特許 7566193 焼成炉

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-03

(45)【発行日】2024-10-11

(54)【発明の名称】焼成炉

(51)【国際特許分類】

   F27B 9/22 20060101AFI20241004BHJP

   F27B 9/30 20060101ALI20241004BHJP

   F27D 9/00 20060101ALI20241004BHJP

【ＦＩ】

F27B9/22

F27B9/30

F27D9/00

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2024042832

(22)【出願日】2024-03-18

【審査請求日】2024-03-29

(73)【特許権者】

【識別番号】000004293

【氏名又は名称】ノリタケ株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】000219200

【氏名又は名称】株式会社ノリタケＴＣＦ

(74)【代理人】

【識別番号】100117606

【弁理士】

【氏名又は名称】安部 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100121186

【弁理士】

【氏名又は名称】山根 広昭

(72)【発明者】

【氏名】福島 宏康

(72)【発明者】

【氏名】加藤 悦史

【審査官】松田 長親

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２３－１４８９０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－１６４３５３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ２７Ｂ ９／００－９／４０

Ｆ２７Ｄ ９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送空間を内部に有する加熱室と、
プッシャと、
シール部材と、
冷媒供給装置と
を備え、
前記加熱室は、前記搬送空間に設定された搬送方向の後端に挿通孔を備え、
前記プッシャは、
前記シール部材を介して前記挿通孔に挿通されるシャフトと、
前記搬送空間内において前記シャフトの一端に設けられたプッシャヘッドと、
前記シャフトを前記搬送方向に沿って駆動する駆動装置と
を備え、
前記シャフトは、前記シール部材と接する位置において、内部に空洞を備えており、
前記冷媒供給装置は、前記空洞に冷媒を供給する、
焼成炉。

【請求項2】

前記シャフトの前記空洞には、内管が設けられており、
前記内管の内側および外側のうち、一方には前記冷媒が供給され、他方からは前記冷媒が排出される、請求項１に記載された焼成炉。

【請求項3】

前記シャフトは、
一端に前記プッシャヘッドが取り付けられた中実部と、
前記中実部の他端から前記搬送方向とは反対方向に向かって延びる、内部に前記空洞が設けられた中空部と
を有する、請求項１または２に記載された焼成炉。

【請求項4】

前記中実部と前記中空部の境界は、前記プッシャヘッドが引き込まれている構成の時に前記搬送空間よりも外側に位置している、請求項３に記載された焼成炉。

【請求項5】

前記挿通孔には、断熱材が設けられている、請求項１または２に記載された焼成炉。

【請求項6】

前記断熱材は、無機繊維から構成されている、請求項５に記載された焼成炉。

【請求項7】

前記シール部材は、前記加熱室の外部に設けられている、請求項１または２に記載された焼成炉。

【請求項8】

前記加熱室には、前記挿通孔を備えるガイドが取り付けられており、
前記ガイドは、前記シール部材を収容する収容部と、前記シール部材と、前記収容部に収容された前記シール部材を押さえる押さえ部とを含む、請求項１または２に記載された焼成炉。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、焼成炉に関する。

【背景技術】

【0002】

特開２０２３－１４８９０５号公報には、搬出部を有するマッフルと、複数のヒータと、炉体と、排気筒と、搬送用プッシャと、搬出用プッシャとを有するマッフル炉が開示されている。搬送用プッシャは、アクチュエータと、アームと、ヘッドとを備えている。搬送用プッシャのアームは、一方の側面から搬送部の内部に挿入されている。当該側面には、搬送部の気密性を確保しつつ、アームの摺動を支持するシール部材が設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０２３－１４８９０５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

プッシャのシャフトが挿通される箇所に設けられているシール部材は、炉体内の熱等によって劣化しうる。

【課題を解決するための手段】

【0005】

ここで開示される焼成炉は、搬送空間を内部に有する加熱室と、プッシャと、シール部材と、冷媒供給装置とを備えている。加熱室は、搬送空間に設定された搬送方向の後端に挿通孔を備えている。プッシャは、シャフトと、プッシャヘッドと、駆動装置とを備えている。シャフトは、シール部材を介して挿通孔に挿通されている。プッシャヘッドは、搬送空間内においてシャフトの一端に設けられている。駆動装置は、シャフトを搬送方向に沿って駆動する。シャフトは、シール部材と接する位置において、内部に空洞を備えている。冷媒供給装置は、空洞に冷媒を供給する。かかる焼成炉では、シール部材の劣化が抑えられうる。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】図１は、焼成炉１の模式的な平面図である。

【図2】図２は、プッシャ３０の模式図である。

【図3】図３は、シャフト３１およびガイド５０の模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0007】

以下、本開示における実施形態の１つについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の図面においては、同じ作用を奏する部材・部位には同じ符号を付して説明している。また、各図における寸法関係（長さ、幅、厚み等）は実際の寸法関係を反映するものではない。上、下、左、右、前、後の向きは、図中、Ｕ、Ｄ、Ｌ、Ｒ、Ｆ、Ｒｒの矢印でそれぞれ表されている。ここで、上、下、左、右、前、後の向きは、説明の便宜上、定められているに過ぎず、特に言及されない限りにおいて本願発明を限定しない。

【0008】

図１は、焼成炉１の模式的な平面図である。図１では、加熱室１０等の内部を露出させた状態の平面が示されている。図２は、プッシャ３０の模式図である。図２では、左方から見たプッシャ３０が模式的に示されている。図３は、シャフト３１およびガイド５０の模式図である。図３では、ガイド５０の断面が模式的に示されている。図１～図３では、断熱材以外の断面のハッチングは、適宜省略されている。

【0009】

〈焼成炉１〉
焼成炉１は、加熱容器Ａに被処理物を収容した状態で搬送しつつ加熱処理するための装置である。ここでは、加熱容器Ａは、サヤとも称される箱状の容器が用いられている。この実施形態では、被処理物を収容している加熱容器Ａには、蓋が載せられている。加熱容器の形状、材質等は、特に限定されない。加熱容器Ａは、台板Ａ１に載せられた状態で搬送される。なお、加熱容器は、必ずしも台板に載せられていなくてもよい。台板Ａ１に載せられ、被処理物が収容された加熱容器Ａは、適宜に被搬送物Ａとも称される。

【0010】

図１に示されているように、焼成炉１は、搬入室８０と、加熱室１０と、プッシャ３０と、搬出室９０とを備えている。焼成炉１は、シール部材５７と、冷媒供給装置７０と（図２参照）を備えている。搬入室８０および搬出室９０は、加熱室１０に接続されている。被搬送物Ａは、搬入室８０から加熱室１０に搬入される。被搬送物Ａは、加熱室１０内で搬送方向Ｙに沿って間欠的に搬送されつつ加熱処理される。加熱処理された被搬送物Ａは、加熱室１０から搬出室９０に搬出される。この実施形態では、搬送方向Ｙは、搬送方向Ｘと搬送方向Ｚに対して略直角に設定されている。搬送方向Ｘと搬送方向Ｚは、反対方向に設定されている。

【0011】

この実施形態では、加熱室１０は、直方体状に形成されている。加熱室１０は、後壁１１と、前壁１２と、側壁１３，１４と、底壁１５（図２参照）と、天井壁１６（図２参照）とを備えている。後壁１１と前壁１２は、搬送方向Ｙに沿って対向している。側壁１３と側壁１４は、搬送方向Ｘおよび搬送方向Ｚに沿って対向している。側壁１３は、搬送方向Ｙに沿って見たときに右側に位置しており、側壁１４は、搬送方向Ｙに沿って見たときに左側に位置している。底壁１５と天井壁１６は、高さ方向に沿って対向している。加熱室１０の側壁１３には、搬入室８０および搬出室９０が接続されている。搬入室８０は、加熱室１０の上流側に設けられており、搬出室９０は、加熱室１０の下流側に設けられている。

【0012】

〈搬入室８０〉
搬入室８０は、搬入路８１と、搬入路８１を囲う角筒状の壁８２とを備えている。搬入室８０は、側壁１３の上流部１３ａに接続されている。搬入室８０は、側壁１３に対して略直角に接続されている。被搬送物Ａは、搬送方向Ｘに沿って搬入路８１上を搬送され、加熱室１０に搬入される。搬入室８０内で被搬送物Ａを搬送する方法および搬入路８１の構成は、特に限定されない。被搬送物Ａは、例えば、プッシャ式搬送装置、ベルトコンベア式搬送装置、ローラコンベア式の搬送装置等によって搬送されてもよい。搬入室８０では、被処理物を加熱室１０内で処理する前の処理が実行されてもよい。搬入室８０には、雰囲気を切り替えるための置換室が設けられていてもよい。搬入室８０は、被処理物を予熱するためのヒータが設けられていてもよい。搬入室は、加熱室に対して必ずしも直角に設けられている必要はない。搬入室は、例えば、加熱室と同一直線上に設けられていてもよい。搬入室８０から加熱室１０に搬入された被搬送物Ａは、加熱室１０内で加熱処理される。

【0013】

〈加熱室１０〉
加熱室１０は、この実施形態では、マッフルによって構成されている。加熱室１０内の雰囲気は、マッフルによって維持されうる。マッフルは、被処理物と、加熱源（ヒータ）との間に介在する筒状の部材である。被処理物は、マッフルを介して間接的に加熱される。詳細な図示省略は省略するが、ヒータは、加熱室１０と、加熱室１０（マッフル）を囲うカバー１７（図２参照）との間に設けられている。マッフルの材料としては、金属、セラミック、カーボン等が用いられうる。加熱室１０は、架台１０ａから延びる支柱１０ａ１に支持されている（図２参照）。

【0014】

なお、加熱室の構成は、特に限定されない。被処理物を加熱するヒータは、加熱室内に設けられていてもよい。ヒータとしては、例えば、円筒状のセラミック製のヒータ、金属シースヒータ等が用いられうる。また、ヒータの形状は特に限定されず、例えば、板状のパネルヒータ等が用いられてもよい。ヒータとしては、熱風加熱方式のヒータが用いられていてもよい。加熱室には、内部の雰囲気を制御する給気配管および排気配管が接続されていてもよい。

【0015】

加熱室１０は、搬送空間１０ｂを内部に有している。加熱室１０は、搬送空間１０ｂに設けられた搬送路１０ｃを内部に有している。被搬送物Ａは、搬送路１０ｃ上を搬送される。搬送路１０ｃには、被搬送物Ａの搬送を案内する構成が設けられていてもよい。搬送路１０ｃには、例えば、搬送方向Ｙに沿ったレール、ガイド等が設けられていてもよい。被搬送物Ａは、以下の順序でプッシャ３０（ここでは、プッシャ３０Ａ）によって搬送方向Ｙに沿って間欠的に押され、搬送空間１０ｂを搬送される。

【0016】

まず、被搬送物Ａが搬入室８０から加熱室１０に搬入される。搬入された被搬送物Ａは、プッシャ３０によって搬送方向Ｙに向かって少なくとも被搬送物Ａ（台板Ａ１）ひとつ分搬送される。搬送方向Ｙに被搬送物Ａが搬送されることによって、搬入室８０と加熱室１０が交叉する位置には、被搬送物Ａが搬送された長さ分のスペースができる。当該スペースに、被搬送物Ａが搬入室８０から搬入される。搬入された被搬送物Ａは、プッシャ３０によって搬送方向Ｙに向かって搬送される。この時、先に搬送された被搬送物Ａの後端に、後から搬送された被搬送物Ａの先端が当たる。これによって、先に搬送された被搬送物Ａは、後に搬送された被搬送物Ａに押されて搬送方向Ｙに搬送される。これが繰り返されることによって、被搬送物Ａは、間欠的に搬送空間１０ｂ内を搬送される。

【0017】

加熱室１０内を搬送された被搬送物Ａは、搬出室９０が接続されている位置に達すると、プッシャ３０（ここでは、プッシャ３０Ｂ）によって加熱室１０から搬出される。なお、搬入室８０からの被搬送物Ａの搬入と、搬出室９０からの被搬送物Ａの搬出とは、交互に行われうる。これによって、加熱室１０内に配置される被搬送物Ａの数は、一定数に維持されうる。

【0018】

この実施形態では、プッシャ３０Ｂが被搬送物Ａを押す方向（搬送方向Ｚ）は、搬送方向Ｙと略直角に設定されている。加熱室１０には、プッシャ３０Ｂのプッシャヘッド３５（図２参照）が収容される、プッシャ収容部１８が設けられている。プッシャ収容部１８は、側壁１４から搬送方向Ｚとは反対側に窪んだ領域である。プッシャ収容部１８は、側壁１４等と同様の材料から構成されていてもよい。プッシャ収容部１８は、略直方体状である。プッシャヘッド３５が側壁１４よりも搬送方向Ｚ側に突出することによって、被搬送物Ａは、搬出室９０に搬出される。

【0019】

〈搬出室９０〉
搬出室９０は、搬出路９１と、搬出路９１を囲う角筒状の壁９２とを備えている。搬出室９０は、側壁１３の下流部１３ｂに接続されている。搬出室９０は、側壁１３に対して略直角に接続されている。被搬送物Ａは、搬送方向Ｚに沿って搬出路９１上を搬送される。搬出室９０では、被処理物を加熱室１０内で処理した後の処理が実行されてもよい。搬出室９０には、雰囲気を切り替えるための置換室が設けられていてもよい。搬出室９０は、被処理物を均熱化したり、冷却したりするための設備が設けられていてもよい。搬出室は、加熱室に対して必ずしも直角に設けられている必要はない。搬出室は、例えば、加熱室と同一直線上に設けられていてもよい。

【0020】

〈プッシャ３０〉
以下、焼成炉１に用いられうるプッシャ３０について、搬出室９０側に設けられているプッシャ３０Ｂを一例として説明する。プッシャ３０Ａは、プッシャ３０Ｂと同様の構成とすることができるので、説明は省略する。図２に示されているように、プッシャ３０Ｂは、シャフト３１と、プッシャヘッド３５と、駆動装置６０とを備えている。プッシャ３０Ｂは、架台３０ａに載せられている。

【0021】

〈プッシャヘッド３５〉
プッシャヘッド３５は、被搬送物Ａを搬送方向Ｚに沿って搬送する部位である。プッシャヘッド３５は、搬送空間１０ｂ内に設けられている。プッシャヘッド３５は、シャフト３１の一端（先端部）３１ｂに設けられている。この実施形態では、プッシャヘッド３５は、台板Ａ１を押すことによって被搬送物Ａを搬送方向Ｚに沿って搬送する。プッシャヘッド３５は、基部３５ａと、当接部３５ｂとを有している。基部３５ａは、シャフト３１が接続された部位である。当接部３５ｂは、被搬送物Ａ（または台板Ａ１）と当接する部位である。この実施形態では、当接部３５ｂは、基部３５ａの下部から前方に向かって延びている。当接部３５ｂは、台板Ａ１の側面と重なる高さに設定されている。当接部の形状は、特に限定されない。

【0022】

〈シャフト３１〉
シャフト３１は、円筒軸状の部材である。この実施形態では、シャフト３１は、ステンレス製である。シャフト３１は、内部に空洞３１ａを備えている。空洞３１ａは、略円柱状に形成された空間である。空洞３１ａは、プッシャヘッド３５がプッシャ収容部１８に引き込まれている状態において、シャフト３１の後端部３１ｃから後壁１８ａと重なる位置に達している。後壁１８ａには、後述するシール部材５７が設けられたガイド５０が取り付けられている（図３参照）。このため、シャフト３１の空洞３１ａは、シャフト３１がシール部材５７と接する位置と重なっている。

【0023】

この実施形態では、シャフト３１は、中実部３２と、中空部３３とを有している。中実部３２は、シャフト３１の先端側を構成している。中実部３２は、内部に空洞が設けられていない部位である。このため、中実部３２は、略円柱状である。中実部３２の先端には、プッシャヘッド３５が取り付けられている。中空部３３は、内部に空洞３１ａが設けられた部位である。中空部３３は、シャフトの後端側を構成している。換言すると、中空部３３は、中実部３２の他端から搬送方向Ｚとは反対方向に向かって延びている。

【0024】

中実部３２と中空部３３の境界は、プッシャヘッド３５がプッシャ収容部１８に引き込まれている構成の時に、後述する断熱材５３ａと重なる位置に位置している。このため、中実部３２と中空部３３の境界は、搬送空間１０ｂよりも外側に位置している。中空部３３は、プッシャヘッド３５が引き込まれている構成の時に、搬送空間１０ｂには露出しない。

【0025】

図３に示されているように、空洞３１ａの先端部３１ａ１は、先に向かうに従って径が小さくなっている。換言すると、空洞３１ａの先端部３１ａ１は、略円錐状に形成されている。シャフト３１の空洞３１ａには、内管３４が設けられている。内管３４は、略円筒状である。内管３４は、空洞３１ａ内において、シャフト３１の後端部３１ｃから空洞３１ａの先端部３１ａ１の近傍まで延びている。内管３４の先端部は、尖っている。シャフト３１の中空部３３の空洞３１ａには、冷媒供給装置７０（図２参照）から冷媒が供給される。

【0026】

〈冷媒供給装置７０〉
冷媒供給装置７０は、シャフト３１の空洞３１ａに冷媒を供給する装置である。冷媒供給装置７０としては、空洞３１ａに冷媒を供給できる装置であれば、特に限定されない。図２に示されているように、シャフト３１には、供給口３１ｄと排出口３１ｅが設けられている。供給口３１ｄは、シャフト３１の後端部３１ｃにおいて、内管３４の後端に設けられている。排出口３１ｅは、シャフト３１の後端部３１ｃにおいて、シャフト３１の外周面に設けられている。冷媒供給装置７０は、供給口３１ｄと排出口３１ｅに接続されている。供給口３１ｄには、冷媒供給装置７０から冷媒が供給され、排出口３１ｅからは、冷媒供給装置７０に向かって冷媒が排出される。シャフト３１は、この実施形態では、内管３４の内側に冷媒が供給され、外側から冷媒が排出されるように構成されている。なお、内管３４の外側に冷媒が供給され、内側から冷媒が排出されるように、冷媒が流通する向きが設定されていてもよい。

【0027】

この実施形態では、冷媒供給装置７０として、チラーとも称される、予め設定された温度の冷媒を循環させる装置が用いられている。空洞３１ａに供給される冷媒の温度は、例えば、常温、常温よりも低い温度等、搬送空間１０ｂの雰囲気温度よりも低い温度である。特に限定されないが、冷媒としては、水等を用いることができる。冷媒供給装置７０は、加熱室１０の外部に配置されている。

【0028】

冷媒供給装置７０は、ポンプによって冷媒を循環させる。冷媒供給装置７０は、チューブ３１ｆを介して供給口３１ｄと排出口３１ｅと接続されている。チューブ３１ｆは、ケーブルキャリア３１ｆ１に束ねられている。ケーブルキャリア３１ｆ１は、シャフト３１の駆動に追従して曲がるように構成されている。冷媒供給装置７０は、ポンプによって、冷媒を循環させる。冷媒は、冷媒供給装置７０内での熱交換によって設定温度に冷却され、冷媒供給装置７０と、シャフト３１の空洞３１ａ内を循環する。これによって、シャフト３１の外周側面は、冷媒によって冷やされる。

【0029】

シャフト３１は、後壁１８ａから加熱室１０の外部に出ている。シャフト３１が挿通される後壁１８ａには、貫通孔１９が形成されている。貫通孔１９は、略円形に開口した孔である。前記加熱室１０の貫通孔１９には、ガイド５０が取り付けられている。

【0030】

〈ガイド５０〉
ガイド５０は、ベース部材５１と、筒部材５３と、密閉部材５５とを備えている。ガイド５０は、挿通孔５４，５６ｂ１，５８ｃを備えている（図２および図３参照）。シャフト３１は、挿通孔５４，５６ｂ１，５８ｃに挿通されている。ベース部材５１は、後壁１８ａの外側面に取り付けられた部材である。ベース部材５１は、ボルト等によって後壁１８ａの外側面に取り付けられうる。

【0031】

筒部材５３は、ベース部材５１から貫通孔１９を通って加熱室１０内に挿通されている。筒部材５３は、略円筒状の部材である。筒部材５３の内周面は、シャフト３１が挿通される挿通孔５４を形成している。筒部材５３の外径は、貫通孔１９の内径と略同一である。筒部材５３の内径は、シャフト３１の外径よりも大きい。加熱室１０内において、筒部材５３の周囲には、断熱材５３ａが設けられている。これによって、搬送空間１０ｂの熱が、加熱室１０の外部、シャフト３１等に伝わりにくくなる。断熱材５３ａとしては、例えば、セラミック製、カーボン製のものが用いられうる。筒部材５３の端部には、断熱材５３ａを押さえる蓋５３ｂが取り付けられている。

【0032】

この実施形態では、筒部材５３の挿通孔５４にも、断熱材５４ａが設けられている。断熱材５４ａは、筒部材５３の内周面と、シャフト３１との間に介在している。断熱材５４ａとしては、無機繊維から構成されたものが用いられている。断熱材５４ａとしては、アルミナ繊維、ムライト繊維、ロックウール、ガラス繊維、リフラクトリーセラミックファイバー、カーボン繊維等から構成されたブランケット状の断熱材が用いられうる。

【0033】

密閉部材５５は、加熱室１０の外側に設けられている。密閉部材５５は、後壁１８ａの外側面に取り付けられたベース部材５１に取り付けられている。図３に示されているように、ガイド５０の密閉部材５５は、収容部５６と、シール部材５７と、押さえ部５８とを備えている。シール部材５７は、ダストシール５７ａと、グランドパッキン５７ｂと、Ｏリング５７ｃとを備えている。シール部材５７は、加熱室１０の外部に設けられている。収容部５６と押さえ部５８の略中央部には、シャフト３１が挿通されている。

【0034】

収容部５６は、シール部材５７を収容する部位である。収容部５６は、円盤状の円盤部５６ａを有している。円盤部５６ａは、ボルト５６ａ１によってベース部材５１に取り付けられている。円盤部５６ａとベース部材５１の間には、Ｏリング５７ｃが設けられている。収容部５６は、円盤部５６ａからシャフト３１の先端側に向かって突出した先端部５６ｂと、シャフト３１の後端側に向かって突出した後端部５６ｃとを有している。先端部５６ｂには、シャフト３１が挿通される挿通孔５６ｂ１が設けられている。挿通孔５６ｂ１には、外径方向に窪んだ窪みが設けられている。窪みは、周方向に連続している。窪みには、ダストシール５７ａが設けられている。ダストシール５７ａは、先端部５６ｂに設けられており、収容部５６の先端部５６ｂとシャフト３１の間に介在している。これによって、加熱室１０側から密閉部材５５内へのダスト等の侵入が抑えられうる。

【0035】

後端部５６ｃは、後方に向かって延びたボルト５６ｃ１を有している。収容部５６には、後端部５６ｃから円盤部５６ａ側に向かって窪んだ凹部５６ｄが設けられている。凹部５６ｄには、グランドパッキン５７ｂが収容されている。グランドパッキン５７ｂは、凹部５６ｄの底に収められている。収容部５６の凹部５６ｄには、押さえ部５８が挿通されている。押さえ部５８は、ボルト５６ｃ１を介して収容部５６に対して押さえつけられるように構成されている。

【0036】

押さえ部５８は、略円筒状の部位である。押さえ部５８の後端には、外径方向に突出した突出部５８ａが設けられている。詳細な図示は省略するが、突出部５８ａは、押さえ部５８の周方向において略同じ間隔で４箇所に設けられている。突出部５８ａには、ボルト５６ｃ１が挿通される挿通孔が形成されている。ボルト５６ｃ１には、突出部５８ａの外側（後方）からナット５８ｂが取り付けられている。突出部５８ａの外側からナット５８ｂを締めることによって、押さえ部５８は、収容部５６に対して押さえつけられている。押さえ部５８の略中央部には、挿通孔５８ｃが設けられている。挿通孔５８ｃの径は、シャフト３１の外径と略同一である。押さえ部５８の先端部は、グランドパッキン５７ｂに押さえつけられており、凹部５６ｄにおいて収容部５６とシャフト３１の間に介在している。これによって、ガイド５０の気密性が向上されうる。

【0037】

収容部５６の凹部５６ｄの側周面には、外径方向に窪んだ窪みが形成されている。窪みは、周方向に連続して形成されている。窪みは、凹部５６ｄの深さ方向に沿って２箇所に設けられている。窪みには、Ｏリング５７ｃが収容されている。Ｏリング５７ｃによって、収容部５６と押さえ部５８の間の気密性が向上されている。

【0038】

押さえ部５８の挿通孔５８ｃの内周面には、外径方向に窪んだ窪みが形成されている。窪みは、周方向に連続して形成されている。窪みは、挿通孔５８ｃが貫通する方向に沿って２箇所に設けられている。窪みには、Ｏリング５７ｃが収容されている。シャフト３１は、Ｏリング５７ｃを介して挿通孔５８ｃに挿通されている。押さえ部５８の窪みは、挿通孔５８ｃが貫通する方向において収容部５６の側周面の窪みと重なる位置に設けられている。これによって、押さえ部５８とシャフト３１の間の気密性が向上されている。

【0039】

押さえ部５８の挿通孔５８ｃのうち、突出部５８ａと重なる位置には、外径方向に窪んだ窪みが設けられている。窪みは、周方向に連続している。窪みには、ダストシール５７ａが設けられている。ダストシール５７ａは、押さえ部５８の後端部に設けられており、押さえ部５８の後端部とシャフト３１の間に介在している。これによって、加熱室１０側の外側から密閉部材５５内へのダスト等の侵入が抑えられうる。

【0040】

シャフト３１は、シール部材５７を含んだガイド５０に挿通され、加熱室１０の外部に延びている。ガイド５０には、シャフト３１と略平行な複数のロッド５０ａと、複数のロッド５０ａを連結する連結板５０ｂとが設けられていてもよい。この実施形態では、ロッド５０ａは、収容部５６の後端部５６ｃから後方に向かって延びている。この実施形態では、後端部５６ｃから４本のロッド５０ａが延びている。詳細な図示は省略するが、収容部５６の周方向において、ロッド５０ａは、隣り合う突出部５８ａの間から延びるように配置されている。連結板５０ｂには、シャフト３１が挿通される挿通孔５０ｂ１が形成されている。シャフト３１は、ロッド５０ａと、連結板５０ｂとによって案内されてもよい。

【0041】

シャフト３１は、加熱室１０の外部に設けられた駆動装置６０（図２参照）によって駆動される。

【0042】

〈駆動装置６０〉
駆動装置６０は、シャフト３１を搬送方向Ｚに沿って駆動する装置である。図２に示されているように、駆動装置は、モータ６１と、ボールねじ６２と、スライドシャフト６３と、ハウジング６４とを備えている。

【0043】

架台３０ａに載せられたベース６０ａからは、上方に一対の支持部材６５が延びている。一対の支持部材６５は、少なくともシャフト３１が摺動する距離を空けて互いに対向している。一対の支持部材６５には、ボールねじ６２とスライドシャフト６３が掛け渡されている。ボールねじ６２とスライドシャフト６３は、シャフト３１と略平行に延びている。この実施形態では、ボールねじ６２は、支持部材６５の上部に支持されており、スライドシャフト６３は、支持部材６５の中央部に支持されている。

【0044】

ボールねじ６２とスライドシャフト６３には、ハウジング６４が接続されている。ハウジング６４には、シャフト３１が接続されている。この実施形態では、シャフト３１は、ハウジング６４の上部に取り付けられている。ボールねじ６２は、ハウジング６４の中央部に接続されている。スライドシャフト６３は、ハウジング６４の中央部に接続されている。

【0045】

詳細な図示は省略するが、ハウジング６４は、ボールねじ６２が挿通されるボールナットを備えている。ハウジング６４は、スライドシャフト６３が挿通されるスライドブッシュを備えている。ハウジング６４のボールナットは、ボールねじに螺合している。ハウジング６４は、ボールねじ６２の回転に応じて、スライドシャフト６３に案内されながら、ボールナットを介してボールねじ上を搬送方向Ｚに沿って動くように構成されている。ボールねじ６２が反対方向に回転することによって、ハウジング６４は、搬送方向Ｚとは反対方向に動く。

【0046】

ボールねじ６２は、モータ６１と接続されている。この実施形態では、ボールねじ６２は、モータ６１のモータ軸に設けられたプーリ（図示省略）と、ボールねじ６２に設けられたプーリ（図示省略）と、これらのプーリを繋ぐベルト６６によって接続されている。モータ６１の回転駆動力は、プーリと、ベルト６６とを介してボールねじ６２に伝わり、ボールねじ６２が回転する。ボールねじ６２が回転することによって、ハウジング６４は、搬送方向Ｚに動く。

【0047】

ハウジング６４に取り付けられているシャフト３１は、搬送方向Ｚに動く。これによって、プッシャヘッド３５は、プッシャ収容部１８から搬送方向Ｚに向かって動き、被搬送物Ａを搬送方向Ｚに沿って押し込む。被搬送物Ａの搬送後、モータ６１は、ボールねじ６２を反対方向に回転させる。これによって、プッシャヘッド３５は、再びプッシャ収容部１８に戻る。その後、プッシャ３０Ａ（図１参照）によって後続の被搬送物Ａがプッシャヘッド３５の前方に搬送される。このように、駆動装置６０のモータ６１の回転方向が切り替わることによって、シャフト３１は搬送方向Ｚおよび反対方向に駆動され、被搬送物Ａを順次搬送する。なお、駆動装置の構成は、かかる形態に限定されず、駆動装置は、シリンダ装置によって構成されていてもよい。

【0048】

ところで、加熱室において内部の雰囲気を維持しつつ、被処理物をプッシャによって順次搬送しながら加熱処理する場合がある。プッシャのシャフトは、加熱室の挿通孔に挿通され、加熱室の内部および外部に延びている。この場合、プッシャのシャフトと、シャフトが挿通される加熱室の挿通孔には、加熱室の気密性を高めるためのシール部材が設けられうる。シャフトは、シール部材を介して挿通孔に挿通されている。本発明者の知見では、シール部材は、加熱室の熱、シャフトがシール材に対する摺動等によって劣化しうる。

【0049】

上述した実施形態では、焼成炉１は、搬送空間１０ｂを内部に有する加熱室１０と、プッシャ３０と、シール部材５７と、冷媒供給装置７０とを備えている。加熱室１０は、搬送空間１０ｂに設定された搬送方向Ｚの後端に挿通孔５６ｂ１，５８ｃを備えている。プッシャ３０は、シャフト３１と、プッシャヘッド３５と、駆動装置６０とを備えている。シャフト３１は、シール部材５７を介して挿通孔５６ｂ１，５８ｃに挿通されている。プッシャヘッド３５は、搬送空間１０ｂ内においてシャフト３１の一端に設けられている。駆動装置６０は、シャフト３１を搬送方向Ｚに沿って駆動する。シャフト３１は、シール部材５７と接する位置において、内部に空洞３１ａを備えている。冷媒供給装置７０は、空洞３１ａに冷媒を供給する。かかる焼成炉１では、シャフト３１は、シール部材５７と接する位置において、シャフト３１の空洞３１ａに冷媒が供給される。シール部材５７と接する位置において、シャフト３１が冷却される。このため、焼成炉１内の熱は、シャフト３１を介してシール部材５７には伝わりにくい。その結果、熱によるシール部材５７の劣化が抑えられやすく、プッシャ３０のシャフト３１が挿通されている部位のシール性が保たれやすい。シール部材５７が劣化しにくくシール性が保たれることによって、加熱室１０の雰囲気が維持されやすい。また、加熱室１０のメンテナンス回数が少なく済みやすい。

【0050】

上述した実施形態では、シャフト３１の空洞３１ａには、内管３４が設けられている。内管３４の内側および外側のうち、一方には冷媒が供給され、他方からは冷媒が排出される。これによって、冷媒が空洞３１ａ内で留まりにくい。その結果、シャフト３１の冷却効率が向上しうる。

【0051】

上述した実施形態では、シャフト３１は、中実部３２と、中空部３３とを有している。中実部３２の一端には、プッシャヘッド３５が取り付けられている。中空部３３は、中実部３２の他端から搬送方向Ｚとは反対方向に向かって延びている。中空部３３は、内部に空洞３１ａが設けられている。プッシャヘッド３５が、空洞３１ａが設けられている中空部３３に取り付けられておらず、中実部３２に設けられていることによって、プッシャヘッド３５とシャフト３１の接続部には、空洞３１ａをシールするためのシール部材を設ける必要がない。これによって、プッシャ３０を、シャフト３１の空洞３１ａが設けられている部位において劣化しにくい構成とすることができる。

【0052】

上述した実施形態では、中実部３２と中空部３３の境界は、プッシャヘッド３５が引き込まれている構成の時に搬送空間１０ｂよりも外側に位置している。このため、冷媒によって冷却されやすい中空部３３には、加熱室１０の熱が伝わりにくい。その結果、シール部材５７が設けられている位置において、シャフト３１が加熱されにくく、当該位置の冷却効率が向上しうる。

【0053】

上述した実施形態では、挿通孔５４には、断熱材５４ａが設けられている。これによって、加熱室１０の熱が、シャフト３１のうち、シール部材５７が設けられている位置に伝わりにくくなる。

【0054】

上述した実施形態では、断熱材５４ａは、無機繊維から構成されている。搬送空間１０ｂにおいてシャフト３１の外周面にダスト等の不純物が付着した場合にも、断熱材５４ａによって当該不純物が除去されやすい。その結果、シール部材５７とシャフト３１が接する位置が汚れにくく、シール部材５７の劣化が抑えられやすい。

【0055】

上述した実施形態では、シール部材５７は、加熱室１０の外部に設けられている。これによって、加熱室１０の外部からシール部材５７をメンテナンスしやすい。その結果、シール部材５７の劣化が抑えられやすい。

【0056】

上述した実施形態では、加熱室１０には、挿通孔５４，５６ｂ１，５８ｃを備えるガイド５０が取り付けられている。ガイド５０は、収容部５６と、シール部材５７と、押さえ部５８とを含んでいる。収容部５６は、シール部材５７を収容する。押さえ部５８は、収容部５６に収容されたシール部材５７を押さえる。かかる構成によって、収容部５６と押さえ部５８は、それぞれ取り外された状態でメンテナンスされやすい。また、シール部材５７が配置される位置のメンテナンス性も良好でありうる。その結果、シャフト３１が挿通されている部位のシール性が保たれやすい。

【0057】

以上、具体的な実施形態を挙げて詳細な説明を行ったが、これらは例示にすぎず、請求の範囲を限定するものではない。このように、請求の範囲に記載の技術には、以上に記載した実施形態を様々に変形、変更したものが含まれる。

【0058】

なお、本明細書は以下の項１～８を含んでいる。以下の項１～８は、上記した実施形態には限定されない。

【0059】

項１：
搬送空間を内部に有する加熱室と、
プッシャと、
シール部材と、
冷媒供給装置と
を備え、
前記加熱室は、前記搬送空間に設定された搬送方向の後端に挿通孔を備え、
前記プッシャは、
前記シール部材を介して前記挿通孔に挿通されるシャフトと、
前記搬送空間内において前記シャフトの一端に設けられたプッシャヘッドと、
前記シャフトを前記搬送方向に沿って駆動する駆動装置と
を備え、
前記シャフトは、前記シール部材と接する位置において、内部に空洞を備えており、
前記冷媒供給装置は、前記空洞に冷媒を供給する、
焼成炉。

【0060】

項２：
前記シャフトの前記空洞には、内管が設けられており、
前記内管の内側および外側のうち、一方には前記冷媒が供給され、他方からは前記冷媒が排出される、項１に記載された焼成炉。

【0061】

項３：
前記シャフトは、
一端に前記プッシャヘッドが取り付けられた中実部と、
前記中実部の他端から前記搬送方向とは反対方向に向かって延びる、内部に前記空洞が設けられた中空部と
を有する、項１または２に記載された焼成炉。

【0062】

項４：
前記中実部と前記中空部の境界は、前記プッシャヘッドが引き込まれている構成の時に前記搬送空間よりも外側に位置している、項３に記載された焼成炉。

【0063】

項５：
前記挿通孔には、断熱材が設けられている、項１～４のいずれか一項に記載された焼成炉。

【0064】

項６：
前記断熱材は、無機繊維から構成されている、項５に記載された焼成炉。

【0065】

項７：
前記シール部材は、前記加熱室の外部に設けられている、項１～６のいずれか一項に記載された焼成炉。

【0066】

項８：
前記加熱室には、前記挿通孔を備えるガイドが取り付けられており、
前記ガイドは、前記シール部材を収容する収容部と、前記シール部材と、前記収容部に収容された前記シール部材を押さえる押さえ部とを含む、項１～７のいずれか一項に記載された焼成炉。

【符号の説明】

【0067】

Ａ 加熱容器（被搬送物）
Ａ１ 台板
１ 焼成炉
１０ 加熱室
１０ａ，３０ａ 架台
１０ａ１ 支柱
１０ｂ 搬送空間
１０ｃ 搬送路
１１ 後壁
１２ 前壁
１３，１４ 側壁
１３ａ 上流部
１３ｂ 下流部
１５ 底壁
１６ 天井壁
１７ カバー
１８ プッシャ収容部
１８ａ 後壁
１９ 貫通孔
３０，３０Ａ，３０Ｂ プッシャ
３１ シャフト
３１ａ 空洞
３１ａ１ 先端部
３１ｂ 一端
３１ｃ 後端部
３１ｄ 供給口
３１ｅ 排出口
３１ｆ チューブ
３１ｆ１ ケーブルキャリア
３２ 中実部
３３ 中空部
３４ 内管
３５ プッシャヘッド
３５ａ 基部
３５ｂ 当接部
５０ ガイド
５０ａ ロッド
５０ｂ 連結板
５０ｂ１ 挿通孔
５１ ベース部材
５３ 筒部材
５３ａ，５４ａ 断熱材
５３ｂ 蓋
５４，５６ｂ１，５８ｃ 挿通孔
５５ 密閉部材
５６ 収容部
５６ａ 円盤部
５６ａ１ ボルト
５６ｂ 先端部
５６ｃ 後端部
５６ｃ１ ボルト
５６ｄ 凹部
５７ シール部材
５７ａ ダストシール
５７ｂ グランドパッキン
５７ｃ Ｏリング
５８ 押さえ部
５８ａ 突出部
５８ｂ ナット
６０ 駆動装置
６０ａ ベース
６１ モータ
６２ ボールねじ
６３ スライドシャフト
６４ ハウジング
６５ 支持部材
６６ ベルト
７０ 冷媒供給装置
８０ 搬入室
８１ 搬入路
８２，９２ 壁
９０ 搬出室
９１ 搬出路

【要約】

【課題】シール部材の劣化を抑える。
【解決手段】焼成炉１は、搬送空間１０ｂを内部に有する加熱室１０と、プッシャ３０と、シール部材５７と、冷媒供給装置７０とを備えている。加熱室１０は、搬送空間１０ｂに設定された搬送方向Ｚの後端に挿通孔５６ｂ１，５８ｃを備えている。プッシャ３０は、シャフト３１と、プッシャヘッド３５と、駆動装置６０とを備えている。シャフト３１は、シール部材５７を介して挿通孔５６ｂ１，５８ｃに挿通されている。プッシャヘッド３５は、搬送空間１０ｂ内においてシャフト３１の一端に設けられている。駆動装置６０は、シャフト３１を搬送方向Ｚに沿って駆動する。シャフト３１は、シール部材５７と接する位置において、内部に空洞３１ａを備えている。冷媒供給装置７０は、空洞３１ａに冷媒を供給する。
【選択図】図３

【図1】

【図2】

【図3】