特許 7571620 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-15

(45)【発行日】2024-10-23

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド及び液体吐出装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20241016BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 305

B41J2/14 613

【請求項の数】 14

(21)【出願番号】P 2021032342

(22)【出願日】2021-03-02

(65)【公開番号】P2022133583

(43)【公開日】2022-09-14

【審査請求日】2024-01-23

(73)【特許権者】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100179475

【弁理士】

【氏名又は名称】仲井 智至

(74)【代理人】

【識別番号】100216253

【弁理士】

【氏名又は名称】松岡 宏紀

(74)【代理人】

【識別番号】100225901

【弁理士】

【氏名又は名称】今村 真之

(72)【発明者】

【氏名】玉井 捷太郎

(72)【発明者】

【氏名】四十物 孝憲

(72)【発明者】

【氏名】片倉 孝浩

(72)【発明者】

【氏名】福澤 祐馬

【審査官】小宮山 文男

(56)【参考文献】

【文献】特開２００８－０２３７９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１５５７６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１７７５８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０５５４９３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ４１Ｊ ２／０１－２／２１５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体吐出ヘッドであって、
液体を吐出する複数のノズルが第１方向に配列したノズル列と、
前記複数のノズルのうちの所定のノズルに連通し、前記第１方向と交差する第２方向に
延在するノズル流路と、
前記液体に圧力を付与する第１圧力室と、
前記液体に圧力を付与し、前記第１圧力室に対して前記第１方向に隣り合う第２圧力室
と、
前記第１圧力室と前記ノズル流路とを連通させ、前記第１方向及び前記第２方向の両方
に直交する第３方向に延在する第１連通流路と、
前記第２圧力室と前記ノズル流路とを連通させ、前記第３方向に延在する第２連通流路
と、を有し、
前記第２方向から見たとき、前記第１連通流路の前記第２連通流路側に位置する内壁面
は、前記第１方向と前記第３方向との両方に交差する第４方向に延在する第１傾斜面を含
むことを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項2】

請求項１に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第２方向から見たとき、前記第１連通流路の前記内壁面は、前記第３方向に延在す
る第１連通流路内壁面を有し、
前記第１傾斜面は、前記第１連通流路内壁面と接続することを特徴とする液体吐出ヘッ
ド。

【請求項3】

請求項２に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第２方向から見たとき、前記第２連通流路の前記第１連通流路側に位置する内壁面
は、前記第１方向と前記第３方向と前記第４方向とのいずれにも交差する第５方向に延在
する第２傾斜面を含むことを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項4】

請求項３に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第１傾斜面と前記第２傾斜面とは、互いに接続することを特徴とする液体吐出ヘッ
ド。

【請求項5】

請求項４に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記ノズル流路の内壁面は、ノズル流路内壁面を有し、
前記ノズル流路内壁面は、前記第２方向に延在して、前記第１傾斜面と前記第２傾斜面
とに接続することを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項6】

請求項２に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第２方向から見たとき、前記第２連通流路の内壁面は、前記第３方向に延在する第
２連通流路内壁面を有し、
前記第１傾斜面は、前記第１連通流路内壁面と前記第２連通流路内壁面とに接続するこ
とを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項7】

請求項１～請求項６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第２方向から見たとき、前記第１連通流路の外壁面は、前記第３方向に延在する第
１連通流路外壁面を有し、
前記第２方向から見たとき、前記ノズル流路の外壁面は、前記第１方向に延在し、前記
第１連通流路外壁面に接続する第１ノズル流路外壁面を有することを特徴とする液体吐出
ヘッド。

【請求項8】

請求項１～請求項７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記液体に圧力を付与し、前記第１圧力室に対して前記第２方向に位置する第３圧力室
と、
前記液体に圧力を付与し、前記第３圧力室に対して前記第１方向に隣り合う第４圧力室
と、
前記第３圧力室と前記ノズル流路とを連通させ、前記第３方向に延在する第３連通流路
と、
前記第４圧力室と前記ノズル流路とを連通させ、前記第３方向に延在する第４連通流路
と、を更に有し、
前記第２方向から見たとき、前記第３連通流路の前記第４連通流路側に位置する内壁面
は、前記第４方向に延在する第３傾斜面を含むことを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項9】

請求項３～請求項８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第２方向から見たとき、前記第４方向は、前記第１方向に対して、３０°以上７０
°以下の範囲で傾斜していることを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項10】

請求項１～請求項９のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第１傾斜面には、保護膜が設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項11】

請求項１０に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記保護膜は、第１層と、前記第１層の外面に積層される第２層とを有していることを
特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項12】

請求項１１に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第１層は、シリコンの酸化物により構成され、
前記第２層は、タンタルの酸化物により構成されていることを特徴とする液体吐出ヘッ
ド。

【請求項13】

請求項１１に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第１層は、シリコンの酸化物により構成され、
前記第２層は、ハフニウムの酸化物、ダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム
のいずれかで構成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項14】

請求項１～請求項１３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドからの吐出動作を制御する制御部と、を有することを特徴とする液
体吐出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、圧電素子等を駆動して圧力室内に圧力を付与することで、圧力室内の液体をノズルから吐出する液体吐出ヘッドが知られている。特許文献１の液体吐出ヘッドでは、ノズル配列方向とは交差する方向に並んだ２つの圧力室を、１つのノズルに連通させる構成が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１８－１０３４１８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１とは異なり、液体吐出ヘッドが、ノズル配列方向に並ぶ複数の圧力室を１つのノズルに連通させる構成の場合には、複数の圧力室に連通する連通流路同士の間に形成される隔壁において、気泡が滞留することで、吐出効率が低下することが考えられる。

【課題を解決するための手段】

【0005】

液体吐出ヘッドは、液体を吐出する複数のノズルが第１方向に配列したノズル列と、前記複数のノズルのうちの所定のノズルに連通し、前記第１方向と交差する第２方向に延在するノズル流路と、前記液体に圧力を付与する第１圧力室と、前記液体に圧力を付与し、前記第１圧力室に対して前記第１方向に隣り合う第２圧力室と、前記第１圧力室と前記ノズル流路とを連通させ、前記第１方向及び前記第２方向の両方に直交する第３方向に延在する第１連通流路と、前記第２圧力室と前記ノズル流路とを連通させ、前記第３方向に延在する第２連通流路と、を有し、前記第２方向から見たとき、前記第１連通流路の前記第２連通流路側に位置する内壁面は、前記第１方向と前記第３方向との両方に交差する第４方向に延在する第１傾斜面を含む。

【0006】

液体吐出装置は、上記の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドからの吐出動作を制御する制御部と、を有する。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】第１実施形態に係る液体吐出装置の構成を示す説明図。

【図2】液体吐出ヘッドの分解斜視図。

【図3】連通板に形成される流路を斜め方向から見た概透視図。

【図4】液体吐出装置の流路及び循環機構の説明図。

【図5】図４におけるＡ－Ａ線の断面図。

【図6】圧電素子の近傍を拡大した断面図。

【図7】図４におけるＢ－Ｂ線の断面図。

【図8】図４におけるＣ－Ｃ線の断面図。

【図9】図４におけるＤ－Ｄ線の断面図。

【図10】隔壁における保護膜を示す拡大断面図。

【図11】第２実施形態に係る隔壁を示す断面図。

【図12】第３実施形態に係る隔壁を示す断面図。

【図13】第４実施形態に係るノズル流路を示す断面図。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。ただし、各図において、各部の寸法及び縮尺は、実際のものと適宜に異ならせてある。また、以下に述べる実施の形態は、好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において、特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。

【0009】

１．第１実施形態
以下、図１を参照し、第１実施形態に係る液体吐出装置１００について説明する。

【0010】

図１は、本実施形態に係る液体吐出装置１００の構成を示す説明図である。
本実施形態の液体吐出装置１００は、液体としてのインクを媒体Ｐに吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体Ｐは、印刷用紙であるが、樹脂フィルム又は布帛等の任意の印刷対象を媒体Ｐとして用いることができる。

【0011】

図１に示すように、液体吐出装置１００は、インクを貯留する液体容器９３を備える。液体容器９３としては、例えば、液体吐出装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、又は、インクを補充可能なインクタンク等を採用することができる。液体容器９３には、色彩が相違する複数種のインクが貯留される。

【0012】

液体吐出装置１００は、制御部９０と移動機構９１と搬送機構９２と循環機構９４とを備える。このうち、制御部９０は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）又はＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と、半導体メモリー等の記憶回路とを含み、液体吐出装置１００の各要素を制御する。

【0013】

移動機構９１は、制御部９０の制御により、媒体Ｐを＋Ｙ方向に搬送する。なお、以下では、＋Ｙ方向と、＋Ｙ方向とは反対の方向である－Ｙ方向とを、Ｙ軸方向と総称する。

【0014】

搬送機構９２は、制御部９０の制御により、複数の液体吐出ヘッド１を、＋Ｘ方向、及び、＋Ｘ方向とは反対の方向となる－Ｘ方向に往復動作させる。なお、以降では、＋Ｘ方向及び－Ｘ方向をＸ軸方向と総称する。ここで、Ｘ軸方向とは、Ｙ軸方向に直交する方向を含めた交差する方向である。搬送機構９２は、収納ケース９２１と、収納ケース９２１が固定された無端ベルト９２２とを具備している。収納ケース９２１には、Ｙ軸方向を長手方向とする複数の液体吐出ヘッド１がＸ軸方向に並んで収納される。なお、液体容器９３を液体吐出ヘッド１と共に収納ケース９２１に収納してもよい。

【0015】

循環機構９４は、制御部９０の制御により、液体容器９３に貯留されたインクを、液体吐出ヘッド１に設けられた供給流路５３（図４参照）に供給する。更に、循環機構９４は、制御部９０の制御により、液体吐出ヘッド１に設けられた排出流路５４（図４参照）に貯留されたインクを回収し、回収したインクを、供給流路５３に還流させる。

【0016】

制御部９０は、液体吐出ヘッド１の吐出動作を制御する。具体的には、液体吐出ヘッド１には、制御部９０から、液体吐出ヘッド１を駆動するための駆動信号ＣＯＭと、液体吐出ヘッド１を制御するための制御信号ＳＩとが供給される。そして、液体吐出ヘッド１は、制御信号ＳＩによる制御のもとで駆動信号ＣＯＭにより駆動され、液体吐出ヘッド１に設けられた複数のノズルＮ（図２参照）の一部又は全部から、－Ｚ方向にインクを吐出させる。

【0017】

－Ｚ方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向を含めた交差する方向である。以下では、－Ｚ方向と、－Ｚ方向とは反対の方向である＋Ｚ方向とを、Ｚ軸方向と総称する。なお、本実施形態では、－Ｚ方向が重力方向として、＋Ｚ方向が重力とは反対方向としている。

【0018】

液体吐出ヘッド１は、移動機構９１による媒体Ｐの搬送動作と、搬送機構９２による液体吐出ヘッド１の往復動作とに連動して、複数のノズルＮの一部又は全部からインクを吐出させて、吐出されたインクを媒体Ｐの表面に着弾させることで、媒体Ｐの表面に所望の画像を形成する。本実施形態の液体吐出装置１００は、液体吐出ヘッド１が媒体Ｐに対して往復動作を行って画像を形成するシリアル方式の液体吐出装置である。

【0019】

図２は、液体吐出ヘッド１の分解斜視図である。図３は、連通板２に形成される流路を斜め方向から見た概透視図である。図４は、液体吐出装置１００の流路及び循環機構９４の説明図である。なお、図４は、液体吐出ヘッド１の流路を＋Ｚ方向から見た状態を模式的に示している。図５は、図４におけるＡ－Ａ線の断面図である。
図２～図５を適宜参照し、液体吐出ヘッド１の概要を説明する。

【0020】

図２に示すように、液体吐出ヘッド１は、連通板２、圧力室基板３、振動板４、振動板４に設置される圧電素子ＰＺ、貯留室形成基板５、封止部材（図示省略）、配線基板８、ノズル基板６０、及びコンプライアンスシート６１，６２を備える。

【0021】

ここで、連通板２よりも＋Ｚ方向には、圧力室基板３、振動板４、振動板４に設置される圧電素子ＰＺ、及び貯留室形成基板５、封止部材、配線基板８が設置される。他方、連通板２よりも－Ｚ方向には、ノズル基板６０及びコンプライアンスシート６１，６２が設置される。液体吐出ヘッド１を構成する各部材は、概ねＹ軸方向に長尺な板状部材であり、例えば接着剤により互いに接合される。

【0022】

図２に示すように、ノズル基板６０は、Ｙ軸方向に沿って配列される複数のノズルＮがノズル列Ｌｎを形成する板状部材である。なお、Ｙ軸方向は後述する第１方向に対応している。なお、ノズルＮは、インクを通過させる貫通孔である。ノズル基板６０は、例えば、ドライエッチング又はウェットエッチング等の加工技術を用いる半導体製造技術によりシリコン単結晶基板を加工することにより製造される。ただし、ノズル基板６０の製造には、他の公知の方法及び材料が適宜に用いられてもよい。

【0023】

ノズル基板６０の＋Ｚ方向には、連通板２が設置される。連通板２は、インクの流路を形成するための板状部材である。図２、図３に示すように、連通板２には、－Ｘ方向から＋Ｘ方向に向かって順に、供給流路２１、中継流路２２、接続流路２３、連通流路２４、ノズル流路２５、連通流路２４、接続流路２３、中継流路２６、排出流路２７が設けられる。なお、これらの流路は、上述した液体吐出ヘッド１の構成部材が接合されることにより、それぞれが連通し、連通した流路の内部をインクが流動する。

【0024】

連通板２において、供給流路２１、排出流路２７は、Ｙ軸方向に沿って延在する１つの貫通孔である。また、中継流路２２、－Ｘ方向の接続流路２３、－Ｘ方向の連通流路２４、ノズル流路２５、＋Ｘ方向の連通流路２４、＋Ｘ方向の接続流路２３、中継流路２６は、Ｙ軸方向に沿って列状に複数形成される。また、中継流路２２、ノズル流路２５、及び中継流路２６は、－Ｚ方向の面に形成される。また、接続流路２３及び連通流路２４は、貫通孔である。連通板２は、ノズル基板６０と同様に、例えば、半導体製造技術によりシリコン単結晶基板を加工することにより製造される。ただし、連通板２の製造には、他の公知の方法及び材料が適宜に用いられてもよい。なお、ここでは１つの中継流路２２が２つの接続流路２３に接続する場合を示したが、１つの中継流路２２が４つの接続流路２３に接続しても良いし、Ｙ方向に並ぶ全ての接続流路２３に接続しても良い。中継流路２６についても同様である。

【0025】

連通板２の＋Ｚ方向には、圧力室基板３が設置される。圧力室基板３は、複数の圧力室ＣＶが形成される板状部材である。図２に示すように、複数の圧力室ＣＶは、Ｙ軸方向に沿って並ぶと共に、－Ｘ方向と＋Ｘ方向とに１列ずつ合計２列設置される。圧力室ＣＶは、室内に充填されるインクに圧力を付与するためのキャビティーと称される空間である。圧力室ＣＶは、圧力室基板３の両面に開口する貫通孔で構成されており、Ｘ軸に沿う方向に延在する長尺状をなす。圧力室基板３は、ノズル基板６０と同様に、例えば、半導体製造技術によりシリコン単結晶基板を加工することにより製造される。ただし、圧力室基板３の製造には、他の公知の方法及び材料が適宜に用いられてもよい。

【0026】

圧力室基板３の＋Ｚ方向には、振動板４が設置される。振動板４は、弾性的に変形可能な板状部材である。振動板４の＋Ｚ方向の面には、各圧力室ＣＶに対応して圧電素子ＰＺが配置される。各圧電素子ＰＺは、駆動信号ＣＯＭの供給により変形する受動素子であり、Ｘ軸方向に沿う方向に延在する長尺状をなす。複数の圧電素子ＰＺは、圧力室ＣＶに対応して、Ｙ軸方向に沿って配列される。圧電素子ＰＺの変形に連動して振動板４が振動すると、圧電素子ＰＺに対応する圧力室ＣＶ内の圧力が変動することにより、対応するノズルＮからインクが吐出される。

【0027】

連通板２の＋Ｚ方向には、貯留室形成基板５が設置される。貯留室形成基板５は、Ｙ軸方向に長尺な部材であり、インクの流路が形成される。具体的には、貯留室形成基板５には、１つの供給流路５３（図５）と、１つの排出流路５４（図５）とが形成される。このうち、供給流路５３は、連通板２の供給流路２１と連通し、貯留室形成基板５の－Ｘ方向で、Ｙ軸方向に延在するように設置される。また、排出流路５４は、連通板２の排出流路２７と連通し、貯留室形成基板５の＋Ｘ方向で、Ｙ軸方向に延在するように設置される。

【0028】

貯留室形成基板５には、図２、図５に示すように、供給流路５３と連通する導入口５１と、排出流路５４と連通する排出口５２とが設けられる。そして、供給流路５３には、液体容器９３から導入口５１を介してインクが供給される。また、排出流路５４に貯留されたインクは、排出口５２を介して回収される。排出口５２から回収されたインクは、インクを貯留する液体容器９３に戻され、インクを循環することが可能となっている。

【0029】

また、貯留室形成基板５には、開口５０が設けられる。開口５０の内側には、圧力室基板３と、振動板４と、配線基板８と、図示省略する封止部材とが設けられる。貯留室形成基板５は、例えば、樹脂材料の射出成形により形成される。ただし、貯留室形成基板５の製造には公知の材料や製法が適宜用いられることでよい。

【0030】

図５に示すように、連通板２の－Ｘ方向において、－Ｚ方向の面上には、供給流路２１と中継流路２２と接続流路２３とを閉塞するように、コンプライアンスシート６１が設けられる。コンプライアンスシート６１は、弾性材料から形成されており、供給流路２１と中継流路２２と接続流路２３の内部のインクの圧力変動を吸収する。また、図５に示すように、連通板２の＋Ｘ方向において、－Ｚ側の面上には、排出流路２７と中継流路２６と接続流路２３とを閉塞するように、コンプライアンスシート６２が設けられる。コンプライアンスシート６２は、弾性材料から形成されており、排出流路２７と中継流路２６と接続流路２３の内部のインクの圧力変動を吸収する。

【0031】

図３～図５を参照して、本実施形態の吐出ヘッド１において、複数のノズルＮのうちの所定の１つのノズルＮからインクを吐出するための流路構成を説明する。なお、以降の説明において、１つのノズルＮからインクを吐出するための流路構成を、便宜上、基本的な流路構成と呼称する。

【0032】

本実施形態では、液体吐出ヘッド１において、＋Ｙ方向の端部に構成される基本的な流路構成を取り上げて説明する。なお、本実施形態の基本的な流路構成は、ノズル列Ｌｎの配列方向となるＹ軸方向に並ぶ、－Ｘ方向の隣り合う２つの圧力室ＣＶと、＋Ｘ方向の隣り合う２つの圧力室ＣＶとを１つのノズルに連通させる構成となる。

【0033】

なお、本実施形態では、Ｙ軸方向が第１方向に対応し、Ｘ軸方向が第２方向に対応し、Ｚ軸方向が第３方向に対応する。以降の説明では、Ｙ軸方向と第１方向、Ｘ軸方向と第２方向、Ｚ軸方向と第３方向とを適宜使用する。

【0034】

本実施形態の基本的な流路構成を具体的に－Ｘ方向から＋Ｘ方向に向かって順に説明する。
基本的な流路構成として、供給流路２１に連通し、Ｘ軸方向に延在する１つの中継流路２２と、１つの中継流路２２に連通し、Ｚ軸方向（第３方向）に延在する２つの接続流路２３とを備える。この２つの接続流路２３に対して、＋Ｙ方向の接続流路２３を第１接続流路２３１とする。また、第１接続流路２３１の－Ｙ方向で隣り合う他方の接続流路２３を第２接続流路２３２とする。

【0035】

そして、第１接続流路２３１は、Ｘ軸方向（第２方向）に延在する１つの圧力室ＣＶに連通する。この第１接続流路２３１に連通する１つの圧力室ＣＶを第１圧力室ＣＶ１とする。第１接続流路２３１は、第１圧力室ＣＶ１の－Ｘ方向の端部領域に連通する。また、第２接続流路２３２は、第１圧力室ＣＶ１に対してＹ軸方向（第１方向）、具体的には－Ｙ方向に隣り合い、Ｘ軸方向（第２方向）に延在する１つの圧力室ＣＶに連通する。この第２接続流路２３２に連通する１つの圧力室ＣＶを第２圧力室ＣＶ２とする。第２接続流路２３２は、第２圧力室ＣＶ２の－Ｘ方向の端部領域に連通する。

【0036】

そして、第１圧力室ＣＶ１は、Ｚ軸方向（第３方向）に延在する１つの連通流路２４に連通する。この第１圧力室ＣＶ１に連通する１つの連通流路２４を第１連通流路２４１とする。第１連通流路２４１は、第１圧力室ＣＶ１の＋Ｘ方向の端部領域に連通する。また、第２圧力室ＣＶ２は、Ｚ軸方向（第３方向）に延在する１つの連通流路２４に連通する。この第２圧力室ＣＶ２に連通する１つの連通流路２４を第２連通流路２４２とする。第２連通流路２４２は、第２圧力室ＣＶ２の＋Ｘ方向の端部領域に連通する。

【0037】

そして、第１連通流路２４１と第２連通流路２４２とは、Ｘ軸方向（第２方向）に延在する１つのノズル流路２５に連通する。ノズル流路２５は、Ｙ軸方向（第１方向）と交差するＸ軸方向（第２方向）に延在している。なお、交差とは、直交や、直交せずともＸＹ平面上であれば、斜めの交差も含む概念である。第１連通流路２４１と第２連通流路２４２とは、ノズル流路２５の－Ｘ方向の端部に連通する。

【0038】

ノズル流路２５をＺ軸方向から見た場合、概矩形を成すノズル流路２５のＸ軸方向及びＹ軸方向の略中央にノズルＮが位置している。なお、略中央とは、厳密に同一である場合の他に、誤差を考慮すれば中央であるとみなせる場合を含む概念である。

【0039】

なお、第１連通流路２４１は、言い換えると、第１圧力室ＣＶ１とノズル流路２５とを連通させ、Ｙ軸方向（第１方向）及びＸ軸方向（第２方向）の両方に直交するＺ軸方向（第３方向）に延在するといえる。また、第２連通流路２４２は、第２圧力室ＣＶ２とノズル流路２５とを連通させ、Ｚ軸方向（第３方向）に延在するといえる。

【0040】

そして、１つのノズル流路２５は、Ｚ軸方向（第３方向）に延在する２つの連通流路２４に連通する。この２つの連通流路２４に対して、＋Ｙ方向の連通流路２４を第３連通流路２４３とする。また、第３連通流路２４３の－Ｙ方向で隣り合う他方の連通流路２４を第４連通流路２４４とする。第３連通流路２４３と第４連通流路２４４とは、ノズル流路２５の＋Ｘ方向の端部に連通する。

【0041】

そして、第３連通流路２４３は、Ｘ軸方向に延在する１つの圧力室ＣＶに連通する。この第３連通流路２４３に連通する１つの圧力室ＣＶを第３圧力室ＣＶ３とする。第３連通流路２４３は、第３圧力室ＣＶ３の－Ｘ方向の端部領域に連通する。また、第４連通流路２４４は、Ｚ軸方向（第３方向）に延在する１つの圧力室ＣＶに連通する。この第４連通流路２４４に連通する１つの圧力室ＣＶを第４圧力室ＣＶ４とする。第４連通流路２４４は、第４圧力室ＣＶ４の－Ｘ方向の端部領域に連通する。

【0042】

なお、第３圧力室ＣＶ３は、第１圧力室ＣＶ１に対してＸ軸方向（第２方向）、具体的に＋Ｘ方向に位置する。また、第４圧力室ＣＶ４は、第３圧力室ＣＶ３に対してＹ軸方向（第１方向）、具体的に－Ｙ方向に隣り合う位置に位置する。

【0043】

ここで、言い換えると、第３連通流路２４３は、第３圧力室ＣＶ３とノズル流路２５とを連通させ、Ｙ軸方向（第１方向）及びＸ軸方向（第２方向）の両方に直交するＺ軸方向（第３方向）に延在するといえる。また、第４連通流路２４４は、第４圧力室ＣＶ４とノズル流路２５とを連通させ、Ｚ軸方向（第３方向）に延在するといえる。

【0044】

そして、第３圧力室ＣＶ３は、Ｚ軸方向（第３方向）に延在する１つの接続流路２３に連通する。この第３圧力室ＣＶ３に連通する１つの接続流路２３を第３接続流路２３３とする。第３接続流路２３３は、第３圧力室ＣＶ３の＋Ｘ方向の端部領域に連通する。また、第４圧力室ＣＶ４は、Ｚ軸方向（第３方向）に延在する１つの接続流路２３に連通する。この第４圧力室ＣＶ４に連通する１つの接続流路２３を第４接続流路２３４とする。第４接続流路２３４は、第４圧力室ＣＶ４の＋Ｘ方向の端部領域に連通する。

【0045】

そして、第３接続流路２３３と第４接続流路２３４とは、Ｘ軸方向に延在する１つの中継流路２６に連通する。この中継流路２６は、排出流路２７に連通する。

【0046】

中継流路２２から中継流路２６までの各流路をＺ軸方向から見た場合、本実施形態では、１つのノズルＮを中心として、概略点対称に構成されている。なお、ここでの点対称とは、厳密な点対象ではなく、エッチングなどの成型による歪みなどが含まれ、概ね点対称とみなされる概念である。

【0047】

第１圧力室ＣＶ１の＋Ｚ方向に相対する振動板４には、＋Ｚ方向の面にＸ軸方向に延在して形成される第１圧電素子ＰＺ１が設置される。同様に、第２圧力室ＣＶ２の＋Ｚ方向に相対する振動板４には、＋Ｚ方向の面にＸ軸方向に延在して形成される第２圧電素子ＰＺ２が設置される。同様に、第３圧力室ＣＶ３の＋Ｚ方向に相対する振動板４には、＋Ｚ方向の面にＸ軸方向に延在して形成される第３圧電素子ＰＺ３が設置される。同様に、第４圧力室ＣＶ４の＋Ｚ方向に相対する振動板４には、＋Ｚ方向の面にＸ軸方向に延在して形成される第４圧電素子ＰＺ４が設置される。

【0048】

液体吐出ヘッド１の流路は、以上説明したように、基本的な流路構成を１つの構成単位又は１つの組として、ノズルＮの数に合せて、Ｙ軸方向に所定の間隔で列状に配置されている。

【0049】

図６は、圧電素子ＰＺの近傍を拡大した断面図である。
図６に示すように、振動板４は、詳細には、弾性膜である第１層４１と、絶縁膜である第２層４２と、を有し、これらがこの順に＋Ｚ方向に積層される。第１層４１は、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ₂）で構成される弾性膜である。弾性膜は、例えば、シリコン単結晶基板の一方の面を熱酸化することにより形成される。第２層４２は、例えば、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）で構成される絶縁膜である。絶縁膜は、例えば、スパッタ法によりジルコニウムの層を形成し、形成したジルコニウムの層を熱酸化することにより形成される。なお、振動板４の一部又は全部は、圧力室基板３と同一材料で一体に構成されてもよい。また、振動板４は、単一材料の層で構成されてもよい。

【0050】

図６に示すように、圧電素子ＰＺは、下部電極４３１と上部電極４３３との間に、圧電体４３２を介在させた積層体であり、これらはＺ軸方向に積層されている。圧電素子ＰＺは、Ｚ軸方向から見たときに、下部電極４３１と上部電極４３３と圧電体４３２とが重なる部分となる。また、圧電素子ＰＺの－Ｚ方向には、圧力室ＣＶが設けられる。本実施形態において、下部電極４３１は、複数の圧電素子ＰＺに対して共通の共通電極であり、上部電極４３３は、複数の圧電素子ＰＺに対して個別に設けられた個別電極である。ただし、下部電極４３１を個別電極とし、上部電極４３３を共通電極とする構成としてもよい。

【0051】

図７は、図４におけるＢ－Ｂ線の断面図である。
図２、図５、図７に示すように、振動板４の＋Ｚ方向の面には、配線基板８が実装される。配線基板８は、制御部９０及び液体吐出ヘッド１を電気的に接続するための部品である。配線基板８は、例えば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）又はＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の可撓性の配線基板が好適に採用される。

【0052】

配線基板８には、圧電素子ＰＺを駆動する駆動回路８１が電気的に接続される。駆動回路８１は、制御信号ＳＩによる制御のもとで、圧電素子ＰＺに対して、駆動信号ＣＯＭを供給するか否かを切り替える電気回路である。図６に示すように、駆動回路８１は、振動板４上に形成された配線部４４を介して、圧電素子ＰＺの上部電極４３３に対して駆動信号ＣＯＭを供給する。

【0053】

配線基板８は、駆動回路８１が実装される本体部８２と、本体部８２に対して略９０°に折り曲げられて振動板４に接続される接続端部８３とを含んでいる。振動板４に配線基板８が実装された状態において、接続端部８３は、振動板４と略平行な姿勢であり、本体部８２は、振動板４に略垂直な姿勢となる。

【0054】

本実施形態の液体吐出ヘッド１は、図示省略する封止部材を備えている。封止部材は、複数の圧電素子ＰＺを保護すると共に、圧力室基板３及び振動板４の機械的な強度を補強する。封止部材は、複数の圧電素子ＰＺを収容する凹部を設け、貯留室形成基板５の開口５０に囲まれる状態で、振動板４の＋Ｚ方向の面に、例えば接着剤により接合させている。

【0055】

図３～図５に示すように、本実施形態において、液体容器９３から導入口５１に供給されたインクは、供給流路５３を経由して、連通板２の供給流路２１に流入する。そして、供給流路２１に流入したインクの一部は、中継流路２２、第１接続流路２３１を経由して、第１圧力室ＣＶ１に流入する。また、供給流路２１に流入したインクの一部は、中継流路２２、第２接続流路２３２を経由して、第２圧力室ＣＶ２に流入する。

【0056】

第１圧力室ＣＶ１に流入したインクの一部は、第１連通流路２４１を経由してノズル流路２５に流入する。また、第２圧力室ＣＶ２に流入したインクの一部は、第２連通流路２４２を経由してノズル流路２５に流入する。ノズル流路２５に流入したインクの一部は、第３連通流路２４３を経由して、第３圧力室ＣＶ３に流入する。また、ノズル流路２５に流入したインクの一部は、第４連通流路２４４を経由して、第４圧力室ＣＶ４に流入する。

【0057】

そして、第３圧力室ＣＶ３に流入したインクの一部は、第３接続流路２３３を経由して中継流路２６に流入する。第４圧力室ＣＶ４に流入したインクの一部は、第４接続流路２３４を経由して中継流路２６に流入する。中継流路２６に流入したインクは、排出流路２７と排出流路５４とを経由して、排出口５２から排出される。

【0058】

なお、駆動信号ＣＯＭにより第１圧電素子ＰＺ１が駆動される場合、第１圧力室ＣＶ１内部に充填されているインクの一部は、第１連通流路２４１とノズル流路２５とを経由して、ノズルＮから吐出される。また、駆動信号ＣＯＭにより第２圧電素子ＰＺ２が駆動される場合、第２圧力室ＣＶ２内部に充填されているインクの一部は、第２連通流路２４２とノズル流路２５とを経由して、ノズルＮから吐出される。

【0059】

また、駆動信号ＣＯＭにより第３圧電素子ＰＺ３が駆動される場合、第３圧力室ＣＶ３内部に充填されているインクの一部は、第３連通流路２４３とノズル流路２５とを経由して、ノズルＮから吐出される。また、駆動信号ＣＯＭにより第４圧電素子ＰＺ４が駆動される場合、第４圧力室ＣＶ４内部に充填されているインクの一部は、第４連通流路２４４とノズル流路２５とを経由して、ノズルＮから吐出される。

【0060】

本実施形態では、ノズルＮからインクを吐出させる際に、駆動回路８１が１つのノズルＮに対応する４つの圧電素子ＰＺ１～ＰＺ４に供給する駆動信号ＣＯＭの波形は、それぞれ略同じである。しかし、ノズルＮからの吐出性能を維持するために、それぞれに異なる波形を供給するようにしてもよい。

【0061】

本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、第１圧力室ＣＶ１、第２圧力室ＣＶ２、第３圧力室ＣＶ３、第４圧力室ＣＶ４の、４つの圧力室ＣＶ内部に充填されているインクを、１つのノズルＮから吐出することができる。このため、液体吐出ヘッド１では、例えば、１つの圧力室内部に充填されているインクのみを１つのノズルＮから吐出する態様と比較して、１つのノズルＮからのインクの吐出量を増大させ、吐出能力を向上させることができる。そのため、粘性が高いインクや、粒径が大きいインクでも好適に吐出可能とすることができる。

【0062】

図８は、図４におけるＣ－Ｃ線の断面図である。詳細には、図８は、隔壁７１を－Ｘ方向から見た状態を示す断面図である。図９は、図４におけるＤ－Ｄ線の断面図である。詳細には、図９は、隔壁７２を＋Ｘ方向から見た状態を示す断面図である。

【0063】

図３、図４、図７、図８に示すように、本実施形態では、液体吐出ヘッド１において、Ｚ軸方向（第３方向）に延在する第１連通流路２４１と第２連通流路２４２との間で、ノズル流路２５に至る領域には、－Ｚ方向に延在すると共に、Ｘ軸方向に延在する隔壁７１が形成される。

【0064】

詳細には、隔壁７１は、図８に示すように、第１圧力室ＣＶ１と第２圧力室ＣＶ２との間に形成される圧力室側隔壁７１５を有している。また、隔壁７１は、第１連通流路２４１の第２連通流路２４２側に位置する内壁面となる、Ｚ軸方向（第３方向）に延在する第１連通流路内壁面７１３を有している。また、隔壁７１は、第２連通流路２４２の第１連通流路２４１側に位置する内壁面となる、Ｚ軸方向（第３方向）に延在する第２連通流路内壁面７１４を有している。

【0065】

また、隔壁７１は、図８に示すように、Ｘ軸方向（第２方向）から見たとき、第１連通流路２４１の第２連通流路２４２側に位置する内壁面は、Ｙ軸方向（第１方向）とＺ軸方向（第３方向）との両方に交差する斜め方向となる第４方向に延在する第１傾斜面７１１を含んでいる。そして、第１傾斜面７１１は、第１連通流路内壁面７１３と接続する。なお、第４方向を以降では、第４方向Ｄ４と呼称する。

【0066】

また、隔壁７１は、図８に示すように、Ｘ軸方向（第２方向）から見たとき、第２連通流路２４２の第１連通流路２４１側に位置する内壁面は、Ｙ軸方向（第１方向）とＺ軸方向（第３方向）と第４方向Ｄ４とのいずれにも交差する斜め方向となる第５方向に延在する第２傾斜面７１２を含んでいる。そして、第２傾斜面７１２は、第２連通流路内壁面７１４と接続する。なお、第５方向を以降では、第５方向Ｄ５と呼称する。また、図８に示すように、第１傾斜面７１１と第２傾斜面７１２とは互いに接続されている。

【0067】

図３、図４、図７、図９に示すように、本実施形態では、液体吐出ヘッド１において、Ｚ軸方向（第３方向）に延在する第３連通流路２４３と第４連通流路２４４との間で、ノズル流路２５に至る領域には、－Ｚ方向に延在すると共に、Ｘ軸方向に延在する隔壁７２が形成されている。

【0068】

詳細には、隔壁７２は、図９に示すように、第３圧力室ＣＶ３と第４圧力室ＣＶ４との間に形成される圧力室側隔壁７２５を有している。また、隔壁７２は、第３連通流路２４３の第４連通流路２４４側に位置する内壁面となる、Ｚ軸方向（第３方向）に延在する第３連通流路内壁面７２３を有している。また、隔壁７２は、第４連通流路２４４の第３連通流路２４３側に位置する内壁面となる、Ｚ軸方向（第３方向）に延在する第４連通流路内壁面７２４を有している。

【0069】

また、隔壁７２は、図９に示すように、Ｘ軸方向（第２方向）から見たとき、第３連通流路２４３の第４連通流路２４４側に位置する内壁面は、Ｙ軸方向（第１方向）とＺ軸方向（第３方向）との両方に交差する第４方向Ｄ４に延在する第３傾斜面７２１を含んでいる。そして、第３傾斜面７２１は、第３連通流路内壁面７２３と接続する。

【0070】

また、隔壁７２は、図９に示すように、Ｘ軸方向（第２方向）から見たとき、第４連通流路２４４の第３連通流路２４３側に位置する内壁面は、Ｙ軸方向（第１方向）とＺ軸方向（第３方向）と第４方向Ｄ４とのいずれにも交差する第５方向Ｄ５に延在する第４傾斜面７２２を含んでいる。そして、第４傾斜面７２２は、第４連通流路内壁面７２４と接続する。また、図９に示すように、第３傾斜面７２１と第４傾斜面７２２とは互いに接続されている。

【0071】

なお、図８、図９に示すように、本実施形態では、隔壁７１，７２をＸ軸方向（第２方向）から見たとき、第４方向Ｄ４は、Ｙ軸方向（第１方向）に対する傾斜角度αとして６０°傾斜している。また、第５方向Ｄ５も、Ｙ軸方向（第１方向）に対する傾斜角度βとして６０°傾斜している。なお、第４方向Ｄ４の傾斜角度α、第５方向Ｄ５の傾斜角度βは、Ｙ軸方向（第１方向）に対して略６０°傾斜することには限定されない。傾斜角度α、傾斜角度βは、Ｙ軸方向（第１方向）に対して、３０°以上７０°以下の範囲で傾斜していることでよい。

【0072】

図１０は、隔壁７１における保護膜７５を示す拡大断面図である。
本実施形態の隔壁７１の外面には、保護膜７５が設けられている。詳細には、第１傾斜面７１１、第２傾斜面７１２、第１連通流路内壁面７１３、及び第２連通流路内壁面７１４に、保護膜７５が設けられている。
なお、本実施形態では、連通板２に形成される流路に関しては、隔壁７１と同様に、保護膜７５が設けられている。

【0073】

保護膜７５は、隔壁７１の外面に積層される第１層７５１と、積層された第１層７５１の外面に積層される第２層７５２とを有している。そして、第１層７５１は、シリコン（Ｓｉ）の酸化物により構成され、第２層７５２は、タンタル（Ｔａ）の酸化物（ＴａＯｘ）により構成されている。

【0074】

隔壁７１を含む本実施形態の連通板２は、上述したように、シリコン単結晶等の酸化されていないシリコン（Ｓｉ）を母材として構成されている。そして、第１層７５１は、例えば、二酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）や、一酸化ケイ素（ＳｉＯ）等のシリコン（Ｓｉ）の酸化物により構成されている。第２層７５２は、例えば、酸化タンタル（ＴａＯ₃）や、五酸化タンタル（Ｔａ₂Ｏ₅）等のタンタル（Ｔａ）の酸化物（ＴａＯｘ）により構成されている。なお、第２層７５２は、タンタルの酸化物（ＴａＯｘ）の他、ハフニウムの酸化物（ＨｆＯｘ）、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、酸化アルミニウム（ＡＬ₂Ｏ₃）のいずれかで構成されていてもよい。

【0075】

第１層７５１は、本実施形態では、隔壁７１を構成するシリコン基板の熱酸化処理によって形成される。具体的には、最初に、シリコンウエハー等のシリコン基板を焼成炉内に入れる。なお、焼成炉内の雰囲気は、酸素雰囲気に調整されている。焼成炉において、例えば、２００℃でシリコン基板の熱処理が行われる。これにより、焼成炉内の酸素とシリコン基板中のシリコンとが結合し、隔壁７１を含むシリコン基板の外面に第１層７５１の膜が積層される。第１層７５１の厚さは、例えば、１ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲の厚さである。

【0076】

第２層７５２は、例えば、原子層堆積法（ＡＬＤ：Atomic Layer Deposition）により、第１層７５１の外面に形成される。具体的には、焼成炉から第１層７５１が形成されたシリコン基板を取り出して、ＡＬＤ成膜装置に入れる。そして、第１層７５１の外面にタンタルが塗布されて成膜されることにより、第１層７５１の外面に第２層７５２の膜が積層される。第２層７５２の厚さは、例えば、１ｎｍ以上５０ｎｍ以下の範囲の厚さである。なお、第２層７５２は、原子層堆積法に代えて、プラズマＣＶＤによる薄膜成膜法により形成してもよい。このようにして、第１層７５１、第２層７５２が積層された構成の隔壁７１が得られる。

【0077】

ここで、図４に戻り、本実施形態の循環機構９４を中心に、排出流路５４から排出されるインクを供給流路５３に供給する構成と動作を説明する。
図４に示すように、液体吐出ヘッド１の流路は、上述したように、基本的な流路構成を１つの構成単位又は１つの組として、ノズルＮの数に合せて、Ｙ軸方向に所定の間隔で列状に配置されている。また、この複数の基本的な流路構成による流路は、共通の流路となる供給流路２１及び排出流路２７に連通する。言い換えると、複数の基本的な流路構成による流路は、共通の流路となる供給流路５３及び排出流路５４に連通する。

【0078】

供給流路２１及び供給流路５３には、各基本的な流路構成による流路に供給するためのインクが貯留される。また、排出流路２７及び排出流路５４には、吐出に用いられずに各基本的な流路構成による流路から排出されるインクが貯留される。

【0079】

供給流路５３及び排出流路５４には、循環機構９４が接続される。循環機構９４は、供給流路５３にインクを供給すると共に、排出流路５４から排出されるインクを供給流路５３への再供給のために回収する機構である。循環機構９４は、第１供給ポンプ９４１と第２供給ポンプ９４２と貯留容器９４３と回収流路９４４と供給流路９４５とを有する。

【0080】

第１供給ポンプ９４１は、液体容器９３に貯留されるインクを貯留容器９４３に供給するポンプである。貯留容器９４３は、液体容器９３から供給されるインクを一時的に貯留するサブタンクである。回収流路９４４は、排出流路５４と貯留容器９４３とを連通させており、排出流路５４からのインクを貯留容器９４３に回収するための流路である。

【0081】

貯留容器９４３には、液体容器９３に貯留されるインクが第１供給ポンプ９４１から供給される。また、貯留容器９４３には、各基本的な流路構成による流路から排出流路５４に排出されるインクが回収流路９４４を介して供給される。第２供給ポンプ９４２は、貯留容器９４３に貯留されるインクを送出するポンプである。供給流路９４５は、供給流路５３と貯留容器９４３とを連通させており、貯留容器９４３からのインクを供給流路５３に供給するための流路である。

【0082】

本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。

【0083】

本実施形態の液体吐出ヘッド１は、Ｚ軸方向（第３方向）に延在する第１連通流路２４１と第２連通流路２４２との間で、ノズル流路２５に至る領域には、－Ｚ方向に延在すると共に、Ｘ軸方向に延在する隔壁７１が形成されている。そして、第１連通流路２４１の第２連通流路２４２側に位置する内壁面は、Ｙ軸方向（第１方向）とＺ軸方向（第３方向）との両方に交差する第４方向Ｄ４に延在する第１傾斜面７１１を含んでいる。また、第２連通流路２４２の第１連通流路２４１側に位置する内壁面は、Ｙ軸方向（第１方向）とＺ軸方向（第３方向）と第４方向Ｄ４とのいずれにも交差する第５方向Ｄ５に延在する第２傾斜面７１２を含んでいる。
この構成により、第１圧電素子ＰＺ１が駆動された場合、第１圧力室ＣＶ１内部に充填されているインクの一部は、第１連通流路２４１とノズル流路２５とを経由して、ノズルＮから吐出される。また、同様に、第２圧電素子ＰＺ２が駆動される場合、第２圧力室ＣＶ２内部に充填されているインクの一部は、第２連通流路２４２とノズル流路２５とを経由して、ノズルＮから吐出される。この場合、第１連通流路２４１、第２連通流路２４２を流動するインクの内部に気泡が含まれていた場合には、従来のように隔壁の下端面がＸＹ平面に略水平だった場合には気泡が滞留していたことに比べて、気泡の＋Ｚ方向への移動をスムーズに行わせることができる。これにより、このような構成の液体吐出ヘッド１においては、吐出効率の低下を防止して、吐出効率を維持させることができる。
また、隔壁７１において、第４方向Ｄ４に傾斜する第１傾斜面７１１、第５方向Ｄ５に傾斜する第２傾斜面７１２を有することにより、インク内部の気泡を第１連通流路２４１側と、第２連通流路２４２側とに、バランスよく移動させることができる。

【0084】

本実施形態の液体吐出ヘッド１において、第１連通流路２４１の第２連通流路２４２側に位置する内壁面は、Ｚ軸方向（第３方向）に延在する第１連通流路内壁面７１３を有し、第１傾斜面７１１に接続している。
この構成により、気泡の＋Ｚ方向への移動をスムーズに行わせることができる。

【0085】

本実施形態の液体吐出ヘッド１において、第１傾斜面７１１と第２傾斜面７１２とは、互いに接続されている。
この構成により、インク内部の気泡を第１連通流路２４１側と、第２連通流路２４２側とに、更にバランスよく移動させることができる。

【0086】

本実施形態の液体吐出ヘッド１は、第３圧力室ＣＶ３、第４圧力室ＣＶ４、第３連通流路２４３、第４連通流路２４４、を更に有している。そして、Ｚ軸方向（第３方向）に延在する第３連通流路２４３と第４連通流路２４４との間で、ノズル流路２５に至る領域には、－Ｚ方向に延在すると共に、Ｘ軸方向（第２方向）に延在する隔壁７２が形成されている。また、第３連通流路２４３の第４連通流路２４４側に位置する内壁面は、第４方向Ｄ４に延在する第３傾斜面７２１を含んでいる。また、第４連通流路２４４の第３連通流路２４３側に位置する内壁面は、第５方向Ｄ５に延在する第４傾斜面７２２を含んでいる。
この構成により、第３圧電素子ＰＺ３が駆動された場合、第３圧力室ＣＶ３内部に充填されているインクの一部は、第３連通流路２４３とノズル流路２５とを経由して、ノズルＮから吐出される。また、同様に、第４圧電素子ＰＺ４が駆動される場合、第４圧力室ＣＶ４内部に充填されているインクの一部は、第４連通流路２４４とノズル流路２５とを経由して、ノズルＮから吐出される。この場合、第３連通流路２４３、第４連通流路２４４を流動するインクの内部に気泡が含まれていた場合には、従来のように隔壁の下端面がＸＹ平面に略水平だった場合には気泡が滞留していたことに比べて、気泡の＋Ｚ方向への移動をスムーズに行わせることができる。これにより、このような構成の液体吐出ヘッド１においては、吐出効率の低下を防止して、吐出効率を維持させることができる。

【0087】

本実施形態の液体吐出ヘッド１において、第４方向Ｄ４及び第５方向Ｄ５は、Ｙ軸方向（第１方向）に対して、６０°傾斜している。
この構成により、気泡の＋Ｚ方向への移動をスムーズに行わせることができる。
なお、第４方向Ｄ４及び第５方向Ｄ５は、Ｙ軸方向（第１方向）に対して、３０°以上７０°以下の範囲で傾斜していることでよく、同様の効果を奏する。

【0088】

本実施形態の液体吐出ヘッド１において、隔壁７１の外面には、保護膜７５が設けられている。詳細には、第１傾斜面７１１、第２傾斜面７１２、第１連通流路内壁面７１３、及び第２連通流路内壁面７１４には、保護膜７５が設けられている。また、保護膜７５は、第１層７５１と、第１層７５１の外面に積層される第２層７５２とを有している。そして、第１層７５１は、シリコンの酸化物により構成され、第２層７５２は、タンタルの酸化物により構成されている。
この構成により、隔壁７１の欠損などを防止して保護することができる。また、本実施形態では、第１傾斜面７１１と第２傾斜面７１２とが互いに接続されており、傾斜面同士が接続する角部は鋭角になるが、保護膜７５を設けることで、このような角部において、鋭利な部分をなくし、なだらかにつながる角部とすることができ、角部の欠損などを防止して保護することができる。これらにより、隔壁７１，７２において、インクに対する耐性向上及び各層間の接合強度向上を図ることができる。

【0089】

本実施形態の液体吐出ヘッド１において、第１層７５１は、シリコンの酸化物により構成され、第２層７５２は、ハフニウムの酸化物、ダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウムのいずれかで構成されている。
この構成によっても、傾斜面同士が接続する場合の角部の鋭利な部分をなくし、なだらかにつながる角部とすることができ、角部の欠損などを防止して保護することができる。これらにより、隔壁７１，７２において、インクに対する耐性向上及び各層間の接合強度向上を図ることができる。

【0090】

本実施形態の液体吐出装置１００は、上述した液体吐出ヘッド１と、液体吐出ヘッド１からの吐出動作を制御する制御部９０と、を有している。
この構成により、気泡の＋Ｚ方向への移動をスムーズに行わせることができる液体吐出ヘッド１を備えることで、吐出効率の低下を防止して、吐出効率を維持させることができる液体吐出装置１００を実現することができる。

【0091】

２．第２実施形態
図１１は、第２実施形態に係る隔壁７１Ａを示す断面図である。詳細には、図１１は、隔壁７１Ａを－Ｘ方向から見た状態を示す断面図であり、第１実施形態の図８に対応させた図である。

【0092】

本実施形態の隔壁７１Ａは、第１実施形態の隔壁７１と比較して、隔壁７１Ａの－Ｚ方向の先端部が異なっている。その他の構成は、第１実施形態と同様である。なお、以降の説明では、第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１１では、第１実施形態と同様の構成については、同一符号を付記している。

【0093】

図１１に示すように、隔壁７１Ａは、圧力室側隔壁７１５、第１連通流路内壁面７１３Ａ、第２連通流路内壁面７１４Ａ、第１傾斜面７１１Ａ、第２傾斜面７１２Ａ、ノズル流路内壁面２５１を有している。隔壁７１Ａの第１連通流路内壁面７１３Ａ、第２連通流路内壁面７１４Ａは、第１実施形態の第１連通流路内壁面７１３、第２連通流路内壁面７１４が－Ｚ方向に延在した状態となっている。その結果、第１実施形態の第１傾斜面７１１、第２傾斜面７１２の先端部は、ノズル流路２５が有する＋Ｚ方向の内周面となるノズル流路内壁面２５１に達している。

【0094】

従って、本実施形態の隔壁７１Ａの先端側は、第４方向Ｄ４に延在する第１傾斜面７１１Ａと、第５方向Ｄ５に延在する第２傾斜面７１２Ａと、ノズル流路内壁面２５１とにより構成される形態となる。言い換えると、本実施形態の隔壁７１Ａを構成するノズル流路内壁面２５１は、Ｘ軸方向（第２方向）に延在して、第１傾斜面７１１Ａと第２傾斜面７１２Ａとに接続している。なお、ノズル流路内壁面２５１は、ＸＹ平面に概略平行となっている。

【0095】

本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。

【0096】

本実施形態の液体吐出ヘッド１Ａにおける隔壁７１Ａは、ノズル流路内壁面２５１を有し、ノズル流路内壁面２５１は、Ｘ軸方向（第２方向）に延在して、第１傾斜面７１１Ａと第２傾斜面７１２Ａとに接続している。
この構成により、第１連通流路２４１、第２連通流路２４２を流動するインクの内部に気泡が含まれていた場合には、Ｘ軸方向（第２方向）に延在して隔壁７１Ａを構成するノズル流路内壁面２５１の部分では、気泡が滞留する場合があるが、その両側に形成される第１傾斜面７１１Ａと第２傾斜面７１２Ａとにより、気泡の＋Ｚ方向への移動をスムーズに行わせることができる。

【0097】

３．第３実施形態
図１２は、第３実施形態に係る隔壁７１Ｂを示す断面図である。詳細には、図１２は、隔壁７１Ｂを－Ｘ方向から見た状態を示す断面図であり、第１実施形態の図８に対応させた図である。

【0098】

本実施形態の隔壁７１Ｂは、第１実施形態の隔壁７１と比較して、隔壁７１Ｂの－Ｚ方向の先端部が異なっている。その他の構成は、第１実施形態と同様である。なお、以降の説明では、第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１２では、第１実施形態と同様の構成については、同一符号を付記している。

【0099】

図１２に示すように、隔壁７１Ｂは、圧力室側隔壁７１５、第１連通流路内壁面７１３Ｂ、第２連通流路内壁面７１４Ｂ、第１傾斜面７１１Ｂを有している。本実施形態の隔壁７１Ｂは、第１実施形態の隔壁７１が有する第２傾斜面７１２を削除した状態に構成されている。詳細には、隔壁７１Ｂは、第１実施形態の第１傾斜面７１１を第４方向Ｄ４に延在させた第１傾斜面７１１Ｂが、第１実施形態の第２連通流路内壁面７１４を－Ｚ方向に延在させた第２連通流路内壁面７１４Ｂに接続した状態となっている。言い換えると、本実施形態の隔壁７１Ｂを構成する第１傾斜面７１１Ｂは、第１連通流路内壁面７１３Ｂと第２連通流路内壁面７１４Ｂとに接続している。

【0100】

本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。

【0101】

本実施形態の液体吐出ヘッド１Ｂにおける隔壁７１Ｂは、第２連通流路内壁面７１４Ｂを有し、第１傾斜面７１１Ｂは、第１連通流路内壁面７１３Ｂと第２連通流路内壁面７１４Ｂとに接続している。
この構成により、第１連通流路２４１、第２連通流路２４２を流動するインクの内部に気泡が含まれていた場合には、第１傾斜面７１１Ｂにより、気泡の＋Ｚ方向への移動をスムーズに行わせることができる。

【0102】

４．第４実施形態
図１３は、第４実施形態に係るノズル流路２５Ｃを示す断面図である。詳細には、図１３は、隔壁７１の領域において、ノズル流路２５Ｃを－Ｘ方向から見た状態を示す断面図である。

【0103】

図１３に示すように、本実施形態のノズル流路２５Ｃは、第１実施形態のノズル流路２５と比較して、Ｙ軸方向（第１方向）に延在していることが異なっている。その他の構成は、第１実施形態と同様である。なお、以降の説明では、第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１３では、第１実施形態と同様の構成については、同一符号を付記している。

【0104】

Ｚ軸方向（第３方向）に延在する第１連通流路２４１は、Ｘ軸方向から見た場合、外壁面として第１連通流路外壁面２４１１を有している。また、Ｚ軸方向（第３方向）に延在する第２連通流路２４２は、Ｘ軸方向から見た場合、外壁面として第２連通流路外壁面２４２１を有している。

【0105】

また、Ｙ軸方向（第１方向）に延在したノズル流路２５Ｃに対して、Ｘ軸方向から見た場合、＋Ｙ方向の外壁面を第１ノズル流路外壁面２５２とする。そして、ノズル流路２５Ｃに対して、Ｘ軸方向から見た場合、－Ｙ方向の外壁面を第２ノズル流路外壁面２５３とする。

【0106】

この場合、本実施形態では、第１ノズル流路外壁面２５２は、Ｘ軸方向において、第１連通流路外壁面２４１１に段差などが無くスムーズに接続した状態となっている。また、第２ノズル流路外壁面２５３も、第１ノズル流路外壁面２５２と同様に、Ｘ軸方向において、第２連通流路外壁面２４２１に段差などが無くスムーズに接続した状態となっている。

【0107】

本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。

【0108】

本実施形態の液体吐出ヘッド１Ｃにおいて、第１ノズル流路外壁面２５２は、Ｘ軸方向において、第１連通流路外壁面２４１１に段差などが無くスムーズに接続し、第２ノズル流路外壁面２５３も、Ｘ軸方向において、第２連通流路外壁面２４２１に段差などが無くスムーズに接続している。
この構成により、第１圧力室ＣＶ１から第１連通流路２４１に流動したインクは、ノズル流路２５にスムーズに流入することができる。また、第２圧力室ＣＶ２から第２連通流路２４２に流動したインクは、ノズル流路２５にスムーズに流入することができる。

【0109】

５．変形例１
第１～第４実施形態において、液体吐出ヘッド１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃは、基本的な流路構成として、ノズル列Ｌｎの配列方向となるＹ軸方向に並ぶ、－Ｘ方向の隣り合う２つの圧力室ＣＶと、＋Ｘ方向の隣り合う２つの圧力室ＣＶとを１つのノズルＮに連通させる構成としている。しかし、本発明はこのような態様に限定されない。
本実施形態の液体吐出ヘッドは、－Ｘ方向の隣り合う２つの圧力室ＣＶと、＋Ｘ方向の１つの圧力室ＣＶとを１つのノズルＮに連通させる構成としてもよい。また、液体吐出ヘッドは、－Ｘ方向の隣り合う３つ以上の圧力室ＣＶと、＋Ｘ方向の隣り合う３つ以上の圧力室ＣＶとを１つのノズルＮに連通させる構成としてもよい。また、液体吐出ヘッドは、－Ｘ方向の隣り合う２つの圧力室ＣＶを１つのノズルＮに連通させる構成としてもよい。また、本実施形態の液体吐出ヘッドは、－Ｘ方向の隣り合う３つ以上の圧力室ＣＶを１つのノズルＮに連通させる構成としてもよい。
いずれにしても、液体吐出ヘッドは、Ｙ軸方向（第１方向）に隣り合う複数の圧力室ＣＶを１つのノズルＮに連通させる構成とすることでよい。

【0110】

６．変形例２
第１実施形態の隔壁７１の外面には、保護膜７５が設けられている。詳細には、第１傾斜面７１１、第２傾斜面７１２、第１連通流路内壁面７１３、及び第２連通流路内壁面７１４に、保護膜７５が設けられている。しかし、これに限られず、第１傾斜面７１１のみに保護膜７５を設けることでもよい。これにより、第１傾斜面７１１の欠損などを防止して保護することができる。

【0111】

７．変形例３
第１～第４実施形態では、液体吐出ヘッド１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃを、媒体Ｐの幅方向に往復動作させるシリアル方式の液体吐出装置１００を例示したが、本発明はこのような態様に限定されない。本実施形態の液体吐出装置は、複数のノズルＮが、媒体Ｐの全幅にわたり分布する、ライン方式の液体吐出装置であってもよい。

【符号の説明】

【0112】

１…液体吐出ヘッド、２５…ノズル流路、７５…保護膜、９０…制御部、１００…液体吐出装置、２４１…第１連通流路、２４２…第２連通流路、２４３…第３連通流路、２４４…第４連通流路、２５１…ノズル流路内壁面、２５２…第１ノズル流路外壁面、７１１…第１傾斜面、７１２…第２傾斜面、７１３…第１連通流路内壁面、７１４…第２連通流路内壁面、７２１…第３傾斜面、７５１…第１層、７５２…第２層、２４１１…第１連通流路外壁面、ＣＶ１…第１圧力室、ＣＶ２…第２圧力室、ＣＶ３…第３圧力室、ＣＶ４…第４圧力室、Ｄ４…第４方向、Ｄ５…第５方向、Ｎ…ノズル、Ｌｎ…ノズル列。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】