ところで、静電チャックが強いプラズマエネルギーに曝露される環境下や、静電チャックに高電力が入力される環境下で使用される場合、吸着面は高温になりやすい。特許文献１に記載の静電チャックは、第１板状部と第２板状部とを接着剤により接合しており、一般に、接着剤の熱伝導率は比較的低いため、特許文献１に記載されている静電チャックを、吸着面が高温になりやすい環境下で用いると、板状部からベース部への熱の移動が抑制され、吸着面が十分冷却されない虞がある。そのため、第１板状部と第２板状部とを接合する接合部の熱引きを良くすることが望まれている。また、ヒーターから第１板状部への熱伝導の点でも、第１板状部と第２板状部とを接合する接合部について改善の余地があった。

本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。