(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-10-07
(45)【発行日】2024-10-16
(54)【発明の名称】ベーパーチャンバ、及び、電子機器
(51)【国際特許分類】
F28D 15/02 20060101AFI20241008BHJP
H01L 23/427 20060101ALI20241008BHJP
H05K 7/20 20060101ALI20241008BHJP
【ＦＩ】
F28D15/02 101H
F28D15/02 102A
F28D15/02 L
H01L23/46 B
H05K7/20 R
【請求項の数】
10
(21)【出願番号】P 2021544063
(86)(22)【出願日】2020-09-04
(86)【国際出願番号】 JP2020033661
(87)【国際公開番号】W WO2021045211
(87)【国際公開日】2021-03-11
【審査請求日】2023-08-10
(31)【優先権主張番号】P 2019163204
(32)【優先日】2019-09-06
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(31)【優先権主張番号】P 2019163217
(32)【優先日】2019-09-06
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(31)【優先権主張番号】P 2019165245
(32)【優先日】2019-09-11
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000002897
【氏名又は名称】大日本印刷株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100129838
【弁理士】
【氏名又は名称】山本 典輝
(74)【代理人】
【識別番号】100101203
【弁理士】
【氏名又は名称】山下 昭彦
(74)【代理人】
【識別番号】100104499
【弁理士】
【氏名又は名称】岸本 達人
(72)【発明者】
【氏名】高橋 伸一郎
(72)【発明者】
【氏名】太田 貴之
(72)【発明者】
【氏名】小田 和範
(72)【発明者】
【氏名】武田 利彦
(72)【発明者】
【氏名】竹松 清隆
(72)【発明者】
【氏名】百瀬 輝寿
【審査官】礒部 賢
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１５－０５９６９３（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２０１４／０１３８０５６（ＵＳ，Ａ１）
【文献】登録実用新案第３１９７５７８（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開２０１９－０２１７８６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－１４７２９１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－０２７９６３（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｆ２８Ｄ １５／００ － １５／０６
Ｈ０１Ｌ ２３／４２７
Ｈ０５Ｋ ７／２０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
前記密閉空間には、前記作動流体が凝縮液の状態で移動する流路である凝縮液流路と、
前記凝縮液流路より流路断面積が大きく、前記作動流体が蒸気及び凝縮液の状態で移動する複数の蒸気流路と、が備えられており、
複数の前記凝縮液流路と複数の前記蒸気流路が直線状に延びる直線部と、
前記直線部に連続し、複数の前記凝縮液流路と複数の前記蒸気流路の延びる方向が変化する湾曲部と、を有し、
前記凝縮液流路と前記蒸気流路とを連通する連通開口部が設けられ、
前記湾曲部における前記連通開口部のピッチは、前記直線部における前記連通開口部のピッチと異なる、
ベーパーチャンバ。
【請求項2】
前記湾曲部における前記連通開口部のピッチは、前記直線部における前記連通開口部のピッチよりも大きい、請求項１に記載のベーパーチャンバ。
【請求項3】
前記湾曲部における前記連通開口部のピッチは、前記直線部における前記連通開口部のピッチよりも小さい、請求項１に記載のベーパーチャンバ。
【請求項4】
密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
前記密閉空間には、前記作動流体が凝縮液の状態で移動する流路である凝縮液流路と、
前記凝縮液流路より流路断面積が大きく、前記作動流体が蒸気及び凝縮液の状態で移動する複数の蒸気流路と、が備えられており、
複数の前記凝縮液流路と複数の前記蒸気流路が直線状に延びる直線部と、
前記直線部に連続し、複数の前記凝縮液流路と複数の前記蒸気流路の延びる方向が変化する湾曲部と、を有し、
前記湾曲部における前記蒸気流路の外側壁の湾曲の中心が、前記湾曲部における前記蒸気流路の内側壁の湾曲の中心よりも外側にある、
ベーパーチャンバ。
【請求項5】
前記湾曲部において、前記蒸気流路の外側壁の湾曲の半径をｒ
ｏｕｔ
、前記湾曲部の蒸気流路が前記直線部の蒸気流路と同じ流路幅であったと仮定したときの前記蒸気流路の外側壁の湾曲の半径をｒ
ｃ
としたとき、ｒ
ｏｕｔ
＜ｒ
ｃ
である、請求項４に記載のベーパーチャンバ。
【請求項6】
前記湾曲部において、前記蒸気流路の外側壁の湾曲の半径をｒ
ｏｕｔ
、前記湾曲部の蒸気流路が前記直線部の蒸気流路と同じ流路幅であったと仮定したときの前記蒸気流路の外側壁の湾曲の半径をｒ
ｃ
としたとき、ｒ
ｏｕｔ
＝ｒ
ｃ
である、請求項４に記載のベーパーチャンバ。
【請求項7】
密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、前記密閉空間には、前記作動流体が凝縮液の状態で移動する流路である凝縮液流路と、
前記凝縮液流路より流路断面積が大きく、前記作動流体が蒸気及び凝縮液の状態で移動する複数の蒸気流路と、が備えられており、
複数の前記凝縮液流路と複数の前記蒸気流路が直線状に延びる直線部と、
前記直線部に連続し、複数の前記凝縮液流路と複数の前記蒸気流路の延びる方向が変化する湾曲部と、を有し、
前記湾曲部において、内側に配置される前記蒸気流路の流路断面積が、外側に配置される前記蒸気流路の流路断面積よりも大きい、ベーパーチャンバ。
【請求項8】
前記湾曲部において、内側に配置される前記蒸気流路の幅が、外側に配置される前記蒸気流路の幅よりも大きい請求項７に記載のベーパーチャンバ。
【請求項9】
前記湾曲部において、内側に配置される前記蒸気流路の高さが、外側に配置される前記蒸気流路の高さよりも大きい請求項７又は８に記載のベーパーチャンバ。
【請求項10】
筐体と、前記筐体の内側に配置された電子部品と、
前記電子部品に対して直接又は他の部材を介して接触して配置された請求項１～９のいずれか１項に記載されたベーパーチャンバと、を備える、電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は密閉空間に封入された作動流体を相変化を伴いつつ還流することにより熱輸送を行うベーパーチャンバに関する。
【背景技術】
【0002】
パソコン並びに携帯電話及びタブレット端末等の携帯型端末に備えられているＣＰＵ（中央演算処理装置）等の電子部品からの発熱量は、情報処理能力の向上により増加する傾向にあり冷却技術が重要である。このような冷却のための手段としてヒートパイプがよく知られている。これはパイプ内に封入された作動流体により、熱源における熱を他の部位に輸送することで拡散させ、熱源を冷却するものである。
【0003】
一方、近年においては特に携帯型端末等で薄型化が顕著であり、従来のヒートパイプよりも薄型の冷却手段が必要となってきた。これに対して例えば特許文献１乃至特許文献３に記載のようなベーパーチャンバが提案されている。
【0004】
ベーパーチャンバはヒートパイプによる熱輸送の考え方を平板状の部材に展開した機器である。すなわち、ベーパーチャンバには、対向する平板の間に作動流体が封入されており、この作動流体が相変化を伴いつつ還流することで熱輸送を行い、熱源における熱を輸送及び拡散して熱源を冷却する。
【0005】
より具体的には、ベーパーチャンバの対向する平板間には作動流体が流れる流路が設けられ、ここに作動流体が封入されている。ベーパーチャンバを熱源に配置すると、熱源の近くにおいて作動流体は熱源からの熱を受けて蒸発し、気体（蒸気）となって流路を移動する。これにより熱源からの熱が熱源から離れた位置に円滑に輸送され、その結果熱源が冷却される。熱源からの熱を輸送した気体状態の作動流体は熱源から離れた位置にまで移動し、周囲に熱を吸収されることで冷却されて凝縮し、液体状態に相変化する。相変化した液体状態の作動流体は他の流路を通り、熱源の位置にまで戻ってまた熱源からの熱を受けて蒸発して気体状態に変化する。
以上のような循環により熱源から発生した熱が熱源から離れた位置に輸送され熱源が冷却される。
以上のような循環により熱源から発生した熱が熱源から離れた位置に輸送され熱源が冷却される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】特許５７８８０６９号公報
【文献】特開２０１６－２０５６９３号公報
【文献】特許６０５７９５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本開示の第一の目的は、薄型化しても必要な強度を得ることができるベーパーチャンバを提供する。
本開示の第二の目的は、方向が変化する流路を有する場合であっても熱輸送能力を高めることができるベーパーチャンバを提供する。
本開示の第三の目的は、作動流体が流れる流路の内面に酸化膜が生じ難い中間体を提供する。
本開示の第二の目的は、方向が変化する流路を有する場合であっても熱輸送能力を高めることができるベーパーチャンバを提供する。
本開示の第三の目的は、作動流体が流れる流路の内面に酸化膜が生じ難い中間体を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本開示の第１の態様は、内側に具備された密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う第１流路の間に配置された複数の第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、第１流路及び第２流路となる溝を備える層と、溝の内側に積層され、第１流路及び第２流路の内面をなす層と、を備える、ベーパーチャンバである。
【0009】
本開示の第２の態様は、密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には、作動流体が凝縮液の状態で移動する流路である凝縮液流路と、凝縮液流路より流路断面積が大きく、作動流体が蒸気及び凝縮液の状態で移動する複数の蒸気流路と、が備えられており、複数の凝縮液流路と複数の蒸気流路が直線状に延びる直線部と、直線部に連続し、複数の凝縮液流路と複数の蒸気流路の延びる方向が変化する湾曲部と、を有し、湾曲部において、内側に配置される蒸気流路の流路断面積が、外側に配置される蒸気流路の流路断面積よりも大きい、ベーパーチャンバである。
【0010】
本開示の第３の態様は、ベーパーチャンバのための中間体が多面付けされたシートであって、内部に作動流体の流路となるべき中空部が設けられており、中空部は外部から遮断されている、シートである。
【発明の効果】
【0011】
第１の態様によれば、ベーパーチャンバの強度を高めることができる。
第２の態様によれば、方向が変化する流路を有するベーパーチャンバであっても熱輸送能力を高めることができる。
第３の態様によれば、作動流体が流れる流路の内面に酸化膜が生じ難い中間体を得ることができる。
第２の態様によれば、方向が変化する流路を有するベーパーチャンバであっても熱輸送能力を高めることができる。
第３の態様によれば、作動流体が流れる流路の内面に酸化膜が生じ難い中間体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下、本開示を図面に示す形態に基づき説明する。以下に示す図面では分かりやすさのため部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見やすさのため説明上不要な部分の図示や繰り返しとなる符号は省略することがある。
【0014】
［第１の形態］
図１には第１の形態にかかるベーパーチャンバ１の外観斜視図、図２にはベーパーチャンバ１の分解斜視図を表した。これら図及び以下に示す各図には必要に応じて便宜のため、方向を表す矢印（ｘ、ｙ、ｚ）も合わせて表示した。ｘｙ面内方向は平板状であるベーパーチャンバ１の板面方向であり、ｚ方向は厚さ方向である。
図１には第１の形態にかかるベーパーチャンバ１の外観斜視図、図２にはベーパーチャンバ１の分解斜視図を表した。これら図及び以下に示す各図には必要に応じて便宜のため、方向を表す矢印（ｘ、ｙ、ｚ）も合わせて表示した。ｘｙ面内方向は平板状であるベーパーチャンバ１の板面方向であり、ｚ方向は厚さ方向である。
【0015】
ベーパーチャンバ１は、図１、図２からわかるように第一シート１０及び第二シート２０を有している。そして、後で説明するように、この第一シート１０と第二シート２０とが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間２（例えば図１９参照）とされている。
【0016】
本形態で第一シート１０は全体としてシート状の部材である。図３には第一シート１０を内面１０ａ側から見た斜視図、図４には第一シート１０を内面１０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図５には図４にＩ１－Ｉ１で切断したときの第一シート１０の切断面を示した。
第一シート１０は、内面１０ａ、該内面１０ａとは反対側となる外面１０ｂ及び内面１０ａと外面１０ｂとを連結して厚さを形成する側面１０ｃを備え、内面１０ａ側に作動流体が還流する流路のためのパターンが形成されている。後述するようにこの第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが対向するようにして重ね合わされ中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。
第一シート１０は、内面１０ａ、該内面１０ａとは反対側となる外面１０ｂ及び内面１０ａと外面１０ｂとを連結して厚さを形成する側面１０ｃを備え、内面１０ａ側に作動流体が還流する流路のためのパターンが形成されている。後述するようにこの第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが対向するようにして重ね合わされ中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。
【0017】
図５からわかるように、本形態で第一シート１０は内面１０ａを形成する材料からなる層である内層１０ｄと、外面１０ｂを形成する材料からなる層である外層１０ｅと、を有して構成されている。すなわち、第一シート１０は複数の層が積層されてなり、そのうちの１つの層が内面１０ａを形成し、他の層が外面１０ｂを形成している。
本形態では側面１０ｃは、内層１０ｄの端面と外層１０ｅの端面により形成されている。
本形態では側面１０ｃは、内層１０ｄの端面と外層１０ｅの端面により形成されている。
【0018】
ここで、第一シート１０の内面１０ａ側には上記したように作動流体が移動するためのパターンが設けられているが、内層１０ｄは、このパターンのうち、作動流体が直接接触する面を構成する。そのため、内層１０ｄは、作動流体に対して化学的に安定であり、熱伝導率が高い材料からなることが好ましい。より具体的には例えば銅、及び、銅合金を用いることができる。特に銅、及び、銅合金を用いることにより、作動流体（特に水）との反応を抑制しつつ、熱輸送能力の向上を図り、さらには後述するようにベーパーチャンバの作製がしやすいものとなる。
【0019】
外層１０ｅは、内層１０ｄが内面１０ａ側に積層されるとともに、外面１０ｂを形成する。
外層１０ｅのうち内層１０ｄに接する側には、第一シート１０の内面１０ａ側に形成されたパターンが設けられている。ただし上記したように外層１０ｅの当該パターン部分は、流路を形成するものの、内層１０ｄに覆われており、作動流体が直接触れないようにされている。すなわち、外層１０ｅには作動流体の流路（凝縮液流路及び蒸気流路）となる溝が形成されており、この溝の内側に上記内層１０ｄが積層されている。
外層１０ｅのうち内層１０ｄに接する側には、第一シート１０の内面１０ａ側に形成されたパターンが設けられている。ただし上記したように外層１０ｅの当該パターン部分は、流路を形成するものの、内層１０ｄに覆われており、作動流体が直接触れないようにされている。すなわち、外層１０ｅには作動流体の流路（凝縮液流路及び蒸気流路）となる溝が形成されており、この溝の内側に上記内層１０ｄが積層されている。
【0020】
一方、本形態では、外層１０ｅのうち外面１０ｂとなる側の面は平坦面や若干の凹凸面等、ベーパーチャンバ１に配置される部品との接触が考慮された面となっている。
従って、本形態では、外層１０ｅは、内面１０ａ側で内層１０ｄと接触する面と、外面１０ｂとの距離（すなわち厚さ）がｘ方向の位置及びｙ方向の位置により異なるように構成されている。
これにより、流路を形成しつつも薄くしたベーパーチャンバであっても、ベーパーチャンバのとしての強度を維持することができる。
従って、本形態では、外層１０ｅは、内面１０ａ側で内層１０ｄと接触する面と、外面１０ｂとの距離（すなわち厚さ）がｘ方向の位置及びｙ方向の位置により異なるように構成されている。
これにより、流路を形成しつつも薄くしたベーパーチャンバであっても、ベーパーチャンバのとしての強度を維持することができる。
【0021】
そのため、外層１０ｅは、内層１０ｄよりも強度が高い材料からなることが好ましい。具体的には外層１０ｅの０．２％耐力又は上降伏点が、内層１０ｄの０．２％耐力又は上降伏点よりも大きいことが好ましい。これを満たすものであれば特に限定されることはないが、より高い強度のため、外層１０ｅの０．２％耐力又は上降伏点は１００ＭＰａ以上であることが好ましく、より好ましくは２００ＭＰａ以上である。
これにより、ベーパーチャンバに所望の流路を形成しつつも、これを薄型化したときであっても、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力に対してベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
また、外層１０ｅによりこのようにベーパーチャンバの強度向上を行うことができるため、内面１０ａ側に形成される作動流体が移動する流路のパターンについては強度に関する制約を緩和することができ、熱的な性能の向上に注目した設計が可能となるため、熱的な性能の観点からも利点があるといえる。
これにより、ベーパーチャンバに所望の流路を形成しつつも、これを薄型化したときであっても、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力に対してベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
また、外層１０ｅによりこのようにベーパーチャンバの強度向上を行うことができるため、内面１０ａ側に形成される作動流体が移動する流路のパターンについては強度に関する制約を緩和することができ、熱的な性能の向上に注目した設計が可能となるため、熱的な性能の観点からも利点があるといえる。
【0022】
外層１０ｅを構成する材料は特に限定されることはないが、熱の拡散の観点から熱伝導率が高い方が好ましく、１０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であることが好ましい。かかる観点から外層１０ｅを構成する材料は、ステンレス鋼、不変鋼（インバー）、コバール等の鉄系材料、チタン合金、及び、ニッケル合金等を挙げることができる。また、これらの金属にダイヤモンドやアルミナ、シリコンカーバイドなどの微粒子が含まれた複合材料を使用しても良い。
【0023】
内層１０ｄの厚さは仕様を考慮し、特に限定されることはないが、５μｍ以上２０μｍ以下であることが好ましい。内層１０ｄが５μmよりも薄いと外層１０ｅの材料と作動流体とが相互に影響を及ぼす可能性が高まる。一方、内層１０ｄが２０μmより厚いと製造の観点から困難が生じたり、面内ばらつきを含めた厚みの要求仕様を満たすことが困難になることや表面が粗くなったりする可能性が高まる。
【0024】
一方、外層１０ｅの厚さは、仕様によるので特に限定されることはないが、いずれの部位でも０．０２ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であることが好ましい。外層１０ｅに０．０２ｍｍより薄い部分があると変形を抑制する効果が小さくなる虞があり、０．５ｍｍより厚い部分があるとベーパーチャンバから外部への熱移動が阻害されたり、厚みの仕様を満たすことが困難になったりする。
【0025】
このような第一シート１０の厚さは、内層１０ｄと外層１０ｅとの合計とされるが、その具体的な厚さは特に限定されることはない。ただし、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．７５ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さは０．０２ｍｍ以上であることが好ましく、０．０５ｍｍ以上であってもよく、０．１ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより薄型のベーパーチャンバとして適用できる場面を多くすることができる。そして、ベーパーチャンバに所望の流路を形成しつつもこれを薄型化したときであっても、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力に対してベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
これにより薄型のベーパーチャンバとして適用できる場面を多くすることができる。そして、ベーパーチャンバに所望の流路を形成しつつもこれを薄型化したときであっても、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力に対してベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
【0026】
このような第一シート１０は本体１１及び注入部１２を備えている。本体１１は作動流体が還流する部位を形成するシート状であり、本形態では平面視で角が円弧状（いわゆるＲ）に形成された長方形である。なお、上記したように、本体１１及び注入部１２の内面１０ａは内層１０ｄからなり、外面１０ｂは外層１０ｅからなっている。
【0027】
注入部１２は第一シート１０と第二シート２０により形成された中空部に対して作動流体を注入する部位である。本形態では本体１１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート１０の注入部１２は内面１０ａ側も外面１０ｂ側も平坦面とされている。
【0028】
本体１１の内面１０ａ側には、作動流体が還流するための構造が形成されている。本体１１は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。
本体１１には、その内面１０ａ側に、外周接合部１３、外周液流路部１４、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６、及び、蒸気流路連通溝１７が具備されて構成されている。
本体１１には、その内面１０ａ側に、外周接合部１３、外周液流路部１４、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６、及び、蒸気流路連通溝１７が具備されて構成されている。
【0029】
外周接合部１３は、本体１１の内面１０ａ側に、該本体１１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部１３が第二シート２０の外周接合部２３に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることにより密閉空間２とされる。
図４、図５にＷ１で示した外周接合部１３の幅（外周接合部１３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は必要に応じて適宜設定することができるが、この幅Ｗ１は、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、２．５ｍｍ以下であってもよく、２．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｗ１が３ｍｍより大きくなると、密閉空間の内容積が小さくなり蒸気流路や凝縮液流路が十分確保できなくなる虞がある。一方、幅Ｗ１は０．２ｍｍ以上であることが好ましく、０．６ｍｍ以上であってもよく、０．８ｍｍ以上であってもよい。幅Ｗ１が０．２ｍｍより小さくなると第一シートと第二シートとの接合時における位置ずれが生じた際に接合面積が不足する虞がある。幅Ｗ１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
図４、図５にＷ１で示した外周接合部１３の幅（外周接合部１３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は必要に応じて適宜設定することができるが、この幅Ｗ１は、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、２．５ｍｍ以下であってもよく、２．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｗ１が３ｍｍより大きくなると、密閉空間の内容積が小さくなり蒸気流路や凝縮液流路が十分確保できなくなる虞がある。一方、幅Ｗ１は０．２ｍｍ以上であることが好ましく、０．６ｍｍ以上であってもよく、０．８ｍｍ以上であってもよい。幅Ｗ１が０．２ｍｍより小さくなると第一シートと第二シートとの接合時における位置ずれが生じた際に接合面積が不足する虞がある。幅Ｗ１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0030】
また外周接合部１３のうち、本体１１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴１３ａが設けられている。この穴１３ａは第二シート２０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。
【0031】
外周液流路部１４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図６には図５のうち矢印Ｉ２で示した部分、図７には図４にＩ３－Ｉ３で切断される部位の切断面を示した。いずれの図にも外周液流路部１４の断面形状が表れている。また、図８には図６に矢印Ｉ４で示した方向から見た外周液流路部１４を平面視した拡大図を表した。
【0032】
これらの図からわかるように、外周液流路部１４は本体１１の内面１０ａのうち、外周接合部１３の内側に沿って形成され、密閉空間２の外周に沿って設けられている。また、外周液流路部１４には、本体１１の外周方向に平行に延びる複数の溝である液流路溝１４ａが形成され、複数の液流路溝１４ａが、該液流路溝１４ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図６、図７からわかるように外周液流路部１４ではその断面において内面１０ａ側に、凹部である液流路溝１４ａと液流路溝１４ａの間である凸部１４ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
なお、この液流路溝１４ａは外層１０ｅに形成された溝の内側に内層１０ｄが積層されてなる溝である。
なお、この液流路溝１４ａは外層１０ｅに形成された溝の内側に内層１０ｄが積層されてなる溝である。
【0033】
このように複数の液流路溝１４ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１４ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路である凝縮液流路３（図２０等参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１４ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
【0034】
ここで液流路溝１４ａは溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側に具備される底部、及び底部とは向かい合わせとなる反対側の内面１０ａ側に具備される開口を備えている。
本形態で液流路溝１４ａはその断面が半楕円形状とされている。ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、及び、これらのいずれか複数を組み合せた形状であってもよい。
本形態で液流路溝１４ａはその断面が半楕円形状とされている。ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、及び、これらのいずれか複数を組み合せた形状であってもよい。
【0035】
さらに、本形態では、外周液流路部１４では、図８からわかるように隣り合う液流路溝１４ａは、所定の間隔で連通開口部１４ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１４ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができ、円滑な作動流体の還流が可能となる。
本形態では図８で示したように１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向の同じ位置に対向するように連通開口部１４ｃが配置されている。ただしこれに限定されることはなく、例えば図９に示したように、１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向で異なる位置に連通開口部１４ｃが配置されてもよい。すなわち、液流路溝が延びる方向と直交する方向に沿って凸部１４ｂと連通開口部１４ｃとが交互に配置されてもよい。
本形態では図８で示したように１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向の同じ位置に対向するように連通開口部１４ｃが配置されている。ただしこれに限定されることはなく、例えば図９に示したように、１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで液流路溝１４ａが延びる方向で異なる位置に連通開口部１４ｃが配置されてもよい。すなわち、液流路溝が延びる方向と直交する方向に沿って凸部１４ｂと連通開口部１４ｃとが交互に配置されてもよい。
【0036】
その他、例えば図１０～図１２に記載のような形態とすることもできる。図１０～図１２には、図８と同じ視点で、１つの凝縮液流路１４ａとこれを挟む２つの凸部１４ｂ、及び各凸部１４ｂに設けられた１つの連通開口部１４ｃを示した図を表した。これらはいずれも、当該視点（平面視）で凸部１４ｂ及び連通開口部１４ｃの形状が図８の例とは異なる。
すなわち、図８に示した凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてもその幅が他の部位と同じであり一定である。これに対して図１０～図１２に示した形状の凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されている。より具体的には、図１０の例では当該端部において角が円弧状となり角にＲが形成されることにより端部の幅が小さくなる例、図１１は端部が半円状とされることにより端部の幅が小さくなる例、図１２は端部が尖るように先細りとなる例である。
すなわち、図８に示した凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてもその幅が他の部位と同じであり一定である。これに対して図１０～図１２に示した形状の凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されている。より具体的には、図１０の例では当該端部において角が円弧状となり角にＲが形成されることにより端部の幅が小さくなる例、図１１は端部が半円状とされることにより端部の幅が小さくなる例、図１２は端部が尖るように先細りとなる例である。
【0037】
図１０～図１２に示したように、凸部１４ｂにおいて連通開口部１４ｃが形成される端部でその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されていることで、連通開口部１４ｃを作動流体が移動しやすくなり、隣り合う凝縮液流路３への作動流体の移動が容易となる。
【0038】
以上のような構成を備える外周液流路部１４は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４～図７にＷ２で示した外周液流路部１４の幅（液流路溝１４ａが配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は、ベーパーチャンバ全体の大きさ等から適宜設定することができるが、幅Ｗ２は、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、１．５ｍｍ以下であってもよく、１．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｗ２が３．０ｍｍを超えると内側の液流路や蒸気流路のための空間が十分にとれなくなる虞がある。一方、幅Ｗ２は０．１ｍｍ以上であることが好ましく、０．２ｍｍ以上であってもよく、０．４ｍｍ以上であってもよい。幅Ｗ２が０．１ｍｍより小さいと外側を還流する液の量が十分得られない虞がある。幅Ｗ２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
そして当該幅Ｗ２は第二シート２０の外周液流路部２４の幅Ｗ９（図１７参照）と同じであっても良いし、大きくても小さくてもよい。本形態では同じとされている。
図４～図７にＷ２で示した外周液流路部１４の幅（液流路溝１４ａが配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は、ベーパーチャンバ全体の大きさ等から適宜設定することができるが、幅Ｗ２は、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、１．５ｍｍ以下であってもよく、１．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｗ２が３．０ｍｍを超えると内側の液流路や蒸気流路のための空間が十分にとれなくなる虞がある。一方、幅Ｗ２は０．１ｍｍ以上であることが好ましく、０．２ｍｍ以上であってもよく、０．４ｍｍ以上であってもよい。幅Ｗ２が０．１ｍｍより小さいと外側を還流する液の量が十分得られない虞がある。幅Ｗ２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
そして当該幅Ｗ２は第二シート２０の外周液流路部２４の幅Ｗ９（図１７参照）と同じであっても良いし、大きくても小さくてもよい。本形態では同じとされている。
【0039】
液流路溝１４ａについて、図６、図８にＷ３で示した溝幅（液流路溝１４ａが配列される方向の大きさ、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、幅Ｗ３は２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。幅Ｗ３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ３の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図６、図７にＤ１で示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、深さＤ１は５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。深さＤ１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
以上のように構成することにより、還流に必要な凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮することができる。
また、図６、図７にＤ１で示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、深さＤ１は５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。深さＤ１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
以上のように構成することにより、還流に必要な凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮することができる。
【0040】
凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、幅Ｗ３を深さＤ１で割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点からＷ３はＤ１より大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
その中でも製造の観点からＷ３はＤ１より大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
【0041】
また、複数の液流路溝１４ａにおける隣り合う液流路溝１４ａのピッチは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、ピッチは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して凝縮液流路が潰れることを抑制することができる。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して凝縮液流路が潰れることを抑制することができる。
【0042】
連通開口部１４ｃについて、図８にＬ１で示した液流路溝１４ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、大きさＬ１は３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。大きさＬ１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＬ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0043】
また、図８にＬ２で示した液流路溝１４ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１４ｃのピッチは、２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＬ２は６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチＬ２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチＬ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0044】
図１～図５に戻って内側液流路部１５について説明する。内側液流路部１５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図１３には図５のうちＩ４で示した部分を示した。この図にも内側液流路部１５の断面形状が表れている。また、図１４には図１３に矢印Ｉ５で示した方向から見た内側液流路部１５を平面視した拡大図を示した。
【0045】
これらの図からわかるように、内側液流路部１５は本体１１の内面１０ａのうち、外周液流路部１４の環状である環の内側に形成された壁である。本形態の内側液流路部１５は、図３、図４からわかるように、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる壁であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部１５が短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
各内側液流路部１５には、内側液流路部１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝１５ａが形成され、複数の液流路溝１５ａが、該液流路溝１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図５、図１３からわかるように内側液流路部１５では、その断面において内面１０ａ側に、凹部である液流路溝１５ａと液流路溝１５ａの間の凸部１５ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。なお、この液流路溝１５ａは外層１０ｅに形成された溝の内側に内層１０ｄが積層されてなる溝である。
各内側液流路部１５には、内側液流路部１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝１５ａが形成され、複数の液流路溝１５ａが、該液流路溝１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図５、図１３からわかるように内側液流路部１５では、その断面において内面１０ａ側に、凹部である液流路溝１５ａと液流路溝１５ａの間の凸部１５ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。なお、この液流路溝１５ａは外層１０ｅに形成された溝の内側に内層１０ｄが積層されてなる溝である。
【0046】
このように複数の液流路溝１５ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１５ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路としての凝縮液流路３（図２０等参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１５ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
【0047】
ここで液流路溝１５ａは溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側に具備される底部、及び底部とは向かい合わせとなる反対側の部位で内面１０ａ側に具備される開口を備えている。
本形態で液流路溝１５ａはその断面が半楕円形状とされている。ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、及び、これらのいずれか複数を組み合わせた形状であってもよい。
本形態で液流路溝１５ａはその断面が半楕円形状とされている。ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、及び、これらのいずれか複数を組み合わせた形状であってもよい。
【0048】
さらに、図１４からわかるように隣り合う液流路溝１５ａは、所定の間隔で連通開口部１５ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１５ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができるため、円滑な作動流体の還流が可能となる。
この連通開口部１５ｃについても、連通開口部１４ｃと同様に、図９に示した例に倣って、液流路溝１５ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１５ｂと連通開口部１５ｃとが交互に配置されてもよい。また、図１０～図１２の例に倣って連通開口部１５ｃ及び凸部１５ｂの形状としてもよい。
この連通開口部１５ｃについても、連通開口部１４ｃと同様に、図９に示した例に倣って、液流路溝１５ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１５ｂと連通開口部１５ｃとが交互に配置されてもよい。また、図１０～図１２の例に倣って連通開口部１５ｃ及び凸部１５ｂの形状としてもよい。
【0049】
以上のような構成を備える内側液流路部１５は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４、図５、図１３にＷ４で示した内側液流路部１５の幅（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は、３０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ４は１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｇの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
当該幅Ｗ４は第二シートの内側液流路部２５の幅Ｗ１０（図１７参照）と同じであってもよいし、大きくても小さくてもよい。本形態では同じとされている。
図４、図５、図１３にＷ４で示した内側液流路部１５の幅（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は、３０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ４は１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｇの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
当該幅Ｗ４は第二シートの内側液流路部２５の幅Ｗ１０（図１７参照）と同じであってもよいし、大きくても小さくてもよい。本形態では同じとされている。
【0050】
また、複数の内側液流路部１５のピッチは４０００μｍ以下であることが好ましく、３０００μｍ以下であってもよく、２０００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは２００μｍ以上であることが好ましく、４００μｍ以上であってもよく、８００μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより蒸気流路の流路抵抗を下げ、蒸気の移動と、凝縮液の還流とをバランスよく行うことができる。
これにより蒸気流路の流路抵抗を下げ、蒸気の移動と、凝縮液の還流とをバランスよく行うことができる。
【0051】
液流路溝１５ａについて、図１３、図１４にＷ５で示した溝幅（液流路溝１５ａが配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ５は２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ５の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ５の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図１３にＤ２で示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ２は５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。この深さＤ２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより還流に必要な凝縮液流路の毛細管力を強く発揮することができる。
また、図１３にＤ２で示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ２は５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。この深さＤ２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより還流に必要な凝縮液流路の毛細管力を強く発揮することができる。
【0052】
流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、幅Ｗ５を深さＤ２で割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。１．５以上であってもよいし、２．０以上であってもよい。又は１．０よりも小さくてもよく、０．７５以下でもよく０．５以下でもよい。
その中でも製造の観点から幅Ｗ５は深さＤ２よりも大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
その中でも製造の観点から幅Ｗ５は深さＤ２よりも大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
【0053】
また、複数の液流路溝１５ａにおける隣り合う液流路溝１５ａのピッチは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して流路が潰れることを抑制することができる。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して流路が潰れることを抑制することができる。
【0054】
さらに、連通開口部１５ｃについて、図１４にＬ３で示した液流路溝１５ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、この大きさＬ３は３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。この大きさＬ３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＬ３の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図１４にＬ４で示した、液流路溝１５ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１５ｃのピッチは、２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＬ４は６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチＬ４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、このピッチＬ４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図１４にＬ４で示した、液流路溝１５ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１５ｃのピッチは、２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＬ４は６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチＬ４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、このピッチＬ４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0055】
上記した本形態の液流路溝１４ａ及び液流路溝１５ａは等間隔に離間して互いに平行に配置されているが、これに限られることは無く、毛細管作用を奏することができれば溝同士のピッチがばらついても良く、また溝同士が平行でなくても良い。
【0056】
次に蒸気流路溝１６について説明する。蒸気流路溝１６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位で、第１流路である蒸気流路４（図１９等参照）の一部を構成する。図４には平面視した蒸気流路溝１６の形状、図５には蒸気流路溝１６の断面形状がそれぞれ表れている。
【0057】
これら図からもわかるように、蒸気流路溝１６は本体１１の内面１０ａのうち、外周液流路部１４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１６は、隣り合う内側液流路部１５の間、及び、外周液流路部１４と内側液流路部１５との間に形成され、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝１６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図５からわかるように第一シート１０は、ｙ方向において、外周液流路部１４及び内側液流路部１５である壁を凸とし、蒸気流路溝１６を凹とした凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝１６は溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側となる底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側で内面１０ａ側に開口を備えている。
なお、この蒸気流路溝１６は外層１０ｅに形成された溝の内側に内層１０ｄが積層されてなる溝である。
ここで蒸気流路溝１６は溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側となる底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側で内面１０ａ側に開口を備えている。
なお、この蒸気流路溝１６は外層１０ｅに形成された溝の内側に内層１０ｄが積層されてなる溝である。
【0058】
このような構成を備える蒸気流路溝１６は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４、図５にＷ６で示した蒸気流路溝１６の幅（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、少なくとも上記した液流路溝１４ａの幅Ｗ３、液流路溝１５ａの幅Ｗ５より大きく形成され、２０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ６は１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ６の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ６の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の
候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
蒸気流路溝１６のピッチは、内側液流路部１５のピッチにより決まるのが通常である。
一方、図５にＤ３で示した蒸気流路溝１６の深さは、少なくとも上記した液流路溝１４ａの深さＤ１、液流路溝１５ａの深さＤ２より大きく形成され、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ３は１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ３の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
このように、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝の流路断面積よりも大きくすることにより、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に還流することができる。
図４、図５にＷ６で示した蒸気流路溝１６の幅（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、少なくとも上記した液流路溝１４ａの幅Ｗ３、液流路溝１５ａの幅Ｗ５より大きく形成され、２０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ６は１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ６の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ６の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の
候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
蒸気流路溝１６のピッチは、内側液流路部１５のピッチにより決まるのが通常である。
一方、図５にＤ３で示した蒸気流路溝１６の深さは、少なくとも上記した液流路溝１４ａの深さＤ１、液流路溝１５ａの深さＤ２より大きく形成され、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ３は１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ３の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
このように、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝の流路断面積よりも大きくすることにより、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に還流することができる。
【0059】
本形態では蒸気流路溝１６の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又はこれらのいずれか複数を組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより、作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
【0060】
本形態では隣り合う内側液流路部１５の間に１つの蒸気流路溝１６が形成された例を説明したが、これに限らず、隣り合う内側液流路部の間に２つ以上の蒸気流路溝が並べて配置される形態であってもよい。
また、第二シート２０に蒸気流路溝が形成されていれば、第一シート１０の一部または全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。
また、第二シート２０に蒸気流路溝が形成されていれば、第一シート１０の一部または全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。
【0061】
蒸気流路連通溝１７は、複数の蒸気流路溝１６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路溝１６内の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。
【0062】
本形態の蒸気流路連通溝１７は、図３、図４からわかるように、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６が延びる方向の両端部と、外周液流路部１４との間に形成されている。また、図７には図４にＩ３－Ｉ３で示した線に沿って切断面で、蒸気流路連通溝１７の連通方向に直交する断面が表れている。
図２～図４では、わかり易さのため蒸気流路溝１６と蒸気流路連通溝１７との境界となるべき部分に点線を付した。ただしこの線は必ずしも形状により表れる線ではなくわかり易さのために付した仮想の線である。
図２～図４では、わかり易さのため蒸気流路溝１６と蒸気流路連通溝１７との境界となるべき部分に点線を付した。ただしこの線は必ずしも形状により表れる線ではなくわかり易さのために付した仮想の線である。
【0063】
蒸気流路連通溝１７は、隣り合う蒸気流路溝１６を連通させるように形成されていればよく、その形状は特に限定されることはないが、例えば次のような構成を備えることができる。
図４、図７にＷ７で示した蒸気流路連通溝１７の幅（連通方向に直交する方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、７５０μｍ以下であってもよく、５００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ７は１００μｍ以上であることが好ましく、１５０μｍ以上であってもよく、２００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ７の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ７の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図７にＤ４で示した蒸気流路連通溝１７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ４は１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
図４、図７にＷ７で示した蒸気流路連通溝１７の幅（連通方向に直交する方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、７５０μｍ以下であってもよく、５００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ７は１００μｍ以上であることが好ましく、１５０μｍ以上であってもよく、２００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ７の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ７の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図７にＤ４で示した蒸気流路連通溝１７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ４は１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0064】
本形態で蒸気流路連通溝１７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形又は、これらのいずれか複数の組み合わせであってもよい。
蒸気流路連通溝は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
なおこの蒸気流路連通溝１７も、外層１０ｅに設けられた溝及びこの溝の内側に積層された内層１０ｄからなる溝である。
蒸気流路連通溝は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
なおこの蒸気流路連通溝１７も、外層１０ｅに設けられた溝及びこの溝の内側に積層された内層１０ｄからなる溝である。
【0065】
本形態では、本体１１の外面１０ｂは平坦面となるように構成されている。これにより外面１０ｂに密着すべき部材（例えば冷却対象である電子部品や、熱を伝達させるべき電子機器の筐体等。）への密着性を高めることができる。ただし、外面１０ｂの形状はこれに限らずその目的に応じて凹凸を有していてもよい。
ここで、外面１０ｂは内面１０ａに対応した形状とはなっておらず、外面１０ｂが目的とする熱の伝達等に寄与できるような形状とされている。そして、この外面１０ｂは上記したように外層１０ｅにより形成されている。従って、外層１０ｅはｘ方向位置及びｙ方向位置によって厚さが異なる。
このような内面１０ａ、外面１０ｂ、及び、これを構成する内層１０ｄ、外層１０ｅにより、ベーパーチャンバに所望の流路を形成しつつもこれを薄型化したときであっても、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力に対してベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
ここで、外面１０ｂは内面１０ａに対応した形状とはなっておらず、外面１０ｂが目的とする熱の伝達等に寄与できるような形状とされている。そして、この外面１０ｂは上記したように外層１０ｅにより形成されている。従って、外層１０ｅはｘ方向位置及びｙ方向位置によって厚さが異なる。
このような内面１０ａ、外面１０ｂ、及び、これを構成する内層１０ｄ、外層１０ｅにより、ベーパーチャンバに所望の流路を形成しつつもこれを薄型化したときであっても、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力に対してベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
【0066】
次に第二シート２０について説明する。本形態で第二シート２０も全体としてシート状の部材である。図１５には第二シート２０を内面２０ａ側から見た斜視図、図１６には第二シート２０を内面２０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図１７には図１６にＩ６－Ｉ６で切断したときの第二シート２０の切断面を示した。また、図１８には図１６にＩ７－Ｉ７で切断したときの第二シート２０の切断面を示した。
第二シート２０は、内面２０ａ、該内面２０ａとは反対側となる外面２０ｂ及び内面２０ａと外面２０ｂとを連結し厚さを形成する側面２０ｃを備え、内面２０ａ側に作動流体が還流するパターンが形成されている。後述するようにこの第二シート２０の内面２０ａと上記した第一シート１０の内面１０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体を封入することで密閉空間２となる。
第二シート２０は、内面２０ａ、該内面２０ａとは反対側となる外面２０ｂ及び内面２０ａと外面２０ｂとを連結し厚さを形成する側面２０ｃを備え、内面２０ａ側に作動流体が還流するパターンが形成されている。後述するようにこの第二シート２０の内面２０ａと上記した第一シート１０の内面１０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体を封入することで密閉空間２となる。
【0067】
図１６、図１７からわかるように、本形態で第二シート２０は内面２０ａを形成する材料からなる層である内層２０ｄと、外面２０ｂを形成する材料からなる層である外層２０ｅとを有して構成されている。すなわち、第二シート２０は複数の層が積層されてなり、そのうちの１つの層が内面２０ａを形成し、他の層が外面２０ｂを形成している。
本形態では側面２０ｃは、内層２０ｄの端面と外層２０ｅの端面により形成されている。
本形態では側面２０ｃは、内層２０ｄの端面と外層２０ｅの端面により形成されている。
【0068】
ここで、第二シート２０の内面２０ａ側には作動流体が移動するためのパターンが設けられているが、内層２０ｄは、このパターンのうち、作動流体が直接接触する面を構成する。そのため、内層２０ｄは、作動流体に対して化学的に安定であり、熱伝導率が高い材料からなることが好ましい。そのため例えば銅、及び、銅合金を用いることができる。特に銅、及び、銅合金を用いることにより、作動流体（特に水）との反応を抑制しつつ、熱輸送能力の向上を図り、さらには後述するようなエッチング及び拡散接合によるベーパーチャンバの作製がしやすいものとなる。
【0069】
外層２０ｅは、内層２０ｄが内面２０ａ側に積層されるとともに、外面２０ｂを形成する。
外層２０ｅのうち内層２０ｄに接する側には、第二シート２０の内面２０ａ側に形成されたパターンが設けられている。ただし上記したように外層２０ｅの当該パターン部分は、流路を形成するものの、内層２０ｄに覆われており、作動流体が直接触れないようにされている。すなわち、外層２０ｅは流路となる溝を有しており、この溝の内側に上記の内層２０ｄが積層されている。
外層２０ｅのうち内層２０ｄに接する側には、第二シート２０の内面２０ａ側に形成されたパターンが設けられている。ただし上記したように外層２０ｅの当該パターン部分は、流路を形成するものの、内層２０ｄに覆われており、作動流体が直接触れないようにされている。すなわち、外層２０ｅは流路となる溝を有しており、この溝の内側に上記の内層２０ｄが積層されている。
【0070】
一方、本形態では、外層２０ｅのうち外面２０ｂとなる側の面は平坦面や若干の凹凸面等、ベーパーチャンバ１に配置される部品との接触が考慮されている。
従って、本形態では、外層２０ｅは、内面２０ａ側で内層２０ｄと接触する面と、外面２０ｂとの距離（すなわち厚さ）がｘ方向の位置及びｙ方向の位置により異なるように構成されている。
これにより、流路を形成しつつも薄くしたベーパーチャンバであっても、ベーパーチャンバとして必要な強度を具備することができる。
従って、本形態では、外層２０ｅは、内面２０ａ側で内層２０ｄと接触する面と、外面２０ｂとの距離（すなわち厚さ）がｘ方向の位置及びｙ方向の位置により異なるように構成されている。
これにより、流路を形成しつつも薄くしたベーパーチャンバであっても、ベーパーチャンバとして必要な強度を具備することができる。
【0071】
そのため、外層２０ｅは、内層２０ｄよりも強度が高い材料からなることが好ましい。具体的には外層２０ｅの０．２％耐力又は上降伏点が、内層２０ｄの０．２％耐力又は上降伏点よりも大きいことが好ましい。これを満たすものであれば特に限定されることはないが、より高い強度のため、外層２０ｅの０．２％耐力又は上降伏点は、１００ＭＰａ以上であることが好ましく、より好ましくは２００ＭＰａ以上である。
これにより、ベーパーチャンバに所望の流路を形成しつつもこれを薄型化したときであっても、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力に対してベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
また、外層２０ｅによりこのようにベーパーチャンバの強度向上を行うことができるため、内面２０ａ側に形成される作動流体が移動する流路のパターンについては強度に関する制約を緩和することができ、熱的な性能の向上に注目した設計が可能となるため、熱的な性能の観点からも利点があるといえる。
これにより、ベーパーチャンバに所望の流路を形成しつつもこれを薄型化したときであっても、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力に対してベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
また、外層２０ｅによりこのようにベーパーチャンバの強度向上を行うことができるため、内面２０ａ側に形成される作動流体が移動する流路のパターンについては強度に関する制約を緩和することができ、熱的な性能の向上に注目した設計が可能となるため、熱的な性能の観点からも利点があるといえる。
【0072】
外層２０ｅを構成する材料は特に限定されることはないが、熱の拡散の観点から熱伝導率が高い方が好ましく、１０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であることが好ましい。かかる観点から外層２０ｅを構成する材料は、ステンレス鋼、不変鋼（インバー）、コバール等の鉄系材料、チタン合金、及び、ニッケル合金等を挙げることができる。また、これらの金属にダイヤモンドやアルミナ、シリコンカーバイドなどの微粒子が含まれた複合材料を使用しても良い。
【0073】
内層２０ｄの厚さは仕様を考慮し特に限定されることはないが、５μｍ以上２０μｍ以下であることが好ましい。内層２０ｄが５μｍよりも薄いと外層２０ｅの材料と作動流体とが相互に影響を及ぼす可能性が高まる。一方、内層２０ｄが２０μｍより厚いと製造の観点から困難が生じたり、面内ばらつきを含めた厚みの要求仕様を満たすことが困難になったり、表面が粗くなったりする可能性が高まる。
【0074】
一方、外層２０ｅの厚さは、仕様によるので特に限定されることはないが、いずれの部位でも０．０２ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であることが好ましい。外層２０ｅに０．０２ｍｍより薄い部分があると変形を抑制する効果が小さくなる虞があり、０．５ｍｍより厚い部分があるとベーパーチャンバから外部への熱移動が阻害されたり、厚みの仕様を満たすことが困難になったりする。
【0075】
このような第二シート２０の厚さは、内層２０ｄと外層２０ｅとの合計とされるが、その具体的な厚さは特に限定されることはない。ただし、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．７５ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さは０．０２ｍｍ以上であることが好ましく、０．０５ｍｍ以上であってもよく、０．１ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより薄型のベーパーチャンバとして適用できる場面を多くすることができる。そして、ベーパーチャンバに所望の流路を形成しつつもこれを薄型化したときであっても、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力に対してベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
また、第一シート１０と第二シート２０との厚さは同じであってもよく、異なるものであってもよい。
これにより薄型のベーパーチャンバとして適用できる場面を多くすることができる。そして、ベーパーチャンバに所望の流路を形成しつつもこれを薄型化したときであっても、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力に対してベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
また、第一シート１０と第二シート２０との厚さは同じであってもよく、異なるものであってもよい。
【0076】
このような第二シート２０は本体２１及び注入部２２を備えている。本体２１は作動流体が還流する部位を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角に円弧（いわゆるＲ）が形成された長方形である。
ただし、第二シート２０の本体２１は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。
ただし、第二シート２０の本体２１は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。
【0077】
注入部２２は第一シート１０と第二シート２０とにより形成された中空部に対して作動流体を注入して密閉空間２（図１９参照）とする部位であり、本形態では本体２１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第二シート２０の注入部２２には内面２０ａ側に注入溝２２ａが形成されており、第二シート２０の側面２０ｃから本体２１の外側と内側（中空部、密閉空間２となるべき部位）とが連通している。
【0078】
本体２１の内面２０ａ側には、作動流体が還流するための構造が形成されている。具体的には、本体２１の内面２０ａ側には、外周接合部２３、外周液流路部２４、内側液流路部２５、蒸気流路溝２６、及び、蒸気流路連通溝２７が具備されている。
【0079】
外周接合部２３は、本体２１の内面２０ａ側に、該本体２１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部２３が第一シート１０の外周接合部１３に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部を形成し、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。
図１６～図１８にＷ８で示した外周接合部２３の幅（外周接合部２３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は上記した本体１１の外周接合部１３の幅Ｗ１と同じであることが好ましい。ただしこれに限らず大きくてもよく、小さくてもよい。
図１６～図１８にＷ８で示した外周接合部２３の幅（外周接合部２３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は上記した本体１１の外周接合部１３の幅Ｗ１と同じであることが好ましい。ただしこれに限らず大きくてもよく、小さくてもよい。
【0080】
また外周接合部２３のうち、本体２１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴２３ａが設けられている。この穴２３ａは第一シート１０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。
【0081】
外周液流路部２４は、液流路部であり、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。
【0082】
外周液流路部２４は本体２１の内面２０ａのうち、外周接合部２３の内側に沿って形成されている。本形態において第二シート２０の外周液流路部２４は、図１７、図１８からわかるように、第一シート１０との接合前において平坦面であり外周接合部２３と面一である。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１４ａの開口を閉鎖して第２流路である凝縮液流路３を形成する。第一シート１０と第二シート２０との組み合わせに関する詳しい態様は後で説明する。
なお、このように本形態の第二シート２０では外周接合部２３と外周液流路部２４とが面一であるため、構造的には両者を区別する境界線は存在しない。しかし、わかり易さのため、図１５、図１６では点線により両者の境界を表している。
なお、このように本形態の第二シート２０では外周接合部２３と外周液流路部２４とが面一であるため、構造的には両者を区別する境界線は存在しない。しかし、わかり易さのため、図１５、図１６では点線により両者の境界を表している。
【0083】
外周液流路部２４は、次のような構成を備えていることが好ましい。
図１６～図１８にＷ９で示した外周液流路部２４の幅（外周液流路部２４が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は、第一シート１０の外周液流路部１４の幅Ｗ２と同じでもよいし、大きくても小さくてもよい。
図１６～図１８にＷ９で示した外周液流路部２４の幅（外周液流路部２４が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は、第一シート１０の外周液流路部１４の幅Ｗ２と同じでもよいし、大きくても小さくてもよい。
【0084】
次に内側液流路部２５について説明する。内側液流路部２５も液流路部であり、第２流路である凝縮液流路３を構成する１つの部位である。
【0085】
内側液流路部２５は、図１５～図１８からわかるように、本体２１の内面２０ａのうち、外周液流路部２４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部２５は、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる壁で、複数（本形態では３つ）の内側液流路部２５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
本形態で各内側液流路部２５は、その内面２０ａ側の表面が、第一シート１０との接合前において平坦面により形成されている。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１５ａの開口を閉鎖して凝縮液流路３を形成する。
本形態で各内側液流路部２５は、その内面２０ａ側の表面が、第一シート１０との接合前において平坦面により形成されている。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１５ａの開口を閉鎖して凝縮液流路３を形成する。
【0086】
図１６、図１７にＷ１０で示した内側液流路部２５の幅（内側液流路部２５と蒸気流路溝２６が配列される方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は、第一シート１０の内側液流路部１５の幅Ｗ４と同じであってもよいし、大きくても小さくてもよい。本形態では同じとされている。
【0087】
なお、本形態では各内側液流路部２５では接合前において平坦面により形成されているが、第一シートと同様に液流路溝を形成しても良い。また、その場合は、液流路溝同士は平面視で同じ位置にあってもよく、ずれていてもよい。
【0088】
次に蒸気流路溝２６について説明する。蒸気流路溝２６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位であり、第１流路である蒸気流路４の一部を構成する。図１６には平面視した蒸気流路溝２６の形状、図１７には蒸気流路溝２６の断面形状がそれぞれ表れている。
【0089】
これらの図からもわかるように、蒸気流路溝２６は本体２１の内面２０ａのうち、外周液流路部２４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝２６は、隣り合う内側液流路部２５の間、及び、外周液流路部２４と内側液流路部２５との間に形成され、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝２６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図１７からわかるように第二シート２０は、ｙ方向において、外周液流路部２４及び内側液流路部２５である壁による凸と、蒸気流路溝２６である溝による凹とにより、凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝２６は溝であることから、その断面形状において、外面２０ｂ側である底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側の部位で内面２０ａ側となる開口を備えている。
なお、この蒸気流路溝２６は外層２０ｅに形成された溝、及びこの溝の内側に内層２０ｄが積層されてなる溝である。
ここで蒸気流路溝２６は溝であることから、その断面形状において、外面２０ｂ側である底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側の部位で内面２０ａ側となる開口を備えている。
なお、この蒸気流路溝２６は外層２０ｅに形成された溝、及びこの溝の内側に内層２０ｄが積層されてなる溝である。
【0090】
蒸気流路溝２６は、第一シート１０と組み合わされた際に該第一シート１０の蒸気流路溝１６と厚さ方向に重なる位置に配置されていることが好ましい。これにより蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とで第１流路である蒸気流路４を形成することができる。
【0091】
図１６、図１７にＷ１１で示した蒸気流路溝２６の幅（内側液流路部２５と蒸気流路溝２６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、第一シート１０の蒸気流路溝１６の幅Ｗ６と同じであってもよいし、大きくても小さくてもよい。
また、図１７にＤ５で示した蒸気流路溝２６の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ５は１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ５の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ５の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また第一シート１０の蒸気流路溝１６と第二シート２０の蒸気流路溝２６の深さは同じであってもよく、大きくても小さくてもよい。
また、図１７にＤ５で示した蒸気流路溝２６の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ５は１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ５の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ５の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また第一シート１０の蒸気流路溝１６と第二シート２０の蒸気流路溝２６の深さは同じであってもよく、大きくても小さくてもよい。
【0092】
本形態で蒸気流路溝２６の断面形状は半楕円形であるが、長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又はこれらのいくつかを組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体を円滑に還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
【0093】
本形態では隣り合う内側液流路部２５の間に１つの蒸気流路溝２６が形成された例を説明したが、これに限らず、隣り合う内側液流路部の間に２つ以上の蒸気流路溝が並べて配置される形態であってもよい。
また、第一シート１０に蒸気流路溝が形成されていれば、第二シート２０の一部または全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。
また、第一シート１０に蒸気流路溝が形成されていれば、第二シート２０の一部または全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。
【0094】
蒸気流路連通溝２７は、複数の蒸気流路溝２６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路４内の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。
【0095】
本形態の蒸気流路連通溝２７は、図１５、図１６、図１８からわかるように、内側液流路部２５、及び蒸気流路溝２６が延びる方向の端部と、外周液流路部２４との間に形成されている。また、図１８には蒸気流路連通溝２７の連通方向に直交する断面が表れている。
【0096】
図１６、図１８にＷ１２で示した蒸気流路連通溝２７の幅（連通方向に直交する方向の大きさ、溝の開口面における幅）は、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の幅Ｗ７と同じでもよいし、大きくても小さくてもよい。また、図１８にＤ６で示した蒸気流路連通溝２７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ６は１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ６の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ６の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また第一シート１０の蒸気流路連通溝１７と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の深さは同じでもよく、大きくても小さくてもよい。
また第一シート１０の蒸気流路連通溝１７と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の深さは同じでもよく、大きくても小さくてもよい。
【0097】
本形態で蒸気流路連通溝２７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又は、これらのいくつかを組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより円滑な還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
なお、蒸気流路連通溝２７も、外層２０ｅに設けられた溝、及びこの溝の内側に積層された内層２０ｄからなる溝である。
なお、蒸気流路連通溝２７も、外層２０ｅに設けられた溝、及びこの溝の内側に積層された内層２０ｄからなる溝である。
【0098】
本形態では、本体２１の外面２０ｂは平坦面となるように構成されている。これにより外面２０ｂに密着すべき部材（例えば冷却対象である電子部品や、熱を伝達させるべき電子機器の筐体等。）への密着性を高めることができる。ただし、外面２０ｂの形状はこれに限らずその目的に応じて凹凸を有していてもよい。
ここで、外面２０ｂは内面２０ａに対応した形状とはなっておらず、外面２０ｂが目的とする熱の伝達等に寄与できるような形状とされている。そして、この外面２０ｂは上記したように外層２０ｅにより形成されている。従って、外層２０ｅはｘ方向位置及びｙ方向位置によって厚さが異なる。
このような内面２０ａ、外面２０ｂ、及び、これを構成する内層２０ｄ、外層２０ｅにより、ベーパーチャンバに所望の流路を形成しつつもこれを薄型化したときであっても、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力に対してベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
ここで、外面２０ｂは内面２０ａに対応した形状とはなっておらず、外面２０ｂが目的とする熱の伝達等に寄与できるような形状とされている。そして、この外面２０ｂは上記したように外層２０ｅにより形成されている。従って、外層２０ｅはｘ方向位置及びｙ方向位置によって厚さが異なる。
このような内面２０ａ、外面２０ｂ、及び、これを構成する内層２０ｄ、外層２０ｅにより、ベーパーチャンバに所望の流路を形成しつつもこれを薄型化したときであっても、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力に対してベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
【0099】
次に、第一シート１０と第二シート２０とが組み合わされてベーパーチャンバ１とされたときの構造について説明する。この説明により、第一シート１０及び第二シート２０が有する各構成の配置、大きさ、形状等がさらに理解される。
図１９には、図１にＩ８－Ｉ８で示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバ１を厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は第一シート１０における図５に表した図と、第二シート２０における図１７に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１の切断面が表されたものである。
図２０には図１９にＩ９で示した部位を拡大した図、図２１には、図１にＩ１０－Ｉ１０で示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバ１の厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は、第一シート１０における図７に表した図と、第二シート２０における図１８に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１の切断面が表されたものである。
図１９には、図１にＩ８－Ｉ８で示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバ１を厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は第一シート１０における図５に表した図と、第二シート２０における図１７に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１の切断面が表されたものである。
図２０には図１９にＩ９で示した部位を拡大した図、図２１には、図１にＩ１０－Ｉ１０で示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバ１の厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は、第一シート１０における図７に表した図と、第二シート２０における図１８に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１の切断面が表されたものである。
【0100】
図１、図２、及び図１９～図２１よりわかるように、第一シート１０と第二シート２０とが重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバ１とされている。このとき第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが向かい合うように配置されており、第一シート１０の本体１１と第二シート２０の本体２１とが重なり、第一シート１０の注入部１２と第二シート２０の注入部２２とが重なっている。すなわち、第一シート１０の内層１０ｄと第二シート２０の外層２０ｅとが重なっている。
本形態では、第一シート１０と第二シート２０との相対的な位置関係は、第一シート１０の穴１３ａと第二シート２０の穴２３ａと位置を合わせることで適切になるように構成されている。
本形態では、第一シート１０と第二シート２０との相対的な位置関係は、第一シート１０の穴１３ａと第二シート２０の穴２３ａと位置を合わせることで適切になるように構成されている。
【0101】
【0102】
第一シート１０の外周接合部１３と第二シート２０の外周接合部２３とが重なるように配置されており、拡散接合やろう付け等の接合手段により両者が接合されている。これにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間２とされている。
【0103】
第一シート１０の外周液流路部１４と第二シート２０の外周液流路部２４とが重なるように配置されている。これにより外周液流路部１４の液流路溝１４ａ及び外周液流路部２４により中空部のうち、作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３が形成される。
同様に、第一シート１０の内側液流路部１５と第二シート２０の内側液流路部２５とが重なるように配置されている。これにより内側液流路部１５の液流路溝１５ａ及び内側液流路部２５により中空部のうち、凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３が形成される。
このように断面においてその四方を壁で囲まれた細い流路を形成することにより強い毛細管力で凝縮液を移動させ、円滑な循環が可能となる。すなわち、凝縮液が流れることを想定した流路を考えたとき、該流路の１つの面が連続的に開放されているようないわゆる溝による流路に比べて、上記凝縮液流路３によれば高い毛細管力を得ることができる。
また、凝縮液流路３は第１流路である蒸気流路４とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。
さらに、隣り合う凝縮液流路３は連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃにより互いに連通しているので、凝縮液の均等化が図られており、さらに作動流体の循環が円滑にされている。
同様に、第一シート１０の内側液流路部１５と第二シート２０の内側液流路部２５とが重なるように配置されている。これにより内側液流路部１５の液流路溝１５ａ及び内側液流路部２５により中空部のうち、凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３が形成される。
このように断面においてその四方を壁で囲まれた細い流路を形成することにより強い毛細管力で凝縮液を移動させ、円滑な循環が可能となる。すなわち、凝縮液が流れることを想定した流路を考えたとき、該流路の１つの面が連続的に開放されているようないわゆる溝による流路に比べて、上記凝縮液流路３によれば高い毛細管力を得ることができる。
また、凝縮液流路３は第１流路である蒸気流路４とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。
さらに、隣り合う凝縮液流路３は連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃにより互いに連通しているので、凝縮液の均等化が図られており、さらに作動流体の循環が円滑にされている。
【0104】
凝縮液流路３については流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、流路幅を流路高さで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点から流路幅が流路高さより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
その中でも製造の観点から流路幅が流路高さより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
【0105】
一方、図１９、図２０からわかるように、第一シート１０の蒸気流路溝１６の開口と第二シート２０の蒸気流路溝２６の開口とが向かい合うように重なって流路を形成し、これが蒸気が流れる第１流路である蒸気流路４となる。
上記した第２流路である凝縮液流路３の流路断面積は、当該第１流路である蒸気流路４の流路断面積より小さくされている。より具体的には、隣り合う２つの蒸気流路４（本形態では１つの蒸気流路溝１６及び１つの蒸気流路溝２６により形成される流路）の平均の流路断面積をＡｇとし、この隣り合う２つの蒸気流路４の間に配置される複数の凝縮液流路３（本形態では１つの内側液流路部１５、及び、１つの内側液流路溝２５により形成される複数の凝縮液流路３）の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、凝縮液流路３と蒸気流路４とは、ＡｌがＡｇの０．５倍以下の関係にあるものとし、好ましくは０．２５倍以下である。これにより作動流体はその相態様（気相、液相）によって第１流路と第２流路とを選択的に通り易くなる。
この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。
上記した第２流路である凝縮液流路３の流路断面積は、当該第１流路である蒸気流路４の流路断面積より小さくされている。より具体的には、隣り合う２つの蒸気流路４（本形態では１つの蒸気流路溝１６及び１つの蒸気流路溝２６により形成される流路）の平均の流路断面積をＡｇとし、この隣り合う２つの蒸気流路４の間に配置される複数の凝縮液流路３（本形態では１つの内側液流路部１５、及び、１つの内側液流路溝２５により形成される複数の凝縮液流路３）の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、凝縮液流路３と蒸気流路４とは、ＡｌがＡｇの０．５倍以下の関係にあるものとし、好ましくは０．２５倍以下である。これにより作動流体はその相態様（気相、液相）によって第１流路と第２流路とを選択的に通り易くなる。
この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。
【0106】
図２１からわかるように、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の開口と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の開口とが向かい合うように重なり流路を形成する。
【0107】
一方、注入部１２、注入部２２についても図１、図２に表れているように、その内面１０ａ、内面２０ａ同士が向かい合うように重なり、第二シート２０の注入溝２２ａの底部とは反対側の開口が第一シート１０の注入部１２の内面１０ａにより塞がれ、外部と本体１１、本体２１間の中空部（凝縮液流路３及び蒸気流路４）とを連通する注入流路５が形成されている。
ただし、注入流路５から中空部に対して作動流体を注入した後は、注入流路５は閉鎖されて密閉空間２となるので、最終的な形態のベーパーチャンバ１では外部と中空部とは連通していない。
本形態で注入部１２、注入部２２は、ベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、他のいずれかの端部に配置されていてもよく、複数配置されてもよい。複数配置される場合には例えばベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のそれぞれに配置されてもよいし、他の一対の端部のうちの一方の端部に配置されもよい。
ただし、注入流路５から中空部に対して作動流体を注入した後は、注入流路５は閉鎖されて密閉空間２となるので、最終的な形態のベーパーチャンバ１では外部と中空部とは連通していない。
本形態で注入部１２、注入部２２は、ベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、他のいずれかの端部に配置されていてもよく、複数配置されてもよい。複数配置される場合には例えばベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のそれぞれに配置されてもよいし、他の一対の端部のうちの一方の端部に配置されもよい。
【0108】
ベーパーチャンバ１の密閉空間２には、作動流体が封入されている。作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン、及びそれらの混合物等、通常のベーパーチャンバに用いられる作動流体を用いることができる。
【0109】
以上のようにベーパーチャンバ１において、凝縮液流路３及び蒸気流路４は、外層１０ｅ、外層２０ｅ、内層１０ｄ、及び内層２０ｄにより構成されており、凝縮液流路３及び蒸気流路４の内面は内層１０ｄ及び内層２０ｄからなる。
【0110】
一方、本形態では、ベーパーチャンバ１の外側は、外層１０ｅ及び外層２０ｅにより形成されており、その形態は内側である凝縮液流路３及び蒸気流路４によらない形状（本形態では平坦）とされている。
【0111】
このような態様において、外層１０ｅ及び外層２０ｅは、内層１０ｄ及び内層２０ｄより高い強度を有しており、凝縮液流路３及び蒸気流路４を有しつつ、ベーパーチャンバが薄型化しても、ベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。すなわち、外部からの衝撃、低温凍結による作動流体の固化による膨張、及び、作動時の蒸気圧力などによる力がかかったときにもベーパーチャンバの変形や破損を抑制することができる。
【0112】
一方、内層１０ｄ及び内層２０ｄにより、作動流体に対して化学的安定性を有するとともに熱伝導率が高い材料により構成することができるため、熱抵抗は小さく抑えることができる。そのとき、外層１０ｅ及び外層２０ｅによりベーパーチャンバの強度向上を行うことができるため、内層１０ｄ及び内層２０ｄに形成される作動流体が移動するパターンについては強度向上よりも熱的な性能に注力したパターン設計が可能となるため、熱的な性能の観点からも利点があるといえる。
【0113】
本形態のベーパーチャンバ１は、薄型である場合に特にその効果が大きい。かかる観点からベーパーチャンバ１の厚さは１ｍｍ以下、より好ましくは０．４ｍｍ以下、さらに好ましくは０．２ｍｍ以下である。０．４ｍｍ以下とすることにより、ベーパーチャンバ１を設置する電子機器において、ベーパーチャンバを配置するスペースを形成するための加工（例えば溝形成等）をすることなく電子機器内部にベーパーチャンバを設置できることが多くなる。そして本形態によれば、このような薄いベーパーチャンバであっても熱的な性能を維持しつつ強度が高く変形に対して強いものなる。
【0114】
以上のようなベーパーチャンバは例えば次のような工程を含むことにより作製することができる。図２２Ａ～図２２Ｄに説明のための図を表した。
始めに図２２Ａに示したように第一シート１０の外層１０ｅとなるシート１０ｅ’を準備する。
次にこのシート１０ｅ’に対して、図２２Ｂに示したように、液流路溝１４ａ液流路溝１５ａ、蒸気流路溝１６、及び蒸気流路連通溝１７となるべき溝をハーフエッチングにより形成する。ハーフエッチングとは厚さ方向に貫通することなくその途中までエッチングを行うことである。
始めに図２２Ａに示したように第一シート１０の外層１０ｅとなるシート１０ｅ’を準備する。
次にこのシート１０ｅ’に対して、図２２Ｂに示したように、液流路溝１４ａ液流路溝１５ａ、蒸気流路溝１６、及び蒸気流路連通溝１７となるべき溝をハーフエッチングにより形成する。ハーフエッチングとは厚さ方向に貫通することなくその途中までエッチングを行うことである。
【0115】
次いで、図２２Ｃに示したように、シート１０ｅ’の上記ハーフエッチングをした側の面に対して、内層１０ｄとなる材料によりスパッタやめっきを施して内層１０ｄを形成する。このとき、内層１０ｄの材料によりスパッタやめっきを施す前に、密着性を高める観点からスパッタやめっきにより中間層を形成してもよい。中間層の形成はスパッタであればチタン、ニッケル、ニッケルクロムによる中間層を挙げることができ、めっきによる中間層の形成はいわゆるストライクめっき処理である。
【0116】
以上の工程を含むことにより第一シート１０を作製することができる。これによれば、積層材料であっても加工による材料の除去を少なく抑えることができ、材料の損失を少なくすることができる。
また、異なる金属を積層した材料をエッチングする必要がないため、加工時における電池効果で腐食や、エッチングレートの違いによる加工精度の低下を抑えることができる。
また、複数種類の金属を圧延積層した材料は薄型化すると反りが大きくなる傾向にあるが、上記のように製造することでこの反りを小さく抑えることができるため、接合や搬送において歩留まり向上が期待できる。
また、異なる金属を積層した材料をエッチングする必要がないため、加工時における電池効果で腐食や、エッチングレートの違いによる加工精度の低下を抑えることができる。
また、複数種類の金属を圧延積層した材料は薄型化すると反りが大きくなる傾向にあるが、上記のように製造することでこの反りを小さく抑えることができるため、接合や搬送において歩留まり向上が期待できる。
【0117】
第二シート２０も上記の工程を含んで作製し、これにより第一シート１０及び第二シート２０を得た後、図２２Ｄに示したように第一シート１０の内面１０ａ（内層１０ｄ）及び第二シート２０の内面２０ａ（内層２０ｄ）を向かい合わせるように重ね、位置決め手段としての穴１３ａ、穴２３ａを用いて位置決めをし、仮止めを行う。仮止めの方法は特に限定されることはないが、抵抗溶接、超音波溶接、及び接着剤による接着等を挙げることができる。
そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的に第一シート１０と第二シート２０とを接合する。ここで、「恒久的に接合」とは、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密閉空間２の密閉性を維持可能な程度に、第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとの接合を維持できる程度に接合されていることを意味する。
そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的に第一シート１０と第二シート２０とを接合する。ここで、「恒久的に接合」とは、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密閉空間２の密閉性を維持可能な程度に、第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとの接合を維持できる程度に接合されていることを意味する。
【0118】
なお、上記の形態では、内層１０ｄ及び内層２０ｄの形成をスパッタやめっきにより形成して、その後に第一シート１０と第二シート２０とを拡散接合により接合する方法を説明した。ただしこれに限らず、例えば、第一シート１０と第二シート２０とをろう付けにより接合することを前提に、内層１０ｄ及び内層２０ｄをろう付けの材料であるろう材で構成してもよい。これによれば内層１０ｄ及び内層２０ｄの形成と接合を同時に行うことが可能である。
【0119】
以上のようにして第一シート１０と第二シート２０とを接合した後、形成された注入流路５から真空引きを行い、中空部を減圧する。その後、減圧された中空部に対して注入流路５（図１参照）から作動流体を注入して中空部に作動流体が入れられる。そして注入部１２、注入部２２に対してレーザによる溶融を利用したり、かしめたりして注入流路５を閉鎖して密閉空間とする。これにより密閉空間２の内側に作動流体が安定的に保持される。
【0120】
本形態のベーパーチャンバでは、内部液流路部１５と内側液流路部２５との重なりによりこれが支柱として機能するため、接合時及び減圧時に密閉空間がつぶれることを抑制することができる。また、外層１０ｅ及び外層２０ｅにより強度が高められているため、これによっても当該つぶれの発生を抑制することができる。
【0121】
以上では、エッチングによるベーパーチャンバの製造について説明したが、製造方法はこれに限らず、プレス加工、切削加工、レーザ加工、及び３Ｄプリンタによる加工によりベーパーチャンバを製造することもできる。
例えば３Ｄプリンタによりベーパーチャンバを製造する場合にはベーパーチャンバを複数のシートを接合して作製する必要がなく、接合部のないベーパーチャンバとすることが可能となる。
例えば３Ｄプリンタによりベーパーチャンバを製造する場合にはベーパーチャンバを複数のシートを接合して作製する必要がなく、接合部のないベーパーチャンバとすることが可能となる。
【0122】
次にベーパーチャンバ１の作用について説明する。図２３には電子機器の一形態である携帯型端末４０の内側にベーパーチャンバ１が配置された状態を模式的に表した。ここではベーパーチャンバ１は携帯型端末４０の筐体４１の内側に配置されているため点線で表している。このような携帯型端末４０は、各種電子部品を内包する筐体４１及び筐体４１の開口部を通して外部に画像が見えるように露出したディスプレイユニット４２を備えて構成されている。そしてこれら電子部品の１つとして、ベーパーチャンバ１により冷却すべき電子部品３０が筐体４１内に配置されている。
【0123】
ベーパーチャンバ１は携帯型端末等の筐体内に設置され、ＣＰＵ等の冷却すべき対象物である電子部品３０に取り付けられる。電子部品はベーパーチャンバ１の外面１０ｂ又は外面２０ｂに直接、又は、熱伝導性の高い粘着剤、シート、テープ等を介して取り付けられる。外面１０ｂ、外面２０ｂのうちどの位置に電子部品が取り付けられるかは特に限定されることはなく、携帯型端末等において他の部材の配置との関係により適宜設定される。本形態では図１に点線で示したように、冷却すべき熱源である電子部品３０を第一シート１０の外面１０ｂのうち、本体１１のｘｙ方向中央に配置した。従って図１において電子部品３０は死角となって見えない位置なので点線で表している。
本形態のベーパーチャンバ１では、外面１０ｂ及び外面２０ｂは、外層１０ｅ及び外層２０ｅで形成されており、その形状は内面側の流路の形状に沿った形状とはされていない。従って、外面１０ｂ及び外面２０ｂの形状を、接触するべき電子部品や筐体に対して密着性を高める観点から形成することができ、かかる観点で熱的性能を高めることができる。
本形態のベーパーチャンバ１では、外面１０ｂ及び外面２０ｂは、外層１０ｅ及び外層２０ｅで形成されており、その形状は内面側の流路の形状に沿った形状とはされていない。従って、外面１０ｂ及び外面２０ｂの形状を、接触するべき電子部品や筐体に対して密着性を高める観点から形成することができ、かかる観点で熱的性能を高めることができる。
【0124】
図２４には作動流体の流れを説明する図を表した。説明のし易さのため、この図では第二シート２０は省略し、第一シート１０の内面１０ａが見えるように表示している。
【0125】
電子部品３０が発熱すると、その熱が第一シート１０内を熱伝導により伝わり、密閉空間２内における電子部品３０に近い位置に存在する凝縮液が熱を受ける。この熱を受けた凝縮液は熱を吸収し蒸発し気化する。これにより電子部品３０が冷却される。
【0126】
気化した作動流体は蒸気となって図２４に実線の直線矢印で示したように蒸気流路４内を流れて移動する。この流れは電子部品３０から離隔する方向に生じるため、蒸気は電子部品３０から離れる方向に移動する。
蒸気流路４内の蒸気は熱源である電子部品３０から離れ、比較的温度が低いベーパーチャンバ１の外周部に移動し、当該移動の際に順次第一シート１０及び第二シート２０に熱を奪われながら冷却される。蒸気から熱を奪った第一シート１０及び第二シート２０はその外面１０ｂ、外面２０ｂに接触した電子機器４０の筐体４１等に熱を伝え、最終的に熱は外気に放出される。
蒸気流路４内の蒸気は熱源である電子部品３０から離れ、比較的温度が低いベーパーチャンバ１の外周部に移動し、当該移動の際に順次第一シート１０及び第二シート２０に熱を奪われながら冷却される。蒸気から熱を奪った第一シート１０及び第二シート２０はその外面１０ｂ、外面２０ｂに接触した電子機器４０の筐体４１等に熱を伝え、最終的に熱は外気に放出される。
【0127】
蒸気流路４を移動しつつ熱を奪われた作動流体は凝縮して液化する。この凝縮液は蒸気流路４の壁面に付着する。一方で蒸気流路４には連続して蒸気が流れているので、凝縮液は図２０、図２１に矢印Ｉ１１で示したように蒸気で押し込まれるように、凝縮液流路３に移動する。本形態の凝縮液流路３は、図８、図１４に表れているように連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを備えているので、凝縮液はこの連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを通って複数の凝縮液流路３に分配される。
【0128】
凝縮液流路３に入った凝縮液は、凝縮液流路による毛細管力、及び、蒸気からの押圧により、図２４に点線の直線矢印で表したように熱源である電子部品３０に近づくように移動する。
このとき、凝縮液流路３は第二シート２０により液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの開口が塞がれているので断面においてその四方が壁となり、毛細管力を高めることができる。これにより円滑な凝縮液の移動が可能とされている。
そして再度熱源である電子部品３０からの熱により気化して上記を繰り返す。
このとき、凝縮液流路３は第二シート２０により液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの開口が塞がれているので断面においてその四方が壁となり、毛細管力を高めることができる。これにより円滑な凝縮液の移動が可能とされている。
そして再度熱源である電子部品３０からの熱により気化して上記を繰り返す。
【0129】
ここまでに説明したベーパーチャンバ１は、第一シート１０及び第二シート２０の２つのシートからなる例であった。ただし、これに限られることはなく、図２５に示したように３つのシート、及び、図２６に示したように４つのシートによるベーパーチャンバであってもよい。
【0130】
図２５に示したベーパーチャンバは、第一シート１０、第二シート２０、及び、中間シートである第三シート５０の積層体である。第一シート１０と第二シート２０との間に挟まれるように第三シート５０が配置され、それぞれが接合されている。
【0131】
この例では第一シート１０は内面１０ａ及び外面１０ｂのいずれも平坦である。同様に、第二シート２０も内面２０ａ及び外面２０ｂのいずれも平坦である。そして、内面１０ａ及び内面２０ａがそれぞれ内層１０ｄ及び内層２０ｄにより構成されており、外面１０ｂ及び外面２０ｂがそれぞれ外層１０ｅ及び外層２０ｅにより構成されている。
この時の、第一シート１０および第二シート２０の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．００５ｍｍ以上であることが好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
この時の、第一シート１０および第二シート２０の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．００５ｍｍ以上であることが好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0132】
一方、第三シート５０には、蒸気流路溝５１、壁５２、液流路溝５３、及び、凸部５４が備えられている。
蒸気流路溝５１は、第三シート５０を厚さ方向に貫通した溝であり、上記した蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とを重ねて第１流路である蒸気流路４を構成すると同様の溝であり、これに相当する形態を有している。
壁５２は、隣り合う蒸気流路溝５１の間に具備される壁であり、上記した外周液流路部１４と外周液流路部２４、及び、内側液流路部１５と内側液流路部２５を重ねた壁に相当する形態を有している。
液流路溝５３は、壁５２のうち第一シート１０に対向する面に配置される溝であり、上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａに相当する形態を有している。液流路溝５３により第２流路である凝縮液流路３が形成される。
凸部５４は、隣り合う液流路溝５３の間に配置される凸部であり、上記した凸部１４ｂ、凸部１５ｂに相当する形態で配置される。
蒸気流路溝５１は、第三シート５０を厚さ方向に貫通した溝であり、上記した蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とを重ねて第１流路である蒸気流路４を構成すると同様の溝であり、これに相当する形態を有している。
壁５２は、隣り合う蒸気流路溝５１の間に具備される壁であり、上記した外周液流路部１４と外周液流路部２４、及び、内側液流路部１５と内側液流路部２５を重ねた壁に相当する形態を有している。
液流路溝５３は、壁５２のうち第一シート１０に対向する面に配置される溝であり、上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａに相当する形態を有している。液流路溝５３により第２流路である凝縮液流路３が形成される。
凸部５４は、隣り合う液流路溝５３の間に配置される凸部であり、上記した凸部１４ｂ、凸部１５ｂに相当する形態で配置される。
【0133】
そして、第三シート５０には、凝縮液流路３及び蒸気流路４となる溝が形成されており、この溝の内側に内層５０ｄが積層されている。また、第三シート５０は外面を形成しないため、内層５０ｄが積層される部位は、内層５０ｄを積層させるための基礎となる層である基層５０ｆとされている。従って壁５２は基礎層５０ｆの外周に内層５０ｄが積層されている態様となる。基層５０ｆを構成する材料は上記外層１０ｅと同様に考えることができる。
【0134】
以上のような構成のベーパーチャンバも上記と同様の効果を有するものとなる。
【0135】
図２６に示したベーパーチャンバは、第一シート１０、第二シート２０、並びに、２つの中間シートである第三シート６０及び第四シート７０の積層体である。これらシートが第一シート１０側から、第一シート１０、第三シート６０、第四シート７０、及び、第二シート２０の順に積層され接合されている。
【0136】
本形態では、第一シート１０及び第二シート２０は内面１０ａ、２０ａ、及び外面１０ｂ、２０ｂはいずれも平坦である。そして、内面１０ａ及び内面２０ａがそれぞれ内層１０ｄ及び内層２０ｄにより構成されており、外面１０ｂ及び外面２０ｂがそれぞれ外層１０ｅ及び外層２０ｅにより構成されている。
この時の、第一シート１０および第二シート２０の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さは０．００５ｍｍ以上であることが好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
なお、本形態では見やすさのため、内層のハッチングを省略して表している。
この時の、第一シート１０および第二シート２０の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さは０．００５ｍｍ以上であることが好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
なお、本形態では見やすさのため、内層のハッチングを省略して表している。
【0137】
第三シート６０には、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６が備えられている。
本形態における液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６は、第三シート６０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては、上述した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６と同様の形態とすることができる。
そして、第三シート６０は、凝縮液流路３及び蒸気流路４となる溝が形成されており、この溝の内側に内層６０ｄが積層されている。また、第三シート６０は外面を形成しないため、内層６０ｄが積層される部位は、内層６０ｄを積層させるための基礎となる基層６０ｆとされている。基層６０ｆを構成する材料は上記外層１０ｅと同様に考えることができる。
本形態における液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６は、第三シート６０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては、上述した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、及び、蒸気流路溝１６と同様の形態とすることができる。
そして、第三シート６０は、凝縮液流路３及び蒸気流路４となる溝が形成されており、この溝の内側に内層６０ｄが積層されている。また、第三シート６０は外面を形成しないため、内層６０ｄが積層される部位は、内層６０ｄを積層させるための基礎となる基層６０ｆとされている。基層６０ｆを構成する材料は上記外層１０ｅと同様に考えることができる。
【0138】
第四シート７０には蒸気流路溝２６が備えられている。
本形態における蒸気流路溝２６は、第四シート７０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては、上述した蒸気流路溝２６と同様の形態とすることができる。
そして、第四シート７０には、蒸気流路４となる溝が形成されており、この溝の内側に内層７０ｄが積層されている。また、第四シート７０は外面を形成しないため、内層７０ｄが積層される部位は、内層６０ｄを積層させるための基礎となる基層７０ｆとされている。基層７０ｆを構成する材料は上記外層１０ｅと同様に考えることができる。
本形態における蒸気流路溝２６は、第四シート７０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては、上述した蒸気流路溝２６と同様の形態とすることができる。
そして、第四シート７０には、蒸気流路４となる溝が形成されており、この溝の内側に内層７０ｄが積層されている。また、第四シート７０は外面を形成しないため、内層７０ｄが積層される部位は、内層６０ｄを積層させるための基礎となる基層７０ｆとされている。基層７０ｆを構成する材料は上記外層１０ｅと同様に考えることができる。
【0139】
このようなシートが積層されることにより、第一シート１０、凝縮液流路１４ａ、及び、第四シート７０により囲まれた第２流路である凝縮液流路３、及び、第一シート１０、凝縮液流路１５ａ、及び、第四シート７０により囲まれた第２流路である凝縮液流路３となる。
同様に、蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とが重なり、第一シート１０と第二シート２０との間に配置されることで第１流路である蒸気流路４となる。
以上のような構成のベーパーチャンバも上記と同様の効果を有するものとなる。
同様に、蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とが重なり、第一シート１０と第二シート２０との間に配置されることで第１流路である蒸気流路４となる。
以上のような構成のベーパーチャンバも上記と同様の効果を有するものとなる。
【0140】
［第２の形態］
図２７には第２の形態にかかるベーパーチャンバ１０１の外観斜視図、図２８にはベーパーチャンバ１０１の分解斜視図を表した。
本形態のベーパーチャンバ１０１は、図２７、図２８からわかるように第一シート１１０及び第二シート１２０を有している。そして、後で説明するように、この第一シート１１０と第二シート１２０とが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより第一シート１１０と第二シート１２０との間に中空部が形成され、この中空部に作動流体が封入されて密閉空間１０２とされている（例えば図４５参照）。
図２７には第２の形態にかかるベーパーチャンバ１０１の外観斜視図、図２８にはベーパーチャンバ１０１の分解斜視図を表した。
本形態のベーパーチャンバ１０１は、図２７、図２８からわかるように第一シート１１０及び第二シート１２０を有している。そして、後で説明するように、この第一シート１１０と第二シート１２０とが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより第一シート１１０と第二シート１２０との間に中空部が形成され、この中空部に作動流体が封入されて密閉空間１０２とされている（例えば図４５参照）。
【0141】
本形態で第一シート１１０は全体としてシート状の部材で、平面視でＬ字状とされている。図２９には第一シート１１０を内面１１０ａ側から見た斜視図、図３０には第一シート１１０を内面１１０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図３１には図３０のＩ１０１－Ｉ１０１で切断したときの第一シート１１０の切断面を示した。
第一シート１１０は、内面１１０ａ、該内面１１０ａとは反対側となる外面１１０ｂ及び内面１１０ａと外面１１０ｂとを渡して厚さを形成する側面１１０ｃを備え、内面１１０ａ側に作動流体が移動する流路のためのパターンが形成されている。後述するようにこの第一シート１１０の内面１１０ａと第二シート１２０の内面１２０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間１０２となる。
第一シート１１０は、内面１１０ａ、該内面１１０ａとは反対側となる外面１１０ｂ及び内面１１０ａと外面１１０ｂとを渡して厚さを形成する側面１１０ｃを備え、内面１１０ａ側に作動流体が移動する流路のためのパターンが形成されている。後述するようにこの第一シート１１０の内面１１０ａと第二シート１２０の内面１２０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間１０２となる。
【0142】
第一シート１１０の厚さは特に限定されることはないが上記第一シート１０と同様に考えることができる。
【0143】
第一シート１１０は本体１１１及び注入部１１２を備えている。本体１１１は作動流体が移動する部位を形成するシート状であり、本形態では平面視で湾曲する部位を有するＬ字型である。
注入部１１２は第一シート１１０と第二シート１２０により形成された中空部に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体１１１の平面視Ｌ字型から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート１１０の注入部１１２は内面１１０ａ側も外面１１０ｂ側も平坦面とされている。
注入部１１２は第一シート１１０と第二シート１２０により形成された中空部に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体１１１の平面視Ｌ字型から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート１１０の注入部１１２は内面１１０ａ側も外面１１０ｂ側も平坦面とされている。
【0144】
本体１１１の内面１１０ａ側には作動流体が移動するための構造が形成されている。当該構造として具体的には、本体１１１の内面１１０ａ側に、外周接合部１１３、外周液流路部１１４、内側液流路部１１５、蒸気流路溝１１６、及び、蒸気流路連通溝１１７が具備されている。
【0145】
外周接合部１１３は、本体１１１の内面１１０ａ側に、該本体１１１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部１１３が第二シート１２０の外周接合部１２３に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１１０と第二シート１２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間１０２となる。外周接合部１１３の幅は必要に応じて適宜設定することができるが、最も狭い部分において第一シート１０で説明した幅Ｗ１と同様に考えることができる。
【0146】
外周液流路部１１４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る流路である凝縮液流路１０３（例えば図４６参照）の一部を構成する部位である。図３２には図３１のうち矢印Ｉ１０２で示した部分、図３３には図３０にＩ１０３－Ｉ１０３による切断面を示した。いずれの図にも外周液流路部１１４の断面形状が表れている。また、図３４には図３２に矢印Ｉ１０５で示した方向から見た外周液流路部１１４を平面視した拡大図を表した。
【0147】
これらの図からわかるように、外周液流路部１１４は本体１１１の内面１１０ａのうち、外周接合部１１３の内側に沿って形成され、密閉空間１０２の外周に沿って環状となるように設けられている。また、外周液流路部１１４には、該外周液流路部１１４が延びる方向に平行に延びる複数の溝である液流路溝１１４ａが形成され、複数の液流路溝１１４ａが、該液流路溝１１４ａが延びる方向とは異なる方向に間隔を有して配置されている。従って、図３２、図３３からわかるように外周液流路部１１４ではその断面において凹部である液流路溝１１４ａと液流路溝１１４ａ間の凸部である壁１１４ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
ここで液流路溝１１４ａは溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に向かい合う反対側の部位に存する開口と、を備えている。
ここで液流路溝１１４ａは溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に向かい合う反対側の部位に存する開口と、を備えている。
【0148】
このように複数の液流路溝１１４ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１１４ａの深さ及び幅を小さくし、凝縮液流路１０３（例えば図４６参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１１４ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路１０３の内容積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
【0149】
さらに、外周液流路部１１４では、図２３からわかるように隣り合う液流路溝１１４ａは、壁１１４ｂに間隔を有して設けられた連通開口部１１４ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１１４ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができる。また、蒸気流路１０４を形成する蒸気流路溝１１６に隣接する壁１１４ｂに設けられた連通開口部１１４ｃは、蒸気流路１０４と凝縮液流路１０３とを連通させる。従って、連通開口部１１４ｃを設けることにより蒸気流路１０４で生じた凝縮液を円滑に凝縮液流路１０３に移動させることができるとともに、凝縮液流路１０３で生じた蒸気を円滑に蒸気流路１０４に移動させることもでき、これによっても作動流体の円滑な移動を促進することが可能となる。
【0150】
本形態では図３４で示したように１つの液流路溝１１４ａの該溝を挟んで液流路溝１１４ａが延びる方向において同じ位置に対向するように連通開口部１１４ｃが配置されている。ただしこれに限定されることはなく、図９を用いて説明した例に倣って連通開口部１１４ｃを配置してもよい。
【0151】
また、外周液流路部１１４の幅は第一シート１０で説明した幅Ｗ２と同様に考えることができる。
液流路溝１１４ａについて、その溝幅は第一シート１０で説明した幅Ｗ３、溝の深さは第一シート１０で説明した深さＤ１と同様に考えることができる。ただし、液流路溝１１４ａの深さは、第一シート１１０の厚さから当該溝の深さを引いた残りのシート厚さよりも小さいことが好ましい。これにより作動流体の凍結時においてシートが破れてしまうことをより確実に防止することができる。
また、壁１１４ｂについて、図３２、図３４にＷ１０１で示した幅は２０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。この幅が２０μｍより小さいと作動流体の凍結と溶融との繰り返しにより破断し易くなり、この幅が３００μｍより大きくなると連通開口部１１４ｃの幅が大きくなりすぎ、隣り合う凝縮液流路１０３との作動流体の円滑な連通が阻害される虞がある。
液流路溝１１４ａについて、その溝幅は第一シート１０で説明した幅Ｗ３、溝の深さは第一シート１０で説明した深さＤ１と同様に考えることができる。ただし、液流路溝１１４ａの深さは、第一シート１１０の厚さから当該溝の深さを引いた残りのシート厚さよりも小さいことが好ましい。これにより作動流体の凍結時においてシートが破れてしまうことをより確実に防止することができる。
また、壁１１４ｂについて、図３２、図３４にＷ１０１で示した幅は２０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。この幅が２０μｍより小さいと作動流体の凍結と溶融との繰り返しにより破断し易くなり、この幅が３００μｍより大きくなると連通開口部１１４ｃの幅が大きくなりすぎ、隣り合う凝縮液流路１０３との作動流体の円滑な連通が阻害される虞がある。
【0152】
連通開口部１１４ｃについて、液流路溝１１４ａが延びる方向に沿った連通開口部１１４ｃの大きさは第一シート１０で説明した大きさＬ１、液流路溝１１４ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１１４ｃのピッチは第一シート１０で説明したピッチＬ２と同様に考えることができる。
【0153】
本形態では液流路溝１１４ａの断面形状は半楕円形であるがこれに限定されることなく、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形等であってもよい。
【0154】
また、液流路溝１１４ａは、密閉空間内の縁に沿って連続して形成されていることが好ましい。すなわち、液流路溝１１４ａは他の構成要素によって寸断されることなく１周に亘って環状に延びていることが好ましい。これにより凝縮液の移動を阻害する要因が減るため、円滑に凝縮液を移動させることができる。
【0155】
本形態では外周液流路部１１４が設けられているが、外周液流路部１１４は必ずしも設けられる必要はなくベーパーチャンバの形状、ベーパーチャンバが適用される機器との関係、及び、使用環境等の観点から、外周液流路部１１４が設けられていない形態としてもよい。この形態では密閉空間の外周部を蒸気流路として、ベーパーチャンバの外周部まで蒸気により熱を運ぶように構成することができ、より高い均熱化をすることができる場合がある。
【0156】
図２９乃至図３１に戻って内側液流路部１１５について説明する。内側液流路部１１５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る凝縮液流路１０３の一部を構成する部位である。図３５には図３１のうちＩ１０５で示した部分を示した。この図にも内側液流路部１１５の断面形状が表れている。また、図３６には図３５に矢印Ｉ１０６で示した方向から見た内側液流路部１１５を平面視した拡大図を示した。
【0157】
これらの図からわかるように、内側液流路部１１５は本体１１１の内面１１０ａのうち、環状である外周液流路部１１４（又は、外周接合部１１３）の環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部１１５は、図２９、図３０からわかるように、湾曲部を有して延びる凸条であり、複数（本形態では５つ）の内側液流路部１１５が延びる方向とは異なる方向に間隔を有して配列され、蒸気流路溝１１６の間に配置されている。
各内側液流路部１１５には、内側液流路部１１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝１１５ａが形成され、複数の液流路溝１１５ａが、該液流路溝１１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図３１、図３６からわかるように内側液流路部１１５ではその断面において凹部である液流路溝１１５ａと液流路溝１１５ａ間の凸部である壁１１５ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
ここで液流路溝１１５ａは溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に向かい合う反対側の部位に存する開口と、を備えている。
各内側液流路部１１５には、内側液流路部１１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝１１５ａが形成され、複数の液流路溝１１５ａが、該液流路溝１１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図３１、図３６からわかるように内側液流路部１１５ではその断面において凹部である液流路溝１１５ａと液流路溝１１５ａ間の凸部である壁１１５ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
ここで液流路溝１１５ａは溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に向かい合う反対側の部位に存する開口と、を備えている。
【0158】
このように複数の液流路溝１１５ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１１５ａの深さ及び幅を小さくし、凝縮液流路１０３（例えば図４６参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１１５ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路１０３の内容積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
【0159】
さらに、内側液流路部１１５でも、図３６からわかるように、外周液流路部１１４の例に倣って図３４と同じようにして隣り合う液流路溝１１５ａは、壁１１５ｂに間隔を有して設けられた連通開口部１１５ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１１５ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができる。また、蒸気流路１０４を形成する蒸気流路溝１１６に隣接する壁１１５ｂに設けられた連通開口部１１５ｃは、蒸気流路１０４と凝縮液流路１０３とを連通させる。従って、後で説明するように連通開口部１１５ｃを構成することにより蒸気流路１０４で生じた凝縮液を円滑に凝縮液流路１０３に移動させることができるとともに、凝縮液流路で発生した蒸気を円滑に蒸気流路１０４に移動させることもでき、これによっても作動流体の円滑な移動を促進することが可能となる。
【0160】
内側液流路部１１５についても、図９の例に倣って、１つの液流路溝１１５ａの該溝を挟んで液流路溝１１５ａが延びる方向において異なる位置に連通開口部１１５ｃが配置されてもよい。
【0161】
以上のような構成を備える内側液流路部１１５の幅は第一シート１０で説明した幅Ｗ４と同様に考えることができる。
【0162】
液流路溝１１５ａについて、その溝幅は第一シート１０で説明したＷ５、溝の深さはＤ２と同様に考えることができる。なお、溝の深さは、第一シート１１０の厚さから当該溝の深さを引いた残りのシート厚さよりも小さいことが好ましい。これにより作動流体の凍結時においてシートが破れてしまうことをより確実に防止することができる。
【0163】
また、壁１１５ｂについて、図３５、図３６にＷ１０２で示した幅は２０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。この幅が２０μｍより小さいと作動流体の凍結と溶融の繰り返しにより破断し易くなり、この幅が３００μｍより大きくなると連通開口部１１５ｃの幅が大きくなりすぎ、凝縮液流路１０３間の円滑な連通が阻害される虞がある。
【0164】
連通開口部１１５ｃについて、液流路溝１１５ａが延びる方向に沿った連通開口部１１５ｃの大きさは第一シート１０で説明したＬ３と同様に考えることができ、液流路溝１１５ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１１５ｃのピッチは第一シート１０で説明したＬ４と同様に考えることができる。
【0165】
また、本形態で液流路溝１１５ａの断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形等であってもよい。
【0166】
次に蒸気流路溝１１６について説明する。蒸気流路溝１１６は、蒸気状及び凝縮液状の作動流体が移動する部位で、蒸気流路１０４の一部を構成する。図３０には平面視した蒸気流路溝１１６の形状、図３１には蒸気流路溝１１６の断面形状がそれぞれ表れている。
【0167】
これら図からもわかるように、蒸気流路溝１１６は本体１１１の内面１１０ａのうち、環状である外周液流路部１１４の環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１１６は、隣り合う内側液流路部１１５の間、及び、外周液流路部１１４と内側液流路部１１５との間に形成され、湾曲した部位を有して延びた溝である。そして、複数（本形態では６つ）の蒸気流路溝１１６が当該延びる方向とは異なる方向に配列されている。従って、図３１からわかるように第一シート１１０は、内側液流路部１１５を凸条とし、蒸気流路溝１１６を凹条とした凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝１１６は溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に向かい合う反対側の部位に存する開口と、を備えている。
ここで蒸気流路溝１１６は溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に向かい合う反対側の部位に存する開口と、を備えている。
【0168】
蒸気流路溝１１６は、第二シート１２０の蒸気流路溝１２６と組み合わされて蒸気流路１０４が形成されたとき、当該蒸気流路１０４で作動流体が移動するように構成されていればよい。
蒸気流路溝１１６の幅は少なくとも上記した液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａの幅より大きく形成され、第一シート１０で説明した幅Ｗ６と同様に考えることができる。
一方、蒸気流路溝１１６の深さは、少なくとも上記した液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａの深さより大きく形成され、第一シート１０で説明した深さＤ３と同様に考えることができる。
これらにより、蒸気流路が形成されたときに作動流体の安定した移動が行われるとともに、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝よりも大きくすることで、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に移動させることができる。
蒸気流路溝１１６の幅は少なくとも上記した液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａの幅より大きく形成され、第一シート１０で説明した幅Ｗ６と同様に考えることができる。
一方、蒸気流路溝１１６の深さは、少なくとも上記した液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａの深さより大きく形成され、第一シート１０で説明した深さＤ３と同様に考えることができる。
これらにより、蒸気流路が形成されたときに作動流体の安定した移動が行われるとともに、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝よりも大きくすることで、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に移動させることができる。
【0169】
ここで蒸気流路溝１１６は、後で説明するように第二シート１２０と組み合わされて蒸気流路１０４が形成されたときに、蒸気流路１０４の幅が高さ（厚さ方向大きさ）よりも大きい扁平形状となるように構成されていることが好ましい。そのため、高さを幅で除した値で示されるアスペクト比は好ましくは４．０以上、より好ましくは８．０以上である。
【0170】
本形態では蒸気流路溝１１６の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が円形、底部が半楕円形等であってもよい。
【0171】
蒸気流路連通溝１１７は、複数の蒸気流路溝１１６を連通させ、第二シート１２０の蒸気流路連通溝１２７と組み合わされて蒸気流路溝１１６による複数の蒸気流路１０４をその端部で連通する流路を形成する溝である。これにより、内側液流路部１１５が延びる方向における蒸気流路１０４で生じる作動流体の移動を円滑に行うことができる。
蒸気流路連通溝１１７は、第一シート１０で説明した蒸気流路連通溝１７と同様に考えることができる。
蒸気流路連通溝１１７は、第一シート１０で説明した蒸気流路連通溝１７と同様に考えることができる。
【0172】
本形態では第一シート１１０は、液流路溝１１４ａ（外周液流路部１１４）、液流路溝１１５ａ（内側液流路部１１５）、及び蒸気流路溝１１６において、これらが延びる方向が変化する部位である湾曲部１１８ｃを備えている。すなわち、第一シート１１０は、液流路溝１１４ａ（外周液流路部１１４）、液流路溝１１５ａ（内側液流路部１１５）、及び蒸気流路溝１１６がｘ方向に直線状に延びる直線部１１８ａ、液流路溝１１４ａ（外周液流路部１１４）、液流路溝１１５ａ（内側液流路部１１５）、及び蒸気流路溝１１６がｙ方向に直線状に延びる直線部１１８ｂ、並びに、直線部１１８ａ及び直線部１１８ｂにおける液流路溝１１４ａ（外周液流路部１１４）、液流路溝１１５ａ（内側液流路部１１５）、及び蒸気流路溝１１６を連結する湾曲部１１８ｃを備える。従って湾曲部１１８ｃは、その一端が一方の直線部１１８ａに接続され、他端が他方の直線部１１８ｂに接続され、ｘ方向からｙ方向へ、及び、ｙ方向からｘ方向へ流れが向きを変えるように液流路溝１１４ａ（外周液流路部１１４）、液流路溝１１５ａ（内側液流路部１１５）、及び蒸気流路溝１１６が湾曲している。
ここで直線部と湾曲部との境界は、各溝において流れの方向が変化し始める点を境界とすればよい。以下、同様に考えることができる。
ここで直線部と湾曲部との境界は、各溝において流れの方向が変化し始める点を境界とすればよい。以下、同様に考えることができる。
【0173】
本形態では、湾曲部１１８ｃにおいて、複数の蒸気流路溝１１６の幅を考えたとき、湾曲の半径が小さい内側ほど大きく、湾曲の半径が大きい外側ほど小さくなるように構成されている。これによれば、湾曲部における流動抵抗のバランスを高めることができ、作動流体の移動がより円滑となって熱輸送能力を高めることができる。
そのための具体的な形態は特に限定されることはないが、例えば図３７、図３８、図３９、図４０に示した形態を挙げることができる。
そのための具体的な形態は特に限定されることはないが、例えば図３７、図３８、図３９、図４０に示した形態を挙げることができる。
【0174】
図３７乃至図４０では、１つの蒸気流路溝１１６に注目して説明する図である。これらの図に表した符号の意味は次の通りである。
・蒸気流路溝１１６は湾曲部１１８ｃにおいて、湾曲の内側壁ｗｉｎは湾曲の半径がｒｉｎであり、その中心がＯ１の円弧状である。
・蒸気流路溝１１６は湾曲部１１８ｃにおいて、湾曲の外側壁ｗｏｕｔは湾曲の半径がｒｏｕｔであり、後で説明するように形態によってその中心がＯ１、Ｏ２、Ｏ３又はＯ４の円弧状である。
・湾曲部１１８ｃに属する複数の蒸気流路溝１１６のうち最も幅が狭い蒸気流路溝の幅がαであるところ、他の蒸気流路溝１１６の幅がβに広げられている（α＜β）。すなわち、本形態では湾曲部１１８ｃに属する複数の蒸気流路１１６のうち最も外側に配置される蒸気流路溝１１６の幅がαである。
・点線で示した曲線は、蒸気流路溝１１６の幅がαの場合の仮想線であり、このときの湾曲の半径はｒｃであり、その中心がＯ１の円弧状である。
・湾曲の半径は、湾曲部において壁（内側壁、外側壁）の向きが変化し始めた２点、及び、この２点の中央における１点の合計３点を通る円を考え、この円の半径を湾曲の半径とすることができる。また、湾曲を円や楕円の一部であると見なしたとき、図３７乃至図４０に示したように、湾曲に対して円、楕円の中心側（すなわちＯ１、Ｏ２、Ｏ３、Ｏ４側）を湾曲部の「内側」、湾曲に対して円、楕円の中心側とは反対側を湾曲の「外側」とする。また、湾曲の形状は正円の一部のような形状であることに限らず、楕円の一部のような形状でもよく、湾曲部において配置される複数の蒸気流路溝のうち一部が直線であるような形状であってもよい。以下湾曲部に関する形状は同様に考えることができる。
・蒸気流路溝１１６は湾曲部１１８ｃにおいて、湾曲の内側壁ｗｉｎは湾曲の半径がｒｉｎであり、その中心がＯ１の円弧状である。
・蒸気流路溝１１６は湾曲部１１８ｃにおいて、湾曲の外側壁ｗｏｕｔは湾曲の半径がｒｏｕｔであり、後で説明するように形態によってその中心がＯ１、Ｏ２、Ｏ３又はＯ４の円弧状である。
・湾曲部１１８ｃに属する複数の蒸気流路溝１１６のうち最も幅が狭い蒸気流路溝の幅がαであるところ、他の蒸気流路溝１１６の幅がβに広げられている（α＜β）。すなわち、本形態では湾曲部１１８ｃに属する複数の蒸気流路１１６のうち最も外側に配置される蒸気流路溝１１６の幅がαである。
・点線で示した曲線は、蒸気流路溝１１６の幅がαの場合の仮想線であり、このときの湾曲の半径はｒｃであり、その中心がＯ１の円弧状である。
・湾曲の半径は、湾曲部において壁（内側壁、外側壁）の向きが変化し始めた２点、及び、この２点の中央における１点の合計３点を通る円を考え、この円の半径を湾曲の半径とすることができる。また、湾曲を円や楕円の一部であると見なしたとき、図３７乃至図４０に示したように、湾曲に対して円、楕円の中心側（すなわちＯ１、Ｏ２、Ｏ３、Ｏ４側）を湾曲部の「内側」、湾曲に対して円、楕円の中心側とは反対側を湾曲の「外側」とする。また、湾曲の形状は正円の一部のような形状であることに限らず、楕円の一部のような形状でもよく、湾曲部において配置される複数の蒸気流路溝のうち一部が直線であるような形状であってもよい。以下湾曲部に関する形状は同様に考えることができる。
【0175】
図３７の例は、湾曲部１１８ｃにおいて、蒸気流路溝１１６の外側壁ｗｏｕｔの湾曲の半径ｒｏｕｔが湾曲の半径ｒｃよりも大きい（ｒｏｕｔ＞ｒｃ）とともに、その中心がＯ１である。この形態例では、湾曲部１１８ｃに属する蒸気流路溝１１６においては、内側に配置される蒸気流路溝１１６ほどｒｏｕｔが大きくなるようにすればよい。これにより溝幅βも内側に配置される蒸気流路溝１１６ほど大きくなる。
【0176】
図３８の例は、湾曲部１１８ｃにおいて、蒸気流路溝１１６の外側壁ｗｏｕｔの湾曲の半径ｒｏｕｔが湾曲の半径ｒｃと同じ（ｒｏｕｔ＝ｒｃ）であるが、その中心がＯ１よりも蒸気流路溝１１６側にずれたＯ２にある。この形態例では、湾曲部１１８ｃに属する蒸気流路溝１１６においては、内側に配置される蒸気流路溝１１６の外壁ｗｏｕｔの中心（Ｏ２）が蒸気流路溝１１６に近づくようにすればよい。これにより溝幅βも内側に配置される蒸気流路溝１１６ほど大きくなる。
【0177】
図３９の例は、湾曲部１１８ｃにおいて、蒸気流路溝１１６の外側壁ｗｏｕｔの湾曲の半径ｒｏｕｔが湾曲の半径ｒｉｎ及び湾曲の半径ｒｃよりも小さく（ｒｏｕｔ＜ｒｉｎ＜ｒｃ）、その中心がＯ１よりも蒸気流路溝１１６側にずれたＯ３にある。この形態例では、湾曲部１１８ｃに属する蒸気流路溝１１６においては、ｒｏｕｔの大きさ及びＯ３の位置の両方により、内側に配置される蒸気流路溝１１６ほど幅βが大きくなるようにすればよい。
【0178】
図４０の例は、湾曲部１１８ｃにおいて、蒸気流路溝１１６の外側壁ｗｏｕｔの湾曲の半径ｒｏｕｔと内側壁ｗｉｎの湾曲の半径ｒｉｎとが同じであり、当該ｒｏｕｔの中心Ｏ４が、ｒｉｎの中心Ｏ１よりも蒸気流路溝１１６側にずれた側にある。この形態例では、湾曲部１１８ｃに属する蒸気流路溝１１６においては、Ｏ４の位置により、内側に配置される蒸気流路溝１１６ほど幅βが大きくなるようにすればよい。
【0179】
なお、図３７及び図３８の例では、外側壁ｗｏｕｔにおいて、直線状の部分と円弧部分とが１つの屈折部により接続されている。これに限らず、この１つの屈折部を小さな多数の屈折部としたり、曲線としたりすることで、徐々に滑らかに向きが変わるように接続するように構成してもよい。
【0180】
内側の蒸気流路溝ほど幅が広くなる程度は特に限定されることはないが、外側に配置された隣の溝に対して３％乃至２０％程度幅が広いことが好ましい。この割合は複数の溝で一定であったり、規則的であったりする必要はなく適宜設定することができる。
【0181】
直線部１１８ｂにおける蒸気流路溝１１６の幅に対する湾曲部１１８ｃにおける蒸気流路溝１１６の幅は特に限定されることはないが、直線部１１８ａ、直線部１１８ｂに比べて１０％以上１００％以下の範囲で幅が大きくしてもよい。この範囲とすることにより直線部１１８ｂの流動抵抗と湾曲部１１８ｃの流動抵抗とのバランスをよくすることができる。
【0182】
また、上記では蒸気流路溝の幅に注目して形態を説明したが、その代わり、又は、それに加えて湾曲部１１８ｃにおける蒸気流路溝１１６の深さを変えてもよい。すなわち、湾曲部１１８ｃに属する複数の蒸気流路溝１１６において、外側に配置された蒸気流路溝１１６が最も浅く、内側に配置される蒸気流路溝１１６ほど深くなるように構成してもよい。深さ方向（ｚ方向）を変更することによる形態では、平面方向（ｘｙ方向）に広がることが抑制されるため、凝縮液流路を配置する部位を多く確保して熱輸送能力の向上が図れたり、外周接合部を広く取ることができて耐圧の信頼性の向上が図れたりする。
【0183】
すなわち、湾曲部１１８ｃにおける蒸気流路溝１１６の幅を上記のように溝ごとに異なるように構成することで、第一シート１１０と第二シート１２０とを組み合わせたときに湾曲部において、内側に配置される蒸気流路の幅を、外側に配置される蒸気流路の幅よりも大きくすることができる。これにより、湾曲部において、内側に配置される蒸気流路の流路断面積を、外側に配置される蒸気流路の流路断面積よりも大きくすることができる。
一方、湾曲部１１８ｃにおける蒸気流路溝１１６の深さを溝ごとに異なるように構成することで、第一シート１１０と第二シート１２０とを組み合わせたときに湾曲部において、内側に配置される蒸気流路の高さを、外側に配置される蒸気流路の高さよりも大きくすることができる。これにより、湾曲部において、内側に配置される蒸気流路の流路断面積を、外側に配置される蒸気流路の流路断面積よりも大きくすることができる。
一方、湾曲部１１８ｃにおける蒸気流路溝１１６の深さを溝ごとに異なるように構成することで、第一シート１１０と第二シート１２０とを組み合わせたときに湾曲部において、内側に配置される蒸気流路の高さを、外側に配置される蒸気流路の高さよりも大きくすることができる。これにより、湾曲部において、内側に配置される蒸気流路の流路断面積を、外側に配置される蒸気流路の流路断面積よりも大きくすることができる。
【0184】
また、湾曲部１１８ｃでは、液流路溝１１４ａ及び液流路溝１１５ａと蒸気流路溝１１６とを仕切る壁１１４ｂ及び壁１１５ｂに設けられた連通開口部１１４ｃ及び連通開口部開口部１１５ｃ（図３４、図３６参照）について、そのピッチを他の部位（直線部１１８ａ、直線部１１８ｂ）と異なるように構成することができる。これは湾曲部における連通開口部のピッチを直線部における湾曲部のピッチよりも大きくしてもよいし、小さくしてもよい。いずれの形態とするかは、ベーパーチャンバの全体形状、熱源の位置等の影響を考慮し、流動抵抗を下げることができる形態を総合的に判断して採用することができる。または、この湾曲部１１８ｃについては、液流路溝１１４ａ及び液流路溝１１５ａと蒸気流路溝１１６とを仕切る壁１１４ｂ及び壁１１５ｂに設けられた連通開口部１１４ｃ及び連通開口部１１５ｃを設けなくてもよい。
【0185】
湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも大きくした形態では、蒸気流路溝１１６（蒸気流路１０４）を流れる作動流体が湾曲部１１８ｃで連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃへ進入することを抑制することができる。湾曲部１１８ｃでは蒸気流路溝１１６（蒸気流路１０４）を移動する作動流体がその流れ方向により直接的に連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃに流れ込もうとする力が働くため、蒸気が凝縮液流路１０３に入り込むことや、連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃの凹凸で流動抵抗が高くなる傾向にある。これに対して、湾曲部１１８ｃで蒸気流路溝１１６に接する連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃのピッチを大きくしたり、蒸気流路溝１１６に接する連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃをなくしたりすることでこのような流動抵抗の上昇を抑えることができ、蒸気流路溝１１６（蒸気流路１０４）ごとの流動抵抗の差をさらに小さくし、作動流体の移動のバランスを向上させ、熱輸送能力を高めることができる場合がある。
【0186】
一方、湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも小さくした形態では、湾曲部では蒸気流路溝（蒸気流路）を流れる蒸気が壁面に強く当たる機会が増えるため、凝縮し易い傾向にある。このとき湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも小さくした形態とすることで、連通開口部の数を増やし、凝縮液を円滑に液流路溝（凝縮液流路）に導入させることができ、蒸気流路が凝縮液で閉鎖されることを抑制することが可能となる。これにより流動抵抗の上昇を抑えることができ、蒸気流路溝（蒸気流路）ごとの流動抵抗の差をさらに小さくし、作動流体の移動のバランスを向上させ、熱輸送能力を高めることができる場合がある。
【0187】
また、上記ピッチの大きさの代わりに、湾曲部において、隣り合う連通開口部の間である壁の長さ（流路に沿った方向の大きさ）が、直線部における壁の長さに対して大きくなるように構成してもよいし、小さくなるように構成してもよい。このとき、湾曲部に属する壁の長さは一定である必要はなく、壁ごとに異なっていてもよい。この場合に、湾曲部の壁の長さと直線部の壁の長さとの大小関係は、それぞれの部位に属する壁の長さの平均値同士の関係によるものとする。
【0188】
次に第二シート１２０について説明する。本形態で第二シート１２０も全体としてシート状の部材であり、平面視でＬ字型に湾曲している。図４１には第二シート１２０を内面１２０ａ側から見た斜視図、図４２には第二シート１２０を内面１２０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図４３には図４２にＩ１０７－Ｉ１０７で切断したときの第二シート１２０の切断面を示した。また、図４４には図４２にＩ１０８－Ｉ１０８で切断したときの第二シート１２０の切断面を示した。
第二シート１２０は、内面１２０ａ、該内面１２０ａとは反対側となる外面１２０ｂ及び内面１２０ａと外面１２０ｂとを渡して厚さを形成する側面１２０ｃを備え、内面１２０ａ側に作動流体が移動するパターンが形成されている。後述するようにこの第二シート１２０の内面１２０ａと上記した第一シート１１０の内面１１０ａとが対向するようにして重ね合わされて接合されることで中空部となり、ここに作動流体が封入されて密閉空間１０２が形成される。
第二シート１２０は、内面１２０ａ、該内面１２０ａとは反対側となる外面１２０ｂ及び内面１２０ａと外面１２０ｂとを渡して厚さを形成する側面１２０ｃを備え、内面１２０ａ側に作動流体が移動するパターンが形成されている。後述するようにこの第二シート１２０の内面１２０ａと上記した第一シート１１０の内面１１０ａとが対向するようにして重ね合わされて接合されることで中空部となり、ここに作動流体が封入されて密閉空間１０２が形成される。
【0189】
第二シート１２０の厚さは特に限定されることはないが上記した第二シート２０と同様に考えることができる。
【0190】
第二シート１２０は本体１２１及び注入部１２２を備えている。本体１２１は作動流体が移動する部位を形成するシート状であり、本形態では平面視で湾曲する部位を有するＬ字型である。
注入部１２２は第一シート１１０と第二シート１２０とにより形成された中空部に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体１２１の平面視Ｌ字型から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第二シート１２０の注入部１２２には内面１２０ａ側に注入溝１２２ａが形成されており、第二シート１２０の側面１２０ｃから本体１２１の内側（中空部、密閉空間１０２となるべき部位）に連通している。
注入部１２２は第一シート１１０と第二シート１２０とにより形成された中空部に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体１２１の平面視Ｌ字型から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第二シート１２０の注入部１２２には内面１２０ａ側に注入溝１２２ａが形成されており、第二シート１２０の側面１２０ｃから本体１２１の内側（中空部、密閉空間１０２となるべき部位）に連通している。
【0191】
本体１２１の内面１２０ａ側には、作動流体が移動するための構造が形成されている。具体的には、本体１２１の内面１２０ａ側には、外周接合部１２３、外周液流路部１２４、内側液流路部１２５、蒸気流路溝１２６、及び、蒸気流路連通溝１２７が具備されている。
【0192】
外周接合部１２３は、本体１２１の内面１２０ａ側に、該本体１２１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部１２３が第一シート１１０の外周接合部１１３に重なって接合（拡散接合やろう付け等）されることにより、第一シート１１０と第二シート１２０との間に中空部を形成し、ここに作動流体が封入されて密閉空間１０２となる。
外周接合部１２３の幅は上記した第一シート１１０の本体１１１の外周接合部１１３の幅と同じであることが好ましい。
外周接合部１２３の幅は上記した第一シート１１０の本体１１１の外周接合部１１３の幅と同じであることが好ましい。
【0193】
外周液流路部１２４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る流路である凝縮液流路１０３（例えば図４６参照）の一部を構成する部位である。
【0194】
外周液流路部１２４は本体１２１の内面１２０ａのうち、外周接合部１２３の内側に沿って形成され、密閉空間１０２の外周に沿って環状を成すように形成されている。本形態において第二シート１２０の外周液流路部１２４は、図４３、図４４からわかるように第一シート１１０との接合前において平坦面であり外周接合部１２３と面一である。これにより上記した第一シート１１０の複数の液流路溝１１４ａのうち少なくとも一部の液流路溝１１４ａの開口を閉鎖して凝縮液流路１０３を形成する。第一シート１１０と第二シート１２０との組み合わせに関する詳しい態様は後で説明する。
なお、このように第二シート１２０では外周接合部１２３と外周液流路部１２４とが面一であるため、構造的には両者を区別する境界線は存在しない。しかし、わかり易さのため、図４１、図４２では点線により両者の境界を表している。
なお、このように第二シート１２０では外周接合部１２３と外周液流路部１２４とが面一であるため、構造的には両者を区別する境界線は存在しない。しかし、わかり易さのため、図４１、図４２では点線により両者の境界を表している。
【0195】
外周液流路部１２４の幅は特に限定されることはなく、第一シート１１０の外周液流路部１１４の幅と同じでもよいし、異なってもよい。
外周液流路部１２４の幅を外周液流路部１１３の幅より小さくした場合、外周液流路部１１４のうち少なくとも一部において、液流路溝１１４ａの開口が外周液流路部１２４により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすく、また、蒸気が出やすいため、より円滑な作動流体の移動をさせることができる。
外周液流路部１２４の幅を外周液流路部１１３の幅より小さくした場合、外周液流路部１１４のうち少なくとも一部において、液流路溝１１４ａの開口が外周液流路部１２４により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすく、また、蒸気が出やすいため、より円滑な作動流体の移動をさせることができる。
【0196】
本形態では第二シート１２０の外周液流路部１２４は平坦面からなるように構成されているが、これに限らず、外周液流路部１１４と同様に液流路溝が設けられてもよい。このときには第一シートの液流路溝と第二シートの液流路溝とが重ね合わされることで凝縮液流路１０３とすることができる。
【0197】
また、本形態では第一シートでも説明したように、外周液流路部１２４は必ずしも設けられる必要はなく、外周液流路部１２４が設けられていない形態であってもよい。
【0198】
次に内側液流路部１２５について説明する。内側液流路部１２５も液流路部であり、凝縮液流路１０３を構成する１つの部位である。
【0199】
内側液流路部１２５は、図４１乃至図４４よりわかるように、本体１２１の内面１２０ａのうち、外周液流路部１２４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部１２５は、湾曲部を有して延びる凸条であり、複数（本形態では５つ）の内側液流路部１２５が延びる方向とは異なる方向に間隔を有して配列され、蒸気流路溝１２６の間に配置されている。
本形態で各内側液流路部１２５は、その内面１２０ａ側の表面が第一シート１１０との接合前において平坦面となるように形成されている。これにより上記した第一シート１１０の複数の液流路溝１１５ａのうち少なくとも一部の液流路溝１１５ａの開口を閉鎖して凝縮液流路１０３を形成する。
なお、本形態のように内側液流路部１２５に凝縮液流路１０３を形成するための溝が形成されていない場合、第二シート１２０の厚さは、第一シート１１０の厚さから液流路溝１１５ａの深さを引いた厚さ以上であることが好ましい。これにより、ベーパーチャンバにおける第二シート側における破断（破れ）を防止することができる。
本形態で各内側液流路部１２５は、その内面１２０ａ側の表面が第一シート１１０との接合前において平坦面となるように形成されている。これにより上記した第一シート１１０の複数の液流路溝１１５ａのうち少なくとも一部の液流路溝１１５ａの開口を閉鎖して凝縮液流路１０３を形成する。
なお、本形態のように内側液流路部１２５に凝縮液流路１０３を形成するための溝が形成されていない場合、第二シート１２０の厚さは、第一シート１１０の厚さから液流路溝１１５ａの深さを引いた厚さ以上であることが好ましい。これにより、ベーパーチャンバにおける第二シート側における破断（破れ）を防止することができる。
【0200】
本形態では第二シート１２０の内側液流路部１２５は平坦面からなるように構成されているが、これに限らず、内側外周液流路部１１５と同様に液流路溝が設けられてもよい。このときには第一シートの液流路溝と第二シートの液流路溝とが重ね合わされることで凝縮液流路１０３とすることができる。
【0201】
内側液流路部１２５の幅は特に限定されることはなく、第一シート１１０の内側液流路部１１５の幅と同じでもよいし、異なっていてもよい。本形態では内側液流路部１２５の幅と内側液流路部１１５の幅とは同じである。
内側液流路部１２５の幅と内側液流路部１１５の幅とが異なっていると接合時の位置ズレの影響を小さくすることができる。なお、内側液流路部１２５の幅を内側液流路部１１５の幅より小さくした場合には、内側液流路部１１５のうち少なくとも一部において、液流路溝１１５ａの開口が内側液流路部１２５により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすく、また、発生した蒸気が出やすいため、より円滑に作動流体を移動させることができる。
内側液流路部１２５の幅と内側液流路部１１５の幅とが異なっていると接合時の位置ズレの影響を小さくすることができる。なお、内側液流路部１２５の幅を内側液流路部１１５の幅より小さくした場合には、内側液流路部１１５のうち少なくとも一部において、液流路溝１１５ａの開口が内側液流路部１２５により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすく、また、発生した蒸気が出やすいため、より円滑に作動流体を移動させることができる。
【0202】
次に蒸気流路溝１２６について説明する。蒸気流路溝１２６は、蒸気状及び凝縮液状の作動流体が移動する部位であり、蒸気流路１０４の一部を構成する。図４２には平面視した蒸気流路溝１２６の形状、図４３には蒸気流路溝１２６の断面形状がそれぞれ表れている。
【0203】
これらの図からもわかるように、蒸気流路溝１２６は本体１２１の内面１２０ａのうち、環状である外周液流路部１２４の環の内側に形成された湾曲部を有する溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１２６は、隣り合う内側液流路部１２５の間、及び、外周液流路部１２４と内側液流路部１２５との間に形成された溝である。そして、複数（本形態では６つ）の蒸気流路溝１２６が、蒸気流路溝１２６が延びる方向とは異なる方向に配列されている。従って、図４３からわかるように第二シート１２０は、内側液流路部１２５を凸とする凸条が形成され、蒸気流路溝１２６を凹とする凹条が形成されて、これらの凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝１２６は溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に向かい合う反対側の部位に存する開口と、を備えている。
ここで蒸気流路溝１２６は溝であることから、その断面形状において、底部と、該底部に向かい合う反対側の部位に存する開口と、を備えている。
【0204】
蒸気流路溝１２６は、第一シート１１０と組み合わされた際に該第一シート１１０の蒸気流路溝１１６と厚さ方向に重なる位置に配置されていることが好ましい。これにより蒸気流路溝１１６と蒸気流路溝１２６とで蒸気流路１０４を形成することができる。
蒸気流路溝１２６の幅は特に限定されることはなく、第一シート１１０の蒸気流路溝１１６の幅と同じでもよいし、異なっていてもよい。本形態では蒸気流路溝１１６の幅と蒸気流路溝の幅とは同じである。
蒸気流路溝１２６の幅と蒸気流路溝１１６の幅とが異なっていると、接合時の位置ズレの影響を小さくすることができる。なお、蒸気流路溝１２６の幅を蒸気流路溝１１６の幅より大きくした場合には、内側液流路部１１５のうち少なくとも一部において、液流路溝１１５ａの開口が内側液流路部１２５により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすく、蒸気が出やすいため、より円滑な作動流体の移動をさせることができる。
一方、蒸気流路溝１２６の深さは、上記した第二シート２０の蒸気流路溝２６と同様に考えることができる。
蒸気流路溝１２６の幅は特に限定されることはなく、第一シート１１０の蒸気流路溝１１６の幅と同じでもよいし、異なっていてもよい。本形態では蒸気流路溝１１６の幅と蒸気流路溝の幅とは同じである。
蒸気流路溝１２６の幅と蒸気流路溝１１６の幅とが異なっていると、接合時の位置ズレの影響を小さくすることができる。なお、蒸気流路溝１２６の幅を蒸気流路溝１１６の幅より大きくした場合には、内側液流路部１１５のうち少なくとも一部において、液流路溝１１５ａの開口が内側液流路部１２５により閉鎖されずに開口し、ここから凝縮液が入りやすく、蒸気が出やすいため、より円滑な作動流体の移動をさせることができる。
一方、蒸気流路溝１２６の深さは、上記した第二シート２０の蒸気流路溝２６と同様に考えることができる。
【0205】
ここで蒸気流路溝１２６は、後で説明するように第一シート１１０と組み合わされて蒸気流路１０４が形成されたときに、蒸気流路１０４の幅が高さ（厚さ方向大きさ）よりも大きい扁平形状となるように構成されていることが好ましい。そのため、蒸気流路溝１２６の深さを蒸気流路溝１２６の幅で除した値で示されるアスペクト比は好ましくは４．０以上、より好ましくは８．０以上である。
【0206】
本形態で蒸気流路溝１２６の断面形状は半楕円形であるが、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形等であってもよい。
【0207】
蒸気流路連通溝１２７は、第一シート１１０の蒸気流路連通溝１１７と組み合わされて、蒸気流路溝１２６による複数の蒸気流路１０４の端部を連通する流路を形成する溝である。蒸気流路連通溝１２７は上記した第二シート２０の蒸気流路連通溝２７と同様に考えることができる。
【0208】
本形態では第二シート１２０は、外周液流路部１２４、内側液流路部１２５、及び蒸気流路溝１２６において、これらが延びる方向が変化する部位である湾曲部１２８ｃを備えている。すなわち、図４２からわかるように、第二シート１２０は、外周液流路部１２４、内側液流路部１２５、及び蒸気流路溝１２６がｘ方向に直線状に延びる直線部１２８ａ、外周液流路部１２４、内側液流路部１２５、及び蒸気流路溝１２６がｙ方向に直線状に延びる直線部１２８ｂ、及び、直線部１２８ａ及び直線部１２８ｂにおける外周液流路部１２４、内側液流路部１２５、及び蒸気流路溝１２６を連結する湾曲部１２８ｃを備える。従って湾曲部１２８ｃは、その一端が一方の直線部１２８ａに接続され、他端が他方の直線部１２８ｂに接続され、ｘ方向からｙ方向へ、及び、ｙ方向からｘ方向へ流れが向きを変えるように外周液流路部１２４、内側液流路部１２５、及び蒸気流路溝１２６が湾曲している。
【0209】
そして、本形態の湾曲部１２８ｃでは、外周液流路部１２４、内側液流路部１２５、及び蒸気流路溝１２６の態様は、上記した第一シート１１０の湾曲部１１８ｃと同様に考えることができる。
【0210】
次に、第一シート１１０と第二シート１２０とが組み合わされてベーパーチャンバ１０１とされたときの構造について説明する。この説明により、第一シート１１０及び第二シート１２０が有する各構成の配置、大きさ、形状等がさらに理解される。
図４５には、図２７にＩ１０９－Ｉ１０９で示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバ１０１を厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は第一シート１１０における図３１に表した図と、第二シート１２０における図４３に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１０１の切断面が表されたものである。
図４６には図４５にＩ１１０で示した部位を拡大した図を表した。
図４７には、図２７にＩ１１１－Ｉ１１１で示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバ１０１の厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は、第一シート１１０における図３３に表した図と、第二シート１２０における図４４に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１０１の切断面が表されたものである。
図４５には、図２７にＩ１０９－Ｉ１０９で示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバ１０１を厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は第一シート１１０における図３１に表した図と、第二シート１２０における図４３に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１０１の切断面が表されたものである。
図４６には図４５にＩ１１０で示した部位を拡大した図を表した。
図４７には、図２７にＩ１１１－Ｉ１１１で示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバ１０１の厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は、第一シート１１０における図３３に表した図と、第二シート１２０における図４４に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１０１の切断面が表されたものである。
【0211】
図２７、図２８、及び図４５乃至図４７よりわかるように、第一シート１１０と第二シート１２０とが重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバ１０１とされている。このとき第一シート１１０の内面１１０ａと第二シート１２０の内面１２０ａとが向かい合うように配置されており、第一シート１１０の本体１１１と第二シート１２０の本体１２１とが重なり、第一シート１１０の注入部１１２と第二シート１２０の注入部１２２とが重なっている。
【0212】
【0213】
本形態のベーパーチャンバ１０１は、薄型である場合に特にその効果が大きい。かかる観点から図２７、図４５にＬ１００で示したベーパーチャンバ１０１の厚さは１ｍｍ以下、より好ましくは０．４ｍｍ以下、さらに好ましくは０．２ｍｍ以下である。０．４ｍｍ以下とすることにより、ベーパーチャンバ１０１を設置する電子機器において、ベーパーチャンバを配置するスペースを形成するための加工（例えば溝形成等）をすることなく電子機器内部にベーパーチャンバを設置できることが多くなる。そして本形態によれば、このような薄いベーパーチャンバであっても熱的な性能を維持しつつ強度が高く変形に対して強いものとなる。
【0214】
一方、第一シート１１０の外周接合部１１３と第二シート１２０の外周接合部１２３とが重なるように配置されており、拡散接合やろう付け等の接合手段により両者が接合され、作動流体が封入されている。これにより、第一シート１１０と第二シート１２０との間に密閉空間１０２が形成されている。
【0215】
また、第一シート１１０の外周液流路部１１４と第二シート１２０の外周液流路部１２４とが重なるように配置されている。これにより外周液流路部１１４の液流路溝１１４ａ及び外周液流路部１２４により作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる凝縮液流路１０３が形成される。
同様に、第一シート１１０の凸条である内側液流路部１１５と第二シート１２０の凸条である内側液流路部１２５とが重なるように配置されている。これにより内側液流路部１１５の液流路溝１１５ａ及び内側液流路部１２５により凝縮液が流れる凝縮液流路１０３が形成される。
同様に、第一シート１１０の凸条である内側液流路部１１５と第二シート１２０の凸条である内側液流路部１２５とが重なるように配置されている。これにより内側液流路部１１５の液流路溝１１５ａ及び内側液流路部１２５により凝縮液が流れる凝縮液流路１０３が形成される。
【0216】
ここで、凝縮液流路１０３はベーパーチャンバ１０１の薄型化に伴い、その断面形状が扁平形状とされていることが好ましい。これにより毛細管力を高めることができ、凝縮液の移動をさらに円滑に行うことができるため、熱輸送能力を高い水準に維持することが可能となる。より具体的には凝縮液流路１０３の幅を高さで除した値で表されるアスペクト比が１．０より大きく４．０以下であることが好ましい。
このとき、凝縮液流路１０３の幅は、本形態では液流路溝１１５ａの幅に準じるが、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。幅が１０μｍより小さくなると流路抵抗が大きくなり輸送能力が低下する虞がある。一方、幅が３００μｍより大きくなると毛細管力が小さくなるため輸送能力が低下する虞がある。
また、凝縮液流路１０３の高さは、本形態において液流路溝１１５ａの深さに準じるが５μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましい。これにより移動に必要な凝縮液流路の毛細管力を十分に発揮することができる。なお、この高さは、凝縮液流路１０３を挟んで厚さ方向（ｚ方向）一方側及び他方側における第一シート１１０及び第二シート１２０の厚さ（肉厚）以下であることが好ましい。これにより凝縮液流路１０３に起因するベーパーチャンバの破断（破れ）をさらに防止することができる。
このとき、凝縮液流路１０３の幅は、本形態では液流路溝１１５ａの幅に準じるが、１０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。幅が１０μｍより小さくなると流路抵抗が大きくなり輸送能力が低下する虞がある。一方、幅が３００μｍより大きくなると毛細管力が小さくなるため輸送能力が低下する虞がある。
また、凝縮液流路１０３の高さは、本形態において液流路溝１１５ａの深さに準じるが５μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましい。これにより移動に必要な凝縮液流路の毛細管力を十分に発揮することができる。なお、この高さは、凝縮液流路１０３を挟んで厚さ方向（ｚ方向）一方側及び他方側における第一シート１１０及び第二シート１２０の厚さ（肉厚）以下であることが好ましい。これにより凝縮液流路１０３に起因するベーパーチャンバの破断（破れ）をさらに防止することができる。
【0217】
凝縮液流路１０３の断面形状は液流路溝１１４ａ及び液流路溝１１５ａの断面形状により、半楕円形であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形及びこれらも組み合わせ等であってもよい。また、三日月形状のようにすることもできる。
【0218】
なお、本形態では液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａは第一シート１１０にのみ設けられているため、凝縮液流路の高さは液流路溝１１４ａ、液流路溝１１５ａの深さに基づくものとなるが、これに限らず第二シート１２０にも液流路溝が設けられてもよい。この場合には第一シートの液流路溝と第二シートの液流路溝とが重なることで凝縮液流路が形成され、両方の液流路溝の深さの合計に準じた凝縮液流路の高さとなる。
【0219】
このように第一シート及び第二シートに液流路溝を設けてこれを重ねることで凝縮液流路とした場合、図４８乃至図５０のように凝縮液流路を構成することができる。
図４８の例は、第一シート及び第二シートの液流路溝が同じ幅、同じ位置に配置されている例である。
図４９の例は、第二シートにおける液流路溝の幅が第一シートにおける液流路溝の幅よりも大きくされ位置は一致する例である。この例では凝縮液流路内にＰで示したように凸部ができ、毛細管力を向上させ、凝縮液が移動する力（凝縮液の供給力）を高めることができる。
図５１の例は、第一シート及び第二シートの液流路溝が同じ幅であるが、位置がずれされて配置された例である。この例でも凝縮液流路内にＰで示したように凸部ができ、毛細管力を向上させ、凝縮液が移動する力（凝縮液の供給力）を高めることができる。
図４８の例は、第一シート及び第二シートの液流路溝が同じ幅、同じ位置に配置されている例である。
図４９の例は、第二シートにおける液流路溝の幅が第一シートにおける液流路溝の幅よりも大きくされ位置は一致する例である。この例では凝縮液流路内にＰで示したように凸部ができ、毛細管力を向上させ、凝縮液が移動する力（凝縮液の供給力）を高めることができる。
図５１の例は、第一シート及び第二シートの液流路溝が同じ幅であるが、位置がずれされて配置された例である。この例でも凝縮液流路内にＰで示したように凸部ができ、毛細管力を向上させ、凝縮液が移動する力（凝縮液の供給力）を高めることができる。
【0220】
また、上記したように凝縮液流路１０３には連通開口部１１４ｃ、及び連通開口部１１５ｃが形成されている。これにより複数の凝縮液流路１０３が連通し、凝縮液の均等化が図られて効率よく凝縮液の移動が行われる。また、蒸気流路１０４に隣接し、蒸気流路１０４と凝縮液流路１０３を連通する連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃについては、蒸気流路１０４で生じた凝縮液を円滑に凝縮液流路１０３に移動させ、及び、凝縮液流路１０３で発生した蒸気を円滑に蒸気流路１０４に移動させ、作動流体の移動を速やかに行わせることができる。
【0221】
また、外周液流路部１１４、外周液流路部１２４により形成される凝縮液流路１０３は、密閉空間１０２内の縁に沿って連続して環状に形成されていることが好ましい。すなわち、外周液流路部１１４、外周液流路部１２４により形成される凝縮液流路１０３は、他の構成要素によって寸断されることなく１周に亘って環状となって延びていることが好ましい。これにより凝縮液の移動を阻害する要因を減らせることができ、円滑に凝縮液を移動させることができる。
【0222】
本形態では、ここまで説明したように、シートに凝縮液流路溝を設けてこれにより流路を形成することで凝縮液流路としたが、その代わりに毛細管力を生じる手段を別途ここに配置して凝縮液流路としてもよい。そのために例えば、メッシュ（網状）材料、不織布、より線、及び金属粉の焼結体などのような、いわゆるウィックと呼ばれるものを配置することもできる。
【0223】
第一シート１１０の蒸気流路溝１１６の開口と第二シート１２０の蒸気流路溝１２６の開口とが向かい合うように重なって流路を形成しこれが蒸気流路１０４となる。
ここで、蒸気流路１０４はベーパーチャンバ１０１の薄型化に伴い、その断面形状が扁平形状とされていることが好ましい。これにより薄型化されても流路内の表面積を確保することが可能とされ、熱輸送能力を高い水準に維持することが可能となる。より具体的には、蒸気流路１０４の幅を蒸気流路１０４の高さで除した値で表されるアスペクト比が２．０以上であることが好ましい。さらに高い熱輸送能力を確保する観点から、当該比は４．０以上がさらに好ましい。
ここで、蒸気流路１０４はベーパーチャンバ１０１の薄型化に伴い、その断面形状が扁平形状とされていることが好ましい。これにより薄型化されても流路内の表面積を確保することが可能とされ、熱輸送能力を高い水準に維持することが可能となる。より具体的には、蒸気流路１０４の幅を蒸気流路１０４の高さで除した値で表されるアスペクト比が２．０以上であることが好ましい。さらに高い熱輸送能力を確保する観点から、当該比は４．０以上がさらに好ましい。
【0224】
図４７からわかるように、第一シート１１０の蒸気流路連通溝１１７の開口と第二シート１２０の蒸気流路連通溝１２７の開口とが向かい合うように重なり流路を形成して、蒸気流路溝１１６、及び、蒸気流路溝１２６により形成される複数の蒸気流路１０４をその端部を連通させ、作動流体の移動をバランスよく行うための流路になる。
【0225】
以上のようにベーパーチャンバ１０１の密閉空間１０２には、第一シート１１０及び第二シート１２０が有する形状により、凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４が形成される。図５１には密閉空間１０２に形成された凝縮液流路１０３及び蒸気流路に注目した図を表した。
図４６、図５１等からわかるように、ベーパーチャンバ１０１は、２つの蒸気流路１０４の間に、複数の凝縮液流路１０３が配置されてなる形状を具備する。これにより凝縮液が主要に流れるべき凝縮液流路１０３と、蒸気及び凝縮液が移動する蒸気流路１０４とが分離して交互に並ぶような形態となり、作動流体の円滑な移動が助けられる。
図４６、図５１等からわかるように、ベーパーチャンバ１０１は、２つの蒸気流路１０４の間に、複数の凝縮液流路１０３が配置されてなる形状を具備する。これにより凝縮液が主要に流れるべき凝縮液流路１０３と、蒸気及び凝縮液が移動する蒸気流路１０４とが分離して交互に並ぶような形態となり、作動流体の円滑な移動が助けられる。
【0226】
蒸気流路１０４及び凝縮液流路１０３により、蒸気流路１０４では蒸気及び凝縮液の状態である作動流体が移動して効率よく熱の移動及び拡散が行われる。一方、当該蒸気流路１０４とは分離して設けられた凝縮液流路１０３により毛細管力で凝縮液が効率よく移動するため、ドライアウトの発生を抑制することが可能となる。
【0227】
また、ベーパーチャンバ１０１では、凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４が延びる方向が異なる２つの直線部１０６が湾曲部１０７によって連結された態様となる。このような流路を形成することにより、ベーパーチャンバを電子機器に配置する際に、その配置に関する制約を受け、一直線状のみによる流路を形成することができないときであっても、湾曲部１０７を設けることで熱源から発生した熱を効率的に離隔した位置にまで移動させることができる。
【0228】
この湾曲部１０７は第一シート１１０の湾曲部１１８ｃ及び第二シート１２０の湾曲部１２８ｃにより形成される。従って、湾曲部１０７は、その一端が一方の直線部１０６に接続され、他端が他方の直線部１０６に接続され、ｘ方向からｙ方向へ、及び、ｙ方向からｘ方向へ流れが向きを変えるように凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４が湾曲している。
【0229】
そして本形態では、湾曲部１０７に属する蒸気流路１０４の流路断面積について、内側に配置される蒸気流路１０４の方が外側に配置される蒸気流路１０４の流路断面積よりも大きくなるように構成されている。これによれば、湾曲部における流動抵抗のバランスを高めることができ、作動流体の移動がより円滑となって熱輸送能力を高めることができる。具体的には流路の幅及び高さの少なくとも一方の大きさを調整することで蒸気流路の流路断面積を調整することができる。
ここで「流路断面積」は、流路が延びる方向に直交する面における流路の断面積である。
ここで「流路断面積」は、流路が延びる方向に直交する面における流路の断面積である。
【0230】
このように湾曲部１０７において蒸気流路１０４の流路断面積（本形態では幅）を大きくする手段、程度、及び考え方は、上記した第一シート１１０の湾曲部１１８ｃにおいて説明したことと同様である。
【0231】
また、湾曲部１０７では、凝縮液流路１０３と蒸気流路１０４とを仕切る壁１１４ｂ及び壁１１５ｂに設けられた連通開口部１１４ｃ及び連通開口部１１５ｃ（図３４、図３６参照）について、そのピッチを直線部１０６と異なるように構成することができる。これは湾曲部における連通開口部のピッチを直線部における湾曲部のピッチよりも大きくしてもよいし、小さくしてもよい。いずれかの形態とするかは、ベーパーチャンバの全体形状、熱源の位置等の影響を考慮し、流動抵抗を下げることができる形態を総合的に判断して採用することができる。または、この湾曲部１０７については、凝縮液流路１０３と蒸気流路１０４とを仕切る壁１１４ｂ及び壁１１５ｂに連通開口部１１４ｃ及び連通開口部１１５ｃを設けなくてもよい。
湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも大きくした形態では、蒸気流路１０４を流れる作動流体が湾曲部１０７で連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃへ進入することを抑制することができる。湾曲部１０７では蒸気流路１０４を移動する作動流体がその流れ方向により直接的に連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃに流れ込もうする力が働くため、蒸気が凝縮液流路１０３に入り込むことや、連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃの凹凸で流動抵抗が高くなる傾向にある。これに対して、湾曲部１０７で蒸気流路１０４に接する連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃのピッチを大きくしたり、蒸気流路１０４に接する連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃをなくしたりすることでこのような流動抵抗の上昇を抑えることができ、蒸気流路１０４ごとの流動抵抗の差をさらに小さくし、作動流体の移動のバランスを向上させ、熱輸送能力を高めることができることがある。
一方、湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも小さくした形態では、湾曲部では蒸気流路溝（蒸気流路）を流れる蒸気が壁面に強く当たる機会が増えるため、凝縮し易い傾向にある。このとき湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも小さくした形態することで、連通開口部の数を増やし、凝縮液を円滑に液流路溝（凝縮液流路）に導入させることができ、蒸気流路が凝縮液で閉鎖されることを抑制することが可能となる。これにより流動抵抗の上昇を抑えることができ、蒸気流路溝（蒸気流路）ごとの流動抵抗の差をさらに小さくし、作動流体の移動のバランスを向上させ、熱輸送能力を高めることができる場合がある。
湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも大きくした形態では、蒸気流路１０４を流れる作動流体が湾曲部１０７で連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃへ進入することを抑制することができる。湾曲部１０７では蒸気流路１０４を移動する作動流体がその流れ方向により直接的に連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃに流れ込もうする力が働くため、蒸気が凝縮液流路１０３に入り込むことや、連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃの凹凸で流動抵抗が高くなる傾向にある。これに対して、湾曲部１０７で蒸気流路１０４に接する連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃのピッチを大きくしたり、蒸気流路１０４に接する連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃをなくしたりすることでこのような流動抵抗の上昇を抑えることができ、蒸気流路１０４ごとの流動抵抗の差をさらに小さくし、作動流体の移動のバランスを向上させ、熱輸送能力を高めることができることがある。
一方、湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも小さくした形態では、湾曲部では蒸気流路溝（蒸気流路）を流れる蒸気が壁面に強く当たる機会が増えるため、凝縮し易い傾向にある。このとき湾曲部の連通開口部のピッチを直線部の連通開口部のピッチよりも小さくした形態することで、連通開口部の数を増やし、凝縮液を円滑に液流路溝（凝縮液流路）に導入させることができ、蒸気流路が凝縮液で閉鎖されることを抑制することが可能となる。これにより流動抵抗の上昇を抑えることができ、蒸気流路溝（蒸気流路）ごとの流動抵抗の差をさらに小さくし、作動流体の移動のバランスを向上させ、熱輸送能力を高めることができる場合がある。
【0232】
また、上記ピッチの大きさの代わりに、湾曲部において、隣り合う連通開口部の間である壁の長さ（流路に沿った方向の大きさ）が、直線部における壁の長さに対して大きくなるように構成してもよいし、小さくなるように構成してもよい。このとき、湾曲部に属する壁の長さは一定である必要はなく、壁ごとに異なっていてもよい。この場合に、湾曲部の壁の長さと直線部の壁の長さとの大小関係は、それぞれの部位に属する壁の長さの平均値同士の関係によるものとする。
【0233】
一方、注入部１１２、注入部１２２についても図２７、図２８に表れているように、その内面１１０ａ、内面１２０ａ同士が向かい合うように重なり、第二シート１２０の注入溝１２２ａの底部とは反対側の開口が第一シート１１０の注入部１１２の内面１１０ａにより塞がれ、外部と本体１１１、本体１２１間の中空部（凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４）とを連通する注入流路１０５が形成されている。
ただし、注入流路１０５から密閉空間１０２に対して作動流体を注入した後は、注入流路１０５は閉鎖されるので、最終的な形態のベーパーチャンバ１０１では外部と密閉空間１０２とは連通していない。
ただし、注入流路１０５から密閉空間１０２に対して作動流体を注入した後は、注入流路１０５は閉鎖されるので、最終的な形態のベーパーチャンバ１０１では外部と密閉空間１０２とは連通していない。
【0234】
そしてベーパーチャンバ１０１の密閉空間１０２には、作動流体が封入されている。作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン等、通常のベーパーチャンバに用いられる作動流体を用いることができる。
【0235】
以上のようなベーパーチャンバ１０１は上記したベーパーチャンバ１と同様に作製することができる。
【0236】
次にベーパーチャンバ１０１が作動したときの作用について説明する。ベーパーチャンバ１０１が電子機器に取り付けられる態様は図２３により説明した態様と同じように考えることができる。
【0237】
図５２には作動流体の挙動を説明する図を表した。説明のし易さのため、この図は図５１と同じ視点による図で、密閉空間１０２内に形成された凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４に注目した図である。
電子部品３０が発熱すると、その熱が第一シート１１０内を熱伝導により伝わり、密閉空間１０２内における電子部品３０に近い位置に存在する凝縮液が熱を受ける。この熱を受けた凝縮液は熱を吸収し蒸発し気化する。これにより電子部品３０が冷却される。
電子部品３０が発熱すると、その熱が第一シート１１０内を熱伝導により伝わり、密閉空間１０２内における電子部品３０に近い位置に存在する凝縮液が熱を受ける。この熱を受けた凝縮液は熱を吸収し蒸発し気化する。これにより電子部品３０が冷却される。
【0238】
気化した作動流体は蒸気となって、蒸気流路１０４を移動する。気化した作動流体の移動は、図５２に実線の直線矢印で示したように蒸気流路１０４内を振動するように移動する場合や、図示はしていないが振動することなく熱源である電子部品３０から離隔する一方向に移動する場合もある。
このとき、蒸気流路１０４には湾曲部１０７の湾曲した部位が含まれているが、湾曲部１０７が上記構成を備えているので、湾曲部１０７でも流動抵抗のバランスが良くされているため、作動流体が円滑に蒸気流路１０４を移動する。これにより高い熱輸送能力を発揮することができる。
そして作動流体の当該移動の際に、作動流体は順次第一シート１１０及び第二シート１２０に熱を奪われながら冷却される。蒸気から熱を奪った第一シート１１０及び第二シート１２０はその外面１１０ｂ、外面１２０ｂに接触した携帯型端末装置の筐体等に熱を伝え、最終的に熱は外気に放出される。そして、蒸気流路１０４を移動しつつ熱を奪われた作動流体は凝縮して液化する。
このとき、蒸気流路１０４には湾曲部１０７の湾曲した部位が含まれているが、湾曲部１０７が上記構成を備えているので、湾曲部１０７でも流動抵抗のバランスが良くされているため、作動流体が円滑に蒸気流路１０４を移動する。これにより高い熱輸送能力を発揮することができる。
そして作動流体の当該移動の際に、作動流体は順次第一シート１１０及び第二シート１２０に熱を奪われながら冷却される。蒸気から熱を奪った第一シート１１０及び第二シート１２０はその外面１１０ｂ、外面１２０ｂに接触した携帯型端末装置の筐体等に熱を伝え、最終的に熱は外気に放出される。そして、蒸気流路１０４を移動しつつ熱を奪われた作動流体は凝縮して液化する。
【0239】
蒸気流路１０４に生じた凝縮液の一部は、連通開口部等から凝縮液流路１０３に移動する。本形態の凝縮液流路１０３は連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃを備えているので、凝縮液はこの連通開口部１１４ｃ、連通開口部１１５ｃを通って複数の凝縮液流路１０３に分配される。
【0240】
凝縮液流路１０３に入った凝縮液は、凝縮液流路による毛細管力により、図５２に点線の直線矢印で表したように熱源である電子部品３０に近づくように移動する。そして再度熱源である電子部品３０からの熱により気化して上記過程を繰り返す。
【0241】
以上のように、ベーパーチャンバ１０１によれば、蒸気流路の作動流体の移動、及び、凝縮液流路における高い毛細管力で、作動流体の移動が円滑で良好になり、熱輸送能力を高めることができる。
また、ベーパーチャンバ１０１では湾曲部１０７を有する流路を形成することにより、ベーパーチャンバを電子機器に配置する際に、その配置に関する制約を受け、一直線状のみによる流路を形成することができないときであっても、熱源から発生した熱を効率的に離隔した位置にまで移動させることができる。
そして、当該湾曲部１０７では上記のように複数の蒸気流路１０４で流動抵抗の差が小さくなる構成とされているので、バランスよく作動流体を移動させることができ、熱輸送能力を高めることができる。
また、ベーパーチャンバ１０１では湾曲部１０７を有する流路を形成することにより、ベーパーチャンバを電子機器に配置する際に、その配置に関する制約を受け、一直線状のみによる流路を形成することができないときであっても、熱源から発生した熱を効率的に離隔した位置にまで移動させることができる。
そして、当該湾曲部１０７では上記のように複数の蒸気流路１０４で流動抵抗の差が小さくなる構成とされているので、バランスよく作動流体を移動させることができ、熱輸送能力を高めることができる。
【0242】
【0243】
ベーパーチャンバ２０１は、図５３、図５４からわかるように第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０を有している。そして、この第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０が重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより、第一シート２１０と第二シート２２０との間で、第一シート２１０、第二シート２２０、及び第三シート２３０に囲まれる中空部が形成され、この中空部に作動流体が封入されて密閉空間２０２となる。
【0244】
本形態で第一シート２１０は全体としてシート状の部材である。第一シート２１０は表裏とも平坦な面により構成されており、内面２１０ａ、該内面２１０ａとは反対側となる外面２１０ｂ、及び、内面２１０ａと外面２１０ｂとを渡して厚さを形成する側面２１０ｃを備える。
【0245】
第一シート２１０は本体２１１及び注入部２１２を備えている。本体２１１は作動流体が移動する密閉空間を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角が円弧（いわゆるＲ）にされた長方形である。
注入部２１２は第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０により形成された密閉空間に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体２１１の平面視Ｌ字型から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート２１０の注入部２１２は内面２１０ａ側も外面２１０ｂ側も平坦面とされている。
注入部２１２は第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０により形成された密閉空間に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体２１１の平面視Ｌ字型から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート２１０の注入部２１２は内面２１０ａ側も外面２１０ｂ側も平坦面とされている。
【0246】
本形態で第二シート２２０は全体としてシート状の部材である。第二シート２２０は表裏とも平坦な面により構成されており、内面２２０ａ、該内面２２０ａとは反対側となる外面２２０ｂ、及び、内面２２０ａと外面２２０ｂとを渡して厚さを形成する側面２２０ｃを備える。
【0247】
そして第二シート２２０も本体２２１及び注入部２２２を有している。
【0248】
本形態で第三シート２３０は、第一シート２１０の内面２１０ａと第二シート２２０の内面２２０ａとの間に挟まれて重ねられるシートであり、本体２３１に作動流体が移動するための構造が形成されている。図５５、図５６には第三シート２３０を平面視した図を表した。図５５は第二シート２２０に重ねられる面の図、図５６は第一シート２１０に重ねられる面の図である。また図５７には図５５にＩ２０１－Ｉ２０１で示した線に沿った切断面、図５８には図５５にＩ２０２－Ｉ２０２で示した線に沿った切断面をそれぞれ示した。
【0249】
第三シート２３０は本体２３１及び注入部２３２を備えている。本体２３１は作動流体が移動する密閉空間を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で湾曲部を有するＬ字状である。
注入部２３２は第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０により形成された密閉空間に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体２３１の平面視Ｌ字型から突出する平面視四角形のシート状である。注入部２３２には、第一シート２１０に重なる面側に注入溝２３２ａが形成されている。注入溝２３２ａは上記した注入溝１２２ａと同様に考えることができる。
注入部２３２は第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０により形成された密閉空間に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体２３１の平面視Ｌ字型から突出する平面視四角形のシート状である。注入部２３２には、第一シート２１０に重なる面側に注入溝２３２ａが形成されている。注入溝２３２ａは上記した注入溝１２２ａと同様に考えることができる。
【0250】
本体２３１は、外周接合部２３３、外周液流路部２３４、内側液流路部２３５、蒸気流路スリット２３６、及び、蒸気流路連通溝２３７が具備されている。
【0251】
外周接合部２３３は、本体２３１の外周に沿って形成された部位である。そして外周接合部２３３のうち一方の面が第一シート２１０の面に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）され、他方の面が第二シート２２０の面に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）される。これにより、第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０に囲まれた中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間となる。
外周接合部２３３は上記した外周接合部１１３と同様に考えることができる。
外周接合部２３３は上記した外周接合部１１３と同様に考えることができる。
【0252】
外周液流路部２３４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る流路である凝縮液流路１０３の一部を構成する部位である。外周液流路部２３４は本体２３１のうち外周接合部２３３の内側に沿って形成され、密閉空間２０２の外周に沿って環状となるように設けられている。そして外周液流路部２３４のうち、第二シート２２０に対向する側の面には液流路溝２３４ａが形成されている。本形態では液流路溝２３４ａは第二シート２２０に対向する側の面にのみ設けられているが、これに加えて第一シート２１０に対向する側の面にも液流路溝が設けられてもよい。
外周液流路部２３４、及び、ここに具備される液流路溝２３４ａは上記した外周液流路部１１４、及び、液流路溝１１４ａと同様に考えることができる。
外周液流路部２３４、及び、ここに具備される液流路溝２３４ａは上記した外周液流路部１１４、及び、液流路溝１１４ａと同様に考えることができる。
【0253】
内側液流路部２３５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る凝縮液流路１０３の一部を構成する部位である。内側液流路部２３５は本体２３１のうち、環状である外周液流路部２３４の環の内側に湾曲部を有して延びるよう形成されている。そして、複数（本形態では５つ）の内側液流路部２３５が当該延びる方向とは異なる方向に配列され、蒸気流路スリット２３６の間に配置されている。
【0254】
内側液流路部２３５のうち、第二シート２２０に対向する側の面には、内側液流路部２３５が延びる方向に平行な溝である液流路溝２３５ａが形成されている。内側液流路部２３５及び液流路溝２３５ａは、上記した内側液流路部１１５及び液流路溝１１５ａと同様に考えることができる。
本形態では液流路溝２３５ａは第二シート２２０に対向する側の面にのみ設けられているが、これに加えて第一シート２１０に対向する側の面にも液流路溝が設けられてもよい。
本形態では液流路溝２３５ａは第二シート２２０に対向する側の面にのみ設けられているが、これに加えて第一シート２１０に対向する側の面にも液流路溝が設けられてもよい。
【0255】
蒸気流路スリット２３６は、蒸気状及び凝縮液状の作動流体が移動する部位で、蒸気流路１０４を構成するスリットである。蒸気流路スリット２３６は本体２３１のうち、環状である外周液流路部２３４の環の内側に形成された、湾曲部を有するスリットにより構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路スリット２３６は、隣り合う内側液流路部２３５の間、及び、外周液流路部２３４と内側液流路部２３５との間に形成されたスリットである。従って蒸気流路スリット２３６は第三シート２３０の厚さ方向（ｚ方向）に貫通している。
そして、複数（本形態では６つ）の蒸気流路スリット２３６が、延びる方向とは異なる方向に配列されている。従って、図６０からわかるように第三シート２３０は、外周液流路部２３４及び内側液流路部２３５と蒸気流路スリット２３６とが交互に繰り返された形状を備えている。
そして、複数（本形態では６つ）の蒸気流路スリット２３６が、延びる方向とは異なる方向に配列されている。従って、図６０からわかるように第三シート２３０は、外周液流路部２３４及び内側液流路部２３５と蒸気流路スリット２３６とが交互に繰り返された形状を備えている。
【0256】
このような蒸気流路スリット２３６は、上記した蒸気流路溝１１６と蒸気流路溝１２６とが組み合わされて形成される蒸気流路１０４の態様と同様に考えることができる。
【0257】
本形態では蒸気流路スリット２３６の断面形状は楕円の円弧の一部同士が重なるようにして形成された形状で、厚さ方向中央が突出する形であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、三日月形、及びこれらの組み合わせ等のように他の形態であってもよい。
【0258】
蒸気流路連通溝２３７は、複数の蒸気流路スリット２３６を連通させる流路を形成する溝である。これにより、内側液流路部２３５が延びる方向における蒸気流路で生じる作動流体の移動のバランスを取ることができる。
また、これにより蒸気流路にある作動流体の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの液流路溝２３４ａ、液流路溝２３５ａによる凝縮液流路を効率よく利用できるようになったりもする。
また、これにより蒸気流路にある作動流体の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの液流路溝２３４ａ、液流路溝２３５ａによる凝縮液流路を効率よく利用できるようになったりもする。
【0259】
本形態の蒸気流路連通溝２３７は、内側液流路部２３５が延びる方向の両端部及び蒸気流路スリット２３６が延びる方向の両端部と、外周液流路部２３４との間に形成されている。蒸気流路連通溝２３７は、隣り合う蒸気流路スリット２３６を連通させることができればよく、その形状は特に限定されることはないが、上記した蒸気流路連通溝１１７と蒸気流路連通溝１２７とを重ねて形成された流路と同様に考えることができる。
【0260】
また第三シート２３０についても、ベーパーチャンバ２０１が密閉空間において凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４が直線部と湾曲部とを有するように、直線部２３８ａ、直線部２３８ｂ、及び湾曲部２３８ｃを具備してなる。これら直線部及び湾曲部の考え方はここまで説明したものと同様である。
【0261】
このような第三シート２３０は、両面ごとに個別になされるエッチング、両面から同時のエッチング、プレス加工、又は、切削加工などにより作製することが可能である。
【0262】
図５９乃至図６１には、第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０が組み合わされてベーパーチャンバ２０１とされたときの構造について説明する図を表した。図５９には図５３にＩ２０３－Ｉ２０３で示した線に沿った切断面、図６０には図５９の一部を拡大した図を表した。また図６１には図５３にＩ２０４－Ｉ２０４で示した線に沿った切断面を表した。
【0263】
図５３、及び、図５９乃至図６１よりわかるように、第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０が重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバ２０１とされている。このとき第一シート２１０の内面２１０ａと第三シート２３０の一方の面（液流路溝２３４ａ、液流路溝２３５ａが配置されていない側の面）とが向かい合うように配置され、第二シート２２０の内面２２０ａと第三シート２３０の他方の面（液流路溝２３４ａ、液流路溝２３５ａが配置された側の面）とが向かい合うように重ねられる。同様にして各シートの注入部２１２、注入部２２２、及び注入部２３２も重ねられる。
【0264】
これにより、第一シート２１０と第二シート２２０との間には、第一シート２１０、第二シート２２０、及び、第三シート２３０で囲まれる密閉空間が形成される。そしてここには凝縮液流路１０３、及び、蒸気流路１０４が形成される。これら密閉空間内における凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４の形態については、上記したベーパーチャンバ１０１の凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４と同様の考え方を適用することができる。
【0265】
なお、上記形態では２つの直線部が９０度で交差してＬ字型となるように延びる場合の交差部分に湾曲部を有するベーパーチャンバについて説明した。ただし湾曲の形態はこれに限定されず他の形態であっても上記説明の湾曲部の態様を適用することが可能である。例えば、２つの直線部がＴ字に交差する方向に延びる場合の交差部分、２つの直線部が十字に交差する方向に延びる場合の交差部分、２つの直線が鋭角（９０度より小さい角度）で交差してＶ字型となるように延びる場合の交差部分、及び、２つの直線が鈍角（９０度より大きい角度）で交差してＶ字型となるように延びる場合の交差部分の各交差部分に上記した湾曲部を適用することができる。
【0266】
［第３の形態］
第３の形態では、最終の製造物であるベーパーチャンバの製造途中で得られる物である中間体、この中間体が多面付けされたシート、及びこのシートが巻かれたロールについて説明することから、便宜上、製造方法を示し、これに沿って説明しつつ、得られる中間体、中間体が多面付けされたシート、及び中間体が多面付けされたロールの構成ついて説明をする。
第３の形態では、最終の製造物であるベーパーチャンバの製造途中で得られる物である中間体、この中間体が多面付けされたシート、及びこのシートが巻かれたロールについて説明することから、便宜上、製造方法を示し、これに沿って説明しつつ、得られる中間体、中間体が多面付けされたシート、及び中間体が多面付けされたロールの構成ついて説明をする。
【0267】
＜＜ベーパーチャンバの製造方法Ｓ１＞＞
図６２には１つの形態にかかるベーパーチャンバの製造方法Ｓ３０１（以下、「製造方法Ｓ３０１」と記載することがある。）の流れを示した。図６２からわかるように、製造方法Ｓ３０１は、多面付け中間体シート・多面付け中間体ロールの製造Ｓ３１０、中間体の製造Ｓ３２０、注入口の形成Ｓ３３０、注液Ｓ３４０、及び、封止Ｓ３５０の各工程を含んでいる。
なお、以下では便宜のため、「ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシート」を「多面付け中間体シート」、「ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシートが巻かれたロール」を「多面付け中間体ロール」と記載することがある。
以下に各工程について詳しく説明する。
図６２には１つの形態にかかるベーパーチャンバの製造方法Ｓ３０１（以下、「製造方法Ｓ３０１」と記載することがある。）の流れを示した。図６２からわかるように、製造方法Ｓ３０１は、多面付け中間体シート・多面付け中間体ロールの製造Ｓ３１０、中間体の製造Ｓ３２０、注入口の形成Ｓ３３０、注液Ｓ３４０、及び、封止Ｓ３５０の各工程を含んでいる。
なお、以下では便宜のため、「ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシート」を「多面付け中間体シート」、「ベーパーチャンバ用の中間体が多面付けされたシートが巻かれたロール」を「多面付け中間体ロール」と記載することがある。
以下に各工程について詳しく説明する。
【0268】
＜材料＞
製造方法Ｓ３０１に先立って、材料を準備する。本形態では２枚のシートを接合することによりベーパーチャンバを製造することから、２枚の材料シートを準備する。
以下で説明するように、本形態では、２枚の材料シートから枚葉でベーパーチャンバを作製する形態ではなく、帯状に長い２つの材料シートを重ね合わせて複数の中間体が配列された多面付け中間体シート、多面付け中間体ロールを作製し、その後に中間体を個別に打ち抜く等してベーパーチャンバを作製するいわゆる「多面付け」の工程を経る態様である。従って、本形態で準備する材料シートは帯状に長い２つのシートであり、通常はこの帯状のシートが巻かれたロールで提供されている。
ただし、本開示は、多面付け特有の工程を除いては枚葉で作製する中間体、及び、枚葉で作製するベーパーチャンバのそれぞれの製造方法にも適用することができる。
製造方法Ｓ３０１に先立って、材料を準備する。本形態では２枚のシートを接合することによりベーパーチャンバを製造することから、２枚の材料シートを準備する。
以下で説明するように、本形態では、２枚の材料シートから枚葉でベーパーチャンバを作製する形態ではなく、帯状に長い２つの材料シートを重ね合わせて複数の中間体が配列された多面付け中間体シート、多面付け中間体ロールを作製し、その後に中間体を個別に打ち抜く等してベーパーチャンバを作製するいわゆる「多面付け」の工程を経る態様である。従って、本形態で準備する材料シートは帯状に長い２つのシートであり、通常はこの帯状のシートが巻かれたロールで提供されている。
ただし、本開示は、多面付け特有の工程を除いては枚葉で作製する中間体、及び、枚葉で作製するベーパーチャンバのそれぞれの製造方法にも適用することができる。
【0269】
材料シートを構成する材料は特に限定されることはないが、金属を用いることができる。その中でも熱伝導率が高い金属であることが好ましい。これには例えば銅、銅合金、アルミニウム等を挙げることができる。ただし、必ずしも金属材料である必要はなく、例えばＡｌＮ、Ｓｉ３Ｎ４、又はＡｌ２Ｏ３などセラミックスや、ポリイミドやエポキシなど樹脂も可能である。
また、１つシートで２種類以上の材料を積層したもの（いわゆるクラッド材やベーパーチャンバ１で説明した第一シート１０や第二シート２０）を用いてもよいし、部位によって材質が異なる材料であってもよい。
また、１つシートで２種類以上の材料を積層したもの（いわゆるクラッド材やベーパーチャンバ１で説明した第一シート１０や第二シート２０）を用いてもよいし、部位によって材質が異なる材料であってもよい。
【0270】
材料シートの厚さはベーパーチャンバ１の第一シート１０、第二シート２０、ベーパーチャンバ１０１の第一シート１１０、第二シート１２０等と同様に考えることができる。
【0271】
＜多面付け中間体シート・多面付け中間体ロールの製造Ｓ３１０＞
多面付け中間体シート・多面付け中間体ロールの製造Ｓ３１０（以下、「工程Ｓ３１０」と記載することがある。）は、上記した材料から多面付け中間体シート、及び／又は、多面付け中間体ロールを製造する。図６３には工程Ｓ３１０の流れを示した。図６３からわかるように、工程Ｓ３１０は、加工Ｓ３１１及び接合Ｓ３１２の工程を含んでいる。
多面付け中間体シート・多面付け中間体ロールの製造Ｓ３１０（以下、「工程Ｓ３１０」と記載することがある。）は、上記した材料から多面付け中間体シート、及び／又は、多面付け中間体ロールを製造する。図６３には工程Ｓ３１０の流れを示した。図６３からわかるように、工程Ｓ３１０は、加工Ｓ３１１及び接合Ｓ３１２の工程を含んでいる。
【0272】
（加工Ｓ３１１）
加工Ｓ３１１は、ベーパーチャンバの流路のための形状を形成する工程である。本形態では２つの材料シートのうち一方の材料シートである多面付け第一シート３０１に当該形状を形成し、他方の材料シートである多面付け第二シート３０２は流路のための加工はすることなく利用する。図６４には、加工後で形状３１０が付与された多面付け第一シート３０１を説明する図を表した。この図からわかるように、多面付け第一シート３０１には、ベーパーチャンバの流路のための形状３１０が複数配列されており、形状３１０が多面付けされたシート３０１となり、このシート３０１が巻かれてロールとなっている。
加工Ｓ３１１は、ベーパーチャンバの流路のための形状を形成する工程である。本形態では２つの材料シートのうち一方の材料シートである多面付け第一シート３０１に当該形状を形成し、他方の材料シートである多面付け第二シート３０２は流路のための加工はすることなく利用する。図６４には、加工後で形状３１０が付与された多面付け第一シート３０１を説明する図を表した。この図からわかるように、多面付け第一シート３０１には、ベーパーチャンバの流路のための形状３１０が複数配列されており、形状３１０が多面付けされたシート３０１となり、このシート３０１が巻かれてロールとなっている。
【0273】
形状３１０の形成方法は特に限定されることはなく、エッチング、切削加工、及びプレス加工等を挙げることができる。この中でもエッチングによる形状の形成は他の方法に比べて効率がよく量産性が高い。この場合には、材料シートの厚さ方向に貫通することなくその途中までエッチングを行う、いわゆるハーフエッチングを適用することができる。
【0274】
ここで形状３１０の具体的態様は特に限定されることはないが、例えば次のような形態とすることができる。図６５～図６７に一つの形態例を説明する図を示した。図６５は、図６４のうち、多面付けされた形状３１０のうちの１つの形状３１０に注目した外観斜視図である。図６６には図６５をｚ方向から見た（平面視した）図を表した。また、図６７には図６６にＩ３０１－Ｉ３０１で切断したときの断面図を表した。
【0275】
付与される形状は、作動流体が還流するための流路となる溝、及び、この溝に作動流体を注入するための流路となる溝である。本形態では具体的に、外周液流路部３１４、内側液流路部３１５、蒸気流路溝３１６、及び、蒸気流路連通溝３１７、及び、注入溝３１８を具備している。
【0276】
外周液流路部３１４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３５４（図８４等参照）の一部を構成する部位である。図６８には図６７のうち矢印Ｉ３０２で示した部分、図６９には図６６にＩ３０３－Ｉ３０３で切断される部位の切断面を示した。いずれの図にも外周液流路部３１４の断面形状が表れている。また、図９０には図７に矢印Ｉ３０４で示した方向（ｚ方向、平面視）から見た外周液流路部３１４の一部の拡大図を表した。
【0277】
これら図からわかるように、外周液流路部３１４は、環状に構成される部位である。そして、外周液流路部３１４には、この環状方向に沿って延びる複数の溝である液流路溝３１４ａが設けられ、複数の液流路溝３１４ａが、該液流路溝３１４ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図６８、図６９からわかるように外周液流路部３１４ではその断面において凹部である液流路溝３１４ａと液流路溝３１４ａの間である凸部３１４ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。そして本形態では、外周液流路部３１４において、図７０からわかるように、隣り合う液流路溝３１４ａは、所定の間隔で連通開口部３１４ｃにより連通している。
【0278】
このような外周液流路部３１４の形態は、上記した各形態のベーパーチャンバの外周液流路部と同様に考えることができる。
【0279】
内側液流路部３１５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に流れる第２流路である凝縮液流路３５４の一部を構成する部位である。図７１には図６７のうち矢印Ｉ３０５で示した部分を示した。この図にも内側液流路部３１５の断面形状が表れている。また、図７２には図７１に矢印Ｉ３０６で示した方向から見た（ｚ方向から見た、平面視した）内側液流路部３１５の一部を拡大した図を示した。
【0280】
これら図からわかるように、内側液流路部３１５は、外周液流路部３１４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部３１５は、図６５、図６６からわかるように、ｘ方向に延びる壁であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路当該延びる方向に直交する方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
各内側液流路部３１５には、内側液流路部３１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝３１５ａが形成され、複数の液流路溝３１５ａが、該液流路溝３１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図６７、図７１からわかるように内側液流路部３１５ではその断面において、凹部である液流路溝３１５ａと液流路溝３１５ａの間である凸部３１５ｂによる凸条とが凹凸を繰り返して形成されている。そして、図７２からわかるように隣り合う液流路溝３１５ａは、所定の間隔で連通開口部３１５ｃにより連通している。
各内側液流路部３１５には、内側液流路部３１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝３１５ａが形成され、複数の液流路溝３１５ａが、該液流路溝３１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図６７、図７１からわかるように内側液流路部３１５ではその断面において、凹部である液流路溝３１５ａと液流路溝３１５ａの間である凸部３１５ｂによる凸条とが凹凸を繰り返して形成されている。そして、図７２からわかるように隣り合う液流路溝３１５ａは、所定の間隔で連通開口部３１５ｃにより連通している。
【0281】
このような内側液流路部３１５の形態は、上記した各形態のベーパーチャンバの内側液流路部と同様に考えることができる。
【0282】
蒸気流路溝３１６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位で、第１流路である蒸気流路３５５（図８４等参照）の一部を構成する。図６６にはｚ方向から見た蒸気流路溝３１６の形状、図６７には蒸気流路溝３１６の断面形状がそれぞれ表れている。
【0283】
これら図からもわかるように、蒸気流路溝３１６は外周液流路部３１４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝３１６は、隣り合う内側液流路部３１５の間、及び、外周液流路部３１４と内側液流路部３１５との間に形成され、内側液流路部３１５が延びる方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝３１６が当該延びる方向に直交する方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図６７からわかるように、ｙ方向において、外周液流路部３１４及び内側液流路部３１５の凸条、蒸気流路溝３１６を凹条とした凹凸が繰り返された形状を備えている。
【0284】
このような蒸気流路溝３１６の形態は、上記した各形態のベーパーチャンバの蒸気流路溝と同様に考えることができる。
【0285】
蒸気流路連通溝３１７は、複数の蒸気流路溝３１６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路３５５の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３５４を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。
蒸気流路連通溝３１７の形態は、上記した各形態のベーパーチャンバの蒸気流路連通溝と同様に考えることができる。
蒸気流路連通溝３１７の形態は、上記した各形態のベーパーチャンバの蒸気流路連通溝と同様に考えることができる。
【0286】
【0287】
（接合Ｓ３１２）
図６３に示した接合Ｓ３１２では、上記のように加工Ｓ３１１で準備した多面付け第一シート３０１と多面付け第二シート３０２とを重ね合せて接合し、多面付け中間体シート３５０、及び、これを巻いてなる多面付け中間体ロール３５１を製造する。
接合方法は特に限定されることはなく、具体的には拡散接合、ろう付け、照射等を挙げることができる。ここでは１つの例として照射で接合する場合を説明する。図７３に説明のための図を示した。なお、本形態ではこれらの接合はいずれも不図示の真空ポンプに接続された真空槽３６０の中で行われる。
図６３に示した接合Ｓ３１２では、上記のように加工Ｓ３１１で準備した多面付け第一シート３０１と多面付け第二シート３０２とを重ね合せて接合し、多面付け中間体シート３５０、及び、これを巻いてなる多面付け中間体ロール３５１を製造する。
接合方法は特に限定されることはなく、具体的には拡散接合、ろう付け、照射等を挙げることができる。ここでは１つの例として照射で接合する場合を説明する。図７３に説明のための図を示した。なお、本形態ではこれらの接合はいずれも不図示の真空ポンプに接続された真空槽３６０の中で行われる。
【0288】
多面付け第一シート３０１、及び、多面付け第二シート３０２がそれぞれロールから巻き出される。
【0289】
次いで、巻き出された多面付け第一シート３０１のうち、上記した形状３１０が形成された側の面に対して、照射装置３６１から、原子ビーム、イオンビーム、及びプラズマの少なくとも１つを照射する。
ここで、照射する原子ビームは中性原子の集団を一定の進行方向に細い線束として走らせたもの、イオンビームはイオンを電界で加速したもの、プラズマは気体を構成する分子が電離し陽イオンと電子に分かれて運動している状態をそれぞれ意味する。
これにより、多面付け第一シート３０１のうち照射が行われた面の酸化膜が除去される。
ここで、照射する原子ビームは中性原子の集団を一定の進行方向に細い線束として走らせたもの、イオンビームはイオンを電界で加速したもの、プラズマは気体を構成する分子が電離し陽イオンと電子に分かれて運動している状態をそれぞれ意味する。
これにより、多面付け第一シート３０１のうち照射が行われた面の酸化膜が除去される。
【0290】
同様に、巻き出された多面付け第二シート３０２のうち、多面付け第一シート３０１に重ねる側の面に対して、照射装置３６２から、原子ビーム、イオンビーム、及びプラズマの少なくとも１つを照射する。
これにより、多面付け第二シート３０２のうち照射が行われた面の酸化膜が除去される。
これにより、多面付け第二シート３０２のうち照射が行われた面の酸化膜が除去される。
【0291】
以上のようにして照射が行われた多面付け第一シート３０１の面と多面付け第二シート３０２の面とを重ね合せて押圧ロール３６３により押圧する。これにより多面付第一シート３０１と多面付け第二シート３０２とが接合され、多面付け中間体シート３５０となる。そしてこの多面付け中間体シート３５０が巻き取られて多面付け中間体ロール３５１となる。
【0292】
このようにして、接合するシートの接合面に対して上記のような照射を行ってから接合を行うと、酸化膜が除去されており、高い温度による接合を行う必要がないため、材料の変質を抑制することができる。特に、ベーパーチャンバが薄くなることに伴い、このような材料の変質は例えば作動流体の封止不良等の問題を引き起こしやすくするため、このような問題の発生を抑制することができる。
また、接合面における酸化膜の除去だけでなく、液流路溝３１４ａ、液流路溝３１５ａ、蒸気流路溝３１６、蒸気流路連通溝３１７の内側の酸化膜も除去できるため、その内面の濡れ性が高まり、ベーパーチャンバの熱輸送性能も向上させることができる。
また、接合面における酸化膜の除去だけでなく、液流路溝３１４ａ、液流路溝３１５ａ、蒸気流路溝３１６、蒸気流路連通溝３１７の内側の酸化膜も除去できるため、その内面の濡れ性が高まり、ベーパーチャンバの熱輸送性能も向上させることができる。
【0293】
なお、このような酸化膜除去効果、及びこれによる熱輸送性能の向上は、拡散接合やろう付けでも認めることができる。
【0294】
図７４には多面付け中間体シート３５０、及び、多面付け中間体ロール３５１の外観を示した。図７４では、形状３１０は多面付け第一シート３０１と多面付け第二シート３０２との間に配置され外部からは見えないで点線で表している。
図７５には、多面付け中間体シート３５０の多面付けした形状３１０のうちの１つの形状にかかる部位の断面を表している。この断面は図６７と同様の視点による図である。
図７５には、多面付け中間体シート３５０の多面付けした形状３１０のうちの１つの形状にかかる部位の断面を表している。この断面は図６７と同様の視点による図である。
【0295】
これら図からわかるように、多面付け中間体シート３５０、及び、多面付け中間体ロール３５１では、液流路溝３１４ａ、液流路溝３１５ａ、蒸気流路溝３１６、蒸気流路連通溝３１７の開口が多面付け第二シート３０２により閉鎖されており、中空部を形成している。
そして本形態では中空部内は酸素濃度が１％以下となるように構成している。好ましくは０．１％以下、より好ましくは５００ｐｐｍ以下である。そして、この中空部は外部から遮断されており、多面付け中間体シート３５０、多面付け中間体ロール３５１の外部とは連通していないので、この酸素濃度が維持されている。
これによれば、多面付け中間体シート３５０、多面付け中間体ロール３５１を保管、搬送する等、すぐにはベーパーチャンバへの加工はしないときであっても、中空部の内側を酸素濃度が低い状態に維持することができるため、中空部の内面の酸化膜の生成を抑制することができる。従って、その後この多面付け中間体シート３５０を用いてベーパーチャンバを作製しても流路（凝縮液流路３５４、蒸気流路３５５）の内面に酸化膜が少なく、熱輸送性能が良好なベーパーチャンバとすることが可能である。
そして本形態では中空部内は酸素濃度が１％以下となるように構成している。好ましくは０．１％以下、より好ましくは５００ｐｐｍ以下である。そして、この中空部は外部から遮断されており、多面付け中間体シート３５０、多面付け中間体ロール３５１の外部とは連通していないので、この酸素濃度が維持されている。
これによれば、多面付け中間体シート３５０、多面付け中間体ロール３５１を保管、搬送する等、すぐにはベーパーチャンバへの加工はしないときであっても、中空部の内側を酸素濃度が低い状態に維持することができるため、中空部の内面の酸化膜の生成を抑制することができる。従って、その後この多面付け中間体シート３５０を用いてベーパーチャンバを作製しても流路（凝縮液流路３５４、蒸気流路３５５）の内面に酸化膜が少なく、熱輸送性能が良好なベーパーチャンバとすることが可能である。
【0296】
そのための１つの手段として、中空部内を真空状態とすることができる。ここで「真空状態」とは、完全な真空に限らず、例えば圧力を１３４Ｐａ以下（１Ｔｏｒｒ以下）とすればよい。
【0297】
中空部内を真空状態にする方法は、特に限定されることはないが、例えば上記のように、多面付け第一シート３０１と多面付け第二シート３０２とを接合する際に、真空雰囲気で行うことが考えられる。上記した照射による接合のみでなく、拡散接合やろう付けによる接合であっても真空雰囲気で接合することが可能である。
【0298】
また、本形態では、多面付け中間体シート３５０、多面付け中間体ロール３５１の中空部内が真空状態である例を説明したが、酸素濃度を抑えて中空部の内面における酸化膜生成を抑制することができればよく、真空状態とする代わりに中空部内に窒素やアルゴン等の不活性ガスを含めるように構成してもよい。これによっても中空部内の酸素濃度を抑制し、酸化膜の生成を抑えることができる。
この場合にも、不活性ガス雰囲気で接合することができる接合方法により接合を行うことで中空部内に当該不活性ガスを含ませることが可能である。
この場合にも、不活性ガス雰囲気で接合することができる接合方法により接合を行うことで中空部内に当該不活性ガスを含ませることが可能である。
【0299】
また、中空部内には水分が含まれていても良い。
【0300】
なお、中空部内に空気を含み、酸素濃度が１％より大きい構成であっても、上記のように中空部が外部から遮断されており、空気の入れ替わりが無いため、中空部が外部と連通している場合に比べると酸化膜の生成は抑制される。従って、程度の差はあるにしても、中空部に空気が含まれた形態を採用しても上記効果を奏するものとなる。
【0301】
＜中間体の製造Ｓ３２０＞
図６２に示した中間体の製造Ｓ３２０では、多面付け中間体シート３５０、多面付け中間体ロール３５１から、中間体３５２を製造する。具体的には、中間体３５２は、中間体３５２となるべき物が多面付けされた多面付け中間体シート３５０から個別の中間体３５２を打ち抜き等の公知の方法を用いて取り出す。
図７６には中間体３５２の外観斜視図、図７７には中間体３５２をｚ方向からみた（平面視した）図を表した。図７７には中間体３５２の内部に形成された中空部の形態を点線で表している。
図６２に示した中間体の製造Ｓ３２０では、多面付け中間体シート３５０、多面付け中間体ロール３５１から、中間体３５２を製造する。具体的には、中間体３５２は、中間体３５２となるべき物が多面付けされた多面付け中間体シート３５０から個別の中間体３５２を打ち抜き等の公知の方法を用いて取り出す。
図７６には中間体３５２の外観斜視図、図７７には中間体３５２をｚ方向からみた（平面視した）図を表した。図７７には中間体３５２の内部に形成された中空部の形態を点線で表している。
【0302】
図７６、図７７からわかるように中間体３５２でも、中空部が外部から遮断されている。これにより、中間体３５２の状態でも中空部の内面における酸化膜の生成が抑制される。従って本形態では中間体３５２の状態で保管、輸送がなされてもよい。
【0303】
図７７にＷ３０１で示した接合部の幅は必要に応じて適宜設定することができるが、この幅Ｗ３０１は、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、２．５ｍｍ以下であってもよく、２．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｗ３０１が３．０ｍｍより大きくなると、作動流体が流れる流路のための空間の内容積が小さくなり蒸気流路や凝縮液流路が十分確保できなくなる虞がある。一方、幅Ｗ３０１は０．２ｍｍ以上であることが好ましく、０．６ｍｍ以上であってもよく、０．８ｍｍ以上であってもよい。幅Ｗ３０１が０．２ｍｍより小さくなると第一シートと第二シートとの接合時における位置ずれが生じた際に接合面積が不足する虞がある。幅Ｗ３０１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ３０１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0304】
＜注入口の形成Ｓ３３０＞
図６２に示した注入口の形成Ｓ３３０では、中空部に作動流体を注入するための開口を形成する。従って、本形態では中間体３５２に対して外部から注入溝３１８に連通する開口を形成する。図７８、図７９には１つの例にかかる注入口３１９の形態、及び、図８０、図８１には他の例にかかる注入口３１９の形態を示した。
図６２に示した注入口の形成Ｓ３３０では、中空部に作動流体を注入するための開口を形成する。従って、本形態では中間体３５２に対して外部から注入溝３１８に連通する開口を形成する。図７８、図７９には１つの例にかかる注入口３１９の形態、及び、図８０、図８１には他の例にかかる注入口３１９の形態を示した。
【0305】
図７８、図７９に示した例では、中間体３５２に対してｚ方向（厚さ方向）に穴を開けることにより注入口３１９を形成して、注入溝３１８と外部とを連通する。
これに対して図８０、図８１に示した例では、中間体３５２の端面を除去することにより注入口３１９を形成して、注入溝３１８と外部とを連通する。
これに対して図８０、図８１に示した例では、中間体３５２の端面を除去することにより注入口３１９を形成して、注入溝３１８と外部とを連通する。
【0306】
本形態では、中間体３５２に対して注入口を開ける例であるが、この他、多面付け中間体シート３５０、多面付け中間体ロール３５１で保管、輸送が行われ、中間体３５２を取り出した後すぐにベーパーチャンバを作製する場合には、中間体３５２とする前の段階で多面付け中間体シート３５０に対して注入口３１９を形成してもよい。
従ってこの場合には、中間体３５２の取り出し前、又は、中間体３５２の取り出しと同時に注入口３１９を形成することになる。
従ってこの場合には、中間体３５２の取り出し前、又は、中間体３５２の取り出しと同時に注入口３１９を形成することになる。
【0307】
＜注液Ｓ３４０＞
図６２に示した注液Ｓ３４０では、形成した注入口３１９を利用して中空部に対して作動流体を注入する。注入の方法は特に限定されることはなく、公知の方法を適用することができる。
図６２に示した注液Ｓ３４０では、形成した注入口３１９を利用して中空部に対して作動流体を注入する。注入の方法は特に限定されることはなく、公知の方法を適用することができる。
【0308】
作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン、及びそれらの混合物等、通常のベーパーチャンバに用いられる作動流体を用いることができる。
【0309】
＜封止Ｓ３５０＞
封止Ｓ３５０では作動流体が注入された状態で注入溝３１８を閉鎖する。閉鎖のための方法は特に限定されることはないが、かしめや溶接等を挙げることができる。
封止Ｓ３５０では作動流体が注入された状態で注入溝３１８を閉鎖する。閉鎖のための方法は特に限定されることはないが、かしめや溶接等を挙げることができる。
【0310】
［ベーパーチャンバ］
以上のようにして製造されたベーパーチャンバ３５３は次のような構成を有する。図８２乃至図８４に説明のための図を示した。図８２はベーパーチャンバ３５３の外観斜視図、図８３はベーパーチャンバ３５３をｚ方向から見た図、図８４は図８３にＩ３０７－Ｉ３０７で示した線に沿った断面図である。図８３では、その内側の構造を点線で表している。
以上のようにして製造されたベーパーチャンバ３５３は次のような構成を有する。図８２乃至図８４に説明のための図を示した。図８２はベーパーチャンバ３５３の外観斜視図、図８３はベーパーチャンバ３５３をｚ方向から見た図、図８４は図８３にＩ３０７－Ｉ３０７で示した線に沿った断面図である。図８３では、その内側の構造を点線で表している。
【0311】
ベーパーチャンバ３５３の内部は、中間体３５２の中空部に作動流体が封入されることで密閉空間とされている。
具体的にはこの密閉空間は、液流路溝３１４ａ及び液流路溝３１５ａにより作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３５４、並びに、蒸気流路溝３１６により作動流体が凝縮して気化した状態である蒸気が流れる第１流路である蒸気流路３５５を具備する。さらにこの密閉空間は、蒸気流路連通溝３１７により蒸気流路３５５を連通する流路も備える。
このように第２流路である凝縮液流路３５４は、第１流路である蒸気流路３５５とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。また、凝縮液流路３５４を断面においてその四方を壁で囲まれた細い流路を形成することにより強い毛細管力で凝縮液を移動させ、円滑な循環が可能となる。
具体的にはこの密閉空間は、液流路溝３１４ａ及び液流路溝３１５ａにより作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３５４、並びに、蒸気流路溝３１６により作動流体が凝縮して気化した状態である蒸気が流れる第１流路である蒸気流路３５５を具備する。さらにこの密閉空間は、蒸気流路連通溝３１７により蒸気流路３５５を連通する流路も備える。
このように第２流路である凝縮液流路３５４は、第１流路である蒸気流路３５５とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。また、凝縮液流路３５４を断面においてその四方を壁で囲まれた細い流路を形成することにより強い毛細管力で凝縮液を移動させ、円滑な循環が可能となる。
【0312】
ここで、第２流路である凝縮液流路３５４の流路断面積は、第１流路である蒸気流路３５５の流路断面積より小さくされている。より具体的には、隣り合う２つの蒸気流路３５５（本形態では１つの蒸気流路溝３１６により形成される蒸気流路３５５）の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う２つの蒸気流路３５５の間に配置される複数の凝縮液流路３５４（本形態では１つの内側液流路部３１５により形成される複数の凝縮液流路３５４）の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、凝縮液流路３５４と蒸気流路３５５とは、ＡｌがＡｇの０．５倍以下の関係にあるものとし、好ましくは０．２５倍以下である。これにより作動流体はその相態様（気相、液相）によって第１流路と第２流路とを選択的に通り易くなる。
この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。
この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。
【0313】
このようなベーパーチャンバ３５３も、上記説明した他の形態のベーパーチャンバと同様に電子機器に取り付けられて作用することができる。
本形態では、上記したように、製造過程で、多面付け中間体シート３５０、多面付け中間体ロール３５１、及び中間体３５２において、中空部（凝縮液流路３５４、蒸気流路３５５）の内面に酸化膜が生じ難い状態が維持されているので、凝縮液流路３５４、蒸気流路３５５の内面の濡れ性がよく、作動流体の円滑な流動及び熱移動を高めることができる。
特に本形態のように、ベーパーチャンバを薄くしつつ、流路の内表面積を高めて伝熱面積を大きくすることで高い熱輸送能力を得ようとする形態では、酸化膜の影響が相対的に大きくなるため、本開示のようにすることで、熱輸送能力を発揮できる効果が顕著である。
本形態では、上記したように、製造過程で、多面付け中間体シート３５０、多面付け中間体ロール３５１、及び中間体３５２において、中空部（凝縮液流路３５４、蒸気流路３５５）の内面に酸化膜が生じ難い状態が維持されているので、凝縮液流路３５４、蒸気流路３５５の内面の濡れ性がよく、作動流体の円滑な流動及び熱移動を高めることができる。
特に本形態のように、ベーパーチャンバを薄くしつつ、流路の内表面積を高めて伝熱面積を大きくすることで高い熱輸送能力を得ようとする形態では、酸化膜の影響が相対的に大きくなるため、本開示のようにすることで、熱輸送能力を発揮できる効果が顕著である。
【0314】
本形態では、多面付け第一シート３０１のみに液流路溝３１４ａ、液流路溝３１５ａ、蒸気流路溝３１６が設けられた例を示したが、図８５に示したように多面付け第二シート３０２にも蒸気流路溝３２６が設けられてもよく、図８６に示したように多面付け第二シート３０２にも液流路溝３２４ａ、液流路溝３２５ａ、蒸気流路溝３２６が設けられてもよい。
この例でも本開示の多面付け中間体シート、多面付け中間体ロール、中間体及びベーパーチャンバとすることができる。
この例でも本開示の多面付け中間体シート、多面付け中間体ロール、中間体及びベーパーチャンバとすることができる。
【0315】
また、２つの多面付けシートからなることに限られることはなく、図８７に示したように３つの多面付けシートによる多面付け中間体シート、多面付け中間体ロール、並びにここから製造される中間体、及びベーパーチャンバであってもよい。
【0316】
図８７に示した多面付け中間体シートは、多面付け第一シート３０１、多面付け第二シート３０２、及び、多面付け中間シート３０３（多面付け第三シート３０３）の積層体である。
多面付け第一シート３０１と多面付け第二シート３０２との間に挟まれるように多面付け中間シート３０３が配置され、それぞれが上記した例に倣って接合されている。
多面付け第一シート３０１と多面付け第二シート３０２との間に挟まれるように多面付け中間シート３０３が配置され、それぞれが上記した例に倣って接合されている。
【0317】
この例では多面付け第一シート３０１、及び、多面付け第二シート３０２はその両面が平坦である。
この時の、多面付け第一シート３０１及び多面付け第二シート３０２の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．００５ｍｍ以上であること好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
この時の、多面付け第一シート３０１及び多面付け第二シート３０２の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．００５ｍｍ以上であること好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つの組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【0318】
多面付け中間シート３０３には、蒸気流路溝３３６、外周液流路部３３４、内側液流路部３３５、液流路溝３３４ａ、液流路部３３５ａが備えられている。
蒸気流路溝３３６は、多面付け中間シート３０３を厚さ方向に貫通した溝であり、上記した蒸気流路溝３１６により第１流路である蒸気流路３５５を構成する溝と同様の溝であり、これに相当する形態で配置される。
外周液流路部３３４及び液流路溝３３４ａは、上記した外周液流路部３１４及び液流路溝３１４ａと同様に考えることができ、外周液流路部３３５及び液流路溝３３５ａは、上記した外周液流路部３１５及び液流路溝３１５ａと同様に考えることができる。
蒸気流路溝３３６は、多面付け中間シート３０３を厚さ方向に貫通した溝であり、上記した蒸気流路溝３１６により第１流路である蒸気流路３５５を構成する溝と同様の溝であり、これに相当する形態で配置される。
外周液流路部３３４及び液流路溝３３４ａは、上記した外周液流路部３１４及び液流路溝３１４ａと同様に考えることができ、外周液流路部３３５及び液流路溝３３５ａは、上記した外周液流路部３１５及び液流路溝３１５ａと同様に考えることができる。
【0319】
本開示の上記各形態の例はそのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の形態とすることができる。各形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。
【符号の説明】
【0320】
１、１０１ ベーパーチャンバ
２、１０２ 密閉空間
３、１０３ 凝縮液流路
４、１０４ 蒸気流路
１０、１１０ 第一シート
１０ａ 内面
１０ｂ 外面
１０ｃ 側面
１０ｄ 内層
１０ｅ 外層
１１、１１１ 本体
１２、１１２ 注入部
１３、１１３ 外周接合部
１４、１１４ 外周液流路部
１４ａ、１１４ａ 液流路溝
１４ｃ、１１４ｃ連通開口部
１５、１１５内側液流路部
１５ａ、１１５ａ 液流路溝
１５ｃ、１１５ｃ 連通開口部
１６、１１６ 蒸気流路溝
１７、１１７ 蒸気流路連通溝
２０、１２０ 第二シート
２０ａ 内面
２０ｂ 外面
２０ｃ 側面
２０ｄ 内層
２０ｅ 外層
２１、１２１ 本体
２２、１２２ 注入部
２３、１２３ 外周接合部
２４、１２４ 外周液流路部
２５、１２５ 内側液流路部
２６、１２６ 蒸気流路溝
２７、１２７ 蒸気流路連通溝
３０ 電子部品
４０ 電子機器（携帯型端末）
４１ 筐体
５０、２３０ 第三シート
２３６ 蒸気流路スリット
３０１ 多面付け第一シート
３０２ 多面付け第二シート
３５０ 多面付け中間体シート
３５１ 多面付け中間体ロール
３５２ 中間体
３５３ ベーパーチャンバ
２、１０２ 密閉空間
３、１０３ 凝縮液流路
４、１０４ 蒸気流路
１０、１１０ 第一シート
１０ａ 内面
１０ｂ 外面
１０ｃ 側面
１０ｄ 内層
１０ｅ 外層
１１、１１１ 本体
１２、１１２ 注入部
１３、１１３ 外周接合部
１４、１１４ 外周液流路部
１４ａ、１１４ａ 液流路溝
１４ｃ、１１４ｃ連通開口部
１５、１１５内側液流路部
１５ａ、１１５ａ 液流路溝
１５ｃ、１１５ｃ 連通開口部
１６、１１６ 蒸気流路溝
１７、１１７ 蒸気流路連通溝
２０、１２０ 第二シート
２０ａ 内面
２０ｂ 外面
２０ｃ 側面
２０ｄ 内層
２０ｅ 外層
２１、１２１ 本体
２２、１２２ 注入部
２３、１２３ 外周接合部
２４、１２４ 外周液流路部
２５、１２５ 内側液流路部
２６、１２６ 蒸気流路溝
２７、１２７ 蒸気流路連通溝
３０ 電子部品
４０ 電子機器（携帯型端末）
４１ 筐体
５０、２３０ 第三シート
２３６ 蒸気流路スリット
３０１ 多面付け第一シート
３０２ 多面付け第二シート
３５０ 多面付け中間体シート
３５１ 多面付け中間体ロール
３５２ 中間体
３５３ ベーパーチャンバ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22A】
【図22B】
【図22C】
【図22D】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】
【図35】
【図36】
【図37】
【図38】
【図39】
【図40】
【図41】
【図42】
【図43】
【図44】
【図45】
【図46】
【図47】
【図48】
【図49】
【図50】
【図51】
【図52】
【図53】
【図54】
【図55】
【図56】
【図57】
【図58】
【図59】
【図60】
【図61】
【図62】
【図63】
【図64】
【図65】
【図66】
【図67】
【図68】
【図69】
【図70】
【図71】
【図72】
【図73】
【図74】
【図75】
【図76】
【図77】
【図78】
【図79】
【図80】
【図81】
【図82】
【図83】
【図84】
【図85】
【図86】
【図87】