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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-09-27
(45)【発行日】2024-10-07
(54)【発明の名称】剥離装置
(51)【国際特許分類】
B65H 41/00 20060101AFI20240930BHJP
【ＦＩ】
B65H41/00 B
【請求項の数】
6
(21)【出願番号】P 2020132053
(22)【出願日】2020-08-03
(65)【公開番号】P2021024745
(43)【公開日】2021-02-22
【審査請求日】2023-08-01
(31)【優先権主張番号】P 2019142439
(32)【優先日】2019-08-01
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000002428
【氏名又は名称】芝浦メカトロニクス株式会社
(72)【発明者】
【氏名】手島 慶
【審査官】松江川 宗
(56)【参考文献】
【文献】特開２００６－００８２７６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００６－１６８９２９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－０４７９６８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－１０１８６４（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ６５Ｈ ２９／５４－２９／７０，３７／００－３７／０６，
４１／００，４５／００－４７／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
長方形形状の保護シートが貼付された表示装置用パネルを支持する支持部と、前記表示装置用パネルに向かって移動し、長手方向が前記保護シートの長手方向に交差する方向の粘着テープの粘着面を前記保護シートの長手方向の一端である剥離始端に圧着してから、前記表示装置用パネルから離れることにより、前記保護シートを前記剥離始端から剥離する圧着ツールと、
前記圧着ツールによる前記剥離始端の剥離に抗して、前記表示装置用パネルを前記支持部に押さえ付ける押さえと、
を有する剥離装置。
【請求項2】
前記押さえは、前記剥離始端が剥離されることにより生じた前記保護シートと前記表示装置用パネルとの間のスペースを、前記保護シートの剥離始端と反対側の剥離終端へ向かう方向に、前記表示装置用パネルに対して相対移動することによって、前記保護シートの全体を前記表示装置用パネルから剥離することを特徴とする請求項１記載の剥離装置。
【請求項3】
前記粘着テープの長手方向の移動に従って、前記圧着ツールから外れた位置に移動する前記保護シートの下方に垂受部材が配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の剥離装置。
【請求項4】
前記圧着ツールの近傍に、前記粘着テープの短手方向の位置の変位を規制するガイド部を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の剥離装置。
【請求項5】
前記支持部に支持された表示装置用パネルの前記保護シートの貼付位置を、前記圧着ツールによる剥離動作前及び剥離動作後に撮像する撮像部を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の剥離装置。
【請求項6】
粘着面が露出している時間が所定のしきい値を超えている粘着テープを、前記圧着ツールによる圧着位置から排出することにより、後続の粘着テープを前記圧着ツールに供給する給排機構を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、剥離装置に関する。
【背景技術】
【0002】
液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）等の表示装置は、基板の上に回路及び信号線を形成する工程、基板を貼り合せて表示領域を構成する基板としてのパネルを形成する工程、パネルにおける表示領域の外側の端子に、駆動用のドライバＩＣ等を取り付ける工程を経て製造される。
【0003】
ドライバＩＣの実装方法として、従来から、ＣＯＦ（ｃｈｉｐ ｏｎ ｆｉｌｍ）等のドライバＩＣを搭載したフレキシブルなフィルム状の電子部品を用いた方法が行われている。これは、パネルの表示領域の周囲から、表示面と平行な水平方向に露出して形成された端子に対して、電子部品の端子を圧着して接続する方法である。さらに、以上のような電子部品に対して、水平状態でプリント基板を圧着することにより、外部との接続を確保する配線を電気的に接続し、表示装置を製造していた。
【0004】
このような表示装置用のパネルと電子部品との端子同士の接続や電子部品とプリント基板との接続には、加熱圧着により、それぞれの部品の電極間の導電性が確保される異方性導電フィルム（ＡＣＦ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ）が用いられている。（特許文献１参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開平０７－２５３５９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
以上のようなパネルには、製造工程における不具合を防止するために、保護シートが貼り付けられている。例えば、パネルの表示領域や電子部品を接続する領域には、傷つき防止のための保護シートが貼り付けられている。さらに、これとは別に、表示領域と電子部品を接続する領域との間に、パネルを補強するための保護シート（補強シート）が貼り付けられることがある。例えば、パネルが樹脂製であって、パネルの最終形態が表示領域とパネルの縁部との間で折り曲げられた形状となる場合がある。パネルが折り曲げられる部分は、折り曲げられ易くなるように、事前に、パネルの電子部品が圧着される側の反対側をレーザーによって薄く加工される。つまり、電子部品を接続する領域と表示領域との間に薄く加工された部分が存在する。
【0007】
このように薄く加工されてしまうと、その部分においてパネルの剛性が弱くなって不安定となり、電子部品の圧着に支障が生じる可能性がある。このため、薄く加工された部分に保護シートを貼り付けておいてパネルを補強しておき、電子部品圧着後、保護テープを剥がし、樹脂で覆ってからパネルを折り曲げる。
【0008】
一方、表示領域の保護シートは、電子部品を接続する領域の保護シートや薄く加工された部分の補強のための保護シートとは、分離して剥離可能に設けられている。これは、電子部品を接続する領域に電子部品を接続する際やさらに薄く加工された部分の保護シートを剥離する際に、表示領域の保護は継続しておく必要があるためである。つまり、表示装置用のパネルには、３つの独立した保護シートが貼り付けられることがある。
【0009】
これにより、電子部品を接続する領域の保護シートを剥離して、端子に電子部品を接続した後も、それ以外の領域には保護シートを貼り付けたままとする。そして、その後の工程で、薄く加工された部分の保護シートを剥離して、導電性部分を保護するために樹脂で覆う。しかしながら、電子部品を接続する領域の保護シートや、薄く加工された部分の補強のための保護シートは非常に幅が狭い（数ｍｍ程度）ため、手作業で剥離するにしても、自動的に剥離するにしても、目的の保護シートのみを確実に剥離することが難しく、効率的な剥離が行なえる装置が求められていた。
【0010】
本発明は、上述のような課題を解決するために提案されたものであり、表示装置用パネルに貼り付けられた保護シートの効率的な剥離が行える剥離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0011】
上記の目的を達成するために、本発明の剥離装置は、長方形形状の保護シートが貼付された表示装置用パネルを支持する支持部と、長手方向が前記保護シートの長手方向に交差する方向の粘着テープの粘着面を、前記保護シートの長手方向の一端である剥離始端に圧着してから、前記表示装置用パネルから離れることにより、前記保護シートを前記剥離始端から剥離する圧着ツールと、前記圧着ツールによる前記剥離始端の剥離に抗して、前記表示装置用パネルを前記支持部に押さえ付ける押さえと、を有する。
【発明の効果】
【0012】
本発明は、表示装置用パネルに貼り付けられた保護シートの効率的な剥離が行える剥離装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】実施形態の剥離の対象となる保護シートが貼り付けられた表示装置用パネルを示す平面図である。
【図2】実施形態の剥離装置を示す正面図である。
【図3】圧着部、押さえ及び垂受部を示す斜視図である。
【図4】圧着ツール及び押さえを示す斜視図である。
【図5】圧着面、粘着テープ及び保護シートの位置を示す平面図である。
【図6】押さえ部の駆動機構を示す平面図である。
【図7】制御装置を示すブロック図である。
【図8】実施形態の剥離手順を示すフローチャートである。
【図9】圧着ツールによる保護シートの剥離始端の剥離動作を示す説明図である。
【図10】押さえによる保護シートの全体の剥離動作を示す説明図である。
【図11】圧着ツールによる保護シートの剥離始端の剥離動作を示す説明図である。
【図12】垂受部材の動作を示す説明図である。
【図13】粘着力の回復処理の手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0014】
本発明の実施の形態（以下、本実施形態と呼ぶ）について、図面を参照して具体的に説明する。
【0015】
［表示装置用パネル］
図１を参照して、保護シートＰＳを剥離する対象となる表示装置用パネル（以下、単にパネルとする）Ｓを説明する。パネルＳは、表示機能を有する表示部Ｄと、駆動回路を有する電子部品Ｆとの接続を行うための端子Ｔを有する部材である。端子Ｔは導電性を有する部材であり、パネルＳの一方の面に、外縁を構成する辺に沿う方向に並べて配置されている。各端子Ｔは、複数の端子Ｔの並び方向に直交する方向に延びて、互いに平行となっている。このようなパネルＳの端子Ｔには、例えば、ＣＯＦ等のドライバＩＣを搭載したフレキシブルなフィルム状の電子部品Ｆが、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を介した加熱圧着により接続される。
図１を参照して、保護シートＰＳを剥離する対象となる表示装置用パネル（以下、単にパネルとする）Ｓを説明する。パネルＳは、表示機能を有する表示部Ｄと、駆動回路を有する電子部品Ｆとの接続を行うための端子Ｔを有する部材である。端子Ｔは導電性を有する部材であり、パネルＳの一方の面に、外縁を構成する辺に沿う方向に並べて配置されている。各端子Ｔは、複数の端子Ｔの並び方向に直交する方向に延びて、互いに平行となっている。このようなパネルＳの端子Ｔには、例えば、ＣＯＦ等のドライバＩＣを搭載したフレキシブルなフィルム状の電子部品Ｆが、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を介した加熱圧着により接続される。
【0016】
パネルＳの表示部Ｄを含む平面方向の領域を表示領域Ａｄと呼ぶ。パネルＳの端子Ｔを含む平面方向の領域のうち、電子部品Ｆが接続される領域を接続領域Ａｃと呼ぶ。パネルＳの表示領域Ａｄと接続領域Ａｃとの間の平面方向の領域を狭間領域Ａｉと呼ぶ。パネルＳは矩形状であり、表示領域Ａｄの外縁は、パネルＳの外縁に近似し、パネルＳの大半の領域を占める矩形状の領域である。接続領域Ａｃは、パネルＳの外縁の一辺に沿った矩形状の領域である。狭間領域Ａｉは、表示領域Ａｄと接続領域Ａｃとの間に沿った矩形状の領域である。狭間領域ＡｉのパネルＳは、曲げ易いように、裏面（端子Ｔが形成された面とは反対側の面）が薄く加工されている。接続領域Ａｃ及び狭間領域Ａｉは、表示領域Ａｄと比べて幅狭の領域である。
【0017】
パネルＳの表面には、保護シートＰＳが貼り付けられている。この保護シートＰＳは、樹脂製であり、複数の領域に対して分離して剥離可能となるように、分割して設けられている。より具体的には、パネルＳの表面の全体に貼り付けられた保護シートＰＳが、表示領域Ａｄ、狭間領域Ａｉ、接続領域Ａｃの境界に直線状の切込みが入れられることによって、保護シートＰＳｘ、ＰＳｙ、ＰＳｚに分離可能に設けられている。保護シートＰＳｘは、表示領域Ａｄに貼り付けられた矩形状のシートである。保護シートＰＳｙは、接続領域Ａｃに貼り付けられた矩形状のシートである。保護シートＰＳｚは、狭間領域Ａｉに貼り付けられた矩形状のシートである。接続領域Ａｃ及び狭間領域Ａｉは、表示領域Ａｄと比べて幅狭の領域であるため、これを保護する保護シートＰＳｙ、ＰＳｚも、保護シートＰＳｘに比べて幅狭の形状となっている。つまり、保護シートＰＳｙ、ＰＳｚは、長辺の長さが短辺の長さの２倍以上の短冊状又はテープ状の長方形状である。
【0018】
本実施形態では、剥離の対象となる保護シートＰＳは、狭間領域Ａｉを補強する保護シートＰＳｚで説明する。図１では、接続領域Ａｃに保護シートＰＳｙが図示されているが、本実施形態による剥離の前工程では、保護シートＰＳｙは剥離され、端子Ｔに電子部品Ｆが接続されている。表示領域Ａｄを保護する保護シートＰＳｘは、表示部Ｄを保護するために、貼り付けられたままである。
【0019】
［粘着テープ］
本実施形態に使用される粘着テープＴＰは、パネルＳに貼り付けられた短冊状の保護シートＰＳｚを剥離するための部材である。図２、図３及び図４に示すように、粘着テープＴＰは、樹脂製で、帯状の長尺の部材であり、一方の面が粘着性を有する。粘着テープＴＰは、後述する給排機構３００によって、送り出し、巻き取りが行われる（図２参照）。
本実施形態に使用される粘着テープＴＰは、パネルＳに貼り付けられた短冊状の保護シートＰＳｚを剥離するための部材である。図２、図３及び図４に示すように、粘着テープＴＰは、樹脂製で、帯状の長尺の部材であり、一方の面が粘着性を有する。粘着テープＴＰは、後述する給排機構３００によって、送り出し、巻き取りが行われる（図２参照）。
【0020】
［概要］
次に、剥離装置１００の概要を説明する。図２に示すように、剥離装置１００は、支持部２００、給排機構３００、圧着部４００、押さえ部５００、垂受部６００、撮像部７００、制御装置８００を有する。支持部２００は、基板である表示装置用パネルのパネルＳを支持する。給排機構３００は、圧着部４００に、粘着テープＴＰの供給、排出を行う機構である。圧着部４００は、圧着ツール４１０を有する。圧着ツール４１０が、粘着テープＴＰの粘着面を、保護シートＰＳｚの一端に圧着してから、粘着テープＴＰと共にパネルＳから離れることにより、粘着テープＴＰの粘着面に圧着された保護シートＰＳｚを、当該一端から剥離する（図９参照）。このように保護シートＰＳｚが剥離を開始する一端を剥離始端Ｂとし、その反対側の他端を剥離終端Ｅとする。
次に、剥離装置１００の概要を説明する。図２に示すように、剥離装置１００は、支持部２００、給排機構３００、圧着部４００、押さえ部５００、垂受部６００、撮像部７００、制御装置８００を有する。支持部２００は、基板である表示装置用パネルのパネルＳを支持する。給排機構３００は、圧着部４００に、粘着テープＴＰの供給、排出を行う機構である。圧着部４００は、圧着ツール４１０を有する。圧着ツール４１０が、粘着テープＴＰの粘着面を、保護シートＰＳｚの一端に圧着してから、粘着テープＴＰと共にパネルＳから離れることにより、粘着テープＴＰの粘着面に圧着された保護シートＰＳｚを、当該一端から剥離する（図９参照）。このように保護シートＰＳｚが剥離を開始する一端を剥離始端Ｂとし、その反対側の他端を剥離終端Ｅとする。
【0021】
圧着ツール４１０は、粘着テープＴＰを保護シートＰＳｚに押圧して圧着する圧着面４１１を有する（図１参照）。圧着ツール４１０は圧着面４１１で、剥離始端Ｂを含む位置、つまり、剥離始端Ｂに重なる位置を圧着する。
【0022】
押さえ部５００は、図６に示すように、押さえ５１０を有する。押さえ５１０は、図９に示すように、圧着ツール４１０によって保護シートＰＳｚに圧着された粘着テープＴＰの上昇による保護シートＰＳｚの剥離始端Ｂの剥離に抗して、パネルＳを支持部２００（図２参照）に押さえ付ける。また、図９に示すように、剥離始端Ｂが剥離されることにより、保護シートＰＳｚとパネルＳとの間にスペースが生じる。このスペースにおいて、押さえ５１０が、保護シートＰＳｚの剥離終端Ｅへ向かう方向へ、パネルＳに対して相対移動することによって、保護シートＰＳｚの全体をパネルＳから剥離する。
【0023】
垂受部６００は、図２に示すように、垂受部材６１０を有する。垂受部材６１０は、図３に示すように、粘着テープＴＰに貼り付けられて、圧着ツール４１０から巻取リール３３１に掛けて移動する保護シートＰＳｚの下方に配置されている。
【0024】
撮像部７００は、支持部２００に支持されたパネルＳの保護シートＰＳｚの貼付領域を、剥離動作前及び剥離動作後に撮像する。保護シートＰＳｚの貼付領域とは、上記の狭間領域Ａｉであり、撮像時に保護シートＰＳｚが存在するか否かは問わない。制御装置８００は、剥離装置１００の各部を制御する。
【0025】
圧着ツール４１０が、粘着テープＴＰを保護シートＰＳｚに押圧するために移動する方向を圧着方向、これと逆の方向を初期剥離方向とする。圧着方向、初期剥離方向は、図中のＺ方向に沿う方向に相当する。圧着面４１１に平行な平面において、パネルＳが圧着面４１１に対向する位置に搬入される方向を搬入方向、搬出される方向を搬出方向とする。搬入方向、搬出方向は、図中のＸ方向に沿う方向に相当する。さらに、圧着面４１１に平行な平面において、搬入方向、搬出方向に直交し、押さえ５１０が保護シートＰＳｚを剥離するために、剥離終端Ｅに向かって移動する方向を剥離動作方向、剥離始端Ｂに戻るために移動する方向を復帰方向とする。剥離動作方向、復帰ために相対移動する方向を圧着方向、方向は、図中のＹ方向に沿う方向に相当する。
【0026】
なお、本実施形態の剥離装置１００は、圧着面４１１が水平となるように設置されている。したがって、圧着方向、初期剥離方向、Ｚ方向は鉛直方向となる。以下の説明では、鉛直方向において、剥離装置１００の設置面側を下、その反対側を上とする。また、Ｚ方向の位置を高さと呼ぶ場合がある。但し、剥離装置１００の設置方向は、これには限定されない。また、図５に示すように、ＸＹ平面上の圧着面４１１の位置を、圧着位置ＡＰとする。圧着位置ＡＰは、例えば、ＸＹ平面の座標系における圧着面４１１が剥離始端Ｂを押さえるべき位置座標とする。但し、この圧着位置ＡＰは一点で特定されてもよいし、矩形の四隅等の複数の点で特定されてもよい。
【0027】
［支持部］
支持部２００は、図２に示すように、支柱２１１、移動テーブル２２０、駆動機構２３０、ステージ２４０、駆動機構２５０を有する。支柱２１１は、図示しない架台に立設された部材である。架台は設置面に設置されている。移動テーブル２２０は、圧着面４１１に平行な板状体であり、支柱２２１に圧着方向、初期剥離方向に移動可能に支持されている。駆動機構２３０は、移動テーブル２２０を圧着方向、初期剥離方向に移動させる機構である。駆動機構２３０としては、例えば、支柱２２１に設けられ、駆動源により回動するボールねじによって昇降するボールねじ機構を用いる。
支持部２００は、図２に示すように、支柱２１１、移動テーブル２２０、駆動機構２３０、ステージ２４０、駆動機構２５０を有する。支柱２１１は、図示しない架台に立設された部材である。架台は設置面に設置されている。移動テーブル２２０は、圧着面４１１に平行な板状体であり、支柱２２１に圧着方向、初期剥離方向に移動可能に支持されている。駆動機構２３０は、移動テーブル２２０を圧着方向、初期剥離方向に移動させる機構である。駆動機構２３０としては、例えば、支柱２２１に設けられ、駆動源により回動するボールねじによって昇降するボールねじ機構を用いる。
【0028】
ステージ２４０は、パネルＳの裏面を支持する載置面２４１を有する板状体である。載置面２４１は、圧着面４１１に平行な面である。載置面２４１には、図示しない空気圧回路に接続された吸引穴が設けられ、負圧によってパネルＳを吸着保持する。つまり、ステージ２４０は、パネルＳを保持する保持部として、バキュームチャックを有している。なお、保持部としては、静電チャック、メカチャックを用いることもできる。駆動機構２５０は、ステージ２４０を、Ｘ方向及びＹ方向に沿う２軸方向に移動させる機構である。駆動機構２５０は、例えば、モータ等の駆動源によって、ボールねじを回動させることによってスライダを移動させるリニアガイドを、互いに直交する方向で２段に重ねて備えた２軸機構によって構成する。ステージ２４０は、駆動機構２５０を介して移動テーブル２２０上に支持されることにより、パネルＳを搬入方向、搬出方向に移動させることができ、圧着位置ＡＰへ保護シートＰＳｚを位置決めすることができる。
【0029】
なお、圧着ツール４１０による粘着テープＴＰの圧着後、ステージ２４０が、パネルＳを押さえ５１０から退避させる際には、駆動機構２３０による初期剥離方向（Ｚ方向の下側）への動作、駆動機構２５０による復帰方向（Ｙ方向の剥離始端Ｂ側）への動作を組み合わせることにより、斜め下方に移動する。
【0030】
［給排機構］
給排機構３００は、図２に示すように、本体部３１０、供給部３２０、排出部３３０を有し、粘着テープＴＰを、パネルＳに貼り付けられた長方形形状の保護シートＰＳｚの長手方向に交差する方向で、後述する圧着部４００に供給する機構である。つまり、供給部３２０から送り出された粘着テープＴＰは、パネルＳに貼り付けられた長方形形状の保護シートＰＳｚの長辺に直交する方向に、圧着ツール４１０の圧着面４１１に接するように供給されて、排出部３３０に巻き取られる。本体部３１０は、略直方体形状のプレートであり、図示しない架台に、支持部２００と隣接する位置に、後述する駆動機構４３０を介して立設されている。
給排機構３００は、図２に示すように、本体部３１０、供給部３２０、排出部３３０を有し、粘着テープＴＰを、パネルＳに貼り付けられた長方形形状の保護シートＰＳｚの長手方向に交差する方向で、後述する圧着部４００に供給する機構である。つまり、供給部３２０から送り出された粘着テープＴＰは、パネルＳに貼り付けられた長方形形状の保護シートＰＳｚの長辺に直交する方向に、圧着ツール４１０の圧着面４１１に接するように供給されて、排出部３３０に巻き取られる。本体部３１０は、略直方体形状のプレートであり、図示しない架台に、支持部２００と隣接する位置に、後述する駆動機構４３０を介して立設されている。
【0031】
供給部３２０は、Ｙ方向に平行な回動軸を有し、本体部３１０の上側に設けられた供給リール３２１、経路ローラ３２２を有する。供給リール３２１は、粘着テープＴＰが巻回され、回動により粘着テープＴＰが送り出されるリールである。供給リール３２１は、図示しないトルク制御装置を介して所望の回転抵抗で支持されており、後述の巻取りリール３３１の駆動に従って、粘着テープＴＰを所定長ずつ弛みなく送出可能に設けられている。ここで、トルク制御装置を介した所望の回転抵抗とは、後述する初期剥離において、保護シートＰＳｚのパネルＳに対する粘着力に抗して、粘着テープＴＰを弛み無く維持する回転抵抗である。
【0032】
経路ローラ３２２は、供給リール３２１から送り出された粘着テープＴＰの移動をガイドするとともに、粘着テープＴＰの移動方向を変換することにより、圧着部４００に向かう方向に、粘着テープＴＰを送り出す。経路ローラ３２２の軸は、本体部３１０に対する位置が固定である。経路ローラ３２２には、エンコーダが設けられ、回転数をカウントすることにより、粘着テープＴＰの送出量を検出できる。
【0033】
排出部３３０は、Ｙ方向に平行な回動軸を有し、供給部３２０の下方に設けられた巻取リール３３１、経路ローラ３３２を有する。巻取リール３３１は、圧着部４００を通過し、保護シートＰＳｚが圧着された粘着テープＴＰを巻き取るリールである。巻取リール３３１は、図示しないモータにより回動することにより、粘着テープＴＰを所定長ずつ巻き取り可能に設けられている。上述したように、この回動によって供給リール３２１から粘着テープＴＰが所定長ずつ送出されることになる。経路ローラ３３２は、圧着部４００からの粘着テープＴＰの移動をガイドするとともに、移動方向を変換して巻取リール３３１に送り出す。
【0034】
［圧着部］
圧着部４００は、図２、図３及び図４に示すように、圧着ツール４１０、ガイド部４２０、駆動機構４３０を有する。圧着ツール４１０は、本体部３１０に配置された略直方体形の部材である。圧着ツール４１０は、圧着面４１１を有する。圧着面４１１は、支持部２００のステージ２４０に平行に対向し、長方形状の平坦な面である。圧着面４１１の長辺は粘着テープＴＰの幅よりも長く、その長辺がＹ方向に沿うように配置されている。また、圧着面４１１の短辺の長さｗｓは、図５に示すように、保護シートＰＳｚの短辺、つまり幅ｗｔ以下の長さとすることが好ましい。これにより、隣接する保護シートＰＳｘに粘着テープＴＰが接触することを防止する。
圧着部４００は、図２、図３及び図４に示すように、圧着ツール４１０、ガイド部４２０、駆動機構４３０を有する。圧着ツール４１０は、本体部３１０に配置された略直方体形の部材である。圧着ツール４１０は、圧着面４１１を有する。圧着面４１１は、支持部２００のステージ２４０に平行に対向し、長方形状の平坦な面である。圧着面４１１の長辺は粘着テープＴＰの幅よりも長く、その長辺がＹ方向に沿うように配置されている。また、圧着面４１１の短辺の長さｗｓは、図５に示すように、保護シートＰＳｚの短辺、つまり幅ｗｔ以下の長さとすることが好ましい。これにより、隣接する保護シートＰＳｘに粘着テープＴＰが接触することを防止する。
【0035】
また、圧着面４１１は、図１、図５に示すように、平面視で、保護シートＰＳｚの剥離始端Ｂを含むように対向する。つまり、圧着面４１１の全面が保護シートＰＳｚに重なるように圧着するのではなく、圧着面４１１の一部の面が、保護シートＰＳｚからの長辺方向（Ｙ方向）にはみ出すように圧着する。このとき、圧着位置ＡＰに対して、保護シートＰＳｚの剥離始端Ｂが位置決めされて粘着テープＴＰが圧着される。このため、剥離始端Ｂが位置決めされる圧着位置ＡＰは、平面視で圧着面４１１の内側に設定されている。ここで、圧着ツール４１０の圧着面４１１の中心を圧着位置ＡＰとし、粘着テープＴＰは、粘着テープＴＰの幅の中心が圧着位置ＡＰと重なった状態で、例えば、粘着テープＴＰの幅ｈが１５ｍｍだった場合に、保護シートＰＳｚに粘着する幅ｈｔが１０ｍｍ程度、粘着しない幅ｈｓが５ｍｍ程度となるように、保護シートＰＳｚの剥離始端Ｂが圧着位置ＡＰに対して位置決めされて圧着される。
【0036】
ガイド部４２０は、図４に示すように、供給リールと圧着ツール４１０との間で、圧着ツール４１０に連続して設けられ、粘着テープＴＰの幅方向の変位を規制する。ガイド部４２０は、摺動面４２１、ガイド面４２２を有する。摺動面４２１は、粘着テープＴＰの非粘着面に沿う面である。ガイド面４２２は、摺動面４２１から粘着テープＴＰの厚み方向に立ち上げられ、粘着テープＴＰを挟んで対向する一対の内壁である。ガイド面４２２に、粘着テープＴＰの両縁が接することにより、粘着テープＴＰの幅方向の変位が規制される。これにより、給排機構３００によって送られる粘着テープＴＰを圧着面４１１上で安定して走行させることができる。また、ガイド部４２０は、圧着ツール４１０と共通の部材となっているので、部材数を低減でき、構成を簡略化でき、組み立て工数を削減できる。なお、ガイド面４２２と圧着面４１１との境界となる角および圧着ツール４１０のガイド面４２２とは反対側の側面と圧着面４１１との境界となる角には、丸みが形成されている。これにより、粘着テープＴＰの傷つきを防止して、移動をスムーズにしている。
【0037】
駆動機構４３０は、図２に示すように、本体部３１０に配置された圧着ツール４１０を圧着方向及び初期剥離方向に移動させる機構である。駆動機構４３０は、例えば、モータ等の駆動源によって、ボールねじを回動させ、ガイドレールに沿って、本体部３１０を移動させるリニアガイド等で構成される。
【0038】
［押さえ部］
押さえ部５００は、図２に示すように、押さえ５１０、駆動機構５２０を有する。押さえ５１０は、支持部２００のステージ２４０に平行な平板状の部材である。本実施形態においては、押さえ５１０は、Ｙ方向のみ移動し、Ｘ方向、Ｚ方向には動かず、固定である。押さえ５１０は、図４に示すように、押圧部５１１、５１２、剥離部５１３を有する。押圧部５１１は、パネルＳの表示領域Ａｄを押さえる部位であり、以下、第１の押圧部と呼ぶ。押圧部５１２は、パネルＳの接続領域Ａｃを押さえる部位であり、以下、第２の押圧部と呼ぶ。剥離部５１３は、図１０に示すように、押さえ５１０が剥離動作方向に移動することによって、粘着テープＴＰに接しながら、粘着テープＴＰの全体を剥離する部位である。
押さえ部５００は、図２に示すように、押さえ５１０、駆動機構５２０を有する。押さえ５１０は、支持部２００のステージ２４０に平行な平板状の部材である。本実施形態においては、押さえ５１０は、Ｙ方向のみ移動し、Ｘ方向、Ｚ方向には動かず、固定である。押さえ５１０は、図４に示すように、押圧部５１１、５１２、剥離部５１３を有する。押圧部５１１は、パネルＳの表示領域Ａｄを押さえる部位であり、以下、第１の押圧部と呼ぶ。押圧部５１２は、パネルＳの接続領域Ａｃを押さえる部位であり、以下、第２の押圧部と呼ぶ。剥離部５１３は、図１０に示すように、押さえ５１０が剥離動作方向に移動することによって、粘着テープＴＰに接しながら、粘着テープＴＰの全体を剥離する部位である。
【0039】
第１の押圧部５１１及び第２の押圧部５１２は、押さえ部５００がパネルＳを押さえる際に、図６に示すように、パネルＳに重なるが、剥離部５１３はパネルＳに重ならない。そして、第１の押圧部５１１と第２の押圧部５１２との間隔は、圧着面４１１及び粘着テープＴＰを含む圧着ツール４１０が進入、退出可能となっている（図１１参照）。
【0040】
本実施形態の押さえ５１０の第１の押圧部５１１、剥離部５１３、第２の押圧部５１２は、連続することによりその内縁が略Ｕ字形、つまり一辺が破断した矩形状をなしている。この連続した内縁を、凹状の切欠部５１４と呼ぶ。切欠部５１４の側面は、支持部２００に向かって広がるテーパ面５１５によって形成されている。これにより、切欠部５１４に、圧着ツール４１０とともに粘着テープＴＰが進入した際に、粘着テープＴＰの粘着面に接する切欠部５１４の面積が低減するので、粘着テープＴＰが切欠部５１４の側面に粘着することによる引っ掛かり等が発生し難い。また、このように第１の押圧部５１１、剥離部５１３、第２の押圧部５１２を連続した一部材とすることにより、押圧する部材と剥離する部材を別に用意する場合に比べて、構成の簡略化が可能となる。なお、パネルＳの浮きを防止するためには、第１の押圧部５１１、第２の押圧部５１２によって、パネルＳの表示領域Ａｄと接続領域Ａｃを押さえることが好ましいが、いずれか一方であってもよい。この場合、パネルＳの浮きは外縁側から発生するので、押圧部５１２のみとし、パネルＳの外縁側（接続領域Ａｃ側）のみを押さえることでもよい。
【0041】
また、押さえ５１０のパネルＳとは接しない面には、非粘着処理が施されることにより、粘着テープＴＰの貼り付きを防止している。例えば、押さえ５１０の表面に、樹脂による非粘着コーティング等がなされている。勿論、押さえ５１０の全面に、非粘着処理が施されてもよい。さらに、押さえ５１０のパネルＳに接する面には、保護テープが貼り付けられることにより、パネルＳ及び保護シートＰＳｘへの傷付きを防止している。例えば、押さえ５１０の表面にポリイミドを主体とするテープが貼り付けられている。
【0042】
駆動機構５２０は、図６に示すように、押さえ５１０を剥離動作方向に移動させることにより、一端が剥離された保護シートＰＳｚとパネルＳとの間に剥離部５１３を挿入して、パネルＳから保護シートＰＳｚの全長に亘って、つまり全体を剥離させる（図１０参照）。また、駆動機構５２０は、押さえ５１０を復帰方向に移動させる。駆動機構５２０は、例えば、モータ等の駆動源によって、ボールねじを回動させることにより、ガイドレールに沿って押さえ５１０を支持するアーム５２１を移動させるリニアガイド５２２を用いる。
【0043】
［垂受部］
垂受部６００は、図２に示すように、垂受部材６１０、駆動機構６２０を有する。垂受部材６１０は、粘着テープＴＰの送り方向に沿って配置された板状の部材である。垂受部材６１０は、図３に示すように、押さえ部５００に隣接した水平面から連続して、上方に傾斜した複数の傾斜面と、さらに連続した水平面を有している。この垂受部材６１０は、保護シートＰＳｚの全長より長い幅で、粘着テープＴＰの経路に沿って、押さえ部５００の際から巻取リール３３１の外形に係る位置に達するまでの位置に設けられている。つまり、垂受部材６１０は、粘着テープＴＰが巻取リール３３１に巻き取られるまでの間、剥落した保護シートＰＳｚを受け取れる形状となっている。なお、垂受部６００の主用途は、剥離した保護シートＰＳｚの電子部品Ｆへの付着の防止であるから、剥離されて巻取リール３３１に送られる保護シートＰＳｚが電子部品Ｆに付着する可能性のある範囲を少なくともカバーできる長さ（粘着テープＴＰの送り方向の長さ）を有していれば良い。駆動機構６２０は、垂受部材６１０を、上下方向に移動させる機構である。例えば、駆動機構６２０としては、シリンダを用いる。このため、電子部品Ｆが接続されたパネルＳを搬入する際、電子部品Ｆに垂受部６１０が接触しない様、垂受部６１０を退避させることができる。
垂受部６００は、図２に示すように、垂受部材６１０、駆動機構６２０を有する。垂受部材６１０は、粘着テープＴＰの送り方向に沿って配置された板状の部材である。垂受部材６１０は、図３に示すように、押さえ部５００に隣接した水平面から連続して、上方に傾斜した複数の傾斜面と、さらに連続した水平面を有している。この垂受部材６１０は、保護シートＰＳｚの全長より長い幅で、粘着テープＴＰの経路に沿って、押さえ部５００の際から巻取リール３３１の外形に係る位置に達するまでの位置に設けられている。つまり、垂受部材６１０は、粘着テープＴＰが巻取リール３３１に巻き取られるまでの間、剥落した保護シートＰＳｚを受け取れる形状となっている。なお、垂受部６００の主用途は、剥離した保護シートＰＳｚの電子部品Ｆへの付着の防止であるから、剥離されて巻取リール３３１に送られる保護シートＰＳｚが電子部品Ｆに付着する可能性のある範囲を少なくともカバーできる長さ（粘着テープＴＰの送り方向の長さ）を有していれば良い。駆動機構６２０は、垂受部材６１０を、上下方向に移動させる機構である。例えば、駆動機構６２０としては、シリンダを用いる。このため、電子部品Ｆが接続されたパネルＳを搬入する際、電子部品Ｆに垂受部６１０が接触しない様、垂受部６１０を退避させることができる。
【0044】
［撮像部］
撮像部７００は、図２に示すように、支持部２００に支持されたパネルＳを撮像する。撮像部７００は、図示しない支持台によって、本体部３１０との位置が固定となるように支持されている。撮像部７００は、保護シートＰＳｚを剥離する前の狭間領域Ａｉと、保護シートＰＳｚを剥離後の狭間領域Ａｉを撮像する。これにより、剥離が正常に行われたか否かが判断できる。撮像部７００による撮像位置は、剥離前と剥離後で、ステージ２４０によって位置決めされる共通の位置である。
撮像部７００は、図２に示すように、支持部２００に支持されたパネルＳを撮像する。撮像部７００は、図示しない支持台によって、本体部３１０との位置が固定となるように支持されている。撮像部７００は、保護シートＰＳｚを剥離する前の狭間領域Ａｉと、保護シートＰＳｚを剥離後の狭間領域Ａｉを撮像する。これにより、剥離が正常に行われたか否かが判断できる。撮像部７００による撮像位置は、剥離前と剥離後で、ステージ２４０によって位置決めされる共通の位置である。
【0045】
撮像部７００は、カメラを有する。カメラは、レンズ等を含む光学部材、撮像素子であるＣＣＤ、ＣＣＤの受光量に応じて画像データを生成する画像処理回路を有するＣＣＤカメラである。カメラは、光源からの光の反射光を受光することにより撮像する。本実施形態では、光源として、例えば、保護シートＰＳｘ、ＰＳｙ、ＰＳｚの境界が際立つ赤色の照明を用いる。
【0046】
［制御装置］
制御装置８００は、図２に示すように、剥離装置１００の各部を制御する装置である。この制御装置８００は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって構成できる。つまり、支持部２００、給排機構３００、圧着部４００、押さえ部５００、垂受部６００、撮像部７００の制御に関して、その制御内容がプログラムされており、ＰＬＣやＣＰＵなどの処理装置により実行される。
制御装置８００は、図２に示すように、剥離装置１００の各部を制御する装置である。この制御装置８００は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって構成できる。つまり、支持部２００、給排機構３００、圧着部４００、押さえ部５００、垂受部６００、撮像部７００の制御に関して、その制御内容がプログラムされており、ＰＬＣやＣＰＵなどの処理装置により実行される。
【0047】
このような制御装置８００の構成を、ブロック図である図７を参照して説明する。すなわち、制御装置８００は、機構制御部８１、画像処理部８２、移動量演算部８３、移動指示部８４、時間判定部８５、巻取指示部８６、状態判定部８７、記憶部８８、入出力制御部８９を有する。機構制御部８１は、支持部２００の駆動機構２３０、駆動機構２５０、給排機構３００、圧着部４００の駆動機構４３０、押さえ部５００の駆動機構５２０、垂受部６００の駆動機構６２０、撮像部７００を制御する。
【0048】
画像処理部８２は、撮像部７００が撮像した画像を、表示や位置判定に適した画像に変換する。移動量演算部８３は、画像処理部８２が処理した画像から、保護シートＰＳｚの剥離始端Ｂの位置を判定し、圧着位置ＡＰへ移動するための移動量を演算する。例えば、画像処理部８２が生成した白黒の２値画像に基づいて、剥離始端Ｂのラインの位置座標を判定する。
【0049】
この位置座標は、上記の圧着位置ＡＰの位置座標が設定されたＸＹ平面の座標系における位置座標である。この座標系においては、圧着位置ＡＰの位置座標と、撮像部７００の撮像位置の位置座標は固定であり、撮像部７００により撮像された画像における位置座標を、座標系の位置座標に変換できる。このため、移動量演算部８３は、画像から判定した剥離始端Ｂの位置座標から、圧着位置ＡＰの位置座標までのＸＹの移動量を求めることができる。なお、前回の圧着位置ＡＰの位置座標からのずれ量を求めて、このずれ量に基づいて、補正した移動量を求めてもよい。
【0050】
移動指示部８４は、移動量演算部８３により演算された移動量に従って、支持部２００の駆動機構２５０が駆動されるように、機構制御部８１に指示する。これにより、ステージ２４０におけるパネルＳの位置にばらつきがあっても、剥離始端Ｂを圧着位置ＡＰへ正確に位置決めできる。
【0051】
時間判定部８５は、制御装置８００の内部の時計から取得される時間に基づいて、剥離装置１００が剥離動作を停止した時点からの経過時間を求め、経過時間がしきい値以上となったか否かを判定する。なお、経過時間がしきい値を超えているか否かの判定は、例えば、日付が変わっているか否かによって行ってもよい。巻取指示部８６は、経過時間がしきい値を超えていた場合に、粘着テープＴＰの粘着面が露出していた部分を巻き取って回収する動作を、給排機構３００に行わせるように、機構制御部８１に指示する。この巻き取りによる粘着テープＴＰの送り出し量としては、供給リール３２１から圧着面４１１までの粘着テープＴＰの経路中、粘着面が露出して経過時間がしきい値以上となった部分が、圧着面４１１から外れるような送り出し量があらかじめ設定されている。送り出し量は、経路ローラ３２２のエンコーダにより検知する。送り出し量は、例えば、粘着テープＴＰが供給リール３２１から離れた部分から圧着ツール４１０の圧着面４１１までの粘着テープＴＰの経路長分の長さとすることができる。
【0052】
状態判定部８７は、撮像部７００により撮像された画像に基づいて、保護シートＰＳｚの状態を判定する。つまり、状態判定部８７は、画像処理部８２によって処理された画像に基づいて、保護シートＰＳｚの有無、正常な形状との相違等を判断して、正常か否かを判定する。
【0053】
記憶部８８は、本実施形態の制御に必要な情報を記憶する。例えば、上記のようなプログラムとともに、上記の撮像された画像、保護シートＰＳｚの位置決めのための座標系及び位置座標、移動量、補正量、時間判定部８５の判定のための時間のしきい値、粘着テープＴＰの送り出し量等が、記憶部８８に記憶されている。入出力制御部８９は、制御対象となる各部との間での信号の変換や入出力を制御するインタフェースである。
【0054】
さらに、制御装置８００には、入力装置９１、出力装置９２が接続されている。入力装置９１は、オペレータが、制御装置８００を介して剥離装置１００を操作するためのスイッチ、タッチパネル、キーボード、マウス等の入力手段である。上記のしきい値等は、入力装置９１から所望の値を入力して設定することができる。
【0055】
出力装置９２は、装置の状態を確認するための情報を、オペレータが認識可能な状態とするディスプレイ、ランプ、メータ、スピーカ、ブザー等の出力手段である。例えば、撮像部７００により撮像された画像は、ディスプレイに表示され、オペレータが保護シートＰＳｚの剥離を確認できる。また、時間判定部８５により、経過時間がしきい値を超えていると判定された場合に、粘着テープＴＰの粘着力が低下したとして、ディスプレイ、ランプの点灯、スピーカ、ブザーからの音声により報知される。つまり、出力装置９２は、粘着力の低下の報知手段として機能する。
【0056】
［動作］
剥離装置１００の動作を、図１～図７に加えて、図８のフローチャート、図９～図１２の説明図、図１３のフローチャートを参照して説明する。図９及び図１０は、図６に示した矢視Ｍの図であり、図１１及び図１２は、図６に示した矢視Ｎの図である。以下の説明では、押さえ５１０のパネルＳに対向する面のＺ方向の位置を、基準位置ＲＰとする（図９～図１２参照）。
剥離装置１００の動作を、図１～図７に加えて、図８のフローチャート、図９～図１２の説明図、図１３のフローチャートを参照して説明する。図９及び図１０は、図６に示した矢視Ｍの図であり、図１１及び図１２は、図６に示した矢視Ｎの図である。以下の説明では、押さえ５１０のパネルＳに対向する面のＺ方向の位置を、基準位置ＲＰとする（図９～図１２参照）。
【0057】
（粘着テープのセット）
まず、図２に示すように、給排機構３００に、粘着テープＴＰをセットする。すなわち、巻回された粘着テープＴＰを供給リール３２１に嵌め込む。そして、引き出した粘着テープＴＰが、経路ローラ３２２を経由して圧着ツール４１０のガイド部４２０を通り、圧着面４１１を覆う位置から、経路ローラ３３２を経由して巻取リール３３１に達するように張設する。そして、給排機構３００により、保護シートＰＳｚに圧着される粘着テープＴＰの粘着面が、圧着ツール４１０の圧着面４１１に送り出された後、供給リール３２１、巻取リール３３１の回転を停止し、粘着テープＴＰの動きを固定する。
まず、図２に示すように、給排機構３００に、粘着テープＴＰをセットする。すなわち、巻回された粘着テープＴＰを供給リール３２１に嵌め込む。そして、引き出した粘着テープＴＰが、経路ローラ３２２を経由して圧着ツール４１０のガイド部４２０を通り、圧着面４１１を覆う位置から、経路ローラ３３２を経由して巻取リール３３１に達するように張設する。そして、給排機構３００により、保護シートＰＳｚに圧着される粘着テープＴＰの粘着面が、圧着ツール４１０の圧着面４１１に送り出された後、供給リール３２１、巻取リール３３１の回転を停止し、粘着テープＴＰの動きを固定する。
【0058】
（剥離前の撮像）
一方、パネルＳは、図１に示すように、前工程において、接続領域Ａｃから保護シートＰＳｘが剥離され、電子部品Ｆが接続されている。このパネルＳは、図２に示すように、ステージ２４０に載置され、負圧により吸着保持される。そして、保護シートＰＳｚの剥離動作前に、撮像部７００がパネルＳの狭間領域Ａｉを撮像する（ステップＳ１０１）。なお、垂受部材６１０は、電子部品Ｆが接続されたパネルＳが搬入される際に、電子部品Ｆと接触しない高さである初期位置にある（図１１参照）。
一方、パネルＳは、図１に示すように、前工程において、接続領域Ａｃから保護シートＰＳｘが剥離され、電子部品Ｆが接続されている。このパネルＳは、図２に示すように、ステージ２４０に載置され、負圧により吸着保持される。そして、保護シートＰＳｚの剥離動作前に、撮像部７００がパネルＳの狭間領域Ａｉを撮像する（ステップＳ１０１）。なお、垂受部材６１０は、電子部品Ｆが接続されたパネルＳが搬入される際に、電子部品Ｆと接触しない高さである初期位置にある（図１１参照）。
【0059】
移動量演算部８３は、撮像された画像から、剥離始端Ｂの位置座標を判定し、剥離始端Ｂが圧着面４１１に対向する位置に移動させるまでの移動量を求める（ステップＳ１０２）。移動指示部８４は、算出された移動量に従った移動指示を機構制御部８１に出力することにより、機構制御部８１は支持部２００の駆動機構２５０がステージ２４０を移動させる。これにより、図９（Ａ）、図１１（Ａ）に示すように、圧着面４１１の圧着位置ＡＰに対向する位置に、保護シートＰＳｚの剥離始端Ｂが位置決めされる（ステップＳ１０３）。
【0060】
なお、状態判定部８７は、撮像部７００により撮像され、画像処理部８２によって処理された画像に基づいて、保護シートＰＳｚの状態を判定する。保護シートＰＳｚが無い、又は保護シートＰＳｚの状態が異常と判断された場合は、正常でないとして、出力装置９２のディスプレイ等によってその旨をオペレータに通知して、機構制御部８１によってパネルＳを排出させる。オペレータへの通知は、再度の撮像による保護シートＰＳｚの状態判断を促す通知であってもよい。
【0061】
（初期剥離動作）
次に、図９（Ｂ）、図１１（Ｂ）に示すように、駆動機構４３０の駆動により本体部３１０が下降して、本体部３１０に設けられている圧着ツール４１０も下降して、押さえ５１０の切欠部５１４に進入し、圧着面４１１を覆う粘着テープＴＰの粘着面が、基準位置ＲＰに達する位置で停止する（ステップＳ１０４）。これにより、押さえ５１０のパネルＳに対向する面と、粘着テープＴＰの粘着面とが同じ高さとなる。
次に、図９（Ｂ）、図１１（Ｂ）に示すように、駆動機構４３０の駆動により本体部３１０が下降して、本体部３１０に設けられている圧着ツール４１０も下降して、押さえ５１０の切欠部５１４に進入し、圧着面４１１を覆う粘着テープＴＰの粘着面が、基準位置ＲＰに達する位置で停止する（ステップＳ１０４）。これにより、押さえ５１０のパネルＳに対向する面と、粘着テープＴＰの粘着面とが同じ高さとなる。
【0062】
図９（Ｃ）、図１１（Ｃ）に示すように、駆動機構２３０によって支持部２００のステージ２４０が、圧着部４００に向かって上昇することにより、パネルＳが押さえ５１０と圧着面４１１を覆う粘着テープＴＰの粘着面に押し付けられる（ステップＳ１０５）。これにより、保護シートＰＳｚの剥離始端Ｂに、粘着テープＴＰが圧着される。
【0063】
そして、図９（Ｄ）、図１１（Ｄ）に示すように、駆動機構４３０の駆動によって圧着ツール４１０が上昇することにより、粘着テープＴＰの粘着面に圧着された保護シートＰＳｚの剥離始端Ｂも上昇して、パネルＳから保護シートＰＳｚの剥離始端Ｂが剥離される（初期剥離）（ステップＳ１０６）。このとき、図１及び図４に示すように、押さえ５１０の第１の押圧部５１１、第２の押圧部５１２が、接続領域Ａｃ、表示領域Ａｄを押さえているため、パネルＳの浮き上がりが防止される。なお、本実施形態では、図９（Ｄ）、図１０のように、保護シートＰＳｙが剥離されているので、保護シートＰＳｘとの段差が生じている。この段差によって不具合が生じるような場合には、第２の押圧部５１２の裏面に、厚めのポリイミドシート等を貼って段差を解消するように対応することができる。
【0064】
（全体剥離動作）
次に、図１０（Ａ）に示すように、支持部２００のステージ２４０が、斜め下方に移動して、パネルＳが押さえ５１０から離される（ステップＳ１０７）。この動作は、Ｚ方向のみの移動でパネルＳを押さえ５１０から離してしまうと、剥離途中である保護シートＰＳｚにかかる張力によって、粘着テープＴＰに圧着された保護シートＰＳｚが粘着テープＴＰから剥離してしまう虞を回避する為である。つまり、剥離途中である保護シートＰＳｚに張力を発生させずに、パネルＳを押さえ５１０から離す為、Ｙ方向とＺ方向を複合した動作をしている。そして、駆動機構５２０によって押さえ５１０が剥離動作方向に移動することにより、保護シートＰＳｚの全体を剥離させる（ステップＳ１０８）。ステージ２４０の移動により、パネルＳは押さえ５１０から離れるので、押さえ５１０はパネルＳとの接触なく移動が可能となる。
次に、図１０（Ａ）に示すように、支持部２００のステージ２４０が、斜め下方に移動して、パネルＳが押さえ５１０から離される（ステップＳ１０７）。この動作は、Ｚ方向のみの移動でパネルＳを押さえ５１０から離してしまうと、剥離途中である保護シートＰＳｚにかかる張力によって、粘着テープＴＰに圧着された保護シートＰＳｚが粘着テープＴＰから剥離してしまう虞を回避する為である。つまり、剥離途中である保護シートＰＳｚに張力を発生させずに、パネルＳを押さえ５１０から離す為、Ｙ方向とＺ方向を複合した動作をしている。そして、駆動機構５２０によって押さえ５１０が剥離動作方向に移動することにより、保護シートＰＳｚの全体を剥離させる（ステップＳ１０８）。ステージ２４０の移動により、パネルＳは押さえ５１０から離れるので、押さえ５１０はパネルＳとの接触なく移動が可能となる。
【0065】
詳説すると、図１０（Ｂ）に示すように、押さえ５１０が移動することにより、剥離部５１３の縁部が、保護シートＰＳｚに接触する。そして、図１０（Ｃ）に示すように、押さえ５１０が継続して移動することにより剥離を進行させて行く。そして、図１０（Ｄ）に示すように、押さえ５１０の剥離部５１３が剥離終端Ｅ上に到達した時点で押さえ５１０の移動を停止させる。押さえ５１０の剥離部５１３が剥離終端Ｅに達することにより、保護シートＰＳｚが全長に亘ってパネルＳから剥離される。この時、剥離始端Ｂが粘着テープＴＰに粘着された保護シートＰＳｚは、剥離終端Ｅが剥離部５１３の上面に載置された状態となる。この押さえ５１０の動作により、保護シートＰＳｚと粘着テープＴＰが圧着している部分にかかる、保護シートＰＳｚの張力のＺ成分を小さくして剥離することが出来る。よって、保護シートＰＳｚを確実にパネルＳより剥離することが可能となる。
【0066】
（送り出し動作）
次に、図１２（Ａ）に示すように、垂受部材６１０が基準位置ＲＰより上方の初期位置（図１１参照）から基準位置ＲＰよりも下に下降する（ステップＳ１０９）。そして、図１２（Ｂ）に示すように、給排機構３００により粘着テープＴＰを送ることにより、保護シートＰＳｚの粘着テープＴＰに粘着された剥離始端Ｂが移動し、それと共に剥離終端Ｅは剥離部５１３の上面から第２の押圧部５１２の上面を摺動して（図１０（Ｄ）参照）、保護シートＰＳｚが、垂受部材６１０の上方に移動していく（ステップＳ１１０）。こうして、図３に示すように、保護シートＰＳｚの一端である剥離始端Ｂが粘着テープＴＰに貼り付けられた状態で、粘着テープＴＰが巻き取りリール３３１に巻き取られて回収され、同時に、粘着テープＴＰの新たな粘着面が、圧着面４１１の領域に来る。そして、駆動機構５２０によって押さえ５１０が復帰方向に移動し、初期位置に復帰する。なお、本実施形態では、粘着テープＴＰに、保護シートＰＳｚが直交する方向に粘着され、回収されているが、厳密な直交方向にしなくても良い。
次に、図１２（Ａ）に示すように、垂受部材６１０が基準位置ＲＰより上方の初期位置（図１１参照）から基準位置ＲＰよりも下に下降する（ステップＳ１０９）。そして、図１２（Ｂ）に示すように、給排機構３００により粘着テープＴＰを送ることにより、保護シートＰＳｚの粘着テープＴＰに粘着された剥離始端Ｂが移動し、それと共に剥離終端Ｅは剥離部５１３の上面から第２の押圧部５１２の上面を摺動して（図１０（Ｄ）参照）、保護シートＰＳｚが、垂受部材６１０の上方に移動していく（ステップＳ１１０）。こうして、図３に示すように、保護シートＰＳｚの一端である剥離始端Ｂが粘着テープＴＰに貼り付けられた状態で、粘着テープＴＰが巻き取りリール３３１に巻き取られて回収され、同時に、粘着テープＴＰの新たな粘着面が、圧着面４１１の領域に来る。そして、駆動機構５２０によって押さえ５１０が復帰方向に移動し、初期位置に復帰する。なお、本実施形態では、粘着テープＴＰに、保護シートＰＳｚが直交する方向に粘着され、回収されているが、厳密な直交方向にしなくても良い。
【0067】
（剥離後撮像）
支持部２００の駆動機構２３０、駆動機構２５０が、ステージ２４０を撮像位置に移動させて、撮像部７００が、パネルＳの狭間領域Ａｉを撮像する。状態判定部８７は、撮像された画像に基づいて、保護シートＰＳｚが残存している等と判断した場合には、正常でないとして、出力装置９２のディスプレイ等によってその旨をオペレータに通知する。
支持部２００の駆動機構２３０、駆動機構２５０が、ステージ２４０を撮像位置に移動させて、撮像部７００が、パネルＳの狭間領域Ａｉを撮像する。状態判定部８７は、撮像された画像に基づいて、保護シートＰＳｚが残存している等と判断した場合には、正常でないとして、出力装置９２のディスプレイ等によってその旨をオペレータに通知する。
【0068】
以上の動作は、一つのパネルＳの保護シートＰＳｚを剥離する手順であるが、ステージ２４０に載置されたパネルＳを交換して、上記の手順により、順次、パネルＳの保護シートＰＳｚを剥離することができる。このように、剥離された保護シートＰＳｚは、粘着テープＴＰに端部が貼り付けられた状態で、次々と貼り付けられていき、粘着テープＴＰとともに巻取リール３３１に巻き取られて、回収される。
【0069】
（粘着力のチェック）
次に、粘着テープＴＰの粘着力をチェックして、粘着力の低下した粘着テープＴＰを排除する動作を、図１３のフローチャートを参照して説明する。粘着テープＴＰは、空気中に継続して晒されると時間の経過と共に粘着力が徐々に低下することがあることが知られている。そのため、時間判定部８５は、動作停止から剥離動作開始までの経過時間を計測して、粘着力をチェックしている。つまり、剥離動作を停止した後、次に剥離動作を開始する際に、剥離動作を停止した時点からの経過時間が時間判定部８５により判定される（ステップＳ２０１）。この判定された時間が、所定のしきい値を超える場合には（ステップＳ２０２）、巻取指示部８６の指示により、給排機構３００は、粘着テープＴＰの巻き取りを開始する（ステップＳ２０３）。
次に、粘着テープＴＰの粘着力をチェックして、粘着力の低下した粘着テープＴＰを排除する動作を、図１３のフローチャートを参照して説明する。粘着テープＴＰは、空気中に継続して晒されると時間の経過と共に粘着力が徐々に低下することがあることが知られている。そのため、時間判定部８５は、動作停止から剥離動作開始までの経過時間を計測して、粘着力をチェックしている。つまり、剥離動作を停止した後、次に剥離動作を開始する際に、剥離動作を停止した時点からの経過時間が時間判定部８５により判定される（ステップＳ２０１）。この判定された時間が、所定のしきい値を超える場合には（ステップＳ２０２）、巻取指示部８６の指示により、給排機構３００は、粘着テープＴＰの巻き取りを開始する（ステップＳ２０３）。
【0070】
エンコーダにより、所定量の送出が検出された場合には（ステップＳ２０４のＹＥＳ）、送り出しと巻き取りを停止する（ステップＳ２０５）。ここで、所定量とは、例えば、粘着テープＴＰが供給リール３２１から離れた部分から圧着ツールの圧着面までの粘着テープＴＰの経路長分の長さである。これにより、時間が経過して、粘着テープＴＰの粘着力が低下した部分を使用しないようにすることができる。例えば、粘着面が露出してから２４時間が経過した粘着テープＴＰの部分は、使用しないようにすることができる。
【0071】
［作用効果］
（１）本実施形態の剥離装置１００は、長方形形状の保護シートＰＳｚが貼付されたパネルＳを支持する支持部２１０と、パネルＳに向かって移動し、長手方向が保護シートＰＳｚの長手方向に交差する方向の粘着テープＴＰの粘着面を保護シートＰＳｚの長手方向の一端である剥離始端Ｂに圧着してから、パネルＳから離れることにより、保護シートＰＳｚを剥離始端Ｂから剥離する圧着ツール４１０と、を有する剥離装置。
（１）本実施形態の剥離装置１００は、長方形形状の保護シートＰＳｚが貼付されたパネルＳを支持する支持部２１０と、パネルＳに向かって移動し、長手方向が保護シートＰＳｚの長手方向に交差する方向の粘着テープＴＰの粘着面を保護シートＰＳｚの長手方向の一端である剥離始端Ｂに圧着してから、パネルＳから離れることにより、保護シートＰＳｚを剥離始端Ｂから剥離する圧着ツール４１０と、を有する剥離装置。
【0072】
このように構成することにより、粘着テープＴＰによって、保護シートＰＳｚの一端から剥離することにより、目的とする保護シートＰＳｚの効率的な剥離を行うことができる。例えば、保護シートＰＳｚの端部以外の部分から剥離する場合、両端の付着が継続しているため、より強い力が必要となり剥離のミスが生じ易いが、本実施形態では、一端から剥離するため、その後の剥離をスムーズに行うことができる。保護シートＰＳｚの一端だけが粘着テープＴＰに貼り付けられて回収されるので、保護シートＰＳｚの全長に亘って粘着テープＴＰに付着されて回収するよりも、粘着テープＴＰを節約することができる。
【0073】
（２）圧着ツール４１０の圧着後、粘着テープＴＰの上昇による保護シートＰＳｚの剥離始端Ｂの剥離に抗して、パネルＳを支持部２００に押さえ付ける押さえ５１０を有する。このため、支持部２００に支持されていても、剥離始端Ｂの剥離に追従してパネルＳが浮き上がりやずれが生じてしまうことが防止され、剥離のミスが発生しにくい。例えば、保持部としてバキュームチャックを用いたとしても、剥離始端Ｂを剥離するときには、保持部の保持力に負けて、パネルＳに浮き上がりやずれが生じる可能性がある。本実施形態では、押さえ５１０がパネルＳを押さえることによって、このような不具合を防止できる。
【0074】
（３）押さえ５１０は、剥離始端Ｂが剥離されることにより生じた保護シートＰＳｚとパネルＳとの間のスペースを、保護シートＰＳｚの剥離始端Ｂと反対側の剥離終端Ｅへ向かう方向に、パネルＳに対して相対移動することによって、保護シートＰＳｚの全体をパネルＳから剥離する。このため、パネルＳを押さえる部材と剥離する部材を共通化することができ、構成を簡略化しつつ、保護シートＰＳｚの効率的な剥離を行うことができる。
【0075】
（４）粘着テープＴＰの長手方向の移動に従って、圧着ツール４１０から外れた位置に移動する剥離した保護シートＰＳｚの下方に垂受部材６１０が配置されている。このため、剥離した保護シートＰＳｚがパネルＳや他の箇所に付着してしまうことを防止できる。
【0076】
（５）圧着ツール４１０の近傍に、粘着テープＴＰの短手方向の位置の変位を規制するガイド部４２０を有する。このため、粘着テープＴＰの蛇行等が防止され、圧着位置ＡＰに対する位置ずれを低減できる。
【0077】
（６）支持部２００に支持されたパネルＳの保護シートＰＳｚの貼付位置を、保護シートＰＳｚの剥離動作前及び剥離動作後に撮像する撮像部７００を有する。これにより、既に保護シートＰＳｚが剥離してしまっているパネルＳに対して剥離動作を行ってしまうこと、保護シートＰＳｚが剥離できていないパネルＳを次工程に流してしまうことを防止できる。
【0078】
（７）粘着面が露出している時間が所定のしきい値を超えている粘着テープＴＰを、圧着ツール４１０による圧着位置ＡＰから排出することにより、後続の粘着テープＴＰを圧着ツール４１０に供給する給排機構３００を有する。このため、粘着力が弱くなってしまった粘着テープＴＰを使用することを防止して、剥離ミスの発生を低減できる。
【0079】
［他の実施形態］
本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような態様も含む。
（１）パネルＳは、表示装置用の表示領域とリード等の導電性を有する部分を備え、保護シートＰＳが貼り付けられた基板であればよい。例えば、液晶パネル、有機ＥＬパネル等、現在又は将来において利用可能な表示領域を有する基板であればよい。
本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような態様も含む。
（１）パネルＳは、表示装置用の表示領域とリード等の導電性を有する部分を備え、保護シートＰＳが貼り付けられた基板であればよい。例えば、液晶パネル、有機ＥＬパネル等、現在又は将来において利用可能な表示領域を有する基板であればよい。
【0080】
（２）ステージ２４０、圧着ツール４１０、押さえ５１０、垂受部材６１０の移動は、相対移動であればよい。つまり、圧着ツール４１０による粘着テープＴＰへの保護シートＰＳｚの剥離始端Ｂへの圧着は、圧着ツール４１０側の移動によって行っても、ステージ２４０側の移動によって行っても、双方の移動によって行ってもよい。押さえ５１０によるパネルＳの押さえ付けも、押さえ５１０側の移動によって行っても、ステージ２４０側の移動によって行っても、双方の移動によって行ってもよい。ステージ２４０に対する垂受部材６１０の移動も、ステージ２４０側の移動によって行っても、垂受部材６１０側の移動によって行っても、双方の移動によって行ってもよい。
【0081】
（３）また、圧着ツール４１０の圧着面４１１に、粘着テープＴＰを吸着する吸着装置を設けても良い。つまり、供給部３２０による粘着テープＴＰの送出後、吸着装置を作動させて、粘着テープＴＰを圧着面４１１に吸着させ、圧着する。その後、圧着ツール４１０を上昇させて、保護シートＰＳｚを剥離し、吸着装置の吸引を解除する。この様な構成によれば、保護シートＰＳｚの剥離時に、吸着装置による吸引力も加わって粘着テープＴＰを上昇させるので、より強力に保護シートＰＳｚを剥離することができ、より確実に保護シートＰＳｚの剥離が可能となる。
【0082】
（４）本実施形態では、保護シートＰＳｚの剥離で説明したが、保護シートＰＳｙを剥離する場合は、保護シートＰＳｙの剥離始端を、圧着面４１１の圧着位置ＡＰに対向するように、パネルＳを位置決めすれば、同様に、保護シートＰＳｙの剥離が可能となる。
【0083】
以上、本発明の実施形態及び各部の変形例を説明したが、この実施形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。
【符号の説明】
【0084】
７０ 撮像部
８１ 機構制御部
８２ 画像処理部
８３ 移動量演算部
８４ 移動指示部
８５ 時間判定部
８６ 巻取指示部
８７ 状態判定部
８８ 記憶部
８９ 入出力制御部
９１ 入力装置
９２ 出力装置
１００ 剥離装置
２００ 支持部
２１０ 支柱
２２０ 移動テーブル
２３０ 駆動機構
２４０ ステージ
２４１ 載置面
２５０ 駆動機構
３００ 給排機構
３１０ 本体部
３２０ 供給部
３２１ 供給リール
３２２ 経路ローラ
３３０ 排出部
３３１ 巻取リール
３３２ 経路ローラ
４００ 圧着部
４１０ 圧着ツール
４１１ 圧着面
４２０ ガイド部
４２１ 摺動面
４２２ ガイド面
４３０ 駆動機構
５００ 押さえ部
５１０ 押さえ
５１１ 第１の押圧部
５１２ 第２の押圧部
５１３ 剥離部
５１４ 切欠部
５１５ テーパ面
５２０ 駆動機構
５２１ アーム
５２２ リニアガイド
６００ 垂受部
６１０ 垂受部材
６２０ 駆動機構
７００ 撮像部
８００ 制御装置
８１ 機構制御部
８２ 画像処理部
８３ 移動量演算部
８４ 移動指示部
８５ 時間判定部
８６ 巻取指示部
８７ 状態判定部
８８ 記憶部
８９ 入出力制御部
９１ 入力装置
９２ 出力装置
１００ 剥離装置
２００ 支持部
２１０ 支柱
２２０ 移動テーブル
２３０ 駆動機構
２４０ ステージ
２４１ 載置面
２５０ 駆動機構
３００ 給排機構
３１０ 本体部
３２０ 供給部
３２１ 供給リール
３２２ 経路ローラ
３３０ 排出部
３３１ 巻取リール
３３２ 経路ローラ
４００ 圧着部
４１０ 圧着ツール
４１１ 圧着面
４２０ ガイド部
４２１ 摺動面
４２２ ガイド面
４３０ 駆動機構
５００ 押さえ部
５１０ 押さえ
５１１ 第１の押圧部
５１２ 第２の押圧部
５１３ 剥離部
５１４ 切欠部
５１５ テーパ面
５２０ 駆動機構
５２１ アーム
５２２ リニアガイド
６００ 垂受部
６１０ 垂受部材
６２０ 駆動機構
７００ 撮像部
８００ 制御装置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】