(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-10-28
(45)【発行日】2024-11-06
(54)【発明の名称】プローブヘッド
(51)【国際特許分類】
G01R 1/073 20060101AFI20241029BHJP
【ＦＩ】
G01R1/073 D
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2020050842
(22)【出願日】2020-03-23
(65)【公開番号】P2021148699
(43)【公開日】2021-09-27
【審査請求日】2023-03-01
(73)【特許権者】
【識別番号】000006758
【氏名又は名称】株式会社ヨコオ
(74)【代理人】
【識別番号】100110928
【弁理士】
【氏名又は名称】速水 進治
(74)【代理人】
【識別番号】100127236
【弁理士】
【氏名又は名称】天城 聡
(72)【発明者】
【氏名】軣木 岳史
【審査官】島田 保
(56)【参考文献】
【文献】特開２００９－２０４６１９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－０３９４９６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００２－１５６４１５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０３－１８３９７０（ＪＰ，Ａ）
【文献】実開昭６０－１７８５５０（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開平８－１６７５２６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１０－３１１７４６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－１２０５２０（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０１Ｒ １／０７３
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
プローブと、前記プローブを基板の所定位置に案内し一部分が前記基板のガイド穴に挿入されるガイドピンと、
を備え、
前記ガイドピンは、外側壁の直径が前記ガイドピンの一端側から他端側に向かうにつれて広がるテーパ部と、前記テーパ部の前記一端側から前記他端側とは反対側の方向に突出した、少なくとも一部分が円柱形状である案内部と、を有し、
前記テーパ部の前記直径の最小値が、前記ガイド穴の直径より小さく、
前記テーパ部の前記直径の最大値が、前記ガイド穴の直径より大きく、
前記プローブが前記ガイドピンによって前記所定位置に案内された状態において、前記テーパ部の前記ガイドピンの前記一端側の一部分と前記案内部とが前記ガイド穴に対して挿入され、前記テーパ部の前記ガイドピンの前記他端側のその他の部分が前記ガイド穴に対して挿入されず、前記ガイド穴の中心軸と前記ガイドピンの中心軸とが重なる、プローブヘッド。
【請求項2】
前記基板が前記ガイドピンの前記一端側に位置する、請求項１に記載のプローブヘッド。
【請求項3】
前記案内部の直径は、前記ガイド穴の直径より小さい、請求項１又は２に記載のプローブヘッド。
【請求項4】
前記ガイドピンが挿入される取付孔を有するソケットをさらに備え、前記取付孔の一部分の直径は、前記取付孔の他の部分の直径より広くなっており、
前記ガイドピンの一部分は、前記取付孔の前記一部分内に位置しており、前記取付孔の前記他の部分の直径より大きい直径を有する、請求項１～３のいずれか一項に記載のプローブヘッド。
【請求項5】
前記プローブが前記基板から前記他端側に離間した位置において、前記テーパ部の前記ガイドピンの前記一端側の一部分と前記案内部とが前記ガイド穴に対して挿入され、前記テーパ部の前記ガイドピンの前記他端側のその他の部分が前記ガイド穴に対して挿入されず、前記テーパ部が前記ガイド穴にはめ込まれ、前記ガイド穴の中心軸と前記ガイドピンの中心軸とが重なった状態となり、
前記ガイドピンは、前記テーパ部が前記ガイド穴にはめ込まれて前記ガイド穴の中心軸と前記ガイドピンの中心軸とが重なった状態で前記プローブを前記所定位置に案内する、請求項１～４のいずれか一項に記載のプローブヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、プローブヘッドに関する。
【背景技術】
【0002】
半導体デバイス等の基板を検査装置によって検査するため、例えば特許文献１に記載されているように、被検査装置と検査装置とを電気的に接続するためのプローブヘッドが用いられることがある。プローブヘッドは、ガイドピンを備えている。ガイドピンは、配線基板等、検査装置の基板に形成されたガイド穴に挿入される。これによって、プローブヘッドが検査装置の基板に対して位置決めされる。プローブヘッドが検査装置の基板に対して位置決めされることで、プローブヘッドのプローブが検査装置の基板のパッドに接触することができるようになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２００６－２５０９０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
検査装置の基板のガイド穴の直径には、公差によるばらつきが生じ得る。例えば特許文献１のガイドピンのようにガイドピンの外側壁の直径が一定であるとき、ガイドピンがガイド穴に挿入されても、プローブが基板のパッドに接触する位置からプローブヘッドがずれて配置される場合がある。この場合、プローブが基板のパッドに接触せず、検査装置が正確な検査を行えない可能性がある。
【0005】
本発明の目的の一例は、基板のガイド穴の公差の影響を抑制してプローブを基板のパッドに接触させることにある。本発明の他の目的は、本明細書の記載から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一態様は、
ガイドピンを備え、
前記ガイドピンは、外側壁の直径が前記ガイドピンの一端側から他端側に向かうにつれて広がるテーパ部を有する、プローブヘッドである。
ガイドピンを備え、
前記ガイドピンは、外側壁の直径が前記ガイドピンの一端側から他端側に向かうにつれて広がるテーパ部を有する、プローブヘッドである。
【発明の効果】
【0007】
上記態様によれば、テーパ部のうち基板のガイド穴の直径と略等しい直径及びガイド穴の直径より小さい直径を有する部分を基板のガイド穴の開口にはめ込むことができる。したがって、基板のガイド穴の公差の影響を抑制してプローブを基板のパッドに接触させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】実施形態１に係るプローブヘッドを示す図である。
【図2】実施形態１に係るプローブヘッドのプローブを基板のパッドに接触させる方法を説明するための図である。
【図3】実施形態１に係るプローブヘッドのプローブを基板のパッドに接触させる方法を説明するための図である。
【図4】実施形態２に係るプローブヘッドを示す図である。
【図5】実施形態２に係るプローブヘッドのプローブを基板のパッドに接触させる方法を説明するための図である。
【図6】実施形態３に係るプローブヘッドを示す図である。
【図7】実施形態３に係るプローブヘッドのプローブを基板のパッドに接触させる方法を説明するための図である。
【図8】実施形態３に係るプローブヘッドのプローブを基板のパッドに接触させる方法を説明するための図である。
【図9】変形例１に係るプローブヘッドを示す図である。
【図10】変形例２に係るガイドピンの側面図である。
【図11】変形例３に係るガイドピンの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【0010】
（実施形態１）
図１は、実施形態１に係るプローブヘッド１０Ａを示す図である。図１内において、後述する基板２０については、後述するガイド穴２２の中心を基板２０の厚さ方向に沿って通過する断面が示されている。また、後述するソケット２００については、後述する第１取付孔２１２及び第２取付孔２２２をソケット２００の厚さ方向に沿って通過する断面が示されている。また、後述するガイドピン１００及びプローブ３００については、側面が示されている。
図１は、実施形態１に係るプローブヘッド１０Ａを示す図である。図１内において、後述する基板２０については、後述するガイド穴２２の中心を基板２０の厚さ方向に沿って通過する断面が示されている。また、後述するソケット２００については、後述する第１取付孔２１２及び第２取付孔２２２をソケット２００の厚さ方向に沿って通過する断面が示されている。また、後述するガイドピン１００及びプローブ３００については、側面が示されている。
【0011】
【0012】
プローブヘッド１０Ａは、ガイドピン１００、ソケット２００及びプローブ３００を備えている。ガイドピン１００は、第１案内部１１０及び第２案内部１２０を有している。ソケット２００は、ピンブロック２１０及びピンプレート２２０を有している。
【0013】
ピンブロック２１０及びピンプレート２２０は、プローブヘッド１０Ａの上方から下方に向けてこの順に重なっている。プローブ３００は、プローブヘッド１０Ａの上下方向に沿ってソケット２００に挿入されている。
【0014】
プローブヘッド１０Ａの使用に際しては、プローブヘッド１０Ａの上方には、後述する基板２０を有する検査装置によって検査される半導体デバイス等の不図示の被検査装置の基板が配置される。一方、プローブヘッド１０Ａの下方には、検査装置の基板２０が配置される。基板２０は、例えば、ＰＣＢ（Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｂｏａｒｄ）である。基板２０には、ガイド穴２２が形成されている。基板２０は、基板２０の上面側に位置するパッド２０ａを有している。ガイドピン１００の下端側は、基板２０が位置する側となっている。被検査装置の基板と、検査装置の基板２０と、は、プローブ３００を介して電気的に接続される。
【0015】
第１案内部１１０は、ピンブロック２１０に形成された第１取付孔２１２と、ピンプレート２２０に形成された第２取付孔２２２と、に挿入されている。第１取付孔２１２は、第１孔部２１２ａ及び第２孔部２１２ｂを有している。第１孔部２１２ａ及び第２孔部２１２ｂは、プローブヘッド１０Ａの上方から下方に向けてこの順に並んでいる。第１孔部２１２ａの直径は、第１案内部１１０の外側壁に取り付けられたフランジ１１２の外縁の直径より小さくなっている。第２孔部２１２ｂの直径は、第１孔部２１２ａの直径及び第２取付孔２２２の直径の各々より大きくなっており、第１案内部１１０のフランジ１１２の外縁の直径以上となっている。さらに、ガイドピン１００の一部分、具体的にはフランジ１１２は、第１取付孔２１２及び第２取付孔２２２の一部分内、具体的には第２孔部２１２ｂ内に位置しており、第１取付孔２１２及び第２取付孔２２２の他の部分の直径、具体的には第１孔部２１２ａの直径及び第２取付孔２２２の直径の各々より大きい直径を有している。したがって、第１案内部１１０のフランジ１１２は、プローブヘッド１０Ａの上下方向に沿って第２孔部２１２ｂ内に限って移動可能になっている。
【0016】
第２案内部１２０は、第１案内部１１０の下端から下方にむけて突出している。第２案内部１２０の直径は、第１案内部１１０の直径より小さくなっている。また、第２案内部１２０の直径は、基板２０のガイド穴２２の直径よりも小さくなっている。本実施形態では、第２案内部１２０は、円柱形状を有している。この場合、第２案内部１２０が円錐形状を有する場合と比較して、第２案内部１２０が基板２０のガイド穴２２に挿入されたときガイドピン１００が倒れにくくなる。しかしながら、第２案内部１２０は、円柱形状と異なる形状、例えば、円錐形状を有していてもよい。
【0017】
ガイドピン１００の少なくとも一部分の外側壁の直径は、ガイドピン１００の一端側から他端側に向かうにつれて広がっている。具体的には、ガイドピン１００の外側壁には、第１テーパ部１３２及び第２テーパ部１３４が設けられている。なお、ガイドピン１００に第２テーパ部１３４が設けられていなくてもよい。
【0018】
第１テーパ部１３２は、第１案内部１１０と第２案内部１２０との間に設けられている。第１テーパ部１３２におけるガイドピン１００の外側壁は、ガイドピン１００の下端側から上端側に向かうにつれて略線型に広がっている。しかしながら、第１テーパ部１３２におけるガイドピン１００の外側壁は、湾曲しながら広がっていてもよい。
【0019】
第１テーパ部１３２が設けられていることによって、第１テーパ部１３２のうちガイド穴２２の直径と略等しい直径及びガイド穴２２の直径より小さい直径を有する部分を基板２０のガイド穴２２の開口にはめ込むことができる。したがって、基板２０のガイド穴２２の公差の影響を抑制してプローブ３００を基板２０のパッド２０ａに接触させることができる。具体的には、第１テーパ部１３２におけるガイドピン１００の外側壁の直径の最小値は、基板２０のガイド穴２２の直径より小さくなっている。本実施形態では、第１テーパ部１３２におけるガイドピン１００の外側壁の直径は、第１テーパ部１３２の最下端において最小値をとる。これに対して、第１テーパ部１３２におけるガイドピン１００の外側壁の直径の最大値は、基板２０のガイド穴２２の直径より大きくなっている。本実施形態では、第１テーパ部１３２におけるガイドピン１００の外側壁の直径は、第１テーパ部１３２の最上端において最大値をとる。したがって、第１テーパ部１３２のいずれかの部分が、ガイド穴２２の直径と略等しくなるようにすることができる。
【0020】
第２テーパ部１３４は、第１案内部１１０の上端側に設けられている。第２テーパ部１３４におけるガイドピン１００の外側壁は、ガイドピン１００の上端側から下端側に向かうにつれて略線型に広がっている。しかしながら、第２テーパ部１３４におけるガイドピン１００の外側壁は、湾曲しながら広がっていてもよい。
【0021】
第２テーパ部１３４が設けられていることで、ガイドピン１００の上端側から第１案内部１１０をソケット２００の第１取付孔２１２に通すとき、ガイドピン１００がソケット２００の第１取付孔２１２に挿入されるように、第２テーパ部１３４によってソケット２００を案内することができる。
【0022】
次に、図１～図３を用いて、プローブヘッド１０Ａのプローブ３００を基板２０のパッド２０ａに接触させる方法を説明する。図２及び図３は、実施形態１に係るプローブヘッド１０Ａのプローブ３００を基板２０のパッド２０ａに接触させる方法を説明するための図である。また、図２及び図３は、この方法における図１の後段を示している。
【0023】
まず、図１に示すように、基板２０の上方にプローブヘッド１０Ａを配置する。この時点において、プローブヘッド１０Ａの上下方向において、ガイドピン１００の少なくとも一部分が基板２０のガイド穴２２と重なるようにする。
【0024】
次いで、図２に示すように、ガイドピン１００の下端側からガイドピン１００の第２案内部１２０を基板２０のガイド穴２２に挿入する。本実施形態では、第１テーパ部１３２におけるガイドピン１００の外側壁の直径の最小値が基板２０のガイド穴２２の直径より小さく、かつ第１テーパ部１３２におけるガイドピン１００の外側壁の直径の最大値が基板２０のガイド穴２２の直径より大きくなっている。このため、ガイドピン１００の第１テーパ部１３２は、第１テーパ部１３２が基板２０のガイド穴２２にはめ込まれるまで、基板２０のガイド穴２２の開口縁に対して滑らせることができる。これによって、ガイドピン１００を、ガイド穴２２の適切な位置、すなわち、プローブ３００の下端の直下に基板２０のパッド２０ａが位置する位置に合わせることができる。具体的には、ガイドピン１００の中心をガイド穴２２の中心に合わせることができる。この場合、基板２０のガイド穴２２の直径が公差によってばらついても、第１テーパ部１３２によって、プローブヘッド１０Ａを適切な位置に案内することができる。
【0025】
次いで、図３に示すように、ソケット２００を基板２０に向けて押し込む。これにより、プローブ３００の下端が基板２０のパッド２０ａに接触する。
【0026】
（実施形態２）
図４は、実施形態２に係るプローブヘッド１０Ｂを示す図である。実施形態２に係るプローブヘッド１０Ｂは、以下の点を除いて、実施形態１に係るプローブヘッド１０Ａと同様である。
図４は、実施形態２に係るプローブヘッド１０Ｂを示す図である。実施形態２に係るプローブヘッド１０Ｂは、以下の点を除いて、実施形態１に係るプローブヘッド１０Ａと同様である。
【0027】
ガイドピン１００は、ソケット２００から取り外し可能になっている。また、ガイドピン１００の第１案内部１１０は、ガイドピン１００の上端側からソケット２００の第２取付孔２２２及び第１取付孔２１２に通すことが可能になっている。
【0028】
図４及び図５を用いて、プローブヘッド１０Ｂのプローブ３００を基板２０のパッド２０ａに接触させる方法を説明する。図５は、実施形態２に係るプローブヘッド１０Ｂのプローブ３００を基板２０のパッド２０ａに接触させる方法を説明するための図である。また、図５は、この方法における図４の後段を示している。
【0029】
まず、図４に示すように、ガイドピン１００がソケット２００から取り外された状態で、ガイドピン１００の第２案内部１２０を基板２０のガイド穴２２に挿入する。本実施形態においても、第１テーパ部１３２におけるガイドピン１００の外側壁の直径の最小値が基板２０のガイド穴２２の直径より小さく、かつ第１テーパ部１３２におけるガイドピン１００の外側壁の直径の最大値が基板２０のガイド穴２２の直径より大きくなっている。このため、ガイドピン１００の第１テーパ部１３２は、第１テーパ部１３２が基板２０のガイド穴２２にはめ込まれるまで、基板２０のガイド穴２２の開口縁に対して滑らせることができる。これによって、ガイドピン１００を、ガイド穴２２の適切な位置、すなわち、後述する図５に示すようにソケット２００がガイドピン１００に取り付けられたときにプローブ３００の下端の直下に基板２０のパッド２０ａが位置する位置に合わせることができる。
【0030】
次いで、図５に示すように、ガイドピン１００の上端側から、ガイドピン１００の第１案内部１１０をソケット２００の第２取付孔２２２及び第１取付孔２１２に通す。この場合、ガイドピン１００がソケット２００の第２取付孔２２２及び第１取付孔２１２に挿入されるように、第２テーパ部１３４によって、ソケット２００を案内することができる。さらに、ソケット２００を基板２０に向けて押し込む。図４を用いて説明したように、本実施形態では、ガイドピン１００は、ガイド穴２２の適切な位置、すなわち、ソケット２００がガイドピン１００に取り付けられたときにプローブ３００の下端の直下に基板２０のパッド２０ａが位置する位置に合わせることができる。したがって、基板２０のガイド穴２２の公差の影響を抑制してプローブ３００の下端を基板２０のパッド２０ａに接触させることができる。
【0031】
（実施形態３）
図６は、実施形態３に係るプローブヘッド１０Ｃを示す図である。実施形態３に係るプローブヘッド１０Ｃは、以下の点を除いて、実施形態１に係るプローブヘッド１０Ａと同様である。
図６は、実施形態３に係るプローブヘッド１０Ｃを示す図である。実施形態３に係るプローブヘッド１０Ｃは、以下の点を除いて、実施形態１に係るプローブヘッド１０Ａと同様である。
【0032】
【0033】
図６～図８を用いて、プローブヘッド１０Ｃのプローブ３００を基板２０のパッド２０ａに接触させる方法を説明する。図７及び図８は、実施形態３に係るプローブヘッド１０Ｃのプローブ３００を基板２０のパッド２０ａに接触させる方法を説明するための図である。また、図７及び図８は、この方法における図６の後段を示している。
【0034】
まず、図６に示すように、基板２０の上方にプローブヘッド１０Ｃを配置する。この時点において、プローブヘッド１０Ｃの上下方向において、ガイドピン１００の少なくとも一部分が基板２０のガイド穴２２と重なるようにする。
【0035】
次いで、図７に示すように、第２案内部１２０の下端側からガイドピン１００の第２案内部１２０を基板２０のガイド穴２２に挿入する。
【0036】
次いで、図８に示すように、ガイドピン１００の上端側からガイドピン１００を基板２０のガイド穴２２に向けて押し込む。これによって、実施形態１と同様にして、ガイドピン１００の第１テーパ部１３２は、ガイドピン１００の第１テーパ部１３２が基板２０のガイド穴２２にはめ込まれるまで、基板２０のガイド穴２２の開口縁に対して滑らせることができる。このため、ガイドピン１００を、ガイド穴２２の適切な位置、すなわち、プローブ３００の下端が基板２０のパッド２０ａに接触する位置に合わせることができる。したがって、基板２０のガイド穴２２の公差の影響を抑制してプローブ３００の下端を基板２０のパッド２０ａに接触させることができる。
【0037】
（変形例１）
図９は、変形例１に係るプローブヘッド１０Ｄを示す図である。変形例１に係るプローブヘッド１０Ｄは、以下の点を除いて、実施形態１に係るプローブヘッド１０Ａと同様である。
図９は、変形例１に係るプローブヘッド１０Ｄを示す図である。変形例１に係るプローブヘッド１０Ｄは、以下の点を除いて、実施形態１に係るプローブヘッド１０Ａと同様である。
【0038】
ガイドピン１００は、基板２０に向けて付勢されている。ガイドピン１００の上端は、バネ等の弾性体１４０を介して、ソケット２００に取り付けられている。具体的には、ピンブロック２１０の第１取付孔２１２の上端は、閉端となっている。弾性体１４０の上端は、ピンブロック２１０のこの閉端に取り付けられている。また、弾性体１４０の下端には、ガイドピン１００の上端が取り付けられている。
【0039】
本変形例では、ガイドピン１００の第２案内部１２０を基板２０のガイド穴２２に通したとき、ガイドピン１００を弾性体１４０によって基板２０に向けて押し付けることができる。本変形例においても、第１テーパ部１３２におけるガイドピン１００の外側壁の直径の最小値が基板２０のガイド穴２２の直径より小さく、かつ第１テーパ部１３２におけるガイドピン１００の外側壁の直径の最大値が基板２０のガイド穴２２の直径より大きくなっている。このため、弾性体１４０による付勢によって、ガイドピン１００の第１テーパ部１３２は、第１テーパ部１３２が基板２０のガイド穴２２にはめ込まれるまで、基板２０のガイド穴２２の開口縁に対して滑らせることができる。これによって、ガイドピン１００を、ガイド穴２２の適切な位置、すなわち、プローブ３００の下端の直下に基板２０のパッド２０ａが位置する位置に合わせることができる。この場合、基板２０のガイド穴２２の直径が公差によってばらついても、第１テーパ部１３２によって、プローブヘッド１０Ｄを適切な位置に案内することができる。
【0040】
（変形例２）
図１０は、変形例２に係るガイドピン１００Ａの側面図である。変形例２に係るガイドピン１００Ａは、以下の点を除いて、実施形態１に係るガイドピン１００と同様である。なお、変形例２の説明では、必要に応じて、図１～図３に示した基板２０を参照する。
図１０は、変形例２に係るガイドピン１００Ａの側面図である。変形例２に係るガイドピン１００Ａは、以下の点を除いて、実施形態１に係るガイドピン１００と同様である。なお、変形例２の説明では、必要に応じて、図１～図３に示した基板２０を参照する。
【0041】
ガイドピン１００Ａは、第１案内部１１０Ａ及び第２案内部１２０Ａを有している。第２案内部１２０Ａは、互いに分岐された複数の先端部、すなわち、第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａを含んでいる。第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａは、ガイドピン１００Ａの幅方向、すなわち＋Ｚと－Ｚとの間の方向に対して直交する方向に並んでいる。第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａを基板２０のガイド穴２２に挿入して、第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａをガイド穴２２の内側壁に挟み込むことができる。したがって、基板２０のガイド穴２２の直径が公差によってばらついたとしても、プローブ３００が基板２０のパッド２０ａに接触するように、ガイドピン１００Ａをガイド穴２２の適切な位置に合わせることができる。
【0042】
第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａの先端、すなわち下端から、第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａの当該先端の反対側の少なくとも一部分まで、すなわち第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａのおおよそ中央部までにおける、当該先端と当該先端の当該反対側とを結ぶ方向に直交する方向の第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａの最外縁間の間隔は、第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａの先端から当該先端の反対側に向かうにつれて広がっている。図１０に示す例において、第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａの最外縁間の間隔は、第１先端部１２２Ａの左側外縁と、第２先端部１２４Ａの右側外縁と、の間の間隔である。この場合、第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａをガイド穴２２の開口縁に対して滑らせて第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａをガイド穴２２に挿入することができる。したがって、第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａの最外縁間の間隔が一定である場合と比較して、第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａをガイド穴２２に挿入しやすくなっている。また、図１０に示す例において、第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａのおおよそ中央部から第１案内部１１０Ａまでにおける、第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａの最外縁間の間隔は、第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａの先端から当該先端の反対側に向かうにつれて狭まっている。しかしながら、第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａの最外縁間の間隔は、一定であってもよい。
【0043】
ガイドピン１００Ａの下端から上端側に向かうにつれて広がっている上記間隔の最小値は、ガイド穴２２の直径より小さくなっている。したがって、第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａをガイド穴２２に挿入することができる。
【0044】
ガイドピン１００Ａの下端から上端側に向かうにつれて広がっている上記間隔の最大値は、ガイド穴２２の直径より大きくなっている。したがって、第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａがガイド穴２２に挿入されたとき、第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａがガイド穴２２の内側壁に接触して、第１先端部１２２Ａ及び第２先端部１２４Ａをガイド穴２２の内側壁に挟み込むことができる。
【0045】
（変形例３）
図１１は、変形例３に係るガイドピン１００Ｂの断面図である。図１１は、後述するねじ穴１１２Ｂ及び楔穴１２２Ｂをガイドピン１００Ｂの上下方向に沿って通過する断面を示している。変形例３に係るガイドピン１００Ｂは、以下の点を除いて、実施形態１に係るガイドピン１００と同様である。
図１１は、変形例３に係るガイドピン１００Ｂの断面図である。図１１は、後述するねじ穴１１２Ｂ及び楔穴１２２Ｂをガイドピン１００Ｂの上下方向に沿って通過する断面を示している。変形例３に係るガイドピン１００Ｂは、以下の点を除いて、実施形態１に係るガイドピン１００と同様である。
【0046】
ガイドピン１００Ｂは、第１案内部１１０Ｂの少なくとも一部分の外側壁をガイドピン１００Ｂの内側から押し広げる部材、すなわち後述するねじ部１１４Ｂ及び楔部１２４Ｂを有している。具体的には、ガイドピン１００Ｂは、第１案内部１１０Ｂ及び第２案内部１２０Ｂを有している。第１案内部１１０Ｂの内側には、ガイドピン１００Ｂの上下方向に沿って伸びるねじ穴１１２Ｂが形成されている。ねじ穴１１２Ｂには、ねじ部１１４Ｂが挿入されている。第２案内部１２０Ｂの内側には、ガイドピン１００Ｂの上下方向に沿って伸びる楔穴１２２Ｂが形成されている。楔穴１２２Ｂには、楔部１２４Ｂが挿入されている。楔穴１２２Ｂ及び楔部１２４Ｂの各々の幅は、第２案内部１２０Ｂの上端側から下端側に向かうにつれて狭まっている。この場合、ねじ部１１４Ｂを楔部１２４Ｂに押し込むことで、楔部１２４Ｂによって第２案内部１２０Ｂの外側壁を押し広げることができる。
【0047】
【0048】
まず、ガイドピン１００Ｂの下端側からガイドピン１００Ｂの第２案内部１２０Ｂを基板２０のガイド穴２２に挿入する。この時点、すなわち、ねじ部１１４Ｂ及び楔部１２４Ｂによってガイドピン１００Ｂの外側壁が押し広げられる前において、第２案内部１２０Ｂの外側壁の直径は、基板２０のガイド穴２２の直径より小さくなっている。したがって、第２案内部１２０Ｂの外側面がガイド穴２２の内側面に引っ掛かることなく、第２案内部１２０Ｂをガイド穴２２に挿入することができる。
【0049】
次いで、例えば、ドライバ等の工具をガイドピン１００Ｂの上端側からねじ穴１１２Ｂに通してねじ部１１４Ｂを回転させることで、ねじ穴１１２Ｂに沿ってねじ部１１４Ｂをガイドピン１００Ｂの下方に向けてねじ込む。ねじ部１１４Ｂが下方に向けてねじ込まれることで、楔部１２４Ｂがねじ部１１４Ｂによって下方に向けて押し込まれる。楔部１２４Ｂがねじ部１１４Ｂによって下方に押し込まれることで、楔部１２４Ｂが楔穴１２２Ｂを押し広げて第２案内部１２０Ｂの外側壁の直径が大きくなる。このため、ガイドピン１００Ｂをガイド穴２２の内側壁に挟み込むことができる。したがって、基板２０のガイド穴２２の直径が公差によってばらついても、プローブが基板２０のパッド２０ａに接触するように、ガイドピン１００Ｂをガイド穴２２の適切な位置に合わせることができる。
【0050】
以上、図面を参照して本発明の実施形態及び変形例について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【0051】
本明細書によれば、以下の態様が提供される。
（態様１－１）
態様１－１は、
ガイドピンを備え、
前記ガイドピンは、外側壁の直径が前記ガイドピンの一端側から他端側に向かうにつれて広がるテーパ部を有する、プローブヘッドである。
態様１－１によれば、テーパ部のうち基板のガイド穴の直径と略等しい直径及びガイド穴の直径より小さい直径を有する部分を基板のガイド穴の開口にはめ込むことができる。したがって、基板のガイド穴の公差の影響を抑制してプローブを基板のパッドに接触させることができる。また、態様１－１によれば、ガイドピンの一端側からガイドピンをソケットの取付孔に通すとき、ガイドピンがソケットの取付孔に挿入されるように、ソケットを案内することができる。
（態様１－２）
態様１－２は、
前記ガイドピンの前記一端側は、検査装置の基板が位置する側である、態様１－１に記載のプローブヘッドである。
態様１－２によれば、態様１－１と同様にして、基板のガイド穴の公差の影響を抑制してプローブを基板のパッドに接触させることができる。
（態様１－３）
態様１－３は、
前記テーパ部の前記直径の最小値が、前記ガイドピンが挿入される前記基板のガイド穴の直径より小さく、
前記テーパ部の前記直径の最大値が、前記ガイド穴の直径より大きい、態様１－２に記載のプローブヘッドである。
態様１－３によれば、テーパ部のいずれかの部分が、ガイド穴の直径と略等しくなるようにすることができる。
（態様１－４）
前記ガイドピンが挿入される取付孔を有するソケットをさらに備え、
前記取付孔の一部分の直径は、前記取付孔の他の部分の直径より広くなっており、
前記ガイドピンの一部分は、前記取付孔の前記一部分内に位置しており、前記取付孔の前記他の部分の直径より大きい直径を有する、態様１－１～１－３のいずれか一に記載のプローブヘッドである。
態様１－４によれば、ガイドピンの当該一部分を、取付孔の当該一部分内に限って移動可能にすることができる。
（態様２－１）
態様２－１は、
ガイドピンを備え、
前記ガイドピンは、互いに分岐された複数の先端部を有する、プローブヘッドである。
態様２－１によれば、複数の先端部を基板のガイド穴に挿入して、複数の先端部をガイド穴の内側壁に挟み込むことができる。したがって、基板のガイド穴の直径が公差によってばらついていても、プローブが基板のパッドに接触するように、ガイドピンをガイド穴の適切な位置に合わせることができる。
（態様２－２）
態様２－２は、
前記複数の先端部の先端から前記複数の先端部の前記先端の反対側の少なくとも一部分までにおける、前記先端と前記先端の前記反対側とを結ぶ方向に直交する方向の前記複数の先端部の最外縁間の間隔が、前記複数の先端部の前記先端から前記先端の前記反対側に向かうにつれて広がっている、態様２－１に記載のプローブヘッドである。
態様２－２によれば、複数の先端部をガイド穴の開口縁に対して滑らせて複数の先端部をガイド穴に挿入することができる。したがって、複数の先端部の最外縁間の間隔が一定である場合と比較して、複数の先端部をガイド穴に挿入しやすくなっている。
（態様２－３）
態様２－３は、
前記複数の先端部の前記先端から前記先端の前記反対側に向かうにつれて広がっている前記間隔の最大値が、前記ガイドピンが挿入されるガイド穴の直径より大きい、態様２－２に記載のプローブヘッドである。
態様２－３によれば、複数の先端部がガイド穴に挿入されたとき、複数の先端部がガイド穴の内側壁に接触して、複数の先端部をガイド穴の内側壁に挟み込むことができる。
（態様３－１）
態様３－１は、
ガイドピンを備え、
前記ガイドピンは、前記ガイドピンの少なくとも一部分の外側壁を前記ガイドピンの内側から押し広げる部材を有する、プローブヘッドである。
態様３－１によれば、ガイドピンの外側壁を押し広げて、ガイドピンを基板のガイド穴の内側壁に挟み込むことができる。したがって、基板のガイド穴の直径が公差によってばらついていても、プローブが基板のパッドに接触するように、ガイドピンをガイド穴の適切な位置に合わせることができる。
（態様３－２）
態様３－２は、
前記ガイドピンの前記部材は、楔部と、前記楔部を押し込むねじ部と、を含む、態様３－１に記載のプローブヘッドである。
態様３－２によれば、ねじ部を楔部に押し込むことで、ガイドピンの外側壁を押し広げることができる。
（態様３－３）
態様３－３は、
前記部材によって前記ガイドピンの前記外側壁が押し広げられる前における前記ガイドピンの前記外側壁の直径が、前記ガイドピンが挿入されるガイド穴の直径より小さい、態様３－１又は３－２に記載のプローブヘッドである。
態様３－３によれば、ガイドピンをガイド穴に挿入した後、ガイドピンの外側壁を押し広げて、ガイドピンを基板のガイド穴の内側壁に挟み込むことができる。
（態様１－１）
態様１－１は、
ガイドピンを備え、
前記ガイドピンは、外側壁の直径が前記ガイドピンの一端側から他端側に向かうにつれて広がるテーパ部を有する、プローブヘッドである。
態様１－１によれば、テーパ部のうち基板のガイド穴の直径と略等しい直径及びガイド穴の直径より小さい直径を有する部分を基板のガイド穴の開口にはめ込むことができる。したがって、基板のガイド穴の公差の影響を抑制してプローブを基板のパッドに接触させることができる。また、態様１－１によれば、ガイドピンの一端側からガイドピンをソケットの取付孔に通すとき、ガイドピンがソケットの取付孔に挿入されるように、ソケットを案内することができる。
（態様１－２）
態様１－２は、
前記ガイドピンの前記一端側は、検査装置の基板が位置する側である、態様１－１に記載のプローブヘッドである。
態様１－２によれば、態様１－１と同様にして、基板のガイド穴の公差の影響を抑制してプローブを基板のパッドに接触させることができる。
（態様１－３）
態様１－３は、
前記テーパ部の前記直径の最小値が、前記ガイドピンが挿入される前記基板のガイド穴の直径より小さく、
前記テーパ部の前記直径の最大値が、前記ガイド穴の直径より大きい、態様１－２に記載のプローブヘッドである。
態様１－３によれば、テーパ部のいずれかの部分が、ガイド穴の直径と略等しくなるようにすることができる。
（態様１－４）
前記ガイドピンが挿入される取付孔を有するソケットをさらに備え、
前記取付孔の一部分の直径は、前記取付孔の他の部分の直径より広くなっており、
前記ガイドピンの一部分は、前記取付孔の前記一部分内に位置しており、前記取付孔の前記他の部分の直径より大きい直径を有する、態様１－１～１－３のいずれか一に記載のプローブヘッドである。
態様１－４によれば、ガイドピンの当該一部分を、取付孔の当該一部分内に限って移動可能にすることができる。
（態様２－１）
態様２－１は、
ガイドピンを備え、
前記ガイドピンは、互いに分岐された複数の先端部を有する、プローブヘッドである。
態様２－１によれば、複数の先端部を基板のガイド穴に挿入して、複数の先端部をガイド穴の内側壁に挟み込むことができる。したがって、基板のガイド穴の直径が公差によってばらついていても、プローブが基板のパッドに接触するように、ガイドピンをガイド穴の適切な位置に合わせることができる。
（態様２－２）
態様２－２は、
前記複数の先端部の先端から前記複数の先端部の前記先端の反対側の少なくとも一部分までにおける、前記先端と前記先端の前記反対側とを結ぶ方向に直交する方向の前記複数の先端部の最外縁間の間隔が、前記複数の先端部の前記先端から前記先端の前記反対側に向かうにつれて広がっている、態様２－１に記載のプローブヘッドである。
態様２－２によれば、複数の先端部をガイド穴の開口縁に対して滑らせて複数の先端部をガイド穴に挿入することができる。したがって、複数の先端部の最外縁間の間隔が一定である場合と比較して、複数の先端部をガイド穴に挿入しやすくなっている。
（態様２－３）
態様２－３は、
前記複数の先端部の前記先端から前記先端の前記反対側に向かうにつれて広がっている前記間隔の最大値が、前記ガイドピンが挿入されるガイド穴の直径より大きい、態様２－２に記載のプローブヘッドである。
態様２－３によれば、複数の先端部がガイド穴に挿入されたとき、複数の先端部がガイド穴の内側壁に接触して、複数の先端部をガイド穴の内側壁に挟み込むことができる。
（態様３－１）
態様３－１は、
ガイドピンを備え、
前記ガイドピンは、前記ガイドピンの少なくとも一部分の外側壁を前記ガイドピンの内側から押し広げる部材を有する、プローブヘッドである。
態様３－１によれば、ガイドピンの外側壁を押し広げて、ガイドピンを基板のガイド穴の内側壁に挟み込むことができる。したがって、基板のガイド穴の直径が公差によってばらついていても、プローブが基板のパッドに接触するように、ガイドピンをガイド穴の適切な位置に合わせることができる。
（態様３－２）
態様３－２は、
前記ガイドピンの前記部材は、楔部と、前記楔部を押し込むねじ部と、を含む、態様３－１に記載のプローブヘッドである。
態様３－２によれば、ねじ部を楔部に押し込むことで、ガイドピンの外側壁を押し広げることができる。
（態様３－３）
態様３－３は、
前記部材によって前記ガイドピンの前記外側壁が押し広げられる前における前記ガイドピンの前記外側壁の直径が、前記ガイドピンが挿入されるガイド穴の直径より小さい、態様３－１又は３－２に記載のプローブヘッドである。
態様３－３によれば、ガイドピンをガイド穴に挿入した後、ガイドピンの外側壁を押し広げて、ガイドピンを基板のガイド穴の内側壁に挟み込むことができる。
【符号の説明】
【0052】
１０Ａ プローブヘッド
１０Ｂ プローブヘッド
１０Ｃ プローブヘッド
１０Ｄ プローブヘッド
２０ 基板
２０ａ パッド
２２ ガイド穴
１００ ガイドピン
１００Ａ ガイドピン
１００Ｂ ガイドピン
１１０ 第１案内部
１１０Ａ 第１案内部
１１０Ｂ 第１案内部
１１２ フランジ
１１２Ｂ ねじ穴
１１４Ｂ ねじ部
１２０ 第２案内部
１２０Ａ 第２案内部
１２０Ｂ 第２案内部
１２２Ａ 第１先端部
１２２Ｂ 楔穴
１２４Ａ 第２先端部
１２４Ｂ 楔部
１３２ 第１テーパ部
１３４ 第２テーパ部
１４０ 弾性体
２００ ソケット
２１０ ピンブロック
２１２ 第１取付孔
２１２ａ 第１孔部
２１２ｂ 第２孔部
２２０ ピンプレート
２２２ 第２取付孔
３００ プローブ
１０Ｂ プローブヘッド
１０Ｃ プローブヘッド
１０Ｄ プローブヘッド
２０ 基板
２０ａ パッド
２２ ガイド穴
１００ ガイドピン
１００Ａ ガイドピン
１００Ｂ ガイドピン
１１０ 第１案内部
１１０Ａ 第１案内部
１１０Ｂ 第１案内部
１１２ フランジ
１１２Ｂ ねじ穴
１１４Ｂ ねじ部
１２０ 第２案内部
１２０Ａ 第２案内部
１２０Ｂ 第２案内部
１２２Ａ 第１先端部
１２２Ｂ 楔穴
１２４Ａ 第２先端部
１２４Ｂ 楔部
１３２ 第１テーパ部
１３４ 第２テーパ部
１４０ 弾性体
２００ ソケット
２１０ ピンブロック
２１２ 第１取付孔
２１２ａ 第１孔部
２１２ｂ 第２孔部
２２０ ピンプレート
２２２ 第２取付孔
３００ プローブ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】