特許 7563627 測定用プローブ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-09-30

(45)【発行日】2024-10-08

(54)【発明の名称】測定用プローブ

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/067 20060101AFI20241001BHJP

   G01R 1/073 20060101ALI20241001BHJP

   H01R 13/24 20060101ALI20241001BHJP

【ＦＩ】

G01R1/067 C

G01R1/073 D

H01R13/24

【請求項の数】 18

(21)【出願番号】P 2023559442

(86)(22)【出願日】2022-09-03

(86)【国際出願番号】 JP2022033201

(87)【国際公開番号】W WO2023084888

(87)【国際公開日】2023-05-19

【審査請求日】2024-05-08

(31)【優先権主張番号】P 2021184436

(32)【優先日】2021-11-12

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100158207

【弁理士】

【氏名又は名称】河本 尚志

(72)【発明者】

【氏名】山口 亨

【審査官】田口 孝明

(56)【参考文献】

【文献】特表２０２０－５３７１６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０６－３２４０７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－０１４４４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－１５２５４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０２１／０７５４５５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０２０／１２２００６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】中国特許出願公開第１０９２５４１８０（ＣＮ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第２０１１－０１２６３６６（ＫＲ，Ａ）

【文献】特開２００９－２６５０４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２００７－５２５８０９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

ＩＰＣ Ｇ０１Ｒ １／０６－１／０７３、

３１／２６－３１／２７、

３１／２８－３１／３１９３、

Ｈ０１Ｒ １３／００－１３／０８、

１３／１５ー１３／３５、

Ｈ０１Ｌ ２１／６４－２１／６６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

１対の開口を有し、かつ、内周面および外周面を有する、筒状のハウジングと、
金属からなる、少なくとも１本のピンと、
前記ピンを保持する外部プランジャと、
１対の開口を有し、かつ、内周面および外周面を有する、前記外部プランジャを前記ハウジングに固定するための、筒状の固定部材と、を備え、
前記外部プランジャに第１係止部が形成され、
前記固定部材に第２係止部が形成され、
前記第１係止部と前記第２係止部とを係止させた状態で、前記外部プランジャの少なくとも一部分を前記固定部材の内部に収容し、前記固定部材を回転させて、前記固定部材によって前記外部プランジャを前記ハウジングに固定した測定用プローブであって、
更に、少なくとも１つの貫通孔を有する樹脂ホルダを備え、
前記ピンを前記貫通孔に保持させたうえで、前記樹脂ホルダを前記外部プランジャに取り付け、
前記ピンを前記外部プランジャに間接的に保持させ、
前記樹脂ホルダの前記ハウジング側に、前記樹脂ホルダの前記貫通孔に保持された前記ピンを、前記樹脂ホルダの方向に押圧する、板状部材を備えた、
測定用プローブ。

【請求項2】

前記固定部材の前記内周面に第１ネジ山が形成され、
前記ハウジングの前記外周面に第２ネジ山が形成され、
前記固定部材による前記外部プランジャの前記ハウジングへの固定が、
前記固定部材を回転させて、
前記第１ネジ山と前記第２ネジ山とを螺合させることによっておこなわれた、
請求項１に記載された測定用プローブ。

【請求項3】

前記ハウジングの前記外周面に固定用突起が形成され、
前記固定部材に、前記内周面と前記外周面との間を貫通した固定用溝が形成され、
前記固定用溝は、前記固定部材の一方の前記開口から他方の前記開口に向う方向に伸びる第１溝と、前記第１溝の終点から方向を変え、前記第１溝の伸びる方向と交わる方向に伸びる第２溝とを有し、
前記固定部材による前記外部プランジャの前記ハウジングへの固定が、
前記ハウジングの前記外周面に前記固定部材の前記内周面を被せて、前記固定用突起が前記第１溝の前記終点に達するまで、前記固定部材を前記ハウジングに押し込んだうえ、前記固定部材を回転させて、前記固定用突起を前記第２溝の中でスライドさせることによっておこなわれた、
請求項１に記載された測定用プローブ。

【請求項4】

前記第２溝の前記第１溝と反対側の端部に、前記第２溝の伸びる方向と異なる方向に伸びる第３溝が形成され、
前記固定用突起が前記第３溝に係合されて、前記外部プランジャが前記固定部材によって前記ハウジングへ固定された、
請求項３に記載された測定用プローブ。

【請求項5】

前記外部プランジャが、第１プランジャ部と第２プランジャ部とを有し、
前記第１プランジャ部は、凸状部を有し、前記凸状部の先端に前記ピンが保持され、
前記第２プランジャ部は、貫通孔を有し、
前記第１プランジャ部と前記第２プランジャ部との間に、内部スプリングを介在させて、前記凸状部が前記貫通孔に挿通され、
前記外部プランジャは、前記第１プランジャ部を前記ハウジング側にし、前記第２プランジャ部を前記固定部材側にして、前記ハウジングと前記固定部材の間に配置され、かつ、少なくとも前記第２プランジャ部の一部分が前記固定部材の外に配置され、
前記第２プランジャ部を前記ハウジングの方向に押圧したとき、前記内部スプリングが縮み、前記第１プランジャ部の前記凸状部の先端に保持された前記ピンが、前記第２プランジャ部の前記貫通孔から突出する、
請求項１に記載された測定用プローブ。

【請求項6】

前記第１プランジャ部に、第１位置合わせ突起が形成され、
前記第２プランジャ部に、第２位置合わせ突起が形成され、
前記固定部材に、前記内周面と前記外周面との間を貫通した位置合わせ用溝、および、前記内周面側が開口した有底の位置合わせ用溝の少なくとも一方が形成され、
前記第１位置合わせ突起および前記第２位置合わせ突起が、それぞれ、前記位置合わせ用溝の中に配置されることによって、
前記第１プランジャ部および前記第２プランジャ部は、前記固定部材に対して、回転が抑制されている、
請求項５に記載された測定用プローブ。

【請求項7】

前記外部プランジャに、前記第１係止部に該当する第１係止部フランジが形成され、
前記外部プランジャの前記第１係止部フランジと、前記固定部材の前記第２係止部との間に、内部スプリングが配置され、
前記第１係止部と前記第２係止部とが、前記内部スプリングを介して、間接的に係合された、
請求項１に記載された測定用プローブ。

【請求項8】

前記外部プランジャ、および、前記ハウジングの少なくとも一方に、前記外部プランジャと前記ハウジングとの間の相対的な位置を決める、位置決め部が形成された、
請求項１に記載された測定用プローブ。

【請求項9】

前記外部プランジャの一方の端部に、前記位置決め部として、第１嵌合部が形成され、
前記ハウジングの一方の前記開口に、前記位置決め部として、第２嵌合部が形成され、
前記第１嵌合部と前記第２嵌合部とを嵌合させることによって、前記外部プランジャは前記ハウジングに位置決めされ、
前記外部プランジャから前記ハウジングに向う方向に対して垂直な、前記第１嵌合部と前記第２嵌合部との嵌合断面を見たとき、前記第１嵌合部と前記第２嵌合部との嵌合面が非円形であり、
前記固定部材を回転させても、
前記外部プランジャは前記ハウジングに対して相対的に回転しない、
請求項８に記載された測定用プローブ。

【請求項10】

前記ピンがスプリングピンである、
請求項１に記載された測定用プローブ。

【請求項11】

前記スプリングピンが、内部にばねを備えた本体部と、前記本体部から一方の方向に伸びる第１ピンと、前記本体部から他方の方向に伸びる第２ピンとを有し、
前記本体部を保持した状態で、前記本体部に対して前記第１ピンを押圧したとき、前記第１ピンは前記本体部の方向に縮み、
前記本体部を保持した状態で、前記本体部に対して前記第２ピンを押圧したとき、前記第２ピンは前記本体部の方向に縮む、
請求項１０に記載された測定用プローブ。

【請求項12】

前記板状部材がプリント回路基板であり、
前記ピンが、前記プリント回路基板に形成された第１電極に当接し、前記ピンと前記第１電極とが電気的に接続された、
請求項１に記載された測定用プローブ。

【請求項13】

信号ケーブルと、
前記ハウジングに収容され、かつ、前記信号ケーブルが接続されたケーブルアダプタと、を備え、
前記ケーブルアダプタの端子が、前記プリント回路基板に形成された第２電極に当接し、前記端子と前記第２電極とが電気的に接続された、
請求項１２に記載された測定用プローブ。

【請求項14】

前記外部プランジャの一方の端部に、第３嵌合部が形成され、
前記プリント回路基板、および、前記ケーブルアダプタの一方の端部が、前記第３嵌合部に嵌合され、
前記固定部材を回転させても、
前記プリント回路基板、および、前記ケーブルアダプタが、前記ハウジングに対して相対的に回転しない、
請求項１３に記載された測定用プローブ。

【請求項15】

両主面間を貫通する孔を有するフランジを備え、
前記孔に、前記ハウジングが挿通され、
前記ハウジングの他方の前記開口に、前記孔からの抜け止めが形成され、
前記ハウジングの前記外周面、かつ、前記フランジと前記固定部材との間に、外部スプリングが設けられた、
請求項１ないし１４のいずれか１項に記載された測定用プローブ。

【請求項16】

両主面間を貫通する孔を有するフランジを備え、
前記孔に、前記ハウジングが挿通され、
前記ハウジングの他方の前記開口に、前記孔からの抜け止めが形成され、
前記ハウジングの前記外周面にストッパが形成され、
前記ハウジングの前記外周面、かつ、前記フランジと前記ストッパとの間に、外部スプリングが設けられた、
請求項１ないし１４のいずれか１項に記載された測定用プローブ。

【請求項17】

前記外部スプリングと前記固定部材との間に、少なくとも１つのスペーサが設けられた、
請求項１５に記載された測定用プローブ。

【請求項18】

前記外部スプリングと前記ストッパとの間に、少なくとも１つのスペーサが設けられた、
請求項１６に記載された測定用プローブ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被測定物の特性の測定に使用する測定用プローブに関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、電子部品や電子機器の製造現場において、製造中の製品や完成した製品の高周波特性などの測定に、測定用プローブが使用されている。特許文献１に、そのような測定用プローブ（静電気対策型プローブ）が開示されている。図１３に、特許文献１に開示された測定用プローブ１０００を示す。

【0003】

測定用プローブ１０００は、外部導体１０１と内部導体１０２とを備えている。外部導体１０１と内部導体１０２との間は、誘電体層１０９によって絶縁されている。

【0004】

外部導体１０１は、外部導体本体１５１とカバー体１５２とを備えている。外部導体本体１５１の一方の端部の外周面に、雄ねじ部１４０が形成されている。カバー体１５２は１対の開口を備えた筒状であり、一方の開口の内周面に、雌ねじ部１４１が形成されている。外部導体１０１は、雄ねじ部１４０と雌ねじ部１４１とを螺合させることによって、外部導体本体１５１とカバー体１５２とが一体化されている。

【0005】

内部導体１０２は、コンタクトピン１０６と接続導体１３０とを備えている。コンタクトピン１０６は、ピン本体１２１とソケット１２２とを備えている。コンタクトピン１０６のソケット１２２が、誘電体層１０９の貫通孔１１１内に保持されている。ピン本体１２１は、ソケット１２２に対して抜き差し可能に形成されている。

【0006】

カバー体１５２に、ピン突出孔１４４が形成されている。コンタクトピン１０６のピン本体１２１が、絶縁体層１４５を介して、ピン突出孔１４４から外部に導出されている。コンタクトピン１０６には、抜け止めの係止片１２４が形成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【文献】特開２００１-３０５１５９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

測定用プローブ１０００は、上記の構造からなるため、ピン本体１２１を１本しか備えることができなかった。

【0009】

また、測定用プローブ１０００は、コンタクトピン１０６のピン本体１２１が壊れた場合には、ピン本体１２１をソケット１２２から抜いて交換することができる。しかし、コンタクトピン１０６のソケット１２２が壊れた場合には、誘電体層１０９の貫通孔１１１内に埋め込まれているため、交換することが難しかった。また、測定用プローブ１０００は、誘電体層１０９が割れたり欠けたりした場合にも、外部導体本体１５１の内周面に強く保持されているため、交換することが難しかった。

【0010】

また、測定用プローブ１０００は、カバー体１５２を回転させ、雄ねじ部１４０と雌ねじ部１４１とを螺合させて、カバー体１５２と外部導体本体１５１とを一体化させるときに、ピン本体１２１が回転してしまい、ピン本体１２１や絶縁体層１４５が壊れてしまうことがあった。同様に、カバー体１５２を逆方向に回転させ、雄ねじ部１４０と雌ねじ部１４１との螺合を解除させて、カバー体１５２と外部導体本体１５１とを分離させるときに、ピン本体１２１が回転してしまい、ピン本体１２１や絶縁体層１４５が壊れてしまうことがあった。

【0011】

そこで、本発明は、複数のピンを備えることができる測定用プローブを提供することを目的とする。

【0012】

また、本発明は、ピンを始めとする構成要素が破損や故障した場合に、当該構成要素だけを容易に交換することができる測定用プローブを提供することを目的とする。

【0013】

また、本発明は、被測定物の種類や構造が変わった場合に、ピンの配置や本数、ピンどうしの間のピッチなどを容易に変えることができる測定用プローブを提供することを目的とする。

【0014】

また、本発明は、製造時やメンテナンス時に、ピンなどが壊れにくい測定用プローブを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0015】

本発明の一実施態様にかかる測定用プローブは、１対の開口を有し、かつ、内周面および外周面を有する、筒状のハウジングと、金属からなる、少なくとも１本のピンと、ピンを保持する外部プランジャと、１対の開口を有し、かつ、内周面および外周面を有する、外部プランジャをハウジングに固定するための、筒状の固定部材と、を備え、外部プランジャに第１係止部が形成され、固定部材に第２係止部が形成され、第１係止部と第２係止部とを係止させた状態で、外部プランジャの少なくとも一部分を固定部材の内部に収容し、固定部材を回転させて、固定部材によって外部プランジャをハウジングに固定し、更に、少なくとも１つの貫通孔を有する樹脂ホルダを備え、ピンを貫通孔に保持させたうえで、樹脂ホルダを外部プランジャに取り付け、ピンを外部プランジャに間接的に保持させ、樹脂ホルダのハウジング側に、樹脂ホルダの貫通孔に保持されたピンを、樹脂ホルダの方向に押圧する、板状部材を備えたものとする。

【発明の効果】

【0016】

本発明の一実施態様にかかる測定用プローブは、複数のピンを備えることができる。すなわち、外部プランジャに、複数のピンを保持させることができる。

【0017】

また、本発明の一実施態様にかかる測定用プローブは、構成要素が破損や故障した場合に、当該構成要素だけを容易に交換することができる。

【0018】

また、本発明の一実施態様にかかる測定用プローブは、被測定対象物の種類や構造が変わった場合に、ピンの配置や本数、ピンどうしの間のピッチなどを容易に変えることができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】第１実施形態にかかる測定用プローブ１００の断面図である。

【図2】測定用プローブ１００の分解斜視図である。

【図3】図２と反対方向から見た測定用プローブ１００の分解斜視図である。

【図4】測定用プローブ１００の分解断面図である。

【図5】第２実施形態にかかる測定用プローブ２００の断面図である。

【図6】第３実施形態にかかる測定用プローブ３００の断面図である。

【図7】第４実施形態にかかる測定用プローブ４００の断面図である。

【図8】測定用プローブ４００の分解斜視図である。

【図9】図９（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ、第５実施形態にかかる測定用プローブ５００の要部断面図である。

【図10】測定用プローブ５００の分解斜視図である。

【図11】第６実施形態にかかる測定用プローブ６００の要部断面図である。

【図12】測定用プローブ６００の分解斜視図である。

【図13】従来の測定用プローブ１０００の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。

【0021】

なお、各実施形態は、本発明の実施の形態を例示的に示したものであり、本発明が実施形態の内容に限定されることはない。また、異なる実施形態に記載された内容を組合せて実施することも可能であり、その場合の実施内容も本発明に含まれる。また、図面は、明細書の理解を助けるためのものであって、模式的に描画されている場合があり、描画された構成要素または構成要素間の寸法の比率が、明細書に記載されたそれらの寸法の比率と一致していない場合がある。また、明細書に記載されている構成要素が、図面において省略されている場合や、個数を省略して描画されている場合などがある。

【0022】

［第１実施形態］
図１、図２、図３、図４に、第１実施形態にかかる測定用プローブ１００を示す。図１は、測定用プローブ１００の断面図である。図２および図３は、測定用プローブ１００の分解斜視図である。ただし、図２と図３とは、測定用プローブ１００を相互に反対方向から見ている。図４は、測定用プローブ１００の分解断面図である。

【0023】

測定用プローブ１００は、複数本のスプリングピン１を備えている。ただし、スプリングピン１の本数は１本であってもよい。なお、本実施形態では、ピンとしてスプリングピン１を使用しているが、使用するピンはスプリングピン１には限られず、押圧しても端部が縮まない、いわゆる固定ピンを使用してもよい。

【0024】

スプリングピン１は、金属製であり、電気が導通する。スプリングピン１は、棒状の本体部１１と、本体部１１から一方の方向に伸びる棒状の第１ピン１２と、本体部１１から他方の方向に伸びる棒状の第２ピン１３とを有している。本体部１１の直径は、第１ピン１２および第２ピン１３の直径よりも大きい。本体部１１の内部には、図示を省略しているが、ばねが収容されている。本体部１１を保持した状態で、本体部１１に対して第１ピン１２を押圧すると、第１ピン１２は本体部１１の方向に縮む。同様に、本体部１１を保持した状態で、本体部１１に対して第２ピン１３を押圧すると、第２ピン１３は本体部１１の方向に縮む。スプリングピン１は、ポゴピンと呼ばれる場合がある。

【0025】

測定用プローブ１００は、樹脂ホルダ２を備えている。本実施形態においては、樹脂ホルダ２は、第１部分２１と第２部分２２とが組み合わされたものからなる。本実施形態において、樹脂ホルダ２を第１部分２１と第２部分２２との２つの部分に分けて構成したのは、製造を容易にするためである。すなわち、樹脂ホルダ２は、たとえば樹脂を金型で成型して作製されるが、１つの部分で構成した場合には、成型に困難を伴うが、第１部分２１と第２部分２２との２つの部分に分けることによって、成型が容易になっている。ただし、樹脂ホルダ２は、１つの部分だけで構成してもよい。

【0026】

樹脂ホルダ２に、スプリングピン１を収容するための貫通孔２３が形成されている。本実施形態においては、樹脂ホルダ２に、複数の貫通孔２３が形成されている。貫通孔２３は１対の開口を有するが、一方の開口の直径が、他方の開口の直径よりも大きい。

【0027】

貫通孔２３には、スプリングピン１を、径の大きい開口側から、スプリングピン１の第１ピン１２を挿入して収容するが、貫通孔２３の内径は途中から小さくなっている。すなわち、貫通孔２３の内径の小さい部分に、第１ピン１２を収容し、貫通孔２３の内径の大きい部分に、本体部１１および第２ピン１３を収容するようになっている。貫通孔２３にスプリングピン１を挿入したとき、本体部１１が貫通孔２３の内径の小さい部分に達したところで、スプリングピン１は、それ以上、奥に進まなくなくなる。スプリングピン１は、その状態で、貫通孔２３に保持される。

【0028】

樹脂ホルダ２の貫通孔２３に保持されたスプリングピン１は、第１ピン１２が貫通孔２３の径の小さい開口から外部に露出し、第２ピン１３が貫通孔２３の径の大きい開口から外部に露出している。

【0029】

なお、樹脂ホルダ２に形成された貫通孔２３の全てにスプリングピン１を収容する必要はない。被測定物の種類や構造に合わせて、所定の貫通孔２３にスプリングピン１を収容すればよい。

【0030】

また、樹脂ホルダ２は、本発明の必須の構成要素ではなく、樹脂ホルダ２を省略して、後述する外部プランジャ３に直接に、スプリングピン１を収容する貫通孔を形成してもよい。

【0031】

測定用プローブ１００は、外部プランジャ３を備えている。外部プランジャ３の材質には、たとえば、樹脂を使用することができる。ただし、外部プランジャ３の材質の材質は任意であり、樹脂に代えて、金属やセラミックを使用してもよい。

【0032】

外部プランジャ３は筒状であり、１対の開口３１、３２を有している。また、外部プランジャ３は、内周面３３と外周面３４とを有している。

【0033】

外部プランジャ３の外周面３４に、後述する固定部材７の第２係止部７５と係合させるための、第１係止部３５が形成されている。

【0034】

外部プランジャ３の開口３２の外周面３４に、後述するハウジング８の第２嵌合部８５と嵌合させるための、第１嵌合部３６が形成されている。

【0035】

また、外部プランジャ３の開口３２の内周面３３に、後述する、プリント回路基板４、および、ケーブルアダプタ６の一方の端部を嵌合させるための、第３嵌合部３７が形成されている。

【0036】

外部プランジャ３に、スプリングピン１を保持した樹脂ホルダ２が保持されている。樹脂ホルダ２は、開口３２側から外部プランジャ３に挿入され、外部プランジャ３に保持されている。なお、樹脂ホルダ２が外部プランジャ３の開口３１側から押し出されないように、外部プランジャ３および樹脂ホルダ２に抜け止めが施されている。

【0037】

このように、スプリングピン１は、樹脂ホルダ２を介して、間接的に外部プランジャ３に保持されている。スプリングピン１の第１ピン１２が、外部プランジャ３の開口３１から外部に露出している。

【0038】

測定用プローブ１００は、プリント回路基板４を備えている。プリント回路基板４は、外部プランジャ３の第３嵌合部３７に嵌合されている。なお、プリント回路基板４を、本件出願書類において、板状部材と呼ぶ場合がある。

【0039】

プリント回路基板４には、スプリングピン１の第２ピン１３の先端が当接する第１電極４１が形成されている。また、プリント回路基板４には、後述するケーブルアダプタ６の端子６１が当接する第２電極４２が形成されている。プリント回路基板４において、第１電極４１と第２電極４２との間に所定の配線が施されている。

【0040】

測定用プローブ１００は、信号ケーブル５を備えている。信号ケーブル５は、信号線５１と絶縁被覆５２とを有している。信号ケーブル５の本数は任意であり、１本であってもよく、複数本であってもよい。

【0041】

測定用プローブ１００は、ケーブルアダプタ６を備えている。ケーブルアダプタ６は、少なくとも１つの端子６１を備えている。各端子６１に、信号ケーブル５の信号線５１が接続されている。ケーブルアダプタ６の信号ケーブル５が接続されていない方の端部が、外部プランジャ３の第３嵌合部３７に嵌合されている。

【0042】

測定用プローブ１００は、外部プランジャ３を後述するハウジング８に固定するための固定部材７を備えている。固定部材７の材質には、たとえば、金属を使用することができる。ただし、固定部材７の材質の材質は任意であり、金属に代えて、樹脂やセラミックを使用してもよい。

【0043】

固定部材７は筒状であり、１対の開口７１、７２を有している。また、固定部材７は、内周面７３と外周面７４とを有している。

【0044】

固定部材７の開口７１の内周面７３に、外部プランジャ３の第１係止部３５と係合させるための、第２係止部７５が形成されている。

【0045】

固定部材７の内周面７３に、後述するハウジング８の第２ネジ山８６と螺合させるための、第１ネジ山７６が形成されている。本実施形態においては、第１ネジ山７６が雌型のネジ山であり、第２ネジ山８６が雄型のネジ山である。

【0046】

本実施形態においては、固定部材７の外周面７４に、治具（６角レンチやモンキーなど）で固定部材７を回転させることができるように、６つの面が形成されている。

【0047】

測定用プローブ１００は、ハウジング８を備えている。ハウジング８の材質には、たとえば、金属を使用することができる。ただし、ハウジング８の材質の材質は任意であり、金属に代えて、樹脂やセラミックを使用してもよい。

【0048】

ハウジング８は筒状であり、１対の開口８１、８２を有している。また、ハウジング８は、内周面８３と外周面８４とを有している。

【0049】

ハウジング８の開口８１の内周面８３は、外部プランジャ３の第１嵌合部３６と嵌合させるための、第２嵌合部８５を構成している。すなわち、ハウジング８の開口８１の内周面８３は、外部プランジャ３の第１嵌合部３６と嵌合させるための、第２嵌合部８５を兼ねている。

【0050】

第１嵌合部３６と第２嵌合部８５とを嵌合させて、外部プランジャ３からハウジング８に向う方向に対して垂直な、第１嵌合部３６と第２嵌合部８５との嵌合断面を見たとき、第１嵌合部３６と第２嵌合部８５との嵌合面は非円形になっている。このため、固定部材７を回転させても、外部プランジャ３は、ハウジング８に対して相対的に回転しない。すなわち、固定部材７のみが、ハウジング８に対して相対的に回転する。

【0051】

ハウジング８の外周面８４に、固定部材７の第１ネジ山７６と螺合させるための、第２ネジ山８６が形成されている。上述したとおり、本実施形態においては、第１ネジ山７６が雌型のネジ山であり、第２ネジ山８６が雄型のネジ山である。

【0052】

測定用プローブ１００は、板状のフランジ９を備えている。フランジ９は、両主面間を貫通する孔９１を有している。また、フランジ９は、フランジ９を別の部材（たとえば測定装置の昇降アーム）に取り付けるための複数の取付け孔９２を有している。フランジ９の材質は任意であるが、たとえば、ハウジング８と同じ材質を使用することができる。

【0053】

フランジ９の孔９１に、ハウジング８が挿通されている。孔９１に挿通されたハウジング８の開口８２の外周面８４に、孔９１からの抜け止め８７が形成されている。

【0054】

ハウジング８の外周面８４、かつ、フランジ９と固定部材７との間に、外部スプリング１０が設けられている。

【0055】

以上の構造からなる第１実施形態にかかる測定用プローブ１００は、たとえば、次の方法で製造することができる。

【0056】

まず、ハウジング８を、フランジ９の孔９１に挿通させる。続いて、ハウジング８の外周面に外部スプリング１０を配置する。

【0057】

また、信号ケーブル５の信号線５１を、ケーブルアダプタ６の端子６１に接続する。

【0058】

次に、被測定物の種類や構造に応じて、必要な本数のスプリングピン１を、樹脂ホルダ２の所定の貫通孔２３に収容する。続いて、樹脂ホルダ２を、外部プランジャ３に収容する。

【0059】

次に、外部プランジャ３の第３嵌合部３７に、プリント回路基板４を嵌合させる。このとき、プリント回路基板４は、スプリングピン１の第２ピン１３を本体部１１の方向に押圧するため、スプリングピン１の第２ピン１３が本体部１１の方向に縮む。この結果、スプリングピン１の第２ピン１３の先端が、プリント回路基板４の第１電極４１に、適度な弾性力をもって当接する。そのため、スプリングピン１の第２ピン１３とプリント回路基板４の第１電極４１とは、良好に電気的に接続される。

【0060】

次に、ケーブルアダプタ６の信号ケーブル５が接続されていない方の端部を、外部プランジャ３の第３嵌合部３７に嵌合させる。この結果、ケーブルアダプタ６の端子６１が、プリント回路基板４の第２電極４２に電気的に接続される。続いて、信号ケーブル５を、ハウジング８の開口８１側から開口８２側に通す。

【0061】

次に、外部プランジャ３の第１嵌合部３６とハウジング８の第２嵌合部８５とを嵌合させ、外部プランジャ３をハウジング８に対して位置決めする。第１嵌合部３６および第２嵌合部８５は、外部プランジャ３とハウジング８との間の相対的な位置関係を決める位置決め部である。

【0062】

次に、固定部材７の内周面７３を、開口７２側から、外部プランジャ３の外周面３４に被せ、更にハウジング８の外周面８４に被せる。続いて、固定部材７を回転させて、ハウジング８の第１ネジ山７６とハウジング８の第２ネジ山８６とを螺合させる。外部プランジャ３の第１係止部３５と固定部材７の第２係止部７５とが係合しているため、第１ネジ山７６と第２ネジ山８６とを螺合させることによって、外部プランジャ３がハウジング８に強固に固定される。

【0063】

なお、測定用プローブ１００は、第１嵌合部３６との第２嵌合部８５とによって、外部プランジャ３をハウジング８に対して位置決めしているため、固定部材７を回転させて、固定部材７によって外部プランジャ３をハウジング８に固定するとき、あるいは固定を解除するときに、外部プランジャ３がハウジング８に対して相対的に回転せず、固定部材７だけがハウジング８に対して相対的に回転する。

【0064】

この結果、外部プランジャ３とハウジング８との間に、スプリングピン１が収容された樹脂ホルダ２、プリント回路基板４、ケーブルアダプタ６が保持される。スプリングピン１の第２ピン１３がプリント回路基板４の第１電極４１と良好に電気的に接続され、ケーブルアダプタ６の端子６１がプリント回路基板４の第２電極４２と良好に電気的に接続される。

【0065】

以上により、測定用プローブ１００が完成する。

【0066】

測定用プローブ１００は、たとえば、次の方法で使用することができる。

【0067】

測定用プローブ１００のフランジ９を、取付け孔９２を利用して、たとえば、測定装置の昇降アーム（図示せず）に取り付ける。

【0068】

次に、測定用プローブ１００に、被測定物を配置する。続いて、昇降アームを降下させ、測定用プローブ１００のスプリングピン１の第１ピン１２の先端を、被測定物の測定点（たとえば電極）に当接させる。このとき、第１ピン１２の先端は、外部スプリング１０の弾性力、および、スプリングピン１の本体部１１に収容されたばね（図示せず）の弾性力により、適度な弾性力をもって、被測定物の測定点に当接する。この状態で、測定用プローブ１００のスプリングピン１の第１ピン１２によって、被測定物の特性を測定する。

【0069】

第１実施形態にかかる測定用プローブ１００は、測定用プローブ１００は、上記の構造からなるため、複数のスプリングピン１を備えることができる。

【0070】

また、測定用プローブ１００は、スプリングピン１、プリント回路基板４、ケーブルアダプタ６などの構成要素が壊れたときに、固定部材７を取り外して全体を分解することによって、壊れた構成要素だけを容易に交換することができる。

【0071】

また、測定用プローブ１００は、被測定物の種類や構造が変わった場合に、スプリングピン１の配置や本数を容易に変えることができる。また、測定用プローブ１００は、樹脂ホルダ２、プリント回路基板４などを交換することにより、スプリングピン１どうしの間のピッチを容易に変更することができる。

【0072】

また、測定用プローブ１００は、製造時やメンテナンス時に、固定部材７を回転させても、スプリングピン１、樹脂ホルダ２、外部プランジャ３、プリント回路基板４、ケーブルアダプタ６などの構成要素が回転しない。そのため、スプリングピン１、樹脂ホルダ２、外部プランジャ３、プリント回路基板４、ケーブルアダプタ６などが壊れにくい。

【0073】

［第２実施形態］
図５に、第２実施形態にかかる測定用プローブ２００を示す。ただし、図５は、測定用プローブ２００の断面図である。

【0074】

測定用プローブ２００は、上述した第１実施形態にかかる測定用プローブ１００に、新たな構成を追加した。具体的には、測定用プローブ２００は、ハウジング８の外周面８４、かつ、外部スプリング１０と固定部材７との間に、中央に両主面間を貫通する孔が形成されたスペーサ２０を設けた。スペーサ２０の枚数は、１枚であってもよく、複数枚であってもよい。

【0075】

測定用プローブ２００は、スペーサ２０によって、外部スプリング１０の弾性力を調整することができる。

【0076】

［第３実施形態］
図６に、第３実施形態にかかる測定用プローブ３００を示す。ただし、図６は、測定用プローブ３００の断面図である。

【0077】

測定用プローブ３００は、上述した第１実施形態にかかる測定用プローブ１００に、新たな構成を追加した。具体的には、測定用プローブ３００は、ハウジング８の外周面８４に、ストッパ３０を形成した。そして、外部スプリング１０を、ハウジング８の外周面８４、かつ、フランジ９とストッパ３０との間に設けた。なお、上述した第２実施形態の測定用プローブ２００と同じように、外部スプリング１０とストッパ３０との間に、外部スプリング１０の弾性力を調整するためのスペーサを設けてもよい。

【0078】

測定用プローブ３００は、ハウジング８から固定部材７を取り外しても、外部スプリング１０がハウジング８の外周面８４から外れることがないため、スプリングピン１の交換などのメンテナンスを容易におこなうことができる。

【0079】

［第４実施形態］
図７、図８に、第４実施形態にかかる測定用プローブ４００を示す。ただし、図７は、測定用プローブ４００の断面図である。図８は、測定用プローブ４００の分解斜視図である。

【0080】

測定用プローブ４００は、上述した第１実施形態にかかる測定用プローブ１００の構成の一部を変更した。

【0081】

測定用プローブ４００は、測定用プローブ１００の備えていた固定部材７に代えて、別の構造からなる固定部材４７を備えている。

【0082】

固定部材４７は筒状であり、１対の開口４７１、４７２を備えている。また、固定部材４７は、内周面４７３と外周面４７４とを備えている。

【0083】

固定部材４７の開口４７１の内周面４７３に、外部プランジャ３の第１係止部３５と係合させるための、第２係止部４７５が形成されている。

【0084】

固定部材４７は、固定部材７が有していたネジ山（第１ネジ山７６）を備えていない。固定部材４７は、ネジ山の代わりに、内周面４７３と外周面４７４との間を貫通した固定用溝４７６を備えている。固定用溝４７６は、固定部材４７の開口４７２から開口４７１に向う方向に伸びる第１溝４７７と、第１溝４７７の終点から方向を変え、第１溝４７７の伸びる方向と交わる方向に伸びる第２溝４７８とを有している。

【0085】

また、測定用プローブ４００は、ハウジング８にも変更を加えている。測定用プローブ４００のハウジング８は、測定用プローブ１００のハウジング８が備えていたネジ山（第２ネジ山８６）を備えていない。そして、測定用プローブ４００のハウジング８は、ネジ山の代わりに、外周面８４に、固定用突起４８６が形成されている。

【0086】

測定用プローブ４００における、固定部材４７による外部プランジャ３のハウジング８への固定は、次の方法でおこなう。まず、ハウジング８の外周面８４に固定部材４７の内周面４７３を被せて、固定用突起４８６が第１溝４７７の終点に達するまで、固定部材４７をハウジング８に押し込む。次に、固定部材４７を回転させて、固定用突起４８６を第２溝４７８に配置する。以上により、固定部材４７により、外部プランジャ３がハウジング８へ固定される。

【0087】

［第５実施形態］
図９（Ａ）、（Ｂ）、図１０に、第５実施形態にかかる測定用プローブ５００を示す。図９（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ、測定用プローブ５００の要部断面図である。図１０は、測定用プローブ５００の分解斜視図である。

【0088】

なお、図９（Ａ）は、測定用プローブ５００を測定に使用していない状態を示している。一方、図９（Ｂ）は、測定用プローブ５００を測定に使用している状態を示し、後述する第２プランジャ部５３２がハウジング５６０の方向に押圧され、後述する内部スプリング５４０が縮み、後述する第１プランジャ部５３１の凸状部５３１ａの先端に保持された固定ピン５１０が、第２プランジャ部５３２の貫通孔５３２ｃから突出している状態を示している。

【0089】

測定用プローブ５００は、外部プランジャ５３０と、内部スプリング５４０と、フランジ５５０と、ハウジング５６０と、外部スプリング５７０と、固定部材５８０とを備えている。

【0090】

外部プランジャ５３０は、第１プランジャ部５３１と、第２プランジャ部５３２とを有している。

【0091】

第１プランジャ部５３１は、凸状部５３１ａを有している。凸状部５３１ａの先端に、固定ピン５１０が保持されている。固定ピン５１０の本数は任意である。固定ピン５１０は、樹脂ホルダを介して、第１プランジャ部５３１に保持されてもよい。固定ピン５１０は、スプリングピンに置き換えてもよい。

【0092】

第１プランジャ部５３１に、フランジ５３１ｂが形成されている。フランジ５３１ｂの外縁に、２つの第１位置合わせ突起５３１ｃが形成されている。ただし、第１位置合わせ突起５３１ｃの数は任意である。

【0093】

第２プランジャ部５３２は、凸状部５３２ａを有している。凸状部５３１ａの先端に、２つの突起５３２ｂが形成されている。ただし、突起５３２ｂの数は任意である。

【0094】

突起５３２ｂを含む第２プランジャ部５３２に、貫通孔５３２ｃが形成されている。

【0095】

第２プランジャ部５３２の外縁に、２つの第２位置合わせ突起５３２ｄが形成されている。ただし、第２位置合わせ突起５３２ｄの数は任意である。

【0096】

第２プランジャ部５３２に、第１係止部５３２ｅが形成されている。

【0097】

第１プランジャ部５３１と第２プランジャ部５３２との間に、内部スプリング５４０を介在させて、凸状部５３１ａが貫通孔５３２ｃに挿通されている。

【0098】

フランジ５５０に、孔５５０ａが形成されている。

【0099】

ハウジング５６０が、フランジ５５０の孔５５０ａに挿通されている。ハウジング５６０には抜け止め５６０aが形成されており、ハウジング５６０はフランジ５５０から抜けないようになっている。

【0100】

ハウジング５６０の外周に、固定用突起５６０ｂが形成されている。

【0101】

固定部材５８０に、固定部材５８０の内周面と外周面との間を貫通した、固定用溝５９０が形成されている。固定用溝５９０は、固定部材５８０の一方の開口から他方の開口に向う方向に伸びる第１溝５９０ａと、第１溝５９０ａの終点から方向を変え、第１溝５９０ａの伸びる方向と交わる方向に伸びる第２溝５９０ｂとを有している。更に、固定用溝５９０は、第２溝５９０ｂの第１溝５９０ａと反対側の端部に、第２溝５９０ｂの伸びる方向と異なる方向に伸びる第３溝５９０ｃを有している。なお、第１溝５９０ａの伸びる方向と第２溝５９０ｂの伸びる方向となす角度、および、第２溝５９０ｂの伸びる方向と第３溝５９０ｃの伸びる方向となす角度は、それぞれ任意である。

【0102】

固定部材５８０に、固定部材５８０の内周面と外周面との間を貫通した、位置合わせ用溝５９５が形成されている。なお、本実施形態においては、位置合わせ用溝５９５が、固定部材５８０の内周面と外周面との間を貫通した溝であるが、位置合わせ用溝は、固定部材５８０の内周面側が開口した有底の溝であってもよい。位置合わせ用溝５９５の数は、第１位置合わせ突起５３１ｃの数、および、第２位置合わせ突起５３２ｄの数と同じ数である。本実施形態においては、位置合わせ用溝５９５の数は２つである。

【0103】

固定部材５８０に、第２係止部５８０ａが形成されている。

【0104】

外部プランジャ５３０が、第１プランジャ部５３１をハウジング５６０側にし、第２プランジャ部５３２を固定部材５８０側にして、ハウジング５６０と固定部材５８０との間に、固定部材５８０によって固定されている。固定部材５８０による外部プランジャ５３０の固定は、たとえば、次のステップでおこなわれる。

【0105】

まず、ハウジング５６０の外周、かつ、フランジ５５０と固定用突起５６０ｂとの間に、外部スプリング５７０を配置する。

【0106】

次に、外部プランジャ５３０を固定部材５８０に挿通する。そして、外部プランジャ５３０の第１係止部５３２ｅと、固定部材５８０の第２係止部５８０ａとを係合させる。このとき、第１位置合わせ突起５３１ｃと第２位置合わせ突起５３２ｄとは、それぞれ、位置合わせ用溝５９５の中に配置される。また、第２プランジャ部５３２の凸状部５３２ａが、固定部材５８０の外に配置される。

【0107】

次に、ハウジング５６０の外周面に固定部材５８０の内周面を被せて、固定用突起５６０ｂが固定用溝５９０の第１溝５９０ａの終点に達するまで、固定部材５８０をハウジング５６０に押し込む。続いて、固定部材５８０を回転させて、固定用突起５６０ｂを第２溝５９０ｂの中でスライドさせる。続いて、固定用突起５６０ｂを第３溝５９０ｃに係合させる。この結果、固定部材５８０によって、外部プランジャ５３０が、ハウジング５６０に固定される。

【0108】

測定用プローブ５００は、図９（Ａ）に示すように、測定に使用していないときは、第１プランジャ部５３１の凸状部５３１ａの先端に保持された固定ピン５１０が、第２プランジャ部５３２の貫通孔５３２ｃの中に収容されている。一方、測定用プローブ５００は、測定に使用するときは、図９（Ｂ）に示すように、突起５３２ｂが被測定物である回路基板などに当接し、第２プランジャ部５３２がハウジング５６０の方向に押圧され、内部スプリング５４０が縮み、第２プランジャ部５３２がハウジング５６０の方向に摺動することによって、第１プランジャ部５３１の凸状部５３１ａの先端に保持された固定ピン５１０が、第２プランジャ部５３２の貫通孔５３２ｃから外部に突出する。測定用プローブ５００は、第２プランジャ部５３２の貫通孔５３２ｃから外部に突出した固定ピン５１０を、被測定物である回路基板の電極などに当接させて、被測定物の電気的特性を測定する。

【0109】

測定用プローブ５００は、測定に使用していないときは、第１プランジャ部５３１の凸状部５３１ａの先端に保持された固定ピン５１０が、第２プランジャ部５３２の貫通孔５３２ｃの中に収容されて保護されているため、固定ピン５１０が障害物（外部の固い物体など）に接触して、破損することが抑制されている。

【0110】

また、測定用プローブ５００は、第１プランジャ部５３１の第１位置合わせ突起５３１ｃと、第２プランジャ部５３２の第２位置合わせ突起５３２ｄとが、位置合わせ用溝５９５の中に配置されているため、第１プランジャ部５３１および第２プランジャ部５３２が、固定部材５８０に対して回転することが抑制されている。

【0111】

［第６実施形態］
図１１、図１２に、第６実施形態にかかる測定用プローブ６００を示す。ただし、図１１は、測定用プローブ６００の要部断面図である。図１２は、測定用プローブ６００の分解斜視図である。

【0112】

第６実施形態にかかる測定用プローブ６００は、上述した第５実施形態にかかる測定用プローブ５００の構成の一部に変更を加えた。具体的には、測定用プローブ５００では、外部プランジャ５３０が第１プランジャ部５３１と第２プランジャ部５３２とを有し、第１プランジャ部５３１と第２プランジャ部５３２との間に内部スプリング５４０が設けられていたが、測定用プローブ６００はこれを変更し、第１プランジャ部６３１と第２プランジャ部６３２との間ではなく、外部プランジャ６３０と固定部材５８０との間に、内部スプリング６４０を設けた。なお、第６実施形態の測定用プローブ６００の説明において、測定用プローブ５００から変更のない構成要素については、測定用プローブ５００と同じ符号を使用し、その説明を省略する場合がある。

【0113】

なお、第６実施形態においても、便宜上（比較しやすいように）、第５実施形態と同様、外部プランジャ６３０に、第１プランジャ部６３１と第２プランジャ部６３２とを組み合わせたものを使用した。ただし、外部プランジャ６３０は、第１プランジャ部６３１と第２プランジャ部６３２との２つの構成要素を組み合わせたものである必要はなく、一体的に形成されたものであってもよい。

【0114】

第１プランジャ部６３１は、凸状部６３１ａを有している。凸状部６３１ａの先端に、固定ピン５１０が保持されている。第１プランジャ部６３１に、フランジ６３１ｂが形成されている。フランジ６３１ｂの外縁に、２つの第１位置合わせ突起６３１ｃが形成されている。

【0115】

第２プランジャ部６３２は、凸状部６３２ａを有している。凸状部６３１ａの先端に、２つの突起６３２ｂが形成されている。突起６３２ｂを含む第２プランジャ部６３２に、貫通孔６３２ｃが形成されている。第２プランジャ部６３２に、第１係止部フランジ６３２ｄが形成されている。第１係止部フランジ６３２ｄは、外部プランジャ６３０の第１係止部に該当する。第１係止部フランジ６３２ｄの外縁に、２つの第２位置合わせ突起６３２ｅが形成されている。

【0116】

第１プランジャ部６３１の凸状部６３１ａが、第２プランジャ部６３２の貫通孔６３２ｃに挿通されている。ただし、第１プランジャ部６３１と第２プランジャ部６３２との間には、内部スプリングは設けられていない。

【0117】

外部プランジャ６３０の第１係止部フランジ６３２ｄと、固定部材５８０の第２係止部５８０ａとの間に、内部スプリング６４０が配置されている。

【0118】

測定用プローブ６００においては、第１係止部である第１係止部フランジ６３２ｄと、固定部材５８０の第２係止部５８０ａとが、内部スプリング６４０を介して、間接的に係合されている。

【0119】

測定用プローブ６００は、固定部材５８０によって、外部プランジャ６３０をハウジング５６０に取付けたとき、内部スプリング６４０が、外部プランジャ６３０を、ハウジング５６０側に押圧する。そのため、測定用プローブ６００は、固定部材５８０の内部において、外部プランジャ６３０が、がたつく（隙間が発生して外部プランジャ６３０が不必要に動く）ことが抑制されている。

【0120】

以上、第１実施形態～第６実施形態について説明した。しかしながら、本発明が上述した内容に限定されることはなく、発明の趣旨に沿って種々の変更を加えることができる。

【0121】

たとえば、上記実施形態では、ピン（スプリングピンや固定ピン）を樹脂ホルダの貫通孔に収容したうえで、樹脂ホルダを外部プランジャに収容したが、樹脂ホルダは省略してもよい。この場合には、外部プランジャに、直接に、ピンを収容する貫通孔を形成すればよい。

【0122】

また、ピン（スプリングピンや固定ピン）の本数や配置は任意であり、上記実施形態において図示した内容には限られない。また、信号ケーブルの本数も任意であり、上記実施形態において図示した内容には限られない。

【0123】

本発明の一実施態様にかかる測定用プローブは、「課題を解決するための手段」の欄に記載したとおりである。

【0124】

この測定用プローブにおいて、固定部材の内周面に第１ネジ山が形成され、ハウジングの外周面に第２ネジ山が形成され、固定部材による外部プランジャのハウジングへの固定が、固定部材を回転させて、第１ネジ山と第２ネジ山とを螺合させることによっておこなわれることも好ましい。この場合には、容易に、固定部材によって、外部プランジャをハウジングに固定することができる。

【0125】

また、ハウジングの外周面に固定用突起が形成され、固定部材に、内周面と外周面との間を貫通した固定用溝が形成され、固定用溝は、固定部材の一方の開口から他方の開口に向う方向に伸びる第１溝と、第１溝の終点から方向を変え、第１溝の伸びる方向と交わる方向に伸びる第２溝とを有し、固定部材による外部プランジャのハウジングへの固定が、ハウジングの外周面に固定部材の内周面を被せて、固定用突起が第１溝の終点に達するまで、固定部材をハウジングに押し込んだうえ、固定部材を回転させて、固定用突起を第２溝の中でスライドさせることによっておこなわれることも好ましい。この場合には、容易に、固定部材によって、外部プランジャをハウジングに固定することができる。

【0126】

第２溝の第１溝と反対側の端部に、第２溝の伸びる方向と異なる方向に伸びる第３溝が形成され、固定用突起が第３溝に係合されて、外部プランジャが固定部材によってハウジングへ固定されることも好ましい。この場合には、固定部材が、ハウジングに確実に固定される。

【0127】

外部プランジャが、第１プランジャ部と第２プランジャ部とを有し、第１プランジャ部は、凸状部を有し、凸状部の先端にピンが保持され、第２プランジャ部は、貫通孔を有し、第１プランジャ部と第２プランジャ部との間に、内部スプリングを介在させて、凸状部が貫通孔に挿通され、外部プランジャは、第１プランジャ部をハウジング側にし、第２プランジャ部を固定部材側にして、ハウジングと固定部材の間に配置され、かつ、少なくとも第２プランジャの一部分が固定部材の外に配置され、第２プランジャ部をハウジングの方向に押圧したとき、内部スプリングが縮み、第１プランジャ部の凸状部の先端に保持されたピンが、第２プランジャ部の貫通孔から突出することも好ましい。この場合には、測定用プローブを測定に使用していないときは、第１プランジャ部の凸状部の先端に保持された固定ピンが、第２プランジャ部の貫通孔の中に収容されて保護されているため、ピンが障害物（外部の固い物体など）に接触して、破損することが抑制される。

【0128】

第１プランジャ部に、第１位置合わせ突起が形成され、第２プランジャ部に、第２位置合わせ突起が形成され、固定部材に、内周面と外周面との間を貫通した位置合わせ用溝、および、内周面側が開口した有底の位置合わせ用溝の少なくとも一方が形成され、第１位置合わせ突起および第２位置合わせ突起が、それぞれ、位置合わせ用溝の中に配置されることも好ましい。この場合には、第１プランジャ部および第２プランジャ部が、固定部材に対して、回転することが抑制される。

【0129】

外部プランジャに、第１係止部に該当する第１係止部フランジが形成され、外部プランジャの第１係止部フランジと、固定部材の第２係止部との間に、内部スプリングが配置され、第１係止部と第２係止部とが、内部スプリングを介して、間接的に係合されることも好ましい。この場合には、固定部材の内部において、外部プランジャが、がたつく（隙間が発生して外部プランジャが不必要に動く）ことが抑制される。

【0130】

外部プランジャ、および、ハウジングの少なくとも一方に、外部プランジャとハウジングとの間の相対的な位置を決める、位置決め部が形成されることも好ましい。この場合には、固定部材を回転させて、固定部材によって外部プランジャをハウジングに固定するとき、および、固定部材を逆方向に回転させて、固定部材による外部プランジャのハウジングへの固定を解除するときに、外部プランジャはハウジングに対して相対的に回転せず、固定部材がハウジングに対して相対的に回転する。この結果、スプリングピンなどの種々の構成部材の破損を抑制することができる。

【0131】

外部プランジャの一方の端部に、位置決め部として、第１嵌合部が形成され、ハウジングの一方の開口に、位置決め部として、第２嵌合部が形成され、第１嵌合部と第２嵌合部とを嵌合させることによって、外部プランジャはハウジングに位置決めされ、外部プランジャからハウジングに向う方向に対して垂直な、第１嵌合部と第２嵌合部との嵌合断面を見たとき、第１嵌合部と第２嵌合部との嵌合面が非円形であり、固定部材を回転させても、外部プランジャがハウジングに対して相対的に回転しないことも好ましい。この場合には、ピンなどの破損を抑制することができる。

【0132】

ピンが、スプリングピンであることも好ましい。この場合には、スプリングピンの先端が、被測定物である回路基板などの電極に、適度な弾性力をもって当接する。

【0133】

スプリングピンが、内部にばねを備えた本体部と、本体部から一方の方向に伸びる第１ピンと、本体部から他方の方向に伸びる第２ピンとを有し、本体部を保持した状態で、本体部に対して第１ピンを押圧したとき、第１ピンは本体部の方向に縮み、本体部を保持した状態で、本体部に対して第２ピンを押圧したとき、第２ピンは本体部の方向に縮むことも好ましい。この場合には、スプリングピンの第２ピンの先端が、被測定物である回路基板などの電極に、適度な弾性力をもって当接する。

【0134】

少なくとも１つの貫通孔を有する樹脂ホルダを備え、ピンを貫通孔に保持させたうえで、樹脂ホルダを外部プランジャに取り付け、ピンを外部プランジャに間接的に保持させることも好ましい。この場合には、測定用プローブの製造が容易になる。

【0135】

樹脂ホルダのハウジング側に、樹脂ホルダの貫通孔に保持されたピンを、樹脂ホルダの方向に押圧する、板状部材を備えることも好ましい。この場合において、板状部材は、たとえば、プリント回路基板とし、ピンが、プリント回路基板に形成された第１電極に当接し、ピンと第１電極とが電気的に接続されることも好ましい。

【0136】

信号ケーブルと、ハウジングに収容され、かつ、信号ケーブルが接続されたケーブルアダプタと、を備え、ケーブルアダプタの端子が、プリント回路基板に形成された第２電極に当接し、端子と第２電極とが電気的に接続されることも好ましい。この場合には、測定用プローブの製造が容易になる。

【0137】

外部プランジャの一方の端部に、第３嵌合部が形成され、プリント回路基板、および、ケーブルアダプタの一方の端部が、第３嵌合部に嵌合され、固定部材を回転させても、プリント回路基板、および、ケーブルアダプタが、ハウジングに対して相対的に回転しないことも好ましい。この場合には、プリント回路基板、ケーブルアダプタなどの破損を抑制することができる。

【0138】

両主面間を貫通する孔を有するフランジを備え、孔に、ハウジングが挿通され、ハウジングの他方の開口に、孔からの抜け止めが形成され、ハウジングの外周面、かつ、フランジと固定部材との間に、外部スプリングが設けられることも好ましい。

【0139】

両主面間を貫通する孔を有するフランジを備え、孔に、ハウジングが挿通され、ハウジングの他方の開口に、孔からの抜け止めが形成され、ハウジングの外周面にストッパが形成され、ハウジングの外周面、かつ、フランジとストッパとの間に、外部スプリングが設けられることも好ましい。この場合には、ハウジングから固定部材を取り外しても、外部スプリングがハウジングの外周面から外れることがないため、ピンの交換などのメンテナンスを容易におこなうことができる。

【0140】

外部スプリングと固定部材との間、または、外部スプリングとストッパとの間に、少なくとも１つのスペーサが設けられることも好ましい。この場合には、スペーサにより、外部スプリングの弾性力を調整することができる。

【符号の説明】

【0141】

１・・・スプリングピン
１１・・・本体部
１２・・・第１ピン
１３・・・第２ピン
２・・・樹脂ホルダ
２１・・・第１部分
２２・・・第２部分
２３・・・貫通孔
３・・・外部プランジャ
３５・・・第１係止部
３６・・・第１嵌合部
３７・・・第３嵌合部
４・・・プリント回路基板（板状部材）
４１・・・第１電極
４２・・・第２電極
５・・・信号ケーブル
５１・・・信号線
５２・・・絶縁被覆
６・・・ケーブルアダプタ
６１・・・端子
７・・・固定部材
７５・・・第２係止部
７６・・・第１ネジ山
８・・・ハウジング
８５・・・第２嵌合部
８６・・・第２ネジ山
８７・・・抜け止め
９・・・フランジ
９１・・・孔
９２・・・取付け孔
１０・・・外部スプリング
２０・・・スペーサ
３０・・・ストッパ
４７・・・固定部材
４７５・・・第２係止部
４７６・・・固定用溝
４７７・・・第１溝
４７８・・・第２溝
４８６・・・固定用突起
５１０・・・固定ピン
５３０・・・外部プランジャ
５３１・・・第１プランジャ部
５３１ａ・・・凸状部
５３１ｂ・・・フランジ
５３１ｃ・・・第１位置合わせ突起
５３２・・・第２プランジャ部
５３２ａ・・・凸状部
５３２ｂ・・・突起
５３２ｃ・・・貫通孔
５３２ｄ・・・第２位置合わせ突起
５３２ｅ・・・第１係止部
５４０・・・内部スプリング
５５０・・・フランジ
５５０ａ・・・孔
５６０・・・ハウジング
５６０ａ・・・抜け止め
５６０ｂ・・・固定用突起
５７０・・・外部スプリング
５８０・・・固定部材
５８０ａ・・・第２係止部
５９０・・・固定用溝
５９０ａ・・・第１溝
５９０ｂ・・・第２溝
５９０ｃ・・・第３溝
５９５・・・位置合わせ用溝
６３０・・・外部プランジャ
６３１・・・第１プランジャ部
６３１ａ・・・凸状部
６３１ｂ・・・フランジ
６３１ｃ・・・第１位置合わせ突起
６３２・・・第２プランジャ部
６３２ａ・・・凸状部
６３２ｂ・・・突起
６３２ｃ・・・貫通孔
６３２ｄ・・・第１係止部フランジ
６３２ｅ・・・第２位置合わせ突起

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】