特許 7575830 実装装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-22

(45)【発行日】2024-10-30

(54)【発明の名称】実装装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/603 20060101AFI20241023BHJP

【ＦＩ】

H01L21/603 C

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2024124175

(22)【出願日】2024-07-31

【審査請求日】2024-07-31

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000149011

【氏名又は名称】株式会社大橋製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100156867

【弁理士】

【氏名又は名称】上村 欣浩

(72)【発明者】

【氏名】柏谷 尚克

(72)【発明者】

【氏名】冨田 明

(72)【発明者】

【氏名】近藤 剛志

(72)【発明者】

【氏名】中村 誠

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 慎二

【審査官】豊島 洋介

(56)【参考文献】

【文献】特開平１１－１２１１４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特許第７３２０８８６（ＪＰ，Ｂ２）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ２１／４４７－２１／４４９

Ｈ０１Ｌ２１／６０ －２１／６０７

Ｈ０５Ｋ ３／３０

Ｈ０５Ｋ１３／００ －１３／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第一部材と第二部材との間に接合部材を介在させたワークを熱圧着する実装装置であって、
実装ツールを前記第二部材に直接的又は間接的に押し付けて前記ワークを加圧する加圧部と、前記実装ツールを加熱するヒータとを有する実装ヘッドと、
前記ヒータに電力を印加して前記ヒータを発熱させるヒータ制御部と、
前記実装ヘッドを制御可能であり、前記ヒータ制御部に接続されるコントローラと、を備え、
前記コントローラは、
前記実装ヘッドで前記ワークを加圧及び加熱する際に、前記加圧部が前記実装ツールで前記ワークを加圧するタイミングと前記ヒータ制御部が前記ヒータに印加する電力に関する印加情報とを取得する印加情報取得部と、
前記加圧部が前記ワークを加圧していない状態で前記印加情報取得部により取得される前記印加情報から算出される所定時間当たりの無負荷時印加量を算出し、前記加圧部が前記ワークを加圧した状態で前記印加情報取得部により取得される第一の時間から第二の時間までの加圧時間と前記印加情報から算出される前記加圧時間における圧着時印加量を算出し、前記加圧時間に相当する時間中の前記無負荷時印加量の値を前記圧着時印加量から減じて圧着時放出印加量を算出する印加量算出部と、
前記圧着時放出印加量が所定の範囲内にあるかを判別する判別部と、を備える実装装置。

【請求項2】

前記第一の時間は、前記実装ヘッドが前記ワークの加圧を開始した時刻であって、
前記圧着時放出印加量が前記所定の範囲を外れると前記判別部が判別した場合、前記第二の時間以降において、前記加圧部が前記ワークを加圧するタイミング及び／又は前記ヒータ制御部が前記ヒータに印加する電力を、前記実装ヘッドが前記ワークの加圧を開始してから終了するまでの前記圧着時放出印加量が予め定めた許容範囲に収まるように調整する調整部を備える、請求項１に記載の実装装置。

【請求項3】

第一部材と第二部材との間に接合部材を介在させたワークを熱圧着する実装装置であって、
実装ツールを前記第二部材に直接的又は間接的に押し付けて前記ワークを加圧する加圧部と、前記実装ツールを加熱するヒータとを有する実装ヘッドと、
前記ヒータに電力を印加して前記ヒータを発熱させるヒータ制御部と、
前記実装ヘッドを制御可能であり、前記ヒータ制御部に接続されるコントローラと、を備え、
前記コントローラは、
前記実装ヘッドで前記ワークを加圧及び加熱する際に、前記加圧部が前記実装ツールで前記ワークを加圧するタイミングと前記ヒータ制御部が前記ヒータに印加する電力に関する印加情報とを取得する印加情報取得部と、
前記加圧部が前記ワークを加圧していない状態で前記印加情報取得部により取得される前記印加情報から算出される所定時間当たりの無負荷時印加量を算出し、前記加圧部が前記ワークを加圧した状態で前記印加情報取得部により取得される第一の時間から第二の時間までの加圧時間と前記印加情報から算出される前記加圧時間における圧着時印加量を算出し、前記加圧時間に相当する時間中の前記無負荷時印加量の値を前記圧着時印加量から減じて圧着時放出印加量を算出する印加量算出部と、を備え、
前記印加情報取得部は、熱容量が既知であって前記ワークに準じた基準ワークを前記実装ヘッドで加圧及び加熱するにあたり、前記加圧部が前記基準ワークを加圧するタイミングと前記ヒータ制御部が前記ヒータに印加する電力に関する基準印加情報とを取得可能であり、
前記印加量算出部は、前記実装ヘッドで前記基準ワークを加圧及び加熱する際に前記印加情報取得部で取得された前記基準ワークを加圧するタイミングと前記基準印加情報から、前記ワークの前記圧着時放出印加量に相当する前記基準ワークの基準圧着時放出印加量を算出可能であり、
前記コントローラは更に、
前記基準ワークの温度を計測する温度情報計測部と、
前記基準ワークの前記熱容量と前記温度情報計測部で得られる前記基準ワークの温度から前記基準ワークに伝導された基準伝導熱量を算出し、前記基準伝導熱量と前記基準圧着時放出印加量とを関係づけたテーブル又は関係式を作成し、前記テーブル又は前記関係式を参照して前記圧着時放出印加量に相当する前記基準圧着時放出印加量に関係づけられた前記基準伝導熱量に基づいて前記ワークの伝導熱量を算出する伝導熱量算出部と、
前記伝導熱量が所定の範囲内にあるかを判別する判別部と、を備える実装装置。

【請求項4】

前記第一の時間は、前記実装ヘッドが前記ワークの加圧を開始した時刻であって、
前記伝導熱量が前記所定の範囲を外れると前記判別部が判別した場合、前記第二の時間以降において、前記加圧部が前記ワークを加圧するタイミング及び／又は前記ヒータ制御部が前記ヒータに印加する電力を、前記実装ヘッドが前記ワークの加圧を開始してから終了するまでの前記伝導熱量が予め定めた許容範囲に収まるように調整する調整部を備える、請求項３に記載の実装装置。

【請求項5】

第一部材と第二部材との間に接合部材を介在させたワークを熱圧着する実装装置であって、
実装ツールを前記第二部材に直接的又は間接的に押し付けて前記ワークを加圧する加圧部と、前記実装ツールを加熱するヒータとを有する実装ヘッドと、
前記ヒータに電力を印加して前記ヒータを発熱させるヒータ制御部と、
前記実装ヘッドを制御可能であり、前記ヒータ制御部に接続されるコントローラと、を備え、
前記コントローラは、
前記実装ヘッドで前記ワークを加圧及び加熱する際に、前記加圧部が前記実装ツールで前記ワークを加圧するタイミングと前記ヒータ制御部が前記ヒータに印加する電力に関する印加情報とを取得する印加情報取得部と、
前記加圧部が前記ワークを加圧した状態で前記印加情報取得部により取得される第一の時間から第二の時間までの前記ワークを加圧するタイミングと前記印加情報に基づく印加パターンを作成するパターン作成部と、を備え、
前記印加情報取得部は、前記ワークに準じた基準ワークを前記実装ヘッドで加圧及び加熱するにあたり、前記加圧部が前記基準ワークを加圧するタイミングと前記ヒータ制御部が前記ヒータに印加する電力に関する基準印加情報とを取得可能であり、
前記パターン作成部は、前記実装ヘッドで前記基準ワークを加圧及び加熱する際に前記印加情報取得部で取得された前記基準ワークを加圧するタイミングと前記基準印加情報に基づく基準印加パターンを作成可能であり、
前記コントローラは更に、
前記印加パターンと前記基準印加パターンとを比較して、前記基準印加パターンに対する前記印加パターンの差異が所定の範囲内にあるかを判別する判別部と、を備える実装装置。

【請求項6】

前記第一の時間は、前記実装ヘッドが前記ワークの加圧を開始した時刻であって、
前記基準印加パターンに対する前記印加パターンの差異が前記所定の範囲を外れると前記判別部が判別した場合、前記第二の時間以降において、前記加圧部が前記ワークを加圧するタイミング及び／又は前記ヒータ制御部が前記ヒータに印加する電力を、前記実装ヘッドが前記ワークの加圧を開始してから終了するまでの前記印加パターンと前記実装ヘッドが前記基準ワークの加圧を開始してから終了するまでの前記基準印加パターンとの差異が予め定めた許容範囲に収まるように調整する調整部を備える、請求項５に記載の実装装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えば接合部材（ＡＣＦ等）を介して基板に部品を実装する際に使用される実装装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、例えば特許文献１に示されているように、導電性粒子と熱硬化性樹脂とを含んだ異方性導電フィルム（ＡＣＦ）や異方性導電ペースト（ＡＣＰ）などの接合部材を介して基板に部品（例えばＦＰＣ）を実装することが行われている。このような異方性導電フィルム等を含んだワークの実装に使用される実装装置（例えば特許文献２を参照）は、装置に載置したワークに対して進退移動可能な実装ヘッドを備えていて、実装ヘッドには、このヘッドの下端に設けた実装ツールに熱を伝導させるヒータが設けられている。そしてワークに対してヒータで加熱した実装ツールを押し付けることにより、導電性粒子によって基板と部品とを電気的に接続するとともに熱硬化性樹脂を硬化させてこれらを相互に固着させている。

【0003】

このようなヒータは、ヒータ制御部に電気的に接続されていて、ヒータに供給される電力をヒータ制御部が変更することによってヒータの温度が変化する。またヒータの内部には、例えば熱電対の如き温度センサが取り付けられていて、ヒータ制御部はこの温度センサで得られる温度情報に基づいてヒータに供給する電力を変更している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１１－８２５８２号公報

【文献】特開２０１７－１１８１４７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、ヒータの温度を計測する温度センサからの温度情報を監視することによって、ワークの実装が問題なく行われたかを間接的に確認することは可能である。しかし、ワークの温度を直接監視している訳ではないため、例えば、実装ツールがワークに対して完全に接触する前に実装ツールからの熱が接合部材に伝わり、接合部材に含まれる導電性粒子が十分に押し潰されるまえに熱硬化性樹脂が先に硬化し始める現象（先硬化）によって導通不良が生じる等の不具合が生じていても、これを把握することができない。このような不具合が生じる場合には、継続して生産が行われて不良品が大量に作られてしまうことが懸念されるため、温度センサのみに頼って生産を行うことにはリスクがある。

【0006】

このような点に鑑み、本発明は、生産中にワークが熱圧着される状況をヒータが備える温度センサとは別の観点で確認することによって実装の信頼性を高めることができる実装装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明は、第一部材と第二部材との間に接合部材を介在させたワークを熱圧着する実装装置であって、実装ツールを前記第二部材に直接的又は間接的に押し付けて前記ワークを加圧する加圧部と、前記実装ツールを加熱するヒータとを有する実装ヘッドと、前記ヒータに電力を印加して前記ヒータを発熱させるヒータ制御部と、前記実装ヘッドを制御可能であり、前記ヒータ制御部に接続されるコントローラと、を備え、前記コントローラは、前記実装ヘッドで前記ワークを加圧及び加熱する際に、前記加圧部が前記実装ツールで前記ワークを加圧するタイミングと前記ヒータ制御部が前記ヒータに印加する電力に関する印加情報とを取得する印加情報取得部と、前記加圧部が前記ワークを加圧していない状態で前記印加情報取得部により取得される前記印加情報から算出される所定時間当たりの無負荷時印加量を算出し、前記加圧部が前記ワークを加圧した状態で前記印加情報取得部により取得される第一の時間から第二の時間までの加圧時間と前記印加情報から算出される前記加圧時間における圧着時印加量を算出し、前記加圧時間に相当する時間中の前記無負荷時印加量の値を前記圧着時印加量から減じて圧着時放出印加量を算出する印加量算出部と、前記圧着時放出印加量が所定の範囲内にあるかを判別する判別部と、を備えることを特徴とする。

【0008】

また本発明は、第一部材と第二部材との間に接合部材を介在させたワークを熱圧着する実装装置であって、実装ツールを前記第二部材に直接的又は間接的に押し付けて前記ワークを加圧する加圧部と、前記実装ツールを加熱するヒータとを有する実装ヘッドと、前記ヒータに電力を印加して前記ヒータを発熱させるヒータ制御部と、前記実装ヘッドを制御可能であり、前記ヒータ制御部に接続されるコントローラと、を備え、前記コントローラは、前記実装ヘッドで前記ワークを加圧及び加熱する際に、前記加圧部が前記実装ツールで前記ワークを加圧するタイミングと前記ヒータ制御部が前記ヒータに印加する電力に関する印加情報とを取得する印加情報取得部と、前記加圧部が前記ワークを加圧していない状態で前記印加情報取得部により取得される前記印加情報から算出される所定時間当たりの無負荷時印加量を算出し、前記加圧部が前記ワークを加圧した状態で前記印加情報取得部により取得される第一の時間から第二の時間までの加圧時間と前記印加情報から算出される前記加圧時間における圧着時印加量を算出し、前記加圧時間に相当する時間中の前記無負荷時印加量の値を前記圧着時印加量から減じて圧着時放出印加量を算出する印加量算出部と、を備え、前記印加情報取得部は、熱容量が既知であって前記ワークに準じた基準ワークを前記実装ヘッドで加圧及び加熱するにあたり、前記加圧部が前記基準ワークを加圧するタイミングと前記ヒータ制御部が前記ヒータに印加する電力に関する基準印加情報とを取得可能であり、前記印加量算出部は、前記実装ヘッドで前記基準ワークを加圧及び加熱する際に前記印加情報取得部で取得された前記基準ワークを加圧するタイミングと前記基準印加情報から、前記ワークの前記圧着時放出印加量に相当する前記基準ワークの基準圧着時放出印加量を算出可能であり、前記コントローラは更に、前記基準ワークの温度を計測する温度情報計測部と、前記基準ワークの前記熱容量と前記温度情報計測部で得られる前記基準ワークの温度から前記基準ワークに伝導された基準伝導熱量を算出し、前記基準伝導熱量と前記基準圧着時放出印加量とを関係づけたテーブル又は関係式を作成し、前記テーブル又は前記関係式を参照して前記圧着時放出印加量に相当する前記基準圧着時放出印加量に関係づけられた前記基準伝導熱量に基づいて前記ワークの伝導熱量を算出する伝導熱量算出部と、前記伝導熱量が所定の範囲内にあるかを判別する判別部と、を備えることを特徴とする。

【0009】

また本発明は、第一部材と第二部材との間に接合部材を介在させたワークを熱圧着する実装装置であって、実装ツールを前記第二部材に直接的又は間接的に押し付けて前記ワークを加圧する加圧部と、前記実装ツールを加熱するヒータとを有する実装ヘッドと、前記ヒータに電力を印加して前記ヒータを発熱させるヒータ制御部と、前記実装ヘッドを制御可能であり、前記ヒータ制御部に接続されるコントローラと、を備え、前記コントローラは、前記実装ヘッドで前記ワークを加圧及び加熱する際に、前記加圧部が前記実装ツールで前記ワークを加圧するタイミングと前記ヒータ制御部が前記ヒータに印加する電力に関する印加情報とを取得する印加情報取得部と、前記加圧部が前記ワークを加圧した状態で前記印加情報取得部により取得される第一の時間から第二の時間までの前記ワークを加圧するタイミングと前記印加情報に基づく印加パターンを作成するパターン作成部と、を備え、前記印加情報取得部は、前記ワークに準じた基準ワークを前記実装ヘッドで加圧及び加熱するにあたり、前記加圧部が前記基準ワークを加圧するタイミングと前記ヒータ制御部が前記ヒータに印加する電力に関する基準印加情報とを取得可能であり、前記パターン作成部は、前記実装ヘッドで前記基準ワークを加圧及び加熱する際に前記印加情報取得部で取得された前記基準ワークを加圧するタイミングと前記基準印加情報に基づく基準印加パターンを作成可能であり、前記コントローラは更に、前記印加パターンと前記基準印加パターンとを比較して、前記基準印加パターンに対する前記印加パターンの差異が所定の範囲内にあるかを判別する判別部と、を備えることを特徴とする。

【発明の効果】

【0010】

本発明の実装装置は、印加情報取得部によって、ワークを加圧するタイミングとヒータに印加する電力に関する印加情報を取得する。そして印加量算出部と判別部を備える実装装置においては、この印加情報に基づいて算出した圧着時放出印加量が所定の範囲内にあるかを判別することによって、また印加量算出部、温度情報計測部、伝導熱量算出部、及び判別部を備える実装装置においては、この印加情報に基づいて算出した伝導熱量が所定の範囲内にあるかを判別することによって、またパターン作成部と判別部を備える実装装置においては、この印加情報に基づいて作成した印加パターンに関する差異が所定の範囲内にあるかを判別することによって、ワークが意図した通りに加圧及び加熱されているかを判断することができる。このように本発明の実装装置によれば、生産中にワークが熱圧着される状況をヒータが備える温度センサとは別の観点で確認することができるため、高い信頼性でもってワークの実装を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明に係る実装装置の一実施形態を模式的に示した図である。

【図2】コントローラの構成を示した図である。

【図3A】ヒータ制御部からヒータに印加される電圧に関する図である。

【図3B】ヒータ制御部からヒータに印加される電流に関する図である。

【図3C】ヒータ制御部からヒータに印加される電力に関する図である。

【図3D】図３Ｃに示した電力を概略的に表した図である。

【図4】基準伝導熱量と基準圧着時放出印加量とを関係づけたテーブルの一例を示した図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明に係る実装装置の一実施形態（実装装置１）について、図面を参照しながら説明する。以下の説明においては図１に示した向き（後述するワーク１００が下方に位置して実装ヘッド２が上方に位置する向き）で説明するが、係る方向は一例であって、本発明における実装装置の向きを限定する意図はない。

【0013】

まず実装装置１で熱圧着を行うワーク１００に関係する点について説明する。本実施形態のワーク１００は、図１に示したように、基板１０１とＦＰＣ等の電子部品１０２との間にＡＣＦ１０３を介在させたものである。なお基板１０１は、本明細書等における「第一部材」に相当する。同様に、電子部品１０２は「第二部材」に相当し、ＡＣＦ１０３は「接合部材」に相当する。

【0014】

実装装置１でワーク１００を熱圧着するにあたり、本実施形態では、緩衝材１１０も使用している。緩衝材１１０としては、例えばシリコーンゴム製のシートや、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルムを基材とするテープが用いられる。

【0015】

緩衝材１１０は、ワーク１００を熱圧着する際に電子部品１０２の上面を覆うように配される。ここで、実装装置１でワーク１００を熱圧着する際は、後述する実装ツール５で電子部品１０２を押圧する。このとき実装ツール５が電子部品１０２に直接接触すると、場合によっては電子部品１０２を傷つけてしまうことが考えられるが、緩衝材１１０で電子部品１０２の上面を覆ってこの緩衝材１１０を実装ツール５で押圧することにより、電子部品１０２の傷付きを防止することができる。また電子部品１０２は、種類によっては上面に凹凸形状があり、例えば電子部品１０２の個体差によってはこの凹凸の高さにばらつきがあることが想定される。このような場合でも緩衝材１１０を用いることにより、この高さのばらつきが緩衝材１１０で吸収されて電子部品１０２を均一に加圧することができる。

【0016】

本実施形態の緩衝材１１０には、緩衝材１１０の温度を計測するための緩衝材温度センサ１１１が取り付けられている。緩衝材温度センサ１１１の一例としては、緩衝材１１０を挟持可能なクリップに熱電対を組み込んだものが挙げられる。なお緩衝材温度センサ１１１を緩衝材１１０に取り付けるにあたっては、実装ツール５で押圧する部分に可能な限り近づけておくことが好ましい。なお緩衝材１１０は、熱容量が既知であるものを使用する。緩衝材１１０の熱容量ＨＣＢ（単位はＪ／Ｋ）は、使用する素材の比熱に緩衝材１１０の体積を乗じることにより算出することができる。

【0017】

図１に破線で示したものは、例えば実装装置１でのワーク１００の量産を開始するにあたって使用するワーク１００に準じた基準ワーク２００である。基準ワーク２００は、ワーク１００と同等の大きさになるものであって、実装装置１により加熱することが可能である。基準ワーク２００は、熱伝導率が高く耐熱性及び強度に優れる素材で形成することが好適であり、本実施形態では窒化アルミニウムにより形成されている。なお基準ワーク２００は、熱容量が既知であるものを使用する。窒化アルミニウムの比熱は、例えば７２０［Ｊ／（ｋｇ・Ｋ）］であるため、この比熱と基準ワーク２００の体積を乗じることにより基準ワーク２００の熱容量ＨＣＳ（単位はＪ／Ｋ）を算出することができる。

【0018】

本実施形態の基準ワーク２００には、熱電対等の基準ワーク温度センサ２０１が設けられていて、基準ワーク２００の温度を計測することが可能である。

【0019】

次に、実装装置１の構成について説明する。本実施形態の実装装置１は、図１に示した実装ヘッド２、ヒータ制御部６、コントローラ７を備えている。

【0020】

実装ヘッド２は、図１に示したヘッド本体部３と不図示の加圧部を備えている。ヘッド本体部３は、実装装置１が備える不図示のベースに対して上下方向に移動可能に設けられていて、加圧部が駆動すると昇降移動し、下降した際はワーク１００に対して圧力を加えることができる。加圧部は、例えばサーボモータによって送りねじを回転させてナットを進退移動させるようにしたものや、シャフトに対して可動子が非接触で進退移動するシャフトモータを用いたものや、空気等の媒体が導入されることによってロッドが進退移動するシリンダ等により構成することができる。

【0021】

更に実装ヘッド２は、ヘッド本体部３の下端部に取り付けられるヒータ４を備えている。ヒータ４は、通電させると発熱部が発熱するものである。ヒータ４を発熱させる方法としては、例えばコンスタントヒート方式やパルスヒート方式が挙げられる。本実施形態のヒータ４は、パルスヒート方式で加熱を行うパルスヒータであり、ヒータ４には、熱電対の如き温度センサが設けられている。

【0022】

また実装ヘッド２は、ヒータ４の下端部に取り付けられる実装ツール５を備えている。実装ツール５は、電子部品１０２におけるＡＣＦ１０３が接する部位を押圧可能な形状で形成されている。実装ツール５は、熱伝導率が高い素材で形成することが好適である。本実施形態の実装ツール５は窒化アルミニウム製である。

【0023】

ヒータ制御部６は、ヒータ４に電力を印加してヒータ４を発熱させる機能を有する。本実施形態のヒータ制御部６は、互いに電気的に接続された温度調整器６ａと電力調整器６ｂで構成されている。温度調整器６ａは、ヒータ４における温度センサとコントローラ７に電気的に接続されていて、電力調整器６ｂはヒータ４における発熱部に電気的に接続されている。温度調整器６ａは、コントローラ７から出力されるヒータ４の目標温度に関する電気信号と、ヒータ４の温度センサから得られるヒータ４の温度に関する電気信号に基づき、電力調整器６ｂに対し、電力調整器６ｂがヒータ４に対して出力する電力の大きさに関係する情報（以下、「パワー情報」と称する）を含んだ電気信号を出力する。電力調整器６ｂは、温度調整器６ａからの電気信号に基づき、所定の電圧と電流になる電力（交流電力）をヒータ４に出力する。ここでパワー情報は、例えば温度調整器６ａから電力調整器６ｂに出力される電気信号の電圧値や電流値であって、この場合に電力調整器６ｂは、この電気信号の電圧値等の大きさに応じた電力をヒータ４に出力する。一例としてこの電気信号の電圧値が０Ｖから１０Ｖに変わると、電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電力の大きさは、０％から１００％に変化する。ここで、電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電力の電圧値と電流値を、「電力調整器出力情報」と称する。そして上述したパワー情報と電力調整器出力情報を総称して、「印加情報」と称する。すなわち印加情報は、ヒータ制御部６がヒータ４に印加する電力に関する情報であって、例えば温度調整器６ａから電力調整器６ｂに出力される電気信号の電圧値や電流値が含まれ、電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電力の電圧値や電流値が含まれる。またパワ-情報と電力調整器出力情報との間には、一例として挙げた温度調整器６ａの電気信号における電圧値と電力調整器６ｂの電力の大きさの関係性のように、相似的な関係がある。

【0024】

コントローラ７は、実装ヘッド２、ヒータ制御部６をはじめ実装装置１の各部に電気的に接続されている。本実施形態のコントローラ７には、上述した緩衝材温度センサ１１１や基準ワーク温度センサ２０１も電気的に接続可能である。コントローラ７は、図２に示すように、コントローラ７に接続された各種機器からの情報が含まれる電気信号が入力され且つこれらの機器を動作させる情報を含む電気信号を出力してこれらの機器を制御する制御部８と、制御部８に接続され、制御部８を動作させるプログラムや各種の情報を記憶する記憶部９と、制御部８に接続され、実装装置１に関する情報を視覚や聴覚によって作業者に知覚させる出力部１０とを備えている。制御部８は、例えばＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）や専用ボードにより構成することができる。また記憶部９は、例えば半導体メモリやＨＤＤにより構成することができる。そして出力部１０は、例えばＬＥＤのように単純に光を発光させるものや、ディスプレイのように各種情報を具体的に表示させるものや、ブザーやスピーカのように音を発するもので構成することができる。

【0025】

本実施形態の制御部８は、コントローラ７に接続された各種機器を制御することができる他、下記の印加情報取得部１１、印加量算出部１２、温度情報計測部１３、伝導熱量算出部１４、パターン作成部１５、判別部１６、調整部１７として機能するように構成されている。

【0026】

印加情報取得部１１は、実装ヘッド２でワーク１００を加圧及び加熱する際に、加圧部が実装ツール５でワーク１００を加圧するタイミングとヒータ制御部６がヒータ４に印加する電力に関する印加情報を取得する機能を有する。

【0027】

また印加情報取得部１１は、上述した基準ワーク２００を実装ヘッド２で加圧及び加熱するにあたり、加圧部が基準ワーク２００を加圧するタイミングとヒータ制御部６がヒータ４に印加する電力に関する情報（以下、「基準印加情報」という）とを取得する機能を有する。基準印加情報は、上述した印加情報（ワーク１００を実装装置１で熱圧着するときのパワー情報と電力調整器出力情報）に対応するものであって、基準ワーク２００を実装装置１で熱圧着するときのパワー情報（基準パワー情報）と電力調整器出力情報（基準電力調整器出力情報）の総称である。

【0028】

印加量算出部１２は、加圧部がワーク１００を加圧していない状態で印加情報取得部１１により取得される印加情報から算出される所定時間当たりの無負荷時印加量Ｅｕ０を算出し、また加圧部がワーク１００を加圧した状態で印加情報取得部１１により取得される第一の時間Ｔ１から第二の時間Ｔ２までの加圧時間（図３Ａ～図３Ｃ参照）と、印加情報から算出されるこの加圧時間における圧着時印加量Ｅ１を算出し、更にこの加圧時間に相当する時間中の無負荷時印加量Ｅ０（上述した所定時間当たりの無負荷時印加量Ｅｕ０を、第一の時間Ｔ１から第二の時間Ｔ２までの時間当たりの値に換算したもの）を圧着時印加量Ｅ１から減じて圧着時放出印加量Ｅ２を算出する機能を有する。なお第一の時間Ｔ１と第二の時間Ｔ２は、印加情報取得部１１で電圧値と電流値を取得する周期（サンプリング周期）に応じた任意の時間である。図３Ａ～図３Ｃにおいて第一の時間Ｔ１は、実装ヘッド２の加圧部がヘッド本体部３を下降させるように駆動してワーク１００への加圧が開始された加圧開始時間Ｔｓと一致しているが、第一の時間Ｔ１は加圧開始時間Ｔｓより後でもよい。そして第二の時間Ｔ２は、実装ヘッド２の加圧部がヘッド本体部３を上昇させるように駆動してワーク１００への加圧が終了した加圧終了時間Ｔｆより前であるが、第二の時間Ｔ２は加圧終了時間Ｔｆと一致していてもよい。

【0029】

また印加量算出部１２は、実装ヘッド２で基準ワーク２００を加圧及び加熱する際に印加情報取得部１１で取得された基準ワーク２００を加圧するタイミングと上述した基準印加情報から、圧着時放出印加量Ｅ２に相当する基準ワーク２００の基準圧着時放出印加量ＥＳを算出する機能を有する。

【0030】

ここで、印加情報取得部１１と印加量算出部１２について、図３Ａ～図３Ｄを参照しながら具体的に説明する。図３Ａにおける電圧に関するグラフにおいて、縦軸は、印加情報取得部１１が印加情報として取得した電力調整器６ｂがヒータ４に印加する交流の電圧値（単位はＶ）であり、横軸は時間（単位は秒）である。また図３Ｂにおける電流に関するグラフにおいて、縦軸は、印加情報取得部１１が印加情報として取得した電力調整器６ｂがヒータ４に印加する交流の電流値（単位はＡ）であり、横軸は時間である。そして図３Ｃにおける電力のグラフにおいて、縦軸は、印加情報取得部１１で取得された上記の電圧値と電流値の積を電力（単位はＷ）として示した値であり、横軸は時間である。図３Ａ～図３Ｃの各グラフは塗りつぶされたように描かれているが、これは印加情報取得部１１で電圧値と電流値を取得する周期（サンプリング周期）が極めて短いことによる。すなわち印加情報取得部１１は、電圧値、電流値、電力値をリアルタイムで取得することができる。印加情報取得部１１で得られた、電圧値、電流値、電力値とこれらを取得する際の時間は、記憶部９に記憶される。なお図３Ｄは、説明の都合上、図３Ｃにおいて塗りつぶして示したグラフを白抜きにして概略的に示した図である。

【0031】

ヒータ制御部６がヒータ４に対して図３Ｃ、図３Ｄに示すように電力を供給する際、印加量算出部１２は、加圧開始時間Ｔｓより前の電力値と加圧終了時間Ｔｆより後の電力値を確認する。そして、加圧開始時間Ｔｓより前の所定時間当たりの電力値と加圧終了時間Ｔｆより後の所定時間当たりの電力値の平均値を、上述した所定時間当たりの無負荷時印加量Ｅｕ０として算出する。なお、所定時間当たりの無負荷時印加量Ｅｕ０は、加圧開始時間Ｔｓより前の所定時間当たりの電力値のみで設定してもよいし、加圧終了時間Ｔｆより後の所定時間当たりの電力値のみで設定してもよい。

【0032】

また印加量算出部１２は、加圧部がワーク１００を加圧した状態で印加情報取得部１１により取得される第一の時間Ｔ１から第二の時間Ｔ２までの加圧時間と、この加圧時間における電力値を確認する。そしてこの加圧時間における電力値を、上述した圧着時印加量Ｅ１（単位はＪ）として算出する。

【0033】

更に印加量算出部１２は、算出した加圧時間（第二の時間Ｔ２－第一の時間Ｔ１）と所定時間当たりの無負荷時印加量Ｅｕ０によって、加圧時間に相当する時間中の無負荷時印加量Ｅ０（単位はＪ）として算出する。そして圧着時印加量Ｅ１から加圧時間中の無負荷時印加量Ｅ０を減じることで圧着時放出印加量Ｅ２（単位はＪ）を算出する（Ｅ２＝Ｅ１－Ｅ０）。図３Ｄにおいて圧着時放出印加量Ｅ２は、概ね、第一の時間Ｔ１と第二の時間Ｔ２の間であって電力値Ｐ０と電力値Ｐ１の間に位置する矩形状部分の面積に相当する。

【0034】

温度情報計測部１３は、上述した基準ワーク温度センサ２０１からの情報に基づいて基準ワーク２００の温度を計測する機能を有する。

【0035】

また温度情報計測部１３は、緩衝材１１０を用いてワーク１００を熱圧着する際、緩衝材温度センサ１１１からの情報に基づいて緩衝材１１０の温度を計測する機能を有する。

【0036】

伝導熱量算出部１４は、基準ワーク２００の熱容量ＨＣＳと温度情報計測部１３で得られる基準ワーク２００の温度から基準ワーク２００に伝導された基準伝導熱量ＱＳを算出し、また基準伝導熱量ＱＳと基準圧着時放出印加量ＥＳとを関係づけたテーブル又は関係式を作成し、更にこのテーブル又は関係式を参照して圧着時放出印加量Ｅ２に相当する基準圧着時放出印加量ＥＳに関係づけられた基準伝導熱量ＱＳに基づいてワーク１００の伝導熱量Ｑを算出する機能を有する。ここで基準伝導熱量ＱＳと基準圧着時放出印加量ＥＳとを関係づけたテーブルは、例えば図４に示す如きものであり、複数の基準圧着時放出印加量ＥＳの値と、その各々に対応する圧着時放出印加量Ｅ２の値が関係づけられている。そして基準伝導熱量ＱＳと基準圧着時放出印加量ＥＳとを関係づけた関係式は、例えば図４に示した複数の基準圧着時放出印加量ＥＳの値と圧着時放出印加量Ｅ２の値がある場合に、これら離散した数値を補間する式である。このような関係式の一例としては、複数の基準圧着時放出印加量ＥＳの値と圧着時放出印加量Ｅ２の値に基づく最小二乗法による一次近似曲線が挙げられる。

【0037】

また伝導熱量算出部１４は、緩衝材１１０を用いてワーク１００を熱圧着する際、緩衝材１１０の熱容量ＨＣＢと温度情報計測部１３で得られる緩衝材１１０の温度から緩衝材１１０に伝導された緩衝材伝導熱量ＱＢを算出し、ワーク１００の伝導熱量Ｑから緩衝材伝導熱量ＱＢを減じてワーク１００の補正伝導熱量ＱＲを算出する機能を有する。

【0038】

パターン作成部１５は、印加情報取得部１１で取得された第一の時間Ｔ１から第二の時間Ｔ２までのワーク１００を加圧するタイミングと印加情報に基づく印加パターンを作成する機能を有する。印加情報取得部１１により取得される印加情報として、例えば電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電圧値と電流値に関する電力調整器出力情報を用いる場合、パターン作成部１５は、図３Ａ～図３Ｃに示した第一の時間Ｔ１から第二の時間Ｔ２までの電圧に関するグラフ、電流に関するグラフ、電力に関するグラフを画像データとして作成する。またパターン作成部１５は、実装ヘッド２で基準ワーク２００を加圧及び加熱する際に印加情報取得部１１で取得された基準ワーク２００を加圧するタイミングと上述した基準印加情報に基づく基準印加パターンを作成する機能を有する。すなわちパターン作成部１５は、印加情報取得部１１により取得される基準印加情報として、電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電圧値と電流値に関する基準電力調整器出力情報を用いる場合は、基準ワーク２００における図３Ａ～図３Ｃに示した如きグラフを画像データとして作成する機能を有する。作成したワーク１００のグラフに関する画像データと基準ワーク２００のグラフに関する画像データは、記憶部９に記憶される。

【0039】

判別部１６は、上述した圧着時放出印加量Ｅ２に関する判別、上述した伝導熱量Ｑに関する判別、上述した補正伝導熱量ＱＲに関する判別、及び上述した印加パターンと基準印加パターンに関する判別を行う機能を有する。

【0040】

ここで圧着時放出印加量Ｅ２に関し、判別部１６は、圧着時放出印加量Ｅ２が所定の範囲内にあるかを判別する機能を有する。圧着時放出印加量Ｅ２に関係する所定の範囲は、例えば理論的に導出できる場合はその理論値に基づいて決めてもよいし、実装装置１でワーク１００の量産を実施する前に行われるワーク１００のテスト生産の結果に基づいて決めてもよい。実施形態において上述した所定の範囲となる値は記憶部９に記憶されていて、判別部１６は、圧着時放出印加量Ｅ２が記憶部９に記憶されている所定の範囲内にあるか否かを判別する。

【0041】

また印加量算出部１２で基準ワーク２００の基準圧着時放出印加量ＥＳを算出する場合、判別部１６は、圧着時放出印加量Ｅ２と基準圧着時放出印加量ＥＳとの差異を算出し、この差異が所定の範囲内にあるかを判別するものでもよい。この場合にも上述した所定の範囲となる値は記憶部９に記憶されているものとし、判別部１６は、圧着時放出印加量Ｅ２と基準圧着時放出印加量ＥＳとの差を算出し、この差の値が記憶部９に記憶されている所定の範囲内にあるか否かを判別する。

【0042】

そして伝導熱量Ｑに関し、判別部１６は、伝導熱量Ｑが所定の範囲内にあるかを判別する機能を有する。本実施形態において、上述した所定の範囲となる値は記憶部９に記憶されていて、判別部１６は、伝導熱量Ｑの値が記憶部９に記憶されている所定の範囲内にあるか否かを判別する。また補正伝導熱量ＱＲに関し、判別部１６は、補正伝導熱量ＱＲが所定の範囲内にあるかを判別する機能を有する。本実施形態において、上述した所定の範囲となる値は記憶部９に記憶されていて、判別部１６は、補正伝導熱量ＱＲの値が記憶部９に記憶されている所定の範囲内にあるか否かを判別する。

【0043】

また判別部１６は、印加パターンと基準印加パターンに関し、印加パターンと基準印加パターンを比較して、基準印加パターンに対する印加パターンの差異が所定の範囲にあるかを判別する機能を有する。具体例を挙げて説明すると、例えば印加パターンが図３Ｃ、図３Ｄにおける電力に関するグラフである場合、時間Ｔ１（加圧開始時間Ｔｓ）から時間Ｔａ×２までは略一定の割合で傾いていて、この間に電力は時間Ｔ１を基準としてＰａ増加し、その後電力はしばらく一定であるが、その後は減少し、加圧終了時間Ｔｆでは加圧開始時間Ｔｓのときと同程度の電力になる。すなわち、印加パターンにおける時間Ｔ１から時間Ｔａ×２経過するまでの間で面積は、（１／２）×（Ｔａ×２）×Ｐａ＝Ｔａ×Ｐａ増加している。ここで基準印加パターンは、図示は省略するが図３Ｃ、図３Ｄに示したグラフに対して時間Ｔ１からの傾きが急なものであるとする。具体的には基準印加パターンは、図３Ｃ、図３Ｄに示したグラフに対して、時間Ｔ１から時間Ｔａまでは略一定の割合で傾いていて、この間に電力は時間Ｔ１を基準としてＰａ増加し、時間Ｔａから時間（Ｔａ×２）では一定の電力Ｐａとなり、その後は印加パターンと同一であるとする。すなわち基準印加パターンにおける時間Ｔ１から時間Ｔａ×２経過するまでの間で面積は、（１／２）×Ｔａ×Ｐａ＋Ｔａ×Ｐａ＝（３／２）×Ｔａ×Ｐａ増加している。そして判別部１６は、基準印加パターンに対する印加パターンの差異として、両者の面積の差が（１／４）×Ｔａ×Ｐａ以内であれば所定の範囲に収まっていると設定されているとする。このように設定されている場合において、判別部１６は、基準印加パターンに対する印加パターンの差異は所定の範囲を外れていると判断する。

【0044】

調整部１７は、上述した判別部１６での判別手法（圧着時放出印加量Ｅ２に関する判別手法、伝導熱量Ｑに関する判別手法、補正伝導熱量ＱＲに関する判別手法、印加パターンと基準印加パターンに関する判別手法）に応じて、実装ヘッド２の加圧部がワーク１００を加圧するタイミング及び／又はヒータ制御部６がヒータ４に印加する電力を調整する機能を有する。なお調整部１７による具体的な調整手法については後述する。

【0045】

次に、実装装置１によってワーク１００を熱圧着する第一の方法として、制御部８が備える印加情報取得部１１、印加量算出部１２、及び判別部１６を機能させ、圧着時放出印加量Ｅ２に関する判別手法を用いる場合の具体例について説明する。なお以下の説明における印加情報取得部１１により取得される印加情報は、電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電圧値と電流値に関する電力調整器出力情報である。

【0046】

まず、実装ヘッド２の下方にワーク１００をセットし、実装ヘッド２によってワーク１００への加圧及び加熱を実施する。なお本実施形態においては、緩衝材１１０を用いてワーク１００への加圧及び加熱を行うこととする。

【0047】

そして印加情報取得部１１は、実装ヘッド２の加圧部が実装ツール５でワーク１００を加圧するタイミングを取得し、またヒータ制御部６がヒータ４に印加する電力に関する印加情報（本実施形態では、ワーク１００を加熱する際に電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電圧値と電流値に関する電力調整器出力情報）を取得する。

【0048】

そして印加量算出部１２は、加圧部がワーク１００を加圧していない状態で印加情報取得部１１により取得される印加情報（上述したように、ワーク１００を加熱する際に電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電圧値と電流値に関する電力調整器出力情報）から算出されるワーク１００の所定時間当たりの無負荷時印加量Ｅｕ０を算出し、また加圧部がワーク１００を加圧した状態で印加情報取得部１１により取得される第一の時間Ｔ１から第二の時間Ｔ２までの加圧時間と、上記の印加情報から算出されるこの加圧時間におけるワーク１００の圧着時印加量Ｅ１を算出し、更にこの加圧時間に相当する時間におけるワーク１００の無負荷時印加量Ｅ０（上述したワーク１００の所定時間当たりの無負荷時印加量を、第一の時間Ｔ１から第二の時間Ｔ２までの時間当たりの値に換算したもの）を圧着時印加量Ｅ１から減じて第一の時間Ｔ１から第二の時間Ｔ２までの圧着時放出印加量Ｅ２（単位はＪ）を算出する。算出した圧着時放出印加量Ｅ２は、記憶部９に記憶される。なお第一の時間Ｔ１は、実装ヘッド２の加圧部によってワーク１００への加圧が開始された加圧開始時間Ｔｓである。なお、判別部１６で用いられる圧着時放出印加量Ｅ２に関係する所定の範囲は、例えば実装装置１でワーク１００の量産を実施する前に行われるワーク１００のテスト生産の結果に基づいて予め導かれていて、記憶部９にはこの所定の範囲が記憶されている。

【0049】

次いで判別部１６は、取得した圧着時放出印加量Ｅ２が上述した所定の範囲内にあるか否かを判別する。ここで、圧着時放出印加量Ｅ２が所定の範囲内であると判別部１６が判断する場合は、実装装置１は正常に動作しているとして制御部８はワーク１００を熱圧着する動作を継続する。一方、圧着時放出印加量Ｅ２が記憶部９に予め記憶されている所定の範囲を外れていると判別部１６が判断する場合、制御部８は、出力部１０から報知を行い、必要に応じてワーク１００を熱圧着する動作を停止する。これにより、ＡＣＦ１０３の硬化不足等が発生する要因が生じたことを作業者に直ちに伝えることができ、またワーク１００の不良品が大量に作られてしまう不具合を防止することができる。

【0050】

ところで、圧着時放出印加量Ｅ２が記憶部９に予め記憶されている所定の範囲を外れていると判別部１６が判断する場合、上述した調整部１７を機能させることにより、ワーク１００を熱圧着する動作を停止させることなく実装装置１を動作させることが可能である。

【0051】

本実施形態の調整部１７は、加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの圧着時放出印加量Ｅ２が記憶部９に予め記憶されている所定の範囲を外れていると判別部１６が判断する場合、第二の時間Ｔ２以降において、加圧部がワーク１００を加圧するタイミング及び／又はヒータ制御部６がヒータ４に印加する電力を、実装ヘッド２がワーク１００の加圧を開始してから終了するまでの圧着時放出印加量Ｅ２が予め定めた許容範囲に収まるように調整する機能を有する。

【0052】

このような調整部１７によれば、例えば加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの間でＡＣＦ１０３に対して必要な熱量が加わっていないと考えられる場合も、第二の時間Ｔ２以降において不足した熱量を加えることができるため、良品のワーク１００を生産し続けることができる。また、本実施形態の実装装置１によれば、生産中にワーク１００が熱圧着される状況をヒータ４が備える温度センサとは別の観点で確認することができるため、高い信頼性でもってワーク１００の実装を行うことができる。

【0053】

圧着時放出印加量Ｅ２に関する判別手法は、印加量算出部１２で基準ワーク２００の基準圧着時放出印加量ＥＳを算出する場合においては、以下のように用いることができる。なお以下の説明における印加情報取得部１１により取得される印加情報も、電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電圧値と電流値に関する電力調整器出力情報であるとする。

【0054】

まず、基準ワーク２００を用いて実装ヘッド２での加圧及び加熱を実施する。実装ヘッド２の下方に基準ワーク２００がセットされた後、制御部８は、実装ヘッド２の加圧部を駆動させてヘッド本体部３を下降させ、実装ツール５で基準ワーク２００を加圧する。また、ヒータ制御部６から電力を供給してヒータ４を発熱させ、実装ツール５を加熱する。

【0055】

このとき印加情報取得部１１は、実装ヘッド２の加圧部が実装ツール５で基準ワーク２００を加圧するタイミングを取得し、またヒータ制御部６がヒータ４に印加する電力に関する基準印加情報（本実施形態では、基準ワーク２００を加熱する際に電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電圧値と電流値に関する基準電力調整器出力情報）を取得する。

【0056】

上記のようにして印加情報取得部１１で取得された基準ワーク２００を加圧するタイミング、電圧値、及び電流値により、印加量算出部１２は、図３Ａ～図３Ｄを参照しながら説明した上記の圧着時放出印加量Ｅ２を算出した手順と同様の手順で基準ワーク２００の基準圧着時放出印加量ＥＳを算出する。すなわち印加量算出部１２は、加圧部が基準ワーク２００を加圧していない状態で印加情報取得部１１により取得される基準印加情報（上述したように、基準ワーク２００を加熱する際に電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電圧値と電流値に関する基準電力調整器出力情報）から算出される基準ワーク２００の所定時間当たりの基準無負荷時印加量を算出し、また加圧部が基準ワーク２００を加圧した状態で印加情報取得部１１により取得される第一の時間Ｔ１から第二の時間Ｔ２までの加圧時間と、上記の基準印加情報から算出されるこの加圧時間における基準ワーク２００の基準圧着時印加量を算出し、更にこの加圧時間に相当する時間における基準ワーク２００の基準無負荷時印加量（上述した基準ワーク２００の所定時間当たりの無負荷時印加量を、第一の時間Ｔ１から第二の時間Ｔ２までの時間当たりの値に換算したもの）を基準ワーク２００の基準圧着時印加量から減じて、第一の時間Ｔ１から第二の時間Ｔ２までの基準圧着時放出印加量ＥＳ（単位はＪ）を算出する。算出した基準圧着時放出印加量ＥＳは、記憶部９に記憶される。なお本実施形態において第一の時間Ｔ１は、実装ヘッド２の加圧部によって基準ワーク２００への加圧が開始された加圧開始時間Ｔｓであり、第二の時間Ｔ２は、その加圧が終了した加圧終了時間Ｔｆである。本実施形態において印加量算出部１２は、基準圧着時放出印加量ＥＳを、サンプリング周期に対応する所定の時間毎に加圧開始時間Ｔｓから加圧終了時間Ｔｆまで複数算出する。

【0057】

このようにして加圧開始時間Ｔｓから加圧終了時間Ｔｆまで複数の基準圧着時放出印加量ＥＳを算出した後は、実装ヘッド２の下方にワーク１００をセットし、実装ヘッド２によってワーク１００への加圧及び加熱を実施する。なお本実施形態においては、緩衝材１１０を用いてワーク１００への加圧及び加熱を行うこととする。

【0058】

そして印加情報取得部１１は、実装ヘッド２の加圧部が実装ツール５でワーク１００を加圧するタイミングを取得し、またヒータ制御部６がヒータ４に印加する電力に関する印加情報（本実施形態では、ワーク１００を加熱する際に電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電圧値と電流値に関する電力調整器出力情報）を取得する。

【0059】

そして印加量算出部１２は、加圧部がワーク１００を加圧していない状態で印加情報取得部１１により取得される印加情報（上述したように、ワーク１００を加熱する際に電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電圧値と電流値に関する電力調整器出力情報）から算出されるワーク１００の所定時間当たりの無負荷時印加量Ｅｕ０を算出し、また加圧部がワーク１００を加圧した状態で印加情報取得部１１により取得される第一の時間Ｔ１から第二の時間Ｔ２までの加圧時間と、上記の印加情報から算出されるこの加圧時間におけるワーク１００の圧着時印加量Ｅ１を算出し、更にこの加圧時間に相当する時間におけるワーク１００の無負荷時印加量Ｅ０（上述したワーク１００の所定時間当たりの無負荷時印加量を、第一の時間Ｔ１から第二の時間Ｔ２までの時間当たりの値に換算したもの）を圧着時印加量Ｅ１から減じて第一の時間Ｔ１から第二の時間Ｔ２までの圧着時放出印加量Ｅ２（単位はＪ）を算出する。算出した圧着時放出印加量Ｅ２は、記憶部９に記憶される。なお第一の時間Ｔ１は、実装ヘッド２の加圧部によってワーク１００への加圧が開始された加圧開始時間Ｔｓであって、圧着時放出印加量Ｅ２は、基準圧着時放出印加量ＥＳを算出したときと同一のタイミングで加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２まで複数取得される。

【0060】

次いで判別部１６は、取得した複数の圧着時放出印加量Ｅ２と基準圧着時放出印加量ＥＳに関し、同じタイミングで取得された圧着時放出印加量Ｅ２と基準圧着時放出印加量ＥＳとの差を算出し、この差の値が記憶部９に予め記憶されている所定の範囲内にあるか否かを判別する。なお判別部１６による判別は、取得した個々の圧着時放出印加量Ｅ２と基準圧着時放出印加量ＥＳとの差に基づいて行ってもよいし、連続した所定のまとまりとなる圧着時放出印加量Ｅ２と基準圧着時放出印加量ＥＳとの差に基づいて行ってもよい。

【0061】

ここで、圧着時放出印加量Ｅ２と基準圧着時放出印加量ＥＳとの差が記憶部９に予め記憶されている所定の範囲内であると判別部１６が判断する場合は、実装装置１は正常に動作しているとして制御部８はワーク１００を熱圧着する動作を継続する。一方、圧着時放出印加量Ｅ２と基準圧着時放出印加量ＥＳとの差が記憶部９に予め記憶されている所定の範囲を外れると判別部１６が判断する場合、制御部８は、出力部１０から報知を行い、必要に応じてワーク１００を熱圧着する動作を停止する。これにより、ＡＣＦ１０３の硬化不足等が発生する要因が生じたことを作業者に直ちに伝えることができ、またワーク１００の不良品が大量に作られてしまう不具合を防止することができる。

【0062】

ところで、圧着時放出印加量Ｅ２と基準圧着時放出印加量ＥＳとの差が記憶部９に予め記憶されている所定の範囲を外れると判別部１６が判断する場合、上述した調整部１７を機能させることにより、ワーク１００を熱圧着する動作を停止させることなく実装装置１を動作させることが可能である。

【0063】

本実施形態の調整部１７は、加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの圧着時放出印加量Ｅ２と加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの基準圧着時放出印加量ＥＳとの差が記憶部９に予め記憶されている所定の範囲を外れると判別部１６が判断する場合、第二の時間Ｔ２以降において、加圧部がワーク１００を加圧するタイミング及び／又はヒータ制御部６がヒータ４に印加する電力を、実装ヘッド２がワーク１００の加圧を開始してから終了するまでの圧着時放出印加量Ｅ２と実装ヘッド２が基準ワーク２００の加圧を開始してから終了するまでの基準圧着時放出印加量ＥＳの差異が予め定めた許容範囲に収まるように調整する機能を有する。この点につき具体的な一例を挙げて説明すると、判別部１６は、加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの圧着時放出印加量Ｅ２として、加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの間に取得した複数の圧着時放出印加量Ｅ２の合計を算出し、また加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの基準圧着時放出印加量ＥＳとして、加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの間に取得した複数の基準圧着時放出印加量ＥＳの合計を算出し、これらの合計の差が記憶部９に予め記憶されている所定の範囲内であるかを判断する。そしてこの所定の範囲を外れると判別部１６が判断する場合、調整部１７は、予め取得した加圧開始時間Ｔｓから加圧終了時間Ｔｆまでの複数の基準圧着時放出印加量ＥＳの合計を算出し、また現在の条件でワーク１００を熱圧着した場合に予想される加圧開始時間Ｔｓから加圧終了時間Ｔｆまでの複数の圧着時放出印加量Ｅ２の合計を算出する。そして調整部１７は、これらの合計の差が記憶部９に予め記憶されている許容範囲に収まるように、第二の時間Ｔ２以降において、加圧部がワーク１００を加圧する時間を増減させることによりワーク１００を加圧するタイミングを調整し、及び／又は、ヒータ制御部６がヒータ４に印加する電圧値と電流値を増減させることにより電力を調整する。

【0064】

このような調整部１７によれば、例えば加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの間でＡＣＦ１０３に対して必要な熱量が加わっていないと考えられる場合も、第二の時間Ｔ２以降において不足した熱量を加えることができるため、良品のワーク１００を生産し続けることができる。

【0065】

次に、実装装置１によってワーク１００を熱圧着する第二の方法として、制御部８が備える印加情報取得部１１、印加量算出部１２、温度情報計測部１３、伝導熱量算出部１４、及び判別部１６を機能させ、伝導熱量Ｑに関する判別手法を用いる場合の具体例について説明する。本実施形態においても、印加情報取得部１１により取得される印加情報は、電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電圧値と電流値に関する電力調整器出力情報である。

【0066】

第二の方法においては、まず、基準ワーク２００を用いて実装ヘッド２での加圧及び加熱を実施する。実装ヘッド２の下方に基準ワーク２００がセットされた後、制御部８は、実装ヘッド２の加圧部を駆動させてヘッド本体部３を下降させ、実装ツール５で基準ワーク２００を加圧する。また、ヒータ制御部６から電力を供給してヒータ４を発熱させ、実装ツール５を加熱する。

【0067】

そして印加情報取得部１１は、実装ヘッド２の加圧部が実装ツール５で基準ワーク２００を加圧するタイミングを取得し、またヒータ制御部６がヒータ４に印加する電力に関する基準印加情報（本実施形態では、基準ワーク２００を加熱する際に電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電圧値と電流値に関する基準電力調整器出力情報）を取得する。このとき温度情報計測部１３は、印加情報取得部１１が基準印加情報を取得するタイミングに合わせて、基準ワーク温度センサ２０１からの情報に基づいて基準ワーク２００の温度を計測する。

【0068】

そして印加量算出部１２は、第一の方法と同様の手順で、加圧開始時間Ｔｓから加圧終了時間Ｔｆまでサンプリング周期に対応する所定の時間毎に複数の基準圧着時放出印加量ＥＳ（単位はＪ）を算出する。複数の基準圧着時放出印加量ＥＳと、基準圧着時放出印加量ＥＳを取得するタイミングで計測された基準ワーク２００の温度に関する情報は、記憶部９に記憶される。

【0069】

そして伝導熱量算出部１４は、実装ツール５で基準ワーク２００を加圧、加熱する際に基準ワーク２００に伝導された基準伝導熱量ＱＳ（単位はＪ）を算出する。具体的には、基準圧着時放出印加量ＥＳを取得するタイミングで取得された基準ワーク２００の温度情報に関し、基準ワーク２００への加圧が開始された加圧開始時間Ｔｓのときでの基準ワーク２００の温度を基準とする温度差ΔＴＳ（単位はＫ）を算出する。そして予め算出している基準ワーク２００の熱容量ＨＣＳにこの温度差ΔＴＳを乗じることにより、基準圧着時放出印加量ＥＳを取得するタイミング毎での基準伝導熱量ＱＳ（ＱＳ＝ＨＣＳ×ΔＴＳ）を算出する。

【0070】

また伝導熱量算出部１４は、例えば図４に示す如き、対応する基準圧着時放出印加量ＥＳと基準伝導熱量ＱＳを関連付けたテーブル１８を作成する。なお基準圧着時放出印加量ＥＳと基準伝導熱量ＱＳは、実装ヘッド２が基準ワーク２００を加圧するタイミングとヒータ制御部６がヒータ４に印加する電力を変更した複数種類が取得されていて、テーブル１８では、これら複数種類の基準圧着時放出印加量ＥＳと基準伝導熱量ＱＳが関連付けられている。本実施形態の伝導熱量算出部１４は、基準伝導熱量ＱＳと基準圧着時放出印加量ＥＳとを関係づけた関係式を作成する機能も有している。本実施形態における関係式は、図４に示した複数の基準圧着時放出印加量ＥＳの値と圧着時放出印加量Ｅ２の値に基づいて導かれる最小二乗法による一次近似曲線であって、この関係式により、離散した複数の基準圧着時放出印加量ＥＳの値と圧着時放出印加量Ｅ２の値の間の範囲が補間される。

【0071】

その後は、実装ヘッド２の下方にワーク１００をセットし、実装ヘッド２によってワーク１００への加圧及び加熱を実施する。実装ヘッド２の下方にワーク１００がセットされた後、制御部８は、実装ヘッド２の加圧部を駆動させてヘッド本体部３を下降させ、実装ツール５でワーク１００を加圧する。また、ヒータ制御部６から電力を供給してヒータ４を発熱させ、実装ツール５を加熱する。なお本実施形態においても、緩衝材１１０を用いてワーク１００への加圧及び加熱を行うこととする。

【0072】

そして印加情報取得部１１は、実装ヘッド２の加圧部が実装ツール５でワーク１００を加圧するタイミングを取得し、またヒータ制御部６がヒータ４に印加する電力に関する印加情報（本実施形態では、ワーク１００を加熱する際に電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電圧値と電流値に関する電力調整器出力情報）を取得する。また印加量算出部１２は、第一の方法と同様の手順で、加圧開始時間Ｔｓから加圧終了時間Ｔｆまでサンプリング周期に対応する所定の時間毎に複数の圧着時放出印加量Ｅ２（単位はＪ）を算出する。算出した複数の圧着時放出印加量Ｅ２は、記憶部９に記憶される。

【0073】

伝導熱量算出部１４は、上述したテーブル１８又は関係式を参照し、圧着時放出印加量Ｅ２に相当する基準圧着時放出印加量ＥＳを選択する。基準圧着時放出印加量ＥＳは基準伝導熱量ＱＳと関係づけられているため、圧着時放出印加量Ｅ２の値に相当する基準圧着時放出印加量ＥＳを選択することにより、ワーク１００に伝導された熱量であると推定される種類の伝導熱量Ｑを算出することができる。

【0074】

次いで判別部１６は、算出した種類の伝導熱量Ｑに関し、記憶部９に予め記憶されている所定の範囲内にあるか否かを判別する。なお判別部１６による判別は、選択した種類の伝導熱量Ｑに含まれる複数の伝導熱量Ｑ（サンプリング周期に対応する所定の時間毎の伝導熱量Ｑ）に関し、個々の伝導熱量Ｑに基づいて行ってもよいし、連続した所定のまとまりとなる伝導熱量Ｑに基づいて行ってもよい。

【0075】

ここで、伝導熱量Ｑが記憶部９に記憶されている所定の範囲内であると判別部１６が判断する場合は、実装装置１は正常に動作しているとして制御部８はワーク１００を熱圧着する動作を継続する。一方、伝導熱量Ｑが記憶部９に記憶されている所定の範囲を外れると判別部１６が判断する場合、制御部８は、出力部１０から報知を行い、必要に応じてワーク１００を熱圧着する動作を停止する。これにより、ＡＣＦ１０３の硬化不足等が発生する要因が生じたことを作業者に直ちに伝えることができ、またワーク１００の不良品が大量に作られてしまう不具合を防止することができる。

【0076】

伝導熱量Ｑが記憶部９に記憶されている所定の範囲を外れると判別部１６が判断する場合は、上述した調整部１７を機能させることにより、ワーク１００を熱圧着する動作を停止させることなく実装装置１を動作させることが可能である。

【0077】

本実施形態の調整部１７は、伝導熱量Ｑが記憶部９に記憶されている所定の範囲を外れると判別部１６が判断する場合、第二の時間Ｔ２以降において、加圧部がワーク１００を加圧するタイミング及び／又はヒータ制御部６がヒータ４に印加する電力を、実装ヘッド２がワーク１００の加圧を開始してから終了するまでの伝導熱量Ｑが予め定めた許容範囲に収まるように調整する機能を有する。この機能について具体的な一例を挙げて説明すると、判別部１６は、加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの伝導熱量Ｑとして、選択した種類の伝導熱量Ｑに含まれる加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの間での複数の伝導熱量Ｑの合計を算出し、この合計が記憶部９に予め記憶されている値（伝導熱量に関する加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの基準となる値）の範囲内であるかを判断する。そしてこの所定の範囲を外れると判別部１６が判断する場合、調整部１７は、記憶部９に予め記憶されている許容範囲（伝導熱量に関する加圧開始時間Ｔｓから加圧終了時間Ｔｆまでの間での基準となる許容範囲）に収まるように、第二の時間Ｔ２以降において、加圧部がワーク１００を加圧する時間を増減させることによりワーク１００を加圧するタイミングを調整し、及び／又は、ヒータ制御部６がヒータ４に印加する電圧値と電流値を増減させることにより電力を調整する。

【0078】

このような調整部１７によれば、例えば加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの間でＡＣＦ１０３に対して必要な熱量が加わっていないと考えられる場合も、第二の時間Ｔ２以降において不足した熱量を加えることができるため、良品のワーク１００を生産し続けることができる。また、本実施形態の実装装置１によれば、生産中にワーク１００が熱圧着される状況をヒータ４が備える温度センサとは別の観点で確認することができるため、高い信頼性でもってワーク１００の実装を行うことができる。

【0079】

上述した実装装置１は、緩衝材１１０の温度を計測する機能を備えることにより、ワーク１００に伝導された熱量を更に正確に推定することができる。以下、緩衝材１１０の温度を計測してワーク１００の補正伝導熱量ＱＲを算出する手順について説明する。

【0080】

実装ツール５でワーク１００を加圧、加熱する際、温度情報計測部１３は、印加情報取得部１１が基準印加情報を取得するタイミングに合わせて（すなわち圧着時放出印加量Ｅ２を取得するタイミングに合わせて）、基準ワーク温度センサ２０１からの情報に基づいて緩衝材１１０の温度を計測する。計測された緩衝材１１０の温度に関する情報は、記憶部９に記憶される。

【0081】

そして伝導熱量算出部１４は、圧着時放出印加量Ｅ２を取得するタイミングで取得された緩衝材１１０の温度情報に関し、ワーク１００への加圧が開始された加圧開始時間Ｔｓのときでの緩衝材１１０の温度を基準とする温度差ΔＴＢ（単位はＫ）を算出する。そして予め算出している緩衝材１１０の熱容量ＨＣＢにこの温度差ΔＴＢを乗じることにより、圧着時放出印加量Ｅ２を取得するタイミング毎での緩衝材伝導熱量ＱＢ（単位はＪ）を算出する（ＱＢ＝ＨＣＢ×ΔＴＢ）。更に伝導熱量算出部１４は、テーブル１８又は関係式を参照して算出した伝導熱量Ｑから補正伝導熱量ＱＲを減じて、圧着時放出印加量Ｅ２を取得するタイミング毎での補正伝導熱量ＱＲ（ＱＲ＝Ｑ－ＱＢ）を算出する。

【0082】

そして判別部１６は、補正伝導熱量ＱＲが、記憶部９に予め記憶されている所定の範囲内にあるか否かを判別する。すなわち制御部８は、補正伝導熱量ＱＲが記憶部９に記憶されている所定の範囲内であると判別部１６が判断する場合は、実装装置１は正常に動作しているとしてワーク１００を熱圧着する動作を継続し、補正伝導熱量ＱＲが記憶部９に記憶されている所定の範囲を外れると判別部１６が判断する場合は、出力部１０から報知を行い、必要に応じてワーク１００を熱圧着する動作を停止する。

【0083】

緩衝材伝導熱量ＱＢは、ヒータ４で加熱した際に緩衝材１１０に伝導された熱量であるといえる。すなわち、伝導熱量Ｑから補正伝導熱量ＱＲを減じて算出される補正伝導熱量ＱＲは、ワーク１００に伝導された正味の熱量であるといえる。従って判別部１６での判断に補正伝導熱量ＱＲを用いることにより、ワーク１００に伝導された熱量を更に正確に推定することができるため、ＡＣＦ１０３の硬化不足等が発生する要因が生じたことを更に正確に把握することができる。

【0084】

本実施形態の実装装置１が備える調整部１７は、上述した伝導熱量Ｑと同様に、補正伝導熱量ＱＲが記憶部９に記憶されている所定の範囲を外れると判別部１６が判断する場合であっても、ワーク１００を熱圧着する動作を停止させることなく実装装置１を動作させることが可能である。

【0085】

本実施形態の調整部１７は、補正伝導熱量ＱＲが記憶部９に記憶されている所定の範囲を外れると判別部１６が判断する場合、第二の時間Ｔ２以降において、加圧部がワーク１００を加圧するタイミング及び／又はヒータ制御部６がヒータ４に印加する電力を、実装ヘッド２がワーク１００の加圧を開始してから終了するまでの補正伝導熱量ＱＲが予め定めた許容範囲に収まるように調整する機能を有する。この点について具体的な一例を挙げて説明すると、判別部１６は、加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの補正伝導熱量ＱＲとして、加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの間での複数の補正伝導熱量ＱＲの合計を算出し、この合計が記憶部９に予め記憶されている値（補正伝導熱量に関する加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの基準となる値）の範囲内であるかを判断する。そしてこの所定の範囲を外れると判別部１６が判断する場合、調整部１７は、記憶部９に予め記憶されている許容範囲（補正伝導熱量に関する加圧開始時間Ｔｓから加圧終了時間Ｔｆまでの間での基準となる許容範囲）に収まるように、第二の時間Ｔ２以降において、加圧部がワーク１００を加圧する時間を増減させることによりワーク１００を加圧するタイミングを調整し、及び／又は、ヒータ制御部６がヒータ４に印加する電圧値と電流値を増減させることにより電力を調整する。

【0086】

このような調整部１７によれば、例えば加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの間でＡＣＦ１０３に対して必要な熱量が加わっていないと考えられる場合も、第二の時間Ｔ２以降において不足した熱量を加えることができるため、良品のワーク１００を生産し続けることができる。また、本実施形態の実装装置１によれば、生産中にワーク１００が熱圧着される状況をヒータ４が備える温度センサとは別の観点で確認することができるうえ、補正伝導熱量ＱＲを用いることによってワーク１００に伝導された正味の熱量で判断できるため、より高い信頼性でもってワーク１００の実装を行うことができる。

【0087】

次に、実装装置１によってワーク１００を熱圧着する第三の方法として、制御部８が備える印加情報取得部１１、パターン作成部１５、判別部１６を機能させ、印加パターンと基準印加パターンに関する判別手法を用いる場合の具体例について説明する。本実施形態においても、印加情報取得部１１により取得される印加情報は、電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電圧値と電流値に関する電力調整器出力情報である。

【0088】

第三の方法においては、まず、基準ワーク２００を用いて実装ヘッド２での加圧及び加熱を実施する。実装ヘッド２の下方に基準ワーク２００がセットされた後、制御部８は、実装ヘッド２の加圧部を駆動させてヘッド本体部３を下降させ、実装ツール５で基準ワーク２００を加圧する。また、ヒータ制御部６から電力を供給してヒータ４を発熱させ、実装ツール５を加熱する。

【0089】

そして印加情報取得部１１は、実装ヘッド２の加圧部が実装ツール５で基準ワーク２００を加圧するタイミングを取得し、またヒータ制御部６がヒータ４に印加する電力に関する基準印加情報（本実施形態では、基準ワーク２００を加熱する際に電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電圧値と電流値に関する基準電力調整器出力情報）を取得する。

【0090】

そしてパターン作成部１５は、実装ヘッド２の加圧部が基準ワーク２００を加圧した状態で印加情報取得部１１により取得される第一の時間Ｔ１から第二の時間Ｔ２までの基準ワーク２００を加圧するタイミングと、上記の基準印加情報から算出されるこの加圧時間における基準ワーク２００の基準圧着時印加量に基づく基準印加パターンを作成する。基準印加パターンは、例えばＡＣＦ１０３に対して必要な熱量が加わっている良品の基準となるパターンである。本実施形態において第一の時間Ｔ１は、実装ヘッド２の加圧部によって基準ワーク２００への加圧が開始された加圧開始時間Ｔｓであり、第二の時間Ｔ２は、その加圧が終了した加圧終了時間Ｔｆである。なお基準印加パターンを作成するにあたっては、第一の時間Ｔ１より前の部分や第二の時間Ｔ２より後の部分を含んだパターンを作成してもよい。本実施形態のパターン作成部１５は、図３Ａ～図３Ｃに準じた電圧に関するグラフ、電流に関するグラフ、電力に関するグラフを画像データとして作成する。

【0091】

このようにして基準ワーク２００の基準印加バターンを作成した後は、実装ヘッド２の下方にワーク１００をセットし、実装ヘッド２によってワーク１００への加圧及び加熱を実施する。実装ヘッド２の下方にワーク１００がセットされた後、制御部８は、実装ヘッド２の加圧部を駆動させてヘッド本体部３を下降させ、実装ツール５でワーク１００を加圧する。また、ヒータ制御部６から電力を供給してヒータ４を発熱させ、実装ツール５を加熱する。なお本実施形態においても、緩衝材１１０を用いてワーク１００への加圧及び加熱を行うこととする。

【0092】

そして印加情報取得部１１は、実装ヘッド２の加圧部が実装ツール５でワーク１００を加圧するタイミングを取得し、またヒータ制御部６がヒータ４に印加する電力に関する印加情報（本実施形態では、ワーク１００を加熱する際に電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電圧値と電流値に関する電力調整器出力情報）を取得する。

【0093】

そしてパターン作成部１５は、印加情報取得部１１で取得された第一の時間Ｔ１から第二の時間Ｔ２までのワーク１００を加圧するタイミングと、上記の印加情報に基づく印加パターンを作成する。本実施形態においてパターン作成部１５は、図３Ａ～図３Ｃに示した第一の時間Ｔ１から第二の時間Ｔ２までの電圧に関するグラフ、電流に関するグラフ、電力に関するグラフを画像データとして作成する。作成された画像データは、記憶部９に記憶される。

【0094】

次いで判別部１６は、記憶部９に記憶されている印加パターンと基準印加パターンとを比較して、基準印加パターンに対する印加パターンの差異が所定の範囲内にあるかを判別する。例えば判別部１６による判断が、図３Ｃ、図３Ｄを参照しながら説明した上述の具体例である場合、基準印加パターンの面積は時間Ｔ１から時間Ｔａ×２経過するまでの間で（３／２）×Ｔａ×Ｐａ増加している一方、印加パターンの面積は同じ時間でＴａ×Ｐａ増加しているため、両者の面積の差は（１／２）×Ｔａ×Ｐａとなる。ここで判別部１６が、両者の面積の差が（１／４）×Ｔａ×Ｐａ以内であれば基準印加パターンに対する印加パターンの差異が所定の範囲に収まっていると設定されている場合、判別部１６は所定の範囲を外れると判断し、制御部８は、出力部１０から報知を行い、必要に応じてワーク１００を熱圧着する動作を停止する。これにより、ＡＣＦ１０３の硬化不足等が発生する要因が生じたことを作業者に直ちに伝えることができ、またワーク１００の不良品が大量に作られてしまう不具合を防止することができる。

【0095】

ところで本実施形態の実装装置１は、上述した調整部１７を用いることによって、ワーク１００を熱圧着する動作を停止させることなく実装装置１を動作させることが可能である。

【0096】

本実施形態の調整部１７は、加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの基準印加パターンと加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの印加パターンとの差異が所定の範囲を外れると判別部１６が判別した場合、第二の時間Ｔ２以降において、加圧部がワーク１００を加圧するタイミング及び／又はヒータ制御部６がヒータ４に印加する電力を、実装ヘッド２がワーク１００の加圧を開始してから終了するまでの印加パターンと実装ヘッド２が基準ワーク２００の加圧を開始してから終了するまでの基準印加パターンとの差異が予め定めた許容範囲に収まるように調整する機能を有する。この点につき具体的な一例を挙げて説明すると、印加パターンは図３Ｃ、図３Ｄを参照しながら説明した上述の電力に関するグラフであって、基準印加パターンは、上述した図３Ｃ、図３Ｄに示したグラフに対して時間Ｔ１からの傾きが急になるグラフ（時間Ｔ１から時間Ｔａまでは略一定の割合で傾いていて、この間に電力は時間Ｔ１を基準としてＰａ増加し、時間Ｔａから時間（Ｔａ×２）では一定の電力Ｐａとなり、その後は印加パターンと同一になるグラフ）であるとする。また判別部１６は、基準印加パターンと印加パターンの面積の差が（１／４）×Ｔａ×Ｐａ以内であれば、基準印加パターンに対する印加パターンの差異が所定の範囲に収まっていると設定されていて、調整部１７は、加圧開始時間Ｔｓから加圧終了時間Ｔｆまでの印加パターンのグラフの面積が、加圧開始時間Ｔｓから加圧終了時間Ｔｆまでの基準印加パターンのグラフの面積と略同じになるように、加圧部がワーク１００を加圧する時間を増減させることによりワーク１００を加圧するタイミングを調整し、及び／又は、ヒータ制御部６がヒータ４に印加する電圧値と電流値を増減させることにより電力を調整する。

【0097】

このような調整部１７によれば、例えば加圧開始時間Ｔｓから第二の時間Ｔ２までの間でＡＣＦ１０３に対して必要な熱量が加わっていないと考えられる場合も、第二の時間Ｔ２以降において不足した熱量を加えることができるため、良品のワーク１００を生産し続けることができる。また、本実施形態の実装装置１によれば、生産中にワーク１００が熱圧着される状況をヒータ４が備える温度センサとは別の観点で確認することができるため、高い信頼性でもってワーク１００の実装を行うことができる。

【0098】

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、上記の説明で特に限定しない限り、特許請求の範囲に記載された本発明の趣旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。例えば上述した実施形態の構成は、適宜追加、削除が可能であり、また一の実施形態の構成を他の実施形態に設けることも可能である。また、上記の実施形態における効果は、本発明から生じる効果を例示したに過ぎず、本発明による効果が上記の効果に限定されることを意味するものではない。

【0099】

たとえば上述した実施形態は、印加情報取得部１１取得する印加情報として電力調整器６ｂからヒータ４に出力される電圧値と電流値に関する電力調整器出力情報を用いていたが、印加情報は、温度調整器６ａが電力調整器６ｂに対して出力する電気信号に含まれるパワー情報でもよい。すなわち印加情報取得部１１取得する情報は、例えば温度調整器６ａから電力調整器６ｂに出力される電気信号の電圧値や電流値でもよい。

【符号の説明】

【0100】

１：実装装置
２：実装ヘッド
４：ヒータ
５：実装ツール
６：ヒータ制御部
７：コントローラ
１０：出力部
１１：印加情報取得部
１２：印加量算出部
１３：温度情報計測部
１４：伝導熱量算出部
１５：パターン作成部
１６：判別部
１７：調整部
１８：テーブル
１００：ワーク
１０１：基板（第一部材）
１０２：電子部品（第二部材）
１０３：ＡＣＦ（接合部材）
１１０：緩衝材
２００：基準ワーク

【要約】

【課題】生産中にワークが熱圧着される状況をヒータが備える温度センサとは別の観点で確認することにより実装の信頼性を高めることができる実装装置を提供する。
【解決手段】実装装置１のコントローラ７は、加圧部が実装ツール５でワーク１００を加圧するタイミングとヒータ制御部６がヒータ４に印加する電力に関する印加情報とを取得する印加情報取得部１１と、所定時間当たりの無負荷時印加量を算出し、加圧部がワーク１００を加圧した状態で印加情報取得部１１により取得される第一の時間Ｔ１から第二の時間Ｔ２までの加圧時間と印加情報から算出される加圧時間における圧着時印加量を算出し、加圧時間に相当する時間中の無負荷時印加量の値を圧着時印加量から減じて圧着時放出印加量を算出する印加量算出部１２と、圧着時放出印加量が所定の範囲内にあるかを判別する判別部１６と、を備える。
【選択図】図１

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図3D】

【図4】