特許7576592荷電粒子線装置および画像取得方法

発明の名称　荷電粒子線装置および画像取得方法

出願人　日本電子株式会社　（識別番号 4271）

　　　　特許公開件数ランキング 509 位（19件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 631 位（14件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7576592

公報発行日　2024年10月31

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7576592

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