特許7562482半導体製造用部材及びその製造方法

発明の名称　半導体製造用部材及びその製造方法

出願人　コバレントマテリアル株式会社　（識別番号 507182807）

　　　　特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1250 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7562482

公報発行日　2024年10月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7562482

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