特許 7567927 共振素子、フィルタ、およびモジュール

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-07

(45)【発行日】2024-10-16

(54)【発明の名称】共振素子、フィルタ、およびモジュール

(51)【国際特許分類】

   H03H 7/01 20060101AFI20241008BHJP

   H03H 5/02 20060101ALI20241008BHJP

   H01F 17/00 20060101ALI20241008BHJP

   H01F 27/00 20060101ALI20241008BHJP

【ＦＩ】

H03H7/01 Z

H03H5/02

H01F17/00 D

H01F27/00 S

H01F17/00 A

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2022553567

(86)(22)【出願日】2021-09-01

(86)【国際出願番号】 JP2021032070

(87)【国際公開番号】W WO2022070739

(87)【国際公開日】2022-04-07

【審査請求日】2022-10-28

(31)【優先権主張番号】P 2020163254

(32)【優先日】2020-09-29

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110001195

【氏名又は名称】弁理士法人深見特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】田中 陽

【審査官】竹内 亨

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－０６３３９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特許第６３３８７８４（ＪＰ，Ｂ１）

【文献】国際公開第２０１９／０８７７３９（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０３Ｈ ５／００－７／５４

Ｈ０１Ｆ １７／００

Ｈ０１Ｆ ２７／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

積層体と、
前記積層体に配置された第１平面電極と、
前記積層体に配置された第２平面電極と、
前記積層体に配置され、前記第１平面電極の法線方向において、前記第１平面電極と前記第２平面電極との間に配置された第３平面電極と、
前記第１平面電極と前記第３平面電極とを接続する、第１ビア電極および第２ビア電極と、
前記第１平面電極と前記第２平面電極とを接続する、第３ビア電極および第４ビア電極とを備え、
前記法線方向から前記第１平面電極を平面視した場合、前記第１ビア電極と前記第２ビア電極とを結ぶ第１仮想線と、前記第３ビア電極と前記第４ビア電極とを結ぶ第２仮想線とは交差し、
前記第１ビア電極を流れる電流の方向および前記第２ビア電極に流れる電流の方向は、同じであり、
前記第３ビア電極に流れる電流の方向および前記第４ビア電極に流れる電流の方向は、同じであり、
前記第１ビア電極を流れる電流の方向および前記第３ビア電極に流れる電流の方向は逆である、共振素子。

【請求項2】

前記第３平面電極に端子が形成され、
前記法線方向から前記第３平面電極を平面視した場合、前記端子は、前記第１平面電極および前記第２平面電極に重なっていない、請求項１に記載の共振素子。

【請求項3】

前記第３平面電極は、前記第１ビア電極が接続された第１部分と、前記第２ビア電極とが接続された第２部分とを有し、
前記法線方向から前記第３平面電極を平面視した場合、前記第１部分の一部および前記第２部分の一部は、前記第２平面電極と重なっていない、請求項１または２に記載の共振素子。

【請求項4】

積層体と、
前記積層体に配置された第１平面電極と、
前記積層体に配置された第２平面電極と、
前記積層体に配置され、前記第１平面電極の法線方向において、前記第１平面電極と前記第２平面電極との間に配置された第３平面電極と、
前記第１平面電極と前記第３平面電極とを接続する、第１ビア電極および第２ビア電極と、
前記第１平面電極と前記第２平面電極とを接続する、第３ビア電極および第４ビア電極と、
前記第１平面電極と前記第３平面電極とを接続する第５ビア電極と、
前記第１平面電極と前記第２平面電極とを接続する第６ビア電極とを備え、
前記法線方向から前記第１平面電極を平面視した場合、前記第１ビア電極と前記第２ビア電極とを結ぶ第１仮想線と、前記第３ビア電極と前記第４ビア電極とを結ぶ第２仮想線とは交差し、
前記法線方向から前記第１平面電極を平面視した場合、前記第２ビア電極と前記第５ビア電極とを結ぶ第３仮想線と、前記第４ビア電極と前記第６ビア電極とを結ぶ第４仮想線とは交差し、
前記第１ビア電極を流れる電流の方向、前記第２ビア電極を流れる電流の方向、および前記第５ビア電極を流れる電流の方向は、同じであり、
前記第３ビア電極を流れる電流の方向、前記第４ビア電極を流れる電流の方向、および前記第６ビア電極を流れる電流の方向は、同じであり、
前記第１ビア電極を流れる電流の方向および前記第３ビア電極を流れる電流の方向は、逆である、共振素子。

【請求項5】

前記第１ビア電極、前記第４ビア電極、および前記第５ビア電極は、前記第１ビア電極の延在方向と直交する第１方向に沿って配置され、
前記第３ビア電極、前記第２ビア電極、および前記第６ビア電極は、前記延在方向と直交する第２方向に沿って配置されている、請求項４に記載の共振素子。

【請求項6】

前記第３平面電極は、前記第５ビア電極が接続された第３部分をさらに含み、
前記法線方向から前記第３平面電極を平面視した場合、前記第３部分の一部は、前記第２平面電極と重なっていない、請求項４または５に記載の共振素子。

【請求項7】

請求項１～６のいずれか１項に記載の共振素子を備える、フィルタ。

【請求項8】

請求項７に記載のフィルタを備える、モジュール。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、共振素子、当該共振素子を含むフィルタ、および当該フィルタを含むモジュールに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、共振素子が知られている。たとえば、国際公開第２０２０／１０５２５７号（特許文献１）には、誘電体の内部に複数のビア電極が形成された共振素子が開示されている。当該複数のビア電極がインダクタを形成することにより、共振素子において誘電体が占める割合が増加する。その結果、共振素子の強度を向上させることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】国際公開第２０２０／１０５２５７号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に開示されている共振素子においては、キャパシタを形成する２つの平面電極のうち一方の平面電極が１つのビア電極に接続されているため、当該ビア電極に当該キャパシタを流れる電流が集中する。その結果、当該共振素子の挿入損失が悪化し得る。

【0005】

本発明は上記のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は共振素子の挿入損失を改善することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係る共振素子は、積層体と、第１平面電極と、第２平面電極と、第３平面電極と、第１ビア電極と、第２ビア電極と、第３ビア電極と、第４ビア電極とを備える。第１平面電極、第２平面電極および第３平面電極は、積層体に配置されている。第３平面電極は、第１平面電極の法線方向において、第１平面電極と第２平面電極との間に配置されている。第１ビア電極および第２ビア電極は、第１平面電極と第３平面電極とを接続する。第３ビア電極および第４ビア電極は、第１平面電極と第２平面電極とを接続する。第１平面電極の法線方向から第１平面電極を平面視した場合、第１ビア電極と第２ビア電極とを結ぶ第１仮想線と、第３ビア電極と第４ビア電極とを結ぶ第２仮想線とは交差する。

【発明の効果】

【0007】

本発明に係る共振素子によれば、第１平面電極の法線方向から第１平面電極を平面視した場合、第１ビア電極と第２ビア電極とを結ぶ第１仮想線と、第３ビア電極と第４ビア電極とを結ぶ第２仮想線とが交差することにより、当該共振素子の挿入損失を改善することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施の形態１に係るフィルタの一例であるダイプレクサの等価回路図である。

【図2】図１のダイプレクサの外観斜視図である。

【図3】図２の積層体の内部に形成された複数の電極の斜視図である。

【図4】図３の共振素子を形成する複数の電極の斜視図である。

【図5】図４の共振素子をＸ軸方向から平面視した図である。

【図6】図４の共振素子をＺ軸方向から平面視した図である。

【図7】図３のインダクタとキャパシタとを形成する複数の電極の斜視図である。

【図8】比較例に係る共振素子を形成する複数の電極の斜視図である。

【図9】実施の形態２に係る共振素子を形成する複数の電極の斜視図である。

【図10】図９の共振素子をＺ軸方向から平面視した図である。

【図11】実施の形態３に係る共振素子を形成する複数の電極の斜視図である。

【図12】図１１の共振素子をＺ軸方向から平面視した図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は原則として繰り返さない。

【0010】

［実施の形態１］
図１は、実施の形態１に係るフィルタの一例であるダイプレクサ１の等価回路図である。図１に示されるように、ダイプレクサ１は、共通端子Ｐｃｏｍと、端子Ｐ１，Ｐ２と、インダクタＬ１，Ｌ２と、キャパシタＣ１，Ｃ２と、共振素子１０，２０とを備える。共振素子２０の共振周波数は、共振素子１０の共振周波数とは異なる。

【0011】

共振素子１０は、端子Ｐ１１，Ｐ１２と、インダクタＬ１１と、キャパシタＣ１１とを含む。インダクタＬ１１とキャパシタＣ１１とは、端子Ｐ１１とＰ１２との間において並列に接続されている。共振素子１０は、ＬＣ並列共振回路を形成している。

【0012】

インダクタＬ１は、共通端子Ｐｃｏｍと端子Ｐ１１との間に接続されている。キャパシタＣ１は、接地点である接地端子Ｇ１と端子Ｐ１１との間に接続されている。端子Ｐ１は、端子Ｐ１２に接続されている。

【0013】

共振素子２０は、端子Ｐ２１，Ｐ２２と、インダクタＬ２１と、キャパシタＣ２１とを備える。インダクタＬ２１とキャパシタＣ２１とは、端子Ｐ２１とＰ２２との間において並列に接続されている。共振素子２０は、ＬＣ並列共振回路を形成している。

【0014】

キャパシタＣ２は、共通端子Ｐｃｏｍと端子Ｐ２１との間に接続されている。インダクタＬ２は、接地点である接地端子Ｇ２と端子Ｐ２１との間に接続されている。端子Ｐ２は、端子Ｐ２２に接続されている。

【0015】

図２は、図１のダイプレクサ１の外観斜視図である。図２に示されるＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸は互いに直交している。図３～図１２においても同様である。積層体１００においては、複数の誘電体層がＺ軸方向に積層されている。積層体１００の内部に、図１に示される等価回路を形成する複数の電極が形成されている。すなわち、ダイプレクサ１は、積層された複数の誘電体層に複数の電極が形成されたモジュールに含まれている。

【0016】

図２に示されるように、ダイプレクサ１の上面ＵＦには、方向識別マークＤＭが形成されている。ダイプレクサ１の底面ＢＦには、共通端子Ｐｃｏｍと、端子Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３と、接地端子Ｇ１，Ｇ２が形成されている。共通端子Ｐｃｏｍと、端子Ｐ１～Ｐ３と、接地端子Ｇ１，Ｇ２とは、たとえば底面ＢＦに平面電極が規則的に配置されたＬＧＡ（Land Grid Array）端子である。ダイプレクサ１の底面ＢＦは、不図示の回路基板に接続される。

【0017】

図３は、図２の積層体１００の内部に形成された複数の電極の斜視図である。以下では、複数の電極によって形成された電極構造を見易くするため、図３に示される複数の電極を、共振素子１０，２０を形成する複数の電極と、インダクタＬ１，Ｌ２とキャパシタＣ１，Ｃ２とを形成する複数の電極とに分けて説明する。

【0018】

図４は、図３の共振素子１０，２０を形成する複数の電極の斜視図である。図５は、図４の共振素子１０，２０をＸ軸方向から平面視した図である。図６は、図４の共振素子１０，２０をＺ軸方向から平面視した図である。

【0019】

図４～図６に示されるように、共振素子１０は、平面電極１０１（第１平面電極）と、平面電極１０２（第２平面電極）と、平面電極１０３（第３平面電極）と、ビア電極１１１（第１ビア電極）と、ビア電極１１２（第２ビア電極）と、ビア電極１１３（第３ビア電極）と、ビア電極１１４（第４ビア電極）とを備える。

【0020】

平面電極１０３は、平面電極１０１の法線方向（Ｚ軸方向）において、平面電極１０１と１０２との間に配置されている。ビア電極１１１，１１２は、Ｚ軸方向に延在し、平面電極１０１と１０３とを接続している。ビア電極１１３，１１４は、Ｚ軸方向に延在し、平面電極１０１と１０２とを接続している。

【0021】

平面電極１０３は、ビア電極３０３に接続されている。平面電極１０３とビア電極３０３との接続部分に端子Ｐ１１が形成されている。ビア電極３０１は、平面電極１０２と端子Ｐ１とを接続している。平面電極１０２とビア電極３０１との接続部分に端子Ｐ１２が形成されている。

【0022】

ビア電極１１１，１１２の各々は、ビア電極１１３，１１４の各々よりも短い。平面電極１０３と１０２との距離は、平面電極１０３と１０１との距離よりも短い。

【0023】

ビア電極１１１～１１４は、インダクタＬ１１を形成している。平面電極１０２と１０３とは、Ｚ軸方向において互いに対向し、キャパシタＣ１１を形成している。

【0024】

共振素子２０は、平面電極２０１（第１平面電極）と、平面電極２０２（第２平面電極）と、平面電極２０３（第３平面電極）と、ビア電極２１１（第１ビア電極）と、ビア電極２１２（第２ビア電極）と、ビア電極２１３（第３ビア電極）と、ビア電極２１４（第４ビア電極）とを備える。

【0025】

平面電極２０３は、平面電極２０１の法線方向において、平面電極２０１と２０２との間に配置されている。ビア電極２１１，２１２は、Ｚ軸方向に延在し、平面電極２０１と２０３とを接続している。ビア電極２１３，２１４は、Ｚ軸方向に延在し、平面電極２０１と２０２とを接続している。

【0026】

平面電極２０３は、ビア電極３０４に接続されている。平面電極２０３とビア電極３０４との接続部分に端子Ｐ２１が形成されている。ビア電極３０２は、平面電極２０２と端子Ｐ２とを接続している。平面電極２０２とビア電極３０２との接続部分に端子Ｐ２２が形成されている。

【0027】

ビア電極２１１，２１２の各々は、ビア電極２１３，２１４の各々よりも短い。平面電極２０３と２０２との距離は、平面電極２０３と２０１との距離よりも短い。

【0028】

ビア電極２１１～２１４は、インダクタＬ２１を形成している。平面電極２０２と２０３とは、Ｚ軸方向において互いに対向し、キャパシタＣ２１を形成している。

【0029】

図６に示されるように、Ｚ軸方向から平面電極１０１を平面視した場合、ビア電極１１１、ビア電極１１１と１１３との間の領域Ｒｇ１１、ビア電極１１３、ビア電極１１３と１１２との間の領域Ｒｇ１２、ビア電極１１２、ビア電極１１２と１１４との間の領域Ｒｇ１３、ビア電極１１４、およびビア電極１１４と１１１との間の領域Ｒｇ１４は、ループ状の領域を形成する。当該ループ状の領域において、平面電極１０１と１０３とを接続するビア電極１１１，１１２、および平面電極１０１と１０２とを接続するビア電極１１３，１１４は、交互に配置されている。ビア電極１１１と１１２とを結ぶ仮想線ＶＬ１１（第１仮想線）と、ビア電極１１３と１１４とを結ぶ仮想線ＶＬ１２（第２仮想線）とは交差している。

【0030】

ビア電極１１１を流れる電流の方向およびビア電極１１２に流れる電流の方向は、同じである。ビア電極１１３に流れる電流の方向およびビア電極１１４に流れる電流の方向は、同じである。ビア電極１１１を流れる電流の方向およびビア電極１１３に流れる電流の方向は逆である。

【0031】

平面電極１０３の一部は、平面電極１０１，１０２に重なっていない。端子Ｐ１１は、平面電極１０１，１０２に重なっていない平面電極１０３の部分に形成されている。

【0032】

Ｚ軸方向から平面電極２０１を平面視した場合、ビア電極２１１、ビア電極２１１と２１３との間の領域Ｒｇ１５、ビア電極２１３、ビア電極２１３と２１２との間の領域Ｒｇ１６、ビア電極２１２、ビア電極２１２と２１４との間の領域Ｒｇ１７、ビア電極２１４、およびビア電極２１４と２１１との間の領域Ｒｇ１８は、ループ状の領域を形成する。当該ループ状の領域において、平面電極２０１と２０３とを接続するビア電極２１１，２１２、および平面電極２０１と２０２とを接続するビア電極２１３，２１４は、交互に配置されている。ビア電極２１１と２１２とを結ぶ仮想線ＶＬ１３（第１仮想線）と、ビア電極２１３と２１４とを結ぶ仮想線ＶＬ１４（第２仮想線）とは交差している。

【0033】

ビア電極２１１を流れる電流の方向およびビア電極２１２に流れる電流の方向は、同じである。ビア電極２１３に流れる電流の方向およびビア電極２１４に流れる電流の方向は、同じである。ビア電極２１１を流れる電流の方向およびビア電極２１３に流れる電流の方向は逆である。

【0034】

平面電極２０３の一部は、平面電極２０１，２０２に重なっていない。端子Ｐ２１は、平面電極２０１，２０２に重なっていない平面電極２０３の部分に形成されている。

【0035】

図７は、図３のインダクタＬ１，Ｌ２とキャパシタＣ１，Ｃ２とを形成する複数の電極の斜視図である。図７に示されるように、平面電極１６１は、ビア電極３０５，３０６によって接地端子Ｇ１に接続されている。平面電極１６２は、Ｚ軸方向において平面電極１６１と対向している。平面電極１６１，１６２は、キャパシタＣ１を形成している。

【0036】

線路電極１６３，１６４は、Ｚ軸方向に延在する軸を中心に巻回するように形成されている。線路電極１６３は、ビア電極３０３によって平面電極１６２に接続されている。線路電極１６３は、ビア電極３０８によって線路電極１６４に接続されている。線路電極１６４は、ビア電極３０７によって平面電極１６５に接続されている。線路電極１６３，１６４は、インダクタＬ１を形成している。

【0037】

平面電極１６５は、ビア電極３０９によって共通端子Ｐｃｏｍに接続されている。平面電極１６５は、ビア電極３１０によって平面電極１６６に接続されている。平面電極１６６は、Ｚ軸方向において平面電極１６７と対向している。平面電極１６６，１６７は、キャパシタＣ２を形成している。

【0038】

線路電極１６８，１６９は、Ｚ軸方向に延在する軸を中心に巻回するように形成されている。線路電極１６８は、ビア電極３１３によって平面電極１７０に接続されている。線路電極１６８は、ビア電極３１２によって線路電極１６９に接続されている。線路電極１６９は、ビア電極３１１によって平面電極１６７に接続されている。線路電極１６８，１６９は、インダクタＬ２を形成している。平面電極１７０は、ビア電極３１４，３１５によって接地端子Ｇ２に接続されている。

【0039】

図８は、比較例に係る共振素子９を形成する複数の電極の斜視図である。図８に示されるように、共振素子９は、平面電極９０１，９０２，９０３と、ビア電極９１１，９１２，９１３，９１４，９１５とを備える。

【0040】

平面電極９０３は、平面電極９０１の法線方向において、平面電極９０１と９０２との間に配置されている。ビア電極９１１は、Ｚ軸方向に延在し、平面電極９０１と９０３とを接続している。ビア電極９１２～９１５は、Ｚ軸方向に延在し、平面電極９０１と９０２とを接続している。ビア電極９１２，９１３は、Ｙ軸方向に沿って配置されている。ビア電極９１３，９１４は、Ｘ軸方向に沿って配置されている。ビア電極９１４，９１５は、Ｙ軸方向に沿って配置されている。ビア電極９１５，９１２は、Ｘ軸方向に沿って配置されている。

【0041】

ビア電極９１１は、ビア電極９１２～９１５の各々よりも短い。平面電極９０３と９０２との距離は、平面電極９０３と９０１との距離よりも短い。

【0042】

ビア電極９１１～９１５は、インダクタを形成している。平面電極９０２と９０３とは、Ｚ軸方向において互いに対向し、キャパシタを形成している。

【0043】

平面電極９０３は、ビア電極９１２と９１３との間に配置された部分を有する。当該部分に端子Ｐ９１が形成されている。平面電極９０２には、端子Ｐ９２が形成されている。

【0044】

共振素子９においては、平面電極９０１と９０３とがビア電極９１１によって接続されているため、平面電極９０１，９０３とによって形成されるキャパシタを流れる電流がビア電極９１１に集中する。その結果、共振素子９の挿入損失が悪化し得る。

【0045】

そこで、実施の形態に係る共振素子においては、第１平面電極の法線方向から第１平面電極を平面視した場合、第１平面電極と第３平面電極とを接続する複数のビア電極、および第１平面電極と第２平面電極とを接続する複数のビア電極を、ループ状の領域において交互に配置して、第１仮想線と第２仮想線とを交差させる。第１平面電極と第３平面電極とが複数のビア電極によって接続されているため、第２平面電極と第３平面電極とで形成されるキャパシタを流れる電流が第１平面電極と第３平面電極とを接続する複数のビア電極に分散される。その結果、共振素子の挿入損失を比較例に係る共振素子の挿入損失よりも改善することができる。

【0046】

また、第１平面電極と第３平面電極とを接続する複数のビア電極を流れる電流の向きと、第１平面電極と第２平面電極とを接続する複数のビア電極を流れる電流の向きとが互いに逆になるため、ループ状の領域において互いに隣接する２つのビア電極から発生する磁界の向きも逆になる。当該ループ状の領域において配置された複数のビア電極から互いに独立する磁界が発生するため、共振素子と他の回路素子との結合を抑制することができる。

【0047】

以上、実施の形態１に係る共振素子によれば、当該共振素子の挿入損失を改善することができる。

【0048】

［実施の形態２］
実施の形態２においては、第３平面電極の幅を広くして、共振素子の特性の製造ばらつき、および第１平面電極と第２平面電極とが短絡するリスクを低減する構成について説明する。

【0049】

図９は、実施の形態２に係る共振素子１２を形成する複数の電極の斜視図である。図９に示されるように、共振素子１２は、平面電極１２１（第１平面電極）と、平面電極１２２（第２平面電極）と、平面電極１２３（第３平面電極）と、ビア電極１３１（第１ビア電極）と、ビア電極１３２（第２ビア電極）と、ビア電極１３３（第３ビア電極）と、ビア電極１３４（第４ビア電極）とを備える。

【0050】

平面電極１２３は、平面電極１２１の法線方向（Ｚ軸方向）において、平面電極１２１と１２２との間に配置されている。ビア電極１３１，１３２は、Ｚ軸方向に延在し、平面電極１２１と１２３とを接続している。ビア電極１３３，１３４は、Ｚ軸方向に延在し、平面電極１２１と１２２とを接続している。

【0051】

ビア電極１３１，１３２の各々は、ビア電極１３３，１３４の各々よりも短い。平面電極１２３と１２２との距離は、平面電極１２３と１２１との距離よりも短い。

【0052】

ビア電極１３１～１３４は、インダクタを形成している。平面電極１２２と１２３とは、Ｚ軸方向において互いに対向し、キャパシタを形成している。

【0053】

図１０は、図９の共振素子１２をＺ軸方向から平面視した図である。図１０に示されるように、Ｚ軸方向から平面電極１２３を平面視した場合、ビア電極１３１、ビア電極１３１と１３３との間の領域Ｒｇ２１、ビア電極１３３、ビア電極１３３と１３２との間の領域Ｒｇ２２、ビア電極１３２、ビア電極１３２と１３４との間の領域Ｒｇ２３、ビア電極１３４、およびビア電極１３４と１３１との間の領域Ｒｇ２４は、ループ状の領域を形成する。当該ループ状の領域において、平面電極１２１と１２３とを接続するビア電極１３１，１３２、および平面電極１２１と１２２とを接続するビア電極１３３，１３４は、交互に配置されている。ビア電極１３１と１３２とを結ぶ仮想線ＶＬ２１（第１仮想線）と、ビア電極１３３と１３４とを結ぶ仮想線ＶＬ２２（第２仮想線）とは交差している。

【0054】

ビア電極１３１を流れる電流の方向およびビア電極１３２に流れる電流の方向は、同じである。ビア電極１３３に流れる電流の方向およびビア電極１３４に流れる電流の方向は、同じである。ビア電極１３１を流れる電流の方向およびビア電極１３３に流れる電流の方向は逆である。

【0055】

平面電極１２３は、ビア電極１３１が接続された部分Ｐｒ２１（第１部分）と、ビア電極１３２が接続された部分Ｐｒ２２（第２部分）とを含む。部分Ｐｒ２１の一部および部分Ｐｒ２２の一部は、平面電極１２１，１２２と重なっていない。

【0056】

製造ばらつきによって平面電極１２２と１２３との相対的な位置関係にずれが生じたとしても、平面電極１２３には、平面電極１２２と重なっていない部分（マージン）があるため、平面電極１２２と重なっている平面電極１２３の部分の面積の減少を抑制することができる。平面電極１２２と１２３とによって形成されるキャパシタの容量の製造ばらつきが抑制されるため、共振素子１２の特性の製造ばらつきを抑制することができる。

【0057】

また、平面電極１２３の幅が比較的広いため、平面電極１２２と１２３とによって形成されるキャパシタの容量を比較的大きくすることができる。そのため、当該キャパシタの容量を増加させるために、平面電極１２２と１２３とを互いに近づける必要性が低い。平面電極１２２と１２３との間にある程度の間隔を確保することができるため、共振素子１２の製造時にビア電極１３１，１３２が平面電極１２３を貫通することによって平面電極１２１と１２２とが短絡するリスクを低減することができる。

【0058】

以上、実施の形態２に係る共振素子によれば、当該共振素子の挿入損失を改善することができる。また、実施の形態２に係る共振素子によれば、共振素子の特性の製造ばらつき、および２つの平面電極が短絡するリスクを低減することができる。

【0059】

［実施の形態３］
実施の形態１，２においては、第１平面電極と第３平面電極とを接続するビア電極の数、および第１平面電極と第２平面電極とを接続するビア電極の数の各々が２である場合について説明した。当該ビア電極の数の各々は、３以上であってもよい。実施の形態３においては、当該ビア電極の数が３である場合について説明する。

【0060】

図１１は、実施の形態３に係る共振素子１３を形成する複数の電極の斜視図である。図１１に示されるように、共振素子１３は、平面電極１４１（第１平面電極）と、平面電極１４２（第２平面電極）と、平面電極１４３（第３平面電極）と、ビア電極１５１（第１ビア電極）と、ビア電極１５２（第２ビア電極）と、ビア電極１５３（第３ビア電極）と、ビア電極１５４（第４ビア電極）と、ビア電極１５５（第５ビア電極）と、ビア電極１５６（第６ビア電極）とを備える。

【0061】

平面電極１４３は、平面電極１４１の法線方向（Ｚ軸方向）において、平面電極１４１と１４２との間に配置されている。ビア電極１５１，１５２，１５５は、Ｚ軸方向に延在し、平面電極１４１と１４３とを接続している。ビア電極１５３，１５４，１５６は、Ｚ軸方向に延在し、平面電極１４１と１４２とを接続している。

【0062】

ビア電極１５１，１５２，１５５の各々は、ビア電極１５３，１５４，１５６の各々よりも短い。平面電極１４３と１４２との距離は、平面電極１４３と１４１との距離よりも短い。

【0063】

ビア電極１５１～１５６は、インダクタを形成している。平面電極１４２と１４３とは、Ｚ軸方向において互いに対向し、キャパシタを形成している。

【0064】

図１２は、図１１の共振素子１３をＺ軸方向から平面視した図である。図１２に示されるように、Ｚ軸方向から平面電極１４３を平面視した場合、ビア電極１５１、ビア電極１５１と１５３との間の領域Ｒｇ３１、ビア電極１５３、ビア電極１５３と１５２との間の領域Ｒｇ３２、ビア電極１５２、ビア電極１５２と１５６との間の領域Ｒｇ３５、ビア電極１５６、ビア電極１５６と１５５との間の領域Ｒｇ３６、ビア電極１５５、ビア電極１５５と１５４との間の領域Ｒｇ３７、ビア電極１５４、およびビア電極１５４と１５１との間の領域Ｒｇ３４は、ループ状の領域を形成する。当該ループ状の領域において、平面電極１４１と１４３とを接続するビア電極１５１，１５２，１５５、および平面電極１４１と１４２とを接続するビア電極１５３，１５４，１５６は、交互に配置されている。

【0065】

ビア電極１５１と１５２とを結ぶ仮想線ＶＬ３１（第１仮想線）と、ビア電極１５３と１５４とを結ぶ仮想線ＶＬ３２（第２仮想線）とは交差している。ビア電極１５２と１５５とを結ぶ仮想線ＶＬ３３（第３仮想線）と、ビア電極１５４と１５６とを結ぶ仮想線ＶＬ３４（第４仮想線）とは交差している。

【0066】

ビア電極１５１を流れる電流の方向、ビア電極１５２を流れる電流の方向、およびビア電極１５５を流れる電流の方向は、同じである。ビア電極１５３を流れる電流の方向、ビア電極１５４を流れる電流の方向、およびビア電極１５６を流れる電流の方向は、同じである。ビア電極１５１を流れる電流の方向およびビア電極１５３を流れる電流の方向は、逆である。

【0067】

なお、ビア電極１５１、領域Ｒｇ３１、ビア電極１５３、領域Ｒｇ３２、ビア電極１５２、ビア電極１５２と１５４との間の領域Ｒｇ３３、ビア電極１５４、および領域Ｒｇ３４も、実施の形態１と同様にループ状の領域を形成する。

【0068】

平面電極１４３は、ビア電極１５１が接続された部分Ｐｒ３１（第１部分）と、ビア電極１５２が接続された部分Ｐｒ３２（第２部分）と、ビア電極１５５が接続された部分Ｐｒ３３（第３部分）とを含む。部分Ｐｒ３１の一部、部分Ｐｒ３２の一部、および部分Ｐｒ３３の一部は、平面電極１４１，１４２と重なっていない。

【0069】

共振素子１３においても、実施の形態２と同様に、共振素子１３の特性の製造ばらつき、および平面電極１４１と１４２とが短絡するリスクを低減することができる。

【0070】

また、平面電極１４１と１４３とを接続するビア電極の数、および平面電極１４１と１４２とを接続するビア電極の数の各々が３であるため、２つの平面電極の間を流れる電流が、実施の形態１，２よりも分散される。その結果、共振素子１３の挿入損失を実施の形態１，２よりも改善することができる。

【0071】

以上、実施の形態３に係る共振素子によれば、当該共振素子の挿入損失を実施の形態１，２よりも改善することができる。また、実施の形態３に係る共振素子によれば、共振素子の特性の製造ばらつき、および２つの平面電極が短絡するリスクを低減することができる。

【0072】

今回開示された各実施の形態は、矛盾しない範囲で適宜組み合わされて実施されることも予定されている。今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【符号の説明】

【0073】

１ ダイプレクサ、９，１０，１２，１３，２０ 共振素子、１００ 積層体、１０１～１０３，１２１～１２３，１４１～１４３，１６１，１６２，１６５～１６７，１７０，２０１～２０３，９０１～９０３ 平面電極、１１１～１１４，１３１～１３４，１５１～１５６，２１１～２１４，３０１～３１５，９１１～９１５ ビア電極、１６３，１６４，１６８，１６９ 線路電極、Ｃ１，Ｃ２，Ｃ１１，Ｃ２１ キャパシタ、ＤＭ 方向識別マーク、Ｇ１，Ｇ２ 接地端子、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ１１，Ｌ２１ インダクタ、Ｐ１～Ｐ３，Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ２１，Ｐ２２，Ｐ９１，Ｐ９２ 端子、Ｐｃｏｍ 共通端子、Ｐｒ２１，Ｐｒ２２，Ｐｒ３１～Ｐｒ３３ 部分、ＶＬ１１～ＶＬ１４，ＶＬ２１，ＶＬ２２，ＶＬ３１～ＶＬ３４ 仮想線。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】