特許 7561660 リニアモータ及びリニア搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-26

(45)【発行日】2024-10-04

(54)【発明の名称】リニアモータ及びリニア搬送システム

(51)【国際特許分類】

   H02K 41/03 20060101AFI20240927BHJP

【ＦＩ】

H02K41/03 A

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2021037481

(22)【出願日】2021-03-09

(65)【公開番号】P2022137806

(43)【公開日】2022-09-22

【審査請求日】2023-11-21

(73)【特許権者】

【識別番号】000006013

【氏名又は名称】三菱電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100118762

【弁理士】

【氏名又は名称】高村 順

(72)【発明者】

【氏名】大熊 雅史

(72)【発明者】

【氏名】白瀬 隆史

【審査官】服部 俊樹

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１２／０５６８４１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特許第５３１３５６１（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】特開２００４－１６６３３１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０２Ｋ ４１／０３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の永久磁石を有する可動子と、
コイルを有する固定子と、
前記コイルの電流を制御するためのモータドライバと、
二つ以上の平行な搬送ラインとを備え、
前記コイルと前記可動子を含む平面内には前記モータドライバが配置されず、
二つの平行な搬送ラインの中間に前記固定子の前記コイルが一つだけ配置されている
ことを特徴とするリニアモータ。

【請求項2】

前記可動子が有する前記複数の永久磁石の極配置と異なる極配置の複数の永久磁石を有する第２の可動子を更に備える
ことを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。

【請求項3】

前記可動子の前記固定子の側の面に配置されている複数の永久磁石の極配置は、前記可動子の前記面の反対側の面に配置されている複数の永久磁石の極配置と一つの磁極分ずれている
ことを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。

【請求項4】

前記可動子は、一つだけスケール磁石を有する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のリニアモータ。

【請求項5】

前記二つ以上の平行な搬送ラインの個数がＭである場合、Ｍが偶数であるとき、Ｍ／２個の前記固定子が前記二つ以上の平行な搬送ラインの進行方向に垂直な平面に配置され、Ｍが奇数であるとき、（Ｍ＋１）／２個の前記固定子が前記二つ以上の平行な搬送ラインの進行方向に垂直な平面に配置され、
Ｍは、２以上の整数であり、
前記進行方向は、前記可動子の進行方向である
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のリニアモータ。

【請求項6】

請求項１から５のいずれか１項に記載のリニアモータを備える
ことを特徴とするリニア搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、リニアモータ及びリニア搬送システムに関する。

【背景技術】

【0002】

リニアモータを使用した搬送システムは、高精度な位置決めによる軌道上での製品の加工及び組立が可能であるという特徴と、可動子毎の速度制御が可能であるという特徴とを有するため、当該搬送システムの用途が拡大している。以下では、搬送システムは「リニア搬送システム」と記載される。リニア搬送システムには、可動子を動かすための電磁石が必要なため固定子及び可動子が大型になってしまうという課題があり、可動子間の距離の狭ピッチ化によるフットプリントの低減が求められている。

【0003】

従来、進行方向に対して前側と後側とでローラの位置を異ならせることにより、隣り合う可動子のローラの接触を回避して進行方向の可動子の狭ピッチ化を実現するリニア搬送システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。また従来、一つのフレームに対して二つの搬送ライン用の磁石が配置され、これにより進行方向に対して平行な二つの搬送ライン間の可動子の狭ピッチ化を実現するリニアモータも提案されている（例えば、特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】国際公開第２０１８／１４５２１４号

【文献】特許第５３１３５６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

固定子がコイルを有していて可動子が永久磁石を有する従来のリニア搬送システムには、二つの平行な搬送ライン間の固定子の狭ピッチ化が実現できていないという課題がある。特許文献１が開示している技術では、コイルを流れる電流を制御する基板がコイルと可動子が重なる平面に配置されているため、複数の搬送ラインを配置した場合、二つの平行な搬送ライン間の固定子の狭ピッチ化は困難である。特許文献２が開示している技術では、固定子がコイルを有して可動子が永久磁石を有する構造とした場合、一般に磁石よりもコイルが大きいため固定子が大きくなり、複数の搬送ラインを配置したとき、二つの平行な搬送ライン間の固定子の狭ピッチ化は困難である。

【0006】

本開示は、上記に鑑みてなされたものであって、二つの平行な搬送ライン間の可動子の狭ピッチ化を実現するリニアモータを得ることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本開示に係るリニアモータは、複数の永久磁石を有する可動子と、コイルを有する固定子と、コイルの電流を制御するためのモータドライバと、二つ以上の平行な搬送ラインとを有する。コイルと可動子を含む平面内にはモータドライバが配置されない。二つの平行な搬送ラインの中間に固定子のコイルが一つだけ配置されている。

【発明の効果】

【0008】

本開示に係るリニアモータは、二つの平行な搬送ライン間の可動子の狭ピッチ化を実現することができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】実施の形態１に係るリニア搬送システムの構成を示す平面図

【図2】実施の形態１に係るリニア搬送システムの構成を示す第１の断面図

【図3】実施の形態１に係るリニア搬送システムの構成を示す第２の断面図

【図4】実施の形態１に係るリニア搬送システムの構成を示す第３の断面図

【図5】実施の形態２に係るリニア搬送システムの構成を示す第１の断面図

【図6】実施の形態２に係るリニア搬送システムの構成を示す第２の断面図

【図7】実施の形態３に係るリニア搬送システムの構成を示す断面図

【図8】実施の形態４に係るリニア搬送システムの構成を示す断面図

【図9】実施の形態５に係るリニア搬送システムの構成を示す断面図

【図10】実施の形態６に係るリニア搬送システムの構成を示す断面図

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下に、実施の形態に係るリニアモータ及びリニア搬送システムを図面に基づいて詳細に説明する。

【0011】

実施の形態１．
図１は、実施の形態１に係るリニア搬送システム１の構成を示す平面図である。図１は、リニア搬送システム１の構成を模式的に示している。リニア搬送システム１は、リニアモータ２を有する搬送システムである。リニアモータ２は、可動子３と、トラックモジュール４とを有する。リニアモータ２は、搬送ライン５ａと、搬送ライン５ａに続く二つの平行な搬送ライン５ｂ，５ｃとを更に有する。つまり、リニアモータ２は、二つの平行な搬送ライン５ｂ，５ｃを有する。図１では、搬送ライン５ａ，５ｂ，５ｃは一点鎖線の矢印によって示されている。

【0012】

リニア搬送システム１は、搬送ライン５ａを移動する可動子３を搬送ライン５ｂと搬送ライン５ｃとのうちのいずれかに進行させる分岐構造６を更に有する。トラックモジュール４は、固定子７を有する。図１には示されていないが、固定子７は、複数のコイルを有する。

【0013】

リニア搬送システム１は、直線のリニアモータ２をつなげたもの、又は、直線のリニアモータ２と曲線のリニアモータ２とをつなげてトラック状にしたものであってもよい。分岐構造６は、左右のコイルからの吸引力の切り替えによって、可動子３がひきつけられるコイルを切り替える。分岐構造６は、直線のリニアモータ２が移動した搬送ラインを当該搬送ラインと別の搬送ラインにつなげてもよいし、ガイドレール１１が切り替え時に機械的につなぎ変わることで一つの搬送ラインを分岐させてもよい。ガイドレール１１は、図２に示されている。

【0014】

上述の二つの平行な搬送ライン５ｂ，５ｃは、リニアモータ２が有する可動子３が動く二つの軌跡である。上述の通り、分岐構造６は、搬送ライン５ａを移動する可動子３を搬送ライン５ｂと搬送ライン５ｃとのうちのいずれかに進行させる。分岐構造６が存在しなくても、二つの搬送ライン５ｂ，５ｃが近接していればよい。ここでの近接とは、搬送ライン５ｂと搬送ライン５ｃのコイルの間にモータドライバを設置できる隙間を有さないほど近いということである。

【0015】

上述の通り、リニアモータ２は、可動子３と、トラックモジュール４とを有する。可動子３は可動側の構成要素であり、トラックモジュール４は固定側の構成要素である。複数のトラックモジュール４がつなぎ合わされることによって、搬送ライン５ａ，５ｂ，５ｃが形成される。複数の可動子３が搬送ライン５ａ，５ｂ，５ｃを移動することでリニア搬送システム１が形成される。

【0016】

図２は、実施の形態１に係るリニア搬送システム１の構成を示す第１の断面図である。図２は、図１のＩＩ－ＩＩ線の矢視図である。更に言うと、図２は、実施の形態１における分岐直後の搬送方向に対して垂直な断面を模式的に示している。図３は、実施の形態１に係るリニア搬送システム１の構成を示す第２の断面図である。図３は、図１のＩＩＩ－ＩＩＩ線の矢視図である。更に言うと、図３は、実施の形態１における二つの平行な搬送ライン５ｂ，５ｃでの搬送時の搬送方向に対して垂直な断面を模式的に示している。

【0017】

可動子３は、ローラ８と、モータ磁石９と、スケール磁石１０とを有する。モータ磁石９は、複数の永久磁石を有する。トラックモジュール４は、固定子７と、ガイドレール１１と、モータドライバ１２と、スケール１３とを有する。

【0018】

図４は、実施の形態１に係るリニア搬送システム１の構成を示す第３の断面図である。図４は、図３のＩＶ－ＩＶ線の矢視図である。更に言うと、図４は、実施の形態１における平行な搬送ライン５ｂ，５ｃでの搬送時の搬送方向に対して平行な断面を示している。固定子７は、搬送方向に並んだ複数のコイルを有している。図４では、複数のコイルのうちの３個のコイルに符号７ａ，７ｂ，７ｃが割り当てられている。具体的には、当該３個のコイルのうちの一つのコイルに符号７ａが割り当てられており、当該３個のコイルのうちの別の一つのコイルに符号７ｂが割り当てられており、当該３個のコイルのうちの更に別の一つのコイルに符号７ｃが割り当てられている。３個のコイル７ａ，７ｂ，７ｃは、固定子７が有する複数のコイルの一部である。

【0019】

モータドライバ１２は、固定子７が有する複数のコイルの各々に流れる電流を制御する。つまり、モータドライバ１２は、コイルの電流を制御するための構成要素である。固定子７が有する複数のコイルの各々に流れる電流により磁界が発生し、当該磁界が可動子３のモータ磁石９に推進力を与えることで可動子３は動作する。

【0020】

モータドライバ１２は、固定子７が有する複数のコイルの各々に流れる電流を制御するための基板を有する構成要素である。モータドライバ１２は、スケール１３との通信と、隣り合うモータドライバ１２との通信と、上位のコントローラとの通信とを行う機能も有する。実施の形態１では、モータドライバ１２は、固定子７と、ガイドレール１１と、スケール１３と一体となってトラックモジュール４を形成している。モータドライバ１２は、固定子７及びスケール１３を有するトラックモジュール４に含まれていなくてもよい。

【0021】

スケール１３は、可動子３の位置を測定するための器機である。スケール１３は、複数のホール素子を有する。実施の形態１では、複数の磁極を有するスケール磁石１０が可動子３に含まれており、スケール１３の内部の複数のホール素子が可動子３の位置を検出する。可動子３の位置は、光学系を用いる方法によって検出されてもよい。可動子３の位置を検出する方法は、限定されない。実施の形態１では、スケール磁石１０が可動子３の両面に取り付けられており、分岐時にどちらの面からでも可動子３の位置を測定可能な構造が採用されている。

【0022】

ローラ８及びガイドレール１１は、可動時に進行方向以外の方向に可動子３が動かないように可動子３の動作を規制するための構成要素であり、ローラ８及びガイドレール１１の形状は実施の形態１の形状に限定されない。例えば、ローラ８は、Ｖローラ又は平ローラであってもよい。

【0023】

上述の通り、モータ磁石９は複数の永久磁石を有する。図４では、複数の永久磁石のうちの３個の永久磁石に符号９ａ，９ｂ，９ｃが割り当てられている。具体的には、当該３個の永久磁石のうちの一つの永久磁石に符号９ａが割り当てられており、当該３個の永久磁石のうちの別の一つの永久磁石に符号９ｂが割り当てられており、当該３個の永久磁石のうちの更に別の一つの永久磁石に符号９ｃが割り当てられている。３個の永久磁石９ａ，９ｂ，９ｃは、モータ磁石９が有する複数の永久磁石の一部である。

【0024】

複数の永久磁石については、進行方向にＳ極とＮ極とが交互に並んでおり、モータ磁石９は、固定子７が有する複数のコイルからの磁界を受けて推進力を発生させる。実施の形態１では、可動子３は、モータ磁石９の一つの取り付け面の反対面にもモータ磁石９を有する。これにより、可動子３は、分岐時にどちらの面からでもコイルからの推進力を受けることができる。

【0025】

実施の形態１では、二つの平行な搬送ライン５ｂ，５ｃの固定子７のコイルと可動子３のモータ磁石９が重なる面よりも鉛直方向の下にモータドライバ１２が配置されている。つまり、実施の形態１では、従来ではモータ磁石９の隣りに配置されているモータドライバ１２はモータ磁石９の隣りに存在しない。そのため、モータ磁石９のすぐ隣に平行する搬送ライン５ｂ，５ｃを設置することができる。これにより、搬送路の設置面積の省スペース化及びトラック上で加工を行う場合の加工機の小型化が可能となる。モータドライバ１２の設置位置は、コイルとモータ磁石９が重なる面以外であれば実施の形態１の位置でなくてもよい。

【0026】

実施の形態１に係るリニアモータ２のコイルに流れる電流を制御するための基板は、コイルと可動子３が重なる平面上以外に配置されている。つまり、コイルと可動子３を含む平面内にはモータドライバ１２は配置されない。これにより、リニアモータ２は、二つの平行な搬送ライン５ｂ，５ｃ間の可動子３の狭ピッチ化を実現することができる。上記の平面は、可動子３の進行方法に対して水平な平面であって、例えば図３のＩＶ－ＩＶ線の平面である。

【0027】

実施の形態１では、リニアモータ２は、可動子３が永久磁石を有して固定子７がコイルを有する構造を有する。当該構造は、可動子３がコイルを有して固定子７が永久磁石を有する構造と比較し、可動子３の小型化を実現することを可能にし、可動子３への配線も不要となり配線により可動子３の移動が制限されないという特徴を有する。

【0028】

実施の形態２．
図５は、実施の形態２に係るリニア搬送システムの構成を示す第１の断面図である。図５は、図１のＩＩＩ－ＩＩＩ線の矢視図に対応する図である。更に言うと、図５は、実施の形態２における平行な搬送ライン５ｂ，５ｃでの搬送時の搬送方向に対して垂直な断面を模式的に示している。図６は、実施の形態２に係るリニア搬送システムの構成を示す第２の断面図である。図６は、図５のＶＩ－ＶＩ線の矢視図である。更に言うと、図６は、実施の形態２における平行な搬送ライン５ｂ，５ｃでの搬送時の搬送方向に対して平行な断面を模式的に示している。実施の形態２では、実施の形態１との相違点を主に説明する。

【0029】

実施の形態２に係るリニア搬送システムは、実施の形態１に係るリニア搬送システム１と同様に、二つの平行な搬送ライン５ｂ，５ｃを有する。実施の形態２でも、リニアモータ２のコイルに流れる電流を制御するための基板は、コイルと可動子３が重なる平面上以外に配置されている。実施の形態２では、二つの平行な搬送ライン５ｂ，５ｃの中間に固定子７のコイルが一つだけ配置されている。

【0030】

二つの平行な搬送ライン５ｂ，５ｃの中間に配置された固定子７は一つのコイルを有し、当該コイルは、二つの搬送ライン５ｂ，５ｃの双方に対して磁界を発生させることが可能である。例えば、当該コイルは、搬送ライン５ｂに対してＮ極となる磁界と、搬送ライン５ｃに対してＳ極となる磁界とを同時に発生させることができる。

【0031】

実施の形態２の構成によれば、一つのコイルが二つの搬送ライン５ｂ，５ｃを駆動することが可能であるため、二つの搬送ライン５ｂ，５ｃ間の距離を短くすることができ、搬送路の設置面積の省スペース化及びトラック上で加工を行う場合における加工機の小型化が可能となる。また、実施の形態２の構成によれば、固定子７を二つの搬送ライン５ｂ，５ｃの各々について設置する場合に比べて固定子７の個数も半分に少なくなるため、低コスト化が可能である。

【0032】

実施の形態３．
図７は、実施の形態３に係るリニア搬送システムの構成を示す断面図である。図７は、図５のＶＩ－ＶＩ線の矢視図に対応する図である。更に言うと、図７は、実施の形態３における平行な搬送ライン５ｂ，５ｃでの搬送時の搬送方向に対して平行な断面を模式的に示している。実施の形態３では、実施の形態２との相違点を主に説明する。

【0033】

実施の形態３に係るリニア搬送システムは、二つの平行な搬送ライン５ｂ，５ｃを有する。リニアモータ２のコイルに流れる電流を制御するための基板は、コイルと可動子３が重なる平面上以外に配置されている。二つの平行な搬送ライン５ｂ，５ｃの中間に固定子７が一つだけ配置されている。実施の形態３に係るリニアモータ２は、複数の永久磁石の極配置が異なる２種の可動子３を有する。

【0034】

実施の形態３に係るリニア搬送システムは、極配置の種類により搬送ライン５ｂと搬送ライン５ｃとを使い分けることを特徴とするリニア搬送システムである。極配置は、可動子３が有する複数の永久磁石のＳ極及びＮ極の配置のことである。可動子３の進行方向に対して、永久磁石のＳ極とＮ極とが交互に配置されている。実施の形態３に係るリニアモータ２は、進行方向に対してＳ極から永久磁石が配置されている可動子３と、Ｎ極から永久磁石が配置されている可動子３との２種類の可動子３を有する。

【0035】

上述の極配置の種類により搬送ライン５ｂと搬送ライン５ｃとを使い分けるとは、搬送ライン５ｂ，５ｃを、永久磁石がＳ極から配置されている可動子３が流れる搬送ラインと、永久磁石がＮ極から配置されている可動子３が流れる搬送ラインとに分けることを意味する。

【0036】

実施の形態３の構成によれば、二つの平行な搬送ライン５ｂ，５ｃの中央に配置された一つのコイルが同時に二つの搬送ライン５ｂ，５ｃの可動子３を動作させる場合、例えば一つのコイルは、搬送ライン５ｂにＳ極となる磁界を発生させると共に搬送ライン５ｃにＮ極となる磁界を発生させるため、極配置が異なる二つの可動子３の一方が搬送ライン５ｂに配置されて当該二つの可動子３の他方が搬送ライン５ｃに配置されることで、二つの可動子３の進行方向の位置を一つの磁極分ずれることなく揃えることが可能となる。

【0037】

実施の形態４．
図８は、実施の形態４に係るリニア搬送システムの構成を示す断面図である。図８は、図５のＶＩ－ＶＩ線の矢視図に対応する図である。更に言うと、図８は、実施の形態４における平行な搬送ライン５ｂ，５ｃでの搬送時の搬送方向に対して平行な断面を模式的に示している。実施の形態４では、実施の形態３との相違点を主に説明する。

【0038】

実施の形態４に係るリニア搬送システムは、二つの平行な搬送ライン５ｂ，５ｃを有する。リニアモータ２のコイルに流れる電流を制御するための基板は、コイルと可動子３が重なる平面上以外に配置されている。二つの平行な搬送ライン５ｂ，５ｃの中間に固定子７が一つだけ配置されている。

【0039】

実施の形態４に係るリニアモータ２は、固定子７の側の面に配置されている複数の永久磁石の極配置とガイドレール１１の側の面に配置されている複数の永久磁石の極配置とが異なる可動子３を有する。つまり、可動子３の固定子７の側の面に配置されている複数の永久磁石の極配置は、可動子３の上記の面の反対側の面に配置されている複数の永久磁石の極配置と一つの磁極分ずれている。上記の面と上記の反対側の面とは、平行である。

【0040】

極配置は、可動子３が有する複数の永久磁石のＳ極及びＮ極の配置のことである。可動子３の進行方向に対して、複数の永久磁石のＳ極とＮ極とが交互に配置されている。実施の形態４の可動子３は、進行方向に対して永久磁石がＳ極から配置されている面と、永久磁石がＮ極から配置されている面とを有する。

【0041】

実施の形態４の構成によれば、二つの平行な搬送ライン５ｂ，５ｃの中央に配置された一つのコイルが二つの搬送ライン５ｂ，５ｃの各々の可動子３を同時に動作させる場合、例えば一つのコイルは、搬送ライン５ｂにＳ極となる磁界を発生させると共に搬送ライン５ｃにＮ極となる磁界を発生させるため、極配置が異なる二つの可動子３の一方が搬送ライン５ｂに配置されて当該二つの可動子３の他方が搬送ライン５ｃに配置されることで、二つの可動子３の進行方向の位置を一つの磁極分ずれることなく揃えることが可能となる。加えて、実施の形態３の構成と比較した場合、実施の形態４の構成では、可動子３の種類は１種類であるため、可動子３の種類及び数を少なくすることができ、ひいては低コスト化を実現することができる。

【0042】

実施の形態５．
図９は、実施の形態５に係るリニア搬送システムの構成を示す断面図である。図９は、図１のＩＩ－ＩＩ線の矢視図に対応する図である。更に言うと、図９は、実施の形態５における平行な搬送ライン５ｂ，５ｃでの搬送時の搬送方向に対して垂直な断面を模式的に示している。実施の形態５では、実施の形態１から３との相違点を主に説明する。

【0043】

実施の形態５では、可動子３が有するスケール磁石１０は一つだけであり、スケール磁石１０の位置は左右どちらのトラックモジュール４からも測定可能である。実施の形態５では、スケール１３はスケール磁石１０に対し横に配置されているが、左右どちらのトラックモジュール４からも位置を測定することが可能であればよく、スケール１３はスケール磁石１０に対し縦に配置されてもよい。

【0044】

実施の形態５の構造によれば、可動子３が有するスケール磁石１０は一つでよく、可動子３の小型化と低コスト化とを実現することができる。

【0045】

実施の形態６．
図１０は、実施の形態６に係るリニア搬送システムの構成を示す断面図である。実施の形態６に係るリニア搬送システムは、二つ以上の平行な搬送ラインを有する。リニアモータ２のコイルに流れる電流を制御するための基板は、コイルと可動子３が重なる平面上以外に配置されている。搬送ラインの個数がＭである場合、Ｍが偶数であるとき、Ｍ／２個の固定子７が二つ以上の平行な搬送ラインの進行方向に垂直な平面に配置され、Ｍが奇数であるとき、（Ｍ＋１）／２個の固定子７が二つ以上の平行な搬送ラインの進行方向に垂直な平面に配置される。Ｍは、２以上の整数である。進行方向は、可動子３の進行方向である。可動子３では、固定子７の側の面に配置されている永久磁石の極配置とガイドレール１１の側の面に配置されている永久磁石の極配置とが異なる。

【0046】

実施の形態６の構造によれば、複数の平行な搬送ライン間のピッチを狭くすることが可能であり、加工でのバッチ処理及び一括加工を実施するためのラインにおいて搬送ラインの省スペース化と装置の小型化とが可能であり、可動子３を待機させておく待機スペースの省スペース化が可能となる。

【0047】

以上の実施の形態に示した構成は、一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、実施の形態同士を組み合わせることも可能であるし、要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略又は変更することも可能である。

【符号の説明】

【0048】

１ リニア搬送システム、２ リニアモータ、３ 可動子、４ トラックモジュール、５ａ，５ｂ，５ｃ 搬送ライン、６ 分岐構造、７ 固定子、７ａ，７ｂ，７ｃ コイル、８ ローラ、９ モータ磁石、９ａ，９ｂ，９ｃ 永久磁石、１０ スケール磁石、１１ ガイドレール、１２ モータドライバ、１３ スケール。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】