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特許7560299シリコン基板およびパッケージ基板上で高帯域幅メモリデバイスを結合する技術
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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-09-24
(45)【発行日】2024-10-02
(54)【発明の名称】シリコン基板およびパッケージ基板上で高帯域幅メモリデバイスを結合する技術
(51)【国際特許分類】
   G11C 5/04 20060101AFI20240925BHJP
   G06F 13/16 20060101ALI20240925BHJP
   G11C 5/06 20060101ALI20240925BHJP
   H01L 25/07 20060101ALI20240925BHJP
   H01L 25/065 20230101ALI20240925BHJP
   H01L 25/18 20230101ALI20240925BHJP
【FI】
G11C5/04 220
G06F13/16 510E
G06F13/16 520B
G11C5/06 200
H01L25/08 Y
【請求項の数】 14
【外国語出願】
(21)【出願番号】P 2020154100
(22)【出願日】2020-09-14
(65)【公開番号】P2021111429
(43)【公開日】2021-08-02
【審査請求日】2023-06-28
(31)【優先権主張番号】16/737,666
(32)【優先日】2020-01-08
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(73)【特許権者】
【識別番号】522426098
【氏名又は名称】タホ リサーチ リミテッド
(74)【代理人】
【識別番号】100147485
【弁理士】
【氏名又は名称】杉村 憲司
(72)【発明者】
【氏名】チョン ジェイ.チャオ
(72)【発明者】
【氏名】ジェームス エー.マッコール
(72)【発明者】
【氏名】冨嶋 茂樹
(72)【発明者】
【氏名】ジョージ バーギス
(72)【発明者】
【氏名】クルジット エス.ベインズ
【審査官】後藤 彰
(56)【参考文献】
【文献】米国特許出願公開第2014/0328104(US,A1)
【文献】特開2018-152147(JP,A)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
G11C 5/04
G06F 13/16
H01L 25/07
G11C 5/06
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ロジックレイヤの上にスタックされた複数のメモリデバイスを含む高帯域幅メモリスタックデバイスのための動作のモードを示す、モードレジスタと、
ロジックを実行する前記ロジックレイヤにおける回路であって、前記ロジックは、
前記モードレジスタのビット値を読み出し、
前記モードレジスタの前記ビット値に基づいて、前記ロジックレイヤの裏面側の入/出力(I/O)コンタクトの一部をアクティブにさせ、前記I/Oコンタクトの残り部分を非アクティブにさせ、I/Oコンタクトの前記一部は、前記複数のメモリデバイスにアクセスするように、1または複数のデータチャネルに関するI/O信号を受信または送信するように構成され
前記ロジックレイヤの下の転送レイヤが、前記高帯域幅メモリスタックデバイスを、減少した数のI/Oコンタクトを通ってパッケージ基板と接続することを可能にするように、I/O信号を、I/Oコンタクトの前記一部を通って前記1または複数のデータチャネルを介してルーティングさせることをさらに備える
回路と、
を備える、装置。
【請求項2】
前記ロジックは、前記I/O信号がI/Oコンタクトの前記一部およびI/Oコンタクトの前記残り部分の両方を通って前記1または複数のデータチャネルを介してルーティングされる場合の毎秒の第転送速度の2倍である、毎秒の第転送速度で前記I/O信号をI/Oコンタクトの前記一部を通って前記1または複数のデータチャネルを介してルーティングさせることを備える、請求項1に記載の装置。
【請求項3】
前記高帯域幅メモリスタックデバイスは、前記ロジックレイヤの前記裏面側でアクティブなおよび非アクティブなI/Oコンタクトの両方に対応する第2コンタクトと比較して、より大きな間隔を第1コンタクト間に有する、前記第1コンタクトを介して前記パッケージ基板と接続することを備える、請求項に記載の装置。
【請求項4】
前記パッケージ基板は、前記高帯域幅メモリスタックデバイスと中央処理ユニットまたはグラフィックス処理ユニットとの間でルーティングされるI/O信号経路を含み、前記I/O信号経路は前記第1コンタクトと結合する、請求項に記載の装置。
【請求項5】
I/Oコンタクトの前記一部および前記残り部分は、前記1または複数のデータチャネルのうちの1つである第1のデータチャネルに関する複数のI/Oコンタクトに含まれ、前記第1のデータチャネルは前記複数のメモリデバイスのうちの1つのメモリデバイスにおいてメモリアレイにアクセスし、前記一部は前記複数のI/Oコンタクトの半分を含む、請求項1に記載の装置。
【請求項6】
I/Oコンタクトの前記一部とI/Oコンタクトの前記残り部分とは、前記1または複数のデータチャネルのうちの1つである第1のデータチャネルおよび第2のデータチャネルに関する複数のI/Oコンタクトに含まれることを備え、前記第1のデータチャネルは、前記複数のメモリデバイスのうちの1つであるメモリデバイスにおいて第1のメモリアレイにアクセスし、前記第2のデータチャネルは、前記メモリデバイスの第2のメモリアレイにアクセスし、前記一部は前記第1のデータチャネルおよび前記第2のデータチャネルに関する前記複数のI/Oコンタクトの半分を含む、請求項1に記載の装置。
【請求項7】
前記ロジックは、
前記モードレジスタの前記ビット値に基づいて、前記ロジックレイヤの前記裏面側のコマンドおよびアドレス(CA)コンタクトの一部をアクティブにさせ、前記CAコンタクトの残り部分を非アクティブにさせ、
CAコンタクトの前記一部は、前記複数のメモリデバイスへのアクセスを容易にするように、前記第1のデータチャネルおよび前記第2のデータチャネルに関するCA信号を受信または送信するように構成され、
前記ロジックレイヤの下の転送レイヤが、前記高帯域幅メモリスタックデバイスに、減少した数のCAコンタクトを通ってパッケージ基板に接続することを可能にするように、前記ロジックは、前記第1のデータチャネルおよび前記第2のデータチャネルに関するCA信号を、CAコンタクトの前記一部を通ってルーティングさせることを、さらに備える、
請求項に記載の装置。
【請求項8】
前記複数のメモリデバイスはダイナミックランダムアクセスメモリを含む、請求項1からのいずれか一項に記載の装置。
【請求項9】
モードレジスタを介して、ロジックレイヤの上にスタックされた複数のメモリデバイスを含む高帯域幅メモリスタックデバイスのための動作のモードを決定する段階と、
前記決定された動作のモードに基づいて、前記ロジックレイヤの裏面側の入/出力(I/O)コンタクトの一部をアクティブにさせ、前記I/Oコンタクトの残り部分を非アクティブにさせる段階であって、I/Oコンタクトの前記一部は、前記複数のメモリデバイスにアクセスするように、1または複数のデータチャネルに関するI/O信号を受信または送信するように構成される、段階と
さらに、前記ロジックレイヤの下の転送レイヤが、前記高帯域幅メモリスタックデバイスを、減少した数のI/Oコンタクトを通ってパッケージ基板と接続することを可能にするように、I/O信号を、I/Oコンタクトの前記一部を通って前記1または複数のデータチャネルを介してルーティングさせる段階と、
を備える、方法。
【請求項10】
前記I/O信号がI/Oコンタクトの前記一部およびI/Oコンタクトの前記残り部分の両方を通って前記1または複数のデータチャネルを介してルーティングされる場合の毎秒の第転送速度の2倍である、毎秒の第転送速度で前記I/O信号をI/Oコンタクトの前記一部を通って前記1または複数のデータチャネルを介してルーティングさせる段階をさらに備える、
請求項に記載の方法。
【請求項11】
前記高帯域幅メモリスタックデバイスは、前記ロジックレイヤの裏面側でアクティブなおよび非アクティブなI/Oコンタクトの両方に対応する第2コンタクトと比較して、より大きな間隔を第1コンタクト間に有する、前記第1コンタクトを介して前記パッケージ基板と接続することを備える、請求項に記載の方法。
【請求項12】
I/Oコンタクトの前記一部と前記残り部分とは、前記1または複数のデータチャネルのうちの1つである第1のデータチャネルに関する複数のI/Oコンタクトに含まれ、前記第1のデータチャネルは、前記複数のメモリデバイスのうちの1つであるメモリデバイスにおいてメモリアレイにアクセスし得、前記一部は前記複数のI/Oコンタクトの半分を含む、請求項に記載の方法。
【請求項13】
前記1または複数のデータチャネルのうちの1つである第1のデータチャネルおよび第2のデータチャネルに関する複数のI/Oコンタクトに含まれる、I/Oコンタクトの前記一部とI/Oコンタクトの前記残り部分とを備え、前記第1のデータチャネルは、前記複数のメモリデバイスのうちの1つであるメモリデバイスにおいて第1のメモリアレイにアクセスし、前記第2のデータチャネルは、前記メモリデバイスの第2のメモリアレイにアクセスし得、前記一部は前記第1のデータチャネルおよび前記第2のデータチャネルの前記複数のI/Oコンタクトの半分を含
請求項に記載の方法。
【請求項14】
前記決定された動作のモードに基づいて、前記ロジックレイヤの前記裏面側のコマンドおよびアドレス(CA)コンタクトの一部をアクティブにさせ、前記CAコンタクトの残り部分を非アクティブにさせる段階であって、CAコンタクトの前記一部は、前記複数のメモリデバイスへのアクセスを容易にするように、前記第1のデータチャネルおよび前記第2のデータチャネルに関するCA信号を受信または送信するように構成される、段階と、
前記ロジックレイヤの下の転送レイヤが、前記高帯域幅メモリスタックデバイスに、減少した数のCAコンタクトを通ってパッケージ基板に接続することを可能にするように、前記第1のデータチャネルおよび前記第2のデータチャネルに関するCA信号が、CAコンタクトの前記一部を通ってルーティングされることをもたらす段階とを、更に備える、
請求項13に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本明細書に説明される例は、一般に、高帯域幅メモリに関する。
【背景技術】
【0002】
システムオンチップ(SoC)またはシステムインパッケージ(SiP)などのコンピューティングシステムにおいて、様々なコンピューティング動作をサポートするためにメモリに追加の密度を提供するように、複数の密接に結合されたメモリ要素またはアレイを有するメモリデバイスが、開発および展開されている。これらのタイプのメモリデバイスは、3次元(3D)積層メモリまたは積層メモリと称されることがある。これらのタイプの積層メモリの共通の特徴は、高帯域幅メモリであることである。
【0003】
高帯域幅メモリの共通の配置は、高帯域幅メモリスタックデバイスまたは高帯域幅メモリパックデバイスと称され得る、ダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)のスタックされたレイヤまたはダイを含み得る。高帯域幅メモリスタックまたはパックデバイスは、パッケージ基板上の単一パッケージにおいて、大量のコンピュータまたはシステムメモリを提供するように利用され得る。パッケージはまた、メモリコントローラ中央処理装置(CPU)、グラフィックス処理装置(GPU)、または他のコンポーネントなどのコンポーネントを含み得る。
【図面の簡単な説明】
【0004】
図1】例示的な第1システムを示す。
【0005】
図2】例示的な第1サブシステムを示す。
【0006】
図3】例示的な第1オペレーションモードを示す。
【0007】
図4】例示的な第1再分配スキームを示す。
【0008】
図5】例示的な再分配レイアウトスキームを示す。
【0009】
図6】例示的な第2サブシステムを示す。
【0010】
図7】例示的な第2オペレーションモードを示す。
【0011】
図8】例示的な第2再分配スキームを示す。
【0012】
図9】例示的な第1ロジックフローを示す。
【0013】
図10】例示的な装置を示す。
【0014】
図11】例示的な第2ロジックフローを示す。
【0015】
図12】例示的な記憶媒体を示す。
【0016】
図13】例示的な第2システムを示す。
【発明を実施するための形態】
【0017】
いくつかの例において、ロジックレイヤと共に4つのDRAMデバイスまたはダイのスタックを含む高帯域幅メモリスタックデバイスは、例えば、高帯域幅メモリスタックデバイスをCPUおよび/またはGPUと結合するパッケージ基板と物理的に接続するための、約1,000の入出力(I/O)コンタクト(例えば、金属バンプ)を含み得る。クロック(CLK)シグナリングまたはコマンドおよびアドレス(CA)シグナリングのための多数の他のコンタクトもまた、パッケージ基板に接続するためのコンタクトを有し得る。高帯域幅メモリスタックデバイス下の比較的小さい面積における多くの数のI/O、CLKおよびCAコンタクトは、これらのコンタクトの間に、非常に狭い、または小さい間隔をもたらし得る。高価なパッケージ相互接続技術を伴う解決方法が、コンタクト間の狭い間隔に対処するように用いられ得る。例えば、埋込式マルチダイ相互接続ブリッジ(EMIB)などの、シリコンインターポーザまたはシリコンブリッジが、狭い間隔を扱うように用いられる解決方法のタイプとなり得る。EMIB解決方法は、狭いまたは小さい間隔の高帯域幅メモリスタックデバイスを扱うことが可能であり得るが、EMIB解決方法は、高帯域幅メモリスタックデバイスと、CPUまたはGPUとの間の直線的な接続を強い、パッケージ相互接続信号ルーティングのフレキシビリティを限定する。この直線要件、およびEMIBに関するフレキシビリティの欠如は、配置およびダイサイズのコンフリクトを、SOCまたはSiP上に含まれ得るCPU、GPU、または他のタイプのダイパッケージにもたらし得る。また、高帯域幅メモリスタックデバイスに関する狭い間隔を処理するためにシリコンインターポーザだけを用いることは、おそらく、許容できないレベルのコストを加える。
【0018】
図1は、例示的なシステム100を示す。いくつかの例において、図1に示されるように、システム100は、再分配層130を介してパッケージ基板140と結合される高帯域幅メモリ(HBM)スタック105を含む。いくつかの例において、HBMスタック105は、底部または下位のロジックレイヤと共に、メモリデバイスまたはダイの複数のレイヤを含み得る。例えば、図1に示されるように、HBMスタック105はDRAM110-1から110-nを含み、「n」は任意の正の整数>1を表し、ロジックレイヤ120の上面にスタックされる。ロジックレイヤ120は、DRAM110-1から110-nへのアクセスと関連付けられるコマンドおよびアドレス信号と共に、DRAM110-1から110-nへ/からのアクセスを容易にする回路、ロジック、および/または特徴を含み得る。DRAM110-1から110-nは、それぞれのメモリチャネルを介してアクセスされ得る、それぞれ複数のアドレス指定可能なメモリアレイを有する別個のメモリデバイスを表し得る。それぞれのメモリチャネルは、多くの数のI/O信号パス(例えば、128)を含み得る。以下により詳細に説明されるように、ロジックレイヤ120は、ロジックレイヤ120の裏面側のアクティブ接続の数を減らすべく、メモリチャネルのマージングおよび/またはI/O信号経路の削減のいずれかが可能である、回路、ロジック、および/または特徴を含み得る。マージされたメモリチャネルおよび/または減らされたI/O信号経路は、ロジックレイヤ120の裏面側での減らされたアクティブ接続の数を通って、再分配層130を通ってパッケージ基板140を接続して、HBMスタック105を例えばCPUまたはGPU(不図示)に結合するように、ルーティングされ得る。いくつかの例において、再分配層130は、パッケージ基板140の一部であってもよく、それと統合されてもよい。他の例において、再分配層130は、ロジックレイヤ120とパッケージ基板140との間を結合または接続するパッケージ基板140からの個別のレイヤであり得る。
【0019】
いくつかの例によれば、メモリチャネルおよび/またはI/O信号経路のマージングは、再分配層130を通ったパッケージ相互接続ルーティングに関して、より大きなフレキシビリティを可能にし得る。また、メモリチャネルおよび/またはI/O信号経路のマージングは、ロジックレイヤ120の下端部または裏面側におけるコンタクトに関する狭い接触間隔によって示される、問題を減らし得る。例えば、チャネルおよび/またはI/O信号をマージングすることによって、以下により詳細に述べるように、数を減らしたコンタクトが、再分配層130を介したパッケージ基板140に結合される必要があり得る。コンタクトが再分配層130から除去される場合、数を減らしたコンタクトは、接触間隔を増やすことを可能にする。代替的に、不要なコンタクトは、論理的にまたは電気的に、切断されていてもよく、接続されていなくてもよい。これらの論理的または電気的に切断されたコンタクトは、すべての接続がアクティブであることに関係する信号干渉および熱発生の可能性を減らし得る。
【0020】
例は、HBMスタック105に含まれるメモリデバイスのためのDRAMに限定されない。メモリデバイスは、本明細書に説明されるように、不揮発性または揮発性メモリタイプを指してよい。いくつかの不揮発性メモリタイプは、NANDまたはNOR技術などでブロックアドレス指定可能であってよい。他の不揮発性メモリタイプは、限定されないが、3-Dクロスポイントメモリと以下に称されるカルコゲナイド相変化材料(例えば、カルコゲナイドガラス)を含む、3次元(3-D)クロスポイントメモリ構造を有するバイトまたはブロックアドレス指定可能なタイプの不揮発性メモリであってよい。不揮発性タイプのメモリは、以下に限定されないが、多閾値レベルのNANDフラッシュメモリ、NORフラッシュメモリ、単一またはマルチレベルの相変化メモリ(PCM)、抵抗メモリ、ナノワイヤメモリ、強誘電体トランジスタランダムアクセスメモリ(FeTRAM)、反強誘電体メモリ、金属酸化物系、酸素欠陥系、および導電性ブリッジランダムアクセスメモリ(CB-RAM)を含む抵抗メモリ、スピントロニック磁気接合メモリ、磁気トンネル接合(MTJ)メモリ、磁壁(DW)スピン軌道トランスファ(SOT)メモリ、サイリスタベースのメモリ、メモリスタ技術を内蔵した磁気抵抗ランダムアクセスメモリ(MRAM)、スピントランスファトルクMRAM(STT-MRAM)、または上記のいずれかの組み合わせなどの他のタイプのバイトアドレス指定可能またはブロックアドレス指定可能な不揮発性メモリを含んでもよい。
【0021】
「RAM」または「RAMデバイス」を指す本明細書の説明は、揮発性か不揮発性かによらず、ランダムアクセスを可能とする任意のメモリデバイスにあてはまり得る。DRAMまたはシンクロナスDRAM(SDRAM)、DRAMデバイスまたはSDRAMデバイスを指す説明は、揮発性ランダムアクセスメモリデバイスを指してよい。メモリデバイス、SDRAMまたはDRAMは、ダイ自体を、1または複数のダイを含むパッケージメモリ製品を、またはその両方を指してよい。いくつかの例において、リフレッシュされる必要がある揮発性メモリを有するシステムもまた、少なくとも最小レベルのメモリ永続をサポートする、少なくともいくつかの不揮発性メモリを含んでよい。
【0022】
図2は、例示的なサブシステム200を示す。いくつかの例において、サブシステム200は、図1に示されるHBMスタック105などの、高帯域幅メモリスタックデバイスの一部を表し得る。これらの例に関して、図2に示されるように、サブシステム200は、チャネルAを介してアクセスされ得る第1のメモリアレイ210-1と、チャネルBを介してアクセスされ得る第2のメモリアレイ210-2とを含む。メモリアレイ210-1に書き込まれ、またはそこから読み出されるデータは、[ChA]CA215に含まれる信号パスを通ってルーティングされるコマンドおよびアドレス信号に応答する、[ChA]I/O213に含まれる信号パスを通ってルーティングされ得る。同様に、メモリアレイ210-2に書き込まれ、またはそこから読み出されるデータは、[ChB]CA219を通ってルーティングされるコマンドおよびアドレス信号に応答する、[ChB]I/O217に含まれる信号パスを通ってルーティングされ得る。制御214-1、デコーダ212-1、CAバッファ216-1、および先入先出(FIFO)バッファ218-1は、メモリアレイ210-1へのアクセスを容易にし得る。制御214-2、デコーダ212-2、CAバッファ216-2、およびFIFOバッファ218-2は、メモリアレイ210-2へのアクセスを容易にし得る。
【0023】
いくつかの例によれば、ロジックレイヤ220は、メモリアレイ210-1または210-2へのアクセスを調整し得る。簡略化のために、DRAMアレイへのアクセスを調整するためにHBMスタックのロジックレイヤに含まれ得るいくつかのコンポーネントは、図2には不図示である。図2に示される例示的なロジックレイヤ220は、マージロジック224およびモードレジスタ222を含み得る。モードレジスタ222は、完全I/Oモードで動作するかマージされたチャネルモードで動作するか(例えば、マージされたチャネルを示す「1」のビット値か、完全I/Oを示す「0」の値か)を決定するように、マージロジック224の動作のモードを示すようにプログラミングまたは設定される。マージされたチャネルモードは、チャネルAおよびチャネルBの両方に関するロジックレイヤ220の裏面側221上で、個別のアクティブ接続がない状態で、図2に示される。むしろ、[ChB]I/OおよびCA接続は、「接続がない」として示され、これらの接続が電気的または論理的に接続されていない/非アクティブであることを意味する。従って、[ChA/B]I/O223および[ChA/B]CA225は、サブシステム200が完全I/Oモードであった場合に[ChA]I/OおよびCA接続だけに関して接続されたであろう、マージされた接続を通ってルーティングされる。
【0024】
いくつかの例によれば、完全I/Oモードは、ロジックレイヤ220の裏面側221に、チャネルAおよびチャネルBの両方のための128のI/O接続を含み得る。これらの例に関して、マージロジック224は、チャネルごとに完全な128のI/O接続に関する信号が、第1動作周波数(例えば毎秒2ギガトランスファー(GT/s))でロジックレイヤ220を通ってルーティングされることをもたらし得る。例えば、チャネルAのための128のI/O接続に関する第1の信号が、第1動作周波数においてロジックレイヤ220を通って[ChA]I/O213にルーティングされる。チャネルBのための128のI/O接続に関する第2の信号もまた、第1動作周波数においてロジックレイヤ220を通って[ChB]I/O217にルーティングされる。いくつかの例において、マージされたチャネルモードが可能にされる場合、128のI/Oコンタクトは、チャネルAが64のI/Oアクティブコンタクトを有し、[ChB]が64のI/Oアクティブコンタクトを有するように分割される。これらの例に関して、マージロジック224は、第1動作周波数を2倍にして、チャネルごとに64のI/O接続のそれぞれの組に関する信号がロジックレイヤ220を通ってルーティングされる第2動作周波数(例えば、4GT/s)をもたらすことによって、チャネルごとの減少したI/Oアクティブコンタクトを補償し得る。従って、それぞれのメモリアレイ210-1および210-2は、完全I/Oモードおよびマージされたチャネルモードの間の単位時間ごとのデータレートの減少が、ほとんどまたは全く見られないことがある。
【0025】
図3は、例示的なオペレーションモード300を示す。いくつかの例において、図3に示されるように、オペレーションモード300は、完全I/Oモード310およびマージされたチャネルモード320を含み得る。これらの例に関して、図3に示されたコンポーネントは、ロジックレイヤ220を通ってメモリアレイ210-1および210-2への、DQ[0:127](ChA)とDQ[0:127](ChB)の両方に関する128のI/O接続のための信号をルーティングするように用いられるコンポーネントの少なくとも一部を表し得る。例えば、DQ[0:127](ChA)に関する128のI/O接続のための信号をルーティングするコンポーネントは、位相ロックループ(PLL)302、遅延ロックループ(DLL)304、送信(Tx)回路306A(偶数#ビットに関する)、Tx回路308A(奇数#ビットに関する)、DQストローブ(DQ)ジェネレータ310、Txマルチプレクサ312A、MUX0 314A、読み出しラッチ316A、受信(Rx)回路318A(偶数#ビットに関する)、Rx回路320A(奇数#ビットに関する)、Rxマルチプレクサ322A、または書き込みFIFO326Aを含み得る。DQ[0:127](ChB)に関する128のI/O接続のための信号をルーティングするコンポーネントは、共有PLL302、断片DLL304、Tx回路306B(偶数#ビットに関する)、Tx回路308B(奇数#ビットに関する)、断片DQジェネレータ310、Txマルチプレクサ312B、MUX0 314B、読み出しラッチ316B、Rx回路318B(偶数#ビットに関する)、Rx回路320B(奇数#ビットに関する)、Rxマルチプレクサ322B、または書き込みFIFO326Bを含み得る。
【0026】
いくつかの例によれば、完全I/Oモード310において、ロジックレイヤ220を通ってDQ[0:127](ChA)とDQ[0:127](ChB)の両方に関する128のI/O接続のための信号をルーティングするコンポーネントは、「CLK1」がチャネルAまたはチャネルBコンポーネントに関する任意のTx/Rxマルチプレクサには適用されないという例外はあるが、アクティブである。これらの例において、チャネルAおよびチャネルBに関するコンポーネントは、「CLK1」に関するクロック周波数より遅くてよい第1のクロック周波数で動作し得る。例えば、第1のクロック周波数は、2GT/sの伝送速度をもたらし得る。
【0027】
いくつかの例において、マージされたチャネルモード320は、Txマルチプレクサ312A/BおよびRxマルチプレクサ322A/Bに「CLK1」を適用して、チャネルA/Bに関するこれらのマルチプレクサに、第2の、より速いクロック周波数での動作をもたらすことに基づいて実装され得る。例えば、第2クロック周波数は、Tx308A/BおよびRx320Aに4GT/sの伝送速度をもたらし得る。これらの例に関して、以前にDQ[0:127](ChA)に関して割り当てられていた128のI/O接続は、ここで、64のI/O接続がDQ[0:126:2](ChA)に進み、および、64のI/O接続がDQ[1:127:2](ChB)に進むように、分割される。また、マージされたチャネルモード320に関して、Tx回路308A/BおよびRx回路320A/Bが、これら64のI/O接続に関する信号をルーティングするように割り当てられ得る。マージされたチャネルモード320に関する実線は、チャネルAに関してルーティングされるI/O信号を示し、破線は、チャネルBに関してルーティングされるI/O信号を示す。
【0028】
図4は、例示的な再分配スキーム400を示す。いくつかの例において、図4に示されるように、再分配スキーム400は、HBMチャネルトポロジ410に関するチャネルbおよびdのバンプまたは接続が、どのように接続なし(no connect)に再分配され得るかを示す。これらの例において、HBMチャネルトポロジ410は、HBMスタックデバイスに関する、ロジックレイヤの頂部側に結合するメモリデバイスのスタックに関する4チャネルトポロジを表し得、そのようなDRAM110-1から110-nはロジックレイヤ120の頂部側に結合する。また、再分配層(RDL)チャネルトポロジ420は、再分配層130などの再分配層における接続またはバンプの減少をもたらし得る、チャネルbおよびdの、それぞれチャネルaおよびcとのマージを表し得る。
【0029】
いくつかの例によれば、チャネルbおよびcをチャネルaおよびcとマージすることは、マージされたチャネルモード(例えば、マージされたチャネルモード320)にHBMスタックデバイスを配置することに応答して、図2および3に関して上で述べたI/OおよびCA接続のマージと同様の態様で実装され得る。これらの例に関して、HBMスタックデバイスに関するロジックレイヤの裏面側のチャネルbおよびdに関するバンプまたは接続は、接続なしになり得、したがって、チャネルaおよびcに関するバンプまたは接続は、増加された面積425として図4に示された、増加された面積によって再分配され得る。いくつかの例において、バンプまたは接続は、HBMスタックデバイスをパッケージ基板に接続する再分配層において、より大きな間隔を有するように離れて広がり得る。例えば、ピッチは、このタイプのチャネルマージングに起因して、4という因数(4倍)で増加し得る。
【0030】
図5は、例示的な再分配レイアウトスキーム500を示す。いくつかの例において、図5に示されるように、再分配レイアウトスキーム500は、HBMバンプレイアウト510およびオーバーレイHBMバンプ対RDLバンプ520を示す。これらの例において、HBMバンプレイアウト510のHMBバンプ512は、HBMスタックデバイスに関するロジックレイヤの裏面側の、チャネルaおよびbのI/OまたはCA信号のための接続を表し得、パッケージ基板バンプ522は、パッケージ基板に接続する再分配層に接続するための、マージされたチャネルaおよびbのための接続を表す。オーバーレイHBMバンプ対RDLバンプ520は、チャネルbとチャネルaとに関する、HMBバンプ512の全てへの完全なマージを示すものではない。より小さいHMBバンプ512上の、より大きいパッケージ基板バンプ522は、チャネルがマージされる場合、よりどのくらい大きいバンプ間隔が達成され得るかの例示的な観点を提供するように示される。より大きいバンプ間隔は、例えば、HBMスタックとCPUまたはGPUとの間の信号パスの、より柔軟なルーティングを可能にし得る。
【0031】
図6は、例示的なサブシステム600を示す。いくつかの例において、サブシステム600は、図2に示されたサブシステム200と同様であり得、図1に示されたHBMスタック105などの、HBMスタックの一部もまた表し得る。これらの例に関して、図6に示されるように、サブシステム600は、チャネルAを介してアクセスされ得る第1のメモリアレイ610-1と、チャネルBを介してアクセスされ得る第2のメモリアレイ610-2とを含む。メモリアレイ610-1に書き込まれ、またはそこから読み出されるデータは、[ChA]CA615に含まれる信号パスを通ってルーティングされるコマンドおよびアドレス信号に応答する、[ChA]I/O613に含まれる信号パスを通ってルーティングされ得る。同様に、メモリアレイ610-2に書き込まれ、またはそこから読み出されるデータは、[ChB]CA619を通ってルーティングされるコマンドおよびアドレス信号に応答する、[ChB]I/O617に含まれる信号パスを通ってルーティングされ得る。制御614-1、デコーダ612-1、CAバッファ616-1、および先入FIFOバッファ618-1は、メモリアレイ610-1へのアクセスを容易にし得る。制御614-2、デコーダ612-2、CAバッファ616-2、およびFIFOバッファ618-2は、メモリアレイ610-2へのアクセスを容易にし得る。
【0032】
いくつかの例によれば、ロジックレイヤ620は、メモリアレイ610-1または610-2へのアクセスを調整し得る。簡略化のために、DRAMアレイへのアクセスを調整するためにHBMスタックのロジックレイヤに含まれ得るいくつかのコンポーネントは、図6には不図示である。図6に示される例示的なロジックレイヤ620は、減少ロジック624およびモードレジスタ622を含み得る。モードレジスタ622は、完全I/Oモードで動作するか部分I/Oモードで動作するか(例えば、部分I/Oモードを示す「1」のビット値か、完全I/Oモードを示す「0」の値か)を決定するように、減少ロジック624のための動作のモードを示すようにプログラミングまたは設定され得る。部分I/Oモードは、チャネルAおよびチャネルBの両方に関するロジックレイヤ620の裏面側221上で、I/O接続に低減がある状態で、図6に示される。従って、[ChA]I/O623および[ChB]I/O627は、それぞれ[ChA]I/O613および[ChB]I/O617と比較して、より少ないアクティブ接続を含む。
【0033】
いくつかの例によれば、完全I/Oモードは、ロジックレイヤ620の裏面側621に、チャネルAおよびチャネルBの両方のための128のI/O接続を含み得る。これらの例に関して、減少ロジック624は、チャネルごとに完全な128のI/O接続に関する信号が、第1転送速度(例えば、2GT/s)をもたらす第1動作周波数でロジックレイヤ620を通ってルーティングされることをもたらし得る。例えば、[ChA]のための128のI/O接続に関する第1の信号が、第1動作周波数においてロジックレイヤ220を通って[ChA]I/O613にルーティングされる。[ChB]のための128のI/O接続に関する第2の信号もまた、第1動作周波数においてロジックレイヤ220を通って[ChB]I/O617にルーティングされる。いくつかの例において、部分I/Oモードが可能にされる場合、チャネルAはアクティブとして[ChA]I/O623に関する128のI/Oコンタクトのうち64を有し、チャネルBはアクティブコンタクトとして[ChB]CA629に関する128のI/Oコンタクトのうち64を有する。これらの例に関して、減少ロジック624は、第1動作周波数を2倍にして、チャネルごとに64のI/O接続のそれぞれの組に関する信号が、第2転送速度(例えば、4GT/s)をもたらすロジックレイヤ620を通ってルーティングされる第2動作周波数をもたらすことによって、チャネルごとの減少したI/Oアクティブコンタクトを補償し得る。従って、それぞれのメモリアレイ610-1および610-2は、完全I/Oモードおよびマージされたチャネルモードの間の単位時間ごとのデータレートの減少が、ほとんどまたは全く見られないことがある。
【0034】
図7は、例示的なオペレーションモード700を示す。いくつかの例において、図7に示されるように、オペレーションモード700は、完全I/Oモード710および部分I/Oモード720を含み得る。これらの例に関して、図7に示されたコンポーネントは、ロジックレイヤ620を通ってメモリアレイ210-1への、DQ[0:127]に関する128のI/O接続のための信号をルーティングするように用いられるコンポーネントの少なくとも一部を表し得る。例えば、DQ[0:127](ChA)に関する128のI/O接続のための信号をルーティングするコンポーネントは、PLL702、DLL704、Tx回路706A、Tx回路708A、DQジェネレータ710、Txマルチプレクサ712A、MUX0 714A、読み出しラッチ716A、Rx回路718A、Rx回路720A、Rxマルチプレクサ722A、および書き込みFIFO726Aを含み得る。
【0035】
いくつかの例によれば、完全I/Oモード710において、ロジックレイヤ620を通ってDQ[0:127](ChA)に関する128のI/O接続のための信号をルーティングするコンポーネントは、「CLK1」がチャネルAコンポーネントに関するTx/Rxマルチプレクサに適用されないという例外はあるが、アクティブである。これらの例において、チャネルAに関するコンポーネントは、「CLK1」に関するクロック周波数より遅くてよい第1のクロック周波数で動作し得る。例えば、第1のクロック周波数は2GT/sであり得る。
【0036】
いくつかの例において、部分I/Oモード720は、Txマルチプレクサ712AおよびRxマルチプレクサ722Aに「CLK1」を適用して、チャネルAに関するこれらのコンポーネントに、第2の、より速いクロック周波数での動作をもたらすことに基づいて実装され得る。例えば、第2クロック周波数は4GT/sであり得る。これらの例に関して、以前にDQ[0:127:2]に関して割り当てられていた64のI/O接続は、ここで、部分I/Oモード720に関して接続なしとなる。
【0037】
図8は、例示的な再分配スキーム800を示す。いくつかの例において、図8に示されるように、再分配スキーム800は、HBMチャネルトポロジ810のI/OチャネルのDQバンプの半分が、どのように接続なし「NC」とされるか、または部分RDLチャネルトポロジ820に関して非アクティブとされるかを示す。これらの例において、図4と同様に、HBMチャネルトポロジ810は、HBMスタックデバイスに関する、ロジックレイヤの頂部側に結合するメモリデバイスのスタックに関する4チャネルトポロジを表し得、そのようなDRAM110-1から110-nはロジックレイヤ120の頂部側に結合する。また、再分配層(RDL)チャネルトポロジ820は、再分配層130などの再分配層に接続するロジックレイヤの裏面側でアクティブなI/O接続の数の減少を表し得る。
【0038】
いくつかの例によれば、は、HBMスタックデバイスに関するロジックレイヤの裏面側でアクティブなI/O接続の数の減少は、なお、CA信号を含み得る。再分配スキーム400と比較すると、部分RDLチャネルトポロジに関するバンプまたは接続の間隔は、再分配スキーム400に関して上で述べられたのと同じくらい再分配層において増加しなくともよい。しかし、I/Oコンタクトの減少は、およそ2という因数(2倍)で間隔を増加させることをなお可能にし得る。
【0039】
図9は、例示的なロジックフロー900を示す。いくつかの例において、ロジックフロー900は、システムオンチップ(SoC)またはシステムインパッケージ(SiP)の一部であり得るパッケージ基板と結合するHBMスタックデバイスの配置のための、ロジックフローを示し得る。これらの例に関して、ロジックフロー900は、図2に示されるマージロジック224、または図6に示される減少ロジック624などの、ロジックレイヤ120、220または620の回路ロジックおよび/または特徴によって実装され得る。また、回路、ロジックおよび/または特徴によって用いられるモードレジスタは、図2から図3および図6から図7に関して上に述べられたように設定またはプログラミングされ得る。例は、ロジックフロー900を実装するこれらの要素に限定されない。
【0040】
ブロック910で開始すると、HBMデバイスはブートアップし得、または電源をオンにされ得る。
【0041】
ブロック910からブロック920に移動すると、HBMデバイスに関するロジックレイヤの回路、ロジックおよび/または特徴の初期化が完了し得る。初期化は、ロジックレイヤおよび/またはHBMデバイス(例えば、多数のメモリデバイス、チャネル、I/Oコンタクトなど)の機能を収集することを含み得る。
【0042】
ブロック920から決定ブロック930に移動すると、収集された機能は、ロジックレイヤがマージまたは減少ロジックを実装または実行するように構成されているかどうか決定するように、評価される。マージロジックの場合、ロジックフロー900は決定ブロック940へ移動する。減少ロジックの場合、ロジックフロー900は決定ブロック970へ移動する。
【0043】
決定ブロック930から決定ブロック940へ移動すると、ロジックレイヤのマージロジック(例えば、マージロジック224)は、モードレジスタ(例えば、MR222)を読み出して、どのビット値が示されるかを決定し得る。ビット値が0の場合、ロジックフロー900はブロック950へ移動する。ビット値が1の場合、ロジックフロー900はブロック960へ移動する。
【0044】
決定ブロック940からブロック950に移動すると、マージロジックは、HBMデバイスに含まれるメモリデバイスのそれぞれのメモリアレイと結合される少なくとも2個のチャネルを通ってルーティングされるすべてのI/OおよびCA接続を利用し得る完全I/Oモードで動作し得る(例えば、完全I/Oモード310で動作する)。
【0045】
決定ブロック940からブロック960に移動すると、マージロジックは、HBMデバイスに含まれるメモリデバイスのそれぞれのメモリアレイと結合される2つのチャネルに関するI/OおよびCA接続をマージし得るマージされたチャネルモードで動作し得る(例えば、マージチャネルモード320で動作する)。
【0046】
決定ブロック930から決定ブロック970へ移動すると、ロジックレイヤの減少ロジック(例えば、減少ロジック622)は、モードレジスタ(例えば、MR622)を読み出して、どのビット値が示されるかを決定し得る。ビット値が0の場合、ロジックフローはブロック980へ移動する。ビット値が1の場合、ロジックフロー900はブロック990へ移動する。
【0047】
決定ブロック970からブロック980に移動すると、減少ロジックは、HBMデバイスに含まれるメモリデバイスのそれぞれのメモリアレイと結合される少なくとも2個のチャネルを通ってルーティングされるすべてのI/OおよびCA接続を利用し得る完全I/Oモードで動作し得る(例えば、完全I/Oモード610で動作する)。
【0048】
決定ブロック970からブロック990に移動すると、減少ロジックは、HBMデバイスに含まれるメモリデバイスのそれぞれのメモリアレイと結合される少なくとも2個のチャネルに関するアクティブなI/O接続を減少させ得る部分I/Oモードで動作し得る(例えば、部分I/Oモード620で動作する)。
【0049】
図10は、装置1000に関する例示的なブロック図を示す。図10に示された装置1000は特定のトポロジにおける限定された数の要素を有するが、装置1000は、所与の実装に関して所望の代替的なトポロジにおける、より多く、またはより少ない要素を含み得ることが理解され得る。
【0050】
いくつかの例によれば、装置1000は、ロジックレイヤ120、220または620などの高帯域幅メモリスタックデバイスのロジックレイヤに位置する回路1020によってサポートされ得る。回路1020は、ロジック、または当該ロジックのモジュール、コンポーネントまたは特徴が実装される1または複数のファームウェアを、実行するように構成され得る。本明細書で使用される「a」と「b」および「c」ならびに同様の指定子は、任意の正の整数を表す変数であることを意図することに留意する価値がある。従って、例えば、実装がa=3の値を設定する場合、ロジック1022-aのモジュール、コンポーネントに関するソフトウェアまたはファームウェアの完全なセットは、ロジック1022-1、1022-2または1022-3を含み得る。示された例は、この文脈に限定されなく、終始にわたって用いられる異なる変数は、同じ、または異なる整数値を表してよい。また、「モジュール」「コンポーネント」または「特徴」はまた、コンピュータ可読または機械可読媒体に格納されたファームウェアを含み得、特徴のタイプは、図10の単体ボックスに示されるが、このことは、これらのタイプの特徴を、区別されたコンピュータ可読媒体コンポーネント(例えば、別個のメモリなど)または区別されたハードウェアコンポーネント(例えば、個別の特定用途向け集積回路(ASIC)、またはフィールドプログラマブルゲートアレイ(FPGA))による実装におけるストレージに限定しない。
【0051】
いくつかの例によれば、回路1020は1または複数のASICまたはFPGAを含み得、いくつかの例において、少なくともいくつかのロジック1022-aが、これらのASICまたはFPGAのハードウェア要素として実装され得る。
【0052】
いくつかの例によれば、図10に示されるように、装置1000はモードレジスタ1005を含み得る。これらの例に関して、モードレジスタ1005は、高帯域幅メモリスタックデバイスのロジックレイヤを通ってI/OまたはCA信号をルーティングする動作のモードを示すように設定またはプログラミングされ得る。例えば、完全I/Oモード、マージされたチャネルモード、および部分I/Oモードである。
【0053】
いくつかの例において、装置1000は、読み出しロジック1022-1をまた含み得る。読み出しロジック1022は、モードレジスタ1005のビット値を読み出すように、回路1020によって実行またはサポートされ得る。例えば、モードレジスタ1005は、1のビット値または0のビット値を有し得る。
【0054】
いくつかの例によれば、装置1000はまた、接続ロジック1022-2を含み得る。接続ロジック1022-2は、回路1020によって実行またはサポートされ、モードレジスタ1005のビット値に基づいて、ロジックレイヤの裏面側のI/Oコンタクトの一部をアクティブにさせ、I/Oコンタクトの残り部分を非アクティブにさせ得る。これらの例に関して、I/Oコンタクトの第1の部分は、複数のメモリデバイスにアクセスする1または複数のデータチャネルに関するI/O信号を受信または送信するように構成され得る。アクティブコンタクト1030は、接続ロジック1022-2がモードレジスタ1005によって示されるビット値に基づいてアクティブにさせられるI/Oコンタクトの一部を含み得る。
【0055】
いくつかの例において、装置1000はまた、ルーティングロジック1022-3を含み得る。ルーティングロジック1022-3は、回路1020によって実行またはサポートされ得、ロジックレイヤの下の転送レイヤが、高帯域幅メモリスタックデバイスを、減少した数のI/Oコンタクトを通ってパッケージ基板と接続することを可能にするように、I/O信号を、I/Oコンタクトの一部を通って1または複数のデータチャネルを介してルーティングさせる。これらの例に関して、Tx信号1040は、複数のメモリデバイスからルーティングされたI/O信号(例えば、そこから読み出されたデータ)を含み得、Rx信号1050は、複数のメモリデバイスにルーティングされたI/O信号(そこに書き込まれたデータ)を含み得る。いくつかの例において、伝送速度クロック1010は、ルーティングロジック1022-3によって用いられ得、すべてI/Oコンタクトをアクティブ化するのではないことを補償するように、伝送速度を増加させる。
【0056】
装置1000の様々なコンポーネントが、動作を調整するように、様々なタイプの通信媒体と互いに通信可能に結合され得る。この調整は、情報の単方向または双方向の交換を含んでよい。例えば、コンポーネントは、通信媒体にわたって通信される信号の形態で情報を通信してよい。情報は、様々な信号ラインに割り当てられる信号として実装され得る。このような割り当てにおいては、それぞれのメッセージが信号である。しかしながら、さらなる実施形態は、代替的にデータメッセージを採用してよい。このようなデータメッセージは、様々な接続にまたがって送信されてよい。例示的な接続は、並列インタフェース、シリアルインタフェース、およびバスインタフェースを含む。
【0057】
本明細書には、開示されたアーキテクチャの新規な態様を実行するための例示的な方法論を表すロジックフローのセットが含まれる。説明の簡略化のために、本明細書に示す1または複数の方法論は一連の行為として図示および説明されているが、当業者であれば、これらの方法論が行為の順序に限定されないことを理解および認識するであろう。それに応じて、いくつかの行為は、本明細書で図示および説明するものとは異なる順序で、および/または、本明細書で図示および説明するものから得た他の行為と同時に行われてよい。例えば、当業者であれば、方法論が代替的に、状態ダイアグラムなどにおいて、一連の相互に関連する状態またはイベントとして表され得ることを理解および認識するであろう。さらに、方法論に示されている全ての行為が新規の実装に要求されるわけではない可能性がある。
【0058】
ロジックフローは、ソフトウェア、ファームウェア、および/またはハードウェアで実装され得る。ソフトウェアおよびファームウェアの実施形態では、光学、磁気または半導体ストレージなどの少なくとも1つの非一時的コンピュータ可読媒体または機械可読媒体に格納されるコンピュータ実行可能な命令によりロジックフローが実装されてよい。実施形態はこの文脈において限定されない。
【0059】
図11は、例示的なロジックフロー1100を示す。ロジックフロー1100は、装置1000などの、本明細書に説明される1または複数ロジック、特徴またはデバイスによって実行される動作のいくつかまたは全てを表し得る。より具体的には、ロジックフロー1100は、読み出しロジック1022-1、接続ロジック1022-2、またはルーティングロジック1022-3によって実装されてよい。
【0060】
いくつかの例によれば、ブロック1102のロジックフロー1100は、モードレジスタを介して決定され得、高帯域幅メモリスタックデバイスのための動作モードは、ロジックレイヤの上にスタックされた複数のメモリデバイスを含む。これらの例に関して、読み出しロジック1022-1はモードレジスタを読み出す。
【0061】
いくつかの例において、ブロック1104におけるロジックフロー1100は、決定された動作のモードに基づいて、ロジックレイヤの裏面側のI/Oコンタクトの一部をアクティブにさせ、I/Oコンタクトの残り部分を非アクティブにさせ、I/Oコンタクトの第1の部分は、複数のメモリデバイスにアクセスするように、1または複数のデータチャネルに関するI/O信号を受信または送信するように構成され得る。これらの例において、接続ロジック1022-2は、I/Oコンタクトをアクティブまたは非アクティブにさせ得る。
【0062】
いくつかの例によれば、ブロック1106におけるロジックフロー1100は、ロジックレイヤの下の転送レイヤが、高帯域幅メモリスタックデバイスを、減少した数のI/Oコンタクトを通ってパッケージ基板と接続することを可能にするように、I/O信号を、I/Oコンタクトの一部を通って1または複数のデータチャネルを介してルーティングさせ得る。これらの例に関して、ルーティングロジック1022-3は、I/O信号を、1または複数のデータチャネルを介してルーティングさせ得る。
【0063】
図12は、例示的な記憶媒体1200を示す。いくつかの例において、記憶媒体1200は、製造品目であり得る。記憶媒体1200は、光、磁気または半導体ストレージなどの、非一時的コンピュータ可読媒体または機械可読媒体を含み得る。記憶媒体1200は、ロジックフロー1100を実装する命令などの、様々なタイプのコンピュータ実行可能な命令を格納し得る。コンピュータ可読または機械可読記憶媒体の例は、揮発性メモリまたは不揮発性メモリ、リムーバブルまたは非リムーバブルメモリ、消去可能または非消去可能メモリ、書き込み可能または書き換え可能なメモリなどを含む、電子データの格納が可能な任意の有形媒体を含み得る。コンピュータ実行可能な命令の例は、ソースコード、コンパイルされたコード、インタプリタ型コード、実行可能コード、スタティックコード、ダイナミックコード、オブジェクト指向コード、および視覚的コードなどのような任意の好適なタイプのコードを含んでよい。例はこの文脈に限定されない。
【0064】
図13は、例示的なコンピューティングプラットフォーム1300を示す。いくつかの例において、図13に示されるように、コンピューティングプラットフォーム1300は、メモリシステム1330、処理コンポーネント1340、他のプラットフォームコンポーネント1350、または通信インタフェース1360を含み得る。いくつかの例によれば、コンピューティングプラットフォーム1300は、システムオンチップ(SoC)またはシステムインパッケージ(SiP)として実装され得る。
【0065】
いくつかの例によれば、メモリシステム1330は、ロジックレイヤ1332およびメモリデバイス1334を含む高帯域幅メモリスタックデバイスであり得る。これらの例に関して、ロジックレイヤ1332に存在する、または位置するロジックおよび/または特徴は、装置1000に関する少なくともいくつかの処理動作またはロジックを実行し得、記憶媒体1200を含む記憶媒体を含み得る。また、メモリデバイス1334は、同様のタイプの揮発性または不揮発性メモリ(例えば、DRAM)を含み得る。
【0066】
いくつかの例によれば、処理コンポーネント1340は、様々なハードウェア要素、ソフトウェア要素、および両方の組み合わせを含み得る。ハードウェア要素の例は、デバイス、ロジックデバイス、コンポーネント、プロセッサ、マイクロプロセッサ、管理コントローラ、コンパニオンダイ、回路、プロセッサ回路、回路素子(例えば、トランジスタ、抵抗器、コンデンサ、インダクタなど)、集積回路、ASIC、プログラマブルロジックデバイス(PLD)、デジタル信号プロセッサ(DSP)、FPGA、メモリユニット、ロジックゲート、レジスタ、半導体デバイス、チップ、マイクロチップ、チップセットなどを含み得る。ソフトウェア要素の例は、ソフトウェアコンポーネント、プログラム、アプリケーション、コンピュータプログラム、アプリケーションプログラム、デバイスドライバ、システムプログラム、ソフトウェア開発プログラム、機械プログラム、オペレーティングシステムソフトウェア、ミドルウェア、ファームウェア、ソフトウェアモジュール、ルーチン、サブルーチン、関数、方法、手順、ソフトウェアインタフェース、アプリケーションプログラムインタフェース'API)、命令セット、コンピューティングコード、コンピュータコード、コードセグメント、コンピュータコードセグメント、ワード、値、シンボル、またはその任意の組み合わせを含み得る。例がハードウェア要素および/またはソフトウェア要素を用いて実装されているかどうかを決定する段階は、望ましい演算速度、電力レベル、耐熱性、処理サイクルの予算、入力データ速度、出力データ速度、メモリリソース、データバス速度、および所与の例の所望のその他の設計または性能の制約などの任意の数の要因に応じて異なり得る。
【0067】
いくつかの例において、他のプラットフォームコンポーネント1350は、共通のコンピューティング要素、追加メモリユニット、チップセット、コントローラ、周辺機器、インタフェース、発振器、タイミングデバイスmビデオカード、オーディオカード、マルチメディア入/出力(I/O)コンポーネント(例えば、デジタルディスプレイ)、電源供給などを含み得る。メモリユニットまたはメモリデバイスの例は、限定することなく、1または複数の高速メモリユニットの形態の、リードオンリーメモリ(ROM)、ランダムアクセスメモリ(RAM)、ダイナミックRAM(DRAM)、ダブルデータレートDRAM(DDRAM)、シンクロナスDRAM(SDRAM)、スタティックRAM(SRAM)、プログラマブルROM(PROM)、消去可能プログラマブルROM(EPROM)、電気消去可能プログラマブルROM(EEPROM)、フラッシュメモリ、強誘電体ポリマーメモリなどのポリマーメモリ、オボニックメモリ、相変化または強誘電体メモリ、シリコン酸化物窒化酸化物シリコン(SONOS)メモリ、磁気または光カード、独立ディスク重複アレイ(RAIDドライブなどのデバイスのアレイ)、ソリッドステートメモリデバイス(例えば、USBメモリ)、ソリッドステートドライブ(SSD)および情報の格納に好適な他のタイプの記憶媒体などの、様々なタイプのコンピュータ可読および機械可読記憶媒体を含み得る。
【0068】
いくつかの例では、通信インタフェース1360は、通信インタフェースをサポートするためのロジックおよび/または特徴を含み得る。これらの例では、通信インタフェース1360は、直接通信リンクまたはネットワーク通信リンクを介して通信するために、様々な通信プロトコルまたは規格に従って動作する1または複数の通信インタフェースを含み得る。直接通信は、PCIe仕様、NVMe仕様またはI3C仕様に関連付けられたものなどの、1または複数の業界規格(子孫および変形を含む)に説明される複数の通信プロトコルまたは標準の使用を介して発生し得る。ネットワーク通信は、電気電子技術者協会(IEEE)によって公表された1または複数のイーサネット(登録商標)規格に説明されたもののような、複数の通信プロトコルまたは標準の使用を介して発生し得る。例えば、IEEEによって公表された1つのそのようなイーサネット(登録商標)規格は、IEEE802.3-2018、搬送波感知多重アクセス/衝突検出(CSMA/CD)アクセス方法および物理的レイヤ仕様、2018年8月に公開(以下「IEEE802.3」仕様)を含み得るが、それに限定されない。ネットワーク通信は、OpenFlowハードウェア抽象化API仕様などの、1または複数のOpenFlow仕様によってもまた発生し得る。ネットワーク通信は、1または複数のインフィニバンドアーキテクチャ仕様によってもまた発生し得る。
【0069】
コンピューティングプラットフォーム1300のコンポーネントおよび特徴は、別個の回路、ASIC、ロジックゲート、および/またはシングルチップアーキテクチャの任意の組み合わせを用いて実装され得る。さらに、コンピューティングプラットフォーム1300の特徴は、好適に適切な場合、マイクロコントローラ、プログラマブルロジックアレイおよび/またはマイクロプロセッサ、または上記のものの任意の組み合わせを用いて実装され得る。本明細書では、ハードウェア、ファームウェア、および/またはソフトウェア要素を、集合的または個別に「ロジック」、「回路」、または「電気回路」と称される場合があることに留意されたい。
【0070】
図13のブロック図に示される例示的なコンピューティングプラットフォーム1300は、多くの潜在的実装を機能的に説明する一例を表し得ることが理解されるべきである。したがって、添付図内に示されるブロック機能の分割、省略、または包含は、これらの機能を実装するためのハードウェアコンポーネント、回路、ソフトウェアおよび/または要素が必ず実施形態において分割、省略、または包含されるであろうことを推定するものではない。
【0071】
少なくとも一例の1または複数の態様は、プロセッサ内の様々なロジックを表す少なくとも1つの機械可読媒体に格納された代表的な命令によって実装され得、これらの命令は、機械、コンピューティングデバイス、またはシステムによって読み出される場合、機械、コンピューティングデバイス、またはシステムに、本明細書に記載の技術を実行するためのロジックを作成させる。そのような表現は、「IPコア」として知られ、IPブロックと同様であり得る。IPコアは有形の機械可読媒体に格納され、様々な顧客または製造施設に供給されて、実際にロジックまたはプロセッサを形成する製造機械にロードされてよい。
【0072】
様々な例は、ハードウェア要素、ソフトウェア要素、または両方の組み合わせを用いて実装され得る。いくつかの例では、ハードウェア要素は、デバイス、コンポーネント、プロセッサ、マイクロプロセッサ、回路、回路素子(例えば、トランジスタ、抵抗器、コンデンサ、インダクタなど)、集積回路、ASIC、PLD、DSP、FPGA、メモリユニット、ロジックゲート、レジスタ、半導体デバイス、チップ、マイクロチップ、チップセットなどを含み得る。いくつかの例では、ソフトウェア要素は、ソフトウェアコンポーネント、プログラム、アプリケーション、コンピュータプログラム、アプリケーションプログラム、システムプログラム、機械プログラム、オペレーティングシステムソフトウェア、ミドルウェア、ファームウェア、ソフトウェアモジュール、ルーチン、サブルーチン、機能、方法、手順、ソフトウェアインタフェース、API、命令セット、コンピューティングコード、コンピュータコード、コードセグメント、コンピュータコードセグメント、ワード、値、シンボル、またはその任意の組み合わせを含み得る。ハードウェア要素および/またはソフトウェア要素を用いて例を実装するかどうかを決定する段階は、望ましい演算速度、電力レベル、耐熱性、処理サイクルの予算、入力データ速度、出力データ速度、メモリリソース、データバス速度および所与の実装に所望のその他の設計または性能の制約など、任意の数の要因に応じて異なり得る。
【0073】
いくつかの例は、製造品目または少なくとも1つのコンピュータ可読媒体を含み得る。コンピュータ可読媒体は、ロジックを格納するための非一時的記憶媒体を含み得る。いくつかの例では、非一時的記憶媒体は、揮発性メモリまたは不揮発性メモリ、リムーバブルまたは非リムーバブルメモリ、消去可能または非消去可能メモリ、書き込み可能または書き換え可能なメモリなどを含む、電子データを格納可能な1または複数のタイプのコンピュータ可読記憶媒体を含み得る。いくつかの例において、ロジックは、ソフトウェアコンポーネント、プログラム、アプリケーション、コンピュータプログラム、アプリケーションプログラム、システムプログラム、機械プログラム、オペレーティングシステムソフトウェア、ミドルウェア、ファームウェア、ソフトウェアモジュール、ルーチン、サブルーチン、機能、方法、手順、ソフトウェアインタフェース、API、命令セット、コンピューティングコード、コンピュータコード、コードセグメント、コンピュータコードセグメント、ワード、値、シンボル、またはその任意の組み合わせなどの様々なソフトウェア要素を含んでよい。
【0074】
いくつかの例によれば、コンピュータ可読媒体は、命令を格納または維持するための非一時的記憶媒体を含み得、機械、コンピューティングデバイス、またはシステムによって実行される場合、機械、コンピューティングデバイス、またはシステムに、説明された例に応じて方法および/または動作を実行させる。命令は、ソースコード、コンパイルされたコード、インタプリタ型コード、実行可能コード、スタティックコード、ダイナミックコードなどの任意の好適なタイプのコードを含み得る。命令は、機械、コンピューティングデバイスまたはシステムに特定の機能を実行するように命令するために、事前定義されたコンピュータ言語、態様、または構文に従って実装され得る。命令は、適切な高レベル、低レベル、オブジェクト指向、視覚、コンパイル済みおよび/またはインタプリタ型プログラミング言語を用いて実装され得る。
【0075】
いくつかの例は、「一例では(in one example)」または「例(an example)」という表現と共にこれらの派生語を用いて説明されてよい。これらの用語は、例に関連して説明した特定の特徴、構造、または特性が少なくとも一例に含まれることを意味する。明細書の様々な場所での「一例では」というフレーズの出現は、必ずしもすべてが同じ例を指しているわけではない。
【0076】
いくつかの例は、「結合され(coupled)」または「接続され(connected)」という表現と共にこれらの派生語を用いて説明されてよい。これらの用語は、必ずしも互いに同義語であることを意図するものではない。例えば、「接続され」および/または「結合され」という用語を用いた説明は、2またはそれより多くの要素が互いに直接物理的または電気的に接触していることを示してよい。しかしながら、「結合され」または「~と結合され」という用語もまた、2またはそれより多くの要素が互いに直接接触してはいないが、それでもなお互いに協働または相互作用することを意味してもよい。
【0077】
様々な動作または機能が本明細書に記載されている限り、それらはソフトウェアコード、命令、コンフィグレーション、および/またはデータとして記載または定義することができる。コンテンツは、直接実行可能な(「オブジェクト」または「実行可能な」形態)、ソースコード、または差分コード(「デルタ」または「パッチ」コード)であり得る。本明細書に記載のものであるソフトウェアコンテンツは、コンテンツが格納されている製造品目を介して、または、通信インタフェースを介してデータを送信するための当該通信インタフェースを動作させる方法を介して提供され得る。機械可読記憶媒体は、説明されている機能または動作を機械に実行させることができ、記録可能/記録不可能な媒体(例えばリードオンリーメモリ(ROM)、ランダムアクセスメモリ(RAM)、磁気ディスク記憶媒体、光記憶媒体、フラッシュメモリデバイスなど)などの、機械(例えばコンピューティングデバイス、電子システムなど)によりアクセス可能な形態で情報を格納する任意の機構を含む。通信インタフェースは、メモリバスインタフェース、プロセッサバスインタフェース、インターネット接続、ディスクコントローラなどといった、別のデバイスに通信するためのハードワイヤード媒体、無線媒体、光学式媒体などの任意の媒体にインタフェース接続する任意の機構を含む。通信インタフェースは、構成パラメータを提供すること、および/または、通信インタフェースに、ソフトウェアコンテンツを記述するデータ信号を提供する準備をさせるための信号を送信することにより構成され得る。通信インタフェースは、通信インタフェースに送信される1または複数のコマンドまたは信号を介してアクセスされ得る。
【0078】
以下の例は、本明細書で開示する技術の追加の例に関する。
【0079】
例1
例示的な装置は、ロジックレイヤの上にスタックされた複数のメモリデバイスを含む高帯域幅メモリスタックデバイスのための動作モードを示す、モードレジスタを含み得る。装置はまた、ロジックを実行するロジックレイヤにおける回路を含み得る。ロジックは、モードレジスタのビット値を読み出し得、モードレジスタのビット値に基づいて、ロジックレイヤの裏面側のI/Oコンタクトの一部をアクティブにさせ、I/Oコンタクトの残り部分を非アクティブにさせ得る。I/Oコンタクトの当該一部は、複数のメモリデバイスにアクセスするように、1または複数のデータチャネルに関するI/O信号を受信または送信するように構成され得る。
【0080】
例2
例1の装置において、ロジックレイヤの下の転送レイヤが、高帯域幅メモリスタックデバイスを、減少した数のI/Oコンタクトを通ってパッケージ基板と接続することを可能にするように、ロジックはまた、I/O信号を、I/Oコンタクトの当該一部を通って1または複数のデータチャネルを介してルーティングさせ得る。
【0081】
例3
例1の装置において、ロジックは、I/O信号がI/Oコンタクトの当該一部およびI/Oコンタクトの残り部分の両方を通って1または複数のデータチャネルを介してルーティングされる場合の毎秒の第2転送速度の2倍である、毎秒の第1転送速度でI/O信号をI/Oコンタクトの当該一部を通って1または複数のデータチャネルを介してルーティングさせ得る。
【0082】
例4
例2の装置において、高帯域幅メモリスタックデバイスは、ロジックレイヤの裏面側でアクティブなおよび非アクティブなI/Oコンタクトの両方に対応する第2コンタクトと比較して、より大きな間隔を第1コンタクト間に有する、第1コンタクトを介してパッケージ基板と接続し得る。
【0083】
例5
例4の装置において、パッケージ基板は、高帯域幅メモリデバイスと中央処理ユニットまたはグラフィックス処理ユニットとの間でルーティングされるI/O信号経路を含み得、I/O信号経路は第1コンタクトと結合する。
【0084】
例6
例1の装置において、I/Oコンタクトの当該一部および残り部分は、1または複数のデータチャネルのうちの1つである第1のデータチャネルに関する複数のI/Oコンタクトに含まれ得、第1のデータチャネルは複数のメモリデバイスのうちの1つのメモリデバイスにおいてメモリアレイにアクセスし、当該一部は複数のI/Oコンタクトの半分を含む。
【0085】
例7
例1の装置において、I/Oコンタクトの当該一部とI/Oコンタクトの残り部分とは、1または複数のデータチャネルのうちの1つである第1のデータチャネルおよび第2のデータチャネルに関する複数のI/Oコンタクトに含まれ得る。第1のデータチャネルは、複数のメモリデバイスのうちの1つであるメモリデバイスにおいて第1のメモリアレイにアクセスし得る。第2のデータチャネルは、メモリデバイスの第2のメモリアレイにアクセスし得、当該一部は第1および第2のデータチャネルに関する複数のI/Oコンタクトの半分を含む。
【0086】
例8
例7の装置において、ロジックはまた、モードレジスタのビット値に基づいて、ロジックレイヤの裏面側のCAコンタクトの一部をアクティブにさせ、CAコンタクトの残り部分を非アクティブにさせ得る。CAコンタクトの当該一部は、複数のメモリデバイスへのアクセスを容易にするように、第1および第2のデータチャネルに関するCA信号を受信または送信するように構成され得る。ロジックレイヤの下の転送レイヤが、高帯域幅メモリスタックデバイスに、減少した数のCAコンタクトを通ってパッケージ基板に接続することを可能にするように、ロジックはまた、第1および第2のデータチャネルに関するCA信号を、CAコンタクトの当該一部を通ってルーティングさせ得る。
【0087】
例9
例1の装置において、複数のメモリデバイスはダイナミックランダムアクセスメモリを含み得る。
【0088】
例10
例示的なメモリデバイスは、複数のスタックされたメモリダイを含み得る。メモリデバイスはまた、動作のモードを示すモードレジスタを含み得る。メモリデバイスはまた、複数のスタックされたメモリダイの下に位置するロジックレイヤを含み得、ロジックレイヤはロジックを実行する回路を含む。ロジックは、モードレジスタのビット値を読み出し得、モードレジスタのビット値に基づいて、ロジックレイヤの裏面側のI/Oコンタクトの一部をアクティブにさせ、I/Oコンタクトの残り部分を非アクティブにさせ得る。I/Oコンタクトの当該一部は、複数のスタックされたメモリダイのうち少なくとも1つのメモリダイ上で維持される少なくとも1つのメモリアレイにアクセスするように、1または複数のデータチャネルに関するI/O信号を受信または送信するように構成され得る。
【0089】
例11
例10のメモリデバイスにおいて、ロジックレイヤの下の転送レイヤが、メモリデバイスを、減少した数のI/Oコンタクトを通ってパッケージ基板と接続することを可能にするように、ロジックはまた、I/O信号を、I/Oコンタクトの当該一部を通って1または複数のデータチャネルを介してルーティングさせ得る。
【0090】
例12
例10のメモリデバイスにおいて、ロジックは、I/O信号がI/Oコンタクトの当該一部およびI/Oコンタクトの残り部分の両方を通って1または複数のデータチャネルを介してルーティングされる場合の毎秒の第2転送速度の2倍である、毎秒の第1転送速度でI/O信号をI/Oコンタクトの当該一部を通って1または複数のデータチャネルを介してルーティングさせ得る。
【0091】
例13
例12のメモリデバイスにおいて、メモリデバイスは、ロジックレイヤの裏面側でアクティブなおよび非アクティブなI/Oコンタクトの両方に対応する第2コンタクトと比較して、より大きな間隔を第1コンタクト間に有する、第1コンタクトを介してパッケージ基板と接続し得る。
【0092】
例14
例13のメモリデバイスにおいて、パッケージ基板は、メモリデバイスと中央処理ユニットまたはグラフィックス処理ユニットとの間でルーティングされるI/O信号経路を含み、I/O信号経路は第1コンタクトと結合する。
【0093】
例15例10のメモリデバイスにおいて、I/Oコンタクトの一部および残り部分は、1または複数のデータチャネルのうちの1つである第1のデータチャネルに関する複数のI/Oコンタクトに含まれ得る。第1のデータチャネルは、少なくとも1つのメモリダイ上に維持される第1のメモリアレイにアクセスし得、当該一部は複数のI/Oコンタクトの半分を含む。
【0094】
例16
例10のメモリデバイスにおいて、I/Oコンタクトの一部とI/Oコンタクトの残り部分とは、1または複数のデータチャネルのうちの1つである第1のデータチャネルおよび第2のデータチャネルに関する複数のI/Oコンタクトに含まれ得る。第1のデータチャネルは、少なくとも1つのメモリダイ上に維持される第1のメモリアレイにアクセスし得る。第2のデータチャネルは、少なくとも1つのメモリダイ上に維持される第2のメモリアレイにアクセスし得る。当該一部は、第1および第2のデータチャネルに関する複数のI/Oコンタクトの半分を含む。
【0095】
例17
例16のメモリデバイスにおいて、ロジックはまた、モードレジスタのビット値に基づいて、ロジックレイヤの裏面側のCAコンタクトの一部をアクティブにさせ、CAコンタクトの残り部分を非アクティブにさせ得る。CAコンタクトの当該一部は、第1および第2メモリアレイへのアクセスを容易にするように、第1および第2のデータチャネルに関するCA信号を受信または送信するように構成される。ロジックレイヤの下の転送レイヤが、メモリデバイスに、減少した数のCAコンタクトを通ってパッケージ基板に接続することを可能にするように、ロジックはまた、第1および第2のデータチャネルに関するCA信号を、CAコンタクトの当該一部を通ってルーティングさせ得る。
【0096】
例18
例10のメモリデバイスにおいて、複数のメモリダイはダイナミックランダムアクセスメモリを含み得る。
【0097】
例19
例示的な方法は、モードレジスタを介して、ロジックレイヤの上にスタックされた複数のメモリデバイスを含む高帯域幅メモリスタックデバイスのための動作のモードを決定する段階を含み得る。方法はまた、決定された動作のモードに基づいて、ロジックレイヤの裏面側のI/Oコンタクトの一部をアクティブにさせ、I/Oコンタクトの残り部分を非アクティブにさせる段階もまた含み得る。I/Oコンタクトの当該一部は、複数のメモリデバイスにアクセスするように、1または複数のデータチャネルに関するI/O信号を受信または送信するように構成され得る。
【0098】
例20
例19の方法はまた、ロジックレイヤの下の転送レイヤが、高帯域幅メモリスタックデバイスを、減少した数のI/Oコンタクトを通ってパッケージ基板と接続することを可能にするように、I/O信号を、I/Oコンタクトの当該一部を通って1または複数のデータチャネルを介してルーティングさせる段階を含み得る。
【0099】
例21
例19の方法はまた、I/O信号がI/Oコンタクトの当該一部およびI/Oコンタクトの残り部分の両方を通って1または複数のデータチャネルを介してルーティングされる場合の毎秒の第2転送速度の2倍である、毎秒の第1転送速度でI/O信号をI/Oコンタクトの当該一部を通って1または複数のデータチャネルを介してルーティングさせる段階を含み得る。
【0100】
例22
例20の方法において、高帯域幅メモリスタックデバイスは、ロジックレイヤの裏面側でアクティブなおよび非アクティブなI/Oコンタクトの両方に対応する第2コンタクトと比較して、より大きな間隔を第1コンタクト間に有する、第1コンタクトを介してパッケージ基板と接続し得る。
【0101】
例23
例22の方法において、パッケージ基板は、HBMデバイスと中央処理装置またはグラフィックス処理装置との間でルーティングされるI/O信号経路を含み得、I/O信号経路は第1コンタクトと結合する。
【0102】
例24
例19の方法において、I/Oコンタクトの当該一部と残り部分とは、1または複数のデータチャネルのうちの1つである第1のデータチャネルに関する複数のI/Oコンタクトに含まれ得る。第1のデータチャネルは、複数のメモリデバイスのうちの1つであるメモリデバイスにおいてメモリアレイにアクセスし得、当該一部は複数のI/Oコンタクトの半分を含む。
【0103】
例25
例19の方法において、I/Oコンタクトの当該一部とI/Oコンタクトの残り部分とは、1または複数のデータチャネルのうちの1つである第1のデータチャネルおよび第2のデータチャネルに関する複数のI/Oコンタクトに含まれ得る。第1のデータチャネルは、複数のメモリデバイスのうちの1つであるメモリデバイスにおいて第1のメモリアレイにアクセスし得る。第2のデータチャネルは、メモリデバイスの第2のメモリアレイにアクセスし得、当該一部は第1および第2のデータチャネルの複数のI/Oコンタクトの半分を含む。
【0104】
例26
例25の方法はまた、決定された動作のモードに基づいて、ロジックレイヤの裏面側のCAコンタクトの一部をアクティブにさせ、CAコンタクトの残り部分を非アクティブにさせる段階を含み得る。CAコンタクトの当該一部は、複数のメモリデバイスへのアクセスを容易にするように、第1および第2のデータチャネルに関するCA信号を受信または送信するように構成され得る。ロジックレイヤの下の転送レイヤが、高帯域幅メモリスタックデバイスに、減少した数のCAコンタクトを通ってパッケージ基板に接続することを可能にするように、方法はまた、第1および第2のデータチャネルに関するCA信号を、CAコンタクトの当該一部を通ってルーティングさせる段階を含み得る。
【0105】
例27
例19の方法において、複数のメモリデバイスはダイナミックランダムアクセスメモリを含み得る。
【0106】
例28
少なくとも1つの例示的な機械可読媒体は、システムによる実行に応答して例19から27のいずれか1つに記載の方法をシステムに実行させ得る複数の命令を含み得る。
【0107】
例29
例示的な装置は、例19から27のうちのいずれか1つの方法を実行する手段を含み得る。
【0108】
開示の要約は、連邦規則法典集第37巻に準拠するように提供されていることを強調する。セクション1.72(b)、読者が技術的開示の本質を迅速に確認することを可能にするであろう要約を要求する。これは、請求項の適用範囲または意味についての解釈または限定には用いられないであろうという理解のもとで提出されるものである。さらに、上記の発明の詳細な説明では、開示を簡素化する目的で、様々な特徴が単一の例にまとめられていることが見られ得る。本開示方法は、請求された例がそれぞれの請求項で明示的に記載されているより多くの特徴を要求するという意図を反映していると解釈されるべきではない。むしろ、以下の特許請求の範囲が反映するように、発明の主題は、単一の開示された例のすべての特徴より少ないことにある。従って、以下の特許請求の範囲はこれにより発明の詳細な説明に組み込まれ、それぞれの請求項は個別の例として自立している。添付の特許請求の範囲では、「含む(including)」および「そこで(in which)」という用語は、「含む(comprising)」および「ここで(wherein)」というそれぞれの用語の平易な英語の同義語としてそれぞれ使用される。さらに、「第1」、「第2」、および「第3」などの用語は、単なる符号として使用されているに過ぎず、これらのオブジェクトに対して数値的要件を課すことを意図しているわけではない。
【0109】
構造的特徴および/または方法論的行為に固有の言語で主題を説明してきたが、添付の特許請求の範囲で定義されている主題が必ずしも上で記載の特定の機能または行為に限定されるとは限らないことを理解されたい。むしろ、上で記載の特定の機能および行為は、特許請求の範囲を実装する例示的な形態として開示されている。
図1
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