を高められる。また、循環ファン２３の側の導入空間５２の開口の大きさを確保できるため、風量の大きい比較的大きな循環ファン２３を用いることができ、パンカールーバ３４，３５から吹き出す空気の流速を高めることに寄与する。一方で、導入壁部５３は、傾斜壁部５４の図５の奥行き方向の両側に略三角形状の側面部５４ａ，５４ｂを有しており、複雑な形状を有しているが、フィルタ固定部材２８は、空気導入部５１及び空気誘導部５５が一体に形成された部材であるので、シール材を設ける必要がない。

【0036】

フィルタ固定部材２８は、上述したように、エアフィルタ３０がパンカールーバ３４と対向して配置されるよう、外壁１１ａの壁面に取り付けられる。当該壁面の法線方向の長さに関して、当該壁面の側のフィルタ固定部材２８の端とエアフィルタ３０と距離ｄ（図５参照）は、循環ファン２３が配置された側の導入壁部５３の端部の長さＤ（図５参照）の半分以下であることがより好ましく、Ｄ／１０≦ｄ≦Ｄを満たすことが好ましい。このように、距離ｄが短いことで、誘導壁部５７の強度を確保しやすく、特にフィルタ固定部材２８が発泡樹脂成形体である場合に有効である。また、省スペース化のために、外壁１１ａと内壁１１ｂの間隔（壁部材１１の幅）を短くした場合に、エアフィルタ３０がパンカールーバ３４と接触することを回避できる。上記間隔は、好ましくは１５０～３５０ｍｍであり、例えば２００ｍｍである。

【0037】

（エアシャワー装置の製造方法）
次に、エアシャワー装置の製造方法を説明する。
エアシャワー装置の製造方法は、エアシャワー装置本体を組み立てるステップと、フィルタ固定部材をエアシャワー装置本体の第１壁部材の壁の壁面に取り付けるステップと、エアフィルタをフィルタ固定部材に取り付けるステップと、を有している。

【0038】

エアシャワー装置本体は、複数の壁部材と、ファンと、を備える。言い換えると、エアシャワー装置本体は、フィルタ固定部材及びエアフィルタを除いたエアシャワー装置の部分を意味する。エアシャワー装置は、エアシャワー室内の被処理体に空気を吹き付ける装置である。
複数の壁部材は、エアシャワー装置の外枠をなし、エアシャワー室を囲むよう互いに接続する部材である。壁部材のうち第１壁部材は、外枠をなす外壁と、外壁との間に除塵室を形成しつつ除塵室とエアシャワー室とを間仕切りするよう外壁と間隔をあけて配置された内壁と、を有する。複数の壁部材は、例えば、上述の、第１側壁部１１（第１壁部材）と、第２側壁部１６と、天井壁部１８と、を有している。
ファンは、除塵室内に配置され、内壁に設けられた吸気口からエアシャワー室内の空気を取り込んでエアフィルタを通過させ、内壁に設けられた吹出口からエアシャワー室内に送り込む。ファンは、例えば上述の循環ファン２３である。

【0039】

エアシャワー装置本体を組み立てるステップでは、複数の壁部材を、エアシャワー室を囲むよう互いに接続する。

【0040】

フィルタ固定部材は、除塵室に面する壁の壁面に取り付けられる部材である。フィルタ固定部材は、壁面との間に空気を導入するための導入空間を形成する導入壁部を有する空気導入部と、導入空間内の空気をエアフィルタに誘導し、空気が流れる方向の下流側において開口した誘導空間を形成する誘導壁部を有し、開口にエアフィルタが取り付けられる空気誘導部と、を有する。フィルタ固定部材は、空気導入部及び空気誘導部が一体に形成された部材である。フィルタ固定部材は、例えば上述のフィルタ固定部材２８である。フィルタ固定部材の上述の接続壁部７０には、上述の複数の金具６１が取り付けられている。
フィルタ固定部材をエアシャワー装置本体の第１壁部材の壁（例えば外壁１１ａ）の壁面に取り付けるステップでは、具体的に、金具６１を外壁１１ａにボルト及びナットで留めることにより行われる。フィルタ固定部材２８、金具６１、及びボルト及びナット（図示略）は、フィルタ固定部材取付セットを構成する。
フィルタ固定部材のＹ方向の下流側に、上述した補強部材６３を設けることが好ましい。

【0041】

エアフィルタは、除塵室１１ｃ内に配置され、空気中の微粒子を捕集する。エアフィルタは、例えば上述のエアフィルタ３０である。
エアフィルタをフィルタ固定部材に取り付けるステップでは、例えば、上述の、押さえ部材８１、ボルト及びナットを用いて、エアフィルタ３０をフィルタ固定部材２８の開口端部５８に取り付ける。一実施形態によれば、図５に示すように、フィルタ固定部材２８の傾斜壁部５４は、Ｘ方向に進むにつれＹ方向長さが長くなるよう肉厚に形成された肉厚部５４ｃを有していることが好ましい。押さえ部材８１及びエアフィルタ３０を、フィルタ固定部材２８に対し所定の位置に配置した状態を維持しながらボルト及びナットを用いてフィルタ固定部材２８に押し付ける作業は、例えば、エアフィルタ３０を、自重により下方にずれないように外壁１１ａ側に押し付けながら行う必要がある。このような押し付けをしながら、押さえ部材８１を所定の位置に配置した状態を維持し、さらに、押さえ部材８１にボルト及びナットを取り付ける作業は困難を伴う。このような作業では、注意を払っても、エアフィルタ３０が自重により下方に位置ずれしてしまうことがある。エアフィルタ３０が下方に位置ずれすると、エアフィルタ３０の枠の角がフィルタ固定部材２８の傾斜壁部と接触し、特にフィルタ固定部材２８が発泡樹脂成形体である場合に、傾斜壁部が凹むあるいは孔があく等、損傷する場合がある。傾斜壁部５４が肉厚部５４ｃを有していることで、例えば、肉厚部５４ｃの上端をエアフィルタ３０の台座として用い、エアフィルタ３０を下方から肉厚部５４ｃによって支持することができる。このため、エアフィルタ３０を押し付ける作業を行う際に、エアフィルタ３０を下方に位置ずれしないように外壁１１ａ側に押し付ける必要がなく、エアフィルタ３０をフィルタ固定部材２８に押し付ける作業を容易に行える。また、フィルタ固定部材２８が発泡樹脂成形体である場合に、エアフィルタ３０との接触により傾斜壁部５４が容易に損傷してしまうことを抑えられる。このような観点から、肉厚部５４ｃの上端の位置は、エアフィルタ３０の取付位置（図３及び図５に示すエアフィルタ３０の位置）におけるエアフィルタ３０の下端の位置と一致していることが好ましく、水平方向に平坦な面を有していることがより好ましい。肉厚部５４ｃは、傾斜壁部５４の図５の奥行方向の少なくとも一部の領域に設けられていればよいが、フィルタ固定部材２８の損傷を抑制する観点から、傾斜壁部５４の図５の奥行方向の好ましくは半分以上の領域、より好ましくは全領域に設けられる。ここで、例えば上記プレナムボックスにエアフィルタ３０を取り付ける場合は、フィルタ固定部材２８への取り付けが完了するまでの間、エアフィルタ３０を下方から支持するために、エアフィルタ３０を乗せる台座（図示略）を外壁１１ａに溶接で設ける作業等が必要となり、作業負担が大きい。なお、フィルタ固定部材２８、押さえ部材８１、ボルト及びナットは、フィルタ固定セットを構成する。また、フィルタ固定部材２８、金具６１、及び、金具６１を留めるためのボルト及びナット、並びに、押さえ部材８１、及び、押さえ部材８１を留めるためのボルト及びナットは、フィルタ固定部材セットを構成する。

【0042】

上述したようにフィルタ固定部材を第１壁部材に取り付け、さらに、エアフィルタをフィルタ固定部材に取り付けた後、第１壁部材内に上述の仕切板１１ｆ、１１ｇを設け、第１壁部材の側壁１１ｄを閉じることで、エアシャワー装置本体が組み立てられ、エアシャワー装置が製造される。

【0043】

フィルタ固定部材２８は、被処理体として人に空気を吹き付けるよう構成されたエアシャワー装置だけでなく、被処理体として物品に空気を吹き付けるよう構成されたエアシャワー装置にも使用可能である。このタイプのエアシャワー装置は、比較的小さいエアシャワー室を有し、パスボックスとも呼ばれる。

【0044】

除塵室１１ｃは、上述した態様に制限されず、例えば、天井壁部１８の内部の空洞と連通させた空間により構成されていてもよい。この場合、天井壁部１８には、内部の清浄した空気をエアシャワー室２４に噴射するための複数の吹出口を備えるパンカールーバ（図示略）を備えることが好ましい。

【0045】

以上、本発明のエアシャワー装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。

【符号の説明】

【0046】

１０ エアシャワー装置
１１ 壁部材
１１ａ 外壁
１１ｂ 内壁
１１ｃ 除塵室
１１ｃ１ 上流側除塵室
１１ｃ２ 下流側除塵室
１１ｄ，１１ｅ 側壁
１１ｆ，１１ｇ 仕切板
１１ｈ 上部空間
１４ 第１側壁部（第１壁部材）
１６ 第２側壁部
１８ 天井壁部
２０，２１ 扉部
２３ 循環ファン
２４ エアシャワー室
２６ 吸気口
２７ プレフィルタ
２８ フィルタ固定部材
３０ エアフィルタ
３４ パンカールーバ
４０ 連結部
５１ 空気導入部
５２ 導入空間
５３ 導入壁部
５４ 傾斜壁部
５４ａ，５４ｂ 側面部
５４ｃ 肉厚部
５５ 空気誘導部
５６ 誘導空間
５７ 誘導壁部
５８ 開口端部
５８ａ ボルト固定孔
６０ 端部
６１ 金具
６３ 補強部材
７０ 接続壁部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】