特許 7562407 ロボットおよびロボットの制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-27

(45)【発行日】2024-10-07

(54)【発明の名称】ロボットおよびロボットの制御方法

(51)【国際特許分類】

   B25J 19/06 20060101AFI20240930BHJP

【ＦＩ】

B25J19/06

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2020218960

(22)【出願日】2020-12-28

(65)【公開番号】P2022104003

(43)【公開日】2022-07-08

【審査請求日】2023-11-13

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】矢澤 隆之

(72)【発明者】

【氏名】荒川 洋

【審査官】杉山 悟史

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１０－０５２０５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２４０９６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２５Ｊ １／００ ～ ２１／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ネジ軸と前記ネジ軸に沿って移動するナット部材とを有するボールネジと、前記ネジ軸を回転させるためのモータと、前記モータの動力を前記ネジ軸に伝達する動力伝達機構と、前記モータの回転を検知するエンコーダと、前記ネジ軸に固定される被検知部材と前記被検知部材を検知するセンサとを有し前記ネジ軸の回転を検知する検知機構と、前記エンコーダの出力信号と前記センサの出力信号とが入力される制御部とを備え、
前記制御部は、前記エンコーダの出力信号が前記制御部に入力されていないにもかかわらず前記センサの出力信号が前記制御部に入力されている場合、および、前記エンコーダの出力信号が前記制御部に入力されているにもかかわらず前記センサの出力信号が前記制御部に入力されていない場合に前記ネジ軸に回転異常が生じていると判断することを特徴とするロボット。

【請求項2】

前記ネジ軸を停止させるブレーキを備え、
前記制御部は、前記ネジ軸に回転異常が生じていることを検知すると、前記ブレーキを作動させることを特徴とする請求項１記載のロボット。

【請求項3】

搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記ハンドおよび前記アームを昇降させる昇降機構とを備え、
前記昇降機構は、前記ボールネジと前記モータと前記動力伝達機構と前記エンコーダと前記検知機構と前記ブレーキとを備え、
前記ネジ軸の軸方向は、上下方向と一致しており、
前記ナット部材に前記ハンドおよび前記アームが取り付けられていることを特徴する請求項２記載のロボット。

【請求項4】

２個の前記ブレーキを備え、
前記制御部は、前記ネジ軸に回転異常が生じていることを検知すると、２個の前記ブレーキを作動させるとともに、２個の前記ブレーキの作動開始タイミングをずらすことを特徴とする請求項２または３記載のロボット。

【請求項5】

２個の前記ブレーキを備え、
２個の前記ブレーキは、前記ネジ軸の軸方向で重なっていることを特徴とする請求項２から４のいずれかに記載のロボット。

【請求項6】

ネジ軸と前記ネジ軸に沿って移動するナット部材とを有するボールネジと、前記ネジ軸を回転させるためのモータと、前記モータの動力を前記ネジ軸に伝達する動力伝達機構と、前記モータの回転を検知するエンコーダと、前記ネジ軸に固定される被検知部材と前記被検知部材を検知するセンサとを有し前記ネジ軸の回転を検知する検知機構とを備えるロボットの制御方法であって、
前記エンコーダの出力信号が前記ロボットの制御部に入力されていないにもかかわらず前記センサの出力信号が前記制御部に入力されている場合、および、前記エンコーダの出力信号が前記制御部に入力されているにもかかわらず前記センサの出力信号が前記制御部に入力されていない場合に前記ネジ軸に回転異常が生じていると判断することを特徴とするロボットの制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、産業用ロボット等のロボットに関する。また、本発明は、産業用ロボット等のロボットの制御方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、ガラス基板等の基板を搬送する水平多関節型の産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、基板が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームを支持する本体部と、本体部を水平方向に移動可能に支持するベースとを備えている。本体部は、アームの基端側を支持するとともに昇降可能なアームサポートと、アームサポートを昇降可能に支持する支持フレームと、本体部の下端部分を構成するとともにベースに対して水平移動可能な基台と、支持フレームの下端が固定されるとともに基台に対して回動可能な旋回フレームとを備えている。

【0003】

また、特許文献１に記載の産業用ロボットは、ハンドおよびアームと一緒にアームサポートを昇降させる昇降機構を備えている。昇降機構は、たとえば、ボールネジと、ボールネジのネジ軸を回転させるためのモータと、モータの動力をボールネジに伝達する動力伝達機構とを備えている。モータは、サーボモータである。昇降機構は、モータの回転を検知するエンコーダを備えており、モータは、エンコーダの出力信号に基づいて制御される。動力伝達機構は、たとえば、減速機を備えている。ボールネジのナット部材には、アームサポートが取り付けられている。

【0004】

なお、特許文献１に記載の産業用ロボットは、産業用ロボットの安全性を高めるために、ボールネジのネジ軸を停止させるブレーキを備えている。このブレーキは、たとえば、無励磁作動型の電磁ブレーキであり、ネジ軸を直接、停止させる。特許文献１に記載の産業用ロボットでは、エンコーダの出力信号に基づいてモータの回転異常が検知されるときには、ボールネジのネジ軸に回転異常が生じていると推定されるため、エンコーダの出力信号に基づいてモータの回転異常が検知されると、ブレーキを作動させてボールネジのネジ軸を非常停止させている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１７－２４０９６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

特許文献１に記載の産業用ロボットの場合、たとえば、万が一、動力伝達機構に異常が生じると、モータは正常に回転しているにもかかわらず、ボールネジのネジ軸が正常に回転していないといった事態が生じうる。また、この産業用ロボットの場合、たとえば、万が一、動力伝達機構に異常が生じてモータとボールネジとの間で動力の伝達が行われなくなると、モータは停止しているにもかかわらず、ボールネジのネジ軸は回転しているといった事態も生じうる。

【0007】

しかしながら、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、このような事態が生じたときに、モータの回転を検知するエンコーダの出力信号に基づいて、ボールネジのネジ軸の回転異常を検知することができない。そのため、この産業用ロボットでは、ボールネジのネジ軸が正常に回転していないにもかかわらず、ボールネジのネジ軸を非常停止させることができなくなるといった事態が生じるおそれがある。

【0008】

そこで、本発明の課題は、ボールネジと、ボールネジのネジ軸を回転させるためのモータとを備えるロボットにおいて、ボールネジのネジ軸の回転異常をより適切に検知することが可能なロボットを提供することにある。また、本発明の課題は、ボールネジと、ボールネジのネジ軸を回転させるためのモータとを備えるロボットにおいて、ボールネジのネジ軸の回転異常をより適切に検知することが可能となるロボットの制御方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記の課題を解決するため、本発明のロボットは、ネジ軸とネジ軸に沿って移動するナット部材とを有するボールネジと、ネジ軸を回転させるためのモータと、モータの動力をネジ軸に伝達する動力伝達機構と、モータの回転を検知するエンコーダと、ネジ軸に固定される被検知部材と被検知部材を検知するセンサとを有しネジ軸の回転を検知する検知機構と、エンコーダの出力信号とセンサの出力信号とが入力される制御部とを備え、制御部は、エンコーダの出力信号が制御部に入力されていないにもかかわらずセンサの出力信号が制御部に入力されている場合、および、エンコーダの出力信号が制御部に入力されているにもかかわらずセンサの出力信号が制御部に入力されていない場合にネジ軸に回転異常が生じていると判断することを特徴とする。

【0010】

また、上記の課題を解決するため、本発明のロボットの制御方法は、ネジ軸とネジ軸に沿って移動するナット部材とを有するボールネジと、ネジ軸を回転させるためのモータと、モータの動力をネジ軸に伝達する動力伝達機構と、モータの回転を検知するエンコーダと、ネジ軸に固定される被検知部材と被検知部材を検知するセンサとを有しネジ軸の回転を検知する検知機構とを備えるロボットの制御方法であって、エンコーダの出力信号がロボットの制御部に入力されていないにもかかわらずセンサの出力信号が制御部に入力されている場合、および、エンコーダの出力信号が制御部に入力されているにもかかわらずセンサの出力信号が制御部に入力されていない場合にネジ軸に回転異常が生じていると判断することを特徴とする。

【0011】

本発明では、ロボットは、ボールネジのネジ軸に固定される被検知部材と被検知部材を検知するセンサとを有しネジ軸の回転を検知する検知機構を備えている。また、本発明では、エンコーダの出力信号が制御部に入力されていないにもかかわらずセンサの出力信号が制御部に入力されている場合、および、エンコーダの出力信号が制御部に入力されているにもかかわらずセンサの出力信号が制御部に入力されていない場合にネジ軸に回転異常が生じていると判断している。そのため、本発明では、動力伝達機構に異常が生じて、モータは正常に回転しているにもかかわらず、ネジ軸が停止しているといった事態を検知することが可能になるとともに、モータは停止しているにもかかわらず、ネジ軸が回転しているといった事態を検知することが可能になる。したがって、本発明では、ネジ軸の回転異常をより適切に検知することが可能になる。

【0012】

本発明において、ロボットは、ネジ軸を停止させるブレーキを備え、制御部は、ネジ軸に回転異常が生じていることを検知すると、ブレーキを作動させることが好ましい。このように構成すると、ボールネジのネジ軸が正常に回転していないときに、ネジ軸を非常停止させることが可能になる。したがって、ロボットの安全性を高めることが可能になる。

【0013】

本発明において、ロボットは、たとえば、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、ハンドおよびアームを昇降させる昇降機構とを備え、昇降機構は、ボールネジとモータと動力伝達機構とエンコーダと検知機構とブレーキとを備え、ネジ軸の軸方向は、上下方向と一致しており、ナット部材にハンドおよびアームが取り付けられている。この場合には、ボールネジのネジ軸が正常に回転していないときに、ネジ軸を非常停止させて、ハンドに搭載される搬送対象物、ハンドおよびアームの落下を防止することが可能になる。

【0014】

本発明において、ロボットは、２個のブレーキを備え、制御部は、ネジ軸に回転異常が生じていることを検知すると、２個のブレーキを作動させるとともに、２個のブレーキの作動開始タイミングをずらすことが好ましい。このように構成すると、２個のブレーキのうちの一方のブレーキが故障しても、他方のブレーキによってネジ軸を非常停止させることが可能になる。また、このように構成すると、２個のブレーキの作動開始タイミングをずらしているため、２個のブレーキによる急激な制動力がネジ軸に作用するのを防止することが可能になる。

【0015】

本発明において、ロボットは、たとえば、２個のブレーキを備え、２個のブレーキは、ネジ軸の軸方向で重なっている。この場合には、ロボットが２個のブレーキを備えていても、２個のブレーキをコンパクトに配置することが可能になる。

【発明の効果】

【0016】

以上のように、本発明では、ボールネジと、ボールネジのネジ軸を回転させるためのモータとを備えるロボットにおいて、ボールネジのネジ軸の回転異常をより適切に検知することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の実施の形態にかかるロボットの平面図である。

【図2】図１に示すロボットの側面図である。

【図3】図２に示すハンドおよびアームを昇降させる昇降機構の構成を説明するための図である。

【図4】（Ａ）は、図３のＥ部の拡大図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＦ－Ｆ方向から検知機構を示す底面図である。

【図5】図１に示すロボットの制御部に電気的に接続される昇降機構の構成を示すブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0019】

（ロボットの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかるロボット１の平面図である。図２は、図１に示すロボット１の側面図である。

【0020】

本形態のロボット１は、搬送対象物である液晶ディスプレイのガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送する水平多関節型の産業用ロボットである。ロボット１は、基板２が搭載される２個のハンド３と、２個のハンド３のそれぞれが先端側に回動可能に連結される２本のアーム４と、２本のアーム４を支持する本体部５と、本体部５を水平方向に移動可能に支持するベース部材６とを備えている。本体部５は、アーム４の基端側を支持するとともに昇降可能なアームサポート７と、アームサポート７を昇降可能に支持する支持フレーム８と、本体部５の下端部分を構成するとともにベース部材６に対して水平移動可能な基台９と、支持フレーム８の下端が固定されるとともに基台９に対して回動可能な旋回フレーム１０とを備えている。

【0021】

アーム４は、第１アーム部１２と第２アーム部１３との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部１２の基端側は、アームサポート７に回動可能に連結されている。第１アーム部１２の先端側には、第２アーム部１３の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部１３の先端側には、ハンド３が回動可能に連結されている。アーム４は、ハンド３が一定方向を向いた状態で略直線的に移動するように水平方向へ伸縮可能となっている。ロボット１は、アーム４を駆動するアーム駆動機構を備えている。

【0022】

支持フレーム８は、アームサポート７を介してハンド３およびアーム４を昇降可能に保持している。支持フレーム８は、アームサポート７を昇降可能に保持する柱状の第１支持フレーム１５と、第１支持フレーム１５を昇降可能に保持する柱状の第２支持フレーム１６とを備えている。ロボット１は、第１支持フレーム１５を上下方向に案内するガイド機構と、アームサポート７を上下方向へ案内するガイド機構とを備えている。また、ロボット１は、第１支持フレーム１５に対してアームサポート７を昇降させるとともに第２支持フレーム１６に対して第１支持フレーム１５を昇降させる昇降機構１７（図３参照）を備えている。すなわち、ロボット１は、ハンド３およびアーム４を昇降させる昇降機構１７を備えている。昇降機構１７の具体的な構成については後述する。

【0023】

旋回フレーム１０は、上下方向の厚さが薄い扁平な略直方体状に形成されている。また、旋回フレーム１０は、細長い略直方体状に形成されている。旋回フレーム１０の先端側の上面には、第２支持フレーム１６の下端部が固定されている。旋回フレーム１０の基端側は、上下方向を回動の軸方向とする回動が可能となるように基台９に支持されている。旋回フレーム１０は、基台９よりも上側に配置されている。ロボット１は、基台９に対して旋回フレーム１０を回動させる回動機構を備えている。また、ロボット１は、ベース部材６に対して基台９を水平移動させる水平移動機構と、基台９を水平方向へ案内するガイド機構とを備えている。

【0024】

（昇降機構の構成）
図３は、図２に示すハンド３およびアーム４を昇降させる昇降機構１７の構成を説明するための図である。図４（Ａ）は、図３のＥ部の拡大図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＦ－Ｆ方向から検知機構２８を示す底面図である。

【0025】

昇降機構１７は、ネジ軸２０とネジ軸２０に沿って移動するナット部材２１とを有するボールネジ２２と、ネジ軸２０を回転させるためのモータ２３と、モータ２３の動力をネジ軸２０に伝達する動力伝達機構２４とを備えている。また、昇降機構１７は、ネジ軸２０を停止させるブレーキ２５、２６を備えている。本形態の昇降機構１７は、２個のブレーキ２５、２６を備えている。さらに、昇降機構１７は、モータ２３の回転を検知するエンコーダ２７と、ネジ軸２０の回転を検知する検知機構２８とを備えている。

【0026】

ネジ軸２０は、ネジ軸２０の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。すなわち、ネジ軸２０の軸方向は上下方向と一致している。ネジ軸２０は、上下方向を回転の軸方向として回転可能となっている。ナット部材２１は、ネジ軸２０に係合している。ナット部材２１は、ネジ軸２０に沿って上下方向に移動する。ナット部材２１には、アームサポート７または第１支持フレーム１５が固定されている。すなわち、ナット部材２１には、アームサポート７を介して、または、第１支持フレーム１５およびアームサポート７を介して、ハンド３およびアーム４が取り付けられている。

【0027】

モータ２３は、サーボモータである。モータ２３は、エンコーダ２７の出力信号に基づいて制御される。動力伝達機構２４は、モータ２３の出力軸に固定されるプーリ３１と、ネジ軸２０の下端側部分に固定されるプーリ３２と、プーリ３１とプーリ３２とに架け渡されるベルト３３とを備えている。エンコーダ２７は、モータ２３の回転軸に固定される被検知部材と、被検知部材を検知するセンサとを備えている。

【0028】

ブレーキ２５とブレーキ２６とは、同構造かつ同形状の電磁ブレーキである。具体的には、ブレーキ２５、２６は、無励磁作動型の電磁ブレーキである。ブレーキ２５、２６は、ネジ軸２０に固定される回転板と、回転板を挟んで配置される制動板およびアーマチュアと、アーマチュアを回転板に向かって付勢するバネ部材と、アーマチュアを駆動するためのコイルとを備えており、ネジ軸２０を直接、停止させる。２個のブレーキ２５、２６は、ネジ軸２０の軸方向で重なっている。本形態では、ブレーキ２５とブレーキ２６とが上下方向において対称に配置されている。また、２個のブレーキ２５、２６は、プーリ３２の下側に配置されている。

【0029】

検知機構２８は、ネジ軸２０に固定される被検知部材３５と、被検知部材３５を検知するセンサ３６とを備えており、ネジ軸２０の回転を直接、検知する。センサ３６は、たとえば、発光素子と、発光素子に対向配置される受光素子とを備える透過型の光学式センサである。被検知部材３５は、薄鋼板を所定形状に折り曲げることで形成されている。被検知部材３５は、ネジ軸２０の下端面に固定されている。

【0030】

被検知部材３５は、ネジ軸２０の下端面に固定される被固定部３５ａと、センサ３６の発光素子と受光素子との間を遮る遮光部３５ｂとを備えている。本形態の被検知部材３５は、ネジ軸２０の軸心に対して１８０°ピッチで配置される２個の遮光部３５ｂを備えている。なお、被検知部材３５が有する遮光部３５ｂの数は３個以上であっても良い。たとえば、被検知部材３５は、ネジ軸２０の軸心に対して９０°ピッチで配置される４個の遮光部３５ｂを備えていても良い。また、遮光部３５ｂは、円板状に形成されていても良い。この場合には、上下方向で遮光部３５ｂを貫通する複数のスリット穴が、遮光部３５ｂの周方向において一定のピッチで形成されている。

【0031】

（ネジ軸の非常停止動作）
図５は、図１に示すロボット１の制御部４０に電気的に接続される昇降機構１７の構成を示すブロック図である。

【0032】

ロボット１の制御部４０には、モータ２３およびブレーキ２５、２６が電気的に接続されている。具体的には、モータ２３の駆動用コイルおよびブレーキ２５、２６のコイルが制御部４０に電気的に接続されている。また、制御部４０には、エンコーダ２７（具体的には、エンコーダ２７のセンサ）およびセンサ３６が電気的に接続されている。制御部４０には、エンコーダ２７の出力信号（具体的には、エンコーダ２７のセンサの出力信号）とセンサ３６の出力信号とが入力される。

【0033】

制御部４０は、エンコーダ２７の出力信号とセンサ３６の出力信号とに基づいて、ネジ軸２０に回転異常が生じているのか否かを検知する。具体的には、制御部４０は、たとえば、エンコーダ２７の出力信号が入力されていないにもかかわらず、センサ３６の出力信号が入力されている場合や、エンコーダ２７の出力信号が入力されているにもかかわらず、センサ３６の出力信号が入力されていない場合に、ネジ軸２０に回転異常が生じていると判断する。

【0034】

また、制御部４０は、たとえば、エンコーダ２７の出力信号に基づいて算出されるネジ軸２０の回転速度と、センサ３６の出力信号に基づいて算出されるネジ軸２０の回転速度とに所定値以上の差異が生じている場合（すなわち、モータ２３の回転速度とネジ軸２０の回転速度との関係が一定の関係にならず、モータ２３の回転速度とネジ軸２０の回転速度とが同期していない場合）にも、ネジ軸２０に回転異常が生じていると判断する。

【0035】

また、制御部４０は、ネジ軸２０に回転異常が生じていることを検知すると、２個のブレーキ２５、２６を作動させて、ネジ軸２０を非常停止させる。このときには、制御部４０は、２個のブレーキ２５、２６の作動開始タイミングをずらす。すなわち、制御部４０は、ブレーキ２５のコイルへの電圧の印加開始タイミングと、ブレーキ２６のコイルへの電圧の印加開始タイミングとをずらす。

【0036】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のロボット１は、ネジ軸２０の回転を検知する検知機構２８を備えており、検知機構２８は、ネジ軸２０に固定される被検知部材３５と、被検知部材３５を検知するセンサ３６とを備えている。また、本形態では、制御部４０は、エンコーダ２７の出力信号とセンサ３６の出力信号とに基づいて、ネジ軸２０に回転異常が生じているのか否かを検知している。

【0037】

そのため、本形態では、たとえば、動力伝達機構２４に異常が生じて、モータ２３は正常に回転しているにもかかわらず、ネジ軸２０が正常に回転していないといった事態や、モータ２３は停止しているにもかかわらず、ネジ軸２０が回転しているといった事態が生じても、エンコーダ２７の出力信号とセンサ３６の出力信号とに基づいて、ネジ軸２０の回転異常を検知することが可能になる。したがって、本形態では、ネジ軸２０の回転異常をより適切に検知することが可能になる。

【0038】

本形態では、制御部４０は、ネジ軸２０に回転異常が生じていることを検知すると、ブレーキ２５、２６を作動させて、ネジ軸２０を非常停止させている。そのため、本形態では、ネジ軸２０に回転異常が生じたときの、基板２、ハンド３およびアーム４の落下を防止することが可能になり、その結果、ロボット１の安全性を高めることが可能になる。また、本形態では、昇降機構１７が２個のブレーキ２５、２６を備えているため、たとえば、ブレーキ２５が故障しても、ブレーキ２６によってネジ軸２０を非常停止させることが可能になる。

【0039】

本形態では、制御部４０は、２個のブレーキ２５、２６を作動させる際に、２個のブレーキ２５、２６の作動開始タイミングをずらしている。そのため、本形態では、２個のブレーキ２５、２６の急激な制動力がネジ軸２０に作用するのを防止することが可能になる。また、本形態では、２個のブレーキ２５、２６がネジ軸２０の軸方向で重なっているため、昇降機構１７が２個のブレーキ２５、２６を備えていても、２個のブレーキ２５、２６をコンパクトに配置することが可能になる。

【0040】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0041】

上述した形態において、支持フレーム８は、１個の柱状のフレームによって構成されていても良い。この場合には、昇降機構１７は、支持フレーム８に対してアームサポート７を昇降させる。また、上述した形態において、ロボット１は、第１支持フレーム１５に対してアームサポート７を昇降させる昇降機構と、第２支持フレーム１６に対して第１支持フレーム１５を昇降させる昇降機構とを個別に備えていても良い。この場合には、２個の昇降機構は、昇降機構１７と同様に構成されている。

【0042】

上述した形態において、ネジ軸２０に回転異常が生じていることを制御部４０が検知したときの、２個のブレーキ２５、２６の作動開始タイミングは同時であっても良い。また、上述した形態において、昇降機構１７が備えるブレーキの数は１個であっても良い。さらに、上述した形態において、動力伝達機構２４は、減速機を備えていても良いし、歯車列を備えていても良い。また、動力伝達機構２４は、モータ２３の出力軸およびネジ軸２０に取り付けられてモータ２３の出力軸とネジ軸２０とを繋ぐカップリングであっても良い。また、上述した形態において、センサ３６は、反射型の光学式センサであっても良いし、近接センサ等の光学式以外のセンサであっても良い。

【0043】

上述した形態において、ロボット１は、水平方向へのハンド３の直線的な移動が可能となるようにハンド３を保持するハンド保持部を備えていても良い。この場合には、ロボット１は、ハンド保持部に対してハンド３を水平方向へ直線的に移動させる水平駆動機構を備えている。水平駆動機構は、昇降機構１７と同様に、ネジ軸２０およびナット部材２１を有するボールネジ２２と、ネジ軸２０を回転させるためのモータ２３と、モータ２３の動力をネジ軸２０に伝達する動力伝達機構２４と、モータ２３の回転を検知するエンコーダ２７と、ネジ軸２０の回転を検知する検知機構２８とを備えている。ネジ軸２０は、ネジ軸２０の軸方向と水平方向とが一致するように配置されており、ナット部材２１には、ハンド３が取り付けられている。なお、この水平駆動機構は、ブレーキ２５、２６を備えていても良いし、ブレーキ２５、２６を備えていなくても良い。

【0044】

上述した形態では、本体部５は、水平方向へ移動可能となっているが、本体部５は、固定されていても良い。また、上述した形態において、アーム４は、３個以上のアーム部によって構成されても良い。さらに、上述した形態において、ロボット１は、基板２以外の搬送対象物を搬送するロボットであっても良い。また、本発明が適用されるロボットは、産業用ロボット以外のロボットであっても良い。

【符号の説明】

【0045】

１ ロボット
２ 基板（ガラス基板、搬送対象物）
３ ハンド
４ アーム
１７ 昇降機構
２０ ネジ軸
２１ ナット部材
２２ ボールネジ
２３ モータ
２４ 動力伝達機構
２５、２６ ブレーキ
２７ エンコーダ
２８ 検知機構
３５ 被検知部材
３６ センサ
４０ 制御部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】