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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-09-20
(45)【発行日】2024-10-01
(54)【発明の名称】ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置
(51)【国際特許分類】
B41J 2/14 20060101AFI20240924BHJP
【ＦＩ】
B41J2/14 303
B41J2/14 605
B41J2/14 603
【請求項の数】
10
(21)【出願番号】P 2020210928
(22)【出願日】2020-12-21
(65)【公開番号】P2022097788
(43)【公開日】2022-07-01
【審査請求日】2023-10-11
(73)【特許権者】
【識別番号】501167725
【氏名又は名称】エスアイアイ・プリンテック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100165179
【弁理士】
【氏名又は名称】田▲崎▼ 聡
(74)【代理人】
【識別番号】100126664
【弁理士】
【氏名又は名称】鈴木 慎吾
(74)【代理人】
【識別番号】100161207
【弁理士】
【氏名又は名称】西澤 和純
(72)【発明者】
【氏名】中山 仁
【審査官】中村 博之
(56)【参考文献】
【文献】特開平１１－３４８２７８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－１２２５５３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－０１０２１１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－０７４７５９（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許第０６５６８７９５（ＵＳ，Ｂ１）
【文献】中国実用新案第２０３８５４３１７（ＣＮ，Ｕ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ４１Ｊ ２／０１－２／２１５
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１方向に延びる噴射チャネル及び非噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に交互に配列されたアクチュエータプレートと、前記噴射チャネル内に連通する噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートに向かい合う噴射孔プレートと、を備え、
前記非噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートと一体に形成された閉塞部によって、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射孔プレートとの対向面に対して離間した位置で終端し、
前記噴射チャネルは、前記対向面上で開口しているヘッドチップ。
【請求項2】
前記アクチュエータプレートと前記噴射孔プレートとの間には、前記噴射チャネル内と前記噴射孔内とを各別に連通させる連通路が形成された中間プレートが配置されている請求項１に記載のヘッドチップ。
【請求項3】
前記アクチュエータプレートのうち前記対向面以外の面に向かい合う流路部材を備え、前記流路部材は、
複数の前記噴射チャネルに連通する入口流路と、
複数の前記連通路にまとめて連通する出口流路と、を備えている請求項２に記載のヘッドチップ。
【請求項4】
第１方向に延びる噴射チャネル及び非噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に交互に配列されたアクチュエータプレートと、
前記噴射チャネル内に連通する噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートに向かい合う噴射孔プレートと、を備え、
前記非噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射孔プレートとの対向面に対して離間した位置で終端し、
前記噴射チャネルは、前記対向面上で開口し、
前記対向面は、前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向を向く面であり、
前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向から見て前記第２方向に交差する厚さ方向に重ね合わされた流路部材を備え、
前記流路部材は、
前記第１方向において前記非噴射チャネルと前記対向面との間に位置する部分に形成され、前記噴射チャネル内に各別に連通する循環路と、
前記循環路に対して前記第１方向で前記対向面側とは反対側に位置する部分に形成され、前記噴射チャネル内に連通する入口流路と、
複数の前記循環路にまとめて連通する出口流路と、を備えているヘッドチップ。
【請求項5】
前記循環路の流路断面積は、前記噴射チャネルから離れるに従い増加している請求項４に記載のヘッドチップ。
【請求項6】
前記非噴射チャネルのうち前記対向面側の端面は、前記第１方向で前記対向面に向かうに従い前記厚さ方向で前記流路部材から離れる方向に延びる傾斜面に形成されている請求項４又は請求項５に記載のヘッドチップ。
【請求項7】
前記循環路は、前記流路部材のうち、前記第１方向における前記非噴射チャネルと前記対向面との間に位置する部分において、前記対向面から離れた位置に設けられている請求項４から請求項６の何れか１項に記載のヘッドチップ。
【請求項8】
第１方向に延びる噴射チャネル及び非噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に交互に配列されたアクチュエータプレートと、
前記噴射チャネル内に連通する噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートに向かい合う噴射孔プレートと、を備え、
前記非噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射孔プレートとの対向面に対して離間した位置で終端し、
前記噴射チャネルは、前記対向面上で開口し、
前記非噴射チャネルのうち前記対向面側の端面は、
前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向から見て前記第２方向に交差する厚さ方向を向く第１面から離れるに従い前記第１方向で前記対向面から離れる方向に延びる第１傾斜面と、
前記アクチュエータプレートにおける前記厚さ方向で前記第１面とは反対に位置する第２面から離れるに従い前記第１方向で前記対向面から離れるとともに、前記第１傾斜面に連なる第２傾斜面と、を備えているヘッドチップ。
【請求項9】
請求項１から請求項８の何れか１項に記載のヘッドチップを備えている液体噴射ヘッド。
【請求項10】
請求項９に記載の液体噴射ヘッドを備えている液体噴射記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置に関する。
【背景技術】
【0002】
インクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドは、インクジェットヘッドに搭載されるヘッドチップを通じて被記録媒体にインクを吐出する。ヘッドチップは、吐出チャネル及び非吐出チャネルが形成されたアクチュエータプレートと、吐出チャネルに連通するノズル孔を有するノズルプレートと、を備えている。吐出チャネル及び非吐出チャネルは、駆動壁を隔てて交互に配列されている（例えば、下記特許文献１参照）。
ヘッドチップにおいて、インクを吐出させるには、駆動壁に形成された電極間に電圧を印加して、駆動壁を厚み滑り変形させる。これにより、吐出チャネル内の容積が変化することで、吐出チャネル内のインクがノズル孔を通じて吐出される。
ヘッドチップにおいて、インクを吐出させるには、駆動壁に形成された電極間に電圧を印加して、駆動壁を厚み滑り変形させる。これにより、吐出チャネル内の容積が変化することで、吐出チャネル内のインクがノズル孔を通じて吐出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１８－１２２５５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、ヘッドチップにあっては、アクチュエータプレートとノズルプレートとの表面性状のばらつきや貼り合わせ不良等により、アクチュエータプレートとノズルプレートとの間に微小隙間が意図せずに形成される可能性がある。仮に、吐出チャネル内のインクが微小隙間を通じて非吐出チャネル内に流入すると、非吐出チャネルの内面に形成された電極がインクによって腐食や短絡する可能性がある。
【0005】
本開示は、電気的な信頼性を確保し、耐久性を向上できるヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記課題を解決するために、本発明は以下の態様を採用した。
（１）本発明の一態様に係るヘッドチップは、第１方向に延びる噴射チャネル及び非噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に交互に配列されたアクチュエータプレートと、前記噴射チャネル内に連通する噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートに向かい合う噴射孔プレートと、を備え、前記非噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射孔プレートとの対向面に対して離間した位置で終端し、前記噴射チャネルは、前記対向面上で開口している。
（１）本発明の一態様に係るヘッドチップは、第１方向に延びる噴射チャネル及び非噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に交互に配列されたアクチュエータプレートと、前記噴射チャネル内に連通する噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートに向かい合う噴射孔プレートと、を備え、前記非噴射チャネルは、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射孔プレートとの対向面に対して離間した位置で終端し、前記噴射チャネルは、前記対向面上で開口している。
【0007】
本態様によれば、非噴射チャネルが対向面上で開放されないので、アクチュエータプレートの対向面と噴射孔プレートとの間に意図せずに形成される微小隙間を通じて噴射チャネル内の液体が非噴射チャネル内に進入するのを抑制できる。
そのため、非噴射チャネルの内面に形成された電極が腐食や短絡するのを抑制し、電気的信頼性に優れ、耐久性の向上を図ったヘッドチップを提供できる。また、アクチュエータプレートの対向面に要求される表面性状を緩和できるので、製造効率の向上や歩留まりの向上を図ることができる。
そのため、非噴射チャネルの内面に形成された電極が腐食や短絡するのを抑制し、電気的信頼性に優れ、耐久性の向上を図ったヘッドチップを提供できる。また、アクチュエータプレートの対向面に要求される表面性状を緩和できるので、製造効率の向上や歩留まりの向上を図ることができる。
【0008】
（２）上記（１）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記アクチュエータプレートと前記噴射孔プレートとの間には、前記噴射チャネル内と前記噴射孔内とを各別に連通させる連通路が形成された中間プレートが配置されていることが好ましい。
本態様によれば、非噴射チャネルが対向面上で開放されないので、第２方向における連通路の寸法を広く確保できる。そのため、例えば噴射孔及び連通路間や噴射チャネル及び連通路間での第２方向での位置ずれを許容し易い。したがって、噴射孔及び連通路間や噴射チャネル及び連通路間での連通部分の流路断面積を確保できる。
本態様によれば、非噴射チャネルが対向面上で開放されないので、第２方向における連通路の寸法を広く確保できる。そのため、例えば噴射孔及び連通路間や噴射チャネル及び連通路間での第２方向での位置ずれを許容し易い。したがって、噴射孔及び連通路間や噴射チャネル及び連通路間での連通部分の流路断面積を確保できる。
【0009】
（３）上記（２）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記アクチュエータプレートのうち前記対向面以外の面に向かい合う流路部材を備え、前記流路部材は、複数の前記噴射チャネルに連通する入口流路と、複数の前記連通路にまとめて連通する出口流路と、を備えていることが好ましい。
本態様によれば、第２方向における連通路の寸法を広く確保できるので、連通路の流路断面積を確保し易い。この場合には、連通路を流れる液体の流量を増加させることができるので、噴射孔での気泡詰まりの抑制や、噴射孔を通じた液体の噴射量の増加を図ることができる。また、例えば液体噴射時において一の噴射チャネル内で発生する圧力変動を連通路内で散逸させ易い。そのため、複数の噴射チャネルが出口流路を通じて連通している場合であっても、一の噴射チャネル内で発生した圧力変動が循環路及び出口流路を通じて他の噴射チャネルに伝播される、いわゆるクロストークを抑制できる。
一方、第２方向における連通路の寸法を広く確保できるので、連通路の流路断面積を確保しつつ、中間プレートの厚さ（第１方向の寸法）を抑えることができる。そのため、液体噴射時において噴射チャネル内で発生した圧力変動を噴射孔まで効果的に伝播させることができる。
その結果、噴射性能を向上させることができる。
本態様によれば、第２方向における連通路の寸法を広く確保できるので、連通路の流路断面積を確保し易い。この場合には、連通路を流れる液体の流量を増加させることができるので、噴射孔での気泡詰まりの抑制や、噴射孔を通じた液体の噴射量の増加を図ることができる。また、例えば液体噴射時において一の噴射チャネル内で発生する圧力変動を連通路内で散逸させ易い。そのため、複数の噴射チャネルが出口流路を通じて連通している場合であっても、一の噴射チャネル内で発生した圧力変動が循環路及び出口流路を通じて他の噴射チャネルに伝播される、いわゆるクロストークを抑制できる。
一方、第２方向における連通路の寸法を広く確保できるので、連通路の流路断面積を確保しつつ、中間プレートの厚さ（第１方向の寸法）を抑えることができる。そのため、液体噴射時において噴射チャネル内で発生した圧力変動を噴射孔まで効果的に伝播させることができる。
その結果、噴射性能を向上させることができる。
【0010】
（４）上記（１）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記対向面は、前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向を向く面であり、前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向から見て前記第２方向に交差する厚さ方向に重ね合わされた流路部材を備え、前記流路部材は、前記第１方向において前記非噴射チャネルと前記対向面との間に位置する部分に形成され、前記噴射チャネル内に各別に連通する循環路と、前記循環路に対して前記第１方向で前記対向面側とは反対側に位置する部分に形成され、前記噴射チャネル内に連通する入口流路と、複数の前記循環路にまとめて連通する出口流路と、を備えていることが好ましい。
本態様によれば、非噴射チャネルが対向面上で開放されないので、第２方向における循環路の寸法を広く確保でき、循環路の流路断面積を確保し易い。この場合には、循環路を流れる液体の流量を増加させることができるので、噴射孔での気泡詰まりの抑制や、噴射孔を通じた液体の噴射量の増加を図ることができる。また、例えば液体噴射時において一の噴射チャネル内で発生する圧力変動を循環路内で散逸させ易い。そのため、複数の噴射チャネルが出口流路を通じて連通している場合であっても、一の噴射チャネル内で発生した圧力変動が循環路及び出口流路を通じて他の噴射チャネルに伝播される、いわゆるクロストークを抑制できる。
一方、第２方向における循環路の寸法を広く確保できるので、循環路の流路断面積を確保しつつ、中間プレートの厚さ（第１方向の寸法）を抑えることができる。そのため、液体噴射時において噴射チャネル内で発生した圧力変動を噴射孔まで効果的に伝播させることができる。
その結果、噴射性能を向上させることができる。
本態様によれば、非噴射チャネルが対向面上で開放されないので、第２方向における循環路の寸法を広く確保でき、循環路の流路断面積を確保し易い。この場合には、循環路を流れる液体の流量を増加させることができるので、噴射孔での気泡詰まりの抑制や、噴射孔を通じた液体の噴射量の増加を図ることができる。また、例えば液体噴射時において一の噴射チャネル内で発生する圧力変動を循環路内で散逸させ易い。そのため、複数の噴射チャネルが出口流路を通じて連通している場合であっても、一の噴射チャネル内で発生した圧力変動が循環路及び出口流路を通じて他の噴射チャネルに伝播される、いわゆるクロストークを抑制できる。
一方、第２方向における循環路の寸法を広く確保できるので、循環路の流路断面積を確保しつつ、中間プレートの厚さ（第１方向の寸法）を抑えることができる。そのため、液体噴射時において噴射チャネル内で発生した圧力変動を噴射孔まで効果的に伝播させることができる。
その結果、噴射性能を向上させることができる。
【0011】
（５）上記（４）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記循環路の流路断面積は、前記噴射チャネルから離れるに従い増加していることが好ましい。
本態様によれば、循環路の流路断面積を除々に増大できるため、噴射孔での気泡詰まりの抑制や、噴射孔を通じた液体の噴射量の増加を図ることができる。
また、例えば液体噴射時において一の噴射チャネル内で発生する圧力変動を循環路内で散逸させ易いため、クロストークを抑制できる。
本態様によれば、循環路の流路断面積を除々に増大できるため、噴射孔での気泡詰まりの抑制や、噴射孔を通じた液体の噴射量の増加を図ることができる。
また、例えば液体噴射時において一の噴射チャネル内で発生する圧力変動を循環路内で散逸させ易いため、クロストークを抑制できる。
【0012】
（６）上記（４）又は（５）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記非噴射チャネルのうち前記対向面側の端面は、前記第１方向で前記対向面に向かうに従い前記厚さ方向で前記流路部材から離れる方向に延びる傾斜面に形成されていることが好ましい。
本態様によれば、アクチュエータプレートのうち流路部材に重ね合わされる面上において、非噴射チャネルの端面と対向面との間に位置する部分の面積を確保し易い。そのため、循環路の流路断面積を広く確保できる。これにより、ヘッドチップ内での液体の循環流量を増加させることができるので、噴射孔での気泡詰まりの抑制や、噴射孔を通じた液体の噴射量の増加を図ることができる。
また、例えば液体噴射時において一の噴射チャネル内で発生する圧力変動を循環路内で散逸させ易いため、クロストークを抑制できる。
本態様によれば、アクチュエータプレートのうち流路部材に重ね合わされる面上において、非噴射チャネルの端面と対向面との間に位置する部分の面積を確保し易い。そのため、循環路の流路断面積を広く確保できる。これにより、ヘッドチップ内での液体の循環流量を増加させることができるので、噴射孔での気泡詰まりの抑制や、噴射孔を通じた液体の噴射量の増加を図ることができる。
また、例えば液体噴射時において一の噴射チャネル内で発生する圧力変動を循環路内で散逸させ易いため、クロストークを抑制できる。
【0013】
（７）上記（４）から（６）の何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記循環路は、前記流路部材のうち、前記第１方向における前記非噴射チャネルと前記対向面との間に位置する部分において、前記対向面から離れた位置に設けられていることが好ましい。
本態様によれば、流路部材における第１方向を向く端面上において、循環路が開放されないので、流路部材の端面の全体が平坦な連続面となる。そのため、流路部材の端面のうち、噴射孔プレートとの接合面積を確保し易くなり、接合強度を確保できる。その結果、ヘッドチップの耐久性を確保し易い。
本態様によれば、流路部材における第１方向を向く端面上において、循環路が開放されないので、流路部材の端面の全体が平坦な連続面となる。そのため、流路部材の端面のうち、噴射孔プレートとの接合面積を確保し易くなり、接合強度を確保できる。その結果、ヘッドチップの耐久性を確保し易い。
【0014】
（８）上記（１）から（７）の何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記非噴射チャネルのうち前記対向面側の端面は、前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向から見て前記第２方向に交差する厚さ方向を向く第１面から離れるに従い前記第１方向で前記対向面から離れる方向に延びる第１傾斜面と、前記アクチュエータプレートにおける前記厚さ方向で前記第１面とは反対に位置する第２面から離れるに従い前記第１方向で前記対向面から離れるとともに、前記第１傾斜面に連なる第２傾斜面と、を備えていることが好ましい。
本態様によれば、例えばアクチュエータプレートに対して一方の面のみからダイサーを進入させて非噴射チャネルを形成する場合に比べ、非噴射チャネルの端面と対向面との間の最大寸法を抑えることができる。その結果、噴射チャネルと非噴射チャネルとの第２方向での対向領域を確保できる。そのため、噴射チャネルと非噴射チャネルとの内面にそれぞれ形成された電極同士の対向面積を確保できるので、ポンプストロークを確保し、液体噴射時における駆動壁の変形体積を増加できる。駆動壁の変形体積が増加することで、同一の噴射をするための印可電圧を下げることができる。また、同一の印可電圧の場合に噴射速度の向上等の噴射性能の向上が期待できる。
本態様によれば、例えばアクチュエータプレートに対して一方の面のみからダイサーを進入させて非噴射チャネルを形成する場合に比べ、非噴射チャネルの端面と対向面との間の最大寸法を抑えることができる。その結果、噴射チャネルと非噴射チャネルとの第２方向での対向領域を確保できる。そのため、噴射チャネルと非噴射チャネルとの内面にそれぞれ形成された電極同士の対向面積を確保できるので、ポンプストロークを確保し、液体噴射時における駆動壁の変形体積を増加できる。駆動壁の変形体積が増加することで、同一の噴射をするための印可電圧を下げることができる。また、同一の印可電圧の場合に噴射速度の向上等の噴射性能の向上が期待できる。
【0015】
（９）本開示の一態様に係る液体噴射ヘッドは、上記（１）から（９）の何れかの態様に係るヘッドチップを備えている。
本態様によれば、上記態様に係るヘッドチップを備えているので、信頼性に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。
本態様によれば、上記態様に係るヘッドチップを備えているので、信頼性に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。
【0016】
（１０）本開示の一態様に係る液体噴射記録装置は、上記（１０）の態様に係る液体噴射ヘッドを備えている。
本態様によれば、上記態様に係るヘッドチップを備えているので、信頼性に優れた液体噴射記録装置を提供できる。
本態様によれば、上記態様に係るヘッドチップを備えているので、信頼性に優れた液体噴射記録装置を提供できる。
【発明の効果】
【0017】
本開示の一態様によれば、電気的な信頼性を確保し、耐久性を向上できるヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【図1】第１実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。
【図2】第１実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図である。
【図7】第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図8】第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図である。
【図9】第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図である。
【図10】第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図である。
【図11】第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図である。
【図12】変形例に係るヘッドチップにおいて、非吐出チャネルに沿う断面を示す断面図である。
【図13】変形例に係るヘッドチップにおいて、非吐出チャネルに沿う断面を示す断面図である。
【図14】第２実施形態に係るヘッドチップにおいて、吐出チャネルに沿う断面を示す断面図である。
【図17】第３実施形態に係るヘッドチップにおいて、吐出チャネルに沿う断面を示す断面図である。
【図18】変形例に係るヘッドチップにおいて、吐出チャネルに沿う断面を示す断面図である。
【図19】変形例に係るヘッドチップにおいて、非吐出チャネルに沿う断面を示す断面図である。
【図20】第４実施形態に係るヘッドチップにおいて、吐出チャネルに沿う断面を示す断面図である。
【図21】第４実施形態に係るヘッドチップにおいて、非吐出チャネルに沿う断面を示す断面図である。
【図22】変形例に係るヘッドチップにおいて、吐出チャネルに沿う断面を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0019】
以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する実施形態や変形例において、対応する構成については同一の符号を付して説明を省略する場合がある。なお、以下の説明において、例えば「平行」や「直交」、「中心」、「同軸」等の相対的又は絶対的な配置を示す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差や同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。以下の実施形態では、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【0020】
（第１実施形態）
［プリンタ１］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、第1実施形態のプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インク供給機構４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、走査機構６と、を備えている。
［プリンタ１］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、第1実施形態のプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インク供給機構４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、走査機構６と、を備えている。
【0021】
以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。この場合、Ｘ方向は被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向（副走査方向）に一致している。Ｙ方向は走査機構６の走査方向（主走査方向）に一致している。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する高さ方向（重力方向）を示している。以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のうち、図中矢印側をプラス（＋）側とし、矢印とは反対側をマイナス（－）側として説明する。本明細書において、＋Ｚ側は重力方向の上方に相当し、－Ｚ側は重力方向の下方に相当する。
【0022】
搬送機構２，３は、被記録媒体Ｐを＋Ｘ側に搬送する。搬送機構２，３は、例えばＹ方向に延びる一対のローラ１１，１２をそれぞれ含んでいる。
インク供給機構４は、インクが収容されたインクタンク１５と、インクタンク１５とインクジェットヘッド５とを接続するインク配管１６と、を備えている。インクタンク１５には、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク１５に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。なお、インクとしては、溶剤に水を使用した水性インクを用いることも可能である。
インク供給機構４は、インクが収容されたインクタンク１５と、インクタンク１５とインクジェットヘッド５とを接続するインク配管１６と、を備えている。インクタンク１５には、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク１５に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。なお、インクとしては、溶剤に水を使用した水性インクを用いることも可能である。
【0023】
走査機構６は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。走査機構６は、ガイドレール２２と、Ｙ方向に移動可能にガイドレール２２に支持されたキャリッジ２３と、を備えている。インクジェットヘッド５は、被記録媒体Ｐへの印字動作の際において、キャリッジ２３に搭載された状態でＹ方向に往復移動する。
【0024】
＜インクジェットヘッド５＞
図１に示すように、インクジェットヘッド５は、一つのキャリッジ２３にＹ方向に並んで搭載されている。インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ５０（図２参照）と、インクタンク１５及びヘッドチップ５０間を接続するインク供給部（不図示）と、ヘッドチップ５０に駆動電圧を印加する制御部（不図示）と、を備えている。
図１に示すように、インクジェットヘッド５は、一つのキャリッジ２３にＹ方向に並んで搭載されている。インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ５０（図２参照）と、インクタンク１５及びヘッドチップ５０間を接続するインク供給部（不図示）と、ヘッドチップ５０に駆動電圧を印加する制御部（不図示）と、を備えている。
【0025】
＜ヘッドチップ５０＞
図２は、ヘッドチップ５０の分解斜視図である。
図２に示すヘッドチップ５０は、後述する吐出チャネル６１における延在方向（Ｚ方向）の端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのヘッドチップ５０である。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１（図４等参照）と、アクチュエータプレート５３と、カバープレート（流路部材）５４と、を備えている。
図２は、ヘッドチップ５０の分解斜視図である。
図２に示すヘッドチップ５０は、後述する吐出チャネル６１における延在方向（Ｚ方向）の端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのヘッドチップ５０である。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１（図４等参照）と、アクチュエータプレート５３と、カバープレート（流路部材）５４と、を備えている。
【0026】
アクチュエータプレート５３は、駆動プレート５５と、バックプレート５６と、がＹ方向に重ね合わされた構成である。駆動プレート５５及びバックプレート５６は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されている。駆動プレート５５は、例えば分極方向がＹ方向で異なる２枚の圧電プレートが積層された構成である（いわゆるシェブロンタイプ）。なお、アクチュエータプレート５３は、少なくとも駆動プレート５５が圧電材料で形成されていれば、バックプレート５６は圧電材料以外の材料で形成されていてもよい。また、アクチュエータプレート５３は、分極方向がＹ方向（厚さ方向）の全域で一方向な一枚の圧電プレートで形成されていてもよい（いわゆるモノポールタイプ）。
【0027】
アクチュエータプレート５３には、インクが充填される吐出チャネル（噴射チャネル）６１、及びインクが充填されない非吐出チャネル（非噴射チャネル）６２が形成されている。各チャネル６１，６２は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３に対してＹ方向に進入させて形成される。各チャネル６１，６２は、アクチュエータプレート５３において、Ｘ方向（第２方向）に間隔をあけた状態で交互に配列されている。なお、本実施形態では、チャネル延在方向がＺ方向（第１方向）に一致する構成について説明するが、チャネル延在方向がＺ方向に交差していてもよい。
【0028】
図３は、図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に対応する断面図である。以下の説明において、＋Ｙ側を表面側とし、－Ｙ側を裏面側とし、＋Ｚ側を上側とし、－Ｚ側を下側として説明する。
図３に示すように、吐出チャネル６１は、アクチュエータプレート５３の表面上で開口するとともに、Ｚ方向に延びている。吐出チャネル６１は、延在部６１ａと、切り上がり部６１ｂと、を備えている。
延在部６１ａは、Ｙ方向の深さが一様な部分である。延在部６１ａの下端は、アクチュエータプレート５３の下端面において開放されている。なお、本実施形態において、延在部６１ａは、駆動プレート５５をＹ方向に貫通している。したがって、延在部６１ａの底面は、バックプレート５６の表面によって形成されている。
図３に示すように、吐出チャネル６１は、アクチュエータプレート５３の表面上で開口するとともに、Ｚ方向に延びている。吐出チャネル６１は、延在部６１ａと、切り上がり部６１ｂと、を備えている。
延在部６１ａは、Ｙ方向の深さが一様な部分である。延在部６１ａの下端は、アクチュエータプレート５３の下端面において開放されている。なお、本実施形態において、延在部６１ａは、駆動プレート５５をＹ方向に貫通している。したがって、延在部６１ａの底面は、バックプレート５６の表面によって形成されている。
【0029】
切り上がり部６１ｂは、延在部６１ａの上端に連なっている。切り上がり部６１ｂは、上方に向かうに従いＹ方向の深さが漸次浅くなっている。具体的に、切り上がり部６１ｂの底面は、上方に向かうに従い表面側に向けて湾曲しながら延びる傾斜面に形成されている。
【0030】
図４は、図２のＩＶ－ＩＶ線に沿う断面図である。
図４に示すように、非吐出チャネル６２は、アクチュエータプレート５３の表面上で開口するとともに、Ｚ方向に延びている。非吐出チャネル６２は、延在部６２ａと、切り上がり部６２ｂと、を備えている。
延在部６２ａは、Ｙ方向の深さが一様な部分である。延在部６２ａの上端は、アクチュエータプレート５３の上端面において開放されている。本実施形態において、延在部６２ａは、駆動プレート５５をＹ方向に貫通している。したがって、延在部６２ａの底面は、バックプレート５６の表面によって形成されている。
図４に示すように、非吐出チャネル６２は、アクチュエータプレート５３の表面上で開口するとともに、Ｚ方向に延びている。非吐出チャネル６２は、延在部６２ａと、切り上がり部６２ｂと、を備えている。
延在部６２ａは、Ｙ方向の深さが一様な部分である。延在部６２ａの上端は、アクチュエータプレート５３の上端面において開放されている。本実施形態において、延在部６２ａは、駆動プレート５５をＹ方向に貫通している。したがって、延在部６２ａの底面は、バックプレート５６の表面によって形成されている。
【0031】
切り上がり部６２ｂは、延在部６２ａの下端に連なっている。切り上がり部６２ｂは、下方に向かうに従いＹ方向の深さが漸次浅くなっている。切り上がり部６２ｂの底面（非噴射チャネルのうち対向面側の端面）は、下方に向かうに従い表面側に向けて湾曲しながら延びる傾斜面に形成されている。
【0032】
図５は、図２のＶ矢視に対応する正面図である。
図２、図５に示すように、アクチュエータプレート５３のうち、吐出チャネル６１及び非吐出チャネル６２間に位置する部分は、それぞれ駆動壁６５を構成している。したがって、吐出チャネル６１は、一対の駆動壁６５によってＸ方向の両側が囲まれている。
図２、図５に示すように、アクチュエータプレート５３のうち、吐出チャネル６１及び非吐出チャネル６２間に位置する部分は、それぞれ駆動壁６５を構成している。したがって、吐出チャネル６１は、一対の駆動壁６５によってＸ方向の両側が囲まれている。
【0033】
図４に示すように、アクチュエータプレート５３のうち、アクチュエータプレート５３の下端面（ノズルプレート５１との対向面）と非吐出チャネル６２（底面）との間に位置する部分は、閉塞部６７を構成している。閉塞部６７は、非吐出チャネル６２の内外の連通をＺ方向に遮断している。したがって、非吐出チャネル６２は、アクチュエータプレート５３の下端面に対して上方に離れた位置で終端しており、アクチュエータプレート５３の下端面では開放されていない。
【0034】
閉塞部６７のうち、非吐出チャネル６２内に露呈する面（以下、閉塞内面部６７ａという。）は、切り上がり部６２ｂの底面を構成している。一方、閉塞部６７のうち、非吐出チャネル６２とは反対側を向く面（以下、閉塞外面部６７ｂ）は、アクチュエータプレート５３の下端面を構成している。したがって、本実施形態において、閉塞部６７のＺ方向の寸法は、表面側から裏面側にかけて漸次増大している。なお、閉塞外面部６７ｂは、アクチュエータプレート５３の下端面と面一である場合に限られない。閉塞外面部６７ｂは、例えばアクチュエータプレート５３の下端面に対して上方に窪んでいてもよい。
【0035】
図６は、アクチュエータプレート５３の平面図である。
図６に示すように、アクチュエータプレート５３には、共通配線７１及び個別配線７２が形成されている。共通配線７１は、共通電極７５と、共通端子７６と、を備えている。
共通電極７５は、吐出チャネル６１の内面にそれぞれ形成されている。共通電極７５は、吐出チャネル６１の内面において、Ｘ方向で向かい合う内側面、及び切り上がり部６１ｂの底面の全域に亘って形成されている。
図６に示すように、アクチュエータプレート５３には、共通配線７１及び個別配線７２が形成されている。共通配線７１は、共通電極７５と、共通端子７６と、を備えている。
共通電極７５は、吐出チャネル６１の内面にそれぞれ形成されている。共通電極７５は、吐出チャネル６１の内面において、Ｘ方向で向かい合う内側面、及び切り上がり部６１ｂの底面の全域に亘って形成されている。
【0036】
共通端子７６は、アクチュエータプレート５３のうち、吐出チャネル６１に対して上方に位置する部分（以下、尾部７８という。）の表面上に形成されている。共通端子７６は、尾部７８の表面上において、Ｚ方向に延びる帯状に形成されている。共通端子７６は、吐出チャネル６１の表面側開口縁において、共通電極７５に接続されている。
【0037】
個別配線７２は、個別電極８１と、個別端子８２と、を備えている。
個別電極８１は、駆動壁６５のうち非吐出チャネル６２に面する内側面に形成されている。個別電極８１は、各非吐出チャネル６２の内側面においてＹ方向の全域に亘って形成されている。なお、非吐出チャネル６２の内面のうち、向かい合う内側面に形成された個別電極８１同士は、非吐出チャネル６２の底面で分離されている。
個別電極８１は、駆動壁６５のうち非吐出チャネル６２に面する内側面に形成されている。個別電極８１は、各非吐出チャネル６２の内側面においてＹ方向の全域に亘って形成されている。なお、非吐出チャネル６２の内面のうち、向かい合う内側面に形成された個別電極８１同士は、非吐出チャネル６２の底面で分離されている。
【0038】
個別端子８２は、尾部７８の表面において、共通端子７６よりも上方に位置する部分に形成されている。個別端子８２は、Ｘ方向に延びる帯状とされている。個別端子８２は、吐出チャネル６１を間に挟んでＸ方向で対向する非吐出チャネル６２の表面側開口縁において、吐出チャネル６１を間に挟んでＸ方向で対向する個別電極８１同士を接続している。なお、アクチュエータプレート５３としてモノポールタイプを使用する場合、共通電極７５や個別電極８１は、対応するチャネル６１，６２の内側面において、表面側からＹ方向の半分以上で、チャネル６１，６２の底面に到達しない程度の深さに形成する必要がある。
【0039】
尾部７８において、共通端子７６と個別端子８２との間に位置する部分には、区画溝８３が形成されている。区画溝８３は、尾部７８の表面上で開口するとともに、Ｘ方向に延びている。区画溝８３は、共通端子７６と個別端子８２との間をそれぞれ分離している。
【0040】
図４～図６に示すように、尾部７８の表面には、フレキシブルプリント基板８５が圧着されている。フレキシブルプリント基板８５は、尾部７８の表面において、共通端子７６及び個別端子８２に接続されている。フレキシブルプリント基板８５は、上方に引き出されている。
【0041】
＜カバープレート５４＞
図２～図４に示すように、カバープレート５４は、アクチュエータプレート５３の表面（対向面以外の面）に接着等により固定されている。具体的に、カバープレート５４は、Ｙ方向を厚さ方向として配置されている。カバープレート５４は、尾部７８の表面を露出させた状態で各チャネル６１，６２の表面側開口部を閉塞している。Ｚ方向において、カバープレート５４の下端面は、アクチュエータプレート５３の下端面と面一に配置されている。
図２～図４に示すように、カバープレート５４は、アクチュエータプレート５３の表面（対向面以外の面）に接着等により固定されている。具体的に、カバープレート５４は、Ｙ方向を厚さ方向として配置されている。カバープレート５４は、尾部７８の表面を露出させた状態で各チャネル６１，６２の表面側開口部を閉塞している。Ｚ方向において、カバープレート５４の下端面は、アクチュエータプレート５３の下端面と面一に配置されている。
【0042】
カバープレート５４において、吐出チャネル６１の上端部とＹ方向から見て重なり合う位置には、入口共通インク室（入口流路）９０が形成されている。入口共通インク室９０は、例えば各チャネル６１，６２を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の表面上で開口している。
入口共通インク室９０において、吐出チャネル６１とＹ方向から見て重なり合う位置には、入口スリット（入口流路）９１が形成されている。入口スリット９１は、各吐出チャネル６１の上端部と、入口共通インク室９０内と、の間を各別に連通している。入口スリット９１は、切り上がり部６１ｂとＹ方向に向かい合っている。したがって、入口スリット９１は、それぞれ各吐出チャネル６１に連通する一方、各非吐出チャネル６２には連通していない。
入口共通インク室９０において、吐出チャネル６１とＹ方向から見て重なり合う位置には、入口スリット（入口流路）９１が形成されている。入口スリット９１は、各吐出チャネル６１の上端部と、入口共通インク室９０内と、の間を各別に連通している。入口スリット９１は、切り上がり部６１ｂとＹ方向に向かい合っている。したがって、入口スリット９１は、それぞれ各吐出チャネル６１に連通する一方、各非吐出チャネル６２には連通していない。
【0043】
図４に示すように、ノズルプレート５１は、アクチュエータプレート５３の下端面に接着等によって固定されている。ノズルプレート５１は、Ｚ方向を厚さ方向とし、Ｘ方向を長手方向として配置されている。本実施形態において、ノズルプレート５１は、ポリイミド等の樹脂材料により厚さが５０μｍ程度に形成されている。但し、ノズルプレート５１は、樹脂材料の他、金属材料（ＳＵＳやＮｉ－Ｐｄ等）、ガラス、シリコン等による単層構造、又は積層構造であってもよい。
【0044】
ノズルプレート（噴射孔プレート）５１には、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する上述したノズル孔（噴射孔）９３が形成されている。ノズル孔９３は、ノズルプレート５１のうち、吐出チャネル６１にＺ方向で対向する位置に各別に形成されている。なお、各ノズル孔９３は、上方から下方に向かうに従い漸次先細るテーパ状に形成されている。
【0045】
［プリンタ１の動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク１５にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク１５内のインクは、インク配管１６を通じてインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク１５にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク１５内のインクは、インク配管１６を通じてインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。
【0046】
このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、被記録媒体Ｐが搬送機構２，３のローラ１１，１２に挟み込まれながら＋Ｘ側に搬送される。また、これと同時にキャリッジ２３がＹ方向に移動することで、キャリッジ２３に搭載されたインクジェットヘッド５がＹ方向に往復移動する。
インクジェットヘッド５が往復移動する間に、各インクジェットヘッド５よりインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させる。これにより、被記録媒体Ｐに対して文字や画像等の記録を行うことができる。
インクジェットヘッド５が往復移動する間に、各インクジェットヘッド５よりインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させる。これにより、被記録媒体Ｐに対して文字や画像等の記録を行うことができる。
【0047】
キャリッジ２３（図１参照）の移動によってインクジェットヘッド５の往復移動が開始されると、フレキシブルプリント基板８５を介して共通電極７５及び個別電極８１間に駆動電圧が印加される。この際、個別電極８１を駆動電位Ｖｄｄとし、共通電極７５を基準電位ＧＮＤとして各電極間に駆動電圧を印加する。すると、駆動壁６５は、いわゆる逆圧電効果によって厚み滑り変形が生じることで、Ｙ方向の中央部を起点にしてＶ字状に屈曲変形する。すなわち、駆動壁６５は吐出チャネル６１の容積が拡大するように変形する。
【0048】
各吐出チャネル６１の容積が増大した後、共通電極７５及び個別電極８１間に印加した電圧をゼロにする。すると、駆動壁６５が復元し、一旦増大した吐出チャネル６１の容積が元の容積に戻る。これにより、吐出チャネル６１の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。そして、吐出チャネル６１内の圧力増加によって発生した圧力波が、ノズル孔９３に向けて伝播する。その結果、吐出チャネル６１内のインクがノズル孔９３を通じて液滴状に吐出される。ノズル孔９３から吐出されたインクが被記録媒体Ｐ上に着弾することで、被記録媒体Ｐに文字や画像等を記録することができる。
【0049】
＜ヘッドチップ５０の製造方法＞
次に、上述したヘッドチップ５０の製造方法について簡単に説明する。図７は、ヘッドチップ５０の製造方法を説明するためのフローチャートである。図８～図１１は、ヘッドチップ５０の製造方法を説明するための工程図である。本実施形態では、複数のヘッドチップ５０をウエハレベルで一括して製造する方法について説明する。
図７に示すように、ヘッドチップ５０は、例えば第１ダイシング工程と、第２ダイシング工程と、配線形成工程と、第３ダイシング工程と、重ね合わせ工程と、個片化工程と、ノズルプレート接合工程と、を経て製造される。
次に、上述したヘッドチップ５０の製造方法について簡単に説明する。図７は、ヘッドチップ５０の製造方法を説明するためのフローチャートである。図８～図１１は、ヘッドチップ５０の製造方法を説明するための工程図である。本実施形態では、複数のヘッドチップ５０をウエハレベルで一括して製造する方法について説明する。
図７に示すように、ヘッドチップ５０は、例えば第１ダイシング工程と、第２ダイシング工程と、配線形成工程と、第３ダイシング工程と、重ね合わせ工程と、個片化工程と、ノズルプレート接合工程と、を経て製造される。
【0050】
図８に示すように、第１ダイシング工程は、後に駆動プレート５５となる駆動ウエハ１００に対し、後に吐出チャネル６１となる第１ダイシングライン１１０を形成する。具体的には、駆動ウエハ１００に対して表面側からダイサーを進入させ、ダイサーを所定量走行させる。第１ダイシングライン１１０の延在方向Ｌ１に沿う長さ（ダイサーの走行量）は、吐出チャネル６１の２つ分程度の長さに設定されている。したがって、第１ダイシングライン１１０のうち、延在方向Ｌ１の両端部は吐出チャネル６１の切り上がり部６１ｂとして機能する部分となり、延在方向Ｌ１の中央部は延在部６１ａとして機能する部分となる。第１ダイシング工程では、上述した動作を、駆動ウエハ１００に対して延在方向Ｌ１及び延在方向Ｌ１に交差する交差方向（以下、交差方向Ｌ２という。）に間隔をあけて繰り返し行う。
【0051】
図９に示すように、第２ダイシング工程では、後に非吐出チャネル６２となる第２ダイシングライン１１１を形成する。具体的には、駆動ウエハ１００における第１ダイシングライン１１０に対してＸ方向の両側に位置する部分にダイサーを進入させ、ダイサーを所定量走行させる。第２ダイシングライン１１１の延在方向Ｌ１に沿う長さ（ダイサーの走行量）は、非吐出チャネル６２の２つ分程度の長さに設定されている。したがって、第２ダイシングライン１１１のうち、延在方向Ｌ１の両端部は非吐出チャネル６２の切り上がり部６２ｂとして機能する部分となり、延在方向Ｌ１の中央部は延在部６２ａとして機能する部分となる。また、第２ダイシングライン１１１は、第１ダイシングライン１１０に対して半ピッチずらした状態で形成する。すなわち、第２ダイシングライン１１１における延在方向Ｌ１の端部と、第１ダイシングライン１１０における延在方向Ｌ１の中央部と、が延在方向Ｌ１で同じ位置に配置されるように、第２ダイシングライン１１１を形成する。
【0052】
配線形成工程では、駆動ウエハ１００に対して共通配線７１及び個別配線７２を形成する。具体的には、斜め蒸着等によって、駆動ウエハ１００の表面側及び裏面側から電極材料を成膜する。これにより、不図示のマスクパターンを通じて駆動ウエハ１００の表面や各ダイシングライン１１０，１１１の内面に配線７１，７２が形成される。
【0053】
図１０に示すように、第３ダイシング工程では、後に区画溝８３となる第３ダイシングライン１１３を形成する。具体的には、駆動ウエハ１００において、延在方向Ｌ１で隣り合う第１ダイシングライン１１０の間に位置する部分に対し、駆動ウエハ１００を表面側からダイサーを進入させ、ダイサーを交差方向Ｌ２に走行させる。
【0054】
重ね合わせ工程では、駆動ウエハ１００の裏面側に、後にバックプレート５６となるバックウエハ（不図示）を積層する。また、駆動ウエハ１００の表面側に、後にカバープレート５４となるカバーウエハ（不図示）を積層する。これにより、駆動ウエハ１００、バックウエハ及びカバーウエハが積層されたウエハ接合体が形成される。
【0055】
図１１に示すように、個片化工程では、ウエハ接合体をヘッドチップ５０毎に分割する。具体的には、ウエハ接合体のうち、第１ダイシングライン１１０における延在方向Ｌ１の中央部（図１０中Ｑ１参照）、延在方向Ｌ１で隣り合う第１ダイシングライン１１０の間に位置する部分（図１０中Ｑ２参照）に対して、ダイサーを交差方向Ｌ２に走行させ、ウエハ接合体を切断する。これにより、上述したアクチュエータプレート５３及びカバープレート５４がチップ単位で切り出された複数のチップ接合体１０９が形成される。
【0056】
ノズルプレート接合工程では、個片化工程で切り出されたチップ接合体１０９にノズルプレート５１を貼り合わせる。
以上により、ヘッドチップ５０が製造される。
以上により、ヘッドチップ５０が製造される。
【0057】
このように、本実施形態のヘッドチップ５０は、非吐出チャネル６２はアクチュエータプレート５３の下端面に対して離間した位置で終端し、吐出チャネル６１はアクチュエータプレート５３の下端面上で開口している構成とした。
この構成によれば、非吐出チャネル６２がアクチュエータプレート５３の下端面上で開放されないので、アクチュエータプレート５３とノズルプレート５１との間に意図せずに形成される微小隙間等を通じて吐出チャネル６１内のインクが非吐出チャネル６２内に進入するのを抑制できる。
そのため、非吐出チャネル６２の内面に形成された電極が腐食や短絡するのを抑制し、電気的信頼性に優れ、耐久性の向上を図ったヘッドチップ５０を提供できる。
この構成によれば、非吐出チャネル６２がアクチュエータプレート５３の下端面上で開放されないので、アクチュエータプレート５３とノズルプレート５１との間に意図せずに形成される微小隙間等を通じて吐出チャネル６１内のインクが非吐出チャネル６２内に進入するのを抑制できる。
そのため、非吐出チャネル６２の内面に形成された電極が腐食や短絡するのを抑制し、電気的信頼性に優れ、耐久性の向上を図ったヘッドチップ５０を提供できる。
【0058】
しかも、アクチュエータプレート５３の下端面に要求される表面性状を緩和できるので、製造効率の向上や歩留まりの向上を図ることができる。特に、エッジシュートタイプでは、アクチュエータプレート５３の下端面（吐出チャネル６１の開口面）がダイサー等の切断面で形成されることから、下端面に凹凸やうねり等が生じる可能性があり、表面性状の高精度化が難しい。このような場合であっても、ノズルプレート５１の接合工程に掛かる負担を軽減した上で、非吐出チャネル６２内へのインクの流入を抑制できる。
【0059】
本実施形態のインクジェットヘッド５及びプリンタ１では、上述したヘッドチップ５０を備えているので、信頼性に優れたインクジェットヘッド５及びプリンタ１を提供できる。
【0060】
（変形例）
上述した実施形態では、閉塞部６７のＺ方向の寸法は、駆動プレート５５の表面側から裏面側にかけて漸次増大している構成について説明したが、この構成に限られない。閉塞部６７のＺ方向の寸法は、例えば図１２に示すように、駆動プレート５５の裏面側から表面側に向かうに従い漸次増大する構成であってもよい。すなわち、本変形例において、閉塞内面部６７ａは、裏面側から表面側に向かうに従い上方に向けて延びる傾斜面に形成されている。
上述した実施形態では、閉塞部６７のＺ方向の寸法は、駆動プレート５５の表面側から裏面側にかけて漸次増大している構成について説明したが、この構成に限られない。閉塞部６７のＺ方向の寸法は、例えば図１２に示すように、駆動プレート５５の裏面側から表面側に向かうに従い漸次増大する構成であってもよい。すなわち、本変形例において、閉塞内面部６７ａは、裏面側から表面側に向かうに従い上方に向けて延びる傾斜面に形成されている。
【0061】
また、図１３に示すように、閉塞部６７のＺ方向の寸法は、駆動プレート５５の表面側及び裏面側からＹ方向の中央部に向かうに従い漸次増大する構成であってもよい。具体的に、閉塞内面部６７ａは、駆動プレート５５の表面側からＹ方向の中央部に向かうに従い上方に延びる第１傾斜面１３０ａと、駆動プレート５５の裏面側からＹ方向の中央部に向かうに従い上方に延び、第１傾斜面１３０ａに連なる第２傾斜面１３０ｂと、を備えている。本変形例の閉塞部６７は、上述した第２ダイシング工程において、駆動ウエハ１００の両面からダイサーを進入させることで形成することができる。
【0062】
本変形例においては、例えばアクチュエータプレート５３に対して一方の面からダイサーを進入させて非吐出チャネル６２を形成する場合に比べ、閉塞部６７におけるＺ方向の最大寸法（閉塞内面部６７ａ及び閉塞外面部６７ｂ間の最大距離）を抑えることができる。その結果、吐出チャネル６１と非吐出チャネル６２とのＸ方向での対向領域（駆動壁６５におけるＺ方向の寸法）を確保できる。そのため、共通電極７５と個別電極８１との対向面積を確保できるので、ポンプストロークを確保し、インク吐出時における駆動壁６５の変形体積を増加できる。駆動壁６５の変形体積が増加することで、同一の吐出をするための印可電圧を下げることができる。また、同一の印可電圧の場合に吐出速度の向上等の吐出性能の向上が期待できる。
【0063】
（第２実施形態）
本実施形態では、循環型のヘッドチップ１５０を採用している点で上述した実施形態と相違している。図１４は、第２実施形態に係るヘッドチップ５０において、吐出チャネル６１に沿う断面を示す断面図である。
図１４に示すヘッドチップ１５０は、ノズルプレート５１、アクチュエータプレート５３及びカバープレート（流路部材）５４に加え、流路プレート（流路部材）１５１と、帰還プレート（中間プレート）１５２と、を備えている。
本実施形態では、循環型のヘッドチップ１５０を採用している点で上述した実施形態と相違している。図１４は、第２実施形態に係るヘッドチップ５０において、吐出チャネル６１に沿う断面を示す断面図である。
図１４に示すヘッドチップ１５０は、ノズルプレート５１、アクチュエータプレート５３及びカバープレート（流路部材）５４に加え、流路プレート（流路部材）１５１と、帰還プレート（中間プレート）１５２と、を備えている。
【0064】
流路プレート１５１は、カバープレート５４の表面に重ね合わされている。流路プレート１５１には、入口マニホールド（入口流路）１５５及び出口マニホールド（入口流路）１５６が形成されている。入口マニホールド１５５は、流路プレート１５１のうち、入口共通インク室９０とＹ方向から見て重なり合う部分に形成されている。具体的に、入口マニホールド１５５は、流路プレート１５１の裏面上で開口するとともに、Ｘ方向に延びている。入口マニホールド１５５は、裏面側開口部を通じて入口共通インク室９０に連通している。一方、入口マニホールド１５５は、例えば流路プレート１５１におけるＸ方向における一方の端部に設けられた入口ポート（不図示）等を通じてインクタンク１５に接続されている。
【0065】
出口マニホールド１５６は、流路プレート１５１の下端面上で開口するとともに、Ｘ方向に延びている。出口マニホールド１５６は、例えば流路プレート１５１におけるＸ方向における他方の端部に設けられた出口ポート（不図示）等を通じてインクタンク１５に接続されている。
【0066】
図１５は、帰還プレート１５２を透過した状態で示す図１４のＸＶ－ＸＶ線に対応する断面図である。
図１４、図１５に示すように、帰還プレート１５２は、アクチュエータプレート５３とノズルプレート５１との間に配置されている。具体的に、帰還プレート１５２の上端面は、アクチュエータプレート５３、カバープレート５４及び流路プレート１５１の下端面にまとめて接合されている。帰還プレート１５２の下端面には、ノズルプレート５１が接合されている。
図１４、図１５に示すように、帰還プレート１５２は、アクチュエータプレート５３とノズルプレート５１との間に配置されている。具体的に、帰還プレート１５２の上端面は、アクチュエータプレート５３、カバープレート５４及び流路プレート１５１の下端面にまとめて接合されている。帰還プレート１５２の下端面には、ノズルプレート５１が接合されている。
【0067】
帰還プレート１５２において、Ｚ方向から見て少なくとも吐出チャネル６１と重なり合う位置には、循環路（連通路）１５７が各別に形成されている。循環路１５７は、対応する吐出チャネル６１及びノズル孔９３同士、並びに吐出チャネル６１及び出口マニホールド１５６同士を連通させている。循環路１５７は、帰還プレート１５２をＺ方向に貫通するとともに、Ｙ方向に延びている。各循環路１５７は、－Ｙ側端部において、対応する吐出チャネル６１に各別に連通している。各循環路１５７は、＋Ｙ側端部において、出口マニホールド１５６にまとめて連通している。なお、循環路１５７におけるＸ方向の幅は、吐出チャネル６１におけるＸ方向の幅よりも広いことが好ましい。
【0068】
本実施形態のヘッドチップ１５０において、入口マニホールド１５５を流れるインクは、入口共通インク室９０を通過した後、各入口スリット９１を経て吐出チャネル６１内に流入する。吐出チャネル６１内を流れるインクは、循環路１５７内に流入する。各循環路１５７内を流れるインクのうち、一部のインクは上述した駆動壁６５の厚み滑り変形に伴う吐出チャネル６１内の圧力増加によってノズル孔９３から吐出される。一方、各循環路１５７内を流れるインクのうち、残りのインクは、出口マニホールド１５６内に流入する。出口マニホールド１５６内に流入したインクは、出口ポートを経てインクタンク１５に戻される。その後、インクタンク１５に戻されたインクは、再びヘッドチップ５０に供給される。
【0069】
本実施形態のヘッドチップ１５０では、アクチュエータプレート５３とノズルプレート５１との間に、循環路１５７を有する帰還プレート１５２が配置された構成とした。
この構成によれば、非吐出チャネル６２がアクチュエータプレート５３の下端面上で開放されないので、Ｘ方向における循環路１５７の寸法を広く確保できる。そのため、例えばノズル孔９３及び循環路１５７間や吐出チャネル６１及び循環路１５７間でのＸ方向での位置ずれを許容し易い。したがって、ノズル孔９３及び循環路１５７間や吐出チャネル６１及び循環路１５７間での連通部分の流路断面積を確保できる。
この構成によれば、非吐出チャネル６２がアクチュエータプレート５３の下端面上で開放されないので、Ｘ方向における循環路１５７の寸法を広く確保できる。そのため、例えばノズル孔９３及び循環路１５７間や吐出チャネル６１及び循環路１５７間でのＸ方向での位置ずれを許容し易い。したがって、ノズル孔９３及び循環路１５７間や吐出チャネル６１及び循環路１５７間での連通部分の流路断面積を確保できる。
【0070】
本実施形態のヘッドチップ１５０では、Ｘ方向における循環路１５７の寸法を広く確保できるので、循環路１５７の流路断面積を確保し易い。この場合には、循環路１５７を流れるインクの流量を増加させることができるので、ノズル孔９３での気泡詰まりの抑制や、ノズル孔９３を通じたインクの吐出量の増加を図ることができる。また、例えばインク吐出時において一の吐出チャネル６１内で発生する圧力変動を循環路１５７内で散逸させ易い。そのため、複数の吐出チャネル６１が出口マニホールド１５６を通じて連通している場合であっても、一の吐出チャネル６１内で発生した圧力変動が出口マニホールド１５６と循環路１５７を通じて他の吐出チャネル６１に伝播される、いわゆるクロストークを抑制できる。
【0071】
一方、Ｘ方向における循環路１５７の寸法を広く確保できるので、循環路１５７の流路断面積を確保しつつ、帰還プレート１５２の厚さ（Ｚ方向の寸法）を抑えることができる。そのため、インク吐出時において吐出チャネル６１内で発生した圧力変動をノズル孔９３まで効果的に伝播させることができる。
その結果、吐出性能を向上させることができる。
その結果、吐出性能を向上させることができる。
【0072】
なお、循環路１５７は、一の吐出チャネル６１内と、出口マニホールド１５６内と、を各別に連通させる構成であれば、例えばＹ方向に対して交差する方向に延びていてもよい。また、上述した実施形態では、入口マニホールド１５５及び出口マニホールド１５６が一枚の流路プレート１５１に形成された構成について説明したが、この構成に限られない。例えば、カバープレート５４の表面側に入口マニホールド１５５を有する流路プレート１５１を設け、バックプレート５６の裏面側に出口マニホールド１５６を有する流路プレートを設けてもよい。
【0073】
（第３実施形態）
本実施形態に係るヘッドチップ２００は、カバープレート５４に循環路２０１を形成している点で上述した実施形態と相違している。図１６は、第３実施形態に係るヘッドチップ２００において、吐出チャネル６１に沿う断面を示す断面図である。
図１６に示すヘッドチップ２００において、カバープレート５４の下端部には、循環路２０１が形成されている。循環路２０１は、各吐出チャネル６１に対応して、Ｘ方向に間隔をあけて複数設けられている。循環路２０１は、カバープレート５４をＹ方向に貫通するとともに、カバープレート５４の下端面上で開放されている。図示の例において、循環路２０１は、流路断面積（Ｙ方向に直交する面積）が全長に亘って一様に形成されるとともに、Ｙ方向に直線状に延びている。
本実施形態に係るヘッドチップ２００は、カバープレート５４に循環路２０１を形成している点で上述した実施形態と相違している。図１６は、第３実施形態に係るヘッドチップ２００において、吐出チャネル６１に沿う断面を示す断面図である。
図１６に示すヘッドチップ２００において、カバープレート５４の下端部には、循環路２０１が形成されている。循環路２０１は、各吐出チャネル６１に対応して、Ｘ方向に間隔をあけて複数設けられている。循環路２０１は、カバープレート５４をＹ方向に貫通するとともに、カバープレート５４の下端面上で開放されている。図示の例において、循環路２０１は、流路断面積（Ｙ方向に直交する面積）が全長に亘って一様に形成されるとともに、Ｙ方向に直線状に延びている。
【0074】
各循環路２０１における－Ｙ側端部は、吐出チャネル６１内に各別に連通している。一方、各循環路２０１における＋Ｙ側端部は、出口マニホールド１５６内にまとめて連通している。なお、循環路２０１は、一の吐出チャネル６１内と、出口マニホールド１５６内と、を各別に連通させる構成であれば、例えばＹ方向に対して交差する方向に延びていてもよい。
【0075】
この構成によれば、上述した第２実施形態と同様に、非吐出チャネル６２がアクチュエータプレート５３の下端面上で開放されないので、循環路２０１の流路断面積を確保し易い。そのため、ノズル孔９３での気泡詰まりの抑制や、ノズル孔９３を通じたインクの吐出量の増加を図ることができる。
また、例えばインク吐出時において一の吐出チャネル６１内で発生する圧力変動を循環路２０１内で散逸させ易いため、クロストークを抑制できる。
また、例えばインク吐出時において一の吐出チャネル６１内で発生する圧力変動を循環路２０１内で散逸させ易いため、クロストークを抑制できる。
【0076】
（変形例）
上述した実施形態では、循環路２０１の流路断面積が全長に亘って一様に形成された構成について説明したが、この構成に限られない。例えば、図１７に示すように、循環路２０１の流路断面積は、出口マニホールド１５６に向けて漸次拡大する構成であってもよい。
この構成によれば、循環路２０１の流路断面積を徐々に増大できるため、ノズル孔９３での気泡詰まりの抑制や、ノズル孔９３を通じたインクの吐出量の増加を図ることができる。
また、例えばインク吐出時において一の吐出チャネル６１内で発生する圧力変動を循環路２０１内で散逸させ易いため、クロストークを抑制できる。
上述した実施形態では、循環路２０１の流路断面積が全長に亘って一様に形成された構成について説明したが、この構成に限られない。例えば、図１７に示すように、循環路２０１の流路断面積は、出口マニホールド１５６に向けて漸次拡大する構成であってもよい。
この構成によれば、循環路２０１の流路断面積を徐々に増大できるため、ノズル孔９３での気泡詰まりの抑制や、ノズル孔９３を通じたインクの吐出量の増加を図ることができる。
また、例えばインク吐出時において一の吐出チャネル６１内で発生する圧力変動を循環路２０１内で散逸させ易いため、クロストークを抑制できる。
【0077】
上述した実施形態では、循環路２０１がカバープレート５４の下端面で開放されている構成について説明したが、この構成に限られない。例えば、図１８に示すように、循環路２０１は、カバープレート５４のうち、下端面から上方に位置する部分をＹ方向に貫通していてもよい。この場合には、カバープレート５４の下端面上において、循環路２０１が開放されないので、カバープレート５４の下端面の全体が平坦な連続面となる。そのため、カバープレート５４の下端面のうち、ノズルプレート５１との接合面積を確保し易くなり、接合強度を確保できる。その結果、ヘッドチップ５０の耐久性を確保し易い。
【0078】
図１９に示すヘッドチップ２００は、図１２に示す構成と同様に、閉塞部６７のＺ方向の寸法が駆動プレート５５の裏面側から表面側に向かうに従い漸次増大する構成である。
この構成によれば、アクチュエータプレート５３の表面上において、閉塞内面部６７ａと、アクチュエータプレート５３の下端面と、の間に位置する部分の面積を確保し易い。そのため、循環路２０１の流路断面積を広く確保できる。これにより、ヘッドチップ２００内でのインクの循環流量を増加させることができるので、ノズル孔９３での気泡詰まりの抑制や、ノズル孔９３を通じたインクの吐出量の増加を図ることができる。
また、例えばインク吐出時において一の吐出チャネル６１内で発生する圧力変動を循環路２０１内で散逸させ易いため、クロストークを抑制できる。
この構成によれば、アクチュエータプレート５３の表面上において、閉塞内面部６７ａと、アクチュエータプレート５３の下端面と、の間に位置する部分の面積を確保し易い。そのため、循環路２０１の流路断面積を広く確保できる。これにより、ヘッドチップ２００内でのインクの循環流量を増加させることができるので、ノズル孔９３での気泡詰まりの抑制や、ノズル孔９３を通じたインクの吐出量の増加を図ることができる。
また、例えばインク吐出時において一の吐出チャネル６１内で発生する圧力変動を循環路２０１内で散逸させ易いため、クロストークを抑制できる。
【0079】
なお、上述した実施形態では、入口マニホールド１５５及び出口マニホールド１５６が一枚の流路プレート１５１に形成された構成について説明したが、この構成に限られない。例えば、カバープレート５４の表面側に入口マニホールド１５５を有する流路プレート１５１を設け、バックプレート５６の裏面側に出口マニホールド１５６を有する流路プレートを設けてもよい。この場合には、循環路２０１は、バックプレート５６に形成されることになる。
【0080】
（第４実施形態）
本実施形態では、いわゆるサイドシュート型のヘッドチップ３００に本開示に係る構成を採用している点で第１実施形態と相違している。図２０は、第４実施形態に係るヘッドチップ３００において、吐出チャネル３０１に沿う断面を示す断面図である。
図２０に示すヘッドチップ３００において、吐出チャネル３０１は、Ｘ方向から見て下方（－Ｚ側）に向けて凸の湾曲形状に形成されている。吐出チャネル３０１は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の下方（＋Ｚ側）から進入させることで形成される。具体的に、吐出チャネル３０１は、Ｙ方向の両端部に位置する切り上がり部３０１ａと、各切り上がり部３０１ａ間に位置する貫通部３０１ｂと、を有している。
切り上がり部３０１ａは、Ｘ方向から見て例えばダイサーの曲率半径に倣って延びる円弧状である。切り上がり部３０１ａは、Ｙ方向において貫通部３０１ｂから離れるに従い裏面側に向けて湾曲しながら延びている。
貫通部３０１ｂは、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。
本実施形態では、いわゆるサイドシュート型のヘッドチップ３００に本開示に係る構成を採用している点で第１実施形態と相違している。図２０は、第４実施形態に係るヘッドチップ３００において、吐出チャネル３０１に沿う断面を示す断面図である。
図２０に示すヘッドチップ３００において、吐出チャネル３０１は、Ｘ方向から見て下方（－Ｚ側）に向けて凸の湾曲形状に形成されている。吐出チャネル３０１は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の下方（＋Ｚ側）から進入させることで形成される。具体的に、吐出チャネル３０１は、Ｙ方向の両端部に位置する切り上がり部３０１ａと、各切り上がり部３０１ａ間に位置する貫通部３０１ｂと、を有している。
切り上がり部３０１ａは、Ｘ方向から見て例えばダイサーの曲率半径に倣って延びる円弧状である。切り上がり部３０１ａは、Ｙ方向において貫通部３０１ｂから離れるに従い裏面側に向けて湾曲しながら延びている。
貫通部３０１ｂは、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。
【0081】
図２１は、第４実施形態に係るヘッドチップ３００において、非吐出チャネル３０２に沿う断面を示す断面図である。
図２１に示すように、非吐出チャネル３０２は、駆動壁６５を隔てて吐出チャネル３０１とＸ方向で隣り合っている。非吐出チャネル３０２は、アクチュエータプレート５３において、Ｙ方向に直線状に延びている。非吐出チャネル３０２は、深溝部３０２ａと、浅溝部３０２ｂと、を備えている。
深溝部３０２ａは、アクチュエータプレート５３における－Ｙ側端部（吐出チャネル３０１に対して－Ｙ側に位置する部分）に形成されている。深溝部３０２ａは、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。
図２１に示すように、非吐出チャネル３０２は、駆動壁６５を隔てて吐出チャネル３０１とＸ方向で隣り合っている。非吐出チャネル３０２は、アクチュエータプレート５３において、Ｙ方向に直線状に延びている。非吐出チャネル３０２は、深溝部３０２ａと、浅溝部３０２ｂと、を備えている。
深溝部３０２ａは、アクチュエータプレート５３における－Ｙ側端部（吐出チャネル３０１に対して－Ｙ側に位置する部分）に形成されている。深溝部３０２ａは、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。
【0082】
浅溝部３０２ｂは、深溝部３０２ａから＋Ｙ側に連なっている。浅溝部３０２ｂは、アクチュエータプレート５３の上面で開放されるとともに、アクチュエータプレート５３の下面に対して上方に離れた位置で終端している。すなわち、浅溝部３０２ｂは、アクチュエータプレート５３の下面では開放されていない。アクチュエータプレート５３において、浅溝部３０２ｂの底面とアクチュエータプレート５３の下面との間に位置する部分は、閉塞部３０３を構成している。閉塞部３０３は、非吐出チャネル３０２の内外をＺ方向に遮断している。
【0083】
本実施形態において、閉塞部３０３は、Ｘ方向から見て吐出チャネル３０１と重なり合っている。なお、閉塞部３０３は、少なくとも貫通部３０１ｂと重なり合う領域に形成されていればよい。
【0084】
カバープレート５４には、入口共通インク室３１０及び出口共通インク室３１１がそれぞれ形成されている。
入口共通インク室３１０は、例えば吐出チャネル３０１の－Ｙ側端部と平面視で重なる位置に形成されている。入口共通インク室３１０は、例えばチャネル３０１，３０２を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の上面で開口している。
出口共通インク室３１１は、例えば吐出チャネル３０１の＋Ｙ側端部と平面視で重なる位置に形成されている。出口共通インク室３１１は、チャネル３０１，３０２を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の上面上で開口している。
入口共通インク室３１０は、例えば吐出チャネル３０１の－Ｙ側端部と平面視で重なる位置に形成されている。入口共通インク室３１０は、例えばチャネル３０１，３０２を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の上面で開口している。
出口共通インク室３１１は、例えば吐出チャネル３０１の＋Ｙ側端部と平面視で重なる位置に形成されている。出口共通インク室３１１は、チャネル３０１，３０２を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の上面上で開口している。
【0085】
入口共通インク室３１０において、吐出チャネル３０１と平面視で重なり合う位置には、入口スリット３１５が形成されている。入口スリット３１５は、各吐出チャネル３０１の－Ｙ側端部と、入口共通インク室３１０内と、の間を各別に連通している。
出口共通インク室３１１において、吐出チャネル３０１と対応する位置には、出口スリット３１６が形成されている。出口スリット３１６は、各吐出チャネル３０１の＋Ｙ側端部と、出口共通インク室３１１内と、の間を各別に連通している。したがって、入口スリット３１５及び出口スリット３１６は、それぞれ各吐出チャネル３０１に連通する一方、非吐出チャネル３０２には連通していない。
出口共通インク室３１１において、吐出チャネル３０１と対応する位置には、出口スリット３１６が形成されている。出口スリット３１６は、各吐出チャネル３０１の＋Ｙ側端部と、出口共通インク室３１１内と、の間を各別に連通している。したがって、入口スリット３１５及び出口スリット３１６は、それぞれ各吐出チャネル３０１に連通する一方、非吐出チャネル３０２には連通していない。
【0086】
本実施形態においても、非吐出チャネル３０２がアクチュエータプレート５３の下面上で開放されないので、アクチュエータプレート５３とノズルプレート５１との間に意図せずに形成される微小隙間等を通じて吐出チャネル３０１内のインクが非吐出チャネル６２内に進入するのを抑制できる。
そのため、非吐出チャネル３０２の内面に形成された電極が腐食や短絡するのを抑制し、電気的信頼性に優れ、耐久性の向上を図ったヘッドチップ３００を提供できる。
そのため、非吐出チャネル３０２の内面に形成された電極が腐食や短絡するのを抑制し、電気的信頼性に優れ、耐久性の向上を図ったヘッドチップ３００を提供できる。
【0087】
なお、上述した実施形態では、アクチュエータプレート５３の下面にノズルプレート５１が直接接合された構成について説明したが、この構成に限られない。図２２に示すように、アクチュエータプレート５３とノズルプレート５１との間に、中間プレート３２０が配置されていてもよい。中間プレート３２０は、アクチュエータプレート５３の下面に接着等により固定されている。中間プレート３２０は、アクチュエータプレート５３と同様にＰＺＴ等の圧電材料により形成されている。但し、中間プレート３２０は、圧電材料以外の材料（例えば、ポリイミドやアルミナ等の非導電材）で形成されていてもよい。
【0088】
中間プレート３２０において、各吐出チャネル３０１の貫通部３０１ｂと平面視で重なり合う部分には、連通孔３２１が形成されている。連通孔３２１は、アクチュエータプレート５３の下面側において、対応する吐出チャネル３０１の貫通部３０１ｂ内に各別に連通している。連通孔３２１におけるＹ方向の寸法は、貫通部３０１ｂよりも短い。一方、連通孔３２１におけるＸ方向の寸法は、貫通部３０１ｂよりも広く、ノズル孔９３の最大内径と同等になっている。
【0089】
本実施形態においても、非吐出チャネル３０２がアクチュエータプレート５３の下面上で開放されないので、Ｘ方向における連通孔３２１の寸法を広く確保できる。そのため、例えばノズル孔９３及び連通孔３２１間や吐出チャネル３０１及び連通孔３２１間でのＸ方向での位置ずれを許容し易い。したがって、ノズル孔９３及び連通孔３２１間や吐出チャネル３０１及び連通孔３２１間での連通部分の流路断面積を確保できる。
【0090】
（その他の変形例）
なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。
なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。
【0091】
上述した実施形態では、Ｚ方向が重力方向に一致する構成について説明したが、この構成のみに限らず、Ｚ方向を水平方向に沿わせてもよい。
上述した実施形態では、第１方向がＺ方向に一致し、第２方向がＸ方向に一致する構成について説明したが、この構成に限られない。第１方向及び第２方向は、Ｘ方向及びＺ方向とは別に定めてもよい。
上述した実施形態では、第１方向がＺ方向に一致し、第２方向がＸ方向に一致する構成について説明したが、この構成に限られない。第１方向及び第２方向は、Ｘ方向及びＺ方向とは別に定めてもよい。
【0092】
その他、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【0093】
１…インクジェットプリンタ（液体噴射記録装置）
５…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
５０…ヘッドチップ
５１…ノズルプレート（噴射孔プレート）
５３…アクチュエータプレート
５１…ノズルプレート（噴射孔プレート）
５４…カバープレート（流路部材）
６１…吐出チャネル（噴射チャネル）
６２…非吐出チャネル（非噴射チャネル）
９０…入口共通インク室（入口流路）
９１…入口スリット（入口流路）
９３…ノズル孔（噴射孔）
１３０ａ…第１傾斜面
１３０ｂ…第２傾斜面
１５０…ヘッドチップ
１５１…流路プレート（流路部材）
１５２…帰還プレート（中間プレート）
１５５…入口マニホールド（入口流路）
１５６…出口マニホールド（出口流路）
１５７…循環路（連通路）
２００…ヘッドチップ
２０１…循環路（連通路）
３００…ヘッドチップ
３０１…吐出チャネル（噴射チャネル）
３０２…非吐出チャネル（噴射チャネル）
３１０…入口共通インク室（入口流路）
３１１…出口共通インク室（出口流路）
３１５…入口スリット（入口流路）
３１６…出口スリット（出口流路）
３２０…中間プレート
３２１…連通孔（連通路）
５…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
５０…ヘッドチップ
５１…ノズルプレート（噴射孔プレート）
５３…アクチュエータプレート
５１…ノズルプレート（噴射孔プレート）
５４…カバープレート（流路部材）
６１…吐出チャネル（噴射チャネル）
６２…非吐出チャネル（非噴射チャネル）
９０…入口共通インク室（入口流路）
９１…入口スリット（入口流路）
９３…ノズル孔（噴射孔）
１３０ａ…第１傾斜面
１３０ｂ…第２傾斜面
１５０…ヘッドチップ
１５１…流路プレート（流路部材）
１５２…帰還プレート（中間プレート）
１５５…入口マニホールド（入口流路）
１５６…出口マニホールド（出口流路）
１５７…循環路（連通路）
２００…ヘッドチップ
２０１…循環路（連通路）
３００…ヘッドチップ
３０１…吐出チャネル（噴射チャネル）
３０２…非吐出チャネル（噴射チャネル）
３１０…入口共通インク室（入口流路）
３１１…出口共通インク室（出口流路）
３１５…入口スリット（入口流路）
３１６…出口スリット（出口流路）
３２０…中間プレート
３２１…連通孔（連通路）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】