特許 7576151 モータ制御装置、モータ制御方法、及びプログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-22

(45)【発行日】2024-10-30

(54)【発明の名称】モータ制御装置、モータ制御方法、及びプログラム

(51)【国際特許分類】

   G05B 11/36 20060101AFI20241023BHJP

   H02P 29/00 20160101ALI20241023BHJP

   G05B 11/32 20060101ALN20241023BHJP

【ＦＩ】

G05B11/36 B

H02P29/00

G05B11/32 F

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2023222882

(22)【出願日】2023-12-28

【審査請求日】2023-12-28

(73)【特許権者】

【識別番号】000006622

【氏名又は名称】株式会社安川電機

(74)【代理人】

【識別番号】110000154

【氏名又は名称】弁理士法人はるか国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】浅井 哲也

(72)【発明者】

【氏名】古賀 稔

(72)【発明者】

【氏名】鷹尾 和英

【審査官】牧 初

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１１－１３５６３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０４－３１７５７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０７－３１５６５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－０５８２１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－０９０６４７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０５Ｂ １１／００－１３／０４

Ｈ０２Ｐ ４／００

Ｈ０２Ｐ ２５／０８－２５／０９８

Ｈ０２Ｐ ２９／００－３１／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

入力位置指令値に基づいて、モータを含む機器をモデル化した数式を計算することで第１の制御目標値を演算する第１の演算部と、
前記入力位置指令値の微分演算に基づいて第２の制御目標値を演算する第２の演算部と、
前記第１の制御目標値と前記第２の制御目標値とに基づいて合成制御目標値を生成する合成部と、
前記合成制御目標値に基づいて前記モータの駆動を制御する駆動制御部と、
を有し、
前記第１の制御目標値は、第１の速度制御目標値を含み、
前記第２の制御目標値は、第２の速度制御目標値を含み、
前記合成部は、前記第１の速度制御目標値と前記第２の速度制御目標値とを所与の割合で合成することで前記合成制御目標値である合成速度制御目標値を生成し、
前記駆動制御部は、前記合成速度制御目標値に基づいて前記モータの駆動を制御する、
モータ制御装置。

【請求項2】

入力位置指令値に基づいて、モータを含む機器をモデル化した数式を計算することで第１の制御目標値を演算する第１の演算部と、
前記入力位置指令値の微分演算に基づいて第２の制御目標値を演算する第２の演算部と、
前記第１の制御目標値と前記第２の制御目標値とに基づいて合成制御目標値を生成する合成部と、
前記合成制御目標値に基づいて前記モータの駆動を制御する駆動制御部と、
を有し、
前記合成部は、前記第１の制御目標値と前記第２の制御目標値とを１－α：α（０≦α≦１．０）の割合で合成することにより前記合成制御目標値を生成する、
モータ制御装置。

【請求項3】

前記第１の制御目標値は、第１のトルク制御目標値を含み、
前記第２の制御目標値は、第２のトルク制御目標値を含み、
前記合成部は、前記第１のトルク制御目標値と前記第２のトルク制御目標値とを所与の割合で合成することで前記合成制御目標値である合成トルク制御目標値を生成し、
前記駆動制御部は、前記合成トルク制御目標値に基づいて前記モータを駆動させるためのトルク指令修正値を生成する、
請求項１又は２に記載のモータ制御装置。

【請求項4】

前記第２の演算部は、
前記入力位置指令値の２階微分値と、前記入力位置指令値の１階微分値に所定の粘性摩擦係数を乗じて算出される粘性摩擦補償値と、に基づいて、前記第２のトルク制御目標値を演算する、
請求項３に記載のモータ制御装置。

【請求項5】

入力位置指令値に基づいて、モータを含む機器をモデル化した数式を計算することで第１の制御目標値を演算し、
前記入力位置指令値の微分演算に基づいて第２の制御目標値を演算し、
前記第１の制御目標値と前記第２の制御目標値とを１－α：α（０≦α≦１．０）の割合で合成することにより合成制御目標値を生成し、
前記合成制御目標値に基づいて前記モータの駆動を制御する、
モータ制御方法。

【請求項6】

入力位置指令値に基づいて、モータを含む機器をモデル化した数式を計算することで第１の制御目標値を演算する第１の演算部、
前記入力位置指令値の微分演算に基づいて第２の制御目標値を演算する第２の演算部、
前記第１の制御目標値と前記第２の制御目標値とを１－α：α（０≦α≦１．０）の割合で合成することにより合成制御目標値を生成する合成部、
前記合成制御目標値に基づいて前記モータの駆動を制御する駆動制御部、
としてコンピュータを機能させるためのプログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、モータ制御装置、モータ制御方法、及びプログラムに関する。

【背景技術】

【0002】

下記特許文献１には、制御対象をモデル化した制御モデルに従った所謂モデル追従制御を用いて追従性を高める技術が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１８－１５１８８９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

制御対象のモデル化の精度には限界があることより、制御対象であるモータに対する指令に遅れが生じてしまう場合がある。その結果、所謂オーバーシュート等が発生してしまう可能性がある。

【0005】

本発明は上記課題に鑑みてされたものであって、その目的は、応答性能を向上するモータ制御装置、モータ制御方法、及びプログラムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一側面に係るモータ制御装置は、入力位置指令値に基づいて、モータを含む機器をモデル化した数式を計算することで第１の制御目標値を演算する第１の演算部と、前記入力位置指令値の微分演算に基づいて第２の制御目標値を演算する第２の演算部と、前記第１の制御目標値と前記第２の制御目標値とに基づいて合成制御目標値を生成する合成部と、前記合成制御目標値に基づいて前記モータの駆動を制御する駆動制御部と、を有する。

【発明の効果】

【0007】

本開示によれば、応答性能を向上するモータ制御装置、モータ制御方法、及びプログラムを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】モータ制御装置の全体構成の一例を示す図である。

【図2A】従来例のモータ制御装置の応答性能を説明するためのグラフである。

【図2B】本実施形態に係るモータ制御装置の応答性能を説明するためのグラフである。

【図3A】駆動制御部で実行される処理を示すフローチャートである。

【図3B】モデル追従制御部及び追加フィードフォワード制御部で実行される処理を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0009】

［モータ制御装置の概要］
従来のモデル追従制御では、上述のように、制御対象のモデル化の精度が十分でない場合があり、所謂オーバーシュートが発生してしまう場合があった。そこで、本実施形態に係るモータ制御装置１においては、モデル追従制御に対して、追加フィードフォワード制御に基づく修正を加えることで、応答性能を向上する構成を採用する。

【0010】

なお、モータＭには不図示のエンコーダ等の位置検出センサが取り付けられており、位置検出センサによりモータＭの検出位置（現在の回転位置）が取得されるとよい。また、検出位置の変化（１階微分値）に基づいて、検出速度（現在の回転速度）が取得されるとよい。そして、モータ制御装置１においては、モータＭの検出位置が目標の回転位置まで回転したかどうかを判断しながら、目標の位置に近づくようフィードバックループによる駆動制御が行われる。

【0011】

図１は、本実施形態に係るモータ制御装置の全体構成の一例を示す図である。図１に示すように、モータ制御装置１は、第１の演算部であるモデル追従制御部１０と、第２の演算部である追加フィードフォワード制御部２０と、合成部３０と、駆動制御部４０と、を含む。

【0012】

モータ制御装置１は、１又は複数のコンピュータで構成されているとよい。モータ制御装置１は、少なくとも１以上のプロセッサと、揮発性メモリ又は不揮発性メモリの少なくともいずれかのメモリと、有線通信用の通信インタフェース又は無線通信用の通信インタフェースと、を含む。モデル追従制御部１０、追加フィードフォワード制御部２０、合成部３０、及び駆動制御部４０は、モータ制御装置１のプロセッサにより実現されるとよい。また、モータ制御装置１に記憶されるプログラムは、ネットワークを介して供給されてもよい。例えば、コンピュータ読み取り可能な情報記憶媒体を読み取る読取部（例えば、メモリカードスロット）、又は、外部機器と接続するための入出力部（例えば、ＵＳＢ端子）が含まれてもよい。この場合、情報記憶媒体に記憶されたプログラムが読取部又は入出力部を介して供給されてもよい。

【0013】

モータ制御装置１は、上位制御装置１００からの指令に基づいて制御対象であるモータＭの駆動を制御する。具体的には、モデル追従制御部１０及び追加フィードフォワード制御部２０に、上位制御装置１００から入力位置指令値がそれぞれ入力され、それら各制御部からの出力に基づいて、駆動制御部４０によりモータＭの駆動を制御する。モータＭは、例えば、サーボモータであるとよい。上位制御装置１００は、例えば汎用のパーソナルコンピュータ、ＰＬＣ（Programable Logic Controller）、モーションコントローラ等で構成されているとよい。

【0014】

［モデル追従制御部］
モデル追従制御部１０は、上位制御装置１００から入力される入力位置指令値に基づいて、モータＭを含む機器をモデル化した数式（以下、モデル数式という）を計算することで、第１の制御目標値である第１のトルク制御目標値Ｔ１及び第１の速度制御目標値Ｖ１と、位置制御目標値Ｐ１を出力する。モデル数式におけるモデル化の対象である機器には、モータＭの駆動に用いられる１又は複数の機器等が含まれるとよく、例えば、モータＭと、位置制御器及び速度制御器とが含まれるよい。モデル数式は、例えば、慣性モーメントなどモータＭの機械的な特性に基づいて予め生成されているとよい。

【0015】

［追加フィードフォワード制御部］
追加フィードフォワード制御部２０は、上位制御装置１００から入力される入力位置指令値に基づいて、第２の制御目標値である第２のトルク制御目標値Ｔ２及び第２の速度制御目標値Ｖ２を出力する。

【0016】

具体的には、追加フィードフォワード制御部２０は、入力位置指令値の２階微分値に、入力位置指令値の１階微分値に所定の粘性摩擦係数を乗じて算出される粘性摩擦補償値を加算する。さらに、追加フィードフォワード制御部２０は、２階微分値に粘性摩擦補償値を加算した値に、トルクフィードフォワードゲインを乗算し、ノイズ低減フィルタによりフィルタリング処理を行い、第２のトルク制御目標値Ｔ２を出力する。所定の粘性摩擦係数は、モータＭの性能やモータＭの使用環境などに応じて予め設定されているとよい。

【0017】

また、追加フィードフォワード制御部２０は、入力位置指令値の１階微分値に速度フィードフォワードゲインを乗算することで、第２の速度制御目標値Ｖ２を出力する。

【0018】

［合成部］
合成部３０は、トルク制御目標値合成部３０Ａと、速度制御目標値合成部３０Ｂとを含む。

【0019】

トルク制御目標値合成部３０Ａは、第１のトルク制御目標値Ｔ１と第２のトルク制御目標値Ｔ２とを所与の割合で合成することで合成制御目標値である合成トルク制御目標値Ｔ３を生成する。所与の割合を１－α：αとする場合、αは例えば０．１であるとよい。この場合、第１のトルク制御目標値Ｔ１の割合が９０％であり、第２のトルク制御目標値Ｔ２の割合が１０％となる。

【0020】

速度制御目標値合成部３０Ｂは、第１の速度制御目標値Ｖ１と第２の速度制御目標値Ｖ２とを所与の割合で合成することで合成制御目標値である合成速度制御目標値Ｖ３を生成する。所与の割合を１－β：βとする場合、βは例えば０．１であるよい。この場合、第１の速度制御目標値Ｖ１の割合が９０％であり、第２の速度制御目標値Ｖ２の割合が１０％となる。

【0021】

なお、割合α、βは、ユーザの操作により予め設定されるものであるとよい。例えば、実際にモータＭを駆動させることでオーバーシュート量を取得し、それが小さくなるように適宜設定されるとよい。なお、割合α、βは、０以上１以下であればよい。そのため、例えば、割合αは０であってもよい。この場合、第１のトルク制御目標値Ｔ１の割合が１００％となり、第２のトルク制御目標値Ｔ２の割合が０％となる。同様に、割合βを０としてもよい。また、割合αと割合βは互いに異なってもよい。

【0022】

また、合成トルク制御目標値Ｔ３は、第１のトルク制御目標値Ｔ１と第２のトルク制御目標値Ｔ２に基づいて生成される値であればよく、それらを所与の割合で合成して生成されるものに限られない。例えば、割合αは予め設定されているものではなく、検出速度等に応じて可変であってもよい。合成速度制御目標値Ｖ３についても同様である。

【0023】

［駆動制御部］
駆動制御部４０は、位置制御部４１と、速度制御部４２とを含む。位置制御部４１は、不図示の位置検出センサにより取得された現在の回転位置と位置制御目標値Ｐ１との差である位置偏差Ｐ２に基づいて、速度指令Ｖ４を出力する。位置制御部４１は、例えば、位置偏差Ｐ２に加算するための当該位置偏差Ｐ２の積分値を算出するように構成された積分部を備え、当該積分部の出力に位置偏差Ｐ２を加算した後に位置制御ゲインを乗算する、いわゆるＰＩ制御を行うよう構成されているとよい。

【0024】

速度制御部４２は、位置検出センサにより検出される現在の回転位置の１階微分値に基づく現在の検出速度と、合成速度制御目標値Ｖ３を速度指令Ｖ４により修正した修正目標速度と、の差である速度偏差Ｖ５に基いて、トルク指令Ｔ４を出力する。速度制御部４２は、例えば、速度偏差Ｖ５に加算するための当該速度偏差Ｖ５の積分値を算出するように構成された積分部を備え、当該積分部の出力に速度偏差Ｖ５を加算した後に速度制御ゲインを乗算する、いわゆるＰＩ制御を行うよう構成されているとよい。

【0025】

さらに、駆動制御部４０は、トルク指令Ｔ４と合成トルク制御目標値Ｔ３とに基づいて、トルク指令修正値Ｔ５を生成する。トルク指令修正値Ｔ５は駆動電流値に変換されてモータＭに対して入力されるとよい。

【0026】

ここで、モデル追従制御部１０により演算される位置制御目標値Ｐ１は、上位制御装置１００から入力される入力位置指令値に基づいて予測されるモータＭの回転位置に関する値である。また、速度制御目標値合成部３０Ｂにより生成される合成速度制御目標値Ｖ３は、上位制御装置１００から入力される入力位置指令値に基づいて予測されるモータＭの回転速度に関する値である。また、トルク制御目標値合成部３０Ａにより生成される合成トルク制御目標値Ｔ３は、上位制御装置１００から入力される入力位置指令値に基づいて予測されるモータＭのトルクに関する値である。

【0027】

位置制御目標値Ｐ１、合成速度制御目標値Ｖ３、及び合成トルク制御目標値Ｔ３は、外乱など種々の要因により実際のモータＭの挙動からズレる場合がある。そこで、上述のように、駆動制御部４０は、位置制御目標値Ｐ１と現在の検出位置との偏差である位置偏差Ｐ２に基づいて速度指令Ｖ４を出力し、当該速度指令Ｖ４により合成速度制御目標値Ｖ３を修正する。また、駆動制御部４０は、合成速度制御目標値Ｖ３を速度指令Ｖ４により修正した修正目標速度と、現在の検出速度との偏差である速度偏差Ｖ５に基いてトルク指令Ｔ４を出力し、当該トルク指令Ｔ４により合成トルク制御目標値Ｔ３を修正することで、トルク指令修正値Ｔ５を生成する。このように、駆動制御部４０においては、目標値（予測される値）に対する実際のモータＭの挙動のズレを小さくするようモータＭの駆動を制御している。

【0028】

［本実施形態に係るモータ制御装置の応答性能］
図２Ａは、従来例のモータ制御装置の応答性能を説明するためのグラフである。図２Ｂは、本実施形態に係るモータ制御装置の応答性能を説明するためのグラフである。図２Ａにおいては、α＝０かつβ＝０の場合、すなわち、追加フィードフォワード制御部２０を有しないでモデル追従制御のみを行う従来のモータ制御装置によるモータの挙動を示している。図２Ｂにおいては、α＝０．１かつβ＝０の場合、すなわち、本実施形態に係るモータ制御装置１において、第１のトルク制御目標値Ｔ１の割合が９０％であり、第２のトルク制御目標値Ｔ２の割合が１０％である合成トルク制御目標値Ｔ３に基づいて駆動制御を行った場合のモータＭの挙動を示している。図２Ａと図２Ｂとでは、モータＭに対して駆動の停止指令がなされた場合の例を示している。

【0029】

図２Ａに示すように、従来のモータ制御装置においては、停止指令後、大きくオーバーシュートが生じており、位置偏差が０に収束するまでに時間を要している。一方で、図２Ｂに示すように、本実施形態に係るモータ制御装置１においては、図２Ａに示す例と比較して、オーバーシュートが小さく、比較的早く位置偏差が０に近づいていることが分かる。すなわち、応答性能が向上していることが分かる。

【0030】

［フローチャート］
次に、図３Ａ及び図３Ｂを参照して、モータ制御装置１で実行される処理の一例を説明する。図３Ａは、駆動制御部で実行される処理を示すフローチャートである。図３Ｂは、モデル追従制御部及び追加フィードフォワード制御部で実行される処理を示すフローチャートである。モータ制御装置１のプロセッサがメモリに記憶される制御ブログラムを実行することによって、図３Ａ及び図３Ｂに示す処理が実行される。

【0031】

まず、駆動制御部４０は、モータＭの現在の回転位置を取得する（Ｓ１）。

【0032】

ここで、図３Ｂに示すように、モデル追従制御部１０及び追加フィードフォワード制御部２０には上位制御装置１００から入力位置指令値が入力される（Ｓ１１、Ｓ１３）。モデル追従制御部１０は、入力位置指令値に基づいて位置制御目標値Ｐ１、第１のトルク制御目標値Ｔ１、第１の速度制御目標値Ｖ１を演算する（Ｓ１２）。追加フィードフォワード制御部２０は、入力位置指令値に基づいて第２のトルク制御目標値Ｔ２、第２の速度制御目標値Ｖ２を演算する（Ｓ１４）。

【0033】

さらに、合成部３０により、第１のトルク制御目標値Ｔ１と第２のトルク制御目標値Ｔ２とに基づいて合成トルク制御目標値Ｔ３を生成し、第１の速度制御目標値Ｖ１と第２の速度制御目標値Ｖ２とに基いて合成速度制御目標値Ｖ３を生成する（Ｓ１５）。

【0034】

そして、駆動制御部４０は、モータＭの現在の回転位置と、モデル追従制御部１０により生成された位置制御目標値Ｐ１との差である位置偏差Ｐ２を演算する（Ｓ２）。また、駆動制御部４０は、位置偏差Ｐ２に基づいて速度指令Ｖ４を出力する（Ｓ３）。

【0035】

さらに、Ｓ１で取得した現在の回転位置の変化に基づく現在の回転速度と、Ｓ１５で生成された合成速度制御目標値Ｖ３を、Ｓ４で出力された速度指令Ｖ４により修正した修正目標速度と、の差である速度偏差Ｖ５を演算する（Ｓ４）。また、駆動制御部４０は、速度偏差Ｖ５に基いてトルク指令Ｔ４を出力する（Ｓ５）。さらに、駆動制御部４０は、Ｓ５で出力したトルク指令Ｔ４により、Ｓ１５で生成された合成トルク制御目標値Ｔ３を修正することで、トルク指令修正値Ｔ５を生成する（Ｓ６）。そして、駆動制御部４０は、トルク指令修正値Ｔ５に基く駆動電流をモータＭに入力する（Ｓ７）。モータ制御装置１においては、以上説明した処理を、上位制御装置１００から入力位置指令値が入力される度に繰り返す。

【0036】

［まとめ］
本実施形態に係るモータ制御装置１においては、追加フィードフォワード制御部２０により生成される制御目標値を用いて、モデル追従制御部１０により生成される制御目標値を修正することで、従来のモデル追従制御における課題であったオーバーシュートや位置偏差が残ることを抑制できる。特にモータＭに生じる粘性摩擦に関しては使用環境に依存する等の理由により精度良くモデル化することが困難であるところ、粘性摩擦補償を行うことが可能な追加フィードフォワード制御を用いたことより、モータＭの駆動制御の精度が向上する。特にモータＭの回転の立ち上がり時や立下り時など、モータＭの動作に急激な変化が生じた場合においても応答性能を安定させることができる。

【0037】

なお、本実施形態においては、合成部３０がトルク制御目標値合成部３０Ａ及び速度制御目標値合成部３０Ｂを含む例を説明したが、これに限られず、合成部３０はトルク制御目標値合成部３０Ａ及び速度制御目標値合成部３０Ｂの少なくともいずれか一方を含むとよい。

【0038】

また、本実施形態においては、モータＭがシャフトを回転中心として回転する回転モータである例を説明したが、これに限られず、モータＭはリニアモータであってもよい。この場合、トルクの代わりに推力に関する制御目標値を用いて当該リニアモータの駆動を制御するとよい。

【0039】

［付記］
例えば、モータ制御装置１は、以下のような構成も可能である。
（１）
入力位置指令値に基づいて、モータを含む機器をモデル化した数式を計算することで第１の制御目標値を演算する第１の演算部と、
前記入力位置指令値の微分演算に基づいて第２の制御目標値を演算する第２の演算部と、
前記第１の制御目標値と前記第２の制御目標値とに基づいて合成制御目標値を生成する合成部と、
前記合成制御目標値に基づいて前記モータの駆動を制御する駆動制御部と、
を有するモータ制御装置。
（２）
前記合成部は、前記第１の制御目標値と前記第２の制御目標値とを所与の割合で合成することにより前記合成制御目標値を生成する、
（１）に記載のモータ制御装置。
（３）
前記第１の制御目標値は、第１のトルク制御目標値を含み、
前記第２の制御目標値は、第２のトルク制御目標値を含み、
前記合成部は、前記第１のトルク制御目標値と前記第２のトルク制御目標値とを所与の割合で合成することで前記合成制御目標値である合成トルク制御目標値を生成し、
前記駆動制御部は、前記合成トルク制御目標値に基づいて前記モータを駆動させるためのトルク指令修正値を生成する、
（１）又は（２）に記載のモータ制御装置。
（４）
前記第２の演算部は、
前記入力位置指令値の２階微分値と、前記入力位置指令値の１階微分値に所定の粘性摩擦係数を乗じて算出される粘性摩擦補償値と、に基づいて、前記第２のトルク制御目標値を演算する、
（３）に記載のモータ制御装置。
（５）
前記第１の制御目標値は、第１の速度制御目標値を含み、
前記第２の制御目標値は、第２の速度制御目標値を含み、
前記合成部は、前記第１の速度制御目標値と前記第２の速度制御目標値とを所与の割合で合成することで前記合成制御目標値である合成速度制御目標値を生成し、
前記駆動制御部は、前記合成速度制御目標値に基づいて前記モータの駆動を制御する、
（１）～（４）のいずれかに記載のモータ制御装置。

【符号の説明】

【0040】

１ モータ制御装置、１０ モデル追従制御部、２０ 追加フィードフォワード制御部、３０ 合成部、３０Ａ トルク制御目標値合成部、３０Ｂ 速度制御目標値合成部、４０ 駆動制御部、４１ 位置制御部、４２ 速度制御部、上位制御装置１００、Ｍ モータ、Ｔ１ 第１のトルク制御目標値、Ｔ２ 第２のトルク制御目標値、Ｔ３ 合成トルク制御目標値、Ｔ４ トルク指令、Ｔ５ トルク指令修正値、Ｖ１ 第１の速度制御目標値、Ｖ２ 第２の速度制御目標値、Ｖ３ 合成速度制御目標値、Ｖ４ 速度指令、Ｖ５ 速度偏差、Ｐ１ 位置制御目標値、Ｐ２ 位置偏差。

【要約】

【課題】応答性能を向上するモータ制御装置（１）を提供する。
【解決手段】モータ制御装置（１）は、入力位置指令値に基づいて、モータを含む機器をモデル化した数式を計算することで第１の制御目標値を演算するモデル追従制御部（１０）と、入力位置指令値の微分演算に基づいて第２の制御目標値を演算する追加フィードフォワード制御部（２０）と、第１の制御目標値と第２の制御目標値とに基づいて合成制御目標値を生成する合成部（３０）と、合成制御目標値に基づいてモータ（Ｍ）の駆動を制御する駆動制御部（４０）と、を有する。
【選択図】図１

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図3A】

【図3B】