特許 7568330 インクジェットプリント装備

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-07

(45)【発行日】2024-10-16

(54)【発明の名称】インクジェットプリント装備

(51)【国際特許分類】

   B05C 5/00 20060101AFI20241008BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20241008BHJP

   B41J 2/165 20060101ALI20241008BHJP

   B05C 11/10 20060101ALI20241008BHJP

   B05C 9/12 20060101ALI20241008BHJP

   B05C 13/02 20060101ALI20241008BHJP

   H10K 71/13 20230101ALI20241008BHJP

   H10K 50/844 20230101ALI20241008BHJP

【ＦＩ】

B05C5/00 101

B41J2/01 305

B41J2/01 127

B41J2/01 301

B41J2/01 125

B41J2/01 307

B41J2/165 207

B41J2/01 451

B41J2/01 121

B05C11/10

B05C9/12

B05C13/02

H10K71/13

H10K50/844

【請求項の数】 18

(21)【出願番号】P 2023540923

(86)(22)【出願日】2022-10-17

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2024-01-19

(86)【国際出願番号】 KR2022015677

(87)【国際公開番号】W WO2023096158

(87)【国際公開日】2023-06-01

【審査請求日】2023-07-04

(31)【優先権主張番号】10-2021-0163970

(32)【優先日】2021-11-25

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】523225128

【氏名又は名称】ユニジェット カンパニー，リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110000338

【氏名又は名称】弁理士法人 ＨＡＲＡＫＥＮＺＯ ＷＯＲＬＤ ＰＡＴＥＮＴ ＆ ＴＲＡＤＥＭＡＲＫ

(72)【発明者】

【氏名】イ，ソン ジン

(72)【発明者】

【氏名】イ，ウォン ソク

(72)【発明者】

【氏名】イ，ソク ギュ

(72)【発明者】

【氏名】メン，ホ

(72)【発明者】

【氏名】パク，ジョン フン

(72)【発明者】

【氏名】ソ，チャン ウ

(72)【発明者】

【氏名】シム，セ ヒョン

(72)【発明者】

【氏名】ジョン，ヨン ジン

【審査官】吉田 昌弘

(56)【参考文献】

【文献】特表２０１６－５２９６４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－２３３５６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１１５６９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１０／００７２６７２（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１５／００７９３０１（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ０５Ｃ ５／００

Ｂ４１Ｊ ２／０１

Ｂ４１Ｊ ２／１６５

Ｂ０５Ｃ １１／１０

Ｂ０５Ｃ ９／１２

Ｂ０５Ｃ １３／０２

Ｈ１０Ｋ ７１／１３

Ｈ１０Ｋ ５０／８４４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

インクジェットを利用してウェハのプリント対象物にプリントするための装置であって、
プリント対象物を固定するためのワークホルダ２０００と、
前記ワークホルダ２０００をｙ軸方向に線形移動可能にするワークホルダ移動部１２００と、
前記ワークホルダ移動部１２００が設置されるベース１０００と、
前記ベース１０００に設置され、前記プリント対象物にインクを噴射するヘッド部３０００と、
前記ヘッド部３０００をｘ軸方向に移動するようにし、前記ベース１０００の上部に設置されるヘッド部移動部１４００と、
前記ワークホルダ２０００のｙ軸方向の移動経路上で前記ワークホルダ２０００の上部に設置されるインク硬化部４０００と、
前記ワークホルダ２０００、ヘッド部３０００、及びインク硬化部４０００をいずれも覆うように設置されるエンクロージャ５０００と、を含み、
前記ワークホルダ２０００は、
前記ワークホルダ移動部１２００に設置されるウェハ支持部２１００と、
前記ウェハ支持部２１００の内部に設置される第１上方移動部２２００と、
前記第１上方移動部２２００の上部に設置されるワークホルダ本体２３００と、を有し、
前記ワークホルダ本体２３００は、
支持カラム２３４０と、前記支持カラム２３４０の上部端部に設置されるウェハ支持板２３５０とからなり、
前記ウェハ支持板２３５０は、下部に設置される冷却板２３５１と、前記冷却板２３５１の上部に設置されるウェハ固定板２３５２とからなり、
前記冷却板２３５１の周りにはウェハ支持ロッド２１２２がｚ軸方向に移動可能にガイド溝２３５１ａが形成され、中央には第１冷却流体Ｓ１が流動するための流路２３５１ｂが形成され、前記冷却板２３５１の側面には流路２３５１ｂと連通する入口部２３５１ｃと出口部２３５１ｄとが形成され、
前記ウェハ固定板２３５２にはウェハ支持ロッド２１２２がｚ軸方向に移動可能にガイド溝２３５２ａが形成され、中央にはウェハを固定するための真空吸着孔２３５２ｂが形成され、前記ウェハ固定板２３５２の側面には真空吸着孔２３５２ｂと連通する真空吸入口２３５２ｃと排出口２３５２ｄとが形成され、
前記ウェハ固定板２３５２の底面には温度センサ２３５４が設置され、
前記入口部２３５１ｃと出口部２３５１ｄはチラー６０００と連結されることで、
前記温度センサ２３５４によって感知された温度が予め設定された温度を維持するように前記チラー６０００が前記第１冷却流体Ｓ１の温度を調節するように形成されるインクジェットプリント装備。

【請求項2】

前記第１上方移動部２２００は前記ワークホルダ本体２３００をｚ軸方向に移動可能に形成されている請求項１に記載のインクジェットプリント装備。

【請求項3】

前記ウェハ支持部２１００は、
前記ワークホルダ移動部１２００から上部に延長されるように設置される支持台２１１０と、
前記支持台２１１０の上部に設置されるウェハ支持部材２１２０とからなり、
前記ウェハ支持部材２１２０は、
前記支持台２１１０の上方端部からｘｙ平面の内側に延長され、三角平板状からなる横方向支持板２１２１と、前記横方向支持板２１２１の端部に上方に延長されるウェハ支持ロッド２１２２とからなり、
前記ウェハ支持ロッド２１２２は、前記横方向支持板２１２１から内側に更に延長されて設置される横方向部材２１２２ａと、前記横方向部材２１２２ａに対して上方に形成される縦方向部材２１２２ｂとからなり、
前記縦方向部材２１２２ｂの上部端部にはｚ軸方向に高さが異なるように２つのローラｒが設置される請求項２に記載のインクジェットプリント装備。

【請求項4】

前記第１上方移動部２２００は、
前記ワークホルダ移動部１２００に設置される第１上方駆動部Ｆと、前記第１上方駆動部Ｆの上部に設置される第１相対移動部Ｍとからなり、
前記第１上方駆動部Ｆは、
ワークホルダ底面部材２００１の平板状の底面２００１ａからｙ軸方向に延長されて設置され、第１モータＦ１によって駆動される第１ボールねじＦ２と、前記第１ボールねじＦ２によって線形移動する第１傾斜ブロックＦ３とからなり、
前記第１傾斜ブロックＦ３の下部には第１下部スライダＦ４が設置される第１下部レール部Ｆ５が設置され、前記第１傾斜ブロックＦ３の底面が前記第１下部スライダＦ４に固定され、
前記第１傾斜ブロックＦ３は上部面がｙ軸の後方に行くほど高さが高くなるように傾斜して形成され、
前記第１傾斜ブロックＦ３の両側にはｚ軸の上方に延長される第１固定ガイド部Ｆ６が設置され、各前記第１固定ガイド部Ｆ６の外側にはｚ軸方向の上方に延長されて第１側面スライダＦ７が設置される第１側面レールＦ８が形成され、
前記第１相対移動部Ｍは、第１支持板Ｍ１と、前記第１支持板Ｍ１の下部中央に設置される第１傾斜部Ｍ２と、前記第１傾斜部Ｍ２の両側に設置される第１固定ガイド部材Ｍ３とからなり、
前記第１傾斜部Ｍ２は前記第１傾斜ブロックＦ３の上部面に対応する形状を有するように底面が傾斜して形成され、
前記第１傾斜部Ｍ２の底面には第１上部スライダＭ４が設置される第１上部レールＭ５が設置され、前記第１傾斜ブロックＦ３の上部面が前記第１上部スライダＭ４に固定され、前記第１固定ガイド部材Ｍ３は、ｚ軸の上方に延長されるように形成され、各前記第１固定ガイド部材Ｍ３の内側は前記第１側面スライダＦ７に固定される請求項３に記載のインクジェットプリント装備。

【請求項5】

前記支持カラム２３４０は、前記第１支持板Ｍ１の上部からｚ軸方向の上方に延長され、支持台２１１０に形成される各ウェハ支持ロッド２１２２に対応するように各角別に設置され、
前記支持カラム２３４０は前記ワークホルダ本体２３００がｚ軸方向に移動する際に前記横方向支持板２１２１による干渉が発生しない位置に形成され、
前記支持カラム２３４０の内側にはワークホルダ本体２３００のｚ軸方向への移動の際にウェハ支持ロッド２１２２がガイドされるようにｚ軸方向に延長される支持ロッドガイド溝２３３１が形成される請求項４に記載のインクジェットプリント装備。

【請求項6】

前記ワークホルダ２０００はワークホルダカバー部２４００を更に含み、
前記ワークホルダカバー部２４００は、
前記ウェハ支持部２１００と前記第１上方移動部２２００を覆うように形成される第１カバー部２４１０と、
前記ワークホルダ本体２３００を覆うように形成される第２カバー部２４２０とからなり、
前記第１カバー部２４１０は下部が開放されて前記ワークホルダ移動部１２００に固定され、
前記第１カバー部２４１０の上部には前記ワークホルダ本体２３００がｚ軸方向に移動するように上部に開放される開放溝２４１１が形成され、
前記開放溝２４１１の内側の周りには第１シーリング２４１２が設置され、
前記第２カバー部２４２０は上部及び下部が開放されるように開放部２４１１が形成され、
前記第２カバー部２４２０の上部は前記ウェハ支持板２３５０に固定されることでワークホルダ本体２３００がｚ軸方向に移動する場合に共に移動するように形成され、
前記第２カバー部２４２０の下部の周りには前記ワークホルダ本体２３００の上方移動の際に前記第１シーリング２４１２と接触するように平板状の第１フランジ２４２２が形成されている請求項１に記載のインクジェットプリント装備。

【請求項7】

前記ヘッド部３０００は、
前記ヘッド部移動部１４００に後面が固定されるチェンバ３１００と、
前記チェンバ３１００の内部に設置されるヘッド駆動部３２００と、
前記ヘッド駆動部３２００の下部に設置され、前記ヘッド駆動部３２００によって駆動されて前記チェンバ３１００の下部に突出するように形成されるヘッド３３００と、
前記ヘッド３３００の下部に設置されるヘッド検査部３４００とからなる請求項６に記載のインクジェットプリント装備。

【請求項8】

前記ヘッド検査部３４００は、
前記ベース１０００に設置される第２上方移動部３４１０と、
前記第２上方移動部３４１０の上部に設置され、パージングカップ３４４０を備えるパージングカップ支持部３４２０と、
前記パージングカップ３４４０に噴射されるインクを調査するための検査部３４５０と、前記検査部３４５０を前記パージングカップ３４４０に対してｘ軸またはｙ軸方向に移動可能にするための検査部移動部３４３０とからなり、
前記第２上方移動部３４１０は、前記パージングカップ３４４０が前記ヘッド３３００を覆うように前記パージングカップ支持部３４２０をｚ軸方向に移動可能に形成されている請求項７に記載のインクジェットプリント装備。

【請求項9】

前記パージングカップ支持部３４２０は、
前記第２上方移動部３４１０に固定される平板状の第１横方向支持部３４２１と、
前記第１横方向支持部３４２１に対して縦方向に延長される縦方向支持部３４２２と、
前記縦方向支持部３４２２に対して固定されて平板状に形成される第２横方向支持部３４２３とからなり、
前記検査部移動部３４３０が前記第１横方向支持部３４２１に設置され、
前記パージングカップ３４４０は前記第２横方向支持部３４２３に設置されるように形成されている請求項８に記載のインクジェットプリント装備。

【請求項10】

前記パージングカップ３４４０は、
前記パージングカップ支持部３４２０に設置されるケース３４４１と、
前記ケース３４４１の上部に設置される透明部３４４２と、
前記ケース３４４１に設置されて噴射されたインクを排出するための排出流路３４４３とからなるが、
前記透明部３４４２は紫外線が遮断されるように形成されている請求項９に記載のインクジェットプリント装備。

【請求項11】

前記インク硬化部４０００は、
前記エンクロージャ５０００の内部で上部に設置されるケース４１００と、
前記ケース４１００の内部に設置される硬化装置４２００とからなる請求項１０に記載のインクジェットプリント装備。

【請求項12】

前記ケース４１００の底面には下方に貫通する四角形状を有し、下方に段差を有するように開放溝４１０１が形成され、
前記段差を有する開放溝４１０１の下部にはガラス板固定部材４１１０が設置され、
前記ガラス板固定部材４１１０は、
前記段差を有する開放溝４１０１に対応する形状を有するように段差を有するように形成されるフレーム４１１１と、
前記フレーム４１１１の中央に設置されるガラス板４１１２とからなり、
前記フレーム４１１１の上部には前記ガラス板４１１２を支持するために内側に延長される延長部４１１１ａが形成され、前記フレーム４１１１の内側の周りには第１段差溝４１１１ｂが形成され、前記第１段差溝４１１１ｂの下部にはより広い幅を有する第２段差溝４１１１ｃが形成され、
前記フレーム４１１１の外側下部の周りには前記段差を有する開放溝４１０１に対応する形状を有する第２フランジ４１１１ｄが形成され、
前記ガラス板固定部材４１１０の下部に固定されるシーリング部材４１２０は、中央に貫通溝４１２１ａが形成されるフレーム部材４１２１と、前記貫通溝４１２１ａの内側の周りに形成される第２シーリング４１２２で形成されている請求項１１に記載のインクジェットプリント装備。

【請求項13】

前記インク硬化部４０００は、
前記第１上方移動部２２００によって前記ワークホルダ本体２３００が上方に移動して前記ウェハ支持板２３５０が前記第２シーリング４１２２を加圧し、前記第１フランジ２４２２が前記第１シーリング２４１２を加圧してから作動するように形成されている請求項１２に記載のインクジェットプリント装備。

【請求項14】

前記インク硬化部４０００は、追加に前記第２上方移動部３４１０によって前記パージングカップ３４４０が上方に移動して前記ヘッド３３００を覆ってから作動するように形成されている請求項１３に記載のインクジェットプリント装備。

【請求項15】

前記エンクロージャ５０００は、
前記ワークホルダ２０００、ヘッド部３０００、及びインク硬化部４０００をいずれも覆うようにエンクロージャボックス５１００と、
前記エンクロージャボックス５１００の上部に設置される循環装置５２００とからなり、前記エンクロージャボックス５１００は上部及び下部が開放された形状を有し、
前記エンクロージャボックス５１００の正面または側面にはインクジェットプリント装備のメンテナンスのためのゴム手袋が設置されるグローブボックス５１１０が形成され、
前記エンクロージャボックス５１００の後面の一側にはｙ軸方向にウェハが挿入されるためのウェハ投入口５１２０が形成され、
前記エンクロージャボックス５１００の後面の他側には前記エンクロージャ５０００の内部に充填された窒素ガスが流動するようにするための循環入口５１３１が形成され、
前記循環入口５１３１と連通するようにｚ軸方向に延長される循環通路５１３０が形成されている請求項１４に記載のインクジェットプリント装備。

【請求項16】

前記循環装置５２００は、
前記循環通路５１３０と連結される冷却ボックス５２１０と、
前記冷却ボックス５２１０の下部に設置される送風装置５２２０とからなり、
前記冷却ボックス５２１０は、
前記送風装置５２２０の上部に設置されるボックスケース５２１１と、
前記ボックスケース５２１１の内部底面に固定置される熱交換器５２１２とからなり、
前記ボックスケース５２１１の後面は、前記循環通路５１３０と連通するように開放されて下部面も前記熱交換器５２１２を通過した窒素ガスが下方に連通されて流動するように開放部５２１１ａが形成され、
前記熱交換器５２１２はボックスケース５２１１の上部に形成される流入口５２１２ａ及び流出口５２１２ｂを介して第２冷却流体Ｓ２が流動するように形成されている請求項１５に記載のインクジェットプリント装備。

【請求項17】

前記送風装置５２２０は、
前記エンクロージャボックス５１００の上部に設置される送風装置ケース５２２１と、
前記送風装置ケース５２２１の内部に設置される送風部５２２２と、
前記送風部５２２２の下部に設置されるフィルタ部５２２３とからなり、
前記フィルタ部５２２３はｘｙ平面において前記エンクロージャボックス５１００のサイズより大きく形成されている請求項１６に記載のインクジェットプリント装備。

【請求項18】

前記硬化装置４２００が作動すれば、前記温度センサ２３５４によって感知された温度が予め設定された温度を維持するように前記チラー６０００が前記第１冷却流体Ｓ１の温度を調節するように形成される請求項１７に記載のインクジェットプリント装備。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、インクジェットプリント装備に関し、より詳しくは、インクジェットプリント装備を小型のプリント対象物に適合するように小型化しながら、プリント過程の途中で発生する汚染物を発生を最小化するインクジェットプリント装備に関する。

【背景技術】

【0002】

最近、ディスプレイ技術の発展につれ、ＯＬＥＤディスプレイが広く使用されている。

【0003】

ＯＬＥＤディスプレイは有機物を使用しているが、このような有機物は水分と酸素に脆弱なため、ＯＬＥＤディスプレイの生産工程では薄膜封止工程（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｅｎｃａｐｓｕｌａｔｉｏｎ）が必須的に含まれるべきである。

【0004】

封止工程には無機物薄膜及び有機物薄膜を積層する工程が含まれるが、このような封止工程のうちには各層を積層するためにＯＣＬ（Ｏｖｅｒ Ｃｏａｔｉｎｇ Ｌａｙｅｒ）を形成する工程も含まれる。

【0005】

特に、マイクロＯＬＥＤディスプレイは仮想型であって、近眼用ディスプレイ（Ｎｅａｒ ｔｏ Ｅｙｅ Ｄｉｓｐｌａｙ）と利用されている。我々が知っているＶＲ／ＡＲ／ＭＲ／ＸＲなどを意味する。

【0006】

実際のような仮想画像を実現するためには、まず高解像度と高応答性が必要である。

【0007】

また、眼鏡のように軽くてイヤフォンのように電力消耗が少なければならず、そのためにＣＭＯＳシリコンバックプレーンの上にＯＬＥＤと透明電極を利用して上部発光（Ｔｏｐ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ）構造を有するようになる。

【0008】

また、ＯＬＥＤの短所である水分と酸素を防ぐＴＦＥレイヤとＲＧＢカラーフィルタなどの追加のレイヤが設置される。最上部にはカバーガラスなどが設置される。ＲＧＢ ＯＬＥＤの場合、ＲＧＢカラーフィルタがなくてもよい。

【0009】

これを製作するための従来の工程は、フォトリソグラフィと蒸着方法を利用している。

【0010】

具体的に調べてみると、まず、ＣＭＯＳウェハにスピンコータ（トラックシステム）を利用してオーバーコーティングレイヤを形成し、平坦化作業を行って、フォトリソグラフィ（Ｃｏａｔｅｒ－Ｏｖｅｎ－Ｍａｓｋ＆Ｅｘｐｏｓｕｒｅ－Ｄｅｖｅｌｏｐｅｒ－Ｓｔｒｉｐ）を利用してアノード（電工）を具現する。

【0011】

有機蒸着機で白色のＯＬＥＤサブピクセルを作り、更にメタル蒸着でカソード（ＩＴＯ）層を載せる。

【0012】

有機発光層の工程が終わったら、従来は水分と酸素を遮断するためのＴＦＥ層を製作していたが、従来はＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）－ＡＬＤ（Ａｔｏｍｉｃ Ｌａｙｅｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）－ＰＥＣＶＤ（Ｐｌａｓｍａ Ｅｎｈａｎｃｅｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）－ＡＬＤ層で製作され、更にスピンコータ（トラックシステム）を利用して１μｍ程度の平坦化コーティングを行っている。

【0013】

平坦化された層の上にカラーフィルタをフォトリソグラフィ（Ｃｏａｔｅｒ－Ｏｖｅｎ－Ｍａｓｋ＆Ｅｘｐｏｓｕｒｅ－Ｄｅｖｅｌｏｐｅｒ－Ｓｔｒｉｐ）工程でそれぞれ製作する。また、その上にスピンコータを利用して平坦化レイヤ及び接着工程（ＯＣＲ）を製作し、最終的にカバーガラスを設置して製品化する。

【0014】

このようなマイクロＯＬＥＤディスプレイの薄膜封止工程には有機薄膜を０．５μｍ以下に薄くコーティングすることが求められる。

【0015】

なぜならば、マイクロＯＬＥＤディスプレイのピクセルのサイズが２．４μｍ以下で非常に小さいため、薄膜の厚さを０．５μｍ以上に形成すればマイクロＯＬＥＤの各ピクセルから放出される斜線方向の光が隣り合うピクセルと色干渉を起こしやすいためである。

【0016】

よって、封止薄膜用有機薄膜層またはガラスを接着するためのＯＣＲ層はいずれも厚さが０．５μｍ以下にコーティングされることが求められる。

【0017】

このような薄膜封止工程では、薄膜を形成する各層の平坦化作業をスピンコータを利用して積層液を塗布するようになる。

【0018】

ところが、このような塗布過程でウェハの外殻に押し出された液体は、ロボットエンドエフェクタ（Ｅｎｄ Ｅｆｆｅｃｔｏｒ）などの接触で工程汚染が発生するようになる。

【0019】

それを解決するために、ＯＥＢＲ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｅｄｇｅ Ｂｅａｄ Ｒｅｍｏｖａｌ）などの追加工程が必要となる。特に、感光液ではなく直接コーティング層をすぐに適用する場合、汚染（空気方物及びパーティクル）による工程不良が発生する恐れがある。

【0020】

よって、従来の装備を利用した方式の場合、薄膜公知工程において工程汚染が発生しやすいが、それを解決するために追加の装備や固定が要求されるという短所が存在する。

【0021】

それを解決するために、インクジェットプリント装備を使用することが増加している傾向である。

【0022】

しかし、従来のインクジェットプリント装備の場合、本願発明のようにマイクロＯＬＥＤディスプレイ工程に適用されるものではないため、装備のサイズが大型化していて薄膜封止工程の途中にパーティクルが発生するなど様々な問題点が存在する。

【0023】

例えば、ヘッド部が直接基板の上に下向きに移送されてプリント作業を行うことで、それによるパーティクルが発生するという問題を含むようになる。

【0024】

また、蒸着工程が完了されたウェハを冷却するために別途の冷却装置を必要とし、ＵＶ硬化装置も別途に設置されるため、装備のサイズが大きくなるという短所が存在する。

【0025】

その上、ＵＶ硬化工程の途中でウェハにプリントされたインク以外のプリント作業中に装備に飛散したインクなども共に硬化されるという問題点も存在する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0026】

【文献】韓国公開特許 第１０－２０２１－０１０８８９０号(公開日付２０２１年０９月０３日）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0027】

より詳しくは、インクジェットプリント装備を小型のプリント対象物に適合するように小型化しながら、プリント過程の途中で発生する汚染物を発生を最小化するインクジェットプリント装備に関する。

【課題を解決するための手段】

【0028】

本発明は上述した課題を解決するために、インクジェットを利用してウェハなどのプリント対象物にプリントするための装置であって、プリント対象物を固定するためのワークホルダ２０００と、前記ワークホルダ２０００をｙ軸方向に線形移動可能にするワークホルダ移動部１２００と、前記ワークホルダ移動部１２００が設置されるベース１０００と、前記ベース１０００に設置され、前記プリント対象物にインクを噴射するヘッド部３０００と、前記ヘッド部３０００をｘ軸方向に移動するようにし、前記ベース１０００の上部に設置されるヘッド部移動部１４００と、前記ワークホルダ２０００のｙ軸方向の移動経路上で前記ワークホルダ２０００の上部に設置されるインク硬化部４０００と、前記ワークホルダ２０００、ヘッド部３０００、及びインク硬化部４０００をいずれも覆うように設置されるエンクロージャ５０００と、を含むように形成されることを特徴とする。

【0029】

本発明のインクジェットプリント装備において、前記ワークホルダ２０００は、前記ワークホルダ移動部１２００に設置されるウェハ支持部２１００と、前記ウェハ支持部２１００の内部に設置される第１上方移動部２２００と、前記第１上方移動部２２００の上部に設置されるワークホルダ本体２３００と、前記第１上部移動部２２００は前記ワークホルダ本体２３００をｚ軸方向に移動可能に形成されていることを特徴とする。

【0030】

本発明のインクジェットプリント装備において、前記ウェハ支持部２１００は、前記ワークホルダ移動部１２００から上部に延長されるように設置される支持台２１１０と、前記支持台２１１０の上部に設置されるウェハ支持部材２１２０とからなり、前記ウェハ支持部材２１２０は、前記支持台２１１０の上方端部からｘｙ平面の内側に延長され、三角平板状からなる横方向支持板２１２１と、前記支持板２１２１の端部に上方に延長されるウェハ支持ロッド２１２２とからなり、前記ウェハ支持ロッド２１２２は、前記横方向支持板２１２１から内側に更に延長されて設置される横方向部材２１２２ａと、前記横方向部材２１２２ｂに対して上方に形成される縦方向部材２１２２ｂとからなり、前記縦方向部材２１２２ｂの上部端部にはｚ軸方向に高さが異なるように２つのローラｒが設置されることを特徴とする。

【0031】

本発明のインクジェットプリント装備において、前記第１情報移動部２２００は、前記ワークホルダ移動部１２００に設置される第１上方駆動部Ｆと、前記第１上方駆動部Ｆの上部に設置される第１相対移動部Ｍとからなり、前記第１上方駆動部Ｆは、前記ワークホルダ底面部材２００１は平板状の底面２００１ａからｙ軸方向に延長されて設置され、第１モータＦ１によって駆動される第１ボールスねじＦ２と、前記第１ボールねじＦ２によって線形移動する第１傾斜ブロックＦ３とからなり、前記第１傾斜ブロックＦ３の下部には第１下部スライダＦ４が設置される第１下部レール部Ｆ５が設置され、前記第１傾斜ブロックＦ３の底面が前記第１下部スライダＦ４に固定され、前記第１傾斜ブロックＦ３は上部面がｙ軸の後方に行くほど高さが高くなるように傾斜して形成され、前記第１傾斜ブロックＦ３の両側にはｚ軸の上方に延長される第１固定ガイド部Ｆ６が設置され、前記各第１固定ガイド部材Ｆ６の外側にはｚ軸方向の上方に延長されて第１側面スライダＦ７が設置される第１側面レールＦ８が形成され、前記第１相対移動部Ｍは、第１支持板Ｍ１と、前記第１支持板Ｍ２の下部中央に設置される第１傾斜部Ｍ２と、前記第１傾斜部Ｍ２の両側に設置される第１移動ガイド部材Ｍ３とからなり、前記第１傾斜部Ｍ２は前記第１傾斜ブロックＦ３の上部面に対応する形状を有するように底面が傾斜して形成され、前記第１傾斜部Ｍ２の底面には第１上部スライダＭ４が設置される第１上部レールＭ５が設置され、前記第１傾斜ブロックＦ３の上部面が前記第１上部スライダＭ４に固定され、前記第１固定ガイド部材Ｍ３は、ｚ軸の上方に延長されるように形成され、各第１固定ガイド部材Ｍ３の内側は前記第１側面スライダＦ７に固定されることを特徴とする。

【0032】

本発明のインクジェットプリント装備において、前記ワークホルダ本体２３００は、前記第１支持板Ｍ１の上部からｚ軸方向の上方に延長される支持カラム２３４０と、前記支持カラム２３４０の上部端部に設置されるウェハ支持板２３５０とからなり、前記支持カラム２３４０は支持台２１１０に形成される各ウェハ支持ロッド２１２２に対応するように各角別に設置され、前記支持カラム２３４０は前記ワークホルダ本体２３００がｚ軸方向に移動する際に前記支持板２１２１による干渉が発生しない位置に形成され、前記支持カラム２３４０の内側にはワークホルダ本体２３００のｚ軸方向への移動の際にウェハ支持ロッド２１２２がガイドされるようにｚ軸方向に延長される支持ロッドガイド溝２３３１が形成されることを特徴とする。

【0033】

本発明のインクジェットプリント装備において、前記ウェハ支持板２３５０は、下部に設置される冷却板２３５１と、前記冷却板２３５１の上部に設置されるウェハ固定板２３５２とからなり、前記冷却板２３５１の周りにはウェハ支持ロッド２１２２がｚ軸方向に移動可能にガイド溝２３５１ａが形成され、中央には第１冷却流体Ｓ１が流動するための流路２３５１ｂが形成され、前記冷却板２３５１の側面には流路２３５１ｂと連通する入口部２３５１ｃと出口部２３５１ｄとが形成され、前記ウェハ固定板２３５２にはウェハ支持ロッド２１２２がｚ軸方向に移動可能にガイド溝２３５２ａが形成され、中央にはウェハを固定するための真空吸着孔２３５２ｂが形成され、前記ウェハ固定板２３５２の側面には真空吸着孔２３５２ｂと連通する真空吸入口２３５２ｃと排出口２３５２ｄとが形成され、前記ウェハ固定板２３５２の底面には温度センサ２３５４が設置され、前記入口部２３５１ｃと出口部２３５１ｄはチラー６０００と連結されることで、前記温度センサ２３５４によって感知された温度が予め設定された温度を維持するように前記チラー６０００が前記第１冷却流体Ｓ１の温度を調節するように形成されることを特徴とする。

【0034】

本発明のインクジェットプリント装備において、前記ワークホルダ２０００はワークホルダカバー部２４００を更に含み、前記ワークホルダカバー部２４００は、前記ウェハ支持部２１００と前記第１上方移動部２２００を覆うように形成される第１カバー部２４１０と、前記ワークホルダ本体２３００を覆うように形成される第２カバー部２４２０とからなり、前記第１カバー部２４１０は下部が開放されて前記ワークホルダ移動部１２００に固定され、前記第１カバー部２４１０の上部には前記ワークホルダ本体部２３００がｚ軸方向に移動するように上部に開放される開放溝２４１１が形成され、前記開放溝２４１１の内側の周りには第１シーリング２４１２が設置され、前記第２カバー部２４２０は上部及び下部が開放されるように開放部２４１１が形成され、前記第２カバー部２４１０の上部は前記ウェハ支持板２３５０に固定されることでワークホルダ本体２３００がｚ軸方向に移動する場合に共に移動するように形成され、前記第２カバー部２４２０下部の周りには前記ワークホルダ本体部２３００の上方移動の際に前記第１シーリング２４１２と接触するように平板状の第１フランジ２４２２が形成されていることを特徴とする。

【0035】

本発明のインクジェットプリント装備において、前記ヘッド部３０００は、前記ヘッド部移動部１４００に後面が固定されるチェンバ３１００と、前記チェンバ３１００の内部に設置されるヘッド駆動部３２００と、前記ヘッド駆動部３２００の下部に設置され、前記ヘッド駆動部３２００によって駆動されて前記チェンバ３１００の下部に突出するように形成されるヘッド３３００と、前記ヘッド３３００の下部に設置されるヘッド検査部３４００とからなることを特徴とする。

【0036】

本発明のインクジェットプリント装備において、前記ヘッド検査部３４００は、前記ベース１０００に設置される第２上方移動部３４１０と、前記第２上方移動部３４１０の上部に設置され、パージングカップ３４４０を備えるパージングカップ支持部３４２０と、前記パージングカップ３４４０に噴射されるインクを調査するための検査部３４５０と、前記検査部３４５０を前記パージングカップ３４４０に対してｘ軸またはｙ軸方向に移動可能にするための検査部移動部３４３０とからなり、前記第２上方移動部３４１０は、前記パージングカップ３４４０が前記ヘッド３３００を覆うように前記パージングカップ支持部３４２０をｚ軸方向に移動可能に形成されていることを特徴とする。

【0037】

本発明のインクジェットプリント装備において、前記パージングカップ支持部３４２０は、前記第２上方移動部３４２０に固定される平板状の第１横方向支持部３４２１と、前記横方向支持部３４２１に対して縦方向に延長される縦方向支持部３４２２と、前記縦方向支持部３４２２に対して固定されて平板状に形成される第２横方向支持部３４２３とからなり、前記検査部移動部３４３０が前記第１横方向支持板３４２１に設置され、前記パージングカップ３４４０は前記第２横方向支持部３４２３に設置されるように形成されていることを特徴とする。

【0038】

本発明のインクジェットプリント装備において、前記パージングカップ３４４０は、前記パージングカップ支持部３４２０に設置されるケース３４４１と、前記ケース３４４１の上部に設置される透明部３４４２と、前記ケース３４４１に設置されて噴射されたインクを排出するための排出流路３４４３とからなるが、前記透明部３４２２は紫外線が遮断されるように形成されていることを特徴とする。

【0039】

本発明のインクジェットプリント装備において、前記インク硬化部４０００は、前記エンクロージャ５０００の内部で上部に設置されるケース４１００と、前記ケース４１００の内部に設置される硬化装置４２００とからなることを特徴とする。

【0040】

本発明のインクジェットプリント装備において、前記ケース４１００の底面には下方に貫通する四角形状を有し、下方に段差を有するように開放溝４１０１が形成され、前記段差を有する開放溝４１０１の下部にはガラス板固定部材４１１０が設置され、前記ガラス板固定部材４１１０は、前記段差を有する開放溝４１０１に対応する形状を有するように段差を有するように形成されるフレーム４１１１と、前記フレーム４１１１の中央に設置されるガラス板４１１２とからなり、前記フレーム４１１１の上部には前記ガラス板４１１２を支持するために内側に延長される延長部４１１１ａが形成され、前記フレーム４１１１の内側の周りには第１段差溝４１１１ｂが形成され、前記第１段差溝４１１１ｂの下部にはより広い幅を有する第２段差溝４１１１ｃが形成され、前記フレーム４１１１の外側下部の周りには前記段差を有する開放溝４１０１に対応する形状を有する第２フランジ４１１１ｄが形成され、前記ガラス板固定部材４１１０の下部に固定されるシーリング部材４１２０は、中央に貫通溝４１２１ａが形成されるフレーム部材４１２１と、前記貫通溝４１２１ａの内側の周りに形成される第２シーリング４１２２とで形成されていることを特徴とする。

【0041】

本発明のインクジェットプリント装備において、前記インク硬化部４０００は、前記第１上方駆動部２２００によって前記ワークホルダ本体２３００が上方に移動して前記ウェハ固定板２３５０が前記第２シーリング４１２２を加圧し、前記第１フランジ２４２１が前記第１シーリング２４１２を加圧してから作動するように形成されていることを特徴とする。

【0042】

本発明のインクジェットプリント装備において、前記インク硬化部４０００は、追加に前記第２上方移動部３４１０によって前記パージングカップ３４４０が上方に移動して前記ヘッド３３００を覆ってから作動するように形成されていることを特徴とする。

【0043】

本発明のインクジェットプリント装備において、前記エンクロージャ５０００は、前記ワークホルダ２０００、ヘッド部３０００、及びインク硬化部４０００をいずれも覆うようにエンクロージャボックス５１００と、前記エンクロージャボックス５１００の上部に設置される循環装置５２００とからなり、前記エンクロージャボックス５１００は上部及び下部が開放された形状を有し、前記エンクロージャボックス５１００の正面または側面にはインクジェットプリント装備のメンテナンスのためのゴム手袋が設置されるグローブボックス５１１０が形成され、前記エンクロージャボックス５１００の後面の一側にはｙ軸方向にウェハが挿入されるためのウェハ投入口５１２０が形成され、前記エンクロージャボックス５１００の後面の他側には前記エンクロージャ５０００の内部に充填された窒素ガスが流動するようにするための循環入口５１３１が形成され、前記循環入口５１３１と連通するようにｚ軸方向に延長される循環通路５１３０が形成されていることを特徴とする。

【0044】

本発明のインクジェットプリント装備において、前記循環装置５２００は、前記循環通路５１３０と連結される冷却ボックス５２１０と、前記冷却ボックス５２１０の下部に設置される送風装置５２２０とからなり、前記冷却ボックス５１２０は、前記送風装置５２２０の上部に設置されるボックスケース５２１１と、前記ボックスケース５２１１の内部底面に固定置される熱交換器５２１２とからなり、前記ボックスケース５２１１の後面は、前記循環通路５１３０と連通するように開放されて下部面も前記熱交換器５２１２を通過した窒素ガスが下方に連通されて流動するように開放部５２１１ａが形成され、前記熱交換器５２１２はボックスケース５２１１の上部に形成される流入口５２１２ａ及び流出口５２１２ｂを介して第２冷却流体Ｓ２が流動するように形成されていることを特徴とする。

【0045】

本発明のインクジェットプリント装備において、前記送風装置５２２０は、前記エンクロージャボックス５１００の上部に設置される送風装置ケース５２２１と、前記送風装置ケース５２２１の内部に設置される送風部５２２２と、前記送風部５２２２の下部に設置されるフィルタ部５２２３とからなり、前記フィルタ部５２２３はｘｙ平面において前記エンクロージャボックス５１００のサイズより大きく形成されていることを特徴とする。

【0046】

本発明のインクジェットプリント装備において、前記硬化装置４２００が作動すれば、前記温度センサ２３５４によって感知された温度が予め設定された温度を維持するように前記チラー６０００が前記第１冷却流体Ｓ１の温度を調節するように形成されることを特徴とする。

【発明の効果】

【0047】

本発明は一つのエンクロージャの内部でプリント及び硬化作用が行われるため、インクジェット装備のサイズを小型に構成する作用効果を有する。

【0048】

本発明のインクジェットプリント装備では、特に、フィルタ部がエンクロージャボックスの平面より広い平面を有するように形成されることで、フィルタ部を通って下方に流動する窒素ガスの下向きの流れはエンクロージャボックスの平面の全面にわたっていずれも下方に流動するようにする作用をするようになる。

【0049】

それによって、ほこりやミストなどがいずれも下方に移動するようになることで、インクジェットプリント装備の全工程にわたってエンクロージャボックスの内部が清浄に維持されるという作用効果を有する。

【0050】

一方、本発明のインクジェットプリント装備では以前の蒸着工程によって高温の状態になったウェハを冷却させてからプリント工程を行うことで、高温及び資材温度の不均衡のため発生する不良率を低減するという効果を有する。

【0051】

一方、本発明のインクジェットプリント装備ではヘッド部がｘ軸方向にのみ移動し、ｚ軸方向へは移動しないことで、ヘッド部の移送によってほこりや異物などが発生することを根本的に防止するという作用効果を有する。

【0052】

また、ヘッド駆動部が密閉された形状のチェンバの内部に設置された状態でチェンバがｘ軸方向に移動するように作用することで、ヘッド駆動部によってヘッドを駆動する途中で発生するパーティクルが基板に落とされることを根本的に防止するという長所を有する。

【0053】

また、硬化ステップでもインク硬化部は固定された状態でワークホルダが上方に移動するように形成されることで、同じくインク硬化部の移送によってほこりなどが発生することを防止するという作用効果を有する。

【0054】

特に、本発明では硬化ステップで硬化装置によって発生する紫外線がワークホルダカバーによって二重に遮断されることで、硬化の際にエンクロージャの内部に存在するインクや異物が硬化することを防止するという作用効果を有する。

【0055】

また、硬化ステップでヘッド部を紫外線遮断ガラスからなるパージングカップで覆って密封することで、ヘッドに残留するインクがヘッドの表面で硬化されて次のプリント作業で不良を引き起こすことを防止するという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【0056】

【図1】本発明の一実施例によるインクジェットプリント装備全体を示す図である。

【0057】

【図2】図１でエンクロージャを除いた状態を示す図である。

【0058】

【図3】本発明の一実施例におけるベースを示す図である。

【0059】

【図4】本発明の一実施例におけるワークホルダ移動部を示す図である。

【0060】

【図5】本発明の一実施例におけるＵＶＷステージを示す図である。

【0061】

【図6】本発明の一実施例におけるワークホルダ全体を示す図である。

【0062】

【図7】本発明の一実施例におけるワークホルダの分解斜視図である。

【0063】

【図8】本発明の一実施例におけるワークホルダのウェハ支持部を示す図である。

【0064】

【図9】本発明の一実施例におけるワークホルダの支持カラムを示す図である。

【0065】

【図10】本発明の一実施例におけるワークホルダのｙｚ平面における断面図である。

【0066】

【図11】本発明の一実施例におけるワークホルダのｘｚ平面における断面図である。

【0067】

【図12】本発明の一実施例における冷却板を示す図である。

【0068】

【図13】本発明の一実施例におけるウェハ固定板を示す図である。

【0069】

【図14】本発明の一実施例におけるウェハ支持板の連結管を示す図である。

【0070】

【図15】本発明の一実施例におけるワークホルダが上昇して硬化装置に接触した状態のｘｚ平面における断面図である。

【0071】

【図16】本発明の一実施例におけるヘッド部移動部を示すためのｙｚ平面における断面図である。

【0072】

【図17】本発明の一実施例におけるヘッド検査部を示す斜視図である。

【0073】

【図18】本発明の一実施例におけるヘッド検査部をｙｚ平面で示す断面図である。

【0074】

【図19】本発明の一実施例におけるヘッド検査部をｘｚ平面で示す断面図である。

【0075】

【図20】本発明の一実施例における硬化装置を示す分解斜視図である。

【0076】

【図21】本発明の一実施例におけるエンクロージャを示す正面図である。

【0077】

【図22】本発明の一実施例におけるエンクロージャをｘｚ平面で示す断面図である。

【0078】

【図23】本発明の一実施例におけるエンクロージャをｙｚ平面で示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0079】

以下、図面を参照して本発明の一実施例について説明する。

【0080】

図１は、本発明の一実施例によるインクジェットプリント装備全体を示す図である。図２は、図１でエンクロージャを除いた状態を示す図である。

【0081】

本発明のインクジェットプリント装備は、ベース１０００と、前記ベース１０００からｙ軸方向に線形移動可能に設置され、対象を支持するワークホルダ２０００と、前記ベース１０００の上部からｘ軸方向に線形移動可能に設置され、プリント対象物にインクを噴射するヘッド部３０００と、前記ベース１０００の上部からｙ軸方向の後方に設置されるインク硬化部４０００と、前記ワークホルダ２０００、ヘッド部３０００、及びインク硬化部４０００をいずれも覆うように形成され、前記ベースの上部に固定されるエンクロージャ５０００とからなる。

【0082】

【0083】

図３は、本発明の一実施例におけるベースを示す図である。

【0084】

ベース１０００は全体的に骨格形状のフレームで形成される。

【0085】

ベース１０００の底部には検査の際に使用されたインクを洗浄するための洗浄フィルタ部１０１０が設置される。

【0086】

ベース１０００の上部にはステージ１１００が設置されるが、ステージ１１００の周りにはベースシーリング部材１１２０が挿入されるためのシーリング溝１１１０が形成されている。

【0087】

【0088】

図４は、本発明の一実施例におけるワークホルダ移動部を示す図である。

【0089】

ステージ１１００の上面からｘ軸方向の右側にはワークホルダ２０００をｙ軸方向に移動させるのに使用されるワークホルダ移動部１２００が設置される。

【0090】

本実施例において、ワークホルダ移動部１２００は公知された構成の第１リニアモータＬで構成される。

【0091】

第１リニアモータＬは、ステージ１１００の上面に設置され、永久磁石を含む第１固定子Ｌ１と、前記第１固定子Ｌ１のｘ軸方向の両側にステージ１１００の上面からｙ軸方向に延長されるように２つが設置される第１レールＬ２と、前記第１レールＬ２の上部に設置され、内部にコイル巻線が形成される第１稼働子Ｌ３と、前記各第１稼働子Ｌ３に固定される第１移動部材Ｌ４とからなる。

【0092】

第１リニアモータＬは、第１稼働子Ｌ３の内部巻線に電流が印加されることで第１固定子Ｌ１との相互作用によって第１稼働子Ｌ３が第１レールＬ２に沿って移動するようになり、それによって第１移動部材Ｌ４が移動するようになる。

【0093】

【0094】

図５は、本発明の一実施例におけるＵＶＷステージを示す図である。

【0095】

ワークホルダ移動部１２００の上部には公知された構成のＵＶＷステージ１３００が設置される。

【0096】

ＵＶＷステージ１３００は、下板１３１０と、下板の上部に設置される公知された構成のＵＶＷステージ構成部１３２０と、前記ＵＶＷステージ構成部１３２０の上部に設置される上板１３３０とからなる。

【0097】

ＵＶＷステージ１３００の上板１３３０にはワークホルダ底面部材２００１が固定されることでワークホルダ２０００が設置される。

【0098】

【0099】

図６は、本発明の一実施例におけるワークホルダ全体を示す図である。図７は、本発明の一実施例におけるワークホルダの分解斜視図である。図８は、本発明の一実施例におけるワークホルダのウェハ支持部を示す図である。図９は、本発明の一実施例におけるワークホルダの支持カラムを示す図である。図１０は、本発明の一実施例におけるワークホルダのｙｚ平面における断面図である。図１１は、本発明の一実施例におけるワークホルダのｘｚ平面における断面図である。

【0100】

ワークホルダ２０００は、ワークホルダ底面部材２００１に固定されるウェハ支持部２１００と、前記ウェハ支持部２１００の内部に設置される第１上方移動部２２００と、前記第１上方移動部２２００の上部に設置されるワークホルダ本体２３００と、前記ワークホルダ２０００を覆うように形成されるワークホルダカバー部２４００とからなる。

【0101】

ワークホルダ底面部材２００１はワークホルダ移動部１２００の第１移動部材Ｌ４に固定される。

【0102】

ワークホルダ底面部材２００１は、平板状の底面２００１ａと、前記平板状の底面２００１ａの周りから上方に延長されるカバー２００１ｂとからなる。

【0103】

第１リニアモータＬは、第１稼働子Ｌ３の内部巻線に電流が印加されることで第１固定子Ｌ１との相互作用によって第１稼働子Ｌ３が第１レールＬ２に沿って移動するようになり、それによって第１移動部材Ｌ４が移動するようになる。

【0104】

ウェハ支持部２１００は、ワークホルダ底面部材２００１に固定されて上部に延長されるように設置される支持台２１１０と、前記支持台２１１０の上部に設置されるウェハ支持部材２１２０とからなる。

【0105】

支持台２１１０は、互いにｘ軸方向に離隔するようにワークホルダ底面部材２００１は平板状の底面部２００１ａに設置され、上方に延長される２つの板状部材からなる。

【0106】

ウェハ支持部材２１２０は、支持台２１１０の上方端部からｘｙ平面の内側に延長され、三角形の平板状からなる横方向支持板２１２１と、前記支持板２１２１の端部に上方に延長されるウェハ支持ロッド２１２２とからなる。

【0107】

ウェハ支持ロッド２１２２は、横方向支持板２１２１から内側に更に延長されて設置される横方向部材２１２２ａと、前記横方向部材２１２２ｂに対して情報に形成される縦方向部材２１２２ｂとからなる。

【0108】

ウェハ支持ロッド２１２２の縦方向部材２１２２ｂの上部端部にはｚ軸方向に高さが異なるように２つのローラｒが設置されている。

【0109】

第１上方移動部２２００は、第１上方駆動部Ｆと、前記第１上方駆動部Ｆの上部に設置される第１相対移動部Ｍとからなる。

【0110】

第１上方駆動部Ｆは公知された構成の線形移動装置からなる。例えば、リニアモータやボールねじ方式で形成されてもよいが、本実施例ではボールねじ方式で形成されている。

【0111】

第１上方駆動部Ｆは、ワークホルダ底面部材２００１は平板状の底面２００１ａからｙ軸方向に延長されて設置され、第１モータＦ１によって駆動される第１ボールねじＦ２と、前記第１ボールねじＦ２によって線形移動する第１傾斜ブロックＦ３とからなる。

【0112】

第１傾斜ブロックＦ３の下部には第１下部スライダＦ４が設置される第１下部レール部Ｆ５が設置され、第１傾斜ブロックＦ３の底面が第１下部スライダＦ４に固定される。

【0113】

第１傾斜ブロックＦ３は上部面がｙ軸の後方に行くほど高さが高くなるように傾斜して形成される。

【0114】

【0115】

第１傾斜ブロックＦ３の両側にはｚ軸の上方に延長される第１固定ガイド部Ｆ６が設置されるが、各第１固定ガイド部材Ｆ６の外側にはｚ軸方向の上方に延長され、第１側面スライダＦ７が設置される第１側面レールＦ８が形成されている。

【0116】

【0117】

第１相対移動部Ｍは、第１支持板Ｍ１と、前記第１支持板Ｍ２の下部中央に設置される第１傾斜部Ｍ２と、前記第１支持部Ｍ２の両側に設置される第１移動ガイド部材Ｍ３とからなる。

【0118】

第１傾斜部Ｍ２は第１傾斜ブロックＦ３の上部面に対応する形状を有するように底面が傾斜して形成される。

【0119】

第１傾斜部Ｍ２の底面には第１上部スライダＭ４が設置される第１上部レールＭ５が設置され、第１傾斜ブロックＦ３の上部面が第１上部スライダＭ４に固定される。

【0120】

第１固定ガイド部材Ｍ３は板状を有してｚ軸の上方に延長されるように形成され、各第１固定ガイド部材Ｍ３の内側は第１側面スライダＦ７に固定される。

【0121】

【0122】

ワークホルダ本体２３００は、第１支持板Ｍ１の上部からｚ軸方向の上方に延長される支持カラム２３４０と、前記支持カラム２３４０の上部端部に設置されるウェハ支持板２３５０とからなる。

【0123】

【0124】

支持カラム２３４０は支持台２１１０に形成される各ウェハ支持ロッド２１２２に対応するように各角別に４つが設置される。

【0125】

【0126】

支持カラム２３４０が設置される位置は、ワークホルダ本体２３００がｚ軸方向に移動する際に支持板２１２１による干渉が発生しないように決定される。

【0127】

支持カラム２３４０の内側にはワークホルダ本体２３００がｚ軸方向へ移動する際、ウェハ支持ロッド２１２２がガイドされるようにｚ軸方向に延長される支持ロッドガイド溝２３４１が形成されている。

【0128】

図１２は、本発明の一実施例における冷却板を示す図である。図１３は、本発明の一実施例におけるウェハ固定板を示す図である。図１４は、本発明の一実施例におけるウェハ支持板の連結管を示す図である。

【0129】

ウェハ支持板２３５０は、下部に設置される冷却板２３５１と、前記冷却板２３５１の上部に設置されるウェハ固定板２３５２とからなる。

【0130】

冷却板２３５１の周りにはウェハ支持ロッド２１２２がｚ軸方向に移動可能にガイド溝２３５１ａが形成され、中央には第１冷却流体Ｓ１が流動するための流路２３５１ｂが形成され、冷却板２３５１の側面には流路２３５１ｂと連通する入口部２３５１ｃと出口部２３５１ｄが形成されている。

【0131】

入口部２３５１ｃと出口部２３５１ｄはそれぞれ冷却水流入管Ｓ２Ｉと冷却水流入管Ｓ２Ｏの一端に連結される。

【0132】

本発明では第１冷却流体Ｓ１が常に冷却板２３５１の内部で流動するように形成される。

【0133】

冷却水流入管Ｓ２Ｉと冷却水流入管Ｓ２Ｏの他端はそれぞれチラー６０００に連結されるが、チラー６０００では第１冷却流体Ｓ１の温度を制御する作用をする。

【0134】

【0135】

ウェハ固定板２３５２にもウェハ支持ロッド２１２２がｚ軸方向に移動可能にガイド溝２３５２ａが形成され、中央にはウェハを固定するための真空吸着孔２３５２ｂが形成され、ウェハ固定板２３５２の側面には真空吸着孔２３５２ｂと連通する真空吸入口２３５２ｃと真空排出口２３５２ｄが形成されている。

【0136】

真空吸入口２３５２ｃと真空排出口２３５２ｄはそれぞれ真空流入管ＶＩと真空排出管ＶＯに連結される。

【0137】

一方、ウェハ固定板２３５２の底面には複数個の温度センサ２３５４が設置される。

【0138】

ワークホルダカバー部２４００は、第１カバー部２４１０と第２カバー部２４２０とからなる。

【0139】

第１カバー部２４１０は全体的に四角ボックス状に形成されるが、下部は開放されてワークホルダ底面部材２００１のカバー２００１ｂを覆いながら固定されるように形成される。

【0140】

第１カバー部２４１０の側部はウェハ支持部２１００、上方移動部２２００、及びワークホルダ本体２３００の第１支持板２３１０の下部を覆うように形成される。

【0141】

第１カバー部２４１０の上部には四角形状であってワークホルダ本体２３００がｚ方向に移動するように上部に開放される開放溝２４１１が形成されるが、開放溝２４１１の内側の周りには第１シーリング２４１２が設置されている。

【0142】

前記開放溝２４１１は、第２カバー部２４２０が取り付けられたワークホルダ本体２３００が上方に移動できるサイズを有するように形成される。

【0143】

第２カバー部２４２０も全体的に四角ボックス状に形成されるが、上部及び下部が開放されるように開放部２４１１が形成され、前記開放部２４１１の内部にワークホルダ本体２３００が挿入される。

【0144】

第２カバー部２４１０の上部はウェハ支持板２３５０に固定されることで、ワークホルダ本体２３００がｚ軸方向に移動する際に共に移動するように形成される。

【0145】

第２カバー部２４２０の下部の周りには、ワークホルダ本体２３００の上方移動の際に第１シーリング２４１２と接触するように平板状の第１フランジ２４２１が形成されている。

【0146】

【0147】

図１６は、本発明の一実施例におけるヘッド部移動部を示すためのｙｚ平面における断面図である。

【0148】

ステージ１１００の上部にはｚ軸の上方からｘ軸方向に互いに離隔するようにヘッド部支持台１３００が設置されるが、ヘッド部支持台１３００にはｘ軸方向にヘッド部３０００を移送するためのヘッド部移動部１４００が設置される。

【0149】

【0150】

ヘッド部移動部１４００はワークホルダ移動部１２００と同じく公知された構成の第２リニアモータＬ－１で構成される。

【0151】

第２リニアモータＬ－１は、ステージ１１００の上面に設置され、永久磁石を含む第２固定子Ｌ１－１と、前記第２固定子Ｌ１－１のｘ軸方向の両側にステージ１１００の上面からｙ軸方向に延長されるように２つが設置される第２レールＬ２－１と、前記第２レールＬ２－１の上部に設置され、内部にコイル巻線が形成される第２稼働子Ｌ３－１と、前記各第２稼働子Ｌ３－１に固定される第２移動部材Ｌ４－１とからなる。

【0152】

第２リニアモータＬ－１は、第２稼働子Ｌ３－１の内部巻線に電流が印加されることで第２固定子Ｌ１－１との相互作用によって第２レールＬ２－１に沿って移動するようになり、それによって第２移動部材Ｌ４－１が移動するようになる。

【0153】

【0154】

ヘッド部３０００は、チェンバ３１００と、前記チェンバ３１００の内部に設置されるヘッド駆動部３２００と、前記ヘッド駆動部３２００の下部に設置され、ヘッド駆動部３２００によって駆動されるヘッド３３００とからなる。

【0155】

【0156】

チェンバ３１００はヘッド駆動部３２００が内部に設置されて密閉されるように構成されるが、下部にはヘッド３３００が下方に突出するように形成され、後面がヘッド部移動部１４００の第２移動部材Ｌ４－１に固定される。

【0157】

本発明において、チェンバ３１００はｘ軸方向にのみ移動し、ｚ軸方向には移動しないように構成されるため、ヘッド３３００も同じくｘ軸方向にのみ移動し、ｚ軸方向には移動する。

【0158】

【0159】

図１７は、本発明の一実施例におけるヘッド検査部を示す斜視図である。図は、本発明の一実施例におけるヘッド検査部をｙｚ平面で示す断面図である。図１９は、本発明の一実施例におけるヘッド検査部をｘｚ平面で示す断面図である。

【0160】

ヘッド部３０００の下部にはヘッド検査部３４００が設置される。

【0161】

ヘッド検査部３４００は、第２上方移動部３４１０と、前記第２上方移動部３４１０の上部に設置されるパージングカップ支持部３４２０と、前記パージングカップ支持部３４２０の底面に設置される検査部移動部３４３０と、前記パージングカップ支持部３４２０の上部に設置されるパージングカップ３４４０と、前記パージングカップ支持部３４２０の検査部移動部３４３０に設置される検査部３４５０とからなる。

【0162】

【0163】

第２上方移動部３４１０は第１上方移動部２２００と基本的に同じ方式からなるが、ボールねじがｘ軸方向に設置されるという点だけｙ軸方向に設置される第１上方移動部２２００と異なる。

【0164】

第２上方移動部３４１０は、第２上方駆動部Ｆ－１と、前記第２上方駆動部Ｆ－１の上部に設置される第２相対移動部Ｍ－１とからなる。

【0165】

第２上方駆動部Ｆ－１は第１上方駆動部Ｆと同じく公知された構成の線形移動装置からなる。例えば、リニアモータやボールねじ方式で形成されてもよいが、本実施例ではボールねじ方式で形成されている。

【0166】

第２上方駆動部Ｆ－１はステージ１１００に設置され、第２モータＦ１－１によって駆動される第２ボールねじＦ２－１と、前記第２ボールねじＦ２－１によって線形移動する第２傾斜ブロックＦ３－１とからなる。

【0167】

第２傾斜ブロックＦ３－１の下部には第２下部スライダＦ４－１が設置される第２下部レール部Ｆ５－１が設置され、第２傾斜ブロックＦ３－１の底面が第２下部スライダＦ４－１に固定される。

【0168】

第２傾斜ブロックＦ３－１は上部面がｙ軸の後方に行くほど高さが高くなるように傾斜して形成される。

【0169】

第２傾斜ブロックＦ３－１の両側にはｚ軸の上方に延長される第２固定ガイド部Ｆ６－１が設置されるが、各第２固定ガイド部材Ｆ６－１の外側にはｚ軸方向の上方に延長され、第２側面スライダＦ７－１が設置される第２側面レールＦ８－１が形成されている。

【0170】

第２相対移動部Ｍ－１は、第２支持板Ｍ１－１と、前記第２支持板Ｍ－１の下部中央に設置される第２傾斜部Ｍ２－１と、前記第２傾斜部Ｍ２－１の両側に設置される第２移動ガイド部材Ｍ３－１とからなる。

【0171】

第２傾斜部Ｍ２－１は第２傾斜ブロックＦ３－１の上部面に対応する形状を有するように底面が傾斜して形成される。

【0172】

第２傾斜部Ｍ２－１の底面には第２上部スライダＭ４－１が設置される第２上部レール部Ｍ５－１が設置され、第２傾斜ブロックＦ３－１の上部面が第２上部スライダＭ４－１に固定される。

【0173】

第２固定ガイド部材Ｍ３－１は板状を有してｚ軸の上方に延長されるように形成され、各第２固定ガイド部材Ｍ３－１の内側は第２側面スライダＦ７－１に固定される。

【0174】

パージングカップ支持部２４２０は、第２支持板Ｍ１－１に固定される平板状の第１横方向支持部３４２１と、前記横方向支持部３４２１に対して縦方向に延長される縦方向支持部３４２２と、前記縦方向支持部３４２２に対して固定され、平板状に形成される第２横方向支持部３４２３とからなる。

【0175】

【0176】

検査部移動部３４３０は、第１横方向支持部３４２１に固定されるｘ軸方向移動手段３４３１と、前記ｘ軸方向移動手段に対して交差するように設置されるｙ軸方向移動手段３４３２とからなる。

【0177】

【0178】

ｘ軸方向移動手段３４３１とｙ軸方向移動手段３４３２はそれぞれ公知のボールねじ方式で形成される。

【0179】

ｘ軸方向移動手段３４３１は、第１横方向支持部３４２１に設置される第１設置板ＭＰ１と、前記第１設置板ＭＰ１に設置され、第１モータＭ１によって駆動される第１ボールねじＢＳ１と、前記第１ボールねじＢＳ１に連結される第１スライダＳＬ１とからなる。

【0180】

ｙ軸方向移動手段３４３２は、前記第１スライダＳＬ１に設置される第２設置板ＭＰ２と、前記第２設置板ＭＰ２に設置され、第２モータＭ２によって駆動される第２ボールねじＢＳ２と、前記第２ボールねじＢＳ２に連結される第２スライダＳＬ２とからなる。

【0181】

【0182】

パージングカップ３４４０は、第２横方向支持部３４２３に設置されるケース３４４１と、前記ケース３４４１の上部に設置される透明部３４４２と、前記ケース３４４１に設置され、噴射されたインクを排出するための排出流路３４４３とからなる。

【0183】

透明部３４４２は、硬化装置による紫外線が遮断されるように紫外線遮断素材または紫外線遮断膜がコーティングされるように形成される。

【0184】

【0185】

検査部３４５０は公知された構成のカメラ検査装備で形成される。

【0186】

検査部３４５０は、第２スライダＳＬ２に設置され、ｙ軸方向に延長されるように形成される検査部設置板３４５１と、前記検査部設置板３４５１のｙ軸の後方端部に設置される照明部３４５２と、前記検査部設置板３４５１のｙ軸前の方端部で前記照明部３４５２と対向するように設置されるカメラ部３４５３とからなる。

【0187】

照明部３４５２とカメラ部３４５３は、ｘ軸方向移動手段３４３１とｙ軸方向移動手段３４３２によってそれぞれｘ軸及びｙ軸方向に移動する際、パージングカップ３４４０と干渉しないようにｘ軸及びｙ軸方向にパージングカップ３４４０と一定な間隔を形成するように設置される。

【0188】

検査部３４５０のパージングカップ３４４０に存在する窒素ガスは排出流路３４４３を介して排出され、ベース１０００に形成されている洗浄フィルタ部１０１０を通って洗浄された後、更に連結管５１３１を介して循環通路５３１０を介して流入される。

【0189】

【0190】

図２０は、本発明の一実施例における硬化装置を示す分解斜視図である。

【0191】

インク硬化部４０００は、ケース４１００と、前記ケース４１００の内部に設置される硬化装置４２００と、前記硬化装置４２００を線形移動させるための硬化装置移動部４３００とからなる。

【0192】

【0193】

ケース４１００は四角ボックス状に形成され、内部に硬化装置４２００と硬化装置移動部４３００が設置されるように形成される。

【0194】

ケース４１００の底面には下方に貫通する四角形状の開放溝４１０１が形成されるが、開放溝４１０１は下方に段差を有するように形成される。

【0195】

段差を有する開放溝４１０１の下部にはガラス板固定部材４１１０が設置される。

【0196】

【0197】

ガラス板固定部材４１１０は、前記段差を有する開放溝４１０１に対応する形状を有するように段差を有するように形成されるフレーム４１１１と、前記フレーム４１１１の中央に設置されるガラス板４１１２とからなる。

【0198】

フレーム４１１１の上部にはガラス板４１１２を支持するために内側に延長される延長部４１１１ａが形成され、フレーム４１１１の内側の周りには第１段差溝４１１１ｂが形成され、第１段差溝４１１１ｂの下部にはより広い幅を有する第２段差溝４１１１ｃが形成される。

【0199】

一方、フレーム４１１１の外側下部の周りには段差を有する開放溝４１０１に対応する形状を有する第２フランジ４１１１ｄが形成される。

【0200】

ガラス板固定部材４１１０の下部に固定されるシーリングヴ剤４１２０は、中央に貫通溝４１２１ａが形成されるフレーム部材４１２１と、前記貫通溝４１２１ａの内側の周りに形成される第２シーリング４１２２からなる。

【0201】

硬化装置４２００は公知された構成の紫外線硬化装置が使用される。

【0202】

【0203】

硬化装置移動部４３００は公知された構成のボールねじ装置を利用して形成される。

【0204】

硬化装置移動部４３００は、ケース４１００の底面に設置され、第３モータＭ３によって駆動される第３ボールねじＢＳ３と、前記第３ボールねじＢＳ３に連結され、上部に硬化装置４２００が設置される第３スライダＳＬ３と、前記第３スライダＳＬ３を支持するように前記ガラス板４１１２の両側に設置される第３レールＲＬ３とからなる。

【0205】

【0206】

図２１は、本発明の一実施例におけるエンクロージャを示す正面図である。図２２は、本発明の一実施例におけるエンクロージャをｘｚ平面で示す断面図である。図２３は、本発明の一実施例におけるエンクロージャをｙｚ平面で示す断面図である。

【0207】

エンクロージャ５０００は、エンクロージャボックス５１００と、前記エンクロージャボックス５１００の上部に設置される循環装置５２００とからなる。

【0208】

エンクロージャボックス５１００は全体的に下部が開放される四角ボックス状に形成される。

【0209】

エンクロージャボックス５１００の正面及び側面には、インクジェットプリント装置のメンテナンスのためのゴム手袋が設置されるグローブボックス５１１０が形成される。

【0210】

エンクロージャボックス５１００の後面の一側にはｙ軸方向にウェハが挿入されるためのウェハ投入口５１２０が形成される。

【0211】

エンクロージャボックス５１００の後面の他側には循環入口５１３１が形成され、循環入口５１３１と連通されてｚ軸方向に延長される循環通路５１３０が形成されている。

【0212】

エンクロージャボックス５１００の右側の側面には補充窒素ガスを排出するための窒素ガス排出口５１４０が形成されている。

【0213】

エンクロージャボックス５１００の底面にはベースシーリング部材１１２０が挿入されるためのシーリング溝が形成され、ベースシーリング部材１１２０によってステージ１１００との密封状態が維持されるように設置される。

【0214】

循環装置５２００は、前記循環通路５１３０と連結される冷却ボックス５２１０と、前記冷却ボックス５２１０の下部に設置される送風装置５２２０とからなる。

【0215】

冷却ボックス５２１０は、ボックスケース５２１１と、前記ボックスケース５２１１の内部の底面に固定置される熱交換器５２１２とからなる。

【0216】

ボックスケース５２１１の後面は循環通路５１３０と連通するように開放され、下部面も熱交換器５２１２を通過した窒素ガスが下方に連通するように開放部５２１１ａが形成される。

【0217】

ボックスケース５２１１の側面には外部の窒素ガスが流入されるための補充窒素ガス流入口５２１１ｂが形成される。

【0218】

熱交換器５２１２は、ボックスケース５２１１の上部に形成される流入口５２１２ａ及び流出口５２１２ｂを介して第２冷却流体Ｓ２が流動するように形成される。

【0219】

【0220】

送風装置５２２０は、送風装置ケース５２２１と、前記送風装置ケース５２２１の内部に設置される送風部５２２２と、前記送風部５２２２の下部に設置されるフィルタ部５２２３とからなる。

【0221】

【0222】

送風装置ケース５２２１の上部は冷却ボックス５２１０が設置される部分で連通するように開放された形態に形成される。

【0223】

送風装置ケース５２２１の側部はｘｙ平面においてエンクロージャボックス５１００のサイズより大きく形成される。

【0224】

送風部５２２２はファン５２２２ａとファン５２２２ａの下部に設置されるファンフィルタ５２２２ｂを含むように形成される公知された構成のＦＦＵ（Ｆａｎ Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ）からなるが、一つまたは複数個で形成される。

【0225】

フィルタ部５２２３は筐体５２２３ａにフィルタ部材５２２３ｂが設置されるように構成されるが、例えば、ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）フィルタなどが使用される。

【0226】

フィルタ部５２２３はｘｙ平面においてエンクロージャボックス５１００のサイズより大きく形成されるべきである。

【0227】

【0228】

以下、本発明の作用について説明する。

【0229】

本発明の作用は、エンクロージャ内部循環ステップと、ウェハ投入ステップと、プリントステップと、インク硬化ステップと、排出ステップとからなる。

【0230】

（１）エンクロージャ内部循環ステップ

【0231】

本発明のインクジェットプリント装置では、プリントの全工程にわたってエンクロージャの内部で窒素ガスが循環される状態になるように作用する。

【0232】

つまり、本発明では、送風部５２２２におけるファン５２２２ａの作動によってエンクロージャボックス５１００の基本窒素ガスＮ１が循環通路５１３０によって冷却ボックス５２１０に流入される。

【0233】

冷却ボックス５２１０の内部では、流入口５２１２ａ及び流出口５２１２ｂを介して低い温度を有する第２冷却流体Ｓ２が流動する熱交換器５２１２を基本窒素ガスＮ１が通過しながら温度が低くなった状態で送風装置５２２０に流入するようになる。

【0234】

一方、このような基本窒素ガスＮ１の流れとは別に、補充窒素ガスＮ２の流れがボックスケース５２１１の側面の補充窒素ガス流入口５２１１ｂを介して冷却ボックス５２１０流入され、エンクロージャボックス５１００の側面に形成される補充窒素ガス排出搬出口５１４０に排出される。

【0235】

このような作用によって、冷却ボックス５２１０の内部で窒素ガスを冷却及び補充する作用をする。

【0236】

このような作用によって、エンクロージャ５０００の内部温度は２５℃程度に常に一定に維持されるようになる。

【0237】

冷却ボックス５２１０で冷却された窒素ガスはファン５２２２ａを通った後、ファンフィルタ５２２２ｂを通ってフィルタ部５２２３に流入される。

【0238】

フィルタ部５２３２はエンクロージャボックス５１１０の平面より更に広い平面を有するように形成されるため、フィルタ部５２２３を通って下方に流動する窒素ガスの下向きの流れはエンクロージャボックス５１１０の平面全面にわたっていずれも下方に流動する作用をするようになる。

【0239】

よって、エンクロージャボックス５１００の内部で発生するほこりやミストなどはいずれも下方に移動して排出されるように作用するため、インクジェットプリント装置の全工程にわたってエンクロージャボックス５１１０の内部が清浄に維持されて、インクジェットプリント固定の際に製品の不良が発生することを防止するという作用効果を有する。

【0240】

（２）ウェハ投入ステップ

【0241】

本発明において、インクジェットプリント装備によってプリントされるプリント対象物はウェハやガラス基板などが当たるが、本実施例では説明のためにプリント対象物をウェハと通称して説明する。

【0242】

【0243】

ウェハ投入ステップは、ウェハの流入、積置、冷却、及び固定ステップからなる。

【0244】

ウェハ流入ステップでは、以前の工程である蒸着工程を経た高温のウェハがウェハ移送手段（図示せず）によって把持され、エンクロージャ５０００の後面に形成されるウェハ投入口５１２０を介してインクジェットプリント装備の内部に流入されるようになる。

【0245】

ウェハ積置ステップでは、ウェハ支持ロッド２１２２の端部に設置されるローラｒがウェハ支持板２３５０の上面に突出された後、このローラｒによってウェハが支持される作用をするようになる。

【0246】

ウェハ支持ロッド２１２２がウェハ支持板２３５０の上面に突出されるためにはワークホルダ本体２３００が下降すべきであるが、これは以下のような作用による。

【0247】

まず、第１情報移動部２２００で第１モータＦ１を一方向に作動させたら、それに連結された第１ボールねじＦ２が回転子ながら第１傾斜ブロックＦ３がｙ軸の後方に移動するようになる。

【0248】

第１傾斜ブロックＦ３の移動によって第１支持板Ｍ１が下方に移動し、第１支持板Ｍ１にワークホルダ本体２３００が下方にいどうするようになる。

【0249】

この際、第１支持板Ｍ１の下方運動は、第１支持板Ｍ１に固定されている第１移動ガイド部材Ｍ３に設置された第１側面スライドＭ５が第１固定ガイド部材Ｆ７に設置された第１側面レール部Ｆ８に沿って移動する方式でガイドされる。

【0250】

一方、ワークホルダ本体２３００が下方に移動しながら、支持カラム２３４０の下方運動は支持カラム２３４０の支持ロッドガイド溝２３３１が支持ロッド２３４０によってガイドされながら行われる。

【0251】

また、ウェハ支持板２３５０の下降運動は、ウェハ支持板２３５０で冷却板２３５１に形成されるガイド溝２３５１ａ及び固定板２３５２に形成されるガイド溝２３５２ａが支持ロッド２１２２によってガイドされながら行われる。

【0252】

本発明において、支持ロッド２１２２の高さは固定されている状態であるため、ウェハ支持板２３５０が相対的に下降することで支持ロッド２１２２がウェハ支持板２３５０の上部に突出するようになるが、このような状態でウェハを支持してウェハ支持板２３５０で積置するようになる。

【0253】

逆に、ワークホルダ本体２３００を上方に移動させるためには第１ボールねじＦ２を反対に回転させればよい。

【0254】

ウェハ冷却ステップは以下のように行われる。

【0255】

ウェハは蒸着工程を経て１００℃以上に温度が上昇すれば、ロードロックを通りながら３０－４０℃程度になる。

【0256】

しかし、依然として温度が高い方であり、特にウェハ全体にわたってウェハの膨張及び温度分布のばらつきが発生するようになるが、これは工程上大きな不良を引き起こすようになる。

【0257】

ウェハ支持板２３５０の上部に設置されたウェハ固定板２３５２にウェハが積置されたら、熱伝導現象のためウェハ固定板２３５２の底面に設置された温度センサ２３５４によって温度が感知される。

【0258】

本発明ではウェハ固定板２３５２の温度を１９℃乃至６０℃の範囲内で予め求められている温度に設定する。

【0259】

次に、温度センサ２３５４によって感知されるウェハ固定板２３２０の温度が予め設定された温度を持続に維持するように、チラー６０００で第１冷却流体Ｓ１の温度を調節する。

【0260】

例えば、温度センサ２３５４によって感知された温度が予め設定された温度より高ければ、図示されていない制御部によってチラー６０００を制御して、温度を下げた第１冷却流体Ｓ１を冷却板２３５１に供給する作用をするようになる。

【0261】

よって、温度が低くなった第１冷却流体Ｓ１が冷却板２３５１の入口部２３５１ｃに流入され、流路２３５１ｂを流動して出口部２３５１ｄに排出することで、冷却された第１冷却流体Ｓ１の持続的な流動作用によって冷却板２３５１の温度が減少し、それによってウェハの温度が減少するようになる。

【0262】

よって、本発明のインクジェットプリント装置に流入される前の工程で膨張されたウェハがインクジェットプリント装置の内部で冷却されながら元の形状を維持するようになるため、次のプリント工程でウェハの膨張によるプリント不良が発生することを防止するようになる。

【0263】

一方、エンクロージャ５０００の内部の窒素ガス雰囲気の温度も例えば２５℃に一定に維持し、インクジェット装置の内部でウェハの温度も同じ温度で一定に維持することで、インクジェットプリント装置を利用した工程でプリント品質を常に均一に維持するという作用を行うようになる。

【0264】

次に、ウェハ固定ステップを行うようになる。

【0265】

【0266】

冷却ステップが完了された後、ウェハ固定板２３５２にウェハを固定するステップを行うようになる。

【0267】

ウェハ固定ステップは、インクジェットプリント装置の外部に配置される真空ポンプ（図示せず）を作動させて真空吸入口２３５２ｃに流入されて真空吸着口２３５２ｂで作動するようにし、排出口２３５２ｄを介して排出させながら真空状態を維持して、ウェハがウェハ支持板２３５０に固定されるようにする。

【0268】

次に、ウェハが固定された位置を感知し、正しく位置していなければ、ＵＶＷステージ１３００を調節して正確な位置にウェハを整列するステップを行う。

【0269】

（３）プリントステップ

【0270】

プリントステップは、プリント進行ステップとインクジェット検査ステップとからなる。

【0271】

プリント進行ステップでは、ウェハが固定されたワークホルダ２００がワークホルダ移動部１２００によってｙ軸方向に移動するようになる。

【0272】

ワークホルダ移動部１２００では第１稼働子Ｌ３の内部巻線に電流が印加されることで第１固定子Ｌ１との相互作用によって第１稼働子Ｌ３が第１レールＬ２に沿って移動するようになり、それによって第１移動部材Ｌ４が移動するようになる。

【0273】

ワークホルダ２０００が設置されるワークホルダ底面部材２００１は第１移動部材Ｌ４に固定されているため、第１移動部材Ｌ４の移動によってウェハが固定されたワークホルダ２０００がｙ軸方向の前方に移動するようになる。

【0274】

ウェハがｙ軸方向にプリント位置に到達したら、ヘッド部３０００がヘッド部移動部１４００によってｘ軸方向に移動しながらウェハにインクを噴射すると共に、ワークホルダ２０００はｙ軸方向に移動しながらプリント作業を行うようになる。

【0275】

ヘッド部３０００のｘ軸方向への移動作用は下記のように行われる。

【0276】

ヘッド部３０００はチェンバ３１００の内部に形成され、チェンバ３１００の後面は第２移動部材Ｌ４－１に設置されている。

【0277】

ヘッド部移動部１４００の第２稼働子Ｌ３－２の内部巻線に電流が印加されることで第２固定子Ｌ１－１との相互作用によって第２レールＬ２－１に沿って移動するようになるが、それによって第２移動部材Ｌ４－１が移動するようになり、それによってヘッド部３０００がｘ軸方向に移動するようになる。

【0278】

インクジェット検査ステップは、プリント進行ステップが終了された後で必要によってヘッド検査部３４００で行うようになる。

【0279】

インクジェット検査ステップでは、ヘッド検査部３４００が第２上方移動部３４１０によってｚ軸の上方に移動し、パージングカップ３４４０がヘッド３３００を覆ってシーリングされるようにする。

【0280】

第２上方移動部３４１０による作用は第１上方移動部２２００と同じ方式で作動し、第２支持板Ｍ１－１が上方に移動し、第２支持板Ｍ１－１に固定されている平板状の第１横方向支持部３４２１が上方に移動しながら第２支持板Ｍ１－１に設置されたパージングカップ３４４０と検査部３４５０がｚ軸方向の上方に移動するようになる。

【0281】

検査部３４５０では、ｘ軸方向移動手段３４１及びｙ軸方向移動手段３４３２によってインクの異常有無検査に適合するようにｘ軸及びｙ軸上の適切な位置に配置される。

【0282】

次に、ヘッド３４４２からパージングカップ３４４０にインクを噴射したら、照明部３４５２から照射された光がインクを通ってカメラ部３４５３に入力されながらインク噴射に対する検査が行われる。

【0283】

インク検査が完了された後、第２上方移動部３４１０が反対に作動してヘッド検査部３４００が更に下方に移動するようになる。

【0284】

（４）硬化ステップ

【0285】

硬化ステップは、硬化位置移動ステップと、上方移動ステップと、硬化ステップとからなる。

【0286】

硬化位置移動ステップでは、プリント作業が完了した後、ウェハが固定されたワークホルダ２０００がワークホルダ移動部１２００によってｙ軸の後方に移動し、インク硬化部４０００のすぐ下部に位置するようにする。

【0287】

次に、上方移動ステップでは、第１上方移動部２２００の作動によってワークホルダ本体２３００が上方に移動し、インク硬化部４０００と接触する高さｈ２まで移動するようになる。

【0288】

【0289】

上方移動は、ウェハ固定板２３５０が第２段差溝４１１１ｃの内部まで挿入されて第２シーリング４１２２を加圧する程度まで行われる。

【0290】

硬化ステップでは硬化装置４２００を作動させた状態で硬化装置移動部４３００で第３モータＭ３を駆動して第３ボールねじＢＳ３が作動するようにするが、それによって硬化装置４２００が設置した第３スライダＳＬ３に沿ってｙ軸方向に移動しながらウェハに噴射されたインクを硬化する作用をするようになる。

【0291】

硬化装置４２００から照射される紫外線は、１次的にはステップでガラス板固定部材４１１０に設置された第２シーリング４１２２によって遮断される。

【0292】

また、紫外線は、２次的には第１カバー部２４１０の開放溝２４１１の内側の周りには第１シーリング２４１２によって遮断される。

【0293】

このような二重の遮断効果によって、紫外線は硬化作用が行われるステップでワークホルダカバー部２４００の外部に流出されずに遮断される作用をするようになる。

【0294】

このような作用によって、インクジェットプリント装備の内部に飛散されたインクやほこりなどが硬化することを防止するという効果を有するようになる。

【0295】

また、硬化ステップを行う場合、パージングカップ３４００がヘッド３３００を覆うように検査部３４５０が上方に移動されることが有利である。

【0296】

それによって、ヘッド３３００に残留するインクが紫外線遮断作用が存在するパージングカップ３４００によって遮断されるため、ヘッド３３００に残留するインクが硬化ステップで硬化されることが防止され、次のプリント作業が円滑に行われるという作用をするようになる。

【0297】

その上、硬化ステップでも温度センサ２３５４によって感知されたウェハ固定板２３５２の温度が硬化装置から発生する紫外線によって予め設定された温度と異なるようになれば、つまり、温度が高くなれば、図示されていない制御部によってチラー６０００を制御して温度を下げた第１冷却流体Ｓ１を冷却板２３５１に供給する作用をするようになる。

【0298】

よって、硬化ステップでウェハの温度が上がることが防止されて、インクジェットプリント装置の次の工程でウェハの膨張による製品不良が発生することを防止するという作用をするようになる。

【0299】

（５）搬出ステップ

【0300】

ウェハ搬出ステップでは、まず、上方に移動されたワークホルダ２０００を第１上方移動部２２００を反対に駆動し、ｚ軸の後方に移動させてウェハ搬出高さと同じく位置させる。

【0301】

次に、外部のウェハ移送手段によってインクジェットプリント装備の外部に搬出するようになる。

【0302】

本発明ではインク硬化部４０００がエンクロージャ５０００のｙ軸の後方に設置されることで、硬化ステップの後ですぐにウェハを搬出することができるようになり、工程時間を節減するという効果を有するようになる。

【0303】

本発明の長所をまとめると、基本的に一つのエンクロージャ５０００の内部でプリントステップと硬化ステップが行われるように構成されるため、全体的に装置のサイズが小さくなり小型化するという長所を有するようになる。

【0304】

その上、プリント及び硬化装置が一つのエンクロージャ５０００の内部で形成されるため、別途の装置で形成される装備で各工程が行われる場合に比べ装備のコストが節減され、各工程への移動過程などで発生する異物の投入が防止されるという作用をするようになる。

【0305】

また、本発明では一つのエンクロージャの内部で硬化ステップが行われる場合であっても、上述したようにワークホルダカバーによって紫外線がワークホルダの外部に流出されることを防止し、ヘッドも紫外線遮断透明キャップによって遮断されることで、エンクロージャ５０００の内部でインクや異物などが紫外線によって硬化することを防止するという効果を有する。

【0306】

一方、本発明ではインクジェットプリント工程の途中にずっとエンクロージャボックスより大きいサイズを有するフィルタ部によって下向きの流れが発生することで、エンクロージャ内部の清浄な状態を維持して、プリント品質を向上させるという硬化を有する。

【0307】

それだけでなく、根本的にインクジェットプリント装備の内部におけるほこりなどの異物の発生作用を防止するために、ヘッド部はｚ軸方向に移動せずに検査部がｚ軸方向に移動し、硬化装置もｚ軸方向に移動せずにワークホルダがｚ軸の上方に移動して、エンクロージャ５０００の内部でほこりが発生することを事前に防止することで、清浄な状態を改善してプリント品質を向上させるようになる。

【0308】

一方、蒸着工程によって加熱されて変形したウェハを冷却させてからプリントステップを行うようにすることで、プリント品質を改善する効果を有するようになる。

【0309】

また、硬化ステップでも硬化によるウェハの膨張などのような変形を防止する作用をするようになるため、次の工程でもウェハの変形による工程不良が発生することを防止するという長所を有するようになる。

【0310】

本実施例は本発明の技術的思想を説明するためのものであり、本発明の技術的範囲を制限するように解釈されてはならず、本発明の実施例と類似した範囲の技術はいずれも本発明の範囲に含まれる。

【0311】

【0312】

［本発明を支援した国家研究開発事業］

【0313】

［課題の固有番号］１４１５１７４１６２

【0314】

［課題番号］２００１６３３２

【0315】

［部署名］産業通商資源部

【0316】

［課題管理（専門）機関名］韓国産業記述評価管理院

【0317】

［研究事業名］素材部品技術開発（Ｒ＆Ｄ）

【0318】

［研究課題名］Ｐｏｓｔ ＩｎＰ電界発光量子ドット素材の素子及び工程技術の開発

【0319】

［寄与率］１／１

【0320】

［課題遂行機関名］（株）ジェイ・アイ・テック

【0321】

［研究機関］２０２１．０４．０１～２０２４．１２．３１

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