特許 7562031 配管機器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-26

(45)【発行日】2024-10-04

(54)【発明の名称】配管機器

(51)【国際特許分類】

   F16L 41/02 20060101AFI20240927BHJP

   B01F 25/10 20220101ALI20240927BHJP

   B01F 35/51 20220101ALI20240927BHJP

   B01F 101/58 20220101ALN20240927BHJP

【ＦＩ】

F16L41/02

B01F25/10

B01F35/51

B01F101:58

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2024052535

(22)【出願日】2024-03-27

【審査請求日】2024-07-23

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000117102

【氏名又は名称】旭有機材株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100147599

【弁理士】

【氏名又は名称】丹羽 匡孝

(74)【代理人】

【識別番号】100141025

【弁理士】

【氏名又は名称】阿久津 勝久

(74)【代理人】

【識別番号】100098589

【弁理士】

【氏名又は名称】西山 善章

(72)【発明者】

【氏名】隈元 康太

【審査官】岩瀬 昌治

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２２－１４２３３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２２－０９２１８６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ１６Ｌ ４１／０２

Ｂ０１Ｆ ２５／１０

Ｂ０１Ｆ ３５／５１

Ｂ０１Ｆ １０１／５８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１のフッ素樹脂材料から形成され、第１の境界面を有する本体と、
第２のフッ素樹脂材料から形成され、第２の境界面を有する接合部材と、
熱融着性の第３のフッ素樹脂材料から形成され、前記第２の境界面を介して前記接合部材と一体的に成形された中間部材と、
を備え、前記本体が前記第１の境界面に開口する凹部を有し、前記第１の境界面から前記中間部材の厚さよりも低い長さだけ突出する環状の筒壁部が前記凹部の開口の周囲に沿って設けられ、該筒壁部の内周面が前記凹部の内周面と面一になるように形成されており、前記第１のフッ素樹脂材料及び前記第２のフッ素樹脂材料が前記第３のフッ素樹脂材料の融点で非溶融性を呈する非溶融性フッ素樹脂材料であり、前記中間部材は、前記筒壁部の少なくとも先端部が前記中間部材に沈み込んだ状態で、前記本体と一体化されて成形され、前記中間部材と前記凹部とによって空間部を形成していることを特徴とする配管機器。

【請求項2】

前記本体に、前記空間部に連通する流入流路及び流出流路とが形成されている、請求項１に記載の配管機器。

【請求項3】

前記中間部材がフィルム状又は板状である、請求項２に記載の配管機器。

【請求項4】

前記中間部材の厚さが５０μｍから１００ｍｍの範囲である、請求項１から請求項３の何れか一項に記載の配管機器。

【請求項5】

前記筒壁部が前記中間部材に沈み込んでいる部分の長さが０．５μｍから９５ｍｍの範囲である、請求項４に記載の配管機器。

【請求項6】

前記第１のフッ素樹脂材料及び前記第２のフッ素樹脂材料がＰＴＦＥである、請求項１から請求項３の何れか一項に記載の配管機器。

【請求項7】

前記第３のフッ素樹脂材料はＰＦＡ又は変性ＰＴＦＥである、請求項６に記載の配管機器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、流体が流れる流路が内部に設けられており且つ配管の一部を構成する配管機器に関する。

【背景技術】

【0002】

化学工場、半導体製造分野、食品分野、医療分野、バイオ分野などの各種産業分野では、流体を流通させるために、例えばバルブ装置や流体混合器など、流路が内部に設けられ配管の一部として使用される様々な配管機器が使用されている。特に、半導体製造分野の配管機器では、劇薬である強酸類などを薬液として使用することが多いため、外部に薬液を漏出させないシール構造、いわゆる外部シール構造、が採用されている。

【0003】

一般的に、このような外部シール構造は、切削加工された部品同士を組み合わせて構成される。しかしながら、このような構造では、当接する面同士が加工誤差により僅かに歪んだだけでも、隙間が生じて流路内に滞留部が形成されてしまい、歩留まり悪化の原因となる。このため、例えば流路の一部に形成され且つ外部に開口する凹部を他の部材で閉鎖する場合、二つ部材の対向面の間にダイヤフラムやパッキンのような弾力性を有する部材を挟持することにより、隙間を生じることなく二つの部材の間をシールするようにすることが多い。また、ダイヤフラムのような部材を二つの部材の対向面の間に挟持できないような場合には、例えば特許文献１に記載の流量制御バルブのように、二つの部材の当接面同士を融点以上に加熱して溶着により一体化させる方法などが採用されることがある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特許第７１４６２０４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に記載のように、二つの当接部材の当接面同士を加熱して溶着させる方法では、各部材の材料が融点以上に加熱されて流動化するので、二つの当接面を圧接したときに流動化した材料が二つの部材の間から流路内にはみ出て段差部を形成してしまうことがある。このような段差部は流路内で薬液の滞留部を生じさせてしまい、同様に、歩留まり悪化の原因となる。

【0006】

よって、本発明の目的は、従来技術に存する問題を解決するために、配管機器において二つの部材を隙間なく且つ段差部を生じさせずに接続することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明は、上記目的に鑑み、第１のフッ素樹脂材料から形成され、第１の境界面を有する本体と、第２のフッ素樹脂材料から形成され、第２の境界面を有する接合部材と、熱融着性の第３のフッ素樹脂材料から形成され、前記第２の境界面を介して前記接合部材と一体的に成形された中間部材とを備え、前記本体が前記第１の境界面に開口する凹部を有し、前記第１の境界面から前記中間部材の厚さよりも低い長さだけ突出する環状の筒壁部が前記凹部の開口の周囲に沿って設けられ、該筒壁部の内周面が前記凹部の内周面と面一になるように形成されており、前記第１のフッ素樹脂材料及び前記第２のフッ素樹脂材料が前記第３のフッ素樹脂材料の融点で非溶融性を呈する非溶融性フッ素樹脂材料であり、前記中間部材は、前記筒壁部の少なくとも先端部が前記中間部材に沈み込んだ状態で、前記本体と一体化されて成形され、前記中間部材と前記凹部とによって空間部を形成している配管機器を提供する。

【0008】

上記配管機器では、本体を形成する第１のフッ素樹脂材料と接合部材を形成する第２のフッ素樹脂材料とが中間部材を形成する第３のフッ素樹脂材料の融点で非溶融性を呈するフッ素樹脂材料からなる。したがって、第３のフッ素樹脂材料の融点まで加熱しても、本体及び接合部材は形状を維持することができ、本体の凹部の開口に沿って設けられた筒壁部の少なくとも一部が中間部材に沈み込んだ状態で、中間部材と本体とを一体化させて成形することが可能である。前述したように、本体に設けられた環状の筒壁部の少なくとも先端部が接合部材と一体的に成形された中間部材に沈み込んだ状態で中間部材と本体とが一体化されて成形されていれば、本体の筒壁部の少なくとも先端部の内周面及び先端面（頂面）が接合部材と一体的に成形された中間部材と一体化されていることになる。この結果、本体の第１の境界面と中間部材との間に仮に隙間が生じていても、本体の筒壁部と中間部材との間が確実に封止された状態となるので、本体の凹部と中間部材とによって形成された空間部が本体と中間部材及び接合部材との間では外部から封止された状態となり、空間部内の流体が外部に漏出することが確実に防止される。また、筒壁部は凹部の開口部の周囲に沿って形成されているので、空間部において本体と中間部材との連結部において段差が形成されず、滞留部も生じない。なお、本願において、筒壁部の先端部が中間部材に沈み込んだ状態とは、筒壁部の少なくとも先端面（頂面）及び内周面が中間部材に隙間なく接している状態を意味し、筒壁部の外周面が中間部材に接していない状態を含む。

【0009】

上記配管機器では、前記本体に、前記空間部に連通する流入流路及び流出流路とが形成されているようにすることができる。

【0010】

上記配管機器では、前記中間部材がフィルム状又は板状であることが好ましい。

【0011】

また、前記中間部材の厚さが５０μｍから１００ｍｍの範囲であるようにすることができる。この場合、前記筒壁部が前記中間部材に沈み込んでいる部分の長さが０．５μｍから９５ｍｍの範囲であるようにすることができる。

【0012】

一つの実施形態として、前記第１のフッ素樹脂材料及び前記第２のフッ素樹脂材料がＰＴＦＥとすることができる。この場合、前記第３のフッ素樹脂材料はＰＦＡ又は変性ＰＴＦＥであることが好ましい。

【発明の効果】

【0013】

本発明の配管機器によれば、本体の第１の境界面と中間部材との間に隙間が生じていても、本体の筒壁部と中間部材との間が確実に封止された状態となるので、本体の凹部と中間部材及びこれと一体的に成形された接合部材とによって形成された空間部が本体と中間部材及び接合部材との間において外部から封止された状態となり、空間部内の流体が本体と中間部材及び接合部材との間を通って外部に漏出することが確実に防止される。また、筒壁部は凹部の開口部の周囲に沿って形成されているので、空間部において本体と中間部材との連結部において段差が形成されず、滞留部も生じない。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明による配管機器の一つの実施形態である渦流式流体混合器の全体構成を示した斜視図である。

【図2】図１に示されている配管機器を上方から見た平面図である。

【図3】図２に示されている線ＩＩＩ－ＩＩＩに沿った配管機器の断面図である。

【図4】図１に示されている配管機器を製造する手順の一例を示す説明図である。

【図5】図１に示されている配管機器を製造する手順の一例を示す説明図である。

【図6】図１に示されている配管機器を製造する手順の一例を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、図面を参照して、本発明による配管機器の実施の形態を説明する。
最初に図１から図３を参照して、本発明による配管機器の一例である渦流式流体混合器１１の全体構成を説明する。

【0016】

本発明による配管機器は、第１のフッ素樹脂材料から形成され且つ第１の境界面１３ａを有する本体１３と、第２のフッ素樹脂材料から形成され且つ第２の境界面１５ａを有する接合部材１５と、本体１３と接合部材１５との間に介在し且つ第３のフッ素樹脂材料から形成される中間部材１７とを備え、中間部材１７が第２の境界面１５ａを介して接合部材１５と一体的に成形され接合されている。中間部材１７はフィルム状又は板状であり、厚さは例えば５０μｍから１００ｍｍの範囲とすることができる。

【0017】

本体１３には、第１の境界面１３ａに開口する凹部１９が形成されており、第１の境界面１３ａへの凹部１９の開口の周囲すなわち周縁に沿って第１の境界面１３ａから中間部材の厚さよりも低い長さだけ突出する環状の筒壁部２１が設けられている。凹部１９の内周面と筒壁部２１の内周面とは、滑らかに接続され面一となるように形成されている。また、接合部材１５と一体的に成形された中間部材１７は、環状の筒壁部２１の少なくとも先端部が中間部材１７に沈み込んで埋まる状態で、第１の境界面１３ａ側で本体１３と一体的に成形されている。中間部材１７に沈み込んで埋まる筒壁部２１の長さは、中間部材１７の厚さよりも短く、例えば、０．５μｍから９５ｍｍの範囲とすることができる。しかしながら、中間部材１７に沈み込んで埋まる筒壁部２１の長さは、中間部材１７の厚さよりも短く、筒壁部２１の少なくとも先端面（頂面）が中間部材１７と接して中間部材１７を貫通していなければ、上述の範囲に限定されるものではない。なお、本願において、筒壁部２１の先端部が中間部材１７に沈み込んで埋まった状態とは、筒壁部２１の少なくとも先端面（頂面）及び内周面が中間部材１７に隙間なく接している状態を意味し、筒壁部２１の外周面が中間部材１７に接していない状態を含む。

【0018】

このように、本体１３の凹部１９は、接合部材１５と一体的に成形された中間部材１７で第１の境界面１３ａへの開口を閉鎖することによって、空間部を形成し、本体１３と中間部材１７とは、本体１３の環状の筒壁部２１の少なくとも先端部の内周面及び頂面が中間部材１７と一体化されるように成形されている。この結果、本体１３の第１の境界面１３ａと中間部材１７との間に仮に隙間が生じていても、本体１３の環状の筒壁部２１と中間部材１７との間が確実にシール（すなわち封止）された状態となるので、内部空間から本体１３と接合部材１５との接合部を通った流体の漏出を確実に防止できる。

【0019】

中間部材１７を形成する第３のフッ素樹脂材料は融点以上まで加熱されて溶融した後に冷え固まることにより他の樹脂材料と接合することができる熱融着性フッ素樹脂材料からなり、本体１３を形成する第１のフッ素樹脂材料及び接合部材１５を形成する第２のフッ素樹脂材料は、第３のフッ素樹脂材料の融点で溶融せず形状を維持できる非溶融性を呈する難溶性（非溶融性）のフッ素樹脂材料からなる。

【0020】

難溶性（非溶融性）のフッ素樹脂材料としては、例えば、第３のフッ素樹脂材料の融点よりも高い融点を有するフッ素樹脂材料や、融点まで加熱してもゲル状になって完全には溶融しないフッ素樹脂を使用することができる。また、第１のフッ素樹脂材料と第２のフッ素樹脂材料とは、第３のフッ素樹脂材料の融点で非溶融性を呈することができれば、同一種類のフッ素樹脂材料からなってもよく、異なる種類のフッ素樹脂材料からなってもよい。例えば、第１のフッ素樹脂材料及び第２のフッ素樹脂材料をポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）とし、第３のフッ素樹脂材料をパーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）又は変性ＰＴＦＥとすることができる。

【0021】

本願において、配管機器とは、流体が流れる流路が内部に設けられており且つ配管の一部を構成する機器を意味し、例えばバルブ装置、流体混合器などが含まれる。図１から図３に示されている実施形態では、本発明による配管機器として、渦流式流体混合器１１が例示されており、本体１３の凹部１９と蓋部材を構成する接合部材１５及び中間部材１７とによって形成される空間部が渦室２３として使用されている。凹部１９は断面概略円形状を有した概略円柱形状の空間となっている。また、本体１３の凹部１９の底面（図１から図３に示されている実施形態では空間部の天井面）には、底面の中央部から突出する突出部２５が設けられている。突出部２５は断面概略円形状の概略円柱形状を有しており、突出部２５の周囲に環状の空間が形成されるようになっている。さらに、本体１３には、第１の入口接続端部２７から凹部１９の内周面に対する接線方向に且つ図中の水平方向に延びて凹部１９に連通する第１の流体供給路２９と、第２の入口接続端部３１から図中の上下方向に延びて第１の流体供給路２９の中間部に接続される第２の流体供給路３３と、出口接続端部３５から図中の水平方向に延びた後に概略直角に下方に湾曲して突出部２５を貫通して凹部１９に接続される流体排出路３７とが形成されている。第１の流体供給路２９と第２の流体供給路３３とは、空間部すなわち渦室２３に連通する流入流路を構成し、流体排出路３７は、空間部すなわち渦室２３に連通する流出流路を構成している。なお、突出部２５は、第１の流体供給路２９から渦室２３に流入する流体が突出部２５に衝突して流れるような位置に設けられている。

【0022】

このような渦流式流体混合器１１では、第１の流体供給路２９に供給される主流体に、第１の流体供給路２９に接続される第２の流体供給路３３から供給される添加流体が合流して渦室２３に供給され、合流した流体が渦室２３内で渦流をなし、渦流の作用で混合された後、流体排出路３７から排出される。図１から図３に示されている渦流式流体混合器１１では、凹部１９の底面の中央部から突出する突出部２５が設けられており、流体排出路３７が突出部２５を貫通して延びている。しかしながら、突出部２５の位置は凹部１９の底面の中央部に限定されるものではなく、第１の流体供給路２９から供給される流体の少なくとも一部が突出部２５に衝突するようになっていればよい。さらに、流体排出路３７は、渦室２３内の流体を排出できれば、突出部２５を通らずに凹部１９に接続されていてよく、突出部２５が設けられていなくてもよい。

【0023】

渦流式流体混合器１１では、本体１３の凹部１９の開口の周囲に沿って設けられた筒壁部２１の少なくとも内周面及び先端面（頂面）が蓋部材の一部をなす中間部材１７と一体的に成形されており、本体１３と蓋部材との間がシールされているので、凹部１９と蓋部材とによって形成される空間部が構成する渦室２３内の流体が本体１３と蓋部材との間から外部に漏出することを確実に防止することができる。

【0024】

次に、図４から図６を参照して、図１から図３に示されている渦流式流体混合器１１を製造する方法の一例を説明する。ここでは、渦流式流体混合器１１の中間部材１７が熱融着性の第３のフッ素樹脂材料であるＰＦＡから形成され、本体１３が第３のフッ素樹脂材料であるＰＦＡの融点において非溶融性を呈する難溶性（非溶融性）の第１のフッ素樹脂材料であるＰＴＦＥから形成され、接合部材１５が第３のフッ素樹脂材料であるＰＦＡの融点において非溶融性を呈する難溶性の第２のフッ素樹脂材料であるＰＴＦＥから形成されているものとする。

【0025】

まず、図４に示されているように、ＰＴＦＥから圧縮成形された直方体形状の第１のブランク体３９の底面３９ａに、切削加工により、下方に開口し且つ頂面から下方に突出する突出部２５が設けられた凹部１９を作製し、凹部１９の底面３９ａへの開口の周囲に沿って、内周面が凹部１９の内周面と滑らかに接続され面一になるように第１の境界面１３ａから突出する環状の筒壁部２１を作製する。これにより、第１の境界面１３ａから突出する筒壁部２１が形成される。次に、切削加工により、第１のブランク体３９の第１の側面３９ｂから凹部１９の外周面にその接線方向に接続されるように水平方向に延びる第１の流体供給路２９を作製し、第１のブランク体３９の頂面３９ｃから垂直方向（上下方向）に延びる第２の流体供給路３３を作製し、第１の流体供給路２９の中間部に接続させる。また、切削加工により、第１の側面３９ｂと対向する第１のブランク体３９の第２の側面３９ｄから水平方向に延びる流体通路を作製すると共に突出部２５を貫通して上方に延びる流体通路を作製し、作製した二つの流体通路を接続することによって流体排出路３７を作製する。

【0026】

次に、ＰＴＦＥから圧縮成形された直方体形状の第２のブランク体４１の頂面４１ａに、切削加工により、上方に開口する凹部４３を作製する。凹部４３は、凹部４３の底面から開口部までの長さ（深さ）が第１の境界面１３ａから突出する筒壁部２１の長さ（すなわち高さ）よりも長くなるように作製される。次に、第２のブランク体４１の凹部４３内に、ＰＦＡから形成されるフィルム状又は板状の樹脂集合体４５を収容する。樹脂集合体４５は、その高さが凹部４３の深さよりも低くなるように作製されており、樹脂集合体４５が凹部４３内に収容されたときに凹部４３よりも上方に突出しないようになっている。樹脂集合体４５は、切削加工、押出成形又は射出成形により作製してもよく、ＰＦＡの粉体又はペレットを凹部４３に充填して作製してもよい。

【0027】

次に、第１のブランク体３９に形成された筒壁部２１が樹脂集合体４５に接するように、凹部４３内に樹脂集合体４５が収容された状態の第２のブランク体４１の上に第１のブランク体３９を配置する。さらに、この状態で配置された第１のブランク体３９、第２のブランク体４１及び樹脂集合体４５を加熱炉内に配置して、少なくとも第３のフッ素樹脂材料であるＰＦＡの融点以上まで加熱する。すると、第１のフッ素樹脂材料及び第２のフッ素樹脂材料である難溶性のＰＴＦＥから形成された第１のブランク体３９と第２のブランク体４１は、仮にＰＴＦＥの融点以上まで加熱されてもゲル化して溶融しないので、筒壁部２１及び凹部４３の形状を維持する。一方、熱融着性の第３のフッ素樹脂材料であるＰＦＡから形成される樹脂集合体４５は、融点以上まで加熱されているので、溶融して流動化する。凹部４３を形成する第２のフッ素樹脂材料であるＰＴＦＥが難溶性で第２のブランク体４１が形状を維持しているので、樹脂集合体４５は溶融しても凹部４３内に保持される。また、樹脂集合体４５が溶融すると、図５に示されているように、形状を維持している第１のブランク体３９に形成された第１の境界面１３ａが第２のブランク体４１の頂面４１ａに当接するまで、ブランク体３９に作製された筒壁部２１が樹脂集合体４５内に沈み込こむ。筒壁部２１の高さは凹部４３の深さよりも短いので、第１のブランク体３９に形成された第１の境界面１３ａが第２のブランク体４１の頂面４１ａに当接したとき、第１のブランク体３９に形成された筒壁部２１の先端面は第２のブランク体４１に形成された凹部４３の底面に接触しない。この状態で冷却すると、筒壁部２１の少なくとも先端部が樹脂集合体４５を貫通せず、樹脂集合体４５内に沈み込んで埋まった状態で、樹脂集合体４５と第１のブランク体３９とが一体的に成形されて融着されると共に、樹脂集合体４５と第２のブランク体４１とが一体的に成形されて融着される。樹脂集合体４５と第２のブランク体４１が一体的に成形されて融着された状態では、樹脂集合体４５の底面と接する第２のブランク体４１の凹部４３の底面が第２の境界面１５ａをなす。

【0028】

次に、一体的に成形されて融着された第１のブランク体３９、第２のブランク体４１及び樹脂集合体４５を切削加工することによって、図６に示されるように、渦流式流体混合器１１を作製することができる。詳細には、切削加工により、第１のブランク体３９の流体供給路２９、第２の流体供給路３３及び流体排出路３７の端部に、それぞれ、第１の入口接続端部２７、第２の入口接続端部３１及び出口接続端部３５を作製して、本体１３が作製される。また、筒壁部２１の外周面と面一になるまで第２のブランク体４１及び樹脂集合体４５の側部及び底部を切削加工することによって、第２の境界面１５ａを介して一体的に成形された接合部材１５及び中間部材１７（すなわち蓋部材）が作製される。こうして作製された渦流式流体混合器１１において、筒壁部２１の周囲の第１のブランク体３９の底面が第１の境界面１３ａを構成し、中間部材１７の底面と接する接合部材１５の頂面（第２のブランク体４１の凹部４３の底面から作製される部分）が第２の境界面１５ａを構成する。

【0029】

本体１３の筒壁部２１が接合部材１５と一体的に形成された中間部材１７を貫通することなく、少なくとも先端部が中間部材１７に沈み込んで埋まった状態で中間部材１７と一体的に成形されて融着されることによって、本体１３の凹部１９が接合部材１５及び中間部材１７によって封鎖され、渦室２３をなす空間部が形成される。また、筒壁部２１の先端部が少なくとも内周面と先端面（頂面）において中間部材１７と一体的に成形されているので、本体１３と接合部材１５及び中間部材１７との間が確実に封止され、内部空間の流体が本体１３と接合部材１５及び中間部材１７との間から外部に漏出することを防止することができる。さらに、筒壁部２１は、中間部材１７となる樹脂集合体４５を溶融させた状態で樹脂集合体４５内に沈み込むので、筒壁部２１と中間部材１７との接続部において段差部が形成されて、滞留部を生じさせることを抑制することができる。

【0030】

以上、図示されている本発明の流体機器の実施形態である渦流式流体混合器１１を参照して、本発明を説明したが、本発明は、図示されている実施形態に限定されるものではない。例えば、図示されている実施形態では、本発明による配管機器として、渦流式流体混合器１１を例示しているが、配管機器とは、流体が流れる流路を内部に有し且つ配管の一部として使用される機器を意味し、例えばバルブ装置、流体混合器などが含まれる。また、図示されている実施形態では、第１のフッ素樹脂材料及び第２のフッ素樹脂材料としてＰＴＦＥが使用され、第３のフッ素樹脂材料としてＰＦＡが使用されているが、第１のフッ素樹脂材料、第２のフッ素樹脂材料及び第３のフッ素樹脂材料はこれらに限定されるものではない。さらに、本発明の配管機器の一例である渦流式流体混合器１１の製造方法はあくまで例示であり、本発明の配管機器の構成を満たすものであれば、その製造方法は限定されるものではない。

【符号の説明】

【0031】

１１ 渦流式流体混合器
１３ 本体
１３ａ 第１の境界面
１５ 接合部材
１５ａ 第２の境界面
１７ 中間部材
１９ 凹部
２１ 筒壁部

【要約】

【課題】配管機器において二つの部材を隙間なく且つ段差部を生じさせずに接続する。
【解決手段】配管機器は、第１のフッ素樹脂材料から形成され、第１の境界面１３ａを有する本体１３と、第２のフッ素樹脂材料から形成され、第２の境界面１５ａを有する接合部材１５と、第３のフッ素樹脂材料から形成され、第２の境界面１５ａを介して接合部材１５と一体的に成形された中間部材１７とを備える。本体１３が第１の境界面１３ａに開口する凹部１９を有し、中間部材１７の厚さよりも低い長さだけ突出する筒壁部２１が凹部１９の開口の周囲に沿って設けられている。第１のフッ素樹脂材料及び第２のフッ素樹脂材料が第３のフッ素樹脂材料の融点で非溶融性を呈する非溶融性フッ素樹脂材料であり、中間部材１７は、筒壁部２１の少なくとも先端部が中間部材に沈み込んだ状態で、本体１３と一体化されて成形され、中間部材と凹部とによって空間部を形成している。
【選択図】図３

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】