7567614 ドライアイスブラストシステム及びドライアイスブラスト方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-07

(45)【発行日】2024-10-16

(54)【発明の名称】ドライアイスブラストシステム及びドライアイスブラスト方法

(51)【国際特許分類】

   B24C 1/00 20060101AFI20241008BHJP

   B24C 3/32 20060101ALI20241008BHJP

   B24C 5/02 20060101ALI20241008BHJP

   B24C 5/04 20060101ALI20241008BHJP

   B24C 9/00 20060101ALI20241008BHJP

   B24C 11/00 20060101ALI20241008BHJP

【ＦＩ】

B24C1/00 A

B24C3/32 B

B24C5/02 A

B24C5/04 Z

B24C9/00 J

B24C11/00 E

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2021053369

(22)【出願日】2021-03-26

(65)【公開番号】P2022150668

(43)【公開日】2022-10-07

【審査請求日】2023-11-01

(73)【特許権者】

【識別番号】000005083

【氏名又は名称】株式会社プロテリアル

(74)【代理人】

【識別番号】110002066

【氏名又は名称】弁理士法人筒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】李 ▲金▼偉龍

(72)【発明者】

【氏名】楯 尚史

(72)【発明者】

【氏名】杉山 剛博

(72)【発明者】

【氏名】南畝 秀樹

(72)【発明者】

【氏名】佐川 英之

【審査官】マキロイ 寛済

(56)【参考文献】

【文献】米国特許出願公開第２０１１／００５９６８１（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１１－１１５８８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－０１８７１７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｃ １／００

Ｂ２４Ｃ ３／３２

Ｂ２４Ｃ ５／０２

Ｂ２４Ｃ ５／０４

Ｂ２４Ｃ ９／００

Ｂ２４Ｃ １１／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークを搬送する搬送装置と、
ドライアイス粒を含む圧縮空気を前記搬送装置により搬送される前記ワークに向けて噴射するブラスト装置と、
前記ワークと前記ブラスト装置との間に配置されるメッシュフィルタと、を備え、
前記ワークは、断面形状が楕円形の線材であり、
前記ブラスト装置は、前記線材が備える樹脂被覆の表面に向けて0.6MPa以下の前記圧縮空気を噴射可能であり、
前記メッシュフィルタのそれぞれの編み目は、前記線材の長径の50％～100％に相当する大きさを有すると共に、粒径が所定の粒径よりも小さい前記ドライアイス粒のみが通過可能な大きさを有する
ドライアイスブラストシステム。

【請求項2】

ワークの表面にドライアイス粒を吹き付けて、前記ワークの表面を処理するドライアイスブラスト方法であって、
前記ワークは、断面形状が楕円形の線材であり、
前記ドライアイス粒を含む圧縮空気を噴射するブラスト装置と前記ワークとの間に、前記線材の長径の50％～100％に相当する大きさであると共に、粒径が所定の粒径よりも小さい前記ドライアイス粒のみが通過可能な大きさの編み目を有するメッシュフィルタを配置し、
前記線材を長手方向に搬送しながら、当該メッシュフィルタを通過した前記ドライアイス粒だけを前記線材が備える樹脂被覆の表面に吹き付ける、
ドライアイスブラスト方法。

【請求項3】

前記線材は、導体と、前記導体の周囲に設けられた前記樹脂被覆からなる絶縁体と、を含む電線である、請求項２に記載のドライアイスブラスト方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、粒状や粉状のドライアイスを用いてワークの表面を処理するドライアイスブラストに関するものである。

【背景技術】

【0002】

粒状や粉状のドライアイス（以下、“ドライアイス粒”と総称する場合がある。）をノズルの先端から噴射するドライアイスブラスト装置が知られている（特許文献１参照）。

【0003】

上記のようなドライアイスブラスト装置は、例えば、ワークの表面処理（ワーク表面の洗浄や粗化など）に用いられる。具体的には、ドライアイスブラスト装置のノズル先端から噴射されるドライアイス粒をシリコンウエハの表面に吹き付けることにより、シリコンウエハの表面に付着している粒子状物質や汚染物質などが除去される。また、ドライアイスブラスト装置のノズル先端から噴射されるドライアイス粒を電線の絶縁被覆の表面に吹き付けることにより、絶縁被覆の表面に微細な凹凸が形成される。

【0004】

ドライアイスブラスト装置は、ドライアイスの塊を粉砕してドライアイス粒を生成する粉砕手段を備えている。従来の粉砕手段の１つは、一対の金属ローラを備え、それら金属ローラの間に供給されるドライアイスの塊をすりつぶして粉砕する。以下の説明では、粉砕手段によって粉砕される前のドライアイスの塊を“ドライアイスペレット”と呼んでドライアイス粒と区別する場合がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０００－１１９８４０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ワークの表面処理の質を向上させたり、安定させたりするためには、ワーク表面に吹き付けられるドライアイス粒の大きさを制御する必要がある。

【0007】

本発明の目的は、ワークの表面に吹き付けられるドライアイス粒の大きさを制御可能なドライアイスブラストシステムやドライアイスブレスト方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明のドライアイスブラストシステムは、ワークを搬送する搬送装置と、ドライアイス粒を含む圧縮空気を前記搬送装置により搬送される前記ワークに向けて噴射するブラスト装置と、前記ワークと前記ブラスト装置との間に配置されるメッシュフィルタと、を備え、前記メッシュフィルタのそれぞれの編み目は、粒径が所定の粒径よりも小さい前記ドライアイス粒のみが通過可能な大きさを有する。

【0009】

本発明のドライアイスブラスト方法では、ドライアイス粒を含む圧縮空気を噴射するブラスト装置とワークとの間に、粒径が所定の粒径よりも小さい前記ドライアイス粒のみが通過可能な大きさの編み目を有するメッシュフィルタを配置し、当該メッシュフィルタを通過した前記ドライアイス粒だけを前記ワークの表面に吹き付ける。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、ワークの表面に吹き付けられるドライアイス粒の大きさを制御可能なドライアイスブラストシステムやドライアイスブレスト方法が実現される。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】一実施形態のドライアイスブラストシステムの構成を示す図である。

【図2】図１に示されている粉砕部の構成を示す図である。

【図3】図１に示されているメッシュフィルタの構成を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、図面を参照しながら本発明のドライアイスブラストシステム及びドライアイスブラスト方法の実施形態の一例について説明する。尚、同一又は実質的に同一の構成や要素には同一の符号を用い、原則として再度の説明は行わない。

【0013】

＜システムの全体構成＞
図１に示されているドライアイスブラストシステム１Ａは、搬送装置２と、ブラスト装置３と、メッシュフィルタ４と、を備えている。搬送装置２は、ワークＷを搬送する。ブラスト装置３は、搬送装置２によって搬送されるワークＷに向けてドライアイス粒１００ｂを含む圧縮空気を噴射する。メッシュフィルタ４は、ワークＷの表面に吹き付けられるドライアイス粒１００ｂの大きさを制御する。

【0014】

尚、図１に示されているワークＷは、樹脂被覆を備える線材である。より具体的には、ワークＷは、導体と、導体の周囲に設けられた樹脂被覆と、を備える電線である。つまり、ワークＷは、導体と、導体を被覆する絶縁体と、を含む電線であり、絶縁体の表面がワークＷの表面である。また、ワークＷの直径Ｄは、0.2mmである。

【0015】

＜搬送装置＞
搬送装置２は、一対のドラム２ａ，２ｂを有する。搬送装置２は、一方のドラム２ａに巻かれているワークＷを他方のドラム２ｂに巻き取ることにより、ワークＷを長手方向に搬送する。別の見方をすると、ワークＷは、一方のドラム２ａから送り出され、他方のドラム２ｂに巻き取られる。そこで、以下の説明では、一方のドラム２ａを“供給ドラム２ａ”と呼び、他方のドラム２ｂを“回収ドラム２ｂ”と呼ぶ場合がある。

【0016】

回収ドラム２ｂは、不図示の駆動源（例えば、電動モータ）によって回転駆動される。供給ドラム２ａに巻かれているワークＷの一端を回収ドラム２ｂに係止させた状態で回収ドラム２ｂを回転させると、供給ドラム２ａからワークＷが繰り出されて回収ドラム２ｂに巻き取られる。つまり、ワークＷが長手方向（図１の上側から下側）に向けて搬送される。

【0017】

＜ブラスト装置＞
ブラスト装置３は、装置本体１０と、圧縮空気供給部２０と、噴射部３０と、を有する。装置本体１０は、ドライアイス粒１００ｂを噴射部３０に供給し、圧縮空気供給部２０は、圧縮空気を噴射部３０に供給する。噴射部３０は、装置本体１０から供給されるドライアイス粒１００ｂと圧縮空気供給部２０から供給される圧縮空気とを合流させ、ワークＷに向けて噴射する。別の見方をすると、噴射部３０は、ドライアイス粒１００ｂを含む圧縮空気をワークＷに向けて噴射する。つまり、ブラスト装置３は、サイフォン式である。

【0018】

＜装置本体＞
装置本体１０は、ホッパー１１，搬送部１２，粉砕部１３，中継パイプ１４及びドライアイス供給チューブ１５を有する。

【0019】

ホッパー１１には、ドライアイスの塊であるドライアイスペレット１００ａが供給（投入）される。例えば、直径が3.0mm前後のドライアイスペレット１００ａがホッパー１１に投入される。

【0020】

ホッパー１１は、上面の大きさに比べて下面の大きさが小さい箱形形状を有し、全体としてすり鉢状の外観を呈している。また、ホッパー１１の上面には上方開口部１１ａが設けられており、ホッパー１１の下面には下方開口部１１ｂが設けられている。ドライアイスペレット１００ａは、上方開口部１１ａからホッパー１１の内部に投入される。ホッパー１１内に投入されたドライアイスペレット１００ａは、下方開口部１１ｂからホッパー１１の外部に排出される。そこで、以下の説明では、上方開口部１１ａを“投入口１１ａ”と呼び、下方開口部１１ｂを“排出口１１ｂ”と呼ぶ場合がある。

【0021】

＜搬送部＞
搬送部１２は、ホッパー１１の排出口１１ｂから排出されるドライアイスペレット１００ａを粉砕部１３に搬送する。より特定的には、搬送部１２は、搬送パイプ１２ａと、搬送パイプ１２ａ内に設けられたスクリュー１２ｂと、を備えるスクリューフィーダーである。スクリュー１２ｂの周囲には、螺旋状の羽根が形成されている。ホッパー１１の排出口１１ｂから搬送パイプ１２ａ内に落下したドライアイスペレット１００ａは、回転するスクリュー１２ｂによって粉砕部１３に向けて（図１の左側から右側に向けて）搬送される。

【0022】

＜粉砕部＞
粉砕部１３は、搬送部１２により搬送されたドライアイスペレット１００ａを粉砕し、所定の大きさのドライアイスの粒であるドライアイス粒１００ｂを生成する。

【0023】

図２に示されるように、粉砕部１３は、一対の粉砕ローラ１３ａ，１３ｂを備えている。粉砕ローラ１３ａ，１３ｂは、金属製のローラであって、回転軸に固定されている。また、粉砕ローラ１３ａ，１３ｂは、隙間を介して対向しており、かつ、互いに逆方向に回転駆動される。ドライアイスペレット１００ａは、粉砕ローラ１３ａ，１３ｂの間に落下し、回転する粉砕ローラ１３ａ，１３ｂによってすりつぶされる。よって、粉砕ローラ１３ａと粉砕ローラ１３ｂとの間の隙間を変更することにより、粉砕部１３において生成されるドライアイス粒１００ｂの大きさ（粒径）を調節することができる。

【0024】

再び図１を参照する。粉砕部１３において生成されるドライアイス粒１００ｂの粒径は、ワークＷの種類やワークＷに施す処理の内容などに応じて決定されたり、調節されたりする。例えば、ワークＷの硬度が高い場合やワークＷの表面に大きな凹凸を形成したい場合などには、ドライアイス粒１００ｂの粒径が大きくされる。また、ワークＷの硬度が低い場合やワークＷの表面に小さな凹凸を形成したい場合などには、ドライアイス粒１００ｂの粒径が小さくされる。

【0025】

尚、粉砕部１３において生成されたドライアイス粒１００ｂの粒径は、噴射部３０から噴射されるまでの間に縮小する可能性がある。例えば、粉砕部１３から噴射部３０に搬送される過程でドライアイス粒１００ｂの一部が昇華し、ドライアイス粒１００ｂが小さくなる可能性がある。そこで、粉砕部１３において生成するドライアイス粒１００ｂの粒径は、その後の縮小を見越して決定されることもある。

【0026】

＜中継パイプ及びドライアイス供給チューブ＞
図１に示されている中継パイプ１４及びドライアイス供給チューブ１５は、粉砕部１３で生成されたドライアイス粒１００ｂを噴射部３０に供給するための流路（ドライアイス流路）を形成する。具体的には、中継パイプ１４は、ドライアイス流路の一部を形成し、ドライアイス供給チューブ１５は、ドライアイス流路の他の一部を形成する。

【0027】

中継パイプ１４は、粉砕部１３において生成されるドライアイス粒１００ｂの粒径よりも大きな内径を有する樹脂製または金属製のパイプである。中継パイプ１４の一端（基端）は、粉砕部１３に接続され、中継パイプ１４の他端（先端）は、ドライアイス供給チューブ１５の一端（基端）に接続されている。

【0028】

ドライアイス供給チューブ１５は、ゴム等の弾性材料によって形成されており、粉砕部１３において生成されるドライアイス粒１００ｂの粒径よりも大きな内径を有する。ドライアイス供給チューブ１５は、ドライアイス粒１００ｂによって冷却されても弾性や可撓性を損なわない弾性材料によって形成されている。また、ドライアイス供給チューブ１５は、内圧が所定圧力を下回った場合にも変形しない硬さ（耐圧性能）を備えている。尚、ドライアイス供給チューブ１５を形成する弾性材料の一例としては、ガラス転移点がドライアイスの昇華点（摂氏マイナス７８．５度）以下の弾性材料が挙げられる。

【0029】

ドライアイス供給チューブ１５の先端側は、ホッパー１１，搬送部１２，粉砕部１３等が収容されている筐体１０ａを貫通して筐体１０ａの外に引き出され、噴射部３０に接続されている。図示は省略されているが、筐体１０ａの側面には連通孔が設けられており、この連通孔を通じてドライアイス供給チューブ１５が筐体１０ａの外に引き出されている。尚、ドライアイス供給チューブ１５と連通孔との間に、隙間を塞ぐシール部材などを設けてもよい。

【0030】

＜圧縮空気供給部＞
圧縮空気供給部２０は、コンプレッサ２１と、コンプレッサ２１と噴射部３０とを繋ぐ空気供給チューブ２２と、を備えている。コンプレッサ２１によって生成された圧縮空気は、空気供給チューブ２２を介して噴射部３０に送られる。つまり、空気供給チューブ２２は、コンプレッサ２１で生成された圧縮空気を噴射部３０に供給するための流路（空気流路）を形成する。そこで、空気供給チューブ２２は、圧縮空気の圧力によって変形しない硬さ（耐圧性能）を備えている。

【0031】

尚、本実施形態のコンプレッサ２１は、アネスト岩田社製のオイルフリースクロールコンプレッサ（Think Air SLP-75EFD）である。もっとも、コンプレッサ２１は特定のコンプレッサに限定されるものではない。例えば、コンプレッサ２１は、スクロール式を含む回転式（ロータリータイプ）ではなく、ピストン式やダイヤフラム式などの往復式（レシプロタイプ）であってもよい。

【0032】

＜噴射部＞
噴射部３０は、合流部３１およびノズル３２を備える。噴射部３０には、装置本体１０及び圧縮空気供給部２０が接続されている。より特定的には、ドライアイス供給チューブ１５及び空気供給チューブ２２が合流部３１に接続されている。合流部３１は、ドライアイス供給チューブ１５を介して供給されるドライアイス粒１００ｂと、空気供給チューブ２２を介して供給される圧縮空気と、を合流させる。別の見方をすると、図２に示されているドライアイス粒１００ｂは、図１に示されている合流部３１において圧縮空気に合流される。

【0033】

ノズル３２の一端は合流部３１に接続されており、ノズル３２の他端には円形のノズル開口３２ａが設けられている。合流部３１において圧縮空気に合流されたドライアイス粒１００ｂは、圧縮空気と一緒にノズル３２の先端（ノズル開口３２ａ）から噴射される。よって、ノズル開口３２ａをワークＷに向けると、ノズル開口３２ａから噴射される所定圧力の圧縮空気（ドライアイス粒１００ｂを含む）がワークＷの表面に吹き付けられ、ワークＷの表面が処理される。具体的には、ワークＷの表面が洗浄されたり、ワークＷの表面に微細な凹凸が形成されたりする。

【0034】

尚、ノズル３２は、ノズル開口３２ａをワークＷに向けやすくするために、略Ｌ字形に曲げられている。また、本実施形態のブラスト装置３は、少なくとも0.1MPa以上0.6MPa以下の圧縮空気を噴射可能であるが、ノズル開口３２ａから噴射される圧縮空気の圧力は、ワークＷの種類やワークＷに施される処理の内容などに応じて調節される。尚、ノズル開口３２ａから噴射される圧縮空気の圧力は、例えば、コンプレッサ２１から出力される圧縮空気の圧力を変更することによって調節される。

【0035】

＜メッシュフィルタ＞
図１に示されるように、メッシュフィルタ４は、ワークＷとブラスト装置３との間に配置される。より特定的には、メッシュフィルタ４は、ワークＷとブラスト装置３のノズル３２との間に配置される。

【0036】

図３に示されるように、メッシュフィルタ４は、平織りされた複数本の金属線４０によって形成されており、複数の編み目４１を備えている。金属線４０の線径ｄは0.1mmであり、メッシュフィルタ４のメッシュ数Ｍは84.7である。尚、メッシュ数Ｍとは、1inch（＝25.4mm）中の編み目４１の数である。

【0037】

ワークＷとブラスト装置３との間に介在するメッシュフィルタ４は、粒径が所定の粒径よりも小さいドライアイス粒１００ｂの通過を許容する一方、粒径が所定の粒径よりも大きいドライアイス粒１００ｂの通過を阻止する。言い換えると、メッシュフィルタ４のそれぞれの編み目４１は、粒径が所定の粒径よりも小さいドライアイス粒のみが通過可能な大きさを有する。別の見方をすると、メッシュフィルタ４を通過可能なドライアイス粒１００ｂの粒径（mm）の最大値は、メッシュフィルタ４の目開きＡ（mm）よりも小さい。

【0038】

ここで、ワークＷに吹き付けられるドライアイス粒１００ｂの粒径が大きすぎると、ワークＷが破断してしまう虞がある。一方、ワークＷに吹き付けられるドライアイス粒１００ｂの粒径が小さすぎると、ワークＷが十分に処理されない虞がある。そこで、メッシュフィルタ４の目開きＡ（≒メッシュフィルタ４を通過可能なドライアイス粒１００ｂの粒径の最大値）は、主にワークＷの直径Ｄに基づいて決定することが好ましい。但し、メッシュフィルタ４の目開きＡが小さすぎると、メッシュフィルタ４が詰まりやすくなるので、この点も考慮することが好ましい。上記のような観点に鑑みると、メッシュフィルタ４の目開きＡは、ワークＷの直径Ｄの50％～100％に相当することが好ましい。

【0039】

本実施形態のメッシュフィルタ４の目開きＡ（Ａ＝25.4／M－d）は0.2mmである。一方、ワークＷの直径Ｄは0.2mmである。よって、本実施形態のメッシュフィルタ４の目開きＡは、ワークＷの直径Ｄの100％に相当する。別の見方をすると、ワークＷに吹き付けられるドライアイス粒１００ｂの粒径は、メッシュフィルタによって0.2mm未満に制御され、粒径が0.2mm以上のドライアイス粒１００ｂがワークＷに吹き付けられることはない。

【0040】

＜ドライアイスブラスト方法＞
次に、図１に示されているドライアイスブラストシステム１Ａを用いて同図に示されているワークＷの表面を処理する手順の一例について説明する。尚、ワークＷが電線であり、電線が備える絶縁体の表面が処理対象であるワーク表面であることは既述のとおりである。

【0041】

ここでは、絶縁体表面にドライアイス粒を吹き付け、絶縁体表面に微細な凹凸を形成する。つまり、絶縁体表面に粗化処理を施す。かかる粗化処理は、絶縁体とめっき（後に絶縁体上に積層される）との密着性を向上させるために行うものである。つまり、粗化処理は、アンカー効果を得るために行うものである。

【0042】

＜搬送装置の準備（工程１）＞
ワークＷが巻かれた供給ドラム２ａを用意し、所定位置にセットする。或いは、所定位置にセットした供給ドラム２ａにワークＷを巻き付ける。次いで、供給ドラム２ａからワークＷを引き出し、引き出したワークＷの一端を回収ドラム２ｂに係止させる。

【0043】

＜ブラスト装置の準備（工程２）＞
噴射部３０のノズル３２（ノズル開口３２ａ）を供給ドラム２ａと回収ドラム２ｂとに跨っているワークＷに向ける。また、ワークＷとノズル３２（ノズル開口３２ａ）との間隔を1.0mm～5.0mmとし、ワークＷとノズル３２（ノズル開口３２ａ）との間にメッシュフィルタ４を配置する。さらに、ホッパー１１内にドライアイスペレット１００ａを投入する。

【0044】

＜ブラストの実施（工程３）＞
上記工程１，２が完了した後、搬送装置２およびブラスト装置３を作動させる。具体的には、搬送装置２の回収ドラム２ｂを回転させてワークＷを長手方向に搬送する。また、ブラスト装置３の搬送部１２，粉砕部１３および圧縮空気供給部２０を作動させて、ドライアイス粒１００ｂおよび圧縮空気を噴射部３０に供給する。すると、噴射部３０のノズル３２からドライアイス粒１００ｂを含む圧縮空気が、搬送装置２によって搬送されているワークＷに向けて噴射される。このとき、ノズル開口３２ａから噴射される圧縮空気の圧力が0.6MPa以下となるように、圧縮空気供給部２０から噴射部３０に供給される圧縮空気の圧力を調節する。例えば、圧縮空気供給部２０から噴射部３０に供給される圧縮空気の圧力を0.4MPa～0.5MPaに調節する。

【0045】

もっとも、ワークＷの手前（ワークＷとノズル３２との間）にはメッシュフィルタ４が配置されている。よって、ノズル３２から噴射された圧縮空気に含まれているドライアイス粒１００ｂのうち、メッシュフィルタ４を通過したドライアイス粒１００ｂだけが絶縁体表面に吹き付けられる。尚、メッシュフィルタ４を通過可能なドライアイス粒１００ｂの粒径が、ワークＷ（直径0.2mmの電線）を破断させることなく、絶縁体表面を十分に処理可能（粗化可能）な大きさに制御されることは既述のとおりである。

【0046】

尚、工程１および工程２は、どちらを先に実行してもよく、両方を同時並行で実行してもよい。工程３では、ワークＷの表面に２以上の異なる方向からドライアイス粒１００ｂを吹き付けてもよい。例えば、ワークＷの周囲に等間隔で複数台のブラスト装置３を配置し、２以上の異なる方向からワークＷにドライアイス粒１００ｂを同時に吹き付けてもよい。

【0047】

以上のように、本発明が適用されたドライアイスブラストシステムおよびドライアイスブラスト方法では、ワーク表面に吹き付けられるドライアイス粒の大きさを制御可能である。よって、常に粒径が安定したドライアイス粒をワーク表面に吹き付けることができる。この結果、ワークを破断させたり、傷付けたりすることなく、ワーク表面に十分な処理を施すことができる。このような本発明の優れた効果は、ワークの形状や大きさに関わらず有効であるが、ワークが直径0.5mm以下の線材や繊維である場合、或いは厚みが0.5mm以下のシートである場合などに特に有効である。尚、ワークが線材であって、かつ、その断面形状が楕円形である場合、メッシュフィルタの編み目の大きさを定める基準となる線材の直径は、長径である。

【0048】

本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、上記実施形態のメッシュフィルタ４は、綾織された金属線４０によって形成されていてもよい。また、金属線４０の線径ｄ，メッシュフィルタ４のメッシュ数Ｍ，目開きＡは、ワークＷに応じて適宜変更することができ、ブラスト装置３から噴射される圧縮空気の圧力もワークＷに応じて適宜変更することができる。さらに、上記実施形態のブラスト装置３は、直噴式であってもよい。

【0049】

本発明が適用されたドライアイスブラストシステムやドライアイスブラスト方法によって処理可能なワークは電線に限られない。例えば、本発明が適用されたシステムおよび方法は、樹脂製品の処理に用いることもできる。本発明が適用されたシステムおよび方法によって処理される樹脂製品の一例としては、ポリエチレン（ＰＥ），ポリプロピレン（ＰＰ），フッ素系樹脂などからなる樹脂繊維や樹脂シートが挙げられる。

【符号の説明】

【0050】

１Ａ…ドライアイスブラストシステム，２…搬送装置，２ａ…ドラム（供給ドラム），２ｂ…ドラム（回収ドラム），３…ブラスト装置，４…メッシュフィルタ，１０…装置本体，１０ａ…筐体，１１…ホッパー，１１ａ…上方開口部（投入口），１１ｂ…下方開口部（排出口），１２…搬送部，１３…粉砕部，１３ａ（１３ｂ）…粉砕ローラ，１４…中継パイプ，１５…ドライアイス供給チューブ，２０…圧縮空気供給部，２１…コンプレッサ，２２…空気供給チューブ，３０…噴射部，３１…合流部，３２…ノズル，３２ａ…ノズル開口，４０…金属線，４１…編み目，１００ａ…ドライアイスペレット，１００ｂ…ドライアイス粒，Ｗ…ワーク

【図1】

【図2】

【図3】