特許 7566871 位置検出センサ及び位置検出センサの製法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-04

(45)【発行日】2024-10-15

(54)【発明の名称】位置検出センサ及び位置検出センサの製法

(51)【国際特許分類】

   G06F 3/041 20060101AFI20241007BHJP

   G06F 3/046 20060101ALI20241007BHJP

   H05K 1/16 20060101ALI20241007BHJP

【ＦＩ】

G06F3/041 420

G06F3/046 B

G06F3/041 660

H05K1/16 B

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2022505794

(86)(22)【出願日】2021-01-08

(86)【国際出願番号】 JP2021000434

(87)【国際公開番号】W WO2021181855

(87)【国際公開日】2021-09-16

【審査請求日】2024-01-05

(31)【優先権主張番号】P 2020042749

(32)【優先日】2020-03-12

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000139403

【氏名又は名称】株式会社ワコム

(74)【代理人】

【識別番号】100091546

【弁理士】

【氏名又は名称】佐藤 正美

(74)【代理人】

【識別番号】100206379

【弁理士】

【氏名又は名称】丸山 正

(72)【発明者】

【氏名】松本 義治

【審査官】仲野 一秀

(56)【参考文献】

【文献】特開平７－２５３８４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－２９５１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１８／０１３６７６２（ＵＳ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１６／１９４５４３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１６－１９４５８０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０６Ｆ ３／０４１

Ｇ０６Ｆ ３／０４６

Ｈ０５Ｋ １／１６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基材の一面に、導線が絶縁被覆された線材からなる複数の電極導体のそれぞれが所定の導体パターンとなるようにされたセンサパターン部が、接着材により被着されて構成される位置検出センサであって、
前記センサパターン部は、前記線材が所定回数巻回されて構成されるループコイルが、第１の方向に所定間隔で複数個配列されてなる第１のループコイル群と、前記第１の方向に直交する第２の方向に所定間隔で複数個配列されてなる第２のループコイル群とで構成され、
前記第１のループコイル群のループコイルと、前記第２のループコイル群のループコイルとは、１～複数個毎に、交互に重ねられて配設されて、前記接着材により前記基材に被着されている
ことを特徴とする位置検出センサ。

【請求項2】

前記第１のループコイル群及び前記第２のループコイル群のそれぞれの１個ずつのループコイルが交互に重ねられて配設されている
ことを特徴とする請求項１に記載の位置検出センサ。

【請求項3】

前記第１のループコイル群の隣り合う複数のループコイルずつと、前記第２のループコイル群の隣り合う複数のループコイルずつとが、交互に重ねられて配設されている
ことを特徴とする請求項１に記載の位置検出センサ。

【請求項4】

前記第１のループコイル群の複数のループコイルずつと、前記第２のループコイル群の複数のループコイルずつとが、交互に重ねられて配設されている場合に、前記複数のループコイルは、前記第１のループコイル群と前記第２のループコイル群とで同数である
ことを特徴とする請求項１に記載の位置検出センサ。

【請求項5】

前記第１のループコイル群の１～複数のループコイルずつと、前記第２のループコイル群の１～複数のループコイルずつとが、交互に重ねられて配設されている場合に、前記１～複数のループコイルは、前記第１のループコイル群と前記第２のループコイル群とで異なっている
ことを特徴とする請求項１に記載の位置検出センサ。

【請求項6】

前記第１のループコイル群のループコイル及び前記第２のループコイル群のループコイルは、それぞれ互いの重なりを許容された状態で配設されている
ことを特徴とする請求項１に記載の位置検出センサ。

【請求項7】

前記第１のループコイル群の前記複数のループコイルは、前記第１の方向の一端側から他端側に向かって、前記１～複数のループコイル毎に、順次に重ねられて配列されていると共に、
前記第２のループコイル群の前記複数のループコイルは、前記第２の方向の一端側から他端側に向かって、前記１～複数のループコイル毎に、順次に重ねられて配列されている
ことを特徴とする請求項６に記載の位置検出センサ。

【請求項8】

前記センサパターン部は、接着材を介して被着された保護シートにより覆われている
ことを特徴とする請求項１に記載の位置検出センサ。

【請求項9】

基材の一面に、導線が絶縁被覆された線材が所定回数巻回されて構成されるループコイルが、第１の方向に所定間隔で複数個配列されてなる第１のループコイル群と、前記第１の方向に直交する第２の方向に所定間隔で複数個配列されてなる第２のループコイル群とで構成されたセンサパターン部が、接着材により被着されて構成される位置検出センサの製法であって、
前記第１のループコイル群の内の１～複数個のループコイルを形成する第１の工程と、
前記第２のループコイル群の内の１～複数個のループコイルを形成する第２の工程と、
前記第１の工程と前記第２の工程とを交互に繰り返して、前記センサパターン部を形成する第３の工程と、
前記基材の前記一面側を、前記接着材を介して、前記第３の工程で形成された前記センサパターン部に対して押し付けて、前記基材に前記センサパターン部を被着させる第４の工程と、
を有する位置検出センサの製法。

【請求項10】

前記第１の工程及び前記第２の工程は、ガイドピンが配設されたピン取付板上において、前記線材を所定回数巻回して前記ループコイルを前記ガイドピンを用いて形成し、
前記第４の工程では、前記基材に前記センサパターン部を被着させた後に、前記センサパターン部が被着された前記基材を、前記ピン取付板から離間させるようにする
ことを特徴とする請求項９に記載の位置検出センサの製法。

【請求項11】

前記第４の工程の前または後に、保護シートを、前記センサパターン部の前記基材側とは反対側に接合する第５の工程を有する
ことを特徴とする請求項１０に記載の位置検出センサの製法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、電磁誘導方式の位置検出センサ及び当該位置検出センサの製法に関する。

【背景技術】

【0002】

電磁誘導方式の位置検出用センサは、絶縁材料からなる基板上に、ループコイルの複数個が、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に、所定間隔で配置されて構成される。この基板上へのループコイルの形成方法としては、従来から、ワイヤー布線方式と、エッチング方法とが知られている。

【0003】

そのうちのワイヤー布線方式においては、例えば特許文献１（ＷＯ２０１６／１９４５４３号公報）に記載されているように、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に並ぶ複数個の布線用ピンを直立させたピンテーブルを用い、布線用ピン間に絶縁被覆された導線からなる線材を順次引っ掛け、折り返すことで、Ｘ軸方向ループコイル及びＹ軸方向ループコイルのパターンを布線することにより、直交布線網として、複数のＸ軸方向ループコイルからなるＸ軸方向ループコイル群と、複数のＹ軸方向ループコイルからなるＹ軸方向ループコイル群とからなるセンサパターン部を形成する。Ｘ軸方向ループコイル及びＹ軸方向ループコイルは、Ｙ軸方向及びＸ軸方向を長辺とする矩形のループコイルとして形成される。

【0004】

この場合に、ピンテーブルを用いた直交布線網としてのセンサパターン部は、ピンテーブル上に例えば両面テープからなる接着材層を形成した後、従来は、Ｘ軸方向ループコイル群又はＹ軸方向ループコイル群の一方の群のループコイルの全てを布線した後、他方の群のループコイルの全てを布線するようにして形成している。そして、形成したセンサパターン部の上に接着材（例えば両面テープ）を介して絶縁材料からなる基板を被着させて、ピンテーブルから抜き取り、その後、センサパターン部の上に保護シートを接着材を介して被着して位置検出センサを生成する。

【0005】

このワイヤー布線方式は、
・製造コストが安価であるため、大型の位置検出用センサに好適である、
・センサ形状の自由度が高い、
・絶縁被覆された導線からなる線材を用いているために、線材を跨いで当該線材を引き回すことが可能であるので、ループコイルの重なりを許容した狭ピッチのセンサパターン部を形成できる、
・ループコイルの一端と他端と接続するリード線（以下、給電線という）を基板の周辺に配置する場合に、線材を跨いで当該線材を引き回すことが可能であることと、線材の間に絶縁のための空間を設ける必要がないために無効エリアを少なくすることができる、
などの長所がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】ＷＯ２０１６／１９４５４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、従来のワイヤー布線方式では、形成された位置検出センサにおいて、センサパターン部を構成するＸ軸方向ループコイル群又はＹ軸方向ループコイル群の内の、布線の順番が後の方のループコイル群に、配線の歪みが集中して発生し、このため、位置検出センサにおける位置検出精度が悪化してしまっているという問題が生じることが判明した。そして、この位置検出精度の悪化は、高精度で位置検出を行えるようにするために、ループコイルを狭ピッチで高密度で配設する場合に、より顕著に生じることが判明した。

【0008】

以下に、この問題が生じる理由について、考察する。

【0009】

ループコイルは、ピンテーブル上で、線材がテンションをかけられた状態で、布線用ピンに引っ掛けられ、折り曲げられて、矩形のループコイルとして形成される。この場合に、Ｙ軸方向ループコイル及びＸ軸方向ループコイルの例えば矩形のそれぞれの長辺は、位置検出センサの矩形のセンサ領域（位置検出領域）のＸ軸方向の一端から他端及びＹ軸方向の一端から他端、のそれぞれに亘る比較的長い長さととなる。

【0010】

ここで、例えばＸ軸方向ループコイル群の全てのループコイルを布線した後、Ｙ軸方向ループコイルの全てのループコイルを布線するようにした場合、初めに布線するＸ軸方向ループコイルは、その一部が他のＸ軸方向ループコイルと重なるとしても、少なくともその長辺部分の大部分は、ピンテーブル上の接着材上に直接的に被着されるので、センサ領域の中央部も含めて、接着材によりしっかりと固定される。

【0011】

一方、後から布線するＹ軸方向ループコイルは、既に形成されているＸ軸方向ループコイル群上に配置されるため、その長辺部分は、既にセンサ領域上に存在しているＸ軸方向ループコイル群の複数本の線材と交差して重なる状態となり、接着材により固定されない部分が、位置検出センサの矩形のセンサ領域の中央部において多数存在することになる。このため、後から布線するＹ軸方向ループコイルの長辺部分の接着材による接着の固定強度が弱くなってしまう。

【0012】

Ｙ軸方向ループコイルにおいて、Ｘ軸方向ループコイル群の複数本の線材と交差して重なる状態となって、接着材により固定されない部分は、ループコイルを狭ピッチで高密度で配設される位置検出精度が高精度の位置検出センサの場合ほど、多くなる。よって、位置検出センサが高精度になるほど、後から布線するＹ軸方向ループコイルの長辺部分の接着材による接着の固定強度が弱くなってしまう。

【0013】

そして、センサ領域の中央部に位置する、このＹ軸方向ループコイルの長辺部分は、布線用ピンの間の部分であり、線材が布線用ピンに引っ掛けられ、テンションをかけられた状態とされたとしても、固定強度が弱い場合には、容易に位置ずれを起こす部分である。

【0014】

そのため、Ｘ軸方向ループコイル群が形成され、その上にＹ軸方向ループコイル群が形成されて生成されたセンサパターン部のＹ軸方向ループコイル上に接着材を介して基材を被着した場合に、接着の固定強度の弱いＹ軸方向ループコイルの長辺部分の位置が、本来の配線位置からずれてしまう配線の歪みが生じる。このため、位置検出センサにおける位置検出精度が悪化してしまう。

【0015】

そして、上述の説明から明らかなように、センサパターン部の配線の歪みは、位置検出センサが高精度になればなるほど大きくなってしまい、高精度の位置検出センサを得るこことができない恐れがあった。

【0016】

この発明は、以上の問題点を解決することができるようにした位置検出センサを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0017】

上記の課題を解決するために、
基材の一面に、導線が絶縁被覆された線材からなる複数の電極導体のそれぞれが所定の導体パターンとなるようにされたセンサパターン部が、接着材により被着されて構成される位置検出センサであって、
前記センサパターン部は、前記線材が所定回数巻回されて構成されるループコイルが、第１の方向に所定間隔で複数個配列されてなる第１のループコイル群と、前記第１の方向に直交する第２の方向に所定間隔で複数個配列されてなる第２のループコイル群とで構成され、
前記第１のループコイル群のループコイルと、前記第２のループコイル群のループコイルとは、１～複数個毎に、交互に重ねられて配設されて、前記接着材により前記基材に被着されている
ことを特徴とする位置検出センサを提供する。

【0018】

上述の構成の位置検出センサにおいては、第１のループコイル群のループコイルと、第２のループコイル群のループコイルとは、１～複数個毎に、交互に重ねられて配設されて、接着材により基材に被着されている。

【0019】

したがって、第１のループコイル群のループコイルと、第２のループコイル群のループコイルとは、安定して均一に接着材に接着されながら、配設されることになる。これにより、上述の構成の位置検出センサによれば、第１のループコイル群又は第２のループコイル群の一方に配線の歪みが集中することを回避できるだけでなく、第１のループコイル群及び第２のループコイル群を、安定して歪みの少ない状態で形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】この発明による位置検出センサの実施形態の構成例を説明するための図である。

【図2】この発明による位置検出センサの実施形態の要部の構成例を説明するための図である。

【図3】この発明による位置検出センサに接続される位置検出回路の構成例を説明するための図である。

【図4】この発明による位置検出センサの実施形態を製造する製造装置の一例を説明するための図である。

【図5】この発明による位置検出センサの製法の実施形態を説明するために用いる図である。

【図6】この発明による位置検出センサの製法の実施形態の流れを説明するためのフローチャートを示す図である。

【図7】この発明による位置検出センサの製法の実施形態を説明するために用いる図である。

【図8】この発明による位置検出センサの製法の第１の実施形態を説明するために用いる図である。

【図9】この発明による位置検出センサの実施形態の要部の他の構成例を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、この発明による位置検出センサの実施形態及びその製法の実施形態を、図を参照しながら説明する。

【0022】

［位置検出センサの実施形態］
図１は、この実施形態の位置検出センサ１の構成を説明するための図であり、図１（Ａ）は、位置検出センサ１のセンサパターン部が形成されている面を、当該面に直交する方向から見た図であり、図１（Ｂ）は、位置検出センサ１の断面の構成の概念図である。

【0023】

この実施形態の位置検出センサ１においては、図１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、絶縁性材料、例えばＰＥＴ（Polyethylene Terephthalate）からなる矩形のシート状あるいはフィルム状の基材（基板）１１の一面１１ａ上に、接着材１２Ｓにより複数個の電極導体としての複数個のループコイルからなるセンサパターン部１３が被着されて配設されている。そして、絶縁性材料、例えばＰＥＴからなる矩形の保護シート１４が、センサパターン部１３の全体を覆うように、接着材１２Ｐにより被着されて配設されている。

【0024】

そして、基材１１の一面１１ａとは反対側の面の全体を覆うように、電磁シールド層の例としてのメタルシート１５が、接着材１２Ｍにより被着される。メタルシート１５は、この例では、アルミニウムとアモルファスシートとで構成される。メタルシート１５のアモルファスシートは、センサパターン部１３から放射される電磁波の、基材１１の一面１１ａとは反対側の外部への放出を防ぐと共に、アルミニウムシートは、基材１１の一面１１ａとは反対側の外部からのノイズのセンサパターン部１３への混入を防止する役割をする。なお、メタルシート１５は、基材１１の一面１１ａとは反対側の面の全体を覆うようにするのではなく、基材１１の一面１１ａとは反対側の面のうちの、センサパターン部１３の領域の裏側の領域のみを覆うように被着してもよい。

【0025】

また、基材１１の一面１１ａ上には、図１（Ｂ）に示すように、センサパターン部１３が配設されている領域とは重ならない端縁部の領域において、接着材１２Ｔを介して端子部１６が被着されている。この端子部１６は、絶縁性材料、例えばＰＥＴで構成されたシート状あるいはフィルム状基板の上に、センサパターン部１３の複数個の電極導体のそれぞれとの電気的な接続用の端子導体１７が、例えば銅箔パターンが印刷などにより形成された構成とされている。この実施形態では、端子部１６の上部は、保護シート１４には覆われていない。

【0026】

センサパターン部１３は、図１（Ａ）に示すように、複数個の電極導体の例としての複数個のループコイルからなるが、この例では、複数個のループコイルは、複数個のＸ軸方向ループコイル１３Ｘと、複数個のＹ軸方向ループコイル１３Ｙとで構成されている。

【0027】

Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘは、基材１１の縦方向（例えば位置座標のＹ軸方向）を長辺方向とした矩形のループコイルで構成され、このＸ軸方向ループコイル１３Ｘの複数個が、基材１１の横方向（例えば位置座標のＸ軸方向）に、所定間隔で並べられて配設されている。また、Ｙ軸方向ループコイル１３Ｙは、基材１１の横方向（位置座標のＸ軸方向）を長辺方向とした矩形のループコイルで構成され、このＹ軸方向ループコイル１３Ｙが、基材１１の縦方向（位置座標のＹ軸方向）に、所定間隔で並べられて配設されている。

【0028】

センサパターン部１３を構成する複数個のＸ軸方向ループコイル１３Ｘ及び複数個のＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれは、この実施形態では、絶縁被覆された導線からなる線材１８によって、互いの重なりを許容して、基材１１の一面１１ａ上に配設されている。この場合に、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれは、図１（Ａ）に示すように、この実施形態では、基材１１の一面１１ａ上の予め定められた位置に、予め定められたパターン、この例では、矩形のループコイルパターンとなるようにして配設されている。

【0029】

この場合に、この実施形態では、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘは、この例では、矩形の基材１１の図１における左方端縁側から右方端縁側に向かって、Ｘ軸方向に順次に、互いの重なりを許容しながら配設されている。また、Ｙ軸方向ループコイル１３Ｙは、この例では、矩形の基材１１の図１における上方端縁側から下方端縁側に向かって、Ｙ軸方向に順次に、互いの重なりを許容しながら配設されている。Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘのそれぞれ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれは、重ならずに配設するようにしても勿論良い。

【0030】

この場合に、センサパターン部１３の形成に際し、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘと、Ｙ軸方向ループコイル１３Ｙのいずれから形成を始めてもよいが、以下の例では、先にＸ軸方向ループコイル１３Ｘを形成するようにする場合として説明する。

【0031】

この実施形態では、図２（Ａ）に示すように、１個のＸ軸方向ループコイル１３Ｘが形成された後には、図２（Ｂ）に示すように、１個のＹ軸方向ループコイル１３Ｙが形成され、その次には、図２（Ｃ）に示すように、次の１個のＸ軸方向ループコイル１３Ｘが形成され、さらにその次には、図２（Ｄ）に示すように、１個のＹ軸方向ループコイル１３Ｙが形成され、・・・というように、Ｘ軸方向ループコイル１３ＸとＹ軸方向ループコイル１３Ｙとが、１個毎に交互に形成されるようにして、配設されている。

【0032】

このとき、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれの両端部１３ＸＥ及び１３ＹＥは、基材１１の一面１１ａ上の予め定められた位置となるようにされるが、当該両端部１３ＸＥ及び１３ＹＥのそれぞれは、図１に示すように、保護シート１４からはみ出して、端子部１６の、両端部１３ＸＥ及び１３ＹＥが接続されるべきものとして予め定められた、対応する端子導体１７上に丁度位置する状態となるように位置合わせされている。Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれの両端部１３ＸＥ及び１３ＹＥは、絶縁被覆が剥離されて導線が露出されている状態とされており、当該露出されている導線が、図１（Ａ）に示すように、端子部１６の端子導体１７上に位置するようにされている。

【0033】

そして、図示は省略するが、端子部１６の端子導体１７のそれぞれと、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれの両端部１３ＸＥ及び１３ＹＥとが、例えば半田付けされて電気的に接続されている。例えば、端子部１６の端子導体１７のそれぞれには予め半田が盛られており、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれの両端部１３ＸＥ及び１３ＹＥが位置している端子部１６の端子導体１７のそれぞれの半田部分を加熱することで、端子部１６の端子導体１７のそれぞれと、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙの両端部１３ＸＥ及び１３ＹＥとが半田付けされる。

【0034】

以上のように、この実施形態の位置検出センサ１は、線材１８を用いて、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙからなるセンサパターン部１３を形成し、このセンサパターン部１３を基材１１に対して接着材１２Ｓにより固着する。そして、センサパターン部１３の基材１１とは反対側は、接着材１２Ｐにより保護シート１４を固着する。したがって、低コストで位置検出センサ１を製造することが可能となる。

【0035】

上述の実施形態の位置検出センサ１においては、基材１１の一面１１ａ上に、予め端子導体１７が形成されている端子部１６が形成されている。そして、基材１１の端子部１６とは重複しない領域に配設されたＸ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙの両端部１３ＸＥ及び１３ＹＥの被覆が剥離されて導線部分が露出され、その露出されている両端部１３ＸＥ及び１３ＹＥの導線部分が、端子部１６の端子導体１７の対応するものと接続可能となるように位置合わせされて配設されている。

【0036】

したがって、端子部１６の端子導体１７と、センサパターン部１３のＸ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれの露出している導線からなる両端部１３ＸＥ及び１３ＹＥを、半田付けにより、端子部１６の対応する端子導体１７のそれぞれに容易に電気的に接続することができる。

【0037】

以上のようにして、上述の実施形態の位置検出センサ１は、絶縁被覆された導線からなる線材１８を用いて電極導体としてのループコイルが構成されていて、安価で簡単な構成の位置検出センサを提供することができると共に、位置検出センサ１と外部回路との接続は、端子部１６を用いることで、非常に容易になる。

【0038】

そして、センサパターン部１３においては、Ｘ軸方向ループコイル１３ＸとＹ軸方向ループコイル１３Ｙとが、１個毎に交互に形成されるようにして、配設されているので、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘと、Ｙ軸方向ループコイル１３Ｙとは、安定して均一に接着材に接着されながら、配設されることになる。これにより、位置検出センサ１においては、Ｘ軸方向ループコイル群又はＹ軸方向ループコイル群の一方に配線の歪みが集中することを回避して、Ｘ軸方向ループコイル群及びＹ軸方向ループコイル群を、安定して歪みの少ない状態で形成することができる。

【0039】

［実施形態の位置検出センサを用いた位置検出回路について］
次に、上述の実施形態の位置検出センサ１を用いて、ペン型の位置指示器により指示された位置を検出する電磁誘導方式の位置検出回路２００の構成例を、図３を用いて説明する。なお、この実施形態の位置検出センサ１と共に使用する、ペン型の位置指示器３は、図３に示すように、コイル３１と、このコイル３１に並列に接続されるコンデンサ３２とから構成される共振回路を内蔵している。

【0040】

この場合、図３の例においては、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘは、Ｘ軸方向に配列されたｎ（ｎは２以上の整数）本の矩形のループコイル１３Ｘ₁～１３Ｘ_nからなっており，また、Ｙ軸方向のループコイル１３Ｙは、Ｙ軸方向に配列されたｍ（ｍは２以上の整数）本のループコイル１３Ｙ₁～１３Ｙ_mからなっている。この位置検出センサ１においては、複数個のＸ軸方向ループコイル１３Ｘと、複数個のＹ軸方向のループコイル１３Ｙとにより、位置検出エリアが構成される。

【0041】

位置検出センサ１は、端子部１６を介して、位置検出回路２００に接続される。図３の例においては、位置検出回路２００は、選択回路２０１と、発振器２０２と、電流ドライバ２０３と、送受信切替回路２０４と、受信アンプ２０５と、指示位置検出回路２０６と、処理制御部２０７とを備えて構成されている。

【0042】

選択回路２０１は、複数のＸ軸方向ループコイル１３Ｘ及び複数のＹ軸方向のループコイル１３Ｙのうちの一のループコイルを順次選択して、当該選択されたループコイルにより、位置指示器３に対して信号を送信させると共に、位置指示器３から帰還される信号を受信させる。

【0043】

選択回路２０１に対しては、処理制御部２０７により切替制御される送受信切替回路２０４が接続される。この送受信切替回路２０４が送信側端子Ｔに接続されるときには、発振器２０２から交流信号が選択回路２０１に供給され、受信側端子Ｒに接続されるときには、選択回路２０１からの信号が、受信アンプ２０５を通じて指示位置検出回路２０６に供給される。

【0044】

指示位置検出回路２０６は、位置検出センサ１のループコイルに発生した誘導電圧、すなわち受信信号を検波し、その検波出力信号をディジタル信号に変換し、処理制御部２０７に出力する。処理制御部２０７は、指示位置検出回路２０６からのデジタル信号、すなわち、各ループコイルに発生した誘導電圧の電圧値のレベルに基づいて位置指示器３のＸ軸方向及びＹ軸方向の指示位置の座標値を算出する。

【0045】

［実施形態の位置検出センサ１の製法の実施形態］
次に、図１に示した構成の位置検出センサ１の製法の実施形態について説明する。

【0046】

＜位置検出センサの製法の実施形態＞
図４及び図５は、位置検出センサ１の製法の実施形態を説明するための図である。図４は、この実施形態の製法を実行する位置検出センサの製造装置の構成例を示す図である。この例の位置検出センサの製造装置は、配線供給ユニット１００と、前処理ユニット１１０と、配線ユニット１２０とからなる。

【0047】

配線ユニット１２０は、位置検出センサ１を形成するための作業台１２１と、当該作業台１２１上に設けられる２軸移動配線装置１２２とからなる。２軸移動配線装置１２２は、位置検出センサ１のＸ軸方向（図４の矢印Ａｘの方向参照）に摺動移動する移動橋１２２１と、位置検出センサ１のＹ軸方向（図４の矢印方向Ａｙの方向参照）に摺動移動する配線ノズル機構１２２２とを備える。

【0048】

移動橋１２２１は、２本の脚部１２２１ａ及び１２２１ｂと、この２本の２本の脚部１２２１ａ及び１２２１ｂの間を、位置検出センサ１をそのＹ軸方向に沿う方向に跨いで橋絡する橋絡部１２２１ｃとを備える。移動橋１２２１の２本の脚部１２２１ａ及び１２２１ｂは、作業台１２１において、Ｘ軸方向に設けられている２本のレール１２１ａ及び１２１ｂのそれぞれの上に載置されており、移動橋１２２１は、橋絡部１２２１ｃがＹ軸方向に平行な状態を維持した状態で、この２本のレール１２１ａ及び１２１ｂに案内されてＸ軸方向に摺動移動する。

【0049】

配線ノズル機構１２２２は、移動橋１２２１の橋絡部１２２１ｃに対して、その橋絡方向（位置検出センサ１のＹ軸方向（図４の矢印方向Ａｙの方向参照））に移動可能に取り付けられている。配線ノズル機構１２２２の、作業台１２１の面との対向部には、配線ノズル１２２２ａが取り付けられている。配線ノズル１２２２ａは、前処理ユニット１１０によって前処理がなされた被覆導線を、その射出口から外部に繰り出す。

【0050】

以上の構成により、配線ノズル１２２２ａは、２軸移動配線装置１２２における移動橋１２２１のＸ軸方向の摺動移動と、配線ノズル機構１２２２のＹ軸方向の摺動移動とにより、作業台１２１の２次元平面上において、任意の方向に移動することが可能となる。

【0051】

２軸移動配線装置１２２は、図４では図示を省略した移動制御部を備え、この移動制御部により、移動橋１２２１のＸ軸方向の摺動移動と、配線ノズル機構１２２２のＹ軸方向の摺動移動とが制御されるように構成されている。そして、この実施形態では、移動制御部は、複数個のＸ軸方向ループコイル１３Ｘのそれぞれと、複数個のＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれとを配設するように配線ノズル１２２２ａを移動させる移動軌跡の情報を予め記憶している。

【0052】

２軸移動配線装置１２２の移動制御部は、その記憶している情報に基づいて、移動橋１２２１のＸ軸方向の摺動移動と、配線ノズル機構１２２２のＹ軸方向の摺動移動とを制御して、配線ノズル１２２２ａを、複数個のＸ軸方向ループコイル１３Ｘのそれぞれと、複数個のＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれとを配設するように移動制御する。

【0053】

配線ユニット１２０の作業台１２１には、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙを、線材１８によりループコイルパターンとして形成するようにガイドするためのガイドピンが配設されているピンテーブル１２３が設けられている。

【0054】

図５は、このピンテーブル１２３の構成例を説明するための図である。図５の上方に示すように、ピンテーブル１２３は、ガイドピン取付板１２３１と、中間板１２３２と、剥離シート１２３３とからなる。そして、ピンテーブル１２３は、これらガイドピン取付板１２３１と、中間板１２３２と、剥離シート１２３３とが図５の下方に示すように、結合されて構成される。なお、図５の下方のピンテーブル１２３の図は、図５の上方の図において、点線で囲んで示す領域の対応する領域の拡大図である。

【0055】

ガイドピン取付板１２３１には、配線ノズル１２２２ａから排出される線材１８によって、複数個のＸ軸方向ループコイル１３Ｘのそれぞれ及び複数個のＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれを形成するように案内するための多数個のガイドピン１２４が取り付けられている。図５においては、ガイドピン１２４は、説明のために、ガイドピン取付板１２３１の端部にのみ取り付けられているように示されているが、実際上は、少なくとも、複数個のＸ軸方向ループコイル１３Ｘのそれぞれ及び複数個のＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれを屈曲させるポイント位置のそれぞれに設けられている。

【0056】

中間板１２３２は、ガイドピン取付板１２３１と、剥離シート１２３３との間に設けられるもので、図５に示すように、ガイドピン取付板１２３１に設けられているガイドピン１２４のそれぞれと対応する位置には、透孔１２５が形成されている。

【0057】

剥離シート１２３３は、この例では両面テープで構成され、ガイドピン取付板１２３１と被着された中間板１２３２の上に設けられた後、露出している中間板１２３２側とは反対側の剥離紙が除去されることで構成されている。したがって、剥離シート１２３３の露出している中間板１２３２側とは反対側は、接着材（図１における接着材１２Ｐとなる）が露出している。このとき、ガイドピン１２４は剥離シート１２３３を突き刺すようになり、かつ、ガイドピン１２４の先端が剥離シート１２３３上に突出している状態となる。なお、ガイドピン１２４の先端は、この例では、針状に尖らせておくものである。

【0058】

以上のようにして、ガイドピン取付板１２３１と、中間板１２３２と、剥離シート１２３３とが、図５の下方に示すように結合されて、多数個のガイドピン１２４が所定の位置に植立されているピンテーブル１２３が構成される。

【0059】

そして、このピンテーブル１２３の剥離シート１２３３の露出している接着材１２Ｐ上に、配線ノズル機構１２２２の配線ノズル１２２２ａから繰り出される被覆導線によって、複数個のＸ軸方向ループコイル１３Ｘ及び複数個のＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれが、所定のループコイルパターンとして形成されて、センサパターン部１３が形成される。なお、剥離シート１２３３の中間板１２３２側には剥離紙が貼りつけられたままとなっているので、形成されたセンサパターン部１３を、ピンテーブル１２３から容易に引き剥がすことができる。

【0060】

以上のような構成を備える位置検出センサの製造装置を用いて、位置検出センサ１が、以下に説明するような手順で製造される。なお、図４の位置検出センサの製造装置は、図示を省略したシーケンス制御部により、配線供給ユニット１００、前処理ユニット１１０、配線ユニット１２０のそれぞれの動作をシーケンス制御することで、位置検出センサ１の製造を実行する。

【0061】

図６は、この実施形態の位置検出センサ１の製法の第１の実施形態の工程の流れを説明するためのフローチャートであり、この図６を参照しながら、この実施形態の位置検出センサの製法を説明する。なお、以下の各ステップの処理は、位置検出センサの製造装置のシーケンス制御部の制御により実行される。

【0062】

先ず、シーケンス制御部は、配線供給ユニット１００、前処理ユニット１１０、配線ユニット１２０のそれぞれにＸ軸方向ループコイル１３Ｘの生成指示をして、配線供給ユニット１００から、線材１８を前処理ユニット１１０に繰り出させる（ステップＳ１０１）。線材１８の供給を受けた前処理ユニット１１０では、配線供給ユニット１００からの線材１８を、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘに合わせた長さに切断すると共に、その線材１８の両端部の被覆を剥離して導線を露出させる前処理を行い、その前処理を行った線材１８を、配線ユニット１２０の配線ノズル機構１２２２に送る（ステップＳ１０２）。

【0063】

配線ユニット１２０は、２軸移動配線装置１２２の移動制御部により、配線ノズル機構１２２２の配線ノズル１２２２ａを移動制御することにより、ピンテーブル１２３上で、線材１８をガイドピンに引っ掛けながら、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘを形成するようにする（ステップＳ１０３。図２（Ａ）参照）。この場合に、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘの、線材１８の導線を露出させた両端部１３ＸＥは、図７に示すように、ピンテーブル１２３から、Ｘ軸方向に突出するようにされている。そして、この両端部１３ＸＥの位置は、ガイドピン１２４に案内されて線材１８が配設されることで、前述の図１の説明で示したように、端子部１６の対応する端子導体１７の上に位置するように、位置合わせされた状態とされる。

【0064】

この１個のＸ軸方向ループコイル１３Ｘの形成が終了したら、シーケンス制御部は、配線供給ユニット１００、前処理ユニット１１０、配線ユニット１２０のそれぞれにＹ軸方向ループコイル１３Ｙの生成指示をして、配線供給ユニット１００から、線材１８を前処理ユニット１１０に繰り出させる（ステップＳ１０４）。線材１８の供給を受けた前処理ユニット１１０では、配線供給ユニット１００からの線材１８を、Ｙ軸方向ループコイル１３Ｙに合わせた長さに切断すると共に、その線材１８の両端部の被覆を剥離して導線を露出させる前処理を行い、その前処理を行った線材１８を、配線ユニット１２０の配線ノズル機構１２２２に送る（ステップＳ１０５）。

【0065】

配線ユニット１２０は、２軸移動配線装置１２２の移動制御部により、配線ノズル機構１２２２の配線ノズル１２２２ａを移動制御することにより、ピンテーブル１２３上で、線材１８をガイドピンに引っ掛けながら、Ｙ軸方向ループコイル１３Ｙを形成するようにする（ステップＳ１０６。図２（Ｂ）参照）。この場合に、Ｙ軸方向ループコイル１３Ｙの、線材１８の導線を露出させた両端部１３ＹＥは、図７に示すように、ピンテーブル１２３から、Ｙ軸方向に突出するようにされている。そして、この両端部１３ＹＥの位置は、ガイドピン１２４に案内されて線材１８が配設されることで、前述の図１の説明で示したように、端子部１６の対応する端子導体１７の上に位置するように、位置合わせされた状態とされる。

【0066】

１個ずつのＸ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙの形成が終了したら、シーケンス制御部は、ピンテーブル１２３上において、全てのＸ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙの形成を終了して、センサパターン部１３が完成したか否か判別する（ステップＳ１０７）。

【0067】

このステップＳ１０７で、センサパターン部１３が完成してはいないと判別したときには、シーケンス制御部は、処理をステップＳ１０１に戻し、図２（Ｃ），（Ｄ）に示したように、次の位置の１個のＸ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれについて、ステップＳ１０１～ステップＳ１０６と同様の処理を繰り返し行うように制御する。この例においては、次の位置のＸ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙは、その前に形成したＸ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙに隣り合うものとなる。

【0068】

ステップＳ１０７で、センサパターン部１３が完成したと判別したときには、図７に示すように、ピンテーブル１２３上のセンサパターン部１３の上に、例えば両面テープの剥離紙をはがしたものからなる接着材１２Ｓを介して、基材１１を位置合わせして押し付け、ピンテーブル１２３上のセンサパターン部１３を基材１１に接着材１２Ｓにより被着させるようにする（ステップＳ１０８）。

【0069】

この場合、図７に示すように、基材１１のピンテーブル１２３と対向する面１１ａには、複数個の端子導体１７（図７では省略。図１参照）が形成されている端子部１６が、予め被着されて形成されている。この実施形態では、図１に示したように、基材１１は、この端子部１６が形成されている領域と、センサパターン部１３の領域１１ｓ（図７で点線で示す領域参照）を備えている。

【0070】

この実施形態では、接着材１２Ｓを構成する両面テープは、このセンサパターン部１３の領域１１ｓの大きさに対応した大きさとされ、この例では、端子部１６が形成されている領域の上には、接着材１２Ｓが存在しないように位置決めされる。そして、基材１１が、そのセンサパターン部１３の領域１１ｓに、ピンテーブル１２３のセンサパターン部１３が対応するように位置決めされて、ピンテーブル１２３の上に、接着材１２Ｓを介して押し付けられる。

【0071】

接着材１２Ｓとしての両面テープ及び基材１１の位置決めは、ピンテーブル１２３上に突出しているガイドピン１２４の所定のもの（例えば領域１１ｓの４隅位置に対応するもの）により行われる。なお、接着材１２Ｓは、予め、基材１１の領域１１ｓに被着しておくようにしてもよい。

【0072】

一方、ピンテーブル１２３上のセンサパターン部１３は、図７に示すように、複数個のＸ軸方向ループコイル１３Ｘまたは複数個のＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれの、導線が露出された両端部１３ＸＥ及び１３ＹＥが、端子部１６の対応する端子導体１７のそれぞれと接続されるように、センサパターン部１３の領域１１ｓから端子部１６の方向に突出する状態となっている。

【0073】

以上のようにして、基材１１の一面１１ａ側を、位置合わせさせた状態でピンテーブル１２３に対して押し付けると、ガイドピン１２４は、基材１１を貫通して突き刺さる状態となるが、センサパターン部１３が、基材１１の領域１１ｓに接着材１２Ｓにより被着される状態となる。そして、図８に示すように、複数個のＸ軸方向ループコイル１３Ｘまたは複数個のＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれの両端部１３ＸＥ及び１３ＹＥは、端子部１６の対応する端子導体１７の上に位置する状態とされる。

【0074】

こうして、基材１１の一面１１ａに、センサパターン部１３を接着材１２Ｓにより被着したら、ステップＳ１０８では、基材１１を、ピンテーブル１２３から引きはがすようにする。この場合に、図示は省略するロボットハンドなどを用いた持ち上げ機構により、中間板１２３２及び剥離シート１２３３の部分と共に基材１１が、ピン取付板１２３１から離間されて持ち上げられて、ガイドピン１２４から外される。なお、中間板１２３２及び剥離シート１２３３の部分と共に基材１１を持ち上げるのではなく、図示は省略するロボットハンドなどで、中間板１２３２及び剥離シート１２３３の部分と共に基材１１を保持した状態において、ピン取付板１２３１を、下方にガイドピンの高さ以上、下降させることで、基材１１をガイドピン１２４から外すようにしてもよい。

【0075】

以上のようにして、ピンテーブル１２３から取り外された基材１１の一面１１ａには、センサパターン部１３が被着されていると共に、前述したように、複数個のＸ軸方向ループコイル１３Ｘまたは複数個のＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれの線材１８の被覆が剥離されて導線が露出された両端部１３ＸＥ及び１３ＹＥは、端子部１６の対応する端子導体１７の上に位置する状態となっている。

【0076】

この実施形態では、図８に示すように、基材１１の一面１１ａ上の端子部１６の各端子導体１７上には、予め半田１９が盛られており、当該端子部１６の各端子導体１７の半田１９の部分を加熱することで、当該半田１９を溶融させ、線材１８の被覆が剥離されて導線が露出された両端部１３ＸＥ及び１３ＹＥを、端子部１６の対応する端子導体１７に対して半田付けして、電気的に接続する（ステップＳ１０９）。

【0077】

その後、ガイドピン１２４から外された、剥離シート１２３３付きの基材１１の一面１１ａに被着されているセンサパターン部１３の上に接着されている剥離シート１２３３から剥離紙が剥離されて、接着材１２Ｐが露出される。そして、この接着材１２Ｐにより、基材１１の一面１１ａのセンサパターン部１３の上に保護シート１４（図１参照）を被着して覆うようにする（ステップＳ１１０）。

【0078】

次に、この実施形態では、基材１１の一面１１ａとは反対側の面に、電磁シールド層を構成するメタルシート１５を、例えば両面テープからなる接着材１２Ｍにより被着する（ステップＳ１１１）。

【0079】

以上で、位置検出センサ１を製造することができる。なお、以上の工程で位置検出センサ１を作成した場合に、製造上、余分な領域を有する大きさとなっているときには、最後に、その不必要な部分を切断することで、外形を所定のものとするようにする。

【0080】

なお、前処理ユニット１１０においては、線材１８の被覆を剥離して導線を露出させる処理のみを行い、Ｘ軸方向ループコイル１３ＸまたはＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれに合わせた長さに合わせて切断する処理は、配線ユニット１２０の配線ノズル機構１２２２において行うようにしてもよい。

【0081】

以上のようにして、この実施形態の位置検出センサの製法によれば、絶縁被覆された導線からなる線材１８を用いてセンサパターン部１３を簡単に基材の一面１１ａ上に配設すると共に、端子部１６の端子導体１７と、センサパターン部１３の各ループコイルとの電気的接続も簡単にできる位置検出センサ１を製造することができる。そして、この実施形態の製法を用いることにより、位置検出センサ１の量産化も可能となる。

【0082】

そして、センサパターン部１３のＸ軸方向ループコイル１３ＸとＹ軸方向ループコイル１３Ｙとは、ピンテーブル上において、１個毎に交互に形成されて、剥離シート１２３３の接着材１２Ｐに対して接着されるので、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘと、Ｙ軸方向ループコイル１３Ｙとは、安定して均一に接着材１２Ｐにより固着される。したがって、このセンサパターン部１３の上に、接着材１２Ｓにより基材１１を被着したときにも、Ｘ軸方向ループコイル１３ＸとＹ軸方向ループコイル１３Ｙとの均一な固着状態を維持する。

【0083】

これにより、この実施形態の位置検出センサ１においては、Ｘ軸方向ループコイル群又はＹ軸方向ループコイル群の一方に配線の歪みが集中することを回避して、Ｘ軸方向ループコイル群及びＹ軸方向ループコイル群を、基材１１において、安定して配線歪みの少ない状態で形成することができる。

【0084】

そして、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙのそれぞれを狭ピッチで生成したとしても、Ｘ軸方向ループコイル群及びＹ軸方向ループコイル群を、安定して配線歪みの少ない状態で形成することができるので、位置検出センサの高精度化を容易に実現することができる。

【0085】

＜位置検出センサの製法の他の実施形態＞
上述の実施形態の位置検出センサの製法では、ガイドピン１２４が形成されたピンテーブル１２３を用いるようにしたが、ピンテーブル１２３を使用せずに、位置検出センサ１を形成することもできる。

【0086】

この位置検出センサの製法の他の実施形態では、基材１１の一面１１ａ上に接着材１２Ｓの層を設け、その接着材１２Ｓの層に上に、端子部１６と、センサパターン部１３とを、配線ノズル機構により配設するようにする。その場合の配線ユニットの配線ノズル機構は、ガイドピンに引っ掛けるようにしてループコイルパターンを形成するのではなく、線材１８を、基材１１の一面１１ａの接着材１２Ｓ側に押し付けて被着させながら、配線ノズルを移動させることにより、ループコイルパターンを形成するようにする。そのための構成は、周知のものを使用することができるので、ここでは、その構成例は省略する。その他は、位置検出センサの製法の上述の実施形態と同様である。

【0087】

なお、上述の位置検出センサの製法の他の実施形態では、基材１１の上に接着材１２Ｓの層を塗布した後、被覆導線をその接着材の層に被着するように説明したが、接着材１２Ｓの層を塗布する代わりに、線材１８の被覆導線として例えば熱により溶融する接着材付きのものを用いて、被覆導線の接着材を熱により溶融させながら基材１１上に被着するようにしてもよい。

【0088】

［上述の実施形態の位置検出センサの変形例］
上述の実施形態の位置検出センサ１においては、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙは、１個毎に交互に形成するようにしたが、複数個毎に交互に形成するように構成してもよい。この場合にも、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘは、矩形の基材１１の図１における左方端縁側から右方端縁側に向かって、Ｘ軸方向に順次に、互いの重なりを許容しながら配設し、また、Ｙ軸方向ループコイル１３Ｙは、矩形の基材１１の図１における上方端縁側から下方端縁側に向かって、Ｙ軸方向に順次に、互いの重なりを許容しながら配設するものとされる。

【0089】

図９は、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙを、２個毎に交互に形成するようにした場合の例である。この例の場合にも、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘは、矩形の基材１１の図１における左方端縁側から右方端縁側に向かって、Ｘ軸方向に順次に、互いの重なりを許容しながら配設し、また、Ｙ軸方向ループコイル１３Ｙは、矩形の基材１１の図１における上方端縁側から下方端縁側に向かって、Ｙ軸方向に順次に、互いの重なりを許容しながら配設するようにされる。

【0090】

すなわち、図９の例では、先ず、図９（Ａ）に示すように、隣接する２個のＸ軸方向ループコイル１３Ｘ₁及び１３Ｘ₂を形成する。その後、図９（Ｂ）に示すように、隣接する２個のＹ軸方向ループコイル１３Ｙ₁及び１３Ｙ₂を形成する。

【0091】

次に、図９（Ｃ）に示すように、前に形成したＸ軸方向ループコイル１３Ｘ₁及び１３Ｘ₂に隣接する２個のＸ軸方向ループコイル１３Ｘ₃及び１３Ｘ₄を形成する。この２個のＸ軸方向ループコイル１３Ｘ₃及び１３Ｘ₄を形成したら、次に、図９（Ｄ）に示すように、前に形成したＹ軸方向ループコイル１３Ｙ₁及び１３Ｙ₂に隣接する２個のＹ軸方向ループコイル１３Ｙ₃及び１３Ｙ₄を形成する。以下、順次に、隣接する２個ずつのＸ軸方向ループコイル１３Ｘと、隣接する２個ずつのＹ軸方向ループコイル１３Ｙとを、交互に形成するようにする。

【0092】

なお、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙを、２個毎に交互に形成するのではなく、３個以上毎に、交互に形成するようにしてもよい。

【0093】

また、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘ及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙを、複数個毎に交互に形成する場合において、上述の例では、Ｘ軸方向ループコイル１３ＸとＹ軸方向ループコイル１３Ｙとで同数の個数毎としたが、Ｘ軸方向ループコイル１３ＸとＹ軸方向ループコイル１３Ｙとで異なる個数毎とするようにしてもよい。その場合に、Ｘ軸方向ループコイル１３ＸとＹ軸方向ループコイル１３Ｙとで異なる個数は、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘの個数、及びＹ軸方向ループコイル１３Ｙの個数を考慮するようにしてもよい。

【0094】

また、Ｘ軸方向ループコイル１３Ｘの複数個からなるＸ軸方向ループコイル群内において、Ｙ軸方向ループコイルと交互に形成する個数は、例えば１個毎や、２個毎など、全て同数毎とするのではなく、異なる個数となる状態が混在してもよい。Ｙ軸方向ループコイル１３Ｙの複数個からなるＹ軸方向ループコイル群内において、同様である。すなわち、例えば２個毎にＸ軸方向ループコイルとＹ軸方向ループコイルとを交互を形成していたものを、途中から１個毎にＸ軸方向ループコイルとＹ軸方向ループコイルとを交互を形成してもよい。この場合に、変更する個数及び個数の変更位置などは、Ｘ軸方向ループコイルとＹ軸方向ループコイルとで、それぞれ独立に定めることができることは勿論である。

【0095】

［その他の実施形態または変形例］
上述の実施形態では、位置検出センサは、外形が矩形形状であったが、外形は矩形に限らず、どのような形状であってもよい。また、基材は平面形状としたが、曲面形状であってもよい。また、ループコイルのパターン形状も上述の実施形態の矩形形状に限られるものではないことは言うまでもない。

【0096】

また、上述の実施形態では、端子部は、矩形形状の基材の一辺側の端部の１か所に形成するようにしたが、端子部は、一つの辺の端部の複数箇所に形成してもよいし、矩形形状の基材の複数の辺の端部に形成するようにしてもよい。

【0097】

なお、上述の位置検出センサの製法では、配線ユニット１２０により被覆導線によるセンサパターン部を形成する前に、前処理ユニット１１０で、線材１８の絶縁被覆を剥離して、内部の導線を露出させるようにしたが、センサパターン部を形成する処理を行う前に、線材１８の絶縁被覆を剥離することは必須ではない。例えば、センサパターン部１３を形成した後に、センサパターン部１３の複数個の電極導体のパターンの端部の線材１８の絶縁被覆を剥離する処理を行うようにしてもよい。

【符号の説明】

【0098】

１…位置検出センサ、１１…基材、１２Ｓ，１２Ｐ，１２Ｍ…接着材、１３…センサパターン部、１４…保護シート、１５…メタルシート、１６端子部…、１７…端子導体、１８…線材、１３Ｘ…Ｘ軸方向ループコイル、１３Ｙ…Ｙ軸方向ループコイル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】