特許 7576897 照明条件特定方法および外観検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-24

(45)【発行日】2024-11-01

(54)【発明の名称】照明条件特定方法および外観検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/88 20060101AFI20241025BHJP

【ＦＩ】

G01N21/88 Z

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2024128675

(22)【出願日】2024-08-05

【審査請求日】2024-08-05

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】594066648

【氏名又は名称】有限会社フィット

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(72)【発明者】

【氏名】長岡 暢

(72)【発明者】

【氏名】代田 浩一

(72)【発明者】

【氏名】野口 正男

【審査官】小野寺 麻美子

(56)【参考文献】

【文献】特開２０２１－１２７９９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２１－９２４３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－２３２７４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－９７９１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平３－２６１８１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００５／０００７５９３（ＵＳ，Ａ１）

【文献】韓国登録特許第１０－２１２０３５１（ＫＲ，Ｂ１）

【文献】中国特許出願公開第１１７４８５９６７（ＣＮ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２１／００ － Ｇ０１Ｎ ２１／９５８

Ｇ０１Ｂ １１／００ － Ｇ０１Ｂ １１／３０

Ｈ０５Ｋ ３／００ － Ｈ０５Ｋ ３／４６

Ｈ０５Ｋ １３／００ － Ｈ０５Ｋ １３／０８

Ｂ０７Ｃ ５／３４２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の光源を有し複数の異なる照明方式で被検査体に照明光を照射可能な照明機構と、前記被検査体を撮影する撮影機構とを備える外観検査装置の照明条件を自動で特定するための照明条件特定方法であって、
前記照明機構から前記被検査体に照射される照明光の波長を変えながら前記撮影機構に前記被検査体の画像を撮影させるとともに、撮影された前記被検査体の画像に基づいて前記被検査体の検査に適した照明光の波長を自動で特定する波長特定ステップと、
前記照明機構の照明方式を変えながら前記撮影機構に前記被検査体の画像を撮影させるとともに、撮影された前記被検査体の画像に基づいて前記被検査体の検査に適した照明方式を自動で特定する照明方式特定ステップと、
点灯する前記光源を変えながら前記撮影機構に前記被検査体の画像を撮影させるとともに、撮影された前記被検査体の画像に基づいて前記被検査体の検査に適した前記照明機構の点灯位置を自動で特定する点灯位置特定ステップとを備え、
前記波長特定ステップと前記照明方式特定ステップと前記点灯位置特定ステップとを順番に実行することを特徴とする照明条件特定方法。

【請求項2】

前記波長特定ステップでは、撮影された前記被検査体の画像のコントラスト比が最大になるときの照明光の波長を、前記被検査体の検査に適した照明光の波長として特定し、
前記照明方式特定ステップでは、撮影された前記被検査体の画像のコントラスト比が最大になるときの照明方式を、前記被検査体の検査に適した照明方式として特定し、
前記点灯位置特定ステップでは、撮影された前記被検査体の画像のコントラスト比が最大になるときの前記照明機構の点灯位置を、前記被検査体の検査に適した前記照明機構の点灯位置として特定することを特徴とする請求項１記載の照明条件特定方法。

【請求項3】

前記波長特定ステップ、前記照明方式特定ステップおよび前記点灯位置特定ステップでは、前記照明機構から前記被検査体に照射される照明光の光量を自動で調整することを特徴とする請求項１または２記載の照明条件特定方法。

【請求項4】

前記照明機構から前記被検査体に照射される照明光の波長を変えながら前記撮影機構に前記被検査体の画像を撮影させるとともに、撮影された前記被検査体の画像のコントラスト比が所定の基準値以上となる照明光の波長を自動で見つけるための第１初期波長特定ステップおよび第２初期波長特定ステップと、
前記撮影機構で撮影された前記被検査体の反射率を自動で計測する第１反射率計測ステップおよび第２反射率計測ステップとを備え、
前記第１初期波長特定ステップで前記被検査体の画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長が見つかると、
前記波長特定ステップを実行してから前記第１反射率計測ステップを実行し、
前記第１反射率計測ステップで計測した前記被検査体の反射率が所定の基準値未満である場合に、前記点灯位置特定ステップを実行してから前記照明方式特定ステップを実行するとともに、前記第１反射率計測ステップで計測した前記被検査体の反射率が基準値以上である場合に、前記照明方式特定ステップを実行してから前記点灯位置特定ステップを実行し、
前記第１初期波長特定ステップで前記被検査体の画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長が見つからないと、
前記第２反射率計測ステップを実行し、
前記第２反射率計測ステップで計測した前記被検査体の反射率が所定の基準値未満である場合に、前記照明方式特定ステップを実行してから前記第２初期波長特定ステップを実行するとともに、前記第２初期波長特定ステップで前記被検査体の画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長が見つかると、前記波長特定ステップを実行してから前記点灯位置特定ステップを実行し、前記第２初期波長特定ステップで前記被検査体の画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長が見つからないと、前記点灯位置特定ステップを実行してから前記波長特定ステップを実行し、
前記第２反射率計測ステップで計測した前記被検査体の反射率が基準値以上である場合に、前記点灯位置特定ステップを実行してから前記第２初期波長特定ステップを実行するとともに、前記第２初期波長特定ステップで前記被検査体の画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長が見つかると、前記波長特定ステップを実行してから前記照明方式特定ステップを実行し、前記第２初期波長特定ステップで前記被検査体の画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長が見つからないと、前記照明方式特定ステップを実行してから前記波長特定ステップを実行することを特徴とする請求項１または２記載の照明条件特定方法。

【請求項5】

複数の光源を有し複数の異なる照明方式で被検査体に照明光を照射可能な照明機構と、前記被検査体を撮影する撮影機構と、前記照明機構の照明条件を設定するための照明条件設定部とを備え、
前記照明条件設定部は、前記照明機構から前記被検査体に照射される照明光の波長を変えながら前記撮影機構に前記被検査体の画像を撮影させるとともに、撮影された前記被検査体の画像に基づいて前記被検査体の検査に適した照明光の波長を自動で特定する波長特定ステップと、前記照明機構の照明方式を変えながら前記撮影機構に前記被検査体の画像を撮影させるとともに、撮影された前記被検査体の画像に基づいて前記被検査体の検査に適した照明方式を自動で特定する照明方式特定ステップと、点灯する前記光源を変えながら前記撮影機構に前記被検査体の画像を撮影させるとともに、撮影された前記被検査体の画像に基づいて前記被検査体の検査に適した前記照明機構の点灯位置を自動で特定する点灯位置特定ステップとを順番に実行し、前記波長特定ステップで特定された照明光の波長、前記照明方式特定ステップで特定された照明方式および前記点灯位置特定ステップで特定された前記照明機構の点灯位置を前記照明機構の照明条件として設定することを特徴とする外観検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、外観検査装置の照明条件を自動で特定するための照明条件特定方法に関する。また、本発明は、外観検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、部品に対して照明光を照射する照明装置の最適な照明条件を特定するための照明条件特定方法が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１では、照明装置は、３種類の照明部を備えている。特許文献１に記載の照明条件特定方法では、３種類の照明部の中で点灯させる照明部とその光度レベルとの組合せの最適な条件を自動で特定している。また、従来、外観検査装置において最適な照明条件を設定するための照明条件設定方法が知られている（たとえば、特許文献２参照）。特許文献２に記載の照明条件設定方法では、ワークの欠陥を検出するのに適した画像を撮影するために、ワークの特性に応じた最適な照明条件を自動的に設定している。照明条件とは、照射光の色（波長）、強さ（輝度）などの照明の要素、および、これらの組合せによって定義される条件である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００５－３１５７４９号公報

【文献】特開２０１９－１４４２０９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本願発明者は、被検査体に照明光を照射する照明機構と、被検査体を撮影する撮影機構とを備える外観検査装置において、より適切な照明条件を自動で特定するための照明条件の特定方法を検討している。より適切な照明条件を特定する際には、短い時間で照明条件を特定できることが好ましい。

【0005】

そこで、本発明の課題は、外観検査装置の照明条件を自動で特定するための照明条件特定方法において、より適切な照明条件を短時間で特定することが可能となる照明条件特定方法を提供することにある。また、本発明の課題は、より適切な照明条件を短時間で特定することが可能な外観検査装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記の課題を解決するため、本発明の照明条件特定方法は、複数の光源を有し複数の異なる照明方式で被検査体に照明光を照射可能な照明機構と、被検査体を撮影する撮影機構とを備える外観検査装置の照明条件を自動で特定するための照明条件特定方法であって、照明機構から被検査体に照射される照明光の波長を変えながら撮影機構に被検査体の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体の画像に基づいて被検査体の検査に適した照明光の波長を自動で特定する波長特定ステップと、照明機構の照明方式を変えながら撮影機構に被検査体の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体の画像に基づいて被検査体の検査に適した照明方式を自動で特定する照明方式特定ステップと、点灯する光源を変えながら撮影機構に被検査体の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体の画像に基づいて被検査体の検査に適した照明機構の点灯位置を自動で特定する点灯位置特定ステップとを備え、波長特定ステップと照明方式特定ステップと点灯位置特定ステップとを順番に実行することを特徴とする。

【0007】

本発明の照明条件特定方法は、被検査体の検査に適した照明光の波長を自動で特定する波長特定ステップと、被検査体の検査に適した照明方式を自動で特定する照明方式特定ステップと、被検査体の検査に適した照明機構の点灯位置を自動で特定する点灯位置特定ステップとを備えている。すなわち、本発明の照明条件特定方法では、被検査体の検査に適した照明光の波長、照明方式および照明機構の点灯位置を特定している。そのため、本発明の照明条件特定方法で照明条件を特定すれば、より適切な照明条件を特定することが可能になる。

【0008】

また、本発明では、波長特定ステップと照明方式特定ステップと点灯位置特定ステップとを順番に実行している。そのため、本発明では、たとえば、照明光の波長、照明方式および照明機構の点灯位置の３つの条件の組合せを様々に変えながら撮影機構で被検査体の画像を撮影し、撮影した被検査体の画像に基づいて被検査体の検査に適した照明条件を特定していく場合と比較して、短時間で被検査体の検査に適した照明条件を特定することが可能になる。

【0009】

たとえば、照明光の波長のパターンが１０パターンあり、照明方式のパターンが１０パターンあり、照明機構の点灯位置のパターンが１０パターンあるとすると、３つの条件の組合せのパターンは１０００パターンある。したがって、この場合には、被検査体の検査に適した照明条件を特定するために１０００パターンの被検査体の画像を撮影機構で撮影する必要が生じる。これに対して、本発明では、３０パターンの被検査体の画像を撮影機構で撮影すれば、被検査体の検査に適した照明条件を特定することが可能になるため、短時間で被検査体の検査に適した照明条件を特定することが可能になる。

【0010】

本発明において、波長特定ステップでは、撮影された被検査体の画像のコントラスト比が最大になるときの照明光の波長を、被検査体の検査に適した照明光の波長として特定し、照明方式特定ステップでは、撮影された被検査体の画像のコントラスト比が最大になるときの照明方式を、被検査体の検査に適した照明方式として特定し、点灯位置特定ステップでは、撮影された被検査体の画像のコントラスト比が最大になるときの照明機構の点灯位置を、被検査体の検査に適した照明機構の点灯位置として特定することが好ましい。このように構成すると、より一層適切な照明条件を特定することが可能になる。

【0011】

本発明において、波長特定ステップ、照明方式特定ステップおよび点灯位置特定ステップでは、照明機構から被検査体に照射される照明光の光量を自動で調整することが好ましい。このように構成すると、波長特定ステップにおいて、より適切な照明光の波長を特定し、かつ、照明方式特定ステップにおいて、より適切な照明方式を特定するとともに、点灯位置特定ステップにおいて、より適切な照明機構の点灯位置を特定することが可能になる。

【0012】

本発明において、照明条件特定方法は、照明機構から被検査体に照射される照明光の波長を変えながら撮影機構に被検査体の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体の画像のコントラスト比が所定の基準値以上となる照明光の波長を自動で見つけるための第１初期波長特定ステップおよび第２初期波長特定ステップと、撮影機構で撮影された被検査体の被検査体の反射率を自動で計測する第１反射率計測ステップおよび第２反射率計測ステップとを備え、第１初期波長特定ステップで被検査体の画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長が見つかると、波長特定ステップを実行してから第１反射率計測ステップを実行し、第１反射率計測ステップで計測した被検査体の反射率が所定の基準値未満である場合に、点灯位置特定ステップを実行してから照明方式特定ステップを実行するとともに、第１反射率計測ステップで計測した被検査体の反射率が基準値以上である場合に、照明方式特定ステップを実行してから点灯位置特定ステップを実行し、第１初期波長特定ステップで被検査体の画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長が見つからないと、第２反射率計測ステップを実行し、第２反射率計測ステップで計測した被検査体の反射率が所定の基準値未満である場合に、照明方式特定ステップを実行してから第２初期波長特定ステップを実行するとともに、第２初期波長特定ステップで被検査体の画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長が見つかると、波長特定ステップを実行してから点灯位置特定ステップを実行し、第２初期波長特定ステップで被検査体の画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長が見つからないと、点灯位置特定ステップを実行してから波長特定ステップを実行し、第２反射率計測ステップで計測した被検査体の反射率が基準値以上である場合に、点灯位置特定ステップを実行してから第２初期波長特定ステップを実行するとともに、第２初期波長特定ステップで被検査体の画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長が見つかると、波長特定ステップを実行してから照明方式特定ステップを実行し、第２初期波長特定ステップで被検査体の画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長が見つからないと、照明方式特定ステップを実行してから波長特定ステップを実行することが好ましい。本願発明者の検討によれば、このように構成すると、短時間で最適な照明条件を特定することが可能になる。

【0013】

また、上記の課題を解決するため、本発明の外観検査装置は、複数の光源を有し複数の異なる照明方式で被検査体に照明光を照射可能な照明機構と、被検査体を撮影する撮影機構と、照明機構の照明条件を設定するための照明条件設定部とを備え、照明条件設定部は、照明機構から被検査体に照射される照明光の波長を変えながら撮影機構に被検査体の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体の画像に基づいて被検査体の検査に適した照明光の波長を自動で特定する波長特定ステップと、照明機構の照明方式を変えながら撮影機構に被検査体の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体の画像に基づいて被検査体の検査に適した照明方式を自動で特定する照明方式特定ステップと、点灯する光源を変えながら撮影機構に被検査体の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体の画像に基づいて被検査体の検査に適した照明機構の点灯位置を自動で特定する点灯位置特定ステップとを順番に実行し、波長特定ステップで特定された照明光の波長、照明方式特定ステップで特定された照明方式および点灯位置特定ステップで特定された照明機構の点灯位置を照明機構の照明条件として設定することを特徴とする。

【0014】

本発明の外観検査装置では、照明条件設定部は、被検査体の検査に適した照明光の波長を自動で特定する波長特定ステップと、被検査体の検査に適した照明方式を自動で特定する照明方式特定ステップと、被検査体の検査に適した照明機構の点灯位置を自動で特定する点灯位置特定ステップとを実行しており、被検査体の検査に適した照明光の波長、照明方式および照明機構の点灯位置を特定している。そのため、本発明では、より適切な照明条件を特定することが可能になる。

【0015】

また、本発明では、照明条件設定部が、波長特定ステップと照明方式特定ステップと点灯位置特定ステップとを順番に実行しているため、照明光の波長、照明方式および照明機構の点灯位置の３つの条件の組合せを様々に変えながら撮影機構で被検査体の画像を撮影し、撮影した被検査体の画像に基づいて被検査体の検査に適した照明条件を特定していく場合と比較して、短時間で被検査体の検査に適した照明条件を特定することが可能になる。

【発明の効果】

【0016】

以上のように、本発明の照明条件特定方法で照明条件を特定すれば、より適切な照明条件を短時間で特定することが可能になる。また、本発明の外観検査装置では、より適切な照明条件を短時間で特定することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の実施の形態にかかる外観検査装置の構成を説明するための概略図である。

【図2】図１に示す外観検査装置の構成を説明するためのブロック図である。

【図3】本発明の実施の形態にかかる照明条件特定方法を説明するためのフローチャートである。

【図4】本発明の実施の形態にかかる照明条件特定方法を説明するためのフローチャートである。

【図5】本発明の実施の形態にかかる照明条件特定方法を説明するためのフローチャートである。

【図6】（Ａ）は、図３に示す波長特定ステップを説明するためのフローチャートであり、（Ｂ）は、図３に示す照明方式特定ステップを説明するためのフローチャートである。

【図7】図３に示す点灯位置特定ステップを説明するためのフローチャートである。

【図8】本発明の他の実施の形態にかかる照明条件特定方法を説明するためのフローチャートである。

【図9】本発明の他の実施の形態にかかる照明条件特定方法を説明するためのフローチャートである。

【図10】本発明の他の実施の形態にかかる照明条件特定方法を説明するためのフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0019】

（外観検査装置の構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる外観検査装置１の構成を説明するための概略図である。図２は、図１に示す外観検査装置１の構成を説明するためのブロック図である。

【0020】

本形態の外観検査装置１は、被検査体２の外観を検査するための装置である。たとえば、外観検査装置１では、被検査体２の表面の傷の有無や、表面の歪の有無、表面への異物の付着の有無等が検査される。外観検査装置１は、被検査体２に照明光を照射する照明機構３と、被検査体２を撮影する撮影機構としてのカメラ４と、カメラ４が電気的に接続されるＰＣ（パーソナルコンピュータ）５と、照明機構３を制御するための照明コントローラ６とを備えている。

【0021】

カメラ４は、たとえば、被検査体２の上方に配置されている。カメラ４は、たとえば、カメラ４の光軸が上下方向と平行になるように設置されている。ＰＣ５には、カメラ４で撮影された画像が送信される。ＰＣ５には、カメラ４で撮影された画像を処理するためのソフトウエアがインストールされている。ＰＣ５は、カメラ４で撮影された画像に基づいて、被検査体２の傷の有無を判定したり、被検査体２の歪の有無を判定したり、被検査体２への異物の付着の有無を判定したりする。また、ＰＣ５には、照明機構３の照明条件を特定して設定するためのソフトウエアがインストールされている。

【0022】

照明機構３は、複数の異なる照明方式で被検査体２に照明光を照射することが可能になっている。照明機構３は、たとえば、落射明視野照明７と落射暗視野照明８と透過明視野照明９とを備えている。照明機構３は、落射明視野照明７、落射暗視野照明８および透過明視野照明９の中のいずれか１つの照明から被検査体２に照明光を照射したり、落射明視野照明７、落射暗視野照明８および透過明視野照明９の中から任意に選択される２つの照明から被検査体２に照明光を照射したり、落射明視野照明７、落射暗視野照明８および透過明視野照明９の３つの照明から被検査体２に照明光を照射したりする。

【0023】

なお、落射明視野照明７は、「落射照明」または「同軸落射照明」と呼ばれることもある。落射暗視野照明８は、「斜光照明」と呼ばれることもある。また、落射暗視野照明８は、照明角度が水平に近い場合には、「暗視野照明」と呼ばれることもある。透過明視野照明９は、「透過照明」と呼ばれることもある。

【0024】

落射明視野照明７、落射暗視野照明８および透過明視野照明９のそれぞれは、複数の光源１１を備えている。すなわち、照明機構３は、複数の光源１１を備えている。具体的には、照明機構３は、多数の光源１１を備えている。光源１１はＬＥＤである。具体的には、光源１１は、調光ができるＬＥＤ光源であり、光源１１では、光源１１のオンオフ、光量調整および波長の調整が可能となっている。落射明視野照明７、落射暗視野照明８および透過明視野照明９は、複数の光源１１が実装される回路基板１２を備えている。本形態では、複数の光源１１のそれぞれを個別に点灯させることが可能となっている。

【0025】

落射明視野照明７および落射暗視野照明８は、被検査体２の上側に配置されている。透過明視野照明９は、被検査体２の下側に配置されている。落射明視野照明７は、ハーフミラー１３を備えている。ハーフミラー１３では、光源１１から射出された照明光の一部が被検査体２に向かって反射するとともに、被検査体２で反射した光の一部がカメラ４に向かって透過する。落射暗視野照明８では、たとえば、多数の光源１１が円環状に配列されている。

【0026】

照明コントローラ６は、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の波長を制御する。また、照明コントローラ６は、落射明視野照明７、落射暗視野照明８および透過明視野照明９の中のどの照明を点灯させるのかを制御する。すなわち、照明コントローラ６は、照明機構３の照明方式を制御する。さらに、照明コントローラ６は、複数の光源１１の中のどの光源１１を点灯させるのかを制御する。すなわち、照明コントローラ６は、照明機構３の点灯位置を制御する。また、照明コントローラ６は、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の光量を制御する。

【0027】

本形態では、被検査体２の外観検査を行う前に、照明機構３の照明条件が自動で特定されて照明コントローラ６に設定される。被検査体２の外観検査時には、照明コントローラ６は、設定された照明条件で被検査体２に照明光を照射する。照明機構３の照明条件は、ＰＣ５と照明コントローラ６とによって自動で設定される。本形態では、ＰＣ５と照明コントローラ６とによって、照明機構３の照明条件を設定するための照明条件設定部１４が構成されている。以下、照明機構３の照明条件を自動で特定するための照明条件特定方法を説明する。

【0028】

（照明条件特定方法）
図３～図５は、本発明の実施の形態にかかる照明条件特定方法を説明するためのフローチャートである。図６（Ａ）は、図３に示す波長特定ステップＳ５を説明するためのフローチャートであり、図６（Ｂ）は、図３に示す照明方式特定ステップＳ８を説明するためのフローチャートである。図７は、図３に示す点灯位置特定ステップＳ９を説明するためのフローチャートである。

【0029】

照明機構３の照明条件を特定するときには、照明コントローラ６は、ＰＣ５に電気的に接続されている。照明機構３の照明条件を特定するときには、まず、カメラ４を設定する（ステップＳ１）。ステップＳ１では、被検査体２の検査を行うオペレータが、カメラ４によって被検査体２の被検査部位が撮影されるようにカメラ４を設定する。その後、照明機構３の照明条件の初期設定を行う（ステップＳ２）。ステップＳ２では、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の波長を所定の初期値に設定し、かつ、照明機構３の照明方式を所定の照明方式に設定するとともに、照明機構３の点灯位置を所定の点灯位置に設定する。また、ステップＳ２では、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の光量を所定の初期値に設定する。ステップＳ２では、たとえば、オペレータがＰＣ５で各設定を行う。ＰＣ５は、ステップＳ２で設定された照明条件を記憶する。

【0030】

その後、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の波長を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された画像のコントラスト比を算出する（ステップＳ３）。ステップＳ３では、まず、ステップＳ２で設定された照明条件で被検査体２に照明光を照射し、その後、被検査体２に照射される照明光の波長を変えていく。ステップＳ３では、照明条件設定部１４が自動で被検査体２に照射される照明光の波長を変える。また、ステップＳ３では、撮影された画像のコントラスト比をＰＣ５が算出する。

【0031】

その後、ＰＣ５は、ステップＳ３で算出した画像のコントラスト比が所定の基準値以上となる照明光の波長があるのか否かを判断する（ステップＳ４）。ステップＳ４において、画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長がある場合には、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の波長を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体２の画像に基づいて被検査体２の検査に適した照明光の波長を自動で特定する（波長特定ステップ、ステップＳ５）。ステップＳ５は、照明条件設定部１４が実行する。

【0032】

ステップＳ５では、ステップＳ２で設定された照明機構３の照明方式および照明機構３の点灯位置で（すなわち、ＰＣ５に記憶された照明機構３の照明方式および照明機構３の点灯位置で）被検査体２に照明光を照射する。また、ステップＳ５では、図６（Ａ）に示すように、まず、照明条件設定部１４は、所定の波長の照明光を被検査体２に照射しながら、カメラ４に被検査体２の画像を撮影させる（ステップＳ５１）。ＰＣ５は、ステップＳ５１における照明光の波長を記憶する。その後、ＰＣ５は、ステップＳ５１で撮影された画像のコントラスト比を算出して記憶する（ステップＳ５２）。

【0033】

その後、照明条件設定部１４は、照明光の波長を変更し、変更後の波長の照明光を被検査体２に照射しながら、カメラ４に被検査体２の画像を撮影させる（ステップＳ５３）。その後、ＰＣ５は、ステップＳ５３で撮影された画像のコントラスト比を算出する（ステップＳ５４）。その後、ＰＣ５は、ステップＳ５４で算出した画像のコントラスト比とＰＣ５に記憶されている画像のコントラスト比とを比較して、ステップＳ５４で算出した画像のコントラスト比が、ＰＣ５に記憶されている画像のコントラスト比よりも大きいのか否かを判断する（ステップＳ５５）。

【0034】

なお、後述のステップＳ５６を経た後のステップＳ５５では、ＰＣ５は、ステップＳ５６においてＰＣ５に記憶された画像のコントラスト比とステップＳ５４において算出した画像のコントラスト比とを比較する。また、ステップＳ５６を経ていない場合のステップＳ５５では、ＰＣ５は、ステップＳ５２においてＰＣ５に記憶された画像のコントラスト比とステップＳ５４において算出した画像のコントラスト比とを比較する。

【0035】

ステップＳ５５において、ステップＳ５４で算出した画像のコントラスト比の方が大きい場合、ＰＣ５は、ＰＣ５に記憶されている画像のコントラスト比を、ステップＳ５４で算出した画像のコントラスト比に更新して、このコントラスト比をＰＣ５に記憶する（ステップＳ５６）。また、ステップＳ５６では、ＰＣ５は、ＰＣ５に記憶されている照明光の波長を、ステップＳ５３で変更された照明光の波長に更新して、この照明光の波長をＰＣ５に記憶する。

【0036】

その後、ＰＣ５は、被検査体２の検査で使用可能な全ての波長の照明光でカメラ４に被検査体２の画像を撮影させたのか否かを判断する（ステップＳ５７）。ステップＳ５７において、全ての波長の照明光でカメラ４に被検査体２の画像を撮影させている場合には、ＰＣ５は、ＰＣ５に記憶されている照明光の波長を、被検査体２の検査に適した照明光の波長として特定する（ステップＳ５８）。ステップＳ５８で照明光の波長が特定されると、ステップＳ５は終了する。

【0037】

一方、ステップＳ５７において、全ての波長の照明光でカメラ４に被検査体２の画像を撮影させていない場合には、ステップＳ５３に戻る。また、ステップＳ５５において、ステップＳ５４で算出した画像のコントラスト比の方が小さい場合には、ステップＳ５７に進む。なお、ステップＳ５７では、ステップＳ４において画像のコントラスト比が基準値以上となった照明光の波長を中心とする所定の範囲内の全ての波長の照明光で被検査体２の画像を撮影させたのか否かを判断しても良い。

【0038】

このように、ステップＳ５では、撮影された被検査体２の画像のコントラスト比が最大になるときの照明光の波長を、被検査体２の検査に適した照明光の波長として特定する。また、ステップＳ５では、照明条件設定部１４は、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の光量を自動で調整する。具体的には、照明条件設定部１４は、撮影された被検査体２の画像が飽和しないように、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の光量を自動で調整する。

【0039】

ステップＳ５が終了すると、照明条件設定部１４が、ステップＳ５で特定された照明光の波長で（すなわち、ステップＳ５８で特定された照明光の波長で）、かつ、ステップＳ２で設定された照明機構３の照明方式および照明機構３の点灯位置で被検査体２に照明光を照射しながら、カメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、ＰＣ５が、カメラ４で撮影された被検査体２の反射率を計測する（第１反射率計測ステップ、ステップＳ６）。その後、ＰＣ５は、ステップＳ６で計測した反射率が所定の基準値以上であるのか否かを判断する（ステップＳ７）。

【0040】

ステップＳ７において、ステップＳ６で計測した反射率が基準値以上である場合には、照明機構３の照明方式を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体２の画像に基づいて被検査体２の検査に適した照明方式を自動で特定する（照明方式特定ステップ、ステップＳ８）。ステップＳ８は、照明条件設定部１４が実行する。ステップＳ８では、ステップＳ５で特定された照明光の波長で、かつ、ステップＳ２で設定された照明機構３の点灯位置で被検査体２に照明光を照射する。

【0041】

また、ステップＳ８では、図６（Ｂ）に示すように、まず、照明条件設定部１４は、所定の照明方式で照明光を被検査体２に照射しながら、カメラ４に被検査体２の画像を撮影させる（ステップＳ６１）。ＰＣ５は、ステップＳ６１における照明機構３の照明方式を記憶する。その後、ＰＣ５は、ステップＳ６１で撮影された画像のコントラスト比を算出して記憶する（ステップＳ６２）。その後、照明条件設定部１４は、照明機構３の照明方式を変更し、変更後の照明方式で照明光を被検査体２に照射しながら、カメラ４に被検査体２の画像を撮影させる（ステップＳ６３）。

【0042】

その後、ＰＣ５は、ステップＳ６３で撮影された画像のコントラスト比を算出する（ステップＳ６４）。その後、ＰＣ５は、ステップＳ６４で算出した画像のコントラスト比とＰＣ５に記憶されている画像のコントラスト比とを比較して、ステップＳ６４で算出した画像のコントラスト比が、ＰＣ５に記憶されている画像のコントラスト比よりも大きいのか否かを判断する（ステップＳ６５）。

【0043】

なお、後述のステップＳ６６を経た後のステップＳ６５では、ＰＣ５は、ステップＳ６６においてＰＣ５に記憶された画像のコントラスト比とステップＳ６４において算出した画像のコントラスト比とを比較する。また、ステップＳ６６を経ていない場合のステップＳ６５では、ＰＣ５は、ステップＳ６２においてＰＣ５に記憶された画像のコントラスト比とステップＳ６４において算出した画像のコントラスト比とを比較する。

【0044】

ステップＳ６５において、ステップＳ６４で算出した画像のコントラスト比の方が大きい場合、ＰＣ５は、ＰＣ５に記憶されている画像のコントラスト比を、ステップＳ６４で算出した画像のコントラスト比に更新して、このコントラスト比をＰＣ５に記憶する（ステップＳ６６）。また、ステップＳ６６では、ＰＣ５は、ＰＣ５に記憶されている照明機構３の照明方式を、ステップＳ６３で変更された照明機構３の照明方式に更新して、この照明方式をＰＣ５に記憶する。

【0045】

その後、ＰＣ５は、被検査体２の検査で使用可能な全ての照明方式でカメラ４に被検査体２の画像を撮影させたのか否かを判断する（ステップＳ６７）。ステップＳ６７において、全ての照明方式でカメラ４に被検査体２の画像を撮影させている場合には、ＰＣ５は、ＰＣ５に記憶されている照明方式を、被検査体２の検査に適した照明方式として特定する（ステップＳ６８）。ステップＳ６８で照明方式が特定されると、ステップＳ８は終了する。一方、ステップＳ６７において、全ての照明方式でカメラ４に被検査体２の画像を撮影させていない場合には、ステップＳ６３に戻る。また、ステップＳ６５において、ステップＳ６４で算出した画像のコントラスト比の方が小さい場合には、ステップＳ６７に進む。

【0046】

このように、ステップＳ８では、撮影された被検査体２の画像のコントラスト比が最大になるときの照明方式を、被検査体２の検査に適した照明方式として特定する。また、ステップＳ８では、照明条件設定部１４は、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の光量を自動で調整する。具体的には、照明条件設定部１４は、撮影された被検査体２の画像が飽和しないように、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の光量を自動で調整する。

【0047】

ステップＳ８が終了すると、点灯する光源１１を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体２の画像に基づいて被検査体２の検査に適した照明機構３の点灯位置を自動で特定する（点灯位置特定ステップ、ステップＳ９）。ステップＳ９は、照明条件設定部１４が実行する。ステップＳ９では、ステップＳ５で特定された照明光の波長で、かつ、ステップＳ８で特定された照明機構３の照明方式（すなわち、ステップＳ６８で特定された照明方式）で被検査体２に照明光を照射する。

【0048】

また、ステップＳ９では、図７に示すように、まず、照明条件設定部１４は、所定の点灯位置で照明光を被検査体２に照射しながら、カメラ４に被検査体２の画像を撮影させる（ステップＳ７１）。ＰＣ５は、ステップＳ７１における照明機構３の点灯位置を記憶する。その後、ＰＣ５は、ステップＳ７１で撮影された画像のコントラスト比を算出して記憶する（ステップＳ７２）。その後、照明条件設定部１４は、照明機構３の点灯位置を変更し、変更後の点灯位置で照明光を被検査体２に照射しながら、カメラ４に被検査体２の画像を撮影させる（ステップＳ７３）。

【0049】

その後、ＰＣ５は、ステップＳ７３で撮影された画像のコントラスト比を算出する（ステップＳ７４）。その後、ＰＣ５は、ステップＳ７４で算出した画像のコントラスト比とＰＣ５に記憶されている画像のコントラスト比とを比較して、ステップＳ７４で算出した画像のコントラスト比が、ＰＣ５に記憶されている画像のコントラスト比よりも大きいのか否かを判断する（ステップＳ７５）。

【0050】

なお、後述のステップＳ７６を経た後のステップＳ７５では、ＰＣ５は、ステップＳ７６においてＰＣ５に記憶された画像のコントラスト比とステップＳ７４において算出した画像のコントラスト比とを比較する。また、ステップＳ７６を経ていない場合のステップＳ７５では、ＰＣ５は、ステップＳ７２においてＰＣ５に記憶された画像のコントラスト比とステップＳ７４において算出した画像のコントラスト比とを比較する。

【0051】

ステップＳ７５において、ステップＳ７４で算出した画像のコントラスト比の方が大きい場合、ＰＣ５は、ＰＣ５に記憶されている画像のコントラスト比を、ステップＳ７４で算出した画像のコントラスト比に更新して、このコントラスト比をＰＣ５に記憶する（ステップＳ７６）。また、ステップＳ７６では、ＰＣ５は、ＰＣ５に記憶されている照明機構３の点灯位置を、ステップＳ７３で変更された照明機構３の点灯位置に更新して、この点灯位置をＰＣ５に記憶する。

【0052】

その後、ＰＣ５は、被検査体２の検査で使用可能な全ての点灯位置でカメラ４に被検査体２の画像を撮影させたのか否かを判断する（ステップＳ７７）。ステップＳ７７において、全ての点灯位置でカメラ４に被検査体２の画像を撮影させている場合には、ＰＣ５は、ＰＣ５に記憶されている点灯位置を、被検査体２の検査に適した点灯位置として特定する（ステップＳ７８）。ステップＳ７８で点灯位置が特定されると、ステップＳ９は終了する。ステップＳ９が終了すると、照明機構３の照明条件の特定が完了する。一方、ステップＳ７７において、全ての点灯位置でカメラ４に被検査体２の画像を撮影させていない場合には、ステップＳ７３に戻る。また、ステップＳ７５において、ステップＳ７４で算出した画像のコントラスト比の方が小さい場合には、ステップＳ７７に進む。

【0053】

このように、ステップＳ９では、撮影された被検査体２の画像のコントラスト比が最大になるときの点灯位置を、被検査体２の検査に適した点灯位置として特定する。また、ステップＳ９では、照明条件設定部１４は、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の光量を自動で調整する。具体的には、照明条件設定部１４は、撮影された被検査体２の画像が飽和しないように、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の光量を自動で調整する。

【0054】

一方、ステップＳ７において、ステップＳ６で計測した反射率が基準値未満である場合には、点灯する光源１１を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体２の画像に基づいて被検査体２の検査に適した照明機構３の点灯位置を自動で特定する（点灯位置特定ステップ、ステップＳ１０）。ステップＳ１０は、照明条件設定部１４が実行する。ステップＳ１０では、ステップＳ５で特定された照明光の波長で、かつ、ステップＳ２で設定された照明機構３の照明方式で被検査体２に照明光を照射する。その他の点において、ステップＳ１０は、ステップＳ９と同様である。

【0055】

ステップＳ１０が終了すると、照明機構３の照明方式を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体２の画像に基づいて被検査体２の検査に適した照明方式を自動で特定する（照明方式特定ステップ、ステップＳ１１）。ステップＳ１１は、照明条件設定部１４が実行する。ステップＳ１１では、ステップＳ５で特定された照明光の波長で、かつ、ステップＳ１０で特定された照明機構３の点灯位置で被検査体２に照明光を照射する。その他の点において、ステップＳ１１は、ステップＳ８と同様である。ステップＳ１１が終了すると、照明機構３の照明条件の特定が完了する。

【0056】

また、ステップＳ４において、画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長がない場合には、図４に示すように、照明条件設定部１４が、たとえば、ステップＳ２で設定された照明光の波長、照明機構３の照明方式および照明機構３の点灯位置で被検査体２に照明光を照射しながら、カメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、ＰＣ５が、カメラ４で撮影された被検査体２の反射率を計測する（第２反射率計測ステップ、ステップＳ１２）。その後、ＰＣ５は、ステップＳ１２で計測した反射率が所定の基準値以上であるのか否かを判断する（ステップＳ１３）。

【0057】

ステップＳ１３において、ステップＳ１２で計測した反射率が基準値未満である場合には、照明機構３の照明方式を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体２の画像に基づいて被検査体２の検査に適した照明方式を自動で特定する（照明方式特定ステップ、ステップＳ１４）。ステップＳ１４は、照明条件設定部１４が実行する。ステップＳ１４では、たとえば、ステップＳ２で設定された照明光の波長および照明機構３の点灯位置で被検査体２に照明光を照射する。その他の点において、ステップＳ１４は、ステップＳ８と同様である。

【0058】

ステップＳ１４が終了すると、ステップＳ３と同様に、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の波長を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された画像のコントラスト比を算出する（ステップＳ１５）。ステップＳ１５では、まず、ステップＳ１４で特定された照明機構３の照明方式、ステップＳ２で設定された照明光の波長および照明機構３の点灯位置で被検査体２に照明光を照射し、その後、被検査体２に照射される照明光の波長を変えていく。その後、ＰＣ５は、ステップＳ１５で算出した画像のコントラスト比が所定の基準値以上となる照明光の波長があるのか否かを判断する（ステップＳ１６）。

【0059】

ステップＳ１６において、画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長がある場合には、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の波長を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体２の画像に基づいて被検査体２の検査に適した照明光の波長を自動で特定する（波長特定ステップ、ステップＳ１７）。ステップＳ１７は、照明条件設定部１４が実行する。ステップＳ１７では、ステップＳ１４で特定された照明機構３の照明方式およびステップＳ２で設定された照明機構３の点灯位置で被検査体２に照明光を照射する。その他の点において、ステップＳ１７は、ステップＳ５と同様である。

【0060】

ステップＳ１７が終了すると、点灯する光源１１を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体２の画像に基づいて被検査体２の検査に適した照明機構３の点灯位置を自動で特定する（点灯位置特定ステップ、ステップＳ１８）。ステップＳ１８は、照明条件設定部１４が実行する。ステップＳ１８では、ステップＳ１７で特定された照明光の波長で、かつ、ステップＳ１４で特定された照明機構３の照明方式で被検査体２に照明光を照射する。その他の点において、ステップＳ１８は、ステップＳ９と同様である。ステップＳ１８が終了すると、照明機構３の照明条件の特定が完了する。

【0061】

一方、ステップＳ１６において、画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長がない場合には、点灯する光源１１を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体２の画像に基づいて被検査体２の検査に適した照明機構３の点灯位置を自動で特定する（点灯位置特定ステップ、ステップＳ１９）。ステップＳ１９は、照明条件設定部１４が実行する。ステップＳ１９では、ステップＳ２で設定された照明光の波長で、かつ、ステップＳ１４で特定された照明機構３の照明方式で被検査体２に照明光を照射する。その他の点において、ステップＳ１９は、ステップＳ９と同様である。

【0062】

ステップＳ１９が終了すると、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の波長を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体２の画像に基づいて被検査体２の検査に適した照明光の波長を自動で特定する（波長特定ステップ、ステップＳ２０）。ステップＳ２０は、照明条件設定部１４が実行する。ステップＳ２０では、ステップＳ１４で特定された照明機構３の照明方式およびステップＳ１９で特定された照明機構３の点灯位置で被検査体２に照明光を照射する。その他の点において、ステップＳ２０は、ステップＳ５と同様である。ステップＳ２０が終了すると、照明機構３の照明条件の特定が完了する。

【0063】

また、ステップＳ１３において、ステップＳ１２で計測した反射率が基準値以上である場合には、図５に示すように、点灯する光源１１を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体２の画像に基づいて被検査体２の検査に適した照明機構３の点灯位置を自動で特定する（点灯位置特定ステップ、ステップＳ２１）。ステップＳ２１は、照明条件設定部１４が実行する。ステップＳ２１では、ステップＳ２で設定された照明光の波長および照明機構３の照明方式で被検査体２に照明光を照射する。その他の点において、ステップＳ２１は、ステップＳ９と同様である。

【0064】

ステップＳ２１が終了すると、ステップＳ３と同様に、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の波長を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された画像のコントラスト比を算出する（ステップＳ２２）。ステップＳ２２では、まず、ステップＳ２１で特定された照明機構３の点灯位置、ステップＳ２で設定された照明光の波長および照明機構３の照明方式で被検査体２に照明光を照射し、その後、被検査体２に照射される照明光の波長を変えていく。その後、ＰＣ５は、ステップＳ２２で算出した画像のコントラスト比が所定の基準値以上となる照明光の波長があるのか否かを判断する（ステップＳ２３）。

【0065】

ステップＳ２３において、画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長がある場合には、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の波長を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体２の画像に基づいて被検査体２の検査に適した照明光の波長を自動で特定する（波長特定ステップ、ステップＳ２４）。ステップＳ２４は、照明条件設定部１４が実行する。ステップＳ２４では、ステップＳ２で設定された照明機構３の照明方式およびステップＳ２１で特定された照明機構３の点灯位置で被検査体２に照明光を照射する。その他の点において、ステップＳ２４は、ステップＳ５と同様である。

【0066】

ステップＳ２４が終了すると、照明機構３の照明方式を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体２の画像に基づいて被検査体２の検査に適した照明方式を自動で特定する（照明方式特定ステップ、ステップＳ２５）。ステップＳ２５は、照明条件設定部１４が実行する。ステップＳ２５では、ステップＳ２４で特定された照明光の波長およびステップＳ２１で特定された照明機構３の点灯位置で被検査体２に照明光を照射する。その他の点において、ステップＳ２５は、ステップＳ８と同様である。ステップＳ２５が終了すると、照明機構３の照明条件の特定が完了する。

【0067】

一方、ステップＳ２３において、画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長がない場合には、照明機構３の照明方式を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体２の画像に基づいて被検査体２の検査に適した照明方式を自動で特定する（照明方式特定ステップ、ステップＳ２６）。ステップＳ２６は、照明条件設定部１４が実行する。ステップＳ２６では、ステップＳ２で設定された照明光の波長およびステップＳ２１で特定された照明機構３の点灯位置で被検査体２に照明光を照射する。その他の点において、ステップＳ２６は、ステップＳ８と同様である。

【0068】

ステップＳ２６が終了すると、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の波長を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体２の画像に基づいて被検査体２の検査に適した照明光の波長を自動で特定する（波長特定ステップ、ステップＳ２７）。ステップＳ２７は、照明条件設定部１４が実行する。ステップＳ２７では、ステップＳ２６で特定された照明機構３の照明方式およびステップＳ２１で特定された照明機構３の点灯位置で被検査体２に照明光を照射する。その他の点において、ステップＳ２７は、ステップＳ５と同様である。ステップＳ２７が終了すると、照明機構３の照明条件の特定が完了する。

【0069】

このように、本形態では、照明条件設定部１４は、波長特定ステップと照明方式特定ステップと点灯位置特定ステップとを順番に実行する。すなわち、照明条件設定部１４は、波長特定ステップと照明方式特定ステップと点灯位置特定ステップとを個別に順次実行する。具体的には、ステップＳ４で被検査体２の画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長が見つかると、波長特定ステップＳ５を実行してから第１反射率計測ステップＳ６を実行し、第１反射率計測ステップＳ６で計測した被検査体２の反射率が基準値以上である場合に、照明方式特定ステップＳ８を実行してから点灯位置特定ステップＳ９を実行し、第１反射率計測ステップＳ６で計測した被検査体２の反射率が基準値未満である場合に、点灯位置特定ステップＳ１０を実行してから照明方式特定ステップＳ１１を実行する。

【0070】

また、ステップＳ４で被検査体２の画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長が見つからないと、第２反射率計測ステップＳ１２を実行し、第２反射率計測ステップＳ１２で計測した被検査体２の反射率が基準値未満である場合に、照明方式特定ステップＳ１４を実行してからステップＳ１４、Ｓ１５を実行するとともに、ステップＳ１５で被検査体２の画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長が見つかると、波長特定ステップＳ１７を実行してから点灯位置特定ステップＳ１８を実行し、ステップＳ１５で被検査体２の画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長が見つからないと、点灯位置特定ステップＳ１９を実行してから波長特定ステップＳ２０を実行している。

【0071】

さらに、第２反射率計測ステップＳ１２で計測した被検査体２の反射率が基準値以上である場合に、点灯位置特定ステップＳ２１を実行してからステップＳ２２、Ｓ２３を実行するとともに、ステップＳ２３で被検査体２の画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長が見つかると、波長特定ステップＳ２４を実行してから照明方式特定ステップＳ２５を実行し、ステップＳ２３で被検査体２の画像のコントラスト比が基準値以上となる照明光の波長が見つからないと、照明方式特定ステップＳ２６を実行してから波長特定ステップＳ２７を実行している。

【0072】

照明条件設定部１４は、波長特定ステップで特定された照明光の波長、照明方式特定ステップで特定された照明方式および点灯位置特定ステップで特定された照明機構３の点灯位置を照明機構３の照明条件として設定し、被検査体２の検査時にこの照明条件で被検査体２に照明光を照射する。照明機構３の照明条件は、たとえば、照明コントローラ６に記憶されている。照明コントローラ６に照明機構３の照明条件が記憶されると、たとえば、照明コントローラ６は、ＰＣ５から電気的に切り離される。

【0073】

本形態のステップＳ３、Ｓ４は、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の波長を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体２の画像のコントラスト比が所定の基準値以上となる照明光の波長を自動で見つけるための第１初期波長特定ステップである。また、本形態のステップＳ１５、Ｓ１６およびステップＳ２２、Ｓ２３は、照明機構３から被検査体２に照射される照明光の波長を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体２の画像のコントラスト比が所定の基準値以上となる照明光の波長を自動で見つけるための第２初期波長特定ステップである。

【0074】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、被検査体２の検査に適した照明光の波長を自動で特定する波長特定ステップと、被検査体２の検査に適した照明方式を自動で特定する照明方式特定ステップと、被検査体２の検査に適した照明機構３の点灯位置を自動で特定する点灯位置特定ステップとを実行しており、被検査体２の検査に適した照明光の波長、照明方式および照明機構３の点灯位置が特定されている。そのため、本形態の照明条件特定方法で照明機構３の照明条件を特定すれば、より適切な照明条件を特定することが可能になる。

【0075】

また、本形態では、波長特定ステップと照明方式特定ステップと点灯位置特定ステップとを順番に実行している。そのため、本形態では、照明光の波長、照明方式および照明機構３の点灯位置の３つの条件の組合せを様々に変えながらカメラ４で被検査体２の画像を撮影し、撮影した被検査体２の画像に基づいて被検査体２の検査に適した照明条件を特定していく場合と比較して、短時間で被検査体２の検査に適した照明条件を特定することが可能になる。

【0076】

たとえば、照明光の波長のパターンが１０パターンあり、照明方式のパターンが１０パターンあり、照明機構３の点灯位置のパターンが１０パターンあるとすると、３つの条件の組合せのパターンは１０００パターンある。したがって、この場合には、被検査体２の検査に適した照明条件を特定するために１０００パターンの被検査体２の画像をカメラ４で撮影する必要が生じる。これに対して、本形態では、３０パターンの被検査体２の画像をカメラ４で撮影すれば、被検査体２の検査に適した照明条件を特定することが可能になるため、短時間で被検査体２の検査に適した照明条件を特定することが可能になる。

【0077】

本形態では、波長特定ステップにおいて、撮影された被検査体２の画像のコントラスト比が最大になるときの照明光の波長を、被検査体２の検査に適した照明光の波長として特定し、照明方式特定ステップにおいて、撮影された被検査体２の画像のコントラスト比が最大になるときの照明方式を、被検査体２の検査に適した照明方式として特定し、点灯位置特定ステップにおいて、撮影された被検査体２の画像のコントラスト比が最大になるときの点灯位置を、被検査体２の検査に適した点灯位置として特定している。そのため、本形態では、より一層適切な照明条件を特定することが可能になる。

【0078】

（照明条件特定方法の変更例）
図８～図１０は、本発明の他の実施の形態にかかる照明条件特定方法を説明するためのフローチャートである。なお、図８～図１０では、上述した形態の各ステップと同様のステップには、同一の符号を付している。

【0079】

上述した形態において、図８（Ａ）に示すように、ステップＳ２の後に、ステップＳ５、ステップＳ８およびステップＳ９をこの順番で続けて実行しても良いし、図８（Ｂ）に示すように、ステップＳ２の後に、ステップＳ５、ステップＳ１０およびステップＳ１１をこの順番で続けて実行しても良い。また、図９（Ａ）に示すように、ステップＳ２の後に、ステップＳ１４、ステップＳ１７およびステップＳ１８をこの順番で続けて実行しても良いし、図９（Ｂ）に示すように、ステップＳ２の後に、ステップＳ１４、ステップＳ１９およびステップＳ２０をこの順番で続けて実行しても良い。

【0080】

さらに、図１０（Ａ）に示すように、ステップＳ２の後に、ステップＳ２１、ステップＳ２４およびステップＳ２５をこの順番で続けて実行しても良いし、図１０（Ｂ）に示すように、ステップＳ２の後に、ステップＳ２１、ステップＳ２６およびステップＳ２７をこの順番で続けて実行しても良い。また、図８～図１０に示す６個のフローチャートの各ステップを実行するとともに、図８～図１０に示す６個のフローチャートによって特定された６個の照明条件の中で、被検査体２の画像のコントラスト比が最も大きくなる照明条件を照明機構３の照明条件として設定しても良い。

【0081】

（他の実施の形態）

【0082】

上述した形態の波長特定ステップにおいて、ステップＳ５７が省略されても良い。この場合には、ステップＳ５５において、ステップＳ５４で算出した画像のコントラスト比がＰＣ５に記憶された画像のコントラスト比よりも小さいと、ステップＳ５３に戻る。同様に、照明方式特定ステップにおいて、ステップＳ６７が省略されても良い。この場合には、ステップＳ６５において、ステップＳ６４で算出した画像のコントラスト比がＰＣ５に記憶された画像のコントラスト比よりも小さいと、ステップＳ６３に戻る。また、点灯位置特定ステップにおいて、ステップＳ７７が省略されても良い。この場合には、ステップＳ７５において、ステップＳ７４で算出した画像のコントラスト比がＰＣ５に記憶された画像のコントラスト比よりも小さいと、ステップＳ７３に戻る。

【0083】

上述した形態において、照明条件の特定方法は、照明機構３の光量を変えながらカメラ４に被検査体２の画像を撮影させるとともに、撮影された被検査体２の画像に基づいて被検査体２の検査に適した照明機構３の光量を自動で特定する光量特定ステップを備えていても良い。この場合には、光量特定ステップにおいて、被検査体２の画像のコントラスト比が最大になるときの光量を、被検査体２の検査に適した光量として特定する。また、この場合には、波長特定ステップと照明方式特定ステップと点灯位置特定ステップと光量特定ステップとが順番に実行される。

【0084】

上述した形態において、落射明視野照明７、落射暗視野照明８および透過明視野照明９の少なくともいずれか１つが拡散板を備えていても良いし、偏光板を備えていても良い。また、上述した形態において、照明機構３は、落射明視野照明７、落射暗視野照明８および透過明視野照明９の中のいずれか１つの照明を備えていなくても良い。さらに、上述した形態において、照明機構３は、落射明視野照明７、落射暗視野照明８および透過明視野照明９以外の照明方式で照明光を照射する照明を備えていても良い。たとえば、照明機構３は、透過暗視野照明を備えていても良い。

【符号の説明】

【0085】

１ 外観検査装置
２ 被検査体
３ 照明機構
４ カメラ（撮影機構）
１１ 光源
１４ 照明条件設定部
Ｓ３、Ｓ４ 第１初期波長特定ステップ
Ｓ５、Ｓ１７、Ｓ２０、Ｓ２４、Ｓ２７ 波長特定ステップ
Ｓ６ 第１反射率計測ステップ
Ｓ８、Ｓ１１、Ｓ１４、Ｓ２５、Ｓ２６ 照明方式特定ステップ
Ｓ９、Ｓ１０、Ｓ１８、Ｓ１９、Ｓ２１ 点灯位置特定ステップ
Ｓ１２ 第２反射率計測ステップ
Ｓ１５、Ｓ１６ 第２初期波長特定ステップ
Ｓ２２、Ｓ２３ 第２初期波長特定ステップ

【要約】

【課題】外観検査装置の照明条件を自動で特定するための照明条件特定方法において、より適切な照明条件を短時間で特定することが可能となる照明条件特定方法を提供する。
【解決手段】この照明条件特定方法は、照明光の波長を変えながら被検査体の画像を撮影し、撮影した被検査体の画像に基づいて被検査体の検査に適した照明光の波長を自動で特定する波長特定ステップＳ５と、照明機構の照明方式を変えながら被検査体の画像を撮影し、撮影した被検査体の画像に基づいて被検査体の検査に適した照明方式を自動で特定する照明方式特定ステップＳ８と、点灯する光源を変えながら被検査体の画像を撮影し、撮影した被検査体の画像に基づいて被検査体の検査に適した照明機構の点灯位置を自動で特定する点灯位置特定ステップＳ９とを備えており、波長特定ステップＳ５と照明方式特定ステップＳ８と点灯位置特定ステップＳ９とを順番に実行している。
【選択図】図３

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】