特許 7561534 電子部品ハンドリング装置及び電子部品試験装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-26

(45)【発行日】2024-10-04

(54)【発明の名称】電子部品ハンドリング装置及び電子部品試験装置

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/26 20200101AFI20240927BHJP

【ＦＩ】

G01R31/26 J

【請求項の数】 18

(21)【出願番号】P 2020124722

(22)【出願日】2020-07-21

(65)【公開番号】P2022021239

(43)【公開日】2022-02-02

【審査請求日】2023-06-26

(73)【特許権者】

【識別番号】390005175

【氏名又は名称】株式会社アドバンテスト

(74)【代理人】

【識別番号】110000486

【氏名又は名称】弁理士法人とこしえ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】新井 良知

(72)【発明者】

【氏名】竹内 佳貴

(72)【発明者】

【氏名】菊池 裕之

【審査官】小川 浩史

(56)【参考文献】

【文献】特開平９－８９９８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－２２１９３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－２１６１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２００６／００９２８２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１３－２２１９３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００８／０１４５２０３（ＵＳ，Ａ１）

【文献】韓国公開特許第１０－２０１７－０００４４８０（ＫＲ，Ａ）

【文献】特開２００６－２６７０８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２２－２１２４１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｒ ３１／２６－３１／３１９３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ＤＵＴをハンドリングする電子部品ハンドリング装置であって、
テスタに接続されたテストヘッドがそれぞれ装着される複数のコンタクトユニットと、
前記ＤＵＴを前記第１のトレイと第２のトレイとの間で移載するＤＵＴ移載部をそれぞれ備えた複数の移載ユニットと、
前記コンタクトユニットと前記移載ユニットとの間で前記第１のトレイを搬送するトレイ搬送ユニットと、を備え、
それぞれの前記コンタクトユニットは、他の前記コンタクトユニットとは独立して、前記ＤＵＴの温度を調整可能であると共に、前記テストヘッドに設けられたソケットに前記ＤＵＴを押圧可能であり、
前記コンタクトユニットは、前記第１のトレイに前記ＤＵＴを搭載した状態で、前記ＤＵＴを前記ソケットに押圧し、
前記トレイ搬送ユニットは、前記第１のトレイを垂直状態で搬送し、
前記電子部品ハンドリング装置は、前記複数のコンタクトユニット、前記複数の移載ユニット、及び、前記トレイ搬送ユニットが相互に連結及び分離可能に構成されていることにより、前記コンタクトユニットを増設又は減設することが可能なように構成されている電子部品ハンドリング装置。

【請求項2】

請求項１に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記トレイ搬送ユニットは、前記第１のトレイの主面に実質的に平行な方向に沿って、前記第１のトレイを搬送する電子部品ハンドリング装置。

【請求項3】

請求項１又は２に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記トレイ搬送ユニットは、前記移載ユニットとの間で前記第１のトレイを垂直状態で受け渡すと共に、前記コンタクトユニットとの間でも前記第１のトレイを垂直状態で受け渡す電子部品ハンドリング装置。

【請求項4】

請求項１～３のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記複数のコンタクトユニットは、水平方向に実質的に平行な第１の方向に沿って並べられており、
前記トレイ搬送ユニットは、前記第１のトレイの主面が前記第１の方向に実質的に平行な状態で、前記第１のトレイを前記第１の方向に沿って搬送する電子部品ハンドリング装置。

【請求項5】

請求項１～４のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記トレイ搬送ユニットは、
前記複数のコンタクトユニットの配列方向である第１の方向に沿って設けられたレールと、
前記レール上を移動することが可能な移動部と、を備えており、
前記移動部は、前記第１のトレイを保持することが可能なトレイ保持装置を備えた電子部品ハンドリング装置。

【請求項6】

請求項５に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記トレイ保持装置は、前記第１のトレイを垂直状態で保持することが可能である電子部品ハンドリング装置。

【請求項7】

請求項６に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記トレイ保持装置は、前記第１のトレイの主面の法線方向に沿って前記第１のトレイを移動させることで、前記第１のトレイを前記コンタクトユニットに搬入出する電子部品ハンドリング装置。

【請求項8】

請求項６又は７に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記移動部は、前記トレイ保持装置を前記レール上で移動させる駆動装置を備えた電子部品ハンドリング装置。

【請求項9】

請求項８に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記駆動装置は、ピニオンギアが取り付けられた回転軸を有する回転モータを含み、
前記トレイ搬送ユニットは、前記レールに併設され、前記ピニオンギアが咬合しているラックギアを備えた電子部品ハンドリング装置。

【請求項10】

請求項１～９のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記コンタクトユニットは、
前記ＤＵＴに熱ストレスを印加する熱印加部と、
前記ＤＵＴを前記ソケットに押圧する押圧部と、
前記ＤＵＴから前記熱ストレスを除去する熱除去部と、を備え、
前記熱印加部、前記押圧部、及び、前記熱除去部は、垂直方向に沿って並べられており、
前記熱印加部は、前記押圧部よりも下方に配置され、
前記熱除去部は、前記押圧部よりも上方に配置されている電子部品ハンドリング装置。

【請求項11】

請求項１０に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記コンタクトユニットは、前記第１のトレイを前記熱印加部から前記押圧部に移動させると共に、前記第１のトレイを前記押圧部から前記熱除去部に移動させる第１のトレイ移動装置を備えた電子部品ハンドリング装置。

【請求項12】

請求項１１に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記第１のトレイ移動装置は、前記第１のトレイの長手方向に沿って前記第１のトレイを移動させ、
前記第１のトレイ移送装置が前記第１のトレイを移動させる際の前記第１のトレイの長手方向は、垂直方向に平行である電子部品ハンドリング装置。

【請求項13】

請求項１１又は１２に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記押圧部は、前記第１のトレイを垂直とした状態で前記ＤＵＴを前記ソケットに向かって水平方向に押圧する押圧装置を備えており、
前記第１のトレイ移動装置は、前記第１のトレイを垂直状態で移動させ、
前記コンタクトユニットは、
前記熱印加部において、前記第１のトレイの主面の法線方向である第２の方向に沿って、前記第１のトレイを垂直状態で移動させる第２のトレイ移動装置と、
前記熱除去部において、前記第２の方向とは反対の第３の方向に沿って、前記第１のトレイを垂直状態で移動させる第３のトレイ移動装置と、を備え、
前記第２の方向と前記第３の方向は、水平方向に平行である電子部品ハンドリング装置。

【請求項14】

請求項１０～１３のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記コンタクトユニットは、前記第１のトレイを前記コンタクトユニットから出し入れ可能なアクセス部を備え、
前記熱除去部、前記アクセス部、及び、前記熱印加部は、垂直方向に沿って並べられており、
前記熱印加部は、前記アクセス部よりも下方に配置され、
前記熱除去部は、前記アクセス部よりも上方に配置され、
前記アクセス部と前記押圧部とは相互に対向しており、
前記トレイ搬送ユニットは、前記アクセス部を介して前記第１のトレイを垂直状態で前記コンタクトユニットに搬入出する電子部品ハンドリング装置。

【請求項15】

請求項１４に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記コンタクトユニットは、前記第１のトレイを垂直状態で前記熱除去部から前記アクセス部に移動させると共に、前記第１のトレイを垂直状態で前記アクセス部から前記熱印加部に移動させる第４のトレイ移動装置を備えた電子部品ハンドリング装置。

【請求項16】

請求項１～１５のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記複数の移載ユニットは、
未試験の前記ＤＵＴを前記第２のトレイから前記第１のトレイに移載するローダ部を備えたローダユニットと、
試験済みの前記ＤＵＴを前記第１のトレイから前記第２のトレイに移載するアンローダ部を備えたアンローダユニットと、を含む電子部品ハンドリング装置。

【請求項17】

請求項１～１６のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記移載ユニットは、前記第２のトレイを格納しているトレイ格納部を備えた電子部品ハンドリング装置。

【請求項18】

ＤＵＴを試験する電子部品試験装置であって、
請求項１～１７のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置と、
前記コンタクトユニットに装着された複数のテストヘッドと、
前記テストヘッドに電気的に接続されたテスタと、を備えた電子部品試験装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体集積回路素子等の被試験電子部品（ＤＵＴ：Device Under Test）の試験に用いられる電子部品ハンドリング装置及び電子部品試験装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

ＤＵＴの試験に用いられる電子部品ハンドリング装置は、ローダ部と、チャンバ部と、アンローダ部と、を備えている（例えば特許文献１参照）。ローダ部は、未試験のＤＵＴをカスタマトレイからテストトレイに移載して、当該テストトレイをチャンバ部に送り込む。チャンバ部は、ＤＵＴに所定の熱ストレスと印加すると共にテストヘッドに装着されたソケットにＤＵＴを押し付けることで、テストトレイに搭載したままの状態でＤＵＴを試験する。アンローダ部は、試験済みのＤＵＴを試験結果に応じて分類しながら、当該ＤＵＴをテストトレイからカスタマトレイに移載する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１４－００６０９７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記の電子部品ハンドリング装置のチャンバ部はテスタの同時測定数と同数のＤＵＴをソケットに同時に押し付けるように構成されている。そのため、ローダ部は、前記同数のＤＵＴをテストトレイに移載した後でなければ、当該テストレイをチャンバ部に送り込むことができない。従って、同時測定数が多くなるほど、移載作業に要する時間が長くなり、チャンバ部やテスタに待機時間が発生してしまう場合がある。

【0005】

また、上記の電子部品ハンドリング装置のチャンバ部内で不具合が発生すると、当該電子部品ハンドリング装置全体を停止せざるを得ない場合がある。そして、同時測定数が多くなるほど、チャンバ内で不具合が発生する確率が高くなるので、結果的に、電子部品ハンドリング装置の停止時間が長くなってしまう場合がある。

【0006】

このように、テスタの同時測定数が多くなるほど、電子部品ハンドリング装置の稼働率が低下してしまう場合があるという問題がある。

【0007】

また、上述のようにチャンバは既定の同時測定数に対応するように構成されているため、相対的に少ない同時測定数を有するテスタに対応する場合には、オーバースペックな（当該テスタに接続された比較的小さなテストヘッドに対して相対的に大きな）電子部品ハンドリング装置を使用することとなり、電子部品ハンドリング装置の占有スペースの縮小を十分に図ることができない場合もある。

【0008】

本発明が解決しようとする課題は、稼働率の向上と占有スペースの縮小を図ることが可能な電子部品ハンドリング装置、及び、それを備えた電子部品試験装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

［１］本発明に係る電子部品ハンドリング装置は、ＤＵＴをハンドリングする電子部品ハンドリング装置であって、テスタに接続されたテストヘッドがそれぞれ装着される複数のコンタクトユニットを備え、それぞれの前記コンタクトユニットは、他の前記コンタクトユニットとは独立して、前記ＤＵＴの温度を調整可能であると共に、前記テストヘッドに設けられたソケットに前記ＤＵＴを押圧可能であり、前記電子部品ハンドリング装置は、前記コンタクトユニットを増設又は減設することが可能なように構成されている電子部品ハンドリング装置である。

【0010】

［２］上記発明において、前記電子部品ハンドリング装置は、前記ＤＵＴを第１のトレイと第２のトレイとの間で移載するＤＵＴ移載部をそれぞれ備えた複数の移載ユニットと、前記コンタクトユニットと前記移載ユニットとの間で前記第１のトレイを搬送するトレイ搬送ユニットと、を備えており、前記コンタクトユニットは、前記第１のトレイに前記ＤＵＴを搭載した状態で、前記ＤＵＴを前記ソケットに押圧してもよい。

【0011】

［３］上記発明において、前記トレイ搬送ユニットは、前記第１のトレイを垂直状態で搬送してもよい。

【0012】

［４］上記発明において、前記トレイ搬送ユニットは、前記第１のトレイの主面に実質的に平行な方向に沿って、前記第１のトレイを搬送してもよい。

【0013】

［５］上記発明において、前記トレイ搬送ユニットは、前記移載ユニットとの間で前記第１のトレイを垂直状態で受け渡すと共に、前記コンタクトユニットとの間でも前記第１のトレイを垂直状態で受け渡してもよい。

【0014】

［６］上記発明において、前記複数のコンタクトユニットは、水平方向に実質的に平行な第１の方向に沿って並べられており、前記トレイ搬送ユニットは、前記第１のトレイの主面が前記第１の方向に実質的に平行な状態で、前記第１のトレイを前記第１の方向に沿って搬送してもよい。

【0015】

［７］上記発明において、前記トレイ搬送ユニットは、前記複数のコンタクトユニットの配列方向である第１の方向に沿って設けられたレールと、前記レール上を移動することが可能な移動部と、を備えており、前記移動部は、前記第１のトレイを保持することが可能なトレイ保持装置を備えていてもよい。

【0016】

［８］上記発明において、前記トレイ保持装置は、前記第１のトレイを垂直状態で保持することが可能であってもよい。

【0017】

［９］上記発明において、前記トレイ保持装置は、前記第１のトレイの法線方向に沿って前記第１のトレイを移動させることで、前記第１のトレイを前記コンタクトユニットに搬入出してもよい。

【0018】

［１０］上記発明において、前記移動部は、前記トレイ保持装置を前記レール上で移動させる駆動装置を備えていてもよい。

【0019】

［１１］上記発明において、前記駆動装置は、ピニオンギアが取り付けられた回転軸を有する回転モータを含み、前記トレイ搬送ユニットは、前記レールに併設され、前記ピニオンギアが咬合しているラックギアを備えていてもよい。

【0020】

［１２］上記発明において、前記コンタクトユニットは、前記ＤＵＴに熱ストレスを印加する熱印加部と、前記ＤＵＴを前記ソケットに押圧する押圧部と、前記ＤＵＴから前記熱ストレスを除去する熱除去部と、を備え、前記熱印加部、前記押圧部、及び、前記熱除去部は、垂直方向に沿って並べられており、前記熱印加部は、前記押圧部よりも下方に配置され、前記熱除去部は、前記押圧部よりも上方に配置されていてもよい。

【0021】

［１３］上記発明において、前記コンタクトユニットは、前記第１のトレイを前記熱印加部から前記押圧部に移動させると共に、前記第１のトレイを前記押圧部から前記熱除去部に移動させる第１のトレイ移動装置を備えていてもよい。

【0022】

［１４］上記発明において、前記第１のトレイ移動装置は、前記第１のトレイの長手方向に沿って前記第１のトレイを移動させてもよい。

【0023】

［１５］上記発明において、前記押圧部は、前記第１のトレイを垂直とした状態で前記ＤＵＴを前記ソケットに向かって水平方向に押圧する押圧装置を備えており、前記第１のトレイ移動装置は、前記第１のトレイを垂直状態で移動させ、前記コンタクトユニットは、前記熱印加部において、前記第１のトレイの法線方向である第２の方向に沿って、前記第１のトレイを垂直状態で移動させる第２のトレイ移動装置と、前記熱除去部において、前記第２の方向とは反対の第３の方向に沿って、前記第１のトレイを垂直状態で移動させる第３のトレイ移動装置と、を備えていてもよい。

【0024】

［１６］上記発明において、前記コンタクトユニットは、前記第１のトレイを前記コンタクトユニットから出し入れ可能なアクセス部を備え、前記熱除去部、前記アクセス部、及び、前記熱印加部は、垂直方向に沿って並べられており、前記熱印加部は、前記アクセス部よりも下方に配置され、前記熱除去部は、前記アクセス部よりも上方に配置されており、前記トレイ搬送ユニットは、前記アクセス部を介して前記第１のトレイを垂直状態で前記コンタクトユニットに搬入出してもよい。

【0025】

［１７］上記発明において、前記コンタクトユニットは、前記第１のトレイを垂直状態で前記熱除去部から前記アクセス部に移動させると共に、前記第１のトレイを垂直状態で前記アクセス部から前記熱印加部に移動させる第４のトレイ移動装置を備えていてもよい。

【0026】

［１８］上記発明において、前記複数の移載ユニットは、未試験の前記ＤＵＴを前記第２のトレイから前記第１のトレイに移載するローダ部を備えたローダユニットと、試験済みの前記ＤＵＴを前記第１のトレイから前記第２のトレイに移載するアンローダ部を備えたアンローダユニットと、を含んでもよい。

【0027】

［１９］上記発明において、前記移載ユニットは、前記第２のトレイを格納しているトレイ格納部を備えていてもよい。

【0028】

［２０］上記発明において、前記電子部品ハンドリング装置は、前記ＤＵＴを前記第１のトレイに搭載し、又は、前記第１のトレイから前記ＤＵＴを取り出すＤＵＴ移載部をそれぞれ有する複数の移載ユニットと、前記コンタクトユニットと前記移載ユニットとの間で前記第１のトレイを搬送するトレイ搬送ユニットと、を備えており、前記コンタクトユニットは、前記第１のトレイに前記ＤＵＴを搭載した状態で、前記ＤＵＴを前記ソケットに押圧してもよい。

【0029】

［２１］上記発明において、前記電子部品ハンドリング装置は、前記移載ユニットを増設又は減設することが可能なように構成されていてもよい。

【0030】

［２２］上記発明において、前記ＤＵＴ移載部は、前記トレイ搬送ユニットの上方に配置されていてもよい。

【0031】

［２３］上記発明において、前記複数のコンタクトユニットは、水平方向に実質的に平行な第１の方向に沿って並べられ、前記複数の移載ユニットも、前記第１の方向に沿って並べられており、前記トレイ搬送ユニットは、前記第１のトレイを第１の方向に沿って搬送してもよい。

【0032】

［２４］上記発明において、前記ＤＵＴ移載部は、前記第１のトレイを垂直状態で前記トレイ搬送ユニットに受け渡す第５のトレイ移動装置を備えていてもよい。

【0033】

［２５］上記発明において、前記第５のトレイ移動装置は、前記第１のトレイの長手方向に沿って前記第１のトレイを移動させてもよい。

【0034】

［２６］上記発明において、前記トレイ搬送ユニットは、前記第１のトレイを垂直状態で保持することが可能なトレイ保持装置を備えていてもよい。

【0035】

［２７］上記発明において、前記ＤＵＴ移載部は、前記第１のトレイの姿勢を水平状態と垂直状態との間で変換する姿勢変換装置を備えていてもよい。

【0036】

［２８］上記発明において、前記姿勢変換装置は、前記第１のトレイの第１の辺の位置を水平方向において維持した状態で、前記第１の辺を上昇又は下降させながら、前記第１のトレイにおいて前記第１の辺に対向する第２の辺を水平移動させることで、前記第１のトレイの姿勢を変換してもよい。

【0037】

［２９］上記発明において、前記移載ユニットは、第２のトレイを格納しているトレイ格納部を備えており、前記ＤＵＴ移載部は、前記第１のトレイと前記第２のトレイとの間で前記ＤＵＴを移載してもよい。

【0038】

［３０］上記発明において、前記ＤＵＴ移載部は、前記トレイ格納部の上方に配置されていてもよい。

【0039】

［３１］上記発明において、前記トレイ格納部は、前記第２のトレイを保持する複数の第１の保持装置と、前記第２のトレイを前記第１の保持装置間で移動させる第６のトレイ移動装置と、を備えていてもよい。

【0040】

［３２］上記発明において、相互に隣り合う前記移載ユニットは、前記トレイ格納部同士の間に配置され、前記第２のトレイを移動させる第７のトレイ移動装置を備えており、前記第７のトレイ移動装置の動作範囲は、相互に隣り合う前記移載ユニットの前記第６のトレイ移動装置の両方の動作範囲と垂直方向において重複していてもよい。

【0041】

［３３］上記発明において、前記複数の移載ユニットは、未試験の前記ＤＵＴを第２のトレイから前記第１のトレイに移載するローダ部を備えたローダユニットと、試験済みの前記ＤＵＴを前記第１のトレイから前記第２のトレイに移載するアンローダ部を備えたアンローダユニットと、を含んでおり、前記電子部品ハンドリング装置が備える前記ローダユニットの数は、前記電子部品ハンドリング装置が備える前記アンローダユニットの数と相違していてもよい。

【0042】

［３４］本発明に係る電子部品試験装置は、ＤＵＴを試験する電子部品試験装置であって、上記の電子部品ハンドリング装置と、前記コンタクトユニットに装着された複数のテストヘッドと、前記テストヘッドに電気的に接続されたテスタと、を備えた電子部品試験装置である。

【0043】

［３５］上記発明において、前記複数のテストヘッドは、一台の前記テスタに接続されていてもよい。

【発明の効果】

【0044】

本発明では、電子部品ハンドリング装置が複数のコンタクトユニットを備えており、それぞれのコンタクトユニットは、他のコンタクトユニットとは独立して、ＤＵＴの温度を調整することが可能であると共に、テストヘッドのソケットにＤＵＴを押圧することが可能となっている。

【0045】

これにより、同時測定数を複数の単位に分割して、それぞれの分割単位に対して複数のコンタクトユニットが個別にテストを実行することが可能となる。このため、個々のコンタクトユニットへの送り込み作業を短縮することができ、結果的にコンタクトユニットの待機時間を短縮することができる。また、同時測定数を複数の単位に分割することで、コンタクトユニット内で不具合が発生する確率を低くすることができるので、電子部品ハンドリング装置の停止時間を短縮することもできる。従って、本発明によれば、電子部品ハンドリング装置の稼働率の向上を図ることができる。

【0046】

また、本発明では、コンタクトユニットを増設又は減設することが可能なように電子部品ハンドリング装置が構成されているので、テスタの同時測定数に応じてコンタクトユニットの数を最適化することができ、電子部品ハンドリング装置の占有スペースの縮小を図ることもできる。

【図面の簡単な説明】

【0047】

【図1】図１は、本発明の実施形態における電子部品試験装置を示す斜視図である。

【図2】図２は、本発明の実施形態における電子部品試験装置を示す断面図であり、図１のII-II線に沿った断面図である。

【図3】図３は、本発明の実施形態におけるハンドラにおけるテストトレイの流れを示す図である。

【図4】図４は、本発明の実施形態におけるローダユニットの内部構造を示す断面図である。

【図5】図５は、本発明の実施形態におけるローダユニット及びアンローダユニットの内部構造を示す正面図であり、図４のV-V線に沿ってトレイ格納部を見た正面図である。

【図6】図６は、本発明の実施形態におけるローダユニットの内部構造を示す平面図であり、図４のVI-VI線に沿ってローダ部を視た平面図である。

【図7】図７は、本発明の実施形態におけるアンローダユニットからローダユニットに空テストトレイを回送するトレイ回送装置を示す平面図である。

【図8】図８は、本発明の実施形態におけるトレイ搬送ユニット及びコンタクトユニットを示す斜視図である。

【図9】図９は、本発明の実施形態におけるトレイ搬送ユニットを示す側面図である。

【図10】図１０は、本発明の実施形態におけるトレイ搬送ユニットを示す正面図である。

【図11】図１１は、本発明の実施形態におけるコンタクトユニットの内部構造を示す断面図である。

【図12】図１２（ａ）は、１０２４個の同時測定数に対応するように構成したハンドラを示す図であり、図１２（ｂ）は、７６８個の同時測定数に対応するように構成したハンドラを示す。

【図13】図１３（ａ）は、ローダユニットを２台備えたハンドラを示す図であり、図１３（ｂ）は、アンローダユニットを２台備えたハンドラを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0048】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は本実施形態における電子部品試験装置を示す斜視図である。図２は本実施形態における電子部品試験装置を示す断面図であり、図１のII-II線に沿った断面図である。図３は本実施形態におけるハンドラにおけるテストトレイの流れを示す図である。

【0049】

本実施形態における電子部品試験装置１は、ＤＵＴ２００に高温又は低温の熱ストレスを印加した状態（或いは常温の状態）で当該ＤＵＴ２００の電気的特性を試験し、その試験結果に応じてＤＵＴ２００を分類する装置である。試験対象であるＤＵＴ２００の具体例としては、メモリ系のデバイスを例示することができる。なお、電子部品試験装置１の試験対象であるＤＵＴ２００は、電子部品であれば特に上記に限定されず、例えば、ＳｏＣ（System on a chip）やロジック系のデバイスであってもよい。

【0050】

この電子部品試験装置１は、図１及び図２に示すように、４つのテストヘッド５Ａ～５Ｄ（図３及び図１２（ａ）参照）と、１つのテスタ（メインフレーム）７と、ハンドラ１０と、を備えている。なお、後述するように、電子部品試験装置が有するテストヘッドの数は、上記に特に限定されない。また、電子部品試験装置が複数のテスタを備えていてもよい。本実施形態におけるハンドラ１０が、本発明における「電子部品ハンドリング装置」の一例に相当する。

【0051】

テストヘッド５Ａ～５Ｄは、テスト時にＤＵＴ２００が電気的に接続される複数のソケット６をそれぞれ有している。このテストヘッド５Ａ～５Ｄは、ソケット６を水平方向に向けた姿勢で、ハンドラ１０のコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄにそれぞれ装着されている。それぞれのテストヘッド５Ａ～５Ｄは、ソケット６がコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄの押圧装置６３１に対向するように、コンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄに形成された開口６３ａを介して第１のチャンバ６０１内に入り込んでいる。

【0052】

本実施形態では、全てのテストヘッド５Ａ～５Ｄが、ケーブル８を介して同一のテスタ７にそれぞれ接続されている。コンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄの押圧装置６３１がＤＵＴ２００をソケット６に押し付けている状態で、テスタ７がテストヘッド５Ａ～５Ｄを介してＤＵＴ２００に対して試験信号を送出することで、当該ＤＵＴ２００のテストを実行する。

【0053】

本実施形態では、４つのテストヘッド５Ａ～５Ｄが有するソケット６の合計数と、一つのテスタ７の同時測定数（同時に試験可能なＤＵＴの数）とが同一となっている。特に限定されないが、一例を挙げれば、テスタ７の同時測定数が１０２４個である場合に、それぞれのテストヘッド５Ａ～５Ｄが有するソケット６の数は２５６個である。なお、複数のテストヘッドがそれぞれ有するソケットの数が相互に異なっていてもよい。

【0054】

本実施形態のハンドラ１０は、カスタマトレイ１００からテストトレイ１１０にＤＵＴ２００を移し替えて、当該テストトレイ１１０に搭載したままの状態でＤＵＴ２００をテストヘッド５Ａ～５Ｄのソケット６に押し付ける装置である。このハンドラ１０は、図１～図３に示すように、２つの移載ユニット２０Ａ，２０Ｂ（ローダユニット２０Ａ及びアンローダユニット２０Ｂ）と、トレイ搬送ユニット５０と、４つのコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄと、を備えている。

【0055】

ここで、カスタマトレイ１００は、このハンドラ１０を用いる工程と他の工程との間で複数のＤＵＴ２００を搬送するためのトレイである。このカスタマトレイ１００は、樹脂材料等から構成されている板状のトレイである。このカスタマトレイ１００は、マトリクス状に配置された複数のポケットを有しており、それぞれのポケットは、ＤＵＴ２００を収容可能な凹状形状を有している。未試験のＤＵＴ２００は、このカスタマトレイ１００に搭載された状態で前工程からハンドラ１０に搬入される。また、試験済みのＤＵＴ２００は、このカスタマトレイ１００に搭載された状態でハンドラ１０から後工程に搬出される。

【0056】

これに対し、テストトレイ１１０は、複数のＤＵＴ２００を収容した状態で、ハンドラ１０内を循環搬送されるトレイである。このテストトレイ１１０は、枠状のフレームと、当該フレームに遊動可能に保持された複数のインサート１１１（図６参照）と、を備えている。複数のインサート１１１は、テストヘッド５Ａ～５Ｄのソケット６の配列に対応するように、マトリクス状に配置されており、ＤＵＴ２００をそれぞれ収容することが可能となっている。このテストトレイ１１０のインサート１１１にＤＵＴ２００が収容された状態で押圧装置６３１により当該ＤＵＴ２００がソケット６に押し付けられることで、ＤＵＴ２００のテストが実行される。この際、インサート１１１がフレームに遊動可能に保持されていることで、複数のＤＵＴ２００をソケット６に対して相互に独立して位置決めすることが可能となっている。

【0057】

ハンドラ１０のローダユニット２０Ａは、未試験のＤＵＴ２００をカスタマトレイ１００からテストトレイ１１０に移載し、当該テストトレイ１１０をトレイ搬送ユニット５０に供給する。トレイ搬送ユニット５０は、当該テストトレイ１１０をいずれかのコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄのいずれかに搬送する。

【0058】

そして、コンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄは、ＤＵＴ２００に高温又は低温の所定の熱ストレスを印加した後、テストトレイ１１０に搭載したままの状態で当該ＤＵＴ２００をソケット６に押し付けることで、テスタ７がＤＵＴ２００の試験を実行する。

【0059】

この際、上述のように、４つのコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄにテストヘッド５Ａ～５Ｄが個別に装着されているため、コンタクトユニット（例えばコンタクトユニット６０Ａ）は、他のコンタクトユニット（例えば、コンタクトユニット６０Ｂ～６０Ｄ）とは独立して、ＤＵＴ２００をソケット６に押し付けることが可能となっている。

【0060】

また、本実施形態では、図３に示すように、４つのコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄに温度調整装置６２１Ａ～６２１Ｄが個別に接続されているため、コンタクトユニット（例えばコンタクトユニット６０Ａ）は、他のコンタクトユニット（例えば、コンタクトユニット６０Ｂ～６０Ｄ）とは独立して、ＤＵＴ２００の温度を調整することが可能となっている。

【0061】

従って、本実施形態では、コンタクトユニット（例えばコンタクトユニット６０Ａ）は、他のコンタクトユニット（例えば、コンタクトユニット６０Ｂ～６０Ｄ）とは独立して試験を実行することが可能となっている。４つのコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄは、同じ内容の試験を実行してもよいし、相互に異なる内容の試験を実行してもよい。また、４つのコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄは、同じ温度条件で試験を実行してもよいし、相互に異なる温度条件で試験を実行してもよい。

【0062】

試験済みのＤＵＴ２００が搭載されたテストトレイ１１０は、コンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄからトレイ搬送ユニット５０に排出され、トレイ搬送ユニット５０は当該テストトレイ１１０をアンローダユニット２０Ｂに搬送する。そして、アンローダユニット２０Ｂは、試験済みのＤＵＴ２００を試験結果に応じて分類しながら、当該ＤＵＴ２００をテストトレイ１１０からカスタマトレイ１００に移載する。

【0063】

なお、トレイ搬送ユニット５０が、試験済みのＤＵＴ２００が搭載されたテストトレイ１１０をコンタクトユニット（例えばコンタクトユニット６０Ａ）から他のコンタクトユニット（例えば、コンタクトユニット６０Ｂ～６０Ｄ）に搬送してもよい。これにより、同一のハンドラ１０により同一のＤＵＴ２００に対して複数種の試験を行うことができる。

【0064】

本実施形態では、４つのコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄの装置フレームが相互に独立して分離している。この４つのコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄは、Ｘ方向に沿って配列されている。同様に、２つの移載ユニット２０Ａ，２０Ｂの装置フレームも相互に独立して分離している。この２つの移載ユニット２０Ａ，２０Ｂも、Ｘ方向に沿って配列されている。本実施形態におけるＸ方向が、本発明における「第１の方向」の一例に相当する。

【0065】

また、トレイ搬送ユニット５０の装置フレームも、移載ユニット２０Ａ，２０Ｂ及びコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄから独立して分離しており、Ｘ方向に沿って配列されている。このトレイ搬送ユニット５０は、２つの移載ユニット２０Ａ，２０Ｂと４つのコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄとの間に配置されている。そして、これらのユニット２０Ａ，２０Ｂ，５０，６０Ａ～６０Ｄは、特に図示しない連結具により容易に連結及び分離することが可能となっている。

【0066】

このため、本実施形態のハンドラ１０は、同時測定数やテスト時間等に応じて、ユニットの数を任意に増減することが可能となっている。従って、後述するように、ハンドラ１０が備えるコンタクトユニットの数は、特に上記に限定されず、テストヘッドの数等に応じて設定することができる。また、ハンドラ１０が備えるローダユニット２０Ａ及びアンローダユニット２０Ｂの数も、特に上記に限定されず、テストヘッドが有するソケットの数やテスト時間等に応じて任意に設定することができる。

【0067】

以下に、このハンドラ１０を構成する移載ユニット２０Ａ，２０Ｂ、トレイ搬送ユニット５０、及び、コンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄの構成について詳細に説明する。

【0068】

図４は本実施形態におけるローダユニットの内部構造を示す断面図である。図５は本実施形態におけるローダユニット及びアンローダユニットの内部構造を示す正面図であり、図４のV-V線に沿ってトレイ格納部を見た正面図である。図６は本実施形態におけるローダユニットの内部構造を示す平面図であり、図４のVI-VI線に沿ってローダ部を視た平面図である。図７は本実施形態におけるアンローダユニットからローダユニットに空テストトレイを回送するトレイ回送装置を示す平面図である。

【0069】

ローダユニット２０Ａは、上述のように、未試験のＤＵＴ２００をカスタマトレイ１００からテストトレイ１１０に移し替えて、当該テストトレイ１１０をトレイ搬送ユニット５０に供給するユニットである。図４～図６に示すように、このローダユニット２０Ａは、複数のカスタマトレイ１００を格納したトレイ格納部３０と、トレイ１００，１１０間でＤＵＴ２００を移載するＤＵＴ移載部（ローダ部）４０Ａと、を備えている。

【0070】

これに対し、アンローダユニット２０Ｂは、試験済みのＤＵＴ２００が搭載されたテストトレイ１１０をトレイ搬送ユニット５０から受け入れ、当該ＤＵＴ２００をテストトレイ１１０からカスタマトレイ１００に移し替えるユニットである。このアンローダユニット２０Ｂも、複数のカスタマトレイ１００を格納したトレイ格納部３０と、トレイ１１０，１００間でＤＵＴ２００を移載するＤＵＴ移載部（アンローダ部）４０Ｂと、を備えている。

【0071】

このローダユニット２０Ａとアンローダユニット２０Ｂは基本的に同一の構造を有しているので、以下にローダユニット２０Ａの構成について詳細に説明する。アンローダユニット２０Ｂの構成については、ローダユニット２０Ａと異なる構成についてのみ説明する。

【0072】

トレイ格納部３０は、ローダユニット２０Ａにおいて、複数のカスタマトレイ１００を格納していると共に、当該カスタマトレイ１００をローダ部４０Ａに供給する部分である。このトレイ格納部３０は、図４及び図５に示すように、４つのストッカ３１と、トレイ移送アーム３２と、を備えている。本実施形態におけるトレイ移送アーム３２が、本発明における「第６のトレイ移動装置」の一例に相当する。

【0073】

４つのストッカ３１は、いずれも同一の構造を有しており、相互に積み重ねられた複数のカスタマトレイ１００を収容することが可能な箱状の形状を有している。それぞれのストッカ３１の底部には、カスタマトレイ１００の積層体を昇降させるエレベータ３１１が設けられている。それぞれのストッカ３１の上方には窓部２１１が配置されている。この窓部２１１は、ローダユニット２０Ａのトレイ格納部３０とローダ部４０Ａとを仕切る基板２１に形成されている。エレベータ３１１がストッカ３１に格納されているカスタマトレイ１００を上昇させることで、窓部２１１を介してカスタマトレイ１００をローダ部４０Ａに位置させることが可能となっている。本実施形態におけるエレベータ３１１が、本発明における「第１の保持装置」の一例に相当する。

【0074】

本実施形態では、ローダユニット２０Ａのトレイ格納部３０の４つのストッカ３１には、未試験のＤＵＴ２００を収容したカスタマトレイ１００が格納されている。これに対し、アンローダユニット２０Ｂのトレイ格納部３０の４つのストッカ３１には、試験済みのＤＵＴ２００を収容したカスタマトレイ１００が格納されている。

【0075】

なお、ローダユニット２０Ａの一部のストッカ３１に、ＤＵＴ２００を搭載していない空のカスタマトレイ１００を格納してもよいし、アンローダユニット２０Ｂの一部のストッカ３１に、ＤＵＴ２００を搭載していない空のカスタマトレイ１００を格納してもよい。また、後述するトレイ回送アーム３３を利用して、ローダユニット２０Ａの一部のストッカ３１に、試験済みのＤＵＴ２００を搭載したカスタマトレイ１００を格納してもよい。

【0076】

このハンドラ１０では、未試験のＤＵＴ２００が搭載された複数のカスタマトレイ１００を格納した状態のストッカ３１がローダユニット２０Ａのトレイ格納部３０にセットされることで、未試験のＤＵＴ２００が前工程からハンドラ１０に搬入される。また、このハンドラ１０では、試験済みのＤＵＴ２００が搭載された複数のカスタマトレイ１００を格納した状態のストッカ３１がアンローダユニット２０Ｂのトレイ格納部３０から取り出されることで、試験済みのＤＵＴ２００がハンドラ１０から次工程に搬出される。

【0077】

トレイ移送アーム３２は、トレイ格納部３０の４つのストッカ３１の間でカスタマトレイ１００を移動させる装置であり、レール３２１と、トレイ保持部３２２と、を備えている。レール３２１は、Ｘ方向に沿って設けられている。トレイ保持部３２２は、カスタマトレイ１００を保持可能な保持爪を有しており、レール３２１上をＸ方向に沿って移動することが可能となっている。

【0078】

本実施形態では、上述のように、ローダユニット２０Ａ及びアンローダユニット２０Ｂの装置フレーム２２が相互に独立して分離しているが、この装置フレーム２２の開口２２１を介して、ローダユニット２０Ａ及びアンローダユニット２０Ｂのトレイ格納部３０の空間同士は相互に繋がっている。また、ローダユニット２０Ａ及びアンローダユニット２０Ｂの両方のトレイ格納部３０が上述のトレイ移送アーム３２をそれぞれ備えているが、ローダユニット２０Ａのトレイ移送アーム３２のレール３２１が、アンローダユニット２０Ｂのトレイ移送アーム３２のレール３２１よりも長くなっている。そして、このローダユニット２０Ａのトレイ移送アーム３２のレール３２１が、装置フレーム２２の開口２２１を介して、アンローダユニット２０Ｂのトレイ格納部３０に入り込んでおり、当該レール３２１の端部が、アンローダユニット２０Ｂのトレイ格納部３０内に位置している。

【0079】

また、本実施形態では、ローダユニット２０Ａ及びアンローダユニット２０Ｂは、トレイ回送アーム３３を備えている。このトレイ回送アーム３３は、カスタマトレイ１００をローダユニット２０Ａ及びアンローダユニット２０Ｂのトレイ格納部３０同士の間でカスタマトレイ１００を移動させる装置であり、ローダユニット２０Ａ及びアンローダユニット２０Ｂのトレイ格納部３０を跨ぐように、装置フレーム２２の開口２２１に配置されている。

【0080】

このトレイ回送アーム３３は、昇降装置３３１と、伸縮アーム３３２と、トレイ保持部３３３と、を備えている。昇降装置３３１は、伸縮アーム３３２を昇降させる装置である。伸縮アーム３３２は、Ｘ方向に沿って伸縮可能な装置であり、カスタマトレイ１００を保持可能なトレイ保持部３３３をＸ方向に移動させることが可能となっている。このトレイ回送アーム３３の動作範囲は、垂直方向（Ｚ方向）において、ローダユニット２０Ａのトレイ移送アーム３２の動作範囲と重複していると共に、アンローダユニット２０Ｂのトレイ移送アーム３２の動作範囲とも重複している。本実施形態におけるトレイ回送アーム３３が、本発明における「第７のトレイ移動装置」の一例に相当する。

【0081】

例えば、ローダユニット２０Ａにおいて、ストッカ３１に格納されているカスタマトレイ１００をローダ部４０Ａに供給するために、エレベータ３１１が上昇して当該カスタマトレイ１００を窓部２１１に位置させる。そして、ローダ部４０Ａのピックアンドプレース装置４１により全てのＤＵＴ２００がテストトレイ１１０に移載されて当該カスタマトレイ１００が空となったら、エレベータ３１１が下降してトレイ移送アーム３２がその空カスタマトレイ１００を保持する。

【0082】

そして、トレイ移送アーム３２のトレイ保持部３２２がトレイ回送アーム３３の上方まで移動し、トレイ回送アーム３３が当該カスタマトレイ１００をトレイ移送アーム３２から受け取る。次いで、トレイ回送アーム３３がアンローダユニット２０Ｂのトレイ移送アーム３２の下方に移動し、カスタマトレイ１００をトレイ回送アーム３３から当該トレイ移送アーム３２に受け渡す。以上の動作により、空のカスタマトレイ１００がローダユニット２０Ａからアンローダユニット２０Ｂに回送される。

【0083】

ローダ部４０Ａは、ローダユニット２０Ａにおいて、トレイ格納部３０から供給されたカスタマトレイ１００からテストトレイ１１０にＤＵＴ２００を移載して、当該テストトレイ１１０をトレイ搬送ユニット５０に供給する部分である。このローダ部４０Ａは、トレイ格納部３０の上方に配置されていると共に、トレイ搬送ユニット５０の上方に配置されている。このような配置を採用することで、ハンドラ１０の占有面積を小さくすることができる。

【0084】

このローダ部４０Ａは、図４及び図６に示すように、ピックアンドプレース装置４１と、姿勢変換装置４２と、垂直搬送装置４６と、を備えている。本実施形態における垂直搬送装置４６が、本発明における「第５のトレイ移動装置」の一例に相当する。

【0085】

ピックアンドプレース装置４１は、Ｙ方向レール４１１と、Ｘ方向レール４１２と、可動ヘッド４１３と、を備えている。Ｙ方向レール４１１は、ローダユニット２０Ａのトレイ格納部３０とローダ部４０Ａを仕切る基板２１上にＹ方向に沿って設けられている。Ｘ方向レール４１２は、このＹ方向レール４１１上をＹ方向に沿って移動することが可能となっている。可動ヘッド４１３は、Ｘ方向レール４１２上をＸ方向に沿って移動することが可能となっている。また、この可動ヘッド４１３は、ＤＵＴ２００を吸着保持することが可能な複数の吸着部４１４を有している。

【0086】

このピックアンドプレース装置４１の動作範囲は、基板２１に形成された４つの窓部２１１を包含していると共に、姿勢変換装置４２の動作範囲の一部と重複している。従って、このピックアンドプレース装置４１は、窓部２１１に位置するカスタマトレイ１００から、姿勢変換装置４２の動作範囲内に位置するテストトレイ１１０にＤＵＴ２００を移載することが可能となっている。なお、窓部２１１と姿勢変換装置４２との間に、ＤＵＴ２００を一時的に載置するバッファや、ＤＵＴ２００を位置決めするプリサイサが設けられていてもよい。

【0087】

姿勢変換装置４２は、テストトレイ１１０の姿勢を水平状態と垂直状態との間で変換する装置である。この姿勢変換装置４２は、図４及び図６に示すように、水平スライド装置４３と、垂直スライド装置４４と、水平移動装置４５と、を備えている。なお、姿勢変換装置４２の構成は、テストトレイ１１０の姿勢を水平状態と垂直状態との間で変換することが可能な構成であれば、特に限定されない。また、スライド装置４３，４４の理解を容易にするために、図６では水平移動装置４５の図示を省略している。

【0088】

ここで、テストトレイ１１０の姿勢に関して、「水平状態」とは、テストトレイ１１０の主面１１０ａが水平方向（ＸＹ方向）に対して実質的に平行な状態である。これに対し、「垂直状態」とは、テストトレイ１１０の主面１１０ａが垂直方向（Ｚ方向）に対して実質的に平行な状態である。

【0089】

水平スライド装置４３は、一対の水平レール４３１と、スライダ４３２と、エアシリンダ４３３と、挿入片４３４と、を備えている。

【0090】

一対の水平レール４３１は、Ｙ方向に沿って設けられており、テストトレイ１１０の幅よりも広い間隔を空けて相互に実質的に平行に配置されている。スライダ４３２は、それぞれの水平レール４３１にスライド可能に設けられており、特に図示しないエアシリンダ等のアクチュエータにより当該水平レール４３１上をＹ方向に沿って移動することが可能となっている。

【0091】

このスライダ４３２上にエアシリンダ４３３が設けられており、このエアシリンダ４３３の可動軸の先端に円柱状の挿入片４３４が取り付けられている。このエアシリンダ４３３は、挿入片４３４同士が相互に向かい合うようにスライダ４３２に設けられている。このエアシリンダ４３３は、挿入片４３４をＸ方向に沿って進退させることが可能となっており、エアシリンダ４３３の駆動により挿入片４３４同士が接近又は離反するように構成されている。なお、エアシリンダ４３３に代えて、モータ及びボールねじ機構等の他のアクチュエータを用いてもよい。

【0092】

垂直スライド装置４４も、一対の垂直レール４４１と、スライダ４４２と、エアシリンダ４４３と、挿入片４４４と、を備えている。

【0093】

一対の垂直レール４４１は、Ｚ方向に沿って設けられており、テストトレイ１１０の幅よりも広い間隔を空けて相互に実質的に平行に配置されている。この垂直レール４４１は、上述の水平レール４３１の一端（図４中左端）の近傍に配置されている。スライダ４４２は、それぞれの垂直レール４４１にスライド可能に設けられており、特に図示しないエアシリンダ等のアクチュエータにより当該垂直レール４４１上をＺ方向に沿って移動することが可能となっている。

【0094】

このスライダ４４２上にエアシリンダ４４３が設けられており、このエアシリンダ４４３の可動軸の先端に円柱状の挿入片４４４が取り付けられている。このエアシリンダ４４３は、挿入片４４４同士が相互に向かい合うようにスライダ４４２に設けられている。このエアシリンダ４４３は、挿入片４４４をＸ方向に沿って進退させることが可能となっており、エアシリンダ４４３の駆動により挿入片４４４同士が接近又は離反するように構成されている。なお、エアシリンダ４４３に代えて、モータ及びボールねじ機構等の他のアクチュエータを用いてもよい。

【0095】

ここで、本実施形態のテストトレイ１１０の長手方向に沿った一方の側面に２つの凹部１１２が形成されていると共に、他方の側面にも２つの凹部１１２が形成されている。この４つの凹部１１２はテストトレイ１１０の四隅に配置されている。一対の凹部１１２は、テストトレイ１１０の第１の辺１１０ｂに近い隅部に配置されており、相互に対向している。これに対し、他の一対の凹部１１２は、当該テストトレイの第２の辺１１０ｃに近い隅部に配置されており、相互に対向している。第１の辺１１０ｂは、テストトレイ１１０を構成する辺の中で一方の短辺であり、第２の辺１１０ｃは、テストトレイ１１０を構成する辺の中で他方の短辺である。それぞれの凹部１１２は、テストトレイ１１０の内側に向かって凹んでおり、上述の挿入片４３４，４４４が挿入可能な内径を持つ円柱形状を有している。

【0096】

このスライド装置４３，４４を用いたテストトレイ１１０の姿勢変換動作は、次のように行われる。

【0097】

すなわち、水平スライド装置４３がスライダ４３２を水平レール４３１の図４中右端に位置させ、水平状態のテストトレイ１１０に対してエアシリンダ４３３の可動軸を前進させることで、当該テストトレイ１１０の第２の辺１１０ｃ側の一対の凹部１１２に挿入片４３４を挿入する。同様に、垂直スライド装置４４がスライダ４４２を垂直レール４４１の下端に位置させ、水平状態のテストトレイ１１０に対してエアシリンダ４４３の可動軸を前進させることで、当該テストトレイ１１０の第１の辺１１０ｂ側の一対の凹部１１２に挿入片４４４を挿入する。

【0098】

次いで、水平スライド装置４３がスライダ４３２を水平レール４３１の図４中左端に向かって移動させると同時に、垂直スライド装置４４がスライダ４４２を垂直レール４４１の上端に向かって移動させる。この際、挿入片４３４，４４４が円柱形状を有しており、テストトレイ１１０の凹部１１２内で相対的に回転可能となっている。このため、テストトレイ１１０の第１の辺１１０ｂの位置を水平方向において維持（固定）すると共に当該テストトレイ１１０の第２の辺１１０ｃの位置を垂直方向において維持（固定）した状態で、当該第１の辺１１０ｂを上昇させながら当該第２の辺１１０ｃを水平移動させることで、テストトレイ１１０の姿勢を水平状態から垂直状態に変換することができる。

【0099】

テストトレイ１１０の姿勢変換にこうしたスライド動作を利用することで、小さなスペースでテストトレイ１１０の姿勢を変換することができる。また、本実施形態では、ローダユニット２０Ａにおいてテストトレイ１１０の姿勢を水平状態から垂直状態に変換するので、トレイ搬送ユニット５０にテストトレイ１１０を垂直状態で供給することができる。

【0100】

水平移動装置４５は、上述のスライド装置４３，４４により垂直に立てられたテストトレイ１１０を水平方向（Ｙ方向）に移動させて垂直搬送装置４６に供給する装置である。この水平移動装置４５は、クランプ４５１と、エアシリンダ４５２と、を備えている。クランプ４５１は、エアシリンダ等のアクチュエータによりＸ方向に沿って進退可能となっており、テストトレイ１１０の一対の長辺に接触して、当該テストトレイ１１０を両側から保持することが可能となっている。エアシリンダ４５２は、当該クランプ４５１をＹ方向に沿って進退させることが可能となっている。なお、エアシリンダ４５２に代えて、モータ及びボールねじ機構等の他のアクチュエータを用いてもよい。

【0101】

垂直搬送装置４６は、垂直状態に変換されたテストトレイ１１０をトレイ搬送ユニット５０に供給する装置であり、トレイ搬送ユニット５０の上方に配置されている。この垂直搬送装置４６は、一対の垂直レール４６１と、スライダ４６２と、エアシリンダ４６３と、挿入片４６４と、を備えている。なお、垂直搬送装置４６の構成は、テストトレイ１１０を垂直方向に搬送することが可能な構成であれば、特に限定されない。

【0102】

一対の垂直レール４６１は、Ｚ方向に沿って設けられており、テストトレイ１１０の幅よりも広い間隔を空けて相互に実質的に平行に配置されている。スライダ４６２は、それぞれの垂直レール４６１にスライド可能に設けられており、特に図示しないエアシリンダ等のアクチュエータにより当該垂直レール４６１上をＺ方向に沿って移動することが可能となっている。

【0103】

このスライダ４６２上にエアシリンダ４６３が設けられており、このエアシリンダ４６３の可動軸の先端に円柱状の挿入片４６４が取り付けられている。このエアシリンダ４６３は、挿入片４６４同士が相互に向かい合うようにスライダ４６２に設けられている。このエアシリンダ４６３は、挿入片４６４をＸ方向に沿って進退させることが可能となっており、エアシリンダ４６３の駆動により挿入片４６４同士が接近又は離反するように構成されている。なお、エアシリンダ４６３に代えて、モータ及びボールねじ機構等の他のアクチュエータを用いてもよい。

【0104】

スライダ４６２が垂直レール４６１の上端に位置している状態で水平移動装置４５によってテストトレイ１１０が垂直搬送装置４６に供給されると、垂直搬送装置４６は、エアシリンダ４６３の可動軸を前進させて、テストトレイ１１０の第１の辺１１０ｂ側の一対の凹部１１２に挿入片４６４を挿入することで、当該テストトレイ１１０を保持する。次いで、スライダ４６２が垂直レール４６１を下降することで、テストトレイ１１０が垂直状態で搬送されてトレイ搬送ユニット５０に供給される。このように、垂直状態でテストトレイ１１０をローダユニット２０Ａからトレイ搬送ユニット５０に供給することで、ハンドラ１０の占有面積を小さくすることができる。

【0105】

この際、本実施形態では、垂直搬送装置４６は、テストトレイ１１０の長手方向に沿って当該テストトレイ１１０を移動させる。これにより、ローダユニット２０Ａ及びアンローダユニット２０Ｂの幅を狭くすることができ、ハンドラ１０の占有面積を一層小さくすることができる。特に限定されないが、テストトレイ１１０の幅方向の大きさＷに対する長手方向の全長Ｌの割合が１０５％以上であることが好ましく（Ｌ／Ｗ≧１０５％）、当該割合が１２０％以上であることがより好ましい（Ｌ／Ｗ≧１２０％）。

【0106】

アンローダ部４０Ｂも、ローダ部４０Ａと同様の構成を有しており、特に図示しないが、ピックアンドプレース装置４１、姿勢変換装置４２、及び、垂直搬送装置４６を備えている。このアンローダ部４０Ｂでは、ローダ部４０Ａの動作とは逆の動作が行われる。

【0107】

すなわち、試験済みのＤＵＴ２００が搭載されたテストトレイ１１０が垂直搬送装置４６によってトレイ搬送ユニット５０からアンローダ部４０Ｂに供給され、姿勢変換装置４２により当該テストトレイ１１０の姿勢が垂直状態から水平状態に変換される。次いで、ピックアンドプレース装置４１によって当該テストトレイ１１０からカスタマトレイ１００に移載される。この際、ピックアンドプレース装置４１が試験結果に応じたカスタマトレイ１００にＤＵＴ２００を移し替えることで、ＤＵＴ２００が試験結果に応じて分類される。

【0108】

さらに、図７に示すように、本実施形態のローダ部４０Ａ及びアンローダ部４０Ｂの空間は、ローダユニット２０Ａ及びアンローダユニット２０Ｂのケース２３にそれぞれ形成された開口２３１を介して繋がっている。そして、ローダ部４０Ａ及びアンローダ部４０Ｂがそれぞれ備えるトレイ回送装置４７により、空のテストトレイ１１０をアンローダ部４０Ｂからローダ部４０Ａに移動させることが可能となっている。なお、トレイ回送装置４７の理解を容易にするために、図７では姿勢変換装置４２の図示を省略している。

【0109】

このトレイ回送装置４７は、姿勢変換装置４２の下方に設けられた水平レール４７１と、この水平レール４７１上をＸ方向に沿って移動可能な当接ヘッド４７２と、テストトレイ１１０の両端をスライド可能に保持する一対のベアリングレール４７３と、を備えている。アンローダ部４０Ｂにおいて、当接ヘッド４７２が水平レール４７１上をスライドしてテストトレイ１１０に当接して押圧することで、当該テストトレイ１１０がベアリングレール４７３上をスライドしてＸ方向に沿って移動し、ケース２３の開口２３１を介してアンローダ部４０Ｂからローダ部４０Ａに移動する。これにより、空のテストトレイ１１０をアンローダユニット２０Ｂからローダユニット２０Ａに回送させることができ、テストトレイ１１０をハンドラ１０内で循環搬送することができる。

【0110】

なお、この水平レール４７１及び当接ヘッド４７２は、不使用時に姿勢変換装置４２等と干渉しないように、特に図示しないエアシリンダ等のアクチュエータにより昇降可能となっている。同様に、ベアリングレール４７３も、別のアクチュエータにより昇降可能となっている。

【0111】

図８は本実施形態におけるトレイ搬送ユニット及びコンタクトユニットを示す斜視図である。図９は本実施形態におけるトレイ搬送ユニットを示す側面図である。図１０は本実施形態におけるトレイ搬送ユニットを示す正面図である。

【0112】

トレイ搬送ユニット５０は、コンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄと移載ユニット２０Ａ，２０Ｂとの間でテストトレイ１１０を搬送するユニットである。このトレイ搬送ユニット５０は、テストトレイ１１０の主面１１０ａに実質的に平行な方向に沿って、当該テストトレイ１１０を垂直状態で移動させる。このように、トレイ搬送ユニット５０が垂直状態でテストトレイ１１０を搬送することで、ハンドラ１０の占有面積を小さくすることができる。

【0113】

このトレイ搬送ユニット５０は、図８に示すように、レール５２がそれぞれ敷設された装置フレーム５１Ａ～５１Ｄと、当該レール５２上をＸ方向に沿って移動可能な移動部５４と、を備えている。

【0114】

箱状の装置フレーム５１Ａ～５１Ｄは、４つのコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄにそれぞれ対向するように、Ｘ方向に沿って配列されている。この４つの装置フレーム５１Ａ～５１Ｄは、同一の構造を有している。上述のように、それぞれの装置フレーム５１Ａ～５１Ｄには、Ｘ方向に沿って延在する一対のレール５２が敷設されている。

【0115】

相互に隣り合う装置フレーム５１Ａ～５１Ｄのレール５２は、特に図示しない連結具により分離可能に連結されており、移動部５４がレール５２上を移動することで全てのコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄと対向することが可能となっている。また、図９及び図１０に示すように、それぞれの装置フレーム５１Ａ～５１Ｄは、レール５２に沿って設けられたラックギア５３を備えている。このラックギア５３は、Ｘ方向に沿って延在しており、レール５２に対して実質的に平行に配置されている。

【0116】

移動部５４は、図９及び図１０に示すように、テストトレイ１１０を垂直状態で保持するトレイ保持装置５５と、トレイ保持装置５５をレール５２上で移動させる駆動装置５６と、を備えている。なお、トレイ保持装置５５の構成は、テストトレイ１１０を垂直状態で保持すると共に当該テストトレイ１１０をＹ方向に進退移動させることが可能な構成であれば、特に限定されない。

【0117】

トレイ保持装置５５は、クランプ５５１と、支持フレーム５５２と、水平移動部５５３と、支持プレート５５４と、を備えている。クランプ５５１は、エアシリンダ等のアクチュエータによりＸ方向に沿って進退可能となっており、テストトレイ１１０の一対の長辺に接触して、当該テストトレイ１１０を両側から保持することが可能となっている。このクランプ５５１は、Ｌ字状の支持フレーム５５２に支持されており、移載ユニット２０Ａ，２０Ｂの垂直搬送装置４６の最下点に位置するテストトレイ１１０やコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄのアクセス部６１（後述）に対向する高さに配置されている。

【0118】

支持フレーム５５２は、水平移動部５５３に支持されている。さらに、この水平移動部５５３は、Ｙ方向に沿って移動可能に支持プレート５５４に支持されており、特に図示しないエアシリンダ等のアクチュエータによりＹ方向に沿って移動することが可能となっている。これにより、トレイ保持装置５５は、垂直状態で保持しているテストトレイ１１０を、当該テストトレイ１１０の法線方向（Ｙ方向）に沿って進退移動させることが可能となっている。そして、この支持プレート５５４は、上述のレール５２上をＸ方向に沿って移動することが可能となっている。

【0119】

駆動装置５６は、トレイ保持装置５５の支持プレート５５４に設けられた回転モータ５６１を備えている。この回転モータ５６１は、フランジ５６２を介して支持プレート５５４の下面に固定されている。この回転モータ５６１の回転軸５６３にはピニオンギア５６４が取り付けられている。このピニオンギア５６４は、装置フレーム５１Ａ～５１Ｄに設けられた上述のラックギア５３に咬合している。このため、回転モータ５６１を駆動させることで、移動部５４をレール５２上で移動させることができる。

【0120】

このように、本実施形態では、駆動装置５６を、装置フレーム５１Ａ～５１Ｄ側のレール５２ではなく、移動部５４に設けている。このため、コンタクトユニットの増設（又は減設）に伴って、レール５２を有する装置フレーム５１Ａ～５１Ｄのみを増設（又は減設）すればよく、駆動装置５６には変更を加える必要がないので、トレイ搬送ユニット５０の増設及び減設の容易化が図られている。

【0121】

未試験のＤＵＴ２００が搭載されたテストトレイ１１０がローダユニット２０Ａの垂直搬送装置４６により供給された際には、このトレイ搬送ユニット５０は、トレイ保持装置５５を駆動装置５６によりレール５２上でＸ方向に沿って移動させて当該テストトレイ１１０に対向させる。そして、水平移動部５５３が支持フレーム５５２を前進させてクランプ５５１により当該テストトレイ１１０を垂直状態で保持する。

【0122】

次いで、水平移動部５５３が支持フレーム５５２を後退させた後、トレイ保持装置５５を駆動装置５６によりＸ方向に沿って移動させることで、テストトレイ１１０を垂直状態で搬送する。そして、テストトレイ１１０が目的のコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄに対向したら、水平移動部５５３が支持フレーム５５２を前進させることで、当該テストトレイ１１０を目的のコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄに供給する。

【0123】

これに対し、試験済みのＤＵＴ２００が当該されたテストトレイ１１０がコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄから搬出された際には、このトレイ搬送ユニット５０は、トレイ保持装置５５を駆動装置５６によりレール５２上でＸ方向に沿って移動させて当該テストトレイ１１０に対向させる。そして、水平移動部５５３が支持フレーム５５２を前進させてクランプ５５１により当該テストトレイ１１０を垂直状態で保持する。

【0124】

次いで、水平移動部５５３が支持フレーム５５２を後退させた後、トレイ保持装置５５を駆動装置５６によりＸ方向に沿って移動させることで、テストトレイ１１０を垂直状態で搬送する。そして、テストトレイ１１０がアンローダユニット２０Ｂの垂直搬送装置４６に対向したら、水平移動部５５３が支持フレーム５５２を前進させることで、当該テストトレイ１１０をアンローダユニット２０Ｂに搬出する。

【0125】

このように、本実施形態では、トレイ搬送ユニット５０がテストトレイ１１０を垂直状態で搬送するので、ハンドラ１０の占有面積を小さくすることができる。

【0126】

図１１は本実施形態におけるコンタクトユニットの内部構造を示す断面図である。なお、４つのコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄは同一の構造を有しているので、以下にコンタクトユニット６０Ａの構成について詳細について説明し、他のコンタクトユニット６０Ｂ～６０Ｄの構成についての説明は省略する。

【0127】

図１１に示すように、コンタクトユニット６０Ａは、アクセス部６１と、熱印加部６２と、押圧部６３と、熱除去部６４と、を備えている。

【0128】

アクセス部６１では、トレイ搬送ユニット５０によってテストトレイ１１０が当該コンタクトユニット６０Ａから出し入れされる。熱印加部６２では、アクセス部６１を介して供給されたテストトレイ１１０に搭載された未試験のＤＵＴ２００に対して所定の熱ストレスを印加する。押圧部６３では、ＤＵＴ２００がテストヘッド５Ａのソケット６に押し付けられて、テスタ７によりＤＵＴ２００の試験が実行される。熱除去部６４では、試験済みのＤＵＴ２００から熱ストレスが除去される。

【0129】

熱印加部６２と押圧部６３は、恒温槽から構成される第１のチャンバ６０１に設けられている。この第１のチャンバ６０１には温度調整装置６２１Ａ（図３参照）が接続されている。温度調整装置６２１Ａは、加熱装置と冷却装置を備えており、第１のチャンバ６０１内の雰囲気温度を調整することで、熱印加部６２及び押圧部６３内に位置するＤＵＴ２００に高温又は低温の熱ストレスを印加することが可能となっている。特に限定されないが、温度調整装置６２１Ａの加熱装置の具体例としては、例えば、ヒータや温風供給装置を例示することができる。また、温度調整装置６２１Ａの冷却装置の具体例としては、例えば、液体窒素を供給する冷媒供給装置を例示することができる。

【0130】

上述のように、４つのコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄに温度調整装置６２１Ａ～６２１Ｄが個別に接続されているため、コンタクトユニット（例えばコンタクトユニット６０Ａ）は、他のコンタクトユニット（例えば、コンタクトユニット６０Ｂ～６０Ｄ）とは独立して、第１のチャンバ６０１内の温度環境を調整することが可能となっている。なお、温度調整装置６２１Ｂ～６２１Ｄは、上述した温度調整装置６２１Ａと同一の構成を有している。

【0131】

また、上述のように、この第１のチャンバ６０１には開口６３ａが形成されている。この開口６３ａを介して、ソケット６を水平方向に向けた姿勢で、テストヘッド５Ａの一部が押圧部６３内に入り込んでいる。押圧部６３は、このソケット６に対向するように設けられた押圧装置６３１を備えている。

【0132】

この押圧装置６３１は、テストトレイ１１０に保持されているＤＵＴ２００に接触するプッシャ６３２と、当該プッシャ６３２をＹ方向に沿って進退移動させるアクチュエータ６３３と、を備えている。特に限定されないが、アクチュエータ６３３の一例としては、ボールねじ機構を備えたモータ等を例示することができる。この押圧装置６３１は、水平方向にＤＵＴ２００を押圧することで、垂直状態のテストトレイ１１０に搭載された状態でＤＵＴ２００をソケット６に押し付けることが可能となっている。

【0133】

本実施形態では、こうした押圧装置６３１を４つのコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄが個別に備えているため、コンタクトユニット（例えばコンタクトユニット６０Ａ）は、他のコンタクトユニット（例えば、コンタクトユニット６０Ｂ～６０Ｄ）とは独立して、ＤＵＴ２００をソケット６に押し付けることが可能となっている。

【0134】

これに対し、熱除去部６４は、第１のチャンバ６０１とは独立した第２のチャンバ６０２に設けられており、ＤＵＴ２００を外気に曝すことで当該ＤＵＴ２００から熱ストレスを除去する。このため、第２のチャンバ６０２には、冷却が可能な温度調整装置は接続されていない。なお、第２のチャンバ６０２に、ヒータ等の加熱装置や送風機が設けられていてもよい。

【0135】

本実施形態では、熱印加部６２、アクセス部６１、及び、熱除去部６４が垂直方向に沿って並べられている。また、熱印加部６２、押圧部６３、及び、熱除去部６４が垂直方向に沿って並べられている。特に、熱印加部６２は、アクセス部６１の下方に配置されていると共に、押圧部６３の下方に配置されている。これに対し、熱除去部６４は、アクセス部６１の上方に配置されていると共に、押圧部６３の上方に配置されている。従って、アクセス部６１と押圧部６３は、熱印加部６２と熱除去部６４との間に配置されており、相互に対向している。こうした配置を採用することで、コンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄの幅を狭くすることができ、ハンドラ１０の占有面積を小さくすることができる。

【0136】

また、本実施形態では、ＤＵＴ２００を冷却可能な熱印加部６２をコンタクトユニット６０Ａの最下部に配置している。これにより、熱印加部６２から熱除去部６４への冷気の移動を抑制することができるので、熱印加部６２においてＤＵＴ２００に対して熱ストレスを効率的に印加することができる。また、温度調整装置６２１Ａの配管をコンタクトユニット６０Ａの上部まで引き回す必要がないので、ハンドラ１０の構造の簡素化を図ることもできる。

【0137】

そして、コンタクトユニット６０Ａは、第１の垂直搬送装置６５と、第１の水平搬送装置６６と、第２の垂直搬送装置６７と、第２の水平搬送装置６８と、を備えている。

【0138】

本実施形態における第１の垂直搬送装置６５が本発明における「第４のトレイ移動装置」の一例に相当し、本実施形態における第１の水平搬送装置６６が本発明における「第２のトレイ移動装置」の一例に相当し、本実施形態における第２の垂直搬送装置６７が本発明における「第１のトレイ移動装置」の一例に相当し、本実施形態における第２の水平搬送装置６８が本発明における「第３のトレイ移動装置」の一例に相当し、

【0139】

第１の垂直搬送装置６５は、未試験のＤＵＴ２００を搭載したテストトレイ１１０をアクセス部６１から熱印加部６２に移動させると共に、試験済みのＤＵＴ２００を搭載したテストトレイ１１０を熱除去部６４からアクセス部６１に移動させる。この第１の垂直搬送装置６５は、テストトレイ１１０を垂直状態で－Ｚ方向に搬送する。

【0140】

この際、第１の垂直搬送装置６５は、テストトレイ１１０の長手方向に沿って当該テストトレイ１１０を移動させる。これにより、コンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄの幅を狭くすることができ、ハンドラ１０の占有面積を一層小さくすることができる。

【0141】

アクセス部６１には開口６１ａが形成されており、トレイ搬送ユニット５０は、この開口６１ａを介して、第１の垂直搬送装置６５にテストトレイ１１０を受け渡すことが可能となっている。トレイ搬送ユニット５０から開口６１ａを介して未試験のＤＵＴ２００を搭載したテストトレイ１１０が供給されるアクセス部６１に供給されると、第１の垂直搬送装置６５が当該テストトレイ１１０を－Ｚ方向に移動させて熱印加部６２に供給する。

【0142】

第１の水平搬送装置６６は、熱印加部６２内に設けられており、未試験のＤＵＴ２００が搭載されたテストトレイ１１０を第１の垂直搬送装置６５から受け取り、当該テストトレイ１１０を＋Ｙ方向に移動させる。この第１の水平搬送装置６６は、テストトレイ１１０の法線方向に沿って、当該テストトレイ１１０を垂直状態で移動させる。

【0143】

この際、第１の水平搬送装置６６は、テストトレイ１１０の長手方向を垂直方向に合わせた状態で当該テストトレイ１１０を移動させる。これにより、コンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄの幅を狭くすることができ、ハンドラ１０の占有面積を一層小さくすることができる。

【0144】

この第１の水平搬送装置６６によりテストトレイ１１０が熱印加部６２を通過する間に、当該テストトレイ１１０に搭載したままの状態で未試験のＤＵＴ２００に高温又は低温の所定の熱ストレスが印加される。本実施形態における＋Ｙ方向が、本発明における「第２の方向」の一例に相当する。

【0145】

第２の垂直搬送装置６７は、未試験のＤＵＴ２００を搭載したテストトレイ１１０を熱印加部６２から押圧部６３に移動させると共に、試験済みのＤＵＴ２００を搭載したテストトレイ１１０を押圧部６３から熱除去部６４に移動させる。この第２の垂直搬送装置６７は、テストトレイ１１０を垂直状態で＋Ｚ方向に搬送する。

【0146】

この際、第２の垂直搬送装置６７は、テストトレイ１１０の長手方向に沿って当該テストトレイ１１０を移動させる。これにより、コンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄの幅を狭くすることができ、ハンドラ１０の占有面積を一層小さくすることができる。

【0147】

この第２の垂直搬送装置６７は、未試験のＤＵＴ２００が搭載されたテストトレイ１１０を第１の水平搬送装置６６から受け取ると、当該テストトレイ１１０を熱印加部６２から押圧部６３に移動させる。そして、テストトレイ１１０がテストヘッド５Ａに対向したら、押圧装置６３１が＋Ｙ方向に移動して、テストトレイ１１０に搭載したままの状態でＤＵＴ２００をソケット６に押圧する。この状態で、テスタ７により当該ＤＵＴ２００の試験が実行される。試験が終了したら、第２の垂直搬送装置６７が、試験済のＤＵＴ２００を搭載したテストトレイ１１０を＋Ｚ方向に移動させて熱除去部６４に供給する。

【0148】

第２の水平搬送装置６８は、熱除去部６４内に設けられており、試験済みのＤＵＴ２００が搭載されたテストトレイ１１０を第２の垂直搬送装置６７から受け取り、当該テストトレイ１１０を図１１中の－Ｙ方向に移動させる。この第２の水平搬送装置６８は、テストトレイ１１０の法線方向に沿って、当該テストトレイ１１０を垂直状態で移動させる。

【0149】

この際、第２の水平搬送装置６８は、テストトレイ１１０の長手方向を垂直方向に合わせた状態で当該テストトレイ１１０を移動させる。これにより、コンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄの幅を狭くすることができ、ハンドラ１０の占有面積を一層小さくすることができる。

【0150】

この第２の水平搬送装置６８によりテストトレイ１１０が熱除去部６４を通過する間に、当該テストトレイ１１０に搭載したままの状態で試験済のＤＵＴ２００から熱ストレスが除去される。本実施形態における－Ｙ方向が、本発明における「第３の方向」の一例に相当する。

【0151】

テストトレイ１１０が熱除去部６４を通過したら、第１の垂直搬送装置６５が当該テストトレイ１１０を第２の水平搬送装置６８から受け取り、当該テストトレイ１１０を－Ｚ方向に移動させてアクセス部６１に搬送する。アクセス部６１に戻ったテストトレイ１１０は、トレイ搬送ユニット５０によって開口６１ａを介してコンタクトユニット６０Ａから搬出される。

【0152】

以上のように、本実施形態では、ハンドラ１０が複数のコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄを備えており、それぞれのコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄは、他のコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄとは独立して、ＤＵＴ２００の温度を調整することが可能であると共に、テストヘッド５Ａ～５Ｄのソケット６にＤＵＴ２００を押圧することが可能となっている。

【0153】

これにより、同時測定数を複数の単位に分割して、それぞれの分割単位に対して複数のコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄが個別にテストを実行することが可能となる。このため、ローダユニット２０Ａでテストトレイ一枚当たりに搭載するＤＵＴの個数が減少し、個々のコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄへの送り込み作業（テストトレイ１１０への移載作業）が短縮されるので、結果的にコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄの待機時間を短縮することができる。また、同時測定数を複数の単位に分割することで、コンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄ内で不具合が発生する確率を低くすることができるので、ハンドラ１０の停止時間を短縮することもできる。従って、本実施形態では、ハンドラ１０の稼働率の向上を図ることができる。

【0154】

以下に、図１２（ａ）～図１３（ｂ）を参照しながら、コンタクトユニットや移載ユニットを増設又は減設することで、仕様の異なるハンドラを構成する例について説明する。

【0155】

図１２（ａ）は１０２４個の同時測定数に対応するように構成したハンドラを示す図であり、図１２（ｂ）は７６８個の同時測定数に対応するように構成したハンドラを示す。また、図１３（ａ）はローダユニットを２台備えたハンドラを示す図であり、図１３（ｂ）はアンローダユニットを２台備えたハンドラを示す図である。なお、図１３（ａ）及び図１３（ｂ）では、テストヘッド５Ａ～５Ｄがコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄから取り外されている状態を図示している。

【0156】

上述の実施形態では、１０２４個の同時測定数のテスタ７に対応するように構成されたハンドラ１０について説明した。このハンドラ１０は、図１２（ａ）に示すように、テスタ７に接続された４つのテストヘッド５Ａ～５Ｄに対応するために、４つのコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄを備えている。

【0157】

これに対し、テスタ７の同時測定数よりも少ない同時測定数のテスタ７Ｂに対応する場合には、上述したハンドラ１０とは異なる仕様のハンドラ１０Ｂを構成する。例えば、テスタ７Ｂの同時測定数は７６８個であり、このテスタ７Ｂには３つのテストヘッド５Ａ～５Ｃが接続されている。そして、このテスタ７Ｂに対応するハンドラ１０Ｂは、ハンドラ１０からコンタクトユニット６０Ｄを取り除いた構成を有している。すなわち、このハンドラ１０Ｂは、３つのコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｃを備えている。

【0158】

なお、テスタの同時測定数は、上記に特に限定されず、例えば、２５６個や５１２個であってもよい。特に限定されないが、テスタの同時測定数が２５６個であり、当該テスタに１つのテストヘッドが接続されている場合には、コンタクトユニットを１つだけ有するハンドラを構成すればよい。一方、テスタの同時測定数が５１２個であり、当該テスタには２つのテストヘッドが接続されている場合には、コンタクトユニットを２つ有するハンドラを構成すればよい。

【0159】

また、特に図示しないが、テスタ７の同時測定数よりも多い同時測定数のテスタ７に対応する場合には、テストヘッドの増加数に応じて、コンタクトユニットが増設されたハンドラを構成する。

【0160】

また、例えばＤＵＴ２００のテスト時間が短い場合には、図１３（ａ）に示すようなハンドラ１０Ｃを構成してもよい。このハンドラ１０Ｃは、２台のローダユニット２０Ａを備えている点で、上述のハンドラ１０と相違しているが、その他の構成はハンドラ１０と同様である。

【0161】

また、例えば試験結果の分類数が多い場合には、図１３（ｂ）に示すようなハンドラ１０Ｄを構成してもよい。このハンドラ１０Ｄは、２台のアンローダユニット２０Ｂを備えている点で、上述のハンドラ１０と相違しているが、その他の構成はハンドラ１０と同様である。

【0162】

このように、本実施形態では、移載ユニット２０Ａ，２０Ｂ及びコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄが増設又は減設することが可能なようにハンドラ１０が構成されている。これにより、ユーザの要求に最適なユニットを組み合わせることでハンドラ１０を構成することができるので、ユーザの要求に対してハンドラ１０の仕様を低コストで最適化することができる。

【0163】

また、移載ユニット２０Ａ，２０Ｂ及びコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄが増設又は減設することが可能なようにハンドラ１０が構成されているので、異常が発生したユニットを新しいユニットに交換することで異常を解消することができ、ハンドラ１０のメンテナンス性も向上する。

【0164】

さらに、本実施形態では、コンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄを増設又は減設することが可能なようにハンドラ１０が構成されているので、同時測定数に応じてコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄの数を最適化することができ、ハンドラ１０の占有スペースの縮小を図ることもできる。

【0165】

また、従来のハンドラはユニット化されていないため、ハンドラの製造工程において、装置全体を組み上げた後でなければ装置の調整を行うことができない。これに対し、本実施形態では、ハンドラがユニット化されているため、ユニット毎に調整を並行して実施することができるので、ハンドラの製造時間を大幅に短縮することができる。

【0166】

なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

【0167】

上述の実施形態では、トレイ搬送ユニット５０がテストトレイ１１０を垂直状態で搬送しているが、トレイ搬送ユニット５０により搬送されるテストトレイ１１０の姿勢は特にこれに限定されない。

【0168】

例えば、トレイ搬送ユニット５０がテストトレイ１１０を水平状態で搬送してもよい。具体的には、テストトレイ１１０の主面１１０ａが水平方向（ＸＹ方向）に対して実質的に平行な状態で、当該テストトレイ１１０をトレイ搬送ユニット５０が移載ユニット２０Ａ，２０Ｂとコンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄとの間で搬送してもよい。

【0169】

この場合には、トレイ移載ユニット２０Ａ，２０Ｂが姿勢変換装置４２を備えておらず、垂直搬送装置４６がテストトレイ１１０を水平状態のままでトレイ搬送ユニット５０に受け渡してもよい。

【0170】

また、上記の場合には、コンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄの搬送装置６５～６８が水平状態でテストトレイ１１０を搬送すると共に、当該コンタクトユニット６０Ａ～６０Ｄの押圧装置６３１がテストトレイ１１０を水平とした状態でＤＵＴ２００をソケット６に向かって垂直方向に押圧してもよい。

【符号の説明】

【0171】

１…電子部品試験装置
５Ａ～５Ｄ…テストヘッド
１０，１０Ｂ～１０Ｄ…ハンドラ
２０Ａ，２０Ｂ…ローダユニット、アンローダユニット
３０…トレイ格納部
４０Ａ，４０Ｂ…ローダ部、アンローダ部
４２…姿勢変換装置
４６…垂直搬送装置
５０…トレイ搬送ユニット
５１Ａ～５１Ｄ…装置フレーム
５２…レール
５３…ラックギア
５４…移動部
５５…トレイ保持装置
５６…駆動装置
５６１…回転モータ
５６４…ピニオンギア
６０Ａ～６０Ｄ…コンタクトユニット
６１…アクセス部
６２…熱印加部
６２１Ａ～６２１Ｄ…温度調整装置
６３…押圧部
６３ａ…開口
６３１…押圧装置
６４…熱除去部
６５…第１の垂直搬送装置
６６…第１の水平搬送装置
６７…第２の垂直搬送装置
６８…第２の水平搬送装置
１００…カスタマトレイ
１１０…テストトレイ
２００…ＤＵＴ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】