特許 7575955 制御装置、システム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、制御方法及びプログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-22

(45)【発行日】2024-10-30

(54)【発明の名称】制御装置、システム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、制御方法及びプログラム

(51)【国際特許分類】

   H04L 12/28 20060101AFI20241023BHJP

【ＦＩ】

H04L12/28 200Z

H04L12/28 400

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2021003724

(22)【出願日】2021-01-13

(65)【公開番号】P2022108621

(43)【公開日】2022-07-26

【審査請求日】2023-12-22

(73)【特許権者】

【識別番号】000001007

【氏名又は名称】キヤノン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110003281

【氏名又は名称】弁理士法人大塚国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】渡辺 康寛

【審査官】前田 健人

(56)【参考文献】

【文献】特許第６１９２８７３（ＪＰ，Ｂ１）

【文献】国際公開第２０１３／１２５０２７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開平０９－３３１３４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特許第６８７８７０５（ＪＰ，Ｂ１）

【文献】特開２０１９－１４０６０４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０４Ｌ １２／２８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ネットワークを介して接続された被制御装置を制御する制御装置であって、
前記被制御装置を制御するための指示データを生成する生成部と、
前記ネットワークを介して、一定周期ごとに、前記生成部で生成された前記指示データ又は前記被制御装置からの応答データを含むデータフレームを送受信する通信部と、
前記応答データが前記被制御装置によって制御されるユニットの異常を示している場合に、前記通信部により受信された複数の前記データフレームに分割されて含まれる、前記ユニットの異常に関する情報を示す異常データを取得して出力する処理部と、
を有することを特徴とする制御装置。

【請求項2】

前記処理部は、前記データフレームに前記応答データとともに含まれた前記異常データを取得することを特徴とする請求項１に記載の制御装置。

【請求項3】

前記処理部は、前記データフレームの空き領域に割り当てられた前記異常データを取得することを特徴とする請求項１又は２に記載の制御装置。

【請求項4】

前記処理部は、前記通信部を介して要求コマンドを前記被制御装置に送信し、前記通信部を介して前記異常データを取得することを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載の制御装置。

【請求項5】

前記通信部で受信した前記応答データが前記ユニットの異常を示しているかどうかを判定する判定部を更に有し、
前記処理部は、前記通信部で受信した前記応答データが前記ユニットの異常を示していると前記判定部が判定した場合に、前記通信部を介して前記被制御装置と通信を行って前記異常データを取得して出力することを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載の制御装置。

【請求項6】

前記異常データを取得するために行われる前記被制御装置との通信の優先度は、前記指示データ又は前記応答データを送受信するために行われる前記被制御装置との通信の優先度よりも低いことを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の制御装置。

【請求項7】

前記指示データ又は前記応答データを送受信するために行われる前記被制御装置との通信に、プロセスデータオブジェクトを使用するＰＤＯ通信が用いられ、
前記異常データを取得するために行われる前記被制御装置との通信に、サービスデータオブジェクトを使用するＳＤＯ通信が用いられることを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載の制御装置。

【請求項8】

前記異常データは、前記ユニットの状態に関する情報を示すデータを含むことを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の制御装置。

【請求項9】

前記データフレームは、前記被制御装置によりオンザフライで前記応答データが書き込まれることを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の制御装置。

【請求項10】

前記ネットワークは、ＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）であることを特徴とする請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載の制御装置。

【請求項11】

ネットワークに接続された被制御装置と、前記被制御装置を制御する制御装置とを有するシステムであって、
前記制御装置は、
前記被制御装置を制御するための指示データを生成する生成部と、
前記ネットワークを介して、一定周期ごとに、前記生成部で生成された前記指示データ又は前記被制御装置からの応答データを含むデータフレームを送受信する通信部と、
前記応答データが前記被制御装置によって制御されるユニットの異常を示している場合に、前記通信部により受信された複数の前記データフレームに分割されて含まれる、前記ユニットの異常に関する情報を示す異常データを取得して出力する処理部と、
を含むことを特徴とするシステム。

【請求項12】

基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
請求項１１に記載のシステムを有し、
前記システムが有する被制御装置は、前記基板にパターンを形成する処理の少なくとも一部を行うユニットを制御することを特徴とするリソグラフィ装置。

【請求項13】

請求項１２に記載のリソグラフィ装置を用いて基板上にパターンを形成する工程と、
前記工程でパターンが形成された前記基板を加工する工程と、
加工された前記基板から物品を製造する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。

【請求項14】

制御装置によりネットワークに接続された被制御装置を制御する制御方法であって、
前記被制御装置を制御するための指示データを生成する第１工程と、
前記ネットワークを介して、一定周期ごとに、前記第１工程で生成された前記指示データ又は前記被制御装置からの応答データを含むデータフレームを送受信する第２工程と、
前記応答データが前記被制御装置によって制御されるユニットの異常を示している場合に、前記第２工程で受信された複数の前記データフレームに分割されて含まれる、前記ユニットの異常に関する情報を示す異常データを取得して出力する第３工程と、
を有することを特徴とする制御方法。

【請求項15】

請求項１４に記載の制御方法の各工程を、制御装置としてのコンピュータに実行させるためのプログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、制御装置、システム、リソグラフィ装置、物品の製造方法、制御方法及びプログラムに関する。

【背景技術】

【0002】

マスタ装置（制御装置）とスレーブ装置（被制御装置）との間でデータの送受信を一定の周期ごとに行うシステムでは、かかるシステムの動作中に、マスタ装置がスレーブ装置から情報を取得する必要が生じることがある。特許文献１には、ネットワークを介して通信（送受信）されるデータ量にかかわらず、マスタ装置とスレーブ装置との間で制御用データの通信を確実に行いながら、異常検知用データの取得量の低下を抑制するシステムが提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１９－１６９３２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

マスタ装置とスレーブ装置との間でデータの送受信を一定の周期ごとに行うシステムでは、スレーブ装置によって制御されるユニットに異常が発生した場合に、かかる異常に関する情報をスレーブ装置から取得する必要がある。しかしながら、このような場合、マスタ装置とスレーブ装置との間で、制御用データに加えて、ユニットで発生した異常に関する情報（のデータ）を送受信しなければならないため、一周期あたりに送受信するデータの容量が増加してしまう。

【0005】

一周期あたりに送受信するデータの容量が増加すると、１つの周期（１回の通信周期）ではデータの送受信が完了せず、複数の周期に跨ってデータの送受信が行われることがある。この場合、本来同一周期で実行すべきスレーブ装置の処理が複数の周期に跨って実行されることになり、システムの動作が遅延してしまう。

【0006】

本発明は、このような従来技術の課題に鑑みてなされ、マスタ装置とスレーブ装置との間でデータの送受信を行うシステムを遅延なく動作させるのに有利な技術を提供することを例示的目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するために、本発明の一側面としての制御装置は、ネットワークを介して接続された被制御装置を制御する制御装置であって、前記被制御装置を制御するための指示データを生成する生成部と、前記ネットワークを介して、一定周期ごとに、前記生成部で生成された前記指示データ又は前記被制御装置からの応答データを含むデータフレームを送受信する通信部と、前記応答データが前記被制御装置によって制御されるユニットの異常を示している場合に、前記通信部により受信された複数の前記データフレームに分割されて含まれる、前記ユニットの異常に関する情報を示す異常データを取得して出力する処理部と、を有することを特徴とする。

【0008】

本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される実施形態によって明らかにされるであろう。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、例えば、マスタ装置とスレーブ装置との間でデータの送受信を行うシステムを遅延なく動作させるのに有利な技術を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の一側面としてのシステムの構成を示す概略図である。

【図2】図１に示すシステムのマスタ装置の判定部で行われる処理を説明するためのフローチャートである。

【図3】図１に示すシステムのマスタ装置の処理部で行われる処理を説明するためのフローチャートである。

【図4】図１に示すシステムにおけるデータの流れを説明するための図である。

【図5】図１に示すシステムにおけるデータの流れを説明するための図である。

【図6】データフレームの一例を示す図である。

【図7】本発明の一側面としての露光装置の構成を示す概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。更に、添付図面においては、同一もしくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。

【0012】

＜システム＞
図１は、本発明の一側面としてのシステム１００の構成を示す概略図である。本実施形態では、システム１００は、図１に示すように、マスタ装置１１０（制御装置）と、マスタ装置１１０に通信可能に接続される複数のスレーブ装置１２０（被制御装置）と、各スレーブ装置１２０に接続されるユニット１３０とを有する。システム１００において、マスタ装置１１０は、スレーブ装置１２０を制御し、スレーブ装置１２０は、ユニット１３０を制御する。

【0013】

マスタ装置１１０及び各スレーブ装置１２０は、例えば、ＣＰＵやメモリなどを含むコンピュータ（情報処理装置）によって構成されるが、ボードコンピュータで構成されてもよいし、ボードコンピュータと兼用するように構成されてもよい。また、ユニット１３０は、例えば、サーボモータなどの機構を含む。

【0014】

複数のスレーブ装置１２０は、ディジーチェーン方式でマスタ装置１１０に通信可能に接続されている。マスタ装置１１０は、ネットワーク１４０を介して、一定周期ごとに、複数のスレーブ装置１２０とデータの送受信を行う。また、複数のスレーブ装置１２０は、マスタ装置１１０から受信したデータに基づいて、複数のユニット１３０のそれぞれを制御する。

【0015】

本実施形態では、マスタ装置１１０に通信可能に接続されるスレーブ装置１２０として２つのスレーブ装置１２１及び１２２を例示しているが、スレーブ装置１２０の数は２つに限定されるものではなく、１つ又は３つ以上であってもよい。また、本実施形態では、各スレーブ装置１２０によって制御されるユニット１３０として２つのユニット１３１及び１３２を例示している。ユニット１３１は、スレーブ装置１２１によって制御され、ユニット１３２は、スレーブ装置１２２によって制御される。

【0016】

マスタ装置１１０は、図１に示すように、シーケンス制御部１１１と、複数の生成部１１２と、通信部１１３と、判定部１１４と、処理部１１５とを含む。なお、本実施形態では、通信部１１３が判定部１１４を含むように構成されているが、判定部１１４は、通信部１１３とは別に構成されていてもよい。

【0017】

シーケンス制御部１１１は、各スレーブ装置１２０における処理（例えば、ユニット１３０を制御する処理）のシーケンスを制御する。本実施形態では、シーケンス制御部１１１は、予め定められた（設定された）手順、手続き又はレシピに従って、複数の生成部１１２を制御する。

【0018】

複数の生成部１１２は、それぞれ、スレーブ装置１２０を制御するための指示データ（制御データ）、具体的には、制御対象とするスレーブ装置１２０における処理を指示するための指示データを生成する。生成部１１２は、例えば、スレーブ装置１２０に対応して、スレーブ装置１２０の数と同じ数だけ設けられる。本実施形態では、２つのスレーブ装置１２１及び１２２のそれぞれを制御対象とする２つの生成部１１２ａ及び１１２ｂが設けられている。生成部１１２ａは、スレーブ装置１２１を制御対象とし、スレーブ装置１２１における処理（例えば、ユニット１３１を制御する処理）を制御するための指示データを生成する。また、生成部１１２ｂは、スレーブ装置１２２を制御対象とし、スレーブ装置１２２における処理（例えば、ユニット１３２を制御する処理）を制御するための指示データを生成する。

【0019】

通信部１１３は、ネットワーク１４０を介して、一定周期ごとに、複数のスレーブ装置１２０と通信してデータの送受信を行う。本実施形態では、通信部１１３は、一定周期ごとに、生成部１１２ａ及び１１２ｂで生成された指示データをスレーブ装置１２１及び１２２に送信し、かかる指示データに対する応答データをスレーブ装置１２１及び１２２から受信する。ここで、応答データとは、例えば、指示データによって指示された処理が正常に完了したかどうかを示すデータである。従って、マスタ装置１１０からの指示データによって指示された処理が正常に完了していない場合、例えば、スレーブ装置１２０によって制御されるユニットに異常が発生している場合には、応答データには、ユニット１３０の異常を示すデータが含まれる。

【0020】

判定部１１４は、通信部１１３においてスレーブ装置１２０から一定周期で受信した応答データが所定のトリガ条件を満たしているかどうか、具体的には、応答データがユニット１３０の異常を示しているかどうかを判定する。判定部１１４は、通信部１１３で受信した応答データがユニット１３０の異常を示していると判定した場合、処理部１１５に対して、スレーブ装置１２０からユニット１３０の異常に関する情報を示す異常データを取得して出力するように要求する。

【0021】

処理部１１５は、判定部１１４からの要求に応じて、通信部１１３を介して、スレーブ装置１２０と通信を行う。かかる通信を介して、処理部１１５は、スレーブ装置１２０からユニット１３０の異常に関する情報を示す異常データを取得し、ログとして出力する（即ち、異常データをログファイルに出力する）。このように、処理部１１５は、通信部１１３で受信した応答データがユニット１３０の異常を示している場合に、スレーブ装置１２０と通信部１１３を介して通信を行って異常データを取得して出力する。ここで、異常データとは、例えば、ユニット１３０の異常に関する情報として、ユニット１３０の状態に関する情報を示すデータである。

【0022】

図１に示すネットワーク１４０の一例として、産業用イーサネット（登録商標）の１つであるＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）について説明する。ＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）において、ネットワークに接続されたマスタ装置は、複数のスレーブ装置に対してデータフレームを送信し、複数のスレーブ装置は、マスタ装置から受信したデータフレームにオンザフライでデータを書き込む。この際、マスタ装置と複数のスレーブ装置との間の通信には、ＰＤＯ通信と、ＳＤＯ通信とが用いられる。ＰＤＯ通信とは、プロセスデータオブジェクト（ＰＤＯ：Ｐｒｏｃｅｓｓ Ｄａｔａ Ｏｂｊｅｃｔ）と呼ばれるデータを使用して一定周期で通信を行う通信方式である。また、ＳＤＯ通信とは、サービスデータオブジェクト（ＳＤＯ：Ｓｅｒｖｉｃｅ Ｄａｔａ Ｏｂｊｅｃｔ）と呼ばれるデータを使用してマスタ装置からの要求に応じて通信を行う通信方式である。ＰＤＯ通信では、一定周期（例えば、１ｍ秒）でデータフレームの送受信が行われるため、データの到達時間が保証される。一方、ＳＤＯ通信では、一周期内で通信が完了するとは限らないため、データの到達時間が保証されない。

【0023】

ネットワーク１４０としてＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）を採用する場合には、ネットワーク１４０に接続されるノードのうち、少なくとも１つのノードがマスタ装置１１０として機能し、その他のノードがスレーブ装置１２０として機能する。マスタ装置１１０として機能するノードは、ネットワーク１４０におけるデータフレームの送受信のタイミングなどを管理（制御）する。

【0024】

図１に示すシステム１００において、マスタ装置１１０（通信部１１３）は、生成部１１２ａ及び１１２ｂで生成された指示データをＰＤＯ通信のデータフレームに書き込んで、かかるデータフレームをスレーブ装置１２１に送信する。マスタ装置１１０からデータフレームを受信したスレーブ装置１２１は、データフレームに書き込まれた指示データから自身に割り当てられた指示データを読み出し、かかる指示データに対する応答データをデータフレームに書き込む。そして、スレーブ装置１２１は、自身に割り当てられた指示データに対する応答データを書き込んだデータフレームをスレーブ装置１２２に送信する。スレーブ装置１２１からデータフレームを受信したスレーブ装置１２２は、データフレームに書き込まれた指示データから自身に割り当てられた指示データを読み出し、かかる指示データに対する応答データをデータフレームに書き込む。そして、スレーブ装置１２２は、自身に割り当てられた指示データに対する応答でデータを書き込んだデータフレームを、スレーブ装置１２１を介して、マスタ装置１１０に送信する。

【0025】

具体的には、スレーブ装置１２１は、マスタ装置１１０から受信したデータフレームから、生成部１１２ａで生成された指示データを読み出し、応答データを書き込んでからデータフレームをスレーブ装置１２２に送信する。スレーブ装置１２２は、スレーブ装置１２１から受信したデータフレームから、生成部１１２ｂで生成された指示データを読み出し、応答データを書き込んでからデータフレームを、スレーブ装置１２１を介して、マスタ装置１１０に送信する。

【0026】

このように、マスタ装置１１０とスレーブ装置１２０との間でデータの送受信を一定周期ごとに行うシステム１００では、関節が多い多軸の産業用ロボットなどの登場によって、スレーブ装置１２０及びユニット１３０の数が増加する傾向にある。この場合、マスタ装置１１０とスレーブ装置１２０との間で大容量のデータ（指示データや応答データ）を送受信しなければならず、一周期あたりに送受信するデータの容量が増加してしまう。また、スレーブ装置１２０によって制御されるユニット１３０に異常が発生した場合には、かかる異常に関する情報を示す異常データを、指示データや応答データに加えて、マスタ装置１１０とスレーブ装置１２０との間で送受信する必要がある。但し、一般的には、一周期あたりに送受信可能なデータの容量には制限がある。従って、一周期あたりに送受信するデータの容量が増加すると、１つの周期（１回の通信周期）ではデータの送受信が完了せず、複数の周期に跨ってデータの送受信が行われることになる。この場合、本来同一周期で実行すべきスレーブ装置１２０の処理が複数の周期に跨って実行される（即ち、１つの指示データが複数の周期に分割されて送信される）ことになり、システム１００の動作が遅延してしまう。このようなシステム１００の動作の遅延は、特に、ユニット１３０に異常が発生して、かかる異常に関する情報を示す異常データを、スレーブ装置１２０からマスタ装置１１０に送信しなければならない場合に顕著となる。

【0027】

そこで、本実施形態では、スレーブ装置１２０によって制御されるユニット１３０に異常が発生した場合であっても、マスタ装置１１０とスレーブ装置１２０との間でデータの送受信を行うシステム１００を遅延なく動作させるのに有利な技術を提供する。具体的には、本実施形態では、通信部１１３において、スレーブ装置１２０との通信にＰＤＯ通信を用い、処理部１１５において、スレーブ装置１２０との通信に通信部１１３を介したＳＤＯ通信を用いる。

【0028】

まず、本実施形態におけるシステム１００において、マスタ装置１１０の判定部１１４で行われる処理について説明する。図２は、判定部１１４で行われる処理を説明するためのフローチャートである。ユーザがシステム１００を起動すると、マスタ装置１１０及び複数のスレーブ装置１２１及び１２２が起動する。そして、マスタ装置１１０と複数のスレーブ装置１２１及び１２２との間で、ネットワーク１４０を介した一定周期ごとのデータの送受信が開始される。これにより、判定部１１４において、図２に示す処理が開始される。

【0029】

Ｓ１１において、判定部１１４は、通信部１１３で受信したスレーブ装置１２０からの応答データを監視（確認）する。Ｓ１２において、判定部１１４は、通信部１１３の通信周期（一定周期）でスレーブ装置１２０からの応答データがユニット１３０の異常を示しているかどうかを判定する。応答データがユニット１３０の異常を示している場合には、Ｓ１３に移行する。一方、応答データがユニット１３０の異常を示していない場合には、Ｓ１１に移行する。Ｓ１３において、判定部１１４は、処理部１１５に対して、ＦＩＦＯキューを使用してユニット１３０の異常を通知し、スレーブ装置１２０からユニット１３０の異常に関する情報を示す異常データを取得して出力するように要求する。

【0030】

次に、本実施形態におけるシステム１００において、マスタ装置１１０の処理部１１５で行われる処理について説明する。図３は、処理部１１５で行われる処理を説明するためのフローチャートである。ユーザがシステム１００を起動すると、マスタ装置１１０及び複数のスレーブ装置１２１及び１２２が起動する。そして、マスタ装置１１０と複数のスレーブ装置１２１及び１２２との間で、ネットワーク１４０を介した一定周期ごとのデータの送受信が開始される。これにより、処理部１１５において、図３に示す処理が開始される。

【0031】

Ｓ２１において、処理部１１５は、判定部１１４からのユニット１３０の異常の通知を監視（確認）する。Ｓ２２において、処理部１１５は、判定部１１４からユニット１３０の異常の通知があったかどうかを判定する。ユニット１３０の異常の通知があった場合には、Ｓ２３に移行する。一方、ユニット１３０の異常の通知がない場合には、Ｓ２１に移行する。Ｓ２３において、処理部１１５は、異常が発生したユニット１３０を制御するスレーブ装置１２０から、通信部１１３を介して、ユニット１３０の異常に関する情報を示す異常データを取得する。Ｓ２４において、処理部１１５は、Ｓ２３で取得した異常データをログとして出力して、Ｓ２１に移行する。

【0032】

なお、通信部１１３は、処理部１１５が図３に示す処理を行っている間においても、ネットワーク１４０を介して、一定周期ごとに、複数のスレーブ装置１２１及び１２２とデータの送受信を繰り返し行っている。ここで、処理部１１５の優先度（実行優先度）は、通信部１１３の優先度よりも低くなるように設定されている。これにより、判定部１１４を含む通信部１１３の処理（通信）が処理部１１５の処理よりも優先して行われる。従って、処理部１１５による異常データを取得するための通信の優先度は、通信部１１３による指示データ又は応答データを送受信するための通信の優先度よりも低くなる。更に、判定部１１４から処理部１１５へのユニット１３０の異常の通知は、ＦＩＦＯキューを使用している。これにより、判定部１１４が処理部１１５にユニット１３０の異常を通知する処理（Ｓ１３）と、処理部１１５がスレーブ装置１２０から異常データを取得して出力する処理（Ｓ２４）とを、互いに独立して行うことができる。これらの結果、処理部１１５で行われる、スレーブ装置１２０から異常データを取得して出力する処理が、通信部１１３で行われる、ネットワーク１４０を介して、一定周期ごとに、指示データ又は応答データを送受信する処理に影響を与えることはない。

【0033】

以下、実施例１及び２において、本実施形態のシステム１００におけるデータの流れについて説明する。図４及び図５は、本実施形態のシステム１００において、シーケンス制御部１１１と、生成部１１２と、通信部１１３と、判定部１１４と、処理部１１５と、スレーブ装置１２０との間でのデータの流れの一例を示す図である。図４は、スレーブ装置１２０からの応答データがユニット１３０の異常を示していない場合におけるデータの流れの一例（実施例１）を示している。図５は、スレーブ装置１２０からの応答データがユニット１３０の異常を示している場合におけるデータの流れの一例（実施例２）を示している。

【0034】

［実施例１］
図４を参照するに、シーケンス制御部１１１は、予め定められた（設定された）手順、手続き又はレシピに従って、生成部１１２に指示データを生成させるための制御コマンドを生成部１１２に送信する（Ｓ１０１）。シーケンス制御部１１１から制御コマンドを受信した生成部１１２は、かかる制御コマンドに基づいて、スレーブ装置１２０に処理を実行させるための指示データを生成して通信部１１３に送信する（Ｓ１０２）。生成部１１２から指示データを受信した通信部１１３は、ネットワーク１４０のデータフレームに指示データを書き込むことで、かかる指示データをスレーブ装置１２０に送信する（Ｓ１０３）。通信部１１３から指示データを受信したスレーブ装置１２０は、かかる指示データによって指示された処理を実行して、ユニット１３０を制御する。そして、スレーブ装置１２０は、指示データによって指示された処理が完了したら、ネットワーク１４０のデータフレームに応答データを書き込むことで、かかる応答データを判定部１１４（通信部１１３）に送信する（Ｓ１０４）。

【0035】

ここで、判定部１１４は、通信部１１３の通信周期（一定周期）で受信したスレーブ装置１２０からの応答データを監視（確認）する。そして、判定部１１４は、かかる応答データがユニット１３０の異常を示しているかどうかを判定する（Ｓ１０５）。実施例１では、応答データは、上述したように、ユニット１３０の異常を示していない。この場合、判定部１１４は、かかる応答データを通信部１１３に送信する（Ｓ１０６）。判定部１１４から応答データを受信した通信部１１３は、かかる応答データを生成部１１２に送信する（Ｓ１０７）。通信部１１３から応答データを受信した生成部１１２は、かかる応答データをシーケンス制御部１１１に送信する（Ｓ１０８）。

【0036】

［実施例２］
図５に示すＳ２０１乃至Ｓ２０４は、図４に示すＳ１０１乃至Ｓ１０４と同様であるため、ここでの詳細な説明は省略する。

【0037】

判定部１１４は、通信部１１３の通信周期（一定周期）で受信したスレーブ装置１２０からの応答データを監視（確認）する。そして、判定部１１４は、かかる応答データがユニット１３０の異常を示しているかどうかを判定する（Ｓ２０５）。実施例２では、応答データは、上述したように、ユニット１３０の異常を示している。この場合、判定部１１４で受信した応答データは、通信部１１３及び生成部１１２を介して、シーケンス制御部１１１に送信される（Ｓ２０６、Ｓ２０７、Ｓ２０８）。なお、図５に示すＳ２０６乃至Ｓ２０８は、図４に示すＳ１０６乃至Ｓ１０８と同様であるため、ここでの詳細な説明は省略する。更に、判定部１１４は、判定部１１４で受信した応答データがユニット１３０の異常を示していること、即ち、ユニット１３０の異常を処理部１１５に通知する。処理部１１５は、通信部１１３を介して、異常が発生したユニット１３０を制御するスレーブ装置１２０に対して、ユニット１３０の異常に関する情報を示す異常データを要求する要求コマンドを含む指示データを送信する（Ｓ２１０）。そして、処理部１１５は、要求コマンドを含む指示データを受信したスレーブ装置１２０から、通信部１１３を介して、ユニット１３０の異常に関する情報を示す異常データを取得する（Ｓ２１１）。更に、処理部１１５は、スレーブ装置１２０から取得した異常データをログとして出力する（Ｓ２１２）。

【0038】

このように、本実施形態では、ユニット１３０に異常が発生した場合に、処理部１１５は、通信部１１３を介して、スレーブ装置１２０から異常データを取得してログとして出力する。

【0039】

ここで、図６を参照して、異常データが書き込まれたデータフレームについて具体的に説明する。図６は、スレーブ装置１２２が制御するユニット１３２で異常が発生した場合に、スレーブ装置１２２から通信部１１３に送信されるデータフレームの一例を示す図である。

【0040】

図６に示すように、ｎ周期のデータフレームには、スレーブ装置１２１及び１２２のそれぞれによって応答データが書き込まれているが、空き領域Ｒ１が存在する。また、（ｎ＋１）周期のデータフレームには、スレーブ装置１２１及び１２２のそれぞれによって応答データが書き込まれているが、空き領域Ｒ２が存在する。同様に、（ｎ＋２）周期のデータフレームには、スレーブ装置１２１及び１２２のそれぞれによって応答データが書き込まれているが、空き領域Ｒ３が存在する。本実施形態では、このような空き領域Ｒ１、Ｒ２及びＲ３のそれぞれに対して、ユニット１３２の異常に関する情報を示す異常データが分割して書き込まれるように、処理部１１５から通信部１１３を介してスレーブ装置１２０に要求コマンドを送信する。これにより、処理部１１５は、図６に示すように、ｎ周期目に、ｎ周期のデータフレームの空き領域Ｒ１に書き込まれた異常データの一部を取得する。また、（ｎ＋１）周期目に、（ｎ＋１）周期のデータフレームの空き領域Ｒ２に書き込まれた異常データの一部を取得する。同様に、（ｎ＋２）周期目に、（ｎ＋２）周期のデータフレームの空き領域Ｒ３に書き込まれた異常データの一部を取得する。従って、処理部１１５は、通信部１１３の通信周期（一定周期）とは異なる周期（３周期）で、ユニット１３２の異常に関する情報を示す異常データを取得することができる。このように、処理部１１５は、指示データや応答データを一定周期で送受信するための各フレームの空き領域と、異常データのデータ量とに基づいて各フレームの空き領域に異常データを割り当てるように要求する要求コマンドをスレーブ装置１２０に送信する。そして、処理部１１５は、要求コマンドに対して各フレームの空き領域に割り当てられた異常データをスレーブ装置１２０から通信部１１３を介して取得する。このように、処理部１１５は、通信部１１３により受信された複数のデータフレームに分割されて含まれる異常データを取得する。

【0041】

これにより、異常データを送信するための通信の優先度を、指示データ及び応答データを送受信するための通信の優先度よりも低くすることができる。つまり、マスタ装置１１０とスレーブ装置１２０との間で異常データの送受信が必要となっても、同一周期で実行すべきスレーブ装置１２０の処理に対応するデータが複数の周期に跨って送受信されることが防止される。従って、マスタ装置１１０とスレーブ装置１２０との間において、１つの周期（１回の通信周期）で送受信すべきデータが遅延することを回避し、システム１００を遅延なく動作させることができる。

【0042】

以上、説明したように、本実施形態によれば、マスタ装置１１０とスレーブ装置１２０との間でデータの送受信を行うシステム１００を遅延なく動作させるのに有利な技術を提供することができる。

【0043】

＜リソグラフィ装置＞
本発明の一側面としてのシステム１００を適用したリソグラフィ装置について説明する。本実施形態では、システム１００を適用したリソグラフィ装置として、基板を露光して基板上にパターンを形成する露光装置について説明するが、これに限定されるものではない。型を用いて基板上のインプリント材のパターンを形成するインプリント装置や荷電粒子線を基板に照射してパターンを形成する描画装置などのリソグラフィ装置にもシステム１００を適用することができる。

【0044】

図７は、本発明の一側面としての露光装置１０の構成を示す概略図である。露光装置１０は、原版であるマスクＭのパターンを、投影光学系１４を介して基板Ｗに投影して基板Ｗを露光する。露光装置１０は、光源１１と、照明光学系１２と、マスクステージ１３と、投影光学系１４と、基板ステージ１５と、主制御部１６とを有する。また、露光装置１０は、マスクステージ１３を駆動する第１駆動部２１と、投影光学系１４の光学素子１４ａを駆動する第２駆動部２２と、基板ステージ１５を駆動する第３駆動部２３とを有する。更に、露光装置１０は、マスクステージ制御部３１と、投影制御部３２と、基板ステージ制御部３３とを有する。

【0045】

第１駆動部２１、第２駆動部２２及び第３駆動部２３は、基板Ｗにパターンを形成する処理の少なくとも一部を行う機構として機能する。第１駆動部２１、第２駆動部２２及び第３駆動部２３は、それぞれ、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２及び基板ステージ制御部３３によって制御される。また、主制御部１６は、例えば、ＣＰＵやメモリ（記憶部）などを含み、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２及び基板ステージ制御部３３を制御することで、露光装置１０の全体（露光装置１０の各部）を制御する。

【0046】

光源１１は、光（露光光）を射出する。照明光学系１２は、光源１１から射出された光を用いてマスクＭを照明する。マスクステージ１３は、マスクＭを保持するステージであって、第１駆動部２１によって、例えば、ｘ方向及びｙ方向に移動可能に構成される。投影光学系１４は、照明光学系１２によって照明されたマスクＭのパターンを基板Ｗに投影する。投影光学系１４は、第２駆動部２２によって、例えば、ｘ方向に移動可能な光学素子１４ａを含む。基板ステージ１５は、基板Ｗを保持するステージであって、第３駆動部２３によって、例えば、ｘ方向及びｙ方向に移動可能に構成される。

【0047】

図７に示す露光装置１０において、システム１００を適用する場合、主制御部１６がマスタ装置１１０として構成され、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２及び基板ステージ制御部３３のそれぞれがスレーブ装置１２０として構成される。また、第１駆動部２１、第２駆動部２２及び第３駆動部２３のそれぞれがユニット１３０として構成される。主制御部１６と、マスクステージ制御部３１、投影制御部３２及び基板ステージ制御部３３との間におけるデータの送受信は、ネットワークを介して、一定周期ごとに行われる。

【0048】

ここで、システム１００を適用した露光装置１０において、基板ステージ１５（の制御）に異常が発生した場合について説明する。主制御部１６は、上述したように、マスタ装置１１０として機能し、シーケンス制御部１１１と、複数の生成部１１２と、通信部１１３と、判定部１１４と、処理部１１５とを含む。判定部１１４で判定するトリガ条件は、基板ステージ１５の異常となる。

【0049】

基板ステージ１５を制御するために、シーケンス制御部１１１は、予め定められた（設定された）手順、手続き又はレシピに従って、生成部１１２に指示データを生成させるための制御コマンドを生成部１１２に送信する。シーケンス制御部１１１から制御コマンドを受信した生成部１１２は、かかる制御コマンドに基づいて、基板ステージ制御部３３に処理を実行させるための指示データを生成して通信部１１３に送信する。生成部１１２から指示データを受信した通信部１１３は、ネットワーク１４０のデータフレームに指示データを書き込むことで、かかる指示データを基板ステージ制御部３３に送信する。通信部１１３から指示データを受信した基板ステージ制御部３３は、かかる指示データに基づいて、基板ステージ１５を制御する。基板ステージ制御部３３は、基板ステージ１５の制御が異常となった場合、ネットワーク１４０のデータフレームに基板ステージ１５の異常を示す応答データを書き込むことで、かかる応答データを判定部１１４（通信部１１３）に送信する。なお、基板ステージ１５の制御の異常とは、例えば、基板ステージ１５を指示された位置に駆動できないことや基板Ｗを吸着できないことなどを含む。

【0050】

本実施形態では、判定部１１４は、基板ステージ制御部３３からの応答データが基板ステージ１５の異常を示していると判定することになり、かかる応答データは、通信部１１３及び生成部１１２を介して、シーケンス制御部１１１に送信される。応答データを受信したシーケンス制御部１１１は、基板ステージ１５が異常となったと判定する。更に、判定部１１４は、判定部１１４で受信した応答データが基板ステージ１５の異常を示していること、即ち、基板ステージ１５の異常を処理部１１５に通知する。処理部１１５は、通信部１１３を介して、基板ステージ１５を制御する基板ステージ制御部３３に対して、基板ステージ１５の異常に関する情報を示す異常データを要求する要求コマンドを送信する。なお、異常データには、基板ステージ１５の状態、具体的には、基板ステージ１５の位置や吸着圧力などが含まれる。そして、処理部１１５は、要求コマンドを受信した基板ステージ制御部３３から、通信部１１３を介して、基板ステージ１５の異常に関する情報を示す異常データを取得する。更に、処理部１１５は、基板ステージ制御部３３から取得した異常データをログとして出力する。

【0051】

上述したように、露光装置１０は、複数の機構で構成されており、ある機構に異常が発生しても、他の機構の制御を継続しなければならない場合がある。例えば、基板ステージ１５に異常が発生しても、投影光学系１４の光学素子１４ａの制御を継続しなければならない場合がある。システム１００を適用した露光装置１０では、基板ステージ制御部３３から異常データを取得する処理が、通信部１１３を介して行われる。更に、処理部１１５で行われる基板ステージ制御部３３との通信の優先度（実行優先度）は、通信部１１３で行われる基板ステージ制御部３３との通信の優先度よりも低い。これらの結果、基板ステージ制御部３３から異常データを取得して出力する処理が、一定周期ごとの投影光学系１４の光学素子１４ａの制御に影響を与えることはない。

【0052】

＜物品の製造方法＞
本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、上述したリソグラフィ装置（露光装置１０）を用いて基板上にパターンを形成する工程と、かかる工程でパターンを形成された基板を加工する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程（酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等）を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも１つにおいて有利である。

【0053】

＜その他の実施形態＞
本発明は、上述した実施形態の１つ以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、１つ以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。

【0054】

発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。

【符号の説明】

【0055】

１００：システム １１０：マスタ装置 １１１：シーケンス制御部 １１２：生成部 １１３：通信部 １１４：判定部 １１５：処理部 １２０：スレーブ装置 １３０：ユニット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】