特許 7577444 眼鏡レンズをコーティングするためのシステム、方法および支持体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2024-10-25

(45)【発行日】2024-11-05

(54)【発明の名称】眼鏡レンズをコーティングするためのシステム、方法および支持体

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/34 20060101AFI20241028BHJP

   C23C 14/50 20060101ALI20241028BHJP

   C23C 14/56 20060101ALI20241028BHJP

   G02B 1/113 20150101ALI20241028BHJP

   G02C 7/00 20060101ALI20241028BHJP

【ＦＩ】

C23C14/34 V

C23C14/50 K

C23C14/56 G

G02B1/113

G02C7/00

【請求項の数】 20

(21)【出願番号】P 2019532056

(86)(22)【出願日】2017-11-16

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2020-01-23

(86)【国際出願番号】 EP2017079383

(87)【国際公開番号】W WO2018108426

(87)【国際公開日】2018-06-21

【審査請求日】2020-11-11

【審判番号】

【審判請求日】2023-09-01

(31)【優先権主張番号】102016014835.7

(32)【優先日】2016-12-14

(33)【優先権主張国・地域又は機関】DE

(31)【優先権主張番号】102016014982.5

(32)【優先日】2016-12-16

(33)【優先権主張国・地域又は機関】DE

(31)【優先権主張番号】102016125273.5

(32)【優先日】2016-12-21

(33)【優先権主張国・地域又は機関】DE

(73)【特許権者】

【識別番号】517440265

【氏名又は名称】シュナイダー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コムパニー コマンデイトゲゼルシャフト

(74)【代理人】

【識別番号】100094569

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 伸一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100103610

【弁理士】

【氏名又は名称】▲吉▼田 和彦

(74)【代理人】

【識別番号】100109070

【弁理士】

【氏名又は名称】須田 洋之

(74)【代理人】

【識別番号】100098475

【弁理士】

【氏名又は名称】倉澤 伊知郎

(74)【代理人】

【識別番号】100130937

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 泰史

(74)【代理人】

【識別番号】100144451

【弁理士】

【氏名又は名称】鈴木 博子

(74)【代理人】

【識別番号】100171675

【弁理士】

【氏名又は名称】丹澤 一成

(72)【発明者】

【氏名】シュナイダー ギュンター

(72)【発明者】

【氏名】フュール マルクス

【合議体】

【審判長】粟野 正明

【審判官】井上 猛

【審判官】池渕 立

(56)【参考文献】

【文献】特開２００６－１７１２０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１５／００５３５３０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開昭６０－２０４８８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－１９９５１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第９８／０５２０７５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１５－０４５０８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－３１７１３５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

C23C 14/34

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

眼鏡レンズ（２）をコーティングする設備（１００）であって、
前記眼鏡レンズ（２）を真空中でコーティングする複数のコーティング装置（１）と、
眼鏡レンズ（２）または眼鏡レンズ（２）を備えたキャリヤ（１０）を一コーティング装置（１）から別のコーティング装置（１）にまたは１又は２以上のコーティング装置（１）で形成される一コーティングライン（Ｂ）から別のコーティングライン（Ｂ）に直線状に運搬する運搬機器（２０）とを含み、
前記設備（１００）は、移送チャンバ（２７，３１）を含み、前記コーティング装置（１）は、別々のコーティングチャンバ（７）を有し、前記コーティングチャンバ（７）および前記移送チャンバ（２７，３１）は、連続型または相互連結型真空システムを形成している、設備において、
前記キャリヤ（１０）は、前記眼鏡レンズ（２）をそれぞれ、該眼鏡レンズ（２）の回転中心を通る該眼鏡レンズ（２）自体の軸線（Ａ）回りに回転可能に保持するよう設計され、
前記移送チャンバ（２７，３１）は、前記眼鏡レンズ（２）を選択的に別々のコーティング装置（１）または別々のコーティングライン（Ｂ）にさらに運搬するよう設計され、前記別々のコーティング装置（１）または別々のコーティングライン（Ｂ）は、前記移送チャンバ（２７）に並列に連結されており、
前記移送チャンバ（２７，３１）は、眼鏡レンズ（２）を真空下において一コーティング装置（１）又は一コーティングライン（Ｂ）から別々のコーティング装置（１）または別々のコーティングライン（Ｂ）に運搬するように構成されている、設備。

【請求項2】

前記コーティングチャンバ（７）は、ロック（２６）によって互いにかつ／あるいは前記移送チャンバ（２７，３１）から分離されているまたは分離可能である、請求項１記載の設備。

【請求項3】

前記設備（１００）および／または前記運搬機器（２０）は、一コーティング装置（１）から別のコーティング装置（１）中への又は一コーティングライン（Ｂ）から別のコーティングライン（Ｂ）中への眼鏡レンズ（２）の不連続運搬を可能にするよう設計されている、請求項１または２記載の設備。

【請求項4】

各コーティング装置（１）は、前記眼鏡レンズ（２）を別のコーティング装置（１）または前記移送チャンバ（２７，３１）にさらに運搬するためのそれ自体の運搬駆動装置（２１）を有し、および／または
前記複数のまたは全てのコーティング装置（１）は各々、コーティングされるべき前記眼鏡レンズ（２）の回転のためのそれ自体の回転駆動装置（１１）を有する、請求項１～３のうちいずれか一に記載の設備。

【請求項5】

前記設備（１００）は、別々のコーティング方法のために別々の仕方で動作する別々のコーティング装置（１）および／または表面仕上げのための少なくとも１つの装置（３３）を含む、請求項１～４のうちいずれか一に記載の設備。

【請求項6】

前記設備（１００）および／または前記キャリヤ（１０）は、前記眼鏡レンズ（２）の両面コーティングを可能にするよう設計され、および／または
前記設備（１００）は、前記眼鏡レンズ（２）をそれぞれ群の状態でコーティングするよう設計され、前記群は、別々のコーティング装置（１）で連続してコーティングされ、および／または
前記設備（１００）は、複数の群をなした眼鏡レンズ（２）を受け入れるよう設計されている、請求項１～５のうちいずれか一に記載の設備。

【請求項7】

前記設備（１００）は、前記眼鏡レンズ（２）が個別具体的にかつ／あるいはコーティングされるべき該眼鏡レンズの表面の凸状または凹状の曲率に応じてかつ／あるいはコーティングされるべき前記表面の曲率に応じて別々の仕方でコーティングされるとともに／あるいは別々のコーティング装置（１）に運搬されるとともに／あるいは前記コーティング装置（１）またはコーティングパラメータをそれに応じて適合させるような仕方で設計されている、請求項１～６のうちいずれか一に記載の設備。

【請求項8】

前記設備（１００）および／または該設備の真空システムにコーティングされるべき眼鏡レンズ（２）および／またはコーティングされるべき眼鏡レンズ（２）を備えたキャリヤ（１０）を自動化された仕方で装填するために、かつ／あるいはコーティング済みの眼鏡レンズ（２）および／またはコーティング済みの眼鏡レンズ（２）を備えたキャリア（１０）を自動化された仕方で運び去るために、運搬システム（２５）が前記設備（１００）に割り当てられまたは前記設備（１００）の一部をなしている、請求項１～７のうちいずれか一に記載の設備。

【請求項9】

前記眼鏡レンズ（２）のコーティングは、気相蒸着によって実施される、請求項１～８のうちいずれか一に記載の設備。

【請求項10】

前記キャリヤ（１０）は、レール（２２）上を案内されることができる、請求項１～９のうちいずれか一に記載の設備。

【請求項11】

眼鏡レンズ（２）を設備（１００）内において真空中で、コーティングする方法であって、
前記眼鏡レンズ（２）はそれぞれ、キャリヤ（１０）によって、該眼鏡レンズ（２）の回転中心を通る該眼鏡レンズ（２）自体の軸線（Ａ）回りに回転可能に保持され、
前記眼鏡レンズ（２）に最初に、コーティング装置（１Ａ，１Ｂ）または１又は２以上のコーティング装置（１）で形成されるコーティングライン（Ｂ１）で第１のコーティングまたは基本的コーティングを施し、次に別のコーティング装置（１Ｃ，１Ｄ）または別のコーティングライン（Ｂ２～Ｂ６）で少なくとも１つの別のコーティングを施し、
前記眼鏡レンズ（２）を前記第１のコーティングまたは基本コーティングのために前記コーティング装置（１Ａ，１Ｂ）および／または前記コーティングライン（Ｂ１）から運搬し、次に真空下において移送チャンバ（２７，３１）を通って別のコーティング装置（１Ｃ，１Ｄ）および／または別のコーティングライン（Ｂ２～Ｂ６）に運搬する、方法において、
前記別のコーティング装置（１Ｃ，１Ｄ）および／または前記別のコーティングライン（Ｂ２～Ｂ６）は、前記移送チャンバ（２７）に並列に連結されている複数のコーティング装置（１Ｃ，１Ｄ）および／または複数のコーティングライン（Ｂ２～Ｂ６）から選択され、
前記移送チャンバ（２７）を通った前記運搬は、前記設備（１００）内の他の主要な、直線状の運搬に対して横方向に実現される、方法。

【請求項12】

前記眼鏡レンズ（２）のコーティングは、気相蒸着によって実施される、請求項１１に記載の方法。

【請求項13】

前記眼鏡レンズ（２）のコーティングは、スパッタリングによって実施され、それぞれ２つのスパッタリング源（３）またはターゲット（４）が前記眼鏡レンズ（２）の一方の面および他方の面をコーティングするために用いられる、請求項１２に記載の方法。

【請求項14】

前記眼鏡レンズ（２）のコーティングは、スパッタリングによって実施され、互いに隣接してかつ／あるいは平行に配置されたそれぞれ２つのスパッタリング源（３）またはターゲット（４）を前記第１のコーティングおよび別のコーティングの被着のために使用する、請求項１２に記載の方法。

【請求項15】

前記眼鏡レンズ（２）を別々のコーティング方法でコーティングする、および／または、前記眼鏡レンズ（２）に最終的に表面仕上げを施すとともに／あるいはエンドコーティングを施す、請求項１１に記載の方法。

【請求項16】

前記眼鏡レンズ（２）を、個別的にかつ／あるいはコーティングされるべき該眼鏡レンズの表面の凸状または凹状の曲率に応じてかつ／あるいはコーティングされるべき前記表面の曲率に応じて、別々の仕方でコーティングするとともに／あるいは別々のコーティング装置（１）に運搬する、請求項１１～１５のうちいずれか一に記載の方法。

【請求項17】

前記設備（１００）および／または該設備の真空システムにコーティングされるべき眼鏡レンズ（２）および／またはコーティングされるべき眼鏡レンズ（２）を備えたキャリヤ（１０）を自動化された仕方で装填するとともに／あるいは、
コーティング済みの眼鏡レンズ（２）および／またはコーティング済みの眼鏡レンズ（２）を備えたキャリア（１０）を自動化された仕方で運び去る、請求項１１～１６のうちいずれか一に記載の方法。

【請求項18】

前記眼鏡レンズ（２）を複数のコーティングおよび／または表面仕上げが被着されるまで、前記設備（１００）および／または該設備の真空システム内への受け入れ後、もっぱら真空下に保持する、請求項１１～１７のうちいずれか一に記載の方法。

【請求項19】

前記キャリヤ（１０）は、レール（２２）上を案内されることができる、請求項１１～１８のうちいずれか一に記載の方法。

【請求項20】

前記眼鏡レンズ（２）を別々のコーティング装置（１）で互いに反対側から連続してコーティングする、請求項１１～１９のうちいずれか一に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、請求項１～５の前提部に記載された眼鏡レンズをコーティングする設備、請求項２５または２７の前提部に記載された眼鏡レンズをコーティングする方法、ならびに請求項４２の前提部に記載された眼鏡レンズをコーティングするためのキャリヤに関する。

【0002】

本発明は、好ましくは気相蒸着、特にカソードスパッタリングとも呼ばれているスパッタリングによる眼鏡レンズのコーティングに関する。この関係で、原子が高エネルギーイオンの衝突によって、固体、いわゆるターゲットからはじき出され、そして気相になる。特に、本発明は、印加される電界に加えて、磁界もまた使用されるいわゆるマグネトロンスパッタリングに関する。

【背景技術】

【0003】

実際には、たとえ多くの種々の装置および方法が技術の現状から知られている場合であっても、コーティングされるべき眼鏡レンズの一様な、効率的なかつ／あるいは個々のかつ／あるいは適合されたコーティングを達成することは困難である。

【0004】

国際公開第２０１３／１３１６５６（Ａ２）号パンフレットは、眼鏡レンズを処理してコーティングする設備および方法に関する。眼鏡レンズを種々の装置に選択的に運搬することができる。効率的なコーティングのための特定の要件については詳細には説明されていない。

【0005】

独国特許出願公開第１９６０６４６３（Ａ１）号明細書および欧州特許出願公開第０９５３６５７（Ａ１）号明細書は、スパッタリングによって基材をコーティングする設備を開示しており、中央チャンバ内の中央取り扱い装置が複数のコーティング装置に連結され、基材は、取り扱い装置からコーティング装置中に運び込まれる。眼鏡レンズのコーティングの必要性については詳細には説明されていない。

【0006】

独国特許第４４０７９０９（Ｃ３）号明細書は、本発明の出発点をなしており、この独国特許明細書は、眼鏡レンズをコーティングする設備および方法を開示しており、眼鏡レンズは、回転可能なキャリヤ上に配置されて回転によって連続的に別々のコーティングステーションに運搬される。この場合、眼鏡レンズの最適なコーティングは可能ではない。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【文献】国際公開第２０１３／１３１６５６（Ａ２）号パンフレット

【文献】独国特許出願公開第１９６０６４６３（Ａ１）号明細書

【文献】欧州特許出願公開第０９５３６５７（Ａ１）号明細書

【文献】独国特許第４４０７９０９（Ｃ３）号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

本発明の目的は、極めて効率的でありかつ／あるいは個々のかつ／あるいは適合したコーティングおよび／または単純な、コンパクトなかつ／あるいは費用効果の良い設計を可能にする眼鏡レンズのコーティング設備、コーティング方法、およびコーティングのためのキャリヤを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

この目的は、請求項１～５に記載された設備、請求項２５または２７に記載された方法、または請求項４２に記載されたキャリヤによって達成される。有利なさらなる改造例は、従属形式の請求項の内容である。

【0010】

本発明の一観点によれば、複数のコーティング装置および眼鏡レンズまたは眼鏡レンズを備えたキャリヤを一コーティング装置から別のコーティング装置に運搬する運搬機器を含む提案対象の設備は、特に、この設備が移送チャンバを有していること、コーティング装置が別々のコーティングチャンバを有していること、コーティングチャンバおよび移送チャンバが連続型または相互連結型真空システムを形成することを特徴としている。かくして、極めて一様な、効率的なかつ／あるいは個々のかつ／あるいは適合したコーティングおよび／または単純な、コンパクトなかつ／あるいは費用効果の良い設計が可能になる。

【0011】

好ましい真空システムおよび／または設備および／または真空システム内における眼鏡レンズコーティングに必要な全てのプロセスステップの好ましい連係の結果として、特に、大気中においては個々のステップまたは中間ステップが実施されない。このようにすると、特に効率的なプロセスが可能になり、しかしながら、特に、望ましくない汚れ（ソイリング）なども回避することができる。

【0012】

本発明のさらに別の別個独立に達成可能な観点は、眼鏡レンズをコーティングする設備であって、コーティングされるべき２つまたは３つ以上の眼鏡レンズを保持するキャリヤが連続的に別々の種々のコーティング装置中に運び込まれるとともに／あるいはコーティングのためにこれらコーティング装置によって受け入れられることを特徴とする設備に関する。この目的のため、運搬機器が設けられ、この運搬機器は、キャリヤを一コーティング装置から別のコーティング装置中に運び込む。コーティング装置は、別々のコーティングチャンバを有するとともに／あるいはロック（またはエアロックもしくはスルース（sluice））によって互いに分離されているまたは分離可能である。かくして、極めて一様な、効率的なかつ／あるいは個々のかつ／あるいは適合したコーティングが可能になる。

【0013】

本発明の別の別個独立に達成可能な観点は、眼鏡レンズが連続的に互いに反対側から別々のコーティング装置でコーティングされるということになる。この関係で、キャリヤをコーティングされるべき眼鏡レンズを対応した仕方でコーティング装置を通って動かされる。かくして、極めて一様な、効率的なかつ／あるいは個々のおよび／または適合したコーティングを可能にすることができる。

【0014】

本発明の別の別個独立に達成可能な観点によれば、キャリヤは、連続的に別々のコーティング装置に送られ、眼鏡レンズは、これらコーティング装置でコーティングされ、特に、コーティング中における眼鏡レンズは、これら自体の、かくして別々の軸線回りに回転する。また、このようにすると、極めて一様な、効率的なかつ／あるいは個々のかつ／あるいは適合したコーティングを達成することができる。

【0015】

本発明のさらに別の別個独立に達成可能な観点は、眼鏡レンズが連続的に別々のコーティング装置でコーティングされ、コーティングされるべき眼鏡レンズを備えたキャリヤが負圧下でかつ／あるいは排気または排気可能な移送チャンバを通って一コーティング装置から別のコーティング装置に運搬されることにある。このようにすると、別々のコーティング装置の望ましくないかつ／あるいは過剰のエアレーションが回避されまたは少なくとも最小限に抑えられ、かくして特に効率的なコーティングが達成される。

【0016】

本発明の別の別個独立に達成可能な観点によれば、眼鏡レンズに最初に、第１の―特に機能的な―コーティングまたは基本的コーティングを施し、次に特に反射防止層パッケージまたは反射防止膜（コーティング）を作るためかつ／あるいはミラーコーティングを―別のコーティング装置またはコーティングラインで作るために少なくとも１つの別のコーティング―好ましくは少なくとも１つの誘電体層または複数の互いに異なる層を被着させ、特に眼鏡レンズはそれぞれ、２つまたは４つの眼鏡レンズの群の状態でコーティングされるとともに／あるいは眼鏡レンズは、負圧下で第１のコーティング装置またはコーティングラインから他のコーティング装置またはコーティングラインに運搬される。かくして、極めて一様な、効率的なかつ／あるいは個々のかつ／あるいは適合したコーティングを作ることができる。

【0017】

提案対象の方法および提案対象の設備は、特に好ましくは、コーティング、特にさらなるコーティングのためのコーティング装置またはコーティングラインが特に利用可能性、技術的形態および／または既存のリソースに応じて、複数のコーティング装置および／またはコーティングラインから選択できまたは選択されことを特徴としている。

【0018】

特に、高いスループットを提供するとともに／あるいは相互連結型真空システム内における眼鏡レンズの個々のかつ／あるいは適合したコーティングが提案対象の方法および提案対象の設備によって可能になる。特に、すなわち眼鏡レンズの寸法および／または形状に応じて、特にコーティングされるべき表面の曲率の凸状または凹状曲がり具合に応じてかつ／あるいはコーティングされるべき表面に応じて、コーティングは、対応して選択されたコーティング装置および／またはコーティングラインでかつ／あるいはコーティングパラメータの対応の適合によって可能になる。かくして、眼鏡レンズの非常に固有のおよびかくして最適化されたコーティングが可能になる。

【0019】

本発明の別の別個独立に達成可能な観点によれば、眼鏡レンズの２つの反対側の面、特に眼鏡レンズの凸状および凹状の表面または側のコーティングおよび／またはスパッタリングが好ましくは同時にまたは１対のスパッタリング源および／またはターゲットとそれぞれ連続して実施される。このように、特に一様なコーティングの作製が可能になりまたは容易になる。

【0020】

本発明のさらに別の別個独立に達成可能な観点によれば、特に眼鏡レンズをコーティングするコーティング装置で用いられるスパッタリング源、特にターゲットおよび／またはカソードの相互離隔距離は、好ましくは特に一様なコーティングを達成するために調節パラメータとして用いられまたは変えられる。

【0021】

本発明の別の別個独立に達成可能な観点によれば、好ましくは気相蒸着、特にスパッタリングによって眼鏡レンズをコーティングするためのキャリヤが提案され、特に、眼鏡レンズは、両面コーティングのために互いに反対側から接近可能でありかつこれら自体の軸線回りに回転可能である。かくして、一様な、効率的なかつ／あるいは個々のかつ／あるいは適合したコーティングが可能になる。

【0022】

別の別個独立に達成可能な観点によれば、キャリヤは、コーティング装置に運び込むとともに／あるいはコーティング装置を通って運ぶ歯付きラックまたはキャリジもしくはフレームに結合される。これにより、特に、単純かつ／あるいは費用効果の良い設計の実現が可能である。

【0023】

好ましくは、以下の内容は、全体として上述の観点に当てはまる。

【0024】

好ましくは、コーティングは、少なくとも部分的に気相蒸着によって、かくして真空中で、かつ特にスパッタリング、特に好ましくはマグネトロンスパッタリングによって行われる。

【0025】

特に好ましくは、眼鏡レンズは、最高１０個までの眼鏡レンズ、特に２つまたは４つの眼鏡レンズの群の状態でコーティングされる。

【0026】

特に好ましくは、眼鏡レンズは、別々のコーティング装置で連続して互いに反対側からコーティングされる。

【0027】

特に好ましくは、キャリヤは、コーティングされるべき眼鏡レンズと一緒に負圧下でかつ／あるいは大気移送チャンバによって一コーティングチャンバまたはコーティングラインから別のコーティング装置またはコーティングラインに運搬される。

【0028】

特に好ましくは、コーティングされるべき眼鏡レンズを備えたキャリヤは、特にさらにキャリジおよび／またはフレームおよび／または歯付きラックと一緒に、コーティングのためのそれぞれのコーティング装置によって完全に受け入れられる。

【0029】

好ましくは、キャリヤおよび／またはレンズの所定のかつ／あるいは定められた、特に少なくとも本質的に垂直の向きがコーティング装置および／または設備で、かつ／あるいはコーティング装置および／または設備を通る移動中に保たれる。これは、特に、所要の空間を少なくした状態でかつ／あるいは単純な取り扱いでコンパクトな設計にとって好都合である。

【0030】

好ましくは、連続型および／または相互連結型真空システムが形成され、この真空システムは、特に複数のコーティング装置および／またはコーティングチャンバ、ロック、および少なくとも１つの移送チャンバならびに所望ならば１つまたは２つ以上の受け入れステーションおよび／または排出ステーションを含む。

【0031】

特に、別々の処理チャンバおよび／またはコーティング装置は、単一の連係システム、特に相互連結型真空システムを形成するようオプションとして別々のコーティング技術と組み合わされる。

【0032】

特に好ましくは、本発明のさらに別の別個独立に達成可能な観点によれば、別々のコーティング技術が提案対象の設備および／または提案対象の方法、特に種々の気相蒸着法、例えばスパッタリング、マグネトロンスパッタリング、熱蒸発法、ＣＶＤコーティングおよび／またはＰＶＤコーティングなどにおいて互いに組み合わせる。

【0033】

特に好ましくは、設備は、モジュラ設計のものであり、したがって、長時間および短時間のコーティングプロセスに応じて、それぞれのコーティングのための多いまたは少ないモジュールおよび／またはユニットまたは装置が互いに組み合わされるとともに／あるいは相互連結型の真空チャンバシステムを形成するよう組み合わされる。

【0034】

特に好ましくは、長時間のプロセスのため、個々のかつ／あるいは別々のコーティングチャンバが用いられ、これに対し、複数の連続して行われる短時間のプロセスについては同一のコーティングチャンバを用いることができ、その結果、全体として、最適スループットを達成することができる。

【0035】

特に好ましくは、提案対象の設備および提案対象の方法は、眼鏡レンズまたは眼鏡レンズ側の完全なコーティングを可能にし、その結果、全ての必要なコーティングおよび次の表面処理を好ましくは、一設備で特に一体方式で実施することができる。

【0036】

提案対象の解決策によれば、特に、反射防止膜および／またはミラーコーティングのためのコーティングを被着させることができる。

【0037】

提案対象の解決策によれば、表面仕上げまたはエンドコーティング（end coating ）とも呼ばれている対応の処理またはコーティング、かくして特に好ましくは油分をはじく特性または表面、疎水性の特性または表面および／または生じるフォグアップ（fog-up）を少なくするいわゆる防曇性または曇り止め表面によって達成できる。この目的のため、特に少なくとも１つの追加のコーティング装置が表面仕上げおよび／またはエンドコーティングまたは処理のために用いられ、かつ特に真空システムおよび／または設備中に一体化される。

【0038】

提案対象の解決策によれば、特に眼鏡レンズの非連続処理またはコーティングが実施されるが、これとは異なり、別々のコーティングプロセスおよび／または別々のコーティング装置および／またはコーティングラインへの分割が実施され、これにより高いスループットを備えた高い融通性の実現が可能になる。

【0039】

提案対象の解決策によれば、特に、別々のコーティング装置での特に好ましくは連続的な眼鏡レンズの自動化コーティングが可能になり、特に、別々のコーティング装置の自動化および／または最適化作動ならびに別々のコーティング装置の通過が可能になる。

【0040】

特に、眼鏡レンズは、バッチ操作で、かくして連続的な方法ではない仕方でかつ／あるいは非連続的にコーティングされ、この場合、コーティングは、特に、小さな群をなす眼鏡レンズ、好ましくは個々の対をなすまたは複数の対をなす眼鏡レンズの群、必要ならば、しかしながら、それどころか個々の眼鏡レンズまたは任意の数の眼鏡レンズ、特に好ましくは最高１０個までまたは９個以下の眼鏡レンズの群をなした状態でのみ実施される。

【0041】

上述したように、本発明は、特に、平坦ではないまたは湾曲したレンズまたはガラス、特に眼鏡レンズのコーティングに関する。しかしながら、オプションとして、本発明は、他のレンズおよび／または光学部品にも使用できる。

【0042】

上述の観点ならびに以下の説明から続く本発明の特徴および観点は、互いに別個独立に達成されるが、任意の組み合わせの状態でも達成できる。

【0043】

本発明の別の観点、利点、および特徴は、特許請求の範囲の記載および図面に基づく好ましい実施形態の以下の説明から続く。

【図面の簡単な説明】

【0044】

【図1】眼鏡レンズをコーティングするコーティング装置の概略断面図である。

【図2】コーティング装置の概略側面図である。

【図3】図２に対応したコーティング装置の概略側面図であるが、眼鏡レンズが二者択一的に配置されている状態を示す図である。

【図4】提案対象の設備およびコーティングされるべき眼鏡レンズを保持するための提案対象のキャリヤの細部の概略側面図である。

【図5】図４のキャリヤの別の側面図である。

【図6】第１の実施形態による複数のコーティング装置を含む提案対象の設備の概略平面図である。

【図7】第２の実施形態による提案対象の設備の概略平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0045】

図中、同一の参照符号は、説明の繰り返しが省かれている場合であっても、同一のコンポーネントおよび部品について用いられている。

【0046】

最初に、コーティング装置の特に好ましい設計および特に好ましい作動モードについて説明し、次にコーティングのための提案対象のキャリヤならびに提案対象の設備および提案対象の方法について詳細に説明する。

【0047】

極めて概略的な断面図である図１は、眼鏡レンズ２をコーティングするコーティング装置１を示している。以下において、眼鏡レンズを単にレンズともいう。特に、コーティングは、すなわち、眼鏡フレームなどへの適合のためのエッジ加工作業の実施前に行われる。

【0048】

コーティング中、レンズまたは眼鏡レンズ２は、特に、依然として円板状でありかつ／あるいは好ましくは定められたまたは一様な直径を有する。しかしながら、レンズまたは眼鏡レンズ２は、コーティングのための別の形状を有しても良く、例えば、平面図では、レンズは、楕円の形状または該当する場合にはそれどころか眼鏡フレームにすでに適合された他の形状もしくは輪郭を有しても良い。

【0049】

レンズ２またはコーティングされていない眼鏡レンズ素材が好ましくはプラスチックまたはガラスから作られる。

【0050】

以下において、最初に、コーティング装置１の特に好ましい設計について詳細に説明する。しかしながら、原理的には、別々の仕方で設計されたコーティング装置１もまた、追加的にまたは代替的に本発明に従って使用することができ、これについては以下において説明する。

【0051】

コーティング装置１は、好ましくは、気相蒸着、特にカソードスパッタリングとも呼ばれているスパッタリングによって、かくして、特に真空中でレンズ２をコーティングするよう設計されている。特に好ましくは、いわゆるマグネトロンスパッタリングが行われる。電気的に印加されるフィールド（電界）に加えて、磁界もまた用いられるとともに／あるいは印加され、これについては以下に詳細に説明する。

【0052】

特に好ましくは、レンズ２の湾曲した、特に凹状の表面を本発明に従ってコーティングする。図１では、かかる湾曲した表面の１つが右側に示されているレンズ２について概略的に示されている。しかしながら、原理的には、レンズ２の凸状表面または他の表面もまた、それに応じてコーティングすることができる。

【0053】

コーティング装置１は、好ましくは、少なくとも１つのスパッタリング源３、この場合好ましくは２つのスパッタリング源３を有する。

【0054】

コーティング装置１またはそれぞれのスパッタリング源３は、物質がコーティング中および／またはスパッタリング中に除去されるターゲット４を有し、このターゲット４は、特にガス雰囲気の他の成分と一緒になってコーティングされるべきそれぞれのレンズ２またはその表面上に所望のコーティングを形成する。

【0055】

図２は、コーティング装置１および／またはスパッタリング源３を概略平面図で示している。

【0056】

図示の実施例では、スパッタリング源３および／またはターゲット４は、好ましくは、少なくとも１つの本質的に細長くかつ／あるいは管状または円筒形に作られている。

【0057】

ターゲット４は、特に中空の筒体および／または管として作られている。

【0058】

スパッタリング源３および／またはターゲット４は、好ましくは、互いに平行に配置される。

【0059】

好ましくは、ターゲット４は、回転軸線Ｄ回りに旋回または回転可能である。回転軸線Ｄは、好ましくは一共通表面内にかつ／あるいは特に図１および図２に示されているように互いに平行に延びているが、変形例として、互いに対して傾けられても良い。回転軸線Ｄは、好ましくは、スパッタリング源３の長手方向軸線に一致する。

【0060】

各スパッタリング源３は、好ましくは、上述の磁界を発生させるためのそれぞれのターゲット４およびかくして図１に概略的に示されているように有向性スパッタリングクラウドＳに割り当てられた磁石構造体５を有する。特に、磁石構造体５は、それぞれのターゲット４の下にかつ／あるいはその中に配置される。

【0061】

コーティング装置１は、スパッタリング源３および／またはターゲット４を特に交互にカソードとして動作させるためにかつ／あるいはスパッタリングのために所要の電圧を特にパルスの形態でスパッタリング源３および／またはターゲット４に印加することができるようにするために図１に示されているような電圧源６を有する。

【0062】

特に好ましくは、スパッタリング源３および／またはターゲット４を動作させるとともに／あるいはスパッタリング源３および／またはターゲット４に直流電流（パルス）を交互に加える。これは、「バイポーラ（双極性）ＤＣ」とも呼ばれる。変形例として、一方のスパッタリング源３および／または一方のターゲット４をカソードとして用い、他方のスパッタリング源３および／または他方のターゲット４をアノードとして用いる。

【0063】

変形例として、交流電流による動作または他の何らかの動作が可能である。

【0064】

代替的にまたは追加的に、１つまたは２つ以上の追加のまたは別個のアノードを用いても良く、ただしこれは、好ましくはない場合がある。

【0065】

コーティング装置１は、好ましくは１つのコーティングチャンバ７を有し、このコーティングチャンバ内で、コーティングが行われるとともに／あるいはスパッタリング源３がこのコーティングチャンバ内に配置される。

【0066】

コーティングチャンバ７を特に図１に概略的にしか示されていない機器８、例えば連結具、真空ポンプなどによって所望の仕方で排気するのが良い。機器または真空ポンプ８は、特に好ましくは、レンズ２から遠ざかる方向に向いたスパッタリング源３および／またはターゲット４の側にかつ／あるいは特に好ましくは中央平面Ｍ内にかつ／あるいは中央に配置される。

【0067】

コーティング装置１および／またはコーティングチャンバ７は、好ましくは、特にコーティング空間中に延びるガスランス（gas lance ）の形態をした概略的に示されているガス供給源９を有する。

【0068】

コーティング装置１は、好ましくは、図１に示されているようにレンズ２を保持するキャリヤ１０を有する。

【0069】

図２および図３には、キャリヤ１０が説明上の理由で示されていない。

【0070】

コーティングされるべきレンズ２は、好ましくは各々、軸線Ａ回りに旋回または回転可能である。コーティング装置１および／またはキャリヤ１０は、レンズ２の対応した回転可能な保持および特に対応した駆動が可能であるように設計されている。特に、コーティング装置１は、好ましくはキャリヤ１０のレンズ２を全て一緒に駆動するために図１に概略的に示されているに過ぎない対応の回転駆動装置１１を有する。

【0071】

キャリヤ１０は、好ましくは、コーティング装置１および／またはコーティングチャンバ７内で同時にコーティングされる少なくとも２枚のレンズ２または全てのレンズ２もしくはこの場合４枚のレンズ２と一緒に交換可能である。

【0072】

特に、キャリヤ１０は、レンズ２を特にこれら自体のかつ／あるいは別々の軸線Ａ回りに回転させることができ、特に好ましくはレンズ２を回転可能に互いに結合された状態で保持する。特に好ましくは、キャリヤ１０は、図１に概略的に示されているように例えば対応の歯車を介する回転カップリング１２を有する。

【0073】

好ましくは、キャリヤ１０それ自体をコーティング中に動かさず、キャリヤ１０上に保持されたレンズ２だけを回転させる。

【0074】

コーティング装置１および／またはコーティングチャンバ７中へのキャリヤ１０の挿入または摺動時、キャリヤ１０を好ましくは駆動装置または歯車によって、特にコーティング装置１の回転駆動装置１１などに自動的に結合することができる。

【0075】

特に好ましくは、キャリヤは、レンズ２または少なくともこれらの重心を保持するとともに／あるいは少なくとも本質的に一平面内に心出し、この一平面は、特に好ましくは、ターゲット４の回転軸線Ｄの共通平面に平行に延びる。

【0076】

キャリヤ１０は、コーティング装置１および／またはコーティングチャンバ７へのコーティングされるべきレンズ２の迅速な装填および／またはコーティング済みレンズ２の迅速な取り出しを可能にする。

【0077】

コーティングチャンバ７は、好ましくは、コーティングのためにガス密状態に密閉されるのが良い。

【0078】

コーティング装置１および／またはコーティングチャンバ７には、好ましくは、図示されていない接近開口部を経て、コーティングされるべきレンズ２および／またはキャリヤ１０が装填されるのが良い。接近開口部は、好ましくは、キャリヤ１０によってまたは図示されていないクロージャによって特にガス密状態で閉鎖できる。

【0079】

キャリヤ１０は、好ましくは、一般にレンズ２をコーティングする装置内で、特にスパッタリング以外のコーティング方法の場合にも使用できる。

【0080】

ターゲット４の回転軸線Ｄおよび／または長手方向広がりＬは、好ましくは、共通平面内で、特に好ましくは垂直または水平面内で延びる。

【0081】

レンズ２は、好ましくは、上述した平面の上方にかつ／あるいは一方の側に（のみ）配置される。

【0082】

好ましくは、各レンズ２は、割り当てられたターゲット４上に配置される。「～上」という用語は、割り当てられたターゲット４に対する垂直高さおよび／または距離に関する場合があるとともに／あるいはコーティングされるべきレンズ２の表面がターゲット４および特に好ましくはその回転軸線Ｄと交差する少なくとも１本の表面法線を有することを示す場合がある。

【0083】

好ましくは、レンズ２は、スパッタリング源３および／またはターゲット４に１対ずつ割り当てられる。

【0084】

特に、２枚のレンズ２が図２に示されるとともに図３の概略側面図に示されているようにそれぞれ共通ターゲット４の上方に配置される。

【0085】

特に好ましくは、コーティング装置１および／またはキャリヤ１０は、２つの対をなすレンズ２、すなわち全部で４枚のレンズ２に対応するよう設計されており、２枚のレンズ２は、それぞれ共通のスパッタリング源３および／または共通のターゲット４に割り当てられる。

【0086】

コーティング中それぞれレンズ２の回転の中心となる軸線Ａは、好ましくは、静止しておりまたはターゲット４および／またはスパッタリング源３または回転軸線Ｄに対して固定されている。

【0087】

特に、一方においてスパッタリング源３および／またはターゲット４および／または回転軸線Ｄ相互間および他方においてコーティングされるべき１枚のレンズ２または複数のレンズ２および／または軸線Ａ相互間の直線運動および／または重心運動、例えば円形運動が回避されまたは不可能にされる。これは、特に簡単な設計にとって好都合である。

【0088】

割り当てられたターゲット４からのレンズ２の距離（垂直距離）Ｚが図１に記載されており、これは好ましくは固定されている。オプションとして、割り当てられたターゲット４からのレンズ２の距離Ｚの適合または調節は、コーティングされるべきレンズ２または直径および／または曲率および／または形状に応じて実施される。

【0089】

共通ターゲット４に割り当てられた２枚のレンズ２の軸線Ａは、好ましくは、共通平面内でかつ特に互いに平行に延びる。

【0090】

軸線Ａは、好ましくは、ターゲット平面および／または割り当てられたターゲット４の回転軸線Ｄの共通平面および／または回転軸線Ｄに対してまたは横方向にまたは垂直に延びる。

【0091】

軸線Ａは、これらの共通平面内において、特に互いに向かってまたは外方にもしくは互いに遠ざかって互いに対して傾けられていても良い。

【0092】

レンズ２の回転軸線Ａもまた、水平方向において回転軸線Ｄおよび／またはターゲット４の２本の回転軸線Ｄ相互間の中心に対して横の方向にずらされても良く、特に、その結果、レンズ軸線Ａと割り当てられたターゲット軸線Ｄとの間のオフセットまたは距離Ｖが図１に示されているように、右側に配置されたレンズ２について形成されている（同じことは、好ましくは、当然のことながら、左側に位置されたレンズ２についても当てはまる）。

【0093】

距離Ｖは、好ましくは固定されている。オプションとして、レンズ軸線Ａと割り当てられたターゲット軸線Ｄとの間の距離Ｖの適合または調節は、コーティングされるべきレンズ２または表面の直径および／または曲率および／または形状に応じて実施される。

【0094】

ガス供給源９は、好ましくは、スパッタリング源３および／またはターゲット４の下にかつ／あるいは装置１の中間平面Ｍおよび／またはコーティングチャンバ７相互間に、特に好ましくは装置１の中間平面Ｍおよび／またはコーティングチャンバ７内に配置される。

【0095】

ガス供給源９は、好ましくは、管状にかつ／あるいはロッド状に設計されるとともに／あるいは好ましくは一連の状態に配置されるとともに／あるいは上方を向いたガス出口を備えている。

【0096】

コーティング中に生じるスパッタリングクラウドＳ、すなわちスパッタリングされたターゲット材料は、それぞれ、上述の磁界および／または磁石構造体５によって少なくとも本質的に所望の方向に案内される。図１に点線で示されているスパッタリングクラウドＳの膨張のこの主要な方向Ｈに磁石構造体５の対応の配置または向きによって影響を及ぼすことができ、特に、かかる主要方向Ｈを磁石構造体５の対応の配置または向きによって定めることができる。

【0097】

図示の実施例では、回転軸線Ｄに垂直な断面および／または２つのターゲット４の平面内における主要な方向Ｈは、好ましくは、互いにかつ／あるいは角度Ｗ（平行な向きから始まる）だけ傾けられる。好ましくは、角度Ｗは、特に磁石構造体５の対応の調節またはトリガによって設定できまたはこの角度を適合させることができる。

【0098】

上述したように、２つのスパッタリングクラウドＳの主要な方向Ｈはまた、互いに平行にかつ／あるいはターゲット４の延長平面および／または回転軸線Ｄを含む平面に垂直に延びるのが良い。

【0099】

好ましくは、主要方向Ｈは、垂直方向上方に延びまたはかかる一方向成分を含む。変形例として、変形例として、主要方向Ｈの水平方向づけが起こる。レンズ２およびスパッタリング源３および／またはターゲット４の配置は、この場合、当然のことながらそれに応じて選択されなければならない。

【0100】

特に好ましくは、レンズ２は、それぞれ、１対ずつコーティングされ、特に、２対のレンズ２がそれぞれ同時にコーティングされる。しかしながら、原理的には、提案対象の解決策としての装置１内で１対のレンズ２だけをコーティングすることもまた可能である。この目的のため、この場合、２枚のレンズを好ましくは共通のターゲット４上にかつ／あるいは一変形構成例において図３に概略的に示されているように２つのターゲット４相互間に配置する。

【0101】

特に、レンズ２は、バッチ操作で、かくして連続方法によってではなくまたは非連続的にコーティングされる。コーティングは、特に小さな群をなすレンズ２、好ましくは個々の対をなすまたは複数の対をなすレンズ２の群、しかしながら、所望ならば、個々のレンズ２または任意の数のレンズ２の群をなした状態で実施される。

【0102】

レンズ２は、好ましくはそれぞれの軸線Ａを中心として、特にレンズ２の幾何学的中心に関して回転する。

【0103】

図示されていない変形実施形態によれば、レンズ２は、オプションとして、回転軸線Ａに対して偏心的に回転してもよくかつ／あるいは取り付けられても良い。この場合、偏心度は、好ましくは、レンズ２の半径よりも小さく、オプションとして、これより大きくても良い。

【0104】

特に、回転軸線Ａは、かくして、それぞれのレンズ２と交差する。

【0105】

軸線Ａは、好ましくは、それぞれのレンズ２の主平面に垂直に延びる。

【0106】

レンズ２の各々を好ましくはそれ自体の軸線Ａ回りに回転させることができる。レンズ２は、かくして、別々の軸線Ａ回りに回転可能である。

【0107】

軸線Ａは、好ましくは、割り当てられたターゲット４の長手方向広がりまたは回転軸線Ｄに対して横方向に、オプションとしてこれに垂直に延びる。

【0108】

特に、それぞれのレンズ２の回転軸線Ａは、図１に示されているように割り当てられたターゲット４と交差しまたはオプションとして割り当てられたターゲット４の長手方向軸線または回転軸線Ｄと交差する。

【0109】

コーティング中および／または回転中、レンズ２は、好ましくは、割り当てられたターゲット４または側部がコーティングされるべき２つの割り当てられたターゲット４の方へ常時向く。

【0110】

それぞれのターゲット４の回転軸線Ｄは、好ましくは、コーティングされるべきレンズ２または表面の任意法線または少なくとも１つの表面法線に垂直に延びる。

【0111】

レンズ２の光学中心または幾何学的中心の表面法線を回転軸線Ａまたは回転軸線Ｄに対して傾けることができる。

【0112】

レンズ中心は、好ましくは、それぞれのターゲット４の長手方向広がりで見てそれぞれのターゲット４に関して対称に配置される。

【0113】

コーティングされるべきレンズ２および／またはこれらの幾何学的中心または光学中心は、好ましくは、少なくとも本質的に共通平面内に配置され、この平面は、特に好ましくは、スパッタリング源３および／またはターゲット４の広がり平面および／または回転軸線Ｄに平行に延びる。

【0114】

特に好ましくは、カソード距離、すなわちターゲット４の相互離隔距離、および／またはターゲット４および／またはスパッタリング源３からのレンズ２の距離Ｚ、および／または角度Ｗは、コーティングされるべきレンズ２、特にコーティングされるべきレンズ２の表面形状、かくして、例えば、平坦でありまたは大幅に湾曲した表面形状に応じてかつ／あるいは曲率の程度および／またはこの曲率が凹状の表面であるか凸状の表面であるかに応じて変えられる。

【0115】

以下において、最初に、提案対象のキャリヤ１０の特に好ましい設計について詳細に説明する。特に図１に関する上述の記載および説明は、好ましくは、たとえ明示の繰り返しがなくても対応のまたは相補した仕方で当てはまる。

【0116】

概略側面図では、図４は、眼鏡レンズ２をコーティングする提案対象の設備１００およびコーティングされるべきレンズまたは眼鏡レンズ２を保持するための提案対象のキャリヤ１０の特に好ましい実施形態の細部を示している。

【0117】

図４では、特に、設備１００のコーティング装置１がほぼ断面図としてかつ／あるいは開放状態で示されており、したがって、コーティング装置１内に配置された図示の状態にあるキャリヤ１０をこの上に保持されたレンズ２と一緒に見ることができるようになっている。コーティング装置１は、好ましくは、上述したように構成されるとともに／あるいは好ましくは上述したように作動する。

【0118】

レンズ２、この場合特に、１つまたは２つの対をなすレンズ２は、特に好ましくは弾性および／または可撓性保持要素１３によって縁側または周辺側が保持されるとともに／あるいは弾性的に保持される。

【0119】

保持要素１３は、特に中心またはレンズ２に向かう半径方向にあらかじめ応力が加えられている。保持要素１３は、対応のレンズ２を特にキャリヤ１０のそれぞれの開口部１６の中にまたはその下に中心を保持しており、その結果、レンズ２を所望の仕方でコーティングすることができるようになっている。

【0120】

特に好ましくは、設備１００および／またはキャリヤ１０は、キャリヤ１０によって保持されたレンズ２を特にキャリヤ１０から取り外すことなく、互いに反対側または両側からコーティングすることができるように設計されている。それゆえ、キャリヤ１０は、好ましくは、両側、特に平坦な側部が開いておりかつ／あるいはレンズ２の両面コーティングを可能にするために開口部１６を備えている。

【0121】

図示の実施例では、保持要素１３は、好ましくは、ホルダおよび／または支承要素、この場合リング要素１４に結合されている。好ましくは、支承要素および／またはリング要素１４は、回転可能でありまたは回転するように駆動可能である。図示の実施例では、支承要素および／またはリング要素１４は、特に歯車として具体化されておりまたは歯車に結合されており、その結果、特に好ましくは全て、この場合４つの支承要素および／またはリング要素１４ならびに割り当てられたレンズ２は、個々の軸線Ａ、かくして別々のＡ周りに回転することができるようになっている。

【0122】

図示の実施例では、回転カップリング１２が特に歯車および／またはリング要素１４のコーミング（combing ）係合によって達成される。しかしながら、例えば歯車機構体、ベルトなどによる他の構造的解決策もまた可能である。

【0123】

キャリヤ１０は、好ましくは、特に板状ベース要素１５を有し、レンズ２および特にさらに支承要素および／またはリング要素１４のためのホルダおよび／または保持要素１３がこのベース要素１５中に組み込まれている。

【0124】

ベース要素１５は、好ましくは、両側が覆われるとともに／あるいは上述の開口部１６を備えており、その結果、それに応じてレンズ２をコーティングすることができるようになっている。

【0125】

キャリヤ１０は、好ましくは、図４に示されているようにキャリッジまたはフレーム１７に結合可能でありまたは結合されている。キャリッジまたはフレーム１７は、特にコーティングされるべきレンズ２を備えたキャリヤ１０を取り扱うとともに／あるいはこれを設備１００内でかつ／あるいはコーティング装置１を通って運搬するために用いられる。

【0126】

図示の実施例では、フレーム１７は、好ましくは、キャリヤ１０のクランプおよび／または圧力嵌め受け入れのために設計されるとともに／あるいはフォーク状に作られている。

【0127】

キャリヤ１０は、図４に概略的に示されているように、好ましくは案内要素１８および／または歯付きラック１９により特にフレーム１７を介して結合可能でありまたは結合されている。

【0128】

図示の実施例では、案内要素１８は、好ましくは、関節連結方式でフレーム１７に結合され、この場合、関節連結軸線は、特に運搬方向Ｆに延びている。しかしながら、他の構造上の解決策もまた可能である。

【0129】

案内要素１８は、好ましくは、歯付きラック１９を担持している。

【0130】

図示の実施例では、歯付きラック１９の歯は、好ましくは、下方に向いている。しかしながら、この場合、他の向きもまた可能である。例えば、歯は、横に向いていても良く、または原理的に上に向いていても良い。

【0131】

設備１００および／または図示のコーティング装置１または任意のコーティング装置１は、好ましくは、キャリヤ１０を、設備１００を通ってかつ／あるいは（それぞれの）コーティング装置１中に運び込むとともにかつ／あるいはこのコーティング装置１から運び出すための運搬機器２０を有する。

【0132】

特に好ましくは、キャリヤ１０は、コーティングのためにコーティングされるべきレンズ２と一緒におよび特にさらにキャリッジまたはフレーム１７と一緒に、それぞれのコーティング装置１および／またはそのコーティングチャンバ７内に完全に受け入れられる。

【0133】

図示の実施例では、運搬機器２０および／または好ましくは各コーティング装置１は、好ましくは、運搬駆動装置２１を有し、この運搬駆動装置は、例えば概略的に示した運搬方向Ｆにおける必要に応じて特に直線状の運搬または運動を可能にするために特に対応のピニオン歯車などにより、キャリヤ１０および／またはフレーム１７、特に好ましくは歯付きラック１９に係合しまたは係合することができる。特に、運搬駆動装置２１は、ピニオン歯車付きのステッパモータを有する。

【0134】

キャリヤ１０は、好ましくは、設備１００および／またはコーティング装置１内で、レール２２上で好ましくは互いに反対側の側部上でかつ／あるいは上からかつ／あるいは下に可動的にまたは摺動可能に案内される。

【0135】

図４には上側レール２２だけが示されている。図５は、運搬方向Ｆの方向に、すなわちレール２２の長手方向広がりに対して横の方向に見た別の側面図において、キャリヤ１０が特に結合状態のキャリッジまたはフレーム１７と一緒に、特に好ましくは、図示の実施例ではレール２２によって互いに反対側の側部上でかつ／あるいは上からかつ／あるいは下にどのように案内されるかを示している。

【0136】

好ましくは、キャリヤ１０および／またはフレーム１７または特に案内要素１８は、図５に概略的に示されているように１本または２本のレール２２によって側方かつ／あるいは垂直に、この場合下から案内される。例えば、案内要素１８の側方リブ、突出部またはアーム１８Ａが特に案内レール２２の互いに向かい合った側部上に配置されている対応の溝に嵌まり込むことができる。特に好ましくは、このようにしてスリップイン（嵌め込み式）案内が実現される。しかしながら、他の構造的解決策もまた可能である。

【0137】

キャリヤ１０または上方に突き出たキャリヤ部分１０Ａは、他方の側においてかつ／あるいは上方において、好ましくは、図５に示されているように１本または２本のレール２２によって側方にのみ案内される。またこの場合、好ましくはスリップイン案内が実現される。しかしながら、他の構造的解決策もまた可能である。

【0138】

キャリヤ１０を特にフレーム１７と一緒に運搬方向Ｆにまたは反対側の方向に、滑らせまたは動かすことができ、あるいはこの逆の関係が成り立つ。

【0139】

運搬機器２０またはおよび／または運搬駆動装置２１は、（それぞれの）コーティング装置１内でかつ／あるいは設備１００内におけるキャリヤ１０の所望の運動、運搬および／または位置決めを可能にする。

【0140】

図示の実施例では、設備１００および／またはコーティング装置１を通る運搬の際におけるキャリヤ１０および／またはレンズ２（これらの主広がり平面または平坦な側部に対する）の少なくとも本質的に垂直の向きが好ましく、その目的は、特に小さなベース領域でできるだけコンパクトな設計を可能にすることにある。しかしながら、他の向きもまた可能である。

【0141】

図４では、コーティング装置１のスパッタリング源３および／またはターゲット４は、コーティングチャンバ７内に模式的に配置されている。ターゲット４を回転させるターゲット駆動装置２３がターゲット４に割り当てられている。ターゲット駆動装置２３は、好ましくは、図４に示されているようにコーティングチャンバ７の外側に配置されている。しかしながら、他の構造的解決策もまた可能である。

【0142】

ターゲット４の回転軸線Ｄおよび長手方向広がりＬは、好ましくは、垂直に延びている。

【0143】

レンズ２の回転軸線Ａは、好ましくは少なくとも本質的に水平に延びている。

【0144】

図４では、（それぞれの）コーティング装置１の回転駆動装置１１は、キャリヤ１０がコーティング装置１内のコーティング位置に配置されたとき、特に対応の歯車に好ましくは自動的にまたは不可避的にキャリヤ１０および／または回転カップリング１２または少なくとも１つのリング要素１４に駆動装置経由で結合されまたは係合することもまた示されている。したがって、回転駆動装置１１は次に、レンズ２をコーティング中、軸線Ａ回りの所望の回転状態に設定することができる。

【0145】

上述の駆動係合を達成するため、キャリヤ１０の歯車またはリング要素１４が側方に、この場合、上方に突き出ており、キャリヤ１０のシールドまたは挿入中、所望の駆動カップリングが必然的に達成されるようになっている。しかしながら、この場合、他の構造的解決策もまた可能である。

【0146】

以下において、図６の概略的記載に基づいて、レンズ２をコーティングする提案対象の設備１００の第１の好ましい実施形態について説明するが、この場合、上述の記載および説明は、たとえ明示の繰り返しが行われていない場合でも、特に対応関係をなしてまたは補完的に当てはまる。

【0147】

設備１００は、好ましくは、コーティングされるべきレンズ２および／またはコーティングされるべきレンズ２を備えたキャリヤ１０を受け入れる受け入れステーション２４を含む。特に、受け入れステーション２４は、割り当てられたキャリヤ１０と割り当てられたキャリッジまたはフレーム１７の結合のために用いられる。しかしながら、変形例として、これを前もってまたは別個に実施しても良く、ただし、とにかくキャリッジまたはフレーム１７が用いられることを条件とする。

【0148】

受け入れステーション２４に例えば手動でキャリヤ１０およびレンズ２を装填することができる。別法として、キャリヤ１０および／またはレンズ２の自動受け入れおよび／または装填もまた実施できる。例えば、既に受け入れられたレンズ２を備えたキャリヤ１０またはレンズ２の入った他の容器は、オプションとしての運搬システム２５、例えばコンベヤベルトなどによって受け入れステーション２４に運搬されるのが良く、特に、受け入れステーション２４によって自動化された仕方で受け入れられるのが良い。

【0149】

所望ならば、このようにしてレンズ２もまた受け入れステーション２４内にまたは受け入れステーション２４のところで手動でまたは自動化された仕方でキャリヤ１０中に受け入れ可能でありまたは挿入可能である。

【0150】

受け入れステーション２４は、キャリヤ１０を好ましくは所望の仕方で、この場合必要ならば特に垂直に差し向ける。

【0151】

また、キャリヤ１０をレンズ２を伴ってまたはレンズ２を伴わないで、既に所望の向きをなした状態でまたは所望の向きをなすように、この場合、特に垂直の向きで特に運搬システム２５によって受け入れステーション２４に送りまたは運搬することが可能である。例えば、この目的のため、キャリヤ１０を一種のマガジンまたは輸送キャリッジに入れた状態でかつ／あるいは層状にかつ／あるいは直立して受け入れステーション２４まで運搬しまたは送ることができる。かくして、必要とするスペースが少ない設備１００の極めてコンパクトな設計が可能になる。

【0152】

好ましくは、キャリヤ１０をコーティングされるべきレンズ２と一緒に、コーティング装置１および／または設備１００全体を通ってもっぱら好ましい向きで運搬しまたは動かす。これは、特に、簡単な取り扱いおよび／またはコンパクトな設計にとって好都合である。

【0153】

１つの（第１の）コーティング装置１が受け入れステーション２４に隣接して位置し、このコーティング装置については図６において識別が容易であるように図１Ａとともに参照され、このコーティング装置は、第１のコーティングを被着させるために用いられる。

【0154】

別の（第１の）コーティング装置１Ｂが好ましくは続いて設けられており、この別のコーティング装置１Ｂは、レンズ２の互いに反対側の面に第１のコーティングを被着させるために用いられ、その結果、次にレンズ２の両面がコーティングされるようになっている。しかしながら、コーティング装置１Ｂはまた、別のコーティングを被着させるために用いられても良い。

【0155】

２つのコーティング装置１Ａ，１Ｂは、好ましくは、識別を容易にするために以下において１Ｂと称する（第１の）コーティングラインＢを形成する。

【0156】

図６では、一方において第１のコーティング装置１Ａおよび他方において第２のコーティング装置１Ｂおよびかくしてさらにそれぞれのターゲット４のターゲット駆動装置２３がキャリヤ１０およびかくしてレンズ２の互いに反対側に配置されており、その目的は、レンズ２の互いに反対側の面または両面のコーティングを可能にすることにある。

【0157】

しかしながら、２つのコーティング装置１Ａ，１Ｂを共通のハウジング内に組み合わせるとともに／あるいは共通のコーティングチャンバ７と組み合わせることもまた可能である（これは、一例として、図７に示された第２の実施形態に示されている）。

【0158】

図６では、コーティング装置１のコーティングチャンバ７をコーティングのために排気するための別の模式的な機器または真空ポンプ８が示されている。

【0159】

好ましくは、レンズ２および／またはキャリヤ１０は、特に直線をなしておよび／または不連続にまたは連続的に設備１００の幾つかの、複数の、または全てのコーティング装置１を通って動くとともに／あるいはこれら装置に受け入れ開口部を経てレンズ２および／またはキャリヤ１０が装填され、ここで、レンズ２および／またはキャリヤ１０が受け入れ開口部とは別個の排出開口部を経て再び排出される。これは、特に、コーティング装置１および／またはコーティングチャンバ７の所望の連係および／または別々のコーティング装置１および／または設備１００の連続的通り抜けまたは通過にとって好都合である。

【0160】

好ましくは、ロック（またはエアロックもしくはスルース）２６が各コーティング装置１から見て上流側にかつ／あるいは下流側に位置し、その目的は、コーティングのためにできるだけガス密状態で一方において受け入れ開口部を閉鎖し、他方において排出開口部を閉鎖することができるようにし、特に、コーティングのために所望の真空、特に高真空を生じさせることができるようにすることにある。

【0161】

オプションとして、受け入れステーション２４もまた、既に排気されても良く、または予備真空、特に低真空または中程度の真空下に配置されても良く、その目的は、第１のコーティング装置１Ａのロック２６が開かれたときにコーティング装置１Ａを通常の圧力に直接的には抜気させないが、これとは異なり、コーティング装置１Ａを可能な限り低いまたは相対的に低い圧力に保つに過ぎないようにすることにある。

【0162】

キャリヤ１０は、好ましくは、運搬機器２０により、特に対応のかつ／あるいは分散配置された運搬機器２１により排出ステーション２４から第１のコーティング装置１Ａ中にまたは一般にコーティング装置１中にまたはこれを通ってかつ／あるいは設備１００を通って直線状に運搬されまたは動かされるとともに／あるいはレール２２上でまたはレール２２によって案内される。

【0163】

第１のコーティング装置１Ａでのコーティング後、キャリヤ１０は、一方の側がコーティングされたレンズ２と一緒に、さらに、好ましくはこの場合もまた直線をなしてかつ／あるいは直線状にかつ／あるいは対応のレール２２によってかつ／あるいは運搬機器２０および／または運搬駆動装置２１によって第２のコーティング装置１Ｂ中に運び込まれ、それによりそこに配置されたレンズ２の他方の面をコーティングする。

【0164】

コーティング装置１Ａ，１Ｂ、かくして別々のコーティング装置１のコーティングチャンバ７は、好ましくは、互いに別々に設計されるとともに／あるいは特にガス密または真空密方式で、この場合ロック２６を通って取り外し可能である。

【0165】

（第１の）コーティングラインＢ１は好ましくは、互いに反対側のコーティングのために２つのコーティング装置１Ａ，１Ｂを含む。しかしながら、コーティングラインＢ１が特に一方の面または２つの面の選択的コーティングのためにコーティング装置１を１つだけ含むこともまた可能である。コーティングラインＢ１は、さらに好ましくは、特に開始時および終了時にかつ／あるいは個々のコーティング装置１相互間に対応のロック２６をさらに含む。

【0166】

特に好ましくは、運搬は、コーティングされるべきレンズ２が割り当てられたキャリヤ１０でコーティングラインＢ１の一方の端部のところで受け入れられ、そして別のまたは反対側の端部のところで再び排出されるように実施される。しかしながら、変形例としてレンズ２を一方の端部のところでコーティングのために受け入れ、コーティングラインＢ１の同一端部上のコーティング後にこれらレンズを再び排出することもまた可能である。

【0167】

好ましくは、設備１００は、（第１の）コーティング装置１Ａまたは第１のコーティング装置１Ａ，１ＢまたはコーティングラインＢ１を含むだけでなく、さらに、レンズ２を特にそれぞれのキャリヤ１０と一緒に好ましくは選択的に、運搬することができまたは運搬する別のコーティング装置１および／またはコーティングラインＢを含む。

【0168】

第１のコーティング装置１Ａ，１Ｂは、特に好ましくは、スパッタリング装置として、特により好ましくは図１～図３を参照して説明したマグネトロンスパッタリング向きにかつ／あるいはそれぞれコーティングの片面被着のために設計されている。

【0169】

２つの装置１Ａ，１Ｂは、好ましくは、図６に概略的に示されているように、コーティングを互いに反対側からレンズ２に被着するために備えられるとともに／あるいは互いに反対側に、特に運搬方向Ｆおよび／またはキャリヤ１０の主要平面および／またはレンズ２に対して配置されたスパッタリング源３またはターゲット４を備えている。

【0170】

別のコーティング装置１Ｃ，１Ｄが好ましくは、上述したように設計され、かくして、特に２つのコーティング装置１Ａ，１Ｂに対応してまたはこれらと類似して、さらに特にコーティングを互いに反対側の面に被着させるために設計されている。

【0171】

原理的には、一方において２つのコーティング装置１Ａ，１Ｂおよび他方において２つのコーティング装置１Ｃ，１Ｄはまた、別々の仕方で設計されても良くかつ／あるいは別々のコーティング方法で作動しても良い。

【0172】

設備１００および運搬機器２０は、好ましくは、第１のコーティング、特に両面の基本的なコーティングを被着させた後にレンズ２および／またはレンズ２を備えたキャリヤ１０を受け入れるために、そしてこれらを特に真空下において下流側の別のコーティング装置１Ｃ，１Ｄおよび／またはコーティングラインＢ２～Ｂ６にさらに運搬することができるようにするために移送チャンバ２７を有する。

【0173】

特に、追加のコーティング装置１および／またはコーティングラインＢは、移送チャンバ２７に並列に連結されており、かくして、これらに互いに別個独立にレンズ２および／またはキャリヤ１０を装填することができる。

【0174】

移送チャンバ２７は、好ましくは、割り当てられた真空ポンプ２８によって排気されるのが良くかつ／あるいは特に好ましくは、コーティング装置１Ａおよび／または１Ｂおよび／またはコーティングラインＢ１におけるコーティング後にレンズ２をさらに真空下でまたは負圧下で下流側のまたは次のコーティング装置１および／またはコーティングラインＢ、この場合コーティング装置１ＣまたはコーティングラインＢ２～Ｂ６のうちの１つに運搬することができるようにする。

【0175】

運搬機器２０および／または移送チャンバ２７は、好ましくは、レンズ２を好ましくはそれぞれのキャリヤ１０と一緒に対応して取り扱うとともに／あるいは運搬し、特に横方向に運搬するコンベヤ２９を有する。特に、横方向Ｑ、すなわち他の主要な、特に直線状のまたは直線をなした運搬方向Ｆに対して横のまたは垂直の方向における運搬が設備１００内において可能でありまたは実現される。

【0176】

移送チャンバ２７に連結された第１のコーティングラインＢ１および／またはコーティング装置１Ｂにおける（第１の）コーティングまたは基本的コーティングの被着または仕上げ後に、ロック２６を移送チャンバ２７に対して開き、レンズ２を好ましくはキャリヤ１０と一緒にいそうチャンバ２７中にさらに運搬しまたは移送チャンバ２７に送り出す。

【0177】

すると、コンベヤ２９は、特に、横方向Ｑにおける運搬またはずらしまたは運動および／または移送チャンバ２７に連結されている別のコーティング装置１Ｃおよび／またはコーティングラインＢ２～Ｂ６のうちの１つへの選択的なさらなる運搬を可能にする。

【0178】

別のコーティング装置１Ｃおよび／またはコーティングラインＢ２～Ｂ６は、好ましくは、各々がロック（またはエアロックもしくはスルース）２６を経てかつ／あるいは移送チャンバ２７に平行に連結され、特に、その結果、この場合もまた、レンズ２および／またはキャリヤ１０の運搬が運搬方向Ｆにおいて実施されるようになっており、この運搬方向Ｆは、好ましくは、受け入れステーション２４と移送チャンバ２７との間のかつ／あるいは第１のコーティングラインＢ１内の運搬方向Ｆに平行にまたはこれの延長部をなして延びている。しかしながら、他の構造的解決策もまた可能である。

【0179】

別のコーティング装置１Ｃおよび好ましくはそれぞれこのコーティング装置に連結されているコーティング装置１Ｄにおいて、別のコーティングまたは複数のコーティングが好ましくはこの場合もまた互いに反対側から交互にレンズ２に被着される。

【0180】

別のコーティング装置１Ｃ，１Ｄは、特に、レンズ２の交互の両面コーティングを可能にするとともに／あるいは好ましくは互いに連係される（結合される）とともに／あるいは（別の）コーティングラインＢを形成する。

【0181】

コーティング装置１Ｃ，１Ｄおよび特にさらにこれらに連結されている排出ステーション３０は、好ましくは、移送チャンバ２７からコーティング装置１Ｃ，１Ｄを通って連結状態の排出ステーション３０へのキャリヤ１０の少なくとも本質的に直線をなしたおよび／または直線状の運搬が可能であるように配置されている。しかしながら、他の構造的解決策または方式もまた可能である。

【0182】

好ましくは、いずれの場合においても、ロック２６は、この場合もまた、コーティング装置１Ｃ，１Ｄの前および後および／またはこれらの間に配置される。

【0183】

特に、別のコーティングラインＢ２～Ｂ６は各々、コーティング装置１Ｃおよび次のコーティング装置１Ｄを含みまたはこれらから形成される。

【0184】

特に、ロック２６は、処理ラインＢ２～Ｂ６相互間で、一方において移送チャンバ２７よりに、他方においてそれぞれ割り当てられた排出ステーション３０よりに配置されている。

【0185】

別のコーティング装置１Ｃ，１Ｄおよび／または別のまたは第２のコーティングラインＢ２～Ｂ６内における別のコーティング、特に単一層または多層反射防止膜層および／または１つまたは２つ以上のミラーコーティング層の被着後、レンズには、特に割り当てられたキャリヤ１０と一緒に、さらにそれぞれそれぞれの排出ステーション３０に運搬されまたは排出される。

【0186】

排出ステーション３０では、コーティング済みのレンズ２を運搬機器２５に、例えばコンベヤベルトなどに手動で取り出すかあるいは特に自動化方式で排出することができる。

【0187】

また、排出ステーション３０へのレンズ２のハンドオフ（hand-off）前に、特にいわゆる表面仕上げのためのまたはエンドコーティング（end coating ）を被着させることによるレンズ２の別のまたは最終のコーティングまたは処理を行うことが可能である。これは、例えば、別のまたは第２のまたは最後のコーティングラインＢ２～Ｂ６でおよび／または１つまたは２つ以上の追加のコーティング装置（図７の第２の実施形態の場合においては１Ｅを参照されたい）で実施可能である。

【0188】

その結果、特に、仕上げコーティングされたレンズまたは眼鏡レンズ２を設備１００によって提供することができるとともに／あるいは製作することができる。

【0189】

排出ステーション３０は、好ましくは、ロック２６を経て別のまたは最後のコーティング装置１Ｄおよび／または処理ラインＢ２～Ｂ６および／または好ましくは、設備１００によって、かくして特に受け入れステーション２４の連結と同等な仕方で形成された真空システムに連結される。好ましくは、排出ステーション３０はまた、負圧下にまたは真空下に置かれ、その目的は、ロック２６の開放中、コーティング装置１Ｄの少なくとも過度のエアレーションおよび／またはコーティング装置１Ｄ内におけるガス圧力の増加を阻止することにある。

【0190】

特に好ましくは、連係されまたは連結された真空システムが設備１００によって形成され、この真空システムは、複数のまたは全てのコーティング装置１および／またはコーティングチャンバ７、必要ならば、ロック２６、好ましくは少なくとも１つの移送チャンバ２７およびオプションとして受け入れステーション２４および／または排出ステーション３０を含む。

【0191】

好ましくは、このようにして連続型真空システムが形成され、かかる真空システムを通って、コーティングされるべきレンズ２および／またはレンズ２を備えたキャリヤ１０が運搬される。

【0192】

好ましくは、設備１００またはその真空システムは、作動中、たとえ真空がオプションとしてばらつきを生じる場合であっても、一般に真空状態にまたは真空下に保たれる。例えば、コーティング装置１、少なくともスパッタリングのためのコーティング装置１は、コーティングのために高い真空下に、かくして特にロック２６が閉鎖された状態で配置される。設備１００および／または真空システムの他の部分、例えば移送チャンバ２７、受け入れステーション２４および／または排出ステーション３０および／または他のコンポーネントまたは連結部は、好ましくは、低真空状態に、かくして例えば低真空または中程度の真空（だけ）に配置されまたは排気される。

【0193】

特に好ましくは、進行中の作動の間、および特にさらにレンズ２および／またはキャリヤ１０を少なくとも真空システムの幾つかの、複数の、または特に全てのコーティング装置１内で交換する場合、かくして、特にさらにロック２６が開かれているとき、特定の最小限の真空、特に低真空または中程度の真空が維持されまたは保たれる。これは、特に、効率的なコーティングおよび／またはプロセスシーケンスまたは作動にとって好都合である。

【0194】

好ましくは、設備１００は、モジュール設計のものであり、その結果、別々のコーティング装置１を設備１００内においてかつ／あるいは真空システム内において、特に真空下で働く別々のコーティング方法とも組み合わせることができるようになっている。

【0195】

特に好ましくは、コーティングは、気相蒸着、特に化学気相蒸着（ＣＶＤまたは蒸気相蒸着と呼ばれる）および／または物理的気相蒸着、すなわち物理的コーティング方法、例えばＰＶＤ、熱蒸発法、スパッタリングおよび／またはその他によって実施される。

【0196】

提案対象の設備１００および／または提案対象の方法は、特にこの場合、コーティング装置１Ａ，１Ｂおよび／または第１のコーティングラインＢ１による第１のコーティングとしてのレンズ２への基本的コーティングの被着を可能にする。このコーティングの被着は、比較的短い時間にわたって続く。

【0197】

後において、別のコーティング装置１Ｃ，１Ｄおよび／または別の／第２のコーティングラインＢ２～Ｂ６において、好ましくは別のコーティングを次に被着させる。この場合、レンズ２は必要ならばこれまた複数回にわたってそれぞれ２つのコーティング装置１Ｃ，１Ｄ相互間で交換することができるとともに／あるいは別々のガスおよび／またはターゲットをコーティング中に用いることができる。したがって、例えば反射防止膜のためおよび／または複数の反射防止層および／またはミラーコーティングを被着させるための層パッケージの構成中におけるこの第２のコーティングは、第１のコーティングまたは基本的コーティングの被着よりも著しく長時間にわたって続く。

【0198】

したがって、設備１００の良好なスループットに関し、好ましくは本質的に、第１のコーティングラインＢ１よりも多くの、特に２倍を超えるほど多くの別のまたは第２のコーティングラインＢ２～Ｂ６が設けられる。

【0199】

特に、設備１００および／または運搬機器２０および／またはコンベヤ２９は、それぞれ、特に好ましくは利用可能性、技術的形態、および／またはそれぞれの要件に応じて、（さらに）コーティングされるべきレンズ２を別のまたは第２のコーティングラインＢ２～Ｂ６のうちの１つに選択的に送りまたは運搬することができる。

【0200】

以下、図７に基づき、提案対象の設備１００および提案対象の方法の第２の実施形態について詳細に説明するが、この場合、特に、第１の実施形態と比較した場合の主要な差異が強調されており、特に、第１の実施形態およびさらにコーティング装置１の全体として好ましい設計に関する上述の記載および説明は、対応関係をなしてまたは補完的に当てはまる。

【0201】

第２の実施形態では、各々が互いに反対側からのレンズ２のコーティングを可能にするとともに／あるいはコーティングラインＢを形成するコーティング装置１Ａおよび１Ｂおよび／または１Ｃおよび１Ｄは、構造的ユニットとして１対ずつ具体化できるとともに／あるいは共通のハウジングを備えることができる。

【0202】

第２の実施形態では、設備１００は、好ましくは、２つまたは３つ以上の第１の処理ラインＢ１を含み、これら第１の処理ラインＢ１には、好ましくは、互いに別個独立に、コーティングされるべきレンズ２を提供しまたは装填することができ、特に、対応の別々の受け入れステーション２４を介してコーティングされるべきレンズ２およびそれぞれのキャリヤ１０を提供しまたは装填することができる。

【0203】

コーティングラインＢ１は、好ましくは、特にコーティング済みのレンズ２を次に選択的に第２のまたは別のコーティングラインＢ２～Ｂ５のうちの１つにさらに選択的に運搬することができるようにするよう下流側の移送チャンバ２７に並列に連結される。

【0204】

好ましくは、追加の移送チャンバ３１が第２のコーティングラインＢ２～Ｂ５に連結され、この追加の移送チャンバは、好ましくは、移送チャンバ２７として設計されるとともに／あるいは特に１つまたは２つ以上の追加の装置、特にコーティング装置１Ｅへのコーティング済みレンズ２の選択的なさらなる運搬の際に用いられる。

【0205】

好ましくは、コーティングラインＢ２～Ｂ５は各々、ロック（またはエアロックまたはスルース）２６を介して上流側の移送チャンバ２７および／または下流側の移送チャンバ３１に連結される。

【0206】

一般に、注目できることとして、好ましくは全てのロック２６が個々に閉じられるのが良く、その目的は、コーティング装置１の個々の空間および特にコーティングチャンバ７を必要に応じて分離するとともにさらにこれらをそれぞれのコーティングのために真空下に、好ましくは高真空下に配置することにあり、このコーティングは、特にいわゆる気相蒸着によって、特に好ましくはスパッタリングによって実施される。

【0207】

２つの移送チャンバ２７，３１は、オプションとして図７に点線で示されているように１つまたは２つの運搬連結部３２によって互いに連結され、それにより、特に、後方運搬および／または円形運搬および／または第２のコーティングラインＢ２～Ｂ５のバイパスを可能にする。運搬連結部３２はまた、好ましくは、移送チャンバ２７，３１のように排気可能であり、特に、対応のガス密状態でこれら移送チャンバに連結され、そして設備１００の提案対象の真空システムの一部をなしている。

【0208】

オプションとしての運搬連結部３２は、好ましくは、レンズ２の通常の運搬方向Ｆに平行な、選択的にさらに逆方向への追加の運搬を可能にする。

【0209】

運搬連結部３２は、好ましくは、対応のコンベヤ２９（図示せず）を備える。

【0210】

特に、少なくとも１つの運搬連結部３２によって、レンズ２および／またはレンズ２を備えたキャリヤ１０を別のコーティングラインＢ２～Ｂ５のうちの１つの通過後、移送チャンバ３１および運搬連結部３２を介して移送チャンバ２７に再び送り戻すことが可能であり、その目的は、レンズ２および／またはレンズ２が次に選択的に再び同一のコーティングラインＢ２～Ｂ５または別のコーティングラインＢ２～Ｂ５を通過するようにすることにある。

【0211】

代替的にまたは追加的に、レンズ２および／またはキャリヤ１０はまた、原理的には、必要ならば、好ましくは直接的に交換可能であり、または個々のコーティング装置、この場合、特にコーティング装置１Ｃ，１Ｄ相互間で１つのまたは各コーティングラインＢ、特に好ましくは別のコーティングラインＢ２～Ｂ５で前後に移動可能であり、その目的は、複数の層を被着する際に特に最適なシーケンスを可能にすることにある。

【0212】

注目されるべきこととして、第２のまたは別のコーティングラインＢ２～Ｂ５における第２のコーティングは、多くの場合、約１０またはそれ以上の層の被着を含み、その結果、このコーティングは多くの場合、第１のコーティングまたは基本的なコーティングの被着よりも２倍または３倍を超えて長く続くようになっている。したがって、この場合、第１のコーティングラインＢ１よりも好ましくはさらに対応してより多くの第２のコーティングラインＢ２～Ｂ５が提供される。

【0213】

運搬機器２０および／または移送チャンバ２７はまた、オプションとして、第１のコーティングまたは基本的コーティングが被着された後かつ／あるいは第１のコーティングラインＢ１を出た後にレンズ２および／またはレンズ２を備えたキャリヤ１０の中間貯蔵を可能にするよう設計されている。この目的のため、特に、移送チャンバ２７またはそのコンベヤ２９は、例えば追加の運搬要素を利用可能にすることによってかつ／あるいは次に好ましくは真空システム中に一体化される貯蔵空間、貯蔵領域、および／またはマガジンを利用可能にすることによって、複数のレンズ２またはキャリヤ１０を受け入れるためにそれに応じて設計されるのが良い。

【0214】

上述の中間貯蔵に関し、変形例としてまたは補完的な仕方で、追加の移送チャンバ３１が運搬連結部３２を介して使用できるとともに／あるいは特に好ましくはレンズ２および／またはレンズ２を備えたキャリヤ１０の上述のリング状運搬または円形運搬を移送チャンバ２７，３１または類似の形態と組み合わせて追加の運搬連結部３２によって使用できる。

【0215】

設備１００は、好ましくは、レンズ２の次のおよび／または下流側の表面処理および／または表面コーティングのための１つまたは２つ以上の追加のコーティング装置１Ｅを含む。

【0216】

特に２つまたは３つ以上の追加のコーティング装置１Ｅが図７に示されているように、特に好ましくはいずれの場合においてもロック２６を経て追加の移送チャンバ３１に並列に連結されまたは変形例として移送チャンバ２７に連結されている。かくして、追加のコーティング装置１Ｅによって、レンズ２の追加の表面処理および／またはコーティング、特に上述の表面処理および／または保護層の被着が可能である。

【0217】

移送チャンバ３１は、オプションとして１つまたは２つ以上の追加のコーティング装置１Ｅへのさらなる運搬のためにレンズ２および／またはレンズ２を備えたキャリヤ１０の中間貯蔵部として使用されるのが良い。代替例としてまたは追加例として、対応の中間貯蔵もまた、２つの運搬連結部３２を介する２つの移送チャンバ２７，３１の結合の際に上述の円形運搬またはリング状運搬によって実施できる。

【0218】

一般的に言って、注目されるべきこととして、中間貯蔵はまた既に、特に運搬連結部３２が移送チャンバ２７から移送チャンバ３１中へのレンズ２および／またはキャリヤ１０の任意所望の交換ならびにこの逆の関係を可能にする場合、単一の運搬連結部３２を介する２つの移送チャンバ２７，３１の結合により既に達成可能でありまたは改良可能である。

【0219】

最後に、この場合に好ましくは追加の装置１Ｅから直接到来した仕上げコーティング済みまたは処理済みのレンズ２は、特にそれぞれ別個の排出ステーション３０にハンドオフされる。

【0220】

第２の実施形態では、運搬システム２５およびコンベヤベルトなどもまた、受け入れステーション２４および／または排出ステーション３０を通って案内できることが模式的に示されている。

【0221】

一般に、注目されるべきこととして、コーティング装置１は、原理的には、少なくとも本質的に同一に、しかしながら、必要ならば、互いに異なって構造化できるとともに／あるいは装備できる。例えば、特に異なって構造化されまたは異なる仕方で作動するコーティング装置１もまた別々のコーティングラインＢのために使用できる。

【0222】

特に好ましくは、コーティング装置１Ａ～１Ｄおよび／またはコーティングラインＢでのレンズ２のコーティングは、一例としてコーティング装置１に関して特に図１～図３に基づいて上述したスパッタリング、特にマグネトロンスパッタリングによって実施される。設備１００のコーティング装置１Ａ～１Ｄは、特にこの好ましい仕方で構造化されている。しかしながら、互いに異なって構造化されたコーティング装置もまた使用できるとともに／あるいは組み合わせることができる。

【0223】

追加のコーティング装置１Ｅは、レンズ２を好ましくはスパッタリングまたはカソードスパッタリングによってではなく、これとは異なり、特に熱蒸発法、ＣＶＤ、ＰＶＤなどでコーティングする。

【0224】

オプションとして、追加のコーティング装置１Ｅはまた、別のコーティングラインＢ２～Ｂ５中にかつ／あるいは別のコーティング装置１Ｃ，１Ｄのうちの一方に組み込むことができる。この場合、必要ならば、追加の移送チャンバ３１を省くことができる。このことは、もしそうではない場合に必要な数の排出ステーション３０の考えられる減少に対して追加の移送チャンバ３１が有用である場合であってもあるいはこれにもかかわらず追加の移送チャンバ３１が用いられる場合であってもそうである。

【0225】

本発明、提案対象の設備１００および提案対象の方法は、特に好ましくは、気相蒸着、特にスパッタリング、特に好ましくはマグネトロンスパッタリングによる真空中でのレンズ２のコーティングに関する。好ましくは、少なくとも２，３の層、特に第１の層および／または第２の層は、提案対象の設備１００および／または提案対象の方法によりレンズ２上に気相蒸着、特にスパッタリング、特に好ましくはマグネトロンスパッタリングによって被着される。

【0226】

レンズまたは眼鏡レンズ２は、好ましくは、被覆される湾曲したまたはドーム状の、特に凹状または凸状の表面または平坦な面を有する。本発明および／または提案対象の設備１００および提案対象の方法は、特に、レンズまたは眼鏡レンズ２のかかる湾曲したまたはドーム状の表面のコーティングのみに関する。この場合、特に、それぞれの層の最も高い精度および特に一様な形成が重要である。

【0227】

特に好ましくは、受け入れステーション２４で始まって排出ステーション３０へのコーティング済みレンズ２のハンドオフまで、レンズ２は、たとえ真空が特に作動中、ロック２６の開閉によってかつ／あるいは設備１００のそれぞれの領域に応じて空間的に変化する場合があっても、例えば、真空がコーティング装置１および／またはロック２６および／または移送チャンバ２７，３１および／または追加の装置１Ｅ内で互いに異なっている場合があり、かつ／あるいは別々のガスを追加しまたは局所的に用いることができる場合であっても、真空または真空システム内に連続的に保持される。

【0228】

コーティング中またはコーティングのため、単一のまたは複数のコーティング装置１、特に少なくともコーティング装置１Ａ，１Ｂおよび／または第１のコーティングラインＢ１および／またはコーティング装置１Ｃ，１Ｄおよび／または第２のコーティングラインＢ２～Ｂ５および／またはこれらのコーティングチャンバ７は、好ましくは、０．１Ｐａ未満の圧力まで排気されまたは高い真空をこの中に加えまたはこの中に生じさせる。同じことは、好ましくは、追加のコーティング装置１Ｅにも当てはまる。しかしながら、要件に応じて、追加のコーティング装置１Ｅは、該当する場合には、幾分高い圧力で、あるいは「低い」真空中で、かくして例えば中程度の真空内でも作動することができる。

【0229】

設備１００の残部内のかつ／あるいは移送チャンバ２７および／または３１内のかつ／あるいは追加の運搬連結部３２内のかつ／あるいは受け入れステーション２４および／または排出ステーション３０内の圧力は、好ましくは、コーティング装置１内の圧力よりも幾分高くかつ／あるいは特に１，０００Ｐａ未満かつ／あるいは０．１Ｐａを超える。特に、かくして、真空もまた、特に低真空または中程度の真空がこれらの中に加えまたは生じる。

【0230】

提案対象の設備１００および提案対象の方法ならびに提案対象のキャリヤ１０は特に、小さな群をなすレンズ２、特にそれぞれ２つまたは４つのレンズ２の個々のまたは適合したコーティングを可能にし、この場合、良好な高いスループットが別々のコーティングラインＢおよび／またはコーティング装置１への選択的な分配によって可能になる。

【0231】

特に、レンズ２は、バッチ操作で、かくして連続方法によってではない仕方でまたは非連続的にコーティングされ、この場合、コーティングは、特にレンズ２の小さな群で、好ましくは個々の対をなしまたは複数の対をなすレンズ２の群の状態でのみ実施され、しかしながら、必要ならば個々のレンズの群または任意の数のレンズ２、特に好ましくは１０個未満のレンズ２の群の状態でも実施される。

【0232】

提案対象の設備１００および／または提案対象の方法は、好ましくは、１つまたは２つ以上の反射防止層の被着のために用いられる。

【0233】

提案対象の解決策によれば、特に反応性コーティングもまた実施され、この場合、作業ガス（貴ガス）、特にアルゴンへの反応性ガス、例えば、窒素、水素、および／または酸素の対応の供給によって、ターゲット材料は、これと反応することができ、そしてレンズ２上に所望のコーティングを形成することができる。

【0234】

設備１００の運搬機器２０は好ましくは、分散されたかつ／あるいは分布された運搬駆動装置２１、移送チャンバ２７，３１、および／またはコンベヤ２９を有する。

【0235】

運搬駆動装置２１は、キャリヤ１０の所望の運搬を可能にするために、特にコーティング装置１、コーティングチャンバ７、コーティングラインＢ、ロック２６、移送チャンバ２７，３１、コンベヤ２９、受け入れステーション２４、および／または排出ステーション３０内にまたはこれらのところに配置される。

【0236】

一般に、注目されるべきこととして、第２のコーティングまたは反射防止膜が好ましくは誘電体の単一の層または多層スタックで作られまたは構成される。特に、高い屈折率を有する層および低い屈折率を有する層から成る多層コーティングが提供される。層スタックの個々の層の材料は、少なくとも可視スペクトル範囲では透明である通常は、セラミック材料である。特に、この目的のため、種々の酸化物または混合酸化物が用いられる。これらの層の厚さは、一般に、１０～１００ｎｍである。反射防止層スタックの全厚は、一般に、１００～１，０００ｎｍである。

【0237】

一設備および／または一真空システム内の眼鏡レンズコーティングに必要な好ましい真空システムおよび／または全てのプロセスステップの好ましい連係の結果として、特に、大気中における個々のステップまたは中間ステップが実施されることはない。このように、特に効率的なプロセスの実施が可能であり、しかしながら、特に、望ましくない汚れなどもまた回避できる。

【0238】

互いに異なる実施形態および変形例の個々の観点および特徴はまた、所望ならば互いに組み合わせることができるが、互いに別個独立に実施することも可能である。

【符号の説明】

【0239】

１ コーティング装置
２ 眼鏡レンズ／レンズ
３ スパッタリング源
４ ターゲット
５ 磁石構造体
６ 電圧源
７ コーティングチャンバ
８ 機器／真空ポンプ
９ ガス供給源
１０ キャリヤ
１０Ａ キャリヤの部分
１１ 回転駆動装置
１２ 回転カップリング
１３ 保持要素
１４ リング要素
１５ ベース要素
１６ 開口部
１７ フレーム
１８ 案内要素
１８Ａ アーム
１９ 歯付きラック
２０ 運搬機器
２１ 運搬駆動装置
２２ レール
２３ ターゲット駆動装置
２４ 受け入れステーション
２５ 運搬システム
２６ ロック
２７ 移送チャンバ
２８ 真空ポンプ
２９ コンベヤ
３０ 排出ステーション
３１ 追加の移送チャンバ
３２ 運搬連結部
１００ 設備
Ａ レンズの回転軸線
Ｂ コーティングライン
Ｄ ターゲットの回転軸線
Ｆ 運搬方向
Ｈ 主要方向
Ｌ ターゲットの長手方向広がり
Ｍ 中央平面
Ｑ 横方向
Ｓ スパッタリングクラウド
Ｖ レンズ軸線とターゲット軸線との間の距離
Ｗ 角度
Ｚ レンズとターゲットとの間の距離

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】