特許 7574160 絶縁デバイスおよびアイソレータ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-18

(45)【発行日】2024-10-28

(54)【発明の名称】絶縁デバイスおよびアイソレータ

(51)【国際特許分類】

   H01F 17/00 20060101AFI20241021BHJP

   H01L 21/822 20060101ALI20241021BHJP

   H01L 27/04 20060101ALI20241021BHJP

【ＦＩ】

H01F17/00 B

H01L27/04 L

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2021153390

(22)【出願日】2021-09-21

(65)【公開番号】P2023045145

(43)【公開日】2023-04-03

【審査請求日】2023-09-13

(73)【特許権者】

【識別番号】000003078

【氏名又は名称】株式会社東芝

(73)【特許権者】

【識別番号】317011920

【氏名又は名称】東芝デバイス＆ストレージ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110004026

【氏名又は名称】弁理士法人ｉＸ

(72)【発明者】

【氏名】大黒 達也

(72)【発明者】

【氏名】大塚 賢一

(72)【発明者】

【氏名】大塚 眞理

(72)【発明者】

【氏名】石黒 陽

(72)【発明者】

【氏名】山田 雅基

【審査官】後藤 嘉宏

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－０２２４８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１７／１３８２４１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００９－１１１０３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－２０７８９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－００９３５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２１－０４８２２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－２０６８９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０８２３７１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｆ １７／００

Ｈ０１Ｌ ２１／８２２

Ｈ０１Ｌ ２７／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１平面内に設けられた第１コイル層を含む第１インダクタと、
前記第１平面内に設けられ、中心軸が前記第１コイル層の中心軸と重なり前記第１コイル層の内側に位置する第２コイル層を含み、前記第１インダクタから離隔する第２インダクタと、
前記第１インダクタと前記第２インダクタとの間に設けられる絶縁層と、
を備え、
前記第１インダクタは、前記第１コイル層の中心軸が延びる軸方向において前記第１平面から離隔する第２平面内に設けられ、前記第１コイル層に電気的に接続される第３コイル層をさらに含み、
前記第１インダクタの電流経路において、前記第１コイル層の巻き方向と前記第３コイル層の巻き方向は同じであり、
前記第２インダクタは、前記軸方向の逆方向において前記第１平面から離隔した第３平面内に設けられ、前記第２コイル層に電気的に接続される第４コイル層をさらに含み、
前記第２インダクタの電流経路において、前記第２コイル層の巻き方向と前記第４コイル層の巻き方向は同じであり、
前記第２コイル層は、巻数が複数のスパイラル状であり、
前記第４コイル層は、巻数が複数のスパイラル状であり、
前記第２コイル層の外側の端部と前記第４コイル層の内側の端部とは、前記軸方向において電気的に接続される、絶縁デバイス。

【請求項2】

前記第１コイル層と前記第３コイル層は、前記軸方向に見て部分的に重なる、請求項１に記載の絶縁デバイス。

【請求項3】

前記第１インダクタは、前記第１コイル層と前記第３コイル層との間に位置し、前記第１コイル層および前記第３コイル層に接続される第１導電部材をさらに含む、請求項１または２に記載の絶縁デバイス。

【請求項4】

前記第３コイル層は、前記第３コイル層の中心軸を含み、かつ、前記第３コイル層の前記中心軸に平行な断面において、隣り合う２つの部分を含み、
前記第１コイル層と前記第２コイル層との距離は、前記第３コイル層の前記隣り合う２つの部分同士の距離よりも長い、請求項１～３のいずれか１つに記載の絶縁デバイス。

【請求項5】

前記第４コイル層の外側の端部と前記第４コイル層の中心軸との距離は、前記第３コイル層の外側の端部と前記第３コイル層の中心軸との距離よりも長い、請求項１～４のいずれか１つに記載の絶縁デバイス。

【請求項6】

前記第１インダクタは、
前記第１平面内に設けられ、前記第１平面に平行な方向において前記第１コイル層と並ぶ第５コイル層と、
前記第２平面内に設けられ、前記軸方向に見て中心軸が前記第５コイル層の内側に位置し、前記第５コイル層に電気的に接続される第６コイル層と、
前記第３コイル層および前記第６コイル層に接続される第１接続部と、
をさらに有し、
前記第１インダクタの前記電流経路において、前記第５コイル層および前記第６コイル層の巻き方向は、前記第１コイル層および前記第３コイル層の巻き方向と逆方向であり、 前記第２インダクタは、
前記第１平面内に設けられ、中心軸が前記第５コイル層の内側に位置する第７コイル層と、
前記第３平面内に設けられ、中心軸が前記第７コイル層の内側に位置し、前記第７コイル層に電気的に接続される第８コイル層と、
前記第４コイル層および前記第８コイル層に接続される第２接続部と、
をさらに有し、
前記第２インダクタの前記電流経路において、前記第７コイル層および前記第８コイル層の巻き方向は、前記第２コイル層および前記第４コイル層の巻き方向と逆方向である請求項１～５のいずれか１つに記載の絶縁デバイス。

【請求項7】

前記第１インダクタ及び前記第２インダクタは、銅又はアルミニウムから構成され、
前記絶縁層は、酸化シリコン又は窒化シリコンから構成された、請求項１～６のいずれか１つに記載の絶縁デバイス。

【請求項8】

請求項１～７のいずれか１つに記載の絶縁デバイスと、
前記第１インダクタに電気的に接続される第１回路と、
前記第２インダクタに電気的に接続される第２回路と、
を備えるアイソレータ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、絶縁デバイスおよびアイソレータに関する。

【背景技術】

【0002】

磁気結合型のアイソレータは、電流を遮断した状態で、磁界の変化を利用して信号またはエネルギーを伝達する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１４－２２４８４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明が解決しようとする課題は、伝達効率が高い絶縁デバイスおよびアイソレータを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明の一実施形態に係る絶縁デバイスは、第１平面内に設けられた第１コイル層を含む第１インダクタと、前記第１平面内に設けられ、中心軸が前記第１コイル層の内側に位置する第２コイル層を含み、前記第１インダクタから離隔する第２インダクタと、前記第１インダクタと前記第２インダクタとの間に設けられる絶縁層と、を備える。

【0006】

本発明の一実施形態に係るアイソレータは、前記絶縁デバイスと、前記第１インダクタに電気的に接続される第１回路と、前記第２インダクタに電気的に接続される第２回路と、
を備える。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】第１の実施形態に係るアイソレータを示す上面図である。

【図2】図１のII－II線における断面図である。

【図3】図３（ａ）は、本実施形態に係るアイソレータにおける第１インダクタおよび接続部材を示す上面図であり、図３（ｂ）は、本実施形態に係るアイソレータにおける第２インダクタおよび接続部材を示す上面図である。

【図4】第２の実施形態に係る絶縁デバイスの一部を示す断面図である。

【図5】第３の実施形態に係る絶縁デバイスの一部を示す上面図である。

【図6】図５のVI－VI線における断面図である。

【図7】図７（ａ）は、第３の実施形態に係る絶縁デバイスの第１インダクタおよび接続部材を示す図であり、図７（ｂ）は、第３の実施形態に係る絶縁デバイスの第２インダクタおよび接続部材を示す図である。

【図8】第４の実施形態に係る絶縁デバイスの一部を示す上面図である。

【図9】図８のIX－IX線における断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下に、本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既に説明したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。

【0009】

また、以下では、説明をわかりやすくするために、ＸＹＺ直交座標系を用いる。また、Ｚ方向のうち、矢印の方向を「上方向」とし、その逆方向を「下方向」とするが、これらの方向は重力方向とは無関係である。

【0010】

＜第１の実施形態＞
先ず、第１の実施形態について説明する。
図１は、本実施形態に係るアイソレータを示す上面図である。
図２は、図１のII－II線における断面図である。
図３（ａ）は、本実施形態に係るアイソレータにおける第１インダクタおよび接続部材を示す上面図であり、図３（ｂ）は、本実施形態に係るアイソレータにおける第２インダクタおよび接続部材を示す上面図である。

【0011】

本実施形態に係るアイソレータ１０は、磁気結合型のアイソレータである。アイソレータ１０は、図１を参照して概説すると、第１回路１１と、第２回路１２と、絶縁デバイス１３と、複数の配線部材１４ａ、１４ｂ、１５ａ、１５ｂと、を備える。

【0012】

絶縁デバイス１３は、図２を参照して概説すると、第１インダクタ１１０と、第２インダクタ１２０と、絶縁層１３０と、を備える。第１回路１１は、第１インダクタ１１０に電気的に接続される。第２回路１２は、第２インダクタ１２０に電気的に接続される。以下、アイソレータ１０の各部について詳述する。

【0013】

第１インダクタ１１０は、図２および図３（ａ）に示すように、コイル層１１１と、コイル層１１１の上方に位置するコイル層１１２と、２つのコイル層１１１、１１２の間に位置し、２つのコイル層１１１、１１２に電気的に接続される導電部材１１３と、２つの延伸部１１４ａ、１１４ｂと、を含む。なお、図３（ａ）では、説明をわかりやすくするために、コイル層１１２、延伸部１１４ｂおよび後述する各接続部材１４１、１４２を実線で示し、コイル層１１２よりも下方に位置するコイル層１１１、延伸部１１４ａおよび導電部材１１３を破線で示している。

【0014】

図２に示すように、コイル層１１１の中心軸Ｃ１は、Ｚ方向に延び、コイル層１１１は、Ｘ－Ｙ平面に平行な平面Ｐ１内に設けられる。したがってＺ方向は、中心軸Ｃ１が延びる軸方向に相当する。コイル層１１１は、例えば巻き数が１以上であり、スパイラル状である。また、コイル層の形状は、全体として略四角形または略六角形等の略多角形状であってもよい。後述する他のコイル層についても同様である。コイル層１１１の上面および下面は、例えばＸ－Ｙ平面に略平行な平坦面である。

【0015】

コイル層１１２の中心軸Ｃ２は、Ｚ方向に延び、コイル層１１２は、Ｘ－Ｙ平面に平行な平面Ｐ２内に設けられる。平面Ｐ２は、平面Ｐ１とＺ方向において離隔しており、例えば平面Ｐ１よりも上方に位置する。中心軸Ｃ２は、Ｚ方向から見てコイル層１１１の内側に位置する。具体的には、中心軸Ｃ１と中心軸Ｃ２は、Ｚ方向から見て概ね同じ位置に位置する。ただし、中心軸Ｃ２と中心軸Ｃ１は、Ｚ方向から見て異なる位置に位置してもよい。コイル層１１２は、例えば巻き数が１以上であり、スパイラル状である。コイル層１１２の上面および下面は、例えばＸ－Ｙ平面に略平行な平坦面である。

【0016】

コイル層１１１の外側の端部１１１ｂには、延伸部１１４ａが接続される。延伸部１１４ａは、外側の端部１１１ｂからコイル層１１１の径方向において外側に延びる。延伸部１１４ａの外側の端部には、導電性を有する接続部材１４１が接続される。接続部材１４１は、延伸部１１４ａの外側の端部から上方に延び、図１に示すように、配線部材１４ａに接続される。配線部材１４ａは、絶縁デバイス１３の上方を通って、第１回路１１に電気的に接続される。ただし、外側の端部１１１ｂは、絶縁デバイス１３の下方を通る配線部材（不図示）により、第１回路１１に電気的に接続されてもよい。このような場合、絶縁デバイス１３には、外側の端部１１１ｂから下方に延び、配線部材に接続される接続部材（不図示）を設けてもよい。

【0017】

図３（ａ）に示すように、コイル層１１１の内側の端部１１１ａと、コイル層１１２の内側の端部１１２ａは、Ｚ方向から見て重なる。

【0018】

図２に示すように、導電部材１１３は、コイル層１１１の内側の端部１１１ａとコイル層１１２の内側の端部１１２ａとの間に位置し、内側の端部１１１ａおよび内側の端部１１２ａに接続される。これにより、コイル層１１２がコイル層１１１に電気的に接続される。導電部材１１３の形状は、例えば柱状であり、Ｚ方向に延びる。

【0019】

図３（ａ）に示すように、コイル層１１２の外側の端部１１２ｂには、延伸部１１４ｂが接続される。延伸部１１４ｂは、外側の端部１１２ｂからコイル層１１２の径方向において外側に延びる。延伸部１１４ｂの外側の端部には、導電性を有する接続部材１４２が接続される。接続部材１４２は、図１に示すように、配線部材１４ｂに接続される。配線部材１４ｂは、絶縁デバイス１３の上方を通って、第１回路１１に接続される。ただし、外側の端部１１２ｂは、絶縁デバイス１３の下方を通る配線部材（不図示）により、第１回路１１に電気的に接続されてもよい。このような場合、絶縁デバイス１３には、外側の端部１１２ｂから下方に延び、配線部材に接続される接続部材（不図示）を設けてもよい。

【0020】

以上より、図３（ａ）に示すように、第１インダクタ１１０では、コイル層１１１の外側の端部１１１ｂからコイル層１１２の外側の端部１１２ｂに向かって、または、コイル層１１２の外側の端部１１２ｂからコイル層１１１の外側の端部１１１ｂに向かって、電流が流れる。第１インダクタ１１０の電流経路において、コイル層１１１の巻き方向とコイル層１１２の巻き方向は、一致している。すなわち、第１インダクタ１１０に電流が流れる際にコイル層１１１の内側に生じる磁界の向きと、コイル層１１２の内側に生じる磁界の向きは、一致する。

【0021】

図３（ａ）に示すように、コイル層１１１とコイル層１１２は、Ｚ方向から見て、導電部材１１３が設けられた個所以外の複数の個所で部分的に重なる。

【0022】

このように、コイル層１１１、コイル層１１２、および導電部材１１３により、一連のコイルが形成される。ただし、第１インダクタの構成は、上記に限定されない。例えば、第１インダクタを構成するコイル層の数は、３以上であってもよい。また、複数のコイル層により一連のコイルが形成できる限り、Ｚ方向に隣り合うコイル層同士の接続位置等は、上記に限定されない。また、第１インダクタにおいて接続部材が接続される位置は、上記に限定されない。

【0023】

第２インダクタ１２０は、第１インダクタ１１０から離隔している。第２インダクタ１２０は、図２および図３（ｂ）に示すように、コイル層１２１と、コイル層１２１の下方に位置するコイル層１２２と、２つのコイル層１２１、１２２に電気的に接続される導電部材１２３と、延伸部１２４と、を含む。なお、図３（ｂ）では、説明をわかりやすくするために、コイル層１２１および後述する接続部材１４３を実線で示し、コイル層１２１よりも下方に位置するコイル層１２２、導電部材１２３、延伸部１２４、および後述する接続部材１４４を破線で示している。

【0024】

図２に示すように、コイル層１２１の中心軸Ｃ３は、Ｚ方向に延び、コイル層１２１は、平面Ｐ１内に設けられる。すなわち、コイル層１１１とコイル層１２１は、同一平面Ｐ１内に位置する。コイル層１２１の中心軸Ｃ３は、コイル層１１１の内側に位置する。具体的には、本実施形態では、コイル層１２１の中心軸Ｃ３は、中心軸Ｃ１と概ね一致している。ただし、中心軸Ｃ３と中心軸Ｃ１は一致しなくてもよい。コイル層１２１は、例えばコイル層１１１の内側に位置する。コイル層１２１は、例えば巻き数が１以上であり、スパイラル状である。コイル層１２１の上面および下面は、例えばＸ－Ｙ平面に略平行な平坦面である。

【0025】

コイル層１２２の中心軸Ｃ４はＺ方向に延び、コイル層１２２は、Ｘ－Ｙ平面に平行な平面Ｐ３内に設けられる。平面Ｐ３は、平面Ｐ１とＺ方向において離隔しており、平面Ｐ１の下方に位置する。したがって、平面Ｐ３と平面Ｐ２との間に、平面Ｐ１が位置する。コイル層１２２は、例えば巻き数が１以上であり、スパイラル状である。中心軸Ｃ４は、Ｚ方向から見てコイル層１１１の内側に位置する。具体的には、中心軸Ｃ４と中心軸Ｃ３は、Ｚ方向から見て概ね同じ位置に位置する。ただし、中心軸Ｃ３と中心軸Ｃ４は、Ｚ方向から見て異なる位置に位置してもよい。コイル層１２１の大部分は、Ｚ方向から見てコイル層１２２の内側に位置する。

【0026】

コイル層１２１の内側の端部１２１ａには、例えば、導電性を有する接続部材１４３が接続される。接続部材１４３は内側の端部１２１ａから下方に延び、図１に示すように、配線部材１５ａに接続される。配線部材１５ａは、絶縁デバイス１３の下方を通って、第２回路１２に接続される。ただし、内側の端部１２１ａは、絶縁デバイス１３の上方を通る配線部材（不図示）により、第２回路１２に電気的に接続されてもよい。このような場合、絶縁デバイス１３には、内側の端部１２１ａから上方に延び、配線部材に接続される接続部材（不図示）を設けてもよい。

【0027】

図３（ｂ）に示すように、コイル層１２１の外側の端部１２１ｂと、コイル層１２２の内側の端部１２２ａは、上方から見て重なる。

【0028】

導電部材１２３は、図２に示すように、コイル層１２１の外側の端部１２１ｂとコイル層１２２の内側の端部１２２ａとの間に位置し、外側の端部１２１ｂおよび内側の端部１２２ａに接続される。これにより。コイル層１２２がコイル層１２１に電気的に接続される。導電部材１２３の形状は、例えば柱状であり、Ｚ方向に延びる。

【0029】

図３（ｂ）に示すように、コイル層１２２の外側の端部１２２ｂには、延伸部１２４が接続される。延伸部１２４は、外側の端部１２２ｂからコイル層１２２の径方向において外側に延伸する。延伸部１２４の外側の端部には、導電性を有する接続部材１４４が接続される。接続部材１４４は、例えば図１に示すように、配線部材１５ｂに接続される。配線部材１５ｂは、絶縁デバイス１３の下方を通って、第２回路１２に接続される。ただし、接続部材１４３が上方に延びて配線部材１５ａに接続される場合は、接続部材１４４も上方に延びて、配線部材１５ｂに接続される。

【0030】

したがって、図３（ｂ）に示すように、第２インダクタ１２０では、コイル層１２１の内側の端部１２１ａからコイル層１２２の外側の端部１２２ｂに向かって、または、コイル層１２２の外側の端部１２２ｂからコイル層１２１の内側の端部１２１ａに向かって、電流が流れる。第２インダクタ１２０の電流経路において、コイル層１２１の巻き方向とコイル層１２２の巻き方向は、一致している。すなわち、第２インダクタ１２０に電流が流れる際にコイル層１２１の内側に生じる磁界の向きと、コイル層１２２の内側に生じる磁界の向きは、一致する。

【0031】

コイル層１２１とコイル層１２２は、Ｚ方向から見て、導電部材１２３が設けられた個所以外の個所でも部分的に重なる。ただし、コイル層１２１とコイル層１２２は、Ｚ方向から見て、導電部材が設けられた個所以外の個所で重ならなくてもよい。

【0032】

以上、説明したように、コイル層１２１、コイル層１２２、および導電部材１２３により、一連のコイルが形成される。ただし、第２インダクタの構成は、上記に限定されない。例えば、第２インダクタを構成するコイル層の数は、３以上であってもよい。また、複数のコイル層により一連のコイルが形成できる限り、隣接するコイル層同士の接続位置等は、上記に限定されない。また、第２インダクタにおいて接続部材に接続される位置は、上記に限定されない。また、同一平面上に位置する第１インダクタのコイル層と第２インダクタのコイル層との組が、複数存在してもよい。また、第１回路または第２回路は、絶縁層の下方に配置される基板に実装されてもよい。

【0033】

図２に示すように、コイル層１１１とコイル層１２１の距離Ｌ０は、Ｚ方向におけるコイル層１１１とコイル層１１２との距離、および、Ｚ方向におけるコイル層１２１とコイル層１２２との距離よりも短い。また、距離Ｌ０は、本実施形態では、中心軸Ｃ１を含み、かつ、中心軸Ｃ１に平行な断面において、コイル層１１１において隣り合う２つの部分１１１ｃ同士の距離Ｌ１ａと概ね等しい。また、距離Ｌ０は、本実施形態では、中心軸Ｃ３を含み、かつ、中心軸Ｃ３に平行な断面において、コイル層１２１において隣り合う２つの部分１２１ｃ同士の距離Ｌ２ａと概ね等しい。また、距離Ｌ０は、本実施形態では、中心軸Ｃ２を含み、かつ、中心軸Ｃ２に平行な断面において、コイル層１１２において隣り合う２つの部分１１２ｃ同士の距離Ｌ１ｂと概ね等しい。また、距離Ｌ０は、中心軸Ｃ４を含み、かつ、中心軸Ｃ４に平行な断面において、コイル層１２２において隣り合う２つの部分１２２ｃ同士の距離Ｌ２ｂと概ね等しい。ただし、これらの距離は相互に異なっていてもよい。

【0034】

図１に示すように、コイル層１２２の外側の端部１２２ｂと中心軸Ｃ４との距離Ｌ４は、コイル層１１２の外側の端部１１２ｂと中心軸Ｃ２との距離Ｌ３よりも長い。すなわち、コイル層１２２の一部は、Ｚ方向から見てコイル層１１２を囲んでいる。ただし、これらの距離の大小関係は、上記に限定されない。

【0035】

第１インダクタ１１０、第２インダクタ１２０、および各接続部材１４１、１４２、１４３、１４４は、銅またはアルミニウム等の金属材料を含む。第１インダクタ１１０、第２インダクタ１２０、および各接続部材１４１、１４２、１４３、１４４は、表面がタンタル等の金属材料に被覆されていてもよい。

【0036】

第１インダクタ１１０、第２インダクタ１２０、および各接続部材１４１、１４２、１４３、１４４は、絶縁層１３０内に設けられている。具体的には、図２に示すように、絶縁層１３０は、コイル層１１１において隣り合う２つの部分１１１ｃの間、コイル層１１１とコイル層１１２との間、およびコイル層１１２の隣り合う２つの部分１１２ｃの間に設けれらる。絶縁層１３０は、コイル層１２１において隣り合う２つの部分１２１ｃの間、コイル層１２１とコイル層１２２との間、およびコイル層１２２の隣り合う２つの部分１２２ｃの間にさらに設けれらる。絶縁層１３０は、コイル層１１１とコイル層１２１との間にさらに設けられる。

【0037】

絶縁層１３０は、ポリイミドまたはビスマレイミドトリアジン（ＢＴ）等の樹脂、酸化シリコン、または窒化シリコン等の絶縁材料を含む。

【0038】

絶縁デバイスの構成は、上記に限定されない。例えば、絶縁層の上面または下面に保護層をさらに設けてもよい。

【0039】

第１回路１１および第２回路１２のうち一方は、受信回路として用いられる。第１回路１１および第２回路１２のうちの他方は、送信回路として用いられる。以下では、第１回路１１が送信回路であり、第２回路１２が受信回路である場合について説明する。

【0040】

第１回路１１は、第１インダクタ１１０に電流を流す。電流が第１インダクタ１１０を流れると、第１インダクタ１１０の内側を通る磁界が発生する。第２インダクタ１２０のコイル層１２１の中心軸Ｃ３は、第１インダクタ１１０のコイル層１１１の内側に位置する。そのため、発生した磁力線の一部は、第２インダクタ１２０の内側を通る。第２インダクタ１２０の内側における磁界の変化により、第２インダクタ１２０に誘導起電力が生じ、第２インダクタ１２０に電流が流れる。これにより、第２インダクタ１２０に接続された第２回路１２に、電流が流れる。このように、第１インダクタ１１０と第２インダクタ１２０との間で、電流を遮断（絶縁）した状態で、信号または電力が伝達される。

【0041】

次に、第１実施形態の効果を説明する。
本実施形態に係る絶縁デバイス１３においては、第２インダクタ１２０のコイル層１２１と第１インダクタ１１０のコイル層１１１が同一平面Ｐ１内に設けられる。これにより、第１インダクタと第２インダクタがＺ方向に離隔している場合と比較して、第１インダクタ１１０と第２インダクタ１２０をＺ方向に近づけることができるため、第１インダクタ１１０と第２インダクタ１２０の結合係数ｋを大きくできる。

【0042】

また、第１インダクタ１１０は、複数のコイル層１１１、１１２を含む。そのため、第１インダクタ１１０の巻き数を、第１インダクタが単層である場合と比較して、増やすことができる。第１インダクタ１１０の巻き数が増えることで、第１インダクタ１１０のインダクタンスが大きくなる。これにより、絶縁デバイス１３のＱ値を大きくできる。

【0043】

上述したように、Ｑ値および結合係数ｋを大きくすることで、結合係数ｋとＱ値との積であるｋＱ積を大きくできる。そのため、第１インダクタ１１０と第２インダクタ１２０との間の、信号またはエネルギーの伝達効率を高めることができる。

【0044】

また、コイル層１１１およびコイル層１２１は、同一平面Ｐ１内に位置するため、例えば一つのマスクにより形成できる。そのため、製造時に、コイル層１１１とコイル層１２１との距離Ｌ０を、制御し易い。したがって、複数の絶縁デバイス１３を製造した場合に、各絶縁デバイス１３の結合係数ｋがばらつくことを抑制できる。また、絶縁デバイス１３の製造が容易になる。

【0045】

また、コイル層１１１とコイル層１１２は、Ｚ方向から見て、部分的に重なる。そのため、第１インダクタ１１０の巻き数を増やしつつ、Ｚ方向から見た第１インダクタ１１０のサイズが大きくなることを抑制できる。

【0046】

また、第２インダクタ１２０は、コイル層１２２をさらに含む。コイル層１２２は、平面Ｐ３内に設けられる。平面Ｐ３は、Ｚ方向において平面Ｐ１から離隔する。平面Ｐ３と平面Ｐ２との間に平面Ｐ１が位置する。そのため、第２インダクタ１２０の巻き数を、第２インダクタが単層である場合と比較して、増やすことができる。第２インダクタ１２０の巻き数が増えることで、第２インダクタ１２０のインダクタンスが大きくなる。これにより、絶縁デバイス１３のＱ値を大きくできる。

【0047】

また、コイル層１２１は、コイル層１１１の内側に位置する。コイル層１２２の外側の端部１２２ｂとコイル層１２２の中心軸Ｃ４との距離Ｌ４は、コイル層１１２の外側の端部１１２ｂとコイル層１１２の中心軸Ｃ２との距離Ｌ３よりも長い。そのため、コイル層１２１をコイル層１１１の内側に配置することでコイル層１２１のインダクタンスが低減したとしても、コイル層１２２のインダクタンスを向上させることができる。これにより、第２インダクタ１２０の全体のインダクタンスが低下することを抑制できる。

【0048】

＜第２の実施形態＞
次に、第２の実施形態について説明する。
図４は、本実施形態に係る絶縁デバイスの一部を示す断面図である。
なお、以下の説明においては、原則として、第１の実施形態との相違点のみを説明する。以下に説明する事項以外は、第１の実施形態と同様である。以下に説明する他の実施形態についても同様である。

【0049】

本実施形態に係る絶縁デバイス２３においては、コイル層１１１とコイル層１２１との距離Ｌ２０は、コイル層１１１において隣り合う２つの部分１１１ｃ同士の距離Ｌ１ａより長い。距離Ｌ２０は、コイル層１２１において隣り合う２つの部分１２１ｃ同士の距離Ｌ２ａよりも長い。距離Ｌ２０は、コイル層１１２において隣り合う２つの部分１１２ｃ同士の距離Ｌ１ｂよりも長い。距離Ｌ２０は、コイル層１２２において隣り合う２つの部分１２２ｃ同士の距離Ｌ２ｂよりも長い。

【0050】

以上説明したように、本実施形態に係る絶縁デバイス２３においては、コイル層１１１とコイル層１２１との距離Ｌ２０が、コイル層１１２において隣り合う２つの部分１１２ｃ同士の距離Ｌ１ｂよりも長い。これにより、絶縁デバイス２３の耐圧を高くできる。また、絶縁デバイス２３の劣化を抑制できる。

【0051】

また、コイル層１１１とコイル層１２１との距離Ｌ２０は、導電部材１１３のＺ方向の長さおよび導電部材１２３のＺ方向の長さより長い。これにより、絶縁デバイス２３の横方向の耐圧を高くできる。また、絶縁デバイス２３の劣化を抑制できる。

【0052】

＜第３の実施形態＞
次に、第３の実施形態について説明する。
図５は、本実施形態に係る絶縁デバイスの一部を示す上面図である。
図６は、図５のVI－VI線における断面図である。
図７（ａ）は、本実施形態に係る絶縁デバイスの第１インダクタおよび接続部材を示す図であり、図７（ｂ）は、本実施形態に係る絶縁デバイスの第２インダクタおよび接続部材を示す図である。

【0053】

本実施形態に係る絶縁デバイス３３の第１インダクタ３１０は、図６および図７（ａ）に示すように、４つのコイル層３１１、３１２、３１３、３１４と、２つの導電部材３１５ａ、３１５ｂと、２つの延伸部３１６ａ、３１６ｂと、接続部３１７を備える。なお、図７（ａ）では、コイル層３１２、コイル層３１４、接続部３１７、および２つの接続部材１４１、１４２を実線で示し、コイル層３１２およびコイル層３１４よりも下方に位置するコイル層３１１、コイル層３１３、２つの導電部材３１５ａ、３１５ｂ、および２つの延伸部３１６ａ、３１６ｂを破線で示している。

【0054】

図６に示すように、コイル層３１１の中心軸Ｃ３１およびコイル層３１３の中心軸Ｃ３３は、Ｚ方向に延び、コイル層３１１およびコイル層３１３は、平面Ｐ１内に設けられる。コイル層３１１とコイル層３１３は、Ｘ方向に並ぶ。コイル層３１１は、巻き数が１以上であり、スパイラル状である。コイル層３１１とコイル層３１３は、例えば、中心軸Ｃ３１と中心軸Ｃ３３との間の中点を中心として、点対称の関係にある。

【0055】

コイル層３１２の中心軸Ｃ３２およびコイル層３１４の中心軸Ｃ３４は、Ｚ方向に延び、コイル層３１２およびコイル層３１４は、平面Ｐ２内に設けられる。コイル層３１２は、コイル層３１１の上方に位置する。コイル層３１４は、コイル層３１３の上方に位置する。コイル層３１２の中心軸Ｃ３２は、Ｚ方向に見てコイル層３１１の内側に位置する。コイル層３１４の中心軸Ｃ３４は、Ｚ方向に見てコイル層３１４の内側に位置する。コイル層３１２とコイル層３１４は、Ｘ方向に並ぶ。コイル層３１２は、巻き数が１以上であり、スパイラル状である。コイル層３１２とコイル層３１４は、例えば、中心軸Ｃ３２と中心軸Ｃ３４との間の中点を中心として、点対称の関係にある。

【0056】

図７（ａ）に示すように、コイル層３１１の外側の端部３１１ｂには、延伸部３１６ａが接続される。延伸部３１６ａの外側の端部には、接続部材１４１が接続される。接続部材１４１は、例えば、延伸部３１６ａの外側の端部から上方に延びる。接続部材１４１の上端部は、絶縁デバイス３３の上方を通る配線部材（不図示）に接続され、この配線部材を介して第１回路に電気的に接続される。ただし、接続部材１４２は、下方に延び、絶縁デバイス３３の下方を通る配線部材（不図示）に接続されてもよい。

【0057】

コイル層３１１の内側の端部３１１ａは、上方から見てコイル層３１２の内側の端部３１２ａと重なる。内側の端部３１１ａと内側の端部３１２ａとの間には、導電部材３１５ａが位置する。導電部材３１５ａは、内側の端部３１１ａおよび内側の端部３１２ａに接続される。

【0058】

コイル層３１３の外側の端部３１３ｂには、延伸部３１６ｂが接続される。延伸部３１６ｂの外側の端部には、接続部材１４２が接続される。接続部材１４２は、例えば、延伸部３１６ｂの外側の端部から上方に延びる。接続部材１４２の上端部は、絶縁デバイス３３の上方を通る配線部材（不図示）に接続され、この配線部材を介して第１回路に電気的に接続される。ただし、接続部材１４２は、下方に延び、絶縁デバイス３３の下方を通る配線部材（不図示）に接続されてもよい。

【0059】

コイル層３１３の内側の端部３１３ａは、Ｚ方向から見てコイル層３１４の内側の端部３１４ａと重なる。内側の端部３１３ａと内側の端部３１４ａとの間には、導電部材３１５ｂが位置する。導電部材３１５ｂは、内側の端部３１３ａおよび内側の端部３１４ａに接続される。

【0060】

コイル層３１２の外側の端部３１２ｂとコイル層３１４の外側の端部３１４ｂとの間には、直線状の接続部３１７が位置する。接続部３１７は、外側の端部３１２ｂおよび外側の端部３１４ｂに接続される。ただし接続部は、直線状でなく湾曲してもよい。後述する他の接続部についても同様である。

【0061】

したがって、第１インダクタ３１０では、コイル層３１１の外側の端部３１１ｂからコイル層３１３の外側の端部３１３ｂに向かって、または、コイル層３１３の外側の端部３１３ｂからコイル層３１１の外側の端部３１１ｂに向かって、電流が流れる。第１インダクタ３１０の電流経路において、コイル層３１１の巻き方向とコイル層３１２の巻き方向は、一致しており、コイル層３１３の巻き方向とコイル層３１４の巻き方向は、一致している。そのため、第１インダクタ３１０に電流が流れる際に、コイル層３１１の内側に生じる磁界の向きと、コイル層３１２の内側に生じる磁界の向きは、一致し、コイル層３１３の内側に生じる磁界の向きと、コイル層３１４の内側に生じる磁界の向きは、一致する。また、第１インダクタ３１０の電流経路において、コイル層３１１およびコイル層３１２の巻き方向は、コイル層３１３およびコイル層３１４の巻き方向と逆方向である。そのため、第１インダクタ３１０に電流が流れる際に、コイル層３１１およびコイル層３１２の内側に生じる磁界の向きは、コイル層３１３およびコイル層３１４の内側に生じる磁界の向きと逆方向である。

【0062】

第２インダクタ３２０は、図６および図７（ｂ）に示すように、４つのコイル層３２１、３２２、３２３、３２４と、２つの導電部材３２５ａ、３２５ｂと、接続部３２７を備える。なお、図７（ｂ）では、コイル層３２１、コイル層３２３、および２つの接続部材１４３、１４４を実線で示し、コイル層３２１およびコイル層３２３よりも下方に位置するコイル層３２２、コイル層３２４、および２つの導電部材３２５ａ、３２５ｂを破線で示している。

【0063】

コイル層３２１の中心軸Ｃ３５は、コイル層３１１の中心軸Ｃ３１と概ね一致している。コイル層３２３の中心軸Ｃ３７は、コイル層３１３の中心軸Ｃ３３と概ね一致している。コイル層３２１およびコイル層３２３は、平面Ｐ１内に設けられる。コイル層３２１は、例えば、コイル層３１１の内側に位置する。コイル層３２３は、例えば、コイル層３１３の内側に位置する。コイル層３２１は、巻き数が１以上であり、スパイラル状である。コイル層３２１とコイル層３２３は、例えば、中心軸Ｃ３５と中心軸Ｃ３７の間の中点を中心として、点対称の関係にある。

【0064】

コイル層３２２の中心軸Ｃ３６およびコイル層３２４の中心軸Ｃ３８は、Ｚ方向に延び、コイル層３２２およびコイル層３２４は、平面Ｐ３内に設けられる。コイル層３２２は、コイル層３２１の下方に位置する。コイル層３２４は、コイル層３２３の下方に位置する。コイル層３２２の中心軸Ｃ３６は、Ｚ方向に見てコイル層３２１の内側に位置する。コイル層３２４の中心軸Ｃ３８は、Ｚ方向に見てコイル層３２３の内側に位置する。コイル層３２２とコイル層３２４は、Ｘ方向に並ぶ。コイル層３２２は、巻き数が１以上であり、スパイラル状である。コイル層３２２とコイル層３２４は、例えば、中心軸Ｃ３６と中心軸Ｃ３８の間の中点を中心として点対称の関係にある。

【0065】

図７（ｂ）に示すように、コイル層３２１の内側の端部３２１ａには、接続部材１４３が接続される。接続部材１４３は、例えば、内側の端部３２１ａから下方に延びる。接続部材１４３の下端部は、絶縁デバイス３３の下方を通る配線部材（不図示）に接続され、この配線部材を介して第２回路に電気的に接続される。ただし、接続部材１４３は、上方に延び、絶縁デバイス３３の上方を通る配線部材（不図示）に接続されてもよい。

【0066】

コイル層３２１の外側の端部３２１ｂは、上方から見てコイル層３２２の内側の端部３２２ａと重なる。外側の端部３２１ｂと内側の端部３２２ａとの間には、導電部材３２５ａが位置する。導電部材３２５ａは、外側の端部３２１ｂおよび内側の端部３２２ａに接続される。

【0067】

コイル層３２３の内側の端部３２３ａには、接続部材１４４が接続される。接続部材１４４は、例えば、内側の端部３２３ａから下方に延びる。接続部材１４４の下端部は、絶縁デバイス３３の下方を通る配線部材（不図示）に接続され、この配線部材を介して第２回路に電気的に接続される。ただし、接続部材１４４は、上方に延び、絶縁デバイス３３の上方を通る配線部材（不図示）に接続されてもよい。

【0068】

コイル層３２３の外側の端部３２３ｂは、上方から見てコイル層３２４の内側の端部３２４ａと重なる。外側の端部３２３ｂと内側の端部３２４ａとの間には、導電部材３２５ｂが位置する。導電部材３２５ｂは、外側の端部３２３ｂおよび内側の端部３２４ａに接続される。

【0069】

コイル層３２２の外側の端部３２２ｂとコイル層３２４の外側の端部３２４ｂとの間には、直線状の接続部３２７が位置する。接続部３２７は、外側の端部３２２ｂおよび外側の端部３２４ｂに接続される。

【0070】

したがって、第２インダクタ３２０では、コイル層３２１の内側の端部３２１ａからコイル層３２３の内側の端部３２３ａに向かって、または、コイル層３２３の内側の端部３２３ａからコイル層３２１の内側の端部３２１ａに向かって、電流が流れる。第２インダクタ３２０の電流経路において、コイル層３２１の巻き方向とコイル層３２２の巻き方向は、一致しており、コイル層３２３の巻き方向とコイル層３２４の巻き方向は、一致している。そのため、第２インダクタ３２０に電流が流れる際に、コイル層３２１の内側に生じる磁界の向きと、コイル層３２２の内側に生じる磁界の向きは、一致し、コイル層３２３の内側に生じる磁界の向きと、コイル層３２４の内側に生じる磁界の向きは、一致する。また、第２インダクタ３２０の電流経路において、コイル層３２１およびコイル層３２２の巻き方向は、コイル層３２３およびコイル層３２４の巻き方向と逆方向である。そのため、第２インダクタ３２０に電流が流れる際に、コイル層３２１およびコイル層３２２の内側に生じる磁界の向きは、コイル層３２３およびコイル層３２４の内側に生じる磁界の向きと逆方向である。

【0071】

第１インダクタ３１０、第２インダクタ３２０、および各接続部材１４１、１４２、１４３、１４４は、絶縁層３３０内に設けられる。

【0072】

以上説明したように、第１インダクタ３１０は、コイル層３１１と同一平面Ｐ１に配置されるコイル層３１３と、コイル層３１２と同一平面Ｐ２に配置されるコイル層３１４と、をさらに含んでもよい。また、第２インダクタ３２０は、コイル層３２１と同一平面Ｐ１に配置されるコイル層３２３と、コイル層３２２と同一平面Ｐ３に配置されるコイル層３２４と、をさらに含んでもよい。

【0073】

＜第４の実施形態＞
次に、第４の実施形態について説明する。
図８は、本実施形態に係る絶縁デバイスの一部を示す上面図である。
図９は、図８のIX－IX線における断面図である。

【0074】

本実施形態に係る絶縁デバイス４３における第１インダクタ４１０は、コイル層４１１、コイル層４１２、および接続部４１３を含む。

【0075】

コイル層４１１の中心軸Ｃ４１およびコイル層４１２の中心軸Ｃ４２は、Ｚ方向に延び、コイル層４１１およびコイル層４１２は、Ｘ－Ｙ平面に平行な平面Ｐ内に設けられる。コイル層４１１とコイル層４１２は、Ｘ方向に並ぶ。コイル層４１１およびコイル層４１２は、巻き数が１以上であり、スパイラル状である。コイル層４１１の中心軸Ｃ４１とコイル層４１１の外側の端部４１１ｂとの距離は、例えば、コイル層４１２の中心軸Ｃ４２とコイル層４１２の外側の端部４１２ｂとの距離よりも長い。

【0076】

コイル層４１１の内側の端部４１１ａには、接続部材４４１が接続される。コイル層４１２の内側の端部４１２ａには、接続部材４４２が接続される。コイル層４１１の外側の端部４１１ｂとコイル層４１２の外側の端部４１２ｂとの間には、接続部４１３が位置する。接続部４１３は、外側の端部４１１ｂおよび外側の端部４１２ｂに接続される。各接続部材４４１、４４２は、絶縁デバイス４３の上方または下方を通る配線部材（不図示）を介して第１回路に電気的に接続される。

【0077】

第１インダクタ４１０では、コイル層４１１の内側の端部４１１ａからコイル層４１２の内側の端部４１２ａに向かって、または、コイル層４１２の内側の端部４１２ａからコイル層４１１の内側の端部４１１ａに向かって、電流が流れる。そして、第１インダクタ４１０の電流経路において、コイル層４１１の巻き方向は、コイル層４１２の巻き方向と逆方向である。そのため、第１インダクタ４１０に電流が流れる際に、コイル層４１１の内側に生じる磁界の向きは、コイル層４１２の内側に生じる磁界の向きの逆方向となる。

【0078】

第２インダクタ４２０は、コイル層４２１、コイル層４２２、および接続部４２３を含む。

【0079】

コイル層４２１の中心軸Ｃ４３は、コイル層４１１の内側に位置する。具体的には、コイル層４２１の中心軸Ｃ４３は、コイル層４１１の中心軸Ｃ４１と概ね一致している。コイル層４２２の中心軸Ｃ４４は、コイル層４１２の内側に位置する。具体的には、コイル層４２２の中心軸Ｃ４４は、コイル層４１２の中心軸Ｃ４２と概ね一致している。コイル層４２１およびコイル層４２２は、平面Ｐ内に設けられる。コイル層４２１およびコイル層４２２は、それぞれ、巻き数が１以上であり、スパイラル状である。コイル層４２１とコイル層４２２は、中心軸Ｃ４３と中心軸Ｃ４４との中点を中心として、点対称の関係にある。

【0080】

コイル層４２１は、コイル層４１１と並行して巻かれた形状を有する。具体的には、コイル層４２１は、コイル層４１１から離隔しつつ、コイル層４１１とともに２重のスパイラルを形成する。コイル層４２２は、コイル層４１２と並行して巻かれた形状を有する。具体的には、コイル層４２２は、コイル層４１２から離隔しつつ、コイル層４１２とともに２重のスパイラルを形成する。コイル層４２１の中心軸Ｃ４３とコイル層４２１の外側の端部４２１ｂとの距離は、コイル層４１１の中心軸Ｃ４１とコイル層４１１の外側の端部４１１ｂとの距離よりも短く、コイル層４１２の中心軸Ｃ４２とコイル層４１２の外側の端部４１２ｂとの距離よりも長い。同様に、コイル層４２２の中心軸Ｃ４４とコイル層４２２の外側の端部４２２ｂとの距離は、コイル層４１１の中心軸Ｃ４１とコイル層４１１の外側の端部４１１ｂとの距離よりも短く、コイル層４１２の中心軸Ｃ４２とコイル層４１２の外側の端部４１２ｂとの距離よりも長い。

【0081】

コイル層４２１の内側の端部４２１ａには、接続部材４４３が接続される。コイル層４２２の内側の端部４２２ａには、接続部材４４４が接続される。コイル層４２１の外側の端部４２１ｂとコイル層４２２の外側の端部４２２ｂとの間には、接続部４２３が位置する。接続部４２３は、外側の端部４２１ｂおよび外側の端部４２２ｂに接続される。各接続部材４４３、４４４は、絶縁デバイス４３の上方または下方を通る配線部材（不図示）を介して第２回路に電気的に接続される。

【0082】

第２インダクタ４２０では、コイル層４２１の内側の端部４２１ａからコイル層４２２の内側の端部４２２ａに向かって、または、コイル層４２２の内側の端部４２２ａからコイル層４２１の内側の端部４２１ａに向かって、電流が流れる。そして、第２インダクタ４２０の電流経路において、コイル層４２１の巻き方向は、コイル層４２２の巻き方向と逆方向である。そのため、第２インダクタ４２０に電流が流れる際に、コイル層４２１の内側に生じる磁界の向きは、コイル層４２２の内側に生じる磁界の向きの逆方向となる。

【0083】

第１インダクタ４１０および第２インダクタ４２０は、絶縁層４３０内に設けられる。

【0084】

このような形態においても、コイル層４１１とコイル層４２１またはコイル層４１２とコイル層４２２が同一平面Ｐ内に位置するため、結合係数ｋを大きくできる。以上説明したように、第１インダクタ４１０および第２インダクタ４２０は、Ｚ方向に積層される複数のコイル層を備えなくてもよい。

【0085】

第１の実施形態、第２の実施形態、および第３の実施形態では、第１インダクタおよび第２インダクタが、それぞれ複数のコイル層を有しているが、第１インダクタまたは第２インダクタのどちらかに設けられるコイル層は、１つであってもよい。

【0086】

以上のように、実施形態によれば、伝達効率が高い絶縁デバイスおよびアイソレータが提供される。

【0087】

以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。

【符号の説明】

【0088】

１０ ：アイソレータ
１１ ：第１回路
１２ ：第２回路
１３、２３、３３、４３：絶縁デバイス
１４ａ、１４ｂ、１５ａ、１５ｂ：配線部材
１１０、３１０、４１０：第１インダクタ
１１１ ：コイル層
１１１ａ ：内側の端部
１１１ｂ ：外側の端部
１１１ｃ ：部分
１１２ ：コイル層
１１２ａ ：内側の端部
１１２ｂ ：外側の端部
１１２ｃ ：部分
１１３ ：導電部材
１１４ａ、１１４ｂ：延伸部
１２０、３２０、４２０：第２インダクタ
１２１ ：コイル層
１２１ａ ：内側の端部
１２１ｂ ：外側の端部
１２１ｃ ：部分
１２２ ：コイル層
１２２ａ ：内側の端部
１２２ｂ ：外側の端部
１２２ｃ ：部分
１２３ ：導電部材
１２４ ：延伸部
１３０、３３０、４３０：絶縁層
１３２ ：コイル層
１４１、１４２、１４３、１４４：接続部材
３１１ ：コイル層
３１１ａ ：内側の端部
３１１ｂ ：外側の端部
３１２ ：コイル層
３１２ａ ：内側の端部
３１２ｂ ：外側の端部
３１３ ：コイル層
３１３ａ ：内側の端部
３１３ｂ ：外側の端部
３１４ ：コイル層
３１４ａ ：内側の端部
３１４ｂ ：外側の端部
３１５ａ、３１５ｂ：導電部材
３１６ａ、３１６ｂ：延伸部
３１７ ：接続部
３２１ ：コイル層
３２１ａ ：内側の端部
３２１ｂ ：外側の端部
３２２ ：コイル層
３２２ａ ：内側の端部
３２２ｂ ：外側の端部
３２３ ：コイル層
３２３ａ ：内側の端部
３２３ｂ ：外側の端部
３２４ ：コイル層
３２４ａ ：内側の端部
３２４ｂ ：外側の端部
３２５ａ、３２５ｂ：導電部材
３２７ ：接続部
４１１ ：コイル層
４１１ａ ：内側の端部
４１１ｂ ：外側の端部
４１２ ：コイル層
４１２ａ ：内側の端部
４１２ｂ ：外側の端部
４１３ ：接続部
４２１ ：コイル層
４２１ａ ：内側の端部
４２１ｂ ：外側の端部
４２２ ：コイル層
４２２ａ ：内側の端部
４２２ｂ ：外側の端部
４２３ ：接続部
４４１、４４２、４４３、４４４：接続部材
Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ３１、Ｃ３２、Ｃ３３、Ｃ３４、Ｃ３５、Ｃ３６、Ｃ３７、Ｃ３８、Ｃ４１、Ｃ４２、Ｃ４３、Ｃ４４：中心軸
Ｌ０、Ｌ１ａ、Ｌ１ｂ、Ｌ２ａ、Ｌ２ｂ、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ２０：距離
Ｐ、Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３：平面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】