特許 7559736 搬送設備

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-24

(45)【発行日】2024-10-02

(54)【発明の名称】搬送設備

(51)【国際特許分類】

   B61B 3/02 20060101AFI20240925BHJP

   B61B 13/00 20060101ALI20240925BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20240925BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20240925BHJP

【ＦＩ】

B61B3/02 A

B61B13/00 U

B65G1/00 501C

H01L21/68 A

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2021172457

(22)【出願日】2021-10-21

(65)【公開番号】P2023062461

(43)【公開日】2023-05-08

【審査請求日】2023-12-26

(73)【特許権者】

【識別番号】000003643

【氏名又は名称】株式会社ダイフク

(74)【代理人】

【識別番号】110001818

【氏名又は名称】弁理士法人Ｒ＆Ｃ

(72)【発明者】

【氏名】山田 颯汰

【審査官】諸星 圭祐

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１６－１９９３４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１７２６０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１７７４２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－１４２８５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５４－００８３１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１８／０１４８０７６（ＵＳ，Ａ１）

【文献】独国特許出願公開第１０２００７００２１５８（ＤＥ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ６１Ｂ ３／０２

Ｂ６１Ｂ １３／００－１３／１０

Ｂ６５Ｇ １／００

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送物を搬送する搬送車と、前記搬送車による前記搬送物の搬送経路に関する検査を行う場合に前記搬送物に代えて前記搬送車によって搬送される検査装置と、を備えた搬送設備であって、
前記搬送車は、本体部と、前記本体部を走行させる走行部と、前記本体部に搭載された把持部と、前記走行部及び前記把持部に電力を供給する電源部と、を備え、
前記把持部は、把持部材と、前記把持部材を駆動する駆動機構と、を備え、
前記把持部材は、前記駆動機構によって駆動されて把持位置と解除位置との間で移動するように構成されており、
前記把持部は、前記把持部材が前記把持位置にある状態で前記搬送物及び前記検査装置のそれぞれが備える被把持部を把持し、前記把持部材が前記解除位置にある状態で前記被把持部の把持を解除し、
前記電源部は、前記検査装置に電力を供給するための給電コネクタを備え、
前記検査装置は、前記被把持部と、前記電源部から供給された電力により動作して前記検査を行う検査部と、前記電源部と前記検査部とを電気的に接続するために前記給電コネクタに対して着脱自在に接続される受電コネクタと、インターロック機構と、を備え、
前記インターロック機構は規制部材を備え、
前記規制部材は、前記把持部材の移動経路に配置されて前記把持部材が前記把持位置から前記解除位置に移動することを規制する規制状態と、前記把持部材の移動経路から除去されて前記把持部材の移動を規制しない非規制状態と、に状態変更可能であり、
前記インターロック機構は、前記受電コネクタが前記給電コネクタに接続された状態では前記規制部材が前記規制状態となるように構成されている、搬送設備。

【請求項2】

前記給電コネクタは、前記把持部材が前記解除位置にある状態では前記受電コネクタを接続することができず、前記把持部材が前記把持位置にある状態で前記受電コネクタを接続することができる位置に配置されている、請求項１に記載の搬送設備。

【請求項3】

前記インターロック機構は、蓋部材と、連動機構と、を更に備え、
前記蓋部材は、前記受電コネクタの配置領域と前記給電コネクタの配置領域とをつなぐ開口を閉鎖する閉鎖状態と、前記開口を開放する開放状態とに状態変更可能であり、
前記連動機構は、前記蓋部材が前記開放状態である場合に前記規制部材が前記規制状態となり、前記蓋部材が前記閉鎖状態である場合に前記規制部材が前記非規制状態となるように、前記蓋部材と前記規制部材とを連動させる、請求項１又は２に記載の搬送設備。

【請求項4】

前記蓋部材と前記規制部材とは、一体的に連結された連結体となっており、
前記連結体は、規定の揺動軸心周りに揺動することで、前記蓋部材が前記開放状態且つ前記規制部材が前記規制状態となる第１姿勢と、前記蓋部材が前記閉鎖状態且つ前記規制部材が前記非規制状態となる第２姿勢と、に姿勢変更可能であり、
前記連動機構は、前記連結体を前記揺動軸心周りに揺動自在に支持する支持部と、前記連結体を前記第１姿勢において保持すると共に当該保持を解除可能である保持部と、を備える、請求項３に記載の搬送設備。

【請求項5】

前記把持部は、前記把持部材を支持する把持本体部を備え、
前記規制部材は、前記受電コネクタと一体的に連結されていると共に、前記検査装置の前記被把持部及び前記把持本体部の少なくとも一方に設けられた被固定部に固定される固定部を備え、
前記受電コネクタが前記給電コネクタに接続された状態で、前記規制部材が前記規制状態になると共に前記被固定部に前記固定部が固定された状態となり、前記受電コネクタが前記給電コネクタから取り外された状態で、前記規制部材が前記非規制状態になると共に前記被固定部に対する前記固定部の固定が解除された状態となる、請求項１又は２に記載の搬送設備。

【請求項6】

前記搬送車は、前記把持部を移動させる移動機構部を更に備え、前記把持部を移動させて前記把持部と移載対象箇所との間で前記搬送物を移載し、
前記検査部は、前記移載対象箇所の画像を取得し、又は、前記移載対象箇所との位置関係を検出するように構成されており、
前記検査装置は、前記検査部により取得された情報に基づいて、前記把持部と前記移載対象箇所との位置関係を検査する、請求項１から５のいずれか一項に記載の搬送設備。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送物を搬送する搬送車と、当該搬送車による搬送物の搬送経路に関する検査を行う場合に搬送物に代えて搬送車によって搬送される検査装置と、を備えた搬送設備に関する。

【背景技術】

【0002】

このような搬送設備の一例が、下記の特許文献１に開示されている。以下、この背景技術の説明では、特許文献１における符号及び名称を括弧内に引用する。

【0003】

特許文献１の物品搬送設備では、天井搬送車（１）が、搬送物としての容器（Ｗ）の代わりに検査用冶具（Ｊ）を把持可能に構成されており、当該検査用冶具（Ｊ）によって、天井搬送車（１）による搬送動作に係る各方向の位置ずれを検査する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１６－１９９３４８号公報（〔００４７〕段落－〔００４９〕段落、図１０、図１１）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、特許文献１には、検査用冶具（Ｊ）の動力について特に記載がない。通常、検査用冶具（Ｊ）にはバッテリなどの蓄電装置が搭載されており、検査用冶具（Ｊ）の動力は、このような蓄電装置の電力によって賄われる。しかしながら、検査用冶具（Ｊ）の軽量化の観点からは、検査用冶具（Ｊ）には蓄電装置が搭載されていないことが好ましい。例えば、天井搬送車（１）側の電源部と検査用冶具（Ｊ）とを電気的に接続し、天井搬送車（１）側の電源部から検査用冶具（Ｊ）に電力を供給することで、検査用冶具（Ｊ）の蓄電装置を無くすことも可能である。ここで、天井搬送車（１）が検査用冶具（Ｊ）を搬送している際に、天井搬送車（１）側の電源部と検査用冶具（Ｊ）とが配線等の接続部によって繋がれた状態では、天井搬送車（１）は検査用冶具（Ｊ）を把持している必要がある。仮に、天井搬送車（１）による検査用冶具（Ｊ）の把持が解除された場合には、天井搬送車（１）と検査用冶具（Ｊ）とが接続部のみによって物理的に繋がっている状態となり、当該接続部に過大な負担が掛かり得る。このため、特許文献１に記載の物品搬送装置は、改良の余地がある。

【0006】

そこで、検査装置の軽量化を図ると共に、搬送車から検査装置に電力を供給するための接続部に過大な負荷が作用することを回避でき、検査装置の着脱や搬送物の搬送を適切に行うことが可能な搬送設備の実現が望まれる。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記に鑑みた、搬送設備の特徴構成は、
搬送物を搬送する搬送車と、前記搬送車による前記搬送物の搬送経路に関する検査を行う場合に前記搬送物に代えて前記搬送車によって搬送される検査装置と、を備えた搬送設備であって、
前記搬送車は、本体部と、前記本体部を走行させる走行部と、前記本体部に搭載された把持部と、前記走行部及び前記把持部に電力を供給する電源部と、を備え、
前記把持部は、把持部材と、前記把持部材を駆動する駆動機構と、を備え、
前記把持部材は、前記駆動機構によって駆動されて把持位置と解除位置との間で移動するように構成されており、
前記把持部は、前記把持部材が前記把持位置にある状態で前記搬送物及び前記検査装置のそれぞれが備える被把持部を把持し、前記把持部材が前記解除位置にある状態で前記被把持部の把持を解除し、
前記電源部は、前記検査装置に電力を供給するための給電コネクタを備え、
前記検査装置は、前記被把持部と、前記電源部から供給された電力により動作して前記検査を行う検査部と、前記電源部と前記検査部とを電気的に接続するために前記給電コネクタに対して着脱自在に接続される受電コネクタと、インターロック機構と、を備え、
前記インターロック機構は規制部材を備え、
前記規制部材は、前記把持部材の移動経路に配置されて前記把持部材が前記把持位置から前記解除位置に移動することを規制する規制状態と、前記把持部材の移動経路から除去されて前記把持部材の移動を規制しない非規制状態と、に状態変更可能であり、
前記インターロック機構は、前記受電コネクタが前記給電コネクタに接続された状態では前記規制部材が前記規制状態となるように構成されている点にある。

【0008】

この特徴構成によれば、検査装置がバッテリ等の蓄電ユニットを備える必要がないので、検査装置を軽量化し易い。また、受電コネクタが給電コネクタに接続された状態で、誤って把持が解除されて、受電コネクタ及び給電コネクタ、並びにこれらに接続された配線に過大な負荷が作用することを回避できる。
一方、受電コネクタが給電コネクタから取り外された状態では規制部材を非規制状態にすることで、把持部を解除状態にすることが可能となるので、検査装置の着脱や搬送物の搬送を適切に行うことができる。

【0009】

本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】搬送設備の平面図

【図2】搬送車が移載対象箇所との間で搬送物を移載している様子を示す図

【図3】検査装置が検査を行っている様子を示す図

【図4】把持部の側面図

【図5】検査装置の平面図

【図6】検査装置の斜視図

【図7】蓋部材による開口の閉鎖状態を示す図

【図8】蓋部材による開口の開放状態を示す図

【図9】各機能部の状態遷移図

【図10】壁部材の非規制状態を示す図

【図11】壁部材の規制状態を示す図

【図12】第２の実施形態の被固定部を示す図

【図13】第２の実施形態の規制部材の規制状態を示す図

【図14】第３の実施形態の固定部及び被固定部を示す図

【図15】第３の実施形態の規制部材の規制状態を示す図

【発明を実施するための形態】

【0011】

１．第１の実施形態
搬送設備は、搬送物を搬送する搬送車と、搬送車による搬送物の搬送経路に関する検査を行う場合に搬送物に代えて搬送車によって搬送される検査装置と、を備えた設備である。以下、搬送設備が、半導体製造工場に用いられる場合を例示して、搬送設備の第１の実施形態について説明する。図１は、本実施形態の搬送設備１００の平面図である。図２は、搬送車１が移載対象箇所８との間で搬送物９を移載している様子を示す図である。

【0012】

図１及び図２に示すように、搬送設備１００は、搬送物９を搬送する搬送車１と、搬送物９の移載元または移載先となる移載対象箇所８と、を備えている。本実施形態では、複数の搬送車１と複数の移載対象箇所８とが、搬送設備１００に設けられている。

【0013】

本実施形態では、搬送設備１００は、設備の天井近くに設置されて搬送車１の搬送経路Ｒの一部を構成する走行レールＲａを備えている。すなわち、本例において搬送車１は、天井近くで搬送物９を搬送する天井搬送車として構成されている。なお、「搬送経路Ｒ」とは、搬送車１が搬送物９を移動させる経路である。本例では、搬送経路Ｒは、走行レールＲａに沿って設定されていると共に、各移載対象箇所８と走行レールＲａとを上下方向に結ぶ仮想的な経路に沿って設定されている。

【0014】

図２に示すように、走行レールＲａは、設備の天井から吊下げ支持されている。本例では、走行レールＲａに沿って、給電線Ｒｂが設けられている。搬送車１は、給電線Ｒｂから非接触で電力の供給を受けることにより動力源を確保するように構成されている。

【0015】

図１及び図２に示すように、本実施形態では、搬送設備１００は、移載対象箇所８として、搬送物９に対する処理を行う処理装置８１と、処理装置８１に隣接して配置されると共に搬送物９が載置される載置台８２と、検査用載置台８３とを備えている。載置台８２は、いわゆるロードポートである。処理装置８１は、載置台８２に載置された搬送物９に対して処理を行う。載置台８２には、当該載置台８２に載置された搬送物９の位置決めを行う位置決め部８２ａが設けられている。位置決め部８２ａは、載置台８２の上面に設けられており、載置台８２に載置された搬送物９の底面に設けられた被係合部９０ａに係合するように構成されている。本例では、位置決め部８２ａは、載置台８２の上面から上側に突出するように設けられた複数の位置決めピンである。検査用載置台８３は、搬送車１（後述する把持部１２や移動機構部１３等）を検査する際に用いられ、図示はしないが、検査用載置台８３の上面にも位置決め部材が設けられている。

【0016】

本実施形態では、搬送車１は、処理装置８１による処理が行われる前の搬送物９を載置台８２に搬送すると共に、処理装置８１による処理が行われた後の搬送物９を載置台８２から指定された搬送先へ搬送する。例えば、搬送物９は、処理装置８１による処理の対象となる処理対象物を収容する容器であり、上述の「搬送物９に対する処理」とは、搬送物９に収容された処理対象物に対する処理を意味する。搬送物９としては、ウェハを収容するウェハ収容容器（いわゆるＦＯＵＰ：Front Opening Unified Pod）であっても良いし、レチクルを収容するレチクル収容容器（いわゆるレチクルポッド）であっても良い。搬送物９がＦＯＵＰである場合、処理対象物はウェハとされる。搬送物９がレチクルポッドである場合、処理対象物はレチクルとされる。ここで例示する半導体製造工場においては、処理装置８１は、半導体基板に対して、例えば、薄膜形成、フォトリソグラフィー、エッチングなどの種々の処理を行う。

【0017】

図２に示すように、容器としての搬送物９は、容器本体部９０と、被把持部９１と、を備えている。容器本体部９０は、処理対象物を収容する部分である。被把持部９１は、後述する搬送車１の把持部１２によって把持される部分である。本実施形態では、被把持部９１は、容器本体部９０の上面から上方に突出するように形成されている。本例では、被把持部９１は、水平方向に沿って延在するフランジ状に形成されている。容器本体部９０の底面には、載置台８２に設けられた位置決め部８２ａに係合する被係合部９０ａが設けられている。上記のとおり、本例では、位置決め部８２ａは、複数の位置決めピンである。そこで、被係合部９０ａは、複数の位置決めピンのそれぞれに係合するように、容器本体部９０の底面から上方に凹んで形成された凹部が相当する。本例では、複数の位置決めピンのそれぞれに対応する容器本体部９０の底面の複数箇所に、被係合部９０ａとしての凹部が設けられている。よって、搬送物９が載置台８２に載置された状態で、被係合部９０ａとしての複数の凹部が、載置台８２の位置決め部８２ａとしての複数の位置決めピンのそれぞれに係合する。

【0018】

搬送車１は、本体部１０と、本体部１０を走行させる走行部１１と、本体部１０に搭載された把持部１２と、走行部１１及び把持部１２に電力を供給する電源部１４と、を備えている。

【0019】

本実施形態では、搬送車１は、更に、把持部１２を移動させる移動機構部１３を備え、把持部１２を移動させて把持部１２と移載対象箇所８との間で搬送物９を移載するように構成されている。移動機構部１３は、少なくとも、把持部１２を昇降させるように構成されている。すなわち本実施形態では、搬送車１は、把持部１２を昇降させる昇降部１５を備えている。

【0020】

本実施形態では、移動機構部１３は、把持部１２に連結された昇降ベルト１３ａを備えている。昇降ベルト１３ａは、昇降モータにより駆動されて、把持部１２を昇降させる。本例では、移動機構部１３は、上方位置と、当該上方位置よりも下方に設定された下方位置との間で、把持部１２を昇降させるように構成されている。把持部１２が上方位置に配置された状態で、走行部１１が走行レールＲａに沿って走行し、本体部１０及び把持部１２を移動させる。また、把持部１２が下方位置に配置された状態で、搬送車１と移載対象箇所８との間で搬送物９の移載が行われる。

【0021】

また、移動機構部１３は、昇降部１５に加えて、把持部１２を上下方向に沿う旋回軸心周りに旋回させるように構成することも可能である。すなわち、搬送車１は、把持部１２を上下方向に沿う旋回軸心周りに旋回させる旋回部を備えても良い。この場合には、移動機構部１３は、把持部１２に連結されていると共に上下方向に沿う旋回軸心周りに旋回自在に支持された旋回軸と、当該旋回軸を駆動する旋回用モータとが設けられる。これにより、旋回用モータを駆動することで、把持部１２及び当該把持部１２に把持された状態の搬送物９を、上下方向に沿う旋回軸心周りに旋回させることが可能となる。

【0022】

更に、移動機構部１３は、昇降部１５に加えて、把持部１２を水平方向に沿ってスライド移動させるように構成することも可能である。すなわち、搬送車１は、把持部１２を水平方向に沿ってスライド移動させるスライド部１６を備えても良い。この場合には、移動機構部１３は、例えば、本体部１０に対して把持部１２及び昇降部１５を水平方向に沿ってスライド自在に支持するスライド案内機構と、スライド案内機構を駆動するスライド用モータとが設けられる。これにより、スライド用モータを駆動することで、把持部１２及び把持部１２に把持された状態の搬送物９を水平方向に沿ってスライド移動させることが可能となる。なお本例では、スライド部１６は、上下方向に沿う上下方向視で、搬送経路Ｒに直交する方向である幅方向に沿って把持部１２をスライド移動させるように構成されている。

【0023】

走行部１１は、走行レールＲａ上を転動する複数の走行輪１１ａを備えている。複数の走行輪１１ａのうちの少なくとも１つは、走行モータにより駆動される。これにより、走行部１１が走行レールＲａに沿って走行するための推進力が発生する。

【0024】

本体部１０は、走行部１１に吊り下げ支持され、走行レールＲａよりも下方に配置されている。本実施形態では、本体部１０は、把持部１２を収容可能なカバー部１０ａを備えている。具体的には、カバー部１０ａは、上方位置に配置された把持部１２、及び、当該把持部１２に把持された搬送物９を収容するように構成されている。

【0025】

把持部１２は、把持部材１２ａと、把持部材１２ａを駆動する駆動機構１２ｂと、を備えている。把持部材１２ａは、互いに接近または離間するように動作する一対の把持爪で構成される。駆動機構１２ｂは、把持用モータを含んで構成される。把持部材１２ａは、駆動機構１２ｂによって駆動されて、把持位置と解除位置との間で移動するように構成されている。把持位置とは、把持部材１２ａが被把持部９１を把持する状態となる位置であり、解除位置とは、把持部材１２ａが被把持部９１の把持を解除する状態となる位置である。本実施形態では、把持部材１２ａは、互いに接近する方向に移動することで把持位置に配置され、互いに離間する方向に移動することで解除位置に配置される。

【0026】

把持部１２は、把持部材１２ａが把持位置にある状態で搬送物９及び検査装置２（図３参照）のそれぞれが備える被把持部（９１，２１）を把持し、把持部材１２ａが解除位置にある状態で被把持部（９１，２１）の把持を解除するように構成されている。したがって、一対の把持部材１２ａが、互いに接近するように動作することで、一対の把持部材１２ａが被把持部（９１，２１）に接触して、把持部１２が把持状態となる。反対に、一対の把持部材１２ａが、互いに離間するように動作することで、一対の把持部材１２ａが被把持部（９１，２１）から離間して、把持部１２が解除状態となる。把持部材１２ａは、被把持部（９１，２１）を把持することから、所謂チャックに相当する。なお、本例では、把持部材１２ａが一対である場合を例示しているが、把持部材１２ａは３つ以上であっても良い。また、搬送物９の被把持部９１と検査装置２の被把持部２１とは、把持部材１２ａが把持し易いように、共通の形状であると好適である。もちろん、被把持部９１と被把持部２１とは、互いに異なる形状で構成することも可能であるが、この場合にも、把持部材１２ａが被把持部９１や被把持部２１を把持することが可能な形状であると良い。

【0027】

電源部１４は、検査装置２に電力を供給するための給電コネクタ３１を備えている。本実施形態では、電源部１４は、走行レールＲａに配設された給電線Ｒｂから非接触で電力の供給を受ける受電部と、当該受電部が受け取った電力を搬送車１の各部に供給する給電部とを含んで構成されている。給電コネクタ３１は、電源部１４が給電線Ｒｂから得た電力を出力可能に構成されている。そのため、給電コネクタ３１は、接続配線を介して電源部１４と電気的に接続されている。

【0028】

図４には、把持部１２の側面図が示される。本実施形態では、給電コネクタ３１は、把持部材１２ａが解除位置にある状態では受電コネクタ５１を接続することができず、把持部材１２ａが把持位置にある状態で受電コネクタ５１を接続することができる位置に配置されている。すなわち、図４に示されるように、把持部材１２ａが解除位置にあるときは、上下方向視で給電コネクタ３１と把持部材１２ａとは少なくとも一部が重複し、把持部材１２ａが把持位置にあるときは、上下方向視で給電コネクタ３１と把持部材１２ａとは互いに重複しないように構成される。このため、把持部材１２ａが解除位置にある状態では、上下方向に沿って把持部材１２ａの側から給電コネクタ３１を見た場合に、給電コネクタ３１における受電コネクタ５１との接続部分の一部又は全部が把持部材１２ａにより覆われた状態となる。この状態では、受電コネクタ５１を給電コネクタ３１に接続しようとしても、受電コネクタ５１が把持部材１２ａと干渉する。したがって、受電コネクタ５１を給電コネクタ３１に接続することができない。一方、把持部材１２ａが把持位置にある状態では、上下方向に沿って把持部材１２ａの側から給電コネクタ３１を見た場合に、給電コネクタ３１における受電コネクタ５１との接続部分の全てが把持部材１２ａに覆われずに露出している状態となる。この状態では、受電コネクタ５１を給電コネクタ３１に接続する場合に、受電コネクタ５１は把持部材１２ａと干渉しない。したがって、受電コネクタ５１を給電コネクタ３１に接続することが可能となる。

【0029】

搬送経路Ｒに関する検査が行われる場合には、搬送車１は、搬送物９に代えて検査装置２を搬送する（図３参照）。搬送車１が搬送経路Ｒに沿って検査装置２を搬送している間に、検査装置２は、搬送経路Ｒに関する検査を行う。ここで、「搬送経路Ｒに関する検査」には、搬送経路Ｒを移動中の搬送車１の検査、走行レールＲａの検査、移載対象箇所８の検査、搬送経路Ｒの周辺の空気の清浄度の検査、搬送経路Ｒやその周辺の状況や環境の検査などが含まれる。更には、載置台８２に対する被搬送物の移載位置を学習させるために行われるティーチング処理も含まれる。図３の例では、検査装置２を用いたティーチング処理をする様子が示される。

【0030】

図３には、本実施形態の検査装置２が示される。搬送車１は、載置台８２に対する被搬送物の移載位置を学習させるために、ティーチング処理を行うことができるように構成されている。本実施形態におけるティーチング処理とは、把持部１２が目標位置からずれのない位置で、載置台８２への被搬送物の移載動作が行えるように、搬送車１に行うべき動作を記憶させることをいう。ティーチング処理は、走行部１１を目標の載置台８２の上方で停止させ、移動機構部１３が把持部１２によって把持された状態の検査装置２を目標の載置台８２まで下降させることにより行う。本実施形態では、ティーチング処理は、検査用載置台８３を基準として、各所の載置台８２の位置を学習することにより行う。

【0031】

検査装置２は、被把持部２１と、検査部２２と、ユニット本体２３と、受電コネクタ５１と、インターロック機構６１とを備える。また、本実施形態では、検査装置２は、ティーチング処理を行うためのティーチングプレート２４を更に備える。被把持部２１は、検査装置２の上面に設けられ、検査時に把持部材１２ａにより把持される。検査部２２は、搬送経路Ｒに関する各種検査を行う場合における検査対象の測定や検出などを行う。本実施形態では、検査部２２は、第１距離計２２ａ、第２距離計２２ｂ、第３距離計２２ｃ、及び、角度計２２ｄを備え、移載対象箇所８との位置関係を検出する。ユニット本体２３は、被把持部２１に連結されていると共に、検査部２２としての第１距離計２２ａ、第２距離計２２ｂ、第３距離計２２ｃ、及び角度計２２ｄを支持している。ティーチングプレート２４は、ユニット本体２３から側方に突出する突起部２５を介して、ユニット本体２３に支持される。第１距離計２２ａは、レーザー距離計であって、ユニット本体２３の所定位置からティーチングプレート２４の所定位置までの第１方向（図３におけるＸ方向）の距離の検出を行う。第２距離計２２ｂは、レーザー距離計であって、ユニット本体２３の所定位置からティーチングプレート２４の所定位置までの第２方向（図３におけるＹ方向）の距離の検出を行う。本例では、第２距離計２２ｂは２台備えられている。第３距離計２２ｃは、レーザー距離計であって、ユニット本体２３の所定位置からティーチングプレート２４の所定位置までの第３方向（図３におけるＺ方向）の距離の検出を行う。本例では、第３距離計２２ｃは３台備えられている。角度計２２ｄは、ティーチングプレート２４に対するユニット本体２３の傾きを検出する。

【0032】

検査装置２は、検査部２２により取得された情報に基づいて、把持部１２と移載対象箇所８との位置関係を検査する。検査部２２により取得された情報とは、第１距離計２２ａによる検出結果、第２距離計２２ｂによる検出結果、第３距離計２２ｃによる検出結果、角度計２２ｄによる検出結果である。把持部１２と移載対象箇所８との位置関係とは、把持部１２と移載対象箇所８との第１方向、第２方向、第３方向、及び旋回方向の位置ずれや、傾きのずれである。したがって、検査装置２は、第１距離計２２ａによる検出結果、第２距離計２２ｂによる検出結果、第３距離計２２ｃによる検出結果、角度計２２ｄによる検出結果に基づいて、把持部１２と移載対象箇所８との第１方向、第２方向、第３方向、及び旋回方向の位置ずれや、傾きのずれを検査する。

【0033】

搬送車１によるティーチング処理を行う場合には、ユニット本体２３に設けられた第１距離計２２ａ、第２距離計２２ｂ、第３距離計２２ｃ、及び角度計２２ｄを用いて、ティーチングプレート２４に対するユニット本体２３の第１方向、第２方向、第３方向、及び旋回方向の位置と、ティーチングプレート２４に対するユニット本体２３の傾き量を測定し、夫々の測定結果に基づいてティーチングプレート２４に対する把持部１２のずれを算出し、算出したずれを搬送車１の学習値に反映させる。そして、当該ずれの反映後の学習値を、載置台８２に対する被搬送物の移載位置として搬送車１が備える記憶部に記憶させる。

【0034】

このような検査装置２を使ったティーチング処理では、検査部２２は、電源部１４から供給された電力により動作する。受電コネクタ５１は、電源部１４と検査部２２とを電気的に接続するために給電コネクタ３１に対して着脱自在に接続される。本実施形態では、受電コネクタ５１はプラグで構成され、給電コネクタ３１はジャックで構成されるが、受電コネクタ５１をジャックで構成し、給電コネクタ３１をプラグで構成しても良い。

【0035】

図５には、検査装置２を上方から見た平面図が示され、図６には、検査装置２の斜視図が示される。図５及び図６に示されるように、インターロック機構６１は、ユニット本体２３の上面プレート２８の一部が切り欠かれた部分に設けられる。本実施形態のインターロック機構６１は、規制部材７１、蓋部材７２、及び、連動機構７３を備える。

【0036】

規制部材７１は、把持部材１２ａの移動経路に配置されて把持部材１２ａが把持位置から解除位置に移動することを規制する規制状態と、把持部材１２ａの移動経路から除去されて把持部材１２ａの移動を規制しない非規制状態と、に状態変更可能である。把持部材１２ａの移動経路とは、一対の把持部材１２ａが互いに接近する方向へ移動する場合や、互いに離間する方向へ移動する場合に、一対の把持部材１２ａの一方が通る経路である。把持部材１２ａが把持位置から解除位置に移動することを規制するとは、把持位置において把持状態である把持部材１２ａが、解除状態となるために解除位置へ移動できないようにすることをいう。このように、一対の把持部材１２ａが互いに離間する方向へ移動する場合に、一対の把持部材１２ａの一方が通る経路に規制部材７１が配置され、把持位置において把持状態である把持部材１２ａが解除状態となるために解除位置へ移動できないようにする状態は、規制状態と称される。

【0037】

「把持部材１２ａの移動経路から除去されて」とは、一対の把持部材１２ａが互いに接近する方向へ移動する場合や、一対の把持部材１２ａが互いに離間する方向へ移動する場合に、一対の把持部材１２ａの一方が通る経路上に規制部材７１が存在しない状態とされることをいう。具体的には、規制部材７１が上面プレート２８から突出して規制状態となっていた場合には、上面プレート２８から規制部材７１が引退した状態をいい、規制部材７１を上面プレート２８に取り付けたり載置したりすることで、上面プレート２８から規制部材７１が突出して規制状態となっていた場合には、当該規制部材７１を上面プレート２８から取り外した状態をいう。把持部材１２ａの移動を規制しないとは、把持位置において把持状態である把持部材１２ａの解除位置への移動が自由に行えることをいう。このような、一対の把持部材１２ａが互いに接近する方向へ移動する場合や、一対の把持部材１２ａが互いに離間する方向へ移動する場合に、一対の把持部材１２ａの一方が通る経路上に規制部材７１が存在しない状態とされ、把持位置において把持状態である把持部材１２ａの解除位置への移動が自由に行える状態は、非規制状態と称される。規制部材７１は、規制状態と非規制状態とに状態変更ができるように構成される。

【0038】

蓋部材７２は、受電コネクタ５１の配置領域と給電コネクタ３１の配置領域とをつなぐ開口を閉鎖する閉鎖状態と、開口を開放する開放状態とに状態変更可能である。受電コネクタ５１の配置領域とは、検査装置２において、給電コネクタ３１と接続する前の受電コネクタ５１が収容される領域であって、本実施形態では、ユニット本体２３の上面プレート２８の一部が切り欠かれた部分における、上面プレート２８よりも下方側の領域が相当する。給電コネクタ３１の配置領域とは、把持部１２において、受電コネクタ５１と接続する前の給電コネクタ３１が配置された領域であって、本実施形態では、把持部１２における、インターロック機構６１と対向する領域が相当する（図３参照）。受電コネクタ５１の配置領域と給電コネクタ３１の配置領域とをつなぐ開口とは、ユニット本体２３の上面プレート２８の一部が切り欠かれた部分が相当する。蓋部材７２は、このような開口を閉鎖したり、開放したりできるように構成される。図７には、蓋部材７２が開口を閉鎖する閉鎖状態になった場合の図が示され、図８には、蓋部材７２が開口を開放する開放状態になった場合の図が示される。図７に示されるように、蓋部材７２が閉鎖状態になった場合には、受電コネクタ５１の配置領域と給電コネクタ３１の配置領域との間に、蓋部材７２が存在するため、受電コネクタ５１と給電コネクタ３１とが接続状態になることが規制される。一方、図８に示されるように、蓋部材７２が開放状態になった場合には、受電コネクタ５１の配置領域と給電コネクタ３１の配置領域との間に、蓋部材７２が存在しないため、受電コネクタ５１と給電コネクタ３１とが接続状態になることが許容される。すなわち、受電コネクタ５１を給電コネクタ３１に接続するためには、蓋部材７２を開放状態にする必要がある。

【0039】

規制部材７１は、蓋部材７２が開放状態である場合に規制状態となり、蓋部材７２が閉鎖状態である場合には非規制状態となるように構成されている。本実施形態では、図７に示されるように、蓋部材７２が閉鎖状態では、規制部材７１が上面プレート２８の表面よりも下方に引退して非規制状態となり、図８に示されるように、蓋部材７２が開放状態では、規制部材７１が上面プレート２８の表面よりも上方に突出して規制状態となる。このように、蓋部材７２と規制部材７１とは、互いに連動し、一方の状態が変化すれば他方の状態も変化するように構成される。本実施形態では、蓋部材７２と規制部材７１とを互いに連動させるために、蓋部材７２と規制部材７１とは、連動機構７３を介して連結されている。

【0040】

本実施形態では、図５、図６、図７、及び図８に示されるように、蓋部材７２と規制部材７１とは、一体的に連結された連結体７９で構成されている。本実施形態では、蓋部材７２と規制部材７１とは、連結部材７５に固定されている。連結部材７５は、平面視が長方形状の第１部分７５ａと、当該第１部分７５ａの長辺及び短辺の双方に直交する方向に、第１部分７５ａの一対の短辺のうちの一方から屈曲する第２部分７５ｂとを有する。したがって、連結部材７５は、図７及び図８に示されるように、第１部分７５ａの短辺方向に沿って見て、Ｌ字状に形成されている。蓋部材７２は、第１部分７５ａにおける第２部分７５ｂが突出する側とは反対側に突出するように配置されている。第１部分７５ａと第２部分７５ｂとの間の屈曲部７５ｃには、揺動軸心Ｘが設定されている。また、第２部分７５ｂは、図５に示されるように、第１部分７５ａに対して揺動軸心Ｘに沿う一方側に突出するように形成され、当該突出部分に、規制部材７１が連結固定されている。そして、この規制部材７１は、揺動軸心Ｘに対して直交する面に沿って延在するように配置されている。これにより、連結体７９が規定の揺動軸心Ｘ周りで揺動することで、図６及び図７に示すように、第１部分７５ａが水平方向に沿い、且つ、第２部分７５ｂが上下方向に沿う姿勢と、図８に示すように、第１部分７５ａが上下方向に沿い、且つ、第２部分７５ｂが水平方向に沿う姿勢とに姿勢変更する。図８に示されるように、第１部分７５ａが上下方向に沿う姿勢となることで蓋部材７２が開口を開放する開放状態となり、第２部分７５ｂが水平方向に沿う姿勢となることで規制部材７１が上面プレート２８よりも上方に突出した規制状態となる。このような連結体７９の姿勢は第１姿勢と称される。一方、図７に示されるように、第１部分７５ａが水平方向に沿う姿勢となることで蓋部材７２が開口を閉鎖する閉鎖状態となり、第２部分７５ｂが上下方向に沿う状態となることで規制部材７１が上面プレート２８よりも下方に引退した非規制状態となる。このような連結体７９の姿勢は第２姿勢と称される。

【0041】

連動機構７３は、支持部７６と保持部７７とを備える。支持部７６は、連結体７９を上述した揺動軸心Ｘ周りに揺動自在に支持する。支持部７６は、蝶番（ヒンジ）を用いて構成することが可能である。この場合、図７及び図８に示されるように、蝶番の芯棒（ピン）の軸心を、揺動軸心Ｘに一致させ、蝶番が有する第１の羽根７６Ａを連結部材７５の第２部分７５ｂに固定し、蝶番が有する第２の羽根７６Ｂを上面プレート２８の裏面に固定すると良い。これにより、蓋部材７２及び規制部材７１が、揺動軸心Ｘ周りで揺動し、第１姿勢と第２姿勢とに亘って姿勢状態を変更することが可能となる。

【0042】

保持部７７は、連結体７９を第１姿勢において保持すると共に当該保持を解除可能である。本実施形態では、連結体７９とは、規制部材７１、蓋部材７２、連動機構７３が互いに一体的に連結されたものである。第１姿勢とは、蓋部材７２が開放状態となり、規制部材７１が規制状態となる、連結体７９の姿勢である。保持部７７は、第１姿勢の連結体７９を保持するように構成される。このような保持部７７として、例えば永久磁石Ｍと強磁性体Ｐとを用いることが可能である。この場合には、蓋部材７２における第１姿勢時に上面プレート２８と対向する面に永久磁石Ｍを設け、上面プレート２８における第１姿勢の蓋部材７２と対向する部位に強磁性体Ｐを設けると良い。これにより、永久磁石Ｍと強磁性体Ｐとに間の磁力により連結体７９の第１姿勢を保持することができる。一方、連結体７９の第１姿勢を解除する場合（第２姿勢に移行する場合）には、作業者等の力により、永久磁石Ｍを強磁性体Ｐから離間させて揺動軸心Ｘ周りで揺動させれば良い。これにより、連結体７９を第２姿勢に移行させることが可能となる。なお、永久磁石Ｍと強磁性体Ｐとの配置を入れ替えても良い。

【0043】

給電コネクタ３１と受電コネクタ５１とを接続する場合には、このように蓋部材７２を有する連結体７９を第１姿勢にして蓋部材７２を開放状態にする必要があり、この第１姿勢では連結体７９を構成する規制部材７１が上面プレート２８から立設し、把持部材１２ａの移動経路上に存在することになる。したがって、インターロック機構６１は、受電コネクタ５１が給電コネクタ３１に接続された状態では、規制部材７１が必ず規制状態となり、把持部材１２ａが把持位置から解除位置に移動することを規制するようになっている。

【0044】

図９には、各機能部の状態遷移図が示される。まず、把持部材１２ａが解除位置にあるとする（＃１）。この場合には、図１０に示されるように、把持部材１２ａが解除位置にあり、把持部材１２ａは被把持部２１を把持していない。その後、把持部材１２ａが検査装置２の被把持部２１を把持するために、把持部材１２ａが把持位置に移動する（＃２）。これにより、図１１に示されるように、把持部材１２ａが被把持部２１を把持する。このように、把持部材１２ａの把持位置へ移動する場合には、連結体７９は第２姿勢となっている。そして、受電コネクタ５１を給電コネクタ３１に接続するために、連結体７９が第１姿勢に変更される（＃３）。これにより、図１１に示されるように、規制部材７１が、把持位置にある把持部材１２ａの解除位置への移動を規制する規制状態となり、且つ、蓋部材７２が、受電コネクタ５１の配置領域と給電コネクタ３１の配置領域とをつなぐ開口を開放する開放状態となる（＃４）。この場合には、把持位置にある把持部材１２ａが解除位置に移動する移動経路上に、規制部材７１が立設する状態となるので、把持部材１２ａの解除位置への移動が規制される。また、この状態で、図１１に示されるように、受電コネクタ５１を給電コネクタ３１に接続することが可能となる（＃５）。

【0045】

一方、把持部材１２ａによる検査装置２の被把持部２１の把持を解除する場合には、まず、受電コネクタ５１と給電コネクタ３１との接続を解除して非接続状態にする（＃６）。そして、連結体７９を第２姿勢にする（＃７）。これにより、規制部材７１が、把持位置にある把持部材１２ａの解除位置への移動を規制しない非規制状態となり、且つ、蓋部材７２が、受電コネクタ５１の配置領域と給電コネクタ３１の配置領域とをつなぐ開口を閉鎖する閉鎖状態となる（＃８）。この場合には、把持位置にある把持部材１２ａが解除位置に移動する移動経路上に、規制部材７１が存在しないので、把持部材１２ａの解除位置への移動が許容される。これにより、図１０に示されるように、把持部材１２ａを解除位置に移動することが可能となる（＃９）。

【0046】

以上のように構成することで、規制部材７１を規制状態にしなければ、受電コネクタ５１を給電コネクタ３１に接続することができない。そのため、受電コネクタ５１が給電コネクタ３１に接続された状態で、誤って把持が解除されて、受電コネクタ５１及び給電コネクタ３１、並びにこれらに接続された配線に過大な負荷が作用することを回避できる。

【0047】

２．第２の実施形態
次に、搬送設備１００の第２の実施形態について、図１２及び図１３を用いて説明する。本実施形態では、規制部材７１が検査装置２から取り外すことが可能である点で、上記第１の実施形態とは異なる。以下では、本実施形態に係る搬送設備１００について、上記第１の実施形態との相違点を中心として説明する。なお、特に説明しない点については、上記第１の実施形態と同様とする。

【0048】

図１２及び図１３に示されるように、把持部１２は、把持部材１２ａを支持する把持本体部１２ｃを備える。本実施形態では、把持本体部１２ｃとは、把持部材１２ａ及び当該把持部材１２ａを駆動する駆動機構１２ｂを支持する部分である。本例では、昇降部１５により昇降される部分である。

【0049】

本実施形態では、規制部材７１は、受電コネクタ５１と一体的に連結されていると共に、検査装置２の被把持部２１に設けられた被固定部２９に固定される固定部７４を備えている。ここで、受電コネクタ５１と一体的に連結されているとは、規制部材７１と受電コネクタ５１とが互いに分離できないように構成されていることをいう。このような規制部材７１は、当該規制部材７１を例えば樹脂を用いて作成する場合には、受電コネクタ５１における、給電コネクタ３１と接続する接続部分とは反対側の基部が、樹脂成形時に樹脂内に含まれるように配置した後、冷却及び固化させると良い。もちろん、その他の方法、例えば、規制部材７１に孔をあけておき、当該孔に受電コネクタ５１の基部を圧入する等、により構成することも可能である。検査装置２の被把持部２１に設けられた被固定部２９とは、本実施形態では、検査装置２のユニット本体２３の上面プレート２８の一部が切り欠かれた開口が相当する。この開口は、固定部７４の平面視の外形に応じて、当該固定部７４が嵌合される形状に形成されると良い。本実施形態では、固定部７４は、平面視が四角形状となるように構成されている。このため、被固定部２９である開口は、固定部７４が嵌合される四角形状の部分を有するように形成される。これにより、固定部７４を被固定部２９に嵌め込んで固定することが可能となる。なお、被固定部２９は開口に限らず、固定部７４が嵌合又は係合される凹部とされていても良い。この場合、固定部７４は、被固定部２９としての凹部に嵌合又は係合する凸部とされると良い。また、固定部７４と被固定部２９との凹凸の関係は入れ替わっても良い。

【0050】

図１３に示されるように、受電コネクタ５１が給電コネクタ３１に接続された状態となると、規制部材７１が、把持位置にある把持部材１２ａが解除位置へ移動することを規制する規制状態になると共に被固定部２９に固定部７４が固定された状態となる。一方、図１２に示されるように、受電コネクタ５１が給電コネクタ３１から取り外された状態となると、規制部材７１が、把持部材１２ａの移動経路から除去されて、把持部材１２ａの解除位置への移動を規制しない非規制状態になると共に被固定部２９に対する固定部７４の固定が解除された状態となる。

【0051】

したがって、このような構成であっても、上述した第１の実施形態と同様に、規制部材７１を規制状態にしなければ、受電コネクタ５１を給電コネクタ３１に接続することができない。そのため、受電コネクタ５１が給電コネクタ３１に接続された状態で、誤って把持が解除されて、受電コネクタ５１及び給電コネクタ３１、並びにこれらに接続された配線に過大な負荷が作用することを回避できる。

【0052】

３．第３の実施形態
次に、搬送設備１００の第３の実施形態について、図１４及び図１５を用いて説明する。本実施形態では、被固定部２９が把持本体部１２ｃに設けられる点で、上記第２の実施形態とは異なる。以下では、本実施形態に係る搬送設備１００について、上記第２の実施形態との相違点を中心として説明する。なお、特に説明しない点については、上記第２の実施形態と同様とする。

【0053】

図１４及び図１５に示されるように、規制部材７１は、受電コネクタ５１と一体的に連結されていると共に、把持本体部１２ｃに設けられた被固定部２９に固定される固定部７４を備える。本実施形態では、規制部材７１は、胴体部７８の中央部に受電コネクタ５１における、給電コネクタ３１と接続する接続部分とは反対側の基部が固定されている。更に、規制部材７１は、胴体部７８の両端部に、受電コネクタ５１の先端部（給電コネクタ３１と接続する接続部分）が向く方向に突出するように固定部７４を有するように形成される。本実施形態では、固定部７４は、円柱状に形成されている。また、被固定部２９は、固定部７４の形状に応じて、円形状の孔とされている。ここで、被固定部２９の内径は、固定部７４の外径と同程度に形成される。すなわち、本例では、固定部７４は差し込みピンであり、被固定部２９は、当該差し込みピンが嵌合される嵌合孔である。そして、受電コネクタ５１を給電コネクタ３１に接続すると共に、固定部７４を被固定部２９に圧入することで、規制部材７１を把持本体部１２ｃに固定することが可能となる。また、固定部７４を被固定部２９に固定した状態では、規制部材７１が、把持位置にある把持部材１２ａが解除位置に移動する際の経路に配置される。これにより、図１５に示されるように、規制部材７１が把持本体部１２ｃに固定されている状態では、把持部材１２ａの解除位置への移動が規制される。

【0054】

したがって、本構成であっても、上述した第１の実施形態と同様に、規制部材７１を規制状態にしなければ、受電コネクタ５１を給電コネクタ３１に接続することができない。そのため、受電コネクタ５１が給電コネクタ３１に接続された状態で、誤って把持が解除されて、受電コネクタ５１及び給電コネクタ３１、並びにこれらに接続された配線に過大な負荷が作用することを回避できる。

【0055】

４．その他の実施形態
次に、搬送設備１００のその他の実施形態について説明する。

【0056】

（１）上記の実施形態では、給電コネクタ３１は、把持部材１２ａが解除位置にある状態では受電コネクタ５１を接続することができず、把持部材１２ａが把持位置にある状態で受電コネクタ５１を接続することができる位置に配置されているとして説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、給電コネクタ３１は、把持部材１２ａが解除位置にある状態でも受電コネクタ５１に接続することができる位置に配置されても良い。

【0057】

（２）上記の第１の実施形態では、インターロック機構６１が蓋部材７２と連動機構７３とを備えているとして説明した。しかし、搬送設備１００の実施形態は、そのような構成に限定されるものではない。例えば、蓋部材７２の有無に関わらず、規制部材７１が受電コネクタ５１と連動するように構成されていても良い。この場合、連動機構７３は、受電コネクタ５１が給電コネクタ３１に接続された接続状態である場合に規制部材７１が規制状態となり、受電コネクタ５１と給電コネクタ３１との接続が解除された非接続状態である場合に規制部材７１が非規制状態となるように、受電コネクタ５１と規制部材７１とを連動させると好適である。

【0058】

（３）上記実施形態では、蓋部材７２と規制部材７１とが一体的に連結された連結体７９となっているとして説明したが、蓋部材７２と規制部材７１とが互いに連結されず別体として構成されていても良い。この場合、連動機構７３は、例えば、リンク機構やカム機構を用いて構成されると好適である。

【0059】

（４）上記実施形態では、検査部２２が第１距離計２２ａ、第２距離計２２ｂ、第３距離計２２ｃ、及び角度計２２ｄを備え、これらの検出結果に基づいて移載対象箇所８との位置関係を検出してティーチング処理に使用する場合の例を挙げて説明した。しかし、搬送設備１００の実施形態は、そのような構成に限定されるものではない。検査部２２は、移載対象箇所８の画像を取得するカメラを備え、取得された画像に基づいて把持部１２と移載対象箇所８との位置関係を検査するように構成されても良い。また、検査部２２は、その他の各種センサを用いて構成されても良い。

【0060】

（５）上記実施形態では、電源部１４は、走行レールＲａに配設された給電線Ｒｂから非接触で電力の供給を受ける受電部と、当該受電部が受け取った電力を搬送車１の各部に供給する給電部とを含んで構成されているとして説明した。しかし、搬送設備１００の実施形態は、そのような構成に限定されるものではない。例えば搬送車１がバッテリ等の蓄電部を搭載する場合には、この蓄電部と、当該蓄電部からの電力を搬送車１の各部に供給する給電部とを含むように電源部１４を構成することも可能である。

【0061】

（６）上記実施形態では、保持部７７が永久磁石Ｍと強磁性体Ｐとを用いて構成されるとして説明した。しかし、搬送設備１００の実施形態は、そのような構成に限定されるものではない。保持部７７は、強磁性体Ｐを永久磁石Ｍに代えて、２つの永久磁石Ｍを用いて構成することも可能である。また、保持部７７は、凹凸形状で、且つ、互いに係止する係止部を有する噛み合い係止部で構成しても良い。更には、保持部７７は、スナップフィットを用いて構成することも可能である。

【0062】

（７）上記実施形態では、保持部７７は、連結体７９を第１姿勢において保持すると共に当該保持を解除可能であるとして説明した。しかし、搬送設備１００の実施形態は、そのような構成に限定されるものでない。保持部７７は、連結体７９を第２姿勢においても保持すると共に当該保持を解除可能である構成としても良い。この場合、保持部７７は、連結体７９を第１姿勢と第２姿勢の双方で保持することが可能となる。なお、連動機構７３が保持部７７を備えない構成であっても良い。

【0063】

（８）上記第２の実施形態及び第３の実施形態では、規制部材７１は、固定部７４を被固定部２９に嵌め込んで、或いは、係止して固定する構成を例として説明した。しかし、搬送設備１００の実施形態は、そのような構成に限定されるものではない。固定部７４は、ボルト等の締結部材を用いて被固定部２９に固定される構成であっても良い。例えば、固定部７４と被固定部２９とのいずれか一方に貫通孔を形成すると共に他方に雌ネジ孔を形成し、ボルトを貫通孔に貫通させて雌ネジ孔に螺合させることで固定部７４と被固定部２９とを固定する構成としても良い。

【0064】

（９）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

【0065】

５．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した搬送設備の概要について説明する。

【0066】

搬送設備は、
搬送物を搬送する搬送車と、前記搬送車による前記搬送物の搬送経路に関する検査を行う場合に前記搬送物に代えて前記搬送車によって搬送される検査装置と、を備えた搬送設備であって、
前記搬送車は、本体部と、前記本体部を走行させる走行部と、前記本体部に搭載された把持部と、前記走行部及び前記把持部に電力を供給する電源部と、を備え、
前記把持部は、把持部材と、前記把持部材を駆動する駆動機構と、を備え、
前記把持部材は、前記駆動機構によって駆動されて把持位置と解除位置との間で移動するように構成されており、
前記把持部は、前記把持部材が前記把持位置にある状態で前記搬送物及び前記検査装置のそれぞれが備える被把持部を把持し、前記把持部材が前記解除位置にある状態で前記被把持部の把持を解除し、
前記電源部は、前記検査装置に電力を供給するための給電コネクタを備え、
前記検査装置は、前記被把持部と、前記電源部から供給された電力により動作して前記検査を行う検査部と、前記電源部と前記検査部とを電気的に接続するために前記給電コネクタに対して着脱自在に接続される受電コネクタと、インターロック機構と、を備え、
前記インターロック機構は規制部材を備え、
前記規制部材は、前記把持部材の移動経路に配置されて前記把持部材が前記把持位置から前記解除位置に移動することを規制する規制状態と、前記把持部材の移動経路から除去されて前記把持部材の移動を規制しない非規制状態と、に状態変更可能であり、
前記インターロック機構は、前記受電コネクタが前記給電コネクタに接続された状態では前記規制部材が前記規制状態となるように構成されている。

【0067】

本構成によれば、検査装置がバッテリ等の蓄電ユニットを備える必要がないので、検査装置を軽量化し易い。また、受電コネクタが給電コネクタに接続された状態で、誤って把持が解除されて、受電コネクタ及び給電コネクタ、並びにこれらに接続された配線に過大な負荷が作用することを回避できる。
一方、受電コネクタが給電コネクタから取り外された状態では規制部材を非規制状態にすることで、把持部を解除状態にすることが可能となるので、検査装置の着脱や搬送物の搬送を適切に行うことができる。

【0068】

ここで、
前記給電コネクタは、前記把持部材が前記解除位置にある状態では前記受電コネクタを接続することができず、前記把持部材が前記把持位置にある状態で前記受電コネクタを接続することができる位置に配置されていると好適である。

【0069】

本構成によれば、把持部材が解除位置にある状態では、受電コネクタが給電コネクタに接続できない。そのため、受電コネクタが給電コネクタに接続され、且つ、把持部が検査装置の被把持部を把持していない状態で搬送車が移動する等して、受電コネクタ及び給電コネクタ、並びにこれらに接続された配線に過大な負荷が作用することを回避できる。

【0070】

また、
前記インターロック機構は、蓋部材と、連動機構と、を更に備え、
前記蓋部材は、前記受電コネクタの配置領域と前記給電コネクタの配置領域とをつなぐ開口を閉鎖する閉鎖状態と、前記開口を開放する開放状態とに状態変更可能であり、
前記連動機構は、前記蓋部材が前記開放状態である場合に前記規制部材が前記規制状態となり、前記蓋部材が前記閉鎖状態である場合に前記規制部材が前記非規制状態となるように、前記蓋部材と前記規制部材とを連動させると好適である。

【0071】

本構成によれば、受電コネクタを給電コネクタに接続するために蓋部材を開放状態とすることに連動して規制部材が規制状態となる。従って、受電コネクタが給電コネクタに接続された状態では、必ず規制部材が規制状態となるようにできる。よって、受電コネクタが給電コネクタに接続された状態で、誤って把持が解除されて、受電コネクタ及び給電コネクタ、並びにこれらに接続された配線に過大な負荷が作用することを回避できる。

【0072】

また、
前記蓋部材と前記規制部材とは、一体的に連結された連結体となっており、
前記連結体は、規定の揺動軸心周りに揺動することで、前記蓋部材が前記開放状態且つ前記規制部材が前記規制状態となる第１姿勢と、前記蓋部材が前記閉鎖状態且つ前記規制部材が前記非規制状態となる第２姿勢と、に姿勢変更可能であり、
前記連動機構は、前記連結体を前記揺動軸心周りに揺動自在に支持する支持部と、前記連結体を前記第１姿勢において保持すると共に当該保持を解除可能である保持部と、を備えると好適である。

【0073】

本構成によれば、蓋部材を開放状態とするのに連動して規制部材を規制状態とし、蓋部材を閉鎖状態とするのに連動して規制部材を非規制状態とすることができる。また、このような構成を簡素な構造で実現できる。

【0074】

また、
前記把持部は、前記把持部材を支持する把持本体部を備え、
前記規制部材は、前記受電コネクタと一体的に連結されていると共に、前記検査装置の前記被把持部及び前記把持本体部の少なくとも一方に設けられた被固定部に固定される固定部を備え、
前記受電コネクタが前記給電コネクタに接続された状態で、前記規制部材が前記規制状態になると共に前記被固定部に前記固定部が固定された状態となり、前記受電コネクタが前記給電コネクタから取り外された状態で、前記規制部材が前記非規制状態になると共に前記被固定部に対する前記固定部の固定が解除された状態となるようにしても良い。

【0075】

本構成によれば、受電コネクタを給電コネクタに接続することにより規制部材が規制状態で固定される。従って、受電コネクタが給電コネクタに接続された状態では、必ず規制部材が規制状態となるようにできる。よって、受電コネクタが給電コネクタに接続された状態で、誤って把持が解除されて、受電コネクタ及び給電コネクタ、並びにこれらに接続された配線に過大な負荷が作用することを回避できる。

【0076】

また、
前記搬送車は、前記把持部を移動させる移動機構部を更に備え、前記把持部を移動させて前記把持部と移載対象箇所との間で前記搬送物を移載し、
前記検査部は、前記移載対象箇所の画像を取得し、又は、前記移載対象箇所との位置関係を検出するように構成されており、
前記検査装置は、前記検査部により取得された情報に基づいて、前記把持部と前記移載対象箇所との位置関係を検査すると好適である。

【0077】

本構成によれば、検査装置を用いて、把持部と移載対象箇所との位置関係を検査することができる。これにより、搬送車によって移載対象箇所に対して適切に搬送物を移載することができるか否かについても検査することができる。

【産業上の利用可能性】

【0078】

本開示に係る技術は、搬送物を搬送する搬送車と、当該搬送車による搬送物の搬送経路に関する検査を行う場合に搬送物に代えて搬送車によって搬送される検査装置と、を備えた搬送設備に利用することができる。

【符号の説明】

【0079】

１ ：搬送車
２ ：検査装置
８ ：移載対象箇所
９ ：搬送物
１０ ：本体部
１１ ：走行部
１２ ：把持部
１２ａ ：把持部材
１２ｂ ：駆動機構
１２ｃ ：把持本体部
１３ ：移動機構部
１４ ：電源部
２１ ：被把持部
２２ ：検査部
２９ ：被固定部
３１ ：給電コネクタ
５１ ：受電コネクタ
６１ ：インターロック機構
７１ ：規制部材
７２ ：蓋部材
７３ ：連動機構
７４ ：固定部
７６ ：支持部
７７ ：保持部
７９ ：連結体
９１ ：被把持部
１００ ：搬送設備
Ｘ ：揺動軸心

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】