特許 7569661 基板搬送装置および検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-09

(45)【発行日】2024-10-18

(54)【発明の名称】基板搬送装置および検査装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20241010BHJP

   B65G 49/06 20060101ALI20241010BHJP

   G02F 1/13 20060101ALI20241010BHJP

   H01L 21/68 20060101ALI20241010BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B65G49/06 Z

G02F1/13 101

H01L21/68 G

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2020178850

(22)【出願日】2020-10-26

(65)【公開番号】P2022069906

(43)【公開日】2022-05-12

【審査請求日】2023-09-08

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】赤羽 賢俊

(72)【発明者】

【氏名】吉田 昇悟

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 史朗

【審査官】久宗 義明

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１３－０６２３６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１７／１５９４７５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００９－０２７０９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－１７００５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－０５８８６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－０２０１１２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

Ｂ６５Ｇ ４９／０６

Ｇ０２Ｆ １／１３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

表示パネル用の基板を水平姿勢に維持しながら水平に搬送する基板搬送装置であって、
前記基板の搬送方向および前記搬送方向に対して直交する幅方向の各々に沿って配置され、前記幅方向に沿う方向に回転中心軸線を向けた複数の支持ローラと、
前記搬送方向に沿って前記基板を前記複数の支持ローラ上を走行させる搬送機構と、
を有し、
前記複数の支持ローラは各々、前記基板に下方から接するローラ面が樹脂製であり、
前記搬送機構は、前記基板が載置される載置面を備えた矩形枠状のホルダと、前記ホルダに設けられ、前記基板を前記載置面上に固定する基板保持機構と、前記ホルダを下方から支持するとともに、前記ホルダを前記搬送方向に直線的にガイドする直線ガイド機構と、前記ホルダを前記搬送方向に沿って直線駆動する直線駆動機構と、を備え、
前記載置面は、前記ホルダの４つの辺のうち、前記幅方向で対向する一対の第１辺は、前記搬送方向で対向する一対の第２辺より低い位置にあり、
前記一対の第１辺の上面に前記載置面が設けられていることを特徴とする基板搬送装置。

【請求項2】

請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記支持ローラは、前記ローラ面に樹脂層が設けられたベアリングローラであることを特徴とする基板搬送装置。

【請求項3】

請求項１または２に記載の基板搬送装置において、
前記一対の第２辺のうちの少なくとも一方には、前記基板より下方に突出した突部が設けられ、
前記複数の支持ローラは、前記搬送方向からみたとき、前記突部と重ならない位置に配置されていることを特徴とする基板搬送装置。

【請求項4】

請求項１から３までの何れか一項に記載の基板搬送装置において、
前記基板保持機構は、前記載置面で吸引穴が開口する真空チャック機構を含むことを特徴とする基板搬送装置。

【請求項5】

請求項１から４までの何れか一項に記載の基板搬送装置において、
前記基板保持機構は、前記載置面に向けて前記基板を押し付け固定するクランプ機構を含むことを特徴とする基板搬送装置。

【請求項6】

請求項１から５までの何れか一項に記載の基板搬送装置において、
前記ホルダには、前記基板の側面に当接して前記基板の位置決めを行う位置決めローラが設けられていることを特徴とする基板搬送装置。

【請求項7】

請求項１から６までの何れか一項に記載の基板搬送装置において、
前記基板は、表示パネルを構成した状態で前記ホルダに保持されることを特徴とする基板搬送装置。

【請求項8】

表示パネル用の基板を水平姿勢に維持しながら水平に搬送する基板搬送装置を備えた検査装置であって、
前記基板搬送装置は、
前記基板の搬送方向および前記搬送方向に対して直交する幅方向の各々に沿って配置され、前記幅方向に沿う方向に回転中心軸線を向けた複数の支持ローラと、
前記搬送方向に沿って前記基板を前記複数の支持ローラ上を走行させる搬送機構と、
を有し、
前記複数の支持ローラは各々、前記基板に下方から接するローラ面が樹脂製であり、
前記搬送方向の途中位置には、前記基板を撮像するカメラユニットが設けられ、
前記搬送方向における前記支持ローラのピッチが最も狭くなっている領域に前記カメラユニットが設けられていることを特徴とする検査装置。

【請求項9】

請求項８に記載の検査装置であって、
前記カメラユニットを前記幅方向に移動させるカメラ駆動機構が設けられていることを特徴とする検査装置。

【請求項10】

請求項８または９に記載の検査装置において、
前記支持ローラは、前記ローラ面に樹脂層が設けられたベアリングローラであることを特徴とする検査装置。

【請求項11】

請求項８から１０までの何れか一項に記載の検査装置において、
前記搬送機構は、前記基板が載置される載置面を備えた矩形枠状のホルダと、前記ホルダに設けられ、前記基板を前記載置面上に固定する基板保持機構と、前記ホルダを下方から支持するとともに、前記ホルダを前記搬送方向に直線的にガイドする直線ガイド機構と、前記ホルダを前記搬送方向に沿って直線駆動する直線駆動機構と、を備えることを特徴とする検査装置。

【請求項12】

請求項１１に記載の検査装置において、
前記載置面は、前記ホルダの４つの辺のうち、前記幅方向で対向する一対の第１辺は、前記搬送方向で対向する一対の第２辺より低い位置にあり、
前記一対の第１辺の上面に前記載置面が設けられていることを特徴とする検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、表示パネル等を構成する基板を搬送する基板搬送装置、および基板の検査を行う検査装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

表示パネルの製造工程では、表示パネルに用いる基板を、表示パネルを構成する前の状態、あるいは表示パネルを構成した状態で検査することがある。かかる検査工程では、例えば、基板の搬送方向に沿って配置されたローラコンベアによって基板を搬送しながら、基板を連続的に検査する（特許文献１参照）。また、特許文献１に記載の検査装置では、基板にエアを吹き付けることによって、基板をローラコンベアから浮かせ、基板と検査部との距離を制御している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１７－２２１６０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載の基板搬送装置のように、ローラコンベアによって基板を搬送する構造では、搬送中、基板が振動するため、ローラコンベアからの基板の部分的な浮きが発生する。また、基板にエアを吹き付けることによって基板全体をローラコンベアから浮かせる機構は、多大なコストが嵩むとともに、大型基板の場合、基板に撓み等が発生する。それ故、特許文献１に記載の基板搬送装置では、基板の高さ位置や姿勢を適正に維持することが困難である。

【0005】

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、基板の高さ位置や姿勢を適正に維持することのできる基板搬送装置、および検査装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するために、本発明は、表示パネル用の基板を水平姿勢に維持しながら水平に搬送する基板搬送装置であって、前記基板の搬送方向および前記搬送方向に対して直交する幅方向の各々に沿って配置され、前記幅方向に沿う方向に回転中心軸線を向けた複数の支持ローラと、前記搬送方向に沿って前記基板を前記複数の支持ローラ上を走行させる搬送機構と、を有し、前記複数の支持ローラは各々、前記基板に下方から接するローラ面が樹脂製であることを特徴とする。

【0007】

本発明に係る基板搬送装置では、基板の搬送方向および幅方向の各々に沿って配置された複数の支持ローラのローラ面で基板を支持した状態で搬送機構によって基板を搬送し、基板を複数の支持ローラ上を走行させる。また、複数の支持ローラのローラ面が樹脂製である。このため、ローラコンベアで基板と搬送する場合と違って、基板を搬送した際、基板が振動しにくい。従って、基板の支持ローラからの部分的な浮きを抑制することができる。それ故、基板の高さ位置および姿勢を適正に維持することができる。また、基板にエアを吹き付けることによって、基板をローラから浮かせる機構のようなコストが嵩む機構を用いる必要がない。

【0008】

本発明において、前記支持ローラは、前記ローラ面に樹脂層が設けられたベアリングローラである態様を採用することができる。かかる態様によれば、基板を安定した状態で搬
送することができる。

【0009】

本発明に係る基板搬送装置において、前記搬送機構は、前記基板が載置される載置面を備えた矩形枠状のホルダと、前記ホルダに設けられ、前記基板を前記載置面上に固定する基板保持機構と、前記ホルダを下方から支持するとともに、前記ホルダを前記搬送方向に直線的にガイドする直線ガイド機構と、前記ホルダを前記搬送方向に沿って直線駆動する直線駆動機構と、を備える態様を採用することができる。かかる態様によれば、基板には、基板の質量およびホルダの質量が加わる。従って、基板を支持ローラと確実に接する状態とすることができる。それ故、表示パネルの高さ位置および姿勢を適正に維持することができる。

【0010】

本発明に係る基板搬送装置において、前記載置面は、前記ホルダの４つの辺のうち、前記幅方向で対向する一対の第１辺は、前記搬送方向で対向する一対の第２辺より低い位置にあり、前記一対の第１辺の上面に前記載置面が設けられている態様を採用することができる。かかる態様によれば、基板の搬送方向に位置する第２辺と干渉しないように支持ローラを設けるのが容易である。

【0011】

本発明に係る基板搬送装置において、前記一対の第２辺のうちの少なくとも一方には、前記基板より下方に突出した突部が設けられ、前記複数の支持ローラは、前記搬送方向からみたとき、前記突部と重ならない位置に配置されている態様を採用することができる。かかる態様によれば、第２辺から下方に突出した突部が設けられている場合でも、突部と干渉しないように支持ローラを設けることができる。

【0012】

本発明に係る基板搬送装置において、前記基板保持機構は、前記載置面で吸引穴が開口する真空チャック機構を含む態様を採用することができる。

【0013】

本発明に係る基板搬送装置において、前記基板保持機構は、前記載置面に向けて前記基板を押し付け固定するクランプ機構を含む態様を採用することができる。

【0014】

本発明に係る基板搬送装置において、前記ホルダには、前記基板の側面に当接して前記基板の位置決めを行う位置決めローラが設けられている態様を採用することができる。かかる態様によれば、ホルダの所定位置に基板を配置することができる。

【0015】

本発明に係る基板搬送装置において、前記基板は、表示パネルを構成した状態で前記ホルダに保持される態様を採用することができる。

【0016】

本発明に係る基板搬送装置を備えた検査装置では、前記搬送方向の途中位置には、前記基板を撮像するカメラユニットが設けられている態様を採用することができる。

【0017】

本発明に係る検査装置において、前記カメラユニットを前記幅方向に移動させるカメラ駆動機構が設けられている態様を採用することができる。

【発明の効果】

【0018】

本発明では、基板の搬送方向および幅方向の各々に沿って配置された複数の支持ローラのローラ面で基板を支持した状態で搬送機構によって基板を搬送し、基板を複数の支持ローラ上を走行させる。また、複数の支持ローラのローラ面が樹脂製である。このため、ローラコンベアで基板と搬送する場合と違って、基板を搬送した際、基板が振動しにくい。従って、基板の支持ローラからの部分的な浮きを抑制することができる。それ故、基板の高さ位置および姿勢を適正に維持することができる。また、基板にエアを吹き付けることによって、基板をローラから浮かせる機構のようなコストが嵩む機構を用いる必要がない
。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明を適用した検査装置を搬送方向の上流側からみた斜視図。

【図2】図１に示す検査装置に表示パネルを設置した様子を示す斜視図。

【図3】図１に示す検査装置を搬送方向の下流側からみた斜視図。

【図4】図１に示す検査装置のＸＺ断面図。

【図5】図１に示す検査装置のホルダ付近を拡大して示す斜視図。

【図6】図５に示すホルダの斜視図。

【図7】図６に示すホルダに表示パネルを配置した様子を示す斜視図。

【図8】図６に示すホルダに表示パネルを配置した様子を示す平面図。

【図9】図６に示す真空チャック機構およびクランプ機構の説明図。

【図10】図６に示す位置決めローラの説明図。

【図11】図１に示す検査装置のホルダ付近のＹＺ断面図。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態に係る基板搬送装置２００を備えた検査装置１００を説明する。以下の説明において、互いに直交する方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向とし、基板１０の搬送方向、基板１０の幅方向、および上下方向を各々、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向とする。従って、基板１０の搬送方向にＸを付し、上流側にＸ１を付し、下流側にＸ２を付して説明する。また、基板１０の幅方向にＹを付し、搬送方向Ｘに向かって右側にＹ１を付し、左側にＹ２を付して説明する。また、上下方向にＺを付し、下側にＺ１を付し、上側にＺ２を付して説明する。

【0021】

本発明に係る検査装置１００では、表示パネル用の基板が表示パネル１を構成する前の状態、あるいは表示パネル１を構成した状態で搬送される。以下の説明では、基板１０が表示パネル１を構成した状態で搬送される場合を中心に説明する。従って、以下の説明では、基板１０と表示パネル１とを区別せずに表示パネル１として説明する。

【0022】

表示パネル１が有機エレクトロルミネッセンス表示パネルである場合、表示パネル１は、１枚の基板１０、あるいは互いに対向するように貼り合わせた２枚の基板１０からなる。また、表示パネル１が液晶表示パネルである場合、表示パネル１は、互いに対向するように貼り合わせた２枚の基板１０の間に液晶層が設けられた構造となる。本発明に係る検査装置１００および基板搬送装置２００は、表示パネル１が有機エレクトロルミネッセンス表示パネルである場合、および液晶表示パネルのいずれにも適用できるが、以下の説明では、表示パネル１が液晶表示パネルである場合を中心に説明する。また、以下に参照する図面において、複数のクランプ部材６４３のうち、搬送方向Ｘに向かって左側Ｙ２のクランプ部材６４３は表示パネル１を保持する姿勢で示し、右側Ｙ１のクランプ部材６４３は表示パネル１を解放する姿勢で示してある。

【0023】

（全体構成）
図１は、本発明を適用した検査装置１００を搬送方向Ｘの上流側Ｘ１からみた斜視図である。図２は、図１に示す検査装置１００に表示パネル１を設置した様子を示す斜視図である。図３は、図１に示す検査装置１００を搬送方向Ｘの下流側Ｘ２からみた斜視図である。図４は、図１に示す検査装置１００のＸＺ断面図である。

【0024】

図１、図２、図３、図４および図５において、本形態の検査装置１００は、機台１１０と、機台１１０の上方位置で水平姿勢の表示パネル１を上流側Ｘ１から下流側Ｘ２に向けて水平に直線的に搬送する基板搬送装置２００とを有している。表示パネル１は液晶表示パネルであり、２枚の基板１０の間に液晶層が設けられている。検査装置１００では、搬
送方向Ｘの上流側Ｘ１から下流側Ｘ２に向かって、表示パネル１の投入領域１１１、表示パネル１の検査領域１１２、および表示パネル１の排出領域１１３が配置されている。検査領域１１２には、表示パネル１に通電した際の発光状態を撮像して検査する検査カメラを備えたカメラユニット３０が下向きに設けられている。この場合、カメラユニット３０が配置されている検査領域１１２を暗室状態とすることがある。

【0025】

基板搬送装置２００は、表示パネル１の搬送方向Ｘおよび搬送方向Ｘに対して直交する幅方向Ｙの各々に沿って回転中心軸線を幅方向Ｙに沿う方向に向けた複数の支持ローラ５０と、搬送方向Ｘに沿って表示パネル１を複数の支持ローラ５０上を走行させる搬送機構６０とを有している。複数の支持ローラ５０は各々、支柱１１６によって支持された格子状のフレーム５９によって、回転中心軸線を幅方向Ｙに沿う方向に向けて回転可能に支持されている。

【0026】

本形態において、フレーム５９は、搬送方向Ｘに複数配置されており、複数の支持ローラ５０は、搬送方向Ｘに配置されたフレーム５９に対応して複数のブロックに分けて配置されている。本形態において、複数の支持ローラ５０は、搬送方向Ｘに沿って５つのブロック５１、５２、５３、５４、５５に分けて配置されており、５つのブロック５１、５２、５２、５４、５５のいずれにおいても、支持ローラ５０は幅方向において４列に配置されている。５つのブロック５１、５２、５３、５４、５５のうち、最も上流側に位置する第１番目のブロック５１では、１列に４つあるいは５つの支持ローラ５０が設けられている。従って、支持ローラ５０は、広い領域にわたって配置されている。

【0027】

また、第１番目のブロック５１では、上流側から第３番目および第４番目のブロック５３、５４よりローラ径の大きな支持ローラ５０が設けられている。また、上流側から第２番目および第５番目のブロック５２、５５には、上流側から第３番目および第４番目のブロック５３、５４と同様のローラ径の小さな支持ローラ５０と、最も上流側に位置する第１番目のブロック５１と同様のローラ径の大きな支持ローラ５０とが設けられている。

【0028】

但し、５つのブロック５１、５２、５３、５４、５５に配置された複数の支持ローラ５０はいずれも、同一の高さ位置にローラ面の上部が位置するように配置されている。より具体的には、支持ローラ５０は、ブロック５１、５２、５３、５４、５５毎にローラ面の高さ位置を調整した後、各ブロック５１、５２、５３、５４、５５の高さ位置を調整することによって、複数の支持ローラ５０の全ての高さ位置が調整されている。

【0029】

本形態において、複数の支持ローラ５０はいずれも、表示パネル１を下方から支持するローラ面５０１が樹脂製である。より具体的には、複数の支持ローラ５０は各々、ローラ面が樹脂層からなるベアリングローラである。樹脂層は、ポリアセタール、ポリウレタン、ポリアミド、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリブチレンテレフタレート、シリコーン等からなる。かかる支持ローラ５０は、例えば、内輪に対して複数の転動部材を介して径方向外側に対向する外輪にインサート成形を行うことによって構成される。また、支持ローラ５０は、外輪の外周面に樹脂層を貼付することによって構成される。

【0030】

（搬送機構６０の構成）
図５は、図１に示す検査装置１００のホルダ２０付近を拡大して示す斜視図である。図６は、図５に示すホルダ２０の斜視図である。図７は、図６に示すホルダ２０に表示パネル１を配置した様子を示す斜視図である。図８は、図６に示すホルダ２０に表示パネル１を配置した様子を示す平面図である。図９は、図６に示す真空チャック機構およびクランプ機構の説明図である。図１０は、図６に示す位置決めローラの説明図である。図１１は、図１に示す検査装置１００のホルダ２０付近のＹＺ断面図である。

【0031】

図５、図６、図７、および図８に示すように、搬送機構６０は、表示パネル１が載置される載置面２１を備えた矩形枠状のホルダ２０と、ホルダ２０を幅方向Ｙの両側でホルダ２０を下方から支持するとともに、ホルダ２０を搬送方向Ｘに直線的にガイドとする直線ガイド機構６５と、ホルダ２０を搬送方向Ｘに沿って直線駆動する直線駆動機構６１とを備えている。また、ホルダ２０には、表示パネル１を載置面２１上に固定する基板保持機構６２が設けられている。

【0032】

ホルダ２０は、４つの辺のうち、幅方向Ｙで対向する一対の第１辺２６、２７は、搬送方向Ｘで対向する一対の第２辺２８、２９より低い位置にあり、一対の第１辺２６、２７の上面に載置面２１が設けられている。より具体的には、ホルダ２０において、上流側Ｘ１の第２辺２８を構成する支持板２８０、および下流側Ｘ２の第２辺２９を構成する支持板２９０は各々、右側Ｙ１の第１辺２６を構成する支持板２６０、および左側Ｙ２の第１辺２７を構成する支持板２７０の上に固定されているため、支持板２６０、２７０は支持板２８０、２９０より低い位置にある。

【0033】

また、支持板２６０の上面のうち、支持板２７０の側の端部には載置面２１が構成され、支持板２７０の上面のうち、支持板２６０の側の端部には載置面２１が構成されている。本形態において、載置面２１は、支持板２６０、２７０の端部に対して長手方向を搬送方向Ｘに沿うように配置された複数の直方体形状のブロック片２２の上面からなる。

【0034】

また、ホルダ２０には、表示パネル１の側面に当接して表示パネル１の位置決めを行う位置決めローラ２４が設けられている。本形態においては、支持板２７０には、搬送方向Ｘで離間する２か所に位置決めローラ２４が設けられ、支持板２８０には、幅方向Ｙの中央に位置決めローラ２４が設けられている。

【0035】

図９および図１０において、基板保持機構６２は、載置面２１で吸引穴６３０が開口する真空チャック機構６３を含んでおり、吸引穴６３０は、ブロック片２２および支持板２６０、２７０を貫通する流路を介して真空ポンプ（図示せず）等に接続されている。本形態において、吸引穴６３０は、搬送方向Ｘに長軸を向けた長孔からなる。

【0036】

また、基板保持機構６２は、載置面２１に向けて表示パネル１を押し付け固定するクランプ機構６４を含んでいる。本形態において、クランプ機構６４は、支持板２６０、２７０の上で搬送方向Ｘに沿って延在する駆動軸６４１と、駆動軸６４１を駆動するシリンダ装置６４２と、駆動軸６４１に連結された複数のクランプ部材６４３とを有しており、複数のクランプ部材６４３は、駆動軸６４１を介して一括して姿勢が切り替えられる。本形態において、クランプ部材６４３において表示パネル１と接する当接部はバネ等の弾性部材６４４からなり、クランプ部材６４３は、弾性部材６４４を介して表示パネル１を載置面２１に向けて押し付け固定する。

【0037】

位置決めローラ２４は、支持ローラ５０と同様、ローラ面２４１が樹脂製である。より具体的には、複数の位置決めローラ２４は各々、ローラ面２４１が樹脂層からなるベアリングローラである。

【0038】

図１１に示すように、ホルダ２０において、一対の第２辺２８、２９を構成する支持板２８０、２９０のうち、少なくとも一方には、表示パネル１より下方に突出した突部が設けられているが、本形態においては、上流側Ｘ１の第２辺２８を構成する支持板２８０からは、表示パネル１より下方に突出した突部２８１が設けられているが、支持ローラ５０は、搬送方向Ｘからみたとき、突部２８１と重ならない位置に配置されている。このため、ホルダ２０を介して表示パネル１を搬送する際、突部２８１がホルダ２０と干渉するこ
とはない。

【0039】

図５および図１１に示すように、搬送機構６０において、直線ガイド機構６５は、支持板２６０、２７０と平面視で重なる位置で搬送方向Ｘに沿って延在する一対のガイドレール６６と、支持板２６０、２７０に固定された摺動部材６７とを備えており、摺動部材６７には、ガイドレール６６を跨ぐように凹部６８が形成されている。ガイドレール６６は支柱１１７を介して機台１１０に固定されている。

【0040】

また、搬送機構６０において、直線駆動機構６１は、ホルダ２０の右側で搬送方向Ｘに沿って延在するリニアモータ６１０からなり、リニアモータ６１０の直動部材とホルダ２０とは連結部６１１を介して連結されている。

【0041】

（検査領域１１２等の構成）
図１および図４に示すように、搬送方向Ｘの途中位置において、支持ローラ５０の搬送方向Ｘにおけるピッチが最も狭くなっている領域に検査領域１１２が設けられている。検査領域１１２において、下向きに配置されたカメラユニット３０は、検査領域１１２を通過する表示パネル１を撮像する。その際、表示パネル１は全面点灯となるように給電される。本形態において、表示パネル１は、透過型液晶パネルである。従って、検査領域１１２において、表示パネル１の下方には第１偏光板（図示せず）を備えたバックライト７０が設けられ、カメラユニット３０には、第１偏光板に対してクロスニコルに配置された第２偏光板（図示せず）が設けられている。従って、カメラユニット３０によって撮像された画像を解析すれば、表示パネル１の欠陥の数や位置を検出することができる。

【0042】

ここで、表示パネル１は、カメラユニット３０による撮像範囲より広い。従って、検査装置１００には、カメラユニット３０を幅方向Ｙに駆動するカメラ駆動機構３１が設けられている。それ故、カメラ駆動機構３１による駆動と、基板搬送装置２００による駆動とを組み合わせれば、表示パネル１の全面を撮像することができる。

【0043】

なお、カメラユニット３０に対して上流側Ｘ１で隣り合う位置には静電気除去器４０が設けられており、静電気除去器４０は、表示パネル１の除電や除塵を行なう。本形態では、静電気除去器４０にも、静電気除去器４０を幅方向Ｙに駆動する静電気除去器駆動機構４１が設けられている。

【0044】

（動作）
このように構成した検査装置１００において、表示パネル１の検査を行うには、作業員は、真空チャック機構６３およびクランプ機構６４を休止状態とし、表示パネル１をホルダ２０の上に配置する、その際、表示パネル１を位置決めローラ２４のローラ面２４１に当接させて、表示パネル１の位置決めを行う。

【0045】

次に、真空チャック機構６３およびクランプ機構６４を作動させ、表示パネル１をホルダ２０に固定した状態とする。この状態で、表示パネル１には下方から支持ローラ５０のローラ面５０１が当接する。
次に、直線駆動機構６１を作動させ、ホルダ２０を下流側Ｘ２に搬送する。その際、表示パネル１は、支持ローラ５０上を走行する。

【0046】

次に、表示パネル１が検査領域１１２に到達すると、直線駆動機構６１が停止し、カメラユニット３０によって、表示パネル１の表示領域の撮像を行う。その際、カメラ駆動機構３１は、カメラユニット３０を幅方向Ｙに駆動し、カメラユニット３０は、前回より表示パネル１の幅方向Ｙにずれた領域を撮像する。かかる動作を繰り返し、表示パネル１の幅方向Ｙの全体をカメラユニット３０によって撮像する。次に、直線駆動機構６１は、表
示パネル１を下流側Ｘ２に移動させ、上記と同様な手順で、表示パネル１において前回より搬送方向Ｘにずれた位置で表示パネル１の幅方向Ｙの全体をカメラユニット３０によって撮像する。かかる動作を繰り返し、表示パネル１の全体をカメラユニット３０によって撮像する。

【0047】

次に、直線駆動機構６１は、表示パネル１をさらに下流側Ｘ２に移動させ、表示パネル１が排出領域１１３に到達したタイミングで表示パネル１の搬送を停止する。次に、真空チャック機構６３およびクランプ機構６４を休止状態とした後、撮像を終えた表示パネル１を排出した後、直線駆動機構６１は、空になったホルダ２０を上流側Ｘ１の投入領域１１１まで戻す。以降、同様な動作を繰り返す。

【0048】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態の検査装置１００では、表示パネル１の搬送方向Ｘおよび幅方向Ｙの各々に沿って配置された複数の支持ローラ５０のローラ面５０１で表示パネル１を支持した状態で搬送機構６０によって表示パネル１を搬送し、表示パネル１を複数の支持ローラ５０上を走行させる。また、複数の支持ローラ５０のローラ面５０１が樹脂製である。このため、ローラコンベアで表示パネル１と搬送する場合と違って、表示パネル１を搬送した際、表示パネル１が振動しにくい。従って、表示パネル１の支持ローラ５０からの部分的な浮きを抑制することができる。それ故、表示パネル１が大型化した場合でも、表示パネル１の高さ位置および姿勢を適正に維持することができるので、表示パネル１の全体がカメラユニット３０の被写体深度内に位置する。それ故、表示パネル１をカメラユニット３０によって適正に撮像することができる。また、表示パネル１にエアを吹き付けることによって、表示パネル１をローラから浮かせる機構のようなコストが嵩む機構を用いる必要がない。

【0049】

また、検査装置１００において、搬送機構６０は、表示パネル１が保持されるホルダ２０を用いるため、表示パネル１には、表示パネル１の質量およびホルダ２０の質量が加わる。従って、表示パネル１を支持ローラ５０と確実に接する状態とすることができる。それ故、表示パネル１の高さ位置および姿勢を精度よく制御することができる。

【0050】

また、ホルダ２０の４つの辺のうち、幅方向Ｙで対向する一対の第１辺２６、２７は、搬送方向Ｘで対向する一対の第２辺２８、２９より低い位置にあるため、表示パネル１の搬送方向Ｘに位置する第２辺２８、２９と支持ローラ５０とが干渉ないように支持ローラ５０を設けるのが容易である。また、第２辺２８から表示パネル１より下方に突出した突部２８１が設けられている場合でも、複数の支持ローラ５０は、搬送方向Ｘからみたとき、突部２８１と重ならない位置に配置されている。このため、突部２８１が設けられている場合でも、突部２８１と干渉しないように支持ローラ５０を設けることができる。

【0051】

また、ホルダ２０には、表示パネル１の側面に当接して表示パネル１の位置決めを行う位置決めローラ２４が設けられているため、ホルダ２０の所定位置に表示パネル１を配置することができる。

【0052】

［他の実施の形態］
上記実施形態では、基板１０が表示パネル１を構成した状態で搬送される場合を例示したが、基板１０が表示パネル１を構成する前の状態で検査される場合に本発明を適用してもよい。また、上記実施形態で説明した基板搬送装置２００は、検査装置１００以外の装置に用いられる場合に本発明を適用してもよい。

【符号の説明】

【0053】

１…表示パネル、１０…基板、２０…ホルダ、２１…載置面、２２…ブロック片、２４…
位置決めローラ、３０…カメラユニット、３１…カメラ駆動機構、４０…静電気除去器、４１…静電気除去器駆動機構、５０…支持ローラ、５１、５２、５３、５４、５５…ブロック、５９…フレーム、６０…搬送機構、６１…直線駆動機構、６２…基板保持機構、６３…真空チャック機構、６４…クランプ機構、６５…直線ガイド機構、６６…ガイドレール、６７…摺動部材、６８…凹部、７０…バックライト、１００…検査装置、１１０…機台、１１１…投入領域、１１２…検査領域、１１３…排出領域、１１６、１１７…支柱、２００…基板搬送装置、２４１、５０１…ローラ面、２６０、２７０、２８０、２９０…支持板、２８１…突部、６１０…ねじ機構、６１１…連結部、６３０…吸引穴、６４１…駆動軸、６４２…シリンダ装置、６４３…クランプ部材、６４４…弾性部材、Ｘ…搬送方向、Ｙ…幅方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】