(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-09-24
(45)【発行日】2024-10-02
(54)【発明の名称】搬送システム
(51)【国際特許分類】
B65G 1/04 20060101AFI20240925BHJP
H01L 21/677 20060101ALI20240925BHJP
【ＦＩ】
B65G1/04 551A
B65G1/04 555Z
H01L21/68 A
【請求項の数】
11
(21)【出願番号】P 2024511313
(86)(22)【出願日】2023-01-27
(86)【国際出願番号】 JP2023002713
(87)【国際公開番号】W WO2023188769
(87)【国際公開日】2023-10-05
【審査請求日】2024-04-15
(31)【優先権主張番号】P 2022054012
(32)【優先日】2022-03-29
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000006297
【氏名又は名称】村田機械株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100088155
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】100113435
【弁理士】
【氏名又は名称】黒木 義樹
(74)【代理人】
【識別番号】100176245
【弁理士】
【氏名又は名称】安田 亮輔
(74)【代理人】
【識別番号】100156395
【弁理士】
【氏名又は名称】荒井 寿王
(72)【発明者】
【氏名】北村 亘
【審査官】八板 直人
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１２－１９３０３３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－２５３０７０（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１９／０３５２８６（ＷＯ，Ａ１）
【文献】国際公開第２０１５／１７４１８１（ＷＯ，Ａ１）
【文献】欧州特許出願公開第３７８２９３９（ＥＰ，Ａ１）
【文献】米国特許出願公開第２００９／００１３８９７（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ６５Ｇ １／００－１／２０；４９／０７
Ｈ０１Ｌ ２１／６７７
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
物品を搬送する複数の搬送車と、搬送車が走行する走行軌道と、物品を載置する載置部と、複数の前記搬送車を制御するコントローラと、を備えた搬送システムであって、前記走行軌道は、複数の区間内軌道と、複数の前記区間内軌道を接続する接続軌道と、を有し、
複数の前記区間内軌道のそれぞれは、当該区間内軌道に進入するための入口エリアと、当該区間内軌道から退出するための出口エリアと、を含み、
前記載置部は、
複数の前記区間内軌道のうちの第１区間内軌道に存在する前記搬送車が前記物品を移載可能な前記載置部である第１載置部と、
前記第１区間内軌道に存在する前記搬送車が前記物品を移載可能で、且つ、複数の前記区間内軌道のうちの第２区間内軌道に存在する前記搬送車が前記物品を移載可能な前記載置部である第２載置部と、を含み、
前記コントローラは、
前記第１載置部から前記物品を搬送する、又は、前記第１載置部へ前記物品を搬送する場合において、前記第１区間内軌道の前記入口エリア及び前記出口エリアの少なくとも何れかに所定レベル以上の通行制限が生じている通行制限時には、前記第１載置部から前記第２載置部を介して前記物品を搬送する搬送、又は、前記第１載置部へ前記第２載置部を介して前記物品を搬送する搬送を、複数の前記搬送車により実行させる、搬送システム。
【請求項2】
前記コントローラは、前記第１載置部から前記物品を搬送する、又は、前記第１載置部へ前記物品を搬送する場合において前記通行制限時には、前記第１載置部から前記第２載置部を介して前記物品を搬送させる搬送指令、又は、前記第１載置部へ前記第２載置部を介して前記物品を搬送させる搬送指令を、複数の前記搬送車に分割して割り付ける、請求項１に記載の搬送システム。
【請求項3】
前記コントローラは、前記第１載置部から前記物品を搬送する場合において前記通行制限時には、前記第１載置部から前記第２載置部へ前記物品を搬送させる搬送指令を、前記第１区間内軌道に存在する前記搬送車に割り付けると共に、前記第２載置部から前記物品を搬送させる搬送指令を、前記第１区間内軌道以外に存在する前記搬送車に割り付ける、請求項１に記載の搬送システム。
【請求項4】
前記コントローラは、前記第１載置部へ前記物品を搬送する場合において前記通行制限時には、前記第２載置部へ前記物品を搬送させる搬送指令を、前記第１区間内軌道以外に存在する前記搬送車に割り付けると共に、前記第２載置部から前記第１載置部へ前記物品を搬送させる搬送指令を、前記第１区間内軌道に存在する前記搬送車に割り付ける、請求項１に記載の搬送システム。
【請求項5】
複数の前記区間内軌道は、一方向に並んで配置され、前記第１区間内軌道と前記第２区間内軌道とは、隣り合う、請求項１に記載の搬送システム。
【請求項6】
前記搬送車は、前記物品を保持する物品保持部と、前記物品保持部を昇降させる昇降駆動部と、前記昇降駆動部を水平方向にスライド移動させる横出し機構と、を含む移載装置を有し、
前記横出し機構により前記昇降駆動部及び前記物品保持部をスライド移動させ、前記第２載置部との間で前記物品を移載する、請求項１に記載の搬送システム。
【請求項7】
前記走行軌道は、格子状軌道である、請求項１に記載の搬送システム。【請求項8】
前記入口エリアは、前記第１区間内軌道に進入するときに通過する前記第１区間内軌道のグリッドセルに対応し、前記出口エリアは、前記第１区間内軌道から退出するときに通過する前記第１区間内軌道のグリッドセルに対応し、
前記コントローラは、前記入口エリアに対応する全てのグリッドセルの数に対する、前記入口エリアに対応する使用可能なグリッドセルの数の割合と、前記出口エリアに対応する全てのグリッドセルの数に対する、前記出口エリアに対応する使用可能なグリッドセルの数の割合と、に基づいて、前記通行制限のレベルを判定する、請求項７に記載の搬送システム。
【請求項9】
前記載置部は、前記第２区間内軌道に存在する前記搬送車が前記物品を移載可能で、且つ、複数の前記区間内軌道のうちの第３区間内軌道に存在する前記搬送車が前記物品を移載可能な前記載置部である第３載置部と、を含み、
前記コントローラは、
前記第１載置部から前記物品を搬送する、又は、前記第１載置部へ前記物品を搬送する場合において、前記通行制限時に前記第２区間内軌道の前記入口エリア及び前記出口エリアの少なくとも何れかに所定レベル以上の通行制限が更に生じているときには、前記第１載置部から前記第２載置部と前記第３載置部とを介して前記物品を搬送する搬送、又は、前記第１載置部へ前記第２載置部と前記第３載置部とを介して前記物品を搬送する搬送を、複数の前記搬送車により実行させる、請求項１に記載の搬送システム。
【請求項10】
前記コントローラは、前記第１載置部から前記物品を搬送する、又は、前記第１載置部へ前記物品を搬送する場合において前記通行制限時には、前記第１区間内軌道に存在する前記搬送車の台数が、予め設定された所定台数に近づくように前記第１区間内軌道への前記搬送車の進入及び退出を制限する進入退出制限処理を実施し、
前記進入退出制限処理を実施した後、前記第１載置部から前記第２載置部を介して前記物品を搬送する搬送、又は、前記第１載置部へ前記第２載置部を介して前記物品を搬送する搬送を、複数の前記搬送車により実行させる、請求項１に記載の搬送システム。
【請求項11】
前記第１区間内軌道は、平面視において前記第２区間内軌道に近づくように延設された受渡し用軌道を含み、前記第２区間内軌道は、平面視において前記第１区間内軌道に近づくように延設された受渡し用軌道を含み、
前記第２載置部は、前記第１区間内軌道の受渡し用軌道に存在する前記搬送車が前記物品を移載可能で、且つ、前記第２区間内軌道の受渡し用軌道に存在する前記搬送車が前記物品を移載可能な前記載置部である、請求項１に記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明の一側面は、搬送システムに関する。
【背景技術】
【0002】
搬送システムに関する技術として、例えば特許文献１には、走行軌道を走行して物品を搬送する複数の無人走行車（搬送車）と、物品を載置するステーションと、複数の無人走行車を制御するコントローラと、を備えるシステムが開示されている。このような搬送システムでは、走行軌道は、複数の区間内軌道（いわゆるイントラベイ軌道）と、複数の区間内軌道を接続する接続軌道（いわゆるインターベイ軌道）と、を有している。無人走行車は、例えばある区間内軌道に沿うステーションから、別の区間内軌道に沿うステーションに物品を搬送する場合に、接続軌道を通過する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１８－３６８６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上述したような搬送システムでは、区間内軌道に進入するための入口エリア及び区間内軌道から退出するための出口エリアにおいて、トラブル又は渋滞等が発生する場合がある。この場合、当該区間内軌道と他の区間内軌道との間の通行が妨げられ、物品の搬送効率が低下するおそれがある。
【0005】
そこで、本発明の一側面は、物品の搬送効率を向上させることが可能な搬送システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
（１） 本発明の一側面に係る搬送システムは、物品を搬送する複数の搬送車と、搬送車が走行する走行軌道と、物品を載置する載置部と、複数の搬送車を制御するコントローラと、を備えた搬送システムであって、走行軌道は、複数の区間内軌道と、複数の区間内軌道を接続する接続軌道と、を有し、複数の区間内軌道のそれぞれは、当該区間内軌道に進入するための入口エリアと、当該区間内軌道から退出するための出口エリアと、を含み、載置部は、複数の区間内軌道のうちの第１区間内軌道に存在する搬送車が物品を移載可能な載置部である第１載置部と、第１区間内軌道に存在する搬送車が物品を移載可能で、且つ、複数の区間内軌道のうちの第２区間内軌道に存在する搬送車が物品を移載可能な載置部である第２載置部と、を含み、コントローラは、第１載置部から物品を搬送する、又は、第１載置部へ物品を搬送する場合において、第１区間内軌道の入口エリア及び出口エリアの少なくとも何れかに所定レベル以上の通行制限が生じている通行制限時には、第１載置部から第２載置部を介して物品を搬送する搬送、又は、第１載置部へ第２載置部を介して物品を搬送する搬送を、複数の搬送車により実行させる。
【0007】
この搬送システムでは、第１区間内軌道の入口エリア及び出口エリアの少なくとも何れかの通行制限時（以下、単に「通行制限時」ともいう）であっても、第１区間内軌道から及び第１区間内軌道への物品の搬送が第２載置部を介して円滑に実行可能である。これにより、物品の搬送効率を向上することが可能となる。
【0008】
（２） 上記（１）に記載された搬送システムでは、コントローラは、第１載置部から物品を搬送する、又は、第１載置部へ物品を搬送する場合において通行制限時には、第１載置部から第２載置部を介して物品を搬送させる搬送指令、又は、第１載置部へ第２載置部を介して物品を搬送させる搬送指令を、複数の搬送車に分割して割り付けてもよい。この場合、通行制限時における物品の円滑な搬送を具体的に実現可能である。
【0009】
（３） 上記（１）又は（２）に記載された搬送システムでは、コントローラは、第１載置部から物品を搬送する場合において通行制限時には、第１載置部から第２載置部へ物品を搬送させる搬送指令を、第１区間内軌道に存在する搬送車に割り付けると共に、第２載置部から物品を搬送させる搬送指令を、第１区間内軌道以外に存在する搬送車に割り付けてもよい。この場合、第１区間内軌道の通行制限時には、複数の搬送指令のそれぞれを異なる搬送車に割り付けて、第１載置部からの物品の搬送を実現することができる。
【0010】
（４） 上記（１）～（３）の何れか一項に記載された搬送システムでは、コントローラは、第１載置部へ物品を搬送する場合において通行制限時には、第２載置部へ物品を搬送させる搬送指令を、第１区間内軌道以外に存在する搬送車に割り付けると共に、第２載置部から第１載置部へ物品を搬送させる搬送指令を、第１区間内軌道に存在する搬送車に割り付けてもよい、この場合、第１区間内軌道の通行制限時には、複数の搬送指令のそれぞれを異なる搬送車にそれぞれ割り付けて、第１載置部への物品の搬送を実現することができる。
【0011】
（５） 上記（１）～（４）の何れか一項に記載された搬送システムでは、複数の区間内軌道は、一方向に並んで配置され、第１区間内軌道と第２区間内軌道とは、隣り合っていてもよい。この場合、一方向に隣り合って並ぶ第１区間内軌道と第２区間内軌道との間において第２載置部を介した物品の搬送が可能となる。
【0012】
（６） 上記（１）～（５）の何れか一項に記載された搬送システムでは、搬送車は、物品を保持する物品保持部と、物品保持部を昇降させる昇降駆動部と、昇降駆動部を水平方向にスライド移動させる横出し機構と、を含む移載装置を有し、横出し機構により昇降駆動部及び物品保持部をスライド移動させて、第２載置部との間で物品を移載してもよい。この場合、区間内軌道から水平方向に離れた載置部との間で物品を移載することが可能となる。
【0013】
（７） 上記（１）～（６）の何れか一項に記載された搬送システムでは、走行軌道は、格子状軌道であってもよい。この場合、いわゆるグリッドシステムを構成することができる。これにより、搬送車の走行経路を自由に選択しやすくなり、渋滞の発生を抑え、搬送効率をより向上させることが可能となる。
【0014】
（８） 上記（７）に記載された搬送システムでは、入口エリアは、第１区間内軌道に進入するときに通過する第１区間内軌道のグリッドセルに対応し、出口エリアは、第１区間内軌道から退出するときに通過する第１区間内軌道のグリッドセルに対応し、コントローラは、入口エリアに対応する全てのグリッドセルの数に対する、入口エリアに対応する使用可能なグリッドセルの数の割合と、出口エリアに対応する全てのグリッドセルの数に対する、出口エリアに対応する使用可能なグリッドセルの数の割合と、に基づいて、通行制限のレベルを判定してもよい。この場合、グリッドシステムにおいて第１区間内軌道が通行制限時か否かを、具体的に判定することが可能となる。
【0015】
（９） 上記（１）～（８）の何れか一項に記載された搬送システムでは、載置部は、第２区間内軌道に存在する搬送車が物品を移載可能で、且つ、複数の区間内軌道のうちの第３区間内軌道に存在する搬送車が物品を移載可能な載置部である第３載置部と、を含み、コントローラは、第１載置部から物品を搬送する、又は、第１載置部へ物品を搬送する場合において、通行制限時に第２区間内軌道の入口エリア及び出口エリアの少なくとも何れかに所定レベル以上の通行制限が更に生じているときには、第１載置部から第２載置部と第３載置部とを介して物品を搬送する搬送、又は、第１載置部へ第２載置部と第３載置部とを介して物品を搬送する搬送を、複数の搬送車により実行してもよい。この場合、第１区間内軌道及び第２区間内軌道の通行制限時でも、第２載置部及び第３載置部を介して、物品の搬送が可能となる。
【0016】
（１０） 上記（１）～（９）の何れか一項に記載された搬送システムでは、コントローラは、第１載置部から物品を搬送する、又は、第１載置部へ物品を搬送する場合において通行制限時には、第１区間内軌道に存在する搬送車の台数が、予め設定された所定台数に近づくように第１区間内軌道への搬送車の進入及び退出を制限する進入退出制限処理を実施し、進入退出制限処理を実施した後、第１載置部から第２載置部を介して物品を搬送する搬送、又は、第１載置部へ第２載置部を介して物品を搬送する搬送を、複数の搬送車により実行させてもよい。これより、第１区間内軌道に存在する搬送車の台数を制御した上で、第１載置部から第２載置部を介して物品を搬送する、又は、第１載置部へ第２載置部を介して物品を搬送することが可能となる。
【0017】
（１１） 上記（１）～（１０）の何れか一項に記載された搬送システムでは、第１区間内軌道は、平面視において第２区間内軌道に近づくように延設された受渡し用軌道を含み、第２区間内軌道は、平面視において第１区間内軌道に近づくように延設された受渡し用軌道を含み、第２載置部は、第１区間内軌道の受渡し用軌道に存在する搬送車が物品を移載可能で、且つ、第２区間内軌道の受渡し用軌道に存在する搬送車が物品を移載可能な載置部であってもよい。この場合、第１区間内軌道及び第２区間内軌道の非常時用軌道を利用して、第１区間内軌道と第２区間内軌道との間における第２載置部を介した物品の搬送が可能となる。
【発明の効果】
【0018】
本発明の一側面によれば、物品の搬送効率を向上させることが可能な搬送システムを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0019】
【発明を実施するための形態】
【0020】
以下、図面を参照して、実施形態について説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【0021】
図１は、搬送システムＳＹＳを示す概略平面図である。図２は、搬送システムＳＹＳの一部を示す斜視図である。図３は、搬送車Ｖを示す斜視図である。図４は、搬送車Ｖを示す側面図である。図５は、図１の搬送システムＳＹＳを示すブロック図である。以下、水平面に沿った一方向をＸ方向とし、Ｘ方向に直交し且つ水平面に沿った方向をＹ方向とし、鉛直方向をＺ方向として説明する。
【0022】
図１及び図２に示されるように、搬送システムＳＹＳは、例えば半導体製造工場のクリーンルームにおいて、物品Ｍを搬送車Ｖにより搬送するためのグリッドシステムである。搬送システムＳＹＳは、複数の搬送車Ｖと、複数の搬送車Ｖが走行するレール（走行軌道）Ｒと、物品Ｍを載置する載置部９と、を備える。搬送車Ｖは、搬送システムＳＹＳのレールＲに沿って移動する。レールＲは、搬送車Ｖの走行路である。搬送車Ｖは、搬送システムＳＹＳのレールＲに沿って移動し、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰ、あるいはレチクルを収容するレチクルＰｏｄ等の物品Ｍを搬送する。搬送車Ｖは、天井搬送車、走行搬送車又は走行車と称する場合がある。
【0023】
レールＲは、クリーンルーム等の建屋の天井又は天井付近に敷設されている。レールＲは、走行軌道の形態の一例である。レールＲは、平面視で格子状に配置された格子状軌道である。レールＲは、水平方向に沿って延び且つ吊り下げられている。レールＲは、複数の第１レールＲ１と、複数の第２レールＲ２と、複数の交差部Ｒ３と、を有する格子状レールである。
【0024】
複数の第１レールＲ１は、それぞれＸ方向に沿って延在する。複数の第２レールＲ２は、それぞれＹ方向に沿って延在する。レールＲは、複数の第１レールＲ１と複数の第２レールＲ２とにより、平面視において格子状に形成されている。レールＲは、複数の第１レールＲ１と複数の第２レールＲ２とにより複数のマス目を形成する。交差部Ｒ３は、第１レールＲ１と第２レールＲ２との交差点に対応する部分に配置される。交差部Ｒ３は、第１レールＲ１に対してＸ方向に隣り合うと共に第２レールＲ２に対してＹ方向に隣り合っている。交差部Ｒ３は、第１レールＲ１と第２レールＲ２との接続、第１レールＲ１同士の接続、第２レールＲ２同士の接続をする。
【0025】
レールＲは、複数の第１レールＲ１と複数の第２レールＲ２とが直交する方向に設けられることで、平面視で複数のグリッドセル２が隣り合う状態となっている。１つのグリッドセル２は、１つのマス目に相当し、平面視において、Ｙ方向に隣り合った２つの第１レールＲ１と、Ｘ方向に隣り合った２つの第２レールＲ２と、に囲まれた矩形領域である。なお、図２ではレールＲの一部について示しており、レールＲは、図示している構成からＸ方向及びＹ方向に同様の構成が連続して形成されていてもよい。
【0026】
第１レールＲ１、第２レールＲ２、及び交差部Ｒ３は、吊り下げ部材Ｈによって不図示の天井に吊り下げられている。吊り下げ部材Ｈは、第１レールＲ１を吊り下げるための第１部分Ｈ１と、第２レールＲ２を吊り下げるための第２部分Ｈ２と、交差部Ｒ３を吊り下げるための第３部分Ｈ３と、を有する。第１部分Ｈ１及び第２部分Ｈ２は、それぞれ第３部分Ｈ３を挟んだ二か所に設けられている。
【0027】
第１レールＲ１、第２レールＲ２及び交差部Ｒ３は、それぞれ、搬送車Ｖの後述する走行車輪２１が走行する走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを有する。第１レールＲ１と交差部Ｒ３との間、及び、第２レールＲ２と交差部Ｒ３との間には、それぞれ間隙が形成される。第１レールＲ１と交差部Ｒ３との間、及び、第２レールＲ２と交差部Ｒ３との間の間隙は、搬送車Ｖが第１レールＲ１を走行して第２レールＲ２を横切る際、あるいは第２レールＲ２を走行して第１レールＲ１を横切る際に、搬送車Ｖの一部である後述の連結部３０が通過する部分である。したがって、第１レールＲ１と交差部Ｒ３との間、及び、第２レールＲ２と交差部Ｒ３との間の間隙は、連結部３０が通過可能な幅に設けられている。第１レールＲ１、第２レールＲ２、及び交差部Ｒ３は、同一の水平面に沿って設けられる。
【0028】
搬送システムＳＹＳは、通信システム（図示せず）を備える。通信システムは、搬送車Ｖ及びシステムコントローラ５の通信に用いられる。搬送車Ｖ及びシステムコントローラ５は、それぞれ通信システムを介して通信可能に接続される。
【0029】
搬送車Ｖの構成について説明する。図３、図４及び図５に示されるように、搬送車Ｖは、レールＲに沿って走行可能に設けられている。搬送車Ｖは、本体部１０と、走行部２０と、連結部３０と、搬送車コントローラ５０と、を有する。
【0030】
本体部１０は、レールＲの下方に配置される。本体部１０は、平面視で例えば矩形状に形成される。本体部１０は、平面視でレールＲにおける１つのグリッドセル２（図２参照）に収まる寸法に形成される。このため、隣り合う第１レールＲ１又は第２レールＲ２を走行する他の搬送車Ｖとすれ違うスペースが確保される。本体部１０は、上部ユニット１７と、移載装置１８とを備える。上部ユニット１７は、連結部３０を介して走行部２０から吊り下げられる。上部ユニット１７は、例えば平面視で矩形状であり、上面１７ａに４つのコーナー部を有する。
【0031】
本体部１０は、４つのコーナー部のそれぞれに走行車輪２１、連結部３０、方向転換機構３４を有する。この構成において、本体部１０の４つのコーナー部に配置された走行車輪２１により、本体部１０を安定して吊り下げることができ、且つ、本体部１０を安定して走行させることができる。
【0032】
移載装置１８は、走行部２０に対して水平方向に沿って移動して載置部９との間で物品を移載する。移載装置１８は、上部ユニット１７の下方に設けられている。移載装置１８は、Ｚ方向の回転軸ＡＸ１まわりに回転可能である。移載装置１８は、レールＲの下側で物品Ｍを保持する物品保持部１３と、物品保持部１３を鉛直方向に昇降させる昇降駆動部１４と、昇降駆動部１４を水平方向にスライド移動させる横出し機構１１と、横出し機構１１を保持する回動部１２と、を有する。
【0033】
物品保持部１３は、物品Ｍのフランジ部Ｍａを把持することにより、物品Ｍを吊り下げて保持する。物品保持部１３は、例えば、水平方向に移動可能な爪部１３ａを有するチャックであり、爪部１３ａを物品Ｍのフランジ部Ｍａの下方に進入させ、物品保持部１３を上昇させることで、物品Ｍを保持する。物品保持部１３は、ワイヤあるいはベルト等の吊り下げ部材１３ｂに接続されている。
【0034】
昇降駆動部１４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材１３ｂを繰り出すことにより物品保持部１３を下降させ、吊り下げ部材１３ｂを巻き取ることにより物品保持部１３を上昇させる。昇降駆動部１４は、搬送車コントローラ５０に制御され、所定の速度で物品保持部１３を下降あるいは上昇させる。また、昇降駆動部１４は、搬送車コントローラ５０に制御され、物品保持部１３を目標の高さに保持する。
【0035】
横出し機構１１は、例えばＺ方向に重ねて配置された複数の可動板を有する。最下層の可動板には、昇降駆動部１４が取り付けられている。横出し機構１１では、水平面内において搬送車Ｖの走行方向と直角な方向に可動板が移動し、最下層の可動板に取り付けられた昇降駆動部１４及び物品保持部１３が搬送車Ｖの走行方向と直角な方向に横出し（スライド移動）する。
【0036】
回動部１２は、横出し機構１１と上部ユニット１７との間に設けられる。回動部１２は、回動部材１２ａ及び回動駆動部１２ｂを有する。回動部材１２ａは、Ｚ方向の軸周り方向に回動可能に設けられる。回動部材１２ａは、横出し機構１１を支持する。回動駆動部１２ｂは、例えば電動モータ等が用いられ、回動部材１２ａを回転軸ＡＸ１の軸周り方向に回動させる。回動部１２は、回動駆動部１２ｂからの駆動力によって回動部材１２ａを回動させ、横出し機構１１（昇降駆動部１４及び物品保持部１３）を回転軸ＡＸ１の軸周り方向に回転させることができる。搬送車Ｖは、移載装置１８を用いることにより、載置部９に対して物品Ｍの受け渡しをすることができる。
【0037】
図３及び図４に示すように、搬送車Ｖには、カバーＷが設けられてもよい。カバーＷは、移載装置１８及び移載装置１８に保持している物品Ｍを囲む。カバーＷは、下端を開放した筒状であって、且つ、横出し機構１１の可動板が突出する部分を切り欠いた形状を有している。カバーＷは、上端が回動部１２の回動部材１２ａに取り付けられており、回動部材１２ａの回動に伴って回転軸ＡＸ１の軸周りに回動する。
【0038】
走行部２０は、走行車輪２１及び補助車輪２２を有する。走行車輪２１は、上部ユニット１７（本体部１０）の上面１７ａの４つのコーナー部にそれぞれ配置される。走行車輪２１のそれぞれは、連結部３０に設けられた車軸に取り付けられている。走行車輪２１のそれぞれは、走行駆動部３３の駆動力により回転駆動する。走行車輪２１のそれぞれは、レールＲ上を転動する。走行車輪２１のそれぞれは、第１レールＲ１、第２レールＲ２、及び交差部Ｒ３の走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを転動し、搬送車Ｖを走行させる。なお、４つの走行車輪２１の全てが走行駆動部３３の駆動力により回転駆動することに限定されず、４つの走行車輪２１のうち一部について回転駆動させる構成であってもよい。
【0039】
走行車輪２１は、旋回軸ＡＸ２を中心としてθＺ方向に旋回可能に設けられている。走行車輪２１は、後述する方向転換機構３４によってθＺ方向に旋回し、その結果、搬送車Ｖの走行方向を変更することができる。補助車輪２２は、走行車輪２１の走行方向の前後にそれぞれ１つずつ配置される。補助車輪２２のそれぞれは、走行車輪２１と同様に、ＸＹ平面に沿って平行又はほぼ平行な車軸の軸周りに回転可能である。補助車輪２２の下端は、走行車輪２１の下端より高くなるように設定されている。従って、走行車輪２１が走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを走行しているときは、補助車輪２２は、走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａに接触しない。また、第１レールＲ１と交差部Ｒ３との間、及び、第２レールＲ２と交差部Ｒ３との間の間隙を走行車輪２１が通過する際には、補助車輪２２が走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａに接触して、走行車輪２１の落ち込みを抑制している。なお、１つの走行車輪２１に２つの補助車輪２２を設けることに限定されず、例えば、１つの走行車輪２１に１つの補助車輪２２が設けられてもよいし、補助車輪２２が設けられなくてもよい。
【0040】
図３に示すように、連結部３０は、本体部１０の上部ユニット１７と走行部２０とを連結する。連結部３０は、上部ユニット１７（本体部１０）の上面１７ａの４つのコーナー部にそれぞれ設けられている。連結部３０によって本体部１０は、走行部２０から吊り下げられた状態となり、レールＲよりも下方に配置される。連結部３０は、支持部材３１及び接続部材３２を有する。支持部材３１は、走行車輪２１の回転軸及び補助車輪２２の回転軸を回転可能に支持する。支持部材３１は、走行車輪２１と補助車輪２２との相対位置を保持する。支持部材３１は、例えば板状に形成され、第１レールＲ１と交差部Ｒ３との間、及び、第２レールＲ２と交差部Ｒ３との間の間隙を通過可能な厚さに形成される。
【0041】
接続部材３２は、支持部材３１から下方に延びて上部ユニット１７の上面１７ａに連結され、上部ユニット１７を保持する。接続部材３２は、後述する走行駆動部３３の駆動力を走行車輪２１に伝達する伝達機構を内部に備える。この伝達機構は、チェーン又はベルトが用いられる構成であってもよいし、歯車列が用いられる構成であってもよい。接続部材３２は、旋回軸ＡＸ２を中心としてθＺ方向に旋回可能に設けられる。この接続部材３２が旋回軸ＡＸ２を中心として旋回することで、支持部材３１を介して走行車輪２１を旋回軸ＡＸ２周りのθＺ方向に旋回させることができる。
【0042】
連結部３０（図３参照）には、走行駆動部３３及び方向転換機構３４が設けられている。走行駆動部３３は、接続部材３２に装着される。走行駆動部３３は、走行車輪２１を駆動する駆動源であり、例えば電動モータ等が用いられる。４つの走行車輪２１は、それぞれ走行駆動部３３によって駆動される駆動輪である。４つの走行車輪２１は、同一の回転数となるように搬送車コントローラ５０によって制御される。
【0043】
方向転換機構３４は、連結部３０の接続部材３２を、旋回軸ＡＸ２を中心として旋回させることにより、走行車輪２１を旋回軸ＡＸ２周りのθＺ方向に旋回させる。走行車輪２１をθＺ方向に旋回させることにより、搬送車Ｖをターンすること（走行方向をＸ方向とする第１状態から走行方向をＹ方向とする第２状態に、又は走行方向をＹ方向とする第２状態から走行方向をＸ方向とする第１状態に切り替えること）が可能である。方向転換機構３４の旋回により、上面１７ａの４つのコーナー部に配置された走行車輪２１及び補助車輪２２のそれぞれが旋回軸ＡＸ２を中心としてθＺ方向に９０度の範囲で旋回する。方向転換機構３４の駆動は、搬送車コントローラ５０によって制御される。走行車輪２１及び補助車輪２２を旋回させることにより、走行車輪２１が第１レールＲ１及び第２レールＲ２の一方に接触した状態から他方に接触した状態に移行する。このため、搬送車Ｖの走行方向をＸ方向とする第１状態とＹ方向とする第２状態とで切り替えること、つまり、搬送車Ｖがターンすることが可能となる。
【0044】
搬送車コントローラ５０は、搬送車Ｖを統括的に制御する。搬送車コントローラ５０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory）等からなるコンピュータである。搬送車コントローラ５０は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。搬送車コントローラ５０は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。搬送車コントローラ５０は、一つの装置で構成されてもよいし、複数の装置で構成されてもよい。複数の装置で構成されている場合には、これらがインターネット又はイントラネット等の通信ネットワークを介して接続されることで、論理的に一つの搬送車コントローラ５０が構築される。搬送車コントローラ５０は、本実施形態では本体部１０に設けられているが（図４参照）、本体部１０の外部に設けられてもよい。
【0045】
搬送車コントローラ５０は、搬送指令に基づいて、搬送車Ｖの走行を制御する。搬送車コントローラ５０は、走行駆動部３３、方向転換機構３４等を制御することにより、搬送車Ｖの走行を制御する。搬送車コントローラ５０は、例えば、走行速度、停止に関する動作、方向転換に関する動作を制御する。
【0046】
搬送車コントローラ５０は、搬送指令に基づいて、搬送車Ｖの移載動作を制御する。搬送車コントローラ５０は、移載装置１８等を制御することにより、搬送車Ｖの移載動作を制御する。搬送車コントローラ５０は、載置部９に配置される物品Ｍを把持する荷つかみの動作、保持した物品Ｍを載置部９に下ろす荷下ろしの動作を制御する。搬送車コントローラ５０は、周期的に状態情報（図示せず）を生成し更新する。状態情報は記憶部５１に格納される。搬送車コントローラ５０は、状態情報をシステムコントローラ５に送信する。状態情報は、例えば、搬送車Ｖの現在位置の情報、正常又は異常等の搬送車Ｖの現在の状態を示す情報、搬送車Ｖの充電量、搬送指令等の各種指令の搬送車Ｖによる実行状態（実行中、実行完了、実行失敗）に関する情報を含む。
【0047】
システムコントローラ５は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等からなるコンピュータである。システムコントローラ５は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。システムコントローラ５は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。システムコントローラ５は、一つの装置で構成されてもよいし、複数の装置で構成されてもよい。複数の装置で構成されている場合には、これらがインターネット又はイントラネット等の通信ネットワークを介して接続されることで、論理的に一つのシステムコントローラ５が構築される。システムコントローラ５の各種の制御は、その少なくとも一部を搬送車コントローラ５０で実行してもよい。
【0048】
システムコントローラ５は、複数の搬送車Ｖを制御する。システムコントローラ５は、物品Ｍを搬送可能な複数の搬送車Ｖのうちの何れかを選択し、選択した搬送車Ｖに搬送指令を割付ける。搬送指令は、搬送車Ｖの走行を実行させる走行指令と、載置部９に配置された物品Ｍの荷つかみ指令又は保持している物品Ｍの載置部９への荷下ろし指令と、を含む。
【0049】
載置部９は、物品Ｍを載置する箇所である。載置部９は、ロードポート９１を有する。ロードポート９１は、例えば露光装置、洗浄装置、成膜装置、リソグラフィ装置、エッチング装置、熱処理装置、平坦化装置をはじめとする半導体の処理装置（図示せず）に対して物品Ｍの受渡しを行うための載置部である。なお、処理装置は、特に限定されず、種々の装置であってもよい。ロードポート９１は、例えばレールＲの下方にレールＲに沿って配置されている。ロードポート９１は、物品Ｍを保管するストッカ（自動倉庫）等に対して物品Ｍの受渡しを行うための載置部であってもよい。
【0050】
ここで、本実施形態では、図１に示されるように、レールＲは、複数のイントラベイレール（区間内軌道）ＲＸと、複数のイントラベイレールＲＸを接続するインターベイレール（接続軌道）ＲＹと、を有する。複数のイントラベイレールＲＸは、互いに独立するように設けられている。複数のイントラベイレールＲＸは、互いに直接的に接続されないように構成されている。複数のイントラベイレールＲＸのそれぞれは、一群のグリッドセル２（図２参照）を含む。複数のイントラベイレールＲＸのそれぞれは、当該イントラベイレールＲＸに進入するためのめの入口エリアＩＡと、当該イントラベイレールＲＸから退出するための出口エリアＯＡと、を含む。
【0051】
入口エリアＩＡは、イントラベイレールＲＸにおいてインターベイレールＲＹに接する１つのグリッドセル２により構成される。つまり、入口エリアＩＡは、イントラベイレールＲＸに進入するときに通過するイントラベイレールＲＸのグリッドセル２に対応する。出口エリアＯＡは、イントラベイレールＲＸにおいてインターベイレールＲＹに接する、入口エリアＩＡとは異なる１つのグリッドセル２により構成される。つまり、出口エリアＯＡは、イントラベイレールＲＸから退出するときに通過するイントラベイレールＲＸのグリッドセル２に対応する。各イントラベイレールＲＸでは、搬送車Ｖは、入口エリアＩＡから進入し、イントラベイレールＲＸ内を走行した後、出口エリアＯＡから退出可能である。複数のイントラベイレールＲＸは、互いに直接接続されておらず、インターベイレールＲＹを介して接続されている。インターベイレールＲＹは、Ｘ方向に沿って延設されている。インターベイレールＲＹは、一群のグリッドセル２を含む。
【0052】
複数のイントラベイレールＲＸは、一方向（ここではＸ方向）に並んで配置されている。複数のイントラベイレールＲＸは、第１イントラベイレールＲＸ１、第２イントラベイレールＲＸ２及び第３イントラベイレールＲＸ３を少なくとも含んで構成されている。第１イントラベイレールＲＸ１、第２イントラベイレールＲＸ２及び第３イントラベイレールＲＸ３は、Ｘ方向に互いに離れて並設されている。第１イントラベイレールＲＸ１と第２イントラベイレールＲＸ２とは隣り合い（隣接し）、第１イントラベイレールＲＸ１と第３イントラベイレールＲＸ３とは隣り合う（隣接する）。
【0053】
第１イントラベイレールＲＸ１は、平面視において第２イントラベイレールＲＸ２に近づくように延設された受渡し用レールＱ１ａを含む。第１イントラベイレールＲＸ１は、平面視において第３イントラベイレールＲＸ３に近づくように延設された受渡し用レールＱ１ｂを含む。ここでの受渡し用レール（受渡し用軌道）Ｑ１ａ，Ｑ１ｂは、グリッドセル２がＸ方向に２つ且つＹ方向に２つ連なるように並んで構成される。受渡し用レールＱ１ａ，Ｑ１ｂは、処理装置の直上に位置する。受渡し用レールＱ１ａ，Ｑ１ｂは、非通常時に利用される軌道である。
【0054】
第２イントラベイレールＲＸ２は、平面視において第１イントラベイレールＲＸ１に近づくように延設された受渡し用レール（受渡し用軌道）Ｑ２ａを含む。ここでの受渡し用レールＱ２ａは、グリッドセル２がＸ方向に２つ且つＹ方向に２つ連なるように並んで構成される。受渡し用レールＱ２ａと受渡し用レールＱ１ａとは、Ｘ方向に互いに突き合うように延びる。受渡し用レールＱ２ａは、処理装置の直上に位置する。受渡し用レールＱ２ａは、非通常時に利用される軌道である。第３イントラベイレールＲＸ３は、平面視において第１イントラベイレールＲＸ１に近づくように延設された受渡し用レール（受渡し用軌道）Ｑ３ａを含む。ここでの受渡し用レールＱ３ａは、グリッドセル２がＸ方向に２つ且つＹ方向に２つ連なるように並んで構成される。受渡し用レールＱ３ａと受渡し用レールＱ１ｂとは、Ｘ方向に互いに突き合うように延びる。受渡し用レールＱ３ａは、処理装置の直上に位置する。受渡し用レールＱ３ａは、非通常時に利用される軌道である。
【0055】
本実施形態では、載置部９は、上述したようにロードポート９１を有する。ロードポート９１は、第１イントラベイレールＲＸ１に存在する搬送車Ｖが物品Ｍを移載可能な第１ロードポート９１ａと、第２イントラベイレールＲＸ２に存在する搬送車Ｖが物品Ｍを移載可能な第２ロードポート９１ｂと、第３イントラベイレールＲＸ３に存在する搬送車Ｖが物品Ｍを移載可能な第３ロードポート９１ｃと、を含む。
【0056】
載置部９は、受渡し用バッファ９２を更に有する。受渡し用バッファ９２は、物品Ｍを仮置きできる載置部である。受渡し用バッファ９２は、平面視において、第１イントラベイレールＲＸ１の受渡し用レールＱ１ａと第２イントラベイレールＲＸ２の受渡し用レールＱ２ａとの間に設けられている。また、受渡し用バッファ９２は、平面視において、第１イントラベイレールＲＸ１の受渡し用レールＱ１ｂと第３イントラベイレールＲＸ３の受渡し用レールＱ３ａとの間に設けられている。第１イントラベイレールＲＸ１と第２イントラベイレールＲＸ２との間の受渡し用バッファ９２は、第１イントラベイレールＲＸ１に存在する搬送車Ｖが物品Ｍを移載可能で、且つ、第２イントラベイレールＲＸ２に存在する搬送車Ｖが物品Ｍを移載可能な載置部である。第１イントラベイレールＲＸ１と第３イントラベイレールＲＸ３との間の受渡し用バッファ９２は、第１イントラベイレールＲＸ１に存在する搬送車Ｖが物品Ｍを移載可能で、且つ、第３イントラベイレールＲＸ３に存在する搬送車Ｖが物品Ｍを移載可能な載置部である。
【0057】
図６は、受渡し用バッファ９２を示す斜視図である。図１及び図６に示されるように、受渡し用バッファ９２は、オーバーヘッドバッファ（ＯＨＢ）である。受渡し用バッファ９２に対して搬送車Ｖは、物品ＭをＸ方向及びＺ方向に移載可能である。各受渡し用バッファ９２は、例えば天井から吊り下げられたベースフレーム９１０と、ベースフレーム９１０に取り付けられて、ベースフレーム９１０の下方に吊り下げられた棚部９２０とを備える。棚部９２０は、例えば、複数個の物品Ｍを保管可能である。図示される例では、棚部９２０は、２つの物品ＭをＹ方向に並ぶように載置可能である。棚部９２０は、平面視において、Ｙ方向に２つ連なるように並ぶグリッドセル２（図２参照）に対応する範囲に設けられる。ここでの棚部９２０は、ベースフレーム９１０に対して上方に移動自在である。
【0058】
ベースフレーム９１０は、Ｙ方向に離間して配置されてそれぞれＺ方向に延びる２対の支柱９１１と、２対の支柱９１１の間でＹ方向に架け渡された２本の長尺フレーム９１４と、各対の支柱９１１の上端部間に架け渡されてＸ方向に延びる横架材９１２とを有する。棚部９２０は、Ｙ方向に離間して配置されてそれぞれＺ方向に延びる２対の支持柱９２３と、２対の支持柱９２３の下端に固定されて複数の載置面を形成する下部フレーム９２１とを有する。Ｙ方向に離間する２本の支持柱９２３の下端部の間には、落下防止バー９２７が架け渡されている。
【0059】
受渡し用バッファ９２では、ベースフレーム９１０に対して支持柱９２３が上下方向にスライド移動する。ベースフレーム９１０は、各支柱９１１の下端部に固定されて、ガイド部９１６が固定されている。各ガイド部９１６は、Ｕ字状を呈しており、Ｕ字の開放部に支柱９１１の下端部が嵌っている。各ガイド部９１６には、Ｚ方向に貫通する挿通孔９１７が形成されている。棚部９２０の各支持柱９２３は、ガイド部９１６の挿通孔９１７に挿通され、ガイド部９１６によってＸ方向及びＹ方向の移動を規制され、Ｚ方向にスライドするようにガイドされる。例えば支柱９１１と支持柱９２３の上端部とは、ボルト等によって固定されてもよい。
【0060】
図１に示されるように、システムコントローラ５は、第１ロードポート９１ａから物品Ｍを搬送する、又は、第１ロードポート９１ａへ物品Ｍを搬送する場合において、第１イントラベイレールＲＸ１の入口エリアＩＡ及び出口エリアＯＡの少なくとも何れかに所定レベル以上の通行制限（以下、単に「通行制限」ともいう）が生じている通行制限時には、第１ロードポート９１ａから受渡し用バッファ９２を介して物品Ｍを搬送する搬送指令、又は、第１ロードポート９１ａへ受渡し用バッファ９２を介して物品Ｍを搬送する搬送指令を、複数の搬送車Ｖに分割して割り付ける。なお、この場合、第１イントラベイレールＲＸ１が第１区間内軌道に対応し、第２又は第３イントラベイレールＲＸ２，ＲＸ３が第２区間内軌道に対応し、第１ロードポート９１ａが第１載置部に対応し、受渡し用バッファ９２が第２載置部に対応する。
【0061】
システムコントローラ５は、第１イントラベイレールＲＸ１の通行制限時における通行制限のレベルを、入口エリアＩＡに対応する全てのグリッドセル２の数に対する、入口エリアＩＡに対応する使用可能なグリッドセル２の数の割合と、出口エリアＯＡに対応する全てのグリッドセル２の数に対する、出口エリアＯＡに対応する使用可能なグリッドセル２の数の割合と、に基づいて判定する。具体的には、システムコントローラ５は、入口エリアＩＡにおける使用可能なグリッドセル２の割合（アクティブ割合）を算出し、入口エリアＩＡのアクティブ割合が予め定められた一定割合以下である場合に、入口エリアＩＡに所定レベル以上の通行制限が生じていると判定する。システムコントローラ５は、出口エリアＯＡにおける使用可能なグリッドセル２の割合（アクティブ割合）を算出し、出口エリアＯＡのアクティブ割合が予め定められた一定割合以下である場合に、出口エリアＯＡに所定レベル以上の通行制限が生じていると判定する。第１イントラベイレールＲＸ１の通行制限時には、第１イントラベイレールＲＸ１は孤立してしまい、第１ロードポート９１ａへの入口エリアＩＡ及び出口エリアＯＡを介した受け渡しができない。
【0062】
システムコントローラ５は、通行制限が生じているか否か、すなわち、入口エリアＩＡ及び出口エリアＯＡに対応する各グリッドセル２が使用可能であるか否かについて、例えば、外部（上位コントローラ及び可搬型端末等）からの通信により取得された経路閉鎖情報に基づいて判定してもよい。システムコントローラ５は、その他の情報に基づいて通行制限が生じているか否かを判定してもよい。システムコントローラ５は、システム起動時及びレールＲのレイアウトの変化時に、通行制限が生じているか否かを判定してもよい。入口エリアＩＡ及び出口エリアＯＡに対応するグリッドセル２が使用不能の場合とは、例えばドラブル起因、工事起因、搬送車Ｖのエラー停止及びメンテナンスにより当該グリッドセル２が閉鎖している場合が挙げられる。
【0063】
システムコントローラ５は、第１ロードポート９１ａから物品Ｍを搬送する場合において通行制限時には、次の搬送指令分割処理を実施する。すなわち、第１ロードポート９１ａから受渡し用バッファ９２へ物品Ｍを搬送する搬送指令である第１分割搬送指令を、第１イントラベイレールＲＸ１に存在する搬送車Ｖに割り付けると共に、受渡し用バッファ９２から物品Ｍを搬送させる搬送指令である第２分割搬送指令を、第１イントラベイレールＲＸ１以外に存在する搬送車Ｖに割り付ける。この場合の通行制限は、出口エリアＯＡのアクティブ割合が一定割合以下である場合であってもよい。第１分割搬送指令及び第２分割搬送指令は、例えばその距離及びコスト時間の総和が最小化するように、１つの搬送指令が受渡し用バッファ９２を中継点して複数に分断されて決定されてもよい。
【0064】
システムコントローラ５は、第１ロードポート９１ａへ物品Ｍを搬送する場合において通行制限時には、次の搬送指令分割処理を実施する。すなわち、受渡し用バッファ９２へ物品Ｍを搬送させる第１分割搬送指令を、第１イントラベイレールＲＸ１以外に存在する搬送車Ｖに割り付けると共に、受渡し用バッファ９２から第１ロードポート９１ａへ物品Ｍを搬送させる第２分割搬送指令を、第１イントラベイレールＲＸ１に存在する搬送車Ｖに割り付ける。この場合の通行制限時は、入口エリアＩＡのアクティブ割合が一定割合以下である場合の通行制限時であってもよい。
【0065】
システムコントローラ５は、第１ロードポート９１ａから物品Ｍを搬送する、又は、第１ロードポート９１ａへ物品Ｍを搬送する場合において、第１イントラベイレールＲＸ１の通行制限時には、第１イントラベイレールＲＸ１に存在する搬送車Ｖの台数が、予め設定された所定台数（例えば１台）に近づくように第１イントラベイレールＲＸ１への搬送車Ｖの進入及び退出を制限する進入退出制限処理を実施する。
【0066】
例えば進入退出制限処理では、第１イントラベイレールＲＸ１の入口エリアＩＡに所定レベル以上の通行制限が生じている場合、第１イントラベイレールＲＸ１に存在する搬送車Ｖが所定台数未満にならないように、第１イントラベイレールＲＸ１からの搬送車Ｖの退出を制御する。進入退出制限処理では、第１イントラベイレールＲＸ１の出口エリアＯＡに所定レベル以上の通行制限が生じている場合、第１イントラベイレールＲＸ１に存在する搬送車Ｖが所定台数よりも多くならないように、第１イントラベイレールＲＸ１への搬送車Ｖの進入を制御する。システムコントローラ５は、このような進入退出制限処理を実施した後に、搬送指令を複数の搬送車Ｖに分割して割り付ける上述の搬送指令分割処理を実施する。
【0067】
ちなみに、上述した「搬送指令分割処理」及び「進入退出制限処理」については、第２イントラベイレールＲＸ２の第２ロードポート９１ｂを搬送元及び搬送先として搬送する場合でも同様であり、第３イントラベイレールＲＸ３の第３ロードポート９１ｃを搬送元及び搬送先として搬送する場合でも同様である。第２ロードポート９１ｂを搬送元及び搬送先とする場合には、第２イントラベイレールＲＸ２が第１区間内軌道に対応し、第２ロードポート９１ｂが第１載置部に対応する。第３ロードポート９１ｃを搬送元及び搬送先とする場合には、第３イントラベイレールＲＸ３が第１区間内軌道に対応し、第３ロードポート９１ｃが第１載置部に対応する。
【0068】
図７は、搬送システムＳＹＳにおけるシステムコントローラ５による処理の一例を示すフローチャートである。図８は、搬送システムＳＹＳにおいて図７に示される処理を説明するための概略平面図である。図９は、搬送システムＳＹＳにおいて図７に示される処理を説明するための他の概略平面図である。搬送システムＳＹＳでは、例えば物品Ｍを第１イントラベイレールＲＸ１の第１ロードポート９１ａから第２イントラベイレールＲＸ２の第２ロードポート９１ｂへ搬送する搬送指令を搬送車Ｖに割り付ける際において、以下の処理を実施する。
【0069】
すなわち、図７に示されるように、まず、システムコントローラ５は、イントラベイレールＲＸに通行制限が生じているか否かを判定する（ステップＳ１）。上記ステップＳ１では、搬送元に対応する第１イントラベイレールＲＸ１と搬送先に対応する第２イントラベイレールＲＸ２との少なくとも何れかにおいて、入口エリアＩＡ及び出口エリアＯＡの少なくとも何れかに通行制限が報じているか否かを判定する。上記ステップＳ１でＮＯの場合、そのまま処理を終了し、搬送指令が搬送車Ｖに適宜に割り付けられる。上記ステップＳ１でＹＥＳの場合、システムコントローラ５は、通行制限が生じているイントラベイレールＲＸを対象とした進入退出制限処理を実施する（ステップＳ２）。
【0070】
上記ステップＳ２の後、システムコントローラ５は、搬送指令を複数の指令に分けて複数の搬送車Ｖに割り付ける搬送指令分割処理を実施する（ステップＳ３）。上記ステップＳ３では、当初の搬送指令を、第１ロードポート９１ａから受渡し用バッファ９２へ物品Ｍを搬送させる第１分割搬送指令と、受渡し用バッファ９２から第２ロードポート９１ｂへ物品Ｍを搬送させる第２分割搬送指令と、に分割する。そして、第１分割搬送指令を搬送車Ｖに割り付けると共に、第２分割搬送指令を他の搬送車Ｖに割り付ける。
【0071】
以上の処理により、図８に示されるように、例えば第１イントラベイレールＲＸ１の出口エリアＯＡに通行制限が生じている例においては、第１イントラベイレールＲＸ１に存在する搬送車Ｖ１に対して、受渡し用バッファ９２を中継点として分割された第１分割搬送指令が割り付けられる。その結果、搬送車Ｖ１は、第１ロードポート９１ａの直上まで進み、第１ロードポート９１ａから物品Ｍを荷積みした後、受渡し用レールＱ１ａに進入し、受渡し用レールＱ１ａの受渡し用バッファ９２の手前の位置Ｔ１で停止する。搬送車Ｖ１は、受渡し用バッファ９２の棚部９２０に対して、横出し機構１１により昇降駆動部１４及び物品保持部１３をスライド移動させて物品Ｍを荷下ろしする。
【0072】
そして、第１イントラベイレールＲＸ１に存在しない他の搬送車Ｖ２に対して、受渡し用バッファ９２を中継点として分割された他方の第２分割搬送指令が割り付けられる。その結果、搬送車Ｖ２は、第２イントラベイレールＲＸ２の受渡し用レールＱ２ａに進入し、受渡し用レールＱ２ａの受渡し用バッファ９２の手前の位置Ｔ２で停止する。搬送車Ｖ２は、受渡し用バッファ９２の棚部９２０から、横出し機構１１により昇降駆動部１４及び物品保持部１３をスライド移動させて物品Ｍを荷積みする。その後、搬送車Ｖ２は、第２ロードポート９１ｂの直上まで進み、第２ロードポート９１ｂへ物品Ｍを荷下ろしする。
【0073】
また同様に、図９に示されるように、例えば第２イントラベイレールＲＸ２の入口エリアＩＡに通行制限が生じている例においては、第２イントラベイレールＲＸ２に存在しない搬送車Ｖ３に対して、分割された第１分割搬送指令が割り付けられる。その結果、搬送車Ｖ３は、第１ロードポート９１ａの直上まで進み、第１ロードポート９１ａから物品Ｍを荷積みした後、受渡し用レールＱ１ａに進入し、受渡し用レールＱ１ａの受渡し用バッファ９２の手前の位置Ｔ１で停止し、受渡し用バッファ９２の棚部９２０へ物品Ｍを荷下ろしする。そして、第２イントラベイレールＲＸ２に存在する他の搬送車Ｖ４に対して分割された第２分割搬送指令が割り付けられる。その結果、搬送車Ｖ４は、第２イントラベイレールＲＸ２の受渡し用レールＱ２ａに進入し、受渡し用レールＱ２ａにおける受渡し用バッファ９２の手前の位置Ｔ２で停止し、受渡し用バッファ９２の棚部９２０から物品Ｍを荷積みした後、第２ロードポート９１ｂの直上まで進み、第２ロードポート９１ｂへ物品Ｍを荷下ろしする。
【0074】
以上、搬送システムＳＹＳでは、イントラベイレールＲＸの入口エリアＩＡ及び出口エリアＯＡの少なくとも何れかの通行制限時であっても、当該イントラベイレールＲＸからの及び当該イントラベイレールＲＸへの物品の搬送が、受渡し用バッファ９２を介して円滑に実行可能である。これにより、物品Ｍの搬送効率を向上することが可能となる。
【0075】
搬送システムＳＹＳでは、イントラベイレールＲＸの通行制限時には、搬送指令を分割して複数の搬送車Ｖに割り付ける。これにより、イントラベイレールＲＸの通行制限時における物品Ｍの円滑な搬送を具体的に実現可能である。
【0076】
搬送システムＳＹＳでは、システムコントローラ５は、第１ロードポート９１ａから物品Ｍを搬送する場合において第１イントラベイレールＲＸ１の通行制限時には、第１ロードポート９１ａから受渡し用バッファ９２へ物品Ｍを搬送させる第１分割搬送指令を、第１イントラベイレールＲＸ１に存在する搬送車Ｖ１に割り付けると共に、受渡し用バッファ９２から物品Ｍを搬送させる第２分割搬送指令を、第１イントラベイレールＲＸ１以外に存在する他の搬送車Ｖ２に割り付ける。この場合、第１イントラベイレールＲＸ１の通行制限時には、搬送指令を第１分割搬送指令と第２分割搬送指令とに分割し、そのそれぞれを異なる２台の搬送車Ｖ１，Ｖ２に割り付けて、第１ロードポート９１ａからの物品Ｍの搬送を実現することができる。
【0077】
搬送システムＳＹＳでは、システムコントローラ５は、第２ロードポート９１ｂへ物品Ｍを搬送する場合において第２イントラベイレールＲＸ２の通行制限時には、受渡し用バッファ９２へ物品Ｍを搬送させる第１分割搬送指令を、第２イントラベイレールＲＸ２以外に存在する搬送車Ｖ３に割り付けると共に、受渡し用バッファ９２から第２ロードポート９１ｂへ物品Ｍを搬送させる第２分割搬送指令を、第２イントラベイレールＲＸ２に存在する他の搬送車Ｖ４に割り付ける。この場合、第２イントラベイレールＲＸ２の通行制限時には、搬送指令を第１分割搬送指令と第２分割搬送指令とに分割し、そのそれぞれを２台の搬送車Ｖ３，Ｖ４にそれぞれ割り付けて、第２ロードポート９１ｂへの物品Ｍの搬送を実現することができる。
【0078】
搬送システムＳＹＳでは、複数のイントラベイレールＲＸは一方向に並んで配置され、第１イントラベイレールＲＸ１と第２イントラベイレールＲＸ２とは、隣り合う。この場合、一方向に隣り合って並ぶ第１イントラベイレールＲＸ１と第２イントラベイレールＲＸ２との間において受渡し用バッファ９２を介した物品Ｍの搬送が可能となる。
【0079】
搬送システムＳＹＳでは、搬送車Ｖは、物品Ｍを保持する物品保持部１３と、物品保持部１３を昇降させる昇降駆動部１４と、昇降駆動部１４を水平方向にスライド移動させる横出し機構１１と、を含む移載装置１８を有する。搬送車Ｖは、横出し機構１１により昇降駆動部１４及び物品保持部１３をスライド移動させて、受渡し用バッファ９２の棚部９２０との間で物品Ｍを移載する。この場合、イントラベイレールＲＸから水平方向に離れた載置部９との間で物品Ｍを移載することが可能となる。
【0080】
搬送システムＳＹＳでは、レールＲは、格子状軌道である。この場合、いわゆるグリッドシステムを構成することができる。これにより、搬送車Ｖの走行経路を自由に選択しやすくなり、渋滞の発生を抑え、搬送効率をより向上させることが可能となる。
【0081】
搬送システムＳＹＳでは、入口エリアＩＡは、イントラベイレールＲＸに進入するときに通過するイントラベイレールＲＸのグリッドセル２に対応し、出口エリアＯＡは、イントラベイレールＲＸから退出するときに通過するイントラベイレールＲＸのグリッドセル２に対応する。システムコントローラ５は、入口エリアＩＡに対応する全てのグリッドセル２のうちの使用可能なグリッドセル２の数の割合と、出口エリアＯＡに対応する全てのグリッドセル２のうちの使用可能なグリッドセル２の数の割合と、に基づいて、通行制限のレベルを判定する。この場合、グリッドシステムにおいてイントラベイレールＲＸに通行制限が生じているか否かを具体的に判定することが可能となる。
【0082】
搬送システムＳＹＳでは、システムコントローラ５は、ロードポート９１から物品Ｍを搬送する又はロードポート９１へ物品Ｍを搬送する場合において、そのロードポート９１への移載時に搬送車Ｖが存在するイントラベイレールＲＸに通行制限が生じたときには、当該イントラベイレールＲＸに存在する搬送車Ｖの台数が所定台数に近づくように、当該イントラベイレールＲＸへの搬送車Ｖの進入及び退出を制限する進入退出制限処理を実施する。システムコントローラ５は、進入退出制限処理を実施した後、搬送指令分割処理を実施する。これにより、通行制限が生じたイントラベイレールＲＸに存在する搬送車Ｖの台数を制御した上で、通行制限が生じたイントラベイレールＲＸのロードポート９１から受渡し用バッファ９２を介して物品を搬送すること、及び、当該ロードポート９１へ受渡し用バッファ９２を介して物品Ｍを搬送することが可能となる。
【0083】
搬送システムＳＹＳでは、第１イントラベイレールＲＸ１は受渡し用レールＱ１ａを含み、第２イントラベイレールＲＸ２は受渡し用レールＱ２ａを含む。第１イントラベイレールＲＸ１及び第２イントラベイレールＲＸ２間の受渡し用バッファ９２には、受渡し用レールＱ１ａに存在する搬送車Ｖだけでなく受渡し用レールＱ２ａに存在する搬送車Ｖが物品Ｍを移載可能である。この場合、受渡し用レールＱ１ａ，Ｑ２ａを利用して、受渡し用バッファ９２を介した物品Ｍの搬送が可能となる。同様に、第１イントラベイレールＲＸ１は受渡し用レールＱ１ｂを含み、第３イントラベイレールＲＸ３は受渡し用レールＱ３ａを含む。第１イントラベイレールＲＸ１及び第３イントラベイレールＲＸ３間の受渡し用バッファ９２には、受渡し用レールＱ１ｂに存在する搬送車Ｖだけでなく受渡し用レールＱ３ａに存在する搬送車Ｖが物品Ｍを移載可能である。この場合、受渡し用レールＱ１ｂ，Ｑ３ａを利用して、受渡し用バッファ９２を介した物品Ｍの搬送が可能となる。ちなみに、受渡し用バッファ９２は、載置部９のバックアップとしての役割を担っており、搬送指令を分割する場合に用いられ、通常運用では用いられない。
【0084】
以上、実施形態について説明したが、本発明の一態様は、上記実施形態に限られず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【0085】
上記実施形態では、例えば図１０に示されるように、物品Ｍを第２イントラベイレールＲＸ２の第２ロードポート９１ｂから第３イントラベイレールＲＸ３の第３ロードポート９１ｃへ搬送する場合において、第１イントラベイレールＲＸ１及び第２イントラベイレールＲＸ２に通行制限が生じているときには、次のように搬送指令を分割して複数の搬送車Ｖに割り付けてもよい。
【0086】
まず、第２イントラベイレールＲＸ２に存在する搬送車Ｖ５に対して、第１分割搬送指令が割り付けられる。その結果、搬送車Ｖ５は、第２ロードポート９１ｂの直上まで進み、第２ロードポート９１ｂから物品Ｍを荷積みした後、受渡し用レールＱ２ａに進入し、受渡し用レールＱ２ａにおける受渡し用バッファ９２の手前の位置Ｔ３で停止し、受渡し用バッファ９２の棚部９２０へ物品Ｍを荷下ろしする。また、第１イントラベイレールＲＸ１に存在する搬送車Ｖ６に対して、第２分割搬送指令が割り付けられる。その結果、搬送車Ｖ６は、第１イントラベイレールＲＸ１の受渡し用レールＱ１ａに進入し、受渡し用レールＱ１ａにおける受渡し用バッファ９２の手前の位置Ｔ４で停止し、受渡し用バッファ９２の棚部９２０から物品Ｍを荷積みした後、受渡し用レールＱ１ｂに進入し、受渡し用レールＱ１ｂにおける受渡し用バッファ９２の手前の位置Ｔ５で停止し、受渡し用バッファ９２の棚部９２０へ物品Ｍを荷下ろしする。
【0087】
そして、第３イントラベイレールＲＸ３に存在する搬送車Ｖ７に対して第３分割搬送指令が割り付けられる。その結果、搬送車Ｖ７は、第３イントラベイレールＲＸ３の受渡し用レールＱ３ａに進入し、受渡し用レールＱ３ａにおける受渡し用バッファ９２の手前の位置Ｔ６で停止し、受渡し用バッファ９２から物品Ｍを荷積みした後、第３ロードポート９１ｃの直上まで進み、第３ロードポート９１ｃへ物品Ｍを荷下ろしする。
【0088】
このように上記実施形態では、システムコントローラ５は、第２ロードポート９１ｂから物品Ｍを搬送する場合において、第１イントラベイレールＲＸ１及び第２イントラベイレールＲＸ２に通行制限が生じているときには、第１イントラベイレールＲＸ１と第２イントラベイレールＲＸ２との間の受渡し用バッファ９２及び第１イントラベイレールＲＸ１と第３イントラベイレールＲＸ３との間の受渡し用バッファ９２を介して第２ロードポート９１ｂから物品Ｍを搬送させる搬送指令を、複数の搬送車Ｖに分割して割り付けてもよい。この場合、第１イントラベイレールＲＸ１及び第２イントラベイレールＲＸ２の通行制限時でも、第１イントラベイレールＲＸ１、第２イントラベイレールＲＸ２及び第３イントラベイレールＲＸ３間の各受渡し用バッファ９２を介して、物品Ｍの搬送が可能となる。なおこの場合、第２ロードポート９１ｂが第１載置部に対応し、受渡し用バッファ９２が第２及び第３載置部に対応し、第２イントラベイレールＲＸ２が第１区間内軌道に対応し、第１イントラベイレールＲＸ１が第２区画内軌道に対応し、第３イントラベイレールＲＸ３が第３区画内軌道に対応する。
【0089】
また、上記実施形態では、システムコントローラ５は、第３ロードポート９１ｃへ物品Ｍを搬送する場合において、第１イントラベイレールＲＸ１及び第３イントラベイレールＲＸ３に通行制限が生じているときには、第１イントラベイレールＲＸ１と第２イントラベイレールＲＸ２との間の受渡し用バッファ９２及び第１イントラベイレールＲＸ１と第３イントラベイレールＲＸ３との間の受渡し用バッファ９２を介して第３ロードポート９１ｃへ物品Ｍを搬送させる搬送指令を、複数の搬送車Ｖに分割して割り付けてもよい。この場合、第１イントラベイレールＲＸ１及び第３イントラベイレールＲＸ３の通行制限時でも、第１イントラベイレールＲＸ１、第２イントラベイレールＲＸ２及び第３イントラベイレールＲＸ３間の各受渡し用バッファ９２を介して、物品Ｍの搬送が可能となる。なおこの場合、第３ロードポート９１ｃが第１載置部に対応し、受渡し用バッファ９２が第２及び第３載置部に対応し、第３イントラベイレールＲＸ３が第１区間内軌道に対応し、第１イントラベイレールＲＸ１が第２区画内軌道に対応し、第２イントラベイレールＲＸ２が第３区画内軌道に対応する。
【0090】
上記実施形態では、イントラベイレールＲＸは第１～第３イントラベイレールＲＸ１，ＲＸ２，ＲＸ３を含んでいるが、別のイントラベイレールＲＸを更に含んでいてもよく、つまり、レールＲは、４つ以上のイントラベイレールＲＸを含んでいてもよい。レールＲは、複数のイントラベイレールＲＸを含んでいればよい。上記実施形態では、ロードポート９１は、イントラベイレールＲＸの直下に配置されているが、平面視でイントラベイレールＲＸに対して側方に離れて配置されていてもよい。
【0091】
上記実施形態では、搬送システムＳＹＳとしてグリッドシステムを採用したが、搬送システムＳＹＳはグリッドシステムに限定されない。例えば搬送システムとして、ＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）を採用してもよいし、格子状の走行路を走行する種々の公知のシステムを採用してもよい。上記実施形態では、搬送車ＶはレールＲの下側で物品Ｍを保持したが、本体部１０がレールＲの上方に配置され、レールＲの上側で物品Ｍを保持してもよい。上記実施形態では、第２載置部は、オーバーヘッドバッファに限られず、物品Ｍを載置可能であれば種々の載置部であってもよい。上記実施形態では、受渡し用レールＱ１ａ，Ｑ１ｂ，Ｑ２ａ，Ｑ３ａを受渡し用バッファ９２を介した物品Ｍの受渡しのために用いたが、搬送車Ｖを一時的に待機又は退避させるエリアとして用いてもよい。
【0092】
上記実施形態では、コントローラは、当初の搬送指令を分割して複数の分割搬送指令を生成しているが、当初の搬送指令を経ずに複数の分割搬送指令を生成してもよい。つまり、上記実施形態では、コントローラは、第１載置部から物品を搬送する、又は、第１載置部へ物品を搬送する場合において、第１区間内軌道の通行制限時には、第１載置部から第２載置部を介して物品を搬送する搬送、又は、第１載置部へ第２載置部を介して物品を搬送する搬送を、複数の搬送車により実行させればよい。換言すると、上記実施形態では、第２載置部を介して複数の搬送車により、第１載置部から又は第１載置部へ物品を搬送させればよい。第２載置部までの搬送と第２載置部からの搬送とを、別々の搬送車に実行させればよい。この場合でも、上記効果が奏される。
【0093】
同様に、上記実施形態では、コントローラは、第１載置部から物品を搬送する、又は、第１載置部へ物品を搬送する場合において、第１区間内軌道の通行制限時に第２区間内軌道の通行制限が更に生じているときには、第１載置部から第２載置部と第３載置部とを介して物品を搬送する搬送、又は、第１載置部へ第２載置部と第３載置部とを介して物品を搬送する搬送を、複数の搬送車により実行させればよい。換言すると、上記実施形態では、第２載置部及び第３載置部を介して複数の搬送車により、第１載置部から又は第１載置部へ物品を搬送させればよい。第２載置部までの搬送と第２載置部からの搬送と第３載置部までの搬送と第３載置部からの搬送とを、別々の搬送車に実行させればよい。この場合でも、上記効果が奏される。
【0094】
上記実施形態及び変形例における各構成には、上述した材料及び形状に限定されず、様々な材料及び形状を適用することができる。上記実施形態又は変形例における各構成は、他の実施形態又は変形例における各構成に任意に適用することができる。上記実施形態又は変形例における各構成の一部は、本発明の一態様の要旨を逸脱しない範囲で適宜に省略可能である。
【符号の説明】
【0095】
２…グリッドセル、５…システムコントローラ（コントローラ）、９…載置部、１１…横出し機構、１３…物品保持部、１４…昇降駆動部、９１…ロードポート（第１載置部）、９１ａ…第１ロードポート（第１載置部）、９１ｂ…第２ロードポート（第１載置部）、９１ｃ…第３ロードポート（第１載置部）、９２…受渡し用バッファ（第２及び第３載置部）、ＩＡ…入口エリア、Ｍ…物品、ＯＡ…出口エリア、Ｑ１ａ，Ｑ１ｂ，Ｑ２ａ，Ｑ３ａ…非通常時レール（非通常時軌道）、Ｒ…レール（走行軌道，格子状軌道）、ＲＸ…イントラベイレール（区間内軌道）、ＲＸ１…第１イントラベイルート（第１及び第２区間内軌道）、ＲＸ２…第２イントラベイルート（第１～第３区間内軌道）、ＲＸ３…第３イントラベイルート（第１～第３区間内軌道）、ＲＹ…インターベイルート（接続軌道）、ＳＹＳ…搬送システム、Ｖ，Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５，Ｖ６，Ｖ７…搬送車。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】