特許 7570264 基板収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-10

(45)【発行日】2024-10-21

(54)【発明の名称】基板収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20241011BHJP

   B65D 85/30 20060101ALI20241011BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 V

B65D85/30 500

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2021053642

(22)【出願日】2021-03-26

(65)【公開番号】P2022150855

(43)【公開日】2022-10-07

【審査請求日】2023-07-18

(73)【特許権者】

【識別番号】000190116

【氏名又は名称】信越ポリマー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002871

【氏名又は名称】弁理士法人坂本国際特許商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】小川 統

(72)【発明者】

【氏名】冨永 公徳

【審査官】小山 和俊

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１３－１８７２６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－１００７１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－０８０４５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－０２１９６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－０６８８８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－０６５０９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１６／０１３５３６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０２０／１８４３５３（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｄ ８５／３０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を収納可能な容器本体と、
前記容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、を備える基板収納容器であって、
前記容器本体は、収納された基板を視認可能なように透明性又は半透明性を有する透明窓部を含み、前記透明窓部を着脱自在に覆い、光を遮光する遮光カバーを備え、
前記遮光カバーは、収納された基板を視認可能な視認窓を有する、
ことを特徴とする基板収納容器。

【請求項2】

前記視認窓は、すべて同一形状である、
ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。

【請求項3】

前記視認窓は、基板の収納枚数よりも多く、少なくとも２５か所以上形成されている、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の基板収納容器。

【請求項4】

前記視認窓は、上下方向の長さが５ｍｍ以上１５ｍｍ以下である、
ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。

【請求項5】

前記遮光カバーは、導電性を有する材料で形成されている、
ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。

【請求項6】

前記遮光カバーは、基板収納容器又は収納した基板を識別する少なくとも１つの識別カードを保持可能である、
ことを特徴とする請求項１から５までのいずれか１項に記載の基板収納容器。

【請求項7】

前記遮光カバーは、基板収納容器又は収納した基板を識別する少なくとも１つのＲＦ－ＩＤタグを保持可能である、
ことを特徴とする請求項１から６までのいずれか１項に記載の基板収納容器。

【請求項8】

前記遮光カバーは、前記容器本体に向かって突出し、前記容器本体に接触可能な接触突部を有する、
ことを特徴とする請求項１から７までのいずれか１項に記載の基板収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板を収納する基板収納容器に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウェーハなどの基板を収納する基板収納容器は、複数の基板を収納可能な容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、を備えている。この容器本体の開口に対向する背面壁は、収納した基板を外部から確認できるように、一部（透明窓部）が透明性又は半透明性を有する材料で形成されている。

【0003】

この基板収納容器に収納された基板には、微細な回路を露光形成するために塗布されたレジストが残存していることがある。そこで、レジストは光に反応するため、意図しない反応を防止するように、透明窓部に不透明な遮光カバーを装着し、透明窓部から侵入する光を遮断する基板収納容器が知られている（特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１３－１８７２６４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、透明窓部に遮光カバーを装着すると、基板収納容器に収納された各基板の状態を外部から観察することができないため、遮光カバーを一時的に取り外す必要があった。一方、遮光カバーを光のうち紫外線をカットする材料で形成することも可能であるが、この場合、遮光カバーは半透明なものになるが、容器本体の背面壁も半透明性であると、これらが二重構造となるため、良好な視認性を確保できていない。

【0006】

そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、光の侵入を防止するとともに、収納した基板を外部から視認可能な基板収納容器を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

（１）本発明に係る１つの態様は、基板を収納可能な容器本体と、前記容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、を備える基板収納容器であって、前記容器本体は、収納された基板を視認可能なように透明性又は半透明性を有する透明窓部を含み、前記透明窓部を着脱自在に覆い、光を遮光する遮光カバーを備え、前記遮光カバーは、収納された基板を視認可能な視認窓を有するものである。
（２）上記（１）の態様において、前記視認窓は、すべて同一形状であってもよい。
（３）上記（１）又は（２）の態様において、前記視認窓は、基板の収納枚数よりも多く、少なくとも２５か所以上形成されてもよい。
（４）上記（１）から（３）までのいずれか１つの態様において、前記視認窓は、上下方向の長さが５ｍｍ以上１５ｍｍ以下であってもよい。
（５）上記（１）から（４）までのいずれか１つの態様において、前記遮光カバーは、導電性を有する材料で形成されてもよい。
（６）上記（１）から（５）までのいずれか１つの態様において、前記遮光カバーは、基板収納容器又は収納した基板を識別する少なくとも１つの識別カードを保持可能であってもよい。
（７）上記（１）から（６）までのいずれか１つの態様において、前記遮光カバーは、基板収納容器又は収納した基板を識別する少なくとも１つのＲＦ－ＩＤタグを保持可能であってもよい。
（８）上記（１）から（７）までのいずれか１つの態様において、前記遮光カバーは、前記容器本体に向かって突出し、前記容器本体に接触する接触突部を有してもよい。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、光の侵入を防止するとともに、収納した基板を外部から視認可能な基板収納容器を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明に係る実施形態の基板収納容器を示す分解斜視図である。

【図2A】遮光カバーを示す正面図である。

【図2B】遮光カバーを示す右側面図である。

【図2C】遮光カバーを示す背面図である。

【図2D】遮光カバーを示す上面図である。

【図3A】遮光カバーを装着した基板収納容器を示す部分斜視図である。

【図3B】遮光カバーを装着した基板収納容器を示す部分断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。

【0011】

図１は、本発明に係る実施形態の基板収納容器１を示す分解斜視図である。
基板収納容器１は、図１に示されるように、複数枚（例えば、２５枚）の基板Ｗを収納可能なものであり、容器本体１０と、蓋体２０とを備えている。

【0012】

容器本体１０は、正面の開口を除く面を、それぞれ天面、底面、左側面、右側面、及び背面とする箱状であり、いわゆるフロントオープンボックスタイプのものである。なお、正面開口と背面を結ぶ方向を「前後」方向とし、左側面と右側面とを結ぶ方向を「左右」方向又は「水平」方向とし、天面と底面とを結ぶ方向を「上下」方向とする。

【0013】

また、容器本体１０は、基板Ｗを支持する複数の支持体１１を左側面及び右側面に有している。支持体１１は、基板収納容器１に収納される基板Ｗの最大枚数に対応して、上下方向に等間隔で同数棚上に設けられており、同じ高さ位置に設けられた左右一対の支持体１１で同じ基板Ｗを支持することにより、容器本体１０の内部で基板Ｗが水平状態で収納されている。

【0014】

ここで、基板収納容器１に収納される基板Ｗは、例えば、直径２００ｍｍ（８インチ）や３００ｍｍ（１２インチ）のケイ素、石英、ガリウム／ヒ素、その他の材料で形成された半導体用ウェーハやマスクガラスである。なお、基板Ｗの周縁部には、ノッチやオリフラが形成されていてもよい。

【0015】

一方、蓋体２０は、容器本体１０の開口を閉鎖するものであり、トレー状のドア本体と、ドア本体を覆うドアカバーとを有し、ドア本体とドアカバーとの間には、蓋体２０を容器本体１０に着脱自在に固定する施錠機構（図示なし）が設けられている。

【0016】

また、蓋体２０は、基板収納容器１の気密性を維持するために、容器本体１０の開口の周縁に密着するガスケットが設けられている。このガスケットの材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性材を用いることができる。

【0017】

そして、これら容器本体１０及び蓋体２０は、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリプロピレン、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂やこれらのアロイなどを成形材料として射出成形されている。なお、成形材料には、必要に応じて帯電防止剤、導電性の添加物、紫外線吸収剤、酸化防止剤などが添加されてもよい。

【0018】

ところで、容器本体１０の背面壁１６は、容器本体１０に収納された各基板Ｗを外部から視認可能なように透明性を有する透明窓部１７を含んでいる。この透明窓部１７は、収納された基板Ｗを視認可能であれば、ガラスのようなクリアな透明性でなく、曇ガラスのような半透明性であってもよく、黄色を呈する半透明性の材料であってもよく、例えば、ポリカーボネートやシクロオレフィンポリマー、アクリル樹脂などで形成されている。なお、これらの材料に、ベンゾリトリアゾール系紫外線吸着材などの添加剤を添加し、外部からの紫外線を遮断するように形成してもよい。

【0019】

また、透明窓部１７は、本実施形態では、背面壁１６の上下方向に延在する略矩形状のものであり、容器本体１０にインサート成形又は二色成形で形成されている（図３Ｂ参照）が、背面壁１６の全体であってもよく、収納された基板Ｗを視認可能な程度に限られた寸法・形状であってもよい。

【0020】

つぎに、透明窓部１７を覆う遮光カバー４０について説明する。
図２は、遮光カバー４０を示すもので、図２Ａは正面図であり、図２Ｂは右側面図であり、図２Ｃは背面図であり、図２Ｄは上面図である。図３は、遮光カバー４０を装着した基板収納容器１を示すもので、図３Ａは部分斜視図であり、図３Ｂは部分断面図である。

【0021】

遮光カバー４０は、背面壁１６に着脱自在に装着されるものであり、透明窓部１７から容器本体１０内に侵入する光（例えば、紫外線）を遮断（遮光）可能なものである。遮光カバー４０は、矩形本体部分４１ａの両長辺に縁側部分４１ｂが付加されたような形状のカバー本体４１からなり、背面壁１６の曲面に沿うように、中央部が若干湾曲した曲面となっている。

【0022】

カバー本体４１は、背面壁１６に対面する内面側における縁側部分４１ｂの四隅に、４つの係合部４２を有しており（図２Ａ参照）、背面壁１６に形成された４つの被係合部（図示なし）に係合されて、着脱自在になっている。なお、係合部４２及び被係合部に永久磁石（又は磁性体）を用いて、磁力で着脱自在にしてもよい。

【0023】

また、カバー本体４１は、内面側における矩形本体部分４１ａの四隅に、容器本体１０に向かって突出し、容器本体１０に接触可能な４つの接触突部４３を有している（図２Ｃ参照）。この接触突部４３は、遮光カバー４０を容器本体１０に装着したときに、背面壁１６に密着することで、ガタツキを防止することができる。

【0024】

さらに、カバー本体４１は、外面側の中央から下方に架けて、１又は複数のカードホルダ部４４を有しており、基板収納容器１又は収納した基板Ｗを識別する少なくとも１つの識別カード５０を保持可能になっている（図２Ａ参照）。

【0025】

カードホルダ部４４は、４つのＬ字状突起４４Ｌにより、識別カード５０の外形と等しいか若干大きなホルダ領域を形成し、また、左右のガイド片４４Ｇにより、識別カード５０の厚みと等しいか若干大きい隙間をカバー本体４１との間に形成している。

【0026】

そして、左右上方のＬ字状突起４４Ｌ同士の中間には、長円形状の凹み部４４Ｄが形成されており、また、左右のガイド片４４Ｇ同士の間には、外側に突出するリブ４４Ｒが形成されており、識別カード５０を脱落させないように保持できるとともに、保持された識別カード５０を取り出し易くできるようになっている。なお、識別カード５０は、クレジットカードサイズのものであり、文字・記号、バーコード、２次元コードなどが記されている。

【0027】

さらに、カバー本体４１は、カードホルダ部４４の下方にタグ保持部４５を有しており、基板収納容器１又は収納した基板Ｗを識別する少なくとも１つのＲＦ－ＩＤタグ（無線タグ）（図示なし）を保持可能になっている。

【0028】

ＲＦ－ＩＤタグは、棒状部材や板状部材などのＲＦ－ＩＤタグ設置部材６０に設置又は埋設されており、ＲＦ－ＩＤタグ設置部材６０が、このタグ保持部４５に保持されることになる（図３Ａ参照）。なお、タグ保持部４５は、ＲＦ－ＩＤタグ設置部材６０を遮光カバー４０単体で保持しても、容器本体１０又は容器本体１０の底部に装着されたボトムプレートと協同で保持してもよい。

【0029】

ところで、遮光カバー４０は、透明窓部１７を介して、容器本体１０に収納された各基板Ｗを外部から視認可能な複数の視認窓４６をカバー本体４１に有している。

【0030】

この視認窓４６は、例えば、長円形状又は楕円形状、あるいは矩形形状であり、カバー本体４１を貫通した開口孔として形成されている。視認窓４６は、上下方向の長さ（高さ）を５ｍｍ以上１５ｍｍ以下、好ましくは８ｍｍ以上１３ｍｍ以下であるとよく、本実施形態では１２ｍｍとしている。視認窓４６の長さをこのような範囲にすることで、３ｍ以上の高さに天井照明があるとすれば、照明光が視認窓４６から侵入するとしても、遮光カバー４０（視認窓４６の上辺部）が庇として十分機能する。

【0031】

そして、この視認窓４６は、基板Ｗの収納枚数よりも多く設けられるとよく、また、すべて同一形状に形成されているとよい。例えば、視認窓４６は、カバー本体４１の左側及び右側にそれぞれ千鳥配列状に、隣接する視認窓４６の高さが一部重複するように、合計５０か所に形成されているが、少なくとも左側又は右側のいずれか一方側だけに形成され、２５か所以上形成されていればよい。

【0032】

さらに、遮光カバー４０は、１×１０^４～１０^９Ω／□程度の表面抵抗率を呈する導電性（あるいは静電気導電性・拡散性）を有しているとよい。このような導電性を付与するために、カーボン粉末や繊維などの導電性材料を、遮光カバー４０を形成する成形樹脂に混入させることができる。そのため、遮光カバー４０は、黒色を呈することになり、不透明なものとなる。なお、透明窓部１７と同様に、遮光カバー４０の成形樹脂にも、ベンゾリトリアゾール系紫外線吸着材などの添加剤を更に添加してもよい。

【0033】

以上説明したとおり、本発明に係る実施形態の基板収納容器１は、基板Ｗを収納可能な容器本体１０と、容器本体１０の開口を閉鎖する蓋体２０と、を備える基板収納容器１であって、容器本体１０は、収納された基板Ｗを視認可能なように透明性又は半透明性を有する透明窓部１７を含み、透明窓部１７を着脱自在に覆い、光を遮光する遮光カバー４０を備え、遮光カバー４０は、収納された基板Ｗを視認可能な視認窓４６を有するものである。

【0034】

これにより、透明窓部１７からの光の侵入を遮光カバー４０で防止できるとともに、遮光カバー４０の視認窓４６及び容器本体１０の透明窓部１７を介して、収納した基板Ｗを外部から視認することができる。

【0035】

実施形態の視認窓４６は、すべて同一形状である。これにより、小さな視認窓４６を複数設けて、総開口面積を小さくすることができ、容器本体１０内への光の侵入を更に抑制することができる。

【0036】

実施形態の視認窓４６は、基板Ｗの収納枚数よりも多く、少なくとも２５か所以上形成されている。これにより、収納された各基板Ｗのすべてを外部から視認することができる。

【0037】

実施形態の視認窓４６は、上下方向の長さが５ｍｍ以上１５ｍｍ以下である。これにより、天井照明などの光が、容器本体１０に収納された基板Ｗに届かないように、大幅に削減することができ、また、基板Ｗの視認性を悪化させることがない。

【0038】

実施形態の遮光カバー４０は、導電性を有する材料で形成されている。これにより、作業者のクリーン服などが基板収納容器１に接触したとしても、帯電することがなく、帯電による空中のパーティクルの付着・誘引を防止することができる。

【0039】

実施形態の遮光カバー４０は、基板収納容器１又は収納した基板Ｗを識別する少なくとも１つの識別カード５０を保持可能である。これにより、容器本体１０に識別カード５０を保持する構造を有する場合には、遮光カバー４０を装着することで、容器本体１０に識別カード５０を保持しても検出・目視することができず、使用できないが、遮光カバー４０のカードホルダ４４で識別カード５０を保持することで、検出・目視することができる。また、容器本体１０に識別カード５０を保持する構造を有さない場合でも、遮光カバー４０を装着することで、識別カード５０を保持することができる。

【0040】

実施形態の遮光カバー４０は、基板収納容器１又は収納した基板Ｗを識別する少なくとも１つのＲＦ－ＩＤタグ（ＲＦ－ＩＤタグ設置部材６０）を保持可能である。これにより、容器本体１０にＲＦ－ＩＤタグを保持する構造を有さない場合でも、遮光カバー４０を装着することで、ＲＦ－ＩＤタグを保持することができる。

【0041】

実施形態の遮光カバー４０は、容器本体１０に向かって突出し、容器本体１０に接触する接触突部４３を有している。これにより、基板収納容器１に衝撃や振動が作用しても、遮光カバー４０のガタツキを防止することができるため、摩擦（擦過）によって粉塵（パーティクル）が発生することがない。

【0042】

以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

【0043】

（変形例）
上記実施形態では、透明窓部１７は、背面壁１６に形成されていたが、容器本体１０の左側面などその他の面であってもよい。

【0044】

上記実施形態の遮光カバー４０は、係合部４２と被係合とを係合させることで固定されたが、係合部４２を孔形状として、ボルト（ネジ）止めによって固定するようにしてもよい。金属製のボルトを係合に用いることで、容器本体１０（特には、透明窓部１７）に帯電した静電気を、ボルトを介して遮光カバー４０に導電させることができる。

【0045】

上記実施形態の遮光カバー４０は、導電性を有するものであったが、静電気を逃がすことができれば、１×１０^１１～１０^１３Ω／□程度の表面抵抗率を呈する帯電防止性を有するものであってもよい。

【0046】

上記実施形態の遮光カバー４０は、黒色で不透明なものであったが、光のうち紫外線光を遮断可能な黄色を呈する半透明性を有するものであってもよい。この場合、遮光カバー４０を形成する透明性を有する材料に、上述したベンゾリトリアゾール系紫外線吸着材などを添加するとよい。

【符号の説明】

【0047】

１ 基板収納容器
１０ 容器本体、１１ 支持体、１６ 背面壁、１７ 透明窓部
２０ 蓋体
４０ 遮光カバー、４１ カバー本体、４２ 係合部、４３ 接触突部、４４ カードホルダ部、４５ タグ保持部、４６ 視認窓
５０ 識別カード
６０ ＲＦ－ＩＤタグ設置部材
Ｗ 基板

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図2C】

【図2D】

【図3A】

【図3B】