(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-10-10
(45)【発行日】2024-10-21
(54)【発明の名称】ウエハ加工用粘着シート
(51)【国際特許分類】
H01L 21/304 20060101AFI20241011BHJP
C09J 201/00 20060101ALI20241011BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20241011BHJP
C09J 7/38 20180101ALI20241011BHJP
【ＦＩ】
H01L21/304 622J
C09J201/00
H01L21/78 M
C09J7/38
【請求項の数】
7
(21)【出願番号】P 2019225601
(22)【出願日】2019-12-13
(65)【公開番号】P2021097076
(43)【公開日】2021-06-24
【審査請求日】2022-11-15
(73)【特許権者】
【識別番号】000003964
【氏名又は名称】日東電工株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100136423
【弁理士】
【氏名又は名称】大井 道子
(74)【代理人】
【識別番号】100154449
【弁理士】
【氏名又は名称】谷 征史
(74)【代理人】
【識別番号】100174159
【弁理士】
【氏名又は名称】梅原 めぐみ
(72)【発明者】
【氏名】小坂 尚史
(72)【発明者】
【氏名】河野 広希
(72)【発明者】
【氏名】浅井 量子
(72)【発明者】
【氏名】亀井 勝利
【審査官】小山 和俊
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２００９／１１０４２６（ＷＯ，Ａ１）
【文献】国際公開第２０１５／０４６３４１（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００７－００９１０９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－１２６８７９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－２０９４３０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１６－２０１５７５（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／３０４
Ｃ０９Ｊ ２０１／００
Ｈ０１Ｌ ２１／３０１
Ｃ０９Ｊ ７／３８
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
粘着面を構成する粘着剤層を含むウエハ加工用粘着シートであって、前記粘着剤層はベースポリマーとしてのアクリル系ポリマーと、架橋剤と、を含み、
前記粘着剤層は、前記ベースポリマー１００重量部に対して５重量部以下で界面活性剤を含むか、あるいは、界面活性剤を含まず、
前記粘着剤層は、炭素－炭素二重結合を有するポリマーを含み、
前記粘着シートの前記粘着面を被着体としてのシリコンウエハに貼り付けて作製される評価用サンプルを用いて、以下の方法Ａにより、２３℃、５０％ＲＨの環境下において、ＪＩＳ Ｚ０２３７：２００９の「１０．４．１ 方法１：試験板に対する１８０°引きはがし粘着力」に従い、剥離速度３００ｍｍ／分、剥離角度１８０度の条件で測定されるスティックスリップ度［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］が３０以下である、粘着シート。
方法Ａ：前記評価用サンプルにおける前記粘着シートと前記被着体との界面に水性剥離液を供給し、その後、前記粘着シートを前記被着体から剥離させるときのスティックスリップ度を測定する。
ここで、前記スティックスリップ度［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］は、剥離力曲線をｙ＝ｆ（ｘ）で表し、剥離力曲線からその平均線の方向に基準長さＬだけを抜き取ったときに、以下の一般式（１）によって求められる。
【数1】
【請求項2】
前記評価用サンプルを用いて、以下の方法Ｅ、方法Ｆおよび方法Ｇのうち少なくともいずれかの方法で測定される剥離力が０．１０Ｎ／１０ｍｍ以下である、請求項１に記載の粘着シート。方法Ｅ：前記評価用サンプルにおける前記粘着シートと前記被着体との界面に水性剥離液を供給し、その後、前記粘着シートを前記被着体から剥離させるときの剥離力を測定する。
方法Ｆ：前記評価用サンプルに前記粘着シートの前記被着体と反対面側から活性エネルギー線を照射し、その後、前記粘着シートを前記被着体から剥離させるときの剥離力を測定する。
方法Ｇ：前記評価用サンプルに前記粘着シートの前記被着体と反対面側から活性エネルギー線を照射し、かつ、前記粘着シートと前記被着体との界面に水性剥離液を供給した後、前記粘着シートを前記被着体から剥離させるときの剥離力を測定する。
【請求項3】
前記評価用サンプルを用いて、該評価用サンプルに活性エネルギー線を照射しないで前記粘着シートを前記被着体から剥離させるときの剥離力が０．２０Ｎ／１０ｍｍ以上である、請求項１または２に記載の粘着シート。
【請求項4】
前記粘着剤層は活性エネルギー線硬化性粘着剤層である、請求項１から３のいずれか一項に記載の粘着シート。
【請求項5】
前記評価用サンプルを用いて、以下の方法Ｂおよび方法Ｃの少なくとも一方の方法により剥離速度３００ｍｍ／分の条件で測定されるスティックスリップ度［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］が１０以下である、請求項１から４のいずれか一項に記載の粘着シート。方法Ｂ：前記評価用サンプルに前記粘着シートの前記被着体と反対面側から活性エネルギー線を照射し、その後、前記粘着シートを前記被着体から剥離させるときのスティックスリップ度を測定する。
方法Ｃ：前記評価用サンプルに前記粘着シートの前記被着体と反対面側から活性エネルギー線を照射し、かつ、前記粘着シートと前記被着体との界面に水性剥離液を供給した後、前記粘着シートを前記被着体から剥離させるときのスティックスリップ度を測定する。
【請求項6】
前記評価用サンプルを用いて、前記方法Ｃにより剥離速度３００ｍｍ／分の条件で測定されるスティックスリップ度［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］が３未満である、請求項５に記載の粘着シート。
【請求項7】
前記評価用サンプルを用いて、前記方法Ｆおよび前記方法Ｇの少なくとも一方の方法により測定される剥離力が０．０５０Ｎ／１０ｍｍ未満である、請求項２に記載の粘着シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ウエハ加工用粘着シートに関する。
【背景技術】
【0002】
半導体装置の製造過程において、回路形成面を有するウエハ（典型的には半導体ウエハ）に研削、切断等の加工を施す工程は、一般に、上記回路形成面側に粘着シートが貼り付けられた状態で行われる。粘着シートとしては、通常、基材の少なくとも片面に粘着剤層が設けられた形態のものが用いられる。例えば、半導体ウエハの裏面を研削（バックグラインド）する際に、半導体ウエハの回路形成面（おもて面）を保護し、また半導体ウエハを保持するために、バックグラインドテープが用いられている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１７－２１２４４１号公報
【文献】特開２０１４－００３１９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
近年、半導体装置の小型化、薄型化、高集積化に伴い、ウエハの薄型化の要望が高まっている。しかし、薄型のウエハを加工する際には、ウエハの損傷などがより生じやすくなる。例えば、ウエハをより薄くなるまでバックグラインドすると、バックグラインドテープを剥離する際の負荷によりウエハが損傷しやすくなり、歩留まりの低下や、剥離作業を慎重に行うことによる生産性の低下等が生じ得る。特に、特許文献２記載のように環状凸部の内側が凹部となるようにバックグラインドされたウエハ（いわゆるＴＡＩＫＯ（登録商標）ウエハ）では、上記環状凸部を吸着させてウエハを固定すると上記凹部では裏面が支持されていない状態となることから、バックグラインドテープ剥離時の損傷が殊に起こりやすい。
【0005】
粘着シートを被着体としてのウエハから剥離する際にウエハが損傷する要因の一つとして、粘着シートのスティックスリップ現象が挙げられる。スティックスリップ現象とは、粘着シートが被着体から剥離される時に、被着体表面（剥離面）からの界面剥離、粘着剤内部での凝集破壊等の複数の剥離モードが組み合わさって周期的に発生することにより、断続的に剥離が進行する現象である。スティックスリップ現象が発生すると、剥離の進行にともなって剥離力が大きく振動するため、剥離時に被着体に与える負担がより大きくなり、被着体の損傷の要因となり得る。
【0006】
本発明は、上記の事情に鑑みて創出されたものであり、剥離時のスティックスリップ現象が抑制されることにより、被着体に与える負荷を軽減することのできるウエハ加工用粘着シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
この明細書によると、粘着面を構成する粘着剤層を含むウエハ加工用粘着シートが提供される。ここで、上記粘着シートは、上記粘着シートの上記粘着面を被着体としてのシリコンウエハに貼り付けて作製された評価用サンプルを用いて、以下の方法Ａ、方法Ｂおよび方法Ｃのうち少なくともいずれかの方法により剥離速度３００ｍｍ／分の条件で測定されるスティックスリップ度［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］が３０以下である。
（方法Ａ）上記評価用サンプルにおける上記粘着シートと上記被着体との界面に水性剥離液を供給し、その後、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときのスティックスリップ度を測定する。
（方法Ｂ）上記評価用サンプルに、上記粘着シートの上記被着体と反対面側から活性エネルギー線を照射し、その後、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときのスティックスリップ度を測定する。
（方法Ｃ）上記評価用サンプルに、上記粘着シートの上記被着体と反対面側から活性エネルギー線を照射し、かつ、上記粘着シートと上記被着体との界面に水性剥離液を供給した後、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときのスティックスリップ度を測定する。
かかるウエハ加工用粘着シートは、剥離時のスティックスリップ現象が抑制されるため、剥離時の被着体に与える負荷を軽減することができ、被着体の損傷が抑制され得る。
（方法Ａ）上記評価用サンプルにおける上記粘着シートと上記被着体との界面に水性剥離液を供給し、その後、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときのスティックスリップ度を測定する。
（方法Ｂ）上記評価用サンプルに、上記粘着シートの上記被着体と反対面側から活性エネルギー線を照射し、その後、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときのスティックスリップ度を測定する。
（方法Ｃ）上記評価用サンプルに、上記粘着シートの上記被着体と反対面側から活性エネルギー線を照射し、かつ、上記粘着シートと上記被着体との界面に水性剥離液を供給した後、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときのスティックスリップ度を測定する。
かかるウエハ加工用粘着シートは、剥離時のスティックスリップ現象が抑制されるため、剥離時の被着体に与える負荷を軽減することができ、被着体の損傷が抑制され得る。
【0008】
ここに開示される技術の好ましいいくつかの態様において、上記粘着シートは、上記評価用サンプルを用いて、以下の方法Ｅ、方法Ｆおよび方法Ｇのうち少なくともいずれかの方法で測定される剥離力が０．１０Ｎ／１０ｍｍ以下である。
（方法Ｅ）上記評価用サンプルにおける上記粘着シートと上記被着体との界面に水性剥離液を供給し、その後、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときの剥離力を測定する。
（方法Ｆ）上記評価用サンプルに、上記粘着シートの上記被着体と反対面側から活性エネルギー線を照射し、その後、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときの剥離力を測定する。
（方法Ｇ）上記評価用サンプルに、上記粘着シートの上記被着体と反対面側から活性エネルギー線を照射し、かつ、上記粘着シートと上記被着体との界面に水性剥離液を供給した後、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときの剥離力を測定する。
かかるウエハ加工用粘着シートは、被着体からの剥離工程において、軽い剥離力で剥離することができるため、剥離時の被着体に与える負担を軽減させることができる。
（方法Ｅ）上記評価用サンプルにおける上記粘着シートと上記被着体との界面に水性剥離液を供給し、その後、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときの剥離力を測定する。
（方法Ｆ）上記評価用サンプルに、上記粘着シートの上記被着体と反対面側から活性エネルギー線を照射し、その後、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときの剥離力を測定する。
（方法Ｇ）上記評価用サンプルに、上記粘着シートの上記被着体と反対面側から活性エネルギー線を照射し、かつ、上記粘着シートと上記被着体との界面に水性剥離液を供給した後、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときの剥離力を測定する。
かかるウエハ加工用粘着シートは、被着体からの剥離工程において、軽い剥離力で剥離することができるため、剥離時の被着体に与える負担を軽減させることができる。
【0009】
ここに開示される技術の好ましい一態様において、上記粘着シートは、上記評価用サンプルを用いて、該評価用サンプルに活性エネルギー線を照射しないで上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときの剥離力が０．２０Ｎ／１０ｍｍ以上である。上記ウエハ加工用粘着シートは、活性エネルギー線が照射されていない状態において、高い接着力を示しやすい。このため、上記粘着シートを被着体に貼り付けた状態で被着体を加工する工程（例えばバックグラインド工程）において、粘着シートが被着体から剥離してしまうことが抑制されやすい。
【0010】
ここに開示される技術の好ましい一態様において、上記粘着剤層は活性エネルギー線硬化性粘着剤層である。かかる粘着シートによると、活性エネルギー線を照射した後に剥離力が低下しやすいため、活性エネルギー線の照射前後で剥離力が大きく変化する。このため、上記粘着シートは加工工程（例えばバックグラインド工程）での接着力と、剥離工程での軽剥離が両立して達成されやすい。また、上記粘着シートによると、活性エネルギー線を照射した後のスティックスリップ度が低下しやすいため、剥離時の被着体に与える負担が抑制されたものとなりやすく、剥離時の被着体の損傷が抑制されやすい。
【0011】
ここに開示される技術の好ましい一態様において、上記粘着シートは、上記方法Ｂおよび上記方法Ｃの少なくとも一方の方法により剥離速度３００ｍｍ／分の条件で測定されるスティックスリップ度［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］が１０以下である。かかるウエハ加工用粘着シートは、剥離時のスティックスリップ現象がさらに抑制されるため、被着体に与える負荷をより軽減することができ、被着体の損傷がより抑制され得る。
【0012】
ここに開示される技術の好ましい一態様において、上記粘着シートは、上記評価用サンプルを用いて、上記方法Ｃにより剥離速度３００ｍｍ／分の条件で測定されるスティックスリップ度［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］が３未満である。かかるウエハ加工用粘着シートは、剥離時のスティックスリップ現象が特に抑制されるため、被着体に与える負荷をより軽減することができ、被着体の損傷がより抑制され得る。
【0013】
ここに開示される技術の好ましい一態様において、上記粘着シートは、上記評価用サンプルを用いて、上記方法Ｆおよび上記方法Ｇの少なくとも一方により測定される剥離力が０．０５０Ｎ／１０ｍｍ未満である。上記ウエハ加工用粘着シートは、被着体からの剥離工程において、特に顕著な軽剥離が達成され得る。
【0014】
なお、上述した各要素を適宜組み合わせたものも、本件特許出願によって特許による保護を求める発明の範囲に含まれ得る。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】ウエハ加工用粘着シートの一構成例を模式的に示す断面図である。
【図2】ウエハ加工用粘着シートの他の一構成例を模式的に示す断面図である。
【図3】ウエハ加工用粘着シートの他の一構成例を模式的に示す断面図である。
【図4】ウエハ加工用粘着シートの他の一構成例を模式的に示す断面図である。
【図5】ウエハ加工用粘着シートの他の一構成例を模式的に示す断面図である。
【図6】ウエハ加工用粘着シートの他の一構成例を模式的に示す断面図である。
【図7】ウエハ加工用粘着シートの被着体からの剥離力を模式的に示すグラフ（ｘ軸：剥離距離、ｙ軸：剥離力）である。
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、本発明の好適な実施形態を説明する。なお、本明細書において特に言及している事項以外の事柄であって本発明の実施に必要な事柄は、本明細書に記載された発明の実施についての教示と出願時の技術常識とに基づいて当業者に理解され得る。本発明は、本明細書に開示されている内容と当該分野における技術常識とに基づいて実施することができる。また、以下の図面において、同じ作用を奏する部材・部位には同じ符号を付して説明することがあり、重複する説明は省略または簡略化することがある。また、図面に記載の実施形態は、本発明を明瞭に説明するために模式化されており、実際に提供される製品のサイズや縮尺を必ずしも正確に表したものではない。
【0017】
この明細書において、ポリマーの主鎖とは、当該ポリマーの骨格をなす鎖状構造のことを指すものとする。また、ポリマーの側鎖とは、上記主鎖と結合する基（ペンダント、側基）や、ペンダントとみなされ得る分子鎖を指すものとする。
【0018】
この明細書において「アクリル系ポリマー」とは、アクリル系モノマーを５０重量％より多く（好ましくは７０重量％より多く、例えば９０重量％より多く）含むモノマー原料に由来する重合物をいう。上記アクリル系モノマーとは、１分子中に少なくとも１つの（メタ）アクリロイル基を有するモノマーをいう。また、この明細書において「（メタ）アクリロイル」とは、アクリロイルおよびメタクリロイルを包括的に指す意味である。同様に、「（メタ）アクリレート」とはアクリレートおよびメタクリレートを、「（メタ）アクリル」とはアクリルおよびメタクリルを、それぞれ包括的に指す意味である。
【0019】
また、この明細書において「活性エネルギー線」とは、紫外線、可視光線、赤外線のような光や、α線、β線、γ線、電子線、中性子線、Ｘ線のような放射線等を包含する概念である。
【0020】
＜粘着シートの特性＞
ここに開示されるウエハ加工用粘着シートは、被着体からの剥離時に発生するスティックスリップ現象が好適に抑制されたものである。ここで、本明細書において、粘着シートを被着体から剥離するときに発生するスティックスリップ現象の度合いを「スティックスリップ度」と呼ぶ。ここに開示される粘着シートは、好ましい一態様において、スティックスリップ度が所定値以下に低く抑えられている。このような粘着シートは、被着体からの剥離時に発生するスティックスリップ現象が好適に抑制されるため、剥離の進行に伴う剥離力の大きな振動が抑制されて、被着体への負担が軽減し得る。このため、スティックスリップ度の低い粘着シートによると、剥離時の被着体の損傷が抑制され易い。
ここに開示されるウエハ加工用粘着シートは、被着体からの剥離時に発生するスティックスリップ現象が好適に抑制されたものである。ここで、本明細書において、粘着シートを被着体から剥離するときに発生するスティックスリップ現象の度合いを「スティックスリップ度」と呼ぶ。ここに開示される粘着シートは、好ましい一態様において、スティックスリップ度が所定値以下に低く抑えられている。このような粘着シートは、被着体からの剥離時に発生するスティックスリップ現象が好適に抑制されるため、剥離の進行に伴う剥離力の大きな振動が抑制されて、被着体への負担が軽減し得る。このため、スティックスリップ度の低い粘着シートによると、剥離時の被着体の損傷が抑制され易い。
【0021】
本明細書における「スティックスリップ度」の測定方法について、図７を参照しながら説明する。図７は、粘着シートの一般的な剥離力曲線のグラフ（ｘ軸は剥離距離、ｙ軸は剥離力）である。粘着シートのスティックスリップ度ＳＳは、剥離力曲線をｙ＝ｆ（ｘ）で表し、剥離力曲線からその平均線の方向に基準長さＬだけを抜き取ったときに、以下の一般式（１）によって求められる。ここで、被着体から粘着シートを剥離し始めてから所定の剥離挙動となるまでの剥離初期においては、粘着シートの剥離挙動が安定した状態とならないことが多いため、スティックスリップ度の測定は、被着体から粘着シートを所定距離まで剥離を進行させたところから始めることが好ましい。また、基準長さＬは、粘着シートの剥離挙動等に応じて適切に設定すればよい。ここに記載される粘着シートのスティックスリップ度［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］は、具体的には、後述の実施例に記載の方法で測定される。
【0022】
【数1】
【0023】
ここに開示される粘着シートは、該粘着シートを被着体としてのシリコンウエハに貼り付けて作製される評価用サンプルを用いて、以下の方法Ａ、方法Ｂおよび方法Ｃの少なくともいずれかの方法により剥離速度３００ｍｍ／分の条件で測定されるスティックスリップ度［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］が、所定値以下に低く抑えられている。このような粘着シートによると、スティックスリップ現象が抑制されるため、剥離時の被着体の損傷が抑制され易い。
【0024】
ここに開示される粘着シートの好ましい一態様では、下記方法Ｂおよび下記方法Ｃの少なくとも一方の方法により剥離速度３００ｍｍ／分の条件で測定されるスティックスリップ度［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］が、所定値以下に低く抑えられている。このような粘着シートによると、剥離時のスティックスリップ現象がより抑制されるため、剥離時の被着体の損傷がより抑制される傾向にある。同様の観点から、下記方法Ｃにより剥離速度３００ｍｍ／分の条件で測定されるスティックスリップ度［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］が、所定値以下に低く抑えられている粘着シートが好ましい。
【0025】
方法Ａ：上記評価用サンプルにおける上記粘着シートと上記被着体との界面に水性剥離液を供給し、その後、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときのスティックスリップ度ＳＳｗ０を測定する。
【0026】
方法Ｂ：上記評価用サンプルに上記粘着シートの上記被着体と反対面側から活性エネルギー線を照射し、その後、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときのスティックスリップ度ＳＳｄ１を測定する。
【0027】
方法Ｃ：上記評価用サンプルに上記粘着シートの上記被着体と反対面側から活性エネルギー線を照射し、かつ、上記粘着シートと上記被着体との界面に水性剥離液を供給した後、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときのスティックスリップ度ＳＳｗ１を測定する。
【0028】
ここに開示される粘着シートの好ましい一態様において、上記方法Ａにより測定されるスティックスリップ度ＳＳｗ０（以下、「未照射水剥離スティックスリップ度ＳＳｗ０」ともいう。）は、凡そ１５０以下であり得る。剥離時の被着体の損傷を抑制する観点から、いくつかの態様において、未照射水剥離スティックスリップ度ＳＳｗ０は、例えば１００以下であってもよく、５０以下でもよく、好ましくは３０以下であり、より好ましくは２５以下であり、２２以下であってもよい。未照射水剥離スティックスリップ度ＳＳｗ０の下限は特に制限されないが、粘着特性とバランスを取る観点から、例えば０．５以上であってもよく、１以上でもよく、５以上でもよく、１０以上でもよく、１５以上でもよい。なお、上記未照射水剥離スティックスリップ度ＳＳｗ０は、粘着シートの粘着剤層が活性エネルギー線硬化性粘着剤層である場合は、上記粘着シートに活性エネルギー線が照射されていない評価用サンプルにおいて、粘着シートを被着体から水剥離させるときに測定される値を採用する。
【0029】
ここに開示される粘着シートの好ましい一態様において、上記方法Ｂにより測定されるスティックスリップ度ＳＳｄ１（以下、「照射後通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ１」ともいう。）は、凡そ１００以下であり得る。剥離時の被着体の損傷を抑制する観点から、いくつかの態様において、照射後通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ１は、例えば５０以下であってもよく、好ましくは３０以下であり、より好ましくは２０以下であり、さらに好ましくは１５以下（例えば１０以下）である。照射後通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ１の下限は特に制限されないが、粘着特性とバランスを取る観点から、例えば０．１０以上であってもよく、０．５０以上でもよく、１．０以上でもよく、１．５０以上でもよく、２．０以上でもよい。
【0030】
ここに開示される粘着シートの好ましい一態様において、上記方法Ｃにより測定されるスティックスリップ度ＳＳｗ１（以下、「照射後水剥離スティックスリップ度ＳＳｗ１」ともいう。）は、凡そ１００以下であり得る。剥離時の被着体の損傷を抑制する観点から、いくつかの態様において、照射後水剥離スティックスリップ度ＳＳｗ１は、例えば５０以下であってもよく、好ましくは３０以下であり、より好ましくは２０以下であり、さらに好ましくは１０以下（例えば３未満）であり、１未満であってもよい。照射後水剥離スティックスリップ度ＳＳｗ１の下限は特に制限されないが、粘着特性とバランスを取る観点から、例えば０．０１以上であってもよく、０．１０以上でもよく、０．２０以上でもよく、０．２５以上でもよい。
【0031】
なお、上記評価用サンプルを用いて、上記粘着シートに活性エネルギー線を照射しないで上記粘着シートを上記被着体から通常剥離（即ち、水性剥離液等の剥離液を用いないで剥離）させるときのスティックスリップ度ＳＳｄ０（以下、「未照射通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ０」ともいう）は、特に限定されない。粘着特性とバランスを取る観点から、未照射通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ０は、通常、１．０以上２００以下であることが適切であり、５．０以上１５０以下であってもよく、１０以上１００以下でもよく、１５以上５０以下でもよく、１５以上３０以下でもよく、１５以上２５以下でもよい。
【0032】
ここに開示される技術の好ましい一態様において、上記粘着シートは、上記評価用サンプルを用いて以下の方法Ｅ、方法Ｆおよび方法Ｇのうち少なくともいずれかの方法で測定される剥離力が、所定値以下に低く抑えられている。このような粘着シートによると、剥離工程において軽剥離が実現できるため、剥離時の被着体の損傷が抑制され易い。粘着シートの剥離力は、具体的には後述の実施例に記載の方法で測定される。
【0033】
ここに開示される粘着シートの好ましい一態様では、下記方法Ｆおよび下記方法Ｇの少なくとも一方の方法により測定される剥離力が、所定値以下に低く抑えられている。このような粘着シートによると、剥離工程においてより軽い剥離が実現できるため、剥離時の被着体の損傷が抑制され易い。同様の観点から、下記方法Ｇにより測定される剥離力が、所定値以下に低く抑えられている粘着シートがより好ましい。
【0034】
また、ここに開示される技術の好ましい一態様において、上記粘着シートは、上記評価用サンプルを用いて以下の方法Ｈで測定される剥離力が、所定値以上である。このような粘着シートは、バックグラインド加工等の加工工程において粘着シートに望まれる接着力を発揮しやすい。
【0035】
方法Ｅ：上記評価用サンプルにおける上記粘着シートと上記被着体との界面に水性剥離液を供給し、その後、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときの剥離力Ｆｗ０を測定する。
【0036】
方法Ｆ：上記評価用サンプルに上記粘着シートの上記被着体と反対面側から活性エネルギー線を照射し、その後、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときの剥離力Ｆｄ１を測定する。
【0037】
方法Ｇ：上記評価用サンプルに上記粘着シートの上記被着体と反対面側から活性エネルギー線を照射し、かつ、上記粘着シートと上記被着体との界面に水性剥離液を供給した後、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときの剥離力Ｆｗ１を測定する。
【0038】
方法Ｈ：上記評価用サンプルに活性エネルギー線を照射しないで、上記粘着シートを上記被着体から剥離させるときの剥離力Ｆｄ０を測定する。
【0039】
ここに開示される技術の好ましい一態様において、上記方法Ｅにより測定される剥離力Ｆｗ０（以下、「未照射水剥離力Ｆｗ０」ともいう。）は、通常は５．０Ｎ／１０ｍｍ以下であることが適切であり、好ましくは２．０Ｎ／１０ｍｍ以下であり、より好ましくは１．０Ｎ／１０ｍｍ以下、さらに好ましくは０．５０Ｎ／１０ｍｍ以下（例えば０．１０Ｎ／１０ｍｍ以下）である。未照射水剥離力Ｆｗ０の下限は特に制限されないが、被着体に対する密着性向上の観点から、いくつかの態様において、好ましくは０．０１Ｎ／１０ｍｍ以上であり、例えば０．０２Ｎ／１０ｍｍ以上であってよく、０．０３Ｎ／１０ｍｍ以上でもよく、０．０５Ｎ／１０ｍｍ以上でもよく、０．０７５Ｎ／１０ｍｍ以上でもよく、０．０８Ｎ／１０ｍｍ以上でもよい。なお、上記未照射水剥離力Ｆｗ０は、粘着シートの粘着剤層が活性エネルギー線硬化性粘着剤層である場合は、上記粘着シートに活性エネルギー線を照射される前の評価用サンプルにおいて、粘着シートを被着体から水剥離させるときに測定される値を採用する。
【0040】
ここに開示される技術の好ましい一態様において、上記方法Ｆにより測定される剥離力Ｆｄ１（以下、「照射後通常剥離力Ｆｄ１」ともいう。）は、通常は１．０Ｎ／１０ｍｍ以下であることが適切であり、好ましくは０．１０Ｎ／１０ｍｍ以下であり、より好ましくは０．０８Ｎ／１０ｍｍ以下、さらに好ましくは０．０５Ｎ／１０ｍｍ以下（例えば０．０３Ｎ／１０ｍｍ以下）である。照射後通常剥離力Ｆｄ１の下限は特に制限されないが、粘着性能とバランスをとる観点から、いくつかの態様において、０．００１Ｎ／１０ｍｍ以上であってよく、０．００２Ｎ／１０ｍｍ以上でもよく、０．００４Ｎ／１０ｍｍ以上でもよい。
【0041】
ここに開示される技術の好ましい一態様において、上記方法Ｇにより測定される剥離力Ｆｗ１（以下、「照射後水剥離力Ｆｗ１」ともいう。）は、通常は１．０Ｎ／１０ｍｍ以下であることが適切であり、好ましくは０．１０Ｎ／１０ｍｍ以下であり、より好ましくは０．０５Ｎ／１０ｍｍ以下、さらに好ましくは０．０１Ｎ／１０ｍｍ以下（例えば０．００８Ｎ／１０ｍｍ以下）である。照射後水剥離力Ｆｗ１の下限は特に制限されないが、粘着性能とバランスをとる観点から、いくつかの態様において、０．０００５Ｎ／１０ｍｍ以上であってよく、０．００１Ｎ／１０ｍｍ以上でもよく、０．００２Ｎ／１０ｍｍ以上でもよい。
【0042】
ここに開示される技術の好ましい一態様において、上記方法Ｈにより測定される剥離力Ｆｄ０（以下、「未照射通常剥離力Ｆｄ０」ともいう。）は、通常は０．０５Ｎ／１０ｍｍ以上であることが適切であり、好ましくは０．１０Ｎ／１０ｍｍ以上であり、より好ましくは０．２０Ｎ／１０ｍｍ以上、さらに好ましくは０．３０Ｎ／１０ｍｍ以上である。ウエハ（典型的には半導体ウエハ）加工時における被着体との接着力を向上させる観点から、いくつかの態様において、未照射通常剥離力Ｆｄ０は０．５０Ｎ／１０ｍｍ以上であることが好ましく、より好ましくは１．０Ｎ／１０ｍｍ以上であり、さらに好ましくは１．５０Ｎ／１０ｍｍ以上（例えば２．０Ｎ／１０ｍｍ以上）である。未照射通常剥離力Ｆｄ０の上限は、特に限定されないが、剥離時の軽剥離を達成する観点から、通常は凡そ１５Ｎ／１０ｍｍ以下であることが適切であり、好ましくは１０Ｎ／１０ｍｍ以下であり、より好ましくは５．０Ｎ／１０ｍｍ以下であり、３．０Ｎ／１０ｍｍ以下であってもよく、１．０Ｎ／１０ｍｍ以下でもよい。
【0043】
上記通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ０，ＳＳｄ１および水剥離スティックスリップ度ＳＳｗ０，ＳＳｗ１の測定に用いる引張試験機としては、協和界面科学社製の精密万能試験機「型式：ＶＰＡ－３」またはその相当品を用いることができる。測定にあたっては、必要に応じて、測定対象の粘着シートに適切な裏打ち材（例えば、厚さ２５μｍ程度のＰＥＴフィルム）を貼り付けて補強することができる。
【0044】
上記通常剥離力Ｆｄ０，Ｆｄ１および水剥離力Ｆｗ０，Ｆｗ１の測定に用いる引張試験機としては、タンスイ社製の精密万能試験機「型式：ＤＴ９５０３－１０００Ｎ」またはその相当品を用いることができる。測定にあたっては、必要に応じて、測定対象の粘着シートに適切な裏打ち材（例えば、厚さ２５μｍ程度のＰＥＴフィルム）を貼り付けて補強することができる。
【0045】
上記評価用サンプルを作製するのに使用される被着体としてのシリコンウエハとしては、後述する実施例と同じまたは相当品を用いることができる。なお、ここに開示される粘着シートは、上記評価用サンプルを作製するのに使用されるシリコンウエハと同じウエハに用いられるものであるとは限らない。即ち、ここに開示される粘着シートの用途は、スティックスリップ度および／または剥離力の測定に用いられる被着体としてのシリコンウエハの加工用には限定されず、他のウエハ加工にも用いられ得る。
【0046】
＜粘着シートの構成例＞
ここに開示されるウエハ加工用粘着シートは、粘着剤層を備える。この粘着剤層は、典型的には粘着シートの少なくとも一方の表面を構成している。粘着シートは、基材（支持体）の片面または両面に粘着剤層を有する形態の基材付き粘着シートであってもよく、基材を含まない形態の粘着シート（基材レス粘着シート）であってもよい。
ここでいう粘着シートの概念には、粘着テープ、粘着ラベル、粘着フィルム等と称されるものが包含され得る。また、上記粘着剤層は典型的には連続的に形成されるが、かかる形態に限定されるものではなく、例えば点状、ストライプ状等の規則的あるいはランダムなパターンに形成された粘着剤層であってもよい。また、本明細書により提供される粘着シートは、ロール状であってもよく、枚葉状であってもよい。あるいは、さらに種々の形状に加工された形態の粘着シートであってもよい。
ここに開示されるウエハ加工用粘着シートは、粘着剤層を備える。この粘着剤層は、典型的には粘着シートの少なくとも一方の表面を構成している。粘着シートは、基材（支持体）の片面または両面に粘着剤層を有する形態の基材付き粘着シートであってもよく、基材を含まない形態の粘着シート（基材レス粘着シート）であってもよい。
ここでいう粘着シートの概念には、粘着テープ、粘着ラベル、粘着フィルム等と称されるものが包含され得る。また、上記粘着剤層は典型的には連続的に形成されるが、かかる形態に限定されるものではなく、例えば点状、ストライプ状等の規則的あるいはランダムなパターンに形成された粘着剤層であってもよい。また、本明細書により提供される粘着シートは、ロール状であってもよく、枚葉状であってもよい。あるいは、さらに種々の形状に加工された形態の粘着シートであってもよい。
【0047】
ここに開示される粘着シートは、例えば、図１～図６に模式的に示される断面構造を有するものであり得る。このうち図１，図２は、片面接着性の基材付き粘着シート（基材付き片面粘着シート）の構成例である。図１に示す粘着シート１は、基材１０の一面１０Ａ（非剥離性）に粘着剤層２１が設けられ、その粘着剤層２１の表面（粘着面）２１Ａが、少なくとも該粘着剤層側が剥離面となっている剥離ライナー３１で保護された構成を有する。図２に示す粘着シート２は、基材１０の一面１０Ａ（非剥離性）に粘着剤層２１が設けられた構成を有する。この粘着シート２では、基材１０の他面１０Ｂは剥離面となっており、粘着シート２を巻回すると該他面１０Ｂに粘着剤層２１が当接して、該粘着剤層の表面（粘着面）２１Ａが基材１０の他面１０Ｂで保護されるようになっている。
【0048】
図３，図４は、両面接着タイプの基材付き粘着シート（基材付き両面粘着シート）の構成例である。図３に示す粘着シート３は、基材１０の第一面１０Ａおよび第二面１０Ｂ（いずれも非剥離性）に、粘着剤層（第一粘着剤層）２１、粘着剤層（第二粘着剤層）２２がそれぞれ設けられ、第一粘着剤層２１の表面（第一粘着面）および第二粘着剤層２２の表面（第二粘着面）が、少なくとも該粘着剤層側が剥離面となっている剥離ライナー３１，３２によってそれぞれ保護された構成を有している。図４に示す粘着シート４は、基材１０の第一面１０Ａおよび第二面１０Ｂ（いずれも非剥離性）に、それぞれ第一粘着剤層２１，第二粘着剤層２２が設けられ、それらのうち第一粘着剤層２１の表面（第一粘着面）が、両面が剥離面となっている剥離ライナー３１により保護された構成を有している。粘着シート４は、該粘着シート４を巻回して第二粘着剤層２２の表面（第二粘着面）を剥離ライナー３１の裏面に当接させることにより、第二粘着面もまた剥離ライナー３１によって保護された構成とすることができる。
【0049】
図５，図６は、基材レスの両面接着性粘着シート（基材レス両面粘着シート）の構成例である。図５に示す粘着シート５は、基材レスの粘着剤層２１の一方の表面（第一粘着面）２１Ａおよび他方の表面（第二粘着面）２１Ｂが、少なくとも該粘着剤層側が剥離面となっている剥離ライナー３１，３２によってそれぞれ保護された構成を有する。図６に示す粘着シート６は、粘着剤層２１の一方の表面（第一粘着面）２１Ａが、両面が剥離面となっている剥離ライナー３１により保護された構成を有し、これを巻回すると、粘着剤層２１の他方の表面（第二粘着面）２１Ｂが剥離ライナー３１の背面に当接することにより、他面２１Ｂもまた剥離ライナー３１で保護された構成とできるようになっている。
基材レスまたは基材付きの両面粘着シートは、一方の粘着面に非剥離性の基材を貼り合わせることにより、基材付き片面粘着シートとして使用することができる。
基材レスまたは基材付きの両面粘着シートは、一方の粘着面に非剥離性の基材を貼り合わせることにより、基材付き片面粘着シートとして使用することができる。
【0050】
使用前（被着体への貼付け前）の粘着シートは、例えば図１～６に示すように、粘着面が剥離ライナーで保護された剥離ライナー付き粘着シートの形態であり得る。剥離ライナーとしては、特に限定されず、例えば樹脂フィルムや紙等のライナー基材の表面が剥離処理された剥離ライナーや、フッ素系ポリマー（ポリテトラフルオロエチレン等）やポリオレフィン系樹脂（ポリエチレン、ポリプロピレン等）の低接着性材料からなる剥離ライナー等を用いることができる。上記剥離処理には、例えば、シリコーン系、長鎖アルキル系等の剥離処理剤が用いられ得る。いくつかの態様において、剥離処理された樹脂フィルムを剥離ライナーとして好ましく採用し得る。
【0051】
ここに開示される粘着シートが基材付き両面粘着シートまたは基材レス両面粘着シートの形態である場合、第一粘着面を構成する粘着剤（第一粘着剤）と第二粘着面を構成する粘着剤（第二粘着剤）とは、同じ組成であってもよく異なる組成であっていてもよい。第一粘着面と第二粘着面とで組成の異なる基材レス両面粘着シートは、例えば、組成の異なる二以上の粘着剤層が直接（基材を介することなく）積層した多層構造の粘着剤層により実現することができる。
【0052】
ここに開示される粘着シートのいくつかの態様において、該粘着シートは、活性エネルギー線硬化性を有する粘着剤層（活性エネルギー線硬化性粘着剤層）により構成された粘着面を有する。他のいくつかの態様に係る粘着シートは、活性エネルギー線硬化性を有しない粘着剤層（非活性エネルギー線硬化性粘着剤層）により構成された粘着面を有する。第一粘着面および第二粘着面を有する両面粘着シートの場合、第一粘着面および第二粘着面は、いずれも活性エネルギー線硬化性粘着剤層により構成された粘着面であってもよく、いずれも非活性エネルギー線硬化性粘着剤層により構成された粘着面であってもよく、一方が活性エネルギー線硬化性粘着剤層により構成された粘着面であり、他方が非活性エネルギー線硬化性粘着剤層により構成された粘着面であってもよい。ここに開示される粘着シートは、活性エネルギー線硬化性粘着剤層または非活性エネルギー線硬化性粘着剤層により構成された粘着面を少なくとも一つ有する基材付き片面粘着シート、基材付き両面粘着シートまたは基材レス両面粘着シートの形態で好ましく実施され得る。なかでも、活性エネルギー線硬化性粘着剤層または非活性エネルギー線硬化性粘着剤層により構成された粘着面を有する基材付き片面粘着シートが好ましい。
【0053】
＜粘着剤層＞
ここに開示される粘着シートの粘着面を構成する粘着剤層（例えば、活性エネルギー線硬化性粘着剤層）は、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤（天然ゴム系、合成ゴム系、これらの混合系等）、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ポリエーテル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、フッ素系粘着剤等の公知の各種粘着剤から選択される１種または２種以上の粘着剤を含んで構成された粘着剤層であり得る。ここで、アクリル系粘着剤とは、アクリル系ポリマーをベースポリマーとする粘着剤をいう。ゴム系粘着剤その他の粘着剤についても同様の意味である。
なお、この明細書において、粘着剤の「ベースポリマー」とは、該粘着剤に含まれるポリマーの主成分をいう。また、この明細書において「主成分」とは、特記しない場合、５０重量％を超えて含まれる成分を指す。
ここに開示される粘着シートの粘着面を構成する粘着剤層（例えば、活性エネルギー線硬化性粘着剤層）は、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤（天然ゴム系、合成ゴム系、これらの混合系等）、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ポリエーテル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、フッ素系粘着剤等の公知の各種粘着剤から選択される１種または２種以上の粘着剤を含んで構成された粘着剤層であり得る。ここで、アクリル系粘着剤とは、アクリル系ポリマーをベースポリマーとする粘着剤をいう。ゴム系粘着剤その他の粘着剤についても同様の意味である。
なお、この明細書において、粘着剤の「ベースポリマー」とは、該粘着剤に含まれるポリマーの主成分をいう。また、この明細書において「主成分」とは、特記しない場合、５０重量％を超えて含まれる成分を指す。
【0054】
（アクリル系粘着剤層）
ここに開示される粘着シートのいくつかの態様において、上記粘着剤層は、アクリル系粘着剤を主成分として含むアクリル系粘着剤層であり得る。アクリル系粘着剤層を備えた粘着シートにおいて、ウエハ加工に適した粘着特性と、水剥離による軽剥離性とを好ましく両立させ得る。アクリル系粘着剤層は、後述する活性エネルギー線硬化性を付与しやすいという観点からも好ましい。
ここに開示される粘着シートのいくつかの態様において、上記粘着剤層は、アクリル系粘着剤を主成分として含むアクリル系粘着剤層であり得る。アクリル系粘着剤層を備えた粘着シートにおいて、ウエハ加工に適した粘着特性と、水剥離による軽剥離性とを好ましく両立させ得る。アクリル系粘着剤層は、後述する活性エネルギー線硬化性を付与しやすいという観点からも好ましい。
【0055】
アクリル系粘着剤としては、例えば、アルキル（メタ）アクリレートを含むモノマー原料の重合物またはその化学修飾等による変性物であるアクリル系ポリマーを、ベースポリマーとして含有するものが好ましい。上記モノマー原料の構成成分としては、エステル末端に炭素原子数１以上２０以下の直鎖または分岐鎖状のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートを好ましく使用し得る。以下、炭素原子数がＸ以上Ｙ以下のアルキル基をエステル末端に有するアルキル（メタ）アクリレートを「ＣＸ－Ｙアルキル（メタ）アクリレート」と表記することがある。ウエハ加工用途に適した粘着特性が得られやすいことから、Ｃ１－２０アルキル（メタ）アクリレートとしては、Ｃ１－１４（例えばＣ１－１２）アルキル（メタ）アクリレートが好ましい。また、Ｃ１－２０アルキルアクリレートとしては、Ｃ１－２０（例えばＣ１－１４、典型的にはＣ１－１２）アルキルアクリレートが好ましい。
【0056】
Ｃ１－２０アルキル（メタ）アクリレートの非限定的な具体例としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｓ－ブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、イソペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、ヘプチル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、ノニル（メタ）アクリレート、イソノニル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、ウンデシル（メタ）アクリレート、ドデシル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、テトラデシル（メタ）アクリレート、ペンタデシル（メタ）アクリレート、ヘキサデシル（メタ）アクリレート、ヘプタデシル（メタ）アクリレート、オクタデシル（メタ）アクリレート、ノナデシル（メタ）アクリレート、エイコシル（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらアルキル（メタ）アクリレートは、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。好ましいアルキル（メタ）アクリレートとして、エチルアクリレート（ＥＡ）、ｎ－ブチルアクリレート（ＢＡ）、２－エチルヘキシルアクリレート（２ＥＨＡ）、ラウリルアクリレート（ＬＡ）が挙げられる。いくつかの態様において、モノマー原料は、ＥＡ、ＢＡ、２ＥＨＡおよびＬＡのなかの少なくとも一つを含むことが好ましく、ＥＡ、ＢＡおよび２ＥＨＡの少なくとも一つを含むことがより好ましく、ＢＡおよび２ＥＨＡの少なくとも一つを含むことがさらに好ましい。
【0057】
特性のバランスをとりやすいことから、いくつかの態様において、上記モノマー原料のうちＣ１－２０アルキル（メタ）アクリレートの占める割合は、通常、４０重量％以上であることが適当であり、５０重量％よりも多いことが好ましく、例えば５５重量％以上であってよく、６０重量％以上でもよく、６５重量％以上でもよく、７０重量％以上でもよい。同様の理由から、上記モノマー原料におけるＣ１－２０アルキル（メタ）アクリレートの割合は、通常、９９．９重量％以下であることが適当であり、９９重量％以下でもよく、９８重量％以下でもよい。被着体からの剥離前線に水性剥離液を供給することによる軽剥離化に適した粘着シートを形成しやすくする観点から、いくつかの態様において、上記モノマー原料におけるＣ１－２０アルキル（メタ）アクリレートの割合は、例えば９５重量％以下であってよく、８５重量％以下でもよく、８０重量％未満でもよく、７０重量％以下でもよい。
【0058】
いくつかの好ましい態様において、上記アルキル（メタ）アクリレートは、炭素原子数９以下のアルキル基をエステル末端に有するアルキル（メタ）アクリレートＡ１（すなわち、Ｃ１－９アルキル（メタ）アクリレート）を含む。アルキル（メタ）アクリレートＡ１は、一種を単独でまたは二種以上を組み合わせて用いることができる。このように側鎖アルキル基の長さが制限された構成によると、糊残りを高度に防止し得る高い凝集力が得られる傾向がある。例えば、ポリマーの側鎖（典型的には側鎖末端）に炭素－炭素二重結合を有する構成においては、側鎖アルキル基の長さが制限されていることにより、硬化処理時に炭素－炭素二重結合の反応が円滑に進行し得る。また、側鎖アルキル基の長さが制限されていることにより、当該モノマーから得られたポリマーを含む粘着剤層を備えた粘着シートは、被着体からの剥離前線に水等の水性剥離液を供給する剥離方法によって該被着体から効率よく剥離させ得る。
【0059】
上記モノマー原料全体に占めるアルキル（メタ）アクリレートＡ１の割合は、凡そ３０重量％以上であることが適当であり、アルキル（メタ）アクリレートＡ１の作用をよりよく発現させる観点から、好ましくは凡そ４０重量％以上、より好ましくは凡そ５５重量％以上である。いくつかの態様において、上記アルキル（メタ）アクリレートＡ１の割合は、例えば凡そ６５重量％以上であってよく、凡そ７５重量％以上であってもよく、凡そ８０重量％以上であってもよい。他のいくつかの態様において、上記アルキル（メタ）アクリレートＡ１の割合は、例えば凡そ８５重量％以上であってよく、凡そ９０重量％以上であってもよく、凡そ９５重量％以上であってもよい。上記モノマー原料におけるアルキル（メタ）アクリレートＡ１の割合の上限は特に限定されず、通常は９９．５重量％以下とすることが適当であり、例えば９９重量％以下とすることができる。いくつかの態様において、例えば炭素－炭素二重結合を有するポリマーを含む粘着剤層において該上記炭素－炭素二重結合の作用を好ましく発現させる観点から、上記モノマー原料全体に占める上記アルキル（メタ）アクリレートＡ１の割合は、好ましくは凡そ９５重量％以下、より好ましくは凡そ９０重量％以下であり、凡そ８５重量％以下でもよく、凡そ７５重量％以下でもよく、凡そ７０重量％以下でもよい。
【0060】
アルキル（メタ）アクリレート全体に占めるアルキル（メタ）アクリレートＡ１の割合は、凡そ５０重量％以上であることが適当であり、アルキル（メタ）アクリレートＡ１の作用を好ましく発現させる観点から、好ましくは凡そ７０重量％以上、より好ましくは凡そ８０重量％以上であり、凡そ９０重量％以上でもよく、凡そ９５重量％以上でもよく、凡そ９９重量％以上でもよい。アルキル（メタ）アクリレート全体に占めるアルキル（メタ）アクリレートＡ１の割合の上限は１００重量％である。
【0061】
いくつかの態様において、上記アルキル（メタ）アクリレートＡ１は、炭素原子数７未満のアルキル基をエステル末端に有するアルキル（メタ）アクリレートＡ３を、一種または二種以上含み得る。アルキル（メタ）アクリレートＡ３を含むモノマー原料から得られたポリマーを含む粘着剤は、被着体からの剥離前線に水等の剥離液を供給する剥離方法で効率よく剥離する粘着シートを提供しやすい。また、アルキル（メタ）アクリレートＡ３を含むモノマー原料から得られたポリマーを含む活性エネルギー線硬化性粘着剤では、活性エネルギー線の照射による硬化反応が好ましく進行し得る。そのような観点から、アルキル（メタ）アクリレートＡ３におけるアルキル基の炭素原子数は、好ましくは６以下、より好ましくは４以下であり、３以下または２以下であってもよい。また、アルキル（メタ）アクリレートＡ３におけるアルキル基の炭素原子数は、１以上であってよく、被着体に対する接着性の観点から２以上であることが好ましい。
【0062】
上記モノマー原料がアルキル（メタ）アクリレートＡ３を含む態様において、該モノマー原料全体に占めるアルキル（メタ）アクリレートＡ３の割合は、例えば凡そ１重量％以上であってよく、通常は凡そ５重量％以上であることが適当であり、アルキル（メタ）アクリレートＡ３の作用を好ましく発現させる観点から、好ましくは凡そ２０重量％以上、より好ましくは凡そ３０重量％以上、さらに好ましくは凡そ４０重量％以上、特に好ましくは凡そ５０重量％以上であり、例えば６０重量％以上であってもよく、凡そ７０重量％以上でもよく、凡そ８０重量％以上でもよく、凡そ９０重量％以上でもよい。モノマー原料全体に占めるアルキル（メタ）アクリレートＡ３の割合の上限は特に限定されず、通常は凡そ９９重量％以下とすることが適当であり、例えば９０重量％以下とすることができる。いくつかの態様において、例えば炭素－炭素二重結合を有するポリマーを含む粘着剤層において該上記炭素－炭素二重結合の作用を好ましく発現させる観点から、上記モノマー原料全体に占めるアルキル（メタ）アクリレートＡ３の割合は、好ましくは凡そ８０重量％以下、より好ましくは凡そ７０重量％以下、さらに好ましくは凡そ６０重量％以下である。上記態様は、例えば、硬化処理のための反応性基や、架橋点となる官能基をポリマーに導入する態様であり得る。
【0063】
アルキル（メタ）アクリレート全体に占めるアルキル（メタ）アクリレートＡ３の割合は、凡そ５重量％以上であることが適当であり、アルキル（メタ）アクリレートＡ３の作用を好ましく発現させる観点から、好ましくは凡そ２０重量％以上、より好ましくは凡そ３５重量％以上、さらに好ましくは凡そ４５重量％以上、特に好ましくは凡そ５５重量％以上であり、例えば凡そ６５重量％以上であってもよく、凡そ７５重量％以上でもよく、凡そ８５重量％以上でもよく、凡そ９０重量％以上でもよい。上記アルキル（メタ）アクリレート全体に占めるアルキル（メタ）アクリレートＡ３の割合の上限は１００重量％であり、例えば凡そ９８重量％以下としてもよい。いくつかの態様において、例えばアルキル（メタ）アクリレートＡ３と組み合わせて後述するアルキル（メタ）アクリレートＡ２を用いる場合にその作用を好ましく発現させる観点から、上記アルキル（メタ）アクリレート全体に占めるアルキル（メタ）アクリレートＡ３の割合は、例えば凡そ９０重量％以下であってよく、凡そ８５重量％以下でもよく、凡そ７５重量％以下でもよく、凡そ６０重量％以下でもよく、凡そ４５重量％以下でもよく、凡そ３０重量％以下でもよく、凡そ１５重量％以下でもよい。アルキル（メタ）アクリレートＡ３を使用しなくてもよい。
【0064】
いくつかの態様において、上記アルキル（メタ）アクリレートは、炭素原子数７以上のアルキル基をエステル末端に有するアルキル（メタ）アクリレートＡ２を、上記アルキル（メタ）アクリレートＡ１として、あるいはアルキル（メタ）アクリレートＡ１とは異なるモノマーとして含み得る。アルキル（メタ）アクリレートＡ２を用いることは、例えば被着体に対する密着性の観点から有利となり得る。アルキル（メタ）アクリレートＡ２におけるアルキル基の炭素原子数は、好ましくは８以上であり、９以上であってもよい。また、接着力等の粘着特性の観点から、アルキル（メタ）アクリレートＡ２におけるアルキル基の炭素原子数は、好ましくは１４以下、より好ましくは１２以下、さらに好ましくは１０以下であり、例えば９以下であり、９未満でもよい。
【0065】
上記モノマー原料がアルキル（メタ）アクリレートＡ２を含む態様において、該モノマー原料全体に占めるアルキル（メタ）アクリレートＡ２の割合は、例えば凡そ１重量％以上であってよく、通常は凡そ５重量％以上であることが適当であり、アルキル（メタ）アクリレートＡ２の作用をよりよく発現させる観点から、好ましくは凡そ２０重量％以上、より好ましくは凡そ３０重量％以上、さらに好ましくは凡そ４０重量％以上、特に好ましくは凡そ５０重量％以上であり、例えば６０重量％以上であってもよく、凡そ７０重量％以上でもよく、凡そ８０重量％以上でもよく、凡そ９０重量％以上でもよい。上記モノマー原料全体に占めるアルキル（メタ）アクリレートＡ２の割合の上限は特に限定されず、通常は凡そ９９．５重量％以下とすることが適当であり、例えば凡そ９９重量％以下とすることができる。いくつかの態様において、例えば炭素－炭素二重結合を有するポリマーを含む粘着剤層において該上記炭素－炭素二重結合の作用を好ましく発現させる観点から、上記モノマー原料全体に占める上記アルキル（メタ）アクリレートＡ２の割合は、好ましくは凡そ９５重量％以下であり、凡そ９０重量％以下でもよく、凡そ８５重量％以下でもよく、凡そ７５重量％以下でもよく、凡そ７０重量％以下でもよい。
【0066】
上記モノマー原料に含まれるアルキル（メタ）アクリレート全体に占めるアルキル（メタ）アクリレートＡ２の割合は、凡そ５重量％以上であることが適当であり、アルキル（メタ）アクリレートＡ２の作用を好ましく発現させる観点から、好ましくは凡そ２０重量％以上、より好ましくは凡そ３５重量％以上、さらに好ましくは凡そ４５重量％以上であり、例えば凡そ５５重量％以上であってよく、凡そ６５重量％以上でもよく、凡そ７５重量％以上でもよく、凡そ８５重量％以上でもよく、凡そ９０重量％以上でもよく、凡そ９５重量％以上でもよい。上記アルキル（メタ）アクリレート全体に占めるアルキル（メタ）アクリレートＡ２の割合の上限は１００重量％である。いくつかの態様において、例えばアルキル（メタ）アクリレートＡ２と組み合わせてアルキル（メタ）アクリレートＡ３を用いる場合にその作用を好ましく発現させる観点から、上記アルキル（メタ）アクリレート全体に占めるアルキル（メタ）アクリレートＡ２の割合は、例えば凡そ９５重量％以下であってよく、凡そ９０重量％以下でもよく、凡そ８０重量％以下でもよく、凡そ７０重量％以下でもよく、凡そ６０重量％以下でもよく、凡そ４５重量％以下でもよく、凡そ３０重量％以下でもよく、凡そ２０重量％以下でもよく、凡そ１０重量％以下でもよく、凡そ５重量％以下でもよい。アルキル（メタ）アクリレートＡ２を使用しなくてもよい。
【0067】
アクリル系ポリマーの合成に用いられるモノマー原料は、上述のようなアルキル（メタ）アクリレートと共重合性を有する副モノマーをさらに含み得る。副モノマーは、アクリル系ポリマーに架橋点を導入したり、アクリル系ポリマーの凝集力を高めたりするために役立ち得る。また、例えば炭素－炭素二重結合を有するポリマーの合成に用いられるモノマー原料では、後述する炭素－炭素二重結合含有モノマーの官能基（以下、「官能基Ｂ」ともいう。）と反応し得る官能基（以下、「官能基Ａ」ともいう。）を有するモノマーを、副モノマーとして採用することが好ましい。
【0068】
副モノマーとしては、例えば以下のような官能基含有モノマーを、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
水酸基含有モノマー：例えば２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、（４－ヒドロキシメチルシクロへキシル）メチル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート類；ビニルアルコール、アリルアルコール等の不飽和アルコール類；２－ヒドロキシエチルビニルエーテル、４－ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングリコールモノビニルエーテル等のエーテル系化合物。
カルボキシ基含有モノマー：例えば、アクリル酸（ＡＡ）、メタクリル酸（ＭＡＡ）、クロトン酸、イソクロトン酸等のエチレン性不飽和モノカルボン酸；マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸等のエチレン性不飽和ジカルボン酸。
酸無水物基含有モノマー：例えば、無水マレイン酸、無水イタコン酸。
窒素原子含有環を有するモノマー：例えばＮ－ビニル－２－ピロリドン、メチル－Ｎ－ビニルピロリドン、ビニルピリジン、ビニルピラジン、ビニルピリミジン、Ｎ－ビニルピペリドン、Ｎ－ビニルピペラジン、Ｎ－ビニルピロール、Ｎ－ビニルイミダゾール、Ｎ－ビニルオキサゾール、Ｎ－ビニルモルホリン、Ｎ－ビニル－３－モルホリノン、Ｎ－ビニル－２－カプロラクタム、Ｎ－ビニル－１，３－オキサジン－２－オン、Ｎ－ビニル－３，５－モルホリンジオン、Ｎ－ビニルピラゾール、Ｎ－ビニルイソオキサゾール、Ｎ－ビニルチアゾール、Ｎ－ビニルイソチアゾール、Ｎ－（メタ）アクリロイルモルホリン、Ｎ－（メタ）アクリロイル－２－ピロリドン、Ｎ－（メタ）アクリロイルピペリジン、Ｎ－（メタ）アクリロイルピロリジン等。
アミド基含有モノマー：例えば、（メタ）アクリルアミド；Ｎ，Ｎ－ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジイソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジ（ｎ－ブチル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジ（ｔ－ブチル）（メタ）アクリルアミド等のＮ，Ｎ－ジアルキル（メタ）アクリルアミド；Ｎ－エチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－イソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ｎ－ブチル（メタ）アクリルアミド等のＮ－アルキル（メタ）アクリルアミド；Ｎ－ビニルアセトアミド等のＮ－ビニルカルボン酸アミド類；水酸基とアミド基とを有するモノマー、例えば、Ｎ－（２－ヒドロキシエチル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ－（２－ヒドロキシプロピル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ－（１－ヒドロキシプロピル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ－（３－ヒドロキシプロピル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ－（２－ヒドロキシブチル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ－（３－ヒドロキシブチル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ－（４－ヒドロキシブチル）（メタ）アクリルアミド等のＮ－ヒドロキシアルキル（メタ）アクリルアミド；アルコキシ基とアミド基とを有するモノマー、例えば、Ｎ－メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メトキシエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド等のＮ－アルコキシアルキル（メタ）アクリルアミド；Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド等のＮ，Ｎ－ジアルキルアミノアルキル（メタ）アクリルアミド等。
アミノ基含有モノマー：例えばアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ｔ－ブチルアミノエチル（メタ）アクリレート。
スクシンイミド骨格を有するモノマー：例えば、Ｎ－（メタ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ－（メタ）アクリロイル－６－オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ－（メタ）アクリロイル－８－オキシヘキサメチレンスクシンイミド等。
マレイミド類：例えば、Ｎ－シクロヘキシルマレイミド、Ｎ－イソプロピルマレイミド、Ｎ－ラウリルマレイミド、Ｎ－フェニルマレイミド等。
イタコンイミド類：例えば、Ｎ－メチルイタコンイミド、Ｎ－エチルイタコンイミド、Ｎ－ブチルイタコンイミド、Ｎ－オクチルイタコンイミド、Ｎ－２－エチルへキシルイタコンイミド、Ｎ－シクロへキシルイタコンイミド、Ｎ－ラウリルイタコンイミド等。
エポキシ基含有モノマー：例えばグリシジル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート、アリルグリシジルエーテル。
シアノ基含有モノマー：例えばアクリロニトリル、メタクリロニトリル。
ケト基含有モノマー：例えばジアセトン（メタ）アクリルアミド、ジアセトン（メタ）アクリレート、ビニルメチルケトン、ビニルエチルケトン、アリルアセトアセテート、ビニルアセトアセテート。
アルコキシシリル基含有モノマー：例えば３－（メタ）アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３－（メタ）アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３－（メタ）アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３－（メタ）アクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン等のアルコキシシリル基含有（メタ）アクリレートや、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン等のアルコキシシリル基含有ビニル化合物等。
アミノ基含有モノマー：例えばアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ｔ－ブチルアミノエチル（メタ）アクリレート。
エポキシ基を有するモノマー：例えばグリシジル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート、アリルグリシジルエーテル。
スルホン酸基またはリン酸基を含有するモノマー：例えば、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、ビニルスルホン酸ナトリウム、２－（メタ）アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸、２－ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート等。
イソシアネート基含有モノマー：例えば２－イソシアナトエチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルイソシアネート、ｍ－イソプロペニル－α，α－ジメチルベンジルイソシアネート。
水酸基含有モノマー：例えば２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、（４－ヒドロキシメチルシクロへキシル）メチル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート類；ビニルアルコール、アリルアルコール等の不飽和アルコール類；２－ヒドロキシエチルビニルエーテル、４－ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングリコールモノビニルエーテル等のエーテル系化合物。
カルボキシ基含有モノマー：例えば、アクリル酸（ＡＡ）、メタクリル酸（ＭＡＡ）、クロトン酸、イソクロトン酸等のエチレン性不飽和モノカルボン酸；マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸等のエチレン性不飽和ジカルボン酸。
酸無水物基含有モノマー：例えば、無水マレイン酸、無水イタコン酸。
窒素原子含有環を有するモノマー：例えばＮ－ビニル－２－ピロリドン、メチル－Ｎ－ビニルピロリドン、ビニルピリジン、ビニルピラジン、ビニルピリミジン、Ｎ－ビニルピペリドン、Ｎ－ビニルピペラジン、Ｎ－ビニルピロール、Ｎ－ビニルイミダゾール、Ｎ－ビニルオキサゾール、Ｎ－ビニルモルホリン、Ｎ－ビニル－３－モルホリノン、Ｎ－ビニル－２－カプロラクタム、Ｎ－ビニル－１，３－オキサジン－２－オン、Ｎ－ビニル－３，５－モルホリンジオン、Ｎ－ビニルピラゾール、Ｎ－ビニルイソオキサゾール、Ｎ－ビニルチアゾール、Ｎ－ビニルイソチアゾール、Ｎ－（メタ）アクリロイルモルホリン、Ｎ－（メタ）アクリロイル－２－ピロリドン、Ｎ－（メタ）アクリロイルピペリジン、Ｎ－（メタ）アクリロイルピロリジン等。
アミド基含有モノマー：例えば、（メタ）アクリルアミド；Ｎ，Ｎ－ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジイソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジ（ｎ－ブチル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジ（ｔ－ブチル）（メタ）アクリルアミド等のＮ，Ｎ－ジアルキル（メタ）アクリルアミド；Ｎ－エチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－イソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ｎ－ブチル（メタ）アクリルアミド等のＮ－アルキル（メタ）アクリルアミド；Ｎ－ビニルアセトアミド等のＮ－ビニルカルボン酸アミド類；水酸基とアミド基とを有するモノマー、例えば、Ｎ－（２－ヒドロキシエチル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ－（２－ヒドロキシプロピル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ－（１－ヒドロキシプロピル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ－（３－ヒドロキシプロピル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ－（２－ヒドロキシブチル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ－（３－ヒドロキシブチル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ－（４－ヒドロキシブチル）（メタ）アクリルアミド等のＮ－ヒドロキシアルキル（メタ）アクリルアミド；アルコキシ基とアミド基とを有するモノマー、例えば、Ｎ－メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メトキシエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド等のＮ－アルコキシアルキル（メタ）アクリルアミド；Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド等のＮ，Ｎ－ジアルキルアミノアルキル（メタ）アクリルアミド等。
アミノ基含有モノマー：例えばアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ｔ－ブチルアミノエチル（メタ）アクリレート。
スクシンイミド骨格を有するモノマー：例えば、Ｎ－（メタ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ－（メタ）アクリロイル－６－オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ－（メタ）アクリロイル－８－オキシヘキサメチレンスクシンイミド等。
マレイミド類：例えば、Ｎ－シクロヘキシルマレイミド、Ｎ－イソプロピルマレイミド、Ｎ－ラウリルマレイミド、Ｎ－フェニルマレイミド等。
イタコンイミド類：例えば、Ｎ－メチルイタコンイミド、Ｎ－エチルイタコンイミド、Ｎ－ブチルイタコンイミド、Ｎ－オクチルイタコンイミド、Ｎ－２－エチルへキシルイタコンイミド、Ｎ－シクロへキシルイタコンイミド、Ｎ－ラウリルイタコンイミド等。
エポキシ基含有モノマー：例えばグリシジル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート、アリルグリシジルエーテル。
シアノ基含有モノマー：例えばアクリロニトリル、メタクリロニトリル。
ケト基含有モノマー：例えばジアセトン（メタ）アクリルアミド、ジアセトン（メタ）アクリレート、ビニルメチルケトン、ビニルエチルケトン、アリルアセトアセテート、ビニルアセトアセテート。
アルコキシシリル基含有モノマー：例えば３－（メタ）アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３－（メタ）アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３－（メタ）アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３－（メタ）アクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン等のアルコキシシリル基含有（メタ）アクリレートや、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン等のアルコキシシリル基含有ビニル化合物等。
アミノ基含有モノマー：例えばアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ｔ－ブチルアミノエチル（メタ）アクリレート。
エポキシ基を有するモノマー：例えばグリシジル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート、アリルグリシジルエーテル。
スルホン酸基またはリン酸基を含有するモノマー：例えば、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、ビニルスルホン酸ナトリウム、２－（メタ）アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸、２－ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート等。
イソシアネート基含有モノマー：例えば２－イソシアナトエチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルイソシアネート、ｍ－イソプロペニル－α，α－ジメチルベンジルイソシアネート。
【0069】
上記官能基含有モノマーの量は、所望の凝集力が実現されるように適宜選択すればよく、特に限定されない。通常は、凝集力と他の特性（例えば接着性）とをバランス良く両立させる観点から、官能基含有モノマーの量（２種以上の官能基含有モノマーを用いる場合はそれらの合計量）は、通常、モノマー原料全体の０．１重量％以上とすることが適当であり、好ましくは０．３重量％以上、例えば１重量％以上である。また、官能基含有モノマーの量は、モノマー原料全体の例えば５０重量％以下であってよく、好ましくは４０重量％以下、例えば３５重量％以下であり、３０重量％以下でもよく、２５重量％以下でもよく、２０重量％以下でもよい。
【0070】
いくつかの態様において、上記モノマー原料は、上記官能基含有モノマーとして、水酸基含有モノマーを含み得る。水酸基含有モノマーを使用する場合における使用量は、特に制限されず、例えば、モノマー原料全体の０．０１重量％以上であってよく、０．１重量％以上でもよく、０．５重量％以上でもよく、１重量％以上でもよく、５重量％以上または１０重量％以上でもよい。いくつかの態様において、水酸基含有モノマーの使用量は、モノマー原料全体の例えば５０重量％以下とすることができ、粘着剤の吸水を抑制する観点から、通常は４０重量％以下とすることが適当であり、３０重量％以下としてもよく、２５重量％以下としてもよく、２０重量％以下としてもよい。また、いくつかの態様において、水酸基含有モノマーの使用量は、モノマー原料全体の１５重量％以下としてもよく、１０重量％以下としてもよく、５重量％以下としてもよい。あるいは、水酸基含有モノマーを使用しなくてもよい。
【0071】
いくつかの態様において、上記モノマー原料は、上記官能基含有モノマーとして、カルボキシ基含有モノマーを含み得る。アクリル系ポリマーの合成に用いられるモノマー原料全体に占めるカルボキシ基含有モノマーの割合は、例えば１５重量％以下であってよく、１０重量％以下でもよく、ウエハ加工時における粘着剤層の吸水抑制等の観点から７重量％以下であることが好ましく、５重量％以下でもよく、３重量％以下でもよく、２重量％以下でもよく、１重量％以下でもよく、０．５重量％以下でもよく、０．１重量％未満でもよい。上記モノマー原料は、カルボキシ基含有モノマーを実質的に含有しなくてもよい。ここで、カルボキシ基含有モノマーを実質的に含有しないとは、少なくとも意図的にはカルボキシ基含有モノマーが用いられていないことをいう。例えば、炭素－炭素二重結合を側鎖に有するポリマーの調製に用いられるモノマー原料において、上記のようにカルボキシ基モノマーの割合が制限された構成を好ましく採用し得る。
【0072】
いくつかの態様において、上記モノマー原料は、上記官能基含有モノマーとして、窒素原子を有するモノマーを含み得る。窒素原子を有するモノマーの使用により、粘着剤に適度な極性を付与し得る。このことは、水等の水性剥離液の供給による軽剥離化に適した粘着シートの実現に有利となり得る。窒素原子を有するモノマーの一好適例として、窒素原子含有環を有するモノマーが挙げられる。窒素原子含有環を有するモノマーとしては、相溶性等の観点から、Ｎ－ビニル－２－ピロリドン等のＮ－ビニル型化合物（Ｎ－ビニル環状アミド等）やＮ－（メタ）アクリロイルモルホリン等のＮ－（メタ）アクリロイル型化合物を好ましく採用し得る。
【0073】
窒素原子を有するモノマーを使用する場合における使用量は、特に制限されず、例えばモノマー原料全体の１重量％以上であってよく、２重量％以上でもよく、３重量％以上でもよく、５重量％以上でもよく、７重量％以上でもよい。より高い効果を得る観点から、いくつかの態様において、窒素原子を有するモノマーの使用量は、モノマー原料全体の１０重量％以上であってもよく、１５重量％以上でもよく、２０重量％以上でもよい。また、特性のバランスをとりやすくする観点から、窒素原子を有するモノマーの使用量は、通常、モノマー原料全体の例えば４０重量％以下とすることが適当であり、３５重量％以下としてもよく、３０重量％以下としてもよく、２５重量％以下としてもよい。いくつかの態様において、窒素原子を有するモノマーの使用量は、モノマー原料全体の例えば２０重量％以下としてもよく、１５重量％以下としてもよく、１０重量％以下としてもよく、５重量％以下としてもよい。あるいは、窒素原子を有するモノマーを使用しなくてもよい。
【0074】
上記モノマー原料が炭素－炭素二重結合を有するポリマーの調製に用いられる場合は、副モノマーとして、後述する炭素－炭素二重結合を有する化合物の官能基（官能基Ｂ）と反応し得る官能基（官能基Ａ）を有する官能基含有モノマーを用いることが好ましい。かかる場合、官能基含有モノマーの種類は上記化合物種によって決定される。官能基Ａを有する副モノマーとしては、例えば、水酸基含有モノマー、カルボキシ基含有モノマー、エポキシ基含有モノマー、イソシアネート基含有モノマーが好ましく、水酸基含有モノマーが特に好ましい。副モノマーとして水酸基含有モノマーを用いることで、アクリル系ポリマーは水酸基を有する。これに対して、炭素－炭素二重結合を有する化合物としてイソシアネート基含有モノマーを用いることで、上記アクリル系ポリマーの水酸基（官能基Ａ）と上記化合物のイソシアネート基（官能基Ｂ）とが反応し、上記化合物に由来する炭素－炭素二重結合がアクリル系ポリマーに導入される。
【0075】
また、炭素－炭素二重結合を有する化合物との反応を目的として副モノマーを使用する場合、上記副モノマー（好ましくは水酸基含有モノマー）の量は、水剥離に適した粘着剤層を得やすくする観点から、全モノマー原料中の凡そ１重量％以上とすることが適当であり、好ましくは凡そ５重量％以上、より好ましくは凡そ１０重量％以上、さらに好ましくは凡そ１２重量％以上、例えば凡そ１４重量％以上である。また、接着性等の粘着特性を良好に保つ観点から、上記副モノマーの量は、全モノマー原料中の凡そ４０重量％以下とすることが適当であり、好ましくは凡そ３０重量％以下、より好ましくは凡そ２０重量％以下であり、例えば凡そ１５重量％以下であってもよい。
【0076】
アクリル系ポリマーの調製に用いられるモノマー原料は、該アクリル系ポリマーの凝集力を高める等の目的で、上述した官能基含有モノマー以外の副モノマー（以下、共重合性モノマーともいう。）を含んでいてもよい。
上記共重合性モノマーの非限定的な具体例としては、以下のものが挙げられる。
アルコキシ基含有モノマー：例えば、２－メトキシエチル（メタ）アクリレート、３－メトキシプロピル（メタ）アクリレート、２－エトキシエチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アルコキシアルキル（アルコキシアルキル（メタ）アクリレート）類；メトキシエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート等の、アルコキシ（ポリ）アルキレングリコール（メタ）アクリレート類。
ビニルエステル類：例えば、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル等。
ビニルエーテル類：例えば、メチルビニルエーテルやエチルビニルエーテル等のビニルアルキルエーテル。
芳香族ビニル化合物：例えば、スチレン、α－メチルスチレン、ビニルトルエン等。
オレフィン類：例えば、エチレン、ブタジエン、イソプレン、イソブチレン等。
脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステル：例えば、シクロペンチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレート等の脂環式炭化水素基含有（メタ）アクリレート。
芳香環含有（メタ）アクリレート：例えば、フェニル（メタ）アクリレート等のアリール（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート等のアリールオキシアルキル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート等のアリールアルキル（メタ）アクリレート。
その他、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル等の複素環含有（メタ）アクリレート、塩化ビニルやフッ素原子含有（メタ）アクリレート等のハロゲン原子含有モノマー、シリコーン（メタ）アクリレート等のオルガノシロキサン鎖含有モノマー、テルペン化合物誘導体アルコールから得られる（メタ）アクリル酸エステル等。
このような共重合性モノマーは、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。かかる他の共重合性モノマーの量は、目的および用途に応じて適宜選択すればよく特に限定されないが、例えば、アクリル系ポリマーの全モノマー原料中の２０重量％以下（例えば２～２０重量％、典型的には３～１０重量％）とすることが好ましい。
上記共重合性モノマーの非限定的な具体例としては、以下のものが挙げられる。
アルコキシ基含有モノマー：例えば、２－メトキシエチル（メタ）アクリレート、３－メトキシプロピル（メタ）アクリレート、２－エトキシエチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アルコキシアルキル（アルコキシアルキル（メタ）アクリレート）類；メトキシエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート等の、アルコキシ（ポリ）アルキレングリコール（メタ）アクリレート類。
ビニルエステル類：例えば、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル等。
ビニルエーテル類：例えば、メチルビニルエーテルやエチルビニルエーテル等のビニルアルキルエーテル。
芳香族ビニル化合物：例えば、スチレン、α－メチルスチレン、ビニルトルエン等。
オレフィン類：例えば、エチレン、ブタジエン、イソプレン、イソブチレン等。
脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステル：例えば、シクロペンチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレート等の脂環式炭化水素基含有（メタ）アクリレート。
芳香環含有（メタ）アクリレート：例えば、フェニル（メタ）アクリレート等のアリール（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート等のアリールオキシアルキル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート等のアリールアルキル（メタ）アクリレート。
その他、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル等の複素環含有（メタ）アクリレート、塩化ビニルやフッ素原子含有（メタ）アクリレート等のハロゲン原子含有モノマー、シリコーン（メタ）アクリレート等のオルガノシロキサン鎖含有モノマー、テルペン化合物誘導体アルコールから得られる（メタ）アクリル酸エステル等。
このような共重合性モノマーは、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。かかる他の共重合性モノマーの量は、目的および用途に応じて適宜選択すればよく特に限定されないが、例えば、アクリル系ポリマーの全モノマー原料中の２０重量％以下（例えば２～２０重量％、典型的には３～１０重量％）とすることが好ましい。
【0077】
好ましい一態様において、上記モノマー原料は、ゲル化抑制の観点から、アルコキシアルキル（メタ）アクリレートおよびアルコキシポリアルキレングリコール（メタ）アクリレートの合計割合が２０重量％未満に制限されていることが好ましい。上記アルコキシアルキル（メタ）アクリレートおよびアルコキシポリアルキレングリコール（メタ）アクリレートの合計割合は、より好ましくは１０重量％未満、さらに好ましくは３重量％未満、特に好ましくは１重量％未満であり、一態様では、上記モノマー原料はアルコキシアルキル（メタ）アクリレートおよびアルコキシポリアルキレングリコール（メタ）アクリレートを実質的に含まない（含有量０～０．３重量％）。
同様に、一態様において、上記モノマー原料は、アルコキシ基含有モノマーを２０重量％未満の割合で含むか、含まないものであり得る。上記モノマー原料に占めるアルコキシ基含有モノマーの量は、好ましくは１０重量％未満、より好ましくは３重量％未満、さらに好ましくは１重量％未満であり、特に好ましい一態様では、上記モノマー原料はアルコキシ基含有モノマーを実質的に含まない（含有量０～０．３重量％）。
同様に、一態様において、上記モノマー原料は、アルコキシ基含有モノマーを２０重量％未満の割合で含むか、含まないものであり得る。上記モノマー原料に占めるアルコキシ基含有モノマーの量は、好ましくは１０重量％未満、より好ましくは３重量％未満、さらに好ましくは１重量％未満であり、特に好ましい一態様では、上記モノマー原料はアルコキシ基含有モノマーを実質的に含まない（含有量０～０．３重量％）。
【0078】
モノマー原料を重合させる方法は特に限定されず、溶液重合法、乳化重合法、塊状重合法、懸濁重合法等の、アクリル系ポリマーの合成手法として知られている各種の重合方法を適宜採用することができる。例えば、溶液重合法を好ましく採用することができる。溶液重合を行う際のモノマー供給方法としては、全モノマー原料を一度に供給する一括仕込み方式、連続供給（滴下）方式、分割供給（滴下）方式等を適宜採用することができる。溶液重合に用いる溶媒（重合溶媒）は、従来公知の有機溶媒から適宜選択することができる。例えば、トルエン等の芳香族化合物類（典型的には芳香族炭化水素類）；酢酸エチルや酢酸ブチル等のエステル類；ヘキサンやシクロヘキサン等の脂肪族または脂環式炭化水素類；１，２－ジクロロエタン等のハロゲン化アルカン類；イソプロピルアルコール等の低級アルコール類（例えば、炭素原子数１～４の一価アルコール類）；ｔｅｒｔ－ブチルメチルエーテル等のエーテル類；メチルエチルケトン等のケトン類；等から選択されるいずれか１種の溶媒、または２種以上の混合溶媒を用いることができる。重合温度は、使用するモノマーおよび溶媒の種類、重合開始剤の種類等に応じて適宜選択することができ、例えば２０℃～１２０℃（典型的には４０℃～８０℃）程度とすることができる。溶液重合によると、モノマー原料の重合物が重合溶媒に溶解した形態の重合反応液が得られる。粘着剤層の形成に用いられる粘着剤組成物は、上記重合反応液を用いて好ましく製造され得る。上記重合反応液を用いて粘着剤組成物を製造することは、例えば、上記重合反応液に含まれるポリマーに炭素－炭素二重結合の導入等の化学修飾を施すことを含み得る。
【0079】
重合にあたっては、重合方法や重合態様等に応じて、公知または慣用の熱重合開始剤や光重合開始剤を使用し得る。熱重合開始剤の例としては、アゾ系重合開始剤、過酸化物系開始剤、過酸化物と還元剤との組合せによるレドックス系開始剤、置換エタン系開始剤等を使用することができる。光重合開始剤の例としては、α－ケトール系光開始剤、アセトフェノン系光開始剤、ベンゾインエーテル系光開始剤、ケタール系光開始剤、芳香族スルホニルクロリド系光開始剤、光活性オキシム系光開始剤、ベンゾフェノン系光開始剤、チオキサントン系光開始剤、アシルホスフィノキシド系光開始剤等が挙げられる。重合開始剤は、１種を単独でまたは２種以上を適宜組み合わせて用いることができる。
【0080】
重合開始剤の使用量は、通常の使用量であればよく、例えば、全モノマー原料１００重量部に対して０．００５～１重量部（典型的には０．０１～１重量部）程度の範囲から選択することができる。また、重合開始剤を光開始剤としても利用する場合には、そのことを考慮して重合開始剤の使用量を設定することができる。
【0081】
上記重合には、必要に応じて、従来公知の各種の連鎖移動剤（分子量調節剤あるいは重合度調節剤としても把握され得る。）を使用することができる。連鎖移動剤としては、ｎ－ドデシルメルカプタン、ｔ－ドデシルメルカプタン、チオグリコール酸、α－チオグリセロール等のメルカプタン類を用いることができる。あるいは、硫黄原子を含まない連鎖移動剤（非硫黄系連鎖移動剤）を用いてもよい。非硫黄系連鎖移動剤の具体例としては、Ｎ，Ｎ－ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ－ジエチルアニリン等のアニリン類；α－ピネン、ターピノーレン等のテルペノイド類；α－メチルスチレン、α―メチルスチレンダイマー等のスチレン類；ジベンジリデンアセトン、シンナミルアルコール、シンナミルアルデヒド等のベンジリデニル基を有する化合物；ヒドロキノン、ナフトヒドロキノン等のヒドロキノン類；ベンゾキノン、ナフトキノン等のキノン類；２，３－ジメチル－２－ブテン、１，５－シクロオクタジエン等のオレフィン類；フェノール、ベンジルアルコール、アリルアルコール等のアルコール類；ジフェニルベンゼン、トリフェニルベンゼン等のベンジル水素類；等が挙げられる。
連鎖移動剤は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。連鎖移動剤を使用する場合、その使用量は、モノマー原料１００重量部に対して、例えば凡そ０．０１～１重量部程度とすることができる。ここに開示される技術は、連鎖移動剤を使用しない態様でも好ましく実施され得る。
連鎖移動剤は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。連鎖移動剤を使用する場合、その使用量は、モノマー原料１００重量部に対して、例えば凡そ０．０１～１重量部程度とすることができる。ここに開示される技術は、連鎖移動剤を使用しない態様でも好ましく実施され得る。
【0082】
アクリル系ポリマーの分子量は、特に制限されず、要求性能に合わせて適当な範囲に設定され得る。アクリル系ポリマーの重量平均分子量（Ｍｗ）は、通常は凡そ１０×１０４以上（例えば２０×１０４以上）であり、凝集力と接着力とをバランスよく両立する観点から、３０×１０４超とすることが適当であり、凡そ４０×１０４以上であることが好ましく、凡そ５０×１０４以上でもよく、凡そ５５×１０４以上でもよい。アクリル系ポリマーのＭｗの上限は特に限定されない。粘着剤組成物の塗工性の観点から、アクリル系ポリマーのＭｗは、通常は凡そ５００×１０４以下であることが適当であり、例えば凡そ１５０×１０４以下であってよく、凡そ７５×１０４以下であってもよい。上記Ｍｗは、粘着剤組成物中、粘着剤層中いずれかにおけるアクリル系ポリマーのＭｗであり得る。
ここでＭｗとは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により得られた標準ポリスチレン換算の値をいう。ＧＰＣ装置としては、例えば機種名「ＨＬＣ－８３２０ＧＰＣ」（カラム：ＴＳＫｇｅｌＧＭＨ－Ｈ（Ｓ）、東ソー社製）を用いることができる。後述の実施例においても同様である。
ここでＭｗとは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により得られた標準ポリスチレン換算の値をいう。ＧＰＣ装置としては、例えば機種名「ＨＬＣ－８３２０ＧＰＣ」（カラム：ＴＳＫｇｅｌＧＭＨ－Ｈ（Ｓ）、東ソー社製）を用いることができる。後述の実施例においても同様である。
【0083】
アクリル系粘着剤層は、必要に応じてアクリル系ポリマー以外のポリマーを、副ポリマーとしてさらに含んでもよい。上記副ポリマーとしては、粘着剤層に含まれ得るポリマーとして例示した各種ポリマーのうちアクリル系ポリマー以外のものが好適例として挙げられる。ここに開示される粘着剤層が、アクリル系ポリマーに加えて副ポリマーを含むアクリル系粘着剤層である場合、該副ポリマーの含有量は、アクリル系ポリマー１００重量部に対して１００重量部未満とすることが適当であり、５０重量部以下が好ましく、３０重量部以下がより好ましく、１０重量部以下がさらに好ましい。副ポリマーの含有量は、アクリル系ポリマー１００重量部に対して５重量部以下であってもよく、１重量部以下であってもよい。ここに開示される技術は、例えば、粘着剤層に含まれるポリマーの９９．５～１００重量％がアクリル系ポリマーである態様で好ましく実施され得る。
【0084】
（アクリル系以外の粘着剤層）
ここに開示される粘着シートにおいて粘着面を構成する粘着剤層は、アクリル系ポリマー以外のポリマーをベースポリマーとする粘着剤層、すなわちアクリル系以外の粘着剤層であってもよい。アクリル系以外の粘着剤層は、ベースポリマーに加えて、該ベースポリマー以外の副ポリマーを必要に応じてさらに含んでいてもよい。この場合、アクリル系以外の粘着剤層における副ポリマーの含有量は、アクリル系粘着剤層における副ポリマーの含有量として例示した上記の含有量から選択され得る。アクリル系以外の粘着剤層は、副ポリマーとしてアクリル系ポリマーを含む粘着剤層であってもよい。
ここに開示される粘着シートにおいて粘着面を構成する粘着剤層は、アクリル系ポリマー以外のポリマーをベースポリマーとする粘着剤層、すなわちアクリル系以外の粘着剤層であってもよい。アクリル系以外の粘着剤層は、ベースポリマーに加えて、該ベースポリマー以外の副ポリマーを必要に応じてさらに含んでいてもよい。この場合、アクリル系以外の粘着剤層における副ポリマーの含有量は、アクリル系粘着剤層における副ポリマーの含有量として例示した上記の含有量から選択され得る。アクリル系以外の粘着剤層は、副ポリマーとしてアクリル系ポリマーを含む粘着剤層であってもよい。
【0085】
（ガラス転移温度）
粘着面を構成する粘着剤層のベースポリマー（例えば、アクリル系ポリマー）のガラス転移温度（Ｔｇ）は、１５℃以下であることが好ましい。いくつかの態様において、上記Ｔｇは、被着体への密着性（例えば、被着体の表面形状への追従性）等の観点から、１０℃以下であることが適当であり、０℃以下であることが好ましく、－１０℃以下でもよく、－２０℃以下でもよい。また、粘着剤の凝集性や水剥離による軽剥離化容易性の観点から、ベースポリマーのＴｇは、例えば－７５℃以上であってよく、－６０℃以上でもよく、－５０℃以上でもよい。いくつかの態様において、ベースポリマーのＴｇは、－４５℃以上でもよく、－４０℃以上でもよい。
粘着面を構成する粘着剤層のベースポリマー（例えば、アクリル系ポリマー）のガラス転移温度（Ｔｇ）は、１５℃以下であることが好ましい。いくつかの態様において、上記Ｔｇは、被着体への密着性（例えば、被着体の表面形状への追従性）等の観点から、１０℃以下であることが適当であり、０℃以下であることが好ましく、－１０℃以下でもよく、－２０℃以下でもよい。また、粘着剤の凝集性や水剥離による軽剥離化容易性の観点から、ベースポリマーのＴｇは、例えば－７５℃以上であってよく、－６０℃以上でもよく、－５０℃以上でもよい。いくつかの態様において、ベースポリマーのＴｇは、－４５℃以上でもよく、－４０℃以上でもよい。
【0086】
ここで、本明細書においてポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）とは、該ポリマーを構成するモノマー原料の組成に基づいてＦｏｘの式により求められるガラス転移温度をいう。上記Ｆｏｘの式とは、以下に示すように、共重合体のＴｇと、該共重合体を構成するモノマーのそれぞれを単独重合したホモポリマーのガラス転移温度Ｔｇｉとの関係式である。
１／Ｔｇ＝Σ（Ｗｉ／Ｔｇｉ）
なお、上記Ｆｏｘの式において、Ｔｇは共重合体のガラス転移温度（単位：Ｋ）、Ｗｉは該共重合体におけるモノマーｉの重量分率（重量基準の共重合割合）、Ｔｇｉはモノマーｉのホモポリマーのガラス転移温度（単位：Ｋ）を表す。
１／Ｔｇ＝Σ（Ｗｉ／Ｔｇｉ）
なお、上記Ｆｏｘの式において、Ｔｇは共重合体のガラス転移温度（単位：Ｋ）、Ｗｉは該共重合体におけるモノマーｉの重量分率（重量基準の共重合割合）、Ｔｇｉはモノマーｉのホモポリマーのガラス転移温度（単位：Ｋ）を表す。
【0087】
Ｔｇの算出に使用するホモポリマーのガラス転移温度としては、公知資料に記載の値を用いるものとする。例えば、以下に挙げるモノマーについては、該モノマーのホモポリマーのガラス転移温度として、以下の値を使用する。
２－エチルヘキシルアクリレート －７０℃
ｎ－ブチルアクリレート －５５℃
イソステアリルアクリレート －１８℃
メチルメタクリレート １０５℃
メチルアクリレート ８℃
Ｎ－ビニル－２－ピロリドン ５４℃
Ｎ－アクリロイルモルホリン １４５℃
２－ヒドロキシエチルアクリレート －１５℃
４－ヒドロキシブチルアクリレート －４０℃
アクリル酸 １０６℃
メタクリル酸 ２２８℃
２－エチルヘキシルアクリレート －７０℃
ｎ－ブチルアクリレート －５５℃
イソステアリルアクリレート －１８℃
メチルメタクリレート １０５℃
メチルアクリレート ８℃
Ｎ－ビニル－２－ピロリドン ５４℃
Ｎ－アクリロイルモルホリン １４５℃
２－ヒドロキシエチルアクリレート －１５℃
４－ヒドロキシブチルアクリレート －４０℃
アクリル酸 １０６℃
メタクリル酸 ２２８℃
【0088】
上記で例示した以外のモノマーのホモポリマーのガラス転移温度については、「Polymer Handbook」（第３版、John Wiley & Sons, Inc., 1989）に記載の数値を用いるものとする。本文献に複数種類の値が記載されている場合は、最も高い値を採用する。
【0089】
上記Polymer Handbookにもホモポリマーのガラス転移温度が記載されていないモノマーについては、以下の測定方法により得られる値を用いるものとする（特開２００７－５１２７１号公報参照）。具体的には、温度計、攪拌機、窒素導入管および還流冷却管を備えた反応器に、モノマー１００重量部、アゾビスイソブチロニトリル０．２重量部および重合溶媒として酢酸エチル２００重量部を投入し、窒素ガスを流通させながら１時間攪拌する。このようにして重合系内の酸素を除去した後、６３℃に昇温し１０時間反応させる。次いで、室温まで冷却し、固形分濃度３３重量％のホモポリマー溶液を得る。次いで、このホモポリマー溶液を剥離ライナー上に流延塗布し、乾燥して厚さ約２ｍｍの試験サンプル（シート状のホモポリマー）を作製する。この試験サンプルを直径７．９ｍｍの円盤状に打ち抜き、パラレルプレートで挟み込み、粘弾性試験機（ＡＲＥＳ、レオメトリックス社製）を用いて周波数１Ｈｚのせん断歪みを与えながら、温度領域－７０～１５０℃、５℃／分の昇温速度でせん断モードにより粘弾性を測定し、ｔａｎδのピークトップ温度をホモポリマーのＴｇとする。
【0090】
（界面活性剤）
いくつかの好ましい態様において、上記粘着剤層は界面活性剤を含み得る。界面活性剤を含む粘着剤層によると、被着体との剥離界面に水性剥離液を供給することによる剥離力の低下効果が好適に発現し得る。その理由は、特に限定解釈されるものではないが、界面活性剤は親水性領域を有し、それによって粘着剤層表面に偏在して、水性剥離液と接触したときに剥離力を効果的に低下させるものと考えられる。界面活性剤としては、公知の界面活性剤の１種または２種以上を特に制限なく用いることができる。界面活性剤は、典型的には、遊離の形態で粘着剤層に含まれていることが好ましい。界面活性剤としては、粘着剤組成物調製性の点から、常温（約２５℃）において液状であるものが好ましく用いられる。
いくつかの好ましい態様において、上記粘着剤層は界面活性剤を含み得る。界面活性剤を含む粘着剤層によると、被着体との剥離界面に水性剥離液を供給することによる剥離力の低下効果が好適に発現し得る。その理由は、特に限定解釈されるものではないが、界面活性剤は親水性領域を有し、それによって粘着剤層表面に偏在して、水性剥離液と接触したときに剥離力を効果的に低下させるものと考えられる。界面活性剤としては、公知の界面活性剤の１種または２種以上を特に制限なく用いることができる。界面活性剤は、典型的には、遊離の形態で粘着剤層に含まれていることが好ましい。界面活性剤としては、粘着剤組成物調製性の点から、常温（約２５℃）において液状であるものが好ましく用いられる。
【0091】
界面活性剤のＨＬＢは、特に限定されない。界面活性剤のＨＬＢは、例えば１以上または３以上であり得る。界面活性剤のＨＬＢは、５以上であることが好ましく、６以上でもよく、８以上でもよく、９以上でもよい。これによって水剥離性が好ましく発現する傾向がある。界面活性剤のＨＬＢは、より好ましくは１０以上、さらに好ましくは１１以上、さらに好ましくは１２以上、特に好ましくは１３以上であり、１４以上でもよく、１５以上でもよく、さらには１６以上でもよい。上記範囲のＨＬＢを有する界面活性剤によると、水剥離による軽剥離性をより効果的に発現させ得る。上記ＨＬＢの上限は２０以下であり、例えば１８以下であってもよい。いくつかの態様において、例えば相溶性の観点から、界面活性剤のＨＬＢは、１６以下であってもよく、例えば１５以下であってもよい。
【0092】
なお、本明細書におけるＨＬＢは、GriffinによるHydrophile-Lipophile Balanceであり、界面活性剤の水や油への親和性の程度を表す値であり、親水性と親油性の比を０～２０の間の数値で表したものである。ＨＬＢの定義は、W．C．Griffin：J．Soc．Cosmetic Chemists，1,311（1949）や、高橋越民、難波義郎、小池基生、小林正雄共著、「界面活性剤ハンドブック」、第３版、工学図書社出版、昭和４７年１１月２５日、ｐ１７９～１８２等に記載されるとおりである。上記ＨＬＢを有する界面活性剤は、上記参考文献を必要に応じて参酌するなどして当業者の技術常識に基づき、選定することができる。
【0093】
界面活性剤としては、公知の非イオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤等を用いることができる。なかでも、非イオン性界面活性剤が好ましい。界面活性剤は１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【0094】
非イオン性界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル；ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル；ポリオキシエチレンモノラウレート、ポリオキシエチレンモノステアレート、ポリオキシエチレンモノオレエート等のポリオキシエチレン脂肪酸エステル；ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテート、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンモノオレエート等のソルビタン脂肪酸エステル；ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリイソステアレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノオレエート、ポリオキシエチレンソルビタントリオレエート等のポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル；ポリオキシエチレングリセリルエーテル脂肪酸エステル；ポリオキシエレン－ポリオキシプロピレンブロックコポリマー；等が挙げられる。非イオン性界面活性剤は、プロペニル基、（メタ）アリル基、ビニル基、（メタ）アクリロイル基等のラジカル重合性官能基を有する反応性界面活性剤（例えば、ポリオキシエチレンノニルプロペニルフェニルエーテル等の、非イオン性の反応性界面活性剤）であってもよい。これらの非イオン性界面活性剤は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。粘着シートの性能安定性等の観点から、上述のようなラジカル重合性官能基を有しない（非反応性の）非イオン性界面活性剤を好ましく採用し得る。
【0095】
アニオン性界面活性剤の例としては、ラウリル硫酸塩、オクタデシル硫酸塩等のアルキル硫酸塩；脂肪酸塩；ノニルベンゼンスルホン酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸塩等のアルキルベンゼンスルホン酸塩；ドデシルナフタレンスルホン酸塩等のナフタレンスルホン酸塩；ドデシルジフェニルエーテルジスルホン酸塩等のアルキルジフェニルエーテルジスルホン酸塩；ポリオキシエチレンオクタデシルエーテル硫酸塩、ポリオキシエチレンラウリルエーテル硫酸塩等のポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩；ポリオキシエチレンラウリルフェニルエーテル硫酸塩等のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル硫酸塩；ポリオキシエチレンスチレン化フェニルエーテル硫酸塩；ラウリルスルホコハク酸塩、ポリオキシエチレンラウリルスルホコハク酸塩等のスルホコハク酸塩；ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸塩；ポリオキシエチレンアルキルエーテル酢酸塩；等が挙げられる。アニオン性界面活性剤が塩を形成している場合、該塩は、例えばナトリウム塩、カリウム塩、カルシウム塩、マグネシウム塩等の金属塩（好ましくは一価金属の塩）、アンモニウム塩、アミン塩等であり得る。これらのアニオン性界面活性剤は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【0096】
界面活性剤の使用量は、特に限定されず、水性剥離液の供給による剥離力低下が効果的に発現するように設定することができる。いくつかの態様において、界面活性剤の使用量は、ベースポリマー１００重量部に対して、例えば凡そ５重量部以下であってよく、被着体への接合信頼性の観点から、凡そ３重量部以下とすることが適当であり、好ましくは２重量部未満、より好ましくは１重量部未満であり、０．８重量部未満でもよく、０．６重量部未満でもよく、０．４重量部未満でもよく、０．２重量部未満でもよく、０．１重量部未満でもよい。ＨＬＢの高い（例えば５以上の）界面活性剤は、少量添加でも良好な水剥離性を発揮しやすい傾向がある。また、界面活性剤の添加効果を発揮させる観点から、いくつかの態様において、ベースポリマー１００重量部に対する界面活性剤の量は、例えば０．００１重量部以上とすることができ、水性剥離液の供給による剥離力低下効果をより均一性よく発現する観点から、通常は０．０１重量部以上とすることが適当であり、好ましくは０．０３重量部以上（例えば０．１重量部以上）である。水剥離性を重視する組成では、ベースポリマー１００重量部に対する界面活性剤の量は０．３重量部以上（例えば０．５重量部以上）であってもよい。
【0097】
（架橋剤）
粘着剤層（活性エネルギー線硬化性粘着剤層であり得る。）には、凝集力の調整等を目的として、必要に応じて架橋剤が用いられ得る。架橋剤は、架橋反応後の形態で粘着剤層に含まれていてもよく、架橋反応前の形態で含まれていてもよい。架橋剤の種類は特に制限されず、従来公知の架橋剤のなかから、例えば粘着剤組成物の組成に応じて、該架橋剤が粘着剤層内で適切な架橋機能を発揮するように選択することができる。用いられ得る架橋剤としては、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、メラミン系架橋剤、尿素系架橋剤、金属アルコキシド系架橋剤、金属キレート系架橋剤、金属塩系架橋剤、ヒドラジン系架橋剤、アミン系架橋剤等を例示することができる。これらは１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。いくつかの好ましい態様では、架橋剤として少なくともイソシアネート系架橋剤を使用する。イソシアネート系架橋剤と他の架橋剤（例えば、エポキシ系架橋剤）とを組み合わせて用いてもよい。
粘着剤層（活性エネルギー線硬化性粘着剤層であり得る。）には、凝集力の調整等を目的として、必要に応じて架橋剤が用いられ得る。架橋剤は、架橋反応後の形態で粘着剤層に含まれていてもよく、架橋反応前の形態で含まれていてもよい。架橋剤の種類は特に制限されず、従来公知の架橋剤のなかから、例えば粘着剤組成物の組成に応じて、該架橋剤が粘着剤層内で適切な架橋機能を発揮するように選択することができる。用いられ得る架橋剤としては、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、メラミン系架橋剤、尿素系架橋剤、金属アルコキシド系架橋剤、金属キレート系架橋剤、金属塩系架橋剤、ヒドラジン系架橋剤、アミン系架橋剤等を例示することができる。これらは１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。いくつかの好ましい態様では、架橋剤として少なくともイソシアネート系架橋剤を使用する。イソシアネート系架橋剤と他の架橋剤（例えば、エポキシ系架橋剤）とを組み合わせて用いてもよい。
【0098】
イソシアネート系架橋剤としては、２官能以上の多官能イソシアネート化合物を用いることができる。例えば、トリレンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート、ポリメチレンポリフェニルジイソシアネート、トリス（ｐ－イソシアナトフェニル）チオホスフェート、ジフェニルメタンジイソシアネート等の芳香族イソシアネート；イソホロンジイソシアネート等の脂環族イソシアネート；ヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族イソシアネート；等が挙げられる。市販品としては、トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物（東ソー社製、商品名「コロネートＬ」）、トリメチロールプロパン／ヘキサメチレンジイソシアネート３量体付加物（東ソー社製、商品名「コロネートＨＬ」）、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体（東ソー社製、商品名「コロネートＨＸ」）等のイソシアネート付加物等を例示することができる。
【0099】
エポキシ系架橋剤としては、１分子中に２個以上のエポキシ基を有するものを特に制限なく用いることができる。１分子中に３～５個のエポキシ基を有するエポキシ系架橋剤が好ましい。エポキシ系架橋剤の具体例としては、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’－テトラグリシジル－ｍ－キシレンジアミン、１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、１，６－ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル等が挙げられる。エポキシ系架橋剤の市販品としては、三菱ガス化学社製の商品名「ＴＥＴＲＡＤ－Ｘ」、「ＴＥＴＲＡＤ－Ｃ」、ＤＩＣ社製の商品名「エピクロンＣＲ－５Ｌ」、ナガセケムテックス社製の商品名「デナコールＥＸ－５１２」、日産化学工業社製の商品名「ＴＥＰＩＣ－Ｇ」等が挙げられる。
【0100】
オキサゾリン系架橋剤としては、１分子内に１個以上のオキサゾリン基を有するものを特に制限なく使用することができる。
アジリジン系架橋剤の例としては、トリメチロールプロパントリス［３－（１－アジリジニル）プロピオネート］、トリメチロールプロパントリス［３－（１－（２－メチル）アジリジニルプロピオネート）］等が挙げられる。
カルボジイミド系架橋剤としては、カルボジイミド基を２個以上有する低分子化合物または高分子化合物を用いることができる。
アジリジン系架橋剤の例としては、トリメチロールプロパントリス［３－（１－アジリジニル）プロピオネート］、トリメチロールプロパントリス［３－（１－（２－メチル）アジリジニルプロピオネート）］等が挙げられる。
カルボジイミド系架橋剤としては、カルボジイミド基を２個以上有する低分子化合物または高分子化合物を用いることができる。
【0101】
金属キレート系架橋剤は、典型的には、多価金属が有機化合物と共有結合または配位結合した構造を有するものであり得る。上記多価金属原子としては、Ａｌ、Ｚｒ、Ｃｏ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｖ、Ｚｎ、Ｉｎ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｍｎ、Ｙ、Ｃｅ、Ｂａ、Ｍｏ、Ｌａ、Ｓｎ、Ｔｉ等が挙げられる。なかでも、Ａｌ、Ｚｒ、Ｔｉが好ましい。また、有機化合物としてはアルキルエステル、アルコール化合物、カルボン酸化合物、エーテル化合物、ケトン化合物等が挙げられる。金属キレート系架橋剤は、典型的には該有機化合物中における酸素原子が上記多価金属に結合（共有結合または配位結合）した構成の化合物であり得る。
【0102】
いくつかの態様において、架橋剤として過酸化物を用いてもよい。過酸化物としては、ジ（２－エチルヘキシル）パーオキシジカーボネート、ジ（４－ｔ－ブチルシクロヘキシル）パーオキシジカーボネート、ジ－ｓｅｃ－ブチルパーオキシジカーボネート、ｔ－ブチルパーオキシネオデカノエート、ｔ－へキシルパーオキシピバレート、ｔ－ブチルパーオキシピバレート、ジラウロイルパーオキシド、ジ－ｎ－オクタノイルパーオキシド、１，１，３，３－テトラメチルブチルパーオキシイソブチレート、ジベンゾイルパーオキシド等が挙げられる。これらのなかでも、特に架橋反応効率に優れる過酸化物として、ジ（４－ｔ－ブチルシクロヘキシル）パーオキシジカルボネート、ジラウロイルパーオキシド、ジベンゾイルパーオキシド等が挙げられる。なお、上記重合開始剤として過酸化物を使用した場合には、重合反応に使用されずに残存した過酸化物を架橋反応に使用することも可能である。その場合は過酸化物の残存量を定量して、過酸化物の割合が所定量に満たない場合には、必要に応じて、所定量になるように過酸化物を添加するとよい。過酸化物の定量は、特許４９７１５１７号公報に記載の方法により行うことができる。
【0103】
架橋剤の使用量（２以上の架橋剤を用いる場合にはそれらの合計量）は、特に限定されず、所望の使用効果が得られるように適切に設定し得る。ウエハ（典型的には半導体ウエハ）加工時における被着体との密着性や接合信頼性の観点から、ベースポリマー（例えばアクリル系ポリマー）１００重量部に対する架橋剤の使用量は、通常、凡そ１５重量部以下とすることが適当であり、好ましくは凡そ１２重量部以下、より好ましくは凡そ１０重量部以下であり、７．０重量部未満でもよく、５．０重量部未満でもよく、４．０重量部未満でもよく、３．０重量部未満でもよく、２．０重量部未満でもよく、１．０重量部未満でもよく、０．５重量部未満でもよい。
また、例えば活性エネルギー線硬化性粘着剤層により構成された粘着面を有する粘着シートでは、活性エネルギー線による硬化処理前において適度な凝集性を発揮する観点から、ベースポリマー（例えばアクリル系ポリマー）１００重量部に対する架橋剤の使用量は、通常、凡そ０．００５重量部以上とすることが適当であり、好ましくは凡そ０．０１重量部以上であり、凡そ０．０５重量部以上でもよく、凡そ０．１重量部以上でもよく、凡そ０．２重量部以上でもよい。いくつかの態様において、ベースポリマー１００重量部に対する架橋剤の使用量は、好ましくは０．３重量部超、より好ましくは０．５重量部超であり、１．０重量部超でもよく、１．５重量部超でもよく、２．０重量部超でもよく、３．０重量部超でもよく、４．０重量部超でもよい。活性エネルギー線による硬化処理後に水剥離される態様で用いられ得る粘着シートでは、架橋剤の使用量が多くなると、硬化収縮による歪みが水性剥離液の供給時まで維持されやすくなり、水剥離法の適用による軽剥離化の効果がよりよく発揮され得る。
また、例えば活性エネルギー線硬化性粘着剤層により構成された粘着面を有する粘着シートでは、活性エネルギー線による硬化処理前において適度な凝集性を発揮する観点から、ベースポリマー（例えばアクリル系ポリマー）１００重量部に対する架橋剤の使用量は、通常、凡そ０．００５重量部以上とすることが適当であり、好ましくは凡そ０．０１重量部以上であり、凡そ０．０５重量部以上でもよく、凡そ０．１重量部以上でもよく、凡そ０．２重量部以上でもよい。いくつかの態様において、ベースポリマー１００重量部に対する架橋剤の使用量は、好ましくは０．３重量部超、より好ましくは０．５重量部超であり、１．０重量部超でもよく、１．５重量部超でもよく、２．０重量部超でもよく、３．０重量部超でもよく、４．０重量部超でもよい。活性エネルギー線による硬化処理後に水剥離される態様で用いられ得る粘着シートでは、架橋剤の使用量が多くなると、硬化収縮による歪みが水性剥離液の供給時まで維持されやすくなり、水剥離法の適用による軽剥離化の効果がよりよく発揮され得る。
【0104】
架橋剤としてイソシアネート系架橋剤を使用する態様では、ベースポリマー１００重量部に対するイソシアネート系架橋剤の使用量は、硬化処理前において適度な凝集性を発揮する観点から、通常、凡そ０．００５重量部以上とすることが適当であり、好ましくは凡そ０．０１重量部以上であり、凡そ０．０５重量部以上でもよく、凡そ０．１重量部以上でもよく、凡そ０．２重量部以上でもよく、０．３重量部超でもよく、０．５重量部超でもよく、１．０重量部超でもよく、１．５重量部超でもよく、２．０重量部超でもよく、３．０重量部超でもよく、４．０重量部超でもよい。活性エネルギー線による硬化処理後に水剥離される態様で用いられ得る粘着シートでは、イソシアネート系架橋剤の使用量の増大により、水剥離法の適用による軽剥離化の効果がよりよく発揮され得る。
また、ベースポリマー１００重量部に対するイソシアネート系架橋剤の使用量は、通常、凡そ１５重量部以下とすることが適当であり、ウエハ（典型的には半導体ウエハ）加工時における被着体への密着性や接合信頼性等の観点から、好ましくは凡そ１２重量部以下、より好ましくは凡そ１０重量部以下であり、７．０重量部未満でもよく、５．０重量部未満でもよく、４．０重量部未満でもよく、３．０重量部未満でもよく、２．０重量部未満でもよく、１．０重量部未満でもよく、０．５重量部未満でもよい。
また、ベースポリマー１００重量部に対するイソシアネート系架橋剤の使用量は、通常、凡そ１５重量部以下とすることが適当であり、ウエハ（典型的には半導体ウエハ）加工時における被着体への密着性や接合信頼性等の観点から、好ましくは凡そ１２重量部以下、より好ましくは凡そ１０重量部以下であり、７．０重量部未満でもよく、５．０重量部未満でもよく、４．０重量部未満でもよく、３．０重量部未満でもよく、２．０重量部未満でもよく、１．０重量部未満でもよく、０．５重量部未満でもよい。
【0105】
架橋反応をより効果的に進行させるために、架橋触媒を用いてもよい。架橋触媒としては、テトラ－ｎ－ブチルチタネート、テトライソプロピルチタネート、ナーセム第二鉄、ブチルスズオキシド、ジオクチルスズジラウレート等の金属系架橋触媒等が例示される。なかでも、ジオクチルスズジラウレート等のスズ系架橋触媒が好ましい。架橋触媒の使用量は特に制限されない。ベースポリマー１００重量部に対する架橋触媒の使用量は、例えば凡そ０．０００１重量部以上１重量部以下であってよく、０．００１重量部以上０．１重量部以下でもよく、０．００５重量以上０．５重量部以下でもよい。
【0106】
（多官能性モノマー）
粘着剤層には、必要に応じて多官能性モノマーが用いられ得る。多官能性モノマーは、上述のような架橋剤に代えて、あるいは該架橋剤と組み合わせて用いられて、凝集力の調整等の目的のために役立ち得る。多官能性モノマーとしては、炭素－炭素二重結合（例えば、（メタ）アクリロイル基等のエチレン性不飽和基）を２以上有する化合物を用いることができる。多官能性モノマーは、未反応の形態で粘着剤層に含まれていてもよく、反応後（架橋後）の形態で粘着剤層に含まれていてもよい。未反応の多官能性モノマーを含む粘着剤層は、該粘着剤層に紫外線等の活性エネルギー線を照射することにより上記多官能性モノマーを反応させて架橋構造を形成することのできる活性エネルギー線硬化性粘着剤層であり得る。
粘着剤層には、必要に応じて多官能性モノマーが用いられ得る。多官能性モノマーは、上述のような架橋剤に代えて、あるいは該架橋剤と組み合わせて用いられて、凝集力の調整等の目的のために役立ち得る。多官能性モノマーとしては、炭素－炭素二重結合（例えば、（メタ）アクリロイル基等のエチレン性不飽和基）を２以上有する化合物を用いることができる。多官能性モノマーは、未反応の形態で粘着剤層に含まれていてもよく、反応後（架橋後）の形態で粘着剤層に含まれていてもよい。未反応の多官能性モノマーを含む粘着剤層は、該粘着剤層に紫外線等の活性エネルギー線を照射することにより上記多官能性モノマーを反応させて架橋構造を形成することのできる活性エネルギー線硬化性粘着剤層であり得る。
【0107】
多官能性モノマーとしては、例えば、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１２－ドデカンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、ビニル（メタ）アクリレート、ジビニルベンゼン、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート、ブチルジオール（メタ）アクリレート、ヘキシルジオールジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。なかでも、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートを好適に使用することができる。多官能性モノマーは、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。
【0108】
多官能性モノマーを用いる場合における適切な使用量は、その分子量や官能基数等により異なるが、通常は、ベースポリマー（例えば、アクリル系ポリマー）１００重量部に対して０．０１重量部～３．０重量部程度の範囲とすることが適当である。いくつかの態様において、ベースポリマー１００重量部に対する多官能性モノマーの使用量は、例えば０．０２重量部以上であってもよく、０．１重量部以上でもよく、０．５重量部以上、１．０重量部以上または２．０重量部以上でもよい。多官能性モノマーの使用量の増大により、より高い凝集力が得られる傾向にある。一方、過度な凝集力向上によるウエハ加工時の密着性低下や粘着シートの保存安定性の低下を避ける観点から、ベースポリマー１００重量部に対する多官能性モノマーの使用量は、例えば１０重量部以下であってよく、５．０重量部以下でもよく、３．０重量部以下でもよい。あるいは、多官能性モノマーを使用しなくてもよい。例えば、活性エネルギー線の照射により架橋反応を引き起こす構造（炭素－炭素二重結合、ベンゾフェノン構造等）を有するポリマーを含む粘着剤層は、未反応の多官能性モノマーを実質的に含まない粘着剤層であるか、多官能性モノマーを実質的に含まない粘着剤組成物から形成された粘着剤層であり得る。ここで、粘着剤組成物が多官能性モノマーを実質的に含まないとは、ベースポリマー１００重量部に対する多官能性モノマー量が０．０５重量部未満（例えば０．０１重量部未満）であることをいう。
【0109】
（その他の任意成分）
粘着剤層（活性エネルギー線硬化性粘着剤層であり得る。）には、必要に応じて、粘着付与樹脂（例えば、ロジン系、石油系、テルペン系、フェノール系、ケトン系等の粘着付与樹脂）、粘度調整剤（例えば増粘剤）、レベリング剤、可塑剤、充填剤、顔料や染料等の着色剤、安定剤、防腐剤、酸化防止剤、老化防止剤等の、粘着剤の分野において一般的な各種の添加剤を、その他の任意成分として含ませ得る。このような各種添加剤については、従来公知のものを常法により使用することができ、特に本発明を特徴づけるものではないので、詳細な説明は省略する。
ウエハ加工時における被着体への密着性と該被着体からの除去時の剥離性（例えば、水剥離による剥離性）とをバランスよく両立する観点から、いくつかの態様において、粘着剤層における粘着付与樹脂の含有量は、ベースポリマー１００重量部に対して例えば５重量部未満、さらには３重量部未満とすることができ、１重量部未満としてもよく、０．５重量部未満としてもよく、０．１重量部未満としてもよい。粘着付与樹脂を実質的含まない（例えば、ベースポリマー１００重量部に対する粘着剤層の含有量が０～０．０５重量部の）粘着剤層であってもよい。このように粘着付与樹脂の含有量を制限することは、例えば活性エネルギー線硬化性粘着剤層における硬化性向上の観点からも有利となり得る。
粘着剤層（活性エネルギー線硬化性粘着剤層であり得る。）には、必要に応じて、粘着付与樹脂（例えば、ロジン系、石油系、テルペン系、フェノール系、ケトン系等の粘着付与樹脂）、粘度調整剤（例えば増粘剤）、レベリング剤、可塑剤、充填剤、顔料や染料等の着色剤、安定剤、防腐剤、酸化防止剤、老化防止剤等の、粘着剤の分野において一般的な各種の添加剤を、その他の任意成分として含ませ得る。このような各種添加剤については、従来公知のものを常法により使用することができ、特に本発明を特徴づけるものではないので、詳細な説明は省略する。
ウエハ加工時における被着体への密着性と該被着体からの除去時の剥離性（例えば、水剥離による剥離性）とをバランスよく両立する観点から、いくつかの態様において、粘着剤層における粘着付与樹脂の含有量は、ベースポリマー１００重量部に対して例えば５重量部未満、さらには３重量部未満とすることができ、１重量部未満としてもよく、０．５重量部未満としてもよく、０．１重量部未満としてもよい。粘着付与樹脂を実質的含まない（例えば、ベースポリマー１００重量部に対する粘着剤層の含有量が０～０．０５重量部の）粘着剤層であってもよい。このように粘着付与樹脂の含有量を制限することは、例えば活性エネルギー線硬化性粘着剤層における硬化性向上の観点からも有利となり得る。
【0110】
いくつかの好ましい態様において、上記粘着剤層は、ポリマー（典型的にはベースポリマー）の含有量が、該粘着剤層の全重量の凡そ８０重量％以上を占める組成であり得る。これにより、水剥離を適用して剥離力を低下させる効果（軽剥離化効果）が好ましく実現され得る。そのような観点から、上記ポリマーの含有量は、粘着剤層の全重量の凡そ８５重量％以上であることが好ましく、凡そ９０重量％以上であることがより好ましく、凡そ９２重量％以上でもよく、凡そ９５重量％以上でもよい。
【0111】
（活性エネルギー線硬化性粘着剤層）
いくつかの態様において、粘着面を構成する粘着剤層は、活性エネルギー線硬化性粘着剤により構成された粘着剤層（活性エネルギー線硬化性粘着剤層）であることが好ましい。かかる粘着剤層を有する粘着シートは、被着体への貼付け後に活性エネルギー線を照射して活性エネルギー線硬化性粘着剤層を硬化させ、その後に被着体からの剥離前線に水等の水性剥離液を供給して剥離（水剥離）することにより、上記被着体からの剥離力を特に効果的に低減することができる。その理由として、特に限定的に解釈されるものではないが、被着体に貼り付けられた状態の活性エネルギー線硬化性粘着剤層に活性エネルギー線を照射すると、該粘着剤層の急激な硬化収縮により被着体からのミクロな浮きが発生し、または粘着剤層内に歪みが蓄積され、この状態で水性剥離液を供給すると、粘着剤層と被着体との界面への該水性剥離液の浸入が素早く進行し、剥離力が効果的に低下するものと考えらえる。活性エネルギー線の照射により粘着剤層が硬化して剥離力が低下するように構成された粘着シートを、活性エネルギー線の照射後に水剥離法で剥離することにより、粘着剤層の硬化による剥離力の低下と、上述した急激な硬化収縮による水剥離力の低下との相乗効果によって、特に顕著な軽剥離化効果が発揮され得る。
いくつかの態様において、粘着面を構成する粘着剤層は、活性エネルギー線硬化性粘着剤により構成された粘着剤層（活性エネルギー線硬化性粘着剤層）であることが好ましい。かかる粘着剤層を有する粘着シートは、被着体への貼付け後に活性エネルギー線を照射して活性エネルギー線硬化性粘着剤層を硬化させ、その後に被着体からの剥離前線に水等の水性剥離液を供給して剥離（水剥離）することにより、上記被着体からの剥離力を特に効果的に低減することができる。その理由として、特に限定的に解釈されるものではないが、被着体に貼り付けられた状態の活性エネルギー線硬化性粘着剤層に活性エネルギー線を照射すると、該粘着剤層の急激な硬化収縮により被着体からのミクロな浮きが発生し、または粘着剤層内に歪みが蓄積され、この状態で水性剥離液を供給すると、粘着剤層と被着体との界面への該水性剥離液の浸入が素早く進行し、剥離力が効果的に低下するものと考えらえる。活性エネルギー線の照射により粘着剤層が硬化して剥離力が低下するように構成された粘着シートを、活性エネルギー線の照射後に水剥離法で剥離することにより、粘着剤層の硬化による剥離力の低下と、上述した急激な硬化収縮による水剥離力の低下との相乗効果によって、特に顕著な軽剥離化効果が発揮され得る。
【0112】
いくつかの態様において、活性エネルギー線硬化性粘着剤層は、被着体への貼付け後に活性エネルギー線を照射して硬化させることにより、上記被着体からの剥離力が照射前に比べて低下するように構成されていることが好ましい。このような活性エネルギー線硬化性粘着剤層を有する粘着シートは、活性エネルギー線の照射前には被着体に対する接合信頼性がよく、かつ活性エネルギー線の照射後に水性剥離液を用いて剥離することにより剥離力を顕著に低下させることができる。
【0113】
活性エネルギー線硬化性粘着剤層の一好適例として、該粘着剤層内に炭素－炭素二重結合を含むことによって硬化性を発揮するものが挙げられる。炭素－炭素二重結合は、工業的に適用され得る通常の保管環境では空気中の湿気や酸度等と反応せず化学的に安定である。その一方で、活性エネルギー線を照射してラジカルが発生すると、反応（例えば重合反応や架橋反応）して硬化する。取扱い容易性等の観点から好ましい活性エネルギー線として、光（例えば紫外線）が挙げられる。
【0114】
炭素－炭素二重結合を含むことによって硬化性を発揮する粘着剤層において、該粘着剤層における炭素－炭素二重結合の存在形態は特に限定されない。上記炭素－炭素二重結合は、例えば、炭素－炭素二重結合を有するポリマー（例えばベースポリマー）や、炭素－炭素二重結合を有するモノマー（例えば、上述のような未反応の多官能性モノマー）等の形態で、粘着剤層内に含まれ得る。これらは、一種を単独で使用してもよく、二種以上を組み合わせて使用してもよい。
【0115】
ポリマーに含まれる炭素－炭素二重結合の形態や、モノマーに含まれる炭素－炭素二重結合の形態は、特に限定されない。例えば、炭素－炭素二重結合は、エチレン性不飽和基の形態でポリマーまたはモノマー中に存在し得る。エチレン性不飽和基の例としては、（メタ）アクリロイル基、ビニル基、アリル基、メタリル基等が挙げられる。反応性の観点から（メタ）アクリロイル基が好ましい。
【0116】
（炭素－炭素二重結合を有するポリマー）
いくつかの態様において、活性エネルギー線硬化性粘着剤層は、炭素－炭素二重結合を有するポリマーを含むことが好ましい。以下、炭素－炭素二重結合を有するポリマーを「ポリマー（ＰＤ）」ともいう。例えば、炭素－炭素二重結合をエチレン性不飽和基の形態で有するポリマー（ＰＤ）が好ましい。いくつかの好ましい態様において、ポリマー（ＰＤ）は、粘着剤層のベースポリマーとして、活性エネルギー線硬化性粘着剤層に含まれ得る。他のいくつかの態様において、ポリマー（ＰＤ）は、炭素－炭素二重結合非含有のベースポリマーに加えて用いられる副成分として、活性エネルギー線硬化性粘着剤層に含まれていてもよい。ポリマー（ＰＤ）をベースポリマーとして含み、さらに炭素－炭素二重結合を有するモノマー（例えば、未反応の多官能性モノマー）を副成分として含む活性エネルギー線硬化性粘着剤層であってもよい。
いくつかの態様において、活性エネルギー線硬化性粘着剤層は、炭素－炭素二重結合を有するポリマーを含むことが好ましい。以下、炭素－炭素二重結合を有するポリマーを「ポリマー（ＰＤ）」ともいう。例えば、炭素－炭素二重結合をエチレン性不飽和基の形態で有するポリマー（ＰＤ）が好ましい。いくつかの好ましい態様において、ポリマー（ＰＤ）は、粘着剤層のベースポリマーとして、活性エネルギー線硬化性粘着剤層に含まれ得る。他のいくつかの態様において、ポリマー（ＰＤ）は、炭素－炭素二重結合非含有のベースポリマーに加えて用いられる副成分として、活性エネルギー線硬化性粘着剤層に含まれていてもよい。ポリマー（ＰＤ）をベースポリマーとして含み、さらに炭素－炭素二重結合を有するモノマー（例えば、未反応の多官能性モノマー）を副成分として含む活性エネルギー線硬化性粘着剤層であってもよい。
【0117】
ポリマー（ＰＤ）の有する炭素－炭素二重結合の形態は特に限定されない。ポリマー（ＰＤ）は、炭素－炭素二重結合を側鎖に有するポリマーであってもよく、主鎖に有するポリマーであってもよい。ここで、炭素－炭素二重結合を主鎖に有するとは、ポリマー（ＰＤ）の主鎖骨格中に炭素－炭素二重結合が存在すること、主鎖末端に炭素－炭素二重結合が存在することを包含する。炭素－炭素二重結合の反応性の観点から、炭素－炭素二重結合を側鎖に有するポリマー（ＰＤ）を好ましく採用し得る。ポリマー（ＰＤ）に炭素－炭素二重結合を含ませる方法は特に限定されず、当業者に公知の方法のなかから適切な方法が選択され得る。
【0118】
ポリマー（ＰＤ）としては、特に限定されず、粘着剤層の特性等を考慮して適当なポリマーを選択して用いることができる。ポリマー（ＰＤ）としては、炭素－炭素二重結合を含まないか炭素－炭素二重結合の含有量が目的物に比べて少ないポリマー（一次ポリマー）に対して、炭素－炭素二重結合を化学修飾等の方法によって導入したもの（二次ポリマー）が好ましく用いられ得る。
【0119】
炭素－炭素二重結合の一次ポリマーへの導入方法の具体例としては、官能基（官能基Ａ）を有するモノマーが共重合された一次ポリマーを用意し、該一次ポリマーに、一分子内に上記官能基Ａと反応し得る官能基（官能基Ｂ）および炭素－炭素二重結合を有する化合物（以下、「官能基Ｂ含有不飽和化合物」ともいう。）を、炭素－炭素二重結合が消失しないように反応させる方法が挙げられる。官能基Ａと官能基Ｂとの反応は、縮合反応、付加反応等の、ラジカル発生を伴わない反応であることが好ましい。
【0120】
官能基Ａと官能基Ｂとの組合せの例としては、カルボキシ基とエポキシ基との組合せ、カルボキシ基とアジリジル基との組合せ、水酸基とイソシアネート基との組合せ等が挙げられる。なかでも、反応追跡性の観点から、水酸基とイソシアネート基との組合せが好ましい。また、上記官能基Ａ，Ｂの組合せは、炭素－炭素二重結合を有するポリマーが得られる組合せであれば、上記組合せ中における一方の官能基を官能基Ａとし、他方を官能基Ｂとしてもよく、あるいは上記一方の官能基を官能基Ｂとし、上記他方を官能基Ａとしてもよい。例えば、水酸基とイソシアネート基との組合せで説明すると、官能基Ａは水酸基であってもよく（その場合、官能基Ｂがイソシアネート基となる。）、イソシアネート基であってもよい（その場合、官能基Ｂが水酸基となる。）。なかでも、一次ポリマーが水酸基を有し、上記化合物がイソシアネート基を有する組合せが好ましい。この組合せは、一次ポリマーがアクリル系ポリマーである場合に特に好ましい。
【0121】
また、上記一次ポリマーとしてビニルアルコール系ポリマー（典型的にはポリビニルアルコール）を用い、該ビニルアルコール系ポリマー（典型的には、炭素－炭素二重結合非含有のビニルアルコール系ポリマー）にビニルブロミド等のハロゲン化ビニルやアリルブロミド等のハロゲン化アリルを反応させる方法も、炭素－炭素二重結合を有するポリマーを得る方法の一好適例として挙げられる。この方法では、上記反応は適当な塩基性条件で行われ、該反応により、側鎖にビニル基を含有するビニルアルコール系ポリマーが得られる。また例えば、特許第４５０２３６３号公報に開示されるような重合体を産生する微生物を利用して、炭素－炭素二重結合を有するポリマーを調製する方法を採用してもよい。この方法における微生物種、微生物培養条件等の諸条件は上記特許公報に記載の条件を採用するか、当業者の技術常識の範囲内で適宜改変するなどして設定すればよい。
【0122】
上記官能基Ａのモル（ＭＡ）と官能基Ｂのモル（ＭＢ）とのモル比（ＭＡ／ＭＢ）は、両者の反応性の観点から、通常は０．２以上とすることが適当であり、０．５以上でもよく、０．７以上でもよく、１．０以上でもよい。いくつかの態様において、モル比（ＭＡ／ＭＢ）は、１．０超でもよく、１．５超でもよく、２．０超でもよい。例えば官能基Ａを他の反応（架橋剤との架橋反応等）に利用する場合には、モル比（ＭＡ／ＭＢ）を１．０超とすることが好ましい。また、モル比（ＭＡ／ＭＢ）は、例えば２０以下であり得る。いくつかの態様において、光照射前における被着体への密着性と光照射後における該被着体からの剥離性（例えば、水剥離による剥離性）とをバランスよく両立する観点から、モル比（ＭＡ／ＭＢ）は、１０以下とすることが好ましく、５．０以下でもよく、２．５以下でもよく、１．８以下でもよく、１．５以下でもよい。
【0123】
官能基Ｂと炭素－炭素二重結合とを有する化合物（以下、「官能基Ｂ含有不飽和化合物」ともいう。）の使用量は、上述のモル比（ＭＡ／ＭＢ）を満たす範囲で、官能基Ａを有する一次ポリマー１００重量部に対して、例えば１．０重量部以上とすることができ、３．０重量部以上でもよく、５．０重量部以上でもよく、７．０重量部以上でもよい。光照射前の密着性と光照射後の剥離性（例えば、水剥離による剥離性）とをより高レベルで両立する観点から、いくつかの態様において、上記一次ポリマー１００重量部に対する官能基Ｂ含有不飽和化合物の使用量は、好ましくは９．０重量部以上、より好ましくは１０重量部以上であり、１２重量部以上でもよく、１４重量部以上でもよく、１６重量部以上でもよい。また、上記一次ポリマー１００重量部に対する官能基Ｂ含有不飽和化合物の使用量は、例えば４０重量部未満とすることができ、通常は３５重量部未満とすることが適当であり、３０重量部未満とすることが好ましく、２５重量部未満でもよく、２０重量部未満でもよい。いくつかの態様において、上記一次ポリマー１００重量部に対する官能基Ｂ含有不飽和化合物の使用量は、１８重量部未満でもよく、１６重量部未満でもよく、１３重量部未満でもよく、１０重量部未満でもよく、７重量部未満でもよい。
【0124】
炭素－炭素二重結合を有するポリマーの一好適例として、例えば、側鎖に（メタ）アクリロイル基が導入されたアクリル系ポリマーが挙げられる。このようなアクリル系ポリマーは、例えば、共重合により水酸基（官能基Ａ）が導入されたアクリル系一次ポリマーと、炭素－炭素二重結合とイソシアネート基（官能基Ｂ）とを有する化合物とを、炭素－炭素二重結合が消失しないように反応させることにより得ることができる。
【0125】
また、炭素－炭素二重結合を有するポリマーは、例えばジエン系ポリマー（典型的には共役ジエン系ポリマー）であってもよい。ジエン系ポリマー（典型的には共役ジエン系ポリマー）は、典型的にはジエン（典型的には共役ジエン）を重合または共重合して得られる重合体である。ジエン系ポリマー（典型的には共役ジエン系ポリマー）としては、ポリブタジエン、スチレンブタジエン共重合体等のブタジエン系ポリマー；ポリイソプレン、スチレンイソプレン共重合体等のイソプレン系ポリマー；ポリクロロプレン等のクロロプレン系ポリマー；等が挙げられる。
【0126】
活性エネルギー線硬化性粘着剤層の他の例として、活性エネルギー線の照射により架橋反応を引き起こす構造であって炭素－炭素二重結合以外の構造を有するポリマーを含む粘着剤層が挙げられる。例えば、ベンゾフェノン構造を側鎖に有するポリマーを含む粘着剤は、上記ベンゾフェノン構造を利用して光架橋させることにより活性エネルギー線硬化性を発現し得る。ベンゾフェノン構造を側鎖に有するポリマーとしては、ベンゾフェノン構造を側鎖に有するアクリル系ポリマーを好ましく採用し得る。
【0127】
（光開始剤）
活性エネルギー線硬化性粘着剤層を硬化させるための活性エネルギー線として紫外線を利用する場合、反応促進または光エネルギーの利用効率向上の観点から、上記粘着剤層には光開始剤を含有させることが好ましい。
上記光開始剤としては、例えば、ベンゾインエーテル系光開始剤、アセトフェノン系光開始剤、α－ヒドロキシケトン系光開始剤、芳香族スルホニルクロリド系光開始剤、光活性オキシム系光開始剤、ベンゾイン系光開始剤、ベンジル系光開始剤、ベンゾフェノン系光開始剤、ケタール系光開始剤、チオキサントン系光開始剤、α－アミノケトン系光開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光開始剤等が挙げられる。光開始剤は、一種を単独でまたは二種以上を組み合わせて用いることができる。
活性エネルギー線硬化性粘着剤層を硬化させるための活性エネルギー線として紫外線を利用する場合、反応促進または光エネルギーの利用効率向上の観点から、上記粘着剤層には光開始剤を含有させることが好ましい。
上記光開始剤としては、例えば、ベンゾインエーテル系光開始剤、アセトフェノン系光開始剤、α－ヒドロキシケトン系光開始剤、芳香族スルホニルクロリド系光開始剤、光活性オキシム系光開始剤、ベンゾイン系光開始剤、ベンジル系光開始剤、ベンゾフェノン系光開始剤、ケタール系光開始剤、チオキサントン系光開始剤、α－アミノケトン系光開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光開始剤等が挙げられる。光開始剤は、一種を単独でまたは二種以上を組み合わせて用いることができる。
【0128】
べンゾインエーテル系光開始剤としては、例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、２，２－ジメトキシ－１，２－ジフェニルエタン－１－オン、アニソールメチルエーテル等が挙げられる。アセトフェノン系光開始剤としては、例えば、２，２－ジエトキシアセトフェノン、２，２－ジメトキシ－２－フェニルアセトフェノン、１－ヒドロキシ－シクロヘキシル－フェニルケトン、４－フェノキシジクロロアセトフェノン、４－ｔ－ブチル－ジクロロアセトフェノン等が挙げられる。α－ヒドロキシケトン系光開始剤としては、例えば、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニル－プロパン－１－オン、１－［４－（２－ヒドロキシエトキシ）－フェニル］－２－ヒドロキシ－２－メチル－１－プロパン－１－オン等が挙げられる。芳香族スルホニルクロリド系光開始剤としては、例えば、２－ナフタレンスルホニルクロライド等が挙げられる。光活性オキシム系光開始剤としては、例えば、１－フェニル－１，１－プロパンジオン－２－（ｏ－エトキシカルボニル）－オキシム等が挙げられる。ベンゾイン系光開始剤としては、例えば、ベンゾイン等が挙げられる。ベンジル系光開始剤としては、例えば、ベンジル等が挙げられる。ベンゾフェノン系光開始剤としては、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３’－ジメチル－４－メトキシベンゾフェノン、ポリビニルベンゾフェノン、α－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等が挙げられる。ケタール系光開始剤としては、例えば、ベンジルジメチルケタール等が挙げられる。チオキサントン系光開始剤としては、例えば、チオキサントン、２－クロロチオキサントン、２－メチルチオキサントン、２，４－ジメチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４－ジクロロチオキサントン、２，４－ジエチルチオキサントン、２，４－ジイソプロピルチオキサントン、ドデシルチオキサントン等が挙げられる。α－アミノケトン系光開始剤としては、例えば、２－メチル－１－［４－（メチルチオ）フェニル」－２－モルフォリノプロパン－１－オン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）－ブタノン－１等が挙げられる。アシルホスフィンオキサイド系光開始剤としては、例えば、２，４，６－トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）－フェニルフォスフィンオキサイド等が挙げられる。
【0129】
上記光開始剤として、市販品を用いてもよい。例えば、ＩＧＭ Ｒｅｇｉｎｓ社製の商品名「オムニラッド６５１」、「オムニラッド１８４」、「オムニラッド２９５９」、「オムニラッド９０７」、「オムニラッド３６９」、「オムニラッド１１７３」、「オムニラッド ＴＰＯ」等が挙げられる。
【0130】
いくつかの態様において、光開始剤として、加熱によって分解またはラジカル生成し難い光開始剤を使用し得る。例えば、光開始剤として、１０重量％減少温度が２００℃以上である耐熱性の光開始剤を用いることができる。このような耐熱性の光開始剤を用いることにより、硬化処理前に高温に曝されることがあっても、活性エネルギー線による硬化処理による剥離力の低下効果が損なわれにくくなるという効果が発揮され得る。なお、１０重量％減少温度とは、光開始剤を、窒素雰囲気下に置き、昇温速度２℃／ｍｉｎで２３℃から３００℃まで環境温度を上昇させた際に、光開始剤の重量が、昇温前の重量に対して１０重量％減少した（すなわち、光開始剤の重量が、昇温前の重量に対して９０重量％となった）時点での該環境温度を意味する。光開始剤の１０重量％減少温度は、より好ましくは２１０℃以上であり、さらに好ましくは２２０℃以上である。１０重量％減少温度がこのような範囲である光開始剤としては、例えば、ＩＧＭ Ｒｅｇｉｎｓ社製の商品名「オムニラッド３６９」、「オムニラッド１２７」、「オムニラッド３７９」、「オムニラッド８１９」；ＢＡＳＦジャパン社製の商品名「イルガキュアＯＸＥ０２」；Ｌａｍｂｅｒｔｉ社製の商品名「エサキュアｏｎｅ」、「エサキュア１００１ｍ」；旭電化工業社製の商品名「アデカオプトマーＮ－１４１４」、「アデカオプトマーＮ－１６０６」、「アデカオプトマーＮ－１７１７」等が挙げられる。
【0131】
光開始剤を含む粘着剤層は、該光開始剤を含む粘着剤組成物を用いて形成することができる。粘着剤組成物に光開始剤を含有させる方法は、特に限定されない。例えば、粘着剤組成物中に、典型的にはポリマー（重合が完了したポリマー）含有液に、光開始剤を添加混合することが好ましい。この方法では、光開始剤は、他の添加成分（例えば架橋剤等）とともに該組成物中に添加され得る。他の方法としては、光開始剤として機能し得る重合開始剤をポリマー重合時に添加する方法が例示される。この方法では、重合開始剤は、重合後も所定量が残存するように添加される。重合開始剤の残存量（光開始剤の存在量）は、重合開始剤の添加量だけでなく、ポリマー重合条件や粘着剤層形成時の乾燥条件や硬化条件等によっても調整可能である。
【0132】
粘着剤層が光開始剤を含む場合、該粘着剤層における光開始剤の含有量は、特に限定されず、所望の効果が適切に発揮されるように設定することができる。いくつかの態様において、光開始剤の含有量は、粘着剤層のベースポリマー１００重量部に対して、例えば凡そ０．０５重量部以上であってよく、凡そ０．１重量部以上であることが好ましく、凡そ０．５重量部以上であることがより好ましい。光開始剤の含有量の増大により、粘着剤層の活性エネルギー線硬化性が向上する。いくつかの態様において、ベースポリマー１００重量部に対する光開始剤の含有量は、例えば凡そ１．０重量部以上であってよく、凡そ２．０重量部以上でもよく、凡そ２．５重量部以上でもよい。また、ベースポリマー１００重量部に対する光開始剤の含有量は、例えば凡そ２０重量部以下とすることができ、通常は凡そ１０重量部以下とすることが適当であり、凡そ８重量部以下とすることが好ましく、凡そ６重量部以下としてもよく、凡そ４重量部以下としてもよい。光開始剤の含有量が多すぎないことは、粘着剤層粘着シートの保存安定性（例えば、使用前の粘着シートを保存することによる性能変化を抑制する性能）の観点から好ましい。
【0133】
＜粘着剤層の形成＞
ここに開示される粘着シートの粘着剤層（例えば、活性エネルギー線硬化性粘着剤層）は、ベースポリマー（例えば、アクリル系ポリマー）を含み、必要に応じて他の任意成分を含む粘着剤組成物から形成された粘着剤層であり得る。上記粘着剤組成物は、有機溶媒中に粘着剤（粘着成分）を含む形態の溶剤型粘着剤組成物、紫外線や放射線等の活性エネルギー線により硬化して粘着剤を形成するように調製された活性エネルギー線硬化型粘着剤組成物、粘着剤が水に分散した形態の水分散型粘着剤組成物、加熱溶融状態で塗工され、室温付近まで冷えると粘着剤を形成するホットメルト型粘着剤組成物、等の種々の形態であり得る。なお、上記活性エネルギー硬化型粘着剤組成物は、典型的には、常温（概ね０℃～４０℃、例えば２５℃程度）で塗工可能な程度の流動性を示し、活性エネルギーの照射により硬化して粘着剤（粘弾性体）を形成する液状組成物である。
いくつかの態様に係る粘着シートは、溶剤型粘着剤組成物または活性エネルギー線硬化型粘着剤組成物を用いて形成された粘着剤層を有する構成であり得る。活性エネルギー線硬化性粘着剤層を形成するための粘着剤組成物としては、活性エネルギー線硬化性の制御しやすさ等の観点から、溶剤型粘着剤組成物を好ましく採用し得る。
ここに開示される粘着シートの粘着剤層（例えば、活性エネルギー線硬化性粘着剤層）は、ベースポリマー（例えば、アクリル系ポリマー）を含み、必要に応じて他の任意成分を含む粘着剤組成物から形成された粘着剤層であり得る。上記粘着剤組成物は、有機溶媒中に粘着剤（粘着成分）を含む形態の溶剤型粘着剤組成物、紫外線や放射線等の活性エネルギー線により硬化して粘着剤を形成するように調製された活性エネルギー線硬化型粘着剤組成物、粘着剤が水に分散した形態の水分散型粘着剤組成物、加熱溶融状態で塗工され、室温付近まで冷えると粘着剤を形成するホットメルト型粘着剤組成物、等の種々の形態であり得る。なお、上記活性エネルギー硬化型粘着剤組成物は、典型的には、常温（概ね０℃～４０℃、例えば２５℃程度）で塗工可能な程度の流動性を示し、活性エネルギーの照射により硬化して粘着剤（粘弾性体）を形成する液状組成物である。
いくつかの態様に係る粘着シートは、溶剤型粘着剤組成物または活性エネルギー線硬化型粘着剤組成物を用いて形成された粘着剤層を有する構成であり得る。活性エネルギー線硬化性粘着剤層を形成するための粘着剤組成物としては、活性エネルギー線硬化性の制御しやすさ等の観点から、溶剤型粘着剤組成物を好ましく採用し得る。
【0134】
ここに開示される粘着シートの粘着剤層は、粘着剤組成物を適当な表面に付与（例えば塗布）した後、硬化処理（乾燥、架橋、重合等）を適宜施すことにより形成され得る。２種以上の硬化処理を行う場合、これらは、同時に、または多段階にわたって行うことができる。二層以上の多層構造の粘着剤層は、あらかじめ形成した粘着剤層を貼り合わせることによって作製することができる。あるいは、あらかじめ形成した第一の粘着剤層の上に粘着剤組成物を塗布し、該粘着剤組成物を硬化させて第二の粘着剤層を形成してもよい。
【0135】
粘着剤組成物の塗布は、例えば、グラビアロールコーター、リバースロールコーター、キスロールコーター、ディップロールコーター、バーコーター、ナイフコーター、スプレーコーター等の慣用のコーターを用いて実施することができる。支持体を有する形態の粘着シートでは、支持体上に粘着剤層を設ける方法として、該支持体に粘着剤組成物を直接付与して粘着剤層を形成する直接法を用いてもよく、剥離面上に形成した粘着剤層を支持体に転写する転写法を用いてもよい。
【0136】
ここに開示される粘着シートにおいて、粘着剤層の厚さは特に限定されず、目的に応じて適宜選択することができる。通常は、粘着剤層の厚さは５～２００μｍ程度が適当であり、密着性等の観点から、好ましくは１０μｍ以上（例えば１５μｍ以上）程度であり、２５μｍ以上でもよく、また、好ましくは１５０μｍ以下、より好ましくは１００μｍ以下、さらに好ましくは８０μｍ以下（例えば６０μｍ以下、典型的には４０μｍ以下）程度であり、３５μｍ以下または３０μｍ未満でもよい。ここに開示される粘着シートが基材の両面に粘着剤層を備える両面粘着シートの場合、各粘着剤層の厚さは同じであってもよく、異なっていてもよい。
【0137】
＜追加の粘着剤層＞
ここに開示される粘着シートのいくつかの態様において、該粘着シートは、粘着面を構成する粘着剤層の背面側（粘着面とは反対側）に追加の粘着剤層が積層された構成であってもよい。粘着面を構成する粘着剤層と追加の粘着剤層とは、直接接して積層していることが好ましい。すなわち、粘着面を構成する粘着剤層と追加の粘着剤層との間に、両粘着剤層を完全に隔てるセパレータ層（例えば、ポリエステルフィルム等の樹脂フィルム）が介在していないことが好ましい。追加の粘着剤層は、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤（天然ゴム系、合成ゴム系、これらの混合系等）、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ポリエーテル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、フッ素系粘着剤等の公知の各種粘着剤から選択される１種または２種以上の粘着剤を含んで構成された粘着剤層であり得る。透明性や耐候性等の観点から、いくつかの態様において、追加の粘着剤層の構成材料としてアクリル系粘着剤を好ましく採用し得る。追加の粘着剤層のその他の事項については、上述した粘着剤層と同様の構成を採用することができ、あるいは公知ないし慣用技術および技術常識に基づき、用途や目的に応じて適当な構成を採用し得るので、ここでは詳細な説明は省略する。
ここに開示される粘着シートのいくつかの態様において、該粘着シートは、粘着面を構成する粘着剤層の背面側（粘着面とは反対側）に追加の粘着剤層が積層された構成であってもよい。粘着面を構成する粘着剤層と追加の粘着剤層とは、直接接して積層していることが好ましい。すなわち、粘着面を構成する粘着剤層と追加の粘着剤層との間に、両粘着剤層を完全に隔てるセパレータ層（例えば、ポリエステルフィルム等の樹脂フィルム）が介在していないことが好ましい。追加の粘着剤層は、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤（天然ゴム系、合成ゴム系、これらの混合系等）、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ポリエーテル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、フッ素系粘着剤等の公知の各種粘着剤から選択される１種または２種以上の粘着剤を含んで構成された粘着剤層であり得る。透明性や耐候性等の観点から、いくつかの態様において、追加の粘着剤層の構成材料としてアクリル系粘着剤を好ましく採用し得る。追加の粘着剤層のその他の事項については、上述した粘着剤層と同様の構成を採用することができ、あるいは公知ないし慣用技術および技術常識に基づき、用途や目的に応じて適当な構成を採用し得るので、ここでは詳細な説明は省略する。
【0138】
＜基材＞
片面粘着タイプまたは両面粘着タイプの基材付き粘着シートにおいて、粘着剤層を支持（裏打ち）する基材としては、例えば樹脂フィルム、紙、布、ゴムシート、発泡体シート、金属箔、これらの複合体等の、各種のシート状基材を用いることができる。上記基材は、単層であってもよいし、同種または異種の基材の積層体であってもよい。なお、本明細書において、単層とは、同一の組成からなる層をいい、同一の組成からなる層が複数積層された形態のものを含む。
片面粘着タイプまたは両面粘着タイプの基材付き粘着シートにおいて、粘着剤層を支持（裏打ち）する基材としては、例えば樹脂フィルム、紙、布、ゴムシート、発泡体シート、金属箔、これらの複合体等の、各種のシート状基材を用いることができる。上記基材は、単層であってもよいし、同種または異種の基材の積層体であってもよい。なお、本明細書において、単層とは、同一の組成からなる層をいい、同一の組成からなる層が複数積層された形態のものを含む。
【0139】
好ましい一態様では、樹脂シートを主構成要素とする基材（樹脂フィルム基材）が用いられ得る。基材を構成する樹脂としては、例えば、低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、ランダム共重合ポリプロピレン、ブロック共重合ポリプロピレン、ホモポリプロレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン、エチレン－酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、アイオノマー、エチレン－（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン－（メタ）アクリル酸エステル（ランダム、交互）共重合体、エチレン－ブテン共重合体、エチレン－ヘキセン共重合体等のポリオレフィン樹脂；ポリウレタン；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル；ポリカーボネート；ポリイミド；ポリエーテルエーテルケトン；ポリエーテルイミド；アラミド、全芳香族ポリアミド等のポリアミド；ポリフェニルスルフィド；フッ素樹脂；ポリ塩化ビニル；ポリ塩化ビニリデン；セルロース樹脂；シリコーン樹脂；等が挙げられる。上記樹脂は、一種を単独でまたは二種以上を組み合わせて、基材の全体または一部（例えば、二層以上の積層構造の基材におけるいずれかの層）の形成に用いられ得る。粘着面を構成する粘着剤層が活性エネルギー線硬化性粘着剤層である場合、基材は活性エネルギー線透過性を有することが好ましい。いくつかの態様において、波長３６５ｎｍにおける紫外線透過率が４０％～１００％（より好ましくは６０％～１００％）である基材を好ましく採用し得る。透過性の高い基材を用いると、粘着剤層を容易に硬化させることができる。
【0140】
基材には、必要に応じて、充填剤（無機充填剤、有機充填剤等）、老化防止剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、帯電防止剤、滑剤、可塑剤、着色剤（顔料、染料等）等の各種添加剤が配合されていてもよい。
【0141】
上記基材は、任意の適切な方法で製造することができる。例えば、カレンダー法、キャスティング法、インフレーション押出し法、Ｔダイ押出し法等の公知の方法により製造することができる。また、必要に応じて、延伸処理を行って製造してもよい。
【0142】
基材の粘着剤層側表面には、粘着剤層との密着性や粘着剤層の保持性を高める等の目的で、例えば、コロナ放電処理、プラズマ処理、サンドマット加工処理、オゾン暴露処理、火炎暴露処理、高圧電撃暴露処理、イオン化放射線処理等の物理的処理；酸処理、アルカリ処理、クロム酸処理等の化学的処理；コーティング剤（下塗り剤）による易接着処理；等の、公知または慣用の表面処理が施されていてもよい。また、帯電防止能の付与等の目的で、金属、合金、これらの酸化物等を含む導電性の蒸着層を基材表面に設けてもよい。
【0143】
いくつかの好ましい態様では、基材の粘着剤層側表面に下塗り層が設けられる。換言すると、基材と粘着剤層との間には下塗り層が配置され得る。下塗り層形成材料としては、特に限定されず、ウレタン（ポリイソシアネート）系樹脂、ポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリアミド系樹脂、メラミン系樹脂、オレフィン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノール系樹脂、イソシアヌレート系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂等の１種または２種以上が用いられ得る。樹脂フィルム基材上に下塗り層を介してアクリル系等の粘着剤層を設ける場合は、ポリエステル系やウレタン系、アクリル系の下塗り層が好ましい。ＰＥＴフィルム等のポリエステル系基材上に下塗り層を介してアクリル系粘着剤層を設ける場合は、ポリエステル系下塗り層が特に好ましい。下塗り層の厚さは特に限定されず、通常、凡そ０．１μｍ～１０μｍ（例えば０．１μｍ～３μｍ、典型的には０．１μｍ～１μｍ）の範囲であり得る。下塗り層は、グラビアロールコーター、リバースロールコーター等の公知または慣用のコーターを用いて形成され得る。
【0144】
ここに開示される粘着シートが基材の片面に粘着剤層が設けられた片面接着性の粘着シートの場合、基材の粘着剤層非形成面（背面）には、剥離処理剤（背面処理剤）によって剥離処理が施されていてもよい。背面処理層の形成に用いられ得る背面処理剤としては、特に限定されず、シリコーン系背面処理剤やフッ素系背面処理剤、長鎖アルキル系背面処理剤その他の公知または慣用の処理剤を目的や用途に応じて用いることができる。
【0145】
基材の厚さは特に限定されず、目的に応じて適宜選択できるが、一般的には３μｍ～８００μｍ程度であり得る。粘着シートの加工性や取扱い性（例えば、被着体への貼付けや剥離の際における作業性）等の観点から、基材の厚さは、５μｍ以上であることが適当であり、１０μｍ以上であることが適当であり、ウエハ加工における被着体の保護性を高める観点から２０μｍ以上であることが好ましく、３０μｍ以上でもよく、４０μｍ以上でもよい。より保護性が重視されるいくつかの態様において、基材の厚さは、例えば５５μｍ以上、７５μｍ以上または９０μｍ以上であり得る。また、被着体からの剥離時における該被着体への負荷軽減等の観点から、基材の厚さは、通常、３００μｍ以下であることが適当であり、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下でもよく、１２５μｍ以下でもよく、８０μｍ以下でもよく、６０μｍ以下でもよい。
【0146】
ここに開示される粘着シート（粘着剤層と基材とを含み得るが、剥離ライナーは含まない。）の総厚は特に限定されず、凡そ１０μｍ～１０００μｍの範囲とすることが適当である。粘着シートの総厚は、密着性および取扱い性を考慮して、凡そ１５μｍ～３００μｍの範囲とすることが好ましく、凡そ２０μｍ～２００μｍの範囲とすることがより好ましい。また、ウエハ加工時における被着体の保護性を高める観点から、粘着シートの総厚は凡そ３０μｍ以上であることが有利であり、凡そ４０μｍ以上であることが好ましく、凡そ５０μｍ以上（例えば６０μｍ以上）であることがより好ましい。より保護性が重視されるいくつかの態様において、粘着シートの総厚は、６５μｍ超でもよく、８０μｍ超でもよく、１００μｍ超でもよい。
【0147】
＜用途＞
ここに開示される粘着シートは、各種ウエハの加工に用いられ得る。例えば、ここに開示される粘着シートは、各種半導体ウエハの加工に用いられ得る。上記半導体ウエハは、例えば、シリコンウエハ、炭化ケイ素（ＳｉＣ）ウエハ、窒化物半導体ウエハ（窒化ケイ素（ＳｉＮ）、窒化ガリウム（ＧａＮ）等）、ヒ化ガリウムウエハ等の化合物半導体ウエハ、等であり得る。ここに開示される粘着シートは、このような半導体ウエハから半導体素子（例えば、半導体チップ）を製造する過程で、典型的には前工程により回路形成された上記半導体ウエハに貼り合わされる態様で、上記半導体ウエハの加工時に該半導体ウエハを保護および／または固定するためのウエハ加工用粘着シートとして好ましく用いられ得る。ここに開示される粘着シートを貼り合わせた後、該粘着シートを剥離するまでに半導体ウエハに施され得る加工の例には、バックグラインド加工およびダイシング加工が含まれるが、これらに限定されない。その他、ここに開示される粘着シートは、ガラス製、樹脂製等の非半導体のウエハ加工にも用いられ得る。なお、本明細書では、加工対象のウエハ（典型的には半導体ウエハ）の形状が加工により変化（例えば、バックグラインド加工による全体または一部の薄型化、ダイシング加工による個片等）する場合も、加工後の物品を引き続きウエハ（典型的には半導体ウエハ）ということがある。
ここに開示される粘着シートは、各種ウエハの加工に用いられ得る。例えば、ここに開示される粘着シートは、各種半導体ウエハの加工に用いられ得る。上記半導体ウエハは、例えば、シリコンウエハ、炭化ケイ素（ＳｉＣ）ウエハ、窒化物半導体ウエハ（窒化ケイ素（ＳｉＮ）、窒化ガリウム（ＧａＮ）等）、ヒ化ガリウムウエハ等の化合物半導体ウエハ、等であり得る。ここに開示される粘着シートは、このような半導体ウエハから半導体素子（例えば、半導体チップ）を製造する過程で、典型的には前工程により回路形成された上記半導体ウエハに貼り合わされる態様で、上記半導体ウエハの加工時に該半導体ウエハを保護および／または固定するためのウエハ加工用粘着シートとして好ましく用いられ得る。ここに開示される粘着シートを貼り合わせた後、該粘着シートを剥離するまでに半導体ウエハに施され得る加工の例には、バックグラインド加工およびダイシング加工が含まれるが、これらに限定されない。その他、ここに開示される粘着シートは、ガラス製、樹脂製等の非半導体のウエハ加工にも用いられ得る。なお、本明細書では、加工対象のウエハ（典型的には半導体ウエハ）の形状が加工により変化（例えば、バックグラインド加工による全体または一部の薄型化、ダイシング加工による個片等）する場合も、加工後の物品を引き続きウエハ（典型的には半導体ウエハ）ということがある。
【0148】
ここに開示される粘着シートのウエハ（典型的には半導体ウエハ）への貼り合わせは、任意の適切な方法により行われ得る。粘着シートを貼り合わせる際の温度は、室温前後（例えば１０℃～３５℃）であってもよく、室温域より高い温度（例えば３５℃超、好ましくは６０℃～９０℃）であってもよい。室温域より高い温度で粘着シートを貼り合わせることは、粘着シートのウエハへの密着性向上の観点から有利となり得る。室温域で粘着シートを貼り合わせた後、室温域より高い温度（例えば４０℃～９０℃、好ましくは４０℃～６０℃）および大気圧より高い圧力（例えば１．５～１０ａｔｍ、好ましくは３～７ａｔｍ）を付与する加熱加圧処理を行ってもよい。上記加熱加圧処理を行う時間は特に制限されず、適切な処理効果が得られるように設定することができる。いくつかの態様において、処理効果の安定性と生産性とのバランスを考慮して、上記加熱加圧処理を行う時間を３分～１時間（例えば５分～３０分）とすることができる。
【0149】
ここに開示される粘着シートの粘着面を構成する粘着剤層が活性エネルギー線硬化性粘着剤層である場合、該粘着シートは、被着体に貼り合わせた後、活性エネルギー線の照射および水剥離を行う態様で好ましく用いられ得る。活性エネルギー線の照射条件は特に限定されず、活性エネルギー線硬化性粘着剤層の硬化を適切に進行させ得るように設定することができる。当業者であれば、当該分野の技術常識に基づいて過度の負担なく適切な照射条件を設定し得るので、詳細な説明は省略する。一例として、活性エネルギー線として紫外線を用いる場合、該紫外線の照射条件は、例えば、照射積算光量を５０ｍＪ／ｃｍ２～５０００ｍＪ／ｃｍ２の範囲、凡そ５０ｍＪ／ｃｍ２～２０００ｍＪ／ｃｍ２の範囲、または凡そ１００ｍＪ／ｃｍ２～２０００ｍＪ／ｃｍ２の範囲とすることができ、また、照射時間を凡そ１秒～３０分の範囲とすることができる。
【0150】
＜半導体素子製造方法＞
上記ウエハ加工用粘着シートを用いる半導体素子製造方法の一実施形態を以下に説明する。この実施形態の半導体素子製造方法は、回路形成面を有する半導体ウエハの該回路形成面側にウエハ加工用粘着シートの粘着面を貼り合わせる工程（１）と、上記粘着シートが貼り合わされた上記半導体ウエハに、該粘着シートとは反対側から加工を施す工程（２）と、上記加工後の半導体ウエハから上記粘着シートを剥離する工程（３）と、を含む。
上記ウエハ加工用粘着シートを用いる半導体素子製造方法の一実施形態を以下に説明する。この実施形態の半導体素子製造方法は、回路形成面を有する半導体ウエハの該回路形成面側にウエハ加工用粘着シートの粘着面を貼り合わせる工程（１）と、上記粘着シートが貼り合わされた上記半導体ウエハに、該粘着シートとは反対側から加工を施す工程（２）と、上記加工後の半導体ウエハから上記粘着シートを剥離する工程（３）と、を含む。
【0151】
ここで、上記工程（３）は、加工後の半導体ウエハ（被着体）からの上記粘着シートの剥離前線に水性剥離液を供給して行うことが好ましい。これにより粘着シートを軽剥離化し、剥離時に被着体（加工後の半導体ウエハ）に与える負荷を軽減することができる。したがって、被着体の損傷を避けつつ上記粘着シートを効率よく剥離することができる。いくつかの態様において、上記工程（３）は、後述する粘着シート剥離方法により好ましく実施することができる。
【0152】
なお、本明細書により開示される技術（ウエハ加工用粘着シート、粘着剤組成物、半導体素子製造方法、粘着シート剥離方法、等を包含する。）における水性剥離液としては、水または水を主成分とする混合溶媒に、必要に応じて少量の添加剤を含有させたものを用いることができる。上記混合溶媒を構成する水以外の溶媒としては、水と均一に混合し得る低級アルコール（例えばエチルアルコール）や低級ケトン（例えばアセトン）等を使用し得る。上記添加剤としては、公知の界面活性剤やｐＨ調整剤等を用いることができる。被着体の汚染を避ける観点から、いくつかの態様において、添加剤を実質的に含有しない水性剥離液を好ましく使用し得る。環境衛生の観点から、水性剥離液として水を用いることが特に好ましい。水としては、特に制限されず、用途に応じて求められる純度や入手容易性等を考慮して、例えば蒸留水、イオン交換水、水道水等を用いることができる。
【0153】
上記粘着面を構成する粘着剤層が活性エネルギー線硬化性粘着剤層である場合は、粘着シートを剥離する前に、活性エネルギー線を照射して上記活性エネルギー線硬化性粘着剤層を硬化させる処理を行う。典型的には、上記硬化処理により粘着シートの剥離力を低下させる。かかる硬化処理の後に粘着シートを水剥離することにより、剥離時に被着体（加工後の半導体ウエハ）に与える負荷をより効果的に軽減することができる。工程（２）における被着体への接着信頼性と、工程（３）における軽剥離性とを両立する観点から、上記硬化処理は、工程（２）の後に行うことが好ましい。
【0154】
いくつかの態様において、上記工程（２）はバックグラインド工程であり得る。この場合、ウエハ加工用粘着シートはバックグラインドテープとして用いられる。バックグラインド工程は、任意の適切な方法により行われ得る。バックグラインド工程は、粘着シートが貼り合わされた半導体ウエハを、該半導体ウエハの厚さが例えば１５０μｍ以下、１００μｍ以下、５０μｍ以下または３０μｍ以下となるまで薄型化する工程であり得る。このように薄型化される態様において、ここに開示される技術を適用することによる効果が好ましく発揮され得る。なお、バックグラインド工程は、環状凸部の内側が凹部となるように（すなわち、ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウエハが得られるように）行われてもよい。この場合、薄型化された半導体ウエハの厚さとは、上記凹部の厚さをいう。また、特に限定するものではないが、バックグラインド前の半導体ウエハの厚さは、例えば５００μｍ～１０００μｍ程度であり得る。
【0155】
ここに開示される半導体素子製造方法は、任意の適切な工程をさらに含み得る。そのような任意工程の例には、エッチング工程、フォトリソグラフ工程、イオン注入工程、ダイシング工程、ダイボンディング工程、ワイヤーボンディング工程、パッケージング工程等が含まれるが、これらに限定されない。上記で例示した工程の各々は、上記工程（２）において行われてもよく、上記工程（２）の後、上記工程（３）の前に行われてもよく、上記工程（３）の後に行われてもよい。
【0156】
＜粘着シート剥離方法＞
この明細書によると、被着体に貼り付けられた粘着シートを該被着体から剥離する粘着シート剥離方法が提供される。その方法は、上記被着体からの上記粘着シートの剥離前線において上記被着体と上記粘着シートとの界面に水性剥離液が存在する状態で、上記剥離前線の移動に追随して上記水性剥離液の上記界面への進入を進行させつつ上記被着体から上記粘着シートを剥離する水剥離工程を含み得る。ここで剥離前線とは、被着体からの粘着シートの剥離を進行させる際に、上記被着体から上記粘着シートの粘着面が離れ始める箇所を指す。上記水剥離工程によると、上記水性剥離液を有効に利用して被着体から粘着シートを剥離することができる。上記剥離方法は、例えば、ここに開示されるいずれかの粘着シートを被着体から剥離する態様で好ましく実施され得る。
この明細書によると、被着体に貼り付けられた粘着シートを該被着体から剥離する粘着シート剥離方法が提供される。その方法は、上記被着体からの上記粘着シートの剥離前線において上記被着体と上記粘着シートとの界面に水性剥離液が存在する状態で、上記剥離前線の移動に追随して上記水性剥離液の上記界面への進入を進行させつつ上記被着体から上記粘着シートを剥離する水剥離工程を含み得る。ここで剥離前線とは、被着体からの粘着シートの剥離を進行させる際に、上記被着体から上記粘着シートの粘着面が離れ始める箇所を指す。上記水剥離工程によると、上記水性剥離液を有効に利用して被着体から粘着シートを剥離することができる。上記剥離方法は、例えば、ここに開示されるいずれかの粘着シートを被着体から剥離する態様で好ましく実施され得る。
【0157】
ここに開示される剥離方法における被着体は、上記で例示した各種の半導体ウエハであり得る。上記半導体ウエハは、回路形成された半導体ウエハであってもよい。ここに開示される剥離方法は、回路形成された半導体ウエハの該回路形成面に貼り付けられた粘着シートを上記回路形成面から剥離する方法として好ましく利用され得る。
【0158】
上記剥離方法により被着体から剥離される粘着シートは、粘着面を構成する粘着剤層を含み、上記粘着剤層は粘着剤により構成されている。上記粘着シートとしては、ここに開示されるいずれかの粘着シートを好ましく使用し得る。したがって、上記剥離方法は、ここに開示されるいずれかの粘着シートの剥離方法として好適である。
【0159】
いくつかの態様において、上記剥離方法は、被着体に貼り付けられた粘着シートの外縁の一端において該粘着シートを上記被着体から強制的に持ち上げることにより初期の剥離前線を形成することと、上記剥離前線に水性剥離液を供給することと、上記剥離前線の移動に追随して上記粘着シートと上記被着体との界面への上記水性剥離液の進入を進行させつつ上記記被着体から上記粘着シートを剥離することと、を含む態様で好ましく実施され得る。上記初期の剥離前線の形成は、例えば、粘着シートと被着体との界面にカッターナイフや針等の治具の先端を差し込む、上記粘着シートを鉤や爪等で引掻いて持ち上げる、粘着シートの背面に強粘着性の粘着テープや吸盤等を付着させて該粘着シートの端を持ち上げる、等の態様で行うことができる。このようにして初期の剥離前線を形成したうえで該剥離前線に水性剥離液を供給して水剥離を開始することにより、上記剥離前線への水性剥離液の供給を効率よく行うことができる。また、かかる剥離方法および該剥離方法に用いられる粘着シートにおいて、初期の剥離前線を強制的に形成する操作を行って剥離のきっかけをつくった後における良好な水剥離性と、かかる操作を行わない場合における高い耐水信頼性とを、好適に両立することができる。
【0160】
いくつかの態様において、上記剥離方法は、上記初期の剥離前線に水性剥離液を供給した後（すなわち、水剥離の開始時に水性剥離液を供給した後）、新たな水性剥離液の供給を行うことなく粘着シートの剥離を進行させる態様で好ましく行うことができる。あるいは、水剥離を進行させる途中で、剥離前線の移動に追随して粘着シートと被着体との界面に進入させる水性剥離液が途中で枯渇または不足するようであれば、該水剥離の開始後に断続的または連続的に水性剥離液を追加供給してもよい。例えば、剥離の進行に伴って剥離前線の長さが増す場合（例えば、円盤状の被着体の外縁の一端から該円の径方向に水剥離を進行させる場合）や、被着体表面に水性剥離液が残留しやすい場合等において、水剥離の開始後に水性剥離液を追加供給する態様を好ましく採用し得る。また、水性剥離液を供給する位置は、一か所であってもよく、複数か所であってもよい。水剥離の開始後に水性剥離液を追加供給する場合、水剥離の開始後に水性剥離液を供給する位置の数を増減してもよい。
【実施例】
【0161】
以下、本発明に関するいくつかの実施例を説明するが、本発明をかかる実施例に示すものに限定することを意図したものではない。なお、以下の説明において「部」および「％」は、特に断りがない限り重量基準である。
【0162】
＜スティックスリップ度の測定＞
１．未照射通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ０の測定
測定対象のＵＶ未照射の粘着シートを幅１０ｍｍの帯状にカットして試験片を調製する。２３℃、５０％ＲＨの環境下において、被着体としての６インチシリコンウエハ（信越化学社製、６インチＮ＜１００＞－１００）のミラー面に、上記試験片の粘着面をハンドローラーで貼り合わせ、室温で３０分間放置して評価用サンプルを作製する。
その後、２３℃、５０％ＲＨの環境下において、上記評価用サンプルの試験片と被着体との界面にカッターナイフを差し込んで該試験片の長手方向の一端を被着体から剥離させ、ＪＩＳ Ｚ０２３７：２００９の「１０．４．１ 方法１：試験板に対する１８０°引きはがし粘着力」に従い、具体的には、試験温度２３℃にて引張試験機（装置名「引張圧縮試験機、ＶＰＡ－３」協和界面科学社製）を用いて剥離速度３００ｍｍ／分、剥離角度１８０度の条件で剥離距離が１００ｍｍになるまで剥離しながら、剥離距離０．２５ｍｍごとに剥離力のデータを取得する。得られた剥離力のうち、剥離距離３０～７０ｍｍにおける剥離力のデータを用いて、粘着シートのスティックスリップ度を算出する。スティックスリップ度の測定はいずれも３回行い、それらの平均値を未照射通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ０［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］とする。スティックスリップ度の測定は、被着体に貼り付けられた試験片の剥離が下から上に進行するように行う。
１．未照射通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ０の測定
測定対象のＵＶ未照射の粘着シートを幅１０ｍｍの帯状にカットして試験片を調製する。２３℃、５０％ＲＨの環境下において、被着体としての６インチシリコンウエハ（信越化学社製、６インチＮ＜１００＞－１００）のミラー面に、上記試験片の粘着面をハンドローラーで貼り合わせ、室温で３０分間放置して評価用サンプルを作製する。
その後、２３℃、５０％ＲＨの環境下において、上記評価用サンプルの試験片と被着体との界面にカッターナイフを差し込んで該試験片の長手方向の一端を被着体から剥離させ、ＪＩＳ Ｚ０２３７：２００９の「１０．４．１ 方法１：試験板に対する１８０°引きはがし粘着力」に従い、具体的には、試験温度２３℃にて引張試験機（装置名「引張圧縮試験機、ＶＰＡ－３」協和界面科学社製）を用いて剥離速度３００ｍｍ／分、剥離角度１８０度の条件で剥離距離が１００ｍｍになるまで剥離しながら、剥離距離０．２５ｍｍごとに剥離力のデータを取得する。得られた剥離力のうち、剥離距離３０～７０ｍｍにおける剥離力のデータを用いて、粘着シートのスティックスリップ度を算出する。スティックスリップ度の測定はいずれも３回行い、それらの平均値を未照射通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ０［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］とする。スティックスリップ度の測定は、被着体に貼り付けられた試験片の剥離が下から上に進行するように行う。
【0163】
２．未照射水剥離スティックスリップ度ＳＳｗ０の測定
上記ＵＶ未照射の評価用サンプルにおいて、試験片を被着体から引き剥がす途中で、該被着体から上記試験片が離れ始める箇所（剥離界面）に２０μＬの蒸留水を供給し、該蒸留水供給後のスティックスリップ度を測定する。スティックスリップ度の測定はいずれも３回行い、それらの平均値を未照射水剥離スティックスリップ度ＳＳｗ０［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］とする。
上記ＵＶ未照射の評価用サンプルにおいて、試験片を被着体から引き剥がす途中で、該被着体から上記試験片が離れ始める箇所（剥離界面）に２０μＬの蒸留水を供給し、該蒸留水供給後のスティックスリップ度を測定する。スティックスリップ度の測定はいずれも３回行い、それらの平均値を未照射水剥離スティックスリップ度ＳＳｗ０［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］とする。
【0164】
３．照射後通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ１の測定
上記未照射通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ０の測定と同様にして作製したＵＶ未照射の評価用サンプルに、２３℃、５０％ＲＨの環境下で、下記の条件で粘着シートの基材側（測定粘着面の反対面側。以下、「背面側」ともいう。）から、日東精機社製のＵＶ照射機、商品名「ＮＥＬ ＳＹＳＴＥＭ ＵＭ８１０」（高圧水銀灯光源）を用いて、照度６０ｍＷ／ｃｍ２、積算光量５００ｍＪ／ｃｍ２の条件で紫外線を照射する。
その後、２３℃、５０％ＲＨの環境下において、上記ＵＶ照射後の評価用サンプルの試験片と被着体との界面にカッターナイフを差し込んで該試験片の長手方向の一端を被着体から剥離させ、上記未照射通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ０の測定と同様にしてスティックスリップ度を測定する。測定は３回行い、それらの平均値を照射後通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ１［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］とする。
上記未照射通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ０の測定と同様にして作製したＵＶ未照射の評価用サンプルに、２３℃、５０％ＲＨの環境下で、下記の条件で粘着シートの基材側（測定粘着面の反対面側。以下、「背面側」ともいう。）から、日東精機社製のＵＶ照射機、商品名「ＮＥＬ ＳＹＳＴＥＭ ＵＭ８１０」（高圧水銀灯光源）を用いて、照度６０ｍＷ／ｃｍ２、積算光量５００ｍＪ／ｃｍ２の条件で紫外線を照射する。
その後、２３℃、５０％ＲＨの環境下において、上記ＵＶ照射後の評価用サンプルの試験片と被着体との界面にカッターナイフを差し込んで該試験片の長手方向の一端を被着体から剥離させ、上記未照射通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ０の測定と同様にしてスティックスリップ度を測定する。測定は３回行い、それらの平均値を照射後通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ１［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］とする。
【0165】
４．照射後水剥離スティックスリップ度ＳＳｗ１の測定
上記照射後通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ１の測定と同様にして、ＵＶ照射後の評価用サンプルを作製する。上記ＵＶ照射後の評価用サンプルにおいて、試験片を被着体から引き剥がす途中で、該被着体から上記試験片が離れ始める箇所（剥離界面）に２０μＬの蒸留水を供給し、該蒸留水供給後のスティックスリップ度を測定する。スティックスリップ度の測定はいずれも３回行い、それらの平均値を照射後水剥離スティックスリップ度ＳＳｗ１［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］とする。
上記照射後通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ１の測定と同様にして、ＵＶ照射後の評価用サンプルを作製する。上記ＵＶ照射後の評価用サンプルにおいて、試験片を被着体から引き剥がす途中で、該被着体から上記試験片が離れ始める箇所（剥離界面）に２０μＬの蒸留水を供給し、該蒸留水供給後のスティックスリップ度を測定する。スティックスリップ度の測定はいずれも３回行い、それらの平均値を照射後水剥離スティックスリップ度ＳＳｗ１［１０－３Ｎ／１０ｍｍ］とする。
【0166】
＜剥離力の測定＞
１．未照射通常剥離力Ｆｄ０の測定
測定対象のＵＶ未照射の粘着シートを幅１０ｍｍの帯状にカットして試験片を調製する。２３℃、５０％ＲＨの環境下において、被着体としての６インチシリコンウエハ（信越化学社製、６インチＮ＜１００＞－１００）のミラー面に、上記試験片の粘着面をハンドローラーで貼り合わせ、室温で３０分間放置して評価用サンプルを作製する。
その後、２３℃、５０％ＲＨの環境下において、上記評価用サンプルの試験片と被着体との界面にカッターナイフを差し込んで該試験片の長手方向の一端を被着体から剥離させ、ＪＩＳ Ｚ０２３７：２００９の「１０．４．１ 方法１：試験板に対する１８０°引きはがし粘着力」に従い、具体的には、試験温度２３℃にて引張試験機（装置名「ＤＴ９５０３－１０００Ｎ」タンスイ社製）を用いて剥離速度３００ｍｍ／分、剥離角度１８０度の条件で剥離力を測定する。測定は３回行い、それらの平均値を未照射通常剥離力Ｆｄ０［Ｎ／１０ｍｍ］とする。剥離力の測定は、被着体に貼り付けられた試験片の剥離が下から上に進行するように行う。
１．未照射通常剥離力Ｆｄ０の測定
測定対象のＵＶ未照射の粘着シートを幅１０ｍｍの帯状にカットして試験片を調製する。２３℃、５０％ＲＨの環境下において、被着体としての６インチシリコンウエハ（信越化学社製、６インチＮ＜１００＞－１００）のミラー面に、上記試験片の粘着面をハンドローラーで貼り合わせ、室温で３０分間放置して評価用サンプルを作製する。
その後、２３℃、５０％ＲＨの環境下において、上記評価用サンプルの試験片と被着体との界面にカッターナイフを差し込んで該試験片の長手方向の一端を被着体から剥離させ、ＪＩＳ Ｚ０２３７：２００９の「１０．４．１ 方法１：試験板に対する１８０°引きはがし粘着力」に従い、具体的には、試験温度２３℃にて引張試験機（装置名「ＤＴ９５０３－１０００Ｎ」タンスイ社製）を用いて剥離速度３００ｍｍ／分、剥離角度１８０度の条件で剥離力を測定する。測定は３回行い、それらの平均値を未照射通常剥離力Ｆｄ０［Ｎ／１０ｍｍ］とする。剥離力の測定は、被着体に貼り付けられた試験片の剥離が下から上に進行するように行う。
【0167】
２．未照射水剥離力Ｆｗ０の測定
上記ＵＶ未照射の評価用サンプルにおいて、試験片を被着体から引き剥がす途中で、該被着体から上記試験片が離れ始める箇所（剥離界面）に２０μＬの蒸留水を供給し、該蒸留水供給後の剥離力を測定する。剥離力の測定はいずれも３回行い、それらの平均値を未照射水剥離力Ｆｗ０［Ｎ／１０ｍｍ］とする。
上記ＵＶ未照射の評価用サンプルにおいて、試験片を被着体から引き剥がす途中で、該被着体から上記試験片が離れ始める箇所（剥離界面）に２０μＬの蒸留水を供給し、該蒸留水供給後の剥離力を測定する。剥離力の測定はいずれも３回行い、それらの平均値を未照射水剥離力Ｆｗ０［Ｎ／１０ｍｍ］とする。
【0168】
３．照射後通常剥離力Ｆｄ１の測定
上記未照射通常剥離力Ｆｄ０の測定と同様にして作製したＵＶ未照射の評価用サンプルに、２３℃、５０％ＲＨの環境下で、粘着シートの基材側（測定粘着面の反対面側。以下、「背面側」ともいう。）から、日東精機社製のＵＶ照射機、商品名「ＮＥＬ ＳＹＳＴＥＭ ＵＭ８１０」（高圧水銀灯光源）を用いて、照度６０ｍＷ／ｃｍ２、積算光量５００ｍＪ／ｃｍ２の条件で紫外線を照射する。
その後、２３℃、５０％ＲＨの環境下において、上記ＵＶ照射後の評価用サンプルの試験片と被着体との界面にカッターナイフを差し込んで該試験片の長手方向の一端を被着体から剥離させ、上記未照射通常剥離力Ｆｄ０の測定と同様にして剥離力を測定する。測定は３回行い、それらの平均値を照射後通常剥離力Ｆｄ１［Ｎ／１０ｍｍ］とする。
上記未照射通常剥離力Ｆｄ０の測定と同様にして作製したＵＶ未照射の評価用サンプルに、２３℃、５０％ＲＨの環境下で、粘着シートの基材側（測定粘着面の反対面側。以下、「背面側」ともいう。）から、日東精機社製のＵＶ照射機、商品名「ＮＥＬ ＳＹＳＴＥＭ ＵＭ８１０」（高圧水銀灯光源）を用いて、照度６０ｍＷ／ｃｍ２、積算光量５００ｍＪ／ｃｍ２の条件で紫外線を照射する。
その後、２３℃、５０％ＲＨの環境下において、上記ＵＶ照射後の評価用サンプルの試験片と被着体との界面にカッターナイフを差し込んで該試験片の長手方向の一端を被着体から剥離させ、上記未照射通常剥離力Ｆｄ０の測定と同様にして剥離力を測定する。測定は３回行い、それらの平均値を照射後通常剥離力Ｆｄ１［Ｎ／１０ｍｍ］とする。
【0169】
４．照射後水剥離力Ｆｗ１の測定
上記照射後通常剥離力Ｆｄ１の測定と同様にして、ＵＶ照射後の評価用サンプルを作製する。上記ＵＶ照射後の評価用サンプルにおいて、試験片を被着体から引き剥がす途中で、該被着体から上記試験片が離れ始める箇所（剥離界面）に２０μＬの蒸留水を供給し、該蒸留水供給後の剥離力を測定する。測定は３回行い、それらの平均値を照射後水剥離力Ｆｗ１［Ｎ／１０ｍｍ］とする。
上記照射後通常剥離力Ｆｄ１の測定と同様にして、ＵＶ照射後の評価用サンプルを作製する。上記ＵＶ照射後の評価用サンプルにおいて、試験片を被着体から引き剥がす途中で、該被着体から上記試験片が離れ始める箇所（剥離界面）に２０μＬの蒸留水を供給し、該蒸留水供給後の剥離力を測定する。測定は３回行い、それらの平均値を照射後水剥離力Ｆｗ１［Ｎ／１０ｍｍ］とする。
【0170】
＜例１＞
（粘着剤組成物の調製）
リービッヒ冷却器、窒素導入管、温度計および撹拌装置を備えた反応容器に、モノマー原料としての２－エチルヘキシルアクリレート（２ＥＨＡ）１００部、アクリロイルモルホリン（ＡＣＭＯ）２５．５部および２－ヒドロキシルエチルアクリレート（ＨＥＡ）１８．５部と、重合溶媒としてのトルエンとを仕込み、重合開始剤としてのベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）０．３部を投入して窒素雰囲気下で溶液重合を行うことにより、ポリマーＰ１ａの溶液を得た。ポリマーＰ１ａの重量平均分子量（Ｍｗ）は９０万であった。上記モノマー原料の組成に基づくポリマーＰ１ａのガラス転移温度（Ｔｇ）は－４２．７℃である。
（粘着剤組成物の調製）
リービッヒ冷却器、窒素導入管、温度計および撹拌装置を備えた反応容器に、モノマー原料としての２－エチルヘキシルアクリレート（２ＥＨＡ）１００部、アクリロイルモルホリン（ＡＣＭＯ）２５．５部および２－ヒドロキシルエチルアクリレート（ＨＥＡ）１８．５部と、重合溶媒としてのトルエンとを仕込み、重合開始剤としてのベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）０．３部を投入して窒素雰囲気下で溶液重合を行うことにより、ポリマーＰ１ａの溶液を得た。ポリマーＰ１ａの重量平均分子量（Ｍｗ）は９０万であった。上記モノマー原料の組成に基づくポリマーＰ１ａのガラス転移温度（Ｔｇ）は－４２．７℃である。
【0171】
上記ポリマーＰ１ａの溶液を室温まで冷却した後、２－イソシアナトエチルメタクリレート（昭和電工社製、商品名「カレンズＭＯＩ」）１２．３部を加え、さらにジブチルスズ（ＩＶ）ジラウレート（和光純薬工業社製）０．１部を添加し、空気雰囲気下、５０℃で２４時間攪拌することにより上記ポリマーＰ１ａにＭＯＩを付加反応させて、炭素－炭素二重結合を有するポリマーＰ１の溶液を得た。
【0172】
上記ポリマーＰ１の溶液に、該溶液中のポリマーＰ１の１００部あたり、イソシアネート系架橋剤Ａ１（トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物、東ソー社製、商品名「コロネートＬ」、固形分濃度７５重量％）を固形分基準で５部加え、さらに光開始剤（ＩＧＭ Ｒｅｇｉｎｓ社製、商品名「オムニラッド３６９」）１部を加えて混合することにより、粘着剤組成物Ｃ１を調製した。
【0173】
（粘着シートの作製）
ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの片面がシリコーン処理による剥離面となっている厚さ３８μｍの剥離フィルムＲ１（三菱樹脂社製、ＭＲＦ３８）の上記剥離面に粘着剤組成物Ｃ１を塗布し、１４０℃で２分間乾燥させて、厚さ２０μｍの粘着剤層を形成した。基材としての易接着処理ＰＥＴフィルム（厚さ５０μｍ）の易接着面に上記粘着剤層を貼り合わせた後、５０℃で２日間のエージングを行って、本例に係る粘着シートを得た。
ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの片面がシリコーン処理による剥離面となっている厚さ３８μｍの剥離フィルムＲ１（三菱樹脂社製、ＭＲＦ３８）の上記剥離面に粘着剤組成物Ｃ１を塗布し、１４０℃で２分間乾燥させて、厚さ２０μｍの粘着剤層を形成した。基材としての易接着処理ＰＥＴフィルム（厚さ５０μｍ）の易接着面に上記粘着剤層を貼り合わせた後、５０℃で２日間のエージングを行って、本例に係る粘着シートを得た。
【0174】
＜例２＞
上記ポリマーＰ１の溶液に、該溶液中のポリマーＰ１の１００部あたり、界面活性剤（ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、花王社製のソルビタン脂肪酸エステル、商品名「レオドールＴＷ－Ｌ １２０」、エチレンオキサイド付加モル数２０、ＨＬＢ１６．７）０．５部をさらに添加した。上記の点以外は粘着剤組成物Ｃ１の調製と同様にして、粘着剤組成物Ｃ２を調製した。この粘着剤組成物Ｃ２を用いた他は例１に係る粘着シートの作製と同様にして、本例に係る粘着シートを得た。
なお、上記界面活性剤は、酢酸エチル溶液の形態で、固形分基準で上記量が添加されるように使用した。粘着剤組成物Ｃ４およびＣ７についても同様に、固形分基準で下記量の界面活性剤を、酢酸エチル溶液の形態でポリマー溶液に添加した。
上記ポリマーＰ１の溶液に、該溶液中のポリマーＰ１の１００部あたり、界面活性剤（ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、花王社製のソルビタン脂肪酸エステル、商品名「レオドールＴＷ－Ｌ １２０」、エチレンオキサイド付加モル数２０、ＨＬＢ１６．７）０．５部をさらに添加した。上記の点以外は粘着剤組成物Ｃ１の調製と同様にして、粘着剤組成物Ｃ２を調製した。この粘着剤組成物Ｃ２を用いた他は例１に係る粘着シートの作製と同様にして、本例に係る粘着シートを得た。
なお、上記界面活性剤は、酢酸エチル溶液の形態で、固形分基準で上記量が添加されるように使用した。粘着剤組成物Ｃ４およびＣ７についても同様に、固形分基準で下記量の界面活性剤を、酢酸エチル溶液の形態でポリマー溶液に添加した。
【0175】
＜例３＞
（粘着剤組成物の調製）
リービッヒ冷却器、窒素導入管、温度計および撹拌装置を備えた反応容器に、モノマー原料としてのｎ－ブチルアクリレート（ＢＡ）１００部、エチルアクリレート（ＥＡ）７８部および２－ヒドロキシルエチルアクリレート（ＨＥＡ）４０部と、重合溶媒としてのトルエンとを仕込み、重合開始剤としてのベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）０．３部を投入して窒素雰囲気下で溶液重合を行うことにより、ポリマーＰ３ａの溶液を得た。ポリマーＰ３ａの重量平均分子量（Ｍｗ）は５０万であった。上記モノマー原料の組成に基づくポリマーＰ３ａのガラス転移温度（Ｔｇ）は－３７．２℃である。
（粘着剤組成物の調製）
リービッヒ冷却器、窒素導入管、温度計および撹拌装置を備えた反応容器に、モノマー原料としてのｎ－ブチルアクリレート（ＢＡ）１００部、エチルアクリレート（ＥＡ）７８部および２－ヒドロキシルエチルアクリレート（ＨＥＡ）４０部と、重合溶媒としてのトルエンとを仕込み、重合開始剤としてのベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）０．３部を投入して窒素雰囲気下で溶液重合を行うことにより、ポリマーＰ３ａの溶液を得た。ポリマーＰ３ａの重量平均分子量（Ｍｗ）は５０万であった。上記モノマー原料の組成に基づくポリマーＰ３ａのガラス転移温度（Ｔｇ）は－３７．２℃である。
【0176】
上記ポリマーＰ３ａの溶液を室温まで冷却した後、２－イソシアナトエチルメタクリレート（昭和電工社製、商品名「カレンズＭＯＩ」）４３．６部を加え、さらにジブチルスズ（ＩＶ）ジラウレート（和光純薬工業社製）０．２部を添加し、空気雰囲気下、５０℃で２４時間攪拌することにより上記ポリマーＰ３ａにＭＯＩを付加反応させて、炭素－炭素二重結合を有するポリマーＰ３の溶液を得た。
【0177】
上記ポリマーＰ３の溶液に、該溶液中のポリマーＰ３の１００部あたり、イソシアネート系架橋剤Ａ１（トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物、東ソー社製、商品名「コロネートＬ」、固形分濃度７５重量％）を固形分基準で５部加え、さらに光開始剤（ＩＧＭ Ｒｅｇｉｎｓ社製、商品名「オムニラッド３６９」）１部を加えて混合することにより、粘着剤組成物Ｃ３を調製した。この粘着剤組成物Ｃ３を用いた他は例１に係る粘着シートの作製と同様にして、本例に係る粘着シートを得た。
【0178】
＜例４＞
上記ポリマーＰ３の溶液に、該溶液中のポリマーＰ３の１００部あたり、界面活性剤（ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、花王社製のソルビタン脂肪酸エステル、商品名「レオドールＴＷ－Ｌ １２０」、エチレンオキサイド付加モル数２０、ＨＬＢ１６．７）０．５部をさらに添加した。上記の点以外は粘着剤組成物Ｃ３の調製と同様にして、粘着剤組成物Ｃ４を調製した。この粘着剤組成物Ｃ４を用いた他は例１に係る粘着シートの作製と同様にして、本例に係る粘着シートを得た。
上記ポリマーＰ３の溶液に、該溶液中のポリマーＰ３の１００部あたり、界面活性剤（ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、花王社製のソルビタン脂肪酸エステル、商品名「レオドールＴＷ－Ｌ １２０」、エチレンオキサイド付加モル数２０、ＨＬＢ１６．７）０．５部をさらに添加した。上記の点以外は粘着剤組成物Ｃ３の調製と同様にして、粘着剤組成物Ｃ４を調製した。この粘着剤組成物Ｃ４を用いた他は例１に係る粘着シートの作製と同様にして、本例に係る粘着シートを得た。
【0179】
＜例５＞
上記ポリマーＰ３の溶液に、該溶液中のポリマーＰ３の１００部あたり、イソシアネート系架橋剤Ａ１（トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物、東ソー社製、商品名「コロネートＬ」、固形分濃度７５重量％）を固形分基準で１部加え、さらに光開始剤（ＩＧＭ Ｒｅｇｉｎｓ社製、商品名「オムニラッド３６９」）１部を加えて混合することにより、粘着剤組成物Ｃ５を調製した。この粘着剤組成物Ｃ５を用いた他は例１に係る粘着シートの作製と同様にして、本例に係る粘着シートを得た。
上記ポリマーＰ３の溶液に、該溶液中のポリマーＰ３の１００部あたり、イソシアネート系架橋剤Ａ１（トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物、東ソー社製、商品名「コロネートＬ」、固形分濃度７５重量％）を固形分基準で１部加え、さらに光開始剤（ＩＧＭ Ｒｅｇｉｎｓ社製、商品名「オムニラッド３６９」）１部を加えて混合することにより、粘着剤組成物Ｃ５を調製した。この粘着剤組成物Ｃ５を用いた他は例１に係る粘着シートの作製と同様にして、本例に係る粘着シートを得た。
【0180】
＜例６＞
（粘着剤組成物の調製）
リービッヒ冷却器、窒素導入管、温度計および撹拌装置を備えた反応容器に、モノマー原料としての２－エチルヘキシルアクリレート（２ＥＨＡ）７５部、アクリロイルモルホリン（ＡＣＭＯ）２５部、アクリル酸（ＡＡ）３部および２－ヒドロキシルエチルアクリレート（ＨＥＡ）０．１部と、重合溶媒としての酢酸エチルとを仕込み、重合開始剤としての２，２’－アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）０．２部を投入して窒素雰囲気下で溶液重合を行うことにより、ポリマーＰ６の溶液を得た。ポリマーＰ６の重量平均分子量（Ｍｗ）は１２０万であった。上記モノマー原料の組成に基づくポリマーＰ６のガラス転移温度（Ｔｇ）は－３７．４℃である。
（粘着剤組成物の調製）
リービッヒ冷却器、窒素導入管、温度計および撹拌装置を備えた反応容器に、モノマー原料としての２－エチルヘキシルアクリレート（２ＥＨＡ）７５部、アクリロイルモルホリン（ＡＣＭＯ）２５部、アクリル酸（ＡＡ）３部および２－ヒドロキシルエチルアクリレート（ＨＥＡ）０．１部と、重合溶媒としての酢酸エチルとを仕込み、重合開始剤としての２，２’－アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）０．２部を投入して窒素雰囲気下で溶液重合を行うことにより、ポリマーＰ６の溶液を得た。ポリマーＰ６の重量平均分子量（Ｍｗ）は１２０万であった。上記モノマー原料の組成に基づくポリマーＰ６のガラス転移温度（Ｔｇ）は－３７．４℃である。
【0181】
上記ポリマーＰ６の溶液に、該溶液中のポリマーＰ６の１００部あたり、イソシアネート系架橋剤Ａ１（トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物、東ソー社製、商品名「コロネートＬ」、固形分濃度７５重量％）を固形分基準で２部およびエポキシ系架橋剤Ａ２（三菱ガス化学株式会社製、商品名「テトラッドＣ」）を固形分基準で０．７部加えて混合することにより、粘着剤組成物Ｃ６を調製した。この粘着剤組成物Ｃ６を用いた他は例１に係る粘着シートの作製と同様にして、本例に係る粘着シートを得た。
【0182】
＜例７＞
上記ポリマーＰ６の溶液に、界面活性剤（ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、花王社製のソルビタン脂肪酸エステル、商品名「レオドールＴＷ－Ｌ １２０」、エチレンオキサイド付加モル数２０、ＨＬＢ１６．７）０．５部をさらに添加した。上記の点以外は粘着剤組成物Ｃ６の調製と同様にして、粘着剤組成物Ｃ７を調製した。この粘着剤組成物Ｃ７を用いた他は例１に係る粘着シートの作製と同様にして、本例に係る粘着シートを得た。
上記ポリマーＰ６の溶液に、界面活性剤（ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、花王社製のソルビタン脂肪酸エステル、商品名「レオドールＴＷ－Ｌ １２０」、エチレンオキサイド付加モル数２０、ＨＬＢ１６．７）０．５部をさらに添加した。上記の点以外は粘着剤組成物Ｃ６の調製と同様にして、粘着剤組成物Ｃ７を調製した。この粘着剤組成物Ｃ７を用いた他は例１に係る粘着シートの作製と同様にして、本例に係る粘着シートを得た。
【0183】
＜性能評価＞
各例に係る粘着シートについて、未照射通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ０、未照射水剥離スティックスリップ度ＳＳｗ０、照射後通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ１および照射後水剥離スティックスリップ度ＳＳｗ１を測定した。また、各例に係る粘着シートについて、未照射通常剥離力Ｆｄ０、未照射水剥離力Ｆｗ０、照射後通常剥離力Ｆｄ１および照射後水剥離力Ｆｗ１を測定した。結果を表１に示す。
各例に係る粘着シートについて、未照射通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ０、未照射水剥離スティックスリップ度ＳＳｗ０、照射後通常剥離スティックスリップ度ＳＳｄ１および照射後水剥離スティックスリップ度ＳＳｗ１を測定した。また、各例に係る粘着シートについて、未照射通常剥離力Ｆｄ０、未照射水剥離力Ｆｗ０、照射後通常剥離力Ｆｄ１および照射後水剥離力Ｆｗ１を測定した。結果を表１に示す。
【0184】
【表1】
【0185】
表１に示されるように、例１～５の粘着シートは、いずれもＵＶ照射を行うことによりスティックスリップ度を低下させることができた。また、例１～７の粘着シートは、いずれも水剥離を行うことによってスティックスリップ度を低下させることができた。特に、例１～５および７の粘着シートは、水剥離およびＵＶ照射の少なくともいずれかを行うことにより、顕著なスティックスリップ度の低下が認められた。また、例１～５の粘着シートは、ＵＶ照射を行ったうえで水剥離を行うことにより、特に顕著なスティックスリップ度の低下が認められた。
【0186】
さらに、例１～５の粘着シートは、いずれもＵＶ照射を行うことにより剥離力を大幅に低下させることができた。また、例１～７の粘着シートは、いずれも水剥離を行うことによって剥離力を低下させることができた。特に、例１～５の粘着シートは、いずれもＵＶ照射を行ったうえで水剥離を行うことにより、特に顕著な剥離力の低下が認められた。
【0187】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
【符号の説明】
【0188】
１，２，３，４，５，６ ウエハ加工用粘着シート
１０ 基材
１０Ａ 第一面
１０Ｂ 第二面
２１，２２ 粘着剤層
２１Ａ 第一粘着面
２１Ｂ 第二粘着面
３１，３２ 剥離ライナー
ｘ 剥離距離
ｙ 剥離力
ＳＳ スティックスリップ度
Ｌ 基準長さ
１０ 基材
１０Ａ 第一面
１０Ｂ 第二面
２１，２２ 粘着剤層
２１Ａ 第一粘着面
２１Ｂ 第二粘着面
３１，３２ 剥離ライナー
ｘ 剥離距離
ｙ 剥離力
ＳＳ スティックスリップ度
Ｌ 基準長さ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】