特許7563055ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシートの製造方法、ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシートが巻かれたロールの製造方法、ベーパーチャンバ用の中間体の製造方法、及び、ベーパーチャンバの製造方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-09-30
(45)【発行日】2024-10-08
(54)【発明の名称】ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシートの製造方法、ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシートが巻かれたロールの製造方法、ベーパーチャンバ用の中間体の製造方法、及び、ベーパーチャンバの製造方法
(51)【国際特許分類】
F28D 15/02 20060101AFI20241001BHJP
【ＦＩ】
F28D15/02 101H
F28D15/02 L
F28D15/02 106G
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2020149831
(22)【出願日】2020-09-07
(65)【公開番号】P2021042952
(43)【公開日】2021-03-18
【審査請求日】2023-07-27
(31)【優先権主張番号】P 2019163199
(32)【優先日】2019-09-06
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000002897
【氏名又は名称】大日本印刷株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100129838
【弁理士】
【氏名又は名称】山本 典輝
(74)【代理人】
【識別番号】100101203
【弁理士】
【氏名又は名称】山下 昭彦
(74)【代理人】
【識別番号】100104499
【弁理士】
【氏名又は名称】岸本 達人
(72)【発明者】
【氏名】高橋 伸一郎
(72)【発明者】
【氏名】太田 貴之
(72)【発明者】
【氏名】小田 和範
(72)【発明者】
【氏名】武田 利彦
(72)【発明者】
【氏名】竹松 清隆
(72)【発明者】
【氏名】百瀬 輝寿
【審査官】礒部 賢
(56)【参考文献】
【文献】特開２００３－２９１２４１（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２００９／０１７８７８４（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｆ２８Ｄ １５／００ － １５／０６
Ｂ２１Ｄ ５３／０２ － ５３／０８
Ｈ０５Ｋ ７／２０
Ｈ０１Ｌ ２３／４２７
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ベーパーチャンバのための中間体が多面付けされたシートを製造する方法であって、第一のシートに複数のベーパーチャンバの流路のための形状を加工する工程と、
前記第一のシートと第二のシートとを接合する工程と、を含み、
前記接合する工程では、前記第一のシートと前記第二のシートの接合面のそれぞれに対して原子ビーム、イオンビーム、及びプラズマの少なくとも１つを照射した後に接合を行って前記第一のシートと前記第二のシートとの間に中空部を形成し、
前記中空部は外部と連通していない、
中間体が多面付けされたシートの製造方法。
【請求項2】
ベーパーチャンバのための中間体が多面付けされたシートが巻かれたロールを製造する方法であって、第一のシートに複数のベーパーチャンバの流路のための形状を加工する工程と、
前記第一のシートと第二のシートとを接合する工程と、を含み、
前記接合する工程では、ロール状の前記第一のシートを巻き出すとともに、ロール状の前記第二のシートを巻き出し、それぞれの接合面に対して原子ビーム、イオンビーム、及び、プラズマの少なくとも１つを照射した後に接合を行って前記第一のシートと前記第二のシートとの間に中空部を形成し、その後、前記接合したシートを巻き取ることよりロールとし、
前記中空部は外部と連通していない、
中間体が多面付けされたシートが巻かれたロールの製造方法。
【請求項3】
請求項１に記載されたシート、又は、請求項２に記載されたロールを巻き出してなるシートに含まれる多面付けされた中間体から、１つの中間体を取り出す工程を含み、
前記１つの中間体でも前記中空部は外部と連通していない、
中間体の製造方法。
【請求項4】
ベーパーチャンバのための中間体を製造する方法であって、第一のシートの表面に前記ベーパーチャンバの流路のための形状を加工する工程と、
前記第一のシートに第二のシートを接合する工程と、を含み
前記接合する工程では、
前記第一のシート及び前記第二のシートの接合面のそれぞれに対して原子ビーム、イオンビーム、及びプラズマの少なくとも１つを照射した後に接合を行って前記第一のシートと前記第二のシートとの間に中空部を形成し、
前記中空部は外部と連通していない、
中間体の製造方法。
【請求項5】
請求項３又は請求項４に記載の製造方法により中間体を製造する工程と、前記中間体に注入口を形成して前記中空部を外部と連通させる工程と、
前記注入口から作動流体を注入する工程と、
前記注入口を塞ぐ工程と、を含む、ベーパーチャンバの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、封入された作動流体が相変化を伴いつつ還流することにより熱輸送を行うベーパーチャンバの製造方法、及び、そのために供されるシート、ロール、中間体の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
パソコン並びに携帯電話及びタブレット端末等の携帯型端末に備えられているＣＰＵ（中央演算処理装置）等の電子部品からの発熱量は、情報処理能力の向上により増加する傾向にあり冷却技術が重要である。このような冷却のための手段としてヒートパイプがよく知られている。これはパイプ内に封入された作動流体により、熱源における熱を他の部位に輸送することで拡散させ、熱源を冷却するものである。
【0003】
一方、近年においては特に携帯型端末等で薄型化が顕著であり、従来のヒートパイプよりも薄型の冷却手段が必要となってきた。これに対して例えば特許文献１に記載のようなベーパーチャンバが提案されている。
【0004】
ベーパーチャンバはヒートパイプによる熱輸送の考え方を平板状の部材に展開した機器である。すなわち、ベーパーチャンバには、対向する平板の間に作動流体が封入されており、この作動流体が相変化を伴いつつ還流することで熱輸送を行い、熱源における熱を輸送及び拡散して熱源を冷却する。
【0005】
より具体的には、ベーパーチャンバの対向する平板間には蒸気用流路と凝縮液用流路とが設けられ、ここに作動流体が封入されている。このように外部から遮断された密閉した流路を形成するために、対向する平板は流路以外の部分で接合されるが、この接合は拡散接合やろう付けにより行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】特許第６０５７９５２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
ところが、高温で加熱せざるを得ない拡散接合やろう付けでは材料の物性や表面状態に変化が生じることがある。特に上記のように薄型化に伴ってこれらの問題が顕著である。
【0008】
本開示は、製造過程において材料の物性や表面状態の変化を抑制できるベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシートの製造方法を提供する。また、ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシートが巻かれたロールの製造方法、ベーパーチャンバ用の中間体の製造方法、及び、ベーパーチャンバの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本開示の１つの態様は、ベーパーチャンバのための中間体が多面付けされたシートを製造する方法であって、第一のシートに複数のベーパーチャンバの流路のための形状を加工する工程と、第一のシートと第二のシートとを接合する工程と、を含み、接合する工程では、第一のシートと第二のシートの接合面のそれぞれに対して原子ビーム、イオンビーム、及びプラズマの少なくとも１つを照射した後に接合を行う、中間体が多面付けされたシートの製造方法である。
【0010】
本開示の他の態様は、ベーパーチャンバのための中間体が多面付けされたシートが巻かれたロールを製造する方法であって、第一のシートに複数のベーパーチャンバの流路のための形状を加工する工程と、第一のシートと第二のシートとを接合する工程と、を含み、接合する工程では、ロール状の第一のシートを巻き出すとともに、ロール状の第二のシートを巻き出し、それぞれの接合面に対して原子ビーム、イオンビーム、及びプラズマの少なくとも１つを照射した後に接合を行った後、接合したシートを巻き取ることよりロールとする、中間体が多面付けされたシートが巻かれたロールの製造方法である。
【0011】
本開示の他の態様は、上記した中間体が多面付けされたシート、又は、ロールを巻き出してなるシートに含まれる多面付けされた中間体から、１つの中間体を取り出す工程を含む、中間体の製造方法である。
【0012】
本開示の他の態様は、ベーパーチャンバのための中間体を製造する方法であって、第一のシートの表面にベーパーチャンバの流路のための形状を加工する工程と、第一のシートに第二のシートを接合する工程と、を含み、接合する工程では、第一のシート及び第二のシートの接合面のそれぞれに対して原子ビーム、イオンビーム、及びプラズマの少なくとも１つを照射した後に接合を行う、中間体の製造方法である。
【0013】
上記のようにして得た中間体に注入口を形成する工程と、注入口から作動流体を注入する工程と、注入口を塞ぐ工程を、を含む、ベーパーチャンバの製造方法を提供する。
【発明の効果】
【0014】
本開示によれば、材料の物性や表面状態の変化を抑制しつつベーパーチャンバを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、本開示を図面に示す形態に基づき説明する。なお、以下に示す図面では分かりやすさのため部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見やすさのため説明上不要な部分の図示や繰り返しとなる符号は省略することがある。
【0017】
［ベーパーチャンバの製造方法Ｓ１］
図１には１つの形態にかかるベーパーチャンバの製造方法Ｓ１（以下、「製造方法Ｓ１」と記載することがある。）の流れを示した。図１からわかるように、製造方法Ｓ１は、多面付け中間体シート・多面付け中間体ロールの製造Ｓ１０、中間体の製造Ｓ２０、注入口の形成Ｓ３０、注液Ｓ４０、及び、封止Ｓ５０の各工程を含んでいる。
ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシートの製造方法、ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシートが巻かれたロールの製造方法は、多面付け中間体シート・多面付け中間体ロールの製造Ｓ１０に含まれており、ベーパーチャンバ用の中間体の製造方法は、中間体の製造Ｓ２０までの工程に含まれている。
なお、以下では便宜のため、「ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシート」を「多面付け中間体シート」、「ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシートが巻かれたロール」を「多面付け中間体ロール」と記載することがある。
以下に各工程について詳しく説明する。
図１には１つの形態にかかるベーパーチャンバの製造方法Ｓ１（以下、「製造方法Ｓ１」と記載することがある。）の流れを示した。図１からわかるように、製造方法Ｓ１は、多面付け中間体シート・多面付け中間体ロールの製造Ｓ１０、中間体の製造Ｓ２０、注入口の形成Ｓ３０、注液Ｓ４０、及び、封止Ｓ５０の各工程を含んでいる。
ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシートの製造方法、ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシートが巻かれたロールの製造方法は、多面付け中間体シート・多面付け中間体ロールの製造Ｓ１０に含まれており、ベーパーチャンバ用の中間体の製造方法は、中間体の製造Ｓ２０までの工程に含まれている。
なお、以下では便宜のため、「ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシート」を「多面付け中間体シート」、「ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシートが巻かれたロール」を「多面付け中間体ロール」と記載することがある。
以下に各工程について詳しく説明する。
【0018】
＜材料＞
製造方法Ｓ１に先立って、材料を準備する。本形態では２枚のシートを接合することによりベーパーチャンバを製造することから、２枚の材料シートを準備する。
以下で説明するように、本形態では、２枚の材料シートから枚葉でベーパーチャンバを作製する形態ではなく、帯状に長い２つの材料シートを重ね合わせて複数の中間体が配列された多面付け中間体シート、多面付け中間体ロールを作製し、その後に中間体を個別に打ち抜く等してベーパーチャンバを作製するいわゆる「多面付け」の工程を経る態様である。従って、本形態で準備する材料シートは帯状に長い２つのシートであり、通常はこの帯状のシートが巻かれたロールで提供されている。
ただし、本開示は、多面付け特有の工程を除いては枚葉で作製する中間体、及び、枚葉で作製するベーパーチャンバのそれぞれの製造方法にも適用することができる。
製造方法Ｓ１に先立って、材料を準備する。本形態では２枚のシートを接合することによりベーパーチャンバを製造することから、２枚の材料シートを準備する。
以下で説明するように、本形態では、２枚の材料シートから枚葉でベーパーチャンバを作製する形態ではなく、帯状に長い２つの材料シートを重ね合わせて複数の中間体が配列された多面付け中間体シート、多面付け中間体ロールを作製し、その後に中間体を個別に打ち抜く等してベーパーチャンバを作製するいわゆる「多面付け」の工程を経る態様である。従って、本形態で準備する材料シートは帯状に長い２つのシートであり、通常はこの帯状のシートが巻かれたロールで提供されている。
ただし、本開示は、多面付け特有の工程を除いては枚葉で作製する中間体、及び、枚葉で作製するベーパーチャンバのそれぞれの製造方法にも適用することができる。
【0019】
材料シートを構成する材料は特に限定されることはないが、金属を用いることができる。その中でも熱伝導率が高い金属であることが好ましい。これには例えば銅、銅合金、アルミニウム等を挙げることができる。ただし、必ずしも金属材料でなくても電子ビーム等で表面を活性化することができれば用いることができ、例えばＡｌＮ、Ｓｉ３Ｎ４、又はＡｌ２Ｏ３などセラミックスや、ポリイミドやエポキシなど樹脂が挙げられる。
また、１つのシートで２種類以上の材料を積層したもの（いわゆるクラッド材）を用いてもよいし、部位によって材質が異なる材料であってもよい。
また、１つのシートで２種類以上の材料を積層したもの（いわゆるクラッド材）を用いてもよいし、部位によって材質が異なる材料であってもよい。
【0020】
材料シートの厚さは特に限定されることはないが、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．７５ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さは０．０２ｍｍ以上であることが好ましく、０．０５ｍｍ以上であってもよく、０．１ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより薄型のベーパーチャンバとして適用できる場面を多くすることができる。
これにより薄型のベーパーチャンバとして適用できる場面を多くすることができる。
【0021】
＜多面付け中間体シート・多面付け中間体ロールの製造Ｓ１０＞
多面付け中間体シート・多面付け中間体ロールの製造Ｓ１０（以下、「工程Ｓ１０」と記載することがある。）は、上記した材料から多面付け中間体シート、及び／又は、多面付け中間体ロールを製造する。図２には工程Ｓ１０の流れを示した。図２からわかるように、工程Ｓ１０は、加工Ｓ１１及び接合Ｓ１２の工程を含んでいる。
多面付け中間体シート・多面付け中間体ロールの製造Ｓ１０（以下、「工程Ｓ１０」と記載することがある。）は、上記した材料から多面付け中間体シート、及び／又は、多面付け中間体ロールを製造する。図２には工程Ｓ１０の流れを示した。図２からわかるように、工程Ｓ１０は、加工Ｓ１１及び接合Ｓ１２の工程を含んでいる。
【0022】
（加工Ｓ１１）
加工Ｓ１１は、ベーパーチャンバの流路のための形状を形成する工程である。本形態では２つの材料シートのうち一方の材料シートである多面付け第一シート１に当該形状を形成し、他方の材料シートである多面付け第二シート２は流路のための加工はすることなく利用する。図３には、加工後で形状１０が付与された多面付け第一シート１を説明する図を表した。この図からわかるように、多面付け第一シート１には、ベーパーチャンバの流路のための形状１０が複数配列されており、形状が多面付けされたシート１となり、このシート１が巻かれてロールとなっている。
加工Ｓ１１は、ベーパーチャンバの流路のための形状を形成する工程である。本形態では２つの材料シートのうち一方の材料シートである多面付け第一シート１に当該形状を形成し、他方の材料シートである多面付け第二シート２は流路のための加工はすることなく利用する。図３には、加工後で形状１０が付与された多面付け第一シート１を説明する図を表した。この図からわかるように、多面付け第一シート１には、ベーパーチャンバの流路のための形状１０が複数配列されており、形状が多面付けされたシート１となり、このシート１が巻かれてロールとなっている。
【0023】
形状１０の形成方法は特に限定されることはなく、エッチング、切削加工、及びプレス加工等を挙げることができる。この中でもエッチングによる形状の形成は他の方法に比べて効率がよく量産性が高い。この場合には、材料シートの厚さ方向に貫通することなくその途中までエッチングを行う、いわゆるハーフエッチングを適用することができる。
【0024】
ここで形状１０の具体的態様は特に限定されることはないが、例えば次のような形態とすることができる。図４～図１５に一つの形態例を説明する図を示した。図４は、図３のうち、多面付けされた形状１０のうちの１つの形状１０に注目した外観斜視図である。図３、図４及び以下に示す各図には必要に応じて便宜のため、方向を表す矢印（ｘ、ｙ、ｚ）も合わせて表示した。ここでｘｙ面内方向は平板状であるベーパーチャンバの板面方向であり、ｚ方向は厚さ方向である。
図５には図４をｚ方向から見た（平面視した）図を表した。また、図６には図５にＩ１－Ｉ１で示した線で切断したときの断面図を表した。
図５には図４をｚ方向から見た（平面視した）図を表した。また、図６には図５にＩ１－Ｉ１で示した線で切断したときの断面図を表した。
【0025】
付与される形状は、作動流体が還流するための溝、及び、この溝に作動流体を注入するための溝である。具体的には、外周液流路部１４、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６、及び、蒸気流路連通溝１７、及び、注入溝１８である。
【0026】
外周液流路部１４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路５４の一部を構成する部位である。図７には図６のうち矢印Ｉ２で示した部分、図８には図５にＩ３－Ｉ３で示した線で切断される部位の切断面を示した。いずれの図にも外周液流路部１４の断面形状が表れている。また、図９には図７に矢印Ｉ４で示した方向から見た外周液流路部１４をｚ方向から見た（平面視した）拡大図を表した。
【0027】
これらの図からわかるように、外周液流路部１４は、環状に構成される部位である。そして、外周液流路部１４には、この環状方向に沿って延びる複数の溝である液流路溝１４ａが設けられ、複数の液流路溝１４ａが、該液流路溝１４ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図７、図８からわかるように外周液流路部１４ではその断面において凹部である液流路溝１４ａと液流路溝１４ａの間である凸部１４ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
【0028】
このように複数の液流路溝１４ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１４ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路である凝縮液流路５４（図２７等参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１４ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路５４の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
【0029】
ここで液流路溝１４ａは溝であることから、その断面形状において、底部、及び底部とは向かい合わせとなる反対側に開口を備えている。本形態で液流路溝１４ａはその断面が半楕円形状とされている。ただし、当該断面形状は半楕円形状に限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、他の幾何学形状、及び、これらのいずれかを組み合わせた形状であってもよい。
【0030】
本形態では、外周液流路部１４において、図９からわかるように隣り合う液流路溝１４ａは、所定の間隔で連通開口部１４ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１４ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができ、円滑な作動流体の還流が可能となる。
本形態では図９で示したように１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで該液流路溝１４ａが延びる方向で同じ位置に対向するように連通開口部１４ｃが配置されている。ただしこれに限定されることはなく、例えば図１０に示したように、１つの液流路溝１４ａが延びる方向で異なる位置に連通開口部１４ｃが配置されてもよい。すなわち、液流路溝１４ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１４ｂと連通開口部１４ｃとが交互に配置されてもよい。
本形態では図９で示したように１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで該液流路溝１４ａが延びる方向で同じ位置に対向するように連通開口部１４ｃが配置されている。ただしこれに限定されることはなく、例えば図１０に示したように、１つの液流路溝１４ａが延びる方向で異なる位置に連通開口部１４ｃが配置されてもよい。すなわち、液流路溝１４ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１４ｂと連通開口部１４ｃとが交互に配置されてもよい。
【0031】
その他、例えば図１１～図１３に記載のような形態とすることもできる。図１１～図１３には、図９と同じ視点で、１つの凝縮液流路１４ａとこれを挟む２つの凸部１４ｂ、及び各凸部１４ｂに設けられた１つの連通開口部１４ｃを示した図を表した。これらはいずれも、当該視点（ｚ方向から見て、平面視）で凸部１４ｂの形状が図９の例とは異なる。
すなわち、図９に示した凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてもその幅が他の部位と同じであり一定である。これに対して図１１～図１３に示した形状の凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されている。より具体的には、図１１の例では当該端部において角が円弧状となり角にＲが形成されることにより端部の幅が小さくなる例、図１２は端部が半円状とされることにより端部の幅が小さくなる例、図１３は端部が尖るように先細りとなる例である。
すなわち、図９に示した凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてもその幅が他の部位と同じであり一定である。これに対して図１１～図１３に示した形状の凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されている。より具体的には、図１１の例では当該端部において角が円弧状となり角にＲが形成されることにより端部の幅が小さくなる例、図１２は端部が半円状とされることにより端部の幅が小さくなる例、図１３は端部が尖るように先細りとなる例である。
【0032】
図１１～図１３に示したように、凸部１４ｂにおいて連通開口部１４ｃが形成される端部でその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されていることで、連通開口部１４ｃを作動流体が移動しやすくなり、隣り合う凝縮液流路３への作動流体の移動が容易となる。
【0033】
以上のような構成を備える外周液流路部１４は、さらに次のような構成を備えることができる。
図５～図８にＷ１で示した外周液流路部１４の幅（液流路部１４ａが配列される方向の大きさ）は、ベーパーチャンバ全体の大きさ等から適宜設定することができるが、幅Ｗ１は、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、１．５ｍｍ以下であってもよく、１．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｗ１が３ｍｍを超えると内側の液流路や蒸気流路のための空間が十分にとれなくなる虞がある。一方、幅Ｗ１は０．１ｍｍ以上であることが好ましく、０．２ｍｍ以上であってもよく、０．４ｍｍ以上であってもよい。幅Ｗ１が０．１ｍｍより小さいと外側を還流する液の量が十分得られない虞がある。幅Ｗ１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
図５～図８にＷ１で示した外周液流路部１４の幅（液流路部１４ａが配列される方向の大きさ）は、ベーパーチャンバ全体の大きさ等から適宜設定することができるが、幅Ｗ１は、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、１．５ｍｍ以下であってもよく、１．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｗ１が３ｍｍを超えると内側の液流路や蒸気流路のための空間が十分にとれなくなる虞がある。一方、幅Ｗ１は０．１ｍｍ以上であることが好ましく、０．２ｍｍ以上であってもよく、０．４ｍｍ以上であってもよい。幅Ｗ１が０．１ｍｍより小さいと外側を還流する液の量が十分得られない虞がある。幅Ｗ１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0034】
液流路溝１４ａについて、図７、図９にＷ２で示した溝幅（液流路溝１４ａが配列される方向の大きさ、溝の開口面における幅）は１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、幅Ｗ２は２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。幅Ｗ２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0035】
また、図７、図８にＤ１で示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、深さＤ１は５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。深さＤ１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
以上のように構成することにより、還流に必要な凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮することができる。
以上のように構成することにより、還流に必要な凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮することができる。
【0036】
凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、溝幅Ｗ２を深さＤ１で割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でもＷ２はＤ１より大きくすることができる。これにより、生産性が高まることに加え、後述するように接合Ｓ１２のときに照射される原子ビーム、イオンビーム、及び／又はプラズマにより溝の内面の広い範囲が改質されやすくなり、いわゆる濡れ性が向上して熱的性能を向上させることが可能である。具体的にはアスペクト比は１．３より大きくすることができる。
その中でもＷ２はＤ１より大きくすることができる。これにより、生産性が高まることに加え、後述するように接合Ｓ１２のときに照射される原子ビーム、イオンビーム、及び／又はプラズマにより溝の内面の広い範囲が改質されやすくなり、いわゆる濡れ性が向上して熱的性能を向上させることが可能である。具体的にはアスペクト比は１．３より大きくすることができる。
【0037】
また、複数の液流路溝１４ａにおける隣り合う液流路溝１４ａのピッチは１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、ピッチは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して凝縮液流路が潰れることを抑制することができる。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して凝縮液流路が潰れることを抑制することができる。
【0038】
凸部１４ｂについて、図７、図９にＷ３で示した凸部１４ｂの幅（凸部が延びる方向に直交する方向、複数の凸部１４ｂが配列される方向における大きさ）は４００μｍ以下であることが好ましく、３００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、幅Ｗ３は１０μｍ以上であることが好ましく、２０μｍ以上であってもよく、３０μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ３の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0039】
連通開口部１４ｃについて、図９にＬ１で示した液流路溝１４ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、大きさＬ１は３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。大きさＬ１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＬ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0040】
また、図９にＬ２で示した液流路溝１４ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１４ｃのピッチは２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＬ２は６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0041】
図４～図６に戻って内側液流路部１５について説明する。内側液流路部１５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図１４には図６のうち矢印Ｉ５で示した部分を示した。この図にも内側液流路部１５の断面形状が表れている。また、図１５には図１４に矢印Ｉ６で示した方向から見た内側液流路部１５をｚ方向から見た拡大図を示した。
【0042】
これらの図からわかるように、内側液流路部１５は、外周液流路部１４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部１５は、図４、図５からわかるように、ｘ方向に延びる壁であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路当該延びる方向に直交する方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
各内側液流路部１５には、内側液流路部１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝１５ａが形成され、複数の液流路溝１５ａが、該液流路溝１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図６、図１４からわかるように内側液流路部１５ではその断面において、凹部である液流路溝１５ａと液流路溝１５ａの間である凸部１５ｂによる凸条とが凹凸を繰り返して形成されている。
各内側液流路部１５には、内側液流路部１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝１５ａが形成され、複数の液流路溝１５ａが、該液流路溝１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図６、図１４からわかるように内側液流路部１５ではその断面において、凹部である液流路溝１５ａと液流路溝１５ａの間である凸部１５ｂによる凸条とが凹凸を繰り返して形成されている。
【0043】
このように複数の液流路溝１５ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１５ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路としての凝縮液流路５４（図２７等参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１５ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
【0044】
ここで液流路溝１５ａは溝であることから、その断面形状において、底部、及び底部とは向かい合わせとなる反対側の開口を備えている。
本形態で液流路溝１５ａはその断面が半楕円形状とされている。ただし、当該断面形状は半楕円形状に限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、他の幾何学形状、及び、これらのいずれか複数を組み合わせた形態であってもよい。
本形態で液流路溝１５ａはその断面が半楕円形状とされている。ただし、当該断面形状は半楕円形状に限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、他の幾何学形状、及び、これらのいずれか複数を組み合わせた形態であってもよい。
【0045】
さらに、図１５からわかるように隣り合う液流路溝１５ａは、所定の間隔で連通開口部１５ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１５ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができるため、円滑な作動流体の還流が可能となる。
この連通開口部１５ｃについても、連通開口部１４ｃと同様に、図１０に示した例に倣って、液流路溝１５ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１５ｂと連通開口部１５ｃとが交互に配置されてもよい。また、図１１～図１３の例に倣って連通開口部１５ｃ及び凸部１５ｂの形状としてもよい。
この連通開口部１５ｃについても、連通開口部１４ｃと同様に、図１０に示した例に倣って、液流路溝１５ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１５ｂと連通開口部１５ｃとが交互に配置されてもよい。また、図１１～図１３の例に倣って連通開口部１５ｃ及び凸部１５ｂの形状としてもよい。
【0046】
以上のような構成を備える内側液流路部１５は、さらに次のような構成を備えることができる。
図５、図６、図１４にＷ４で示した内側液流路部１５の幅（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさ）は、３０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ４は１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
図５、図６、図１４にＷ４で示した内側液流路部１５の幅（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさ）は、３０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ４は１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0047】
また、複数の内側液流路部１５のピッチは、４０００μｍ以下であることが好ましく、３０００μｍ以下であってもよく、２０００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは２００μｍ以上であることが好ましく、４００μｍ以上であってもよく、８００μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより蒸気流路の流路抵抗を下げ、蒸気の移動と、凝縮液の還流とをバランスよく行うことができる。
これにより蒸気流路の流路抵抗を下げ、蒸気の移動と、凝縮液の還流とをバランスよく行うことができる。
【0048】
液流路溝１５ａについて、図１４、図１５にＷ５で示した溝幅（液流路溝１５ａが配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ５は２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ５の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ５の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図１４にＤ２で示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ２は５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。この深さＤ２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより還流に必要な凝縮液流路の毛管力を強く発揮することができる。
また、図１４にＤ２で示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ２は５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。この深さＤ２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより還流に必要な凝縮液流路の毛管力を強く発揮することができる。
【0049】
流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、溝幅Ｗ５を深さＤ２で割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。１．５以上であってもよいし、２．０以上であってもよい。又は１．０よりも小さくてもよく、０．７５以下でもよく０．５以下でもよい。
その中でも溝幅Ｗ５は深さＤ２よりも大きくすることができる。これにより、生産性が高まることに加え、後述するように接合Ｓ１２のときに照射される原子ビーム、イオンビーム、及び／又はプラズマにより溝の内面の広い範囲が改質されやすくなり、いわゆる濡れ性が向上して熱的性能を向上させることが可能である。具体的にはアスペクト比は１．３より大きくすることができる。
その中でも溝幅Ｗ５は深さＤ２よりも大きくすることができる。これにより、生産性が高まることに加え、後述するように接合Ｓ１２のときに照射される原子ビーム、イオンビーム、及び／又はプラズマにより溝の内面の広い範囲が改質されやすくなり、いわゆる濡れ性が向上して熱的性能を向上させることが可能である。具体的にはアスペクト比は１．３より大きくすることができる。
【0050】
また、複数の液流路溝１５ａにおける隣り合う液流路溝１５ａのピッチは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して流路が潰れることを抑制することができる。
これにより凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して流路が潰れることを抑制することができる。
【0051】
凸部１５ｂについて、図１４、図１５にＷ６で示した凸部１４ｂの幅（凸部が延びる方向に直交する方向、複数の凸部１４ｂが配列される方向における大きさ）は４００μｍ以下であることが好ましく、３００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、幅Ｗ６は１０μｍ以上であることが好ましく、２０μｍ以上であってもよく、３０μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ６の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ６の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0052】
さらに、連通開口部１５ｃについて、図１５にＬ３で示した液流路溝１５ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、この大きさＬ３は３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。この大きさＬ３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＬ３の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0053】
また、図１５にＬ４で示した、液流路溝１５ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１５ｃのピッチは、２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＬ４は６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチＬ４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、このピッチＬ４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0054】
上記した本形態の液流路溝１４ａ及び液流路溝１５ａは等間隔に離間して互いに平行に配置されているが、これに限られることは無く、毛細管作用を奏することができれば溝同士のピッチがばらついても良く、また溝同士が平行でなくても良い。
【0055】
次に蒸気流路溝１６について説明する。蒸気流路溝１６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位で、第１流路である蒸気流路５５（図２７等参照）の一部を構成する。図５にはｚ方向から見た蒸気流路溝１６の形状、図６には蒸気流路溝１６の断面形状がそれぞれ表れている。
【0056】
これらの図からもわかるように、蒸気流路溝１６は外周液流路部１４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１６は、隣り合う内側液流路部１５の間、及び、外周液流路部１４と内側液流路部１５との間に形成され、内側液流路部１５が延びる方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝１６が当該延びる方向に直交する方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図６からわかるように、ｙ方向において、外周液流路部１４及び内側液流路部１５の凸条、蒸気流路溝１６を凹条とした凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝１６は溝であることから、その断面形状において、底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側に開口を備えている。
ここで蒸気流路溝１６は溝であることから、その断面形状において、底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側に開口を備えている。
【0057】
このような構成を備える蒸気流路溝１６は、さらに次のような構成を備えることができる。
図５、図６にＷ７で示した蒸気流路溝１６の幅（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの幅Ｗ２、幅Ｗ５より大きく形成され、２０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ７は１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ７の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ７の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
蒸気流路溝１６のピッチは、内側液流路部１５のピッチにより決まるのが通常である。
図５、図６にＷ７で示した蒸気流路溝１６の幅（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの幅Ｗ２、幅Ｗ５より大きく形成され、２０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ７は１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ７の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ７の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
蒸気流路溝１６のピッチは、内側液流路部１５のピッチにより決まるのが通常である。
【0058】
一方、図６にＤ３で示した蒸気流路溝１６の深さは、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの深さＤ１、深さＤ２より大きく形成され、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ３は１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ３の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
このように、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝よりも大きくすることにより、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に還流することができる。
このように、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝よりも大きくすることにより、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に還流することができる。
【0059】
本形態では蒸気流路溝１６の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又はこれらのいずれか複数を組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより、作動流体の円滑な還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
【0060】
本形態では隣り合う内側液流路部１５の間に１つの蒸気流路溝１６が形成された例を説明したが、これに限らず、隣り合う内側液流路部の間に２つ以上の蒸気流路溝が並べて配置される形態であってもよい。
【0061】
蒸気流路連通溝１７は、複数の蒸気流路溝１６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路溝１６内の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路５４を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。
【0062】
本形態の蒸気流路連通溝１７は、図４、図５からわかるように、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６が延びる方向の両端部と、外周液流路部１４との間に形成されている。また、図８は図５にＩ３－Ｉ３で示した線に沿った切断面で、蒸気流路連通溝１７の連通方向に直交する断面が表れている。
図５では、わかり易さのため蒸気流路溝１６と蒸気流路連通溝１７との境界となるべき部分に点線を付した。ただしこの線は必ずしも形状により表れる線ではなくわかり易さのために付した仮想の線である。
図５では、わかり易さのため蒸気流路溝１６と蒸気流路連通溝１７との境界となるべき部分に点線を付した。ただしこの線は必ずしも形状により表れる線ではなくわかり易さのために付した仮想の線である。
【0063】
蒸気流路連通溝１７は、隣り合う蒸気流路溝１６を連通させるように形成されていればよく、その形状は特に限定されることはないが、例えば次のような構成を備えることができる。
図５、図８にＷ８で示した蒸気流路連通溝１７の幅（連通方向に直交する方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、７５０μｍ以下であってもよく、５００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ８は１００μｍ以上であることが好ましく、１５０μｍ以上であってもよく、２００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ８の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ８の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図８にＤ４で示した蒸気流路連通溝１７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ４は１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
図５、図８にＷ８で示した蒸気流路連通溝１７の幅（連通方向に直交する方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、７５０μｍ以下であってもよく、５００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ８は１００μｍ以上であることが好ましく、１５０μｍ以上であってもよく、２００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ８の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ８の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図８にＤ４で示した蒸気流路連通溝１７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ４は１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0064】
本形態で蒸気流路連通溝１７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形又は、これらのいずれか複数の組み合わせであってもよい。
蒸気流路連通溝は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
蒸気流路連通溝は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
【0065】
注入溝１８は、作動流体を蒸気流路溝１６に注入させる溝である。図４、図５からわかるように、本形態で注入溝１８は、外周液流路部１４を横切るようにして蒸気流路連通溝１７に連結した溝である。
注入溝１８が配置される位置は特に限定されることはなく、作動流体の注入の観点から適切な位置が選択される。
注入溝１８が配置される位置は特に限定されることはなく、作動流体の注入の観点から適切な位置が選択される。
【0066】
（接合Ｓ１２）
図２に示した接合Ｓ１２では、上記のように加工Ｓ１１で準備した多面付け第一シート１と多面付け第二シート２とを重ね合せて接合し、多面付け中間体シート５０、及び、これを巻いてなる多面付け中間体ロール５１を製造する。図１６に説明のための図を示した。例えば次のように接合を行う。なお、本形態ではこれらの各工程はいずれも不図示の真空ポンプに接続された真空槽６０の中で行われる。
図２に示した接合Ｓ１２では、上記のように加工Ｓ１１で準備した多面付け第一シート１と多面付け第二シート２とを重ね合せて接合し、多面付け中間体シート５０、及び、これを巻いてなる多面付け中間体ロール５１を製造する。図１６に説明のための図を示した。例えば次のように接合を行う。なお、本形態ではこれらの各工程はいずれも不図示の真空ポンプに接続された真空槽６０の中で行われる。
【0067】
多面付け第一シート１、及び、多面付け第二シート２がそれぞれロールから巻き出される。
【0068】
次いで、巻き出された多面付け第一シート１のうち、上記した形状１０が形成された側の面に対して、照射装置６１から、原子ビーム、イオンビーム、及びプラズマの少なくとも１つを照射する。
ここで、照射する原子ビームは中性原子の集団を一定の進行方向に細い線束として走らせたもの、イオンビームはイオンを電界で加速したもの、プラズマは気体を構成する分子が電離し陽イオンと電子に分かれて運動している状態をそれぞれ意味する。
これにより、多面付け第一シート１のうち照射が行われた面の酸化膜が除去される。
ここで、照射する原子ビームは中性原子の集団を一定の進行方向に細い線束として走らせたもの、イオンビームはイオンを電界で加速したもの、プラズマは気体を構成する分子が電離し陽イオンと電子に分かれて運動している状態をそれぞれ意味する。
これにより、多面付け第一シート１のうち照射が行われた面の酸化膜が除去される。
【0069】
同様に、巻き出された多面付け第二シート２のうち、多面付け第一シート１に重ねる側の面に対して、照射装置６２から、原子ビーム、イオンビーム、及びプラズマの少なくとも１つを照射する。
これにより、多面付け第二シート２のうち照射が行われた面の酸化膜が除去される。
これにより、多面付け第二シート２のうち照射が行われた面の酸化膜が除去される。
【0070】
以上のようにして照射が行われた多面付け第一シート１の面と多面付け第二シート２の面とを重ね合せて押圧ロール６３により押圧する。これにより多面付第一シート１と多面付け第二シート２とが接合され、多面付け中間体シート５０となる。そしてこの多面付け中間体シート５０が巻き取られて多面付け中間体ロール５１となる。
【0071】
このようにして、接合するシートの接合面に対して上記のような照射を行ってから接合を行うと、酸化膜が除去されており、例えば拡散接合のような強い力、高い温度による接合を行う必要がないため、材料の変質を抑制することができる。特に、ベーパーチャンバが薄くなることに伴い、このような材料の変質は例えば作動流体の封止不良等の問題を引き起こしやすくするため、このような問題の発生を抑制することができる。
また、接合面における酸化膜の除去だけでなく、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、蒸気流路溝１６、蒸気流路連通溝１７の内側の酸化膜も除去できるため、その内面の濡れ性が高まり、ベーパーチャンバの熱的性能も向上させることができる。
また、接合面における酸化膜の除去だけでなく、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、蒸気流路溝１６、蒸気流路連通溝１７の内側の酸化膜も除去できるため、その内面の濡れ性が高まり、ベーパーチャンバの熱的性能も向上させることができる。
【0072】
図１７には多面付け中間体シート５０、及び、多面付け中間体ロール５１の外観を示した。図１７では、形状１０は多面付け第一シート１と多面付け第二シートとの間に配置され外部からは見えないで点線で表している。
図１８には、多面付け中間体シート５０の多面付けした形状１０のうちの１つの形状１０にかかる部位の断面を表している。この断面は図６と同様の視点による図である。
図１８には、多面付け中間体シート５０の多面付けした形状１０のうちの１つの形状１０にかかる部位の断面を表している。この断面は図６と同様の視点による図である。
【0073】
これら図からわかるように、多面付け中間体シート５０、及び、多面付け中間体ロール５１では、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、蒸気流路溝１６、蒸気流路連通溝１７の開口が多面付け第二シート２により閉鎖されており、それ中空部を形成している。
そして上記のように接合Ｓ１２は真空槽６０内でおこなわれているため、この中空部内も真空状態であり、この真空状態が維持される。
これによれば、多面付け中間体シート５０、多面付け中間体ロール５１を保管、搬送する等、すぐにはベーパーチャンバへの加工はしないときであっても、中空部の内側を真空状態に維持することができるため、中空部の内面の酸化膜の生成を抑制することができる。従って、その後この多面付け中間体シート５０を用いてベーパーチャンバを作製しても内面に酸化膜が少なく、熱的性能が良好なベーパーチャンバとすることが可能である。
そして上記のように接合Ｓ１２は真空槽６０内でおこなわれているため、この中空部内も真空状態であり、この真空状態が維持される。
これによれば、多面付け中間体シート５０、多面付け中間体ロール５１を保管、搬送する等、すぐにはベーパーチャンバへの加工はしないときであっても、中空部の内側を真空状態に維持することができるため、中空部の内面の酸化膜の生成を抑制することができる。従って、その後この多面付け中間体シート５０を用いてベーパーチャンバを作製しても内面に酸化膜が少なく、熱的性能が良好なベーパーチャンバとすることが可能である。
【0074】
本形態では、多面付け中間体シート５０、多面付け中間体ロール５１の中空部が真空である例を説明したが、真空とする代わりに不活性ガスで満たしてもよい。これによっても中空部内面の酸化を抑制することができる。
また、この中空部内を空気としても、この中空部が外部から遮断されており、空気の入れ替わりが無ければ、酸化膜の生成は抑制されるため、中空部が外部から遮断されて閉塞されていればよい。
また、この中空部内を空気としても、この中空部が外部から遮断されており、空気の入れ替わりが無ければ、酸化膜の生成は抑制されるため、中空部が外部から遮断されて閉塞されていればよい。
【0075】
＜中間体の製造Ｓ２０＞
図１に示した中間体の製造Ｓ２０では、多面付け中間体シート５０、多面付け中間体ロール５１から、中間体５２を製造する過程である。具体的には、中間体５２は、中間体５２が多面付けされた多面付け中間体シート５０から個別の中間体５２を打ち抜き等の公知の方法を用いて取り出す。
図１９には中間体５２の外観斜視図、図２０には中間体５２をｚ方向からみた（平面視した）図を表した。図２０には中間体５２の内部に形成された中空部の形態を点線で表している。
図１に示した中間体の製造Ｓ２０では、多面付け中間体シート５０、多面付け中間体ロール５１から、中間体５２を製造する過程である。具体的には、中間体５２は、中間体５２が多面付けされた多面付け中間体シート５０から個別の中間体５２を打ち抜き等の公知の方法を用いて取り出す。
図１９には中間体５２の外観斜視図、図２０には中間体５２をｚ方向からみた（平面視した）図を表した。図２０には中間体５２の内部に形成された中空部の形態を点線で表している。
【0076】
【0077】
図２０にＷ９で示した接合部の幅は必要に応じて適宜設定することができるが、この幅Ｗ９は、３ｍｍ以下であることが好ましく、２．５ｍｍ以下であってもよく、２．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｗ９が３ｍｍより大きくなると、作動流体のための空間の内容積が小さくなり蒸気流路や凝縮液流路が十分確保できなくなる虞がある。一方、幅Ｗ９は０．２ｍｍ以上であることが好ましく、０．６ｍｍ以上であってもよく、０．８ｍｍ以上であってもよい。幅Ｗ９が０．２ｍｍより小さくなると第一シートと第二シートとの接合時における位置ずれが生じた際に接合面積が不足する虞がある。幅Ｗ９の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ９の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0078】
＜注入口の形成Ｓ３０＞
図１に示した注入口の形成Ｓ３０では、中空部に作動流体を注入するための開口を形成する。従って、本形態では外部から注入溝１８に連通する開口を形成する。図２１、図２２には１つの例にかかる注入口１９、及び、図２３、図２４には他の例にかかる注入口１９を示した。
図１に示した注入口の形成Ｓ３０では、中空部に作動流体を注入するための開口を形成する。従って、本形態では外部から注入溝１８に連通する開口を形成する。図２１、図２２には１つの例にかかる注入口１９、及び、図２３、図２４には他の例にかかる注入口１９を示した。
【0079】
図２１、図２２に示した例では、中間体５２に対してｚ方向から穴を開けることにより注入口１９を形成して、注入溝１８と外部とを連通する。
図２３、図２４に示した例では、中間体５２の端面を除去することにより注入口１９を形成して、注入溝１８と外部とを連通する。
図２３、図２４に示した例では、中間体５２の端面を除去することにより注入口１９を形成して、注入溝１８と外部とを連通する。
【0080】
＜注液Ｓ４０＞
図１に示した注液Ｓ４０では、形成した注入口１９を利用して中空部に対して作動流体を注入する。注入の方法は特に限定されることはなく、公知の方法を適用することができる。
図１に示した注液Ｓ４０では、形成した注入口１９を利用して中空部に対して作動流体を注入する。注入の方法は特に限定されることはなく、公知の方法を適用することができる。
【0081】
作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン、及びそれらの混合物等、通常のベーパーチャンバに用いられる作動流体を用いることができる。
【0082】
＜封止Ｓ５０＞
封止Ｓ５０では作動流体が注入された状態で注入溝１８を閉じる。閉じるための方法は特に限定されることはないが、かしめや溶接等を挙げることができる。
封止Ｓ５０では作動流体が注入された状態で注入溝１８を閉じる。閉じるための方法は特に限定されることはないが、かしめや溶接等を挙げることができる。
【0083】
［ベーパーチャンバ］
以上のようにして製造されたベーパーチャンバ５３は次のような構成を有する。図２５～図２７に説明のための図を示した。図２５はベーパーチャンバ５３の外観斜視図、図２６はベーパーチャンバ５３をｚ方向から見た図、図２７は図２６にＩ７－Ｉ７で示した線に沿った断面図である。図２６では、その内側の構造を点線で表している。
以上のようにして製造されたベーパーチャンバ５３は次のような構成を有する。図２５～図２７に説明のための図を示した。図２５はベーパーチャンバ５３の外観斜視図、図２６はベーパーチャンバ５３をｚ方向から見た図、図２７は図２６にＩ７－Ｉ７で示した線に沿った断面図である。図２６では、その内側の構造を点線で表している。
【0084】
ベーパーチャンバ５３の内部は、中間体５２の中空部に作動流体が封入されることで密閉空間とされている。
具体的にはこの密閉空間は、液流路溝１４ａ及び液流路溝１５ａにより作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路５４、並びに、蒸気流路溝１６により作動流体が凝縮して気化した状態である蒸気が流れる第１流路である蒸気流路５５を具備する。さらにこの密閉空間は、蒸気流路連通溝１７により蒸気流路溝１６を連通する流路も備える。
このように凝縮液流路５４は第１流路である蒸気流路５５とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。また、凝縮液流路５４を断面においてその四方を壁で囲まれた細い流路を形成することにより強い毛細管力で凝縮液を移動させ、円滑な循環が可能となる。
具体的にはこの密閉空間は、液流路溝１４ａ及び液流路溝１５ａにより作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路５４、並びに、蒸気流路溝１６により作動流体が凝縮して気化した状態である蒸気が流れる第１流路である蒸気流路５５を具備する。さらにこの密閉空間は、蒸気流路連通溝１７により蒸気流路溝１６を連通する流路も備える。
このように凝縮液流路５４は第１流路である蒸気流路５５とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。また、凝縮液流路５４を断面においてその四方を壁で囲まれた細い流路を形成することにより強い毛細管力で凝縮液を移動させ、円滑な循環が可能となる。
【0085】
ここで、第２流路である凝縮液流路５４の流路断面積は、当該第１流路である蒸気流路５５の流路断面積より小さくされている。より具体的には、隣り合う２つの蒸気流路５５（本形態では１つの蒸気流路溝１６により形成される蒸気流路５５）の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う２つの蒸気流路５５の間に配置される複数の凝縮液流路５４（本形態では１つの内側液流路部１５により形成される複数の凝縮液流路５４）の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、凝縮液流路５４と蒸気流路５５とは、ＡｌがＡｇの０．５倍以下の関係にあるものとし、好ましくは０．２５倍以下である。これにより作動流体はその相態様（気相、液相）によって第１流路と第２流路とを選択的に通り易くなる。
この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。
この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。
【0086】
なお、この凝縮液流路５４についても流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、流路幅を流路高さで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点から流路幅が流路高さより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
その中でも製造の観点から流路幅が流路高さより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
【0087】
次にベーパーチャンバ５３の作用について説明する。図２８には電子機器の一形態である携帯型端末５６の内側にベーパーチャンバ５３が配置された状態を模式的に表した。また、図２９には作動流体の流れを説明する図を表した。説明のし易さのため、この図ではベーパーチャンバ５３の内部構造を実線で表している。
【0088】
ベーパーチャンバ５３は携帯型端末５６の筐体５７の内側に配置されているため点線で表している。このような携帯型端末５６は、各種電子部品を内包する筐体５７及び筐体５７の開口部を通して外部に画像が見えるように露出したディスプレイユニット５８を備えて構成されている。そしてこれら電子部品の１つとして、ベーパーチャンバ５３により冷却すべき電子部品５９が筐体５７内に配置されている。
【0089】
ベーパーチャンバ５３は携帯型端末等の筐体内に設置され、ＣＰＵ等の冷却すべき対象物である電子部品５９に取り付けられる。電子部品５９はベーパーチャンバ５３の外面に直接、又は、熱伝導性の高い粘着剤、シート、テープ等の他の部材を介して取り付けられる。外面のうちどの位置に電子部品５９が取り付けられるかは特に限定されることはなく、携帯型端末等において他の部材の配置との関係により適宜設定される。本形態では図２９に点線で示したように、冷却すべき熱源である電子部品５９を外面の中央に配置した。
【0090】
電子部品５９が発熱すると、その熱が伝わり、密閉空間内における電子部品５９に近い位置に存在する凝縮液が熱を受ける。この熱を受けた凝縮液は熱を吸収し蒸発し気化する。これにより電子部品５９が冷却される。
【0091】
気化した作動流体は蒸気となって図２９に実線の直線矢印で示したように蒸気流路５５を流れて移動する。この流れは電子部品５９から離隔する方向に生じるため、蒸気は電子部品５９から離れる方向に移動する。
蒸気流路５５内の蒸気は熱源である電子部品５９から離れ、比較的温度が低いベーパーチャンバ１の外周部に移動し、当該移動の際に順次熱を奪われながら冷却される。その熱はベーパーチャンバ５３の外面に接触した携帯型端末装置の筐体等に熱を伝え、最終的に熱は外気に放出される。
蒸気流路５５内の蒸気は熱源である電子部品５９から離れ、比較的温度が低いベーパーチャンバ１の外周部に移動し、当該移動の際に順次熱を奪われながら冷却される。その熱はベーパーチャンバ５３の外面に接触した携帯型端末装置の筐体等に熱を伝え、最終的に熱は外気に放出される。
【0092】
蒸気流路５５を移動しつつ熱を奪われた作動流体は凝縮して液化する。この凝縮液は蒸気流路５５の壁面に付着する。一方で蒸気流路５５には連続して蒸気が流れているので、凝縮液は蒸気で押し込まれるようにして凝縮液流路５４に移動する。本形態の凝縮液流路５４は連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを備えているので、凝縮液はこの連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを通って複数の凝縮液流路５４に分配される。
本形態では凝縮液流路５４と蒸気流路５５とを分離して構成しているので作動流体が円滑に還流する。
本形態では凝縮液流路５４と蒸気流路５５とを分離して構成しているので作動流体が円滑に還流する。
【0093】
凝縮液流路３に入った凝縮液は、凝縮液流路による毛細管現象、及び、蒸気からの押圧により、図２９に点線の直線矢印で表したように熱源である電子部品５９に近づくように移動する。
このとき、凝縮液流路５４は断面においてその四方が壁となり、毛細管力を高めることができる。これにより円滑な凝縮液の移動が可能とされている。
そして再度熱源である電子部品５９からの熱により気化して上記を繰り返す。
このとき、凝縮液流路５４は断面においてその四方が壁となり、毛細管力を高めることができる。これにより円滑な凝縮液の移動が可能とされている。
そして再度熱源である電子部品５９からの熱により気化して上記を繰り返す。
【0094】
また、上記したように、本形態では接合Ｓ２１のときに原子ビーム、イオンビーム、及びプラズマの少なくとも１つの照射により酸化膜が除去されるとともに、製造過程で、多面付け中間体シート５０、多面付け中間体ロール５１、及び中間体５２において、中空部（凝縮液流路５４、蒸気流路５５）の内面に酸化膜が生じ難い状態が維持されているので、凝縮液流路５４、蒸気流路５５の内面の濡れ性がよく、作動流体の円滑な流動及び熱移動を高めることができる。
【0095】
上記形態では、多面付け第一シート１のみに液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、蒸気流路溝１６が設けられた例を示したが、図３０に示したように多面付け第二シート２にも蒸気流路溝２６が設けられてもよく、図３１に示したように多面付け第二シート２にも液流路溝２４ａ、液流路溝２５ａ、蒸気流路溝２６が設けられてもよい。
この例でも本開示の多面付け中間体シート、多面付け中間体ロール、中間体及びベーパーチャンバとすることができる。
この例でも本開示の多面付け中間体シート、多面付け中間体ロール、中間体及びベーパーチャンバとすることができる。
【0096】
また、２つの多面付けシートからなることに限られることはなく、図３２に示したように３つの多面付けシートによる多面付け中間体シート、多面付け中間体ロール、並びにここから製造される中間体、及びベーパーチャンバであってもよい。
【0097】
図３２に示した多面付け中間体シートは、多面付け第一シート１、多面付け第二シート２、及び、多面付け中間シート３（多面付け第三シート３）の積層体である。
多面付け第一シート１と多面付け第二シート２との間に挟まれるように多面付け中間シート３が配置され、それぞれが上記した例に倣って接合されている。多面付け中間シート３についてはその両面に原子ビーム、イオンビーム、及びプラズマの少なくとも１つが照射される。
多面付け第一シート１と多面付け第二シート２との間に挟まれるように多面付け中間シート３が配置され、それぞれが上記した例に倣って接合されている。多面付け中間シート３についてはその両面に原子ビーム、イオンビーム、及びプラズマの少なくとも１つが照射される。
【0098】
この例では多面付け第一シート１、及び、多面付け第二シート２はその両面が平坦である。
この時の、多面付け第一シート１及び多面付け第二シート２の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．００５ｍｍ以上であることが好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
この時の、多面付け第一シート１及び多面付け第二シート２の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．００５ｍｍ以上であることが好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0099】
多面付け中間シート３には、蒸気流路溝３６、外周液流路部３４、内側液流路部３５、液流路溝３４ａ、液流路部３５ａが備えられている。
蒸気流路溝３６は、多面付け中間シート３を厚さ方向に貫通した溝であり、上記した蒸気流路溝１６により第１流路である蒸気流路５５を構成する溝と同様の溝であり、これに相当する形態で配置される。
外周液流路部３４及び液流路溝３４ａは、上記した外周液流路部１４及び液流路溝１４ａと同様に考えることができ、外周液流路部３５及び液流路溝３５ａは、上記した外周液流路部１５及び液流路溝１５ａと同様に考えることができる。
蒸気流路溝３６は、多面付け中間シート３を厚さ方向に貫通した溝であり、上記した蒸気流路溝１６により第１流路である蒸気流路５５を構成する溝と同様の溝であり、これに相当する形態で配置される。
外周液流路部３４及び液流路溝３４ａは、上記した外周液流路部１４及び液流路溝１４ａと同様に考えることができ、外周液流路部３５及び液流路溝３５ａは、上記した外周液流路部１５及び液流路溝１５ａと同様に考えることができる。
【0100】
本開示の上記各形態の例はそのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の形態とすることができる。各形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。
【符号の説明】
【0101】
１ 多面付け第一シート
２ 多面付け第二シート
５０ 多面付け中間体シート
５１ 多面付け中間体ロール
５２ 中間体
５３ ベーパーチャンバ
Ｓ１ ベーパーチャンバの製造方法
Ｓ１０ 多面付け中間体シート・多面付け中間体ロールの製造
Ｓ１１ 加工
Ｓ１２ 接合
Ｓ２０ 中間体の製造
Ｓ３０ 注入口の形成
Ｓ４０ 注液
Ｓ５０ 封止
２ 多面付け第二シート
５０ 多面付け中間体シート
５１ 多面付け中間体ロール
５２ 中間体
５３ ベーパーチャンバ
Ｓ１ ベーパーチャンバの製造方法
Ｓ１０ 多面付け中間体シート・多面付け中間体ロールの製造
Ｓ１１ 加工
Ｓ１２ 接合
Ｓ２０ 中間体の製造
Ｓ３０ 注入口の形成
Ｓ４０ 注液
Ｓ５０ 封止
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】