特許 7562358 振動型駆動装置およびこれを備えた装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-27

(45)【発行日】2024-10-07

(54)【発明の名称】振動型駆動装置およびこれを備えた装置

(51)【国際特許分類】

   H02N 2/04 20060101AFI20240930BHJP

   G02B 7/04 20210101ALI20240930BHJP

【ＦＩ】

H02N2/04

G02B7/04 E

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2020166207

(22)【出願日】2020-09-30

(65)【公開番号】P2022057781

(43)【公開日】2022-04-11

【審査請求日】2023-09-20

(73)【特許権者】

【識別番号】000001007

【氏名又は名称】キヤノン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100110412

【弁理士】

【氏名又は名称】藤元 亮輔

(74)【代理人】

【識別番号】100104628

【弁理士】

【氏名又は名称】水本 敦也

(74)【代理人】

【識別番号】100121614

【弁理士】

【氏名又は名称】平山 倫也

(72)【発明者】

【氏名】浅野 幸太

【審査官】服部 俊樹

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－２３６５２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０３９９９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１４０７６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０３７０５４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０２Ｎ ２／０４

Ｇ０２Ｂ ７／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電気－機械エネルギ変換素子により振動が励起される振動体および該振動体を保持する保持部材により構成された振動体ユニットと、前記振動体が接触する接触体と、前記振動体を前記接触体に接触させるように加圧する加圧部とを有し、前記振動体に可聴域より高い周波数の振動が励起されることにより該振動体と前記接触体とが相対移動する振動型駆動装置であって、
前記振動体は、弾性体と該弾性体に接着された圧電素子とにより構成され、
前記加圧部は、
第１の加圧板と、
該第１の加圧板と前記振動体との間に設けられた振動絶縁部材と、
前記第１の加圧板に対して前記振動絶縁部材とは反対側において対向し、前記第１の加圧板に当接する突起部を有する第２の加圧板と、
前記第２の加圧板に加圧力を与える加圧部材とにより構成され、
前記弾性体は、前記保持部材に接触しており、
前記弾性体と前記第２の加圧板との間に前記圧電素子が配置されており、
前記振動体の駆動周波数をｆ_Ｄ、前記振動体ユニットが有する複数の振動モードのうち可聴域での振動モードの周波数をｆ_ＳＭＮ（Ｎは整数）、前記接触体に発生する面外振動の周波数をｆ_ＳＬとするとき、前記接触体は、
ｆ_Ｄ±ｆ_ＳＭＮ≠ｆ_ＳＬ
なる条件を満足する形状を有することを特徴とする振動型駆動装置。

【請求項2】

ｆ_Ｄ±ｆ_ＳＭＮとｆ_ＳＬが、０．４ｋＨｚ以上の差を有することを特徴とする請求項１に記載の振動型駆動装置。

【請求項3】

前記接触体は、ｆ_Ｄ±ｆ_ＳＭＮに最も近いｆ_ＳＬでの面外振動の腹部における面外方向の剛性と前記腹部以外の部分における前記面外方向の剛性とが互いに異なる形状を有することを特徴とする請求項１または２に記載の振動型駆動装置。

【請求項4】

前記接触体は、前記腹部と前記腹部以外の部分の前記面外方向での厚みが互いに異なる形状を有することを特徴とする請求項３に記載の振動型駆動装置。

【請求項5】

前記接触体は、前記振動体との接触面とは反対側の面に凹凸が設けられることで前記腹部と前記腹部以外の部分の前記厚みが互いに異なることを特徴とする請求項４に記載の振動型駆動装置。

【請求項6】

前記接触体は、前記振動体が前記接触体に接触する方向から見たときに前記振動体が移動する範囲に重なる第１の範囲と前記振動体が移動する範囲に重ならない第２の範囲の面外方向での剛性が互いに異なる形状を有することを特徴とする請求項１または２に記載の振動型駆動装置。

【請求項7】

前記接触体は、前記振動体との接触面とは反対側の面における前記第１の範囲と前記第２の範囲に段差が設けられることで前記第１の範囲と前記第２の範囲の厚みが互いに異なることを特徴とする請求項６に記載の振動型駆動装置。

【請求項8】

前記振動体は、前記接触体に接触する２つの駆動突起部を有し、
前記振動体に、前記駆動突起部の先端を前記振動体と前記接触体との相対移動方向および前記振動体が前記接触体に接触する方向を含む面内で楕円運動させる振動が励起されることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の振動型駆動装置。

【請求項9】

前記振動体ユニットが有する可聴域での振動モードの周波数ｆ_ＳＭＮ（Ｎは整数）のうち、ｆ_ＳＭＮは前記振動体が前記接触体に接触する方向振動の最低次の振動モードと、前記振動体と前記接触体との相対移動方向と前記振動体が前記接触体に接触する方向の両方に直交する方向の軸回りの回転を主とする振動の最低次の振動モードであることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の振動型駆動装置。

【請求項10】

請求項１から９のいずれか一項に記載の振動型駆動装置と、
前記振動型駆動装置によって駆動される被駆動部材とを有することを特徴とする装置。

【請求項11】

前記被駆動部材としてのレンズを有する光学機器であることを特徴とする請求項１０に記載の装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、振動が励起される振動体とこれに接触する接触体とを相対移動させる振動型駆動装置に関する。

【背景技術】

【0002】

圧電素子により励起される振動を利用して駆動力を発生させる振動型モータ等の振動型駆動装置として、特許文献１には、振動体を保持する保持部材と、該保持部材と一体に移動可能であってガイド部材（ボール）により移動方向にガイドされる移動板とを有する振動型駆動装置が開示されている。この振動型駆動装置では、保持部材と移動板との間に振動減衰部材を配置して、加減速時や高速での往復駆動時に移動板とガイド部材との衝突の繰り返しによる異音の発生を低減する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１５－１０４１４４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１のように振動減衰部材を用いると、振動減衰部材の追加により組み立て工数の増加や装置の大型化を招く。また特許文献１では、振動体の振動に起因で接触体に発生する可聴域の異音については考慮されていない。すなわち、振動体が振動すると、これに接触する接触体も振動する。振動体が最も振動しやすい可聴域の振動の周波数と接触体の振動の周波数、さらには振動体の駆動周波数との関係により、振動体が共振することがある。振動体が共振すると、可聴域の異音が発生する。

【0005】

本発明は、新たな部材を追加することなく、可聴域の異音の発生を抑制できるようにした振動型駆動装置およびこれを用いた光学機器を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一側面としての振動型駆動装置は、電気－機械エネルギ変換素子により振動が励起される振動体および該振動体を保持する保持部材により構成された振動体ユニットと、振動体が接触する接触体と、振動体を接触体に接触させるように加圧する加圧部とを有し、振動体に可聴域より高い周波数の振動が励起されることにより該振動体と接触体とが相対移動する。振動体は、弾性体と該弾性体に接着された圧電素子とにより構成され、加圧部は、第１の加圧板と、該第１の加圧板と振動体との間に設けられた振動絶縁部材と、第１の加圧板に対して振動絶縁部材とは反対側において対向し、第１の加圧板に当接する突起部を有する第２の加圧板と、第２の加圧板に加圧力を与える加圧部材とにより構成され、弾性体は、保持部材に接触しており、弾性体と、第２の加圧板との間に圧電素子が配置されており、振動体の駆動周波数をｆ_Ｄ、振動体ユニットが有する複数の振動モードのうち可聴域での振動モードの周波数をｆ_ＳＭＮ（Ｎは整数）、接触体に発生する面外振動の周波数をｆ_ＳＬとするとき、接触体は、
ｆ_Ｄ±ｆ_ＳＭＮ≠ｆ_ＳＬ
なる条件を満足する形状を有することを特徴とする。なお、上記振動型駆動装置により被駆動部材を駆動する各種装置も、本発明の他の一側面を構成する。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、振動型駆動装置において、新たな部材を追加することなく可聴域の異音の発生を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施例の撮像装置の構成を示す断面図。

【図2】実施例における振動体の構成と動作を示す図。

【図3】実施例の振動型モータを示す図。

【図4】実施例における振動体と摩擦部材の振動モードを示す図。

【図5】実施例における振動体と摩擦部材の振動モードを示す図。

【図6】可聴域の異音発生のメカニズムを示す図。

【図7】可聴域の異音発生のメカニズムを示す図。

【図8】実施例１における摩擦部材を示す図。

【図9】実施例２における摩擦部材を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。

【実施例1】

【0010】

図１は、本発明の実施例１である振動型駆動装置としてのリニア振動型モータユニット１００を備えた光学機器としての撮像装置の構成を示している。撮像装置は、撮像レンズ部３００と該撮像レンズ部３００が着脱可能または一体に設けられたカメラボディ４００とにより構成されている。撮像レンズ部３００内には、リニア振動型モータユニット１００と、該振動型モータユニット１００により撮像レンズ部３００の光軸Ｏが延びる方向（光軸方向）に駆動される被駆動部材としてのフォーカスレンズ２００とが配置されている。

【0011】

カメラボディ４００内には、撮像レンズ部３００内のフォーカスレンズ２００を含む撮像光学系により形成された被写体像を撮像（光電変換）するＣＣＤセンサやＣＭＯＳセンサ等の撮像素子５００が配置されている。フォーカスレンズ２００は、光軸方向に移動して被写体像のピントが撮像素子５００上で合うようにフォーカシングを行う。

【0012】

なお、振動型駆動装置は撮像装置以外の光学機器や、光学機器以外の各種装置に搭載されてもよい。

【0013】

図２（Ａ）、（Ｂ）は、リニア振動型モータユニット１００が有する振動体１を示している。図２（Ａ）、（Ｂ）において、振動体１が後述する接触体としての摩擦部材１１に接触する方向かつ振動体１が後述する加圧部により摩擦部材１１に対して圧接するように加圧される方向が＋ｚ方向であり、振動体１と摩擦部材１１の相対移動方向がｘ方向である。ｘ方向とｚ方向に直交する方向がｙ方向である。図２（Ａ）は＋ｚ方向から見た振動体１を示し、図２（Ｂ）は＋ｙ方向から見た振動体１を示している。

【0014】

振動体１は、弾性体２とこれに接着された圧電素子（電気－機械エネルギ変換素子）３とにより構成されている。弾性体２は、互いにｘ方向に離間した駆動突起部２ａ、２ｂと、ｘ方向の両端に設けられた固定腕部２ｃ、２ｄとを有する。圧電素子３には、不図示のフレキシブルプリント基板を介して２相の高周波電圧が印加される。２相の高周波電圧が圧電素子３に印加されると、圧電素子３の電気－機械エネルギ変換（電歪）作用により弾性体２に振動が励起される。このとき、弾性体２には、図２（Ｃ）に示すようなｘ方向の振動と図２（Ｄ）に示すようなｚ方向の振動が励起される。この結果、図２（Ｂ）に示すように、駆動突起部２ａ、２ｂの先端は、ｘ方向の送り振動とｚ方向の突き上げ振動とが合成されてｘｚ面内で楕円運動する。

【0015】

本実施例では、圧電素子３に印加する高周波電圧の周波数（駆動周波数）は８９ｋＨｚであり、この駆動周波数での正常な振動状態（振動モード）が図２（Ｃ）、（Ｄ）に示す通りとなる。この振動モードで駆動突起部２ａ、２ｂが後述する摩擦部材１１に圧接することで、両者間の摩擦力により振動体１と摩擦部材１１は相対移動する。

【0016】

図３は、＋ｙ方向から見たリニア振動型モータユニット１００を示している。固定部材１２は、ビスにより図１に示したフォーカスレンズ２００に固定されるとともに、摩擦部材１１をビスを用いて固定保持する。摩擦部材１１は、不図示の可動板に接続された加圧部材１０による加圧力を第２の加圧板７に伝える。加圧部材１０は、ｘｙ面内における振動体１の周囲に４つ配置されている。

【0017】

第２の加圧板７の下面におけるｘ方向での同じ位置にｙ方向に互いに離間して設けられた半球状の２つの突起部７Ｂは、第２の加圧板７に対向する第１の加圧板としての金属等の高剛性板６の上面（後述する振動絶縁部材５とは反対側の面）に当接している。

【0018】

高剛性板６の下面と図２（Ａ）、（Ｂ）に示した振動体１の圧電素子３との間には、振動絶縁部材５が配置されている。これにより、加圧部材１０の加圧力が、第２の加圧板７、高剛性板６および振動絶縁部材５を介して振動体１に作用してこれを摩擦部材１１に対して押圧する。この結果、振動体１の駆動突起部２ａ、２ｂが摩擦部材１１に圧接する。
振動絶縁部材５は、振動体１に励起される振動を阻害せずに、振動体１に加圧力を伝える。振動絶縁部材５には、フェルト、ブチルゴムまたはゲルを用いることができる。

【0019】

本実施例において、高剛性板６と振動絶縁部材５とにより加圧伝達部材４が構成され、加圧伝達部材４、加圧板７、加圧部材１０および可動板により加圧部が構成される。また本実施例では、加圧部材１０として引っ張りコイルバネを用いているが、圧縮コイルバネを用いてもよい。

【0020】

振動体１の固定腕部２ｃ、２ｄは、振動体保持部材８に接着等により固定されている。これにより、振動体１と振動体保持部材８とが一体化された振動体ユニットが構成される。可動支持部材９は、ビスにより不図示の可動板と一体化されている。摩擦部材１１における駆動突起部２ａ、２ｂとの接触面と平行になるようにビスにより固定部材１２に固定された不図示のガイド部材と可動板との間には不図示の転動ボールが配置されている。可動板がこれに接続された加圧部材１０の加圧力を受けることで、ガイド部材と可動板は転動ボールをｚ方向にて挟持する。ガイド部材には、ｘ方向に延びるＶ溝部としてのガイド溝部が設けられており、このガイド溝部内に転動ボールが配置されている。これにより、振動体ユニットがｘ方向に移動可能にガイドされる。

【0021】

本実施例では、振動体ユニット（１、８）、加圧伝達部材４（５、６）、第２の加圧板７、可動保持部材９、加圧部材１０および可動板で構成される移動部が、摩擦部材１１、固定部材１２およびガイド部材により構成される固定部に対してｘ方向に移動する。

【0022】

次に、図４（Ａ）、（Ｂ）と図５（Ａ）、（Ｂ）、図６（Ａ）～（Ｄ）および図７（Ａ）～（Ｄ）を用いて、振動体ユニットに共振が生じることで可聴域の騒音が発生するメカニズムについて説明する。図４（Ａ）は、＋ｙ方向から見た振動体ユニットの振動体１と振動体保持部材８を示している。またこの図には、振動体ユニットに発生するＺ方向の振動モードである、１次の面外振動を太実線ＳＭ_１と太破線ＳＭ_１′で示している。また図５（Ａ）は、＋ｙ方向から見た振動体ユニットの振動体１と振動体保持部材８を示している。またこの図には、振動体ユニットに発生するＹ軸回りの回転方向（ピッチ方向）への振動モードである、１次の回転振動を太実線ＳＭ_２と太破線ＳＭ_２′で示している。本実施例における振動体ユニットの振動周波数（固有周波数）は、図４（Ａ）では４．５ｋＨｚ、図５（Ｂ）では４．８ｋＨｚとなっている。これは、振動体ユニットが有する複数の振動モードのうち可聴域の振動モードの周波数ｆ_ＳＭ１、ｆ_ＳＭ２、ｆ_ＳＭ３、・・・、ｆ_ＳＭＮ（Ｎは整数）に相当する。ここでは、代表的な振動周波数であるｆ_ＳＭ１＝４．５ｋＨｚ、ｆ_ＳＭ２＝４．８ｋＨｚを例に示した。

【0023】

図４（Ａ）から分かるように、振動体ユニットの振動モードは、図２（Ｂ）～（Ｄ）で示した正常な振動モードとは異なる。前述の例で示した４．５ｋＨｚ、４．８ｋＨｚの振動モードは毎秒２０～２０ｋＨｚの可聴域内の周波数であり、この振動モードにより振動体ユニットの振動が増大して可聴域の異音が発生する。この異音は、本実施例のリニア振動型モータユニット１００を交換レンズや撮像装置等の光学機器のズーム駆動やフォーカス駆動に用いた場合にユーザに不快感を与えたり、動画撮像時に不要音として記録されたりする。

【0024】

図４（Ｂ）と図５（Ｂ）は、振動体１の駆動突起部２ａ、２ｂの先端にｘｚ面内での楕円運動が励起され、振動が摩擦部材１１に伝わった際に、摩擦部材１１で発生する６次の固有振動モードである面外振動を太実線ＳＬ_ｂ６と太破線ＳＬ_ｂ６′で示している。本実施例における摩擦部材１１の６次の固有振動モードの振動数（固有周波数）は８４．５ｋＨｚとなっており、これが摩擦部材１１に発生する面外振動の周波数ｆ_ＳＬ（ｆ_ＳＬｂ６）に相当する。

【0025】

また、前述したように、本実施例において圧電素子３に印加される高周波電圧の周波数は８９ｋＨｚであり、これが振動体１の駆動周波数ｆ_Ｄに相当する。８９ｋＨｚは毎秒２０ｋＨｚ以上の可聴域より高い超音波域の周波数である。

【0026】

図６（Ａ）は、図３に示したリニア振動型モータユニット１００のうち、＋ｙ方向から見た振動体１、振動体保持部材８、摩擦部材１１および固定部材１２を示している。図６（Ｂ）は、圧電素子３に２相の高周波電圧が印加されて駆動突起部２ａ、２ｂの先端にｘｚ面内での楕円運動が励起された状態を示している。この状態で圧接している駆動突起部２ａ、２ｂと摩擦部材１１との間には摩擦があるので、振動体１の振動が摩擦部材１１に伝わる。

【0027】

図６（Ｃ）は、図６（Ｂ）の状態から摩擦部材１１がその固有振動数で振動する様子を示している。ここでは摩擦部材１１が６次の固有振動モードでかつ面外方向に振動している様子を示している。固有振動モードには１次、２次、・・・と多数存在し、振動方向にも面内と面外等、様々あるが、ここでは６次の固有振動モードの面外振動を示している。

【0028】

図６（Ｄ）は、摩擦部材１１が図６（Ｃ）に示したように６次の固有振動モードで振動している状態から、該振動が伝わった振動体ユニットが図４（Ａ）に示したようにＺ方向の振動モードである、１次の面外振動を太実線ＳＭ_１と太破線ＳＭ_１′で振動する様子を示している。

【0029】

このように、振動体１が駆動周波数で振動すると、振動体ユニットと摩擦部材１１が互いの振動を受け、その振動がそれぞれの固有振動数に近づくにつれて振動の振幅が増大し、やがて共振状態となる。
共振が強い状態となる条件は、以下の式（１）により表される。
ｆ_Ｄ±ｆ_ＳＭＮ＝ｆ_ＳＬ （１）
前述したように、ｆ_Ｄは振動体１の駆動周波数、ｆ_ＳＭＮは振動体ユニットが有する複数の振動モードのうち可聴域の振動モードの周波数ｆ_ＳＭ１、ｆ_ＳＭ２、ｆ_ＳＭ３、・・・、ｆ_ＳＭＮ（Ｎは整数）、ｆ_ＳＬは摩擦部材１１の面外振動の周波数であり、本実施例では６次の固有振動モードの周波数ｆ_ＳＬｂ６である。

【0030】

例えば、式（１）に上述した周波数を代入すると、
８９－４．５＝８４．５（ｆ_ＳＬｂ６ ）ｋＨｚ
が成り立つ。本実施例では摩擦部材１１の６次の固有振動モードの面外振動に着目しているが、例えば７次の固有振動モードの面外振動の周波数ｆ_ＳＬｂ７が、
８９＋４．５＝９３．５ｋＨｚ
である場合にも式（１）が成り立つ。すなわち、式（１）は、振動体１の駆動周波数ｆ_Ｄと振動体ユニットが有する複数の振動モードのうち可聴域の振動モードの周波数ｆ_ＳＭ１、ｆ_ＳＭ２、ｆ_ＳＭ３、・・・、ｆ_ＳＭＮ（Ｎは整数）とを加算または減算した周波数（ｆ_Ｄ±ｆ_ＳＭＮ）と、摩擦部材１１の面外振動の周波数ｆ_ＳＬとが一致することを示す。この状態では、前述したように可聴域の異音が発生しやすい状態となるため、これを回避するには、
ｆ_Ｄ±ｆ_ＳＭＮ≠ｆ_ＳＬ （２）
なる条件を満足する必要がある。
なお、ｆ_Ｄ±ｆ_ＳＭとｆ_ＳＬは、０．４ｋＨｚ以上の差があることが好ましく、さらに１．０ｋＨｚ以上の差があることが望ましい。

【0031】

具体例を以下に説明する。図７（Ａ）は、図３に示したリニア振動型モータユニット１００のうち、＋ｙ方向から見た振動体１、振動体保持部材８、摩擦部材１１および固定部材１２を示している。

【0032】

図７（Ｂ）は、圧電素子３に２相の高周波電圧が印加されて駆動突起部２ａ、２ｂの先端にｘｚ面内での楕円運動が励起された状態を示している。この状態で圧接している駆動突起部２ａ、２ｂと摩擦部材１１との間には摩擦があるので、振動体１の振動が摩擦部材１１に伝わる。

【0033】

図７（Ｃ）は、図７（Ｂ）の状態から摩擦部材１１がその固有振動数で振動する様子を示している。ここでは摩擦部材１１が６次の固有振動モードでかつ面外方向に振動している様子を示している。固有振動モードには１次、２次、・・・と多数存在し、振動方向にも面内と面外等、様々あるが、ここでは６次の固有振動モードの面外振動を示している。

【0034】

図７（Ｄ）は、６次の固有振動モードで振動している状態から、該振動が伝わった振動体ユニットが図５（Ａ）に示したようにＹ軸回りの回転方向（ピッチ方向）への振動モードである、１次の回転振動を太実線ＳＭ_２と太破線ＳＭ_２′で振動する様子を示している。

【0035】

このように、振動体１が駆動周波数で振動すると、振動体ユニットと摩擦部材１１が互いの振動を受け、その振動がそれぞれの固有振動数に近づくにつれて振動の振幅が増大し、やがて共振状態となり、条件式は、上述の式（１）の通りである。

【0036】

前述したように、ｆ_Ｄは振動体１の駆動周波数、ｆ_ＳＭＮは振動体ユニットが有する複数の振動モードのうち可聴域の振動モードの周波数ｆ_ＳＭ１、ｆ_ＳＭ２、ｆ_ＳＭ３、・・・、ｆ_ＳＭＮ（Ｎは整数）、ｆ_ＳＬは摩擦部材１１の面外振動の周波数であり、本実施例では６次の固有振動モードの周波数ｆ_ＳＬｂ６である。
ここで、式（１）に上述した周波数を代入すると、
８９－４．８＝８４．２ｋＨｚ
となり、８４．５（ｆ_ＳＬｂ６）ｋＨｚと完全一致とは異なるが、近い結果となる。本実施例では摩擦部材１１の６次の固有振動モードの面外振動に着目しているが、例えば７次の固有振動モードの面外振動の周波数ｆ_ＳＬｂ７については、前述の通りであるため省略する。すなわち、式（１）は、駆動周波数ｆ_Ｄと可聴域の振動モードの周波数ｆ_ＳＭＮ（Ｎは整数）を加算または減算した周波数（ｆ_Ｄ±ｆ_ＳＭＮ）と、摩擦部材１１の面外振動の周波数ｆ_ＳＬとが完全に一致しなくても成り立つとみなす。これは、振動と周波数との関係が尖鋭的ではなくある程度の裾野を持っており、固有振動数に近づくにつれて振動の振幅が増大する（共振に影響する周波数に幅がある）ためである。この状態では、可聴域の異音が発生しやすい状態となるため、これを回避するには、
ｆ_Ｄ±ｆ_ＳＭＮ≠ｆ_ＳＬ （２）
なる条件を満足する必要があり、好ましくは０．４ｋＨｚ以上の差、さらに１．０ｋＨｚ以上の差があることがより望ましい。

【0037】

そこで本実施例では、図３に示した摩擦部材１１として、図８に示す形状を有する摩擦部材１１０を用いている。図８は、＋ｙ方向から見た摩擦部材１１０を示している。摩擦部材１１０は、図４（Ｂ）および図５（Ｂ）に示した６次の固有振動モードでの面外振動を示すＳＬ_ｂ６およびＳＬ_ｂ６′に対して、該面外振動のｘ方向での腹部における剛性とｘ方向での腹部以外の部分における面外方向（ｚ方向）での剛性とを異ならせている。具体的には、摩擦部材１１０における面外振動の腹部でのｚ方向の厚みと腹部以外の厚みとを異ならせている。

【0038】

特に図８では、腹部におけるｚ方向での剛性を腹部以外の部分におけるｚ方向での剛性よりも低くした例を示している。具体的には、摩擦部材１１０における振動体１（駆動突起部２ａ、２ｂ）との接触面とは反対側の面に凹凸を設けることで、面外振動の腹部でのｚ方向の厚みを腹部以外の厚みよりも０．２ｍｍだけ薄くしている。

【0039】

摩擦部材１１０がこのような形状を有することで、振動体１の駆動周波数ｆ_Ｄと振動体ユニットが有する複数の振動モードのうち可聴域の振動モードの周波数ｆ_ＳＭ１、ｆ_ＳＭ２、ｆ_ＳＭ３、・・・、ｆ_ＳＭＮ（Ｎは整数）とを加算または減算した周波数に最も近い摩擦部材１１０の６次と７次の固有振動モードの面外振動の周波数を、上記形状を有さない場合に比べて低くすることができる。この結果、式（２）に示した、
ｆ_Ｄ±ｆ_ＳＭＮ≠ｆ_ＳＬ
が成り立つようになり、可聴域の異音の発生を抑制することができる。

【実施例2】

【0040】

次に、本発明の実施例２について説明する。本実施例では、図３に示した摩擦部材１１として、図９（Ａ）に示す形状を有する摩擦部材１１１または図９（Ｂ）に示す形状を有する摩擦部材１１２を用いている。本実施例では、各摩擦部材に振動体１が接触する方向から見て（ｚ方向視において）、摩擦部材１１１、１１２のうち前述した移動部が移動する範囲と重なるｘ方向の範囲を第１の範囲、移動部の移動範囲と重ならない範囲を第２の範囲とする。そして、これら第１の範囲と第２の範囲におけるｚ方向での剛性を互いに異ならせている。具体的には、第１の範囲と第２の範囲におけるｚ方向の厚みを互いに異ならせている。より具体的には、摩擦部材１１１、１１２のうち振動体１との接触面とは反対側の面に第１の範囲と第２の範囲とに段差を設けている。

【0041】

摩擦部材１１１では、第１の範囲のｚ方向の厚みを第２の範囲の厚みよりも０．２ｍｍだけ薄くしている。これにより、摩擦部材１１１のうち第１の範囲のｚ方向での剛性が第２の範囲のｚ方向での剛性よりも低くなる。

【0042】

また、摩擦部材１１２では、第２の範囲のｚ方向の厚みを第１の範囲の厚みよりも０．２ｍｍだけ薄くしている。これより、摩擦部材１１２うち第２の範囲のｚ方向での剛性が第１の範囲のｚ方向での剛性よりも低くなる。

【0043】

摩擦部材１１１、１１２がこれらの形状を有することで、各摩擦部材の６次と７次の固有振動モードの面外振動の周波数が、上記形状を有さない場合に比べて低くなる。この結果、式（２）であるｆ_Ｄ±ｆ_ＳＭ≠ｆ_ＳＬが成り立つようになり、可聴域の異音の発生を抑制することができる。

【0044】

なお、上記各実施例では振動体と摩擦部材とが直線方向に相対移動する振動型駆動装置について説明したが、本発明を振動体と円環状の摩擦部材とが回転方向に相対移動する振動型駆動装置にも適用することができる。

【0045】

以上説明した各実施例は代表的な例にすぎず、本発明の実施に際しては、各実施例に対して種々の変形や変更が可能である。

【符号の説明】

【0046】

１ 振動体
８ 振動体保持部材
１１、１１０、１１１、１１２ 摩擦部材（接触体）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】