特許 7566603 接着剤の外観検査方法および液体吐出ヘッドの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-04

(45)【発行日】2024-10-15

(54)【発明の名称】接着剤の外観検査方法および液体吐出ヘッドの製造方法

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/16 20060101AFI20241007BHJP

   G01N 21/956 20060101ALI20241007BHJP

   B41J 2/14 20060101ALI20241007BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20241007BHJP

   B05C 11/00 20060101ALI20241007BHJP

   B05C 5/00 20060101ALI20241007BHJP

【ＦＩ】

B41J2/16 503

G01N21/956 B

B41J2/14

B41J2/01 451

B05C11/00

B05C5/00 101

【請求項の数】 21

(21)【出願番号】P 2020202813

(22)【出願日】2020-12-07

(65)【公開番号】P2022090419

(43)【公開日】2022-06-17

【審査請求日】2023-11-28

(73)【特許権者】

【識別番号】000001007

【氏名又は名称】キヤノン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100123788

【弁理士】

【氏名又は名称】宮崎 昭夫

(74)【代理人】

【識別番号】100127454

【弁理士】

【氏名又は名称】緒方 雅昭

(72)【発明者】

【氏名】山田 遼平

【審査官】岩本 太一

(56)【参考文献】

【文献】特開２００６－１６２２７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－１４７３１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０４５１７４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０５Ｃ ５／００－ ５／０４

７／００－２１／００

Ｂ０５Ｄ １／００－ ７／２６

Ｂ４１Ｊ ２／０１－ ２／２１５

Ｇ０１Ｂ １１／００－１１／３０

Ｇ０１Ｎ ２１／８４－２１／９５８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

表面に溝を備え、該溝を形成する側壁が前記表面に対して傾斜した傾斜面からなる支持部材の、前記溝を含む領域に塗布した接着剤の外観検査を行う方法であって、
前記溝を含む領域に向けて照明光を照射し、前記表面の側に配置したカメラで前記領域からの反射光を撮像し、該カメラで撮像した撮像画像に基づいて、前記接着剤の外観を検査すること、を含み、
前記照明光が前記傾斜面で正反射されたときの反射光が前記カメラの側に向かうように、かつ、前記傾斜面に垂直な方向と前記表面とがなす角度よりも前記傾斜面への前記照明光の入射方向と前記表面とがなす角度のほうが小さくなるよう、前記傾斜面への前記照明光の入射角を設定することを特徴とする、接着剤の外観検査方法。

【請求項2】

前記支持部材の前記表面に対する前記傾斜面の傾斜角が４５°より大きい、請求項１に記載の接着剤の外観検査方法。

【請求項3】

１枚の前記撮像画像から前記傾斜面と前記接着剤の表面との明暗の差に基づいて、前記接着剤を塗布した塗布領域において前記溝が露出したか否かを判定することを特徴とする、請求項１に記載の接着剤の外観検査方法。

【請求項4】

前記溝は、同じ方向に延在する、互いに平行な第１の溝および第２の溝を有し、
前記第１の溝および第２の溝がともに露出した場合に、前記接着剤の途切れが生じたと判定することを特徴とする、請求項１に記載の接着剤の外観検査方法。

【請求項5】

前記第１の溝または前記第２の溝が露出した場合に、前記接着剤の線幅が規定値より細いと判定することを特徴とする、請求項４に記載の接着剤の外観検査方法。

【請求項6】

前記溝は、第１の溝と、該第１の溝と交差するように所定の間隔で平行に形成された複数の第２の溝と、を有し、
前記第１の溝が露出した場合に、前記接着剤の途切れが生じたと判定することを特徴とする、請求項１に記載の接着剤の外観検査方法。

【請求項7】

前記第２の溝が露出した場合に、前記接着剤の線幅が規定値より細いと判定することを特徴とする、請求項６に記載の接着剤の外観検査方法。

【請求項8】

前記溝は、第１の方向に延在する互いに平行な複数の第１の溝と、該第１の方向と交差する第２の方向に延在する互いに平行な複数の第２の溝と、を有し、該第１の溝と第２の溝とが網目状の溝を形成し、
前記網目状の溝の一部が露出した場合に、前記接着剤の線幅が規定値より細いと判定することを特徴とする、請求項１に記載の接着剤の外観検査方法。

【請求項9】

前記網目状の溝の一部が前記第２の方向の幅全体に渡って露出した場合に、前記接着剤の途切れが生じたと判定することを特徴とする、請求項８に記載の接着剤の外観検査方法。

【請求項10】

前記支持部材と前記接着剤が同色であることを特徴とする、請求項１乃至９のいずれか一項に記載の接着剤の外観検査方法。

【請求項11】

前記支持部材と前記接着剤が白色であることを特徴とする、請求項１０に記載の接着剤の外観検査方法。

【請求項12】

前記照明光は、レーザー光または平行光束である、請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の接着剤の外観検査方法。

【請求項13】

前記溝は、前記傾斜面と、該溝を形成する側壁が前記表面に対して前記傾斜面と異なる角度で傾斜した第２の傾斜面と、を有し、
前記傾斜面で正反射した前記照明光が、前記第２の傾斜面に入射せず前記カメラの側に向かうように前記照明光の前記入射角を設定する、請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の接着剤の外観検査方法。

【請求項14】

前記支持部材は、
液体を吐出する吐出口を備えた記録素子基板を前記表面で支持するように構成され、
前記表面は、前記液体を前記記録素子基板に供給するための液体供給口を有し、
前記溝は前記液体供給口の縁に沿って形成されている、請求項１乃至１３のいずれか一項に記載の接着剤の外観検査方法。

【請求項15】

液体を吐出する吐出口を備えた記録素子基板と、
前記記録素子基板を支持する支持面を備え、前記記録素子基板と接着剤により接合された支持部材であって、前記支持面は、前記液体を前記記録素子基板に供給する液体供給口と、前記接着剤を塗布するための溝を備えた塗布領域と、を有する支持部材と、を有し
前記溝は前記液体供給口の縁に沿って形成され、該溝を形成する側壁が、前記支持面に対して傾斜した傾斜面からなる液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記溝を含む領域に塗布した接着剤の外観検査工程を含み、
当該外観検査工程は、前記溝を含む領域に向けて照明光を照射し、前記支持面の側に配置したカメラで前記領域からの反射光を撮像し、該カメラで撮像した撮像画像に基づいて、前記接着剤の外観を検査すること、を含み、
前記照明光が前記傾斜面で正反射されたときの反射光が前記カメラの側に向かうように、かつ、前記傾斜面に垂直な方向と前記支持面とがなす角度よりも前記傾斜面への前記照明光の入射方向と前記支持面とがなす角度のほうが小さくなるよう、前記傾斜面への前記照明光の入射角を設定する、液体吐出ヘッドの製造方法。

【請求項16】

前記支持面に対する前記傾斜面の傾斜角が４５°より大きいことを特徴とする、請求項１５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

【請求項17】

複数の前記溝が纏まって前記液体供給口の縁に沿って形成されていることを特徴とする、請求項１５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

【請求項18】

前記複数の溝は、同じ方向に延在する、互いに平行な第１の溝および第２の溝を有することを特徴とする、請求項１７に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

【請求項19】

前記複数の溝は、
前記液体供給口の縁に沿って延在する第１の溝と、
前記第１の溝と交差するように所定の間隔で平行に形成された複数の第２の溝と、を有することを特徴とする、請求項１７に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

【請求項20】

前記複数の溝は、
第１の方向に延在する互いに平行な複数の第１の溝と、
前記第１の方向と交差する第２の方向に延在する互いに平行な複数の第２の溝と、を有し、
前記複数の第１の溝と前記複数の第２の溝とが網目状の溝を形成し、該網目状の溝が前記液体供給口の縁に沿って延在することを特徴とする、請求項１７に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

【請求項21】

前記溝の断面形状がＶ字形状であることを特徴とする、請求項１５乃至２０のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液体を吐出する記録素子基板を支持する支持部材および接着剤の外観検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

液体吐出ヘッドは、液体を吐出する記録素子基板と、この記録素子基板を支持する支持部材とを有する。記録素子基板と支持部材は、接着剤により接合される。支持部材の支持面には、液体を記録素子基板に供給する液体供給口が形成されており、この液体供給口を囲むように接着剤を塗布する塗布領域が設けられる。記録素子基板を支持部材に確実に接着し、かつ、液体が漏れることがないように、接着剤は、一定の幅で、途切れが生じないように、支持面上に塗布する必要がある。このため、支持面上に塗布した接着剤の外観検査が行われる。
特許文献１には、基板の粗面に塗布した接着剤の外査方法が記載されている。特許文献１に記載の方法では、接着剤が塗布されているべき位置に向けて、基板表面に沿う方向から光を照射して、その反射光を基板上方に位置する光検出装置が受光する。受光した反射光の強度分布に基づいて、接着剤の塗布状態を検査する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特許第５４７４４９８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載の検査方法では、透明な接着剤を検査対象としており、照明光の一部が接着剤を透過する必要がある。このため、白色等の透明でない接着剤の外観検査を行うことは困難である。
本発明は、透明でない接着剤の外観検査を可能とすることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記目的を達成するため、本発明の接着剤の外観検査方法は、表面に溝を備え、該溝を形成する側壁が前記表面に対して傾斜した傾斜面からなる支持部材の、前記溝を含む領域に塗布した接着剤の外観検査を行う方法であって、前記溝を含む領域に向けて照明光を照射し、前記表面の側に配置したカメラで前記領域からの反射光を撮像し、該カメラで撮像した撮像画像に基づいて、前記接着剤の外観を検査すること、を含み、前記照明光が前記傾斜面で正反射されたときの反射光が前記カメラの側に向かうように、かつ、前記傾斜面に垂直な方向と前記表面とがなす角度よりも前記傾斜面への前記照明光の入射方向と前記表面とがなす角度のほうが小さくなるよう、前記傾斜面への前記照明光の入射角を設定することを特徴とする。

【発明の効果】

【0006】

本発明によれば、透明でない接着剤の外観検査を正確に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】本発明を適用した液体吐出ヘッドの概略構成を示す斜視図である。

【図2】記録素子基板と支持部材とを分離した状態を模式的に示す斜視図である。

【図3】本発明の一実施形態の支持部材を示す斜視図である。

【図4】図３に示す支持部材２の線Ａ―Ａにおける断面図である。

【図5】図４に示す溝の拡大図である。

【図6】接着剤７の外観検査を行う検査装置の構成を示すブロック図である。

【図7】照明光の入射角を説明するための模式図である。

【図8】接着剤が塗布された溝付近の反射光の状態を示す模式図である。

【図9】接着剤の途切れを生じた状態を示す模式図である。

【図10】比較例の支持部材上に塗布した接着剤の外観検査を説明するための模式図である。

【図11】溝の変形例を説明するための模式図である。

【図12】図１１（ｃ）の矢印Ｃの断面における照明光と反射光の進行状態を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。但し、実施形態に記載されている構成要素はあくまで例示であり、本発明の範囲をそれらに限定する趣旨のものではない。

【0009】

図１は、本発明を適用した液体吐出ヘッドの概略構成を示す。液体吐出ヘッドは、インク等の液体を吐出する記録素子基板１と、記録素子基板１を支持する支持部材２とを有する。。記録素子基板１は、液体を吐出する複数の吐出口を備え、吐出口毎に、液体を吐出するためのエネルギー発生素子が設けられている。ここでは、２つの記録素子基板１が、接着剤により支持部材２に接合されている。
支持部材２には、記録素子基板１の各エネルギー発生素子に電力を供給するための電気配線基板３が接合されている。記録素子基板１は、電気配線基板３を介して信号入力基板４と電気的に接続されている。支持部材２は、チップタンク５に接合されている。チップタンク５は、外部の液体タンクに連通しており、液体を記録素子基板１に供給するサブタンクとしての役割を果たす。

【0010】

図２に、記録素子基板１と支持部材２とを分離した状態を模式的に示す。支持部材２は、記録素子基板１を支持する支持面２ａを備える。支持面２ａは、支持部材２の表面の一例である。支持面２ａは、液体を記録素子基板１に供給するための液体供給口６を備える。記録素子基板１を接合するための接着剤７が、液体供給口６を囲むように塗布されている。接着剤７は、透明でない接着剤である。
支持部材２と接着剤７は、同色である。ここで、同色は、完全一致でなくても良い。例えば、同色は、外観検査で、照明光を支持面２ａおよび接着剤７に照射した際の反射光を撮像した撮像画像において、支持面２ａと接着剤７との判別ができないような色の範囲を含む。例えば、支持部材２と接着剤７は、白色等である。より具体的には、接着剤７の主材質はエポキシ樹脂等であり、白色に近い淡黄色を有する。支持部材２の主材質はアルミナ（酸化アルミニウム）であり、その外観色は白色である。支持部材２の支持面２ａは粗面である。

【0011】

図３は、本発明の一実施形態の支持部材２の主要部を示す斜視図である。支持部材２の支持面２ａには、接着剤７を塗布するための溝３１を備えた塗布領域が設けられている。溝３１は、液体供給口６の縁に沿って形成されている。
図４は、図３に示した支持部材２の線Ａ―Ａにおける断面図である。図５は、図４に示した溝３１の拡大図である。図４および図５に示すように、溝３１を形成する側壁が、支持面２ａに対して傾斜した傾斜面３１ａからなる。ここでは、溝３１の断面形状は、Ｖ字形状である。ただし、Ｖ字形状は一例である。Ｖ字を形成する２つの傾斜面３１ａがなす角度θ１は、９０°未満の鋭角である。支持面２ａに対する傾斜面３１ａの傾斜角θ２は、４５°より大きい。Ｖ字をなす２つの傾斜面３１ａの傾斜角θ２は互いに同じである。

【0012】

溝３１は各液体供給口６を囲むように形成されており、接着剤７は溝３１を含む領域に塗布される。複数の液体供給口６が平行に形成された領域では、接着剤７を塗布した部分は格子状に形成されている。接着剤７が液体供給口６から流路内に流れ込むの防ぐため、溝３１は液体供給口６に接しない位置に形成されている。
接着剤７は記録素子基板１を支持部材２に接着する役割に加えて、液体漏れを防止する壁の役割を合わせ持つ。液体漏れを防止する観点から、接着剤７の途切れがないことが重要である。加えて、塗布した接着剤７の高さを規定値にすることも需要である。接着剤７の粘度は比較的高く、接着剤の高さと接着剤の幅は比例関係にある。接着剤７の高さを保証するために、接着剤７の線幅が規定値未満にならないことが重要である。よって、支持部材２の溝３１を含む領域に塗布した接着剤７の外観検査を行い、接着剤７の途切れが無いことや、接着剤７の線幅が規定値未満でないことを確認する必要がある。

【0013】

図６は、接着剤７の外観検査を行う検査装置の構成を示すブロック図である。検査装置は、置き台１０、光源１１、カメラ１２および画像処理部１３を有する。接着剤７を塗布した支持部材２が置き台１０に固定される。光源１１は、支持部材２の支持面２ａ上の溝３１を含む領域に向けて照明光を照射する。照明光として、指向性の高い光を用いることが望ましい。例えば、照明光としてレーザー光や平行光束を用いることができる。
カメラ１２は、支持部材２の支持面２ａの側に配置されている。カメラ１２は、支持面２ａに正対する。カメラ１２は、溝３１を含む領域からの反射光を撮像する。カメラ１２は、電気配線ケーブル１４を介して画像処理部１３と電気的に接続されている。照明光が傾斜面３１ａで正反射されたときの反射光がカメラ１２側に向かうように、傾斜面３１ａへの照明光の入射角が設定されている。

【0014】

画像処理部１３は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等により構成される。画像処理部１３は、カメラ１２で撮像した撮像画像に基づいて、溝３１を含む領域に塗布した接着剤７の外観を検査するための処理を実行する。具体的には、画像処理部１３は、撮像画像上での傾斜面３１ａと接着剤７の表面との明暗の差に基づいて、接着剤７を塗布した塗布領域において溝３１が露出したか否かを判定する。溝３１が露出した状態は、接着剤７の途切れが生じている状態、もしくは、接着剤７の線幅が規定値より細い状態を示す。
撮像画像上で傾斜面３１ａと接着剤７の表面との明暗の差を生じさせるためには、傾斜面３１ａからの反射光を撮像した撮像画像が暗部を含むように、傾斜面３１ａに対する照明光の入射角を設定する必要がある。

【0015】

図７は、溝３１の傾斜面３１ａに対する照明光の入射角を説明するための模式図である。点線４０は、傾斜面３１ａに垂直な補助線である。点線４０は、支持面２ａと傾斜面３１ａとで形成された角部に接する。矢印４１は、傾斜面３１ａに対して入射角αで入射する照明光である。点線４０を基準に、支持面２ａの側の入射角αを正の値、支持面２ａとは反対側の入射角αを負の値とする。矢印４２は、照明光４１が傾斜面３１ａで正反射した正反射光を示す。傾斜面３１ａは、点線４０を立てた位置を境に２つの領域４３、４４に区画されている。領域４３は支持面２ａの側に位置し、領域４４は支持面２ａとは反対側に位置する。

【0016】

図７（ａ）に示すように、入射角αが正（α＞０）の場合、照明光４１は傾斜面３１ａの領域４３に入射するが、領域４４には入射しない。領域４３で正反射された反射光４２は、支持部材２の上方に設置してあるカメラ１２に入射する。この場合、反射光４２を撮像した撮像画像において、領域４３は支持部材２の色（例えば、白色）で示されるが、領域４４は暗部となる。このように、入射角αを正の範囲に設定すれば、暗部を含む撮像画像を得られる。例えば、傾斜面３１ａの傾斜角θ２が４５°より小さい場合、照明光４１が傾斜面３１ａで正反射されたときの反射光４２がカメラ１２側に向かうように入射角αを設定すれば、入射角αは正の範囲になる。

【0017】

一方、図７（ｂ）に示すように、入射角αが負（α＜０）の場合、照明光４１は領域４３および領域４４の両方に入射する。例えば、照明光４１が領域４４に入射した場合、領域４４で正反射した反射光４２は、もう一方の傾斜面３１ａで再び正反射されてカメラ１２に入射する。領域４３で正反射した反射光４２も、同様に、もう一方の傾斜面３１ａで再び正反射されてカメラ１２に入射する。この場合、反射光４２を撮像した撮像画像において、領域４３および領域４４はともに支持部材２の色（例えば、白色）で示されるため、暗部を含む撮像画像を得ることはできない。
上記から分かるように、傾斜面３１ａからの反射光の撮像画像が暗部を含むためには、入射角αを正（α＞０）の範囲に設定する必要がある。なお、溝３１の頂角θ１（２つの傾斜面３１ａがなす角度）が９０°以上である場合は、傾斜面３１ａにおける照明光４１が入射しない領域の割合が極端に少なくなる。その結果、撮像画像上の暗部の割合が減少する。

【0018】

次に、接着剤７の表面で反射した反射光を撮像した撮像画像について説明する。
図８は、接着剤７が塗布された支持部材２の溝３１付近に照明光３３を照射したときの反射光の状態の一例を示す模式図である。照明光３３は支持部材２の支持面２ａ（粗面）上で乱反射し、拡散光３４と正反射光３５が生じる。拡散光３４のうち支持部材２の上方に向かう光が、カメラ１２に入射する。また、照明光３３は接着剤７の表面で乱反射し、拡散光３６と正反射光３７が生じる。拡散光３６のうち接着剤７の上方に向かう光がカメラ１２に入射する。拡散光３４、３６をカメラ１２で撮像した撮像画像において、支持面２ａおよび接着剤７はいずれも白色の領域で示される。よって、支持面２ａおよび接着剤７を撮像画像上で区別することは難しい。

【0019】

接着剤７を塗布した塗布領域において溝３１が露出した場合、撮像画像上では、接着剤７の部分は白色の領域で示されるが、溝３１が露出した部分は暗部となる。このように、接着剤７の部分と溝３１が露出した部分とで明暗の差が生じる。よって、この明暗の差に基づいて、接着剤７を塗布した塗布領域に溝３１が露出しているか否かを判定することができる。
図９に、支持部材２上に塗布した接着剤７の領域の一部に途切れを生じた状態を示す。例えば、接着剤を収容した塗布用容器内で、接着剤に空気等が混入することがある。この場合、塗布用容器から供給された接着剤を支持部材２上に塗布した際に、接着剤の途切れが生じる。図９に示す例では、液体供給口６を囲む接着剤７の一部に途切れ部分３２が生じている。この途切れ部分３２では、溝３１が露出する。外観検査において、撮像画像上で、溝３１が露出した途切れ部分３２は暗部となるため、接着剤７の途切れを判定することができる。
なお、支持部材２と接着剤７が、白色以外の他の色で、同色である場合にも、上記と同様にして接着剤７の途切れを判定することができる。

【0020】

次に、比較例として、溝３１を備えていない支持部材を挙げて、この支持部材の外観検査の問題について説明する。
図１０は、比較例である溝無し支持部材上に塗布した接着剤７の外観検査の問題を説明するための模式図である。支持部材２００の支持面２００ａ上に、液体供給口６を囲むように接着剤７が塗布されている。図６に示した検査装置を用いて、支持部材２００上の接着剤７の外観検査を行った。照明光２０は支持部材２００の支持面２００ａ（表面）で乱反射し、反射光２１がカメラ１２に入射する。同様に、接着剤７の表面で乱反射し、反射光２２がカメラ１２に入射する。反射光２１、２２の強度は同等である。よって、カメラ１２で反射光２１、２２を撮像した撮像画像において、支持面２００ａおよび接着剤７はいずれも白色の領域で示される。このように、比較例では、撮像画像上で接着剤７と支持面２００ａの間で明確な明暗の差は生じない。このため、接着剤７に数μｍの途切れが発生しても、その途切れを判別することは困難である。
これに対して、本実施形態の溝３１を備えた支持部材２によれば、接着剤７が途切れた部分では溝３１が露出する。撮像画像上で、溝３１が露出した部分（途切れ部分）は暗部となるため、接着剤７の途切れを判定することができる。

【0021】

以上説明した本実施形態の支持部材２において、１本の溝３１が液体供給口６を囲むように構成されているが、溝３１の本数は１つに限定されず、また、溝３１の配置形態も図示した配置形態に限定されない。複数の溝３１が纏まって液体供給口６の縁に沿って形成されても良い。
図１１に、溝３１の第１乃至第３の変形例を示す。図１１（ａ）に示すように、支持部材２の支持面２ａ上の、破線Ｂで囲まれた２つの液体供給口６の間に、接着剤の塗布領域５１が設定されている。図１１（ｂ）に、接着剤の塗布領域５１に形成された第１の変形例の溝を示す。第１の変形例の溝は、同じ方向に延在する、互いに平行な第１の溝５２ａおよび第２の溝５２ｂを有する。第１の溝５２ａおよび第２の溝５２ｂは、液体供給口６の縁に沿って形成されている。

【0022】

外観検査において、第１の溝５２ａと第２の溝５２ｂとが接着剤７の線幅を規定する。第１の溝５２ａおよび第２の溝５２ｂがともに露出した場合に、接着剤７の途切れが生じたと判定する。また、第１の溝５２ａまたは第２の溝５２ｂが露出した場合に、接着剤７の線幅が規定値より細いと判定する。このように第１の変形例によれば、接着剤７の途切れや接着剤７の線幅の判定が可能となる。図１１（ｂ）の例では、接着剤７ａの線幅は規格値よりも細いため、第１の溝５２ａが露出している。撮像画像上で第１の溝５２ａの暗部を認識することで、接着剤７の線幅が規定値より細いと判定することが可能である。

【0023】

図１１（ｃ）に、接着剤の塗布領域５１に形成された第２の変形例の溝を示す。第２の変形例の溝は、液体供給口６の縁に沿って延在する第１の溝５３と、第１の溝５３と直交するように所定の間隔で平行に形成された複数の第２の溝５４と、を有する。各第２の溝５４は、第１の溝５３と交わらない。
外観検査において、第２の溝５４が接着剤７の線幅を規定する。第１の溝５３が露出した場合に、接着剤７の途切れが生じたと判定する。第２の溝５４が露出した場合に、接着剤７の線幅が規定値より細いと判定する。このように第２の変形例によれば、接着剤７の途切れや接着剤７の線幅の判定が可能となる。図１１（ｃ）の例では、接着剤７ａの線幅は規格値よりも細いため、第２の溝５４が露出している。この場合、撮像画像上で、第２の溝５４（暗部）の長さを測定することで、線幅の不足量を検出することができる。線幅の不足量に基づいて、接着剤の追加塗布量の算出が可能である。線幅の不足部に接着剤を追加塗布することで、これまで不良品となっていた支持部材２を良品にすることができるので、歩留まりが向上する。

【0024】

なお、図１１（ｃ）に示した第２の変形例の溝を含む領域に塗布した接着剤の外観検査を行う場合は、第１の溝５３と第２の溝５４とで照明光の照射方向を切り替える必要がある。具体的には、照明光が第１の溝５３の傾斜面で正反射されたときの反射光がカメラ１２側に向かうように入射角αを設定して外観検査を行う。次いで、照明光が第２の溝５３の傾斜面で正反射されたときの反射光がカメラ１２側に向かうように入射角αを設定して外観検査を行う。

【0025】

図１２は、図１１（ｃ）の矢印Ｃの断面における照明光と反射光の進行状態の一例を示す概略説明図である。第１の溝５３の傾斜面５３ａに対して、入射角αが正の値になるように設定する。照射光６０が傾斜面５３ａで正反射し、その正反射光６１がカメラ１２に入射する。この場合、傾斜面５３ａは、図７（ａ）に示したような領域４３および領域４４を含むことになり、傾斜面５３ａからの反射光を撮像した撮像画像は暗部を含む。
一方、第２の溝５４においては、照明光６０は、第２の溝５４の内面で反射し、拡散光６２と正反射光６３が生じる。拡散光６２はカメラ１２に入射す。撮像画像上では、第２の溝５４の領域は白色領域となり、暗部を得られない。撮像画像上で、第２の溝５４の暗部を得るためには、照明光が第２の溝５４の傾斜面で正反射されたときの反射光がカメラ１２側に向かうように入射角αを設定する必要がある。このため、照明光の切り替えが必要である。なお、第１の溝５３の暗部と第２の溝５４の暗部を正確に判別するために、第１の溝５３と第２の溝５４は互いに交わらないように形成することが望ましい。

【0026】

図１１（ｄ）に、接着剤の塗布領域５１に形成された第３の変形例の溝を示す。第３の変形例の溝は、第１の方向に延在する互いに平行な複数の第１の溝５５と、第１の方向と交差する第２の方向に延在する互いに平行な複数の第２の溝５６と、を有する。複数の第１の溝５５と複数の第２の溝５６とが網目状の溝を形成する。各第１の溝５５と各第２の溝５６とは互いに交わらない。
外観検査において、網目状の溝が接着剤７の線幅を規定する。網目状の溝の一部が露出した場合に、接着剤７の線幅が規定値より細いと判定する。また、網目状の溝の一部が第２の方向の幅全体に渡って露出した場合は、接着剤７の途切れが生じたと判定する。このように第３の変形例によれば、接着剤７の途切れや接着剤７の線幅の判定が可能となる。図１１（ｄ）の例では、接着剤７ａの線幅は規格値よりも細いため、網目状の溝の一部が露出している。この場合、撮像画像上で、網目状の溝の露出部（暗部）の面積を測定することで、線幅の不足量を検出することができる。線幅の不足量に基づいて、接着剤の追加塗布量の算出が可能である。線幅の不足部に接着剤を追加塗布することで、これまで不良品となっていた支持部材２を良品にすることができるので、歩留まりが向上する。

【0027】

なお、第２の変形例と同様、本第３の変形例の溝を含む領域に塗布した接着剤の外観検査を行う場合は、第１の溝５５と第２の溝５６とで照明光の照射方向を切り替える必要がある。具体的には、照明光が第１の溝５５の傾斜面で正反射されたときの反射光がカメラ１２側に向かうように入射角αを設定して外観検査を行う。次いで、照明光が第２の溝５６の傾斜面で正反射されたときの反射光がカメラ１２側に向かうように入射角αを設定して外観検査を行う。
また、第３の変形例によれば、網目状の構造を採用したことで、支持部材２の支持面２ａと接着剤７の接触面積が増加する。また、毛細管現象により、接着剤７が網目状の溝に沿って拡がる効果が得られる。その結果、接着剤７の途切れが発生しても、接着剤７が溝に沿って広がることで、自然と途切れ部が接着剤７で覆われるという副次的な効果を得られる。この副次的な効果により、これまで不良品となっていた支持部材２を良品にすることができるので、歩留まりがさらに向上する。

【符号の説明】

【0028】

１ 記録素子基板
２ 支持部材
２ａ 支持面
６ 液体供給口
３１ 溝

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】